KR101807669B1 - A method for assembling a protection cover for protecting gas pipe line - Google Patents

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Abstract

According to an embodiment, the present invention installs a protection cover embedded with an insulator and a heater coil outside a piping of gas supplied to a semiconductor manufacturing process and heats the heater coil, thereby maintaining the gas piping at a constant temperature. The protection cover is installed outside the piping of the exhaust gas to reduce danger of the manufacturing process. Also, heat is delivered to the gas piping to maintain the temperature of the transferred gas constantly, thereby preventing liquefaction of the gas. A method for installing a protection cover for protecting a gas piping comprises the following processes of: assembling a gas supply panel inside a chamber; forming a first gas supply valve and a second gas supply valve; forming a process gas supply piping inside a gas injection tube of the first gas supply valve and the second gas supply valve; installing a heater; mounting a first protection cover; forming a first gas discharge valve and a second gas discharge valve; and mounting a second protection cover.

Description

가스 배관을 보호하기 위한 보호 커버를 설치하는 방법{A method for assembling a protection cover for protecting gas pipe line}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a method of installing a protective cover for protecting a gas pipe,

일 개시에 의하여, 본 발명은 가스배관 히터 설치용 보호 커버에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 반도체 제조공정으로 이송되는 가스의 배관 외부에 단열재와 히터코일이 내장된 보호 커버를 설치하여 히터코일을 가열함으로써, 가스배관을 일정한 온도로 유지하면서 가스배관 히터 설치용 보호 커버를 가스배관에 간단하게 설치할 수 있는 공정에 관한 것이다.The present invention relates to a protective cover for installing a gas pipeline heater, and more particularly, to a protective cover for installing a gas pipeline heater by heating a heater coil by providing a protective cover with a heat- And a process for easily installing a protective cover for installing a gas piping heater in a gas piping while maintaining the gas piping at a constant temperature.

일반적으로 반도체 제조공정으로 이송되는 가스는 배관을 통해 이송되고 있으나, 이송 중에 배관의 온도가 떨어지면 일부가스에 액화현상이 발생하므로 이를 방지하기 위해 통상적으로 가스배관 외주에 히팅장치를 설치하게 된다.Generally, the gas transferred to the semiconductor manufacturing process is transferred through the piping. However, when the temperature of the piping is lowered during transportation, the liquefaction phenomenon occurs in some gas. Therefore, a heating device is usually installed on the outer circumference of the gas piping.

그러나 이와 같은 히팅장치는 소정의 면적을 갖는 히터자켓의 내부에 히터코일을 구비하여 가스배관에 설치하고 있으나, 상기 히터자켓은 재질이 천이나 헝겊으로 이루어지고 이와 같은 히트자켓의 내부에 히터코일을 설치함으로 인해 제조공정이 복잡하여 제조비용에 비해 생산량이 떨어지는 문제점이 있으며, 그리고 히터자켓의 보온력이 떨어져 히터가스배관을 일정한 온도로 유지할 수 없어 이송되는 일부 가스의 액화현상의 발생으로 반도체 제품의 불량의 원인이 된다.However, in such a heating device, a heater coil is provided in a heater jacket having a predetermined area and is installed in a gas pipe. However, the heater jacket is made of cloth or cloth, and a heater coil There is a problem that the production process is complicated due to the complicated manufacturing process and the production cost is lowered due to the installation process. Also, since the heating force of the heater jacket is deteriorated and the heater gas pipe can not be maintained at a constant temperature, .

(선행문헌 1) 대한민국 공개특허공보 제10-2005-64053호(Prior Art 1) Korean Patent Publication No. 10-2005-64053 (선행문헌 2) 대한민국 특허공개공보 제 10-1363976호(Prior Art 2) Korean Patent Laid-Open Publication No. 10-1363976

일 개시에 의하여 가스배관 외부에 단열재와 히터코일이 내장되는 보호커버를 설치하고 히터코일을 가열함으로써, 히터코일에서 발생하는 열에 의해 가스배관의 내부 온도가 일정하게 유지되고, 단열재에 의해 열효율을 효과적으로 보호할 수 있는 것을 특징으로 하는 가스배관 보호용 커버를 설치하는 방법을 제공함에 목적이 있다.A protective cover in which a heat insulating material and a heater coil are installed on the outside of the gas pipe by the start of operation and the heater coil is heated so that the internal temperature of the gas pipe is kept constant by the heat generated from the heater coil and the thermal efficiency is effectively Which is capable of protecting the gas piping, and which can protect the gas piping.

일 개시에 의하여, 가스 배관을 보호하기 위한 보호 커버를 설치하는 방법에 있어서, 복수개의 공정 가스 용기를 포함하는 챔버의 내부에 가스 공급 판넬을 조립하는 공정을 제공할 수 있다.A method of installing a protective cover for protecting a gas pipeline by the initiation of the process, the process of assembling a gas supply panel inside a chamber including a plurality of process gas vessels can be provided.

일 개시에 의하여, 가스 공급 판넬에 탈착이 가능하며, 전면에 웨이퍼 트레이가 끼워지도록 개구부가 형성되며, 후면에 가스 주입관이 각각 형성된 제 1 가스 공급 밸브 및 제 2 가스 공급 밸브를 형성하는 공정을 제공할 수 있다.A process of forming a first gas supply valve and a second gas supply valve, which are capable of being attached to and detachable from the gas supply panel, openings are formed in the front surface of the wafer tray, .

일 개시에 의하여, 제 1 가스 공급 밸브 및 제 2 가스 공급 밸브의 내부로 공정 가스를 공급하도록 제 1 가스 공급 밸브 및 제 2 가스 공급 밸브의 가스 주입관의 내부로 공정가스 공급 배관을 형성하는 공정을 제공할 수 있다.A step of forming a process gas supply pipe inside the gas injection pipe of the first gas supply valve and the second gas supply valve so as to supply the process gas into the first gas supply valve and the second gas supply valve, Can be provided.

일 개시에 의하여, 공정가스 공급 배관의 일단에 공정가스의 온도를 조절하기 위한 히터를 설치하는 공정을 제공할 수 있다.By the start of the process, it is possible to provide a process for installing a heater for adjusting the temperature of the process gas at one end of the process gas supply pipe.

일 개시에 의하여, 각각의 가스 주입관의 외주면을 감싸도록 제 1 보호 커버를 장착하는 공정을 제공할 수 있다.By the start of operation, it is possible to provide a process of mounting the first protective cover so as to surround the outer circumferential surface of each gas injection tube.

일 개시에 의하여, 챔버의 일단에 후면에 가스 배출관이 각각 형성된 제 1 가스 배출 밸브 및 제 2 가스 배출 밸브를 형성하는 공정을 제공할 수 있다.및According to one aspect of the present invention, it is possible to provide a process of forming a first gas discharge valve and a second gas discharge valve, each of which has a gas discharge pipe at its rear end, at one end of the chamber.

일 개시에 의하여, 각각의 가스 배출관의 외주면을 감싸도록 제 2 보호 커버를 장착하는 공정을 제공할 수 있다. By the start of operation, it is possible to provide a process of mounting the second protective cover so as to surround the outer peripheral surfaces of the respective gas discharge pipes.

일 개시에 의하여, 제 1 보호 커버는, 한쪽 면에 알루미늄 코팅층이 형성된 탄소섬유, 유리섬유, 아라미드섬유 중에서 선택된 어느 하나의 강화섬유 사이에 단열재를 삽입하고 소정의 간격으로 박음질하여 2~6개의 홀을 형성하는 공정, 강화섬유의 양면 일측 끝단에는 탈부착 가능하도록 벨크로 또는 똑딱 단추 중 어느 하나의 고정부재를 구비하는 공정, 홀 내부에는 히터코일을 설치하는 공정을 통해 제조될 수 있다.The first protective cover is formed by inserting a heat insulating material between any one of reinforcing fibers selected from carbon fiber, glass fiber and aramid fiber having an aluminum coating layer formed on one side thereof, A step of providing a fixing member of any one of a velcro or a snap button so that the reinforcing fiber can be detachably attached to one end of both sides of the reinforcing fiber, and a step of installing a heater coil in the hole.

발명에 의한 가스배관 히터 설치용 보호 커버에 의하면 보호커버를 가스배관에 둘러싸 고정시킨 다음 상기 가스배관으로 이송되는 가스의 액화를 방지하기 위해 보호커버의 홀에 삽입 설치되는 히트코일에 전원을 인가하여 상기 히트코일을 가열함으로써, 열이 상기 가스배관으로 전달되어 이송되는 가스의 온도를 일정하게 유지시켜 가스의 액화를 방지하는 것에 장점이 있다.  According to the protective cover for installing a gas piping heater according to the present invention, after the protective cover is fixed around the gas pipe, power is applied to the heat coil inserted in the hole of the protective cover to prevent the gas transferred to the gas pipe from being liquefied, By heating the heat coil, the heat is transferred to the gas pipe, and the temperature of the transferred gas is kept constant, thereby preventing liquefaction of the gas.

그리고 강화섬유의 사이에 단열재를 삽입하여 설치함으로써, 화염에 강하고 기밀성이 우수하며, 단열효과와 수분에 대한 저항성이 우수하여 열효율을 효과적으로 보호할 수 있을 뿐만 아니라 친환경적이고 유연성, 복원성이 우수한 것에 장점이 있다.By inserting the heat insulating material between the reinforcing fibers, it is advantageous that it is resistant to flame, excellent in airtightness, excellent in thermal insulation effect and resistance to moisture, and thus can effectively protect thermal efficiency and is excellent in environment-friendly, flexibility and resilience have.

또한 보호커버에 형성되는 홀을 통해 히트코일을 삽입하고 고정부재를 사용하여 좁은 공간이나 가스배관이 밀접하게 설치된 곳에서도 보호커버를 간편하게 착탈시킬 수 있는 장점이 있다.Further, it is advantageous that the heat coil is inserted through the hole formed in the protective cover, and the protective cover can be easily attached and detached even in a space where the gas pipe is closely installed by using the fixing member.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 가스배관 히터 설치용 보호커버를 적층시키는 상태도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 가스배관 히터에 보호커버를 설치하는 공정에 대한 흐름도이다.
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 가스배관 히터 설치용 보호커버를 나타낸 사시도이다.
도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 가스배관 히터 설치용 보호커버의 설치상태를 나타낸 사시도이다.
도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 가스배관 히터 설치용 보호커버의 설치상태를 나타낸 단면도이다.
도 6은 일 실시예에 의한 제 1 보호 커버에 포함된 단열재를 원료 조성 비율을 달리하여 제조한 예이다.1 is a view illustrating a state in which a protective cover for installing a gas pipeline heater according to an embodiment of the present invention is laminated.
2 is a flowchart illustrating a process of installing a protective cover on a gas piping heater according to an embodiment of the present invention.
3 is a perspective view showing a protective cover for installing a gas piping heater according to an embodiment of the present invention.
FIG. 4 is a perspective view showing the installation state of a protective cover for installing a gas piping heater according to an embodiment of the present invention. FIG.
5 is a cross-sectional view illustrating the installation of a protective cover for installing a gas piping heater according to an embodiment of the present invention.
6 is an example in which a heat insulating material included in the first protective cover according to one embodiment is manufactured by varying the raw material composition ratio.

이하, 첨부된 도면을 참조하여, 본 발명에 따른 실시예에 대하여 설명한다. 본 실시예는 제한적인 것으로 의도된 것이 아니다.Hereinafter, an embodiment according to the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. The present embodiments are not intended to be limiting.

본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The advantages and features of the present invention and the manner of achieving them will become apparent with reference to the embodiments described in detail below with reference to the accompanying drawings. The present invention may, however, be embodied in many different forms and should not be construed as limited to the embodiments set forth herein. Rather, these embodiments are provided so that this disclosure will be thorough and complete, and will fully convey the scope of the invention to those skilled in the art. To fully disclose the scope of the invention to those skilled in the art, and the invention is only defined by the scope of the claims. Like reference numerals refer to like elements throughout the specification.

공간적으로 상대적인 용어인 "아래(below)", "아래(beneath)", "하부(lower)", "위(above)", "상부(upper)" 등은 도면에 도시되어 있는 바와 같이 하나의 부재 또는 구성 요소들과 다른 소자 또는 구성 요소들과의 상관관계를 용이하게 기술하기 위해 사용될 수 있다. 공간적으로 상대적인 용어는 도면에 도시되어 있는 방향에 더하여 사용시 또는 동작 시 부재의 서로 다른 방향을 포함하는 용어로 이해되어야 한다. 예를 들면, 도면에 도시되어 있는 부재를 뒤집을 경우 "상부" 는 "하부"로 해석될 수 있다. 부재는 다른 방향으로도 배향될 수 있고, 이에 따라 공간적으로 상대적인 용어들은 배향에 따라 해석될 수 있다.The terms spatially relative, "below", "beneath", "lower", "above", "upper" May be used to readily describe an element or component and other element or components of the correlation. Spatially relative terms should be understood to include, in addition to the orientation shown in the drawings, terms that include different orientations of members during use or operation. For example, "upper" can be interpreted as "lower" when a member shown in the drawing is inverted. The members can also be oriented in different directions, so that spatially relative terms can be interpreted according to orientation.

본 명세서에서 사용된 용어는 실시예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 "포함한다(comprises)" 및/또는 "포함하는(comprising)"은 언급된 구성요소, 단계, 동작 및/또는 부재는 하나 이상의 다른 구성요소, 단계, 동작 및/또는 부재의 존재 또는 추가를 배제하지않는다.The terminology used herein is for the purpose of illustrating embodiments and is not intended to be limiting of the present invention. In the present specification, the singular form includes plural forms unless otherwise specified in the specification. &Quot; comprises, "and / or" comprising ", as used herein, unless the recited element, step, operation and / Or additions.

다른 정의가 없다면, 본 명세서에서 사용되는 모든 용어(기술 및 과학적 용어를 포함)는 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 공통적으로 이해될 수 있는 의미로 사용될 수 있을 것이다. 또 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 용어들은 명백하게 특별히 정의되어있지 않은 한 이상적으로 또는 과도하게 해석되지 않는다.Unless defined otherwise, all terms (including technical and scientific terms) used herein may be used in a sense commonly understood by one of ordinary skill in the art to which this invention belongs. Also, commonly used predefined terms are not ideally or excessively interpreted unless explicitly defined otherwise.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 가스배관 히터에 보호커버를 설치하는 공정에 대한 흐름도이다. 2 is a flowchart illustrating a process of installing a protective cover on a gas piping heater according to an embodiment of the present invention.

일 개시에 의하여, 가스 배관을 보호하기 위한 보호 커버를 설치하는 방법에 있다.And a method of installing a protective cover for protecting the gas piping by the start of operation.

단계 S102에서 복수개의 공정 가스 용기를 포함하는 챔버의 내부에 가스 공급 판넬을 조립하는 공정을 제공할 수 있다.In step S102, a process of assembling the gas supply panel inside the chamber including the plurality of process gas containers may be provided.

일 개시에 의하여, 단계 S102에서 가스 공급 판넬에 탈착이 가능하며, 전면에 웨이퍼 트레이가 끼워지도록 개구부가 형성되며, 후면에 가스 주입관이 각각 형성된 제 1 가스 공급 밸브 및 제 2 가스 공급 밸브를 형성하는 공정을 제공할 수 있다.The first gas supply valve and the second gas supply valve each having a gas injection pipe formed on the rear surface thereof are formed so that the wafer tray can be inserted into the front surface thereof, Can be provided.

일 개시에 의하여, 단계 S103에서 제 1 가스 공급 밸브 및 제 2 가스 공급 밸브의 내부로 공정 가스를 공급하도록 제 1 가스 공급 밸브 및 제 2 가스 공급 밸브의 가스 주입관의 내부로 공정가스 공급 배관을 형성하는 공정을 제공할 수 있다.By the start of operation, in step S103, a process gas supply pipe is connected to the inside of the gas injection pipe of the first gas supply valve and the second gas supply valve so as to supply the process gas into the first gas supply valve and the second gas supply valve Forming process can be provided.

일 개시에 의하여, 단계 S104에서 공정가스 공급 배관의 일단에 공정가스의 온도를 조절하기 위한 히터를 설치하는 공정을 제공할 수 있다.By the start of operation, it is possible to provide a step of installing a heater for adjusting the temperature of the process gas at one end of the process gas supply pipe in step S104.

일 개시에 의하여, 단계 S105에서 각각의 가스 주입관의 외주면을 감싸도록 제 1 보호 커버를 장착하는 공정을 제공할 수 있다.By the start of operation, it is possible to provide a step of mounting the first protective cover so as to surround the outer circumferential surface of each gas injection tube in step S105.

일 개시에 의하여, 단계 S106에서 챔버의 일단에 후면에 가스 배출관이 각각 형성된 제 1 가스 배출 밸브 및 제 2 가스 배출 밸브를 형성하는 공정을 제공할 수 있다.By the start of operation, it is possible to provide a step of forming a first gas discharge valve and a second gas discharge valve, each of which has a gas discharge pipe at its rear surface at one end of the chamber in step S106.

일 개시에 의하여, 단계 S107에서 각각의 가스 배출관의 외주면을 감싸도록 제 2 보호 커버를 장착하는 공정을 제공할 수 있다. By the start of operation, it is possible to provide a step of mounting the second protective cover so as to surround the outer peripheral surfaces of the respective gas discharge pipes in step S107.

일 개시에 의하여, 제 1 보호 커버는, 한쪽 면에 알루미늄 코팅층이 형성된 탄소섬유, 유리섬유, 아라미드섬유 중에서 선택된 어느 하나의 강화섬유 사이에 단열재를 삽입하고 소정의 간격으로 박음질하여 2~6개의 홀을 형성하는 공정, 강화섬유의 양면 일측 끝단에는 탈부착 가능하도록 벨크로 또는 똑딱 단추 중 어느 하나의 고정부재를 구비하는 공정, 홀 내부에는 히터코일을 설치하는 공정을 통해 제조될 수 있다.The first protective cover is formed by inserting a heat insulating material between any one of reinforcing fibers selected from carbon fiber, glass fiber and aramid fiber having an aluminum coating layer formed on one side thereof, A step of providing a fixing member of any one of a velcro or a snap button so that the reinforcing fiber can be detachably attached to one end of both sides of the reinforcing fiber, and a step of installing a heater coil in the hole.

일 개시에 의하여, 제 2 보호 커버를 설치하는 공정(S107)은, 가스 배출관의 외주면을 감싸는 2 개의 몸체를 구비하는 공정을 제공할 수 있다.  The step (S107) of installing the second protective cover by the start of operation can provide a process including two bodies surrounding the outer peripheral surface of the gas discharge pipe.

일 개시에 의하여, 제 2 보호 커버를 설치하는 공정(S107)은, 2 개의 몸체 중 어느 하나의 몸체에 초전도 선재를 감아서 형성되는 복수개의 초전도 단위 코일을 직렬로 연결하여 형성된 계자코일에 열을 가하는 코일 히터를 구비하는 공정을 제공할 수 있다.The step S107 of installing the second protective cover by the start of operation is a step of heating the field coil formed by connecting a plurality of superconducting unit coils formed by winding the superconducting wire to one of the two bodies in series, It is possible to provide a process including a coil heater to be applied.

일 개시에 의하여, 제 2 보호 커버를 설치하는 공정(S107)은, 가스 배출관 내부의 온도를 측정하고 측정된 온도의 오차 범위 ±5℃ 내의 온도가 유지되도록 코일 히터를 제어하는 제어부를 구비하는 공정을 제공할 수 있다. The step S107 of installing the second protective cover by the start of operation includes a step of measuring the temperature inside the gas discharge tube and controlling the coil heater so that the temperature within the error range of the measured temperature is kept within 5 占 폚 Can be provided.

일 개시에 의하여, 제 2 보호 커버를 설치하는 공정(S107)은, 2 개의 몸체를 볼트를 통해 고정하는 공정을 제공할 수 있다.The step (S107) of installing the second protective cover by the start of the work can provide a step of fixing the two bodies through the bolts.

또한, 제 1 보호 커버에 구비된 단열재는, 유리분말 58.00Wt% 내지 77.00Wt%, 석탄재(Coal Ash) 0Wt% 초과 10.00Wt% 이하, 탄산칼슘(calcium carbonate) 0Wt% 초과 12.00Wt% 이하, 소듐실리케이트(sodium silicate) 0Wt% 초과 15.00Wt% 이하 및 워터 글래스(Water Glass) 18.00Wt% 내지 35.00 Wt%를 포함하여 제조된 세라믹인 것을 특징으로 할 수 있다.It is preferable that the heat insulating material provided in the first protective cover is composed of 58.00Wt% to 77.00Wt% of the glass powder, 10.00Wt% or more of the coal ash, 0Wt% to 12.00wt% of the calcium carbonate, More than 0 wt% of sodium silicate and less than 15.00 wt% of water silicate, and 18.00 wt% to 35.00 wt% of water glass.

또한, 제 1 가스 공급 밸브 및 제 2 가스 공급 밸브에 삽입되는 밸브에 제 1 가스 공급관 및 제 2 가스 공급관의 삽입 길이를 제한할 수 있도록 챔버와 제 1 가스 공급 밸브 및 챔버와 챔버와 제 2 가스 공급 밸브 사이의 가스 주입관의 외면에 길이 제한 유닛을 장착하는 공정을 제공할 수 있다. In addition, the first gas supply valve and the second gas supply valve may be provided with a chamber, a first gas supply valve, a chamber, a chamber, and a second gas supply pipe so as to limit insertion lengths of the first gas supply pipe and the second gas supply pipe. It is possible to provide a process of mounting the length restriction unit on the outer surface of the gas injection pipe between the supply valves.

일 개시에 의하여, 제 1 보호 커버의 히터코일은, 질량% 로, C : 0.05 ～ 0.12 %, Si : 0.01 % 이상 ～ 0.5 % 이하, Mn : 0.8 ～ 1.8 %, P : 0 % 초과 ～ 0.030 % 이하, S : 0.01 % 이하, Al : 0.005 ～ 0.1 %, N : 0.01 % 이하, Ti : 0.030 ～ 0.080 %를 포함하고, 나머지는 Fe를 포함하는 강슬래이브이다.The heater coil of the first protective cover is composed of 0.05 to 0.12% of C, 0.01 to 0.5% of Si, 0.8 to 1.8% of Mn, 0 to 0.030% of P, 0.01% or less of S, 0.005 to 0.1% of Al, 0.01% or less of N, and 0.030 to 0.080% of Ti, with the balance being Fe.

여기서, 히터코일은, 강슬래이브를 950 ～ 1100 ℃ 의 가열 온도로 가열한 후, 700 ～ 850 ℃ 의 온도에서 열간 압연을 실시하고, 그 열간 압연 후 2 초 이내에 20 ℃/s 이상의 냉각 속도로 냉각을 실시한 후 550 ℃ ～ 600 ℃ 의 온도에서 냉각을 정지시킨 후, 2 초 내지 15 초의 방랭 공정을 거친 후에, 다시 100 ℃/s 미만의 냉각 속도로 냉각을 실시하고, 350 ～ 450 ℃ 의 온도에서 코일 형상으로 감아 형성될 수 있다.Here, the heater coil is formed by heating the steel slaves at a heating temperature of 950 to 1100 ° C, hot rolling at a temperature of 700 to 850 ° C, cooling the steel slaves at a cooling rate of 20 ° C / s or more within 2 seconds After cooling, the cooling is stopped at a temperature of 550 to 600 ° C., followed by a cooling process of 2 to 15 seconds. Thereafter, cooling is further performed at a cooling rate of less than 100 ° C./sec. In a coil shape.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 가스배관 히터 설치용 보호커버를 적층시키는 상태도이다.1 is a view illustrating a state in which a protective cover for installing a gas pipeline heater according to an embodiment of the present invention is laminated.

도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 가스배관 히터 설치용 보호커버를 나타낸 사시도이다.3 is a perspective view showing a protective cover for installing a gas piping heater according to an embodiment of the present invention.

도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 가스배관 히터 설치용 보호커버의 설치상태를 나타낸 사시도이다.FIG. 4 is a perspective view showing the installation state of a protective cover for installing a gas piping heater according to an embodiment of the present invention. FIG.

도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 가스배관 히터 설치용 보호커버의 설치상태를 나타낸 단면도이다.5 is a cross-sectional view illustrating the installation of a protective cover for installing a gas piping heater according to an embodiment of the present invention.

도 1 및 3 내지 도 5를 참조해보면, 본 발명에 의한 가스배관 히터 설치용 보호커버(100)는 강화섬유(10)와 보온재(20)와 고정부재(40)와 히터코일(60)로 이루어진다. 1 and 3 to 5, a protective cover 100 for installing a gas pipeline heater according to the present invention comprises a reinforcing fiber 10, a thermal insulating material 20, a fixing member 40, and a heater coil 60.

상기에서 강화섬유(10)는 우수한 내화염 특성을 가짐으로 인해 화염에 강하고 기밀성이 우수하며, 단열효과와 수분에 대한 저항성이 우수한 것으로서, 이와 같은 강화섬유는 한쪽 일면에 부동태막을 형성시켜 방식능력을 향상시키는 알루미나를 도포하여 코팅층(12)을 형성한 것을 사용하는 것이 바람직하다.The reinforcing fiber 10 is excellent in flame resistance and air tightness due to its excellent flame retardant property and is excellent in heat insulation effect and resistance to moisture. Such a reinforcing fiber forms a passive film on one side, It is preferable to use a coating layer 12 formed by applying alumina for improving the surface roughness.

한편, 상기에서 사용하는 강화섬유(10)는 탄소섬유, 유리섬유, 아라미드섬유 중에서 1종을 선택하여 사용하는 것이 바람직하다. 그리고 상기 알루미나 코팅층(12)의 두께는 10~100㎛인 것이 바람직하지만 상기 알루미나 코팅층(12)의 두께는 특별히 한정하는 것은 아니고 소비자의 요구나 제조자의 필요에 따라 적절한 두께로 코팅시켜 사용할 수 있다.Meanwhile, it is preferable that one of carbon fiber, glass fiber, and aramid fiber is selected and used as the reinforcing fiber 10. The thickness of the alumina coating layer 12 is preferably 10 to 100 탆. However, the thickness of the alumina coating layer 12 is not particularly limited, and may be suitably selected depending on the needs of the customer or the manufacturer.

상기에서 단열재(20)는 복사나 전도에 의해 손실되는 열을 차단하여 가스배관의 보온력을 향상시키는 역할을 하는 것으로서, 친환경적이며, 단열성, 유연성, 복원성, 가공성 및 인장력이 우수한 것을 사용할 수 있지만 바람직하게는 압축시킨 유리섬유, 실리카섬유, 탄소섬유, 세라믹섬유, 아라미드섬유 중에서 1종을 선택하여 사용하는 것이 적합하다. 그리고 상기 단열재의 두께는 1~3mm인 것이 적합하지만 단열재의 두께는 특별히 한정하는 것은 아니고 소비자의 요구나 제조자의 필요에 따라 적절한 두께를 선택하여 사용할 수 있다.The heat insulating material 20 has a function of insulating the heat lost by radiation or conduction to improve the thermal insulation of the gas piping. It is environmentally friendly, and has excellent heat insulation, flexibility, stability, workability and tensile strength. It is preferable to use one selected from among compressed glass fibers, silica fibers, carbon fibers, ceramic fibers and aramid fibers. The thickness of the heat insulating material is preferably 1 to 3 mm. However, the thickness of the heat insulating material is not particularly limited, and an appropriate thickness can be selected and used according to the needs of the consumer or the needs of the manufacturer.

상기에서 고정부재(40)는 상기 강화섬유(10)의 앞뒤면 일측 끝단에 결합시켜 보호커버(10)를 가스배관(70)에 둘러쌀 때 보호커버(10)를 고정시켜 상기 보호커버(100)가 상기 가스배관(70)으로부터 분리되지 않도록 하는 것으로서, 상기 고정부재(40)는 벨크로 또는 똑딱단추 중에서 선택하여 사용하는 것이 바람직하다. 그러나 상기 고정부재(40)는 소비자의 요구나 제조자의 필요에 따라 동등 이상의 성능이 유지되는 경우 적절히 선택하여 사용할 수 있다.The fixing member 40 is coupled to one end of the front surface and the rear surface of the reinforcing fiber 10 to fix the protective cover 10 when the protective cover 10 is surrounded by the gas pipe 70, Is not separated from the gas pipe 70. It is preferable that the fixing member 40 is selected from among a velcro or a snap button. However, the fixing member 40 can be appropriately selected and used when performance equal to or higher than that required by a consumer or a manufacturer is maintained.

한편, 본 발명에 따른 가스배관 히터 설치용 보호커버(100)는 상기 강화섬유(10)의 알루미나 코팅층(12)을 외측으로 하고 그 사이에 단열재(20)를 삽입하게 된다. 그리고 상기 알루미나 코팅층(12)의 앞뒷면의 일측 끝단에 고정부재(40)를 덧댄 다음 강화유리 얀(yarn)을 사용하여 박음질(50)을 하게 되는 것이다. 이때 상기 강화섬유(10)에 박음질(50)함으로써 형성되는 홀(30)의 개수는 특별히 한정하는 것은 아니고 히터코일(60)이 수용되는 개수에 따라 상기 강화섬유(10)를 균등하게 박음질하면 되지만 바람직하게는 가스배관의 굵기에 따라 2~6개의 홀(30)이 형성되는 것이 적합하다. Meanwhile, the protective cover 100 for installing a gas piping heater according to the present invention inserts the heat insulating material 20 with the alumina coating layer 12 of the reinforcing fiber 10 outside. Then, a fixing member 40 is attached to one end of the front and back surfaces of the alumina coating layer 12, and then the reinforcing glass yarn is used to make the strand 50. In this case, the number of the holes 30 formed by staking the reinforcing fibers 10 is not particularly limited, and the reinforcing fibers 10 may be evenly stitched according to the number of the heater coils 60 accommodated therein Preferably, two to six holes 30 are formed depending on the thickness of the gas piping.

도 5는 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 가스배관 히터 설치용 보호커버(100)를 가스배관(70)에 설치한 상태를 나타낸 것으로서, 도시한 바와 같이 가스배관(70)의 길이에 맞게 보호커버(10)를 절단한 후 보호커버(10)에 형성되는 각 홀(30)에 히터코일(60)을 삽입하게 된다. 그리고 상기 히터코일(60)이 삽입된 보호커버(100)를 상기 가스배관(70)에 둘러싼 후 보호커버(100)의 양측 끝단에 구비된 고정부재(40)를 서로 결합시켜 설치하게 되는 것이다. 5 is a view showing a state in which a protective cover 100 for installing a gas pipeline heater according to a preferred embodiment of the present invention is installed in a gas piping 70. As shown in the figure, The heater coil 60 is inserted into each of the holes 30 formed in the protective cover 10 after cutting the heater 10. The protective cover 100 having the heater coil 60 inserted therein is enclosed in the gas pipe 70 and the fixing members 40 provided at both ends of the protective cover 100 are coupled to each other.

한편, 이송되는 가스의 액화현상을 방지하기 위해 가스배관(70)에 열을 공급하고자 할 경우 먼저, 보호커버(100)를 가스배관(70)에 둘러싸 고정시킨 다음 상기 보호커버(100)의 홀(30)에 삽입 설치되는 히트코일(40)에 전원(도시하지 않음)을 인가하면 상기 히트코일(40)이 가열되고 가열된 히트코일(40)이 발산하는 열이 상기 가스배관(70)으로 전달된다. 그리고 상기 가스배관(70)으로 이송되는 가스에 열이 전달되어 가스의 액화를 방지할 수 있는 것이다. When it is desired to supply heat to the gas piping 70 in order to prevent the liquefaction of the transferred gas, the protective cover 100 is firstly surrounded by the gas piping 70, When a power source (not shown) is applied to the heat coil 40 inserted into the heat pipe 30, the heat coil 40 is heated and the heat radiated from the heated heat coil 40 flows into the gas pipe 70 . Heat is transferred to the gas delivered to the gas pipe (70) to prevent liquefaction of the gas.

그리고 본 발명에 따른 가스배관 히터 설치용 보호커버(100)는 상기에서 설명한 바와 같이 강화섬유(10)의 사이에 단열재(20)를 삽입하여 제작되므로 인해 화염에 강하고 기밀성이 우수하며, 단열효과와 수분에 대한 저항성이 우수할 뿐만 아니라 친환경적이며 유연성, 복원성, 가공성 등이 우수한 것이 특징이다. 또한 본 발명은 상기 보호커버(100)에 형성되는 홀(30)을 통해 히트코일(40)을 삽입한 다음 고정부재(40)로 보호커버(100)를 가스배관(70)에 설치하므로 인해 설치를 간편하게 할 수 있는 것에 특징이 있다. Since the protective cover 100 for installing a gas pipeline heater according to the present invention is manufactured by inserting the heat insulating material 20 between the reinforcing fibers 10 as described above, the protective cover 100 is strong against the flame and has excellent airtightness, And is environmentally friendly, and is characterized by excellent flexibility, stability, processability, and the like. The heat coil 40 is inserted through the hole 30 formed in the protective cover 100 and then the protective cover 100 is installed in the gas pipe 70 with the fixing member 40, Can be easily performed.

도 6은 일 실시예에 의한 제 1 보호 커버에 포함된 단열재를 원료 조성 비율을 달리하여 제조한 예이다.6 is an example in which a heat insulating material included in the first protective cover according to one embodiment is manufactured by varying the raw material composition ratio.

본 발명이 제안한 조성 범위 내에서 제조된 세라믹 단열재만이 수분 흡수율이 7% 이하로 낮고, 열전도도가 0.044W/mK로 낮으며, 비중 또한 0.13g/cm3 으로 낮아 가벼우면서 단열 효과도 우수함을 알 수 있다.Only the ceramic insulating material manufactured within the composition range proposed by the present invention has a low water absorption rate of 7% or less, a low thermal conductivity of 0.044 W / mK, a low specific gravity of 0.13 g / cm 3 , Able to know.

적절한 발포 및 폐기공 크기를 형성하려면 유리분말, 석탄재(Coal Ash), 탄산칼슘, 물유리(Water Glass) 및 소듐실리케이트(sodium silicate)가 일정한 조성 범위에 있어야만 본 발명의 목적에 적합한 생산원가가 낮고 경량성, 단열성 및 난연성 등의 특성을 가진 다공성 세라믹 단열재를 제조할 수 있게 되는데, 그 구체적인 이유에 대해 설명하기로 한다.In order to form a suitable foam and waste ball size, glass powder, coal ash, calcium carbonate, water glass and sodium silicate should be in a certain composition range, A porous ceramic heat insulating material having properties such as heat resistance, heat resistance and flame retardancy can be manufactured. Specific reasons will be described.

상기 유리 분말은 폐유리 분말로서 일상 생활에서 발생하는 판유리, 병유리 및 TV, 모니터 등의 브라운관 유리와 같은 재활용 유리를 사용한다. 유리 분말은 연화점을 낮춰 비교적 낮은 온도에서도 발포가 가능하도록 돕는 기능과 기공 내부 표면의 유리화에 의한 폐기공 형성 및 강도 개선을 목적으로 한다.As the glass powder, recycled glass such as a plate glass, a bottle glass, and a cathode ray tube such as a TV or a monitor, which occurs in daily life, is used as the waste glass powder. The glass powder has the function of lowering the softening point and enabling the foaming at a relatively low temperature and the purpose of vitrification of the inner surface of the pore to improve the strength and strength of the pore.

본 발명에 사용된 유리분말은 전체 조성물의 58Wt% 내지 77Wt%인 것이 가장 바람직하다. 이는 58Wt% 이하가 되면 기공의 크기가 작아지면서 밀도가 증가하는 현상이 나타나며, 77Wt% 이상이 되면 표면이 유리화되고 과대 발포 현상이 나타나 바람직하지 않기 때문이다.The glass powder used in the present invention is most preferably 58 wt% to 77 wt% of the total composition. If the pore size is less than 58Wt%, the density increases. When the pore size is less than 58Wt%, the surface becomes vitrified and over-foaming phenomenon occurs.

상기 석탄재(Coal Ash)는 석탄 연소 후 발생되는 부산물로서 집진기에서 포집되는 미세한 분말인 플라이 애쉬(Fly Ash), 보일러 하단에 낙하되는 바텀애쉬(Bottom Ash) 및 미연탄소분 함량이 높은 잔사회(Rejected Ash) 등을 모두 사용할 수 있다. 석탄재는 포졸란성(Pozzolan)의 대표 물질로써 석회와 결합하여 물을 만나면 상온에서 시멘트 성질을 가지는 화합물을 생성한다. 석탄재(Coal Ash)는 다공성 세라믹 발포체의 강도 개선에 우수한 특성을 지니고 있다.The coal ash is a by-product generated after coal combustion. It is a fly ash which is fine powder collected in a dust collector, a bottom ash which falls on the bottom of the boiler, and a refuse ash which has a high unburned carbon content ) Can be used. Coal materials are a representative material of Pozzolan, and when combined with lime, they form cement-like compounds at room temperature. Coal ash has excellent properties in improving the strength of porous ceramic foam.

본 발명에 사용된 석탄재(Coal Ash)는 전체 조성물의 0Wt% 초과 10Wt% 이하인 것이 바람직하다. 0wt%에 가까워질수록 과대 발포와 함께 강도가 떨어지는 현상이 발생하며, 10Wt%이상이 되면 발포 현상이 극도로 억제되면서 기공이 작아지고 밀도가 증가되어 바람직하지 않기 때문이다.The coal ash used in the present invention is preferably not less than 0 wt% and not more than 10 wt% of the total composition. The closer to 0 wt%, the stronger the strength is with the over-expansion, and if it is above 10 wt%, the foaming phenomenon is suppressed extremely and the pore becomes smaller and the density increases.

상기 탄산칼슘(calcium carbonate)은 석회석 또는 대리석으로서 시멘트의 주원료나, 산화칼슘의 원료, 제철 및 건축재료 등의 각종 중화제(中和劑)로서 사용된다. 가열하면 이산화탄소를 발생시키므로 발포에 양(+)의 영향을 주기 위해 사용된다. The calcium carbonate is used as various kinds of neutralizing agents such as limestone or marble, a raw material for cement, a raw material for calcium oxide, steel making and building materials. When heated, carbon dioxide is generated, so it is used to give positive (+) influence on foaming.

본 발명에 사용된 탄산칼슘(calcium carbonate)은 전체 조성물의 0Wt% 초과 12Wt% 이하인 것이 바람직하다. 0Wt%에 가까워질수록 발포현상이 억제되면서 기공의 크기가 작아지며, 12Wt% 이상이 되면 발포 현상이 극도로 억제되면서 균일한 기공 형성을 저해하며 밀도가 증가되어 바람직하지 않기 때문이다.The calcium carbonate used in the present invention is preferably more than 0 wt% and not more than 12 wt% of the total composition. The closer to 0Wt% the smaller the size of the pores by suppressing the foaming phenomenon, and when the content is more than 12Wt%, the foaming phenomenon is extremely suppressed and the uniform pore formation is inhibited and the density is increased.

상기 소듐실리케이트(sodium silicate)는 실리카(SiO2)및 산화나트륨(Na2O)이 주성분으로 부식제 및 완충제로 사용된다. 본 발명에 사용된 소듐실리케이트(sodium silicate)는 전체 조성물의 0Wt% 초과 15Wt% 이하인 것이 바람직하다. 15Wt%이상이 되면 혼합 공정 중에 공기중의 수분과 결합하여 굳어버리는 현상이 일어나기 때문이다.The sodium silicate is mainly composed of silica (SiO 2 ) and sodium oxide (Na 2 O), and is used as a caustic and buffering agent. The sodium silicate used in the present invention is preferably more than 0 wt% to 15 wt% of the total composition. When the content is more than 15 wt%, the water is mixed with moisture in the air during the mixing process and hardens.

상기 워터글래스, 즉 물유리(Water Glass)는 수용성 규산염 중 가장 널리 사용되고 있는 무기 화합물이다. 물에 대한 용해성 때문에 물유리(Water Glass)로 불리어 지고 있다. 이는 알카리 금속이 이산화규소(SiO2)와 다양한 몰비로 결합한 화합물로써 규산나트륨(Sodium Silicate), 규산 칼륨 (Potassium Silicate), 리튬 실리케이트(Lithium Silicate) 등이 있으며 자체적으로 10% 내지 30% 정도의 물을 포함하고 있다. 물유리(Water Glass)는 순도 높은 모래를 탄산나트륨(Na2CO3)또는 탄산칼륨 (K2CO3)와 함께 1100~1200℃에서 용융시켜 만들어 진다.The water glass, that is, water glass is the most widely used inorganic compound among water-soluble silicates. Because of its solubility in water, it is called Water Glass. It is a compound in which alkali metal is combined with silicon dioxide (SiO 2 ) at various molar ratios. It is composed of sodium silicate, potassium silicate, lithium silicate and the like, and contains 10% to 30% . Water Glass is made by melting high purity sand with sodium carbonate (Na 2 CO 3 ) or potassium carbonate (K 2 CO 3 ) at 1100 ~ 1200 ℃.

본 발명에 사용된 물유리(Water Glass)는 전체 조성물의 18Wt% 내지 35Wt%인 것이 바람직하다. 18Wt% 이하에서는 발포력이 떨어져 무게가 무거워지며, 35Wt%이상에서는 표면이 유리화되고, 기공의 병합에 의한 과대 기공이 형성되어 제품으로서 바람직한 형상을 구성하지 못하기 때문이다.The water glass used in the present invention is preferably 18 wt% to 35 wt% of the total composition. When the content is less than 18 wt%, the foaming power is reduced and the weight becomes heavy. When the content is more than 35 wt%, the surface is vitrified and excessive pores are formed due to the merging of the pores.

본 발명의 일실시례에 따른 세라믹 조성물의 유리분말, 석탄재(Coal Ash) 및 소듐실리케이트(sodium silicate) 각각의 성분분석 결과를 나타낸 도면이다.FIG. 5 is a graph showing the results of analysis of components of the glass powder, coal ash and sodium silicate of the ceramic composition according to one embodiment of the present invention. FIG.

유리분말은 이산화규소(SiO2)가 55Wt% 내지 75Wt%, 산화칼슘(CaO)이 0.6Wt% 내지 10Wt%, 및 산화나트륨(Na2O)이 8.00Wt% 내지 13Wt%의 성분을 함유하고 있으며, 기타 산화마그네슘(MgO), 알루미나(Al2O3), 산화칼륨(K2O) 산화스트론튬(SrO)등을 4.7Wt% 내지 19.4Wt% 포함하고 있다.The glass powder contains 55 wt% to 75 wt% of silicon dioxide (SiO 2 ), 0.6 wt% to 10 wt% of calcium oxide (CaO), and 8.00 wt% to 13 wt% of sodium oxide (Na 2 O) , Other magnesium oxide (MgO), alumina (Al 2 O 3 ), potassium oxide (K 2 O), strontium oxide (SrO), and the like in an amount of 4.7 to 19.4 wt%.

석탄재(Coal Ash)는 SiO2 35Wt% 내지 70Wt%, 알루미나(Al2O3) 10Wt% 내지 25Wt% 및 삼산화철(Fe2O3) 3Wt% 내지 17Wt%, 산화칼슘(CaO) 1Wt% 내지 11Wt% , 산화마그네슘(MgO) 0.5Wt% 내지 10Wt% , 산화나트륨(Na2O) 0.1Wt% 내지 7Wt%로 여섯가지 성분의 합이 85Wt% 이상 함유되어 있으며 기타, 삼산화황(SO3),이산화티타늄(TiO2),산화스트론튬(SrO), 산화바륨(BaO) 등의 성분을 포함하고 있다.The coal ash is SiO 2 (Al 2 O 3 ) 10 wt% to 25 wt% and iron oxide (Fe 2 O 3 ) 3 wt% to 17 wt%, calcium oxide (CaO) 1 wt% to 11 wt%, magnesium oxide (MgO) 0.5 Wt% to 10Wt%, sodium oxide (Na 2 O), the sum of six components in 0.1Wt% 7Wt% to 85Wt% or more is contained, and any other, sulfur trioxide (SO 3), titanium dioxide (TiO 2), strontium oxide ( SrO, and barium oxide (BaO).

또한, 소듐실리케이트(sodium silicate)는 규소(SiO2) 28.0~38.0% 및 산화나트륨(Na2O) 9.0~19.0%성분을 포함하고 있다. In addition, sodium silicate (sodium silicate) contains the 9.0 ~ 19.0% Component silicon (SiO 2) 28.0 ~ 38.0%, and sodium (Na 2 O) oxidation.

상술한 바와 같은, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 가스배관 히터 설치용 보호커버를 상기한 설명 및 도면에 따라 도시하였지만, 이는 예를 들어 설명한 것에 불과하며 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변화 및 변경가능하다는 것을 이 분야의 통상적인 기술자들은 잘 이해할 수 있을 것이다.Although the protective cover for installing the gas pipeline heater according to the preferred embodiment of the present invention has been described above with reference to the above description and drawings, it should be understood that the present invention is not limited thereto. It will be understood by those skilled in the art that changes and modifications may be made.

또한, 상기와 같이 설명된 장치 및 방법은 상기 설명된 실시례들의 구성과 방법이 한정되게 적용될 수 있는 것이 아니라, 상기 실시례들은 다양한 변형이 이루어질 수 있도록 각 실시례들의 전부 또는 일부가 선택적으로 조합되어 구성될 수도 있다.It should be understood that the above-described apparatus and method are not limited to the configurations and methods of the embodiments described above, but the embodiments may be modified such that all or some of the embodiments are selectively combined .

Claims (5)

가스 배관을 보호하기 위한 보호 커버를 설치하는 방법에 있어서,
복수개의 공정 가스 용기를 포함하는 챔버의 내부에 가스 공급 판넬을 조립하는 공정;
상기 가스 공급 판넬에 탈착이 가능하며, 전면에 웨이퍼 트레이가 끼워지도록 개구부가 형성되며, 후면에 가스 주입관이 각각 형성된 제 1 가스 공급 밸브 및 제 2 가스 공급 밸브를 형성하는 공정;
상기 제 1 가스 공급 밸브 및 제 2 가스 공급 밸브의 내부로 공정 가스를 공급하도록 상기 제 1 가스 공급 밸브 및 상기 제 2 가스 공급 밸브의 가스 주입관의 내부로 공정가스 공급 배관을 형성하는 공정;
상기 공정가스 공급 배관의 일단에 공정가스의 온도를 조절하기 위한 히터를 설치하는 공정;
상기 각각의 가스 주입관의 외주면을 감싸도록 제 1 보호 커버를 장착하는 공정;
상기 챔버의 일단에 후면에 가스 배출관이 각각 형성된 제 1 가스 배출 밸브 및 제 2 가스 배출 밸브를 형성하는 공정;및
상기 각각의 가스 배출관의 외주면을 감싸도록 제 2 보호 커버를 장착하는 공정;을 포함하며,
상기 제 1 보호 커버는,
한쪽 면에 알루미늄 코팅층이 형성된 탄소섬유, 유리섬유, 아라미드섬유 중에서 선택된 어느 하나의 강화섬유 사이에 단열재를 삽입하고 소정의 간격으로 박음질하여 2~6개의 홀을 형성하는 공정;
상기 강화섬유의 양면 일측 끝단에는 탈부착 가능하도록 벨크로 또는 똑딱 단추 중 어느 하나의 고정부재를 구비하는 공정;및
상기 홀 내부에는 히터코일을 설치하는 공정;을 통해 생성되는 것을 특징으로 하는, 가스 배관을 보호하기 위한 보호 커버를 설치하는 방법.A method of installing a protective cover for protecting a gas pipeline,
Assembling a gas supply panel into a chamber containing a plurality of process gas containers;
Forming a first gas supply valve and a second gas supply valve each having an opening to allow the wafer tray to be fitted on the front surface thereof and having a gas injection pipe formed on the rear surface thereof;
Forming a process gas supply pipe in the gas injection pipe of the first gas supply valve and the second gas supply valve so as to supply the process gas into the first gas supply valve and the second gas supply valve;
Providing a heater for adjusting the temperature of the process gas at one end of the process gas supply pipe;
Mounting a first protective cover to surround the outer circumferential surface of each of the gas injection pipes;
Forming a first gas discharge valve and a second gas discharge valve each having a gas discharge pipe at a rear surface thereof at one end of the chamber;
And mounting a second protective cover to surround the outer circumferential surface of each of the gas discharge pipes,
Wherein the first protective cover comprises:
A step of inserting a heat insulating material between any one of reinforcing fibers selected from carbon fiber, glass fiber and aramid fiber having an aluminum coating layer formed on one side thereof, and inserting the heat insulating material at a predetermined interval to form 2 to 6 holes;
And a fixing member of either a Velcro or a Snap button so as to be detachably attached to one end of each side of the reinforcing fiber;
And a heater coil is installed in the hole. 2. The method of claim 1, wherein the heating coil is installed in the hole. 제 1항에 있어서,
상기 제 2 보호 커버를 설치하는 공정은,
상기 가스 배출관의 외주면을 감싸는 2 개의 몸체를 구비하는 공정;
상기 2 개의 몸체 중 어느 하나의 몸체에 초전도 선재를 감아서 형성되는 복수개의 초전도 단위 코일을 직렬로 연결하여 형성된 계자코일에 열을 가하는 코일 히터를 구비하는 공정;
상기 가스 배출관 내부의 온도를 측정하고 측정된 온도의 오차 범위 ±5℃ 내의 온도가 유지되도록 상기 코일 히터를 제어하는 제어부를 구비하는 공정;및
상기 2 개의 몸체를 볼트를 통해 고정하는 공정;을 포함하는 것을 특징으로 하는, 가스 배관을 보호하기 위한 보호 커버를 설치하는 방법.The method according to claim 1,
Wherein the step of installing the second protective cover comprises:
Comprising: two bodies enclosing an outer peripheral surface of the gas discharge tube;
And a coil heater for applying heat to a field coil formed by connecting a plurality of superconducting unit coils formed by winding a superconducting wire to one of the two bodies in series;
Measuring a temperature inside the gas discharge pipe and controlling the coil heater so as to maintain a temperature within an error range of the measured temperature within +/- 5 DEG C; and
And fixing the two bodies to each other through a bolt. ≪ RTI ID = 0.0 > 11. < / RTI > 제 1항에 있어서,
상기 제 1 보호 커버에 구비된 단열재는,
유리분말 58.00Wt% 내지 77.00Wt%, 석탄재(Coal Ash) 0Wt% 초과 10.00Wt% 이하, 탄산칼슘(calcium carbonate) 0Wt% 초과 12.00Wt% 이하, 소듐실리케이트(sodium silicate) 0Wt% 초과 15.00Wt% 이하 및 워터 글래스(Water Glass) 18.00Wt% 내지 35.00 Wt%를 포함하여 제조된 세라믹인 것을 특징으로 하는, 가스 배관을 보호하기 위한 보호 커버를 설치하는 방법.The method according to claim 1,
Wherein the heat insulating material provided on the first protective cover comprises:
58.00Wt% to 77.00Wt% of glass powder, more than 0Wt% and 10.00Wt% of coal ash, more than 0Wt% and less than 12.00Wt% of calcium carbonate, more than 0Wt% and less than 15.00Wt% of sodium silicate And 18.00 Wt% to 35.00 Wt% of water glass. The method of claim 1, 제 1항에 있어서,
상기 제 1 가스 공급 밸브 및 제 2 가스 공급 밸브에 삽입되는 상기 밸브에 제 1 가스 공급관 및 제 2 가스 공급관의 삽입 길이를 제한할 수 있도록 상기 챔버와 상기 제 1 가스 공급 밸브 및 상기 챔버와 제 2 가스 공급 밸브 사이의 가스 주입관의 외면에 길이 제한 유닛을 장착하는 공정;을 더 포함하는, 가스 배관을 보호하기 위한 보호 커버를 설치하는 방법.The method according to claim 1,
The first gas supply valve, and the second gas supply valve, the first gas supply pipe, the second gas supply valve, the second gas supply valve, and the second gas supply valve, And mounting a length limiting unit on the outer surface of the gas injection pipe between the gas supply valves. 제 1항에 있어서,
상기 제 1 보호 커버의 히터코일은,
질량% 로, C : 0.05 ～ 0.12 %, Si : 0.01 % 이상 ～ 0.5 % 이하, Mn : 0.8 ～ 1.8 %, P : 0 % 초과 ～ 0.030 % 이하, S : 0.01 % 이하, Al : 0.005 ～ 0.1 %, N : 0.01 % 이하, Ti : 0.030 ～ 0.080 %를 포함하고, 나머지는 Fe를 포함하는 강슬래이브이며,
상기 히터코일은,
상기 강슬래이브를 950 ～ 1100 ℃ 의 가열 온도로 가열한 후, 700 ～ 850 ℃ 의 온도에서 열간 압연을 실시하고, 그 열간 압연 후 2 초 이내에 20 ℃/s 이상의 냉각 속도로 냉각을 실시한 후 550 ℃ ～ 600 ℃ 의 온도에서 냉각을 정지시킨 후, 2 초 내지 15 초의 방랭 공정을 거친 후에, 다시 100 ℃/s 미만의 냉각 속도로 냉각을 실시하고, 350 ～ 450 ℃ 의 온도에서 코일 형상으로 감아 형성되는 것을 특징으로 하는, 가스 배관을 보호하기 위한 보호 커버를 설치하는 방법.The method according to claim 1,
Wherein the heater coil of the first protective cover
P: not less than 0% to not more than 0.030%, S: not more than 0.01%, Al: not more than 0.005 to 0.1% , N: 0.01% or less, and Ti: 0.030 to 0.080%, the balance being Fe steel,
The heater coil
After the steel slab was heated to a heating temperature of 950 to 1100 ° C, hot rolling was performed at a temperature of 700 to 850 ° C and cooling was performed at a cooling rate of 20 ° C / s or more within 2 seconds after the hot rolling. After the cooling is stopped at a temperature of from 0 to 600 ° C, the mixture is cooled for 2 seconds to 15 seconds, cooled again at a cooling rate of less than 100 ° C / s, coiled at a temperature of 350 to 450 ° C Wherein the protective cover is formed on the surface of the gas pipe.
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