KR101805921B1 - 정전기 측정 셀 및 이를 구비한 정전기 측정 장치 - Google Patents

정전기 측정 셀 및 이를 구비한 정전기 측정 장치 Download PDF

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Abstract

실시예에 따르면, 정전기 측정 셀은, 바, 바로부터 이격된 다수의 패드, 패드로부터 바의 방향으로 연장된 다수의 패드 라인 및 바, 패드 및 패드 라인 아래에 기판을 포함한다.

Description

정전기 측정 셀 및 이를 구비한 정전기 측정 장치{Static electricity measuring cell and device thereof}
실시예는 정전기 측정 장치에 관한 것이다.
정보를 표시하는 표시 장치는 기판을 원판으로 이용하고 있습니다.
표시 장치는 액정 표시장치, 유기전계발광 표시장치, 플라즈마 디스플레이 패널 및 전계방출 표시장치를 포함한다.
기판 상에 다양한 회소 소자와 발광 소자 등이 형성될 수 있다.
이러한 회로 소자나 발광 소자를 형성하기 위해서는 다수의 공정들을 거쳐야 한다.
예컨대, 하나의 층을 형성하기 위해서는 제1 세정 공정, 포토 공정, 노광 공정, 현상 공정, 식각 공정 및 제2 세정 공정이 수행되어야 한다.
이러한 다수의 공정들을 진행하면서 또는 이송 중에 기판 상에 정전기가 발생할 가능성이 매우 높다.
즉, 기판의 이송을 위해 기판이 반송 롤러에 로딩 또는 언로딩되거나 각 공정을 위해 기판이 챔버의 서포트 상에 로딩 또는 언로딩될 때, 상당량의 정전기가 발생될 수 있다.
공정 상의 불량을 방지하기 위해서는 이러한 기판의 정전기가 수시로 체크하여 제거되어야 한다.
도 1에 도시한 바와 같이, 종래의 정전기 측정 장치로는 정정기를 측정할 수 있는 계측기(110)가 사용된다. 계측기(110)는 전기장 미터(electrostatic field meter)나 전압 미터(electrostatic voltage meter)일 수 있다.
계측기(110)를 기판(100) 위의 각 영역마다 위치시켜 해당 영역에서의 정전기를 측정하게 된다.
하지만, 종래의 정전기 측정 장치는 기판이 대면적인 경우, 수 많은 영역의 정전기를 일일이 측정하는 번거로운이 있다.
아울러, 종래의 정전기 측정 장치는 챔버 안에서는 기판의 정전기를 측정할 수 없다.
실시예는 기판의 사이즈에 관계없이 기판의 정정기를 용이하게 측정할 수 있는 정전기 측정 장치를 제공한다.
실시예는 기판이 있는 장소에 관계없이 기판의 정전기를 용이하게 측정할 수 있는 정전기 측정 장치를 제공한다.
실시예에 따르면, 정전기 측정 셀은, 바; 상기 바로부터 이격된 다수의 패드; 상기 패드로부터 상기 바의 방향으로 연장된 다수의 패드 라인; 및 상기 바, 상기 패드 및 상기 패드 라인 아래에 기판을 포함하며, 상기 기판 상에는 화소 소자와 발광 소자가 형성되며, 정전기를 국부적으로 측정한다.
실시예에 따르면, 정전기 측정 셀은, 적어도 하나 이상의 바; 상기 적어도 하나 이상의 바 사이에 배치되며 상기 하나 이상의 바와 전기적으로 연결되는 배터리; 상기 적어도 하나 이상의 바로부터 이격된 다수의 패드; 상기 패드로부터 상기 적어도 하나 이상의 바의 방향으로 연장된 다수의 패드 라인; 및 상기 적어도 하나 이상의 바, 상기 패드 및 상기 패드 라인 아래에 기판을 포함하며, 상기 기판 상에는 화소 소자와 발광 소자가 형성되며, 정전기를 국부적으로 측정한다.
실시예에 따르면, 정전기 측정 장치는, 정전기를 영역 별로 측정하기 위한 다수의 정전기 측정 셀이 정의된 기판을 포함하고, 상기 정전기 측정 셀은, 상기 기판 상에 바; 상기 바로부터 이격된 다수의 패드; 및 상기 패드로부터 상기 바의 방향으로 연장된 다수의 패드 라인을 포함하며, 상기 기판 상에는 화소 소자와 발광 소자가 형성되며, 정전기를 국부적으로 측정한다.
실시예에 따르면, 정전기 측정 장치는, 정전기를 영역 별로 측정하기 위한 다수의 정전기 측정 셀이 정의된 기판을 포함하고, 상기 정전기 측정 셀은, 상기 기판 상에 적어도 하나 이상의 바; 상기 적어도 하나 이상의 바 사이에 배치되며 상기 하나 이상의 바와 전기적으로 연결되는 배터리; 상기 적어도 하나 이상의 바로부터 이격된 다수의 패드; 상기 패드로부터 상기 적어도 하나 이상의 바의 방향으로 연장된 다수의 패드 라인을 포함하며, 상기 기판 상에는 화소 소자와 발광 소자가 형성되며, 정전기를 국부적으로 측정한다.
실시예는 전자 장치를 제조하기 위해 사용된 기판과 동일한 기판을 채용하여 장소에 관계없이 정전기를 측정할 수 있다.
실시예는 정전기를 국부적으로 측정할 수 있는 다수의 정전기 측정 셀을 배열함으로써, 대면적의 전자 장치를 제조하기 위한 기판이 사용된 환경에서도 용이하게 정전기를 측정할 수 있다.
실시예는 전자 장치를 제조하기 위한 기판이 공정에 사용되는 경우, 정전기 측정 장치 또한 전자 장치를 제조하기 위한 기판에 인접하여 배치함으로써, 극한의 상황에서도 정전기를 용이하게 측정할 수 있다.
도 1은 종래의 정전기 측정 장치를 도시한 도면이다.
도 2는 제1 실시예에 따른 정전기 측정 셀을 도시한 도면이다.
도 3은 제2 실시예에 따른 정전기 측정 셀을 도시한 도면이다.
도 4는 제3 실시예에 따른 정전기 측정 셀을 도시한 도면이다.
도 5는 제4 실시예에 따른 정전기 측정 셀을 도시한 도면이다.
도 6은 제5 실시예에 따른 정전기 측정 셀을 도시한 도면이다.
도 7은 제6 실시에에 따른 정전기 측정 셀을 도시한 도면이다.
도 8은 실시예에 따른 정전기 측정 장치를 도시한 평면도이다.
도 9는 도 8의 정전기 측정 장치를 도시한 단면도이다.
도 10은 절연 파괴로 인해 패드 라인이 파손된 모습을 도시한 도면이다.
발명에 따른 실시 예의 설명에 있어서, 각 구성 요소의 " 상(위) 또는 하(아래)"에 형성되는 것으로 기재되는 경우에 있어, 상(위) 또는 하(아래)는 두개의 구성 요소들이 서로 직접 접촉되거나 하나 이상의 또 다른 구성 요소가 두 개의 구성 요소들 사이에 배치되어 형성되는 것을 모두 포함한다. 또한 "상(위) 또는 하(아래)"으로 표현되는 경우 하나의 구성 요소를 기준으로 위쪽 방향 뿐만 아니라 아래쪽 방향의 의미도 포함할 수 있다.
도 2는 제1 실시예에 따른 정전기 측정 셀을 도시한 도면이다.
도 2를 참조하면, 제1 실시예에 따른 정전기 측정 셀(1A)은 바(3), 다수의 패드(5a, 5b, 5c, 5d) 및 다수의 패드 라인(7)을 포함할 수 있다.
상기 바(3)는 일 방향을 따라 길게 형성될 수 있다.
상기 다수의 패드 라인(7)은 상기 바(3)로부터 이격되어 있고, 상기 패드 라인(7) 간에도 이격되어 있다.
상기 패드 라인(7)의 끝단은 상기 바(3)로부터 동일한 거리로 이격될 수 있다.
도면에는 상기 패드 라인(7)의 끝단이 양측에서 각을 갖도록 형성되고 있지만, 이에 한정하지 않는다.
예컨대, 상기 패드 라인(7)의 끝단은 라운드 형상 또는 상기 끝단의 중심에만 예각의 꼭지점을 갖는 형상일 수 있다.
상기 패드 라인(7) 각각에 패드(5a, 5b, 5c, 5d)가 연결될 수 있다. 즉, 하나의 패드 라인과 하나의 패드가 서로 연결될 수 있다
상기 패드 라인(7)은 상기 패드(5a, 5b, 5c, 5d)로부터 상기 바(3)의 방향을 향해 연장 형성될 수 있다. 상기 패드 라인(7)은 상기 패드(5a, 5b, 5c, 5d)와 일체로 형성될 수 있다.
상기 패드(5a, 5b, 5c, 5d) 사이의 거리는 동일 할 수 있지만, 이에 한정하지 않는다.
도면에는 상기 패드(5a, 5b, 5c, 5d)가 사각 형상을 갖지만, 이에 한정하지 않는다. 예컨대, 상기 패드는 원형, 타원형, 직사각형, 마름모 형상, 링 형상 및 삼각형 중 하나를 포함할 수 있다.
각 상기 패드 라인(7)이 연결된 각 패드(5a, 5b, 5c, 5d)의 일측면은 상기 바(3)로부터 동일하게 이격될 수 있다.
상기 패드(5a, 5b, 5c, 5d)로부터 연장된 상기 패드 라인(7)의 길이는 모두 동일할 수 있다.
상기 패드(5a, 5b, 5c, 5d) 각각의 면적은 상이할 수 있다. 예컨대, 제1 내지 제4 패드(5a, 5b, 5c, 5d)는 각각 제1 면적(A1), 제2 면적(A2), 제3 면적(A3) 및 제4 면적(A4)을 가질 수 있다.
각 패드(5a, 5b, 5c, 5d)의 면적의 증가 비율 또는 감소 비율은 일정할 수 있다. 예컨대, 각 패드(5a, 5b, 5c, 5d)의 면적은 인접 패드의 면적의 제곱으로 증가 또는 감소될 수 있다
각 패드(5a, 5b, 5c, 5d)의 면적의 증가 비율 및 감소 비율은 상이할 수 있다. 예컨대, 각 패드(5a, 5b, 5c, 5d)의 면적은 1배, 2배 및 3배로 증가 또는 감소될 수 있다. 예컨대, 각 패드(5a, 5b, 5c, 5d)의 면적은 2/4배, 3/4배 및 1배로 증가 또는 감소될 수 있다.
각 패드(5a, 5b, 5c, 5d)의 면적에 따라 각 패드(5a, 5b, 5c, 5d)에 연결된 패드 라인(7)과 상기 바(3) 사이의 절연 파괴가 발생하는 항복 전압이 결정될 수 있다.
예컨대, 상기 패드(5a, 5b, 5c, 5d)가 면적이 커질수록, 상기 패드(5a, 5b, 5c, 5d)와 상기 패드 라인(7) 사이의 항복 전압은 커질 수 있다.
상기 바(3), 상기 패드 라인(7) 및 상기 패드(5a, 5b, 5c, 5d)는 금속 물질로 형성될 수 있다.
상기 금속 물질로는 티타늄(Ti), 크롬(Cr), 니켈(Ni), 알루미늄(Al), 백금(Pt), 금(Au), 텅스텐(W), 구리(Cu) 및 몰리브덴(Mo)로 이루어지는 그룹으로부터 선택된 적어도 하나 또는 이들의 합금이 사용될 수 있다.
상기 바(3)가 제1 전극으로서의 기능을 가지고, 상기 패드(5a, 5b, 5c, 5d) 및 상기 패드 라인(7)이 제2 전극으로서의 기능을 가지며, 기판이 상기 제1 및 제2 전극 사이의 유전체로서의 기능을 가질 수 있다.
따라서, 상기 제1 및 제2 전극에 어떠한 전압도 인가되지 않은 상황에서, 상기 유전체의 역할을 하는 기판의 배면의 정전기에 의한 대전량이 제1 전극으로서의 상기 바(3) 그리고 제2 전극으로서의 상기 패드(5a, 5b, 5c, 5d) 및 상기 패드 라인(7)에 대응하는 상기 기판의 상면에 대전될 수 있다. 이러한 경우, 제2 전극에 대응하는 기판의 상면에 대전될 수 있는 한계치 이상의 대전량이 발생되면 상기 제2 전극, 예컨대 패드 라인의 일부분이 떨어져 나가든지 하는 등의 파손이 발생하게 된다.
아울러, 이러한 항복 전압을 통해 해당 정전기 측정 셀(1A)에서의 정전기 또는 대전량을 파악할 수 있다.
도시되지 않았지만, 상기 바(3), 상기 패드(5a, 5b, 5c, 6d) 및 상기 패드 라인(7)은 기판 상에 형성될 수 있다.
상기 기판은 유리나 플라스틱일 수 있다.
상기 기판은 전자 장치, 예컨대 표시 장치를 제조하기 위해 사용된 기판과 동일한 재질일 수 있다.
따라서, 상기 기판의 배면에 정전기가 발생되면, 상기 기판의 상면에 상기 정전기에 상응하는 대전량이 형성되고, 각 상기 패드(5a, 5b, 5c, 5d)마다 서로 상이한 면적으로 인해 서로 상이한 대전량이 대전될 수 있다. 각 상기 패드(5a, 5b, 5c, 5d)의 면적에 따라 대전량이 최대로 대전될 수 있는 한계치가 상이해질 수 있다. 이러한 대전량의 한계치를 넘게 되면, 해당 패드와 상기 바(3) 사이에 절연 파괴가 발생하게 된다.
도 10에 도시한 바(3)와 같이, 제1 내지 제3 패드(5a, 5b, 5c)의 제1 내지 제3 패드 라인들(7, 7')이 파손됨을 볼 수 있다. 이로부터 기판의 대전량이 제1 내지 제3 패드(5a, 5b, 5c)의 한계치를 초과하였음을 알 수 있다. 아울러, 기판의 대전량이 제4 패드(5d)의 한계치를 초과하지 못하였음을 알 수 있다.
따라서, 상기 제3 패드(5c), 즉 절연파괴가 발생하지 않은 패드(5d)에 인접한 패드(5c)의 항복 전압으로부터 기판의 정전기가 파악될 수 있다.
도 3은 제2 실시예에 따른 정전기 측정 셀을 도시한 도면이다.
도 3을 참조하면, 제2 실시예에 따른 정전기 측정 셀(1B)은 바(3), 다수의 패드(5) 및 다수의 패드 라인(7a, 7b, 7c, 7d)을 포함할 수 있다.
상기 바(3)는 일 방향을 따라 길게 형성될 수 있다.
상기 패드(5)의 면적을 동일할 수 있다.
상기 패드 라인(7a, 7b, 7c, 7d)은 상기 패드(5)로부터 연장 형성되거나 상기 패드(5)와 일체로 형성될 수 있다.
상기 패드 라인(7a, 7b, 7c, 7d)의 길이(l1, l2, l3, l4)는 상이해질 수 있다. 예컨대, 제2 패드 라인(7b)의 길이(l2)는 제1 패드 라인(7a)의 길이(l1)보다 작고, 제3 패드 라인(7c)의 길이(l3)는 제2 패드 라인(7b)의 길이(l2)보다 작으며, 제4 패드 라인(7d)의 길이(l4)는 제3 패드 라인(7c)의 길이(l3)보다 작을 수 있다.
상기 패드(5) 각각은 상기 바(3)로부터 동일하게 이격될 수 있다. 따라서, 상기 바(3)와 상기 패드 라인(7a, 7b, 7c, 7d)의 끝단 사이의 거리(d1, d2, d3, d4)는 상이해질 수 있다. 즉, 상기 바(3)와 상기 제2 패드 라인(7b)의 끝단 사이의 거리(d2)는 상기 바(3)와 상기 제1 패드 라인(7a)의 끝단 사이의 거리(d1)보다 크고, 상기 바(3)와 상기 제3 패드 라인(7c)의 끝단 사이의 거리(d3)는 상기 바(3)와 상기 제2 패드 라인(7b)의 끝단 사이의 거리(d2)보다 크며, 상기 바(3)와 상기 제4 패드 라인(7d)의 끝단 사이의 거리(d4)는 상기 바(3)와 상기 제3 패드 라인(7c)의 끝단 사이의 거리(d3)보다 클 수 있다.
상기 바(3)와 상기 제1 내지 제4 패드 라인(7a, 7b, 7c, 7d) 사이의 거리가 상이함에 따라, 상기 패드(5)와 상기 패드 라인(7a, 7b, 7c, 7d) 간의 절연 파괴될 항복 전압이 상이해질 수 있다.
예컨대, 상기 바(3)와 상기 패드 라인(7a, 7b, 7c, 7d) 사이의 거리가 멀어질수록, 상기 패드(5) 및 상기 패드 라인(7a, 7b, 7c, 7d)의 항복 전압은 커질 수 있다.
상기 바(3), 상기 패드(5) 및 상기 패드 라인(7a, 7b, 7c, 7d)은 금속 물질로 형성될 수 있다. 상기 금속 물질로는 티타늄(Ti), 크롬(Cr), 니켈(Ni), 알루미늄(Al), 백금(Pt), 금(Au), 텅스텐(W), 구리(Cu) 및 몰리브덴(Mo)로 이루어지는 그룹으로부터 선택된 적어도 하나 또는 이들의 합금이 사용될 수 있다.
도시되지 않았지만, 상기 바(3), 상기 패드(5) 및 상기 패드 라인(7a, 7b, 7c, 7d)은 유전체 역할을 하는 기판 상에 형성될 수 있다. 상기 바(3)는 제1 전극으로서의 기능을 가지고, 상기 패드(5) 및 상기 패드 라인(7a, 7b, 7c, 7d)은 제2 전극으로서의 기능을 가질 수 있다.
도 4는 제3 실시예에 따른 정전기 측정 셀을 도시한 도면이다.
도 4를 참조하면, 제3 실시에에 따른 정전기 측정 셀(1C)은 바(3), 다수의 패드(5) 및 다수의 패드 라인(7)을 포함할 수 있다.
상기 패드(5) 각각의 면적은 동일하고, 상기 패드 라인(7)의 길이 또한 동일할 수 있다.
상기 패드 라인(7)은 상기 패드(5)로부터 연장되거나 상기 패드(5)와 일체로 형성될 수 있다.
상기 바(3)와 각 상기 패드 라인(7)의 끝단 사이의 거리들(l1, l2, l3, l4)은 상이해질 수 있다. 예컨대, 상기 바(3)와 제2 패드 라인(7)의 끝단 사이의 거리(l2)는 상기 바(3)와 상기 제1 패드 라인(7)의 끝단 사이의 거리(l1)보다 크고, 상기 바(3)와 상기 제3 패드 라인(7)의 끝단 사이의 거리(l3)는 상기 바(3)와 상기 제2 패드 라인(7)의 끝단 사이의 거리(l2)보다 크며, 상기 바(3)와 상기 제4 패드 라인(7)의 끝단 사이의 거리(l4)는 상기 바(3)와 상기 제3 패드 라인(7)의 끝단 사이의 거리(l3)보다 클 수 있다.
제 3 실시예는 제2 실시예와 유사하다. 즉, 제2 실시예는 바(3)와 각 패드 라인(7)의 끝단 사이의 거리(d1, d2, d3, d4))가 상이하다는 측면에서 제3 실시예와 동일하다.
하지만, 제2 실시예는 각 상기 패드 라인(7)의 길이(l1, l2, l3, l4) 또한 상이하다는 측면에서 제3 실시예와 상이하다.
이상의 제1 및 제3 실시예에서 도시되지 않았지만, 상기 바(3)는 일 방향을 따라 직선으로 형성될 수도 있지만, 이에 한정하지 않는다.
즉, 상기 바(3)는 각 상기 패드(5)와 각 상기 패드 라인(7)을 포위하는 폐루프를 가질 수 있다.
이상의 제1 및 제3 실시예에서는 바(3)와 각 패드 라인(7)의 끝단 사이의 거리, 각 패드(5)의 면적 등이 점진적으로 증가 또는 감소될 수 있지만, 이에 한정하지 않는다.
각 상기 패드 라인(7)의 끝단 사이의 거리, 각 패드(5)의 면적 등은 랜덤하게 증가 또는 감소될 수 있다.
도 5는 제4 실시예에 따른 정전기 측정 셀을 도시한 도면이다.
제4 실시예는 배터리(9)와 배터리(9)를 배치하기 위해 분할된 제1 및 제2 바(3a, 3b)를 제외하고는 제1 실시예와 거의 유사하다.
제4 실시예는 제2 실시예와 동일한 구성 요소에 대한 설명은 생략하다.
도 5를 참조하면, 제4 실시예에 따른 정전기 측정 셀(1E)은 적어도 하나 이상의 바(3a, 3b), 적어도 하나 이상의 배터리(9), 다수의 패드(5a, 5b, 5c, 5d) 및 다수의 패드 라인(7)을 포함할 수 있다.
상기 바(3a, 3b)는 적어도 하나 이상을 구비할 수 있다. 제4 실시예에서는 설명의 편의를 위해 제1 및 제2 바(3a, 3b)가 구비될 수 있다.
상기 배터리(9)는 상기 적어도 하나 이상의 바 사이에 배치되고 상기 인접하는 바에 전기적으로 연결될 수 있다.
예컨대, 상기 제1 및 제2 바(3a, 3b) 사이에 배터리(9)가 배치되고, 상기 배터리(9)는 상기 제1 및 제2 바(3a, 3b)에 전기적으로 연결될 수 있다.
상기 배터리(9)는 제1 및 제2 와이어를 통해 상기 제1 및 제2 바(3a, 3b)와 전기적으로 연결될 수 있다.
상기 제1 및 제2 바(3a, 3b)의 대전량이 상기 배터리(9)에 충전되기 위해 이동을 하게 되고, 이것이 곧 전류의 흐름을 야기한다. 즉, 상기 제1 및 제2 바(3a, 3b)에는 정전기가 발생되는 경우, 제1 및 제2 바(3a, 3b)의 대전량의 상기 배터리(9)로의 이동에 의한 전류가 발생하게 된다.
이러한 전류의 발생은 각 상기 패드(5a, 5b, 5c, 5d)로부터 연장된 패드 라인(7)과 제1 및 제2 바(3a, 3b) 사이의 절연 파괴를 용이하게 발생되도록 할 수 있다.
배터리가 없는 경우, 한계치를 초과한 대전량이 패드에 대전되었음에도 불구하고, 해당 패드에 연결된 패드 라인(7)에서 절연 파괴에 의한 라인 파손이 발생될 수도 있다.
이러한 문제를 해소하기 위해, 배터리(9)가 제1 및 제2 바(3a, 3b) 사이에 배치되어, 제1 및 제2 바(3a, 3b)에 대전된 대전량이 상기 배터리(9)에 충전되도록 이동함에 따라 전류의 흐름이 발생하게 되고, 이러한 전류의 흐름이 절연 파괴에 의한 각 패드(5a, 5b, 5c, 5d)의 패드 라인(7)의 라인 파손을 용이하게 발생되도록 도와줄 수 있다.
하지만, 이러한 전류의 흐름이 한계치를 초과하지 않은 패드(5a, 5b, 5c, 5d)의 패드 라인(7)의 라인 파손이 발생되도록 도와주지는 않는다.
한편, 각 상기 패드(5a, 5b, 5c, 5d)는 상이한 면적을 가질 수 있다.
각 상기 패드 라인(7)은 동일한 길이를 가지고, 상기 제1 및 제2 바(3a, 3b)와 각 상기 패드 라인(7)의 끝단 사이의 거리는 동일할 수 있다.
도 6은 제5 실시예에 따른 정전기 측정 셀을 도시한 도면이다.
제5 실시예는 배터리(9)와 배터리(9)를 배치하기 위해 분할된 제1 및 제2 바(3a, 3b)를 제외하고는 제2 실시예와 거의 유사하다.
제5 실시예는 제2 실시예와 동일한 구성 요소에 대한 설명은 생략하다.
도 6을 참조하면, 제5 실시예에 따른 정전기 측정 셀(1F)은 적어도 하나 이상의 바(3a, 3b), 적어도 하나 이상의 배터리(9), 다수의 패드(5) 및 다수의 패드 라인(7a, 7b, 7c, 7d)을 포함할 수 있다.
상기 바는 적어도 하나 이상을 구비할 수 있다. 제5 실시예에서는 설명의 편의를 위해 제1 및 제2 바(3a, 3b)가 구비될 수 있다.
상기 배터리(9)는 상기 적어도 하나 이상의 바 사이에 배치되고 상기 인접하는 바에 전기적으로 연결될 수 있다.
예컨대, 상기 제1 및 제2 바(3a, 3b) 사이에 배터리(9)가 배치되고, 상기 배터리(9)는 상기 제1 및 제2 바(3a, 3b)에 전기적으로 연결될 수 있다.
상기 배터리(9)는 제1 및 제2 와이어를 통해 상기 제1 및 제2 바(3a, 3b)와 전기적으로 연결될 수 있다.
상기 제1 및 제2 바(3a, 3b)의 대전량이 상기 배터리(9)에 충전되기 위해 이동을 하게 되고, 이것이 곧 전류의 흐름을 야기한다. 즉, 상기 제1 및 제2 바(3a, 3b)에는 정전기가 발생되는 경우, 제1 및 제2 바(3a, 3b)의 대전량의 상기 배터리(9)로의 이동에 의한 전류가 발생하게 된다.
이러한 전류의 발생은 각 상기 패드(5)로부터 연장된 패드 라인(7a, 7b, 7c, 7d)과 제1 및 제2 바(3a, 3b) 사이의 절연 파괴를 용이하게 발생되도록 할 수 있다.
한편, 각 상기 패드(5)의 면적은 동일할 수 있다.
각 상기 패드 라인(7a, 7b, 7c, 7d)은 상이한 길이(l1, l2, l3, l4)를 가지고, 상기 제1 및 제2 바(3a, 3b)와 각 상기 패드 라인(7a, 7b, 7c, 7d)의 끝단 사이의 거리(d1, d2, d3, d4)는 상이해질 수 있다.
각 상기 패드 라인(7a, 7b, 7c, 7d)의 길이(l1, l2, l3, l4)가 감소할수록, 상기 제1 및 제2 바(3a, 3b)와 각 상기 패드 라인(7a, 7b, 7c, 7d)의 끝단 사이의 거리(d1, d2, d3, d4)는 증가할 수 있다. 다시 말해, 각 상기 패드 라인(7a, 7b, 7c, 7d)의 길이(l1, l2,l3, l4)와 상기 제1 및 제2 바(3a, 3b)와 각 상기 패드 라인(7a, 7b, 7c, 7d)의 끝단 사이의 거리(d1, d2, d3, d4)는 반비례 관계일 수 있다.
도 7은 제6 실시에에 따른 정전기 측정 셀을 도시한 도면이다.
제6 실시예는 배터리(9)와 배터리(9)를 배치하기 위해 분할된 제1 및 제2 바(3a, 3b)를 제외하고는 제2 실시예와 거의 유사하다.
제6 실시예는 제2 실시예와 동일한 구성 요소에 대한 설명은 생략하다.
도 7을 참조하면, 제6 실시예에 따른 정전기 측정 셀(1G)은 적어도 하나 이상의 바, 적어도 하나 이상의 배터리(9), 다수의 패드(5) 및 다수의 패드 라인(7)을 포함할 수 있다.
상기 바는 적어도 하나 이상을 구비할 수 있다. 제6 실시예에서는 설명의 편의를 위해 제1 및 제2 바(3a, 3b)가 구비될 수 있다.
상기 배터리(9)는 상기 적어도 하나 이상의 바 사이에 배치되고 상기 인접하는 바에 전기적으로 연결될 수 있다.
예컨대, 상기 제1 및 제2 바(3a, 3b) 사이에 배터리(9)가 배치되고, 상기 배터리(9)는 상기 제1 및 제2 바(3a, 3b)에 전기적으로 연결될 수 있다.
상기 배터리(9)는 제1 및 제2 와이어를 통해 상기 제1 및 제2 바(3a, 3b)와 전기적으로 연결될 수 있다.
상기 제1 및 제2 바(3a, 3b)의 대전량이 상기 배터리(9)에 충전되기 위해 이동을 하게 되고, 이것이 곧 전류의 흐름을 야기한다. 즉, 상기 제1 및 제2 바(3a, 3b)에는 정전기가 발생되는 경우, 제1 및 제2 바(3a, 3b)의 대전량의 상기 배터리(9)로의 이동에 의한 전류가 발생하게 된다.
이러한 전류의 발생은 각 상기 패드(5)로부터 연장된 패드 라인(7)과 제1 및 제2 바(3a, 3b) 사이의 절연 파괴를 용이하게 발생되도록 할 수 있다.
한편, 각 상기 패드(5)은 동일한 면적을 가지고, 각 상기 패드 라인(7)은 동일한 길이(l)를 가질 수 있다.
상기 제1 및 제2 바(3a, 3b)와 각 상기 패드 라인(7)의 끝단 사이의 거리(d1, d2, d3, d4)는 상이해질 수 있다.
도 8은 실시예에 따른 정전기 측정 장치를 도시한 평면도이고, 도 9는 도 8의 정전기 측정 장치를 도시한 단면도이다.
도 8을 참조하면, 실시예에 따른 정전기 측정 장치는 기판(20) 상에 다수의 정전기 측정 셀(30)이 정의될 수 있다.
상기 정전기 측정 셀(30)은 매트릭스 형태로 배열될 수 있다.
상기 정전기 측정 셀(30)은 제1 내지 제6 실시예 중 어느 하나일 수 있지만, 이에 한정하지 않는다.
상기 기판(20)은 장치, 예컨대 표시 장치를 제조하기 위해 사용된 기판(20)과 동일한 전기적 특성 및 물리적 특성을 갖는 재질이 사용될 수 있다.
실시예에 따른 정전기 측정 장치는 표시 장치를 제조하기 위한 기판뿐만 아니라 기판(20)이 사용되는 어떠한 전자 장치에서도 그 전자 장치를 제조하기 위한 기판의 공정이나 기판(20)의 반송 중에 발생되는 정전기가 측정될 수 있다.
상기 정전기 측정 장치는 전자 장치를 제조하기 위한 기판과 함께 반송될 수 있다. 아울러, 상기 정전기 측정 장치는 전자 장치를 제조하기 위한 기판이 공정 중일 때, 전자 장치를 제조하기 위한 기판과 인접하여 배치될 수 있다. 따라서, 상기 전자 장치를 제조하기 위한 기판과 동일한 환경에서 정전기가 측정될 수 있다.
도 9를 참조하면, 기판(20) 상에 스퍼퍼팅 공정 등을 이용하여 금속막이 증착되고, 상기 금속막이 패터닝되어 바(제1 내지 제3 실시예의 3)나 제1 및 제2 바(제4 내지 제6 실시예의 3a, 3b), 다수의 패드(5a, 5b, 5c, 5d) 및 다수의 패드 라인(7)이 형성될 수 있다.
제4 내지 제4 실시예인 경우, 기판(20) 상에 제1 및 제2 바(3a, 3b)가 형성되고, 상기 제1 및 제2 바(3a, 3b) 사이의 상기 기판(20) 상에 배터리(도 5 내지 도 7의 9)가 부착되고, 상기 배터리(9)와 상기 제1 및 제2 바(3a, 3b)는 제1 및 제2 와이어를 이용하여 전기적으로 연결될 수 있다.
상기 배터리(9)는 접착제를 이용하여 상기 기판(20) 상에 접착되지만, 이에 한정하지 않는다.
상기 배터리(9)는 와이어 본딩에 의해 상기 제1 및 제2 바(3a, 3b)에 전기적으로 연결되지만, 이에 한정하지 않는다.
실시예에 따른 정전기 측정 장치에서 설명되지 않은 내용은 제1 내지 제6 실시예로부터 용이하게 이해될 수 있다. 제1 내지 제6 실시예의 정전기 측정 셀(1A 내지 1G)은 실시예에 따른 정전기 측정 장치의 정전기 측정 셀이 될 수 있다.
3, 3a, 3b: 바
5, 5a, 5b, 5c, 5d: 패드
7, 7a, 7b, 7c, 7d: 패드 라인
9: 배터리
20: 기판
30: 정전기 측정 셀

Claims (34)

  1. 바;
    상기 바로부터 이격된 다수의 패드;
    상기 패드로부터 상기 바의 방향으로 연장된 다수의 패드 라인; 및
    상기 바, 상기 패드 및 상기 패드 라인 아래에 기판을 포함하며, 상기 기판 상에는 화소 소자와 발광 소자가 형성되며, 정전기를 국부적으로 측정하는 정전기 측정 셀.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 기판은 전자 장치를 제조하기 위해 사용된 기판과 동일한 재질인 정전기 측정 셀.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 전자 장치는,
    유기전계발광 표시장치, 액정 표시장치, 플라즈마 디스플레이 패널 및 전계방출 표시장치 중 하나인 정전기 측정 셀.
  4. 제1항에 있어서,
    각 상기 패드는 동일한 면적을 가지고,
    상기 바와 각 상기 패드 라인의 끝단 사이의 거리는 상이한 정전기 측정 셀.
  5. 제4항에 있어서,
    각 상기 패드 라인은 상이한 길이를 갖는 정전기 측정 셀.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 바와 각 상기 패드 라인의 끝단 사이의 거리와 각 상기 패드 라인의 길이는 반비례 관계인, 정전기 측정 셀.
  7. 제4항에 있어서,
    각 상기 패드 라인은 동일한 길이를 갖는 정전기 측정 셀.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 패드 라인은 상기 패드로부터 상기 바의 방향으로 연장되는 정전기 측정 셀.
  9. 제1항에 있어서,
    정전기에 의해 상기 패드 라인의 적어도 하나 이상이 절연 파괴되는 정전기 측정 셀.
  10. 제1항에 있어서,
    각 상기 패드는 동일한 길이를 갖고,
    상기 바와 상기 패드 라인의 끝단 사이의 거리는 동일하며,
    각 상기 패드는 상이한 면적을 가지는 정전기 측정 셀.
  11. 제1항에 있어서,
    상기 기판의 상면에 상기 바, 상기 패드 및 상기 패드 라인이 형성되는 정전기 측정 셀.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 기판의 배면의 정전기에 의한 대전량이 상기 바, 상기 패드 및 상기 패드 라인에 대응하는 상기 기판의 상면에 대전되는 정전기 측정 셀.
  13. 제1항에 있어서,
    상기 바, 상기 패드 및 상기 패드 라인은 금속 물질로 형성되는 정전기 측정 셀.
  14. 제13항에 있어서,
    상기 바는 상기 패드 및 상기 패드 라인을 포위하는 폐루프 형상을 갖는 정전기 측정 셀.
  15. 적어도 하나 이상의 바;
    상기 적어도 하나 이상의 바 사이에 배치되며 상기 하나 이상의 바와 전기적으로 연결되는 배터리;
    상기 적어도 하나 이상의 바로부터 이격된 다수의 패드;
    상기 패드로부터 상기 적어도 하나 이상의 바의 방향으로 연장된 다수의 패드 라인; 및
    상기 적어도 하나 이상의 바, 상기 패드 및 상기 패드 라인 아래에 기판을 포함하며, 상기 기판 상에는 화소 소자와 발광 소자가 형성되며, 정전기를 국부적으로 측정하는 정전기 측정 셀.
  16. 제15항에 있어서,
    상기 배터리는 상기 적어도 하나 이상의 바에 전기적으로 연결되는 정전기 측정 셀.
  17. 제15항에 있어서,
    상기 기판은 전자 장치를 제조하기 위해 사용된 기판과 동일한 재질인 정전기 측정 셀.
  18. 제15항에 있어서,
    각 상기 패드는 동일한 면적을 가지고,
    상기 적어도 하나 이상의 바와 각 상기 패드 라인의 끝단 사이의 거리는 상이한 정전기 측정 셀.
  19. 제18항에 있어서,
    각 상기 패드 라인은 상이한 길이를 갖는 정전기 측정 셀.
  20. 제19항에 있어서,
    상기 적어도 하나 이상의 바와 각 상기 패드 라인의 끝단 사이의 거리와 각 상기 패드 라인의 길이는 반비례 관계인, 정전기 측정 셀.
  21. 제15항에 있어서,
    각 상기 패드 라인은 동일한 길이를 갖는 정전기 측정 셀.
  22. 제15항에 있어서,
    상기 패드 라인은 상기 패드로부터 상기 적어도 하나 이상의 바의 방향으로 연장되는 정전기 측정 셀.
  23. 제15항에 있어서,
    각 상기 패드는 동일한 길이를 갖고,
    상기 적어도 하나 이상의 바와 상기 패드 라인의 끝단 사이의 거리는 동일하며,
    각 상기 패드는 상이한 면적을 가지는 정전기 측정 셀.
  24. 제15항에 있어서,
    상기 기판의 상면에 상기 적어도 하나 이상의 바, 상기 패드 및 상기 패드 라인이 형성되는 정전기 측정 셀.
  25. 제24항에 있어서,
    상기 기판의 배면의 정전기에 의한 대전량이 상기 적어도 하나 이상의 바, 상기 패드 및 상기 패드 라인에 대응하는 상기 기판의 상면에 대전되는 정전기 측정 셀.
  26. 제15항에 있어서,
    상기 적어도 하나 이상의 바, 상기 패드 및 상기 패드 라인은 금속 물질로 형성되는 정전기 측정 셀.
  27. 정전기를 영역 별로 측정하기 위한 다수의 정전기 측정 셀이 정의된 기판을 포함하고,
    상기 정전기 측정 셀은,
    상기 기판 상에 바;
    상기 바로부터 이격된 다수의 패드; 및
    상기 패드로부터 상기 바의 방향으로 연장된 다수의 패드 라인을 포함하며, 상기 기판 상에는 화소 소자와 발광 소자가 형성되며, 정전기를 국부적으로 측정하는 정전기 측정 장치.
  28. 제27항에 있어서,
    상기 바, 상기 패드 및 상기 패드 라인은 금속 물질로 형성되는 정전기 측정 장치.
  29. 제28항에 있어서,
    정전기에 의해 상기 패드 라인 중 적어도 하나 이상이 절연 파괴되는 정전기 측정 장치.
  30. 제29항에 있어서,
    각 상기 패드의 면적, 각 상기 패드 라인의 길이 및 상기 바와 각 상기 패드 라인의 끝단 사이의 길이 중 적어도 어느 하나는 상이한 정전기 측정 장치.
  31. 정전기를 영역 별로 측정하기 위한 다수의 정전기 측정 셀이 정의된 기판을 포함하고,
    상기 정전기 측정 셀은,
    상기 기판 상에 적어도 하나 이상의 바;
    상기 적어도 하나 이상의 바 사이에 배치되며 상기 하나 이상의 바와 전기적으로 연결되는 배터리;
    상기 적어도 하나 이상의 바로부터 이격된 다수의 패드; 및
    상기 패드로부터 상기 적어도 하나 이상의 바의 방향으로 연장된 다수의 패드 라인을 포함하며, 상기 기판 상에는 화소 소자와 발광 소자가 형성되며, 정전기를 국부적으로 측정하는 정전기 측정 장치.
  32. 제31항에 있어서,
    상기 적어도 하나 이상의 바, 상기 패드 및 상기 패드 라인은 금속 물질로 형성되는 정전기 측정 장치.
  33. 제32항에 있어서,
    정전기에 의해 상기 패드 라인 중 적어도 하나 이상이 절연 파괴되는 정전기 측정 장치.
  34. 제33항에 있어서,
    각 상기 패드의 면적, 각 상기 패드 라인의 길이 및 상기 바와 각 상기 패드 라인의 끝단 사이의 길이 중 적어도 어느 하나는 상이한 정전기 측정 장치.
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