KR101827809B1 - 냉각수 공급 장치 및 그 제어 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 냉각수 공급 장치 및 그 제어 방법에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 냉각수 공급 장치는, 외부로부터 제1 냉각수가 유입되는 메인 급수 배관이 구비된 메인 급수부와, 일단은 메인 급수부에 연결되고 타단은 복수의 공정 장비 각각에 연결되며, 메인 급수부로부터 유입된 제1 냉각수를 복수의 제2 냉각수로 분기하여 복수의 공정 장비 각각에 공급하는 복수의 서브 급수 배관이 구비된 서브 급수부와, 일단은 복수의 공정 장비 각각에 연결되며, 복수의 공정 장비 각각으로부터 복수의 제3 냉각수를 회수하는 복수의 서브 배수 배관이 구비된 서브 배수부와, 서브 배수부의 타단에 연결되며, 서브 배수부로부터 유입된 복수의 제3 냉각수가 혼합된 제4 냉각수를 외부로 배출하는 메인 배수 배관이 구비된 메인 배수부 및 메인 급수부, 서브 급수부, 서브 배수부 및 메인 배수부의 동작을 제어하는 제어부를 포함하며, 제어부는, 복수의 서브 배수 배관 각각으로부터 측정된 복수의 제3 냉각수 각각의 온도 및 유량에 따라, 메인 급수 배관으로부터 유입되는 제1 냉각수의 유량을 조절하는 것을 특징으로 한다.

Description

냉각수 공급 장치 및 그 제어 방법{Apparatus for supplying cooling water and method for controlling the same}

본 발명은 냉각수 공급 장치 및 그 제어 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 비교적 간단한 구조의 단일 장치로 복수의 공정 장비에 공급되는 냉각수의 온도 및 유량을 정확하게 모니터링하고 일정하게 제어 및 유지할 수 있는 냉각수 공급 장치 및 그 제어 방법에 관한 것이다.

일반적으로, 반도체, 영상 표시 장치, 인쇄 회로 등의 전자 부품, 컬러 필터와 같이 도막 인쇄된 광학 부품, 타겟을 이용한 이온 열처리 공정 제품은 제품 제조 과정에서 열 증착 공정, 확산 공정 등에 의해 제조 장비의 내부 및 외부에서 상당한 고온의 열이 발생하게 된다.

따라서, 제조 장비에서 발생 가능한 불량 요소를 제거하고 고품질의 제품을 생산하며 제품 생산 수율을 향상시키기 위해서는 각각의 공정에 맞는 온도를 유지하고 관리해야 하므로, 제조 장비의 공정 온도를 유지하기 위해 냉각수(또는, 냉매)를 공급하는 냉각수 공급 장치가 사용되고 있다.

한편, 제품을 제조하는 공장에는 다수의 공정을 수행하기 위해 복수의 제조 장비가 설치되는데, 각각의 제조 장비는 해당 공정에 맞는 환경을 갖추기 위해 해당 공정 조건별로 적절한 제어 온도로 유지되어야 하며, 각각의 제조 장비에 공급되는 냉각수의 유량은 서로 차이가 있으므로 각각의 제조 장비에 필요한 온도와 유량을 모니터링하고 제어하는 것이 반드시 필요하다.

종래에는 복수의 제조 장비마다 각각 별도로 구비된 냉각수 공급 장치를 연결하여 냉각수를 공급하였는데, 다수의 냉각수 공급 장치를 사용함에 따라 많은 공간을 차지한다는 문제점은 물론, 각각의 냉각수 공급 장치를 통해 각각의 제조 장비의 상태를 모니터링하고 제어하기에 어려움이 있으므로 제조 장비에 대한 적정 운영이 용이하지 않다는 문제점이 있었다.

이러한 문제점을 해결하기 위해, 복수의 제조 장비에 연결되어 냉각수를 공급하는 냉각수 공급 장치가 개발되고 있는데, 이러한 냉각수 공급 장치는 각각의 제조 장비로 공급되는 개별 유량을 각각 모니터링하고 제어하는 것이 매우 중요하다.

그러나, 종래의 냉각수 공급 장치는 각각의 제조 장비로 공급되는 개별 유량만을 모니터링하고 이를 각각 제어하는 방식을 사용하므로, 공장 측으로부터 냉각수 공급 장치에 공급되는 전체 유량이 변화하는 경우, 각각의 제조 장비에 공급되는 개별 유량을 정확하게 모니터링하고 제어하기에 어려움이 있다는 문제점이 있었다.

예를 들어, 냉각수 공급 장치에 공급되는 전체 유량이 부족한 경우, 전체 또는 특정한 일부 제조 장비에 공급되는 개별 유량이 부족하게 되어 냉각 기능이 불안정해지는 문제점이 있었다. 또 다른 예로, 냉각수 공급 장치에 공급되는 전체 유량의 압력이 지나치게 높은 경우, 워터 해머 현상 또는 맥동 현상이 발생하여 냉각수 공급 장치 내에서 제조 장비의 온도, 유량 등을 모니터링 과정에서 오류가 발생하고, 이에 따라 올바른 제어가 이루어지지 않아, 제조 장비의 냉각 기능이 저하되고 적정 운영이 어렵다는 문제점이 있었다.

따라서, 비교적 간단한 구조의 단일 장치로 복수의 공정 장비에 공급되는 냉각수의 온도 및 유량을 정확하게 모니터링하고 일정하게 제어 및 유지할 수 있는 냉각수 공급 장치 및 그 제어 방법이 요구된다.

본 발명은 상기한 문제점을 개선하기 위해 발명된 것으로, 본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 복수의 공정 장비로 냉각수를 공급하는 냉각수 공급 장치를 하나의 메인 급수 배관이 구비된 메인 급수부, 복수의 서브 급수 배관이 구비된 서브 급수부, 복수의 서브 배수 배관이 구비된 서브 배수부 및 하나의 메인 급수 배관이 구비된 메인 배수부로 구현함으로써, 비교적 간단한 구조의 단일 장치로 복수의 공정 장비에 공급되는 냉각수의 온도 및 유량을 정확하게 모니터링하고 일정하게 제어 및 유지할 수 있는 냉각수 공급 장치 및 그 제어 방법을 제공하는 것이다.

본 발명의 기술적 과제는 이상에서 언급한 것들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제는 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.

상기 과제를 달성하기 위하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 냉각수 공급 장치는, 외부로부터 제1 냉각수가 유입되는 메인 급수 배관이 구비된 메인 급수부와, 일단은 상기 메인 급수부에 연결되고 타단은 복수의 공정 장비 각각에 연결되며, 상기 메인 급수부로부터 유입된 상기 제1 냉각수를 복수의 제2 냉각수로 분기하여 상기 복수의 공정 장비 각각에 공급하는 복수의 서브 급수 배관이 구비된 서브 급수부와, 일단은 상기 복수의 공정 장비 각각에 연결되며, 상기 복수의 공정 장비 각각으로부터 복수의 제3 냉각수를 회수하는 복수의 서브 배수 배관이 구비된 서브 배수부와, 상기 서브 배수부의 타단에 연결되며, 상기 서브 배수부로부터 유입된 상기 복수의 제3 냉각수가 혼합된 제4 냉각수를 상기 외부로 배출하는 메인 배수 배관이 구비된 메인 배수부 및 상기 메인 급수부, 상기 서브 급수부, 상기 서브 배수부 및 상기 메인 배수부의 동작을 제어하는 제어부를 포함하며, 상기 제어부는, 상기 복수의 서브 배수 배관 각각으로부터 측정된 상기 복수의 제3 냉각수 각각의 온도 및 유량에 따라, 상기 메인 급수 배관으로부터 유입되는 상기 제1 냉각수의 유량을 조절하는 것을 특징으로 한다.

이 때, 상기 메인 급수부는, 상기 메인 급수 배관에 설치되며, 상기 제1 냉각수의 온도 및 유량을 측정하는 급수 측정 센서 및 상기 메인 급수 배관에서 상기 급수 측정 센서의 후단에 설치되며, 상기 급수 측정 센서로부터 측정된 상기 제1 냉각수의 온도 및 유량에 따라 상기 제1 냉각수의 유량을 조절하는 제1 급수 밸브를 더 포함하고, 상기 서브 배수부는, 상기 복수의 서브 배수 배관에서 상기 복수의 공정 장비 각각에 인접하는 위치에 각각 설치되며, 상기 복수의 제3 냉각수 각각의 온도 및 유량을 측정하는 복수의 배수 측정 센서를 더 포함하며, 상기 제어부는, 상기 복수의 배수 측정 센서 각각으로부터 측정된 상기 복수의 제3 냉각수 각각의 온도 및 유량으로부터 상기 제1 냉각수의 온도 및 유량을 산출하고, 상기 급수 측정 센서로부터 측정된 상기 제1 냉각수의 온도 및 유량과 비교한 후, 상기 제1 급수 밸브를 제어하여 상기 서브 급수부로 공급되는 상기 제1 냉각수의 유량을 조절하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 메인 급수부는, 상기 메인 급수 배관에서 상기 급수 측정 센서의 전단에 설치되며, 상기 급수 측정 센서로부터 측정된 상기 제1 냉각수의 온도 및 유량에 따라 외부로부터 유입되는 상기 제1 냉각수의 유량을 조절하는 글로브 밸브를 더 포함하며, 상기 제어부는, 상기 급수 측정 센서로부터 측정된 상기 제1 냉각수의 온도 및 유량에 따라, 상기 글로브 밸브를 제어하여 외부로부터 유입되는 상기 제1 냉각수의 유량을 조절하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 서브 배수부는, 상기 복수의 서브 배수 배관에서 상기 복수의 공정 장비 각각과 상기 복수의 배수 측정 센서 각각의 사이에 각각 설치되며, 상기 복수의 배수 측정 센서 각각으로부터 측정된 상기 복수의 제3 냉각수 각각의 온도 및 유량에 따라 상기 복수의 제3 냉각수 각각의 유량을 조절하는 복수의 배수 밸브를 더 포함하며, 상기 제어부는, 상기 복수의 배수 측정 센서 각각으로부터 측정된 상기 복수의 제3 냉각수 각각의 온도 및 유량에 따라, 상기 복수의 배수 밸브 각각을 제어하여 복수의 서브 배수 배관 각각에 유입되는 상기 복수의 제3 냉각수 각각의 유량을 조절하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 서브 급수부는, 상기 복수의 서브 급수 배관에 각각 설치되며, 상기 복수의 배수 측정 센서 각각으로부터 측정된 상기 복수의 제3 냉각수 각각의 온도 및 유량에 따라 상기 복수의 제2 냉각수 각각의 유량을 조절하는 복수의 제2 급수 밸브를 더 포함하며, 상기 제어부는, 상기 복수의 배수 측정 센서 각각으로부터 측정된 상기 복수의 제3 냉각수 각각의 온도 및 유량에 따라, 상기 복수의 제2 급수 밸브 각각을 제어하여 상기 제2 냉각수 각각의 유량을 조절하는 것을 특징으로 한다.

한 편, 상기 메인 배수부는, 상기 메인 배수 배관에 설치되며, 상기 제4 냉각수의 유량을 측정하는 누수 감지 센서를 더 포함하며, 상기 제어부는, 상기 급수 측정 센서로부터 측정된 상기 제1 냉각수의 유량, 상기 복수의 배수 측정 센서 각각으로부터 측정된 상기 복수의 제3 냉각수 각각의 유량 및 상기 누수 감지 센서로부터 측정된 상기 제4 냉각수의 유량을 비교하여, 상기 복수의 공정 장비 및 상기 냉각수 공급 장치에서의 누수 여부를 판단하는 것을 특징으로 한다.

이 때, 상기 제어부는, 상기 누수 여부의 판단 결과, 상기 복수의 공정 장비 및 상기 냉각수 공급 장치에서 누수가 있다고 판단되는 경우, 상기 글로브 밸브를 제어하여 상기 제1 냉각수의 유입을 차단하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 과제를 달성하기 위하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 냉각수 공급 장치는, 외부로부터 메인 급수 배관으로 제1 냉각수를 유입시키는 단계와, 상기 메인 급수부로부터 유입된 상기 제1 냉각수를 복수의 공정 장비 각각에 연결된 복수의 서브 급수 배관을 통해 복수의 제2 냉각수로 분기하여 상기 복수의 공정 장비 각각에 공급하는 단계와, 상기 복수의 공정 장비 각각에 연결된 복수의 서브 배수 배관을 통해 상기 복수의 공정 장비 각각으로부터 복수의 제3 냉각수를 회수하는 단계와, 상기 복수의 서브 배수 배관으로부터 유입된 상기 복수의 제3 냉각수가 혼합된 제4 냉각수를 메인 배수 배관을 통해 상기 외부로 배출하는 단계 및 제어부가 상기 복수의 서브 배수 배관 각각으로부터 측정된 상기 복수의 제3 냉각수 각각의 온도 및 유량에 따라, 상기 메인 급수 배관으로부터 유입되는 상기 제1 냉각수의 유량을 조절하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.

이 때, 상기 제1 냉각수의 유량을 조절하는 단계는, 상기 복수의 서브 배수 배관 각각에 설치된 복수의 배수 측정 센서가 상기 복수의 제3 냉각수 각각의 온도 및 유량을 측정하는 단계와, 상기 제어부가 상기 복수의 배수 측정 센서 각각으로부터 측정된 상기 복수의 제3 냉각수 각각의 온도 및 유량으로부터 상기 제1 냉각수의 온도 및 유량을 산출하는 단계와, 상기 메인 급수 배관에 설치된 급수 측정 센서가 상기 메인 급수 배관을 통해 유입되는 상기 제1 냉각수의 온도 및 유량을 측정하는 단계와, 상기 제어부가 상기 산출된 상기 제1 냉각수의 온도 및 유량과, 상기 급수 측정 센서로부터 측정된 상기 제1 냉각수의 온도 및 유량과 비교하는 단계 및 상기 제어부가 상기 비교 결과에 따라 상기 메인 급수 배관에서 상기 급수 측정 센서의 후단에 설치된 제1 급수 밸브를 제어하여 상기 서브 급수부로 공급되는 상기 제1 냉각수의 유량을 조절하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 제1 냉각수의 유량을 조절하는 단계는, 상기 제어부가, 상기 급수 측정 센서로부터 측정된 상기 제1 냉각수의 온도 및 유량에 따라, 상기 메인 급수 배관에서 상기 급수 측정 센서의 전단에 설치된 글로브 밸브를 제어하여 외부로부터 유입되는 상기 제1 냉각수의 유량을 조절하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 제1 냉각수의 유량을 조절하는 단계 이후에, 상기 제어부가, 상기 복수의 배수 측정 센서 각각으로부터 측정된 상기 복수의 제3 냉각수 각각의 온도 및 유량에 따라, 상기 복수의 서브 배수 배관에서 상기 복수의 공정 장비 각각과 상기 복수의 배수 측정 센서 각각의 사이에 각각 설치된 복수의 배수 밸브 각각을 제어하여 복수의 서브 배수 배관 각각에 유입되는 상기 복수의 제3 냉각수 각각의 유량을 조절하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 제1 냉각수의 유량을 조절하는 단계 이후에, 상기 제어부가, 상기 복수의 배수 측정 센서 각각으로부터 측정된 상기 복수의 제3 냉각수 각각의 온도 및 유량에 따라, 상기 복수의 서브 급수 배관에 각각 설치된 복수의 제2 급수 밸브 각각을 제어하여 상기 제2 냉각수 각각의 유량을 조절하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.

한편, 상기 제1 냉각수의 온도 및 유량을 측정하는 단계 이후에, 상기 메인 배수 배관에 설치된 누수 감지 센서가 상기 제4 냉각수의 유량을 측정하는 단계와, 상기 제어부가, 상기 급수 측정 센서로부터 측정된 상기 제1 냉각수의 유량, 상기 복수의 배수 측정 센서 각각으로부터 측정된 상기 복수의 제3 냉각수 각각의 유량 및 상기 누수 감지 센서로부터 측정된 상기 제4 냉각수의 유량을 비교하는 단계 및 상기 제어부가, 상기 비교 결과에 따라, 상기 복수의 공정 장비 및 상기 냉각수 공급 장치에서의 누수 여부를 판단하는 것을 특징으로 한다.

이 때, 상기 제어부가, 상기 누수 여부의 판단 결과, 상기 복수의 공정 장비 및 상기 냉각수 공급 장치에서 누수가 있다고 판단되는 경우, 상기 글로브 밸브를 제어하여 상기 제1 냉각수의 유입을 차단하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.

기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.

본 발명의 일 실시예에 따른 냉각수 공급 장치 및 그 제어 방법에 따르면, 복수의 공정 장비로 냉각수를 공급하는 냉각수 공급 장치를 하나의 메인 급수 배관이 구비된 메인 급수부, 복수의 서브 급수 배관이 구비된 서브 급수부, 복수의 서브 배수 배관이 구비된 서브 배수부 및 하나의 메인 급수 배관이 구비된 메인 배수부로 구현함으로써, 비교적 간단한 구조의 단일 장치로 복수의 공정 장비에 공급되는 냉각수의 온도 및 유량을 정확하게 모니터링하고 일정하게 제어 및 유지할 수 있다.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 냉각수 공급 장치 및 그 제어 방법에 따르면, 복수의 공정 장비에 연결된 복수의 서브 배수 배관에서 측정된 온도 및 유량에 따라 메인 급수 배관에서의 유량을 제어함으로써, 복수의 공정 장비 각각에 필요한 냉각수의 온도 및 유량을 정확하게 유지 및 관리할 수 있다.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 냉각수 공급 장치 및 그 제어 방법에 따르면, 복수의 공정 장비에 연결된 복수의 서브 배수 배관에서 측정된 온도 및 유량에 따라 메인 급수 배관에서의 유량을 제어하고, 추가적으로 서브 배수 배관 또는 서브 급수 배관에서의 유량을 제어함으로써, 복수의 공정 장비 각각에 필요한 냉각수의 온도 및 유량을 보다 정밀하게 제어할 수 있다.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 냉각수 공급 장치 및 그 제어 방법에 따르면, 메인 급수부에 외부로부터 유입되는 냉각수의 유량 및 압력을 낮추는 글로브 밸브를 구비함으로써, 고압 상태에서 대량으로 유입되는 냉각수에 의한 워터 해머 현상 및 맥동 현상을 방지함으로써, 전체 냉각수 공급 장치가 안정적인 유량 및 압력으로 냉각수를 공급받을 수 있고, 냉각수 공급 장치의 각 구성요소에서 보다 정확한 측정(모니터링) 및 제어가 이루어질 수 있다.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 냉각수 공급 장치 및 그 제어 방법에 따르면, 메인 배수부에 구비된 누수 감지 센서 및 메인 급수부에 구비된 글로브 밸브를 이용하여 복수의 공정 장비 및 냉각수 공급 장치에서의 누수 여부를 모니터링하고 차단 제어함으로써, 복수의 공정 장비 및 냉각수 공급 장치에서의 긴급 상황에 신속하게 대처할 수 있다.

본 발명의 효과들은 이상에서 언급한 효과들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 효과들은 청구범위의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 냉각수 공급 장치의 구조를 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 냉각수 공급 장치의 급수 제어를 위한 메인 급수부 및 서브 급수부의 구조를 나타내는 도면이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 냉각수 공급 장치의 배수 제어를 위한 서브 배수부 및 메인 배수부의 구조를 나타내는 도면이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 냉각수 공급 장치의 제어 방법을 나타내는 순서도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 냉각수 공급 장치에서 서브 급수부로 공급되는 제1 냉각수의 유량을 조절하는 예를 나타내는 순서도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 냉각수 공급 장치에서 서브 급수부로 공급되는 제1 냉각수의 유량을 조절하는 예를 나타내는 도면이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 냉각수 공급 장치에서 메인 급수부에 유입되는 제1 냉각수의 유량을 조절하는 예를 나타내는 순서도이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 냉각수 공급 장치에서 메인 급수부에 유입되는 제1 냉각수의 유량을 조절하는 예를 나타내는 도면이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 냉각수 공급 장치에서 메인 급수부에 유입되는 제1 냉각수의 유량을 조절하는 예를 나타내는 순서도이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 냉각수 공급 장치에서 메인 급수부에 유입되는 제1 냉각수의 유량을 조절하는 예를 나타내는 도면이다.
도 11은 본 발명의 일 실시예에 따른 냉각수 공급 장치에서 서브 급수부가 공급하는 제2 냉각수의 유량을 조절하는 예를 나타내는 순서도이다.
도 12는 본 발명의 일 실시예에 따른 냉각수 공급 장치에서 서브 급수부가 공급하는 제2 냉각수의 유량을 조절하는 예를 나타내는 도면이다.
도 13은 본 발명의 일 실시예에 따른 냉각수 공급 장치에서 누수 여부를 판단하는 예를 나타내는 순서도이다.

이하, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명을 용이하게 실시할 수 있을 정도로 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명하면 다음과 같다.

실시예를 설명함에 있어서 본 발명이 속하는 기술 분야에 익히 알려져 있고 본 발명과 직접적으로 관련이 없는 기술 내용에 대해서는 설명을 생략한다. 이는 불필요한 설명을 생략함으로써 본 발명의 요지를 흐리지 않고 더욱 명확히 전달하기 위함이다.

마찬가지 이유로 첨부 도면에 있어서 일부 구성요소는 과장되거나 생략되거나 개략적으로 도시되었다. 또한, 각 구성요소의 크기는 실제 크기를 전적으로 반영하는 것이 아니다. 각 도면에서 동일한 또는 대응하는 구성요소에는 동일한 참조 번호를 부여하였다.

또한, 장치 또는 요소 방향(예를 들어 "전(front)", "후(back)", "위(up)", "아래(down)", "상(top)", "하(bottom)", "좌(left)", "우(right)", "횡(lateral)")등과 같은 용어들에 관하여 본원에 사용된 표현 및 술어는 단지 본 발명의 설명을 단순화하기 위해 사용되고, 관련된 장치 또는 요소가 단순히 특정 방향을 가져야 함을 나타내거나 의미하지 않는다는 것을 알 수 있을 것이다.

이하, 본 발명의 실시예들에 의하여 냉각수 공급 장치 및 그 제어 방법을 설명하기 위한 도면들을 참고하여 본 발명에 대해 설명하도록 한다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 냉각수 공급 장치의 구조를 개략적으로 나타내는 도면이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 냉각수 공급 장치의 급수 제어를 위한 메인 급수부 및 서브 급수부의 구조를 나타내는 도면이며, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 냉각수 공급 장치의 배수 제어를 위한 서브 배수부 및 메인 배수부의 구조를 나타내는 도면이다.

도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 냉각수 공급 장치(1)는 메인 급수부(100), 서브 급수부(200), 서브 배수부(300), 메인 배수부(400) 및 제어부(500)를 포함하여 구성될 수 있다.

이러한 냉각수 공급 장치(1)는 복수의 공정 장비(C)(예를 들어, 공정 챔버 등)에 연결되며, 각각의 공정 장비(C1 내지 C6)에 냉각수를 공급하여 복수의 공정 장비(C) 각각에 대한 내외 공정 온도를 일정하게 유지시킬 수 있다. 본 발명의 냉각수 공급 장치(1)에 사용되는 냉각수는 물(H₂O), 순수(Deionized Water) 뿐만 아니라, 공정 장비(C) 각각에 대한 내외 공정 온도를 원하는 온도로 유지시킬 수 있는 다양한 종류의 냉각 유체(냉매)를 모두 포함하는 광의의 개념이다.

도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 메인 급수부(100)는 냉각수 공급 장치(1)의 일 측에 배치되며, 외부로부터 제1 냉각수(W1)가 유입되는 메인 급수 배관(110)이 구비될 수 있다. 이러한 메인 급수 배관(110)은 1 개의 대형 급수 배관으로서, 복수의 공정 장비(C)가 설치된 공장 측에서 제공되는 냉각수를 한번에 공급 받을 수 있다.

또한, 메인 급수부(100)는 메인 급수 배관(110)에 설치되는 급수 측정 센서(120), 제1 급수 밸브(130) 및 글로브 밸브(140)를 포함할 수 있다.

급수 측정 센서(120)는 메인 급수 배관(110)에 설치되며, 메인 급수 배관(110)에 유입되는 제1 냉각수(W1)의 온도(T1) 및 유량(Q1)을 측정할 수 있다. 또한, 제1 급수 밸브(130)는 메인 급수 배관(100)에서 급수 측정 센서(120)의 후단에 설치되며, 급수 측정 센서(120)로부터 측정된 제1 냉각수(W1)의 온도(T1) 및 유량(Q1)에 따라 제1 냉각수(W1)의 유량(Q1)을 조절할 수 있다.

글로브 밸브(140)는 메인 급수 배관(110)에서 급수 측정 센서(120)의 전단에 설치되며, 급수 측정 센서(120)로부터 측정된 제1 냉각수(W1)의 온도(T1) 및 유량(Q1)에 따라 외부로부터 유입되는 제1 냉각수(W1)의 유량(Q1)을 조절할 수 있다.

특히, 글로브 밸브(140)는 외부(공장 측)로부터 고압 상태에서 대량으로 유입되는 제1 냉각수(W1)의 유량 및 압력을 낮추어 워터 해머 현상 및 맥동 현상을 방지함으로써, 냉각수 공급 장치(1) 전체적으로 안정적인 유량 및 압력으로 냉각수(W1)를 공급받을 수 있고, 냉각수 공급 장치(1)의 각 구성요소에서 보다 정확한 측정(모니터링) 및 제어가 이루어질 수 있다.

이러한 글로브 밸브(140)는 복수의 공정 장비 및 냉각수 공급 장치에서의 누수 등 긴급 상황에 대처할 수 있도록 자동 및 수동 제어가 가능한 형태로 구비될 수 있다.

도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 서브 급수부(200)는, 일단이 메인 급수부(100)에 연결되고, 타단이 복수의 공정 장비(C) 각각에 연결되며, 메인 급수부(100)로부터 유입된 제1 냉각수(W1)를 복수의 제2 냉각수(W2)로 분기하여 복수의 공정 장비(C) 각각에 공급하는 복수의 서브 급수 배관(210)이 구비될 수 있다. 또한, 서브 급수부(200)는 복수의 서브 급수 배관(210)에 각각 설치되는 복수의 제2 급수 밸브(220, 230)를 포함할 수 있다.

복수의 제2 급수 밸브(220, 230)는 서브 배수부(300)를 구성하는 복수의 배수 측정 센서(320) 각각으로부터 측정된 복수의 제3 냉각수(W3) 각각의 온도(T3) 및 유량(Q3)에 따라 복수의 제2 냉각수(W2) 각각의 유량(Q2)을 조절할 수 있다.

도 1 및 도 3에 도시된 바와 같이, 서브 배수부(300)는, 일단이 복수의 공정 장비(C) 각각에 연결되며, 복수의 공정 장비(C) 각각으로부터 복수의 제3 냉각수(W3)를 회수하는 복수의 서브 배수 배관(310)이 구비될 수 있다. 또한, 서브 배수부(300)는 복수의 서브 배수 배관(310)에 각각 설치되는 복수의 배수 측정 센서(320) 및 복수의 배수 밸브(330)를 포함할 수 있다.

복수의 배수 측정 센서(320)는 복수의 서브 배수 배관(310)에서 복수의 공정 장비(C) 각각에 인접하는 위치에 각각 설치되며, 복수의 제3 냉각수(W3) 각각의 온도(T3) 및 유량(Q3)을 측정할 수 있다.

또한, 복수의 배수 밸브(330)는 복수의 서브 배수 배관(310)에서 복수의 공정 장비(C) 각각과 복수의 배수 측정 센서(320) 각각의 사이에 각각 설치되며, 복수의 배수 측정 센서(320) 각각으로부터 측정된 복수의 제3 냉각수(W3) 각각의 온도(T3) 및 유량(Q3)에 따라 복수의 제3 냉각수(W3) 각각의 유량(Q3)을 조절할 수 있다.

도 1 및 도 3에 도시된 바와 같이, 메인 배수부(400)는 서브 배수부(300)의 타단에 연결되며, 서브 배수부(300)로부터 유입된 복수의 제3 냉각수(W3)가 혼합된 제4 냉각수(W4)를 외부로 배출하는 메인 배수 배관(410)이 구비될 수 있다. 이러한 메인 배수 배관(410)은 1 개의 대형 배수 배관으로서, 복수의 공정 장비(C)로부터 회수된 냉각수를 공장 측으로 한번에 배출할 수 있다.

또한, 메인 배수부(400)는 메인 배수 배관(410)에 설치되는 누수 감지 센서(420)를 포함할 수 있다. 누수 감지 센서(420)는 메인 배수 배관(410)을 통해 배출되는 제4 냉각수(W4)의 유량(Q4)을 측정할 수 있다.

다시 도 1을 참조하면, 제어부(500)는 메인 급수부(100), 서브 급수부(200), 서브 배수부(300) 및 메인 배수부(400)에 연결되며, 메인 급수부(100), 서브 급수부(200), 서브 배수부(300) 및 메인 배수부(400)의 동작을 제어할 수 있다. 이러한 제어부(500)가 메인 급수부(100), 서브 급수부(200), 서브 배수부(300) 및 메인 배수부(400)를 제어하는 과정은 도 4 내지 도 13을 참고하여 자세히 후술하기로 한다.

비록 도시되지는 않았으나, 본 발명의 일 실시예에 따른 냉각수 공급 장치(1)는 각 구성요소에서 상태를 모니터링하기 위해, 각 구성요소에서의 측정 값 및 제어 값 등을 표시하는 디스플레이 장치(도시되지 않음), 각 구성요소에 이상이 발생하는 경우 사용자에게 알려주는 알림 장치(도시되지 않음) 등을 더 포함할 수 있다.

한편, 본 발명의 일 실시예에 따른 냉각수 공급 장치(1)의 제어부(500)는, 복수의 서브 배수 배관(310) 각각으로부터 측정된 복수의 제3 냉각수(W3) 각각의 온도(T3) 및 유량(Q3)에 따라, 메인 급수 배관(110)으로부터 유입되는 제1 냉각수(W1)의 유량(Q1)을 일괄적으로 조절할 수 있다.

이하, 도 4 내지 도 13을 참조하여, 상기와 같이 구성되는 본 발명의 일 실시예에 따른 냉각수 공급 장치(1)의 동작에 대해서 자세히 설명하기로 한다.

도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 냉각수 공급 장치의 제어 방법을 나타내는 순서도이다.

먼저, 도 2 및 도 4에 도시된 바와 같이, 메인 급수부(100)는 외부(공장 측)로부터 메인 급수 배관(110)으로 제1 냉각수(W1)를 유입시킬 수 있다(S110). 그리고, 서브 급수부(200)는 메인 급수부(100)로부터 유입된 제1 냉각수(W1)를 복수의 공정 장비(C) 각각에 연결된 복수의 서브 급수 배관(210)을 통해 복수의 제2 냉각수(W2)로 분기하여 복수의 공정 장비(C) 각각에 공급할 수 있다(S120). 이후, 복수의 공정 장비(C) 각각은 해당 공정을 수행하는 과정에서 복수의 제2 냉각수(W2)를 이용하여 공정 온도를 일정하게 유지할 수 있다.

도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 서브 배수부(300)는 복수의 공정 장비(C) 각각에 연결된 복수의 서브 배수 배관(310)을 통해 복수의 공정 장비(C) 각각으로부터 복수의 제3 냉각수(W3)를 회수할 수 있다(S130). 그리고, 메인 배수부(400)는 복수의 서브 배수 배관(310)으로부터 유입된 복수의 제3 냉각수(W3)가 혼합된 제4 냉각수(W4)를 메인 배수 배관(410)을 통해 외부(공장 측)로 배출할 수 있다(S140).

본 발명의 일 실시예에 따른 냉각수 공급 장치(1)의 제어부(500)는, 복수의 서브 배수 배관(310) 각각으로부터 측정된 복수의 제3 냉각수(W3) 각각의 온도(T3) 및 유량(Q3)에 따라, 메인 급수 배관(110)으로부터 유입되는 제1 냉각수(W1)의 유량(Q1)을 조절할 수 있다(S150).

도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 냉각수 공급 장치에서 서브 급수부로 공급되는 제1 냉각수의 유량을 조절하는 예를 나타내는 순서도이고, 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 냉각수 공급 장치에서 서브 급수부로 공급되는 제1 냉각수의 유량을 조절하는 예를 나타내는 도면이다.

도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이, 복수의 서브 배수 배관(310) 각각에 설치된 복수의 배수 측정 센서(320)는 복수의 제3 냉각수(W3) 각각의 온도(T31, T32, T33, T34, T35, T36) 및 유량(Q31, Q32, Q33, Q34, Q35, Q36)을 측정할 수 있다(S151).

그리고, 제어부(500)는 복수의 배수 측정 센서(320) 각각으로부터 측정된 복수의 제3 냉각수(W3) 각각의 온도(T31, T32, T33, T34, T35, T36) 및 유량(Q31, Q32, Q33, Q34, Q35, Q36)으로부터 제1 냉각수(W1)의 온도(T1) 및 유량(Q1)을 산출할 수 있다(S152).

즉, 제어부(500)는 복수의 제3 냉각수(W3) 각각의 온도(T31, T32, T33, T34, T35, T36) 및 유량(Q31, Q32, Q33, Q34, Q35, Q36)으로부터 각각의 공정 장비(C1, C2, C3, C4, C5, C6)의 상태(온도, 유량 등)를 파악한 후, 각각의 공정 장비(C1, C2, C3, C4, C5, C6)에 필요한 유량을 계산하여, 필요한 제1 냉각수(W1)의 온도(T1i) 및 유량(Q1i)을 산출할 수 있다.

그리고, 메인 급수 배관(110)에 설치된 급수 측정 센서(120)는 메인 급수 배관(110)을 통해 실제로 유입되는 제1 냉각수(W1)의 온도(T1) 및 유량(Q1)을 측정할 수 있다(S153).

그리고, 제어부(500)는 단계 S152에서 산출된 제1 냉각수(W1)의 온도(T1i) 및 유량(Q1i)과, 급수 측정 센서(120)로부터 측정된 제1 냉각수(W1)의 온도(T1) 및 유량(Q1)과 비교할 수 있다(S154).

마지막으로, 제어부(500)는, 단계 S154에서의 비교 결과에 따라, 메인 급수 배관(100)에서 급수 측정 센서(120)의 후단에 설치된 제1 급수 밸브(130)를 제어하여 서브 급수부(200)로 공급되는 제1 냉각수(W1)의 유량(Q1)을 조절할 수 있다(S155).

한편, 본 발명의 일 실시예에 따른 냉각수 공급 장치(1)의 제어부(500)는 외부로부터 유입되는 제1 냉각수(W1)의 유량(Q1)을 조절할 수도 있다.

도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 냉각수 공급 장치에서 메인 급수부에 유입되는 제1 냉각수의 유량을 조절하는 예를 나타내는 순서도이고, 도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 냉각수 공급 장치에서 메인 급수부에 유입되는 제1 냉각수의 유량을 조절하는 예를 나타내는 도면이다.

도 7에 도시된 바와 같이, 제어부(500)는 제1 급수 밸브(130)를 제어하여 서브 급수부(200)로 공급되는 제1 냉각수(W1)의 유량(Q1)을 조절할 뿐 아니라(S155), 필요한 경우, 외부로부터 유입되는 제1 냉각수(W1)의 유량(Q1b)을 추가적으로 조절할 수도 있다(S156).

즉, 도 7 및 도 8에 도시된 바와 같이, 제어부(500)는 급수 측정 센서(120)로부터 측정된 제1 냉각수(W1)의 온도(T1) 및 유량(Q1)에 따라, 필요한 경우, 제1 급수 밸브(130)를 제어하여 서브 급수부(200)로 공급되는 제1 냉각수(W1)의 유량(Q1a)을 조절함과 동시에, 메인 급수 배관(110)에서 급수 측정 센서(120)의 전단에 설치된 글로브 밸브(140)를 제어하여 외부(공장 측)로부터 유입되는 제1 냉각수(W1)의 유량(Q1b)을 조절할 수 있다.

한편, 본 발명의 일 실시예에 따른 냉각수 공급 장치(1)는, 메인 급수부(100)에서의 제1 냉각수(W1)의 유량(Q1)을 조절할 뿐 아니라(도 7의 단계 S151 내지 S156), 필요한 경우, 복수의 공정 장비(C) 각각으로부터 회수되는 복수의 제3 냉각수(W3) 각각의 유량(Q3)을 추가적으로 조절할 수 있다.

도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 냉각수 공급 장치에서 서브 배수부로부터 회수되는 제3 냉각수의 유량을 조절하는 예를 나타내는 순서도이고, 도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 냉각수 공급 장치에서 서브 배수부로부터 회수되는 제3 냉각수의 유량을 조절하는 예를 나타내는 도면이다.

도 9에 도시된 바와 같이, 제어부(500)는 메인 급수 배관(110)을 통해 유입 또는 공급되는 제1 냉각수(W1)의 유량(Q1)을 조절할 뿐 아니라(단계 S151 내지 S156), 필요한 경우, 복수의 공정 장비(C)로부터 회수되는 복수의 제3 냉각수(W3) 각각의 유량(Q3)을 추가적으로 조절할 수도 있다(S157).

즉, 도 9 및 도 10에 도시된 바와 같이, 제어부(500)는 복수의 배수 측정 센서(320) 각각으로부터 측정된 복수의 제3 냉각수(W3) 각각의 온도(T31, T32, T33, T34, T35, T36) 및 유량(Q31, Q32, Q33, Q34, Q35, Q36)에 따라, 복수의 서브 배수 배관(310)에서 복수의 공정 장비(C) 각각과 복수의 배수 측정 센서(320) 각각의 사이에 설치된 복수의 배수 밸브(330) 각각을 제어하여 복수의 서브 배수 배관(310) 각각에 유입되는 복수의 제3 냉각수(W3) 각각의 유량(Q31, Q32, Q33, Q34, Q35, Q36)을 조절할 수 있다.

한편, 본 발명의 일 실시예에 따른 냉각수 공급 장치(1)는, 메인 급수부(100)에서의 제1 냉각수(W1)의 유량(Q1)을 조절할 뿐 아니라(도 7의 단계 S151 내지 S156), 필요한 경우, 복수의 공정 장비(C) 각각으로 공급되는 복수의 제2 냉각수(W2) 각각의 유량(Q2)을 추가적으로 조절할 수도 있다.

도 11은 본 발명의 일 실시예에 따른 냉각수 공급 장치에서 서브 급수부가 공급하는 제2 냉각수의 유량을 조절하는 예를 나타내는 순서도이고, 도 12는 본 발명의 일 실시예에 따른 냉각수 공급 장치에서 서브 급수부가 공급하는 제2 냉각수의 유량을 조절하는 예를 나타내는 도면이다.

도 11에 도시된 바와 같이, 제어부(500)는 메인 급수 배관(110)을 통해 유입 또는 공급되는 제1 냉각수(W1)의 유량(Q1)을 조절할 뿐 아니라(단계 S151 내지 S156), 필요한 경우, 복수의 공정 장비(C)로 공급되는 복수의 제2 냉각수(W2) 각각의 유량(Q2)을 추가적으로 조절할 수도 있다(S158).

즉, 도 11 및 도 12에 도시된 바와 같이, 제어부(500)는 복수의 배수 측정 센서(320) 각각으로부터 측정된 복수의 제3 냉각수(W3) 각각의 온도(T31, T32, T33, T34, T35, T36) 및 유량(Q31, Q32, Q33, Q34, Q35, Q36)에 따라, 복수의 서브 급수 배관(210)에 각각 설치된 복수의 제2 급수 밸브(220, 230) 각각을 제어하여 제2 냉각수(W2) 각각의 유량(Q21, Q22, Q23, Q24, Q25, Q26)을 조절할 수 있다.

한편, 도 9 및 도 11에서는 각각, 메인 급수부(100)에서의 제1 냉각수(W1)의 유량(Q1)을 조절하고, 추가적으로 복수의 공정 장비(C) 각각으로부터 회수되는 복수의 제3 냉각수(W3) 각각의 유량(Q3) 또는 복수의 공정 장비(C) 각각으로 공급되는 복수의 제2 냉각수(W2) 각각의 유량(Q2)을 조절하는 예를 나누어 설명하고 있으나, 필요에 따라, 복수의 공정 장비(C) 각각으로부터 회수되는 복수의 제3 냉각수(W3) 각각의 유량(Q3)과, 복수의 공정 장비(C) 각각으로 공급되는 복수의 제2 냉각수(W2) 각각의 유량(Q2)을 동시에 조절할 수도 있다.

한편, 본 발명의 일 실시예에 따른 냉각수 공급 장치(1)는 복수의 공정 장비(C) 및 냉각수 공급 장치(1)에서의 누수 여부를 판단할 수 있다.

도 13은 본 발명의 일 실시예에 따른 냉각수 공급 장치에서 누수 여부를 판단하는 예를 나타내는 순서도이다.

도 13에서는 본 발명의 일 실시예에 따른 냉각수 공급 장치의 메인 배수 배관(410)에 설치된 누수 감지 센서(420)를 이용하여 복수의 공정 장비(C) 및 냉각수 공급 장치(1)에서의 누수 여부를 판단하는 과정을 나타내고 있다.

도 5 및 도 13에 도시된 바와 같이, 복수의 배수 측정 센서(320)가 복수의 제3 냉각수(W3) 각각의 온도(T31, T32, T33, T34, T35, T36) 및 유량(Q31, Q32, Q33, Q34, Q35, Q36)을 측정하고, 급수 측정 센서(120)가 제1 냉각수(W1)의 온도(T1) 및 유량(Q1)을 측정한 후(도 5의 단계 S151 내지 S153), 누수 감지 센서(420)는 제4 냉각수(W4)의 유량(Q4)을 측정할 수 있다(S156).

그리고, 제어부(500)는 급수 측정 센서(120)로부터 측정된 제1 냉각수(W1)의 유량(Q1), 복수의 배수 측정 센서(320) 각각으로부터 측정된 복수의 제3 냉각수(W3) 각각의 유량(Q3) 및 누수 감지 센서(420)로부터 측정된 제4 냉각수(W4)의 유량(Q4)을 비교할 수 있다(S157).

그리고, 제어부(500)는, 비교 결과에 따라, 복수의 공정 장비(C) 및 냉각수 공급 장치(1)에서의 누수 여부를 판단할 수 있다(S158). 예를 들어, 제1 냉각수(W1)의 유량(Q1)보다 복수의 제3 냉각수(W3) 각각의 유량(Q3)의 합이 적은 경우, 복수의 공정 장비(C)에 누수가 발생한다고 판단할 수 있고, 복수의 제3 냉각수(W3) 각각의 유량(Q3)의 합보다 제4 냉각수(W4)의 유량(Q4)이 적은 경우, 냉각수 공급 장치(1)에 누수가 발생한다고 판단할 수 있다.

단계 S158에서의 판단 결과, 복수의 공정 장비(C) 또는 냉각수 공급 장치(1)에서의 누수가 없다고 판단되는 경우(단계 S158의 아니오), 도 5에서와 동일하게 단계 S154 및 단계 S155를 수행할 수 있다.

이와 반대로, 단계 S158에서의 판단 결과, 복수의 공정 장비(C) 또는 냉각수 공급 장치(1)에서의 누수가 있고 판단되는 경우(단계 S158의 예), 누수에 대한 조치를 취할 수 있다.

바람직하게는, 복수의 공정 장비(C) 및 냉각수 공급 장치(1)에서 누수가 있다고 판단되는 경우, 제어부(500)는 글로브 밸브(140)를 제어하여 외부(공장 측)로부터 제1 냉각수(W1)의 유입을 차단할 수 있다.

한편, 본 명세서와 도면에는 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 개시하였으며, 비록 특정 용어들이 사용되었으나, 이는 단지 본 발명의 기술 내용을 쉽게 설명하고 발명의 이해를 돕기 위한 일반적인 의미에서 사용된 것이지, 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것은 아니다. 여기에 개시된 실시예 외에도 본 발명의 기술적 사상에 바탕을 둔 다른 변형예들이 실시 가능하다는 것은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명한 것이다.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
1: 냉각수 공급 장치
100: 메인 급수부 110: 메인 급수 배관
120: 급수 측정 센서 130: 제1 급수 밸브
140: 글로브 밸브 200: 서브 급수부
210: 서브 급수 배관 220, 230: 제2 급수 밸브
300: 서브 배수부 310: 서브 배수 배관
320: 배수 측정 센서 330: 배수 밸브
400: 메인 배수부 410: 메인 배수 배관
420: 누수 감지 센서

Claims (14)

1. 외부로부터 제1 냉각수가 유입되는 메인 급수 배관, 상기 메인 급수 배관에 설치되어 상기 제1 냉각수의 온도 및 유량을 측정하는 급수 측정 센서, 상기 메인 급수 배관에서 상기 급수 측정 센서의 후단에 설치되어 하기 서브 급수부로 공급되는 상기 제1 냉각수의 유량을 조절하는 제1 급수 밸브, 상기 메인 급수 배관에서 상기 급수 측정 센서의 전단에 설치되어 외부로부터 유입되는 상기 제1 냉각수의 유량을 조절하는 글로브 밸브가 구비된 메인 급수부;
   일단은 상기 메인 급수부에 연결되고 타단은 복수의 공정 장비 각각에 연결되며, 상기 메인 급수부로부터 유입된 상기 제1 냉각수를 복수의 제2 냉각수로 분기하여 상기 복수의 공정 장비 각각에 공급하는 복수의 서브 급수 배관이 구비된 서브 급수부;
   일단은 상기 복수의 공정 장비 각각에 연결되어 상기 복수의 공정 장비 각각으로부터 복수의 제3 냉각수를 회수하는 복수의 서브 배수 배관, 상기 복수의 서브 배수 배관에서 상기 복수의 공정 장비 각각에 인접하는 위치에 각각 설치되어 상기 복수의 제3 냉각수 각각의 온도 및 유량을 측정하는 복수의 배수 측정 센서가 구비된 서브 배수부;
   상기 서브 배수부의 타단에 연결되며, 상기 서브 배수부로부터 유입된 상기 복수의 제3 냉각수가 혼합된 제4 냉각수를 상기 외부로 배출하는 메인 배수 배관이 구비된 메인 배수부; 및
   상기 메인 급수부, 상기 서브 급수부, 상기 서브 배수부 및 상기 메인 배수부의 동작을 제어하는 제어부를 포함하며,
   상기 제어부는,
   상기 복수의 배수 측정 센서 각각으로부터 측정된 상기 복수의 제3 냉각수 각각의 온도 및 유량으로부터 상기 제1 냉각수의 온도 및 유량을 산출하고, 상기 급수 측정 센서로부터 실제 측정된 상기 제1 냉각수의 온도 및 유량과 비교한 후, 상기 급수 측정 센서로부터 측정된 상기 제1 냉각수의 온도 및 유량에 따라, 상기 제1 급수 밸브를 제어하여 상기 서브 급수부로 공급되는 상기 제1 냉각수의 유량을 조절하고, 상기 글로브 밸브를 제어하여 외부로부터 유입되는 상기 제1 냉각수의 유량을 조절하는 것을 특징으로 하는 냉각수 공급 장치.
2. 삭제
3. 삭제
4. 제 1 항에 있어서,
   상기 서브 배수부는,
   상기 복수의 서브 배수 배관에서 상기 복수의 공정 장비 각각과 상기 복수의 배수 측정 센서 각각의 사이에 각각 설치되며, 상기 복수의 배수 측정 센서 각각으로부터 측정된 상기 복수의 제3 냉각수 각각의 온도 및 유량에 따라 상기 복수의 제3 냉각수 각각의 유량을 조절하는 복수의 배수 밸브를 더 포함하며,
   상기 제어부는,
   상기 복수의 배수 측정 센서 각각으로부터 측정된 상기 복수의 제3 냉각수 각각의 온도 및 유량에 따라, 상기 복수의 배수 밸브 각각을 제어하여 상기 복수의 서브 배수 배관 각각에 유입되는 상기 복수의 제3 냉각수 각각의 유량을 조절하는 것을 특징으로 하는 냉각수 공급 장치.
5. 제 1 항에 있어서,
   상기 서브 급수부는,
   상기 복수의 서브 급수 배관에 각각 설치되며, 상기 복수의 배수 측정 센서 각각으로부터 측정된 상기 복수의 제3 냉각수 각각의 온도 및 유량에 따라 상기 복수의 제2 냉각수 각각의 유량을 조절하는 복수의 제2 급수 밸브를 더 포함하며,
   상기 제어부는,
   상기 복수의 배수 측정 센서 각각으로부터 측정된 상기 복수의 제3 냉각수 각각의 온도 및 유량에 따라, 상기 복수의 제2 급수 밸브 각각을 제어하여 상기 제2 냉각수 각각의 유량을 조절하는 것을 특징으로 하는 냉각수 공급 장치.
6. 제 1 항에 있어서,
   상기 메인 배수부는,
   상기 메인 배수 배관에 설치되며, 상기 제4 냉각수의 유량을 측정하는 누수 감지 센서를 더 포함하며,
   상기 제어부는,
   상기 급수 측정 센서로부터 측정된 상기 제1 냉각수의 유량, 상기 복수의 배수 측정 센서 각각으로부터 측정된 상기 복수의 제3 냉각수 각각의 유량 및 상기 누수 감지 센서로부터 측정된 상기 제4 냉각수의 유량을 비교하여, 상기 복수의 공정 장비 및 상기 냉각수 공급 장치에서의 누수 여부를 판단하는 것을 특징으로 하는 냉각수 공급 장치.
7. 제 6 항에 있어서,
   상기 제어부는,
   상기 누수 여부의 판단 결과, 상기 복수의 공정 장비 및 상기 냉각수 공급 장치에서 누수가 있다고 판단되는 경우, 상기 글로브 밸브를 제어하여 상기 제1 냉각수의 유입을 차단하는 것을 특징으로 하는 냉각수 공급 장치.
8. 외부로부터 메인 급수 배관으로 제1 냉각수를 유입시키는 단계;
   상기 메인 급수 배관으로부터 유입된 상기 제1 냉각수를 복수의 공정 장비 각각에 연결된 복수의 서브 급수 배관을 통해 복수의 제2 냉각수로 분기하여 상기 복수의 공정 장비 각각에 공급하는 단계;
   상기 복수의 공정 장비 각각에 연결된 복수의 서브 배수 배관을 통해 상기 복수의 공정 장비 각각으로부터 복수의 제3 냉각수를 회수하는 단계;
   상기 복수의 서브 배수 배관으로부터 유입된 상기 복수의 제3 냉각수가 혼합된 제4 냉각수를 메인 배수 배관을 통해 상기 외부로 배출하는 단계; 및
   제어부가 상기 복수의 서브 배수 배관 각각으로부터 측정된 상기 복수의 제3 냉각수 각각의 온도 및 유량에 따라, 상기 메인 급수 배관으로부터 유입되는 상기 제1 냉각수의 유량을 조절하는 단계를 포함하며,
   상기 제1 냉각수의 유량을 조절하는 단계는,
   상기 복수의 서브 배수 배관 각각에 설치된 복수의 배수 측정 센서가 상기 복수의 제3 냉각수 각각의 온도 및 유량을 측정하는 단계;
   상기 제어부가 상기 복수의 배수 측정 센서 각각으로부터 측정된 상기 복수의 제3 냉각수 각각의 온도 및 유량으로부터 상기 제1 냉각수의 온도 및 유량을 산출하는 단계;
   상기 메인 급수 배관에 설치된 급수 측정 센서가 상기 메인 급수 배관을 통해 유입되는 상기 제1 냉각수의 온도 및 유량을 측정하는 단계;
   상기 제어부가 상기 산출된 상기 제1 냉각수의 온도 및 유량과, 상기 급수 측정 센서로부터 측정된 상기 제1 냉각수의 온도 및 유량과 비교하는 단계;
   상기 제어부가 상기 비교 결과에 따라 상기 메인 급수 배관에서 상기 급수 측정 센서의 후단에 설치된 제1 급수 밸브를 제어하여 상기 복수의 서브 급수 배관으로 공급되는 상기 제1 냉각수의 유량을 조절하는 단계; 및
   상기 제어부가 상기 급수 측정 센서로부터 측정된 상기 제1 냉각수의 온도 및 유량에 따라, 상기 메인 급수 배관에서 상기 급수 측정 센서의 전단에 설치된 글로브 밸브를 제어하여 외부로부터 유입되는 상기 제1 냉각수의 유량을 조절하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 냉각수 공급 장치의 제어 방법.
9. 삭제
10. 삭제
11. 제 8 항에 있어서,
    상기 제1 냉각수의 유량을 조절하는 단계 이후에,
    상기 제어부가, 상기 복수의 배수 측정 센서 각각으로부터 측정된 상기 복수의 제3 냉각수 각각의 온도 및 유량에 따라, 상기 복수의 서브 배수 배관에서 상기 복수의 공정 장비 각각과 상기 복수의 배수 측정 센서 각각의 사이에 각각 설치된 복수의 배수 밸브 각각을 제어하여 상기 복수의 서브 배수 배관 각각에 유입되는 상기 복수의 제3 냉각수 각각의 유량을 조절하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 냉각수 공급 장치의 제어 방법.
12. 제 8 항에 있어서,
    상기 제1 냉각수의 유량을 조절하는 단계 이후에,
    상기 제어부가, 상기 복수의 배수 측정 센서 각각으로부터 측정된 상기 복수의 제3 냉각수 각각의 온도 및 유량에 따라, 상기 복수의 서브 급수 배관에 각각 설치된 복수의 제2 급수 밸브 각각을 제어하여 상기 제2 냉각수 각각의 유량을 조절하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 냉각수 공급 장치의 제어 방법.
13. 제 8 항에 있어서,
    상기 제1 냉각수의 온도 및 유량을 측정하는 단계 이후에,
    상기 메인 배수 배관에 설치된 누수 감지 센서가 상기 제4 냉각수의 유량을 측정하는 단계;
    상기 제어부가, 상기 급수 측정 센서로부터 측정된 상기 제1 냉각수의 유량, 상기 복수의 배수 측정 센서 각각으로부터 측정된 상기 복수의 제3 냉각수 각각의 유량 및 상기 누수 감지 센서로부터 측정된 상기 제4 냉각수의 유량을 비교하는 단계; 및
    상기 제어부가, 상기 비교 결과에 따라, 상기 복수의 공정 장비 및 상기 냉각수 공급 장치에서의 누수 여부를 판단하는 것을 특징으로 하는 냉각수 공급 장치의 제어 방법.
14. 제 13 항에 있어서,
    상기 제어부가, 상기 누수 여부의 판단 결과, 상기 복수의 공정 장비 및 상기 냉각수 공급 장치에서 누수가 있다고 판단되는 경우, 상기 글로브 밸브를 제어하여 상기 제1 냉각수의 유입을 차단하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 냉각수 공급 장치의 제어 방법.

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