KR101795227B1 - 에어 나이프 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 내부에 압축공기가 통과하도록 마련되는 유로; 및 상기 유로에 마련되고, 압축공기가 분사시 라미나 플로우(Lamina flow)를 형성하도록 하는 다수의 가이드부;를 포함하고, 상기 가이드부는, 상기 유로의 폭방향으로 간격을 두고서 다수로 배열되고, 양단에 곡률부와 예각부가 각각 형성되는 물방울 형상을 가지되, 상기 곡률부가 압축공기의 유입측에 위치함과 아울러 상기 예각부가 압축공기의 배출측에 위치하도록 배치되는, 에어 나이프에 관한 것이다.
본 발명에 따르면, 압축공기가 분사시 물방울 모양의 가이드부에 의해 라미나 플로우(Lamina flow)를 형성하도록 함으로써, LCD 유리기판이나 반도체기판 등의 대상물에 대한 세정 또는 건조 효율을 증대시킬 수 있다.

Description

에어 나이프{Air knife}
본 발명은 에어 나이프에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 압축공기가 분사시 라미나 플로우(Lamina flow)를 형성하도록 함으로써, LCD 유리기판 등에 대한 세정 효율이 뛰어나도록 하는 에어 나이프에 관한 것이다.
일반적으로, 에어 나이프는 압축공기의 분사에 의해 LCD 유리기판이나 반도체기판에 부착된 파티클 등의 이물질을 제거함으로써 세정하는데 사용될 뿐만 아니라, 나아가서 이들에 부착된 습기 등의 제거를 위한 건조 과정 등에 사용된다.
이러한 에어 나이프는 내부 공간부에 형성된 유로를 통해서 압축공기가 토출됨으로써, 압축공기가 압력에 의해 비산 및 분산되어 세정 작업 등이 이루어지도록 한다.
종래의 에어 나이프와 관련된 기술로는 한국공개특허 제10-2016-0029557호의 "유체 분사용 에어나이프"가 제시된 바 있는데, 이는 한쪽 방향으로 연장되면서 내부에 유체의 유동 공간이 형성된 몸체; 외부로부터 상기 유동 공간에 유체를 공급하기 위한 주입 캡; 몸체의 하나의 면과 접촉되는 접촉면을 형성하는 커버; 접촉면에 형성되는 분사 갭; 및 상기 분사 갭에 형성된 이격 유닛을 포함하고, 상기 이격 유닛은 분사 갭의 분사 방향에 수직이 되는 분리 거리를 몸체의 길이 방향을 따라 균일하도록 유지한다.
그러나, 이와 같은 종래 기술은 압축공기를 압력에 의해 단순히 분사하게 됨으로써, 대상물에 대한 세정이나 건조 효율을 높이는데 한계를 가지는 문제점을 가지고 있었다.
상기한 바와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명은 분사되는 압축공기가 라미나 플로우(Lamina flow)를 형성하도록 함으로써, LCD 유리기판이나 반도체기판 등의 대상물에 대한 세정 또는 건조 효율을 증대시키도록 하는데 목적이 있다.
본 발명의 다른 목적들은 이하의 실시례에 대한 설명을 통해 쉽게 이해될 수 있을 것이다.
상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위해, 본 발명의 일측면에 따르면, 내부에 압축공기가 통과하도록 마련되는 유로; 및 상기 유로에 마련되고, 압축공기가 분사시 라미나 플로우(Lamina flow)를 형성하도록 하는 다수의 가이드부;를 포함하고, 상기 가이드부는, 상기 유로의 폭방향으로 간격을 두고서 다수로 배열되고, 양단에 곡률부와 예각부가 각각 형성되는 물방울 형상을 가지되, 상기 곡률부가 압축공기의 유입측에 위치함과 아울러 상기 예각부가 압축공기의 배출측에 위치하도록 배치되는, 에어 나이프가 제공된다.
몸체; 및 상기 몸체에 착탈 가능하게 고정되고, 상기 몸체와의 사이에 상기 유로를 형성하는 커버;를 더 포함하고, 상기 가이드부는, 상기 몸체와 상기 커버 중 어느 하나에 돌출되도록 형성되고, 다른 하나에 면접촉될 수 있다.
상기 가이드부는, 상기 커버를 상기 몸체에 고정시키는 볼트가 관통하기 위한 관통홀이 형성되고, 각각의 중심 간의 간격이 45~55 mm일 수 있다.
상기 몸체를 정해진 위치에 고정시키도록 상기 몸체의 양단에 마련되고, 상기 몸체가 상기 폭방향을 축으로 하여 회전 가능하도록 결합되는 고정부를 더 포함하고, 상기 몸체는, 일단 또는 양단에 함께 회전하도록 각도지시부가 마련되고, 상기 고정부는, 상기 각도지시부의 회전량을 측정하기 위한 눈금을 가지는 각도표시부가 마련될 수 있다.
상기 유로에 압축공기를 주입하는 주입라인; 및 상기 유로에서 배출측에 압축공기의 분사방향을 가이드하도록 마련되는 블레이드;를 더 포함하고, 상기 주입라인은, 외부의 압축공급부로부터 압축공기가 공급되는 메인주입관; 상기 메인주입관에 연결되고, 상기 메인주입관을 통해 주입되는 압축공기를 다수로 분기되도록 하는 분기관; 상기 분기관 각각이 연결되어 압축공기를 각각 공급받고, 상기 폭방향을 따라 배치되는 분배관; 및 상기 분배관에 길이방향을 따라 간격을 두고서 다수로 마련되고, 상기 분배관으로부터 상기 유로에 압축공기를 공급하는 공급포트;를 포함하고, 상기 유로는, 상기 커버의 상단에 상기 폭방향을 따라 간격을 두고서 형성되는 공급구 각각이 상기 공급포트에 연결됨으로써 압축공기를 공급받고, 상기 가이드부의 하단에 상기 폭방향으로 연장되는 폭방향유출로가 형성되며, 상기 폭방향유출로부터 하단까지 연장되는 분사슬릿을 통해서 압축공기가 분사되도록 할 수 있다.
본 발명에 따른 에어 나이프에 의하면, 압축공기가 분사시 물방울 모양의 가이드부에 의해 라미나 플로우(Lamina flow)를 형성하도록 함으로써, LCD 유리기판이나 반도체기판 등의 대상물에 대한 세정 또는 건조 효율을 증대시킬 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시례에 따른 에어 나이프가 장착된 모습을 도시한 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시례에 따른 에어 나이프를 도시한 사시도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시례에 따른 에어 나이프를 다른 방향에서 도시한 사시도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시례에 따른 에어 나이프의 요부를 도시한 분해사시도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시례에 따른 에어 나이프의 요부를 다른 방향에서 도시한 사시도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시례에 따른 에어 나이프를 도시한 측단면도이다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고, 여러 가지 실시례를 가질 수 있는 바, 특정 실시례들을 도면에 예시하고, 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니고, 본 발명의 기술 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 식으로 이해되어야 하고, 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 하기 실시례에 한정되는 것은 아니다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 실시례를 상세히 설명하며, 도면 부호에 관계없이 동일하거나 대응하는 구성요소에 대해서는 동일한 참조 번호를 부여하고, 이에 대해 중복되는 설명을 생략하기로 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시례에 따른 에어 나이프가 장착된 모습을 도시한 사시도이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시례에 따른 에어 나이프(100)는 에어 나이프 시스템의 본체(200)에 고정됨으로써 본체(200)를 통과하는 대상물, 예컨대 LCD 유리기판에 압축공기를 분사하여 세정 과정을 수행할 수 있다. 여기서 대상물은 LCD 유리기판 뿐만 아니라, 반도체기판을 비롯하여, 압축공기를 사용하여 세정 과정, 나아가서 건조 과정을 수행하는 다양한 소재 내지 재료 또는 부품 등이 해당될 수 있다.
에어 나이프 시스템의 본체(200)는 예컨대, LCD 유리기판이 이동하는 경로 상에 설치되는데, 한 쌍의 프레임(210)이 수직되게 설치될 수 있고, 프레임(210)을 서로 연결시키는 배드(220)가 LCD 유리기판의 하측에 위치하도록 수평되게 설치될 수 있으며, 배드(220) 상부를 통과하는 LCD 유리기판의 상측에 위치하여 에어 나이프(100)로 분사되는 압축공기에 의해 LCD 유리기판으로부터 분리되는 파티클 등의 이물질을 흡입하여 외부로 배출시키는 흡입부(230)가 마련될 수 있고, 프레임(210) 각각에 에어 나이프(100)의 고정부(120)에 볼트로 체결됨으로써 에어 나이프(100)의 양단을 고정시키는 고정브라켓(240)이 각각 마련될 수 있다.
도 2는 본 발명의 일 실시례에 따른 에어 나이프를 도시한 사시도이고, 도 3은 본 발명의 일 실시례에 따른 에어 나이프를 다른 방향에서 도시한 사시도이다.
도 2 및 도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시례에 따른 에어 나이프(100)는 몸체(110)와 고정부(120)를 포함할 수 있다.
몸체(110)는 압축공기의 배출경로에 직각으로 교차하도록, 일례로 수평되게 설치되는 길이부재로 이루어질 수 있다.
고정부(120)는 몸체(110)를 정해진 위치, 예컨대 에어 나이프 시스템의 본체(200)에 고정시키도록 몸체(110)의 양단에 각각 마련될 수 있고, 몸체(110)가 후술하게 될 유로(150)의 폭방향을 축으로 하여 회전 가능하도록 결합된다. 따라서, 고정부(120)는 몸체(110)가 압축공기를 분사하는 방향을 전환시킬 수 있도록, 회전축(미도시) 등에 의해 회전 결합된다. 한편, 몸체(110)를 원하는 각도로 회전시킨 다음, 고정부(120)와 몸체(110) 중 어느 하나에 마련되어 다른 하나를 조이도록 하는 조임볼트의 조임이나, 고정부(120)와 몸체(110)를 서로 분리 가능하게 결합시키는 별도의 고정부재 또는 몸체(110)의 회전을 제한하도록 하는 스토퍼나 억지 끼움 부재 등을 사용하여, 몸체(110)가 고정부(120)로부터 원하지 않게 회전하는 것을 방지하도록 구성될 수 있다. 여기서, 유로(150)의 폭방향은 본 실시례에서처럼 몸체(110)의 길이방향과 동일할 수 있고, 압축공기의 분사경로에 직교하는 방향일 수 있다.
몸체(110)는 일단 또는 양단에 고정부(120)로부터 회전시 함께 회전하도록 각도지시부(111)가 마련될 수 있다. 각도지시부(111)는 본 실시례에서처럼 끝단이 예각을 이루도록 형성될 수 있다.
고정부(120)는 연결부재(121)에 의해 서로 연결될 수 있고, 에어 나이프 시스템의 본체(200)에 마련되는 고정브라켓(240)에 볼트 등으로 결합되도록 볼트결합부(122)가 마련될 수 있으며, 각도지시부(111)의 회전량을 측정하기 위한 눈금을 가지는 각도표시부(123)가 각도지시부(111)와 대향되는 면에 마련될 수 있다.
도 4 내지 도 6을 참조하면, 본 발명의 일 실시례에 따른 에어 나이프(100)는 내부에 압축공기가 통과하도록 마련되는 유로(150)와, 유로(150)에 마련되고, 압축공기가 분사시 라미나 플로우(Lamina flow)를 형성하도록 하는 다수의 가이드부(160)를 포함할 수 있다. 또한 유로(150)는 예컨대 본 실시례에서처럼 몸체(110)와 커버(130) 사이에 형성될 수 있다.
커버(130)는 몸체(110)에 착탈 가능하게 고정될 수 있고, 몸체(110)와의 사이에 유로(150)를 형성하도록 한다. 몸체(110)와 커버(130)는 볼트(133)에 의해 서로 착탈 가능하게 결합될 수 있는데, 이를 위해 몸체(110)의 양측단과 상단에 체결홀(112)이 각각 다수로 형성될 수 있고, 커버(130)의 양측단과 상단에 관통홀(131)이 각각 다수로 형성될 수 있으며, 관통홀(131)을 관통하여 체결홀(112)에 나사 체결되는 볼트(133)에 의해 몸체(110)와 커버(130)가 서로 결합하되, 이로 인해 유로(150)가 하방으로 개방되는 공간을 이루도록 할 수 있다.
가이드부(160)는 유로(150)의 폭방향으로 간격을 두고서 다수로 배열되고, 양단에 곡률부(162)와 예각부(161)가 각각 형성되는 물방울 형상을 가지되, 곡률부(162)가 압축공기의 유입측에 위치함과 아울러 예각부(161)가 압축공기의 배출측에 위치하도록 배치될 수 있다. 따라서, 가이드부(160)는 압축공기(a; 도 5에 도시)가 곡률부(162)의 외측면을 따라 예각부(161)로 이동하여 예각부(161)의 외측면을 따라 외부로 배출됨으로써. 압축공기가 라미나 플로우(Lamina flow)를 형성하도록 하며, 이로 인해 LCD 유리기판에 부착된 파티클이나 수분 등의 분리 효율을 높일 수 있다.
가이드부(160)는 서로 마주보는 몸체(110)와 커버(130) 중 어느 하나에 돌출되도록 형성될 수 있고, 다른 하나에 면접촉될 수 있는데, 본 실시례에서는 유로(150)가 커버(130)에 대부분 형성되는 점을 감안하여 커버(130)에 돌출되도록 형성될 수 있고, 몸체(110)에 면접촉됨으로써 유로(150)를 폭방향으로 다수개가 분할되도록 할 수 있다.
가이드부(160)는 커버(130)를 몸체(110)에 고정시키는 볼트(133)가 관통하기 위한 관통홀(132)이 형성될 수 있다. 예컨대 커버(130)에는 가이드부(160) 각각의 중심에 일치하도록 관통홀(132)이 형성될 수 있고, 몸체(110)에는 이러한 관통홀(132) 각각에 일치하도록 체결홀(113)이 각각 형성될 수 있다. 따라서 가이드부(160)에 형성되는 관통홀(132)을 관통한 볼트(133)가 몸체(110) 측의 체결홀(113)에 나사 체결됨으로써 몸체(110)와 커버(130)가 안정적으로 결합되도록 한다. 또한 가이드부(160)는 각각의 중심 간의 간격(L; 도 5에 도시)이 45~55 mm, 일례로 50 mm일 수 있다. 가이드부(160) 각각의 중심 간의 간격(L)이 45 mm 미만인 경우, 라미나 플로우의 형성을 어렵게 하는 문제점을 가지며, 55 mm 초과인 경우, 틈을 유발할 뿐만 아니라 라미 플로우의 형성력의 급격하게 저하시키는 문제점을 가진다.
유로(150)에 압축공기를 주입하기 위해 주입라인(140)이 마련될 수 있다. 주입라인(140)은 일례로, 외부의 압축공급부로부터 압축공기가 공급되는 메인주입관(141)과, 메인주입관(141)에 연결되고, 메인주입관(141)을 통해 주입되는 압축공기를 다수로 분기되도록 하는 분기관(142)과, 분기관(142) 각각이 연결되어 압축공기를 각각 공급받고, 폭방향을 따라 배치되는 분배관(143)과, 분배관(143)에 길이방향을 따라 간격을 두고서 다수로 마련되고, 분배관(143)으로부터 유로(150)에 압축공기를 공급하는 공급포트(144)를 포함할 수 있다. 유로(150)는 커버(130)의 상단에 폭방향을 따라 간격을 두고서 다수로 형성되는 공급구(151) 각각이 공급포트(144)의 분사구(145)에 연결됨으로써 압축공기를 공급받고, 가이드부(160)의 하단에 상기의 폭방향으로 연장되는 폭방향유출로(153)가 형성되며, 폭방향유출로(153)로부터 하단까지 연장되는 분사슬릿(152)을 통해서 압축공기가 분사되도록 한다.
유로(150)에서 배출측에 압축공기의 분사방향을 가이드하도록 블레이드(170)가 마련될 수 있다. 블레이드(170)는 예컨대 분사슬릿(152) 내의 일측에 치우치도록 몸체(110)와 커버(130) 사이에 설치될 수 있다.
이와 같은 본 발명에 따른 에어 나이프에 따르면, 압축공기가 분사시 물방울 모양의 가이드부에 의해 라미나 플로우(Lamina flow)를 형성하도록 함으로써, LCD 유리기판이나 반도체기판 등의 대상물에 대한 세정 또는 건조 효율을 증대시킬 수 있다.
이와 같이 본 발명에 대해서 첨부된 도면을 참조하여 설명하였으나, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 수정 및 변형이 이루어질 수 있음은 물론이다. 그러므로, 본 발명의 범위는 설명된 실시례에 한정되어서는 아니되며, 후술하는 특허청구범위뿐만 아니라 이러한 특허청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.
110 : 몸체 111 : 각도지시부
112,113 : 체결홀 120 : 고정부
121 : 연결부재 122 : 볼트결합부
123 : 각도표시부 130 : 커버
131,132 : 관통홀 133 : 볼트
140 : 주입라인 141 : 메인주입관
142 : 분기관 143 : 분배관
144 : 공급포트 145 : 분사구
150 : 유로 151 : 공급구
152 : 분사슬릿 153 : 폭방향유출로
160 : 가이드부 161 : 예각부
162 : 곡률부 170 : 블레이드
200 : 본체 210 : 프레임
220 : 배드 230 : 흡입부
240 : 고정브라켓

Claims (5)

  1. 내부에 압축공기가 통과하도록 마련되는 유로;
    상기 유로에 마련되는 다수의 가이드부;
    몸체;
    상기 몸체에 착탈 가능하게 고정되고, 상기 몸체와의 사이에 상기 유로를 형성하는 커버;
    상기 몸체를 정해진 위치에 고정시키도록 상기 몸체의 양단에 마련되고, 상기 몸체가 상기 유로의 폭방향을 축으로 하여 회전 가능하도록 결합되는 고정부;
    상기 유로에 압축공기를 주입하는 주입라인; 및
    상기 유로에서 배출측에 압축공기의 분사방향을 가이드하도록 마련되는 블레이드;
    를 포함하고,
    상기 가이드부는,
    상기 유로의 폭방향으로 간격을 두고서 다수로 배열되고, 양단에 곡률부와 예각부가 각각 형성되는 물방울 형상을 가지되, 상기 곡률부가 압축공기의 유입측에 위치함과 아울러 상기 예각부가 압축공기의 배출측에 위치하도록 배치되고,
    상기 가이드부는,
    상기 몸체와 상기 커버 중 어느 하나에 돌출되도록 형성되고, 다른 하나에 면접촉되고,
    상기 커버를 상기 몸체에 고정시키는 볼트가 관통하기 위한 관통홀이 형성되고, 각각의 중심 간의 간격이 45~55 mm이고,
    상기 몸체는,
    일단 또는 양단에 함께 회전하도록 각도지시부가 마련되고,
    상기 고정부는,
    상기 각도지시부의 회전량을 측정하기 위한 눈금을 가지는 각도표시부가 마련되고,
    상기 주입라인은,
    외부의 압축공급부로부터 압축공기가 공급되는 메인주입관;
    상기 메인주입관에 연결되고, 상기 메인주입관을 통해 주입되는 압축공기를 다수로 분기되도록 하는 분기관;
    상기 분기관 각각이 연결되어 압축공기를 각각 공급받고, 상기 폭방향을 따라 배치되는 분배관; 및
    상기 분배관에 길이방향을 따라 간격을 두고서 다수로 마련되고, 상기 분배관으로부터 상기 유로에 압축공기를 공급하는 공급포트;를 포함하고,
    상기 유로는,
    상기 커버의 상단에 상기 폭방향을 따라 간격을 두고서 형성되는 공급구 각각이 상기 공급포트에 연결됨으로써 압축공기를 공급받고, 상기 가이드부의 하단에 상기 폭방향으로 연장되는 폭방향유출로가 형성되며, 상기 폭방향유출로부터 하단까지 연장되는 분사슬릿을 통해서 압축공기가 분사되도록 하는 것을 특징으로 하는, 에어 나이프.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 삭제
KR1020160035009A 2016-03-24 2016-03-24 에어 나이프 KR101795227B1 (ko)

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