KR101784102B1 - Dmd를 이용한 노광시스템 - Google Patents

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하석재
조용규
김기범
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인하대학교 산학협력단
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Abstract

본 발명에 따른 DMD를 이용한 노광시스템은 레이져 빔을 방사하는 광원; 적어도 하나 이상의 열과 행으로 정렬되어 설계된 패턴이미지에 대응하도록 전자 신호를 송신받아 온오프(On-off)하는 복수의 마이크로 미러를 구비하고, 상기 방사된 레이져 빔의 경로에 배치되어 상기 레이져 빔을 일 방향으로 반사시키는 DMD(Digital Micro-mirror Device); 상기 DMD로부터 반사되는 레이져빔의 경로에 배치되어, 상기 반사되는 레이져 빔을 재반사하여 상기 레이져 빔을 노광대상물 상에 조사하는 폴리곤미러; 및 상기 레이져 빔이 노광대상물 상에 조사되는 동안, 상기 노광대상물을 일 방향으로 이송하는 이송수단을 포함한다. 이러한 본 발명에 따른 DMD를 이용한 노광시스템에 의하면 DMD로부터 반사되는 레이져 빔을 폴리곤 미러를 이용하여 확산함으로써 대면적의 영역을 고속으로 전사·노광 가능하며, 마이크로 미러 사이 공간으로 인한 노광패턴의 의도하지 않은 공백을 방지함으로써 상기 노광 패턴의 형상정밀도를 향상시킬 수 있다.

Description

DMD를 이용한 노광시스템{System for exposure using DMD}
본 발명은 노광시스템에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 DMD(Digital Micro-mirror Device)를 이용하여 노광대상물 상에 패턴이미지를 형성하는 DMD를 이용한 노광시스템에 관한 것이다.
일반적으로 노광 장치란, 감광 재료가 도포된 기판 등의 피 노광체 표면에 빔을 조사하여, 피 노광체의 표면에 패턴을 형성하는 장치로서, LCD(Lliquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel), PCB(Printed Circuit Board), OLED(Organic Light Emitting Diode) 등의 제조분야에서 사용되고 있다.
최근에는, 마스크를 이용한 노광 장치의 단점인 마스크 비용 및 기판 대형화에 따른 기판의 처짐 등의 문제 등을 해결하기 위해, 디지털 마이크로 미러 장치(DMD;Digital Micro-mirror Device)와 같은 공간 광변조기(Spatial Light Modulator)를 이용한 마스크리스(Maskless) 노광 장치가 개발되어 사용되고 있다.
위와 같은 디지털 마이크로 미러 장치는 반사형 소자 수십만 개를 하나의 칩에 집적한 장치를 이용해 빛을 선택적으로 반사함으로써 고휘도, 고해상도의 노광 이 가능하다.
상기와 같은 디지털 마이크로 미러 장치에 관련된 기술로서 대한민국 공개특허 제1997-0015039호가 개시되어 있다. 여기에서는 백색광을 분광하는 분광 수단과, 피사체의 광학상의 스펙트럼의 화상 데이터를 취득하는 취득 수단과, 상기 분광된 백색광의 스펙트럼으로부터, 상기 화상 데이터에 의거하는 스펙트럼을 화소 단위로 추출하는 마이크로 미러(micromirror)를 포함하는 추출 수단과, 상기 추출된 상기 스펙트럼을 합성하는 합성 수단과, 상기 합성 수단에 의해 스펙트럼이 합성된 광을 투영하는 투영 수단과, 상기 투영 수단에 의한 투영 위치를 조정하는 갈바노미러 또는 폴리곤미러를 포함하는 조정수단 을 구비하는 화상표시장치를 제공하고 있다.
그러나 상기와 같은 화상표시장치는, 상기 디지털 마이크로 미러(Digital Micro-mirror)로부터 주사되는 빔(백색광)이 상기 갈바노미러 또는 폴리곤 미러에 의하여 변조되는 과정에서, 상기 변조된 빔(백색광) 상에 디지털 마이크로 미러 사이의 간격으로 인한 줄무늬 형상의 공백이 형성된다.
이러한 경우 상기와 같은 공백에 의하여 노광 대상물 상에 의도하지 않은 패턴이 형성되어 노광의 정확도가 떨어지며 최종 제품의 성능 및 품질이 저하되는 문제가 발생한다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 창출된 것으로서, 노광 패턴의 형상 정밀도를 향상시킨 DMD를 이용한 노광시스템을 제공하는 것에 그 목적이 있다.
본 발명에 따른 DMD를 이용한 노광시스템은 레이져 빔을 방사하는 광원; 적어도 하나 이상의 열과 행으로 정렬되어 설계된 패턴이미지에 대응하도록 전자 신호를 송신받아 온오프(On-off)하는 복수의 마이크로 미러를 구비하고, 상기 방사된 레이져 빔의 경로에 배치되어 상기 레이져 빔을 일 방향으로 반사시키는 DMD(Digital Micro-mirror Device); 상기 DMD로부터 반사되는 레이져빔의 경로에 배치되어, 상기 반사되는 레이져 빔을 재반사하여 상기 레이져 빔을 노광대상물 상에 조사하는 폴리곤미러; 및 상기 레이져 빔이 노광대상물 상에 조사되는 동안, 상기 노광대상물을 일 방향으로 이송하는 이송수단을 포함한다.
또한 상기 DMD를 이용한 노광시스템은, 상기 DMD에 전기적 신호를 인가하여 상기 복수의 마이크로 미러의 온/오프를 제어하는 DMD제어부를 더 포함할 수 있다. 여기서 상기 DMD제어부는, 상기 마이크로 미러로부터 반사된 복수의 레이져 빔이 상기 노광대상물 상에 상호 중첩되도록 상기 복수의 마이크로 미러를 제어하는 것이 바람직하다.
또한 상기 DMD제어부의 작동 방법은, 상기 DMD제어부의 작동 방법은, (a) 설계된 패턴이미지의 픽셀 당 행렬을 부가하여 상기 패턴이미지를 행렬 코드로 변환하는 단계; (b) 설계된 패턴이미지에 대응하도록 마이크로 미러의 온-오프(On-off) 신호를 조절하여 노광대상물 상에 기본 노광패턴을 형성하는 단계; (c) 이송수단을 이용하여 상기 기본 노광패턴이 형성된 노광대상물을 일 방향으로 이송하는 단계; (d) 상기 패턴이미지 중 임의의 (n, i) 값의 패턴이미지를 노광패턴 또는 비(非) 노광패턴으로 판별하는 단계; (e) 상기 (n, i) 값의 패턴이미지가 노광패턴인 경우, 상기 (n+1, i-1), (n+1, i) 또는 (n+1, i+1) 값의 패턴이미지를 노광패턴 또는 비 노광패턴으로 판별하는 단계; (f) 상기 (n+1, i-1), (n+1, i) 또는 (n+1, i+1) 값의 패턴이미지가 노광패턴인 경우, 상기 (n, i) 값의 패턴이미지와 상기 (n+1, i-1), (n+1, i) 또는 (n+1, i+1)값의 패턴이미지의 사이에 중첩되는 노광패턴이 형성되도록 상기 마이크로 미러의 온-오프(On-off) 신호를 조절하는 단계; (g) n+2 행의 패턴이미지 존재 유무를 판별하는 단계; (h) n+2 행 상에 패턴이미지가 존재하는 경우, 상기 패턴이미지에 대하여 상기 (d)단계부터 반복 수행하는 단계를 포함할 수 있다.
또한 상기 DMD를 이용한 노광시스템은 상기 폴리곤 미러와 노광대상물 사이에 개재되어 상기 폴리곤 미러로부터 반사된 레이져 빔을 상기 노광대상물 상에 집광시키는 집광수단을 더 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 DMD를 이용한 노광시스템에 의하면, 다음과 같은 효과를 얻을 수 있다.
첫째, DMD로부터 반사되는 레이져 빔을 폴리곤 미러를 이용하여 확산함으로써 대면적의 영역을 고속으로 전사·노광 가능하다.
둘째, 마이크로 미러 사이 공간으로 인한 노광패턴의 의도하지 않은 공백을 방지함으로써 상기 노광 패턴의 형상정밀도를 향상시킬 수 있으며, 최종 제품의 불량률을 줄일 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 DMD를 이용한 노광시스템의 사시도,
도 2는 도 1에서 나타낸 DMD를 이용한 노광시스템에 의하여 레이져 빔이 주사되는 상태를 개략적으로 도시한 개략도,
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 DMD를 이용한 노광시스템에 구비되는 DMD제어부의 연결 구조를 도시한 블록구성도,
도 4는 도 3에서 나타낸 DMD 제어부의 작동 방법을 설명하기 위한 순서도,
도 5a는 도 3 및 도 4에서 나타낸 DMD 제어부에 의하여 제어되어 패턴이미지에 대응하는 노광패턴을 형성하기 위한 DMD의 작동 상태를 나타낸 도면,
도 5b는 도 5a에 나타낸 일 행의 노광패턴을 형성하기 위한 마이크로 미러의 작동 상태와, 상기 일 행에 대하여 중첩되는 노광패턴를 형성하기 위한 마이크로 미러의 작동 상태를 비교한 참고도,
도 5c는 도 5a와 같이 DMD를 작동하였을 때 노광대상물 상에 형성되는 노광 패턴을 도시한 도면이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다. 이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니 되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여, 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.
따라서 본 명세서에 기재된 실시 예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 실시예에 불과할 뿐이고, 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들은 대체할 수 있는 균등한 변형 예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.
이하, 본 발명의 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 DMD를 이용한 노광시스템의 사시도이고, 도 2는 도 1에서 나타낸 DMD를 이용한 노광시스템에 의하여 레이져 빔이 주사되는 상태를 개략적으로 도시한 개략도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면 본 발명의 일 실시예에 따른 DMD를 이용한 노광시스템(이하, “노광시스템”이라 함)은 DMD(Digital Micro-mirror Device)를 이용하여 감광재료가 도포된 노광대상물 상에 패턴이미지를 형성하기 위한 장치이다. 이를 위해 상기 노광시스템은 광원(100), DMD(200), 폴리곤 미러(300), 이송수단(400), DMD 제어부(500) 및 집광수단(600)을 구비한다.
상기 광원(100)은 상기 레이져 빔(B)을 방사한다. 이때 상기 레이져 빔(B)은 연속적으로 주사되는 직선형의 광선인 것이 바람직하다.
상기 DMD(200)는 상기 방사된 레이져 빔(B)의 경로 상에 배치되어 상기 광원(100)으로부터 방사된 레이져 빔(B)의 경로를 바꾸어 다른 일 방향을 향하여 반사시킨다. 이때 상기 DMD(200)는 적어도 하나 이상의 열과 행으로 정렬되는 마이크로 미러(210)를 구비한다. 이때 DMD(200)는 도 2에서 도시한 바와 같이, 일직선으로 정렬된 마이크로 미러(210)를 구비할 수 있다.
한편 도면에서는 도시하지 아니하였지만, 상기 DMD(210)는 복수의 열과 행을 이루도록 정렬된 어레이(Array)형식의 마이크로 미러(310)를 구비하는 것도 가능하다. 이때 DMD(210)는 상기와 같이 어레이(Array)형식의 마이크로 미러(310)를 구비함으로써 한번에 보다 넓은 면적을 노광시킬 수 있다.
이때 상기 마이크로 미러(210)는 전자 신호에 따라 온오프(On-off)되고, 상기 전자 신호는 후술(後述)할 DMD제어부(500)로부터 수신된다. 또한 상기 전자 신호는 기 설계된 패턴이미지에 기반한다.
상기 폴리곤 미러(300)는 상기 DMD(200)로부터 반사되는 레이져 빔(B)의 경로 상에 배치되어 상기 레이져 빔(B)을 편향하여 반사시킨다. 여기서 상기 폴리곤 미러(300)는 외주에 복수의 반사면을 형성하며, 회전축(310)을 중심으로 회전 가능하도록 설치된다. 이때 상기 회전축(310)은 수직 방향으로 배치되고 상기 폴리곤 미러(300)는 상기 회전축(310)을 중심으로 수평 회전하는 것이 바람직하다.
여기서 상기 폴리곤 미러(300)는 도 2와 같이 상기 DMD(200)로부터 반사된 레이져 빔의 단면 형상을 선형으로 확대한다. 도 2를 참조하여 보다 상세하게 설명하면, 상기 폴리곤 미러(300)는 상기 DMD(200)로부터 단면이 점(Dot)형상인 레이져 빔(B)이 입사된다. 이때 상기 폴리곤 미러(300)에 입사된 레이져 빔(B)은 편향 반사되어 수평 방향으로 확산된다. 이처럼 상기 폴리곤 미러(300)를 이용하여 상기 DMD(200)로부터 반사되는 빔의 단면 형상을 넓힘으로써, 보다 대면적의 영역을 고속으로 노광할 수 있다.
상기 이송수단(400)은 상기 폴리곤 미러(300)로부터 반사된 레이져 빔(B)이 상기 노광대상물 상에 주사되는 동안, 상기 노광대상물을 일 방향으로 이송한다. 이때 상기 이송수단(400)은 상기 노광대상물을 상기 레이져 빔(B)이 확산되는 방향에 직교하는 방향으로 이송하는 것이 바람직하다. 즉, 상술한 바에 의하면 상기 레이져 빔(B)은 폴리곤 미러(300)에 의하여 수평 방향으로 확산되므로, 상기 노광대상물은 상하 방향으로 이송되는 것이 바람직하다. 이때 상기 이송수단(400)은 슬라이딩 가능하도록 설치되어 상면에 노광 대상물이 적재될 수 있다. 한편 서로 이격된 롤러가 서로 언와인더(Un-winder)와 리와인더(Re-winder)를 수행하면서 상기 노광 대상물을 이송시키는 것도 가능하며, 이에 한정하는 것은 아니다.
여기서 본 발명의 일 실시예에 따른 노광시스템은 마이크로 미러(210)로부터 반사되는 레이져 빔(B)을 중첩하여 주사하기 위하여 DMD제어부(500)를 구비할 수 있다.
여기서 상기 DMD제어부(500)는 상술한 바와 같이 상기 마이크로 미러(210)를 온/오프(On-off)하는 전기 신호를 전달하는 것으로서, 보다 상세하게는 상기 DMD(200)를 제어하여 설계된 패턴이미지의 행과 행 사이에 중첩되는 패턴을 형성한다.
이하에서는 도 3 내지 5c를 참조하여 본 발명의 DMD 제어부(500)의 작동 방법을 설명하도록 한다.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 DMD(200)를 이용한 노광시스템에 구비되는 DMD 제어부(500)의 연결 구조를 도시한 블록구성도이고, 도 4는 도 3에서 나타낸 DMD 제어부(500)의 작동 방법을 설명하기 위한 순서도이며, 도 5a는 도 3 및 도 4에서 나타낸 DMD 제어부(500)에 의하여 제어되어 패턴이미지에 대응하는 노광패턴을 형성하기 위한 DMD(200)의 작동 상태를 나타낸 도면이고, 도 5b는 도 5a에 나타낸 일 행의 기본 노광패턴을 형성하기 위한 마이크로 미러의 작동 상태와, 상기 일 행에 대하여 중첩되는 노광패턴를 형성하기 위한 마이크로 미러의 작동 상태를 비교한 참고도이며, 도 5c는 도 5a와 같이 DMD를 작동하였을 때 노광대상물 상에 형성되는 노광 패턴을 도시한 도면이다.
여기서 상기 DMD 제어부(500)는 외부의 패턴설계부(50)로부터 설계된 패턴이미지에 관한 정보를 전달받는다. 이때 상기 패턴이미지는, 해당 영역에 대하여 마이크로 미러가 온(On)됨으로써 레이져 빔(B)이 주사되어 노광이 수행되는 노광패턴과, 해당 영역에 대하여 마이크로 미러가 오프(Off)되어 노광이 수행되지 않는 비노광패턴으로 구성된다.
도 4를 참조하면, 먼저, 상기 DMD 제어부(500)는 상기 패턴이미지를 행렬 코드로 변환한다(S410). 이때 상기 DMD 제어부(500)는 상기 패턴이미지의 픽셀 당 하나의 행렬 값을 할당한다.
그리고 상기 DMD 제어부(500)는 노광대상물 상에 패턴이미지를 전사하기 위하여 설계된 패턴이미지에 대응하도록 상기 마이크로 미러(210)의 온-오프(On-Off)를 조절하여 상기 노광대상물 상에 노광 패턴을 형성한다(S420). 이때 상기 노광대상물 상에는 도 5b와 같은 기본 노광패턴이 형성된다. 이처럼 형성된 기본 노광패턴은 상기 마이크로 미러(210) 사이의 간격으로 인하여 상기 행과 행 사이에 줄무늬 형상의 공백이 형성된다.
그리고 상기 DMD 제어부(500)는 상기 노광대상물을 이송한다(S430). 이때 DMD 제어부(500)는 상기 이송수단(400)을 이용하여 상기 노광대상물을 상기 패턴이미지의 열 방향으로 이송하는 것이 바람직하다.
그리고 상기 DMD 제어부(500)는 상기 패턴이미지의 행렬 값 중 (n, i) 값에 해당하는 패턴이미지를 노광패턴 또는 비 노광패턴으로 판별한다(S440). 이때 상기 (n, i)값은 임의의 값을 나타낸다. 여기서 상기 노광패턴은 상기 S420단계에서 마이크로 미러의 온(On)에 의하여 노광대상물 상에 형성된 기본 노광패턴을 의미한다.
그리고 상기 DMD 제어부(500)는 상기 (n, i) 값의 패턴이미지가 노광 패턴인 경우, 그 아래 행인 (n+1, i-1), (n+1, i) 및 (n+1, i+1) 값의 패턴이미지를 노광패턴 또는 비 노광패턴으로 판별한다(S440). 여기서 상기 (n+1, i-1), (n+1, i) 및 (n+1, i+1) 값의 패턴이미지는 개별적으로 판독될 수 있다.
이때 상기 (n+1, i-1), (n+1, i) 및 (n+1, i+1) 값의 패턴이미지 중 선택된 어느 하나가 노광패턴인 경우, (n, i) 값의 패턴이미지와 상기 (n+1, i-1), (n+1, I) 및 (n+1, i+1)값의 패턴이미지 중 어느 하나의 패턴이미지 사이에 중첩되는 노광패턴이 형성되도록 상기 마이크로 미러(210)의 온-오프(On-Off)를 조절한다. 이때 상기 S430단계에서 노광대상물이 열 방향으로 이송시킴 따라, 상기 마이크로 미러(210)으로부터 주사되는 레이져 빔(B)은 상기 패턴이미지의 n행과 n+1행의 사이에 위치한다.
도 5b와 같이 (n+1, i+1) 값의 패턴이미지 값이 노광패턴인 경우, 상기 제어부(500)는, 상기 n행과 n+1행의 사이에 레이져 빔(B)을 주사하되, 상기 마이크로 미러(210)의 온(On) 신호를 S420단계보다 다소 지연하여 인가함으로써 상기 레이져 빔(B)이 i열과 i+1열 사이에 중첩되도록 주사한다.
한편 도면에는 도시하지 아니하였지만 (n+1, i-1) 값의 패턴이미지 값이 노광패턴인 경우, 상기 제어부(500)는 상기 n행과 n+1행의 사이에 레이져 빔(B)을 주사하되 상기 마이크로 미러(210)의 온(On) 신호를 S420단계보다 다소 선행하여 인가함으로써 상기 레이져 빔(B)이 i열과 i-1열 사이에 중첩되도록 주사한다.
또한 (n+1, i)값의 패턴이미지 값이 노광패턴인 경우, 상기 제어부(500)는 상기 n행과 n+1행의 사이에 레이져 빔(B)을 주사하되 상기 마이크로 미러(210)의 온(On) 신호를 S420단계와 동일하도록 인가한다.
그리고 상기 DMD 제어부(500)는 n+2 행 패턴이미지의 존재 여부를 판별한다(S460). 이때 n+2 상에 패턴이미지가 존재하는 경우 상기 패턴이미지에 대하여 S430 단계부터 반복 수행한다. 이때 n+2 행의 패턴이미지가 존재하지 않거나 모두 비 노광패턴으로 판별되면, 상기 DMD제어부(500)는 마이크로 미러(210)의 제어를 완료한다.
최종적으로 노광대상물에 형성된 노광패턴은, 도 5c와 같이, S420 단계에서 형성된 기본 노광패턴에 S460단계에서 형성되는 중첩 노광패턴이 상호 중첩되도록 구성된다.
이러한 본 발명에 따른 노광시스템은 정렬된 마이크로 미러(210) 사이 공간으로 인한 노광패턴의 의도하지 않은 공백을 방지함으로써 패턴이미지의 형상정밀도를 향상시킬 수 있으며, 최종 제품의 불량률을 줄일 수 있다.
또한 상기 집광수단(600)는 상기 폴리곤미러(300)로부터 반사된 레이져 빔(B)(B)을 상기 노광대상물 상에 집광하는 역할을 수행한다. 이때 상기 집광수단(600)은 집광렌즈(610)와 집광거울(620)을 구비할 수 있다. 상기 집광렌즈(610)는 상기 폴리곤미러(300)로부터 반사되어, 산란하여 진행하는 레이져 빔(B)을 직진하도록 변경한다. 또한 상기 집광거울(620)은 상기 집광렌즈(610)와 노광대상물 사이에 개재되어 상기 집광렌즈(610)를 통과하는 레이져 빔(B)을 상기 노광대상물을 향하도록 반사하여, 상기 레이져 빔(B)이 상기 노광대상물 상에 결상될 수 있도록 안내한다.
본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.
B: 레이져 빔
100: 광원 200: DMD
210: 마이크로 미러 300: 폴리곤 미러
310: 회전축 400: 이송수단
500: DMD제어부 600: 집광수단

Claims (5)

  1. 레이져 빔을 방사하는 광원;
    적어도 하나 이상의 열과 행으로 정렬되어 설계된 패턴이미지에 대응하도록 전자 신호를 송신받아 온오프(On-off)하는 복수의 마이크로 미러를 구비하고, 상기 방사된 레이져 빔의 경로에 배치되어 상기 레이져 빔을 일 방향으로 반사시키는 DMD(Digital Micro-mirror Device);
    상기 DMD로부터 반사되는 레이져빔의 경로에 배치되어, 상기 반사되는 레이져 빔을 재반사하여 상기 레이져 빔을 노광대상물 상에 조사하는 폴리곤미러;
    상기 레이져 빔이 노광대상물 상에 조사되는 동안, 상기 노광대상물을 일 방향으로 이송하는 이송수단 및
    상기 DMD에 전기적 신호를 인가하여 상기 복수의 마이크로 미러의 온/오프를제어하는 DMD제어부를 포함하고,
    상기 DMD제어부의 작동 방법은,
    (a) 설계된 패턴이미지의 픽셀 당 행렬을 부가하여 상기 패턴이미지를 행렬 코드로 변환하는 단계;
    (b) 설계된 패턴이미지에 대응하도록 마이크로 미러의 온-오프(On-off) 신호를 조절하여 노광대상물 상에 기본 노광패턴을 형성하는 단계;
    (c) 이송수단을 이용하여 상기 기본 노광패턴이 형성된 노광대상물을 일 방향으로 이송하는 단계;
    (d) 상기 패턴이미지 중 임의의 (n, i) 값의 패턴이미지를 노광패턴 또는 비(非) 노광패턴으로 판별하는 단계;
    (e) 상기 (n, i) 값의 패턴이미지가 노광패턴인 경우, (n+1, i-1), (n+1, i) 또는 (n+1, i+1) 값의 패턴이미지를 노광패턴 또는 비 노광패턴으로 판별하는 단계;
    (f) 상기 (n+1, i-1), (n+1, i) 또는 (n+1, i+1) 값의 패턴이미지가 노광패턴인 경우, 상기 (n, i) 값의 패턴이미지와 상기 (n+1, i-1), (n+1, i) 또는 (n+1, i+1)값의 패턴이미지의 사이에 중첩되는 노광패턴이 형성되도록 상기 마이크로 미러의 온-오프(On-off) 신호를 조절하는 단계;
    (g) n+2 행의 패턴이미지 존재 유무를 판별하는 단계;
    (h) n+2 행 상에 패턴이미지가 존재하는 경우, 상기 패턴이미지에 대하여 상기 (d)단계부터 반복 수행하는 단계를 포함하며,
    상기 DMD제어부는 상기 마이크로 미러로부터 반사된 복수의 레이져 빔이 상기 노광대상물 상에 상호 중첩되도록 상기 복수의 마이크로 미러를 제어하는 DMD 이용한 노광 시스템.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 청구항 1에 있어서,
    상기 폴리곤 미러와 노광대상물 사이에 개재되어 상기 폴리곤 미러로부터 반사된 레이져 빔을 상기 노광대상물 상에 집광시키는 집광수단을 더 포함하는 DMD를 이용한 노광 시스템.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2003115449A (ja) * 2001-02-15 2003-04-18 Nsk Ltd 露光装置
JP2015127749A (ja) 2013-12-27 2015-07-09 株式会社リコー 描画装置

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