KR101802577B1 - 포스포늄계 화합물, 이를 포함하는 에폭시수지 조성물, 및 이를 사용하여 제조된 반도체 장치 - Google Patents
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- -1 Phosphonium compound Chemical class 0.000 title claims abstract description 41
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 title claims description 140
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 title claims description 140
- 239000000203 mixture Substances 0.000 title claims description 102
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 32
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims abstract description 36
- 125000004432 carbon atom Chemical group C* 0.000 claims abstract description 24
- 125000003118 aryl group Chemical group 0.000 claims abstract description 22
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 claims abstract description 19
- 125000001072 heteroaryl group Chemical group 0.000 claims abstract description 16
- 125000003710 aryl alkyl group Chemical group 0.000 claims abstract description 13
- 125000004404 heteroalkyl group Chemical group 0.000 claims abstract description 12
- 125000004435 hydrogen atom Chemical class [H]* 0.000 claims abstract description 12
- 125000002029 aromatic hydrocarbon group Chemical group 0.000 claims abstract description 11
- 125000000592 heterocycloalkyl group Chemical group 0.000 claims abstract description 11
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 claims abstract description 10
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 claims abstract description 10
- 125000000217 alkyl group Chemical group 0.000 claims abstract description 8
- 125000006376 (C3-C10) cycloalkyl group Chemical group 0.000 claims abstract description 7
- 125000002947 alkylene group Chemical group 0.000 claims abstract description 7
- 125000005842 heteroatom Chemical group 0.000 claims abstract description 7
- 125000001931 aliphatic group Chemical group 0.000 claims abstract description 6
- 125000000732 arylene group Chemical group 0.000 claims abstract description 6
- 125000000753 cycloalkyl group Chemical group 0.000 claims abstract description 6
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims description 91
- XYFCBTPGUUZFHI-UHFFFAOYSA-O phosphonium Chemical compound [PH4+] XYFCBTPGUUZFHI-UHFFFAOYSA-O 0.000 claims description 57
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 claims description 29
- 239000005011 phenolic resin Substances 0.000 claims description 29
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 claims description 28
- 150000001450 anions Chemical class 0.000 claims description 20
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims description 16
- 239000011256 inorganic filler Substances 0.000 claims description 12
- 229910003475 inorganic filler Inorganic materials 0.000 claims description 12
- 229920003986 novolac Polymers 0.000 claims description 12
- 238000001721 transfer moulding Methods 0.000 claims description 12
- ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N Phenol Chemical compound OC1=CC=CC=C1 ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- 150000001768 cations Chemical class 0.000 claims description 9
- 125000004429 atom Chemical group 0.000 claims description 8
- IISBACLAFKSPIT-UHFFFAOYSA-N bisphenol A Chemical compound C=1C=C(O)C=CC=1C(C)(C)C1=CC=C(O)C=C1 IISBACLAFKSPIT-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- ZUOUZKKEUPVFJK-UHFFFAOYSA-N diphenyl Chemical compound C1=CC=CC=C1C1=CC=CC=C1 ZUOUZKKEUPVFJK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- IMHDGJOMLMDPJN-UHFFFAOYSA-N dihydroxybiphenyl Natural products OC1=CC=CC=C1C1=CC=CC=C1O IMHDGJOMLMDPJN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 claims description 7
- UFWIBTONFRDIAS-UHFFFAOYSA-N Naphthalene Chemical compound C1=CC=CC2=CC=CC=C21 UFWIBTONFRDIAS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- QTWJRLJHJPIABL-UHFFFAOYSA-N 2-methylphenol;3-methylphenol;4-methylphenol Chemical compound CC1=CC=C(O)C=C1.CC1=CC=CC(O)=C1.CC1=CC=CC=C1O QTWJRLJHJPIABL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 150000003931 anilides Chemical class 0.000 claims description 5
- 229930003836 cresol Natural products 0.000 claims description 5
- 125000004093 cyano group Chemical group *C#N 0.000 claims description 5
- 125000000449 nitro group Chemical group [O-][N+](*)=O 0.000 claims description 5
- KJCVRFUGPWSIIH-UHFFFAOYSA-N 1-naphthol Chemical compound C1=CC=C2C(O)=CC=CC2=C1 KJCVRFUGPWSIIH-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 claims description 4
- 229910052783 alkali metal Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 150000001340 alkali metals Chemical class 0.000 claims description 4
- 239000004305 biphenyl Substances 0.000 claims description 4
- 235000010290 biphenyl Nutrition 0.000 claims description 4
- 150000002430 hydrocarbons Chemical group 0.000 claims description 4
- WZCQRUWWHSTZEM-UHFFFAOYSA-N 1,3-phenylenediamine Chemical compound NC1=CC=CC(N)=C1 WZCQRUWWHSTZEM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- LJBWJFWNFUKAGS-UHFFFAOYSA-N 2-[bis(2-hydroxyphenyl)methyl]phenol Chemical compound OC1=CC=CC=C1C(C=1C(=CC=CC=1)O)C1=CC=CC=C1O LJBWJFWNFUKAGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- JIGUICYYOYEXFS-UHFFFAOYSA-N 3-tert-butylbenzene-1,2-diol Chemical compound CC(C)(C)C1=CC=CC(O)=C1O JIGUICYYOYEXFS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- MQJKPEGWNLWLTK-UHFFFAOYSA-N Dapsone Chemical compound C1=CC(N)=CC=C1S(=O)(=O)C1=CC=C(N)C=C1 MQJKPEGWNLWLTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- LGRFSURHDFAFJT-UHFFFAOYSA-N Phthalic anhydride Natural products C1=CC=C2C(=O)OC(=O)C2=C1 LGRFSURHDFAFJT-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- ORLQHILJRHBSAY-UHFFFAOYSA-N [1-(hydroxymethyl)cyclohexyl]methanol Chemical compound OCC1(CO)CCCCC1 ORLQHILJRHBSAY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 150000008065 acid anhydrides Chemical class 0.000 claims description 3
- 125000002723 alicyclic group Chemical group 0.000 claims description 3
- 239000004844 aliphatic epoxy resin Substances 0.000 claims description 3
- VCCBEIPGXKNHFW-UHFFFAOYSA-N biphenyl-4,4'-diol Chemical group C1=CC(O)=CC=C1C1=CC=C(O)C=C1 VCCBEIPGXKNHFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- JHIWVOJDXOSYLW-UHFFFAOYSA-N butyl 2,2-difluorocyclopropane-1-carboxylate Chemical compound CCCCOC(=O)C1CC1(F)F JHIWVOJDXOSYLW-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 125000000623 heterocyclic group Chemical group 0.000 claims description 3
- FPYJFEHAWHCUMM-UHFFFAOYSA-N maleic anhydride Chemical compound O=C1OC(=O)C=C1 FPYJFEHAWHCUMM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229920003987 resole Polymers 0.000 claims description 3
- 150000003505 terpenes Chemical class 0.000 claims description 3
- 235000007586 terpenes Nutrition 0.000 claims description 3
- 239000004841 bisphenol A epoxy resin Substances 0.000 claims description 2
- 125000002993 cycloalkylene group Chemical group 0.000 claims description 2
- ZZTCPWRAHWXWCH-UHFFFAOYSA-N diphenylmethanediamine Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(N)(N)C1=CC=CC=C1 ZZTCPWRAHWXWCH-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 239000004845 glycidylamine epoxy resin Substances 0.000 claims description 2
- 239000004843 novolac epoxy resin Substances 0.000 claims description 2
- 125000003003 spiro group Chemical group 0.000 claims description 2
- 125000002924 primary amino group Chemical group [H]N([H])* 0.000 claims 4
- PEUWKAAVXXUTRM-UHFFFAOYSA-N 1-chloropenta-1,3-diene Chemical compound CC=CC=CCl PEUWKAAVXXUTRM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 238000001723 curing Methods 0.000 description 80
- OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N Methanol Chemical compound OC OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 78
- WKEDVNSFRWHDNR-UHFFFAOYSA-N salicylanilide Chemical compound OC1=CC=CC=C1C(=O)NC1=CC=CC=C1 WKEDVNSFRWHDNR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 49
- 229950000975 salicylanilide Drugs 0.000 description 38
- WQDUMFSSJAZKTM-UHFFFAOYSA-N Sodium methoxide Chemical compound [Na+].[O-]C WQDUMFSSJAZKTM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 30
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 26
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 22
- IAZDPXIOMUYVGZ-UHFFFAOYSA-N Dimethylsulphoxide Chemical compound CS(C)=O IAZDPXIOMUYVGZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 21
- ZMXDDKWLCZADIW-UHFFFAOYSA-N N,N-Dimethylformamide Chemical compound CN(C)C=O ZMXDDKWLCZADIW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 21
- 238000005481 NMR spectroscopy Methods 0.000 description 20
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 20
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 17
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 17
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 17
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 15
- 238000000425 proton nuclear magnetic resonance spectrum Methods 0.000 description 15
- 238000000034 method Methods 0.000 description 11
- YCIMNLLNPGFGHC-UHFFFAOYSA-N catechol Chemical compound OC1=CC=CC=C1O YCIMNLLNPGFGHC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 239000005350 fused silica glass Substances 0.000 description 10
- XYFCBTPGUUZFHI-UHFFFAOYSA-N Phosphine Chemical compound P XYFCBTPGUUZFHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- BRKFQVAOMSWFDU-UHFFFAOYSA-M tetraphenylphosphanium;bromide Chemical compound [Br-].C1=CC=CC=C1[P+](C=1C=CC=CC=1)(C=1C=CC=CC=1)C1=CC=CC=C1 BRKFQVAOMSWFDU-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 8
- RIOQSEWOXXDEQQ-UHFFFAOYSA-N triphenylphosphine Chemical compound C1=CC=CC=C1P(C=1C=CC=CC=1)C1=CC=CC=C1 RIOQSEWOXXDEQQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 7
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 7
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 7
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 7
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 7
- 229920002545 silicone oil Polymers 0.000 description 7
- ARWCZKJISXFBGI-UHFFFAOYSA-N (3,4-dihydroxyphenyl)-phenylmethanone Chemical compound C1=C(O)C(O)=CC=C1C(=O)C1=CC=CC=C1 ARWCZKJISXFBGI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- VWGKEVWFBOUAND-UHFFFAOYSA-N 4,4'-thiodiphenol Chemical compound C1=CC(O)=CC=C1SC1=CC=C(O)C=C1 VWGKEVWFBOUAND-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 6
- RAXXELZNTBOGNW-UHFFFAOYSA-N imidazole Natural products C1=CNC=N1 RAXXELZNTBOGNW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229920001568 phenolic resin Polymers 0.000 description 6
- 239000007822 coupling agent Substances 0.000 description 5
- 238000000655 nuclear magnetic resonance spectrum Methods 0.000 description 5
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 5
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 5
- GQHTUMJGOHRCHB-UHFFFAOYSA-N 2,3,4,6,7,8,9,10-octahydropyrimido[1,2-a]azepine Chemical compound C1CCCCN2CCCN=C21 GQHTUMJGOHRCHB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- KXGFMDJXCMQABM-UHFFFAOYSA-N 2-methoxy-6-methylphenol Chemical compound [CH]OC1=CC=CC([CH])=C1O KXGFMDJXCMQABM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N Sulfur Chemical compound [S] NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 125000000129 anionic group Chemical group 0.000 description 4
- 235000014113 dietary fatty acids Nutrition 0.000 description 4
- 239000000194 fatty acid Substances 0.000 description 4
- 229930195729 fatty acid Natural products 0.000 description 4
- 150000004665 fatty acids Chemical class 0.000 description 4
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 4
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 4
- 229910000073 phosphorus hydride Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000011342 resin composition Substances 0.000 description 4
- ZXDDPOHVAMWLBH-UHFFFAOYSA-N 2,4-Dihydroxybenzophenone Chemical compound OC1=CC(O)=CC=C1C(=O)C1=CC=CC=C1 ZXDDPOHVAMWLBH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- WEVYAHXRMPXWCK-UHFFFAOYSA-N Acetonitrile Chemical compound CC#N WEVYAHXRMPXWCK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- YMWUJEATGCHHMB-UHFFFAOYSA-N Dichloromethane Chemical compound ClCCl YMWUJEATGCHHMB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 150000001412 amines Chemical class 0.000 description 3
- 150000001639 boron compounds Chemical class 0.000 description 3
- 230000008859 change Effects 0.000 description 3
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 3
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 3
- 230000003111 delayed effect Effects 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 125000000524 functional group Chemical group 0.000 description 3
- 150000004820 halides Chemical class 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 150000002903 organophosphorus compounds Chemical class 0.000 description 3
- 150000004714 phosphonium salts Chemical class 0.000 description 3
- 239000011541 reaction mixture Substances 0.000 description 3
- 230000035484 reaction time Effects 0.000 description 3
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 3
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 3
- AZQWKYJCGOJGHM-UHFFFAOYSA-N 1,4-benzoquinone Chemical compound O=C1C=CC(=O)C=C1 AZQWKYJCGOJGHM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- SGUVLZREKBPKCE-UHFFFAOYSA-N 1,5-diazabicyclo[4.3.0]-non-5-ene Chemical compound C1CCN=C2CCCN21 SGUVLZREKBPKCE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005160 1H NMR spectroscopy Methods 0.000 description 2
- DEPDDPLQZYCHOH-UHFFFAOYSA-N 1h-imidazol-2-amine Chemical compound NC1=NC=CN1 DEPDDPLQZYCHOH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- UGZDFLLCOFLFNY-UHFFFAOYSA-N 2-hydroxy-n-(4-nitrophenyl)benzamide Chemical compound OC1=CC=CC=C1C(=O)NC1=CC=C([N+]([O-])=O)C=C1 UGZDFLLCOFLFNY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LXBGSDVWAMZHDD-UHFFFAOYSA-N 2-methyl-1h-imidazole Chemical compound CC1=NC=CN1 LXBGSDVWAMZHDD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- UUEWCQRISZBELL-UHFFFAOYSA-N 3-trimethoxysilylpropane-1-thiol Chemical compound CO[Si](OC)(OC)CCCS UUEWCQRISZBELL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ZCYVEMRRCGMTRW-UHFFFAOYSA-N 7553-56-2 Chemical compound [I] ZCYVEMRRCGMTRW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- YWFPGFJLYRKYJZ-UHFFFAOYSA-N 9,9-bis(4-hydroxyphenyl)fluorene Chemical compound C1=CC(O)=CC=C1C1(C=2C=CC(O)=CC=2)C2=CC=CC=C2C2=CC=CC=C21 YWFPGFJLYRKYJZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WKBOTKDWSSQWDR-UHFFFAOYSA-N Bromine atom Chemical compound [Br] WKBOTKDWSSQWDR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VTYYLEPIZMXCLO-UHFFFAOYSA-L Calcium carbonate Chemical compound [Ca+2].[O-]C([O-])=O VTYYLEPIZMXCLO-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N Chlorine atom Chemical compound [Cl] ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PXGOKWXKJXAPGV-UHFFFAOYSA-N Fluorine Chemical compound FF PXGOKWXKJXAPGV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N Magnesium oxide Chemical compound [Mg]=O CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- 125000003368 amide group Chemical group 0.000 description 2
- 125000003277 amino group Chemical group 0.000 description 2
- 125000004603 benzisoxazolyl group Chemical group O1N=C(C2=C1C=CC=C2)* 0.000 description 2
- PXKLMJQFEQBVLD-UHFFFAOYSA-N bisphenol F Chemical compound C1=CC(O)=CC=C1CC1=CC=C(O)C=C1 PXKLMJQFEQBVLD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- GDTBXPJZTBHREO-UHFFFAOYSA-N bromine Substances BrBr GDTBXPJZTBHREO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052794 bromium Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000460 chlorine Substances 0.000 description 2
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 description 2
- MVPPADPHJFYWMZ-UHFFFAOYSA-N chlorobenzene Chemical compound ClC1=CC=CC=C1 MVPPADPHJFYWMZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 2
- 125000003700 epoxy group Chemical group 0.000 description 2
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 description 2
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 2
- 230000009477 glass transition Effects 0.000 description 2
- 125000005843 halogen group Chemical group 0.000 description 2
- 150000002460 imidazoles Chemical class 0.000 description 2
- 239000011630 iodine Substances 0.000 description 2
- 229910052740 iodine Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000013035 low temperature curing Methods 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000002902 organometallic compounds Chemical class 0.000 description 2
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 2
- 238000004806 packaging method and process Methods 0.000 description 2
- 150000002989 phenols Chemical class 0.000 description 2
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 2
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 2
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 2
- 230000001737 promoting effect Effects 0.000 description 2
- YGSDEFSMJLZEOE-UHFFFAOYSA-N salicylic acid Chemical compound OC(=O)C1=CC=CC=C1O YGSDEFSMJLZEOE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000007790 solid phase Substances 0.000 description 2
- 229910052717 sulfur Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011593 sulfur Substances 0.000 description 2
- 150000003512 tertiary amines Chemical class 0.000 description 2
- IMNIMPAHZVJRPE-UHFFFAOYSA-N triethylenediamine Chemical compound C1CN2CCN1CC2 IMNIMPAHZVJRPE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229940005561 1,4-benzoquinone Drugs 0.000 description 1
- CIPOCPJRYUFXLL-UHFFFAOYSA-N 2,3,4-tris[(dimethylamino)methyl]phenol Chemical compound CN(C)CC1=CC=C(O)C(CN(C)C)=C1CN(C)C CIPOCPJRYUFXLL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WKBALTUBRZPIPZ-UHFFFAOYSA-N 2,6-di(propan-2-yl)aniline Chemical compound CC(C)C1=CC=CC(C(C)C)=C1N WKBALTUBRZPIPZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BFSVOASYOCHEOV-UHFFFAOYSA-N 2-diethylaminoethanol Chemical compound CCN(CC)CCO BFSVOASYOCHEOV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZCUJYXPAKHMBAZ-UHFFFAOYSA-N 2-phenyl-1h-imidazole Chemical compound C1=CNC(C=2C=CC=CC=2)=N1 ZCUJYXPAKHMBAZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N Dioxygen Chemical compound O=O MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M Ilexoside XXIX Chemical compound C[C@@H]1CC[C@@]2(CC[C@@]3(C(=CC[C@H]4[C@]3(CC[C@@H]5[C@@]4(CC[C@@H](C5(C)C)OS(=O)(=O)[O-])C)C)[C@@H]2[C@]1(C)O)C)C(=O)O[C@H]6[C@@H]([C@H]([C@@H]([C@H](O6)CO)O)O)O.[Na+] DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M 0.000 description 1
- WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N Lithium Chemical compound [Li] WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004594 Masterbatch (MB) Substances 0.000 description 1
- BPQQTUXANYXVAA-UHFFFAOYSA-N Orthosilicate Chemical compound [O-][Si]([O-])([O-])[O-] BPQQTUXANYXVAA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZLMJMSJWJFRBEC-UHFFFAOYSA-N Potassium Chemical compound [K] ZLMJMSJWJFRBEC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N Silane Chemical compound [SiH4] BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GSEJCLTVZPLZKY-UHFFFAOYSA-N Triethanolamine Chemical compound OCCN(CCO)CCO GSEJCLTVZPLZKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000007983 Tris buffer Substances 0.000 description 1
- UVTGXFAWNQTDBG-UHFFFAOYSA-N [Fe].[Pb] Chemical compound [Fe].[Pb] UVTGXFAWNQTDBG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 1
- 125000000641 acridinyl group Chemical group C1(=CC=CC2=NC3=CC=CC=C3C=C12)* 0.000 description 1
- 239000002313 adhesive film Substances 0.000 description 1
- 150000001350 alkyl halides Chemical class 0.000 description 1
- 150000001343 alkyl silanes Chemical class 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000002178 anthracenyl group Chemical group C1(=CC=CC2=CC3=CC=CC=C3C=C12)* 0.000 description 1
- 229910000410 antimony oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004982 aromatic amines Chemical class 0.000 description 1
- 150000001502 aryl halides Chemical class 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000003785 benzimidazolyl group Chemical group N1=C(NC2=C1C=CC=C2)* 0.000 description 1
- 125000000499 benzofuranyl group Chemical group O1C(=CC2=C1C=CC=C2)* 0.000 description 1
- 125000001164 benzothiazolyl group Chemical group S1C(=NC2=C1C=CC=C2)* 0.000 description 1
- 125000004196 benzothienyl group Chemical group S1C(=CC2=C1C=CC=C2)* 0.000 description 1
- 125000004541 benzoxazolyl group Chemical group O1C(=NC2=C1C=CC=C2)* 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 125000006267 biphenyl group Chemical group 0.000 description 1
- 239000004842 bisphenol F epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 229910052792 caesium Inorganic materials 0.000 description 1
- TVFDJXOCXUVLDH-UHFFFAOYSA-N caesium atom Chemical compound [Cs] TVFDJXOCXUVLDH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000019 calcium carbonate Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000378 calcium silicate Substances 0.000 description 1
- 229910052918 calcium silicate Inorganic materials 0.000 description 1
- OYACROKNLOSFPA-UHFFFAOYSA-N calcium;dioxido(oxo)silane Chemical compound [Ca+2].[O-][Si]([O-])=O OYACROKNLOSFPA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000006229 carbon black Substances 0.000 description 1
- 125000003178 carboxy group Chemical group [H]OC(*)=O 0.000 description 1
- 239000004203 carnauba wax Substances 0.000 description 1
- 235000013869 carnauba wax Nutrition 0.000 description 1
- 238000005266 casting Methods 0.000 description 1
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 230000003197 catalytic effect Effects 0.000 description 1
- 238000006555 catalytic reaction Methods 0.000 description 1
- 125000002091 cationic group Chemical group 0.000 description 1
- XEHUIDSUOAGHBW-UHFFFAOYSA-N chromium;pentane-2,4-dione Chemical compound [Cr].CC(=O)CC(C)=O.CC(=O)CC(C)=O.CC(=O)CC(C)=O XEHUIDSUOAGHBW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000000259 cinnolinyl group Chemical group N1=NC(=CC2=CC=CC=C12)* 0.000 description 1
- 239000004927 clay Substances 0.000 description 1
- 229910052570 clay Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004040 coloring Methods 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 238000004132 cross linking Methods 0.000 description 1
- 229910002026 crystalline silica Inorganic materials 0.000 description 1
- RGBIPJJZHWFFGE-UHFFFAOYSA-N cyclohexa-2,5-diene-1,4-dione;triphenylphosphane Chemical compound O=C1C=CC(=O)C=C1.C1=CC=CC=C1P(C=1C=CC=CC=1)C1=CC=CC=C1 RGBIPJJZHWFFGE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000006731 degradation reaction Methods 0.000 description 1
- LVTCZSBUROAWTE-UHFFFAOYSA-N diethyl(phenyl)phosphane Chemical compound CCP(CC)C1=CC=CC=C1 LVTCZSBUROAWTE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HASCQPSFPAKVEK-UHFFFAOYSA-N dimethyl(phenyl)phosphine Chemical compound CP(C)C1=CC=CC=C1 HASCQPSFPAKVEK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XXBDWLFCJWSEKW-UHFFFAOYSA-N dimethylbenzylamine Chemical compound CN(C)CC1=CC=CC=C1 XXBDWLFCJWSEKW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LLZAIAIZAVMQIG-UHFFFAOYSA-N diphenyl(propan-2-yl)phosphane Chemical compound C=1C=CC=CC=1P(C(C)C)C1=CC=CC=C1 LLZAIAIZAVMQIG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AAXGWYDSLJUQLN-UHFFFAOYSA-N diphenyl(propyl)phosphane Chemical compound C=1C=CC=CC=1P(CCC)C1=CC=CC=C1 AAXGWYDSLJUQLN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MGHPNCMVUAKAIE-UHFFFAOYSA-N diphenylmethanamine Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(N)C1=CC=CC=C1 MGHPNCMVUAKAIE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003623 enhancer Substances 0.000 description 1
- 150000002148 esters Chemical class 0.000 description 1
- JDVIRCVIXCMTPU-UHFFFAOYSA-N ethanamine;trifluoroborane Chemical compound CCN.FB(F)F JDVIRCVIXCMTPU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WUOIAOOSKMHJOV-UHFFFAOYSA-N ethyl(diphenyl)phosphane Chemical compound C=1C=CC=CC=1P(CC)C1=CC=CC=C1 WUOIAOOSKMHJOV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 1
- 229910052730 francium Inorganic materials 0.000 description 1
- KLMCZVJOEAUDNE-UHFFFAOYSA-N francium atom Chemical compound [Fr] KLMCZVJOEAUDNE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000002541 furyl group Chemical group 0.000 description 1
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N haloperidol Chemical class C1CC(O)(C=2C=CC(Cl)=CC=2)CCN1CCCC(=O)C1=CC=C(F)C=C1 LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000005549 heteroarylene group Chemical group 0.000 description 1
- 125000006588 heterocycloalkylene group Chemical group 0.000 description 1
- AVGTYNJIWPQPIH-UHFFFAOYSA-N hexan-1-amine;trifluoroborane Chemical compound FB(F)F.CCCCCCN AVGTYNJIWPQPIH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000002883 imidazolyl group Chemical group 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 125000003453 indazolyl group Chemical group N1N=C(C2=C1C=CC=C2)* 0.000 description 1
- 230000000977 initiatory effect Effects 0.000 description 1
- 238000001746 injection moulding Methods 0.000 description 1
- 125000002183 isoquinolinyl group Chemical group C1(=NC=CC2=CC=CC=C12)* 0.000 description 1
- 125000001786 isothiazolyl group Chemical group 0.000 description 1
- 125000000842 isoxazolyl group Chemical group 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 239000007791 liquid phase Substances 0.000 description 1
- 229910052744 lithium Inorganic materials 0.000 description 1
- ZLNQQNXFFQJAID-UHFFFAOYSA-L magnesium carbonate Chemical compound [Mg+2].[O-]C([O-])=O ZLNQQNXFFQJAID-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 239000001095 magnesium carbonate Substances 0.000 description 1
- 229910000021 magnesium carbonate Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000395 magnesium oxide Substances 0.000 description 1
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 1
- 239000000155 melt Substances 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- UJNZOIKQAUQOCN-UHFFFAOYSA-N methyl(diphenyl)phosphane Chemical compound C=1C=CC=CC=1P(C)C1=CC=CC=C1 UJNZOIKQAUQOCN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BFXIKLCIZHOAAZ-UHFFFAOYSA-N methyltrimethoxysilane Chemical compound CO[Si](C)(OC)OC BFXIKLCIZHOAAZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000003801 milling Methods 0.000 description 1
- 125000001624 naphthyl group Chemical group 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- BMGNSKKZFQMGDH-FDGPNNRMSA-L nickel(2+);(z)-4-oxopent-2-en-2-olate Chemical compound [Ni+2].C\C([O-])=C\C(C)=O.C\C([O-])=C\C(C)=O BMGNSKKZFQMGDH-FDGPNNRMSA-L 0.000 description 1
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 1
- 125000002971 oxazolyl group Chemical group 0.000 description 1
- VTRUBDSFZJNXHI-UHFFFAOYSA-N oxoantimony Chemical compound [Sb]=O VTRUBDSFZJNXHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 1
- FJKROLUGYXJWQN-UHFFFAOYSA-N papa-hydroxy-benzoic acid Natural products OC(=O)C1=CC=C(O)C=C1 FJKROLUGYXJWQN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012188 paraffin wax Substances 0.000 description 1
- 125000001997 phenyl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C(*)C([H])=C1[H] 0.000 description 1
- 125000004437 phosphorous atom Chemical group 0.000 description 1
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 1
- 125000004592 phthalazinyl group Chemical group C1(=NN=CC2=CC=CC=C12)* 0.000 description 1
- 125000003367 polycyclic group Chemical group 0.000 description 1
- 239000004848 polyfunctional curative Substances 0.000 description 1
- 229910052700 potassium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011591 potassium Substances 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 230000002035 prolonged effect Effects 0.000 description 1
- 238000010298 pulverizing process Methods 0.000 description 1
- 125000000561 purinyl group Chemical group N1=C(N=C2N=CNC2=C1)* 0.000 description 1
- 125000003226 pyrazolyl group Chemical group 0.000 description 1
- 125000002098 pyridazinyl group Chemical group 0.000 description 1
- 125000004076 pyridyl group Chemical group 0.000 description 1
- 125000000714 pyrimidinyl group Chemical group 0.000 description 1
- 125000002294 quinazolinyl group Chemical group N1=C(N=CC2=CC=CC=C12)* 0.000 description 1
- 125000002943 quinolinyl group Chemical group N1=C(C=CC2=CC=CC=C12)* 0.000 description 1
- 125000001567 quinoxalinyl group Chemical group N1=C(C=NC2=CC=CC=C12)* 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 230000009257 reactivity Effects 0.000 description 1
- 238000010992 reflux Methods 0.000 description 1
- 229960004889 salicylic acid Drugs 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- FZHAPNGMFPVSLP-UHFFFAOYSA-N silanamine Chemical compound [SiH3]N FZHAPNGMFPVSLP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000077 silane Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 1
- 229920005573 silicon-containing polymer Polymers 0.000 description 1
- 229920002050 silicone resin Polymers 0.000 description 1
- 229920002379 silicone rubber Polymers 0.000 description 1
- 229910052708 sodium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011734 sodium Substances 0.000 description 1
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 125000001424 substituent group Chemical group 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- TXDNPSYEJHXKMK-UHFFFAOYSA-N sulfanylsilane Chemical compound S[SiH3] TXDNPSYEJHXKMK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000454 talc Substances 0.000 description 1
- 229910052623 talc Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000930 thermomechanical effect Effects 0.000 description 1
- 125000000335 thiazolyl group Chemical group 0.000 description 1
- 125000001544 thienyl group Chemical group 0.000 description 1
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000004306 triazinyl group Chemical group 0.000 description 1
- QLAGHGSFXJZWKY-UHFFFAOYSA-N triphenylborane;triphenylphosphane Chemical compound C1=CC=CC=C1B(C=1C=CC=CC=1)C1=CC=CC=C1.C1=CC=CC=C1P(C=1C=CC=CC=1)C1=CC=CC=C1 QLAGHGSFXJZWKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000001993 wax Substances 0.000 description 1
- NHXVNEDMKGDNPR-UHFFFAOYSA-N zinc;pentane-2,4-dione Chemical compound [Zn+2].CC(=O)[CH-]C(C)=O.CC(=O)[CH-]C(C)=O NHXVNEDMKGDNPR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
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Abstract
본 발명은 하기 화학식 1로 표시되는 포스포늄계 화합물에 관한 것이다:
[화학식 1]
(상기 화학식 1에서, R1, R2, R3, 및 R4 는 각각 독립적으로 치환 또는 비치환된 C1~C30의 지방족 탄화수소기, 치환 또는 비치환된 C6~C30의 방향족 탄화수소기, 또는 헤테로 원자를 포함하는 치환 또는 비치환된 C1~C30의 탄화수소기이고, X1 및 X2는 각각 독립적으로 치환 또는 비치환된 탄소수 6 내지 30의 아릴렌기, 치환 또는 비치환된 탄소수 3 내지 10의 사이클로 알킬렌기, 치환 또는 비치환된 탄소수 1 내지 20의 알킬렌기이고, R5 및 R6 는 서로 동일하지 않으며, 각각 독립적으로 수소, 하이드록시기, C1~C20의 알킬기, C6~C30의 아릴기, C3~C30의 헤테로아릴기, C3~C10의 시클로알킬기, C3~C10의 헤테로시클로알킬기, C7~C30의 아릴알킬기, C1~C30의 헤테로알킬기이고, m은 1~2의 정수이다).
[화학식 1]
(상기 화학식 1에서, R1, R2, R3, 및 R4 는 각각 독립적으로 치환 또는 비치환된 C1~C30의 지방족 탄화수소기, 치환 또는 비치환된 C6~C30의 방향족 탄화수소기, 또는 헤테로 원자를 포함하는 치환 또는 비치환된 C1~C30의 탄화수소기이고, X1 및 X2는 각각 독립적으로 치환 또는 비치환된 탄소수 6 내지 30의 아릴렌기, 치환 또는 비치환된 탄소수 3 내지 10의 사이클로 알킬렌기, 치환 또는 비치환된 탄소수 1 내지 20의 알킬렌기이고, R5 및 R6 는 서로 동일하지 않으며, 각각 독립적으로 수소, 하이드록시기, C1~C20의 알킬기, C6~C30의 아릴기, C3~C30의 헤테로아릴기, C3~C10의 시클로알킬기, C3~C10의 헤테로시클로알킬기, C7~C30의 아릴알킬기, C1~C30의 헤테로알킬기이고, m은 1~2의 정수이다).
Description
본 발명은 포스포늄계 화합물, 이를 포함하는 에폭시수지 조성물 및 이를 사용하여 제조된 반도체 장치에 관한 것이다.
IC(integrated circuit), LSI(large scale integration) 등의 반도체 소자를 포장하고 반도체장치를 얻는 방법으로, 에폭시수지 조성물을 이용한 트랜스퍼(transfer) 성형이 저비용, 대량 생산에 적합하다는 점에서 널리 사용되고 있다. 에폭시수지나 경화제인 페놀 수지의 개량에 의하여 반도체 장치의 특성 및 신뢰성의 향상이 도모될 수 있다.
이러한 에폭시수지 조성물은 에폭시수지, 경화제, 경화촉매 등을 포함한다. 상기 경화촉매로 통상 이미다졸계 촉매, 아민계 촉매, 포스핀계 촉매가 사용되어 왔다.
그러나 전자기기가 점차 소형화, 경량화, 고성능화되는 추세에 따라 반도체의 고집적화도 매년 가속화되고 있고 또 반도체 장치의 표면 실장화에 대한 요구도 늘어감에 따라 종래의 에폭시 수지 조성물로는 해결할 수 없는 문제들이 생기고 있다. 또한 근래의 반도체 소자의 포장에 사용되는 재료에는 생산성의 향상을 목적으로 한 속경화성과 물류, 보관시의 취급성 향상을 목적으로 한 보존 안정성이 요구되고 있다.
이와 관련하여, 일본등록특허 제4569076호는 트리치환 포스포니오 페놀레이트 또는 그 염을 사용한 에폭시수지 경화촉매를 개시하고 있다.
본 발명의 목적은 에폭시수지의 경화를 촉진할 수 있고, 몰딩시 유동성이 우수하고, 높은 경화 강도를 나타내고, 짧은 경화시간에서도 경화가 가능한 포스포늄계 화합물을 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 저온에서도 에폭시수지의 경화를 촉진할 수 있는 포스포늄계 화합물을 제공하는 것이다.
본 발명의 또 다른 목적은 특정 경화온도에서만 경화를 촉진시키고 그 이외의 온도에서는 활성이 없어 저장안정성이 높은 포스포늄계 화합물을 제공하는 것이다.
본 발명의 또 다른 목적은 상기 포스포늄계 화합물을 포함하여 에폭시수지의 경화를 촉진할 수 있고, 몰딩시 유동성이 우수하고, 높은 경화 강도를 나타내고, 짧은 경화시간에서도 경화가 가능하고, 저온에서도 경화를 촉진할 수 있고, 저장안정성이 높은 에폭시수지 조성물을 제공하기 위한 것이다.
본 발명의 또 다른 목적은 상기 에폭시수지 조성물을 포함하는 반도체 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 하나의 관점은 포스포늄계 화합물에 관한 것이다.
하나의 구체예에서 상기 포스포늄계 화합물은 하기 화학식 1로 표시될 수 있다.
[화학식 1]
(상기 화학식 1에서, R1, R2, R3, R4, R5, R6, X1, X2, 및 m은 하기 상세한 설명에서 정의한 바와 같다.)
다른 구체예에서 상기 포스포늄계 화합물은 하기 화학식 2로 표시될 수 있다.
[화학식 2]
(상기 화학식 1에서, R1, R2, R3, R4, R5, X1, X2, 및 m은 하기 상세한 설명에서 정의한 바와 같다.)
상기 R1, R2, R3, 및 R4는 각각 C6~C30의 아릴기일 수 있다.
R1, R2, R3, 및 R4가 C6~C30의 아릴기인 경우, 상기 R1, R2, R3, 및 R4 중 하나 이상은 하이드록시기로 치환될 수 있다.
상기 포스포늄계 화합물은 하기 화학식 1a 내지 1e 로 표시될 수 있다.
[화학식 1a]
[화학식 1b]
[화학식 1c]
[화학식 1d]
[화학식 1e]
상기 포스포늄계 화합물은 하기 화학식 2a 내지 2j 로 표시될 수 있다.
[화학식 2a]
[화학식 2b]
[화학식 2c]
[화학식 2d]
[화학식 2e]
[화학식 2f]
[화학식 2g]
[화학식 2h]
[화학식 2i]
[화학식 2j]
본 발명의 다른 관점은 포스포늄계 화합물의 제조방법에 관한 것이다.
한 구체예에서 상기 방법은 하기 화학식 3의 포스포늄계 양이온 함유 화합물과 하기 화학식 4의 아닐리드계 음이온 함유 화합물을 반응시키는 단계를 포함할 수 있다:
[화학식 3]
(상기 화학식 3에서, R1, R2, R3, R4, 및 Y는 하기 상세한 설명에서 정의한 바와 같다),
[화학식 4]
(상기 화학식 4에서, X1, X2, R5, R6, m, 및 M은 하기 상세한 설명에서 정의한 바와 같다).
다른 구체예에서 상기 화학식 3의 포스포늄계 양이온 함유 화합물과 하기 화학식 5의 아닐리드계 음이온 함유 화합물을 반응시키는 단계를 포함할 수 있다:
[화학식 5]
(상기 화학식 5에서, X1, X2, R5, m, 및 M은 하기 상세한 설명에서 정의한 바와 같다).
본 발명의 또 다른 관점은 에폭시수지 조성물에 관한 것이다.
상기 에폭시수지 조성물은 에폭시수지, 경화제, 무기충전제 및 경화촉매를 포함하고, 상기 경화촉매는 상기 화학식 1 또는 화학식 2로 표시되는 포스포늄계 화합물을 포함할 수 있다.
상기 에폭시수지는 비스페놀 A형 에폭시 수지, 비스페놀 F형 에폭시 수지, 페놀노볼락형 에폭시 수지, tert-부틸 카테콜형 에폭시수지, 나프탈렌형 에폭시수지, 글리시딜아민형 에폭시수지, 크레졸노볼락형 에폭시수지, 비페닐형 에폭시수지, 선형지방족에폭시수지, 지환식에폭시수지, 복소환식 에폭시수지, 스피로환 함유 에폭시수지, 시클로헥산디메탄올형 에폭시수지, 트리메틸올형 에폭시수지, 할로겐화 에폭시 수지 중 하나 이상을 포함할 수 있다.
상기 경화제는 페놀수지를 포함할 수 있다.
상기 경화제는 페놀아랄킬형 페놀수지, 페놀노볼락형 페놀수지, 자일록형 페놀수지, 크레졸 노볼락형 페놀수지, 나프톨형 페놀수지, 테르펜형 페놀수지, 다관능형 페놀수지, 디시클로펜타디엔계 페놀수지, 비스페놀 A와 레졸로부터 합성된 노볼락형 페놀수지, 트리스(하이드록시페닐)메탄, 디하이드록시바이페닐을 포함하는 다가 페놀 화합물, 무수 말레인산 및 무수 프탈산을 포함하는산무수물, 메타페닐렌디아민, 디아미노디페닐메탄, 디아미노디페닐설폰 중 하나 이상을 포함할 수 있다.
상기 경화촉매는 상기 에폭시수지 조성물 중 0.01 내지 5중량%로 포함될 수 있다.
상기 포스포늄계 화합물은 상기 경화촉매 중 10 내지 100중량%로 포함될 수 있다.
상기 에폭시수지 조성물은 하기 식 2에 의한 저장안정성이 80% 이상인 일 수 있다:
[식 2]
저장안정성 = (F1-F0)/F0 x 100
(상기 식 2에서, F1은 25℃/50RH% 에서 72 시간 경과 후 EMMI-1-66에 의해 175?, 70kgf/cm 2 에서 트랜스퍼 몰딩 프레스(transfer molding press)를 이용하여 측정된 유동 길이(inch)이고, F0 은 초기 에폭시수지 조성물의 유동길이(inch)이다).
상기 에폭시수지 조성물은 하기 식 1의 경화수축률이 0.4% 이하일 수 있다:
[식 1]
경화수축률= |C - D|/C x 100
(상기 식 1에서, C는 에폭시수지 조성물을 175℃, 70kgf/cm2의 트랜스퍼 몰딩 프레스하여 얻은 시편의 길이, D는 상기 시편을 170~180℃에서 4시간 후경화하고 냉각시킨 후 얻은 시편의 길이이다).
본 발명의 또 다른 관점인 반도체 장치는 상기 에폭시수지 조성물로 밀봉될 수 있다.
본 발명은 에폭시수지의 경화를 촉진할 수 있고, 몰딩시 유동성이 우수하고, 높은 경화 강도를 나타내고, 짧은 경화시간에서도 경화가 가능하고, 저온에서도 에폭시수지의 경화를 촉진할 수 있고, 저장안정성이 높은 포스포늄계 화합물을 제공하며, 상기 포스포늄계 화합물을 포함하는 에폭시 수지 조성물 및 상기 에폭시수지 조성물을 포함하는 반도체 장치를 제공하였다.
도 1은 본 발명 일 실시예의 반도체 소자의 단면도이다.
도 2는 본 발명 다르느 실시예의 반도체 소자의 단면도이다.
도 2는 본 발명 다르느 실시예의 반도체 소자의 단면도이다.
본 명세서에서 "치환 또는 비치환된'"에서 "치환된"은 해당 작용기 중 하나 이상의 수소 원자가 수산기, 할로겐, 아미노기, 니트로기, 시아노기, C1~C20의 알킬기, C1~C20의 할로알킬기, C6~C30의 아릴기, C3~C30의 헤테로아릴기, C3~C10의 시클로알킬기, C3~C10의 헤테로시클로알킬기, C7~C30의 아릴알킬기, C1~C30의 헤테로알킬기로 치환된 것을 의미하고, '할로'는 불소, 염소, 요오드 또는 브롬을 의미한다.
본 명세서에서 "아릴기"는 환형인 치환기의 모든 원소가 p-오비탈을 가지며 p-오비탈이 공액을 형성하는 치환기를 의미하고, 모노 또는 융합 (즉, 탄소 원자들이 인접한 쌍들을 나눠 가지는 고리) 작용기를 포함하고, "비치환된 아릴기"는 C6 내지 C30의 단일 또는 융합된(fused) 다환(polycyclic) 아릴기를 의미하고, 예를 들면 페닐기, 비페닐기, 나프틸기, 나프톨기, 안트라세닐기 등을 의미할 수 있지만 이에 제한되지 않는다.
본 명세서에서 "헤테로아릴기"는 C6 내지 C30의 아릴기 내에 질소, 산소, 황 및 인으로 이루어진 군에서 선택되는 원자가 1 내지 3개 포함되고 나머지는 탄소인 것을 의미하고, 예를 들면 피리디닐, 피라지닐, 피리미디닐, 피리다지닐, 트리아지닐, 퀴놀리닐, 이소퀴놀리닐, 퀴녹살리닐, 아크리디닐, 퀴나졸리닐, 신노리닐, 프탈라지닐, 티아졸릴, 벤조티아졸릴, 이속사졸릴, 벤즈이속사졸릴, 옥사졸릴, 벤즈옥사졸릴, 피라졸릴, 인다졸릴, 이미다졸릴, 벤즈이미다졸릴, 퓨리닐, 티오페닐, 벤조티오페닐, 푸라닐, 벤조푸라닐, 이소벤조푸라닐을 의미할 수 있지만 이에 제한되지 않는다.
본 명세서에서 '헤테로시클로알킬기', '헤테로아릴기', '헤테로시클로알킬렌기', '헤테로아릴렌기'에서 '헤테로'는 질소, 산소, 황 또는 인 원자를 의미한다.
한 구체예에 따른 포스포늄계 화합물은 포스포늄계 양이온과 하이드록시기와 아미드기를 동시에 포함할 수 있는 음이온을 포함하고, 하기 화학식 1로 표시될 수 있다:
[화학식 1]
(상기 화학식 1에서, R1, R2, R3, 및 R4 는 각각 독립적으로 치환 또는 비치환된 C1~C30의 지방족 탄화수소기, 치환 또는 비치환된 C6~C30의 방향족 탄화수소기, 또는 헤테로 원자를 포함하는 치환 또는 비치환된 C1~C30의 탄화수소기이고, X1 및 X2는 각각 독립적으로 치환 또는 비치환된 탄소수 6 내지 30의 아릴렌기, 치환 또는 비치환된 탄소수 3 내지 10의 사이클로 알킬렌기, 치환 또는 비치환된 탄소수 1 내지 20의 알킬렌기이고, R5 및 R6 는 서로 동일하지 않으며, 각각 독립적으로 수소, 하이드록시기, C1~C20의 알킬기, C6~C30의 아릴기, C3~C30의 헤테로아릴기, C3~C10의 시클로알킬기, C3~C10의 헤테로시클로알킬기, C7~C30의 아릴알킬기, C1~C30의 헤테로알킬기이고, m은 1~2의 정수이다).
상기 화학식 1의 R1, R2, R3, 및 R4는 각각 C6~C30의 아릴기일 수 있다.
상기 화학식 1의 R1, R2, R3, 및 R4중 하나 이상은 하이드록시기로 치환 된 C6~C30의 아릴기일 수 있다.
화학식 1로 표시되는 본 발명의 포스포늄계 화합물은 하기 화학식 1a 내지 1e로 표시되는 화합물 일 수 있다.
[화학식 1a]
[화학식 1b]
[화학식 1c]
[화학식 1d]
[화학식 1e]
다른 구체예에 따른 포스포늄계 화합물은 포스포늄계 양이온과 하이드록시기와 아미드기를 동시에 포함할 수 있는 음이온을 포함하고, 하기 화학식 2로 표시될 수 있다:
[화학식 2]
(상기 화학식 2에서, R1, R2, R3, 및 R4 는 각각 독립적으로 치환 또는 비치환된 C1~C30의 지방족 탄화수소기, 치환 또는 비치환된 C6~C30의 방향족 탄화수소기, 또는 헤테로 원자를 포함하는 치환 또는 비치환된 C1~C30의 탄화수소기이고, X1 및 X2는 각각 독립적으로 치환 또는 비치환된 C6~C30의 방향족 탄화수소기, 치환 또는 비치환된 탄소수 6 내지 30의 아릴렌기, 치환 또는 비치환된 탄소수 3 내지 10의 사이클로 알킬렌기, 치환 또는 비치환된 탄소수 1 내지 20의 알킬렌기이고, R5는 수소, 하이드록시기, C1~C20의 알킬기, C6~C30의 아릴기, C3~C30의 헤테로아릴기, C3~C10의 시클로알킬기, C3~C10의 헤테로시클로알킬기, C7~C30의 아릴알킬기, C1~C30의 헤테로알킬기이고, m은 1~2의 정수이다).
상기 화학식 2의 R1, R2, R3, 및 R4는 각각 C6~C30의 아릴기일 수 있다.
상기 화학식 2의 R1, R2, R3, 및 R4중 하나 이상은 하이드록시기로 치환될 수 있다.
화학식 2로 표시되는 본 발명의 포스포늄계 화합물은 하기 화학식 2a 내지 2j로 표시되는 화합물 일 수 있다.
[화학식 2a]
[화학식 2b]
[화학식 2c]
[화학식 2d]
[화학식 2e]
[화학식 2f]
[화학식 2g]
[화학식 2h]
[화학식 2i]
[화학식 2j]
포스포늄계 화합물은 에폭시 수지, 경화제, 무기 충전제 중 하나 이상을 포함하는 조성물에 첨가되어 잠재성 경화촉매로 사용될 수 있다.
포스포늄계 화합물은 에폭시수지와 경화제의 경화반응을 촉매함과 동시에 저온 경화성과 저장안정성이 높고, 에폭시수지 조성물 에서 소정의 시간 및 온도 조건에서도 점도 변화를 최소화할 수 있다. 저장 안정성은 원하는 경화온도가 될 때에만 경화를 촉진시키고 원하는 경화온도가 아닐 때에는 경화촉매 활성이 없는 활성으로서, 그 결과 점도 변화 없이도 에폭시수지 조성물을 장시간 동안 저장할 수 있게 한다. 일반적으로 경화반응의 진행은 에폭시수지 조성물이 액체인 경우 점도의 상승, 유동성 저하를 가져올 수 있고, 에폭시수지 조성물이 고체인 경우 점성을 발현시킬 수 있다.
포스포늄게 화합물의 제조방법
화학식 1의 포스포늄계 화합물을 제조하는 방법은 하기 화학식 3의 포스포늄계 양이온 함유 화합물과 하기 화학식 4의 아닐리드계 음이온 함유 화합물을 반응시키는 단계를 포함할 수 있다:
[화학식 3]
(상기 화학식 3에서, R1, R2, R3, 및 R4 는 각각 독립적으로 치환 또는 비치환된 C1~C30의 지방족 탄화수소기, 치환 또는 비치환된 C6~C30의 방향족 탄화수소기, 또는 헤테로 원자를 포함하는 치환 또는 비치환된 C1~C30의 탄화수소기이고, Y는 할로겐이다),
[화학식 4]
(상기 화학식 4에서, X1 및 X2는 각각 독립적으로 치환 또는 비치환된 탄소수 6 내지 30의 아릴렌기, 치환 또는 비치환된 탄소수 3 내지 10의 사이클로 알킬렌기, 치환 또는 비치환된 탄소수 1 내지 20의 알킬렌기이고, R5 및 R6 는 서로 동일하지 않으며, 각각 독립적으로 수소, 하이드록시기, C1~C20의 알킬기, C6~C30의 아릴기, C3~C30의 헤테로아릴기, C3~C10의 시클로알킬기, C3~C10의 헤테로시클로알킬기, C7~C30의 아릴알킬기, C1~C30의 헤테로알킬기이고, m은 1~2의 정수이며, M은 알칼리금속 또는 Ag이다).
화학식 2의 포스포늄계 화합물을 제조하는 방법은 상기 화학식 3의 포스포늄계 양이온 함유 화합물과 하기 화학식 5의 아닐리드계 음이온 함유 화합물을 반응시키는 단계를 포함할 수 있다:
[화학식 5]
(상기 화학식 5에서, X1 및 X2는 각각 독립적으로 치환 또는 비치환된 C6~C30의 방향족 탄화수소기, 치환 또는 비치환된 탄소수 6 내지 30의 아릴렌기, 치환 또는 비치환된 탄소수 3 내지 10의 사이클로 알킬렌기, 치환 또는 비치환된 탄소수 1 내지 20의 알킬렌기이고, R5는 수소, 하이드록시기, C1~C20의 알킬기, C6~C30의 아릴기, C3~C30의 헤테로아릴기, C3~C10의 시클로알킬기, C3~C10의 헤테로시클로알킬기, C7~C30의 아릴알킬기, C1~C30의 헤테로알킬기이고, m은 1~2의 정수이며, M은 알칼리금속 또는 Ag이다).
상기 Y는 플루오르, 염소, 브롬 또는 요오드일 수 있다.
상기 M은 리튬, 나트륨, 칼륨, 루미듐, 세슘, 프란슘 또는 Ag일 수 있다.
포스포늄계 양이온 함유 화합물은 용매 하에 포스핀계 화합물과 유기 할라이드를 반응시켜 포스포늄계 양이온 함유 염으로 제조될 수 있다. 상기 유기 할라이드는 알킬 할라이드, 아릴 할라이드 또는 아랄킬 할라이드일 수 있다.
포스핀계 화합물로는 트리페닐포스핀, 메틸디페닐포스핀, 디메틸페닐포스핀, 에틸디페닐포스핀, 디페닐프로필포스핀, 이소프로필디페닐포스핀, 디에틸페닐포스핀 등이 될 수 있지만, 이에 제한되지 않는다.
포스포늄계 양이온 함유 화합물과 아닐리드계 음이온 함유 화합물의 반응은 메탄올, 메틸렌클로라이드, 아세토니트릴, N,N-디메틸포름아미드, 톨루엔 등의 유기 용매에서 수행될 수 있다.
구체예에서 포스포늄계 양이온 함유 화합물: 아닐리드계 음이온 함유 화합물은 1:1 내지 1:2의 몰비로 반응할 수 있다. 한 구체예에서는 포스핀계 화합물과 유기 할라이드를 반응시켜 포스포늄계 양이온 함유 화합물을 제조하고, 추가적인 분리 공정 없이 아닐리드계 음이온 함유 화합물을 첨가하여 반응시킬 수도 있다.
음이온과 관련하여, 두개의 분자가 수소결합 클러스터를 형성하여 음이온을 이루고 있을 때 유동성 측면에서 우수하다. 이것은 두 분자가 수소결합 클러스터를 이루고 있을 때, 양이온과의 이온 결합이 더 강하게 형성되어 반응성이 억제되다가 약한 수소결합이 빠르게 끊어지면서 양이온 촉매부가 반응에 참여하는 속경화성을 가지고 있기 때문으로 추정된다.
에폭시수지 조성물
본 발명의 에폭시수지 조성물은 상기 포스포늄계 화합물을 포함한다.
구체예에서 에폭시수지 조성물은 에폭시수지, 경화제, 무기충전제 및 경화촉매를 포함하며, 상기 경화촉매는 상기 화학식 1 및 화학식 2로 표시되는 1종 이상의 포스포늄계 화합물을 포함한다.
에폭시수지
에폭시수지는 분자 중에 2개 이상의 에폭시기를 갖는 것으로, 비스페놀 A형 에폭시 수지, 비스페놀 F형 에폭시 수지, 페놀노볼락형 에폭시 수지, tert-부틸 카테콜형 에폭시수지, 나프탈렌형 에폭시수지, 글리시딜아민형 에폭시수지, 크레졸노볼락형 에폭시수지, 비페닐형 에폭시수지, 선형지방족에폭시수지, 지환식에폭시수지, 복소환식 에폭시수지, 스피로환 함유 에폭시수지, 시클로헥산디메탄올형 에폭시수지, 트리메틸올형 에폭시수지, 할로겐화 에폭시 수지 등이 될 수 있고, 이들은 단독 또는 2종 이상 혼합하여 포함될 수도 있다. 예를 들면, 에폭시수지는 분자 중에 2개 이상의 에폭시기 및 1개 이상의 수산기를 갖는 에폭시수지일 수 있다. 에폭시수지는 고상의 에폭시수지, 액상의 에폭시수지, 중 하나 이상을 포함할 수 있고 바람직하게는 고상의 에폭시수지를 사용할 수 있다.
일 구체예에서, 에폭시수지는 하기 화학식 6의 비페닐형 에폭시수지가 될 수 있다:
[화학식 6]
(상기 화학식 6에서, R은 탄소수 1 내지 4의 알킬기, n의 평균치는 0 내지 7이다.)
에폭시수지는 조성물 중 고형분 기준으로 2 내지 17중량%, 예를 들면 3 내지 15중량%, 예를 들면 3 내지 12중량% 포함될 수 있다. 상기 범위에서, 조성물의 경화성이 우수하다.
경화제
경화제는 페놀아랄킬형 페놀수지, 페놀노볼락형 페놀수지, 자일록형 페놀수지, 크레졸 노볼락형 페놀수지, 나프톨형 페놀수지, 테르펜형 페놀수지, 다관능형 페놀수지, 디시클로펜타디엔계 페놀수지, 비스페놀 A와 레졸로부터 합성된 노볼락형 페놀수지, 트리스(하이드록시페닐)메탄, 디하이드록시바이페닐을 포함하는 다가 페놀 화합물, 무수 말레인산 및 무수 프탈산을 포함하는 산무수물, 메타페닐렌디아민, 디아미노디페닐메탄, 디아미노디페닐설폰 등의 방향족 아민 등을 들 수 있다. 바람직하게는, 경화제는 1개 이상의 수산기를 갖는 페놀수지일 수 있다.
일 구체예에서, 경화제는 하기 화학식 7의 자일록형 페놀수지, 하기 화학식 6의 페놀아랄킬형 페놀수지를 사용할 수 있다:
[화학식 7]
(상기 화학식 7에서 n의 평균치는 0 내지 7이다.)
[화학식 8]
(상기 화학식 8에서 n의 평균치는 1 내지 7이다)
경화제는 에폭시수지 조성물 중 고형분 기준으로 0.5 내지 13중량%, 예를 들면 1 내지 10중량%, 예를 들면 2 내지 8중량% 포함될 수 있다. 상기 범위에서, 조성물의 경화성이 우수하다.
무기충전제
에폭시수지 조성물은 무기충전제를 더 포함할 수 있다. 무기충전제는 조성물의 기계적 물성의 향상과 저응력화를 높일 수 있다. 무기충전제의 예로는 용융실리카, 결정성실리카, 탄산칼슘, 탄산마그네슘, 알루미나, 마그네시아, 클레이(clay), 탈크(talc), 규산칼슘, 산화티탄, 산화안티몬, 유리섬유 중 하나 이상을 포함할 수 있다.
바람직하게는 저응력화를 위해서 선팽창계수가 낮은 용융실리카를 사용한다. 용융실리카는 진비중이 2.3 이하인 비결정성 실리카를 의미하는 것으로 결정성 실리카를 용융하여 만들거나 다양한 원료로부터 합성한 비결정성 실리카도 포함된다. 용융실리카의 형상 및 입경은 특별히 한정되지는 않지만, 평균 입경 5 내지 30㎛의 구상용융실리카를 50 내지 99중량%, 평균입경 0.001 내지 1㎛의 구상 용융실리카를 1내지 50중량%를 포함한 용융실리카 혼합물을 전체 충전제에 대하여 40 내지 100중량%가 되도록 포함하는 것이 좋다. 또한, 용도에 맞춰 그 최대 입경을 45㎛, 55㎛, 및 75㎛ 중 어느 하나로 조정해서 사용할 수가 있다. 상기 구상 용융실리카에는 도전성의 카본이 실리카 표면에 이물질로서 포함되는 경우가 있으나 극성 이물질의 혼입이 적은 물질을 선택하는 것도 중요하다.
무기충전제의 사용량은 성형성, 저응력성, 및 고온강도 등의 요구 물성에 따라 다르다. 구체예에서는 무기충전제는 에폭시수지 조성물 중 70 내지 95중량%, 예를 들면 75 내지 92중량%로 포함될 수 있다. 상기 범위에서, 에폭시수지 조성물의 난연성, 유동성 및 신뢰성을 확보할 수 있다.
경화촉매
에폭시수지 조성물은 상기 화학식 1 및 화학식 2로 표시되는 1종 이상의 포스포늄계 화합물을 포함하는 경화촉매를 포함할 수 있다. 포스포늄계 화합물은 에폭시수지 조성물 중 0.01 내지 5중량%, 예를 들면 0.02 내지 1.5중량%, 예를 들면 0.05 내지 1.5중량%로 포함될 수 있다. 상기 범위에서, 경화 반응 시간이 지연되지 않고, 조성물의 유동성이 확보될 수 있다.
에폭시수지 조성물은 포스포늄을 포함하지 않는 비-포스포늄계 경화촉매를 더 포함할 수 있다. 비-포스포늄계 경화촉매는 3급 아민, 유기금속화합물, 유기인화합물, 이미다졸, 및 붕소화합물 등이 사용 가능하다. 3급 아민에는 벤질디메틸아민, 트리에탄올아민, 트리에틸렌디아민, 디에틸아미노에탄올, 트리(디메틸아미노메틸)페놀, 2-2-(디메틸아미노메틸)페놀, 2,4,6-트리스(디아미노메틸)페놀과 트리-2-에틸헥실산염 등이 있다. 유기 금속화합물에는 크로뮴아세틸아세토네이트, 징크아세틸아세토네이트, 니켈아세틸아세토네이트 등이 있다. 유기인화합물에는 트리스-4-메톡시포스핀, 트리페닐포스핀, 트리페닐포스핀트리페닐보란, 트리페닐포스핀-1,4-벤조퀴논 부가물 등이 있다. 이미다졸류에는 2-메틸이미다졸, 2-페닐이미다졸, 2-아미노이미다졸, 2-메틸-1-비닐이미다졸, 2-에틸-4-메틸이미다졸, 2-헵타데실이미다졸 등이 있다. 붕소화합물에는 트리페닐포스핀 테트라페닐보레이트, 테트라페닐보론염, 트리플루오로보란-n-헥실아민, 트리플루오로보란모노에틸아민, 테트라플루오로보란트리에틸아민, 테트라플루오로보란아민 등이 있다. 이외에도 1,5-디아자바이시클로[4.3.0]논-5-엔(1,5-diazabicyclo[4.3.0]non-5-ene: DBN), 1,8-디아자바이시클로[5.4.0]운덱-7-엔(1,8-diazabicyclo[5.4.0]undec-7-ene: DBU) 및 페놀노볼락 수지염 등을 사용할 수 있다. 특히 바람직한 경화촉매로는 유기인화합물, 붕소화합물, 아민계, 또는 이미다졸계 경화 촉진제를 단독 혹은 혼합하여 사용하는 것을 들 수 있다. 경화촉매는 에폭시수지 또는 경화제와 선반응하여 만든 부가물을 사용하는 것도 가능하다.
전체 경화촉매 중 본 발명의 포스포늄계 화합물은 10 내지 100중량%, 예를 들면 60 내지 100중량%로 포함될 수 있고, 상기 범위에서 경화 반응 시간이 지연되지 않고, 조성물의 유동성 확보 효과가 있을 수 있다.
경화촉매는 에폭시수지 조성물 중 0.01 내지 5중량%, 예를 들면 0.02 내지 1.5중량%, 예를 들면 0.05 내지 1.5중량%로 포함될 수 있다. 상기 범위에서, 경화 반응 시간이 지연되지 않고, 조성물의 유동성이 확보될 수 있다.
본 발명의 조성물은 조성물에 포함되는 통상의 첨가제를 더 포함할 수 있다. 구체예에서, 첨가제는 커플링제, 이형제, 응력 완화제, 가교 증진제, 레벨링제, 착색제 중 하나 이상을 포함할 수 있다.
커플링제는 에폭시실란, 아미노실란, 머캡토실란, 알킬실란 및 알콕시실란으로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종 이상을 사용할 수 있지만, 이에 제한되지 않는다. 커플링제는 에폭시 수지 조성물 중 0.1 내지 1중량%로 포함될 수 있다.
이형제는 파라핀계 왁스, 에스테르계 왁스, 고급 지방산, 고급 지방산 금속염, 천연 지방산 및 천연 지방산 금속염으로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종 이상을 사용할 수 있다. 이형제는 에폭시 수지 조성물 중 0.1 내지 1중량%로 포함될 수 있다.
응력 완화제는 변성 실리콘 오일, 실리콘 엘라스토머, 실리콘 파우더 및 실리콘 레진으로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종 이상을 사용할 수 있지만, 이에 제한되지 않는다. 응력 완화제는 에폭시 수지 조성물 중 0 내지 6.5중량%, 예를 들면 0 내지 1중량%, 예를 들면 0.1 내지 1중량%로 함유되는 것이 바람직한데, 선택적으로 함유될 수도 있고, 양자 모두 함유될 수도 있다. 이때, 변성 실리콘 오일로는 내열성이 우수한 실리콘 중합체가 좋으며, 에폭시 관능기를 갖는 실리콘 오일, 아민 관능기를 갖는 실리콘 오일 및 카르복실 관능기를 갖는 실리콘 오일 등을 1종 또는 2종 이상 혼합하여 전체 에폭시 수지 조성물에 대해 0.05 내지 1.5 중량% 사용할 수 있다. 다만, 실리콘 오일을 1.5 중량% 이상 초과할 경우에는 표면 오염이 발생하기 쉽고 레진 블리드(bleed)가 길어질 우려가 있으며, 0.05 중량% 미만으로 사용 시에는 충분한 저탄성률을 얻을 수가 없게 되는 문제점이 있을 수 있다. 또한, 실리콘 파우더는 중심입경이 15㎛ 이하인 것이 성형성 저하의 원인으로 작용하지 않기에 특히 바람직하며, 전체 수지 조성물에 대하여 0 내지 5중량%, 예를 들면 0.1 내지 5중량%로 함유될 수 있다.
첨가제는 에폭시 수지 조성물 중 0.1 내지 10중량%, 예를 들면 0.1 내지 3중량%로 포함될 수 있다.
에폭시수지 조성물은 저온에서도 경화가능하고, 예를 들면 경화개시온도는 90내지 120?가 될 수 있다. 상기 범위에서, 저온에서도 경화가 충분히 진행되어, 저온 경화의 효과가 있을 수 있다.
에폭시수지 조성물은 EMMI-1-66에서 175℃, 70kgf/cm2에서 트랜스퍼 몰딩 프레스에 의한 유동길이가 62 내지 77 inch가 될 수 있다. 상기 범위에서, 에폭시수지 조성물의 용도로 사용될 수 있다.
에폭시수지 조성물은 유리전이온도가 100 내지 130℃, 예를 들면 120 내지 127℃가 될 수 있다. 상기 범위에서, 저온 경화의 효과가 있을 수 있다.
에폭시수지 조성물은 하기 식 1에 의해 측정된 경화수축률이 0.4% 이하, 예를 들면 0.01 내지 0.40%가 될 수 있다. 상기 범위에서, 경화수축률이 낮아 에폭시수지 조성물의 용도로 사용될 수 있다.
[식 1]
경화수축률= |C - D|/C x 100
(상기 식 1에서, C는 에폭시수지 조성물을 175℃, 70kgf/cm2의 트랜스퍼 몰딩 프레스하여 얻은 시편의 길이, D는 상기 시편을 170~180℃에서 4시간 후경화하고 냉각시킨 후 얻은 시편의 길이이다).
상기 범위에서, 경화수축률이 낮아 에폭시수지 조성물의 용도로 사용될 수 있다.
에폭시수지 조성물은 하기 식 2에 의한 저장안정성이 80% 이상일 수 있다:
[식 2]
저장안정성 = (F1-F0)/F0 x 100
(상기 식 2에서, F1은 25℃/50RH% 에서 72 시간 경과 후 EMMI-1-66에 의해 175℃, 70kgf/cm 2 에서 트랜스퍼 몰딩 프레스(transfer molding press)를 이용하여 측정된 유동 길이(inch)이고, F0 은 초기 유동길이(inch)이다).
에폭시수지 조성물 중 에폭시수지는 단독으로 사용되거나, 경화제, 경화촉매, 이형제, 커플링제, 및 응력완화제 등의 첨가제와 멜트 마스터 배치(melt master batch)와 같은 선반응을 시켜 만든 부가 화합물로도 포함될 수 있다. 에폭시 수지 조성물을 제조하는 방법은 특별히 제한되지 않지만, 조성물에 포함되는 각 구성성분을 헨셀 믹서나 뢰디게 믹서를 이용하여 균일하게 혼합한 후, 롤 밀이나 니이더로 90 내지 120℃에서 용융 혼련하고, 냉각 및 분쇄 과정을 거쳐 제조될 수 있다.
본 발명의 수지 조성물의 용도는 반도체 소자 밀봉용도, 접착필름, 프리프레그 등의 절연수지시트, 회로기판, 솔더레지스트, 언더필제, 다이본딩재, 부품 보충 수지 용도 등의 에폭시수지 조성물이 필요로 하는 광범위한 용도에 적용될 수 있으며, 이에 제한되는 것은 아니다.
반도체 소자 밀봉
본 발명의 에폭시수지 조성물은 반도체 소자 밀봉용도로 사용될 수 있고, 에폭시수지, 경화제, 포스포늄계 화합물 함유 경화촉매, 무기충진제, 첨가제를 포함할 수 있다.
본 발명의 반도체 소자는 상기 에폭시수지 조성물을 사용하여 밀봉될 수 있다.
도 1은 본 발명 일 실시예의 반도체 소자의 단면도이다. 도 1을 참조하면, 본 발명 일 실시예의 반도체 소자(100)는 배선기판(10), 배선기판(10) 위에 형성된 범프(30), 범프(30) 위에 형성된 반도체칩(20)을 포함하고, 배선기판(10)과 반도체칩(20) 간의 갭은 에폭시수지 조성물(40)로 봉지될 수 있고, 에폭시 수지 조성물은 본 발명 실시예의 에폭시수지 조성물이 될 수 있다.
도 2는 본 발명 다른 실시예의 반도체 소자의 단면도이다. 도 2를 참조하면, 본 발명 다른 실시예의 반도체 소자(200)는 배선기판(10), 배선기판(10) 위에 형성된 범프(30), 범프(30) 위에 형성된 반도체칩(20)을 포함하고, 배선기판(10)과 반도체칩(20) 간의 갭과 반도체칩(30) 상부면 전체가 에폭시수지 조성물(40)로 봉지될 수 있고, 에폭시 수지 조성물은 본 발명 실시예의 반도체 소자 밀봉용 에폭시수지 조성물을 포함할 수 있다.
도 1과 도 2에서 배선기판, 범프, 반도체 칩의 각각의 크기, 범프의 개수는 임의의 도시된 것으로서, 변경될 수 있다.
본 발명의 조성물을 이용하여 반도체 소자를 밀봉하는 방법은 저압 트랜스퍼 성형 방법이 가장 일반적으로 사용될 수 있다. 그러나, 인젝션(injection) 성형 방법이나 캐스팅(casting) 방법 등의 방법으로도 성형될 수 있다. 상기 방법에 의해 구리 리드프레임, 철 리드프레임, 또는 상기 리드프레임에 니켈 및 구리로 팔라듐으로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종 이상의 물질로 프리플레이팅된 리드프레임, 또는 유기계 라미네이트 프레임의 반도체 소자를 제조할 수 있다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 통해 본 발명의 구성 및 작용을 더욱 상세히 설명하기로 한다. 다만, 이는 본 발명의 바람직한 예시로 제시된 것이며 어떠한 의미로도 이에 의해 본 발명이 제한되는 것으로 해석될 수는 없다.
여기에 기재되지 않은 내용은 이 기술 분야에서 숙력된 자이면 충분히 기술적으로 유추할 수 있는 것이므로 그 설명을 생략하기로 한다.
실시예
제조예 1: 화학식 1a로 표시되는 포스포늄계 화합물의 제조
MeOH/DMF (1:1) 100g에 2-hydroxy-5-nitro-N-p-tolylbenzamide 27.2g을 넣고, 25% sodium methoxide solution 21.6g을 투입하여 상온에서 30분간 반응시키면서 완전히 녹인 후, salicylanilide 21.3g을 투입하여 녹인 다음, 메탄올 50g에 미리 녹여 놓은 tetraphenylphosphonium bromide 41.9g을 서서히 투입하고 1시간을 더 반응시킨 후 생성된 흰색 고체 화학식 1a의 화합물 걸러내어 68.4g을 얻어냈다. NMR 데이터로 하기 화학식 1a의 화합물임을 확인하였다.
[화학식 1a]
1H NMR (300 MHz, DMSO) δ 13.84 (s, 1H), 11.85 (s, 1H), 10.43 (s, 1H), 8.72 (d, J = 3.3 Hz, 1H), 8.03 - 7.90 (m, 5H), 7.88 - 7.66 (m, 19H), 7.56 (d, J = 8.4 Hz, 2H), 7.49 - 7.32 (m, 3H), 7.22 - 7.06 (m, 3H), 7.04 - 6.90 (m, 2H), 6.32 (d, J = 9.4 Hz, 1H), 2.26 (s, 3H).
상기 화학식 1a로 표현되는 화합물에서 음이온부인 salicylanilide 및 salicylanilide유도체는 1H NMR spectrum의 integration에서 포스포늄과 1:1:1의 비율로 나타나며, 2당량 이상의 salicylanilide가 반응에 사용되어도 생성물 NMR spectrum의 integration 결과에서 포스포늄과 salicylanilide 및 salicylanilide유도체의 비율이 1:1:1로 유지되는 것으로 볼 때, 위 화학식 1a로 나타낸 구조가 안정한 형태인 것으로 판단된다
제조예 2: 화학식 1b로 표시되는 포스포늄계 화합물의 제조
MeOH/DMF (1:1) 100g에 2-hydroxy-5-nitro-N-p-tolylbenzamide 27.2g을 넣고, 25% sodium methoxide solution 21.6g을 투입하여 상온에서 30분간 반응시키면서 완전히 녹인 후, salicylanilide 21.3g을 투입하여 녹인 다음, 메탄올 50g에 미리 녹여 놓은 M1 43.5g을 서서히 투입하고 1시간을 더 반응시킨 후 생성된 흰색 고체 화학식 1b의 화합물 걸러내어 69.4g을 얻어냈다. NMR 데이타로 하기 화학식 1b의 화합물임을 확인하였다.
[화학식 1b]
1H NMR (300 MHz, DMSO) δ 13.84 (s, 1H), 11.53 (s, 2H), 10.47 (s, 1H), 8.72 (d, J = 3.3 Hz, 1H), 8.02 - 7.32 (m, 27H), 7.20 - 7.06 (m, 5H), 6.97 (ddd, J = 11.3, 6.5, 2.3 Hz, 2H), 6.33 (d, J = 9.4 Hz, 1H), 2.26 (s, 3H).
상기 화학식 1b로 표현되는 화합물에서 음이온부인 salicylanilide 및 salicylanilide유도체는 1H NMR spectrum의 integration에서 포스포늄과 1:1:1의 비율로 나타나며, 2당량 이상의 salicylanilide가 반응에 사용되어도 생성물 NMR spectrum의 integration 결과에서 포스포늄과 salicylanilide 및 salicylanilide유도체의 비율이 1:1:1로 유지되는 것으로 볼 때, 위 화학식 1b로 나타낸 구조가 안정한 형태인 것으로 판단된다
제조예 3: 화학식 1c로 표시되는 포스포늄계 화합물의 제조
MeOH/DMF (1:1) 100g에 3-hydroxy N-naphthyl 2-naphthamide 31.3g을 넣고, 25% sodium methoxide solution 21.6g을 투입하여 상온에서 30분간 반응시키면서 완전히 녹인 후, salicylanilide 21.3g을 투입하여 녹인 다음, MeOH 50g에 미리 녹여 놓은 tetraphenylphosphonium bromide 41.9g을 서서히 투입하고 1시간을 더 반응시킨 후 생성된 노란색 고체 화학식 1b의 화합물 걸러내어 70.4g을 얻어냈다. NMR 데이타로 하기 화학식 1c의 화합물임을 확인하였다.
[화학식 1c]
1H NMR (300 MHz, DMSO) δ 11.90 (s, 1H), 8.60 - 8.40 (m, 3H), 8.04 - 7.62 (m, 25H), 7.61 - 7.42 (m, 4H), 7.40 - 7.16 (m, 4H), 7.07 (t, J = 7.3 Hz, 3H), 6.87 (d, J = 8.2 Hz, 1H), 6.73 (t, J = 7.5 Hz, 1H).
상기 화학식 1c로 표현되는 화합물에서 음이온부인 salicylanilide 및 salicylanilide유도체는 1H NMR spectrum의 integration에서 포스포늄과 1:1:1의 비율로 나타나며, 2당량 이상의 salicylanilide가 반응에 사용되어도 생성물 NMR spectrum의 integration 결과에서 포스포늄과 salicylanilide 및 salicylanilide유도체의 비율이 1:1:1로 유지되는 것으로 볼 때, 위 화학식 1c로 나타낸 구조가 안정한 형태인 것으로 판단된다.
제조예 4: 화학식 1d로 표시되는 포스포늄계 화합물의 제조
MeOH/DMF (1:1) 100g에 4'-nitrosalicylanilide 25.8g을 넣고, 25% sodium methoxide solution 21.6g을 투입하여 상온에서 30분간 반응시키면서 완전히 녹인 후, salicylanilide 21.3g을 투입하여 녹인 다음, MeOH 50g에 미리 녹여 놓은 tetraphenylphosphonium bromide 41.9g을 서서히 투입하고 1시간을 더 반응시킨 후 생성된 노란색 고체 화학식 1d의 화합물 걸러내어 71.8g을 얻어냈다. NMR 데이타로 하기 화학식 1d의 화합물임을 확인하였다.
[화학식 1d]
1H NMR (300 MHz, DMSO) δ 11.55 (s, 1H), 8.33 - 8.13 (m, 2H), 8.03 - 7.87 (m, 7H), 7.87 - 7.65 (m, 18H), 7.57 - 7.27 (m, 4H), 7.22 - 7.03 (m, 2H), 6.94 (d, J = 8.2 Hz, 1H), 6.86 - 6.75 (m, 1H), 6.68 (d, J = 8.4 Hz, 1H), 6.46 (t, J = 7.4 Hz, 1H).
상기 화학식 1d로 표현되는 화합물에서 음이온부인 salicylanilide 및 salicylanilide유도체는 1H NMR spectrum의 integration에서 포스포늄과 1:1:1의 비율로 나타나며, 2당량 이상의 salicylanilide가 반응에 사용되어도 생성물 NMR spectrum의 integration 결과에서 포스포늄과 salicylanilide 및 salicylanilide유도체의 비율이 1:1:1로 유지되는 것으로 볼 때, 위 화학식 1d로 나타낸 구조가 안정한 형태인 것으로 판단된다.
제조예 5: 화학식 1e로 표시되는 포스포늄계 화합물의 제조
MeOH/DMF (1:1) 100g에 4'-nitrosalicylanilide 25.8g을 넣고, 25% sodium methoxide solution 21.6g을 투입하여 상온에서 30분간 반응시키면서 완전히 녹인 후, salicylanilide 21.3g을 투입하여 녹인 다음, MeOH 50g에 미리 녹여 놓은 M1 43.5g을 서서히 투입하고 1시간을 더 반응시킨 후 생성된 노란색 고체 화학식 1e의 화합물 걸러내어 72.7g을 얻어냈다. NMR 데이타로 하기 화학식 1e의 화합물임을 확인하였다.
[화학식 1e]
1H NMR (300 MHz, DMSO) δ 11.44 (s, 1H), 8.30 - 8.12 (m, 2H), 7.99 - 7.84 (m, 6H), 7.84 -7.61 (m, 14H), 7.43 (ddd, J = 8.1, 6.0, 5.2 Hz, 3H), 7.39 - 7.29 (m, 3H), 7.25 -7.15 (m, 1H), 7.11 (dt, J = 14.8, 5.3 Hz, 3H), 6.94 (d, J = 8.2 Hz, 1H), 6.87 -6.66 (m, 2H), 6.53 (t, J = 7.4 Hz, 1H).
상기 화학식 1e로 표현되는 화합물에서 음이온부인 salicylanilide 및 salicylanilide유도체는 1H NMR spectrum의 integration에서 포스포늄과 1:1:1의 비율로 나타나며, 2당량 이상의 salicylanilide가 반응에 사용되어도 생성물 NMR spectrum의 integration 결과에서 포스포늄과 salicylanilide 및 salicylanilide유도체의 비율이 1:1:1로 유지되는 것으로 볼 때, 위 화학식 1e로 나타낸 구조가 안정한 형태인 것으로 판단된다.
제조예 6: 화학식 2a로 표시되는 포스포늄계 화합물의 제조
MeOH 100g에 salicylanilide 21.3g을 넣고, 25% sodium methoxide solution 21.6g을 투입하여 상온에서 30분간 반응시키면서 완전히 녹인 후, pyrocatechol 11.0g을 투입하여 녹인 다음, 메탄올 50g에 미리 녹여 놓은 tetraphenylphosphonium bromide 41.9g을 서서히 투입하고 1시간을 더 반응시킨 후 생성된 흰색 고체 화학식 2a의 화합물을 걸러내어 43.2g을 얻어냈다. NMR 데이타로 하기 화학식 2a의 화합물임을 확인하였다.
[화학식 2a]
1H NMR (300 MHz, DMSO) δ 14.69 (s, 3H), 8.02 - 7.90 (m, 8H), 7.87 - 7.62 (m, 37H), 7.32 - 7.21 (m, 4H), 7.05 - 6.89 (m, 4H), 6.55 (ddd, J = 11.6, 9.4, 4.5 Hz, 8H), 6.38 (ddd, J = 7.9, 2.1, 0.7 Hz, 3H), 6.27 (ddd, J = 7.9, 6.9, 1.2 Hz, 2H).
화학식 2a로 표현되는 화합물에서 음이온부인 salicylanilide 및 dihydroxy compound는 1H NMR spectrum의 integration에서 포스포늄과 1:1:1의 비율로 나타나며, 2당량 이상의 salicylanilide가 반응에 사용되어도 생성물 NMR spectrum의 integration 결과에서 포스포늄과 salicylanilide 및 pyrocatechol의 비율이 1:1:1로 유지되는 것으로 볼 때, 위 화학식 2a로 나타낸 구조가 안정한 형태인 것으로 판단된다
제조예 7: 화학식 2b로 표시되는 포스포늄계 화합물의 제조
MeOH 100g에 salicylanilide 21.3g을 넣고, 25% sodium methoxide solution 21.6g을 투입하여 상온에서 30분간 반응시키면서 완전히 녹인 후, 2,4-dihydroxy benzophenone 21.4g을 투입하여 녹인 다음, 메탄올 50g에 미리 녹여 놓은 tetraphenylphosphonium bromide 41.9g을 서서히 투입하고 1시간을 더 반응시킨 후 생성된 흰색 고체 화학식 2b의 화합물을 걸러내어 54.4g을 얻어냈다. NMR 데이타로 하기 화학식 2b의 화합물임을 확인하였다.
[화학식 2b]
1H NMR (300 MHz, DMSO) δ 13.87 (s, 1H), 12.51 (s, 1H), 8.03 - 7.90 (m, 4H), 7.88 - 7.64 (m, 18H), 7.64 - 7.47 (m, 5H), 7.29 (dd, J = 10.9, 5.3 Hz, 3H), 7.09 (ddd, J = 8.6, 6.9, 2.0 Hz, 1H), 6.99 (dd, J = 10.5, 4.2 Hz, 1H), 6.59 (dd, J = 8.3, 1.0 Hz, 1H), 6.44 -6.34 (m, 1H), 6.31 -6.19 (m, 2H).
화학식 2b로 표현되는 화합물에서 음이온부인 salicylanilide 및 dihydroxy compound는 1H NMR spectrum의 integration에서 포스포늄과 1:1:1의 비율로 나타나며, 2당량 이상의 salicylanilide가 반응에 사용되어도 생성물 NMR spectrum의 integration 결과에서 포스포늄과 salicylanilide 및 pyrocatechol의 비율이 1:1:1로 유지되는 것으로 볼 때, 위 화학식 2b로 나타낸 구조가 안정한 형태인 것으로 판단된다
제조예 8: 화학식 2c로 표시되는 포스포늄계 화합물의 제조
MeOH 100g에 salicylanilide 21.3g을 넣고, 25% sodium methoxide solution 21.6g을 투입하여 상온에서 30분간 반응시키면서 완전히 녹인 후, pyrocatechol 11.0g을 투입하여 녹인 다음, 메탄올 50g에 미리 녹여 놓은 M1 43.5g을 서서히 투입하고 1시간을 더 반응시킨 후 생성된 흰색 고체 화학식 2c의 화합물을 걸러내어 48.6g을 얻어냈다. NMR 데이타로 하기 화학식 2c의 화합물임을 확인하였다.
[화학식 2c]
1H NMR (300 MHz, DMSO) δ 13.04 (s, 1H), 8.09 - 7.82 (m, 4H), 7.73 (ddd, J = 27.1, 15.2, 8.2 Hz, 12H), 7.31 (tt, J = 23.6, 12.0 Hz, 4H), 7.18 (dd, J = 8.0, 7.2 Hz, 1H), 7.00 (dd, J = 14.1, 5.4 Hz, 3H), 6.79 (d, J = 8.3 Hz, 1H), 6.58 (dd, J = 18.6, 9.4 Hz, 3H), 6.38 (d, J = 7.9 Hz, 1H).
화학식 2c로 표현되는 화합물에서 음이온부인 salicylanilide 및 dihydroxy compound는 1H NMR spectrum의 integration에서 포스포늄과 1:1:1의 비율로 나타나며, 2당량 이상의 salicylanilide가 반응에 사용되어도 생성물 NMR spectrum의 integration 결과에서 포스포늄과 salicylanilide 및 pyrocatechol의 비율이 1:1:1로 유지되는 것으로 볼 때, 위 화학식 2c로 나타낸 구조가 안정한 형태인 것으로 판단된다
제조예 9: 화학식 2d로 표시되는 포스포늄계 화합물의 제조
MeOH 100g에 Salicylanilide 21.3g을 넣고, 25% sodium methoxide solution 21.6g을 투입하여 상온에서 30분간 반응시키면서 완전히 녹인 후, 2,4-dihydroxy benzophenone 21.4g을 투입하여 녹인 다음, 메탄올 50g에 미리 녹여 놓은 M1 43.5g을 서서히 투입하고 1시간을 더 반응시킨 후 생성된 아이보리색 고체 화학식 2d를 걸러내어 60.9g을 얻어냈다. NMR 데이타로 하기 화학식 2d의 화합물임을 확인하였다.
[화학식 2d]
1H NMR (300 MHz, DMSO) δ12.84 (s, 2H), 8.00 - 7.44 (m, 22H), 7.28 (dddd, J = 10.2, 9.6, 8.7, 5.4 Hz, 6H), 7.09 - 6.94 (m, 3H), 6.76 (dd, J = 8.3, 0.9 Hz, 1H), 6.64 - 6.52 (m, 1H), 6.31 (dt, J = 5.7, 2.2 Hz, 2H).
화학식 2d로 표시되는 화합물에서 음이온부인 salicylanilide 및 salicylanilide유도체는 1H NMR spectrum의 integration에서 포스포늄과 1:1:1의 비율로 나타나며, 2당량 이상의 salicylanilide가 반응에 사용되어도 생성물 NMR spectrum의 integration 결과에서 포스포늄과 salicylanilide 및 2,4-dihydroxy benzophenone의 비율이 1:1:1로 유지되는 것 것으로 볼 때, 위 화학식 2d로 나타낸 구조가 안정한 형태인 것으로 판단된다
제조예 10: 화학식 2e로 표시되는 포스포늄계 화합물의 제조
Chlorobenzene 300g에 2,6-diisopropylaniline 10.6g와 salicylic acid 8.3g을 넣고, PCl3 4.1g을 투입하여 reflux로 3시간 반응시킨다. 반응 용액이 뜨거운 상태에서 필터 한 후 상온으로 낮추어 에탄올/물로 재결정하여 하기 화학식 2e'를 얻는다.
[화학식 2e']
MeOH 100g에 2e' 29.7g을 넣고, 25% sodium methoxide solution 21.6g을 투입하여 상온에서 30분간 반응시키면서 완전히 녹인 후, 2,2'-Biphenol 18.6g을 투입하여 녹인 다음, 메탄올 50g에 미리 녹여 놓은 M1 43.5g을 서서히 투입하고 1시간을 더 반응시킨 후 생성된 아이보리색 고체 화학식 2e를 걸러내어 66.2g을 얻어냈다. NMR 데이타로 하기 화학식 2e의 화합물임을 확인하였다.
[화학식 2e]
1H NMR (300 MHz, DMSO) δ 10.90 (s, 2H), 8.08 - 7.82 (m, 4H), 7.82 - 7.58 (m, 11H), 7.33 (ddd, J = 16.5, 10.4, 7.7 Hz, 4H), 7.24 - 7.14 (m, 4H), 7.12 - 6.96 (m, 4H), 6.92 (d, J = 7.7 Hz, 1H), 6.85 - 6.68 (m, 5H), 3.07 (qd, J = 13.6, 6.9 Hz, 2H), 1.13 (d, J = 6.9 Hz, 12H).
화학식 2e로 표시되는 화합물에서 음이온부인 화학식 2e' 및 2,2'-Biphenol는 1H NMR spectrum의 integration에서 포스포늄과 1:1:1의 비율로 나타나며, 2당량 이상의 화학식 2e'가 반응에 사용되어도 생성물 NMR spectrum의 integration 결과에서 포스포늄과 화학식 2e' 및 2,2'-Biphneol의 비율이 1:1:1로 유지되는 것 것으로 볼 때, 위 화학식 2e로 나타낸 구조가 안정한 형태인 것으로 판단된다
제조예 11: 화학식 2f로 표시되는 포스포늄계 화합물의 제조
MeOH/DMF (1:1) 100g에 3-hydroxy 2-naphthanalide 26.3g을 넣고, 25% sodium methoxide solution 21.6g을 투입하여 상온에서 30분간 반응시키면서 완전히 녹인 후, 3,4-dihydroxybenzophenone 21.4g을 투입하여 녹인 다음, MeOH 50g에 미리 녹여 놓은 tetraphenylphosphonium bromide 41.9g을 서서히 투입하고 1시간을 더 반응시킨 후 생성된 노란색 고체 화학식 2f의 화합물 걸러내어 70.7g을 얻어냈다. NMR 데이타로 하기 화학식 2f의 화합물임을 확인하였다.
[화학식 2f]
1H NMR (300 MHz, DMSO) δ 8.36 (s, 1H), 7.97 (ddd, J = 7.4, 5.5, 1.9 Hz, 4H), 7.77 (tdd, J = 8.5, 7.3, 2.6 Hz, 17H), 7.67 - 7.46 (m, 6H), 7.42 - 7.27 (m, 3H), 7.25 - 7.15 (m, 2H), 7.08 (dd, J = 8.3, 2.2 Hz, 1H), 7.01 (t, J = 7.4 Hz, 1H), 6.93 (t, J = 6.9 Hz, 1H), 6.82 - 6.72 (m, 2H).
화학식 2f로 표시되는 화합물에서 음이온부인 3-hydroxy 2-naphthanalide 및 3,4-dihydroxybenzophenone 는 1H NMR spectrum의 integration에서 포스포늄과 1:1:1의 비율로 나타나며, 2당량 이상의 3-hydroxy 2-naphthanalide 가 반응에 사용되어도 생성물 NMR spectrum의 integration 결과에서 포스포늄과 3-hydroxy 2-naphthanalide 및 3,4-dihydroxybenzophenone 의 비율이 1:1:1로 유지되는 것 것으로 볼 때, 위 화학식 2f로 나타낸 구조가 안정한 형태인 것으로 판단된다.
제조예 12: 화학식 2g로 표시되는 포스포늄계 화합물의 제조
MeOH 100g에 3-hydroxy 2-naphthanalide 26.3g을 넣고, 25% sodium methoxide solution 21.6g을 투입하여 상온에서 30분간 반응시키면서 완전히 녹인 후, 3,4-dihydroxy benzophenone 21.4g을 투입하여 녹인 다음, 메탄올 50g에 미리 녹여 놓은 tetraphenylphosphonium bromide 41.9g을 서서히 투입하고 1시간을 더 반응시킨 후 생성된 아이보리색 화학식 2g를 걸러내어 66.9g을 얻어냈다. NMR 데이타로 하기 화학식 2g의 화합물임을 확인하였다.
[화학식 2g]
1H NMR (300 MHz, DMSO) δ 8.46 (s, 1H), 8.01 - 7.89 (m, 4H), 7.86 - 7.67 (m, 18H), 7.66 - 7.53 (m, 3H), 7.53 - 7.38 (m, 3H), 7.33 (t, J = 7.9 Hz, 2H), 7.29 - 7.19 (m, 2H), 7.12 - 6.93 (m, 4H), 6.83 (d, J = 8.3 Hz, 1H).
화학식 2g로 표시되는 화합물에서 음이온부인 3-hydroxy 2-naphthanalide 및 3,4-dihydroxy benzophenone 는 1H NMR spectrum의 integration에서 포스포늄과 1:1:1의 비율로 나타나며, 2당량 이상의 3-hydroxy 2-naphthanalide 가 반응에 사용되어도 생성물 NMR spectrum의 integration 결과에서 포스포늄과 3-hydroxy 2-naphthanalide 및 3,4-dihydroxy benzophenone의 비율이 1:1:1로 유지되는 것 것으로 볼 때, 위 화학식 2g로 나타낸 구조가 안정한 형태인 것으로 판단된다.
제조예 13: 화학식 2h로 표시되는 포스포늄계 화합물의 제조
MeOH/DMF (1:1) 100g에 3-hydroxy 2-naphthanalide 26.3g을 넣고, 25% sodium methoxide solution 21.6g을 투입하여 상온에서 30분간 반응시키면서 완전히 녹인 후, 4,4'-Fluoren-9-ylidenebisphenol 35.0g을 투입하여 녹인 다음, 메탄올 50g에 미리 녹여 놓은 M1 43.5g을 서서히 투입하고 1시간을 더 반응시킨 후 생성된 노란색 고체 화학식 2h를 걸러내어 74.5g을 얻어냈다. NMR 데이타로 하기 화학식 2h의 화합물임을 확인하였다.
[화학식 2h]
1H NMR (300 MHz, DMSO) δ 8.39 (s, 1H), 7.91 (ddd, J = 14.3, 6.9, 2.6 Hz, 6H), 7.83 - 7.63 (m, 16H), 7.45 (d, J = 8.6 Hz, 1H), 7.41 - 7.20 (m, 10H), 7.03 (dd, J = 13.8, 7.1 Hz, 2H), 6.95 - 6.83 (m, 8H), 6.62 (d, J = 8.7 Hz, 4H).
화학식 2h로 표시되는 화합물에서 음이온부인 3-hydroxy 2-naphthanalide 및 4,4'-Fluoren-9-ylidenebisphenol 는 1H NMR spectrum의 integration에서 포스포늄과 1:1:1의 비율로 나타나며, 2당량 이상의 3-hydroxy 2-naphthanalide 가 반응에 사용되어도 생성물 NMR spectrum의 integration 결과에서 포스포늄과 3-hydroxy 2-naphthanalide 및 4,4'-Fluoren-9-ylidenebisphenol 의 비율이 1:1:1로 유지되는 것 것으로 볼 때, 위 화학식 2h로 나타낸 구조가 안정한 형태인 것으로 판단된다.
제조예 14: 화학식 2i로 표시되는 포스포늄계 화합물의 제조
MeOH/DMF (1:1) 100g에 Salicylanilide 21.3g을 넣고, 25% sodium methoxide solution 21.6g을 투입하여 상온에서 30분간 반응시키면서 완전히 녹인 후, 4,4'-Dihydroxydiphenyl sulfide 21.8g을 투입하여 녹인 다음, 메탄올 50g에 미리 녹여 놓은 tetraphenylphosphonium bromide 41.9g을 서서히 투입하고 1시간을 더 반응시킨 후 생성된 노란색 고체 화학식 2i를 걸러내어 77.9g을 얻어냈다. NMR 데이타로 하기 화학식 2i의 화합물임을 확인하였다.
[화학식 2i]
1H NMR (300 MHz, DMSO) δ 15.17 (s, 1H), 8.02 - 7.91 (m, 4H), 7.87 - 7.61 (m, 18H), 7.30 - 7.20 (m, 2H), 7.19 - 7.07 (m, 4H), 7.00 - 6.87 (m, 2H), 6.80 - 6.68 (m, 4H), 6.41 (dd, J = 8.4, 1.0 Hz, 1H), 6.17 (ddd, J = 7.9, 6.9, 1.2 Hz, 1H).
화학식 2i로 표시되는 화합물에서 음이온부인 Salicylanilide 및 4,4'-Dihydroxydiphenyl sulfide 는 1H NMR spectrum의 integration에서 포스포늄과 1:1:1의 비율로 나타나며, 2당량 이상의 Salicylanilide 가 반응에 사용되어도 생성물 NMR spectrum의 integration 결과에서 포스포늄과 Salicylanilide 및 4,4'-Dihydroxydiphenyl sulfide 의 비율이 1:1:1로 유지되는 것 것으로 볼 때, 위 화학식 2i로 나타낸 구조가 안정한 형태인 것으로 판단된다.
제조예 15: 화학식 2j로 표시되는 포스포늄계 화합물의 제조
MeOH/DMF (1:1) 100g에 3-hydroxy 2-naphthanalide 26.3g을 넣고, 25% sodium methoxide solution 21.6g을 투입하여 상온에서 30분간 반응시키면서 완전히 녹인 후, 4,4'-Dihydroxydiphenyl sulfide 21.8g을 투입하여 녹인 다음, 메탄올 50g에 미리 녹여 놓은 M1 43.5g을 서서히 투입하고 1시간을 더 반응시킨 후 생성된 노란색 고체 화학식 2j를 걸러내어 76.6g을 얻어냈다. NMR 데이타로 하기 화학식 2j의 화합물임을 확인하였다.
[화학식 2j]
1H NMR (300 MHz, DMSO) δ 8.42 (s, 1H), 7.98 - 7.85 (m, 3H), 7.73 (dtd, J = 12.5, 8.3, 2.5 Hz, 14H), 7.46 (d, J = 8.4 Hz, 1H), 7.40 - 7.19 (m, 5H), 7.04 (t, J = 7.4 Hz, 2H), 6.95 (dd, J = 8.8, 3.0 Hz, 3H).
화학식 2j로 표시되는 화합물에서 음이온부인 3-hydroxy 2-naphthanalide 및 4,4'-Dihydroxydiphenyl sulfide 는 1H NMR spectrum의 integration에서 포스포늄과 1:1:1의 비율로 나타나며, 2당량 이상의 3-hydroxy 2-naphthanalide 가 반응에 사용되어도 생성물 NMR spectrum의 integration 결과에서 포스포늄과 3-hydroxy 2-naphthanalide 및 4,4'-Dihydroxydiphenyl sulfide 의 비율이 1:1:1로 유지되는 것 것으로 볼 때, 위 화학식 2j로 나타낸 구조가 안정한 형태인 것으로 판단된다.
실시예 및 비교예에서 사용된 성분의 구체적인 사양은 다음과 같다.
(A) 에폭시수지
비페닐형 에폭시수지인 NC-3000(Nippon Kayaku)를 사용하였다.
(B) 경화제
자일록형 페놀수지인 HE100C-10(Air Water)를 사용하였다.
(C) 경화촉매
(C1) 내지 (C15)로서, 각각 상기 제조예 1 내지 15에서 제조된 포스포늄계 화합물을 사용하였다.
(C16)
트리페닐 포스핀 (Triphenyl phosphine)
(C17)
트리페닐 포스핀과 1,4-벤조퀴논의 부가 생성물
(D) 무기 충전제: 평균입경 18㎛의 구상 용융실리카와 평균입경 0.5㎛의 구상 용융실리카의 9:1(중량비) 혼합물을 사용하였다.
(E) 커플링제
(e1) 머캡토프로필트리메톡시실란인 KBM-803(Shinetsu)과 (e2) 메틸트리메톡시실란인 SZ-6070(Dow Corning chemical)을 혼합하여 사용하였다.
(F) 첨가제
(f1) 이형제로 카르나우바왁스 및 (f2) 착색제로 카본 블랙 MA-600(Matsusita Chemical)을 사용하였다.
실시예 및 비교예
상기 각 성분들을 하기 표 1의 조성(단위: 중량부)에 따라 각 성분들을 평량한 후 헨셀 믹서를 이용하여 균일하게 혼합하여 분말 상태의 1차 조성물을 제조하였다. 이후 연속 니이더를 이용하여 95℃에서 용융 혼련한 후 냉각 및 분쇄하여 반도체 소자 밀봉용 에폭시 수지 조성물을 제조하였다.
실시예와 비교예에서 제조한 에폭시 조성물에 대해 이하에서 서술하는 측정방법을 통하여 하기 표 3 및 4의 물성을 평가하였다.
(1) 유동성(inch): EMMI-1-66에 준하여 평가용 금형을 사용하여 175℃, 70kgf/cm2 에서 트랜스퍼 몰딩 프레스(transfer molding press)를 이용하여 유동 길이(inch)를 측정하였다. 측정값이 높을수록 유동성이 우수하다.
(2) 경화 수축율(%): 제조된 조성에 대해 굴곡 강도 시편 제작용 ASTM금형을 사용하여 175℃, 70kgf/cm2에서 트랜스퍼 몰딩 프레스(transfer molding press)를 이용하여 성형시편(125×12.6×6.4mm)을 제작하였다. 제작된 시편을 170~180℃의 오븐에 넣어 4시간 동안 후경화(PMC:post molding cure)시킨 다음 냉각한 후 시험편의 길이(mm)를 캘리퍼스로 측정하였다. 경화 수축율은 다음과 같은 식 1로부터 계산하였다.
[식 1]
경화수축률= |C - D|/C x 100
(상기 식 1에서, C는 에폭시수지 조성물을 175℃, 70kgf/cm2의 트랜스퍼 몰딩 프레스하여 얻은 시편의 길이, D는 상기 시편을 170~180℃에서 4시간 후경화하고 냉각시킨 후 얻은 시편의 길이이다).
(3) 유리전이온도(℃): 열기계 분석기(Thermomechanical Analyzer, TMA)를 이용하여 측정하였다. 이 때 TMA는 25℃에서 분당 10℃씩 온도를 상승시켜 300℃까지 측정하는 조건으로 설정하였다.
(4) 흡습율(%): 상기 실시예와 비교예에서 제조된 수지 조성물을 금형 온도 170~180℃, 클램프 압력 70kgf/cm2, 이송압력 1000psi, 이송속도 0.5~1cm/s, 경화 시간 120초의 조건으로 성형하여 직경 50mm, 두께 1.0mm의 디스크 형태의 경화 시편을 얻었다. 얻은 시편을 170~180℃의 오븐에 넣어 4시간 동안 후경화(PMC:post molding cure)시킨 직후 85℃, 85RH% 상대 습도 조건 하에서 168시간 동안 방치시킨 후, 흡습에 의한 무게 변화를 측정하여 다음 식 2에 의하여 흡습율을 계산하였다.
[식 3]
흡습율 = (흡습 후 시험편의 무게 - 흡습 전 시험편의 무게)÷(흡습 전 시험편의 무게)x 100
(5) 부착력(kgf): 구리 금속 소자를 부착 측정용 금형에 맞는 규격으로 준비하고, 준비된 소자에 상기 실시예와 비교예에서 제조된 수지 조성물을 금형 온도 170~180℃, 클램프 압력 70kgf/cm2, 이송압력 1000psi, 이송속도 0.5~1cm/s, 경화 시간 120초의 조건으로 성형하여 경화 시편을 얻었다. 얻은 시편을 170~180℃의 오븐에 넣어 4시간 동안 후경화(PMC:post molding cure)시켰다. 이때 소자에 닿는 에폭시 수지 조성물의 면적은 40±1 mm2이고, 부착력 측정은 각 측정 공정 당 12개의 시편에 대하여 UTM(Universal Testing Machine)을 이용하여 측정한 후 평균값으로 계산하였다.
(6) 경화도(shore-D): 구리 금속 소자를 포함하는가로 24mm, 세로 24mm, 두께 1mm인 eTQFP(exposed Thin Quad Flat Package) 패키지용 금형이 장착된 MPS(Multi Plunger System) 성형기를 이용하여 175℃에서 40초, 50초, 60초, 70초, 그리고 80초간 평가하고자 하는 에폭시수지 조성물을 경화시켰다. 경화 후 금형 위의 패키지에 직접 Shore-D형 경도계로 경화시간에 따른 경화물의 경도를 측정하였다. 값이 높을 수록 경화도가 우수하다.
(7) 저장안정성: 에폭시수지 조성물을 25℃/50RH%로 설정된 항온항습기에 1주간 보존하면서 24시간 간격으로 상기 (1)의 유동성 측정과 같은 방법으로 유동길이(inch)를 측정하고, 제조 직후의 유동길이에 대한 백분율(%)을 구했다. 이 백분율의 수치가 클수록 저장안정성이 양호한 것을 나타낸다.
실시예 1 내지 15는 비교예와 비교할 때, 높은 유동성을 나타내며 경화시간별 경화도를 비교할 때 짧은 경화시간에서도 더 높은 경화도를 나타내고 있는 것을 확인할 수 있다. 또한 저장안정성의 경우 72hr 후의 결과에서도 유동성의 차이가 작다는 것을 확인할 수 있다.
반면에, 본 발명의 포스포늄계 화합물을 포함하지 않는 비교예의 조성물은 저장안정성이 낮고, 경화수축률은 높고, 유동성은 낮으며, 패키지에 사용시 본 발명의 효과를 구현할 수 없음을 확인하였다.
이상 본 발명의 실시예들을 설명하였으나, 본 발명은 상기 실시 예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 제조될 수 있으며, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시 예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야 한다.
Claims (17)
- 삭제
- 삭제
- 삭제
- 삭제
- 삭제
- 삭제
- 하기 화학식 3의 포스포늄계 양이온 함유 화합물과 하기 화학식 4의 아닐리드계 음이온 함유 화합물을 반응시키는 단계를 포함하는 포스포늄계 화합물의 제조방법:
[화학식 3]
(상기 화학식 2에서, R1, R2, R3, 및 R4 는 각각 독립적으로 치환 또는 비치환된 C1~C30의 지방족 탄화수소기, 치환 또는 비치환된 C6~C30의 방향족 탄화수소기, 또는 헤테로 원자를 포함하는 치환 또는 비치환된 C1~C30의 탄화수소기이고, Y는 할로겐이다.
여기에서, '치환'은 하나 이상의 수소 원자가 수산기, 할로겐, 아미노기, 니트로기, 시아노기, C1~C20의 알킬기, C1~C20의 할로알킬기, C6~C30의 아릴기, C3~C30의 헤테로아릴기, C3~C10의 시클로알킬기, C3~C10의 헤테로시클로알킬기, C7~C30의 아릴알킬기, C1~C30의 헤테로알킬기로 치환된 것을 의미한다),
[화학식 4]
(상기 화학식 4에서, X1 및 X2는 각각 독립적으로 치환 또는 비치환된 탄소수 6 내지 30의 아릴렌기, 치환 또는 비치환된 탄소수 3 내지 10의 사이클로 알킬렌기, 치환 또는 비치환된 탄소수 1 내지 20의 알킬렌기이고, R5 및 R6 는 서로 동일하지 않으며, 각각 독립적으로 수소, 하이드록시기, C1~C20의 알킬기, C6~C30의 아릴기, C3~C30의 헤테로아릴기, C3~C10의 시클로알킬기, C3~C10의 헤테로시클로알킬기, C7~C30의 아릴알킬기, C1~C30의 헤테로알킬기이고, m은 1~2의 정수이며, M은 알칼리금속 또는 Ag이다.
여기에서, '치환'은 하나 이상의 수소 원자가 수산기, 할로겐, 아미노기, 니트로기, 시아노기, C1~C20의 알킬기, C1~C20의 할로알킬기, C6~C30의 아릴기, C3~C30의 헤테로아릴기, C3~C10의 시클로알킬기, C3~C10의 헤테로시클로알킬기, C7~C30의 아릴알킬기, C1~C30의 헤테로알킬기로 치환된 것을 의미한다).
- 하기 화학식 3의 포스포늄계 양이온 함유 화합물과 하기 화학식 5의 아닐리드계 음이온 함유 화합물이 반응하는 단계를 포함하는 포스포늄계 화합물의 제조방법:
[화학식 3]
(상기 화학식 2에서, R1, R2, R3, 및 R4 는 각각 독립적으로 치환 또는 비치환된 C1~C30의 지방족 탄화수소기, 치환 또는 비치환된 C6~C30의 방향족 탄화수소기, 또는 헤테로 원자를 포함하는 치환 또는 비치환된 C1~C30의 탄화수소기이고, Y는 할로겐이다.
여기에서, '치환'은 하나 이상의 수소 원자가 수산기, 할로겐, 아미노기, 니트로기, 시아노기, C1~C20의 알킬기, C1~C20의 할로알킬기, C6~C30의 아릴기, C3~C30의 헤테로아릴기, C3~C10의 시클로알킬기, C3~C10의 헤테로시클로알킬기, C7~C30의 아릴알킬기, C1~C30의 헤테로알킬기로 치환된 것을 의미한다),
[화학식 5]
(상기 화학식 5에서, X1 및 X2는 각각 독립적으로 치환 또는 비치환된 C6~C30의 방향족 탄화수소기, 치환 또는 비치환된 탄소수 6 내지 30의 아릴렌기, 치환 또는 비치환된 탄소수 3 내지 10의 사이클로 알킬렌기, 치환 또는 비치환된 탄소수 1 내지 20의 알킬렌기이고, R5는 수소, 하이드록시기, C1~C20의 알킬기, C6~C30의 아릴기, C3~C30의 헤테로아릴기, C3~C10의 시클로알킬기, C3~C10의 헤테로시클로알킬기, C7~C30의 아릴알킬기, C1~C30의 헤테로알킬기이고, m은 1~2의 정수이며, M은 알칼리금속 또는 Ag이다.
여기에서, '치환'은 하나 이상의 수소 원자가 수산기, 할로겐, 아미노기, 니트로기, 시아노기, C1~C20의 알킬기, C1~C20의 할로알킬기, C6~C30의 아릴기, C3~C30의 헤테로아릴기, C3~C10의 시클로알킬기, C3~C10의 헤테로시클로알킬기, C7~C30의 아릴알킬기, C1~C30의 헤테로알킬기로 치환된 것을 의미한다).
- 제9항에 있어서, 상기 에폭시수지는 비스페놀 A형 에폭시 수지, 스페놀 F형 에폭시 수지, 페놀노볼락형 에폭시 수지, tert-부틸 카테콜형 에폭시수지, 나프탈렌형 에폭시수지, 글리시딜아민형 에폭시수지, 크레졸노볼락형 에폭시수지, 비페닐형 에폭시수지, 선형지방족에폭시수지, 지환식에폭시수지, 복소환식 에폭시수지, 스피로환 함유 에폭시수지, 시클로헥산디메탄올형 에폭시수지, 트리메틸올형 에폭시수지, 할로겐화 에폭시 수지 중 하나 이상을 포함하는 에폭시수지 조성물.
- 제9항에 있어서, 상기 경화제는 페놀수지를 포함하는 에폭시수지 조성물.
- 제9항에 있어서, 상기 경화제는 페놀아랄킬형 페놀수지, 페놀노볼락형 페놀수지, 자일록형 페놀수지, 크레졸 노볼락형 페놀수지, 나프톨형 페놀수지, 테르펜형 페놀수지, 다관능형 페놀수지, 디시클로펜타디엔계 페놀수지, 비스페놀 A와 레졸로부터 합성된 노볼락형 페놀수지, 트리스(하이드록시페닐)메탄, 디하이드록시바이페닐을 포함하는 다가 페놀 화합물, 무수 말레인산 및 무수 프탈산을 포함하는 산무수물, 메타페닐렌디아민, 디아미노디페닐메탄, 디아미노디페닐설폰 중 하나 이상을 포함하는 에폭시수지 조성물.
- 제9항에 있어서, 상기 경화촉매는 상기 에폭시수지 조성물 중 0.01 내지 5중량%로 포함되는 에폭시수지 조성물.
- 제9항에 있어서, 상기 포스포늄계 화합물은 상기 경화촉매 중 10 내지 100중량%로 포함되는 에폭시수지 조성물.
- 제9항에 있어서, 상기 에폭시수지 조성물은 하기 식 2에 의한 저장안정성이 80% 이상인 에폭시수지 조성물:
[식 2]
저장안정성 = (F1-F0)/F0 x 100
(상기 식 2에서, F1은 25℃/50RH% 에서 72 시간 경과 후 EMMI-1-66에 의해 175℃, 70kgf/cm 2 에서 트랜스퍼 몰딩 프레스(transfer molding press)를 이용하여 측정된 유동 길이(inch)이고, F0은 초기 에폭시수지 조성물의 유동길이(inch)이다).
- 제9항에 있어서, 상기 에폭시수지 조성물은 하기 식 1의 경화수축률이 0.4% 이하인 것을 특징으로 하는 에폭시수지 조성물:
[식 1]
경화수축률= |C - D|/C x 100
(상기 식 1에서, C는 에폭시수지 조성물을 175℃, 70kgf/cm2의 트랜스퍼 몰딩 프레스하여 얻은 시편의 길이, D는 상기 시편을 170~180℃에서 4시간 후경화하고 냉각시킨 후 얻은 시편의 길이(mm)이다).
- 제9항의 에폭시수지 조성물로 밀봉된 반도체 장치.
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020150058072A KR101802577B1 (ko) | 2015-04-24 | 2015-04-24 | 포스포늄계 화합물, 이를 포함하는 에폭시수지 조성물, 및 이를 사용하여 제조된 반도체 장치 |
JP2015207460A JP6803138B2 (ja) | 2014-10-22 | 2015-10-21 | ホスホニウム系化合物、それを含むエポキシ樹脂組成物、およびそれを用いて製造された半導体装置 |
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Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020150058072A KR101802577B1 (ko) | 2015-04-24 | 2015-04-24 | 포스포늄계 화합물, 이를 포함하는 에폭시수지 조성물, 및 이를 사용하여 제조된 반도체 장치 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20160127268A KR20160127268A (ko) | 2016-11-03 |
KR101802577B1 true KR101802577B1 (ko) | 2017-11-29 |
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ID=57571284
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Country Status (1)
Country | Link |
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KR (1) | KR101802577B1 (ko) |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002105171A (ja) * | 2000-09-29 | 2002-04-10 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | 積層板用エポキシ樹脂組成物、並びにこれを用いたプリプレグおよび積層板 |
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