KR101818566B1 - 미세 유체 칩 및 이의 제작 방법 - Google Patents

미세 유체 칩 및 이의 제작 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 미세 유체 칩 및 이의 제작 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게 미세 유로 내부에 패턴이 형성된 미세 유체 칩 제작 시, 패턴 형성 공정 및 미세 유로 제작 공정을 분리하여, 제작 효율을 향상시키고, 대량 생산이 가능하도록 하기 위한 미세 유체 칩 및 이의 제작 방법에 관한 것이다.

Description

미세 유체 칩 및 이의 제작 방법{Micro-fluidic chip and fabrication method thereof}
본 발명은 미세 유체 칩 및 이의 제작 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게 미세 유로 내부에 패턴이 형성된 미세 유체 칩 제작 시, 패턴 형성 공정 및 미세 유로 제작 공정을 분리하여, 제작 효율을 향상시키고, 대량 생산이 가능하도록 하기 위한 미세 유체 칩 및 이의 제작 방법에 관한 것이다.
미세 유체 칩은 미세 유체 채널을 통해 유체를 흘려보내 여러 가지 실험 조건을 동시에 수행할 수 있는 기능을 가진다.
구체적으로, 플라스틱, 유리, 실리콘 등의 기판(또는 칩 재료)을 이용하여 미세 채널을 만들고, 이러한 채널을 통해 유체를 이동시킨 후, 미세 유체 칩 내에서 시료 분리, 세포의 혼합, 합성, 정량분석, 세포 증식 관찰 등을 할 수 있다.
이와 같이, 종래에 실험실에서 행해지던 실험들을 작은 칩 내에서 수행한다는 점에서, 미세 유체 칩은 "랩-온-어-칩"(lab-on-a-chip)이라 불리기도 한다.
상술한 바와 같은 유체 칩은 종래의 리소그래피(Lithography) 기술 또는 기계적 가공(Machining) 기술을 이용하여 제작된다.
이와 관련된 기술로, 국내공개특허 제2011-0103688호(공개일: 2011.09.21, 명칭: 미세 유체 칩 및 그 제조방법, 상기 미세 유체 칩의 미세 채널 구조 및 그 제조방법)이 개시된 바 있다.
한편, 유체 칩은 측정의 효율을 높이고, 측정 감도를 향상하기 위해 유체 칩 내부의 미세 유로(Fluidics Channel) 내부에 특정한 패턴(Pattern) 등 형상을 적용하는 경우가 있다.
예를 들어, 미세 유로는 크기(단면의 가로 및 세로의 길이)가 수십 ~ 수백 um인 경우가 일반적이며, 이러한 미세 유로 내부에 형상 크기가 작게는 수십 nm 수준에서부터 수십 um에 이르기까지 다양한 형상의 패턴이 제작될 수 있다.
그런데, 상술한 바와 같이, 미세 유로 내부에 패턴이 형성된 유체 칩을 제작하기 위해서는 유체 칩 제작 과정 상, 미세 유로를 형성하는 방법과, 패턴을 형성하는 방법이 모두 이용되어야 하며, 하나의 프로세스를 통해 하나의 유체 칩이 제작되는 것이 일반적이다.
도 1 및 도 2는 종래의 유체 칩 제조 과정이 도시된 도면으로, 먼저 기판(11) 상에 패턴을 형성한 후, 미세 유로인 채널(12)을 형성한 다음, 덮개(Lid, 13) 및 피팅(Fitting, 14)을 부착하는 방법이 도시되어 있다.
먼저, 도 1에 도시된 방법은 기판의 전면에 패턴이 형성되어 있으므로, 미세유로 형상에 무관하게 패턴 형성 공정이 수행될 수 있지만, 유체 칩 내부에 모두 패턴이 형성되어 있으므로 비효율적이라는 단점이 있다.
다음으로, 도 2에 도시된 방법은 도 1과 유사하지만, 기판의 일부 영역에 패턴이 형성되는 예로, 이러한 경우 패턴 형성 공정은 미세유로의 형상에 따라 영향을 받으며, 하나의 유체 칩 제작을 위해 한 번의 공정씩 수행되어야 한다는 단점이 있다.
또한, 미세 유로와 내부 패턴은 그 크기가 상이할 뿐만 아니라, 재질도 다를 수 있으므로, 사출 성형과 같은 단일 공정으로 제작하기에는 한계가 있다.
예를 들어, 미세 유로와 내부 패턴을 갖는 유체 칩 제작 과정에서는 고분자 재료의 미세 유로 내 금속 재료의 패턴이 형성되거나, 유리로 된 미세 유로 내 항체(antibody)로 이루어진 패턴이 형성되는 등 다양한 조합이 이루어진다.
따라서 상술한 바와 같이 미세 유로와 내부 패턴을 갖는 유체 칩은 기존 제조 방법과는 다르게 대량 생산에 많은 어려움이 있다.
국내공개특허 제2011-0103688호(공개일: 2011.09.21, 명칭: 미세 유체 칩 및 그 제조방법, 상기 미세 유체 칩의 미세 채널 구조 및 그 제조방법)
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 미세 유로 내부에 패턴이 형성된 미세 유체 칩 제작 시, 패턴 형성 공정 및 미세 유로 제작 공정을 분리하여, 제작 효율을 향상시키고, 대량 생산이 가능하도록 하기 위한 미세 유체 칩 및 이의 제작 방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 일실시 예에 따른 미세 유체 칩은 유체가 이동하는 미세 유로를 구성하는 채널이 상측면에 형성된 기판; 유체의 유입구 및 유출구와, 적어도 하나 이상의 제1패턴부착홀이 중공 형성되어 상기 채널 상측면에 부착되는 덮개부; 및 상기 덮개부의 제1패턴부착홀에 부착되되, 상기 미세 유로가 위치하는 측면에 패턴이 형성된 패턴부; 를 포함하는 것을 특징으로 한다.
이때, 상기 패턴부는 다수개의 패턴이 형성된 패턴형성용 기판을 절단하여 제작될 수 있다.
또한, 본 발명의 일실시 예에 따른 상기 패턴형성용 기판에는 동일한 패턴이 반복되어 형성되거나, 서로 다른 패턴이 일정한 규칙으로 배열된 형태로 형성될 수 있다.
또한, 본 발명의 일실시 예에 따른 상기 기판에는 일정 영역이 중공되는 제2패턴부착홀이 적어도 하나 이상 형성될 수 있다.
또한, 본 발명의 일실시 예에 따른 상기 미세 유체 칩은 상기 제1패턴부착홀 또는 제2패턴부착홀에 서로 다른 패턴 형태를 갖는 패턴부가 부착될 수 있다.
또한, 본 발명의 일실시 예에 따른 상기 미세 유체 칩은 상기 덮개부에 형성된 제1패턴부착홀과, 상기 기판에 형성된 제2패턴부착홀이 서로 대응되는 위치에 다수개 형성될 수 있다.
이때, 상기 미세 유체 칩은 서로 대응되는 위치에 형성되는 상기 제1패턴부착홀 및 제2패턴부착홀에 서로 동일한 패턴의 패턴부가 부착되되, 상기 덮개부의 제1패턴부착홀에 부착되는 다수개의 패턴부에는 각각 서로 다른 종류의 바이오리셉터가 고정될 수 있다.
본 발명의 일실시 예에 따른 미세 유체 칩 제작 방법은 다수개의 패턴이 형성된 패턴형성용 기판을 제작한 다음, 상기 패턴형성용 기판을 다수개의 조각으로 절단하여 패턴부를 제작하는 패턴부 형성 단계; 기판 상측면에, 유체가 이동하는 미세 유로를 구성하는 채널이 형성되는 채널 형성 단계; 유체의 유입구 및 유출구와, 적어도 하나 이상의 제1패턴부착홀이 중공 형성된 덮개부가 상기 채널 상측면에 부착되는 덮개부 부착 단계; 상기 덮개부의 제1패턴부착홀에 상기 패턴부가 부착되는 패턴부 부착 단계; 및, 상기 덮개부의 유입구 및 유출구에 피팅이 부착되는 피팅 부착 단계 를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 일실시예에 따른 상기 패턴부 부착 단계는 상기 제1패턴부착홀이 다수개 형성되는 경우, 서로 다른 패턴 또는 동일한 패턴이 형성된 패턴부가 부착될 수 있다.
또한, 본 발명의 일실시예에 따른 상기 패턴부 부착 단계는 상기 기판에 제2패턴부착홀이 형성되는 경우, 상기 제1패턴부착홀 및 제2패턴부착홀에 서로 다른 패턴 또는 동일한 패턴이 형성된 패턴부가 부착될 수 있다.
또한, 본 발명의 일실시예에 따른 상기 패턴부 부착 단계는 상기 덮개부에 형성된 제1패턴부착홀과, 상기 기판에 형성된 제2패턴부착홀이 서로 대응되는 위치에 다수개 형성되는 경우, 서로 대응되는 위치에 형성되는 상기 제1패턴부착홀 및 제2패턴부착홀에 서로 동일한 패턴의 패턴부가 부착될 수 있다.
또한, 본 발명의 일실시예에 따른 상기 미세 유체 칩 제작 방법은 상기 덮개부의 제1패턴부착홀에 부착되는 다수개의 패턴부에는 각각 서로 다른 종류의 바이오리셉터가 고정되는 바이오리셉터 고정 단계; 를 더 포함할 수 있다.
이에 따라, 본 발명의 미세 유체 칩 및 이의 제작 방법은 미세 유로 내부에 패턴이 형성된 미세 유체 칩을 비교적 간단하고 저렴하게 제작할 수 있다는 장점이 있다.
특히, 본 발명은 미세 유체 칩 제작 시, 패턴 형성 공정 및 미세 유로 제작 공정을 분리하고, 단일 기판에 형성된 패턴을 절단한 다수의 패턴 조각을 다수의 미세 유체 칩 제작에 활용할 수 있도록 함으로써, 제작 효율성이 매우 높으며, 대량 생산이 가능하다는 장점이 있다.
또한, 본 발명의 미세 유체 칩은 덮개부와, 기판에 각각 대응되는 위치에 패턴 조각이 부착되도록 하고, 각각의 패턴 조각에 서로 다른 종류의 바이오리셉터가 고정되도록 함으로써, 다양한 형태의 바이오 물질에 대한 검출이 가능할 뿐만 아니라, 덮개부와 기판 중 어느 한 곳에만 패턴 조각이 부착되었을 때보다, 2배의 검출 성능을 확보할 수 있어 높은 민감도를 가지는 다중 검출이 가능하다는 장점이 있다.
아울러, 본 발명은 패턴 조각이 부착되는 위치와, 패턴 조각에 형성된 패턴을 다양화할 수 있으며, 부착되는 패턴 조각의 개수를 조정하는 등, 다양한 형태로의 응용이 가능하다.
또한, 본 발명의 미세 유체 칩은 향후 다양한 형태의 의료, 바이오 분야에서 진단 및 측정에 활용될 수 있다.
도 1 및 도 2는 종래의 미세 유체 칩 제작 방법을 순차적으로 나타낸 순서도.
도 3은 본 발명의 일실시 예에 따른 미세 유체 칩을 나타낸 사시도.
도 4는 본 발명의 일실시 예에 따른 미세 유체 칩 제작 방법 중 패턴부가 형성된 패턴조각을 제작하는 단계를 나타낸 순서도.
도 5는 본 발명의 일실시 예에 따른 미세 유체 칩 제작 방법을 나타낸 순서도.
도 6은 본 발명의 일실시 예에 따른 미세 유체 칩이 제작되는 과정을 순차적으로 나타낸 사시도.
도 7 및 도 8은 본 발명의 다양한 실시예에 따른 미세 유체 칩을 타나낸 단면도.
이하, 상술한 바와 같은 본 발명에 따른 미세 유체 칩 및 이의 제작 방법을 설명하기로 한다.
본 발명의 일실시 예에 따른 미세 유체 칩(1)은 크게 기판(100), 덮개부(200) 및 패턴부(300)를 포함하여 형성된다.
상기 기판(100)에는 유체가 이동하는 미세 유로를 구성하는 채널(120)이 상측에 형성되며, 상기 채널(120)의 형태는 필요에 따라 다양하게 변경 실시가 가능하다.
상기 덮개부(200)는 상기 채널(120) 상측면에 부착되어 내부에 채널(120)에 의해 유체가 유동되는 미세 유로가 형성되도록 하는 것으로, 유체의 유입구(210) 및 유출구(220)와, 적어도 하나 이상의 제1패턴부착홀(230)이 중공 형성된다.
이때, 상기 유입구(210) 및 유출구(220)는 도 3과 같이 상기 패턴부(300)가 사이에 위치하도록 배치될 수도 있으며, 도 6과 같이 상기 패턴부(300)를 기준으로 일측에 배치될 수도 있다.
상기 제1패턴부착홀(230)은 패턴이 형성된 패턴부(300)가 부착되도록 형성되는 것으로, 상기 패턴부(300)는 상기 미세 유로가 위치하는 방향, 즉, 채널(120)이 위치하는 측면에 패턴이 위치하도록 상기 제1패턴부착홀(230)에 부착된다.
상기 패턴부(300)는 도 4와 같이 다수개의 패턴이 형성된 패턴 형성용 기판(400)을 절단하여 제작될 수 있다.
상기 패턴 형성용 기판(400)에는 동일한 패턴이 반복되어 형성되거나, 서로 다른 패턴이 일정한 규칙으로 배열된 형태로 형성될 수도 있다.
이에 따라, 본 발명의 일실시 예에 따른 미세 유체 칩(1)은 기판(100) 또는 덮개부(200)에 패턴을 형성하지 않더라도, 미세 유로 상에 패턴이 형성될 수 있도록 패턴 형성 공정과, 미세 유로 제작 공정을 분리하여 제작할 수 있다.
이하에서는, 본 발명에 따른 미세 유체 칩(1)의 다양한 실시예에 대해 설명하기로 한다.
실시예1.
실시예1은 가장 기본이 되는 것으로, 도 5 및 도 6과 같이, 상기 덮개부(200) 상에만 상기 패턴부(300)가 부착되는 실시예에 관한 것이다.
도 5에 도시된 미세 유체 칩(1)을 설명하면, 상기 덮개부(200)에는 1개의 패턴부착홀이 형성되며, 일정 패턴을 갖는 패턴부(300)가 부착된다.
또한, 상기 제1패턴부(300)는 유입구(210)와 유출구(220) 사이 공간에 배치되어, 일측 유입구(210)로 유입된 유체가 패턴부(300)가 위치한 미세 유로를 통과하여 타측 유출구(220)로 배출되는 경로가 형성된다.
도 6에 도시된 미세 유체 칩(1)은, 상기 덮개부(200)에 1개의 패턴부착홀이 형성되어 1개의 패턴부(300)가 부착되되, 일측에 유입구(210) 및 유출구(220)가 배치되는 형태를 갖는다.
이 경우, 채널(120)에 의해 형성된 미세 유로는 일측에 위치한 유입구(210)에서 타측으로 연결되어 상기 패턴부(300)를 통과한 다음, 다시 일측에 위치한 유출구(220)로 방향이 전환되는 경로를 갖는다.
실시예2.
실시예2는 도 7에 도시된 것처럼, 다수개의 패턴부(300)가 부착된 미세 유체 칩(1)에 관한 것이다.
상기 미세 유체 칩(1)은 상기 덮개부(200) 상에 다수개의 제1패턴부착홀(230)이 형성되어 다수개의 패턴부(300)가 부착될 수 있다.
또한, 상기 미세 유체 칩(1)은 상기 기판(100)에도 일정 영역이 중공되는 제2패턴부착홀(110)이 적어도 하나 이상 형성될 수도 있다.
먼저, 도 7(A)에 도시된 미세 유체 칩(1)은 상기 덮개부(200) 상에 두 개의 제1패턴부착홀(230)이 형성되며, 각각의 제1패턴부착홀(230)에는 상기 패턴부(300)가 부착된다. 이때, 상기 제1패턴부착홀(230)에는 동일한 패턴을 갖는 패턴부(300)가 부착될 수도 있으며, 서로 다른 패턴을 갖는 패턴부(300)가 부착될 수도 있다.
다음으로, 도 7(B)에 도시된 미세 유체 칩(1)은 상기 덮개부(200)에 제1패턴부착홀(230)이 형성되고, 상기 기판(100)에 제2패턴부착홀(110)이 형성되어, 각각 패턴부(300)가 부착된다. 마찬가지로, 상기 제1패턴부착홀(230) 및 제2패턴부착홀(110)에는 동일한 패턴을 갖는 패턴부(300)가 부착될 수도 있으며, 서로 다른 패턴을 갖는 패턴부(300)가 부착될 수도 있다.
실시예3.
실시예 3은 도 8에 도시된 것처럼, 상기 덮개부(200) 및 기판(100)에 서로 대응되도록 덮개부(200)가 부착된 미세 유체 칩(1)에 관한 것이다.
이때, 상기 미세 유체 칩(1)은 상기 덮개부(200)에 형성된 제1패턴부착홀(230)과, 상기 기판(100)에 형성된 제2패턴부착홀(110)이 서로 대응되는 위치에 다수개 형성된다.
서로 대응되는 위치에 형성되는 상기 제1패턴부착홀(230) 및 제2패턴부착홀(110)에는 서로 동일한 패턴의 패턴부(300)가 부착되되, 이웃하는 제1패턴부착홀(230) 및 제2패턴부착홀(110) 간에는 서로 다른 패턴의 패턴부(300)가 부착될 수 있다.
또한, 상기 덮개부(200)의 제1패턴부착홀(230)에 부착되는 다수개의 패턴부(300)에는 각각 서로 다른 종류의 바이오리셉터(Bioreceptor)가 고정될 수 있다.
상술한 바와 같은 미세 유체 칩(1)은, 측정하고자 하는 유체를 유입구(210)를 통해 유출구(220)로 배출되도록 하면, 첫 번째 패턴부(300)의 경우, 상ㆍ하측면에 모두 부착되어 있으므로, 덮개부(200)나 기판(100) 중 어느 하나에만 부착되어 있는 경우보다 2배의 검출 성능을 얻을 수 있다.
아울러, 상기 미세 유체 칩(1)은 두 번째 패턴부(300)에는 다른 종류의 바이오리셉터가 부착되어 있으므로, 첫 번째 패턴부(300)에서 검출이 불가능한 다른 형태의 바이오 물질에 대한 검출이 가능하여, 높은 민감도를 갖는 다중검출이 가능하다.
상기에서는, 본 발명의 미세 유체 칩(1)에 대한 다양한 실시예를 설명하였으나, 이로 한정되지 아니하며, 본 발명의 취지에서 벗어나지 않는 한 얼마든지 다양하게 변경실시가 가능하다.
상술한 바와 같은 미세 유체 칩(1)을 제작하는 방법은 크게 패턴부(300) 형성 단계, 채널(120) 형성 단계, 덮개부(200) 부착 단계, 패턴부(300) 부착 단계 및 피팅(500) 부착 단계로 이루어질 수 있다.
먼저, 상기 패턴부(300) 형성 단계에서는 다수개의 패턴이 형성된 패턴 형성용 기판(400)이 제작된 후, 이를 다수개의 조각으로 절단하여 패턴부(300)를 제작한다.
이때, 상기 패턴 형성용 기판(400)은 패턴의 크기에 따라, 전자빔(Electron Beam), 이온빔(Ion Beam), 레이저빔(Laser Beam) 등을 이용하여 직접 패터닝될 수도 있으며, 임프린트 리소그래피(Imprint Lithography), 포토리소그래피(Photolithography) 등 패턴을 복제하는 기술이 사용될 수도 있다.
이때, 대량 생산이 필요한 경우라면, 상기 패턴 형성용 기판(400)에는 전 영역에 동일한 형상 또는 일정 규칙을 갖는 반복적인 형상을 리소그래피 기술을 이용하여 복제되는 것이 바람직하다.
다음으로, 상기 채널(120) 형성 단계에서는 상기 기판(100) 상측면에, 유체가 이동하는 미세 유로를 구성하는 채널(120)이 형성된다.
상기 덮개부(200) 부착 단계에서는 유체의 유입구(210) 및 유출구(220)와, 적어도 하나 이상의 제1패턴부착홀(230)이 중공 형성된 덮개부(200)가 상기 채널(120) 상측면에 부착된다.
다음으로, 패턴부(300) 부착 단계에서는 상기 덮개부(200)의 제1패턴부착홀(230)에 상기 패턴부(300)가 부착된 후, 상기 피팅(500) 부착 단계에서 상기 유입구(210) 및 유출구(220)에 피팅(500)이 부착된다.
이때, 상기 패턴부(300) 부착 단계는 상기 제1패턴부착홀(230)이 다수개 형성되는 경우, 서로 다른 패턴 또는 동일한 패턴이 형성된 패턴부(300)가 부착될 수 있다.(실시예 2 참조)
또한, 상기 기판(100)에 제2패턴부착홀(110)이 형성되는 경우에는, 상기 제1패턴부착홀(230) 및 제2패턴부착홀(110)에 서로 다른 패턴 또는 동일한 패턴이 형성된 패턴부(300)가 부착될 수 있다.(실시예 2 참조)
아울러, 상기 덮개부(200)에 형성된 제1패턴부착홀(230)과, 상기 기판(100)에 형성된 제2패턴부착홀(110)이 서로 대응되는 위치에 다수개 형성되는 경우, 서로 대응되는 위치에 형성되는 상기 제1패턴부착홀(230) 및 제2패턴부착홀(110)에 서로 동일한 패턴의 패턴부(300)가 부착되되, 본 발명의 일실시예에 따른 미세 유체 칩(1) 제작 방법은 상기 덮개부(200)의 제1패턴부착홀(230)에 부착되는 다수개의 패턴부(300)에 각각 서로 다른 종류의 바이오리셉터가 고정되는 바이오리셉터 고정 단계를 더 포함한다.(실시예 3 참조)
이에 따라, 본 발명의 미세 유체 칩(1) 및 이의 제작 방법은 미세 유로 내부에 패턴이 형성된 미세 유체 칩(1)을 비교적 간단하고 저렴하게 제작할 수 있다는 장점이 있다.
아울러, 본 발명은 패턴 조각이 부착되는 위치와, 패턴 조각에 형성된 패턴을 다양화할 수 있으며, 부착되는 패턴 조각의 개수를 조정하는 등, 다양한 형태로의 응용이 가능하여, 향후 다양한 형태의 의료, 바이오 분야에서 진단 및 측정에 활용될 수 있다.
본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 아니하며, 적용범위가 다양함은 물론이고, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 본 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형 실시가 가능한 것은 물론이다.
1 : 미세 유체 칩
100 : 기판
110 : 제2패턴부착홀
120 : 채널
200 : 덮개부
210 : 유입구 220 : 유출구
230 : 제1패턴부착홀
300 : 패턴부
400 : 패턴 형성용 기판
500 : 피팅

Claims (12)

  1. 유체가 이동하는 미세 유로를 구성하는 채널이 상측면에 형성된 기판;
    유체의 유입구 및 유출구와, 적어도 하나 이상의 제1패턴부착홀이 중공 형성되어 상기 채널 상측면에 부착되는 덮개부; 및
    상기 덮개부의 상측에서 제1패턴부착홀에 부착되되, 상기 미세 유로가 위치하는 하면에 패턴이 형성된 패턴부; 를 포함하되,
    상기 기판에는 일정 영역이 중공되는 제2패턴부착홀이 적어도 하나 이상 형성되고,
    상기 제1패턴부착홀과 상기 제2패턴부착홀은 적어도 한 쌍 이상 서로 대응되는 위치에 형성되며, 서로 대응되는 위치에 형성된 상기 제1패턴부착홀과 상기 제2패턴부착홀에는 서로 동일한 패턴의 패턴부가 부착되는 것을 특징으로 하는 미세 유체 칩.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 패턴부는
    다수개의 패턴이 형성된 패턴 형성용 기판을 절단하여 제작되는 것을 특징으로 하는 미세 유체 칩.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 패턴형성용 기판에는
    동일한 패턴이 반복되어 형성되거나, 서로 다른 패턴이 일정한 규칙으로 배열된 형태로 형성되는 것을 특징으로 하는 미세 유체 칩.
  4. 삭제
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 미세 유체 칩은
    서로 대응되는 위치에 형성된 상기 제1패턴부착홀과 상기 제2패턴부착홀을 제외한 상기 제1패턴부착홀 또는 제2패턴부착홀에는 서로 다른 패턴 형태를 갖는 패턴부가 부착되는 것을 특징으로 하는 미세 유체 칩.
  6. 삭제
  7. 제 1항에 있어서,
    상기 미세 유체 칩은
    상기 덮개부의 제1패턴부착홀에 부착되는 다수개의 패턴부에는 각각 서로 다른 종류의 바이오리셉터가 고정되는 것을 특징으로 하는 미세 유체 칩.
  8. 다수개의 패턴이 형성된 패턴 형성용 기판을 제작한 다음, 상기 패턴형성용 기판을 다수개의 조각으로 절단하여 패턴부를 제작하는 패턴부 형성 단계;
    기판 상측면에, 유체가 이동하는 미세 유로를 구성하는 채널이 형성되는 채널 형성 단계;
    유체의 유입구 및 유출구와, 적어도 하나 이상의 제1패턴부착홀이 중공 형성된 덮개부가 상기 채널 상측면에 부착되는 덮개부 부착 단계;
    상기 덮개부의 상측에서 제1패턴부착홀에 하면에 패턴이 향하도록 상기 패턴부가 부착되는 패턴부 부착 단계; 및,
    상기 덮개부의 유입구 및 유출구에 피팅이 부착되는 피팅 부착 단계; 를 포함하되,
    상기 패턴부 부착 단계는 상기 덮개부에 형성된 제1패턴부착홀과 대응되는 위치의 상기 기판에 제2패턴부착홀이 형성되는 경우, 서로 대응되는 위치에 형성되는 상기 제1패턴부착홀 및 제2패턴부착홀에는 서로 동일한 패턴의 패턴부가 부착되는 것을 특징으로 하는 미세 유체칩 제작 방법.
  9. 제 8항에 있어서,
    상기 패턴부 부착 단계는
    상기 제1패턴부착홀이 다수개 형성되는 경우,
    서로 다른 패턴 또는 동일한 패턴이 형성된 패턴부가 부착되는 것을 특징으로 하는 미세 유체 칩 제작 방법.
  10. 제 8항에 있어서,
    상기 패턴부 부착 단계는
    서로 대응되는 위치에 형성된 상기 제1패턴부착홀과 상기 제2패턴부착홀을 제외한 상기 제1패턴부착홀 또는 제2패턴부착홀에는 서로 다른 패턴 형태를 갖는 패턴부가 부착되는 것을 특징으로 하는 미세 유체 칩 제작 방법.
  11. 삭제
  12. 제 8항에 있어서,
    상기 미세 유체 칩 제작 방법은
    상기 덮개부의 제1패턴부착홀에 부착되는 다수개의 패턴부에는 각각 서로 다른 종류의 바이오리셉터가 고정되는 바이오리셉터 고정 단계; 를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 미세 유체 칩 제작 방법.
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