KR101792322B1 - Surface-treated metal powder and manufacturing method therefor - Google Patents

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Abstract

칩 적층 세라믹 콘덴서용 전극의 제조에 바람직하게 사용할 수 있는, 소결 지연성이 우수한, 표면 처리된 금속분을, Si, Ti, Al, Zr, Ce, Sn 중 어느 1 종 이상의 부착량이 금속분 1 g 에 대해 200 ~ 16000 ㎍, 금속분에 대한 N 의 중량% 가 0.02 % 이상인 표면 처리된 금속분에 의해 제공한다.A surface-treated metal powder having excellent sintering retardancy, which can be preferably used for manufacturing an electrode for a chip-laminated ceramic capacitor, is coated on a surface of a metal powder having an adhesion amount of at least one of Si, Ti, Al, Zr, 200 to 16000 占 퐂, and a surface treated metal powder having a weight percentage of N relative to metal powder of 0.02% or more.

Description

표면 처리된 금속분, 및 그 제조 방법{SURFACE-TREATED METAL POWDER AND MANUFACTURING METHOD THEREFOR}TECHNICAL FIELD [0001] The present invention relates to a surface-treated metal powder, and a method of manufacturing the same. BACKGROUND ART [0002]

본 발명은 칩 적층 세라믹 콘덴서용 전극의 제조에 적합한 표면 처리된 금속분, 및 그 제조 방법에 관한 것이다.TECHNICAL FIELD The present invention relates to a surface-treated metal powder suitable for manufacturing an electrode for a chip-laminated ceramic capacitor, and a manufacturing method thereof.

칩 적층 세라믹 콘덴서는 소형 대용량이라는 특징 때문에 많은 전자기기에서 사용되고 있는 전자 부품이다. 칩 적층 세라믹 콘덴서는 세라믹 유전체와 내부 전극을 층상으로 겹쳐 쌓아 일체화시킨 구조로 되고 있고, 적층된 각 층이 각각 콘덴서 소자를 구성하고, 외부 전극에 의해 이들 소자를 전기적으로 병렬이 되도록 접속하여 전체적으로 하나의 소형이며 대용량인 콘덴서로 되어 있다.Chip multilayer ceramic capacitors are electronic components used in many electronic equipment because of their small size and large capacity. The chip multilayer ceramic capacitor has a structure in which a ceramic dielectric and internal electrodes are stacked and integrated to form a capacitor element. Each of the stacked layers constitutes a capacitor element, and these elements are electrically connected in parallel to each other by an external electrode, And is a compact and large-capacity capacitor.

칩 적층 세라믹 콘덴서의 제조에 있어서는 유전체의 시트가 다음과 같이 제조된다. 즉, 먼저 BaTiO3 등의 유전체 원료 분말에 분산제나 성형 보조제로서의 유기 바인더 및 용제를 첨가하고, 분쇄, 혼합, 탈포 공정을 거쳐 슬러리를 얻는다. 그 후, 다이코터 등의 도포 공법에 의해, 슬러리를 PET 필름 등의 캐리어 필름 위에 얇게 펴서 도포한다. 그것을 건조시켜 얇은 유전체 시트 (그린 시트) 를 얻는다.In the production of a chip multilayer ceramic capacitor, a dielectric sheet is produced as follows. That is, first, an organic binder and a solvent are added to a dielectric material powder such as BaTiO 3 or the like as a dispersant or a molding aid, and the mixture is subjected to pulverization, mixing and defoaming to obtain a slurry. Thereafter, the slurry is spread on the carrier film such as a PET film by a coating method such as a die coater. And dried to obtain a thin dielectric sheet (green sheet).

한편, 칩 적층 세라믹 콘덴서의 내부 전극의 원료인 금속분말이 유전체 원료 분말의 경우와 마찬가지로, 분산제나 성형 보조제로서의 유기 바인더 및 용제와의 혼합, 탈포 공정을 거쳐 슬러리로 된다. 이것을 주로 스크린 인쇄법에 의해 그린 시트 (유전체 시트) 상에 내부 전극을 인쇄하여 건조시킨 후에, 인쇄가 끝난 그린 시트를 캐리어 필름으로부터 박리하고, 이러한 그린 시트를 다수 적층시킨다.On the other hand, as in the case of the dielectric material powder, the metal powder as the raw material of the internal electrode of the chip multilayer ceramic capacitor is mixed with the organic binder and the solvent as a dispersant, a molding aid, and a defoaming process to obtain a slurry. The inner electrode is printed and dried mainly on a green sheet (dielectric sheet) by a screen printing method, then the printed green sheet is peeled off from the carrier film, and a large number of such green sheets are laminated.

이와 같이 하여 적층시킨 그린 시트에 수십 ~ 수백 ㎫ 의 프레스 압력을 가하여 일체화시킨 후, 개개의 칩으로 절단한다. 그 후, 소성로에서 내부 전극층, 유전체층을 1000 ℃ 전후의 고온에서 소결시킨다. 이와 같이 하여 칩 적층 세라믹 콘덴서가 제조된다.A press pressure of several tens to several hundreds of MPa is applied to the laminated green sheets in this way to integrate them, and then they are cut into individual chips. Thereafter, the internal electrode layer and the dielectric layer are sintered at a high temperature of about 1000 캜 in the firing furnace. Thus, a chip multilayer ceramic capacitor is produced.

이러한 칩 적층 세라믹 콘덴서의 내부 전극에는 이 기술이 개발된 당시에는 Pt 가 사용되고 있었지만, 비용 관점에서 Pd, Pd-Ag 합금, 현재는 Ni 가 주로 사용되고 있다. 그러나, 최근에는 환경 규제의 관점에서 Ni 를 Cu 로 대체하는 것이 요구되게 되었다. 또, Ni 를 Cu 로 대체하면 원리적으로는 고주파 용도로 저인덕턴스가 실현 가능해진다. 또, Cu 는 Ni 보다 비용이 더 저렴하다는 이점도 있다.In this chip multilayer ceramic capacitor, Pt was used at the time when the technology was developed, but Pd, Pd-Ag alloy and Ni are mainly used from the viewpoint of cost. However, recently, it has been required to replace Ni with Cu in view of environmental regulations. If Ni is replaced with Cu, in principle, low inductance can be realized for high frequency applications. Cu also has the advantage of being cheaper than Ni.

한편, 콘덴서의 소형화에 수반하여 내부 전극은 박층화되는 경향이 있고, 차세대 타입에서는 1 ㎛ 전후가 된다고 알려져 있다. 이 때문에, 내부 전극용 분말의 입자 사이즈는 더욱 작은 것이 요망되게 되었다.On the other hand, with the miniaturization of the capacitor, the internal electrode tends to be thinned, and in the next generation type, it is known that it is about 1 탆. For this reason, it has been desired that the particle size of the internal electrode powder is further reduced.

그런데, 원래 Cu 의 융점은 Pt, Pd, Ni 에 비해 낮다. 또한 상기와 같이 요망되고 있는 입자의 소직경화에 의한 표면적의 증가가 일으키는 융점의 저하로 인해, 내부 전극 분말로서 Cu 가 채용된 경우에는 소성 시에는 보다 낮은 온도에서 Cu 분의 용융이 시작된다. 이는 전극층 자체에 크랙의 발생을 유발한다. 또, 강온 후에 전극층이 급격하게 수축되므로, 유전체층과 전극층의 박리 (딜라미네이션) 가 일어날 가능성이 있다. 이러한 문제를 피하기 위해서, 내부 전극용 금속분에는 유전체와 동등한 열수축 특성이 요구되고 있으며 이를 나타내는 지표로서 소결 개시 온도가 있다.However, the melting point of Cu is originally lower than that of Pt, Pd and Ni. In addition, when Cu is employed as the internal electrode powder due to the lowering of the melting point caused by the increase of the surface area due to the small-sized curing of particles as described above, melting of the Cu component starts at a lower temperature during firing. This causes generation of cracks in the electrode layer itself. Further, since the electrode layer shrinks sharply after the temperature is lowered, delamination of the dielectric layer and the electrode layer may occur. In order to avoid such a problem, the internal electrode metal powder is required to have a heat shrinkage characteristic equivalent to that of a dielectric, and there is a sintering start temperature as an index to indicate this.

이러한 요망에 대해, 지금까지 칩 적층 세라믹 콘덴서의 내부 전극에 적합한 Cu 분을 얻기 위해서, Cu 분에 표면 처리를 행하는 방법이 제안되어 왔다.With respect to this demand, a method of performing surface treatment on Cu powder has been proposed so far to obtain a Cu powder suitable for the internal electrode of the chip multilayer ceramic capacitor.

특허문헌 1 (특허 제 4001438호) 은 Cu 분을 액중에 분산시키고, 이것에 금속 원소의 수용성 염의 수용액을 첨가하고, pH 를 조정하여 금속 산화물을 Cu 분 표면에 고착시키고, 나아가 이들의 표면 처리 동분을 서로 충돌시켜 표면 처리층의 고착을 강화시키는 기술이다. 그러나, 공정이 동분에 대한 금속 산화물의 흡착, 및 고착 강화로 구성되므로, 생산성 면에서 문제가 있다. 또, 동분의 입경이 0.5 ㎛ 보다 더 작아지면 흡착시키는 금속 산화물 입자와 사이즈가 가까워지므로, 동분에 대한 산화물의 흡착 자체가 곤란해지는 것으로 예상된다.Patent Document 1 (Japanese Patent No. 4001438) discloses a method in which a Cu component is dispersed in a solution, an aqueous solution of a water-soluble salt of a metal element is added thereto, and the pH is adjusted to fix the metal oxide to the surface of the Cu component, To strengthen the adhesion of the surface treatment layer. However, since the process consists of adsorption of a metal oxide on the copper alloy and strengthening of adhesion, there is a problem in terms of productivity. When the particle diameter of the copper powder is smaller than 0.5 占 퐉, it is expected that the adsorption of the oxide to the copper powder itself becomes difficult because the size of the copper oxide powder is close to the size of the metal oxide particle to be adsorbed.

특허문헌 2 (특허 제 4164009호) 는 특정 관능기를 갖는 실리콘 오일로 동분을 피복시키는 기술이다. 그러나, 오일과 Cu 분을 혼합하므로, 응집되기 쉽고, 작업성 면에서 문제가 있다. 또, 오일과 Cu 분의 분리 시의 여과가 어려워 작업성 면에서 문제가 있다.Patent Document 2 (Japanese Patent No. 4164009) is a technique for coating a copper powder with a silicone oil having a specific functional group. However, since the oil and the Cu component are mixed, they easily aggregate and there is a problem in workability. Further, filtration at the time of separation of the oil and the Cu component is difficult, which causes a problem in workability.

특허문헌 3 (특허 제 3646259호) 은 동분 표면에서 가수분해된 알콕시실란을 암모니아 촉매로 중축합 반응시켜, SiO2 겔 코팅막을 형성시키는 기술이다. 그러나, 입경 1 ㎛ 이하의 동분에 적용했을 때에, 촉매인 NH3 를 응집을 방지하도록 연속첨가해야 하는데, 반응 제어가 첨가의 구체적인 조작 기능의 숙련도에 의존하고 있어 매우 어렵기 때문에 작업성 및 생산성 면에서 문제가 있다.Patent Document 3 (Japanese Patent No. 3646259) is a technique of polycondensation reaction of hydrolyzed alkoxysilane with an ammonia catalyst to form a SiO 2 gel coating film. However, the particle size when applied to dongbun less than 1 ㎛, catalyst, because it is very difficult it depends on the skill workability and productivity of a specific operation function of the reaction control to be added continuously to the NH 3 prevent aggregation added There is a problem in.

특허문헌 1 : 일본특허공보 제 4001438호Patent Document 1: Japanese Patent Publication No. 4001438 특허문헌 2 : 일본특허공보 제 4164009호Patent Document 2: Japanese Patent Publication No. 4164009 특허문헌 3 : 일본특허공보 제 3646259호Patent Document 3: Japanese Patent Publication No. 3646259

이와 같이, 칩 적층 세라믹 콘덴서의 내부 전극의 제조에 바람직하게 사용할 수 있는 소결 지연성, 작업성, 및 생산성이 우수한 동분이 요구되고 있다. As described above, there is a demand for copper that is excellent in sintering retardancy, workability, and productivity, which can be preferably used for the production of internal electrodes of a chip multilayer ceramic capacitor.

그래서, 본 발명의 목적은 칩 적층 세라믹 콘덴서용 전극의 제조에 바람직하게 사용할 수 있는 소결 지연성이 우수한 표면 처리된 동분 및 그 제조 방법을 제공하는 데에 있다.Therefore, an object of the present invention is to provide a surface-treated copper alloy having excellent sintering delayability which can be suitably used for manufacturing an electrode for a chip-laminated ceramic capacitor, and a method for producing the same.

본 발명자가 예의 검토한 결과, 동분과 아미노실란 수용액을 혼합하여 아미노실란을 동분 표면에 흡착시킴으로써, 표면 처리 후의 응집이 없고, 소결 지연성이 극적으로 향상된다는 것을 알아내어 본 발명에 도달했다. 이 조작은 매우 간단하여 고도의 기능을 필요로 하지 않아 작업성이 우수하고, 생산성이 우수하다. 또, 이와 같이 하여 얻어진 표면 처리된 동분은 입자가 작은 동분임에도 불구하고 높은 소결 개시 온도를 나타내는 것으로 되었다. 또한 동분 이외의 금속분을 동일하게 표면 처리한 경우에도, 아미노실란 이외의 커플링제에 의해 표면 처리한 경우에도, 동일하게 우수한 특성의 표면 처리된 금속분이 얻어짐을 알 수 있었다.The present inventors have intensively studied and found that by adsorbing aminosilane to the surface of a copper alloy by mixing the copper powder and an aqueous solution of aminosilane, aggregation after the surface treatment does not occur and the sintering retardancy is dramatically improved. This operation is very simple and does not require a high-level function, so that the workability is excellent and the productivity is excellent. In addition, the surface-treated copper powder thus obtained exhibited a high sintering initiation temperature in spite of the small particle size of the particles. It was also found that, even when the metal powders other than the copper powder were subjected to the same surface treatment, the surface treated metal powder having the same excellent properties was obtained even when the surface treatment was performed with a coupling agent other than aminosilane.

따라서, 본 발명은 다음의 (1) ~ (27) 에 있다. Therefore, the present invention is in the following (1) to (27).

(1) (One)

Si 의 부착량이 동분 1 g 에 대해 500 ~ 16000 ㎍, 동분에 대한 N 의 중량% 가 0.05 % 이상 0.5 % 이하인 표면 처리된 동분. A surface-treated coarse fraction having an adhesion amount of Si of 500 to 16000 占 퐂 per 1 g of the copper content, and a weight percentage of N relative to the copper content of not less than 0.05% and not more than 0.5%.

(2) (2)

Si 의 부착량이 동분 1 g 에 대해 500 ~ 3000 ㎍, 동분에 대한 N 의 중량% 가 0.05 % 이상 0.5 % 이하인 (1) 에 기재된 동분. (1), wherein the adhesion amount of Si is 500 to 3000 占 퐂 per g of the copper content, and the weight percentage of N relative to the copper content is 0.05% or more and 0.5% or less.

(3) (3)

동분이 실란 커플링제로 표면 처리된 동분인 (1) 또는 (2) 에 기재된 동분.(1) or (2), wherein the copper is a copper foil surface-treated with a silane coupling agent.

(4) (4)

실란 커플링제가 아미노실란인 (3) 에 기재된 동분. (3) wherein the silane coupling agent is an aminosilane.

(5) (5)

동분에 대한 N 의 중량% 가 0.05 % ~ 0.50 % 의 범위에 있는 (1) ~ (4) 의 어느 것에 기재된 동분. (1) to (4) wherein the weight percentage of N relative to the copper content is in the range of 0.05% to 0.50%.

(6) (6)

(1) ~ (5) 의 어느 것에 기재된 동분을 열처리하여 N 을 제거한 동분. (1) to (5), in which N is removed by heat treatment.

(7) (7)

산소 분위기 또는 불활성 분위기하에서 (1) ~ (6) 의 어느 것에 기재된 동분을 열처리하여 얻어지는 동분. (1) to (6) under an oxygen atmosphere or an inert atmosphere.

(8) (8)

소결 개시 온도가 400 ℃ 이상인 (1) ~ (7) 의 어느 것에 기재된 동분.(1) to (7), wherein the sintering initiation temperature is 400 占 폚 or higher.

(9) (9)

아미노실란의 수용액과 동분을 혼합, 교반 후에 건고시켜 얻어지는 (1) ~ (8) 의 어느 것에 기재된 동분. (1) to (8), which is obtained by mixing an aqueous solution of aminosilane and a copper component, followed by stirring and drying.

(10) (10)

동분 1 g 에 대해, 표면 처리에 제공하는 아미노실란의 양이 0.01 ㎖ 이상인 (1) ~ (9) 의 어느 것에 기재된 동분. (1) to (9), wherein the amount of the aminosilane to be provided to the surface treatment is 0.01 ml or more with respect to 1 g of the copper powder.

(11) (11)

아미노실란의 양이 0.05 ㎖ 이상이고, 동분과의 혼합, 교반 시간이 30 분 이하인 (10) 에 기재된 동분 (10) wherein the amount of aminosilane is 0.05 ml or more, and mixing with the copper powder and stirring time is 30 minutes or less,

(12) (12)

아미노실란이, 모노아미노실란 또는 디아미노실란인 (1) ~ (11) 의 어느 것에 기재된 동분. (1) to (11), wherein the aminosilane is a monoaminosilane or a diaminosilane.

(13) (13)

원료 동분이 습식법으로 얻어진 (1) ~ (12) 의 어느 것에 기재된 동분.Raw material copper The copper powder described in any of (1) to (12) obtained by the wet process.

(14) (14)

D50≤1.5 ㎛ 인 (1) ~ (13) 의 어느 것에 기재된 동분. (1) to (13), wherein D50? 1.5 占 퐉.

(15) (15)

D50≤1.0 ㎛ 인 (1) ~ (13) 의 어느 것에 기재된 동분. (1) to (13), wherein D50? 1.0 占 퐉.

(16) (16)

D50≤0.5 ㎛, Dmax≤1.0 ㎛ 인 (1) ~ (13) 의 어느 것에 기재된 동분.(1) to (13), wherein D50? 0.5 占 퐉 and Dmax? 1.0 占 퐉.

(17) (17)

입도 분포가 1 산인 (1) ~ (16) 의 어느 것에 기재된 동분. (1) to (16) wherein the particle size distribution is monoclinic.

(18) (18)

(1) ~ (17) 의 어느 것에 기재된 특징을 구비한 내부 전극용 동분. (1) to (17).

(19) (19)

(1) ~ (17) 의 어느 것에 기재된 특징을 구비한 외부 전극용 동분. (1) to (17).

(20) (20)

(1) ~ (19) 의 어느 것에 기재된 동분이, 추가로 유기 화합물로 표면 처리되어 이루어지는 표면 처리된 동분. (1) to (19) is further subjected to a surface treatment with an organic compound.

(21) (21)

(1) ~ (20) 의 어느 것에 기재된 동분을 사용한 도전성 페이스트. A conductive paste using the copper powder according to any one of (1) to (20).

(22) (22)

(21) 의 페이스트를 사용하여 제조된 칩 적층 세라믹 콘덴서. (21). ≪ RTI ID = 0.0 > 21. < / RTI >

(23) (23)

내부 전극 단면에 직경 10 ㎚ 이상의 SiO2 가 존재하고 있는 (22) 에 기재된 칩 적층 세라믹 콘덴서. The chip-laminated ceramic capacitor according to (22), wherein SiO 2 having a diameter of 10 nm or more exists in the end face of the internal electrode.

(24) (24)

내부 전극 단면에 최대 직경 0.5 ㎛ 이상의 SiO2 가 0.5 개/㎠ 이하로 존재하고 있는 (22) 또는 (23) 에 기재된 칩 적층 세라믹 콘덴서. The chip-laminated ceramic capacitor according to (22) or (23), wherein the cross-section of the internal electrode has SiO 2 of 0.5 μm or more in maximum diameter at 0.5 number / cm 2 or less.

(25) (25)

(22) ~ (24) 의 어느 것에 기재된 칩 적층 세라믹 콘덴서를 최외층에 실장한 다층 기판. A multilayer substrate in which the chip multilayer ceramic capacitor described in any one of (22) to (24) is mounted on an outermost layer.

(26) (26)

(22) ~ (24) 의 어느 것에 기재된 칩 적층 세라믹 콘덴서를 내층에 실장한 다층 기판. Layer substrate in which the chip-laminated ceramic capacitor described in any one of (22) to (24) is mounted on an inner layer.

(27) (27)

(25) 또는 (26) 에 기재된 다층 기판을 탑재한 전자 부품.(25) or (26).

또, 본 발명은 다음의 (31) ~ (50) 에도 있다. The present invention is also described in the following (31) to (50).

(31) (31)

동분을 아미노실란 수용액과 혼합하여 동분 분산액을 조제하는 공정을 포함하는 표면 처리된 동분을 제조하는 방법. And a step of mixing the copper powder with an aqueous aminosilane solution to prepare a copper powder dispersion.

(32) (32)

동분 분산액을 교반하는 공정을 포함하는 (31) 에 기재된 방법. The method according to (31), comprising a step of stirring the ferrous dispersion.

(33) (33)

동분 분산액을 초음파 처리하는 공정을 포함하는 (31) 또는 (32) 에 기재된 방법. The method according to (31) or (32), which comprises a step of ultrasonic-treating the ferrofluid dispersion.

(34) (34)

초음파 처리하는 공정이 1 ~ 180 분간의 초음파 처리를 실시하는 공정인 (33) 에 기재된 방법. The method according to (33), wherein the step of ultrasonic treatment is a step of performing ultrasonic treatment for 1 to 180 minutes.

(35) (35)

동분 분산액을 여과하여 동분을 회수하는 공정,A step of filtering the dispersion of coarse powder to recover the coarse powder,

여과하여 회수된 동분을 건조시켜, 표면 처리된 동분을 얻는 공정,Filtering and recovering the recovered copper powder to obtain a surface-treated copper powder,

을 포함하는 (31) ~ (34) 의 어느 것에 기재된 방법. (31) to (34).

(36) (36)

건조가 50 ~ 90 ℃ 에서 30 ~ 120 분간의 가열 처리에 의해 행해지는 (35) 에 기재된 방법. The method according to (35), wherein the drying is carried out by heat treatment at 50 to 90 占 폚 for 30 to 120 minutes.

(37) (37)

건조가 산소 분위기 또는 불활성 분위기하에서 행해지는 (35) 또는 (36) 에 기재된 방법. The method according to (35) or (36), wherein the drying is performed in an oxygen atmosphere or an inert atmosphere.

(38) (38)

구리 분산액이 동분 1 g 에 대해 아미노실란 0.025 g 이상을 함유하고 있는 (31) ~ (37) 의 어느 것에 기재된 방법. The method according to any one of (31) to (37), wherein the copper dispersion contains 0.025 g or more of aminosilane with respect to 1 g of the copper powder.

(39) (39)

아미노실란 수용액이 다음의 식 I: Wherein the aqueous solution of aminosilane has the following formula I:

H2N-R1-Si(OR2)2(R3) (식 I) H 2 N-R 1 -Si (OR 2 ) 2 (R 3 ) (Formula I)

(단, 상기 식 I 에 있어서,(In the above formula I,

R1 은 직쇄상 또는 분지를 갖는 포화 또는 불포화의, 치환 또는 비치환의, 고리형 또는 비고리형의, 복소환을 갖는 또는 복소환을 갖지 않는 C1 ~ C12 의 탄화수소의 2 가기이며,R1 is a divalent group of a straight or branched saturated or unsaturated, substituted or unsubstituted, cyclic or acyclic, C1-C12 hydrocarbon having a heterocyclic ring or no heterocyclic ring,

R2 는 C1 ~ C5 의 알킬기이며, R2 is a C1-C5 alkyl group,

R3 은 C1 ~ C5 의 알킬기, 또는 C1 ~ C5 의 알콕시기이다.) R3 is a C1-C5 alkyl group or a C1-C5 alkoxy group.)

로 나타내는 아미노실란의 수용액인 (31) ~ (38) 의 어느 것에 기재된 방법.(31) to (38), wherein the aminosilane is an aqueous solution of aminosilane.

(40) (40)

R1 이, 치환 또는 비치환의, C1 ~ C12 의 직쇄상 포화 탄화 수소의 2 가기, 치환 또는 비치환의, C1 ~ C12 의 분지상 포화 탄화 수소의 2 가기, 치환 또는 비치환의, C1 ~ C12 의 직쇄상 불포화 탄화수소의 2 가기, 치환 또는 비치환의, C1 ~ C12 의 분지상 불포화 탄화수소의 2 가기, 치환 또는 비치환의, C1 ~ C12 의 고리형 탄화수소의 2 가기, 치환 또는 비치환의, C1 ~ C12 의 복소 고리형 탄화수소의 2 가기, 치환 또는 비치환의, C1 ~ C12 의 방향족 탄화수소의 2 가기, 로 이루어지는 군에서 선택된 기인 (39) 에 기재된 방법. R1 is selected from the group consisting of substituted or unsubstituted divalent groups of C1 to C12 linear saturated hydrocarbons, substituted or unsubstituted C1 to C12 branched divalent groups of branched saturated hydrocarbons, substituted or unsubstituted C1 to C12 linear A substituted or unsubstituted C1 to C12 heterocyclic hydrocarbon, a substituted or unsubstituted C1 to C12 branched unsaturated hydrocarbon, a divalent of a C1 to C12 cyclic hydrocarbon, a substituted or unsubstituted C1 to C12 heterocyclic ring A substituted or unsubstituted divalent group of a C1-C12 aromatic hydrocarbon, a divalent group of a C1-C12 aromatic hydrocarbon, and the like.

(41) (41)

R1 이, -(CH2)n-, -(CH2)n-(CH)m-(CH2)j-1-, -(CH2)n-(CC)-(CH2)n-1-, -(CH2)n-NH-(CH2)m-, -(CH2)n-NH-(CH2)m-NH-(CH2)j-, -(CH2)n-1-(CH)NH2-(CH2)m-1-, -(CH2)n-1-(CH)NH2-(CH2)m-1-NH-(CH2)j- 로 이루어지는 군에서 선택된 기인 (단, n, m, j 는 1 이상의 정수이다) (39) 에 기재된 방법. R1 a, - (CH 2) n - , - (CH 2) n - (CH) m - (CH 2) j-1 -, - (CH 2) n - (CC) - (CH 2) n-1 -, - (CH 2) n -NH- (CH 2) m -, - (CH 2) n -NH- (CH 2) m -NH- (CH 2) j -, - (CH 2) n-1 - (CH) NH 2 - ( CH 2) m-1 -, - (CH 2) n-1 - (CH) NH 2 - group consisting of - (CH 2) m-1 -NH- (CH 2) j (Wherein n, m, and j are integers of 1 or more).

(42) (42)

R1 이, -(CH2)n-, 또는 -(CH2)n-NH-(CH2)m-인 (39) 에 기재된 방법.R1 a, - (CH 2) n - , or - (CH 2) n -NH- ( CH 2) m - method according to item (39).

(43) (43)

n, m, j 가, 각각 독립적으로, 1, 2 또는 3 인 (41) ~ (42) 의 어느 것에 기재된 방법. The method according to any one of (41) to (42), wherein n, m and j are each independently 1, 2 or 3.

(44)(44)

R2 가, 메틸기 또는 에틸기인 (39) ~ (43) 의 어느 것에 기재된 방법. The process according to any one of (39) to (43), wherein R 2 is a methyl group or an ethyl group.

(45) (45)

R3 이, 메틸기, 에틸기, 메톡시기 또는 에톡시기인 (39) ~ (44) 의 어느 것에 기재된 방법. The process according to any one of (39) to (44), wherein R 3 is a methyl group, an ethyl group, a methoxy group or an ethoxy group.

(46) (46)

동분이, 습식법에 의해 제조된 동분인 (31) ~ (45) 의 어느 것에 기재된 방법. The method according to any one of (31) to (45), wherein the copper is a copper alloy powder produced by a wet method.

(47) (47)

(31) ~ (46) 의 어느 것에 기재된 제조 방법에 의해 제조된 표면 처리된 동분을 용매 및/또는 바인더와 배합하여 도전성 구리 페이스트를 제조하는 방법. (31) to (46), with a solvent and / or a binder to produce a conductive copper paste.

(48)(48)

(31) ~ (46) 의 어느 것에 기재된 제조 방법에 의해 제조된 표면 처리된 동분을 용매 및/또는 바인더와 배합하여 도전성 구리 페이스트를 얻는 공정, (31) to (46), with a solvent and / or a binder to obtain a conductive copper paste;

도전성 구리 페이스트를 기재에 도포하는 공정, A step of applying a conductive copper paste to a substrate,

기재에 도포된 도전성 구리 페이스트를 가열 소성하는 공정, A step of heating and firing the conductive copper paste applied to the substrate,

을 포함하는 전극을 제조하는 방법. ≪ / RTI >

(49) (49)

전극이, 칩 적층 세라믹 콘덴서용 전극인 (48) 에 기재된 방법. Wherein the electrode is an electrode for a chip-laminated ceramic capacitor.

(50)(50)

표면 처리된 동분을 추가로 유기 화합물로 표면 처리하는 공정, A step of further surface-treating the surface-treated copper powder with an organic compound,

을 포함하는 (31) ~ (49) 의 어느 것에 기재된 방법.(31) to (49).

또, 본 발명은 다음의 (51) ~ (54) 에도 있다. The present invention is also described in the following (51) to (54).

(51) (51)

(31) ~ (46) 의 어느 것에 기재된 제조 방법에 의해 제조된 표면 처리된 동분. (31) to (46).

(52) (52)

(45) 에 기재된 제조 방법에 의해 제조된 도전성 구리 페이스트. (45). ≪ / RTI >

(53) (53)

(46) 에 기재된 제조 방법에 의해 제조된 전극. (46).

(54) (54)

(47) 에 기재된 제조 방법에 의해 제조된 칩 적층 세라믹 콘덴서용 전극.(47). ≪ RTI ID = 0.0 > (47) < / RTI >

또, 본 발명은 다음의 (61) ~ (63) 에도 있다. The present invention is also described in the following (61) to (63).

(61) (61)

(31) ~ (46) 의 어느 것에 기재된 제조 방법에 의해 제조된 표면 처리된 동분으로서, (31) to (46), wherein the surface-

Si 의 부착량이 동분 1 g 에 대해 500 ~ 16000 ㎍ 이며, The adhesion amount of Si is 500 ~ 16000 占 퐂 per g of the copper content,

동분에 대한 N 의 중량% 가 0.05 % 이상 0.5 % 이하이며, The weight percentage of N relative to the copper content is not less than 0.05% and not more than 0.5%

소결 개시 온도가 400 ℃ 이상인 동분. Sintering temperature of 400 ° C or higher.

(62) (62)

(61) 에 기재된 표면 처리된 동분이 배합되어 이루어지는 도전성 구리 페이스트. And the surface-treated copper described in (61).

(63) (63)

(62) 에 기재된 도전성 구리 페이스트가 도포되어 가열 소성되어 이루어지는 전극으로서, (62) is coated with an electrically conductive copper paste,

전극 단면에 최대 직경 0.5 ㎛ 이상의 SiO2 가 0.5 개/㎠ 이하로 존재하고 있는 전극.And an SiO 2 having a maximum diameter of 0.5 탆 or more exists at 0.5 / cm 2 or less on the electrode cross section.

또한 본 발명은 다음의 (71) ~ 에도 있다. The present invention is also shown in the following (71).

(71) (71)

Ti, Al, Zr, Ce, Sn 중 어느 1 종 이상의 부착량이 동분 1 g 에 대해 300 ~ 1500 ㎍, 금속분에 대한 N 의 중량% 가 0.05 % 이상 0.5 % 이하인 표면 처리된 동분. Wherein at least one of Ti, Al, Zr, Ce, and Sn has an adhesion amount of 300 to 1500 占 퐂 per 1 g of the copper content, and a weight percentage of N relative to the metal content is 0.05% to 0.5%.

(72) (72)

Ti, Al, Zr, Ce, Sn 이 커플링제 처리에 의해 흡착되는 (71) 의 동분.(71) in which Ti, Al, Zr, Ce and Sn are adsorbed by the coupling agent treatment.

(73) (73)

분자 구조 말단이 아미노기인 커플링제로 처리된 (71) 또는 (72) 의 어느 하나의 동분. (71) or (72), which is treated with a coupling agent whose molecular structure terminal is an amino group.

(74) (74)

커플링제가 티타네이트 또는 알루미네이트 커플링제인 (73) 의 동분. The coupling agent of (73) wherein the coupling agent is a titanate or aluminate coupling agent.

(75) (75)

Ti, Al, Zr, Ce, Sn 중 어느 1 종 이상의 부착량이 동분 1 g 에 대해 300 ~ 1500 ㎍, 금속분에 대한 N 의 중량% 가 0.05 % 이상 0.5 % 이하이며, 소결 개시 온도가 400 ℃ 이상인 동분. Wherein the amount of deposition of at least one of Ti, Al, Zr, Ce and Sn is 300 to 1500 占 퐂 per 1 g of the copper content, 0.05 to 0.5% by weight of N relative to the metal content, .

(76) (76)

Si, Ti, Al, Zr, Ce, Sn 중 어느 1 종 이상의 부착량이 금속분 1 g 에 대해 200 ~ 1500 ㎍, 금속분에 대한 N 의 중량% 가 0.02 % 이상인 표면 처리된 Cu 이외의 금속분. A metal powder other than surface-treated Cu having an adhesion amount of at least one of Si, Ti, Al, Zr, Ce and Sn of 200 to 1500 占 퐂 against 1 g of metal powder and N wt.% To metal powder of 0.02%

(77) (77)

금속분이 Pt, Pd, Ag, Ni 의 어느 것인 (71) 의 금속분. (71) in which the metal component is Pt, Pd, Ag, or Ni.

(78) (78)

Si, Ti, Al, Zr, Ce, Sn 를 커플링제 처리로 흡착시킨 (76) 또는 (77) 의 금속분. The metal powder of (76) or (77), wherein Si, Ti, Al, Zr, Ce and Sn are adsorbed by a coupling agent treatment.

(79) (79)

커플링제가 실란, 티타네이트, 알루미네이트의 어느 것인 (78) 의 금속분.The metal powder of (78), wherein the coupling agent is silane, titanate, or aluminate.

(80) (80)

말단이 아미노기인 커플링제로 처리된 (79) 의 금속분. The metal powder of (79), which is treated with a coupling agent whose terminal is an amino group.

(81)(81)

Si, Ti, Al, Zr, Ce, Sn 중 어느 1 종 이상의 부착량이 Cu 이외의 금속분 1 g 에 대해 200 ~ 1500 ㎍, Cu 이외의 금속분에 대한 N 의 중량% 가 0.02 % 이상이며, 소결 개시 온도가 400 ℃ 이상인 Cu 이외의 금속분. Wherein at least one of Si, Ti, Al, Zr, Ce, and Sn has an adhesion amount of 200 to 1,500 占 퐂 to 1 g of a metal powder other than Cu, a weight percentage of N to metal powders other than Cu is 0.02% Is not less than 400 캜.

(82) (82)

(71) ~ (81) 에 기재된 표면 처리된 금속분이 배합되어 이루어지는 도전성 금속 페이스트. (71) to (81) are mixed with the surface-treated metal powder.

(83) (83)

(82) 에 기재된 도전성 금속 페이스트가 도포되어 가열 소성되어 이루어지는 전극으로서, (82) is coated with a conductive metal paste and heated and fired,

전극 단면에 최대 직경 0.5 ㎛ 이상의 SiO2, TiO2, Al2O3 이 0.5 개/㎛2 이하로 존재하고 있는 전극.Wherein at least one of SiO 2 , TiO 2 and Al 2 O 3 having a maximum diameter of 0.5 μm or more is present at 0.5 electrode / μm 2 or less on the electrode cross section.

또한 본 발명은 다음의 (101) ~ 에도 있다. The present invention is also shown in the following (101).

(101) (101)

Si, Ti, Al, Zr, Ce, Sn 중 어느 1 종 이상의 부착량이 금속분 1 g 에 대해 200 ~ 16000 ㎍, 금속분에 대한 N 의 중량% 가 0.02 % 이상인 표면 처리된 금속분. The surface-treated metal powder having an adhesion amount of at least one of Si, Ti, Al, Zr, Ce and Sn of 200 to 16000 占 퐂 per 1 g of metal powder and N wt.

(102) (102)

금속분이, Pt, Pd, Ag, Ni, Cu 의 어느 하나의 금속분인 (101) 에 기재된 금속분. A metal powder according to (101), wherein the metal component is any one of Pt, Pd, Ag, Ni, and Cu.

(103) (103)

금속분이, 동분인 (101) 에 기재된 금속분. The metal powder according to (101), wherein the metal powder is a copper powder.

(104) (104)

금속분이, Pt, Pd, Ag, Ni 의 어느 하나의 금속분인 (101) 에 기재된 금속분.A metal powder according to (101), wherein the metal component is any one of Pt, Pd, Ag and Ni.

(105) (105)

Si, Ti, Al, Zr, Ce, Sn 중 어느 1 종 이상의 부착량이 금속분 1 g 에 대해 300 ~ 16000 ㎍ 인 (101) ~ (104) 의 어느 것에 기재된 금속분. The metal powder according to any one of (101) to (104), wherein the adhesion amount of any one or more of Si, Ti, Al, Zr, Ce and Sn is 300 to 16000 g per 1 g of metal powder.

(106) (106)

Si, Ti, Al, Zr, Ce, Sn 중 어느 1 종 이상의 부착량이 금속분 1 g 에 대해 500 ~ 16000 ㎍ 인 (101) ~ (104) 의 어느 것에 기재된 금속분. The metal powder according to any one of (101) to (104), wherein the adhesion amount of at least one of Si, Ti, Al, Zr, Ce and Sn is 500 to 16000 g per 1 g of metal powder.

(107) (107)

Si, Ti, Al, Zr, Ce, Sn 중 어느 1 종 이상의 부착량이 금속분 1 g 에 대해 3000 ㎍ 이하인 (101) ~ (106) 의 어느 것에 기재된 금속분. The metal powder according to any one of (101) to (106), wherein the adhesion amount of any one or more of Si, Ti, Al, Zr, Ce and Sn is not more than 3000 쨉 g per 1 g metal powder.

(108) (108)

Si, Ti, Al, Zr, Ce, Sn 중 어느 1 종 이상의 부착량이 금속분 1 g 에 대해 1500 ㎍ 이하인 (101) ~ (106) 의 어느 것에 기재된 금속분. The metal powder according to any one of (101) to (106), wherein the adhesion amount of any one or more of Si, Ti, Al, Zr, Ce and Sn is 1500 쨉 g or less per 1 g of the metal powder.

(109) (109)

금속분에 대한 N 의 중량% 가 0.05 % 이상 0.5 % 이하인 (101) ~ (108) 의 어느 것에 기재된 금속분. The metal powder according to any one of (101) to (108), wherein the weight percentage of N relative to the metal powder is 0.05% or more and 0.5% or less.

(110) (110)

Si, Ti, Al, Zr, Ce, Sn 중 어느 1 종 이상이, Ti, Al, Zr, Ce, Sn 중 어느 1 종 이상인 (101) ~ (109) 의 어느 것에 기재된 금속분. The metal powder according to any one of (101) to (109), wherein at least one of Si, Ti, Al, Zr, Ce and Sn is at least one of Ti, Al, Zr, Ce and Sn.

(111) (111)

Si, Ti, Al, Zr, Ce, Sn 중 어느 1 종 이상이, Si 인 (101) ~ (109) 의 어느 것에 기재된 금속분. The metal powder according to any one of (101) to (109), wherein at least one of Si, Ti, Al, Zr, Ce and Sn is Si.

(112) (112)

금속분이 동분이며, Si 의 부착량이 동분 1 g 에 대해 500 ~ 16000 ㎍, 동분에 대한 N 의 중량% 가 0.05 % 이상 0.5 % 이하인 (101) 에 기재된 금속분. A metal powder according to (101), wherein the metal powder is a copper powder, the adhesion amount of Si is 500 to 16000 占 퐂 per 1 g of the copper powder, and the weight percentage of N to the copper powder is 0.05% to 0.5%.

(113) (113)

금속분이 동분이며, Si 의 부착량이 동분 1 g 에 대해 500 ~ 3000 ㎍, 동분에 대한 N 의 중량% 가 0.05 % 이상 0.5 % 이하인 (101) 에 기재된 금속분. The metal powder according to (101), wherein the metal powder is a copper powder, the adhesion amount of Si is 500 to 3000 占 퐂 per 1 g of the copper powder, and the weight percentage of N to the copper powder is 0.05% to 0.5%.

(114) (114)

금속분이, 커플링제로 표면 처리된 금속분인 (101) ~ (113) 의 어느 것에 기재된 금속분. The metal powder according to any one of (101) to (113), wherein the metal powder is a metal powder surface-treated with a coupling agent.

(115) (115)

Si, Ti, Al, Zr, Ce, Sn 중 어느 1 종 이상이 커플링제 처리로 흡착된 (101) ~ (114) 의 어느 것에 기재된 금속분. The metal powder according to any one of (101) to (114), wherein at least one of Si, Ti, Al, Zr, Ce and Sn is adsorbed by a coupling agent treatment.

(116) (116)

커플링제가 실란, 티타네이트, 알루미네이트의 어느 하나인 (101) ~ (115) 의 어느 것에 기재된 금속분. The metal powder according to any one of (101) to (115), wherein the coupling agent is any one of silane, titanate and aluminate.

(117) (117)

커플링제가 말단이 아미노기인 커플링제인 (101) ~ (116) 의 어느 것에 기재된 금속분. The metal powder according to any one of (101) to (116), wherein the coupling agent is a coupling agent whose terminal is an amino group.

(118) (118)

커플링제가 아미노실란인 (101) ~ (117) 의 어느 것에 기재된 금속분. The metal powder according to any one of (101) to (117), wherein the coupling agent is aminosilane.

(119) (119)

소결 개시 온도가 400 ℃ 이상인 (101) ~ (118) 의 어느 것에 기재된 금속분. The metal powder according to any one of (101) to (118), wherein the sintering initiation temperature is 400 占 폚 or higher.

(120) (120)

아미노실란이, 모노아미노실란 또는 디아미노실란인 (118) 에 기재된 금속분. The metal powder according to (118), wherein the aminosilane is a monoaminosilane or a diaminosilane.

(121) (121)

(101) ~ (120) 의 어느 것에 기재된 금속분이 추가로 유기 화합물로 표면 처리되어 이루어지는 표면 처리된 금속분. (101) to (120) are further surface-treated with an organic compound.

(122) (122)

금속분이, Pt, Pd, Ag, Ni 의 어느 하나의 금속분이며, Si, Ti, Al, Zr, Ce, Sn 중 어느 1 종 이상의 부착량이 Cu 이외의 금속분 1 g 에 대해 200 ~ 1500 ㎍, Cu 이외의 금속분에 대한 N 의 중량% 가 0.02 % 이상이며, 소결 개시 온도가 400 ℃ 이상인 (101) 에 기재된 금속분. Wherein the amount of one or more of Si, Ti, Al, Zr, Ce, and Sn is 200 to 1500 占 퐂 per gram of the metal powder other than Cu; , And the sintering initiation temperature is 400 占 폚 or higher.

(123) (123)

(101) ~ (122) 의 어느 것에 기재된 금속분을 사용한 도전성 금속분 페이스트. Conductive metal powder paste using the metal powder according to any one of (101) to (122).

(124) (124)

(123) 에 기재된 도전성 금속 페이스트가 도포되어 가열 소성되어 이루어지는 전극으로서, (123) is coated with a conductive metal paste and heated and fired,

전극 단면에 최대 직경 0.5 ㎛ 이상의 SiO2, TiO2, Al2O3 이 0.5 개/㎛2 이하로 존재하고 있는 전극. Wherein at least one of SiO 2 , TiO 2 and Al 2 O 3 having a maximum diameter of 0.5 μm or more is present at 0.5 electrode / μm 2 or less on the electrode cross section.

(125) (125)

(123) 의 페이스트를 사용하여 제조된 칩 적층 세라믹 콘덴서. (123). ≪ / RTI >

(126) (126)

내부 전극 단면에 직경이 10 ㎚ 이상의 SiO2, TiO2 또는 Al2O3 이 존재하고 있는 (125) 에 기재된 칩 적층 세라믹 콘덴서. The chip-laminated ceramic capacitor according to (125), wherein SiO 2 , TiO 2 or Al 2 O 3 having a diameter of 10 nm or more exists in the end face of the internal electrode.

(127) (127)

내부 전극 단면에 최대 직경 0.5 ㎛ 이상의 SiO2, TiO2 또는 Al2O3 이 0.5 개/㎛2 이하로 존재하고 있는 (125) 또는 (126) 에 기재된 칩 적층 세라믹 콘덴서.(125) or (126), wherein SiO 2 , TiO 2 or Al 2 O 3 having a maximum diameter of 0.5 μm or more exists at 0.5 number / μm 2 or less on the cross section of the internal electrode.

(128) (128)

(125) ~ (127) 의 어느 것에 기재된 칩 적층 세라믹 콘덴서를 최외층에 실장한 다층 기판. Layered ceramic capacitor according to any one of (125) to (127) is mounted on the outermost layer.

(129) (129)

(125) ~ (127) 의 어느 것에 기재된 칩 적층 세라믹 콘덴서를 내층에 실장한 다층 기판. Layered ceramic capacitor according to any one of (125) to (127) is mounted on an inner layer.

(130) (130)

(128) 또는 (129) 에 기재된 다층 기판을 탑재한 전자 부품. (128) or (129).

(131) (131)

금속분을 커플링제 수용액과 혼합하여 금속분 분산액을 조제하는 공정을 포함하는 표면 처리된 금속분을 제조하는 방법. A method for producing a surface-treated metal powder, comprising the step of mixing a metal powder with an aqueous solution of a coupling agent to prepare a metal powder dispersion.

(132) (132)

금속분이, Pt, Pd, Ag, Ni, Cu 의 어느 하나의 금속분인 (131) 에 기재된 방법. The method according to (131), wherein the metal component is any one of Pt, Pd, Ag, Ni, and Cu.

(133) (133)

금속분이 동분인 (131) 에 기재된 방법. The method according to (131), wherein the metal component is a copper component.

(134) (134)

금속분이, Pt, Pd, Ag, Ni 의 어느 하나의 금속분인 (131) 에 기재된 방법.The method according to (131), wherein the metal component is one of Pt, Pd, Ag, and Ni.

(135) (135)

금속분 분산액을 교반하는 공정을 포함하는 (131) ~ (134) 의 어느 것에 기재된 방법. A method according to any one of (131) to (134), which comprises a step of stirring the metal powder dispersion.

(136) (136)

금속분 분산액을 초음파 처리하는 공정을 포함하는 (131) ~ (135) 의 어느 것에 기재된 방법. The method according to any one of (131) to (135), which comprises a step of ultrasonically treating a metal powder dispersion.

(137) (137)

초음파 처리하는 공정이 1 ~ 180 분간의 초음파 처리를 실시하는 공정인 (131) ~ (136) 의 어느 것에 기재된 방법. The method according to any one of (131) to (136), wherein the step of ultrasonic treatment is a step of performing ultrasonic treatment for 1 to 180 minutes.

(138) (138)

금속분 분산액을 여과하여 동분을 회수하는 공정, A step of filtering the metal powder dispersion to recover the copper powder,

여과하여 회수된 동분을 건조시켜 표면 처리된 금속분을 얻는 공정, Filtering and recovering the recovered copper powder to obtain a surface-treated metal powder,

을 포함하는 (131) ~ (137) 의 어느 것에 기재된 방법. (131) to (137).

(139) (139)

건조가, 산소 분위기 또는 불활성 분위기하에서 행해지는 (138) 에 기재된 방법. The method according to (138), wherein the drying is performed in an oxygen atmosphere or an inert atmosphere.

(140)(140)

금속분 분산액이 금속분 1 g 에 대해 커플링제 0.025 g 이상을 함유하고 있는 (131) ~ (139) 의 어느 것에 기재된 방법. The method according to any one of (131) to (139), wherein the metal powder dispersion liquid contains 0.025 g or more of a coupling agent per 1 g of metal powder.

(141) (141)

커플링제 수용액이 다음의 식 I: Wherein the aqueous coupling agent solution has the following formula I:

H2N-R1-Si(OR2)2(R3) (식 I) H 2 N-R 1 -Si (OR 2 ) 2 (R 3 ) (Formula I)

(단, 상기 식 I 에 있어서, (In the above formula I,

R1 은 직쇄상 또는 분지를 갖는 포화 또는 불포화의, 치환 또는 비치환의, 고리형 또는 비고리형의, 복소환을 갖는 또는 복소환을 갖지 않는 C1 ~ C12 의 탄화수소의 2 가기이며, R1 is a divalent group of a straight or branched saturated or unsaturated, substituted or unsubstituted, cyclic or acyclic, C1-C12 hydrocarbon having a heterocyclic ring or no heterocyclic ring,

R2 는 C1 ~ C5 의 알킬기이며, R2 is a C1-C5 alkyl group,

R3 은 C1 ~ C5 의 알킬기, 또는 C1 ~ C5 의 알콕시기이다.) R3 is a C1-C5 alkyl group or a C1-C5 alkoxy group.)

로 나타내는 아미노실란의 수용액인 (131) ~ (140) 의 어느 것에 기재된 방법. To (140), wherein the aminosilane is an aqueous solution of aminosilane represented by the following formula (1).

(142) (142)

R1 이, -(CH2)n-, -(CH2)n-(CH)m-(CH2)j-1-, -(CH2)n-(CC)-(CH2)n-1-, -(CH2)n-NH-(CH2)m-, -(CH2)n-NH-(CH2)m-NH-(CH2)j-, -(CH2)n-1-(CH)NH2-(CH2)m-1-, -(CH2)n-1-(CH)NH2-(CH2)m-1-NH-(CH2)j- 로 이루어지는 군에서 선택된 기인 (단, n, m, j 는 1 이상의 정수이다) (141) 에 기재된 방법. R1 a, - (CH 2) n - , - (CH 2) n - (CH) m - (CH 2) j-1 -, - (CH 2) n - (CC) - (CH 2) n-1 -, - (CH 2) n -NH- (CH 2) m -, - (CH 2) n -NH- (CH 2) m -NH- (CH 2) j -, - (CH 2) n-1 - (CH) NH 2 - ( CH 2) m-1 -, - (CH 2) n-1 - (CH) NH 2 - group consisting of - (CH 2) m-1 -NH- (CH 2) j (Wherein n, m, and j are integers of 1 or more).

(143) (143)

커플링제 수용액이 다음의 식 Ⅱ: Wherein the aqueous coupling agent solution satisfies the following formula II:

(H2N-R1-O)pTi(OR2)q (식 Ⅱ) (H 2 N-R 1 -O) p Ti (OR 2 ) q (Formula II)

(단, 상기 식 Ⅱ 에 있어서, (Provided that in the above formula (II)

R1 은 직쇄상 또는 분지를 갖는 포화 또는 불포화의, 치환 또는 비치환의, 고리형 또는 비고리형의, 복소환을 갖는 또는 복소환을 갖지 않는 C1 ~ C12 의 탄화수소의 2 가기이며, R1 is a divalent group of a straight or branched saturated or unsaturated, substituted or unsubstituted, cyclic or acyclic, C1-C12 hydrocarbon having a heterocyclic ring or no heterocyclic ring,

R2 는 직쇄상 또는 분지를 갖는 C1 ~ C5 의 알킬기이며, R2 is a linear or branched C1 to C5 alkyl group,

p 및 q 는 1 ~ 3 의 정수이며, p+q=4 이다.) p and q are integers of 1 to 3, and p + q = 4.

로 나타내는 아미노기 함유 티타네이트의 수용액인 (131) ~ (140) 의 어느 것에 기재된 방법. To (140), wherein the aqueous solution of an amino group-containing titanate represented by the following formula (1) is used.

(144) (144)

R1 이, -(CH2)n-, -(CH2)n-(CH)m-(CH2)j-1-, -(CH2)n-(CC)-(CH2)n-1-, -(CH2)n-NH-(CH2)m-, -(CH2)n-NH-(CH2)m-NH-(CH2)j-, -(CH2)n-1-(CH)NH2-(CH2)m-1-, -(CH2)n-1-(CH)NH2-(CH2)m-1-NH-(CH2)j- 로 이루어지는 군에서 선택된 기인 (단, n, m, j 는 1 이상의 정수이다), (143) 에 기재된 방법. R1 a, - (CH 2) n - , - (CH 2) n - (CH) m - (CH 2) j-1 -, - (CH 2) n - (CC) - (CH 2) n-1 -, - (CH 2) n -NH- (CH 2) m -, - (CH 2) n -NH- (CH 2) m -NH- (CH 2) j -, - (CH 2) n-1 - (CH) NH 2 - ( CH 2) m-1 -, - (CH 2) n-1 - (CH) NH 2 - group consisting of - (CH 2) m-1 -NH- (CH 2) j (Wherein n, m, and j are integers of 1 or more).

(145) (145)

금속분이 습식법에 의해 제조된 동분인 (131) ~ (144) 의 어느 것에 기재된 방법. The method according to any one of (131) to (144), wherein the metal powder is a copper powder produced by a wet process.

(146) (146)

(131) ~ (145) 의 어느 것에 기재된 제조 방법에 의해 제조된 표면 처리된 금속분을 용매 및/또는 바인더와 배합하여 도전성 금속분 페이스트를 제조하는 방법. A method for producing a conductive metal powder paste by mixing a surface-treated metal powder produced by the production method described in any one of (131) to (145) with a solvent and / or a binder.

(147) (147)

(131) ~ (145) 의 어느 것에 기재된 제조 방법에 의해 제조된 표면 처리된 금속분을 용매 및/또는 바인더와 배합하여 도전성 금속분 페이스트를 얻는 공정, A step of mixing the surface-treated metal powder produced by the production method described in any one of (131) to (145) with a solvent and / or a binder to obtain a conductive metal powder paste,

도전성 금속분 페이스트를 기재에 도포하는 공정, A step of applying a conductive metal powder paste to a substrate,

기재에 도포된 도전성 금속분 페이스트를 가열 소성하는 공정, A step of heating and firing the conductive metal powder paste applied to the substrate,

을 포함하는 전극을 제조하는 방법. ≪ / RTI >

(148) (148)

(131) ~ (145) 의 어느 것에 기재된 제조 방법에 의해 제조된 표면 처리된 금속분. A surface-treated metal powder produced by the manufacturing method according to any one of (131) to (145).

(149) (149)

(146) 에 기재된 제조 방법에 의해 제조된 도전성 금속분 페이스트.(146). ≪ / RTI >

(150) (150)

(147) 에 기재된 제조 방법에 의해 제조된 전극. (147). ≪ / RTI >

(151) (151)

(131) ~ (145) 의 어느 것에 기재된 제조 방법에 의해 제조된 표면 처리된 금속분으로서, The surface-treated metal powder produced by the production method according to any one of (131) to (145)

Si, Ti, Al 의 어느 것의 부착량이 금속분 1 g 에 대해 200 ~ 16000 ㎍ 이며, The deposition amount of any of Si, Ti and Al is 200 to 16000 占 퐂 per 1 g of the metal powder,

금속분에 대한 N 의 중량% 가 0.02 % 이상이며, The weight percentage of N relative to the metal powder is 0.02% or more,

소결 개시 온도가 400 ℃ 이상인 금속분. A metal powder having a sintering initiation temperature of 400 ° C or higher.

(152) (152)

(151) 에 기재된 표면 처리된 금속분이 배합되어 이루어지는 도전성 금속분 페이스트. Treated metal powder described in (151).

(153) (153)

(151) 에 기재된 도전성 금속분 페이스트가 도포되어 가열 소성되어 이루어지는 전극으로서, (151) is coated with a conductive metal powder paste and heated and fired,

전극 단면에 최대 직경 0.5 ㎛ 이상의 SiO2, TiO2 또는 Al2O3 이 0.5 개/㎛2 이하로 존재하고 있는 전극.Wherein at least one of SiO 2 , TiO 2, and Al 2 O 3 having a maximum diameter of 0.5 탆 or more is present at 0.5 or less / 2 탆 on the electrode surface.

본 발명에 의한 표면 처리된 동분은 표면 처리 후에도 응집되지 않고, 소결 지연성이 우수하고, 입자가 작은 동분일지라도 높은 소결 개시 온도를 나타낸다. 그래서, 본 발명에 의한 표면 처리된 동분이 배합되어 이루어지는 도전성 구리 페이스트를 사용하면, 전극 박리 등의 제조상의 문제를 회피하여 칩 적층 세라믹 콘덴서용 전극의 제조를 유리하게 실시할 수 있다. 또, 본 발명에 의한 표면 처리된 동분은 동분에 대해 매우 간단한 처리를 실시함으로써 제조할 수 있고, 이 제조 방법은 고도의 기능을 필요로 하지 않아 작업성 및 생산성이 우수한 것이다. 또, 본 발명에 의하면 동분 이외의 금속분에 대해서도 동일하게 우수한 특성을 갖는 것으로 되어 있다The surface-treated copper powder according to the present invention does not agglomerate even after the surface treatment, exhibits excellent sintering retardancy, and exhibits a high sintering initiation temperature even if the particles are small in number. Therefore, when the conductive copper paste in which the surface-treated copper according to the present invention is blended is used, manufacturing problems such as electrode peeling can be avoided and the electrode for a chip multilayer ceramic capacitor can be advantageously produced. The surface-treated copper powder according to the present invention can be produced by subjecting the copper powder to a very simple treatment, and this production method does not require a high-level function and is excellent in workability and productivity. Further, according to the present invention, the metal powder other than the copper powder has the same excellent properties

도 1 은 표면 처리된 동분으로부터 얻어진 소결체의 단면의 TEM 이미지이다.1 is a TEM image of a cross-section of a sintered body obtained from a surface-treated copper powder.

이하에 본 발명의 실시 양태를 들어 상세하게 설명한다. 본 발명이 이하에 언급하는 구체적인 실시 양태로 한정되는 것은 아니다. Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail. The present invention is not limited to the specific embodiments mentioned below.

본 발명에 있어서는 동분을, 아미노실란 수용액과 혼합하여 동분 분산액을 조제하는 공정을 실시하고, 이 동분 분산액으로부터 표면 처리된 동분을 얻을 수 있다.In the present invention, the step of mixing the copper powder with the aqueous solution of aminosilane to prepare the copper powder dispersion is carried out, and the copper powder subjected to surface treatment from the copper powder dispersion can be obtained.

표면 처리에 제공되는 동분으로서는 공지된 방법에 의해 제조된 동분을 사용할 수 있다. 예를 들어, 동분은 건식법에 의해 제조된 동분, 습식법에 의해 제조된 동분을 모두 사용할 수 있다. 습식법에 의해 제조된 동분은 본 발명에 의한 표면 처리까지 합쳐 일관되게 습식 프로세스로 되는 점에서 바람직하다.As the copper powder to be provided in the surface treatment, a copper powder produced by a known method can be used. For example, the copper powder may be a copper powder produced by the dry process or a copper powder produced by the wet process. The copper powder produced by the wet process is preferable in that the wet process is consistently performed by combining the surface treatment according to the present invention.

아미노실란 수용액은 실란 커플링제로서 사용할 수 있는 아미노실란의 수용액이다. 바람직한 실시 양태에 있어서, 아미노실란의 사용량은 동분 분산액으로 했을 때의 동분의 질량 1 g 에 대해 아미노실란의 질량이 0.025 g 이상, 바람직하게는 0.050 g 이상, 더욱 바람직하게는 0.075 g 이상, 더욱 바람직하게는 0.10 g 이상을 함유하는 것으로 할 수 있고, 또는 예를 들어, 0.025 ~ 0.500 g, 0.025 ~ 0.250 g, 0.025 ~ 0.100 g 범위의 양을 함유하는 것으로 할 수 있다. 바람직한 실시 양태에 있어서, 아미노실란의 사용량은 동분 분산액으로 했을 때의 동분의 질량 1 g 에 대해, 25 ℃ 에 있어서의 아미노실란의 체적이 0.01 ㎖ 이상, 0.025 ㎖ 이상, 바람직하게는 0.050 ㎖ 이상, 더욱 바람직하게는 0.075 ㎖ 이상, 더욱 바람직하게는 0.10 ㎖ 이상을 함유하는 것으로 할 수 있고, 또는 예를 들어, 0.025 ~ 0.500 ㎖, 0.025 ~ 0.250 ㎖, 0.025 ~ 0.100 ㎖ 범위의 양을 함유하는 것으로 할 수 있다.The aqueous solution of aminosilane is an aqueous solution of aminosilane which can be used as a silane coupling agent. In a preferred embodiment, the amount of aminosilane to be used is 0.025 g or more, preferably 0.050 g or more, more preferably 0.075 g or more, and even more preferably 0.050 g or more, with respect to 1 g of the copper Or 0.10 g or more, or may contain, for example, an amount ranging from 0.025 to 0.500 g, 0.025 to 0.250 g, and 0.025 to 0.100 g. In a preferred embodiment, the amount of the aminosilane to be used is 0.01 ml or more, 0.025 ml or more, preferably 0.050 ml or more, more preferably 0.050 ml or more, More preferably not less than 0.075 ml, more preferably not less than 0.10 ml, or it may contain, for example, an amount ranging from 0.025 to 0.500 ml, 0.025 to 0.250 ml, 0.025 to 0.100 ml .

바람직한 실시 양태에 있어서, 아미노실란으로서 1 이상의 아미노기 및/또는 이미노기를 함유하는 실란을 사용할 수 있다. 아미노실란에 함유되는 아미노기 및 이미노기의 수는 예를 들어 각각 1 ~ 4 개, 바람직하게는 각각 1 ~ 3 개, 더욱 바람직하게는 1 ~ 2 개로 할 수 있다. 바람직한 실시 양태에 있어서, 아미노실란에 함유되는 아미노기 및 이미노기의 수는 각각 1 개로 할 수 있다. 아미노실란에 함유되는 아미노기 및 이미노기의 수의 합계가 1 개인 아미노실란은 특히 모노아미노실란, 2 개인 아미노실란은 특히 디아미노실란, 3 개인 아미노실란은 특히 트리아미노실란이라고 부를 수 있다. 모노아미노실란, 디아미노실란은 본 발명에 있어서 바람직하게 사용할 수 있다. 바람직한 실시 양태에 있어서, 아미노실란으로서 아미노기 1 개를 함유하는 모노아미노실란을 사용할 수 있다. 바람직한 실시 양태에 있어서, 아미노실란은 적어도 1 개, 예를 들어 1 개의 아미노기를 분자의 말단에, 바람직하게는 직쇄상 또는 분지상의 사슬형 분자의 말단에 함유하는 것으로 할 수 있다.In a preferred embodiment, a silane containing at least one amino group and / or an imino group as the aminosilane can be used. The number of amino groups and imino groups contained in the aminosilane may be, for example, 1 to 4, preferably 1 to 3, more preferably 1 to 2, respectively. In a preferred embodiment, the number of amino groups and imino groups contained in the aminosilane may be one each. The aminosilane having one amino group and the number of imino groups contained in the aminosilane is particularly monoaminosilane, the two aminosilanes are particularly diaminosilane, and the three aminosilanes are particularly called triaminosilane. Monoaminosilane and diaminosilane can be preferably used in the present invention. In a preferred embodiment, a monoaminosilane containing one amino group as the aminosilane can be used. In a preferred embodiment, the aminosilane can comprise at least one amino group, for example, one amino group at the end of the molecule, preferably at the end of a straight chain or branched chain-like molecule.

아미노실란으로서는 예를 들어, N-2-(아미노에틸)-3-아미노프로필메틸 디메톡시실란, N-2-(아미노에틸)-3-아미노프로필트리메톡시실란, 3-아미노프로필트리메톡시실란, 1-아미노프로필트리메톡시실란, 2-아미노프로필트리메톡시실란, 1,2-디아미노프로필트리메톡시실란, 3-아미노-1-프로페닐트리메톡시실란, 3-아미노-1-프로피닐트리메톡시실란, 3-아미노프로필트리에톡시실란, 3-트리에톡시실릴-N-(1,3-디메틸-부틸리덴)프로필아민, N-페닐-3-아미노프로필트리메톡시실란, N-(비닐벤질)-2-아미노에틸-3-아미노프로필트리메톡시실란, 3-아미노프로필트리에톡시실란, 3-아미노프로필트리메톡시실란, N-(2-아미노에틸)-3-아미노프로필트리메톡시실란, N-(2-아미노에틸)-3-아미노프로필메틸 디메톡시실란, 3-(N-페닐)아미노프로필트리메톡시실란을 들 수 있다.Examples of the aminosilane include N-2- (aminoethyl) -3-aminopropylmethyldimethoxysilane, N-2- (aminoethyl) -3-aminopropyltrimethoxysilane, Silane, 1-aminopropyltrimethoxysilane, 2-aminopropyltrimethoxysilane, 1,2-diaminopropyltrimethoxysilane, 3-amino-1-propenyltrimethoxysilane, Aminopropyltrimethoxysilane, 3-aminopropyltriethoxysilane, 3-triethoxysilyl-N- (1,3-dimethyl-butylidene) propylamine, N-phenyl- (Vinylbenzyl) -2-aminoethyl-3-aminopropyltrimethoxysilane, 3-aminopropyltriethoxysilane, 3-aminopropyltrimethoxysilane, N- (2-aminoethyl) Aminopropyltrimethoxysilane, N- (2-aminoethyl) -3-aminopropylmethyldimethoxysilane, And 3- (N-phenyl) aminopropyltrimethoxysilane.

바람직한 실시 양태에 있어서, 다음 식 I 로 나타내는 아미노실란을 사용할 수 있다.In a preferred embodiment, the aminosilane represented by the following formula I can be used.

H2N-R1-Si(OR2)2(R3) (식 I) H 2 N-R 1 -Si (OR 2 ) 2 (R 3 ) (Formula I)

상기 식 I 에 있어서, In the above Formula I,

R1 은 직쇄상 또는 분지를 갖는 포화 또는 불포화의, 치환 또는 비치환의, 고리형 또는 비고리형의, 복소환을 갖는 또는 복소환을 갖지 않는 C1 ~ C12 의 탄화수소의 2 가기이며, R1 is a divalent group of a straight or branched saturated or unsaturated, substituted or unsubstituted, cyclic or acyclic, C1-C12 hydrocarbon having a heterocyclic ring or no heterocyclic ring,

R2 는 C1 ~ C5 의 알킬기이며, R2 is a C1-C5 alkyl group,

R3 은 C1 ~ C5 의 알킬기, 또는 C1 ~ C5 의 알콕시기이다.R3 is a C1-C5 alkyl group or a C1-C5 alkoxy group.

바람직한 실시 양태에 있어서, 상기 식 I 의 R1 은 직쇄상 또는 분지를 갖는 포화 또는 불포화의, 치환 또는 비치환의, 고리형 또는 비고리형의, 복소환을 갖는 또는 복소환을 갖지 않는 C1 ~ C12 의 탄화수소의 2 가기이며, 더욱 바람직하게는 R1 은 치환 또는 비치환의, C1 ~ C12 의 직쇄상 포화 탄화 수소의 2 가기, 치환 또는 비치환의, C1 ~ C12 의 분지상 포화 탄화 수소의 2 가기, 치환 또는 비치환의, C1 ~ C12 의 직쇄상 불포화 탄화수소의 2 가기, 치환 또는 비치환의, C1 ~ C12 의 분지상 불포화 탄화수소의 2 가기, 치환 또는 비치환의, C1 ~ C12 의 고리형 탄화수소의 2 가기, 치환 또는 비치환의, C1 ~ C12 의 복소 고리형 탄화수소의 2 가기, 치환 또는 비치환의, C1 ~ C12 의 방향족 탄화수소의 2 가기로 이루어지는 군에서 선택된 기로 할 수 있다. 바람직한 실시 양태에 있어서, 상기 식 I 의 R1 은 C1 ~ C12 의, 포화 또는 불포화의 사슬형 탄화수소의 2 가기이며, 더욱 바람직하게는 사슬형 구조의 양 말단의 원자가 유리 원자가를 갖는 2 가기이다. 바람직한 실시 양태에 있어서, 2 가기의 탄소수는 예를 들어 C1 ~ C12, 바람직하게는 C1 ~ C8, 바람직하게는 C1 ~ C6, 바람직하게는 C1 ~ C3 으로 할 수 있다.In a preferred embodiment, R 1 of the formula I is a linear or branched saturated or unsaturated, substituted or unsubstituted, cyclic or acyclic, C1 to C12 hydrocarbon having a heterocyclic ring or no heterocyclic ring More preferably R1 is a substituted or unsubstituted divalent group of C1 to C12 linear saturated hydrocarbons, a substituted or unsubstituted C1 to C12 divalent group of branched saturated hydrocarbons, substituted or unsubstituted A divalent group of C1 to C12 linear unsaturated hydrocarbon, a substituted or unsubstituted divalent group of C1 to C12 branched unsaturated hydrocarbon, a substituted or unsubstituted divalent group of C1 to C12 cyclic hydrocarbon, A divalent group of C1-C12 heterocyclic hydrocarbon, a substituted or unsubstituted C1-C12 aromatic hydrocarbon, and a divalent group of C1-C12 aromatic hydrocarbon. In a preferred embodiment, R1 in the formula (I) is a divalent group of a C1 to C12, saturated or unsaturated, chain-like hydrocarbon, more preferably a divalent group in which the atoms at both terminals of the chain structure have a free valence. In a preferred embodiment, the carbon number of the divalent group can be, for example, C1 to C12, preferably C1 to C8, preferably C1 to C6, preferably C1 to C3.

바람직한 실시 양태에 있어서, 상기 식 I 의 R1 은 -(CH2)n-, -(CH2)n-(CH)m-(CH2)j-1-, -(CH2)n-(CC)-(CH2)n-1-, -(CH2)n-NH-(CH2)m-, -(CH2)n-NH-(CH2)m-NH-(CH2)j-, -(CH2)n-1-(CH)NH2-(CH2)m-1-, -(CH2)n-1-(CH)NH2-(CH2)m-1-NH-(CH2)j- 로 이루어지는 군에서 선택된 기인 (단, n, m, j 는 1 이상의 정수이다) 것으로 할 수 있다. (단, 상기 (CC) 는 C 와 C 의 삼중 결합을 나타낸다.) 바람직한 실시 양태에 있어서, R1 은 -(CH2)n-, 또는 -(CH2)n-NH-(CH2)m- 로 할 수 있다. (단, 상기 (CC) 는 C 와 C 의 삼중 결합을 나타낸다.) 바람직한 실시 양태에 있어서, 상기 2 가기인 R1 의 수소는 아미노기로 치환되어 있어도 되고, 예를 들어 1 ~ 3 개의 수소, 예를 들어 1 ~ 2 개의 수소, 예를 들어 1 개의 수소가 아미노기에 의해 치환되어 있어도 된다.In a preferred embodiment, R1 in the above formula (I) - (CH 2) n -, - (CH 2) n - (CH) m - (CH 2) j-1 -, - (CH 2) n - (CC ) - (CH 2) n- 1 -, - (CH 2) n -NH- (CH 2) m -, - (CH 2) n -NH- (CH 2) m -NH- (CH 2) j - , - (CH 2) n- 1 - (CH) NH 2 - (CH 2) m-1 -, - (CH 2) n-1 - (CH) NH 2 - (CH 2) m-1 -NH- (CH 2 ) j - (provided that n, m, and j are integers of 1 or more). (CH 2 ) n - or - (CH 2 ) n --NH-- (CH 2 ) m -, wherein R 1 is - (CH 2 ) n - . (CC) represents a triple bond of C and C. In a preferred embodiment, the hydrogen of R1 as the bivalent group may be substituted with an amino group, for example, 1 to 3 hydrogens, for example, For example, one to two hydrogens, for example, one hydrogen may be substituted by an amino group.

바람직한 실시 양태에 있어서, 상기 식 I 의 n, m, j 는 각각 독립적으로, 1 이상 12 이하의 정수, 바람직하게는 1 이상 6 이하의 정수, 더욱 바람직하게는 1 이상 4 이하의 정수로 할 수 있고, 예를 들어, 1, 2, 3, 4 에서 선택된 정수로 할 수 있고, 예를 들어, 1, 2 또는 3 으로 할 수 있다.In a preferred embodiment, each of n, m and j in formula (I) is independently an integer of 1 to 12, preferably an integer of 1 to 6, more preferably an integer of 1 to 4 For example, an integer selected from 1, 2, 3, and 4, and can be, for example, 1, 2, or 3.

바람직한 실시 양태에 있어서, 상기 식 I 의 R2 는 C1 ~ C5 의 알킬기, 바람직하게는 C1 ~ C3 의 알킬기, 더욱 바람직하게는 C1 ~ C2 의 알킬기로 할 수 있고, 예를 들어, 메틸기, 에틸기, 이소프로필기, 또는 프로필기로 할 수 있고, 바람직하게는 메틸기 또는 에틸기로 할 수 있다.In a preferred embodiment, R2 in formula (I) may be a C1 to C5 alkyl group, preferably a C1 to C3 alkyl group, more preferably a C1 to C2 alkyl group, and includes, for example, a methyl group, A propyl group, or a propyl group, preferably a methyl group or an ethyl group.

바람직한 실시 양태에 있어서, 상기 식 I 의 R3 은 알킬기로서 C1 ~ C5 의 알킬기, 바람직하게는 C1 ~ C3 의 알킬기, 더욱 바람직하게는 C1 ~ C2 의 알킬기로 할 수 있고, 예를 들어, 메틸기, 에틸기, 이소프로필기, 또는 프로필기로 할 수 있고, 바람직하게는 메틸기 또는 에틸기로 할 수 있다. 또, 상기 식 I 의 R3 은 알콕시기로서 C1 ~ C5 의 알콕시기, 바람직하게는 C1 ~ C3 의 알콕시기, 더욱 바람직하게는 C1 ~ C2 의 알콕시기로 할 수 있고, 예를 들어, 메톡시기, 에톡시기, 이소프로폭시기, 또는 프로폭시기로 할 있고, 바람직하게는 메톡시기 또는 에톡시기로 할 수 있다.In a preferred embodiment, R3 in the formula (I) may be an alkyl group of C1 to C5, preferably a C1 to C3 alkyl group, more preferably a C1 to C2 alkyl group as an alkyl group and includes, for example, , An isopropyl group, or a propyl group, preferably a methyl group or an ethyl group. The R3 in the formula (I) may be an alkoxy group of C1 to C5, preferably an alkoxy group of C1 to C3, more preferably a C1 to C2 alkoxy group as the alkoxy group, and examples thereof include a methoxy group, An isopropoxy group, or a propoxy group, preferably a methoxy group or an ethoxy group.

아미노실란 수용액은 공지된 방법에 의해 동분과 혼합할 수 있다. 혼합시에는 적절히 공지된 방법에 의해 교반을 실시할 수 있다. 바람직한 실시 양태에 있어서, 혼합은 예를 들어 상온에서 실시할 수 있고, 예를 들어 5 ~ 80 ℃, 10 ~ 40 ℃, 20 ~ 30 ℃ 의 범위의 온도에서 실시할 수 있다.The aqueous aminosilane solution can be mixed with the copper by a known method. At the time of mixing, stirring can be carried out by appropriately known methods. In a preferred embodiment, the mixing can be carried out at room temperature, for example, at a temperature in the range of 5 to 80 DEG C, 10 to 40 DEG C, 20 to 30 DEG C, for example.

바람직한 실시 양태에 있어서, 동분 분산액은 혼합하여 초음파 처리를 실시할 수 있다. 초음파 처리의 처리 시간은 동분 분산액 상태에 따라 선택하지만, 바람직하게는 1 ~ 180 분간, 더욱 바람직하게는 3 ~ 150 분간, 더욱 바람직하게는 10 ~ 120 분간, 더욱 바람직하게는 20 ~ 80 분간으로 할 수 있다.In a preferred embodiment, the ferrous dispersion can be mixed and subjected to ultrasonic treatment. The treatment time of the ultrasonic treatment is selected depending on the state of the dispersion of the concentrate, but is preferably 1 to 180 minutes, more preferably 3 to 150 minutes, further preferably 10 to 120 minutes, further preferably 20 to 80 minutes .

바람직한 실시 양태에 있어서, 초음파 처리는 100 ㎖ 당, 바람직하게는 50 ~ 600 W, 더욱 바람직하게는 100 ~ 600 W 의 출력으로 실시할 수 있다. 바람직한 실시 양태에 있어서, 초음파 처리는 바람직하게는 10 ~ 1 MHz, 더욱 바람직하게는 20 ~ 1 MHz, 더욱 바람직하게는 50 ~ 1 MHz 의 주파수로 실시할 수 있다.In a preferred embodiment, the ultrasonic treatment can be carried out at an output of 100 ml, preferably 50 to 600 W, more preferably 100 to 600 W. In a preferred embodiment, the ultrasonic treatment is preferably carried out at a frequency of 10 to 1 MHz, more preferably 20 to 1 MHz, and more preferably 50 to 1 MHz.

동분 분산액 속의 동분은 상기 서술한 바와 같이 하여, 아미노실란에 의한 표면 처리를 받은 후에, 분산액에서 분리시켜 표면 처리된 동분으로서 회수할 수 있다. 이 분리와 회수에는 공지된 수단을 사용할 수 있고, 예를 들어, 여과, 원심분리, 데칸테이션 (decantation) 등을 사용할 수 있다. 분리 회수에 이어, 원하는 바에 따라 건조를 실시할 수 있다. 건조는 공지된 수단을 사용할 수 있고, 예를 들어, 가열에 의한 건조를 실시할 수 있다. 가열 건조는 예를 들어, 50 ~ 90 ℃, 60 ~ 80 ℃ 의 온도에서, 예를 들어, 30 ~ 120 분간, 45 ~ 90 분간의 가열 처리에 의해 실시할 수 있다. 가열 건조에 이어서, 동분에 대해, 원하는 바에 따라 추가로 분쇄 처리를 실시해도 된다. 또, 회수된 표면 처리된 동분에 대해서는 방청, 혹은 페이스트 속에서의 분산성을 향상시키는 것 등을 목적으로 하여, 유기물 등을 나아가 표면 처리된 동분의 표면에 흡착시켜도 된다.The copper powder in the ferrofluid dispersion can be recovered as the surface-treated copper powder which has been subjected to the surface treatment with aminosilane and separated from the dispersion liquid as described above. For separation and recovery, known means can be used. For example, filtration, centrifugation, decantation, or the like can be used. Following the number of times of separation, drying may be carried out as desired. Drying can be carried out by known means, for example, by drying by heating. The heat drying can be carried out, for example, at a temperature of 50 to 90 캜 and 60 to 80 캜, for example, for 30 to 120 minutes and for 45 to 90 minutes. After the heating and drying, the crushing may be further carried out according to a desired manner. The recovered surface-treated copper fractions may be adsorbed on the surface of the surface treated copper fractions, for example, for the purpose of anti-rusting or improving the dispersibility in the paste.

상기 서술한 바와 같이, 바람직한 실시 양태에 있어서, 표면 처리에 제공되는 동분은 습식법에 의한 동분을 사용할 수 있다. 바람직한 실시 양태에 있어서, 습식법에 의한 동분의 제조 방법으로서 아라비아 고무의 첨가제를 함유하는 수성 용매 중에 아산화 구리를 첨가하여 슬러리를 제작하는 공정, 슬러리에 묽은 황산을 5 초 이내에 한 번에 첨가하여 불균화 반응을 실시하는 공정을 포함하는 방법에 의해 제조되는 동분을 사용할 수 있다. 바람직한 실시 양태에 있어서, 상기 슬러리는 실온 (20 ~ 25 ℃) 이하로 유지함과 동시에, 마찬가지로 실온 이하로 유지시킨 묽은 황산을 첨가하여 불균화 반응을 실시할 수 있다. 바람직한 실시 양태에 있어서, 상기 슬러리는 7 ℃ 이하로 유지함과 동시에, 마찬가지로 7 ℃ 이하로 유지시킨 묽은 황산을 첨가하여 불균화 반응을 실시할 수 있다. 바람직한 실시 양태에 있어서, 묽은 황산의 첨가는 pH 2.5 이하, 바람직하게는 pH 2.0 이하, 더욱 바람직하게는 pH 1.5 이하가 되도록 첨가할 수 있다. 바람직한 실시 양태에 있어서, 슬러리에 대한 묽은 황산의 첨가는 5 분 이내, 바람직하게는 1 분 이내, 더욱 바람직하게는 30 초 이내, 더욱 바람직하게는 10 초 이내, 더욱 바람직하게는 5 초 이내가 되도록 첨가할 수 있다. 바람직한 실시 양태에 있어서, 상기 불균화 반응은 10 분간으로 종료시키는 것으로 할 수 있다. 바람직한 실시 양태에 있어서, 상기 슬러리 중의 아라비아 고무의 농도는 0.229 ~ 1.143 g/L 로 할 수 있다. 상기 아산화 구리로서는 공지된 방법으로 사용된 아산화 구리, 바람직하게는 아산화 구리 입자를 사용할 수 있고, 이 아산화 구리 입자의 입경 등은 불균화 반응에 의해 생성되는 동분의 입자의 입경 등과는 직접 관계가 없기 때문에, 조립(粗粒)의 아산화 구리 입자를 사용할 수 있다. 이 불균화 반응의 원리는 다음과 같은 것이다: As described above, in the preferred embodiment, the copper powder to be subjected to the surface treatment may be a copper powder by a wet method. In a preferred embodiment of the present invention, as a method for producing a copper alloy powder by a wet process, a process for producing a slurry by adding copper oxide in an aqueous solvent containing an additive for gum arabic, a process for adding dilute sulfuric acid to the slurry at a time within 5 seconds, A ferroelectric material produced by a method including a step of performing a reaction can be used. In a preferred embodiment, the slurry is maintained at room temperature (20 to 25 ° C) or lower, and dilute sulfuric acid maintained at room temperature or lower may be added to achieve disproportionation. In a preferred embodiment, the slurry is maintained at 7 DEG C or lower, and at the same time diluted sulfuric acid maintained at 7 DEG C or lower can be added to achieve disproportionation. In a preferred embodiment, the addition of diluted sulfuric acid can be added to a pH of 2.5 or less, preferably pH 2.0 or less, more preferably pH 1.5 or less. In a preferred embodiment, the addition of diluted sulfuric acid to the slurry is effected so that the addition of dilute sulfuric acid is within 5 minutes, preferably within 1 minute, more preferably within 30 seconds, more preferably within 10 seconds, and even more preferably within 5 seconds Can be added. In a preferred embodiment, the disproportionation reaction can be terminated in 10 minutes. In a preferred embodiment, the concentration of the gum arabic in the slurry may be from 0.229 to 1.143 g / L. As the copper oxide, copper oxide, preferably copper oxide, used in a known method can be used. The particle size of the copper oxide particles is not directly related to the grain size of the copper oxide particles produced by the disproportionation reaction Therefore, it is possible to use coarse copper oxide particles. The principle of this disproportionation reaction is as follows:

Cu2O+H2SO4 → Cu↓+CuSO4+H2OCu 2 O + H 2 SO 4 → Cu ↓ + CuSO 4 + H 2 O

이 불균화에 의해 얻어진 동분은 원하는 바에 따라, 세정, 방청, 여과, 건조, 해쇄, 분급을 실시하고, 그 후에 아미노실란과 혼합할 수도 있지만, 바람직한 실시 양태에 있어서, 원하는 바에 따라, 세정, 방청, 여과를 실시한 후에, 건조를 실시하지 않고, 그대로 아미노실란 수용액과 혼합할 수 있다.The copper fractions obtained by this disproportionation may be washed, rust-inhibited, filtered, dried, crushed and classified according to the desire and then mixed with the aminosilane as desired. In a preferred embodiment, After filtration, it can be mixed with the aqueous aminosilane solution without drying.

바람직한 실시 양태에 있어서, 상기 불균화 반응에 의해 얻어지는 동분은 레이저 회절식 입도 분포 측정 장치에 의해 측정한 평균 입경이 0.25 ㎛ 이하이다. 바람직한 실시 양태에 있어서, 상기 불균화 반응에 의해 얻어지는 동분은 레이저 회절식 입도 분포 측정 장치에 의해 측정한 D10, D90, Dmax 가,[Dmax≤D50×3, D90≤D50×2, D10≥D50×0.5]의 관계식을 만족하고, 또한 입경의 분포가 단일 피크를 갖는다. 바람직한 실시 양태에 있어서, 상기 불균화 반응에 의해 얻어지는 동분은 레이저 회절식 입도 분포 측정 장치에 의한 측정에서 입도 분포가 1 산이다 (단일 피크를 갖는다). 바람직한 실시 양태에 있어서, 레이저 회절식 입도 분포 측정 장치에 의해 측정한 값이[D50≤1.5 ㎛]이며, 바람직하게는[D50≤1.0 ㎛]이며, 더욱 바람직하게는[D50≤0.5 ㎛, Dmax≤1.0 ㎛]이다. 레이저 회절식 입도 분포 측정 장치로서 예를 들어, 시마즈 제작소 제조 SALD-2100 을 사용할 수 있다.In a preferred embodiment, the copper powder obtained by the disproportionation reaction has an average particle diameter of 0.25 탆 or less as measured by a laser diffraction particle size distribution measuring apparatus. In a preferred embodiment, the dynamic fractions obtained by the disproportionation reaction are such that D10, D90, and Dmax measured by a laser diffraction particle size distribution measuring apparatus are [Dmax D50 3, D90 D50 2, 0.5], and the distribution of particle diameters has a single peak. In a preferred embodiment, the fractions obtained by the disproportionation reaction have a single particle size distribution (with a single peak) as measured by a laser diffraction particle size distribution analyzer. In a preferred embodiment, the value measured by the laser diffraction type particle size distribution measuring apparatus is [D50? 1.5 占 퐉], preferably? D50? 1.0 占 퐉, more preferably [D50? 0.5 占 퐉, Dmax? 1.0 탆]. As the laser diffraction particle size distribution measuring apparatus, for example, SALD-2100 manufactured by Shimadzu Corporation can be used.

본 발명에 의해 얻어지는 표면 처리된 동분은 우수한 소결 지연성을 갖는다. 소결 지연성의 지표로서 소결 개시 온도가 있다. 이것은 금속분으로 이루어지는 압분체를 환원성 분위기 중에서 승온시켜 어느 일정한 체적 변화 (수축) 가 일어났을 때의 온도이다. 본 발명에서는 1 % 의 체적 수축이 일어날 때의 온도를 소결 개시 온도로 한다. 구체적으로는 실시예에 기재된 바와 같이 측정했다. 소결 개시 온도가 높은 것은 소결 지연성이 우수한 것을 의미한다.The surface-treated copper powder obtained by the present invention has excellent sintering retardancy. There is a sintering initiation temperature as an index of sintering retardancy. This is a temperature when a certain volume change (contraction) occurs by raising the green compact made of metal powder in a reducing atmosphere. In the present invention, the temperature at which 1% volume shrinkage occurs is defined as the sintering initiation temperature. Specifically, the measurement was performed as described in the examples. A higher sintering initiation temperature means that the sintering retardancy is excellent.

바람직한 실시 양태에 있어서, 본 발명에 관련된 표면 처리된 동분의 소결 개시 온도는 450 ℃ 이상, 바람직하게는 500 ℃ 이상, 더욱 바람직하게는 600 ℃ 이상, 더욱 바람직하게는 700 ℃ 이상, 더욱 바람직하게는 780 ℃ 이상, 더욱 바람직하게는 800 ℃ 이상, 더욱 바람직하게는 810 ℃ 이상, 더욱 바람직하게는 840 ℃ 이상, 더욱 바람직하게는 900 ℃ 이상, 더욱 바람직하게는 920 ℃ 이상, 더욱 바람직하게는 950 ℃ 이상으로 할 수 있다. 종래, 높은 소결 개시 온도가 요구되는 경우에 사용되어 온 Ni 초미분 (평균 입경 0.2 ~ 0.4 ㎛) 의 소결 개시 온도가, 500 ~ 600 ℃ 의 범위에 있는 것과 비교하면, 본 발명에 관련된 표면 처리된 동분은 Ni 보다 저렴하고 입수 용이한 Cu 를 사용하여, 미세한 입자이면서 동등 이상의 우수한 소결 지연성을 갖는 것으로 되어 있다.In a preferred embodiment, the sintering initiation temperature of the surface treated active ingredient according to the present invention is 450 DEG C or higher, preferably 500 DEG C or higher, more preferably 600 DEG C or higher, further preferably 700 DEG C or higher, More preferably 800 ° C or higher, still more preferably 810 ° C or higher, further preferably 840 ° C or higher, further preferably 900 ° C or higher, further preferably 920 ° C or higher, further preferably 950 ° C Or more. As compared with the case where the sintering initiation temperature of the ultrafine Ni powder (average particle diameter of 0.2 to 0.4 占 퐉) used in the case where a high sintering initiation temperature is required is in the range of 500 to 600 占 폚, The copper powder is made of Cu which is cheaper and obtainable than Ni, and has finer particles and superior sintering retardancy which is equal to or higher than that of Ni.

바람직한 실시 양태에 있어서, 본 발명에 관련된 표면 처리된 동분은 압분체를 환원성 분위기중에서 승온시켜 소결체를 형성할 수 있다. 얻어진 소결체는 우수한 전극으로서 형성된다. 이 소결의 프로세스는 특히, 칩 적층 세라믹 콘덴서의 내부 전극의 제조에 바람직하게 사용할 수 있다. 이 소결체는 특히, 칩 적층 세라믹 콘덴서의 내부 전극으로서 바람직하게 사용할 수 있다. 바람직한 실시 양태에 있어서, 이 소결체는 그 단면에, 바람직하게는 직경이 10 ㎚ 이상인 SiO2 가 존재하고 있는 것으로 할 수 있다. 바람직한 실시 양태에 있어서, 이 소결체는 그 단면에, 최대 직경 0.5 ㎛ 이상의 SiO2 가 0.5 개/㎛2 이하로 존재하고 있는 것으로 할 수 있거나, 또는 예를 들어 최대 직경 0.5 ㎛ 이상의 SiO2 가 0.0 ~ 0.5 개/㎛2 의 범위에서, 예를 들어 최대 직경 0.5 ㎛ 이상의 SiO2 가 0.1 ~ 0.5 개/㎛2 의 범위에서 존재하고 있는 것으로 할 수 있다. 이 최대 직경이란, SiO2 입자의 최소 외접원의 직경을 말한다. 본 발명의 바람직한 실시 양태에 있어서, SiO2 입자의 석출은 이와 같이 제어되어, 극박 전극의 형성을 가능하게 함과 동시에 전극의 신뢰성 (품질) 을 저하시키는 경우가 없다.In a preferred embodiment, the surface-treated copper powder according to the present invention can form a sintered body by heating the green compact in a reducing atmosphere. The obtained sintered body is formed as an excellent electrode. This sintering process can be suitably used particularly in the production of internal electrodes of a chip multilayer ceramic capacitor. This sintered body can be preferably used particularly as an internal electrode of a chip multilayer ceramic capacitor. In a preferred embodiment, the sintered body may have SiO 2 , preferably having a diameter of 10 nm or more, in its cross section. In a preferred embodiment, the sintered product in its cross-section, up to a diameter of more than 0.5 ㎛ SiO 2 or may be made in the presence of 2 or less 0.5 number / ㎛, or for example a maximum diameter of more than 0.5 ㎛ SiO 2 is 0.0 to in the range 0.5 number / ㎛ 2, for example a maximum diameter of more than 0.5 ㎛ SiO 2 may be present in the range of 0.1 to 0.5 pieces / ㎛ 2. This maximum diameter refers to the minimum circumscribed circle diameter of the SiO 2 particles. In a preferred embodiment of the present invention, precipitation of the SiO 2 particles is controlled in this manner, which makes it possible to form a very thin electrode, and at the same time, does not lower the reliability (quality) of the electrode.

바람직한 실시 양태에 있어서, 표면 처리된 동분은 동분 1 g 에 대해, Si 의 부착량이 일반적으로 500 ~ 16000 ㎍, 바람직하게는 500 ~ 3000 ㎍ 으로 할 수 있다. 이 Si 부착량은 ICP (유도 결합 플라즈마 원자 발광 분석법) 에 의해 구할 수 있다. 바람직한 실시 양태에 있어서, 추가로 동분 중량에 대해 0.05 wt % 이상 0.5 wt % 이하의 N 을 함유하는 것으로 할 수 있다. 실란 커플링제가 동분에 흡착되는 메커니즘은 불분명하지만, 본 발명자는 실란 커플링제 말단의 아미노기의 질소와 구리 사이에서 작용하는 상호작용으로 흡착되는 것으로 생각하고 있다.In a preferred embodiment, the surface-treated copper powder may have an adhesion amount of Si of generally 500 to 16000 占 퐂, preferably 500 to 3000 占 퐂, per 1 g of the copper content. This Si deposition amount can be obtained by ICP (inductively coupled plasma atomic emission spectrometry). In a preferred embodiment, it is further possible to contain not less than 0.05 wt% and not more than 0.5 wt% of N relative to the weight of the active ingredient. The mechanism by which the silane coupling agent is adsorbed to the copper powder is unclear, but the present inventor believes that the adsorption occurs due to the interaction between nitrogen of the amino group at the end of the silane coupling agent and copper.

바람직한 실시 양태에 있어서, 표면 처리된 동분은 표면 처리에 의해 형성된, Si 함유층의 두께 (Si 두께) 가, 일반적으로 0.6 ~ 25 ㎚, 바람직하게는 1.0 ~ 25 ㎚, 더욱 바람직하게는 1.5 ~ 20 ㎚ 로 할 수 있다. 본 발명에 있어서의 이 Si 함유층의 두께 (Si 두께) 란, 표면 처리된 동분의 표면의 단면에 있어서, EDS (에너지 분산형 X 선 분석) 에 의한 측정을 실시하여, 전체 원자에 대한 Si 원자의 존재비가 최대가 되는 깊이에서의 Si 원자의 존재량을 100 % 로 했을 때에, Si 원자의 존재량이 10 % 이상인 범위라고 규정할 수 있다. 표면 처리된 동분의 표면의 단면은 시료 절편에 있어서 관찰한 적어도 100 개 이상의 동분 입자 중에서, 5 개 선택하고, 각각 그 가장 명료한 경계를, 표면 처리된 동분의 표면에 수직인 단면이라고 취급하여 측정 및 집계를 실시할 수 있다.In a preferred embodiment, the surface-treated copper powder has a thickness (Si thickness) of the Si-containing layer formed by surface treatment of generally 0.6 to 25 nm, preferably 1.0 to 25 nm, more preferably 1.5 to 20 nm . The thickness (Si thickness) of the Si-containing layer in the present invention is measured by EDS (energy dispersive X-ray analysis) on the cross section of the surface of the surface treated copper powder, And the abundance ratio of Si atoms is 10% or more when the abundance ratio of Si atoms at the depth where the abundance ratio becomes maximum is 100%. The cross section of the surface of the surface treated copper powder was selected by selecting five out of at least 100 copper powder particles observed in the sample slice and treating the most clear boundary as a cross section perpendicular to the surface of the surface treated copper powder And aggregation can be performed.

바람직한 실시 양태에 있어서, 표면 처리된 동분은 동분에 대한 N 의 중량% 를 예를 들어 0.05 중량% 이상, 바람직하게는 0.06 중량% 이상, 더욱 바람직하게는 0.07 중량% 이상으로 할 수 있고, 예를 들어 0.05 ~ 0.50 중량%, 바람직하게는 0.06 ~ 0.45 중량% , 더욱 바람직하게는 0.08 ~ 0.40 중량% 의 범위로 할 수 있다. 동분에 대한 N 의 중량% 는 동분을 고온에서 용융시켜, 발생된 NO2 로부터 부착 N량을 산출할 수 있다.In a preferred embodiment, the surface treated active ingredient may have a weight percentage of N relative to the active ingredient of, for example, 0.05 wt% or more, preferably 0.06 wt% or more, more preferably 0.07 wt% or more, In the range of 0.05 to 0.50% by weight, preferably 0.06 to 0.45% by weight, more preferably 0.08 to 0.40% by weight. The weight percent of N relative to the fines can be calculated by melting the fines at high temperatures and from the generated NO 2 .

바람직한 실시 양태에 있어서, 표면 처리된 동분은 XPS (X 선 광 전자 분광) 분석법의 survey 측정으로 표면의 N 이, 예를 들어 1.0 % 이상, 바람직하게는 1.4 % 이상, 더욱 바람직하게는 1.5 % 이상, 더욱 바람직하게는 1.6 % 이상이고, 혹은 예를 들어 1.0 ~ 6.0 % , 바람직하게는 1.4 ~ 6.0 % , 더욱 바람직하게는 1.5 ~ 6.0 % , 더욱 바람직하게는 1.6 ~ 6.0 % 의 범위에 있고, N 의 광 전자가, 예를 들어 1000 cps (count per second) 이상, 바람직하게는 1200 cps 이상, 혹은 예를 들어 1000 ~ 9000 cps, 바람직하게는 1200 ~ 8000 cps 의 범위인 것으로 할 수 있다.In a preferred embodiment, the surface treated copper powder has a surface N of, for example, not less than 1.0%, preferably not less than 1.4%, more preferably not less than 1.5%, as measured by XPS (X-ray photoelectron spectroscopy) , More preferably 1.6% or more, for example, 1.0 to 6.0%, preferably 1.4 to 6.0%, more preferably 1.5 to 6.0%, and furthermore preferably 1.6 to 6.0% For example, 1000 cps (count per second) or more, preferably 1200 cps or more, or for example, 1000 to 9000 cps, preferably 1200 to 8000 cps.

바람직한 실시 양태에 있어서, 표면 처리된 동분은 XPS (X 선 광 전자 분광) 분석법의 survey 측정으로 표면의 Si 가, 예를 들어 0.6 % 이상, 바람직하게는 0.8 % 이상, 더욱 바람직하게는 1.0 % 이상, 더욱 바람직하게는 1.1 % 이상, 더욱 바람직하게는 1.2 % 이상, 더욱 바람직하게는 1.3 % 이상이고, 더욱 바람직하게는 1.4 % 이상, 혹은 예를 들어 0.6 ~ 4.0 % , 바람직하게는 0.8 ~ 4.0 % , 더욱 바람직하게는 1.0 ~ 4.0 % , 더욱 바람직하게는 1.1 ~ 4.0 % , 더욱 바람직하게는 1.2 ~ 4.0 % , 더욱 바람직하게는 1.3 ~ 4.0 % , 더욱 바람직하게는 1.4 ~ 4.0 % 의 범위에 있고, Si 의 광 전자가, 예를 들어 직경 800 ㎛의 원에 대한 조사 (조사 면적 502655 ㎛2) 에 의해, 1000 cps (count per second) 이상, 바람직하게는 1200 cps 이상, 혹은 예를 들어 1000 ~ 12000 cps, 바람직하게는 1200 ~ 12000 cps 의 범위인 것으로 할 수 있다.In a preferred embodiment, the surface treated copper powder has a surface Si content of, for example, not less than 0.6%, preferably not less than 0.8%, more preferably not less than 1.0%, as measured by XPS (X-ray photoelectron spectroscopy) , More preferably not less than 1.1%, further preferably not less than 1.2%, more preferably not less than 1.3%, further preferably not less than 1.4%, or for example, not less than 0.6% and not more than 4.0% , More preferably 1.0 to 4.0%, still more preferably 1.1 to 4.0%, still more preferably 1.2 to 4.0%, still more preferably 1.3 to 4.0%, still more preferably 1.4 to 4.0% of Si photoelectron, for example by irradiation (irradiation area 502655 ㎛ 2) of the circle having a diameter of 800 ㎛, 1000 cps (count per second) , preferably at least, or for example, 1000 ~ 12000 1200 cps cps, preferably in the range of 1200 to 12000 cps. have.

바람직한 실시 양태에 있어서, 표면 처리된 동분은 아미노실란에 의한 표면 처리를 받은 후에, 추가로 표면 처리를 실시해도 된다. 이러한 표면 처리로서 예를 들어, 벤조트리아졸, 이미다졸 등의 유기 방청제에 의한 방청 처리를 들 수 있고, 이러한 통상적인 처리에 의해서도 아미노실란에 의한 표면 처리가 탈리되거나 하는 경우는 없다. 따라서, 우수한 소결 지연성을 잃지 않는 한도내에서, 당업자는 그러한 공지된 표면 처리를 원하는 바에 따라 실시할 수 있다. 즉, 본 발명에 관련된 표면 처리된 동분의 표면에, 우수한 소결 지연성을 잃지 않는 한도내에서, 추가로 표면 처리를 실시하여 얻어진 동분도 역시 본 발명의 범위내이다.In a preferred embodiment, the surface treated copper powder may be further subjected to a surface treatment after the surface treatment with aminosilane. Such surface treatment includes, for example, rust treatment with an organic rust inhibitor such as benzotriazole, imidazole, and the like, and the surface treatment with aminosilane is not eliminated even by such conventional treatment. Thus, to the extent that good sintering retardancy is not lost, those skilled in the art can carry out such known surface treatment as desired. That is, the copper obtained by subjecting the surface-treated copper powder according to the present invention to further surface treatment within the range of the present invention is also within the scope of the present invention as long as the excellent sintering retardancy is not lost.

본 발명은 동분 이외의 금속분을 사용했을 경우에도, 동분에 대해 상기 서술한 표면 처리에 의해 우수한 특성을 얻을 수 있다. 동분 이외의 금속분을 사용한 경우에도, 상기 동분에 대해 기재한 바람직한 실시 양태에 의해 본 발명을 실시할 수 있다. 금속분으로서는 예를 들어, Pt, Pd, Ag, Ni, Cu 의 어느 것의 금속분을 사용할 수 있다. 동분을 포함하여 바람직한 금속분으로서는 Ag, Ni, Cu 의 어느 것의 금속분을 들 수가 있다.In the present invention, even when a metal powder other than the copper powder is used, excellent characteristics can be obtained by the surface treatment described above for the copper powder. Even when a metal powder other than the copper powder is used, the present invention can be practiced by the preferred embodiments described above. As the metal powder, for example, metal powder of any one of Pt, Pd, Ag, Ni, and Cu can be used. Preferred metal components including the copper component include metal components of Ag, Ni, and Cu.

본 발명은 Si 의 부착에 의해 상기 서술한 바와 같이 바람직하게 실시할 수 있지만, Si 이외의 원소의 부착에 의해서도 바람직하게 실시할 수 있다. Si 이외의 원소가 부착된 경우에도, 상기 Si 에 대해 기재한 바람직한 실시 양태에 의해 본 발명을 실시할 수 있다. Si 이외의 원소로서는 Ti, Al, Zr, Ce, Sn 중 어느 1 종 이상을 들 수 있다. Si 를 포함하여 바람직한 원소로서는 Si, Ti, Al, Zr, Ce, Sn 중 어느 1 종 이상, 더욱 바람직하게는 Si, Ti, Al 중 어느 1 종 이상을 들 수 있다.The present invention can be preferably carried out as described above by the attachment of Si, but can also be preferably carried out by attachment of an element other than Si. Even in the case where an element other than Si is attached, the present invention can be practiced by the preferred embodiments described above for Si. As the element other than Si, any one or more of Ti, Al, Zr, Ce, and Sn can be mentioned. As a preferable element including Si, any one or more of Si, Ti, Al, Zr, Ce and Sn, and more preferably at least one of Si, Ti and Al can be mentioned.

본 발명은 동분에 대해 상기 서술한 바와 같이, 실란 커플링제로 표면 처리를 실시함으로써, 바람직하게 실시할 수 있지만, 실란 커플링제 이외의 커플링제로 표면 처리를 실시함으로써도, 바람직하게 실시할 수 있다. 실란 커플링제 이외의 커플링제로서는 티타네이트, 알루미네이트를 들 수 있다. 커플링제로서 실란 커플링제를 사용한 경우에는 Si, 티타네이트를 사용한 경우에는 Ti, 알루미네이트를 사용한 경우에는 Al 을 각각 바람직하게 부착시킬 수 있다. 이들의 커플링제의 사용의 양태는 실란 커플링제에 있어서 상기 서술한 바와 같은 것으로 할 수 있다. 실란 커플링제의 구조와 마찬가지로, 티타네이트 및 알루미네이트의 구조에 있어서도, 말단에 아미노기가 함유된 치환기가 중심 원자인 Ti 및 Al 에 배위된 구조가 바람직하다.The present invention can be preferably carried out by surface treatment with a silane coupling agent as described above for the copper component, but it can also be preferably carried out by surface treatment with a coupling agent other than the silane coupling agent . Examples of the coupling agent other than the silane coupling agent include titanate and aluminate. When a silane coupling agent is used as the coupling agent, Si, Ti, and Al can be preferably adhered to each other when using Si, titanate, or aluminate, respectively. The mode of use of these coupling agents can be the same as described above for the silane coupling agent. Similar to the structure of the silane coupling agent, a structure in which a substituent containing an amino group at the terminal is coordinated to Ti and Al, which are central atoms, is also preferable in the structure of titanate and aluminate.

바람직한 실시 양태에 있어서, 이러한 커플링제에 의한, Si, Ti 또는 Al 의 바람직한 부착량으로서는 동분에 대해 상기 서술한 바와 같고, 또한 금속분 1 g 에 대해, 예를 들어, 200 ~ 16000 ㎍, 300 ~ 16000 ㎍, 500 ~ 16000 ㎍ 의 범위, 예를 들어, 200 ~ 3000 ㎍, 300 ~ 3000 ㎍, 500 ~ 3000 ㎍ 의 범위, 예를 들어, 200 ~ 1500 ㎍, 300 ~ 1500 ㎍, 500 ~ 1500 ㎍ 의 범위를 들 수 있다.In a preferred embodiment, the preferable deposition amount of Si, Ti or Al by such a coupling agent is as described above for the copper content, and is preferably 200 to 16000 占 퐂, 300 to 16000 占 퐂 , For example, in the range of 500 to 16000 g, for example, 200 to 3000 g, 300 to 3000 g, and 500 to 3000 g, for example, 200 to 1500 g, 300 to 1500 g, .

바람직한 실시 양태에 있어서, 금속분의 표면 처리에 의해 형성된 Si 함유층의 두께 (Si 두께) 는 동분에 있어서 상기 서술한 바와 같이 할 수 있고, 또한 Ti 함유층의 두께 (Ti 두께), Al 함유층의 두께 (Al두께) 에 대해서도, Si 함유층의 두께 (Si 두께) 에 대해 상기 서술한 바와 같은 것으로 할 수 있다.In a preferred embodiment, the thickness (Si thickness) of the Si-containing layer formed by the surface treatment of the metal powder can be as described above in the same part, and the thickness of the Ti-containing layer (Ti thickness) Thickness) of the Si-containing layer can be made the same as described above with respect to the thickness (Si thickness) of the Si-containing layer.

바람직한 실시 양태에 있어서, 표면 처리된 금속분은 XPS (X 선 광 전자 분광) 분석법의 survey 측정으로 표면의 Si 를, 동분에 대해 상기 서술한 바와 같은 것으로 할 수 있다. 또한 표면 처리에 의해 부착된 Si 이외에, Ti 및 Al 에 대해서도, Si 와 동일한 측정 방법에 의해, Si 에 대해 규정한 수치 범위와 동일한 수치 범위로 할 수 있다.In a preferred embodiment, the surface-treated metal powder can be subjected to a survey measurement of an XPS (X-ray photoelectron spectroscopy) analysis to make Si on the surface as described above for the copper powder. In addition to the Si adhered by the surface treatment, Ti and Al can be set to the same numerical range as the numerical range defined for Si by the same measurement method as Si.

바람직한 실시 양태에 있어서, 표면 처리된 금속분은 XPS (X 선 광 전자 분광) 분석법의 survey 측정으로 표면의 N 를, 동분에 대해 상기 서술한 바와 같은 것으로 할 수 있다.In a preferred embodiment, the surface-treated metal powder can be subjected to a survey measurement of XPS (X-ray photoelectron spectroscopy) analysis to make N of the surface as described above for the copper portion.

본 발명에 있어서 바람직하게 사용할 수 있는 티타네이트로서는 다음의 식 Ⅱ : As the titanate which can be preferably used in the present invention, the following formula II:

(H2N-R1-O)pTi(OR2)q (식 Ⅱ)(H 2 N-R 1 -O) p Ti (OR 2 ) q (Formula II)

(단, 상기 식 Ⅱ 에 있어서,(Provided that in the above formula (II)

R1 은 직쇄상 또는 분지를 갖는 포화 또는 불포화의, 치환 또는 비치환의, 고리형 또는 비고리형의, 복소환을 갖는 또는 복소환을 갖지 않는 C1 ~ C12 의 탄화수소의 2 가기이며, R1 is a divalent group of a straight or branched saturated or unsaturated, substituted or unsubstituted, cyclic or acyclic, C1-C12 hydrocarbon having a heterocyclic ring or no heterocyclic ring,

R2 는 직쇄상 또는 분지를 갖는 C1 ~ C5 의 알킬기이며, R2 is a linear or branched C1 to C5 alkyl group,

p 및 q 는 1 ~ 3 의 정수이며, p+q=4 이다.) p and q are integers of 1 to 3, and p + q = 4.

로 나타내는 아미노기 함유 티타네이트를 들 수가 있다.Containing amino group-containing titanate.

상기 식 Ⅱ 의 R1 로서는 상기 식 I 의 R1 로서 든 기를 바람직하게 사용할 수 있다. 상기 식 Ⅱ 의 R1 로서 예를 들어, -(CH2)n-, -(CH2)n-(CH)m-(CH2)j-1-, -(CH2)n-(CC)-(CH2)n-1-, -(CH2)n-NH-(CH2)m-, -(CH2)n-NH-(CH2)m-NH-(CH2)j-, -(CH2)n-1-(CH)NH2-(CH2)m-1-, -(CH2)n-1-(CH)NH2-(CH2)m-1-NH-(CH2)j- 로 이루어지는 군에서 선택된 기 (단, n, m, j 는 1 이상의 정수이다) 로 할 수 있다. 특히 바람직한 R1 로서 -(CH2)n-NH-(CH2)m- 을 들 수 있고 (단, n+m=4, 특히 바람직하게는 n=m=2) 를 들 수 있다.As the R 1 in the formula (II), the group represented by R 1 in the formula (I) can be preferably used. For example as R1 in the above formula Ⅱ, - (CH 2) n -, - (CH 2) n - (CH) m - (CH 2) j-1 -, - (CH 2) n - (CC) - (CH 2) n-1 - , - (CH 2) n -NH- (CH 2) m -, - (CH 2) n -NH- (CH 2) m -NH- (CH 2) j -, - (CH 2) n-1 - (CH) NH 2 - (CH 2) m-1 -, - (CH 2) n-1 - (CH) NH 2 - (CH 2) m-1 -NH- (CH 2 ) j - (wherein n, m, and j are integers of 1 or more). Particularly preferred R 1 is - (CH 2 ) n -NH- (CH 2 ) m - (n + m = 4, particularly preferably n = m = 2).

상기 식 Ⅱ 의 R2 로서는 상기 식 I 의 R2 로서 든 기를 바람직하게 사용할 수 있다. 바람직한 실시 양태에 있어서, C3 의 알킬기를 들 수 있고, 특히 바람직하게는 프로필기 및 이소프로필기를 들 수 있다.As the R2 in the formula (II), the group represented by R2 in the formula (I) can be preferably used. In a preferred embodiment, the alkyl group of C3 may be mentioned, and particularly preferred are propyl group and isopropyl group.

상기 식 Ⅱ 의 p 및 q 는 1 ~ 3 의 정수이며, p+q=4 이며, 바람직하게는 p=q=2 의 조합, p=3, q=1 의 조합을 들 수 있다. 이와 같이 관능기가 배치된 아미노기 함유 티타네이트로서 프레인액트 KR44 (아지노모토파인테크노사 제조) 를 들 수가 있다.P and q in the formula II are integers of 1 to 3 and p + q = 4, preferably a combination of p = q = 2, a combination of p = 3 and q = 1. As the amino group-containing titanate in which the functional group is arranged, Freenact KR44 (manufactured by Ajinomoto Fine Techno Co., Ltd.) can be mentioned.

본 발명에 의한 금속분은 본 발명에 의한 동분으로서 상기 서술한 바와 같이, 높은 소결 개시 온도를 가지고 있고, 이것을 배합함으로써, 우수한 도전성 금속분 페이스트를 제조할 수 있고, 이 도전성 금속분 페이스트를 소결함으로써 우수한 전극을 제조할 수 있다. 본 발명의 금속분에 의한 소결 개시 온도는 동분에 대해 상기 서술한 바와 같다. 바람직한 실시 양태에 있어서, 본 발명에 의해 얻어지는 전극은 전극 단면의 SiO2 에 대해 상기 서술한 바와 같은 것으로 할 수 있고, 마찬가지로 전극 단면의 TiO2, 및 또는 전극 단면의 Al2O3 에 대해서도, 전극 단면의 SiO2 에 대해 상기 서술한 바와 같은 크기, 개수, 밀도의 것으로 할 수 있다. 바람직한 실시 양태에 있어서, 전극 단면의 SiO2 에 대해서는 표면 처리의 커플링제로서 실란 커플링제를 사용했을 경우에 해당되고, 전극 단면의 SiO2 에 대해서는 표면 처리의 커플링제로서 티타네이트를 사용했을 경우에 해당되고, 전극 단면의 Al2O3 에 대해서는 표면 처리의 커플링제로서 알루미네이트를 사용했을 경우에 해당된다.The metal powder according to the present invention has a high sintering initiation temperature as described above as the copper powder according to the present invention and by blending it, an excellent conductive metal powder paste can be produced. By sintering the conductive metal powder paste, Can be manufactured. The sintering initiation temperature of the metal powder according to the present invention is as described above for the equivalent component. In a preferred embodiment, the electrode obtained by the present invention can be as described above for SiO 2 on the end face of the electrode, and also for TiO 2 on the end face of the electrode and Al 2 O 3 on the end face of the electrode, The size, number, and density of SiO 2 of the cross section can be set as described above. In a preferred embodiment, SiO 2 of the electrode cross section corresponds to a case where a silane coupling agent is used as a coupling agent for the surface treatment, and when titanate is used as a coupling agent for surface treatment with respect to SiO 2 of the electrode cross section And Al 2 O 3 of the electrode cross section corresponds to the case where aluminate is used as a coupling agent for surface treatment.

실시예Example

이하에 실시예를 들어 본 발명을 더욱 상세하게 설명한다. 본 발명은 이하의 실시예로 한정되는 것은 아니다. Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to Examples. The present invention is not limited to the following examples.

[표면 처리 동분의 제조] [Preparation of surface treated copper powder]

이하와 같이 표면 처리된 동분을 제조했다. The surface-treated copper powder was prepared as follows.

[습식법에 의한 제분] [Milling by wet method]

표면 처리에 제공되는 동분 20 g 을 습식법에 의해 제조했다. 얻어진 동분은 다음과 같은 특성이었다. 측정은 레이저 회절식 입도 분포 측정 장치 (시마즈 제작소 제조 SALD-2100) 를 사용했다. 20 g of the copper powder which was provided for the surface treatment was prepared by a wet process. The obtained copper powder had the following characteristics. The measurement was performed using a laser diffraction particle size distribution measuring apparatus (SALD-2100 manufactured by Shimadzu Corporation).

D50 0.12 ㎛D50 0.12 탆

분포 1 산Distribution 1 Mountain

[실란 수용액의 조제][Preparation of silane aqueous solution]

다음의 각종 실란을 사용한 실란 수용액을 각각 50 ㎖ 조제했다. 50 ml of each of the following silane aqueous solutions was prepared.

실란:디아미노실란 A-1120 (MOMENTIVE사 제조) Silane: Diaminosilane A-1120 (manufactured by MOMENTIVE)

아미노실란 A-1110 (MOMENTIVE사 제조)      Aminosilane A-1110 (manufactured by MOMENTIVE)

에폭시 실란 Z-6040 (토레 다우코닝사 제조)      Epoxy silane Z-6040 (manufactured by Toray Dow Corning)

메틸트리메톡시실란 KBM-13 (신에츠 실리콘사 제조)      Methyltrimethoxysilane KBM-13 (manufactured by Shin-Etsu Silicone Co., Ltd.)

3-페닐아미노프로필트리메톡시실란 (MOMENTIVE사 제조)      3-phenylaminopropyltrimethoxysilane (MOMENTIVE)

농도는 0.5 ~ 15 vol% 의 범위에서 조제했다. 또, 아미노계 실란 이외는 묽은 황산으로 pH 를 4 로 조정했다.The concentration was in the range of 0.5 to 15 vol%. In addition, except for the amino-based silane, the pH was adjusted to 4 with diluted sulfuric acid.

각종 실란의 구조식은 다음과 같다. The structural formulas of various silanes are as follows.

디아미노실란 A-1120:Diamino silane A-1120:

H2N-C2H4-NH-C3H6-Si(OCH3)3 H 2 N-C 2 H 4 -NH-C 3 H 6 -Si (OCH 3 ) 3

아미노실란 A-1110:Aminosilane A-1110:

H2N-C3H6-Si(OCH3)3 H 2 N-C 3 H 6 -Si (OCH 3 ) 3

에폭시 실란 Z-6040:Epoxy silane Z-6040:

Figure 112014084234493-pct00001
Figure 112014084234493-pct00001

메틸트리메톡시실란 KBM-13:Methyltrimethoxysilane KBM-13:

H3C-Si(OCH3)3 H 3 C-Si (OCH 3 ) 3

3-페닐아미노프로필트리메톡시실란: 3-phenylaminopropyltrimethoxysilane:

C6H5-NH-C3H6-Si(OCH3)3 C 6 H 5 -NH-C 3 H 6 -Si (OCH 3 ) 3

[실란 수용액과의 혼합에 의한 표면 처리] [Surface treatment by mixing with silane aqueous solution]

동분 20 g 과 각 실란 수용액 50 ㎖ 를 혼합 교반하여 동분 분산액을 조제하고, 즉시 60 분간 (또는 120 분간) 의 초음파 처리를 실시하였다 (주식회사 텍잼 제조, 초음파 세정기 3 주파 타입/W-113) (출력 100 W, 주파수 100 kHz). 이 60 분간의 소요 시간을 표 1 에서는 혼합 교반 시간으로 기재했다. 조작은 실온에서 했다. (20 g) and each of the silane aqueous solutions (50 ml) were mixed and stirred to prepare a coarse dispersion, and the mixture was immediately subjected to ultrasonic treatment for 60 minutes (or 120 minutes) (manufactured by Techam Corp., ultrasonic cleaner 3 frequency type / W-113) 100 W, frequency 100 kHz). The time required for this 60 minutes is shown in Table 1 as mixing agitation time. The operation was carried out at room temperature.

또, 표 1 에 기재된 바와 같이, 몇 개의 실시예에서는 회전날개에 의한 교반 혼합 (300 rpm) 을 상기 초음파 교반과 병용하거나, 회전날개에 의한 교반만으로 실란 커플링제를 동분에 흡착시켰다. In addition, as shown in Table 1, in some embodiments, stirring mixing (300 rpm) using a rotary blade was used together with the above ultrasonic stirring, or a silane coupling agent was adsorbed to the same by stirring with a rotary blade.

동분 분산액을 여과하고, 표면 처리된 동분을 회수하고, 70 ℃ 1 시간 동안 가열 건조시켜 표면 처리된 동분을 얻었다. The ferrous dispersion was filtered, and the surface-treated copper fractions were recovered and heated and dried at 70 DEG C for 1 hour to obtain a surface-treated copper powder.

각 실시예 및 비교예에 대한 표면 처리된 동분으로 실시한 처리를 표 1 에 정리했다.Table 1 summarizes the treatments carried out on the surface-treated copper foil for each of the examples and comparative examples.

[표면 처리된 동분의 평가][Evaluation of surface-treated fingers]

상기 서술한 조작에 의해 얻어진, 표면 처리된 동분에 대해 이하의 방법에 의해 평가를 실시했다.The surface-treated copper fractions obtained by the above-described operation were evaluated by the following methods.

[동분 사이즈 측정][Measuring the size of the dummy]

동분의 크기에 대해 다음의 수단으로 측정을 실시했다. 그 결과는 표 2 에 정리했다. Measurement of the size of the fingertip was carried out by the following means. The results are summarized in Table 2.

레이저 회절식 입도 분포 측정 (시마즈 제작소 SLAD-2100)Laser diffraction particle size distribution measurement (Shimadzu SLAD-2100)

[TMA 에 의한 측정][Measurement by TMA]

표면 처리된 동분에 의해 샘플을 제작하고, TMA (Thermomechanical Analyzer) 를 사용하여 소결 개시 온도를 다음의 조건으로 측정했다. Samples were prepared from the surface-treated copper powder and the sintering initiation temperature was measured using a TMA (Thermomechanical Analyzer) under the following conditions.

샘플 제작 조건Sample production conditions

압분체 사이즈:7 mmφ×5 mm 높이 Compact size: 7 mmφ × 5 mm Height

성형 압력:1 Ton/㎠ (1000 kg중/㎠) Molding pressure: 1 Ton / ㎠ (in 1000 kg / ㎠)

(윤활제로서 0.5 wt % 의 스테아르산아연을 첨가) (0.5 wt% zinc stearate was added as a lubricant)

측정 조건Measuring conditions

장치:시마즈 제작소 TMA-50 Device: Shimadzu TMA-50

승온:5 ℃/분 Temperature rise: 5 ° C / min

분위기:2 vol% H2-N2 (300 cc/분)Atmosphere: 2 vol% H 2 -N 2 (300 cc / min)

하중:98.0 mNLoad: 98.0 mN

이와 같이, 측정 대상의 동분에 0.5 wt % 의 스테아르산아연을 첨가하여 혼합하고, 이 혼합물을 직경 7 mm 의 통체에 장전하고, 상부로부터 펀치를 밀어넣어 1 Ton/㎠ 로 3 초 유지하는 가압을 부여하여 높이 약 5 mm 상당의 원주상으로 성형했다. 이 성형체를, 축을 연직 방향으로 하고 또한 축방향으로 98.0 mN 의 하중을 부여한 조건으로, 승온 노에 장전하고, 2 vol% H2-N2 (300 cc/분) 유량중에서 승온 속도 5 ℃/분, 측정 범위:50 ~ 1000 ℃ 로 연속적으로 승온시켜 나가고, 성형체의 높이 변화 (팽창·수축의 변화) 를 자동 기록했다. 성형체의 높이 변화 (수축) 가 시작되어 그 수축율이 1 % 에 달한 시점의 온도를 「소결 개시 온도」로 했다. 각 실시예 및 비교예에 대한 표면 처리된 동분에서의 소결 개시 온도의 측정 결과는 표 3 에 정리했다.As described above, 0.5 wt% of zinc stearate was added to the test sample and mixed. The mixture was charged into a cylinder having a diameter of 7 mm, and the punch was pushed in from the top to maintain the pressure at 1 Ton / And molded into a cylindrical shape having a height of about 5 mm. The molded article was loaded in a heating furnace under the condition that the shaft was in the vertical direction and a load of 98.0 mN was applied in the axial direction and the temperature was raised at a rate of 5 ° C / minute in a 2 vol% H 2 -N 2 (300 cc / , The temperature was continuously raised in a measurement range of 50 to 1000 占 폚, and the height change (change in expansion and contraction) of the molded article was automatically recorded. The temperature at the time when the height change (shrinkage) of the molded article started and the shrinkage rate reached 1% was defined as " sintering start temperature ". The measurement results of the sintering initiation temperature in the surface-treated copper fractions for each of the examples and the comparative examples are summarized in Table 3.

이 TMA 에 의한 승온에 의해 형성된 각 소결체 에 대해, 그 단면을 TEM 에 의해 관찰하여 최대 직경 0.5 ㎛ 이상의 SiO2 의 개수를 계수했다. 얻어진 결과는 표 3 에 정리했다. For each of the sintered bodies formed by the temperature elevation by TMA, the cross section thereof was observed by TEM to count the number of SiO 2 having a maximum diameter of 0.5 탆 or more. The obtained results are summarized in Table 3.

장치:STEM Device: STEM

단면 TEM 이미지 배율:200000 배 (20 만배)Cross-sectional TEM image magnification: 200,000 times (200,000 times)

[분석][analysis]

표면 처리된 동분의 표면에 부착된 Si, N 및 C 를 다음의 조건으로 분석했다. 이 결과는 표 3 에 정리했다. Si, N and C adhering to the surface of the surface treated copper powder were analyzed under the following conditions. The results are summarized in Table 3.

부착량 Si ··· 표면 처리된 동분을 산으로 용해하고, ICP (유도 결합 플라즈마 원자 발광 분석법) 로 정량하여 표면 처리된 동분의 단위 질량 (g) 에 대한, 부착된 Si 의 질량 (㎍) 을 구했다. Adhesion amount Si The surface-treated copper component was dissolved in an acid and quantified by ICP (inductively coupled plasma atomic emission spectrometry) to determine the mass (g) of Si adhering to the unit mass (g) of the surface treated copper component .

N, C ··· 동분을 고온에서 용융시켜 발생된 NO2, CO2 로부터 부착 N, C량을 산출하고, 동분의 전체 표면에 부착된 N, C 의 양을 측정함으로써, 표면 처리된 동분의 질량에 대한, 부착된 N, C 의 질량의 질량% (중량%) 를 구했다.N, C... The amounts of N and C adhered to the entire surface of the copper powder were measured by calculating the amounts of adhered N and C from NO 2 and CO 2 generated by melting the copper powder at a high temperature, The mass% (% by weight) of the mass of N and C adhered to the mass was determined.

[표면 처리된 동분에 대한 방청 처리][Anticorrosion treatment for surface treated copper powder]

상기 실시예 4 에서 얻은 표면 처리된 동분에 대해, 추가로 방청 처리를 실시하더라도 본 발명의 소결 지연성이 유지되는 것을 확인하기 위해서 이하의 실험을 실시했다 (실시예 9).The following experiment was carried out (Example 9) to confirm that the surface-treated copper fractions obtained in Example 4 were retained in the sintering retardancy of the present invention even after further rust-proofing treatment.

[방청 처리의 방법][Method of rust-inhibiting treatment]

실시예 4 의 동분을 얻은 후, 방청 처리를 실시하기 위해, 벤조트리아졸 수용액 (0.1 g / L) 100 ㎖ 중에 분산시켜, 회전날개로 500 rpm 으로 10 분간 교반하고, 여과, 건조 (질소 분위기하에서 70 ℃×1 h) 시키고, 추가로 방청 처리된 동분을 얻었다 (실시예 9).After the copper fractions of Example 4 were obtained, they were dispersed in 100 ml of an aqueous solution of benzotriazole (0.1 g / L), subjected to a rust-preventive treatment, stirred with a rotating blade at 500 rpm for 10 minutes, filtered and dried 70 DEG C x 1 h) to obtain a rust-inhibited copper alloy powder (Example 9).

[방청 처리된 동분의 평가][Evaluation of rust-inhibited treated fractions]

상기 방청 처리된 동분에 대해, 상기 서술한 실시예 4 와 마찬가지로 평가를 실시하고, 그 결과를 표 1 ~ 3 에 정리했다. 또한, 표 2 에 있어서의 처리 후의 동분의 사이즈는 실시예 9 에 대해서는 방청 처리 후의 동분의 사이즈이며, 표 3 의 각 평가도 방청 처리한 동분에 대한 결과이다.The rust-inhibited fractions were subjected to evaluation in the same manner as in Example 4 described above, and the results are summarized in Tables 1 to 3. The sizes of the copper fractions after the treatment in Table 2 are the sizes of the copper fractions after the rust-preventive treatment in Example 9, and the evaluations in Table 3 are also the results of the rust-inhibited copper fractions.

Figure 112014084234493-pct00002
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Figure 112014084234493-pct00003
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Figure 112014084234493-pct00004
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상기 비교예 1 ~ 5 외에, 실란 커플링제로서 테트라에톡시실란 (TEOS) 을 이용하고, 암모니아를 촉매로 이용하여 동분에 표면 처리를 하고, 비교 실험을 실시했지만, 테트라에톡시실란을 사용한 경우에는 얻어진 표면 처리 동분이 응집되어 버려, 육안에 의한 관찰에 의해 균일한 표면 처리와 입경이 얻어지지 않는 것으로 생각되는 상태로 되어 있었다. 이 경우, 표면 처리전에 D50=0.13 ㎛, Dmax=0.44 ㎛ 였지만, 표면 처리 후에는 D50=0.87 ㎛, Dmax=3.1 ㎛ 로 모두 7배 정도 커져 있었다. 또, 입도 분포는 표면 처리전에 1 산이었던 것이 2 산으로 되어 있었다.In Comparative Examples 1 to 5, tetraethoxysilane (TEOS) was used as a silane coupling agent, and ammonia was used as a catalyst to perform surface treatment on the copper powder. In the case of using tetraethoxysilane The resultant surface-treated copper aggregated, and it was considered that uniform surface treatment and particle size could not be obtained by visual observation. In this case, D50 = 0.13 占 퐉 and Dmax = 0.44 占 퐉 before the surface treatment, but D50 = 0.87 占 퐉 and Dmax = 3.1 占 퐉 after the surface treatment. In addition, the particle size distribution was made up of two acids before the surface treatment.

대표적인 예로서 실시예 5 의 표면 처리된 동분으로부터 얻어진 소결체의 단면의 TEM 이미지 (4 만배) 를 도 1 에 나타낸다. 흰 부분은 소결된 구리이며, 검은 부분은 SiO2 입자이다. SiO2 입자인 것은 별도로 EDS 분석을 실시하여 확인했다. 또, 단면의 마무리를 위해서, 표면에 정밀 집속 이온 빔 (FIB) 가공을 실시하여 주사형 전자현미경 (SIM) 사진을 얻고, 이것에 의해 SiO2 입자수를 계수 했다.As a representative example, a TEM image (40,000 times) of a cross-section of the sintered body obtained from the surface-treated copper powder of Example 5 is shown in Fig. The white part is sintered copper and the black part is SiO 2 particle. SiO 2 particles were confirmed by performing EDS analysis separately. Further, in order to finish the cross section, the surface was subjected to precision focused ion beam (FIB) processing to obtain a scanning electron microscope (SIM) photograph, thereby counting the number of SiO 2 particles.

이들의 결과, 본 발명에 관련된, 아미노실란 수용액을 혼합하여 제조한 표면 처리된 동분은 그 제조 방법이 매우 간단함에도 불구하고, 미소한 크기의 동분임에도 불구하고, 니켈 합금에 의한 미분과 동등 이상으로 높은 소결 개시 온도를 가지고 있음을 알 수 있었다. 또, 이 표면 처리된 동분으로부터는 칩 적층 세라믹 콘덴서의 전극의 제조 공정과 동일한 소결에 의해 소결체를 제조할 수 있는 것, 이와 같이 제조 (형성) 된 소결체는 상기 표면 처리된 동분을 사용했음에도 불구하고, 소결체의 단면에 있어서, 큰 직경 (입자의 최소 외접원의 직경) 의 SiO2 입자의 개수 (개수/㎛2) 가 적은 것으로 되어 있는 것을 알 수 있었다.As a result, although the surface-treated copper powder produced by mixing the aqueous aminosilane solution according to the present invention has a very simple manufacturing method, the copper powder is not more than And that it has a high sintering initiation temperature. The sintered body produced by the same sintering as in the production process of the electrodes of the chip laminated ceramic capacitor can be used for the surface-treated copper powder. The sintered body thus produced (formed) , It was found that the number of SiO 2 grains (number / 탆 2 ) of the large diameter (the diameter of the minimum circumscribed circle of the particles) was small in the section of the sintered body.

또, 상기 결과로부터, 충분한 소결 지연성을 실현하기 위해서는 실란 커플링제로서는 아미노기를 갖는 아미노실란인 것이 필요함을 알 수 있었다. 또, 아미노실란으로서는 말단에 아미노기를 갖는 아미노실란이 바람직함을 알 수 있었다. 비교예 4 에 있어서는 동분에 대해 충분한 양의 Si 가 부착되어 있는 것처럼 보임에도 불구하고, 충분한 소결 지연성이 실현되지 않았다. 그 이유는 불분명하지만, 본 발명자는 비교예 4 에 있어서는 아미노실란이 말단에 아미노기를 갖는 구조로 되어 있지 않고, 또한 벤젠고리가 아미노기보다 말단에 존재하기 때문에, 마치 입체 장해와 같은 상태가 생겨, 소결을 위한 승온 도중에, 일단은 동분에 부착된 아미노실란 또는 Si 가 빠른 시기에 동분으로부터 탈리되어버리기 때문이 아닌지 추측하고 있다.From the above results, it was found that it is necessary that the silane coupling agent be an amino silane having an amino group in order to realize sufficient sintering retardancy. It was also found that aminosilane having an amino group at the terminal is preferable as the aminosilane. In Comparative Example 4, although a sufficient amount of Si appeared to adhere to the copper powder, sufficient sintering retardancy was not realized. The reason for this is unclear, but the inventors of the present invention have found that the aminosilane does not have an amino group at the terminal and the benzene ring is present at the end of the amino group in Comparative Example 4, It is presumed that the aminosilane or Si adhered to the copper foil is desorbed from the copper foil at an early stage during the temperature increase for the copper foil.

또, 상기 실시예 9 의 결과로부터, 본 발명에 관련된 표면 처리된 동분은 아미노실란에 의한 표면 처리를 받은 후에, 추가로 방청 처리 등의 표면 처리를 실시해도 그 우수한 성질을 유지하고 있음을 알 수 있었다. 즉, 본 발명에 관련된 표면 처리된 동분의 표면에, 아미노실란에 의한 표면 처리가 탈리되거나 하지 않는 범위내에서, 추가로 유기물 등으로 표면 처리를 실시하여 얻어진 동분도 역시 본 발명의 범위내이다.From the results of Example 9, it can be seen that the surface-treated copper powder according to the present invention retains excellent properties even after the surface treatment with aminosilane, there was. That is, the copper obtained by subjecting the surface treated copper powder according to the present invention to further surface treatment with an organic substance or the like within the range that the surface treatment with aminosilane is not removed or not is also within the scope of the present invention.

[제조예][Manufacturing Example]

이하와 같이, 미세한 동분을 제조하고, 나아가 제조한 동분을 아미노실란에 의해 표면 처리하고, 본 발명에 관련된 표면 처리된 동분을 습식법에 의해 일관 제조했다.The fine copper powder was prepared as described below, and the resulting copper powder was surface-treated with aminosilane, and the surface-treated copper powder according to the present invention was uniformly produced by a wet process.

(1) 아라비아 고무 0.2 g + 순수 350 ㎖ 에, 아산화 구리 50 g 를 첨가했다.(1) To 0.2 g of gum arabic and 350 ml of pure water, 50 g of copper oxide was added.

(2) 다음으로, 묽은 황산 (25 wt %) 50 ㎖ 를 한꺼번에 첨가했다. (2) Next, 50 ml of diluted sulfuric acid (25 wt%) was added all at once.

(3) 이것을, 회전날개로 교반 후 (300 rpm×10 분), 60 분 방치했다. (3) This was left to stand for 60 minutes after stirring with a rotating blade (300 rpm x 10 minutes).

(4) 다음으로, 침전에 대해, 세정을 실시했다. (4) Next, cleaning was carried out for the precipitation.

세정은 맨 처음에, 상청액을 제거하고, 순수 350 ㎖ 를 첨가하여 교반 (300 rpm×10 분) 후, 60 분 방치하고, 상청액을 제거하고, 순수 350 ㎖ 를 첨가하여 교반 (300 rpm×10 분) 후, 60 분 방치하고, 상청액을 제거함으로써 실시했다. The supernatant was removed, 350 ml of pure water was added, and the mixture was left to stand for 60 minutes after stirring (300 rpm x 10 minutes). The supernatant was removed, 350 ml of pure water was added, ) For 60 minutes, and removing the supernatant.

(5) 다음으로, 아미노실란 처리를 실시했다. (5) Next, aminosilane treatment was carried out.

아미노실란 처리는 아미노실란 수용액 (50 ㎖) 을 첨가하여 60 분 교반하고, 이 때에, 회전날개 (300 rpm) + 초음파 (주식회사 텍잼 제조, 초음파 세정기 3 주파 타입/W-113) (출력 100 W, 주파수 100 kHz) 의 처리를 실시했다. 이와는 별도로, 회전날개만 (300 rpm) 의 처리, 초음파만의 처리를 별도로 실시했다. 아미노실란으로서 디아미노실란 A-1120 (MOMENTIVE사 제조), 아미노실란 A-1110 (MOMENTIVE사 제조) 을 각각 사용했다. The aminosilane treatment was carried out by adding an aqueous aminosilane solution (50 ml) and stirring for 60 minutes. At that time, a rotating blade (300 rpm) + an ultrasonic wave (manufactured by Techam Co., Ltd., ultrasonic wave cleaner 3 wave type / W- Frequency: 100 kHz). Apart from this, the processing of only the rotating blades (300 rpm) and the processing of only ultrasonic waves were carried out separately. Diaminosilane A-1120 (manufactured by MOMENTIVE) and aminosilane A-1110 (manufactured by MOMENTIVE) were used as the aminosilane, respectively.

(6) 다음으로, 여과를 실시하여 침전을 분리했다. (6) Next, filtration was performed to separate the precipitate.

(7) 다음으로, 분리한 침전을 건조시켰다. 건조 (70 ℃ ×2 h) 는 대기 분위기에서의 건조 및 질소중에서 건조를 각각 실시했다.(7) Next, the separated precipitate was dried. Drying (70 ° C × 2 h) was carried out by drying in an air atmosphere and drying in nitrogen, respectively.

이와 같이 하여 표면 처리된 미세한 동분을 일관 제조에 의해 얻었다. 이와 같이 하여 얻어진 표면 처리된 동분은 상기 실시예 1 ~ 9 의 표면 처리된 동분과 마찬가지로 우수한 소결 지연성을 가짐과 동시에, 그 소결체 단면에 존재하는 SiO2 의 큰 입자의 수는 작은 것이었다. 또, 이 일관 제조는 최종적인 제품을 얻을 때까지 건조시키지 않고 실시할 수 있어 간편하며 작업성이 우수하였다.The surface-treated fine copper powder was thus obtained by coherent manufacturing. The surface-treated copper fractions obtained in this way had an excellent sintering retardancy as in the case of the surface-treated copper particles of Examples 1 to 9, and the number of large particles of SiO 2 existing in the cross section of the sintered body was small. In addition, this consistent manufacturing can be carried out without drying until the final product is obtained, which is convenient and excellent in workability.

[실시예] [Example]

이미 상기 서술한 실시예에 더하여 이하의 실시예를 들고 본 발명을 더욱 상세하게 설명한다. 본 발명은 이하의 실시예로 한정되는 것은 아니다.The present invention will be described in further detail with reference to the following examples in addition to the above-described embodiments. The present invention is not limited to the following examples.

[금속분] [Metal powder]

금속분으로서 구리 미분, 니켈분, 은분을 이하의 순서로 준비했다.Copper fine powder, nickel powder and silver powder were prepared as metal powders in the following order.

(구리 미분)(Copper fine powder)

·실시예 15 ~ 17, 비교예 9 Examples 15 to 17 and Comparative Example 9

표면 처리에 제공되는 동분 20 g 을 상기 서술한 습식법에 의해 제조했다. 즉,20 g of the copper component to be subjected to the surface treatment was produced by the above-described wet method. In other words,

(1) 아라비아 고무 0.4 g + 순수 350 ㎖ 에 아산화 구리 50 g 를 첨가했다.(1) 50 g of copper oxide was added to 0.4 g of gum arabic and 350 ml of pure water.

(2) 다음으로, 묽은 황산 (25 wt %) 50 ㎖ 를 한꺼번에 첨가했다. (2) Next, 50 ml of diluted sulfuric acid (25 wt%) was added all at once.

(3) 이것을, 회전날개로 교반 후 (300 rpm×10 분), 60 분 방치했다. (3) This was left to stand for 60 minutes after stirring with a rotating blade (300 rpm x 10 minutes).

(4) 다음으로, 침전에 대해 세정을 실시했다. (4) Next, the precipitate was washed.

세정은 맨 처음에, 상청액을 제거하고, 순수 350 ㎖ 를 첨가하여 교반 (300 rpm×10 분) 후, 60 분 방치하고, 상청액을 제거하고, 순수 350 ㎖ 를 첨가하여 교반 (300 rpm×10 분) 후, 60 분 방치하고, 구리 미분을 침강시켰다. 이 상태에서 입도 측정을 레이저 회절식 입도 분포 측정 (시마즈 제작소 SLAD-2100) 으로 실시하여 표면 처리전의 입도 측정으로 했다. The supernatant was removed, 350 ml of pure water was added, and the mixture was left to stand for 60 minutes after stirring (300 rpm x 10 minutes). The supernatant was removed, 350 ml of pure water was added, ) And left for 60 minutes to precipitate the copper fine powder. In this state, particle size measurement was carried out by laser diffraction particle size distribution measurement (Shimadzu SLAD-2100), and the particle size before surface treatment was measured.

얻어진 동분의 입자 사이즈 (D50, Dmax) 를 표 3 에 나타낸다. 측정은 레이저 회절식 입도 분포 측정 장치 (시마즈 제작소제 SALD-2100) 를 사용했다.Table 3 shows the obtained particle size (D50, Dmax). The measurement was performed using a laser diffraction particle size distribution measuring apparatus (SALD-2100 manufactured by Shimadzu Corporation).

실시예 10Example 10

특허 제 4164009 호에 따라, 화학 환원법에 의해 동분을 얻었다. 즉, 아라비아 고무 2 g 을 2900 ㎖ 의 순수에 첨가한 후, 황산 구리 125 g 를 첨가하여 교반하면서, 80 % 히드라진 1 수화물을 360 ㎖ 첨가했다. 히드라진 1 수화물의 첨가 후 ~ 3시간에 걸쳐 실온에서 60 ℃ 로 승온시키고, 추가로 3 시간에 걸쳐 산화동을 반응시켰다. 반응 종료후, 얻어진 슬러리를 누체로 여과하고, 이어서 순수 및 메탄올로 세정하고, 나아가 건조시켜 동분을 얻었다. 이 동분과 실시예 1 의 순서로 디아미노실란 커플링제 수용액을 혼합하여 표면 처리 은분을 얻었다. 이 특성을 실시예 1 의 순서로 평가했다.According to Japanese Patent No. 4164009, a copper powder was obtained by a chemical reduction method. Namely, 2 g of gum arabic was added to 2900 ml of pure water, and then 125 g of copper sulfate was added thereto. While stirring, 360 ml of 80% hydrazine monohydrate was added. After the addition of hydrazine monohydrate, the temperature was raised from room temperature to 60 占 폚 over a period of 3 hours, and the copper oxide was further reacted for 3 hours. After the completion of the reaction, the resulting slurry was filtered with a sieve, then washed with pure water and methanol, and further dried to obtain a coarse powder. This mixture was mixed with an aqueous solution of diaminosilane coupling agent in the order of Example 1 to obtain a surface-treated silver powder. This property was evaluated in the order of Example 1.

(니켈분)(Nickel)

니켈분은 토호 티타늄 제조의 NF32 (D50 0.3 ㎛) 를 사용했다.The nickel powder was NF32 (D50 0.3 mu m) manufactured by Tohto Titanium.

(은분)(Silver)

일본 공개특허공보 2007-291513 에 따라 제분했다. 즉, 0.8 ℓ 의 순수에 질산은 12.6 g 을 용해시키고, 25 % 암모니아수를 24 ㎖, 추가로 질산암모늄을 40 g 첨가하여 은 암민 착염 수용액을 조정했다. 이것에 1 g/ℓ 의 비율로 젤라틴을 첨가하여 이것을 전해액으로 하고, 양극, 음극 모두 DSE 극판을 사용하여 전류 밀도 200 A/m2, 용액 온도 20 ℃ 로 전해시키고, 전석된 은입자를 극판으로부터 긁어 떨어뜨리면서 1 시간 전해시켰다. 이렇게 하여 얻어진 은분을 누체로 여과하고, 순수, 알코올의 순서로 세정을 실시하고, 70 ℃ 에서 12 시간 대기 분위기하에서 건조시켰다. 이 은분을 건식분급하고, 최종적으로 D50 0.1 ㎛, Dmax 0.5 ㎛ 의 은분을 얻었다.It was milled according to Japanese Patent Laid-Open No. 2007-291513. Namely, 12.6 g of silver nitrate was dissolved in 0.8 L of pure water, 24 mL of 25% ammonia water was added, and further 40 g of ammonium nitrate was added to adjust the silver ammine complex salt aqueous solution. Gelatin was added thereto at a ratio of 1 g / l, and this was used as an electrolytic solution. Both the positive electrode and the negative electrode were electrolyzed using a DSE electrode plate at a current density of 200 A / m 2 and a solution temperature of 20 캜, It was electrolyzed for 1 hour while being scraped off. The silver powder thus obtained was filtered with a sieve, washed with pure water and alcohol in this order, and dried in air at 70 캜 for 12 hours. This silver powder was dry-classified and finally silver powder having a D50 of 0.1 mu m and a Dmax of 0.5 mu m was obtained.

(커플링제 수용액의 조제) (Preparation of coupling agent aqueous solution)

다음의 각종 실란을 사용한 실란 수용액을 각각 50 ㎖ 조제했다. 50 ml of each of the following silane aqueous solutions was prepared.

실란:디아미노실란 A-1120 (MOMENTIVE사 제조)Silane: Diaminosilane A-1120 (manufactured by MOMENTIVE)

메틸트리메톡시실란 KBM-13 (신에츠실리콘사 제조)Methyltrimethoxysilane KBM-13 (manufactured by Shin-Etsu Silicone Co., Ltd.)

티타네이트:아미노기 함유 프레인액트 KR44 (아지노모토파인테크노사 제조)Titanate: Amino group-containing Plain Act KR44 (manufactured by Ajinomoto Fine Techno Co., Ltd.)

아미노기 비함유 프레인액트 KR TTS (아지노모토파인테크노사 제조)Free ACTIVE KR TTS (manufactured by Ajinomoto Fine Techno Co., Ltd.)

농도는 1 ~ 10 vol% 의 범위에서 조제했다. 또, 아미노계 커플링제 이외에는 묽은 황산으로 pH 를 4 로 조정했다.The concentration was in the range of 1 to 10 vol%. Further, the pH was adjusted to 4 with dilute sulfuric acid other than the amino-based coupling agent.

각종 실란의 구조식은 다음과 같다. The structural formulas of various silanes are as follows.

디아미노실란 A-1120:Diamino silane A-1120:

H2N-C2H4-NH-C3H6-Si(OCH3)3 H 2 N-C 2 H 4 -NH-C 3 H 6 -Si (OCH 3 ) 3

메틸트리메톡시실란 KBM-13: Methyltrimethoxysilane KBM-13:

H3C-Si(OCH3)3 H 3 C-Si (OCH 3 ) 3

아미노기 함유 프레인액트 KR44 Amino group-containing plain act KR44

소수기의 측사슬 유기 관능기Side chain organic functionalities of the hydrophobic group

(CH3)2CH-O-(CH 3) 2 CH-O-

친수기의 측사슬 유기 관능기 Side chain organic functional group of hydrophilic group

-O-(C2H4)-NH-(C2H4)-NH2 -O- (C 2 H 4 ) -NH- (C 2 H 4 ) -NH 2

아미노기 비함유 프레인액트 KR TTSNon-amino group free act KR TTS

소수기의 측사슬 유기 관능기 Side chain organic functionalities of the hydrophobic group

(CH3)2CH-O-(CH 3) 2 CH-O-

친수기의 측사슬 유기 관능기 Side chain organic functional group of hydrophilic group

-O-CO-(C17H35) -O-CO- (C 17 H 35 )

(표면 처리)(Surface treatment)

상기 (구리 미분) 의 순서로 얻어진 구리 미분 슬러리로부터 상청액을 제거하고, 구리 미분을 건조시키지 않고, 상기 (커플링제 수용액의 조제) 에서 조정한 커플링제와 60 분 동안 이하의 어느 방법으로 혼합시켰다 (실시예 15 ~ 17, 비교예 9). The supernatant was removed from the copper fine powder slurry obtained in the order of the above (copper fine powder), and the copper fine powder was mixed with the coupling agent prepared in the above (preparation of the coupling agent aqueous solution) for 60 minutes in any of the following methods Examples 15 to 17 and Comparative Example 9).

(1) 회전날개 (300 rpm) +초음파 (주식회사 텍 잼제, 초음파 세정기 3 주파 타입 / W-113) (출력 100 W, 주파수 100 kHz) (1) Rotating blade (300 rpm) + Ultrasonic wave (3-frequency type ultrasonic cleaner / W-113) (output 100 W, frequency 100 kHz)

(2) 회전날개 (300 rpm) 만(2) Rotary blades (300 rpm) only

(3) 초음파만 (3) Ultrasonic only

다음으로 이들의 커플링제 수용액을 각각 아스피레이터로 흡인 여과한 후, 구리 미분 위에 순수 350 ㎖ 를 첨가하여 더 여과했다. 이것을 질소 분위기하에서 70 ℃ 에서 1 시간 건조시키고 유발로 분쇄했다. 이 상태에서 다시 입도 측정을 실시했다. Next, the coupling agent aqueous solution was suction filtered through an aspirator, and then 350 ml of pure water was added to the copper fine powder, followed by further filtration. This was dried at 70 DEG C for 1 hour under a nitrogen atmosphere and pulverized with induction. In this state, particle size measurement was carried out again.

실시예 10 에 대해서는 상기 (구리 미분) 에 기재된 바와 같이 하여 상기 서술한 (1) 의 순서로 표면 처리를 실시했다. For Example 10, surface treatment was carried out in the order of (1) described above as described in (copper fine powder).

상기 (니켈분) 에서 얻어진 니켈분, 상기 (은분) 의 순서로 얻어진 은분에 대해서는 상기 (커플링제 수용액의 조제) 에서 조정한 커플링제와 60 분 동안 상기 서술한 (1) 의 순서로 혼합시키고 표면 처리를 실시했다 (실시예 11 ~ 14 및 18 ~ 23, 비교예 6, 8, 10, 11). The nickel powder obtained in the above (nickel powder) and the silver powder obtained in the above (silver powder) were mixed with the coupling agent prepared in the above (preparation of the coupling agent aqueous solution) in the order of (1) described above for 60 minutes, (Examples 11 to 14 and 18 to 23, Comparative Examples 6, 8, 10 and 11).

얻어진 결과를 다음의 표 4 ~ 6 에 나타낸다.The obtained results are shown in Tables 4 to 6 below.

Figure 112014084234493-pct00005
Figure 112014084234493-pct00005

Figure 112014084234493-pct00006
Figure 112014084234493-pct00006

Figure 112014084234493-pct00007
Figure 112014084234493-pct00007

이상과 같이, 본 발명에 의하면, 동분 이외의 금속분을 사용한 경우에도, 또, 실란 커플링제 이외의 커플링제를 사용한 경우에도, 우수한 특성의 표면 처리된 금속분이 얻어짐을 알 수 있었다.INDUSTRIAL APPLICABILITY As described above, according to the present invention, it has been found that even when a metal powder other than the copper powder is used or a coupling agent other than the silane coupling agent is used, a surface treated metal powder having excellent properties can be obtained.

산업상의 이용 가능성Industrial availability

본 발명은 표면 처리 후에도 응집되지 않고, 소결 지연성이 우수하고, 입자가 작은 동분일지라도 높은 소결 개시 온도를 나타내는 표면 처리된 동분을 제공한다. 본 발명에 의한 표면 처리된 동분은 동분에 대해 매우 간단한 처리를 실시함으로써 제조할 수 있고, 이 제조 방법은 고도의 기능을 필요로 하지 않아 작업성 및 생산성이 우수한 것이다. 본 발명은 산업상 유용한 발명이다.The present invention provides a surface-treated copper alloy which does not agglomerate even after surface treatment, has excellent sintering retardancy, and exhibits a high sintering initiation temperature even if the particles are small in number. The surface-treated copper powder according to the present invention can be produced by subjecting the copper powder to a very simple treatment, and this production method does not require a high-level function and is excellent in workability and productivity. The present invention is an industrially useful invention.

Claims (54)

Si, Ti, Al, Zr, Ce, Sn 중 어느 1 종 이상의 부착량이 동분 1 g 에 대해 200 ~ 16000 ㎍, 동분에 대한 N 의 중량% 가 0.02 % 이상 0.5 % 이하인 표면 처리된 동분으로서,
표면 처리된 동분이 커플링제로 표면 처리된 동분이고,
커플링제가 말단이 아미노기인 커플링제인 표면 처리된 동분.
Wherein the amount of adhesion of at least one of Si, Ti, Al, Zr, Ce and Sn is 200 to 16000 占 퐂 per 1 g of the copper content and the weight percentage of N relative to the copper content is 0.02 to 0.5%
The surface-treated copper is a copper-treated surface treated with a coupling agent,
Coupling Agent A surface-treated co-agent which is a coupling agent whose terminal is an amino group.
삭제delete 삭제delete 삭제delete 제 1 항에 있어서,
Si, Ti, Al, Zr, Ce, Sn 중 어느 1 종 이상의 부착량이 동분 1 g 에 대해 300 ~ 16000 ㎍ 인 동분.
The method according to claim 1,
And the adhesion amount of at least one of Si, Ti, Al, Zr, Ce and Sn is 300 to 16000 ㎍ for 1 g of the copper content.
제 1 항에 있어서,
Si, Ti, Al, Zr, Ce, Sn 중 어느 1 종 이상의 부착량이 동분 1 g 에 대해 500 ~ 16000 ㎍ 인 동분.
The method according to claim 1,
And the adhesion amount of any one or more of Si, Ti, Al, Zr, Ce, and Sn is 500 to 16000 ㎍ for 1 g of copper.
제 1 항에 있어서,
Si, Ti, Al, Zr, Ce, Sn 중 어느 1 종 이상의 부착량이 동분 1 g 에 대해 200 ㎍ 이상 3000 ㎍ 이하인 동분.
The method according to claim 1,
Wherein the adhesion amount of any one or more of Si, Ti, Al, Zr, Ce, and Sn is not less than 200 袖 g and not more than 3000 쨉 g per 1 g of the copper content.
제 1 항에 있어서,
Si, Ti, Al, Zr, Ce, Sn 중 어느 1 종 이상의 부착량이 동분 1 g 에 대해 200 ㎍ 이상 1500 ㎍ 이하인 동분.
The method according to claim 1,
Wherein the adhesion amount of any one or more of Si, Ti, Al, Zr, Ce and Sn is not less than 200 쨉 g and not more than 1,500 쨉 g per 1 g of the copper content.
제 1 항에 있어서,
동분에 대한 N 의 중량% 가 0.05 % 이상 0.5 % 이하인 동분.
The method according to claim 1,
A coarse fraction in which the weight percentage of N relative to the copper content is not less than 0.05% and not more than 0.5%.
제 1 항에 있어서,
Si, Ti, Al, Zr, Ce, Sn 중 어느 1 종 이상이, Ti, Al, Zr, Ce, Sn 중 어느 1 종 이상인 동분.
The method according to claim 1,
Wherein at least one of Si, Ti, Al, Zr, Ce and Sn is at least one of Ti, Al, Zr, Ce and Sn.
제 1 항에 있어서,
Si, Ti, Al, Zr, Ce, Sn 중 어느 1 종 이상이 Si 인 동분.
The method according to claim 1,
And at least one of Si, Ti, Al, Zr, Ce, and Sn is Si.
제 1 항에 있어서,
Si 의 부착량이 동분 1 g 에 대해 500 ~ 16000 ㎍, 동분에 대한 N 의 중량% 가 0.05 % 이상 0.5 % 이하인 동분.
The method according to claim 1,
The adhesion amount of Si is 500 to 16000 에 for 1 g of the copper content, and the weight percentage of N relative to the copper content is 0.05% to 0.5%.
제 1 항에 있어서,
Si 의 부착량이 동분 1 g 에 대해 500 ~ 3000 ㎍, 동분에 대한 N 의 중량% 가 0.05 % 이상 0.5 % 이하인 동분.
The method according to claim 1,
The adhesion amount of Si is 500 to 3000 占 퐂 per 1 g of the copper content, and the weight percentage of N relative to the copper content is not less than 0.05% and not more than 0.5%.
삭제delete 제 1 항에 있어서,
Si, Ti, Al, Zr, Ce, Sn 중 어느 1 종 이상이 커플링제 처리로 흡착된 동분.
The method according to claim 1,
Wherein at least one of Si, Ti, Al, Zr, Ce and Sn is adsorbed by a coupling agent treatment.
제 1 항에 있어서,
커플링제가 실란, 티타네이트, 알루미네이트의 어느 하나인 동분.
The method according to claim 1,
The coupling agent is one of silane, titanate, and aluminate.
삭제delete 제 1 항에 있어서,
커플링제가 아미노실란인 동분.
The method according to claim 1,
The coupling agent is an aminosilane.
제 1 항에 있어서,
소결 개시 온도가 400 ℃ 이상인 동분.
The method according to claim 1,
Sintering temperature of 400 ° C or higher.
제 18 항에 있어서,
아미노실란이 모노아미노실란 또는 디아미노실란인 동분.
19. The method of claim 18,
Wherein the aminosilane is a monoaminosilane or a diaminosilane.
제 1 항에 기재된 동분이 추가로 유기 화합물로 표면 처리되어 이루어지는 표면 처리된 동분.A surface-treated copper powder obtained by surface-treating the copper according to claim 1 with an organic compound. 삭제delete 제 1 항, 제 5 항 내지 제 13 항, 제 15 항, 제 16 항 및 제 18 항 내지 제 21 항 중 어느 한 항에 기재된 동분을 사용한 도전성 동분 페이스트. A conductive fountain paste using the copper foil according to any one of claims 1, 5 to 13, 15, 16 and 18 to 21. 제 23 항에 기재된 도전성 동분 페이스트가 도포되어 가열 소성되어 이루어지는 전극으로서,
전극 단면에 최대 직경 0.5 ㎛ 이상의 SiO2, TiO2 또는 Al2O3 이 0.5 개/㎛2 이하로 존재하고 있는 전극.
An electrode comprising the conductive copper paste as set forth in claim 23 coated thereon and fired by heating,
Wherein at least one of SiO 2 , TiO 2, and Al 2 O 3 having a maximum diameter of 0.5 탆 or more is present at 0.5 or less / 2 탆 on the electrode surface.
제 23 항에 기재된 페이스트를 사용하여 제조된 칩 적층 세라믹 콘덴서. A chip-laminated ceramic capacitor produced by using the paste according to claim 23. 제 25 항에 있어서,
내부 전극 단면에 직경이 10 ㎚ 이상의 SiO2, TiO2 또는 Al2O3 이 존재하고 있는 칩 적층 세라믹 콘덴서.
26. The method of claim 25,
In which SiO 2 , TiO 2, or Al 2 O 3 having a diameter of 10 nm or more exists in the end face of the internal electrode.
제 25 항에 있어서,
내부 전극 단면에 최대 직경 0.5 ㎛ 이상의 SiO2, TiO2 또는 Al2O3 이 0.5 개/㎛2 이하로 존재하고 있는 칩 적층 세라믹 콘덴서.
26. The method of claim 25,
Chip, a multilayer ceramic capacitor that is a maximum diameter of 0.5 ㎛ or more SiO 2, TiO 2 or Al 2 O 3 exists in 2 or less 0.5 number / ㎛ in the electrode cross-section.
제 25 항에 기재된 칩 적층 세라믹 콘덴서를 최외층에 실장한 다층 기판. A multilayer substrate comprising the chip multilayer ceramic capacitor according to claim 25 mounted on an outermost layer. 제 25 항에 기재된 칩 적층 세라믹 콘덴서를 내층에 실장한 다층 기판. A multilayer substrate comprising the chip multilayer ceramic capacitor according to claim 25 mounted on an inner layer. 제 28 항에 기재된 다층 기판을 탑재한 전자 부품. 29. An electronic device on which the multi-layer substrate according to claim 28 is mounted. 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 제 29 항에 기재된 다층 기판을 탑재한 전자 부품. 29. An electronic component mounted with the multi-layer substrate according to claim 29.
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