KR101827732B1 - Optimizing method for brazing between thermoelectric materials and electrode, selecting method for brazing filler using the method, brazing method between thermoelectric materials and electrode and device for brazing between thermoelectric materials and electrode - Google Patents

Optimizing method for brazing between thermoelectric materials and electrode, selecting method for brazing filler using the method, brazing method between thermoelectric materials and electrode and device for brazing between thermoelectric materials and electrode Download PDF

Info

Publication number
KR101827732B1
KR101827732B1 KR1020170046690A KR20170046690A KR101827732B1 KR 101827732 B1 KR101827732 B1 KR 101827732B1 KR 1020170046690 A KR1020170046690 A KR 1020170046690A KR 20170046690 A KR20170046690 A KR 20170046690A KR 101827732 B1 KR101827732 B1 KR 101827732B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
brazing
electrode
resistance
temperature
thermoelectric material
Prior art date
Application number
KR1020170046690A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
박상현
유충열
윤하나
조병진
Original Assignee
한국에너지기술연구원
한국과학기술원
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 한국에너지기술연구원, 한국과학기술원 filed Critical 한국에너지기술연구원
Priority to KR1020170046690A priority Critical patent/KR101827732B1/en
Application granted granted Critical
Publication of KR101827732B1 publication Critical patent/KR101827732B1/en

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K1/00—Soldering, e.g. brazing, or unsoldering
    • B23K1/0008—Soldering, e.g. brazing, or unsoldering specially adapted for particular articles or work
    • B23K1/0016—Brazing of electronic components
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K3/00—Tools, devices, or special appurtenances for soldering, e.g. brazing, or unsoldering, not specially adapted for particular methods
    • B23K3/08—Auxiliary devices therefor
    • B23K3/085—Cooling, heat sink or heat shielding means
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K31/00—Processes relevant to this subclass, specially adapted for particular articles or purposes, but not covered by only one of the preceding main groups
    • B23K31/12—Processes relevant to this subclass, specially adapted for particular articles or purposes, but not covered by only one of the preceding main groups relating to investigating the properties, e.g. the weldability, of materials
    • B23K31/125—Weld quality monitoring
    • B23K2201/36—

Abstract

The present invention provides an autonomous surface vehicle (ASV) for examination of shallow sea, including: a buoy body including a body floating on a water surface and a rod longitudinally penetrating a center portion of the body and coupled to the center portion; a position receiver for receiving position information of a spot at which the buoy body is positioned from a satellite in real time; an acoustic detector coupled to the rod so as to detect an undersea geographical feature, and positioned on a bottom surface of the body; a plurality of drivers for moving the buoy body in accordance with predetermined coordinate information; a sensor for sensing movement of the buoy body and the acoustic detector; and a controller for controlling the position receiver, the acoustic detector, the driver, and the sensor.

Description

열전소재의 전극 브레이징 공정 최적화 방법, 이를 이용한 브레이징 필러 선정방법, 열전소재의 전극 브레이징 방법 및 열전소재의 전극 브레이징 장치{OPTIMIZING METHOD FOR BRAZING BETWEEN THERMOELECTRIC MATERIALS AND ELECTRODE, SELECTING METHOD FOR BRAZING FILLER USING THE METHOD, BRAZING METHOD BETWEEN THERMOELECTRIC MATERIALS AND ELECTRODE AND DEVICE FOR BRAZING BETWEEN THERMOELECTRIC MATERIALS AND ELECTRODE}TECHNICAL FIELD [0001] The present invention relates to an electrode brazing method for thermoelectric materials, a method for selecting a brazing filler using the same, an electrode brazing method for thermoelectric materials, and an electrode brazing device for thermoelectric materials. METHOD BETWEEN THERMOELECTRIC MATERIALS AND ELECTRODE AND DEVICE FOR BRAZING BETWEEN THERMOELECTRIC MATERIALS AND ELECTRODE}

본 발명은 열전소재와 전극을 접합하는 방법에 관한 것으로, 더욱 자세하게는 열전소재에 전극을 브레이징 접합하는 공정을 최적화 하는 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a method of bonding a thermoelectric material and an electrode, and more particularly, to a method of optimizing a process of brazing an electrode to a thermoelectric material.

일반적으로 열전 소재는 열전소재는 열에너지를 전기에너지로 변환할 수 있는 재료로서 열전발전모듈을 구성하여 열전발전에 사용된다. 수십 년간 저효율 에너지 변환 기술로 알려진 열전발전기술은 중온(300~700℃) 영역에서 10%이상의 효율이 가능한 것으로 보고되고 있으며 신규 에너지 재생기술로 크게 주목받으며 국내외에서 활발히 연구가 진행되고 있다.Generally, thermoelectric material is thermoelectric material that can convert thermal energy into electric energy and is used in thermoelectric power generation by constructing thermoelectric module. Thermoelectric power generation technology, known as low-efficiency energy conversion technology for several decades, has been reported to be capable of efficiency of more than 10% in the mid-temperature range (300 to 700 ° C) and has been actively studied at home and abroad.

열전발전을 위한 열전발전모듈을 구성하기 위해서는 열전소재에 전극을 부착하여 사용하여야만 한다. 솔더링과 디퓨전 본딩 및 브레이징 등의 다양한 접합 공정이 적용이 가능하지만, 이 중 경납땜이라고 불리는 브레이징 필러를 사용하는 브레이징 접합이 주로 사용되고 있다.In order to construct a thermoelectric module for thermoelectric power generation, electrodes should be attached to the thermoelectric material. Although various bonding processes such as soldering and diffusion bonding and brazing are applicable, brazing bonding using a brazing filler called brazing is mainly used.

중온열전발전모듈의 경우 접합 시 공정온도도 사용온도에 따라 높아지게 된다. 중온(300~700℃) 영역에서 사용하기 위해서는 접합공정온도가 실제 사용온도보다 높아야 안정된 접합을 얻을 수 있다. 따라서 실제 사용되는 온도보다 공정온도가 높기 때문에 공정이 완료되는 시간을 정확히 확인하여 열전소재가 고온에 노출되는 시간을 최소화하는 것이 필요하다.In the case of the mesothermal thermoelectric power generation module, the process temperature at the time of bonding is also increased according to the use temperature. For use in the mid-temperature range (300 to 700 ° C), the bonding process temperature must be higher than the actual use temperature to obtain stable bonding. Therefore, since the process temperature is higher than the actual used temperature, it is necessary to accurately confirm the completion time of the process so as to minimize the exposure time of the thermoelectric material to high temperatures.

일본 공개특허 2004-82151Japanese Patent Application Laid-Open No. 2004-82151

본 발명은 전술한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로서 열전소재에 전극을 브레이징 접합하는 공정을 최적화 하는 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a method for optimizing a process of brazing an electrode to a thermoelectric material.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 의한 열전소재의 전극 브레이징 공정 최적화 방법은, 열전소재와 전극 사이에 브레이징 필러를 사용하여 브레이징 접합을 수행하는 과정에서, 승온되는 온도 및 접합 대상물 양단 사이의 저항을 연속적으로 측정하는 단계; 측정된 온도와 저항을 시간에 따라 배열하는 단계; 및 배열된 온도 변화 및 저항 변화를 기준으로 최적 공정 조건을 산출하는 단계를 포함한다.According to another aspect of the present invention, there is provided a method of optimizing an electrode brazing process for a thermoelectric material, the method comprising: during a brazing process using a brazing filler between a thermoelectric material and an electrode, Continuously measuring; Arranging the measured temperature and resistance with time; And calculating an optimum process condition based on the arranged temperature change and the resistance change.

본 발명은 종래에 단순히 브레이징 필러에 대한 접합을 기준으로 설정된 공정 최고온도인 권장온도에서 브레이징을 수행하였던 것에서 벗어나, 실시간으로 측정된 저항과 온도 결과를 기준으로 최적의 공정 조건을 도출하였다.The present invention derives optimal process conditions based on resistance and temperature results measured in real time, apart from performing brazing at a recommended temperature which is the highest temperature of the process, which is conventionally established based on merely bonding to the brazing filler.

이때, 브레이징 접합을 위하여 승온하는 과정에서 최고 온도가 브레이징 필러에 대한 권장온도인 것이 좋다. 브레이징 필러의 권장온도 이상에서 접합을 수행하는 경우에 접합품질이 나빠져서 사용할 수 없으므로 브레이징 필러의 권장온도 이상으로 승온하지 않는 것이 바람직하다. 그리고 브레이징 필러의 권장온도보다 낮은 온도에서 최적의 온도가 설정되는 경우에는 문제가 없지만, 권장온도에서 곧바로 최소의 저항 값을 나타내지 않는 경우에는 권장온도를 유지하는 시간까지 확인하여야 최적의 공정 조건을 도출할 수 있으므로, 소정 시간 이상 권장온도를 유지하면서 최소 저항에 도달하는 시간을 확인하는 것이 바람직하다.At this time, it is preferable that the highest temperature is the recommended temperature for the brazing filler during the heating process for the brazing joint. It is preferable not to raise the temperature higher than the recommended temperature of the brazing filler since the bonding quality is deteriorated when the bonding is performed at a temperature higher than the recommended temperature of the brazing filler. When the optimum temperature is set at a temperature lower than the recommended temperature of the brazing filler, there is no problem. However, if the resistance value does not show the minimum value immediately after the recommended temperature, It is preferable to confirm the time for reaching the minimum resistance while maintaining the recommended temperature for a predetermined time or more.

본 발명의 두 번째 형태에 의한 열전소재의 전극 브레이징을 위한 브레이징 필러 선정방법은, 열전소재와 전극의 재질을 특정하는 단계; 재질이 특정된 열전소재와 전극의 브레이징 필러로 사용될 하나 이상의 후보군을 선정하는 단계; 상기 후보군에 대하여, 상기한 열전소재의 전극 브레이징 공정 최적화 방법 중 어느 하나의 방법으로 최적 공정조건을 도출하는 단계; 상기 후보군에 대하여 도출된 최적 공정조건에서 열전소재와 전극에 대하여 브레이징을 수행하는 단계; 브레이징된 시편에 대하여 열전소재와 전극 사이의 접촉저항을 측정하는 단계; 및 측정된 접촉저항을 기준으로 상기 후보군 중에서 최적의 브레이징 필러를 선정하는 단계를 포함한다.A method for selecting a brazing filler for electrode brazing of a thermoelectric material according to a second aspect of the present invention includes the steps of: specifying a material of a thermoelectric material and an electrode; Selecting at least one candidate group to be used as a brazing filler of an electrode and a thermoelectric material having a specified material; Deriving an optimal process condition for the candidate group by any one of the methods for optimizing the electrode brazing process of the thermoelectric material; Performing brazing on the thermoelectric material and the electrode under the optimal process conditions derived for the candidate group; Measuring the contact resistance between the thermoelectric material and the electrode with respect to the brazed specimen; And selecting the best brazing filler among the candidate groups based on the measured contact resistance.

본 발명은 브레이징 필러에 대해서 열전소재와 전극의 재질에 따른 최적의 공정 조건을 도출한 뒤에, 최적의 공정 조건으로 브레이징 접합된 시편의 접촉저항을 측정하여 최적의 브레이징 필러를 선정함으로써, 종래에 최적화 되지 못한 브레이징 공정으로 접합된 시편을 기준으로 브레이징 필러를 선택하였던 것과는 차이가 있다.The present invention relates to a brazing filler which is obtained by deriving optimum process conditions according to the material of a thermoelectric material and an electrode and then measuring the contact resistance of a brazed specimen under optimum process conditions to select an optimal brazing filler, And the brazing filler was selected based on the specimen bonded by the unsuccessful brazing process.

본 발명의 세 번째 형태에 의한 열전소재의 전극 브레이징 방법은, 열전소재와 전극 사이에 브레이징 필러를 사용하여 브레이징 접합을 수행하는 과정에서, 접합 대상물 양단 사이의 저항을 연속적으로 측정하며, 측정된 저항의 변화량이 소정의 수치에 해당할 때에 가열을 멈추고 온도를 유지하여 브레이징을 수행하는 것을 특징으로 한다.The method for brazing an electrode of a thermoelectric material according to a third aspect of the present invention is characterized in that in the process of performing brazing using a brazing filler between a thermoelectric material and an electrode, resistance between both ends of the object is continuously measured, The heating is stopped and the temperature is maintained to perform the brazing.

본 발명은 실시간 측정된 저항의 변화량을 기준으로 승온을 중단하는 시기를 결정하여, 최적의 공정온도에서 브레이징을 수행할 수 있다.The present invention can determine the timing of stopping the temperature rise based on the change amount of the resistance measured in real time, and perform brazing at the optimum process temperature.

이때, 브레이징 초기의 저항 변화에 의해 영향 받는 것을 방지하기 위하여 저항의 변화량을 기준으로 가열을 멈추는 과정이 측정된 저항이 소정 수치 이하인 경우에만 수행되도록 하는 것이 바람직하다.In this case, in order to prevent the resistance from being affected by the resistance change at the initial stage of brazing, it is preferable that the process of stopping the heating based on the change amount of the resistance is performed only when the measured resistance is less than the predetermined value.

그리고 브레이징 접합을 위하여 승온하는 과정에서 최고 온도가 브레이징 필러에 대한 공정 최고온도인 권장온도이고, 최고 온도까지 승온이 진행된 경우에 승온을 중단한 상태에서 측정된 저항의 변화량이 소정의 수치에 해당할 때까지 온도를 유지하는 것이 좋다. 권장온도에 이를 때까지 저항이 계속 감소하는 경우에는 권장온도를 유지하여 최적화 하는 것이 좋다.And the maximum temperature in the process of raising the brazing filler is the recommended maximum temperature of the brazing filler, and when the temperature is increased up to the maximum temperature, It is good to keep the temperature until. If the resistance continues to decrease until it reaches the recommended temperature, it is advisable to optimize it by maintaining the recommended temperature.

본 발명의 네 번째 형태에 의한 열전소재의 전극 브레이징 장치는, 열전소재에 전극을 브레이징 접합하는 장치에 있어서, 브레이징 접합이 수행되는 챔버; 접합 대상물인 열전소재와 전극이 밀착되도록 양단에서 가압하는 가압수단; 접합 대상물을 가열하는 가열부; 및 접합 대상물의 양단에 각각 접하는 측정전극과 상기 측정전극 사이의 저항을 측정하는 저항측정기를 포함하여 구성된 저항측정수단을 구비한 것을 특징으로 한다.An electrode brazing apparatus for a thermoelectric material according to a fourth aspect of the present invention is an apparatus for brazing an electrode to a thermoelectric material, comprising: a chamber in which brazing is performed; A pressing means for pressing the thermoelectric material as a bonding object at both ends so that the electrode and the thermoelectric material are closely contacted; A heating unit for heating the object to be bonded; And a resistance measuring unit configured to include a measuring electrode which is in contact with both ends of the object to be bonded and a resistance measuring unit which measures a resistance between the measuring electrode and the measuring electrode.

이러한 열전소재의 전극 브레이징 장치를 사용하여 상기한 열전소재의 전극 브레이징 공정 최적화 방법과 열전소재의 전극 브레이징을 위한 브레이징 필러 선정방법 및 열전소재의 전극 브레이징 방법을 적용할 수 있다.The method of optimizing the electrode brazing process of the thermoelectric material, the method of selecting the brazing filler for the electrode brazing of the thermoelectric material, and the electrode brazing method of the thermoelectric material can be applied by using the electrode brazing device of the thermoelectric material.

실제 적용 환경에서 고온부와 저온부가 구분되는 열전소재에 대하여 정확한 저항을 측정하기 위하여, 가열부가 접합 대상물의 일단 측에서 접합 대상물을 가열하고, 접합 대상물의 타단 측에는 측정전극을 냉각하는 냉각부를 더 포함하는 것이 바람직하다.In order to measure an accurate resistance of the thermoelectric material in which the high temperature portion and the low temperature portion are distinguished in an actual application environment, the heating portion further includes a cooling portion for heating the object to be bonded at one end of the object to be bonded and for cooling the measuring electrode at the other end of the object to be bonded .

이때, 측정전극 중에 하나는 상기 가열부에 접하여 위치하고, 다른 하나는 상기 냉각부에 접하여 위치하되, 가열부에 접하여 위치하는 측정전극의 끝이 연장되어 상기 냉각부에 접하도록 구성함으로써, 가열부 측에 위치하는 측정전극도 함께 냉각할 수 있다.At this time, one of the measurement electrodes is positioned in contact with the heating unit, and the other is positioned in contact with the cooling unit, and the end of the measurement electrode positioned in contact with the heating unit extends to contact the cooling unit, The measuring electrode located at the center can also be cooled.

접합 대상물의 양단에서 측정된 저항의 변화량을 계산하여 평가하는 저항변화량 평가수단을 더 포함하는 경우에 상기한 열전소재의 전극 브레이징 방법을 적용하기에 더욱 적합하다.It is more suitable for applying the above-described electrode brazing method of thermoelectric material in the case of further comprising resistance change amount evaluation means for calculating and evaluating a change amount of resistance measured at both ends of the object to be bonded.

상술한 바와 같이 구성된 본 발명은, 브레이징 필러를 사용하여 열전소재에 전극을 브레이징 접합할 때에 양단의 저항을 측정함으로써, 열전소재와 전극 및 브레이징 필러에 따른 브레이징 접합의 최적 공정을 도출할 수 있는 효과가 있다.The present invention constructed as described above can measure the resistance at both ends when the electrode is brazed to the thermoelectric material using the brazing filler so that an optimum process of brazing according to the thermoelectric material and the electrode and the brazing filler can be derived .

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 열전소재에 전극을 브레이징하는 장치를 도시한 모식도이다.
도 2는 도 1에서 브레이징이 수행되는 부분을 확대한 도면이다.
도 3 내지 도 5는 본 발명의 실시예에 따른 열전소재의 전극 브레이징 공정 최적화 방법을 적용하기 위하여 온도와 저항을 시간에 따라 배열한 그래프이다.
도 6 내지 도 8은 본 발명의 실시예에 따른 열전소재의 전극 브레이징 공정 최적화 방법에서 도출된 최적의 공정 조건에서 브레이징 접합을 수행한 뒤에 열전소재와 Cu 전극 사이의 접촉저항을 측정한 그래프이다.1 is a schematic diagram showing an apparatus for brazing an electrode to a thermoelectric material according to an embodiment of the present invention.
Fig. 2 is an enlarged view of a portion where brazing is performed in Fig. 1. Fig.
FIGS. 3 to 5 are graphs illustrating the temperature and resistance of the thermoelectric material according to the present invention, in order to apply the method of optimizing the electrode brazing process according to the present invention.
FIGS. 6 to 8 are graphs showing contact resistance between a thermoelectric material and a Cu electrode after performing brazing under optimal process conditions derived from the method of optimizing an electrode brazing process of a thermoelectric material according to an embodiment of the present invention.

첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 실시예를 상세히 설명한다. DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Referring to the accompanying drawings, embodiments of the present invention will be described in detail.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 열전소재에 전극을 브레이징하는 장치를 도시한 모식도이고, 도 2는 브레이징이 수행되는 부분을 확대한 도면이다.FIG. 1 is a schematic view showing an apparatus for brazing an electrode to a thermoelectric material according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is an enlarged view of a portion where brazing is performed.

도시된 열전소재의 전극 브레이징 장치는 이하에서 소개될 본 발명의 열전소재의 전극 브레이징 공정 최적화 방법과 열전소재의 전극 브레이징을 위한 브레이징 필러 선정방법 및 열전소재의 전극 브레이징 방법에 모두 적용될 수 있다.The electrode brazing apparatus of the thermoelectric material can be applied to the method of optimizing the electrode brazing process of the thermoelectric material of the present invention, the brazing filler selecting method for the electrode brazing of the thermoelectric material, and the electrode brazing method of the thermoelectric material.

본 실시예의 열전소재의 전극 브레이징 장치는 진공챔버(100) 내에 설치되며, 브레이징 필러를 녹여서 접착하기 위한 카트리지 히터가 장착된 블록으로 구성된 가열부(200)와 온도 측정을 위한 온도 측정장비(400)를 구비하며, 원활한 접합을 위하여 양단에서 압력을 가할 수 있는 구성인 점에서는 종래의 브레이징 장치와 동일하다.The electrode brazing apparatus for thermoelectric material of the present embodiment includes a heating unit 200 installed in a vacuum chamber 100 and composed of a block equipped with a cartridge heater for melting and bonding a brazing filler, And is similar to a conventional brazing device in that it is configured to apply pressure at both ends for smooth joining.

다만, 브레이징 접합이 수행되는 동안 열전소재 양단에 전류를 인가하여 저항을 측정하기 위한 저항측정수단(500)을 구비하며, 저항측정과정에서 가열부측의 고온이 측정된 저항에 영향을 미치지 않도록 가열부(200)의 반대편에는 냉각부(300)를 설치하였다.It is preferable that the resistance measuring means 500 for measuring the resistance by applying a current to both ends of the thermoelectric material while the brazing joint is performed is provided. In order to prevent the high temperature on the side of the heating portion from affecting the measured resistance, (300) is provided on the opposite side of the cooling unit (200).

종래의 기술과 차이가 있는 부분을 더 구체적으로 설명하면, 우선 저항측정수단(500)은 브레이징 접합이 수행되는 대상물질이 접하는 면에 설치된 한 쌍의 측정전극(510, 520)과 측정전극(510, 520)에 연결되어 실시간으로 저항을 측정할 수 있는 저항측정기(530)를 포함하여 구성된다. First, the resistance measuring unit 500 includes a pair of measuring electrodes 510 and 520 and a pair of measuring electrodes 510 and 520, which are provided on a surface of the object to be brazed, And a resistance measuring unit 530 connected to the resistance measuring unit 520 to measure resistance in real time.

측정전극(510, 520)은 도 2에 도시된 것과 같이, 열전소재(10)의 양쪽에 브레이징 접합되는 전극(20)에 접촉하고 있다. 그림에는 도시되지 않았지만, 열전소재(10)와 전극(20)의 사이에는 브레이징 필러가 삽입되어 있으며, 브레이징이 수행되어 브레이징 필러가 용융되어 열전소재(10)와 전극(20)을 접합하는 동안에 측정전극(510, 520) 사이에 저항을 측정한다.The measurement electrodes 510 and 520 are in contact with the electrode 20 brazed to both sides of the thermoelectric material 10, as shown in Fig. Although not shown in the drawing, a brazing filler is inserted between the thermoelectric material 10 and the electrode 20, and brazing is performed to melt the brazing filler, and the thermoelectric material 10 and the electrode 20 are bonded The resistance is measured between the electrodes 510 and 520.

측정전극(510, 520)은 Mo 재질을 사용하였으며, 측정기(530)로는 세밀한 측정이 가능한 나노볼트미터에 펄스 직류 전류원을 함께 사용하였다.The measurement electrodes 510 and 520 were made of Mo and the measuring device 530 was used together with a pulse DC current source in a nanovolt meter capable of fine measurement.

냉각부(300)는 가열부(200)의 반대쪽에 위치하며, 저온부측에 접하는 측정전극(520)에 접하는 냉각부재와 이를 냉각하기 위한 열전냉각모듈(310)과 열전냉각모듈에서 발생하는 열을 해소하기 위한 방열핀과 방열팬(320)을 포함하여 구성된다. 브레이징을 수행하는 과정에서 측정전극(510, 520)의 온도가 함께 상승하기 때문에 저항측정 과정에서 오차가 커지는 문제가 있으나, 냉각부(300)를 통해서 측정전극(510, 520)을 냉각함으로써 저항 측정 오차를 줄일 수 있다. 이때, 가열부(200) 쪽에 위치하는 측정전극(510)을 연장하여 냉각부(300)에 접하도록 구성함으로써, 저항 측정에 오차가 발생하지 않도록 측정전극(510, 520)의 온도를 낮춘다. 그리고 측정전극(510, 520)을 절연하기 위한 절연층(540)이 각각 위치한다.The cooling unit 300 is located on the opposite side of the heating unit 200 and includes a cooling member contacting the measurement electrode 520 contacting the low temperature side, a thermoelectric cooling module 310 for cooling the cooling member, and heat generated from the thermoelectric cooling module And a heat dissipating fin 320 for dissipating heat. Since the temperatures of the measurement electrodes 510 and 520 rise together in the process of performing brazing, there is a problem that an error increases in the resistance measurement process. However, by cooling the measurement electrodes 510 and 520 through the cooling unit 300, Error can be reduced. At this time, the measuring electrode 510 located on the heating unit 200 side is extended to be in contact with the cooling unit 300, so that the temperature of the measuring electrodes 510 and 520 is lowered so that no error occurs in the resistance measurement. And an insulating layer 540 for insulating the measuring electrodes 510 and 520, respectively.

이하에서는 상기한 구조의 열전소재의 전극 브레이징 장치를 사용한 열전소재의 전극 브레이징 공정 최적화 방법과 열전소재의 전극 브레이징 방법에 대하여 설명한다.Hereinafter, a method of optimizing an electrode brazing process for a thermoelectric material using the electrode brazing apparatus of a thermoelectric material having the above-described structure and an electrode brazing method of a thermoelectric material will be described.

본 발명의 실시예에 따른 열전소재의 전극 브레이징 공정 최적화 방법은 열전소재가 필요이상의 고온에 노출되지 않도록 브레이징 필러에 따른 최적의 공정 조건을 찾아내는 것을 목적으로 한다.The method for optimizing an electrode brazing process for a thermoelectric material according to an embodiment of the present invention aims at finding an optimum process condition for a brazing filler so that a thermoelectric material is not exposed to a higher temperature than necessary.

구체적으로 다양 브레이징 필러를 사용하여 전극을 브레이징 접합하는 과정에서 상기한 구조의 브레이징 장치를 사용하여 온도와 저항을 실시간으로 측정하고, 측정된 온도와 저항의 변화를 시간에 따라 배열한 뒤에 최적의 온도 조건을 도출한다.Specifically, in the process of brazing the electrodes using various brazing fillers, the temperature and the resistance are measured in real time using the brazing device having the above-described structure, and the measured temperature and the change in resistance are arranged in accordance with time, Derive the condition.

Mg2Si 열전소재에 Cu 전극을 브레이징 접합하는 과정에서 브레이징 필러로서 상용의 Nicutin™와 AlSi 및 Incusil™를 각각 사용하여 본 실시예의 브레이징 공정 최적화 방법을 적용하였다.The brazing process optimization method of this embodiment was applied by using commercially available Nicutin (TM), AlSi, and Incusil (TM) as brazing fillers in the process of brazing Cu electrodes to Mg 2 Si thermoelectric materials.

표 1은 각 브레이징 필러에 대한 브레이징 접합 공정 조건을 나타낸다.Table 1 shows the brazing bonding process conditions for each brazing filler.

브레이징 필러Brazing filler NicutinNicutin AlSiAlSi IncusilIncusil 최고 온도Maximum temperature 720℃720 ℃ 650℃650 ° C 720℃720 ℃ 승온 속도Heating rate 100℃/min100 ° C / min 100℃/min100 ° C / min 100℃/min100 ° C / min 압력pressure ~0.3MPa~ 0.3 MPa ~0.3MPa~ 0.3 MPa ~0.3MPa~ 0.3 MPa 가스 분위기Gas atmosphere N2 N 2 N2 N 2 N2 N 2

브레이징 필러의 특성에 따라서 최고 온도에 일부 차이를 두었고, 나머지 공정조건은 동일하게 유지하였다. 한편, 최고 온도에 도달한 뒤에도 저항의 변화가 있을 것을 고려하여 1분간 최고 온도 상태를 유지하였다. 그리고 브레이징을 수행하는 동안 실시간으로 온도와 저항을 측정하였고, 측정된 온도와 저항을 시간에 따라 배열하였다.Depending on the characteristics of the brazing filler, there was some difference in peak temperature and the remaining process conditions remained the same. On the other hand, the maximum temperature state was maintained for 1 minute in consideration of the change of resistance even after reaching the maximum temperature. The temperature and resistance were measured in real time during brazing, and the measured temperature and resistance were arranged in time.

도 3 내지 도 5는 본 발명의 실시예에 따른 열전소재의 전극 브레이징 공정 최적화 방법을 적용하기 위하여 가열부측의 온도와 저항을 시간에 따라 배열한 그래프이다.FIGS. 3 to 5 are graphs showing the temperature and resistance of the heating unit side according to time in order to apply the method of optimizing the electrode brazing process of the thermoelectric material according to the embodiment of the present invention.

브레이징 필러의 종류에 무관하게 브레이징 공정이 진행되어 온도가 올라감에 따라서 Mg2Si 열전소재와 Cu 전극 사이의 브레이징 필러에 의한 접합이 수행되어 저항이 감소하는 것을 확인할 수 있다.As the brazing process progresses regardless of the type of brazing filler and the temperature increases, the brazing filler between the Mg 2 Si thermoelectric material and the Cu electrode is bonded and the resistance is reduced.

이때, 저항은 일정 수치까지 감소한 뒤에 유지되는 경향을 나타내고 있으며, 온도가 추가로 상승함에 따라서 저항이 약간 증가하는 것과 같은 모습도 나타나고 있다. 각 브레이징 필러에 대하여 설정된 최고온도는 브레이징 필러의 접합 특성을 기준으로 판매처에서 지정된 권장온도이며, 도시된 도면으로부터 브레이징 필러의 접합을 위하여 설정된 권장온도가 열전소재 및 전극의 저항 값에 최적온도가 아닌 것을 알 수 있다. 결국, 열전소재에 전극을 브레이징 접합하는 공정을 최적화하지 않으면, 열전소재가 불필요한 고온에 노출되어 성능 저하의 가능성이 높아지며, 오히려 전극이 접합된 열전소재의 저항특성이 나빠지는 결과를 초래함을 알 수 있다.At this time, the resistance shows a tendency to be maintained after decreasing to a certain value, and the resistance slightly increases as the temperature further increases. The maximum temperature set for each brazing filler is a recommended temperature specified by the vendor based on the bonding characteristics of the brazing filler. From the drawing, it is assumed that the recommended temperature set for bonding of the brazing filler is not the optimal temperature for the resistance value of the thermoelectric material and the electrode . As a result, if the process of brazing the electrode to the thermoelectric material is not optimized, the thermoelectric material is exposed to an unnecessary high temperature, thereby increasing the possibility of deterioration of performance. Rather, the resistance characteristic of the thermoelectric material bonded with the electrode is deteriorated. .

최적화 공정 온도를 정확하게 파악하기 위하여 저항이 일정하게 유지되는 부분을 확대하여 각 도면의 아래쪽에 표시하였다.In order to accurately determine the optimization process temperature, the portion where the resistance is kept constant is enlarged and displayed at the bottom of each drawing.

도 3과 같이, Nicutin 브레이징 필러를 사용한 경우, 권장온도인 720℃보다 낮은 675℃에서 가장 낮은 저항 값을 나타낸 뒤에 일정하게 유지되고 있다. 따라서 Nicutin 브레이징 필러를 사용하여 Mg2Si 열전소재와 Cu 전극을 브레이징하는 경우에 675℃보다 높은 온도에 브레이징 접합을 수행할 필요가 없고, 675℃가 최적화된 공정 온도임을 알 수 있다.As shown in FIG. 3, when the Nicutin brazing filler is used, the resistance value is kept constant at 675 ° C, which is lower than the recommended temperature of 720 ° C, after the lowest resistance value. Therefore, when brazing a Mg 2 Si thermoelectric material and a Cu electrode using a Nicutin brazing filler, it is unnecessary to perform brazing at a temperature higher than 675 ° C, and it can be seen that the process temperature is optimized to 675 ° C.

도 4와 같이, AlSi 브레이징 필러를 사용한 경우, 권장온도인 650℃까지 저항이 지속적으로 감소하였고, 650℃를 유지한 상태에서 10초정도 이후에 가장 낮은 저항을 나타내었다. 따라서 AlSi 브레이징 필러를 사용하여 Mg2Si 열전소재와 Cu 전극을 브레이징하는 경우에 권장온도인 650℃에서 최소한 10초 이상의 시간동안 유지하는 것이 최적화된 공정 조건임을 알 수 있다.As shown in FIG. 4, when the AlSi brazing filler was used, the resistance was continuously decreased to the recommended temperature of 650 ° C., and the resistance was lowest after about 10 seconds when the temperature was maintained at 650 ° C. Therefore, it can be understood that it is an optimized process condition to hold for at least 10 seconds at a recommended temperature of 650 ° C when brazing an Mg 2 Si thermoelectric material and a Cu electrode using an AlSi brazing filler.

도 5와 같이, Incusil 브레이징 필러를 사용한 경우, 권장온도인 720℃보다 낮은 710℃에서 가장 낮은 저항 값을 나타낸 뒤에 온도 상승 및 권장온도를 유지함에 따라서 저항이 조금 증가하고 있다. 따라서 Incusil 브레이징 필러를 사용하여 Mg2Si 열전소재와 Cu 전극을 브레이징하는 경우에 710℃보다 높은 온도에 브레이징 접합을 수행할 필요가 없고, 710℃가 최적화된 공정 온도임을 알 수 있다.As shown in Fig. 5, when the Incusil brazing filler is used, the resistance is slightly increased as the temperature rises and the recommended temperature are maintained after the lowest resistance value at 710 캜, which is lower than the recommended temperature of 720 캜. Therefore, when brazing an Mg 2 Si thermoelectric material and a Cu electrode using an Incusil brazing filler, it is unnecessary to perform brazing at a temperature higher than 710 ° C., and it can be seen that the process temperature is optimized at 710 ° C.

이상, 동일한 조건에서 브레이징 필러의 종류만을 변경하여 최적의 브레이징 공정 조건을 도출하였으나, 본 실시예에 따른 열전소재의 전극 브레이징 공정 최적화 방법은 브레이징 필러에 따른 최적화만을 수행할 수 있는 것은 아니다. 동일한 브레이징 필러를 사용하는 경우에도 열전소재와 전극의 재질이 달라지면, 최적의 공정 조건이 달라질 수 있으며, 이러한 경우에도 본 실시예에 따른 열전소재의 전극 브레이징 공정 최적화 방법으로 최적의 공정 조건을 도출할 수 있을 것이다.Although the optimum brazing process conditions are derived by changing only the type of the brazing filler under the same conditions, the method of optimizing the electrode brazing process of the thermoelectric material according to the present embodiment can not optimize only the brazing filler. Even if the same brazing filler is used, the optimal process conditions can be changed if the materials of the thermoelectric material and the electrode are different. In this case, the optimum process conditions can be derived by optimizing the electrode brazing process of the thermoelectric material according to this embodiment It will be possible.

본 발명의 다른 실시예에 따른 열전소재의 전극 브레이징을 위한 브레이징 필러 선정방법은 특정 재질의 열전소재와 전극에 대하여 최적의 브레이징 필러를 결정하는 것을 목적으로 한다.A method of selecting a brazing filler for electrode brazing of a thermoelectric material according to another embodiment of the present invention aims at determining an optimal brazing filler for a thermoelectric material and an electrode of a specific material.

다양한 재질의 열전소재와 전극에 대하여 가장 효과가 좋은 브레이징 필러에 대한 정보가 다양한 연구를 통해서 알려져 있다. 하지만, 대부분 브레이징 필러의 권장온도에서 브레이징 접합을 수행한 결과를 기준으로 평가가 진행되었기 때문에, 본 실시예에 따른 열전소재의 전극 브레이징 공정 최적화 방법으로 도출된 최적의 공정 조건으로 브레이징 접합을 수행한 경우에 측정 결과에서 차이가 생길 수 있다.Information about the most effective brazing filler for thermoelectric materials and electrodes of various materials is known through various studies. However, since evaluation was performed on the basis of the result of performing brazing bonding at the recommended temperature of most of the brazing fillers, the brazing bonding was performed under the optimum process conditions derived from the method of optimizing the electrode brazing process of the thermoelectric material according to this embodiment There may be a difference in the measurement results.

도 6 내지 도 8은 본 발명의 실시예에 따른 열전소재의 전극 브레이징 공정 최적화 방법에서 도출된 최적의 공정 조건에서 브레이징 접합을 수행한 뒤에 열전소재와 Cu 전극 사이의 접촉저항을 측정한 그래프이다.FIGS. 6 to 8 are graphs showing contact resistance between a thermoelectric material and a Cu electrode after performing brazing under optimal process conditions derived from the method of optimizing an electrode brazing process of a thermoelectric material according to an embodiment of the present invention.

Nicutin과 AlSi 및 Incusil 3개의 브레이징 필러에 대해서, 도 3 내지 도 5에 의해서 도출된 최적의 공정조건으로 Mg2Si 열전소재와 Cu 전극을 브레이징하였으며, 브레이징이 완료된 뒤에 Mg2Si 열전소재와 Cu 전극 사이에 접촉저항을 측정하였다. 도 6 내지 도 8은 각각 Nicutin와 AlSi 및 Incusil을 브레이징 필러로 사용한 시편에 대한 측정결과이다.For the three brazing fillers of Nicutin, AlSi and Incusil, the Mg 2 Si thermoelectric material and the Cu electrode were brazed under the optimum process conditions derived from FIGS. 3 to 5. After the brazing was completed, the Mg 2 Si thermoelectric material and the Cu electrode The contact resistance was measured. 6 to 8 are measurement results of a specimen using Nicutin, AlSi and Incusil as brazing fillers, respectively.

도시된 것과 같이, 최적의 공정 조건에서 브레이징을 수행한 결과, Nicutin 브레이징 필러를 사용한 경우에 Mg2Si 열전소재와 Cu 전극 사이의 접촉저항이 가장 작은 것으로 나타났으며, 3개의 브레이징 필러 중에서 Mg2Si 열전소재와 Cu 전극의 브레이징 접합에 가장 적합한 브레이징 필러는 Nicutin 임을 알 수 있다.As shown in the figure, when the brazing was performed under the optimum process conditions, the contact resistance between the Mg 2 Si thermoelectric material and the Cu electrode was lowest when using the Nicutin brazing filler. Among the three brazing fillers, Mg 2 The most suitable brazing filler for brazing of Si thermoelectric material and Cu electrode is Nicutin.

본 발명의 또 다른 실시예에 따른 열전소재의 전극 브레이징 방법은 열전소재가 필요이상의 고온에 노출되지 않도록 브레이징 공정의 온도조건을 자체적으로 조절하는 것을 목적으로 한다.The electrode brazing method of a thermoelectric material according to another embodiment of the present invention aims at controlling the temperature condition of the brazing process itself so that the thermoelectric material is not exposed to a higher temperature than necessary.

본 실시예에 따른 열전소재의 전극 브레이징 방법은 앞선 실시예와 같이 권장온도까지 승온을 시키면서 브레이징을 수행한 결과를 분석하여 최적의 공정 조건을 도출하는 것이 아니고, 브레이징 접합 공정을 수행하는 과정에서 소정 조건에 해당하는 최적 온도에서 승온을 멈추도록 하여 최적의 온도에서 브레이징이 수행되도록 하는 방법이다. 이를 위해서는 상기한 도 1의 장비에 추가적으로 저항변화량을 계산하여 평가하는 저항변화량 평가수단이 필요하다.The electrode brazing method of the thermoelectric material according to the present embodiment does not derive the optimum process conditions by analyzing the result of performing the brazing while raising the temperature to the recommended temperature as in the previous embodiment. In the process of performing the brazing bonding process, The temperature is stopped at the optimum temperature corresponding to the condition, and the brazing is performed at the optimum temperature. To this end, there is a need for a resistance change amount evaluation means that calculates and evaluates a resistance change amount in addition to the above-described equipment of Fig.

도 3 내지 도 5에 도시된 것과 같이, 브레이징 공정이 진행되면서 양단에서 측정된 저항은 일정 수치까지 감소한 뒤에 유지되거나 약간 증가하는 형태를 나타내었다. 따라서 저항이 연속적으로 감소하는 저항변화량이 0에 가까운 소정의 값에 도달하는 경우 또는 저항변화량이 양의 값으로 변화하는 경우(저항이 증가하는 경우)에 최적의 공정 온도에 해당하는 것을 알 수 있으며, 본 실시예에 따른 열전소재의 전극 브레이징 방법은 이러한 저항변화량을 기준으로 승온을 멈춰서 최적의 공정 온도에서 브레이징을 진행하는 것을 특징으로 한다.As shown in FIGS. 3 to 5, as the brazing process progresses, the resistance measured at both ends is maintained or slightly increased after decreasing to a certain value. Therefore, it can be seen that the optimum process temperature corresponds to a case where the resistance change amount in which the resistance continuously decreases reaches a predetermined value close to 0 or when the resistance change amount changes to a positive value (resistance increases) , The method for brazing an electrode of a thermoelectric material according to the present embodiment is characterized in that brazing is performed at an optimal process temperature by stopping the temperature rise based on the resistance change amount.

이때, 도 3 내지 도 5에 도시된 것과 같이, 최적온도에 도달하기 전의 초기 단계에서 저항 값이 증가하는 등의 영향으로, 저항변화량이 소정의 조건을 만족하는 경우가 있을 수 있으므로, 측정된 저항이 소정 수치 이하인 경우에만 승온을 멈추도록 구성할 수 있을 것이다.At this time, as shown in FIG. 3 to FIG. 5, there may be a case in which the resistance change amount satisfies a predetermined condition under the influence of an increase in the resistance value in the initial stage before reaching the optimum temperature, The temperature rise can be stopped only when it is less than or equal to the predetermined value.

이상 본 발명을 바람직한 실시예를 통하여 설명하였는데, 상술한 실시예는 본 발명의 기술적 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과하며, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변화가 가능함은 이 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이해할 수 있을 것이다. 따라서 본 발명의 보호범위는 특정 실시예가 아니라 특허청구범위에 기재된 사항에 의해 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술적 사상도 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to preferred embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiments, but, on the contrary, is intended to cover various modifications and equivalent arrangements included within the spirit and scope of the appended claims. Those skilled in the art will understand. Therefore, the scope of protection of the present invention should be construed not only in the specific embodiments but also in the scope of claims, and all technical ideas within the scope of the same shall be construed as being included in the scope of the present invention.

10: 열전소재 20: 전극
100: 진공챔버 200: 가열부
300: 냉각부 310: 열전냉각모듈
320: 방열팬 400: 온도 측정장비
500: 저항측정수단 510, 520: 측정전극
530: 저항측정기 540: 절연층10: thermoelectric material 20: electrode
100: vacuum chamber 200: heating part
300: cooling section 310: thermoelectric cooling module
320: Heat dissipation fan 400: Temperature measurement equipment
500: resistance measuring means 510, 520: measuring electrode
530: resistance meter 540: insulating layer

Claims (11)

삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 열전소재와 전극 사이에 브레이징 필러를 사용하여 브레이징 접합을 수행하는 과정에서, 접합 대상물 양단 사이의 저항을 연속적으로 측정하며,
측정된 저항의 변화량이 소정의 수치에 해당할 때에 가열을 멈추고 온도를 유지하여 브레이징을 수행하는 것을 특징으로 하는 열전소재의 전극 브레이징 방법.
In the process of performing the brazing joint using the brazing filler between the thermoelectric material and the electrode, the resistance between the ends of the joint object is continuously measured,
And heating is stopped and the temperature is maintained to perform brazing when the measured amount of change of the resistance corresponds to a predetermined value.
청구항 5에 있어서,
저항의 변화량을 기준으로 가열을 멈추는 과정이 측정된 저항이 소정 수치 이하인 경우에만 수행되는 것을 특징으로 하는 열전소재의 전극 브레이징 방법.
The method of claim 5,
Wherein the step of stopping heating based on a change amount of the resistance is performed only when the measured resistance is less than a predetermined value.
청구항 5에 있어서,
브레이징 접합을 위하여 승온하는 과정에서 최고 온도가 브레이징 필러에 대한 권장온도이고,
최고 온도까지 승온이 진행된 경우에 승온을 중단한 상태에서 측정된 저항의 변화량이 소정의 수치에 해당할 때까지 온도를 유지하는 것을 특징으로 하는 열전소재의 전극 브레이징 방법.
The method of claim 5,
For the brazing joint, the maximum temperature during the heating process is the recommended temperature for the brazing filler,
Wherein the temperature is maintained until the change amount of the resistance measured in the state where the temperature rise is stopped when the temperature rise to the maximum temperature is stopped corresponds to the predetermined value.
삭제delete 열전소재에 전극을 브레이징 접합하는 장치에 있어서,
브레이징 접합이 수행되는 챔버;
접합 대상물인 열전소재와 전극이 밀착되도록 양단에서 가압하는 가압수단;
접합 대상물을 가열하는 가열부; 및
접합 대상물의 양단에 각각 접하는 측정전극과 상기 측정전극 사이의 저항을 측정하는 저항측정기를 포함하여 구성된 저항측정수단을 구비하며,
상기 가열부가 접합 대상물의 일단 측에서 접합 대상물을 가열하고,
접합 대상물의 타단 측에 위치하며 측정전극을 냉각하는 냉각부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 열전소재의 전극 브레이징 장치.
An apparatus for brazing an electrode to a thermoelectric material,
A chamber in which brazing bonding is performed;
A pressing means for pressing the thermoelectric material as a bonding object at both ends so that the electrode and the thermoelectric material are closely contacted;
A heating unit for heating the object to be bonded; And
And resistance measuring means comprising resistance measuring means for measuring a resistance between the measuring electrode and the measuring electrode which are respectively in contact with both ends of the object to be bonded,
The heating part heats the object to be bonded at one end side of the object to be bonded,
Further comprising a cooling unit located at the other end side of the object to be bonded and cooling the measurement electrode.
청구항 9에 있어서,
측정전극 중에 하나는 상기 가열부에 접하여 위치하고, 다른 하나는 상기 냉각부에 접하여 위치하되,
가열부에 접하여 위치하는 측정전극의 끝이 연장되어 상기 냉각부에 접하는 것을 특징으로 하는 열전소재의 전극 브레이징 장치.
The method of claim 9,
One of the measurement electrodes is positioned in contact with the heating unit and the other is positioned in contact with the cooling unit,
And an end of the measuring electrode located in contact with the heating part is extended to contact the cooling part.
청구항 9에 있어서,
접합 대상물의 양단에서 측정된 저항의 변화량을 계산하여 평가하는 저항변화량 평가수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 열전소재의 전극 브레이징 장치.The method of claim 9,
Further comprising resistance change amount evaluation means for calculating and evaluating a change amount of resistance measured at both ends of the object to be bonded.
KR1020170046690A 2017-04-11 2017-04-11 Optimizing method for brazing between thermoelectric materials and electrode, selecting method for brazing filler using the method, brazing method between thermoelectric materials and electrode and device for brazing between thermoelectric materials and electrode KR101827732B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020170046690A KR101827732B1 (en) 2017-04-11 2017-04-11 Optimizing method for brazing between thermoelectric materials and electrode, selecting method for brazing filler using the method, brazing method between thermoelectric materials and electrode and device for brazing between thermoelectric materials and electrode

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020170046690A KR101827732B1 (en) 2017-04-11 2017-04-11 Optimizing method for brazing between thermoelectric materials and electrode, selecting method for brazing filler using the method, brazing method between thermoelectric materials and electrode and device for brazing between thermoelectric materials and electrode

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR101827732B1 true KR101827732B1 (en) 2018-02-12

Family

ID=61224991

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020170046690A KR101827732B1 (en) 2017-04-11 2017-04-11 Optimizing method for brazing between thermoelectric materials and electrode, selecting method for brazing filler using the method, brazing method between thermoelectric materials and electrode and device for brazing between thermoelectric materials and electrode

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101827732B1 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20200126230A (en) 2019-04-29 2020-11-06 한국전기연구원 Thermoelectric element bonding apparatus and method of bonding the same

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20200126230A (en) 2019-04-29 2020-11-06 한국전기연구원 Thermoelectric element bonding apparatus and method of bonding the same
KR20220158217A (en) 2019-04-29 2022-11-30 한국전기연구원 Thermoelectric element bonding apparatus and method of bonding the same

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4825812B2 (en) Semiconductor wafer inspection method and apparatus using chuck device capable of adjusting temperature
TWI405222B (en) Method for reducing resistance value deviations caused by trimming-related laser-induced thermoelectric effects
KR20080034879A (en) Wafer-level burn-in method and wafer-level burn-in apparatus
CN104731126B (en) A kind of temperature control method based on integrated form Dewar component temperature variation testing refrigeration structure
TWI779195B (en) Inspection device and temperature control method
KR101827732B1 (en) Optimizing method for brazing between thermoelectric materials and electrode, selecting method for brazing filler using the method, brazing method between thermoelectric materials and electrode and device for brazing between thermoelectric materials and electrode
US20050167783A1 (en) Wafer collective reliability evaluation device and wafer collective reliability evaluation method
US20220274201A1 (en) Laser stitch welding device and welding method therefor
JP4125736B2 (en) Temperature control method for prober device
US11193901B2 (en) Thermal conductivity measuring device, thermal conductivity measuring method and vacuum evaluation device
CN103869233A (en) Method for measuring thin-film heat resistance inside semi-conductor components
JP2007278910A (en) Inspection method and device
JP5428077B2 (en) Inspection method and apparatus for metal joints
CN104076265B (en) A kind of method and apparatus of quick measurement semiconductor devices electrical parameter temperature varying coefficient
JP4474550B2 (en) Thermoelectric element characteristic evaluation method
KR102164784B1 (en) Life test method for thermoelectric module
CN110681998A (en) Welding spot detection method and welding device
US5725307A (en) Wire temperature distribution measuring method for a wire electric discharge machine
JP2009513351A (en) Method and apparatus for obtaining information for determining the quality of a resistance weld joint and / or for open loop control or closed loop control of a resistance welding process
KR101261627B1 (en) Apparutus and system for measuring heat flux
CN111880583B (en) Method for determining and controlling junction temperature of device under test
KR101798854B1 (en) Apparatus for measuring of contact resistance of thermoelectric device and method thereof
Schaulin et al. Thermographic inspection method for quality assessment of power semiconductors in the manufacture of power electronics modules
JP2006071565A (en) Method and apparatus for testing heat insulation performance of heat insulating material
KR20200136553A (en) Thermal conductivity measurement system and thermal conductivity measurement method thereof

Legal Events

Date Code Title Description
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant