KR101787479B1 - 전기방사 방식 패턴 형성 장치 - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 19
- 238000001523 electrospinning Methods 0.000 title abstract description 33
- 239000002121 nanofiber Substances 0.000 claims abstract description 140
- 230000005684 electric field Effects 0.000 claims abstract description 63
- 238000009987 spinning Methods 0.000 claims abstract description 23
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 10
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 22
- 229920006328 Styrofoam Polymers 0.000 claims description 3
- 239000004809 Teflon Substances 0.000 claims description 3
- 229920006362 Teflon® Polymers 0.000 claims description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 3
- 239000004033 plastic Substances 0.000 claims description 3
- 239000005060 rubber Substances 0.000 claims description 3
- 239000008261 styrofoam Substances 0.000 claims description 3
- 239000002023 wood Substances 0.000 claims description 3
- 238000000059 patterning Methods 0.000 abstract description 5
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 10
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 7
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 7
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 7
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 3
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 3
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 2
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000014509 gene expression Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 2
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 2
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 229910003471 inorganic composite material Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 description 1
- 231100001231 less toxic Toxicity 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000005191 phase separation Methods 0.000 description 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000001338 self-assembly Methods 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005287 template synthesis Methods 0.000 description 1
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- D01—NATURAL OR MAN-MADE THREADS OR FIBRES; SPINNING
- D01D—MECHANICAL METHODS OR APPARATUS IN THE MANUFACTURE OF ARTIFICIAL FILAMENTS, THREADS, FIBRES, BRISTLES OR RIBBONS
- D01D5/00—Formation of filaments, threads, or the like
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- D01D5/0061—Electro-spinning characterised by the electro-spinning apparatus
- D01D5/0069—Electro-spinning characterised by the electro-spinning apparatus characterised by the spinning section, e.g. capillary tube, protrusion or pin
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- D01—NATURAL OR MAN-MADE THREADS OR FIBRES; SPINNING
- D01D—MECHANICAL METHODS OR APPARATUS IN THE MANUFACTURE OF ARTIFICIAL FILAMENTS, THREADS, FIBRES, BRISTLES OR RIBBONS
- D01D5/00—Formation of filaments, threads, or the like
- D01D5/0007—Electro-spinning
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- D01—NATURAL OR MAN-MADE THREADS OR FIBRES; SPINNING
- D01D—MECHANICAL METHODS OR APPARATUS IN THE MANUFACTURE OF ARTIFICIAL FILAMENTS, THREADS, FIBRES, BRISTLES OR RIBBONS
- D01D5/00—Formation of filaments, threads, or the like
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- D—TEXTILES; PAPER
- D04—BRAIDING; LACE-MAKING; KNITTING; TRIMMINGS; NON-WOVEN FABRICS
- D04H—MAKING TEXTILE FABRICS, e.g. FROM FIBRES OR FILAMENTARY MATERIAL; FABRICS MADE BY SUCH PROCESSES OR APPARATUS, e.g. FELTS, NON-WOVEN FABRICS; COTTON-WOOL; WADDING ; NON-WOVEN FABRICS FROM STAPLE FIBRES, FILAMENTS OR YARNS, BONDED WITH AT LEAST ONE WEB-LIKE MATERIAL DURING THEIR CONSOLIDATION
- D04H1/00—Non-woven fabrics formed wholly or mainly of staple fibres or like relatively short fibres
- D04H1/70—Non-woven fabrics formed wholly or mainly of staple fibres or like relatively short fibres characterised by the method of forming fleeces or layers, e.g. reorientation of fibres
- D04H1/72—Non-woven fabrics formed wholly or mainly of staple fibres or like relatively short fibres characterised by the method of forming fleeces or layers, e.g. reorientation of fibres the fibres being randomly arranged
- D04H1/728—Non-woven fabrics formed wholly or mainly of staple fibres or like relatively short fibres characterised by the method of forming fleeces or layers, e.g. reorientation of fibres the fibres being randomly arranged by electro-spinning
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- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
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- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02518—Deposited layers
- H01L21/02587—Structure
- H01L21/0259—Microstructure
- H01L21/02603—Nanowires
-
- H01L29/0669—
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- Spinning Methods And Devices For Manufacturing Artificial Fibers (AREA)
- Nonwoven Fabrics (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
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Abstract
Description
도 2는 제1 및 제2 나노섬유 가이드부를 포함하지 않는 제1 전기방사 방식 패턴 형성 장치(좌측) 및 제1 나노섬유 가이드부와 제2 나노섬유 가이드부 중 제1 나노섬유 가이드부만을 포함하는 제2 전기방사 방식 패턴 형성 장치(우측)에 있어서 Y축 위치에 따른 전기장의 Z축 성분 세기를 측정한 사진들이다.
도 3은 도 2의 제1 전기방사 방식 패턴 형성 장치에 있어서, Y축 위치에 따른 전기장의 Z축 성분의 Z축 위치별 세기를 나타내는 그래프이다.
도 4은 도 2의 제2 전기방식 방식 패턴 형성 장치에 있어서, Y축 위치에 따른 전기장의 Z축 성분의 Z축 위치별 세기를 나타내는 그래프이다.
도 5는 도 2의 제1 및 제2 전기방사 방식 패턴 형성 장치에 있어서, X축 좌표가 '0'이고, Z축 좌표가 '30'인 지점에서의 Y축 위치에 따른 전기장의 Z축 성분 세기를 나타낸 그래프이다.
도 6a 및 도 6b는 제1 나노섬유 가이드부와 제2 나노섬유 가이드부를 모두 포함하는 제3 전기방사 방식 패턴 형성 장치에 있어서, X축 위치에 따른 Z축 성분 전기장의 세기를 시뮬레이션한 결과를 나타내는 사진 및 그래프이다.
도 7a 및 도 7b는 제1 나노섬유 가이드부와 제2 나노섬유 가이드부 중 제1 나노섬유 가이드부만을 구비하는 제2 전기방사 방식 패턴 형성 장치에 있어서, X축 위치에 따른 Z축 성분 전기장의 세기를 시뮬레이션한 결과를 나타내는 사진 및 그래프이다.
도 8은 제1 나노섬유 가이드부의 상부면과 제2 나노섬유 가이드부의 하부면 사이의 수직 방향 이격 간격이 30mm, 20mm, 10mm 및 0mm인 경우에, X축 좌표 및 Y축 좌표가 '0'인 지점에서 Z축 방향으로의 거리(Z축 좌표)에 따른 전기장의 세기를 나타내는 그래프이다.
도 9a는 제3 가이드체와 제4 가이드체 사이의 수평 방향 이격 간격을 변화시키는 경우, X축 좌표 및 Y축 좌표가'0'인 지점에서 Z축 방향으로의 거리(Z축 좌표)에 따른 Z축 성분 전기장 세기를 나타내는 그래프이고, 도 9b는 제3 가이드체와 제4 가이드체 사이의 수평 방향 이격 간격이 30mm, 50mm, 70mm 및 90mm인 경우에, X축 위치에 따른 Z축 성분 전기장의 Z축 위치별 세기를 각각 나타내는 그래프들이다.
111: 시린지 112: 노즐
120: 스테이지부 130: 제1 나노섬유 가이드부
131: 제1 가이드체 132: 제2 가이드체
140: 제2 나노섬유 가이드부 141: 제3 가이드체
142: 제4 가이드체
Claims (8)
- 제1 전압이 인가되고, 방사용액으로부터 나노섬유를 방사하는 노즐;
상기 노즐 하부에 배치되어 패턴이 형성될 기판을 지지하고 상기 제1 전압과 다른 제2 전압이 인가되는 스테이지부;
상기 노즐과 상기 스테이지부 사이에서 상기 노즐의 연장선을 사이에 두고 서로 이격되게 배치된 제1 가이드체 및 제2 가이드체를 포함하고, 상기 노즐과 상기 스테이지부 사이에 형성된 전기장을 변형하여 상기 나노섬유를 상기 제1 및 제2 가이드체 사이의 영역에 대응하는 방향으로 배열시키는 제1 나노섬유 가이드부; 및
상기 제1 가이드체 및 상기 제2 가이드체 상부에 각각 배치되고 서로 이격된 제3 가이드체 및 제4 가이드체를 포함하고, 상기 노즐과 상기 스테이지부 사이에 형성된 전기장을 변형하여 상기 나노섬유를 상기 제1 및 제2 가이드체 사이의 영역으로 가이드하는 제2 나노섬유 가이드부를 포함하고,
상기 제1 및 제2 가이드체와 상기 제3 및 제4 가이드체 각각은 상기 스테이지에 평행한 제1 방향으로 연장되어, 상기 제1 및 제2 가이드체 사이의 공간 및 상기 제3 및 제4 가이드체 사이의 공간은 상기 제1 방향에 따른 양쪽 단부에서 각각 개방되며,
상기 제1 및 제2 가이드체와 상기 제3 및 제4 가이드체 각각은 스티로폼 재료, 테프론 재료, 나무 재료, 플라스틱 재료, 고무 재료, 유리 재료, 석영 재료 및 실리콘산화물 재료로 이루어진 그룹에서 선택된 하나 이상의 재료로 형성된 것을 특징으로 하는 전기방사 방식 패턴 형성 장치. - 제1항에 있어서,
상기 제1 및 제2 가이드체는 상기 노즐로부터 상기 스테이지부에 수직한 방향으로 연장된 가상의 연장선을 사이에 두고 서로 이격되게 배치되고,
상기 제3 및 제4 가이드체는 상기 가상의 연장선을 사이에 두고 각각 서로 이격되게 배치되고 상기 제1 방향으로 연장된 것을 특징으로 하는 전기방사 방식 패턴 형성 장치. - 삭제
- 제2항에 있어서,
상기 제3 및 제4 가이드체의 하부면은 상기 노즐의 단부보다 하부에 위치하는 것을 특징으로 하는 전기방사 방식 패턴 형성 장치. - 제2항에 있어서,
상기 제1 및 제2 가이드체의 상부면과 상기 제3 및 제4 가이드체의 하부면은 서로 접촉하거나 30 mm 이하의 간격으로 이격된 것을 특징으로 하는 전기방사 방식 패턴 형성 장치. - 제2항에 있어서,
상기 제1 가이드체와 상기 제2 가이드체 사이의 제1 이격간격은 상기 제3 가이드체와 상기 제4 가이드체 사이의 제2 이격간격과 동일하거나 이보다 작은 것을 특징으로 하는 전기방사 방식 패턴 형성 장치. - 제6항에 있어서,
상기 제2 이격간격은 상기 제1 이격간격의 4/3 내지 8/3배인 것을 특징으로 하는 전기방사 방식 패턴 형성 장치. - 제1항에 있어서,
상기 제1 나노섬유 가이드부를 상하좌우 방향으로 이동시킬 수 있는 제1 위치 조정부; 및
상기 제1 나노섬유 가이드부와 독립적으로 제2 나노섬유 가이드부를 상하좌우 방향으로 이동시킬 수 있는 제2 위치 조정부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전기방사 방식 패턴 형성 장치.
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020150169649A KR101787479B1 (ko) | 2015-12-01 | 2015-12-01 | 전기방사 방식 패턴 형성 장치 |
PCT/KR2016/013855 WO2017095105A1 (ko) | 2015-12-01 | 2016-11-29 | 전기방사 방식 패턴 형성 장치 |
JP2018526742A JP2018536777A (ja) | 2015-12-01 | 2016-11-29 | エレクトロスピニング方式パターン形成装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020150169649A KR101787479B1 (ko) | 2015-12-01 | 2015-12-01 | 전기방사 방식 패턴 형성 장치 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20170064201A KR20170064201A (ko) | 2017-06-09 |
KR101787479B1 true KR101787479B1 (ko) | 2017-10-18 |
Family
ID=58797216
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020150169649A KR101787479B1 (ko) | 2015-12-01 | 2015-12-01 | 전기방사 방식 패턴 형성 장치 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2018536777A (ko) |
KR (1) | KR101787479B1 (ko) |
WO (1) | WO2017095105A1 (ko) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102052640B1 (ko) | 2018-08-10 | 2019-12-05 | 영남대학교 산학협력단 | 전기방사 섬유 수집 장치 및 이를 포함하는 전기방사 장치 |
KR20210122566A (ko) | 2020-04-01 | 2021-10-12 | 주식회사 네패스 | 전기방사 장치 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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---|---|---|---|---|
KR101060918B1 (ko) | 2008-07-25 | 2011-08-30 | 주식회사 효성 | 전기방사용 다중 노즐 방사 팩 및 이를 포함하는 전기방사장치 |
KR101506403B1 (ko) * | 2013-12-18 | 2015-03-26 | 황원태 | 전기방사 방식 패턴 형성 장치 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4922144B2 (ja) * | 2007-12-14 | 2012-04-25 | パナソニック株式会社 | ナノファイバーの合糸方法及び装置 |
KR101015106B1 (ko) * | 2008-06-26 | 2011-02-16 | 동양나노테크 주식회사 | 은나노입자의 제조방법과 이에 의해 제조된 은나노입자가도입된 세제용 첨가제 |
KR101060866B1 (ko) * | 2008-07-25 | 2011-08-31 | 주식회사 효성 | 전기방사용 방사 팩 및 이를 이용하는 전기방사장치 |
KR101390532B1 (ko) * | 2012-08-23 | 2014-04-30 | 성균관대학교산학협력단 | 패턴 형성 장치 |
WO2015093730A1 (ko) * | 2013-12-18 | 2015-06-25 | 주식회사 에이앤에프 | 전기방사 방식 패턴 형성 장치 |
KR101479194B1 (ko) * | 2014-06-30 | 2015-01-06 | 경북대학교 산학협력단 | 전기방사장치 및 이를 이용한 나노섬유매트의 제조 방법 |
-
2015
- 2015-12-01 KR KR1020150169649A patent/KR101787479B1/ko active IP Right Grant
-
2016
- 2016-11-29 WO PCT/KR2016/013855 patent/WO2017095105A1/ko active Application Filing
- 2016-11-29 JP JP2018526742A patent/JP2018536777A/ja active Pending
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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KR101060918B1 (ko) | 2008-07-25 | 2011-08-30 | 주식회사 효성 | 전기방사용 다중 노즐 방사 팩 및 이를 포함하는 전기방사장치 |
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KR20210122566A (ko) | 2020-04-01 | 2021-10-12 | 주식회사 네패스 | 전기방사 장치 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20170064201A (ko) | 2017-06-09 |
JP2018536777A (ja) | 2018-12-13 |
WO2017095105A1 (ko) | 2017-06-08 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
PA0109 | Patent application |
Patent event code: PA01091R01D Comment text: Patent Application Patent event date: 20151201 |
|
PA0201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
PE0902 | Notice of grounds for rejection |
Comment text: Notification of reason for refusal Patent event date: 20170228 Patent event code: PE09021S01D |
|
PG1501 | Laying open of application | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
PE0701 | Decision of registration |
Patent event code: PE07011S01D Comment text: Decision to Grant Registration Patent event date: 20170927 |
|
GRNT | Written decision to grant | ||
PR0701 | Registration of establishment |
Comment text: Registration of Establishment Patent event date: 20171012 Patent event code: PR07011E01D |
|
PR1002 | Payment of registration fee |
Payment date: 20171012 End annual number: 3 Start annual number: 1 |
|
PG1601 | Publication of registration | ||
PR1001 | Payment of annual fee |
Payment date: 20201019 Start annual number: 4 End annual number: 4 |
|
PR1001 | Payment of annual fee |
Payment date: 20211012 Start annual number: 5 End annual number: 5 |
|
PR1001 | Payment of annual fee |
Payment date: 20221012 Start annual number: 6 End annual number: 6 |
|
PR1001 | Payment of annual fee |
Payment date: 20231012 Start annual number: 7 End annual number: 7 |
|
PR1001 | Payment of annual fee |
Payment date: 20241014 Start annual number: 8 End annual number: 8 |