KR101830633B1 - Feedback control apparatus of variable wavelength - Google Patents

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Abstract

본 발명은 가변 파장의 부귀환 제어 장치를 개시한다. 본 발명에 따른 가변 파장의 부귀환 제어 장치는 광 출력을 위한 종단에서 실제 출력되는 광의 파장 및 세기가 제어 지령에 의하여 예정된 출력 값에 비해 편차를 발생하는 경우 발생한 편차를 정밀하게 검출한 후 검출 결과를 기초로 폐루프 제어를 통해 편차 발생의 보상을 수행하는 구성을 갖춘다. 따라서, 본 발명은 광학 장치의 광 출력 종단에서 출력되는 광의 파장 및 세기에 대한 정확한 값을 보장할 수 있으며, 종래에는 감지하지 못하던 광 출력 종단의 광 출력에 대한 미세한 편차까지도 감지하여 이를 보상할 수 있다.The present invention discloses a negative feedback control apparatus of variable wavelength. The variable wavelength feedback control apparatus according to the present invention precisely detects a deviation that occurs when the wavelength and intensity of light actually output at the end for optical output deviate from the output value due to the control command, And compensates for the occurrence of a deviation through closed-loop control based on the received signal. Therefore, the present invention can ensure an accurate value of the wavelength and intensity of the light output from the optical output end of the optical device, and can detect and compensate even a minute deviation of the optical output of the optical output end, have.

Description

가변 파장의 부귀환 제어 장치{FEEDBACK CONTROL APPARATUS OF VARIABLE WAVELENGTH}[0001] FEEDBACK CONTROL APPARATUS OF VARIABLE WAVELENGTH [0002]

본 발명은 가변 파장의 부귀환 제어 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 광 출력을 위한 종단에서 실제 출력되는 광의 파장 및 세기가 제어 지령에 의하여 예정된 출력 값에 비해 편차를 발생하는 경우, 발생한 편차를 정밀하게 검출한 후 검출 결과를 기초로 편차 발생의 보상을 수행하기 위한 가변 파장의 부귀환 제어 장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a variable wavelength feedback control apparatus, and more particularly, to a variable wavelength feedback control apparatus, more particularly, To a negative feedback control device of variable wavelength for precisely detecting and then compensating for the occurrence of deviation based on the detection result.

광학 기술의 발전은 다양한 산업 전반에 영향을 주어 미세 가공에서부터 초고속 통신에 이르는 광범위한 차세대 기술의 기반이 되고 있다. The development of optical technology has influenced various industries in general and has become the basis for a wide range of next-generation technologies ranging from micro-machining to ultra-high-speed communication.

특히, 직진성이 강한 광원(예: 레이저)을 이용하여 미세 가공이나 표면을 개질하는 기술, 의학용 메스나 특정 세포를 선별 및 제거하는 기술, 광학 매체를 이용하여 데이터를 재생하는 기술, 광섬유의 전반사를 활용한 초고속 통신 기술 및 나노 크기의 입체적 시료에 대한 구성을 파악하는 현미경 기술 등 산업 및 의료 기술에 접목된 분광/광학 기술은 점차 그 중요성이 높아지고 있다.Particularly, it is possible to use a light source (such as a laser) that has high linearity to modify micro-fabrication or surface, a technique to select and remove a medical scalpel or a specific cell, a technique to reproduce data using an optical medium, , And spectroscopic / optical technology combined with industrial and medical technologies such as microscope technology for understanding the composition of nanoscale three-dimensional samples are becoming increasingly important.

광학 기술을 이용한 라만 분광학에서 라만 산란의 측정은 분광계의 발달로 산란된 빛의 세기를 주파수에 따른 띠 혹은 반복적 피크로 표시한다.In Raman spectroscopy using optical technology, the measurement of Raman scattering indicates the intensity of light scattered by the development of the spectrometer as a frequency band or repetitive peak.

즉, 물질의 분자 진동 스펙트럼을 측정하여 물질의 분자 진동구조를 연구하거나 물질을 정성, 정량 분석에 이용되고 있으며, 최근에는 생체 조직의 세포 내 혹은 세포 외의 생화학적, 형태학적 정보 분석을 위한 연구에도 적용되고 있는 광학 영상기술이다.In other words, it is used for the qualitative and quantitative analysis of materials, by studying the molecular vibration structure of a substance by measuring the molecular vibrational spectrum of the substance, and recently, for the analysis of biochemical and morphological information of intracellular or extracellular biological tissue It is an applied optical imaging technology.

위와 같은 효과를 적용한 라만 분광학 시스템에서 물질의 진동 전위 변화를 일으키기 위한 단위 장치로 여기 광원 장치가 쓰이고 있으며, 주로 여기 파장의 광원은 Line Width가 수 pico-meter 이하의 단파장 특성과 높은 에너지를 갖는 레이저가 이용된다.In the Raman spectroscopy system using the above effect, the excitation light source device is used as a unit device for generating the oscillation potential change of the material. The excitation light source of mainly the excitation wavelength is a laser having a line width of several pico-meter and a high energy Is used.

물질들은 그 물질의 특성마다 진동 전위가 달라서 그 고유 진동 수에 상응하는 여기 파장이 필요하며, 그 파장을 가변하는 장치가 대두되고 있다. Materials have different oscillation potentials depending on the characteristics of the material, and thus excitation wavelengths corresponding to the number of natural oscillations are required, and devices for varying the wavelengths are emerging.

이러한 광원 장치에서 물질의 고유 진동 수에 상응하는 파장을 안정적으로 유지해야만 분자의 진동 스펙트럼(라만 산란)을 측정할 수 있고, 그것을 재현할 수 있다.The oscillation spectrum (Raman scattering) of the molecules can be measured and reproduced by stably maintaining the wavelength corresponding to the natural frequency of the material in such a light source device.

대부분의 모든 공학에서 무엇인가를 측정 또는 분산할 수 있다는 것은 그것을 가공할 방법을 찾을 수 있으며 어떻게 응용할 수 있는지를 고찰할 수 있다. 최근 여기 광원의 파장과 세기에 대한 정밀한 제어가 측정 또는 분석을 위한 라만 분광학의 급속한 발전을 주도하고 있으며, 최근 그 수요가 급증하는 추세이다.The ability to measure or distribute something in most of all the engineering can find ways to machine it and examine how it can be applied. Recently, precise control of the wavelength and intensity of the excitation light source has led to the rapid development of Raman spectroscopy for measurement or analysis, and the demand is rapidly increasing recently.

기존에 파장과 광 세기를 제어하는 광원 제어 기술은 광원 소자의 온도나 문턱 전류를 정밀하게 제어하거나, 광학계와 광학 거취부를 정밀하게 제작하고 세팅하는 것에 의해 이루어져 왔다.Conventionally, the light source control technology for controlling the wavelength and the light intensity has been performed by precisely controlling the temperature or threshold current of the light source device, or precisely manufacturing and setting the optical system and the optical receiver.

이러한 전통적인 방식의 광원 제어 방법은 시간에 따라 변하는 물리적인 요소를 극복할 수 없다. This conventional light source control method can not overcome the physical factors that change over time.

이와 같은 광학계의 물리적인 변화(예: 기구물의 변형 혹은 온도 변화에 따른 물리량의 수축팽창)는 최종의 광 출력 종단에서 출력되는 광의 파장 및 세기에 대한 부정확한 결과를 초래할 수 있다.Such a physical change of the optical system (for example, deformation of the structure or contraction expansion of the physical quantity due to temperature change) may lead to inaccurate results on the wavelength and intensity of light output at the final optical output end.

즉, 정밀 제어를 요하는 의료 기술 또는 현미경 기술 등에 위에서 언급된 광학 장치가 적용될 경우, 광학 장치의 광 출력 종단에서 출력되는 광의 파장 및 세기에 대한 정확한 값을 보장할 수 없다면 해당 장비의 에러 발생에 그치는 것이 아니라 의료사고 또는 실험 결과 오류 등을 초래할 수 있는 문제점이 있다.That is, if the optical device mentioned above is applied to a medical technique or microscope technology requiring precise control, if an accurate value of the wavelength and intensity of light output at the optical output end of the optical device can not be guaranteed, There is a problem that it may cause a medical accident or an error in an experimental result.

대한민국 공개특허공보 제10-2012-0125057 (2012.11.14)Korean Patent Publication No. 10-2012-0125057 (November 14, 2012)

따라서, 본 발명은 상기의 문제점을 해결하기 위해 창출된 것으로, 본 발명의 목적은 광 출력을 위한 종단에서 실제 출력되는 광의 파장 및 세기가 제어 지령에 의하여 예정된 출력 값에 비해 편차를 발생하는 경우, 발생한 편차를 정밀하게 검출한 후 검출 결과를 기초로 폐루프 제어를 통해 편차 발생의 보상을 수행하기 위한 가변 파장의 부귀환 제어 장치를 제공하는 데 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above problems, and it is an object of the present invention to provide a wavelength division multiplexing / demultiplexing method and a wavelength division multiplexing / demultiplexing method, And to provide a variable-wavelength feedback control device for precisely detecting a deviation that has occurred and then compensating for the occurrence of a deviation through closed-loop control based on the detection result.

또한, 본 발명의 다른 목적은 광 출력을 위한 종단에서 실제 출력되는 광의 파장 및 세기와 제어 지령에 의하여 예정된 출력 값 간의 편차를 검출하는 경우, 실제 출력되는 광의 파장에 대한 해상도를 미리 정해진 기준 값 이상으로 조절하는 가변 파장의 부귀환 제어 장치를 제공하는 데 있다.Another object of the present invention is to provide a method of detecting a deviation between a wavelength and intensity of light actually output at an end for light output and a predetermined output value due to a control command, And a variable-wavelength feedback control device for controlling the variable-wavelength feedback control.

그리고, 본 발명의 또 다른 목적은 광 출력을 위한 종단에서 실제 출력되는 광의 파장 및 세기와 제어 지령에 의하여 예정된 출력 값 간의 편차를 검출하는 기능을 선택적으로 수행하기 위한 가변 파장의 부귀환 제어 장치를 제공하는 데 있다.It is still another object of the present invention to provide a variable wavelength feedback control apparatus for selectively performing a function of detecting a deviation between a wavelength and intensity of light actually output at an end for light output and a predetermined output value by a control command .

본 발명의 목적은 이상에서 언급한 목적으로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The objects of the present invention are not limited to the above-mentioned objects, and other objects not mentioned can be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 관점에 따른 가변 파장의 부귀환 제어 장치는 광 출력을 위한 종단에서의 실제 입사광으로부터 부귀환 광을 미리 정해진 기준 값 이상의 해상도를 갖는 분광 조절을 통해 검출하는 분광검출부, 상기 분광검출부의 분광 검출을 실행한 결과를 기초로 상기 부귀환 광의 속성을 판정하고, 제어 지령에 의해 상기 종단에 입사되어야 할 입사 예정광의 속성과 상기 부귀환 광의 속성 간의 차이를 판정하며, 속성 판정 결과에 따라 상기 실제 입사광의 속성에 대한 보상 제어를 하는 메인제어부 및 상기 보상 제어에 응답하여 상기 실제 입사광의 속성을 변경하는 보상부를 포함한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a variable wavelength feedback control apparatus including a spectroscopic detection unit for detecting negative feedback light from actual incident light at an end for optical output through spectral control with a resolution higher than a predetermined reference value, , Judges the attribute of the negative feedback light on the basis of the result of performing the spectroscopic detection of the spectroscopic detection unit, judges a difference between the attribute of the incident planned light to be incident on the end and the attribute of the negative feedback light based on the control command, A main controller for performing compensation control on the property of the incident light according to a determination result, and a compensation unit for changing an attribute of the actual incident light in response to the compensation control.

바람직하게는, 상기 분광검출부는 상기 부귀환 광을 검출하기 위한 분광 광학계를 적어도 2 이상의 다층 페브리 페롯 구조로 구비한다.Preferably, the spectroscopic detection unit includes a spectroscopic optical system for detecting the negative feedback light in at least two or more multi-layered Fabry-Perot structures.

바람직하게는, 상기 분광검출부는 상기 부귀환 광에 대한 검출을 선택적으로 수행한다.Preferably, the spectroscopic detection unit selectively performs detection on the negative feedback light.

바람직하게는, 상기 메인제어부는 상기 입사 예정광에 대한 상기 실제 입사광의 편차를 검출하기 위해 미리 정해진 편차기능 검출 조건을 충족하는 경우 상기 부귀환 광에 대한 검출을 실행하고, 상기 편차기능 검출 조건을 충족하지 못하는 경우 상기 부귀환 광에 대한 검출을 차단한다.Preferably, the main control unit executes detection of the negative feedback light when a predetermined deviation function detection condition is satisfied to detect a deviation of the actual incident light with respect to the incident planned light, If it is not satisfied, the detection of the negative return light is blocked.

따라서, 본 발명에서는 광 출력을 위한 종단에서 실제 출력되는 광의 파장 및 세기가 제어 지령에 의하여 예정된 출력 값에 비해 편차를 발생하는 경우 발생한 편차를 정밀하게 검출한 후 검출 결과를 기초로 폐루프 제어를 통해 편차 발생의 보상을 수행함으로써, 광학 장치의 광 출력 종단에서 출력되는 광의 파장 및 세기에 대한 정확한 값을 보장할 수 있으며, 종래에는 감지하지 못하던 광 출력 종단의 광 출력에 대한 미세한 편차까지도 감지하여 이를 보상할 수 있는 이점이 있다.Therefore, in the present invention, if the wavelength and intensity of light actually output at the end for light output are deviated from the predetermined output value by the control command, the deviation is precisely detected, and then closed loop control is performed based on the detection result It is possible to ensure an accurate value of the wavelength and the intensity of the light output at the optical output end of the optical device by detecting the deviation of the optical output of the optical output end, There is an advantage that it can be compensated.

본 발명의 효과들은 이상에서 언급한 효과들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 효과들은 청구범위의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The effects of the present invention are not limited to the effects mentioned above, and other effects not mentioned can be clearly understood by those skilled in the art from the description of the claims.

도 1은 본 발명에 따른 가변 파장의 부귀환 제어 장치를 나타내는 도면이다.
도 2는 도 1에 도시된 제어 장치의 일실시 예를 나타내는 도면이다.
도 3은 도 1에 도시된 제어 장치의 다른 실시 예를 나타내는 도면이다.
도 4는 도 1에 도시된 제어 장치의 또 다른 실시 예를 나타내는 도면이다.
도 5는 도 1에 도시된 제어 장치의 또 다른 실시 예를 나타내는 도면이다.
도 6은 도 1에 도시된 분광검출부 중 분광광학계 및 분광검출기를 일실시 예로 나타내는 도면이다.
도 7은 도 1에 도시된 분광검출부 중 분광광학계 및 분광검출기를 다른 실시 예로 나타내는 도면이다.
도 8은 도 1에 도시된 보상부 중 가변파장 구성을 일실시 예로 나타내는 도면이다.
도 9는 도 1에 도시된 보상부 중 가변파장 구성을 다른 실시 예로 나타내는 도면이다.
도 10은 도 1에 도시된 보상부 중 가변파장 구성을 또 다른 실시 예로 나타내는 도면이다.
도 11은 도 1에 도시된 보상부의 파장 조절 과정을 일실시 예로 나타내는 도면이다.
도 12는 도 1에 도시된 보상부의 광 세기 조절 과정을 일실시 예로 나타내는 도면이다.
그리고, 도 13은 도 1에 도시된 메인제어부에서 제어하는 임의의 파장을 나타내는 도면이다.1 is a view showing a variable wavelength feedback control apparatus according to the present invention.
FIG. 2 is a view showing an embodiment of the control apparatus shown in FIG. 1. FIG.
Fig. 3 is a view showing another embodiment of the control apparatus shown in Fig. 1. Fig.
Fig. 4 is a view showing still another embodiment of the control apparatus shown in Fig. 1. Fig.
5 is a view showing still another embodiment of the control apparatus shown in Fig.
FIG. 6 is a diagram showing a spectroscopic optical system and a spectroscopic detector among the spectroscopic detection units shown in FIG. 1 as an embodiment.
7 is a view showing another embodiment of the spectroscopic optical system and the spectroscope detector of the spectroscopic detection unit shown in FIG.
FIG. 8 is a diagram illustrating a variable wavelength structure of the compensation unit shown in FIG. 1 as an embodiment.
FIG. 9 is a diagram illustrating a variable wavelength structure of the compensation unit shown in FIG. 1 according to another embodiment of the present invention.
FIG. 10 is a view showing a tunable wavelength configuration of the compensation unit shown in FIG. 1 according to yet another embodiment.
11 is a diagram illustrating a wavelength adjustment process of the compensation unit shown in FIG. 1 according to an embodiment of the present invention.
12 is a diagram illustrating a light intensity adjusting process of the compensator shown in FIG. 1 according to an embodiment of the present invention.
13 is a diagram showing an arbitrary wavelength to be controlled by the main control unit shown in Fig.

이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예에 대하여 다음과 같이 상세히 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명에 따른 가변 파장의 부귀환 제어 장치를 나타내는 도면이다.1 is a view showing a variable wavelength feedback control apparatus according to the present invention.

도 1에 도시된 바와 같이, 가변 파장의 부귀환 제어 장치는 광 출력을 위한 종단에서 실제 출력되는 광의 파장 및 세기가 제어 지령에 의하여 예정된 출력 값에 비해 편차를 발생하는 경우, 발생한 편차를 정밀하게 검출한 후 검출 결과를 기초로 폐루프 제어를 통해 편차 발생의 보상을 수행하기 위한 구성을 갖춘다.As shown in FIG. 1, when the wavelength and intensity of light actually output at the end for light output cause a deviation from the output value that is predetermined by the control command, the variable feedback feedback control apparatus accurately And compensates for the occurrence of a deviation through closed loop control based on the detection result.

또한, 가변 파장의 부귀환 제어 장치는 광원으로부터 발진된 광을 공진기 내 회절 모듈을 통해 기 설정된 파장으로 특정하거나 다른 파장으로 가변하여 재 특정하고, 특정된 파장의 광을 광학 필터의 렌즈에 도달하게 하여 외부로 출력하는 장치이다.Further, the variable-wavelength feedback control apparatus re-specifies the light emitted from the light source through a diffraction module within the resonator to a predetermined wavelength or to a different wavelength, and transmits light of a specified wavelength to the lens of the optical filter And outputs it to the outside.

위 언급된 가변 파장의 부귀환 제어 장치는 위 언급된 기본 구성 외에 분광검출부(110), 메인제어부(120) 및 보상부(130)를 포함하는 구성을 갖출 수 있다.The feedback control apparatus of variable wavelength described above may have a configuration including the spectroscopic detection unit 110, the main control unit 120, and the compensation unit 130 in addition to the basic configuration described above.

분광검출부(110)는 광 출력을 위한 종단에서 실제 출력되는 광의 파장 및 세기가 제어 지령에 의하여 예정된 출력 값에 비해 편차를 발생하고 있는지를 판정하기 위하여, 광학 필터의 렌즈와 근접한 영역에 위치한 빔 샘플러를 이용하여 특정된 파장의 광 중에서 일부 광을 검출한다.The spectroscopic detection unit 110 detects the wavelength of the light output at the end for the optical output and the intensity of the light output from the beam sampler 120 located near the lens of the optical filter, A part of the light of the specified wavelength is detected.

메인제어부(120)는 검출된 일부 광에 대한 분광 검출을 실행한 결과를 기초로 광학 필터의 렌즈로 입사된 실제 입사광과 제어 지령에 의해 광학 필터의 렌즈로 입사 예정인 입사 예정광 간의 차이를 판정한다.The main control unit 120 determines the difference between the actual incident light incident on the lens of the optical filter and the expected light to be incident on the lens of the optical filter based on the control command based on the result of performing spectroscopic detection on the detected partial light .

여기서, 메인제어부(120)는 전술한 판정 결과에 따라 실제 입사광을 보상하기 위한 보상부(130)의 실행 여부를 결정할 수 있다.Here, the main control unit 120 can determine whether to execute the compensation unit 130 for compensating the actual incident light according to the determination result described above.

즉, 메인제어부(120)는 입사 예정광에 비해 실제 입사광의 편차가 기 정해진 편차 범위를 초과할 경우, 실제 입사광의 편차 발생을 보상하기 위하여 보상부(130)의 동작을 제어한다.That is, the main controller 120 controls the operation of the compensator 130 to compensate for the deviation of the incident light when the deviation of the actual incident light exceeds the predetermined deviation range as compared with the incident light.

보상부(130)는 메인제어부(120)의 판정 결과에 기초해서 동작하며, 실제 입사광의 세기 및 파장 중 적어도 하나 이상을 입사 예정광의 세기 및 파장에 준하도록 보상하는 처리를 한다.The compensation unit 130 operates based on the determination result of the main control unit 120 and performs a process of compensating at least one of the intensity and the wavelength of the incident light according to the intensity and the wavelength of the incident light.

반면에, 메인제어부(120)는 입사 예정광에 비해 실제 입사광의 편차가 기 정해진 편차 범위 이하일 경우, 실제 입사광의 편차 발생이 미미한 정도이므로 보상부(130)에 대한 동작 제어를 수행하지 않는다.On the other hand, when the deviation of the actual incident light is less than the predetermined deviation range, the main control unit 120 does not perform the operation control on the compensation unit 130 because the deviation of the incident light is small.

도 2는 도 1에 도시된 제어 장치의 일실시 예를 나타내는 도면이다.FIG. 2 is a view showing an embodiment of the control apparatus shown in FIG. 1. FIG.

도 2에 도시된 바와 같이, 가변 파장의 부귀환 제어장치(100)는 광원을 레이저로 구비하는 경우 외부 공진기 및 회절기를 포함하여 가변 파장을 설정하는 것이 가능하다.As shown in FIG. 2, when the light source is a laser, the tuning feedback control apparatus 100 may include an external resonator and a diffracting unit to set a tunable wavelength.

여기서, 가변 파장을 설정하기 위한 상세 구성은 도 8 및 도 9를 참조로 할 경우 반사형 회절기로 구성된 리트로 캐비티(Littrow cavity)와 리트만 캐비티(Littman cavity)를 적용하거나, 도 10을 참조로 할 경우 투과형 회절판과 미러를 결합한 가변 파장 구성으로 이루어질 수 있다.8 and 9, a Littrow cavity and a Littman cavity constituted by a reflective diffraction grating are applied. In the case of referring to FIG. 10, And a variable wavelength structure combining a transmission type diffraction plate and a mirror.

메인제어부(120)에서 보상부(130)의 온도/전류/파워 구동모듈 및 파장 구동 제어모듈로 제어 지령을 보내게 되면, 상기 온도/전류/파워 구동모듈의 동작에 의해 광원이 출력되고, 상기 파장 구동 제어모듈의 동작에 의해 회절기가 설정된 파장으로 움직인다.When the main control unit 120 sends a control command to the temperature / current / power driving module and the wavelength driving control module of the compensating unit 130, the light source is outputted by the operation of the temperature / current / power driving module, By operation of the wavelength drive control module, the diffuser moves to the set wavelength.

이때, 광원으로부터 출력된 광이 외부 공진기로 입사되고, 광원 발진 이후 문턱 이상으로 증폭된 광만이 외부 공진기를 통과하게 된다.At this time, the light output from the light source is incident on the external resonator, and only the light amplified beyond the threshold after the light source oscillation passes through the external resonator.

아울러, 외부 공진기 내의 회절기가 구비되어 있음에 따라, 회절기를 이용한 특정 파장의 선택 또한 가능하다. 회절기에 의해 선택된 파장은 증폭되어 광학 필터의 집광 렌즈에 도달하고, 빔 샘플러를 경유하여 대부분의 광은 본 광학 장치의 외부로 출력되고, 나머지 일부 광은 분광 광학계로 입사된다.In addition, since the diffractor is provided in the external resonator, it is also possible to select a specific wavelength using the diffractor. The wavelength selected by the diffractor is amplified and reaches the condenser lens of the optical filter, and most of the light is output to the outside of the optical device via the beam sampler, and some of the remaining light is incident on the spectroscopic optical system.

분광 광학계로 입사된 광은 분광 광학계를 거쳐 분광 검출기로 조사되어 광의 파장 및 세기를 나타내는 값으로 변환된다. The light incident on the spectroscopic optical system is irradiated to the spectroscopic detector through the spectroscopic optical system and converted into a value indicating the wavelength and intensity of the light.

이후, 메인제어부(120)는 분광 광학계를 통해 분광 검출기로 입사된 실제 값과 제어 지령을 내린 광의 파장과 세기에 대한 지령 값 차이에 대한 에러가 발생하는 경우, 전류/파워 구동 제어모듈 및 파장 구동 제어모듈에 PID 제어 지령을 전기적인 신호로 보냄에 따라 편차 발생한 실제 입사광에 대한 보상을 제어한다.When an error occurs with respect to an actual value incident on the spectroscope through the spectroscopic optical system and a command value difference between the wavelength and intensity of the light for which the control command is given, the main controller 120 controls the current / The PID control command is sent to the control module as an electrical signal to control the compensation for the actual incident light.

또한, 메인제어부(120)에서 보상부(130)로 전기적인 신호의 형태로 보내는 제어 지령은 온도/전류/파워 구동모듈에서 광원을 켜고 일정한 전류값을 하도록 하기 위한 전류제어신호, 광원의 온도 상승에 의해 전류대 파워와 파장의 특성이 변화하지 않도록 하기 위하여 광원의 온도를 등온으로 유지하기 위한 온도제어신호, 광원의 출력을 부귀환하는 신호를 포함할 수 있다.The control command sent from the main control unit 120 to the compensation unit 130 in the form of an electrical signal includes a current control signal for turning on the light source in the temperature / current / power drive module and causing the light source to have a constant current value, A temperature control signal for maintaining the temperature of the light source at an isothermal temperature so as to prevent the characteristics of the current versus power and the wavelength from being changed by the light source, and a signal for feedbacking the output of the light source.

즉, 광원의 출력을 부귀환하는 신호가 실제 입사광의 편차를 보상하기 위한 신호이다.That is, a signal for negative feedback of the output of the light source is a signal for compensating for the deviation of the incident light.

광 출력을 위한 종단에 위치한 광학 필터 영역은 집광 렌즈, 빔 샘플러, 핀홀, 시준렌즈의 순서로 구성되어 있다. The optical filter area located at the end for light output is composed of a condenser lens, a beam sampler, a pinhole, and a collimating lens in this order.

여기서, 빔 샘플러는 실제 입사광의 대부분을 외부로 출력하고, 나머지 일부를 분광 광학계로 보내어 실제 입사광의 파장 및 세기에 대한 보상을 수행할 수 있도록 한다. Here, the beam sampler outputs most of the incident light to the outside and sends the remaining part to the spectroscopic optical system to compensate for the wavelength and intensity of the incident light.

즉, 빔 샘플러에 의해 추출되는 실제 입사광 중 일부의 광은 실제 입사광의 파장 및 세기를 보상하기 위한 부귀환 광원이라 할 수 있다.That is, a part of the incident light extracted by the beam sampler may be referred to as a negative feedback light source for compensating the wavelength and intensity of the incident light.

이러한 부귀환 광원을 검출하기 위한 분광검출부(110)는 빔 샘플러, 분광광학계 및 분광검출기를 포함할 수 있다.The spectroscopic detection unit 110 for detecting such a negative feedback light source may include a beam sampler, a spectroscopic optical system, and a spectroscopic detector.

또한, 전술된 부귀환 광원은 실제 입사광의 일부인 바, 외부로 대부분의 실제 입사광이 출력된다고 하더라도 상기 부귀환 광원으로 인한 손실이 발생한다.In addition, since the above-described negative feedback light source is a part of the actual incident light, even if most actual incident light is output to the outside, a loss due to the negative feedback light source occurs.

이와 같은 광원 손실을 줄이기 위하여, 광 출력을 위한 종단에서 실제 출력되는 광의 파장 및 세기와 제어 지령에 의하여 예정된 출력 값 간의 편차를 검출하는 기능을 선택적으로 수행하는 것이 바람직하다.In order to reduce the light source loss, it is desirable to selectively perform the function of detecting the deviation between the wavelength and intensity of the light actually output at the end for the light output and the predetermined output value by the control command.

즉, 메인제어부(120)에서 광 출력을 위한 종단에서 실제 출력되는 광의 파장 및 세기와 제어 지령에 의하여 예정된 출력 값 간의 편차를 검출하는 기능을 수행하기 위해 미리 정해진 편차기능 검출 조건을 충족할 경우, 분광검출부(110)의 부귀환 광원에 대한 검출을 실행하는 제어를 한다.That is, when the predetermined deviation function detection condition is satisfied in order to perform the function of detecting the deviation between the wavelength and intensity of the light actually output at the end for optical output in the main control unit 120 and the output value scheduled by the control command, And controls the spectroscopic detection unit 110 to detect the negative feedback light source.

반면에, 메인제어부(120)에서 광 출력을 위한 종단에서 실제 출력되는 광의 파장 및 세기와 제어 지령에 의하여 예정된 출력 값 간의 편차를 검출하는 기능을 수행하기 위해 미리 정해진 편차기능 검출 조건을 충족하지 못하는 경우, 분광검출부(110)의 부귀환 광원에 대한 검출을 차단함으로써 실제 입사광으로부터 부귀환 광원을 검출함에 따른 광원 손실을 방지할 수 있다.On the other hand, when the main control unit 120 does not satisfy the predetermined deviation function detection condition in order to perform the function of detecting the deviation between the wavelength and the intensity of the light actually output at the end for the optical output and the predetermined output value by the control command , It is possible to prevent the light source loss due to the detection of the negative feedback light source from the incident light by blocking the detection of the negative feedback light source of the spectroscopic detection unit 110.

물론, 분광검출부(110)의 부귀환 광원에 대한 선택적 검출 기능은 전술한 바와 같이 메인제어부(120)에 의해 자동으로 수행되거나, 사용자의 선택에 의한 수동 수행이 가능하다. 즉, 사용자의 선택을 감안하여 수동으로 분광검출부(110)의 부귀환 광원에 대한 선택적 검출 기능을 설정할 수 있도록 하기 위해서는 이를 지원하는 사용자 인터페이스를 추가 구비하여야 한다.Of course, the selective detection function of the spectroscopic detection unit 110 for the negative feedback light source may be performed automatically by the main control unit 120 as described above, or may be performed manually by the user. That is, in order to manually set the selective detection function of the spectroscopic detection unit 110 with respect to the negative feedback light source in consideration of the user's selection, a user interface for supporting the selective detection function should be additionally provided.

예컨대, 위에서 설명된 편차기능 검출 조건은 미리 정해진 반복 주기마다 출력을 위한 종단에서 실제 출력되는 광의 파장 및 세기와 제어 지령에 의하여 예정된 출력 값 간의 편차가 발생하는지를 검사하는 것으로 설정 가능하다. For example, the deviation function detection condition described above can be set to check whether the deviation between the intensity and the intensity of the light actually output at the end for output for a predetermined repetition period and the output value due to the control command occurs.

즉, 검사 결과에서 실제 입사광의 편차가 발생하지 않은 경우이면 분광검출부(110)의 부귀환 광원에 대한 검출을 차단하고, 검사 결과에서 실제 입사광의 편차가 발생한 경우이면 분광검출부(110)의 부귀환 광원에 대한 검출하는 기능을 유지하여 실제 입사광의 편차를 보상한다.That is, if the actual incident light does not deviate from the inspection result, the detection of the negative feedback light source of the spectroscopic detection unit 110 is blocked. If the actual incident light deviates from the inspection result, The function of detecting the light source is maintained to compensate the deviation of the actual incident light.

또한, 위 언급된 검사 결과에서 실제 입사광의 편차가 발생한 경우, 메인제어부(120)는 1차적으로 미리 정해진 제1 횟수 또는 제1 시간 동안 부귀환 광원에 대한 검출 기능을 지속하여 실제 입사광의 파장 및 세기에 대한 편차가 발생하는지를 검사한다.When the deviation of the actual incident light occurs in the above-mentioned inspection result, the main control unit 120 firstly detects the first feedback signal or the first feedback signal for the first time to continuously detect the wavelength of the incident light, Check if deviations from the strength occur.

이후, 전술된 검사 결과에서 실제 입사광의 파장 및 세기에 대한 편차가 발생하지 않은 것으로 판정되면, 2차적으로 미리 정해진 제2 횟수 또는 제2 시간 동안 부귀환 광원에 대한 검출 기능을 지속하여 실제 입사광이 정상적으로 유지되는지를 추가 검사한다.Thereafter, when it is determined that the deviation of the incident light from the wavelength and the intensity does not occur in the inspection result, the detection function for the second feedback light source is continued for the second predetermined number of times or the second time, It is additionally inspected whether it is maintained normally.

그리고, 전술된 추가 검사 결과에서 실제 입사광이 입사 예정광에 대해 편차 발생하지 않고 정상적으로 유지되는 경우, 메인제어부(120)는 분광검출부(110)의 부귀환 광원에 대한 검출하는 기능을 차단하는 것이 가능하다.In addition, in the above-mentioned additional test result, when the incident light is normally maintained without causing a deviation with respect to the light to be incident, the main control unit 120 can cut off the function of detecting the light source of the negative feedback of the spectroscopic detection unit 110 Do.

일례로, 분광검출부(110)의 부귀환 광원에 대한 검출하는 기능을 차단하는 구성은 빔 샘플러를 회전하여 실제 입사광의 일부 광을 수용하지 않거나, 빔 샘플러를 광원 필터 영역으로부터 배제하는 위치 이동을 통해 구현 가능하다.For example, the configuration for blocking the detection function of the spectroscopic detection unit 110 with respect to the negative feedback light source may be such that the beam sampler is rotated to either not receive a part of the incident light or to move the beam sampler from the light source filter region It can be implemented.

또 다른 예로, 목표 값에 도달하면 빔 샘플러로 반사된 광을 분광검출기로 출력하고, 분광검출기로 출력된 값이 메인 제어부로 입력된다고 하더라도 메인 제어부에서는 분광검출기로부터 제공받은 출력 값에 대응하는 프로세싱을 수행하지 않는 것으로 구현 가능하다.As another example, when the target value is reached, the light reflected by the beam sampler is output to the spectral detector, and even if the value output to the spectral detector is inputted to the main control unit, the main control unit performs processing corresponding to the output value provided from the spectral detector It can be implemented without performing.

도 3은 도 1에 도시된 제어 장치의 다른 실시 예를 나타내는 도면이다.Fig. 3 is a view showing another embodiment of the control apparatus shown in Fig. 1. Fig.

도 3에 도시된 바와 같이, 가변 파장의 부귀환 제어 장치는 광원을 레이저가 아닌 다른 광으로 구비하는 경우, 외부 공진기를 포함하지 않고 광원, 시준 렌즈, 회절기, 집광 렌즈, 빔 샘플러를 통해 대부분의 광을 외부로 출력하며, 빔 샘플러에 의해 추출된 일부 광은 분광 광학계로 입사되어 이에 편차에 대한 보상 제어를 수행하는 구조로 이루어져 있다.As shown in FIG. 3, when the light source is provided with light other than a laser, the variable feedback negative feedback control device includes a light source, a collimator lens, a condenser lens, and a beam sampler And a part of the light extracted by the beam sampler is incident on the spectroscopic optical system to compensate for the deviation.

여기서, 보상부(130)의 파장 구동 제어모듈은 메인제어부(120)의 편차 보상에 응답하여 다음의 회절 방정식인 [수학식 1]를 통해 회절기의 각도를 제어하고, 이러한 회절기에 대한 각도 제어를 통해 편차 보상을 수행한다.Here, the wavelength drive control module of the compensation unit 130 controls the angle of the diffractor through the following equation (1) in response to the deviation compensation of the main controller 120, and controls the angle of the diffractor Lt; / RTI >

[수학식 1][Equation 1]

λd = d(sin(θi) + sin(θd))? d = d sin (? i ) + sin (? d )

다만, λd는 회절 시킬 파장, d는 회절 격자의 간격, 광원의 θi는 입사각도, θd는 투과광의 회절 각도가 된다. 여기서 입사각도와 회절 각도가 동일할 때 제어하려는 투과광의 회절 각도 θd는 sin-1(λd/2d)가 된다.Here,? D is the wavelength to be diffracted, d is the spacing of the diffraction grating,? I of the light source is the incident angle, and? D is the diffraction angle of the transmitted light. Here, when the incident angle and the diffraction angle are the same, the diffraction angle? D of the transmitted light to be controlled becomes sin -1 (? D / 2d).

또한, 도 11을 참조로 할 경우, 메인제어부(120)는 목표 파장에 대한 제어를 분광검출기로부터 부귀환 된 값을 이용하여 다음의 [수학식 2]와 같이 수행될 수 있다.Referring to FIG. 11, the main control unit 120 may perform the following Equation (2) by using the value of the negative feedback from the spectral detector for the control of the target wavelength.

[수학식 2]&Quot; (2) "

(λd ± λf) = 2d*sin(θd)(? d ?? f ) = 2d * sin (? d )

다만, λf는 분광 광학계를 거쳐서 분광 검출기로 측정된 파장의 부귀환 될 값과 입사각도와 회절각도가 동일할 때 제어하려는 편차를 보상하기 위한 투과광의 회절 각도 θf는 sin-1((λd ± λf) /2d)가 된다.However, f λ is the diffraction angle of the transmitted light to compensate for the deviation to the control unit when the value of the angle of incidence and diffraction angles help return the wavelength to be measured by the spectroscopic detector through the spectroscopic optical system is the same θ f sin -1 ((λ d ± λ f ) / 2d).

회절 시킬 파장(λd)이 회절 각도(θd)로 환산되고 파장 구동 제어모듈을 구동하기 위한 전기 신호(디지털 혹은 아날로그 신호)로 변환되어 Transfer Function을 거쳐 목표 파장을 구동한다. The wavelength λ d to be diffracted is converted into the diffraction angle θ d and converted into an electric signal (digital or analog signal) for driving the wavelength drive control module to drive the target wavelength through the transfer function.

이미 잘 알려진 Transfer Function은 기계적인 구조의 형태에 따라서 PI, PID등의 제어 알고리즘으로 적용될 수 있다.   The well-known transfer function can be applied to control algorithms such as PI and PID depending on the type of mechanical structure.

빔 샘플러를 통해서 분광 광학계를 경유하여 분광 검출기로 입사된 광은 메인제어부(120)로 전달된다.   The light incident on the spectroscope via the beam sampler via the spectroscopic optical system is transmitted to the main controller 120.

메인제어부(120)에서는 부귀환된 파장(λf)를 회절 각도(θf)로 환산하고 파장 구동 제어모듈을 구동하기 위한 전기 신호(디지털 혹은 아날로그 신호)로 변환하여 회절 시킬 파장(λd)의 에러값을 계산하여 목표 파장을 제어하는 부귀환 파장 제어한다.The main control unit 120 in the sub-wavelength in terms of the return wavelength (λ f) in the diffraction angle (θ f), and diffract and converted into an electric signal (digital or analog signals) for driving the wave drive control module (λ d) And controls the negative feedback wavelength to control the target wavelength.

여기서, 파장의 단위는 파수의 단위로 환산될 수 있으며 [수학식 3]으로 단위 변환될 수 있다.  Here, the unit of wavelength can be converted into a unit of wavenumbers, and can be unit-converted into Equation (3).

[수학식 3]   &Quot; (3) "

k = 1 / λ  k = 1 / lambda

다만, k는 이미 알려진 물리학 용어인 파수(Wavenumber)이며 λ는 파장이다. 단위길이 안에 몇 개의 파장으로 이루어져 있는지를 나타내는 지를 의미하며, [수학식 2]와 [수학식 3]은 부귀환 제어에서 각도 변환에 의한 파수 제어에 적용될 수 있다.  However, k is the known physical term Wavenumber and λ is the wavelength. (2) and (3) can be applied to the wave number control by angle conversion in the negative feedback control.

도 4는 도 1에 도시된 제어 장치의 또 다른 실시 예를 나타내는 도면이다.Fig. 4 is a view showing still another embodiment of the control apparatus shown in Fig. 1. Fig.

도 4에 도시된 바와 같이, 분광검출부(110)가 제1 빔 샘플러, 제1 분광 광학계 및 제1 분광검출기를 포함하는 제1 분광검출 세트 구성과, 제2 빔 샘플러, 제2 분광 광학계 및 제2 분광검출기를 포함하는 제2 분광검출 세트 구성과 제N 빔 샘플러, 제N 분광 광학계 및 제N 분광검출기를 포함하는 제N 분광검출 세트 구성 중에서 적어도 둘 이상을 포함하는 것으로 갖춰질 수 있다.As shown in FIG. 4, the spectroscopic detection unit 110 includes a first spectroscopic detection set configuration including a first beam sampler, a first spectroscopic optical system, and a first spectroscopic detector, and a second spectroscopic detection set configuration including a second beam sampler, A second spectral detection set configuration including a second spectral detector, and an N-th spectral detection set configuration including an N-th beam sampler, an N-th spectral optical system, and an N-th spectral detector.

즉, 실제 입사광의 세기 및 파장이 입사 예정광의 세기 및 파장과 비교할 때, 실제 입사광에 편차가 발생한 것인지를 보다 정밀하게 판정하기 위하여, 다수 세트를 통해 다 차수로 실제 입사광의 일부 광을 검출한 후 검출한 각 일부 광마다 부귀환 광에 대한 판정을 수행할 수 있다.That is, when the intensity and wavelength of the incident light are compared with the intensity and wavelength of the incident light, in order to more accurately determine whether the incident light is deviated more accurately, a part of the incident light is actually detected in multi- It is possible to perform judgment on the negative return light for each of the detected partial lights.

도 5는 도 1에 도시된 제어 장치의 또 다른 실시 예를 나타내는 도면이다.5 is a view showing still another embodiment of the control apparatus shown in Fig.

도 5에 도시된 바와 같이, 분광검출부(110)의 분광광학계(112)를 페브리 페롯(Fabry-Perot) 구조인 다층으로 구비함에 따라, 실제 입사광으로부터 추출된 부귀환 광에 대한 해상도를 미리 정해진 기준 값 이상으로 조절하는 것으로 분광검출부(110)를 구현하는 것도 바람직하다.As shown in FIG. 5, since the spectroscopic optical system 112 of the spectroscopic detection unit 110 is provided in a multilayer structure of Fabry-Perot structure, the resolution of the negative feedback light extracted from the actual incident light is determined in advance It is also preferable to implement the spectroscopic detection unit 110 by adjusting the reference value or more.

즉, 전술된 부귀환 광에 대한 해상도를 미리 정해진 기준 값 이상으로 조절함에 따라, 메인제어부(120)의 편차 판정 범위를 매우 미세한 단위로 설정하는 것이 가능하다.That is, by adjusting the resolution of the above-described negative feedback light to a predetermined reference value or more, it is possible to set the deviation determination range of the main control unit 120 to a very small unit.

이로 인해, 메인제어부(120)는 실제 입사광이 입사 예정광에 대해 편차인 것으로 판정할 수 있는 범위가 확장됨으로써, 광학 장치의 광 출력 종단에서 출력되는 광의 파장 및 세기에 대한 정확한 값을 보장할 수 있는 제어 수행이 가능해진다.Accordingly, the main control unit 120 can extend the range in which the incident light can be determined to be deviated from the light to be incident, thereby ensuring an accurate value of the wavelength and intensity of light output at the optical output end of the optical apparatus Control can be performed.

도 6은 도 1에 도시된 분광검출부(110) 중 분광광학계 및 분광검출기를 일실시 예로 나타내는 도면이고, 도 7은 도 1에 도시된 분광검출부(110) 중 분광광학계 및 분광검출기를 다른 실시 예로 나타내는 도면이다.FIG. 6 is a diagram showing a spectroscopic optical system and a spectroscopic detector among the spectroscopic detection units 110 shown in FIG. 1, and FIG. 7 is a view showing a spectroscopic system and a spectroscopic detector among the spectroscopic detection units 110 shown in FIG. Fig.

분광광학계 및 분광검출기의 인터페이스는 도 6에 도시된 바와 같이 부귀환 광을 반사형 회절기를 이용하여 분광광학계를 거쳐 분광검출기로 전달하거나, 도 7에 도시된 바와 같이, 부귀환 광을 투과형 회절기를 이용하여 분광광학계를 거쳐 분광검출기로 전달할 수 있다.The interfaces of the spectroscopic optical system and the spectroscopic detector can transmit the negative feedback light to the spectroscopic detector through the spectroscopic system using the reflection type diffractor as shown in FIG. 6, or transmit the negative feedback light to the transmission type diffractor And can be transmitted to the spectroscopic detector through the spectroscopic system.

또한, 도 12에 도시된 보상부(130)의 광 세기를 조절하는 것도 파장 제어와 동일한 분광검출기로부터 측정된 값을 기준으로 하여 수행된다.Also, adjusting the light intensity of the compensator 130 shown in FIG. 12 is performed on the basis of the measured value from the same spectral detector as the wavelength control.

그리고, 도 13은 도 1에 도시된 메인제어부(120)에서 제어하는 임의의 파장을 나타내는 도면이다.13 is a diagram showing an arbitrary wavelength controlled by the main control unit 120 shown in FIG.

제어하고자 하는 파장은 목적에 따라서 도 13과 같은 임의의 파장이 될 수 있다. 이러한 임의의 파장에 대한 특징에 따라서 선택적으로 제어를 수행하는 것이 가능하다.The wavelength to be controlled can be any wavelength as shown in FIG. 13 depending on the purpose. It is possible to selectively perform the control according to the characteristic for this arbitrary wavelength.

광의 세기가 가장 높은 지점의 파장인 peak wavelength(λp), 광의 세기가 가장 높은 지점에서 그 절반에 해당하는 지점과 만나는 두 파장(λ0.5', λ0.5'') 사이의 평균 파장인 Center wavelength(λ0.5), 스펙트럼의 면적중심이 되는 파장인 centroid Wavelength(λc)가 제어 파장이 된다.The peak wavelength (λ p ), which is the wavelength at which the light intensity is highest, is the center wavelength between the two wavelengths (λ 0.5 ', λ 0.5 '') (λ 0.5 ), and centroid Wavelength (λ c ), which is the center of the spectrum, becomes the control wavelength.

이상과 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시 예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시 예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.While the present invention has been described in connection with what is presently considered to be practical exemplary embodiments, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiments, but, on the contrary, It will be understood. It is therefore to be understood that the above-described embodiments are illustrative in all aspects and not restrictive.

또한, 본 발명은 광 출력을 위한 종단에서 실제 출력되는 광의 파장 및 세기가 제어 지령에 의하여 예정된 출력 값에 비해 편차를 발생하는 경우, 발생한 편차를 정밀하게 검출한 후 검출 결과를 기초로 편차 발생의 보상을 수행하기 위한 것임에 따라, 시판 또는 영업의 가능성이 충분할 뿐만 아니라 현실적으로 명백하게 실시할 수 있는 정도이므로 산업상 이용가능성이 있는 발명이다.The present invention also relates to a method and apparatus for accurately detecting a deviation when a wavelength and an intensity of light actually output at an end for light output are deviated from a predetermined output value by a control command, This is an invention that is industrially applicable because it is enough to carry out the compensation, and is not only a possibility of commercialization or sales, but also a reality that can be carried out clearly.

100: 부귀환 제어장치 110: 분광검출부
120: 메인제어부 130: 보상부100: negative feedback controller 110: spectroscopic detector
120: main control unit 130:

Claims (4)

광 출력을 위한 종단에서의 실제 입사광으로부터 부귀환 광을 미리 정해진 기준 값 이상의 해상도를 갖는 분광 조절을 통해 검출하는 분광검출부;
상기 분광검출부의 분광 검출을 실행한 결과를 기초로 상기 부귀환 광의 속성을 판정하고, 제어 지령에 의해 상기 종단에 입사되어야 할 입사 예정광의 속성과 상기 부귀환 광의 속성 간의 차이를 판정하며, 속성 판정 결과에 따라 상기 실제 입사광의 속성에 대한 보상 제어를 하는 메인제어부; 및
상기 보상 제어에 응답하여 상기 실제 입사광의 속성을 변경하는 보상부;를 포함하는 가변 파장의 부귀환 제어 장치로서,
상기 분광검출부는 상기 부귀환 광을 검출하기 위한 분광 광학계를 적어도 2 이상의 다층 페브리 페롯 구조로 구비하고,
상기 보상부는 광원과 상기 광 출력을 위한 종단 사이에 위치하는 회절기의 각도를 제어하여 상기 실제 입사광의 파장을 변경하는 가변 파장의 부귀환 제어 장치.A spectroscopic detection unit which detects negative feedback light from actual incident light at an end for optical output through spectral adjustment with a resolution higher than a predetermined reference value;
Judges the attribute of the negative feedback light on the basis of the result of performing the spectroscopic detection of the spectroscopic detection unit, judges a difference between the attribute of the incident planned light to be incident on the end and the attribute of the negative feedback light based on the control command, A main controller for performing compensation control on the property of the incident light according to the result; And
And a compensation unit for changing an attribute of the actual incident light in response to the compensation control,
Wherein the spectroscopic detection unit comprises a spectroscopic optical system for detecting the negative feedback light in at least two or more multi-layered Fabry-Perot structures,
Wherein the compensating unit controls the angle of the light source and the angle of the light source positioned between the ends for the light output to change the wavelength of the incident light. 삭제delete [청구항 3은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.][Claim 3 is abandoned upon payment of the registration fee.] 제1 항에 있어서,
상기 분광검출부는 상기 부귀환 광에 대한 검출을 선택적으로 수행하는 가변 파장의 부귀환 제어 장치.The method according to claim 1,
And the spectroscopic detection unit selectively performs detection on the negative feedback light. [청구항 4은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.][Claim 4 is abandoned upon payment of the registration fee.] 제3 항에 있어서,
상기 메인제어부는 상기 입사 예정광에 대한 상기 실제 입사광의 편차를 검출하기 위해 미리 정해진 편차기능 검출 조건을 충족하는 경우 상기 부귀환 광에 대한 검출을 실행하고, 상기 편차기능 검출 조건을 충족하지 못하는 경우 상기 부귀환 광에 대한 검출을 차단하는 가변 파장의 부귀환 제어 장치.The method of claim 3,
The main control unit performs detection on the auxiliary return light when a predetermined deviation function detection condition is satisfied to detect a deviation of the actual incident light with respect to the incident planned light and when the deviation function detection condition is not satisfied Feedback control device of variable wavelength that blocks detection of the negative feedback light.
KR1020130090325A 2013-07-30 2013-07-30 Feedback control apparatus of variable wavelength KR101830633B1 (en)

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