KR101774553B1 - Tube furnace attaching electromagnetic wave generator - Google Patents

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KR101774553B1
KR101774553B1 KR1020160136391A KR20160136391A KR101774553B1 KR 101774553 B1 KR101774553 B1 KR 101774553B1 KR 1020160136391 A KR1020160136391 A KR 1020160136391A KR 20160136391 A KR20160136391 A KR 20160136391A KR 101774553 B1 KR101774553 B1 KR 101774553B1
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tubular body
electromagnetic wave
crucible
wave generator
tubular
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KR1020160136391A
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박형규
남철우
김성돈
최영윤
박진태
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한국지질자원연구원
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Abstract

The present invention relates to a tube furnace to which an electromagnetic wave generator is attached, comprising: a tube body formed to be tube-shaped to move along a longitudinal direction into which a crucible is inserted; a heating device provided in the tube body to increase an internal temperature of the tube body; and an electromagnetic wave generator provided in the tube body to additionally heat the tube body. As the crucible placed in an exit of the tube furnace is able to be heated through the electromagnetic wave generator, a cooling problem of the crucible on the exit of the tube furnace is able to fundamentally be solved.

Description

전자파 발생장치를 부착한 관상로{TUBE FURNACE ATTACHING ELECTROMAGNETIC WAVE GENERATOR}{TUBE FURNACE ATTACHING ELECTROMAGNETIC WAVE GENERATOR WITH ELECTROMAGNETIC GENERATOR}

본 발명은 전자파 발생장치를 부착한 관상로에 관한 것으로, 더욱 상세하게는, 관상로에 투입된 도가니를 추가적으로 가열할 수 있는, 전자파 발생장치를 부착한 관상로에 관한 것이다.The present invention relates to a tubular furnace equipped with an electromagnetic wave generator, and more particularly to a tubular furnace equipped with an electromagnetic wave generator capable of additionally heating a crucible placed in a tubular furnace.

종래 관상로는, 세라믹 또는 금속제 내열성 관체와, 관체를 가열하도록 관체의 외측에 구비된 발열체를 포함한다. 관체의 양단은 외부로 개구되어 있으므로, 관체의 중심에 비하여 열손실이 크다.A conventional tubular furnace includes a ceramic or metal heat-resistant tubular body and a heating body provided outside the tubular body to heat the tubular body. Since both ends of the tube are open to the outside, the heat loss is larger than the center of the tube.

특히, 관체의 중심에서 가열되던 도가니를 관체의 길이방향 단부인 출구로 이동시킬 경우, 도가니의 열이 외부로 방출됨에 따라, 도가니 내부에 위치된 시료의 화학적 성질이 의도치 않게 변경된다.Particularly, when the crucible heated at the center of the tube is moved to the outlet, which is the longitudinal end of the tube, as the heat of the crucible is discharged to the outside, the chemical properties of the sample located inside the crucible are unintentionally changed.

대한민국 등록특허공보 제10-0509290호(2005.08.11.)Korean Patent Registration No. 10-0509290 (Aug. 11, 2005)

본 발명의 목적은, 종래 관상로의 구조적 한계였던, 출구에서의 도가니 냉각을 근본적으로 해결할 수 있는, 전자파 발생장치를 부착한 관상로를 제공하는 것이다.An object of the present invention is to provide a tubular furnace equipped with an electromagnetic wave generator capable of fundamentally solving a crucible cooling at an outlet, which was a structural limit of a conventional tubular furnace.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 전자파 발생장치를 부착한 관상로는, 도가니가 삽입되 길이방향을 따라 이동하도록 관 형태로 형성된 관체와, 관체의 내부온도를 증가시키도록 관체에 구비된 가열장치와, 관체를 추가적으로 가열하도록 관체에 구비된 전자파 발생장치를 포함한다.In order to achieve the above object, the present invention provides a tubular furnace equipped with an electromagnetic wave generator, comprising: a tubular body having a tubular shape in which a crucible is inserted and moved along a longitudinal direction; And an electromagnetic wave generator provided in the tube body to further heat the tube body.

또한, 관체는, 석영으로 제작되고, 전자파 발생장치는, 마그네트론일 수 있다.Further, the tubular body may be made of quartz, and the electromagnetic wave generator may be a magnetron.

또한, 전자파 발생장치는, 관체의단부를 추가적으로 가열하도록 관체의단부에 위치될 수 있다.Further, the electromagnetic wave generator may be located at the end of the tube to further heat the end of the tube.

또한, 전자파 발생장치는, 관체의 길이방향 축과 수평을 이루도록 관체 외부에 구비된 가이드레일에 장착될 수 있다.Further, the electromagnetic wave generator may be mounted on a guide rail provided outside the tubular body so as to be parallel to the longitudinal axis of the tubular body.

또한, 전자파 발생장치는, 가이드레일을 따라 이동하며 도가니와 동일선상에 위치될 수 있다.Further, the electromagnetic wave generator may be located on the same line as the crucible while moving along the guide rails.

또한, 관체가 거치되는 거치장치를 더 포함할 수 있다.In addition, it may further include a mounting device on which the tubular body is mounted.

또한, 관체는, 양단부가 서로 다른 높이를 갖도록 거치장치에 거치될 수 있다.Further, the tubular body can be mounted on the mounting device so that both ends have different heights.

또한, 거치장치는, 관체를 지지하고, 관체를 길이방향 중심축을 기준으로 회전시키는 지지대를 포함할 수 있다.The mounting device may also include a support for supporting the tubular body and for rotating the tubular body about a longitudinal center axis.

또한, 관체는, 관체를 관통하며, 도가니가 안착되는 이동레일을 포함하며, 이동레일에 안착된 상태로 도가니가 관체의 길이방향을 따라 이동될 수 있다.Further, the tubular body includes a movable rail passing through the tubular body and on which the crucible is seated, and the crucible can be moved along the longitudinal direction of the tubular body while being seated on the movable rail.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 전자파 발생장치를 부착한 관상로는, 관체 내부로 투입된 도가니를 가열시키는 관상로에 있어서, 관체단부에 위치된 도가니를 가열하도록 관체에 전자파 발생장치가 구비된 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, a tubular furnace equipped with an electromagnetic wave generator according to the present invention is a tubular furnace for heating a crucible charged into a tubular body, wherein an electromagnetic wave generator is provided in the tubular body so as to heat the crucible located at the end of the tubular body .

기타 실시예의 구체적인 사항은 "발명을 실시하기 위한 구체적인 내용" 및 첨부 "도면"에 포함되어 있다.Specific details of other embodiments are included in the " Detailed Description of the Invention "and the accompanying drawings.

본 발명의 이점 및/또는 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 각종 실시예를 참조하면 명확해질 것이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The advantages and / or features of the present invention and the manner of achieving them will be apparent by reference to various embodiments described in detail below with reference to the accompanying drawings.

그러나, 본 발명은 이하에서 개시되는 각 실시예의 구성만으로 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로도 구현될 수도 있으며, 단지 본 명세서에서 개시한 각각의 실시예는 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구범위의 각 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐임을 알아야 한다.However, the present invention is not limited to the configurations of the embodiments described below, but may be embodied in various other forms, and each embodiment disclosed in this specification is intended to be illustrative only, It will be understood by those of ordinary skill in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims.

본 발명에 의할 경우, 전자파 발생장치를 통해 관상로 출구에 위치된 도가니를 가열할 수 있으므로, 관상로 출구에서 도가니 냉각이 근본적으로 해결된다.According to the present invention, since the crucibles positioned at the tubular outlet through the electromagnetic wave generator can be heated, the crucible cooling at the tubular outlet is fundamentally resolved.

특히, 전자파 발생장치를 통해, 출구에 위치된 도가니를 적정 온도로 유지시킬 수 있으므로, 도가니가 이동치 못하고 출구에 장시간 대기할 경우가 발생하더라도 관상로를 통해 재차 가열할 필요가 없어진다.Particularly, since the crucible located at the outlet can be maintained at an appropriate temperature through the electromagnetic wave generator, it is not necessary to reheat the crucible through the tubular furnace even if the crucible can not move and the outlet is waiting for a long time.

또한, 전자파 발생장치를 통해 도가니를 필요에 따라 가열함으로써, 도가니 냉각을 방지함은 물론, 필요에 따라 도가니에 전자파를 집중시킴으로써 도가니를 집중적으로 가열시킬 수 있고, 이에 따라, 시료를 적정 온도로 가열하고 유지시키기 위한 에너지가 절약되며, 가열 시간이 단축된다.In addition, by heating the crucible as necessary through the electromagnetic wave generator, it is possible to prevent the crucible from cooling down and concentrate the electromagnetic wave in the crucible as necessary, thereby heating the crucible intensively. As a result, Energy is saved, and the heating time is shortened.

도 1은 본 발명의 제1 실시예의 전자파 발생장치를 부착한 관상로의 예시도,
도 2는 본 발명의 제2 실시예의 전자파 발생장치를 부착한 관상로의 예시도,
도 3은 본 발명의 제3 실시예의 전자파 발생장치를 부착한 관상로의예시도이다.1 is an illustration of a tubular furnace with an electromagnetic wave generator according to a first embodiment of the present invention,
Fig. 2 is an illustration of a tubular furnace with an electromagnetic wave generator according to a second embodiment of the present invention,
3 is an illustration of a tubular furnace with an electromagnetic wave generator according to a third embodiment of the present invention.

이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

본 발명을 상세하게 설명하기 전에, 본 명세서에서 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 무조건 한정하여 해석되어서는 아니되며, 본 발명의 발명자가 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해서 각종 용어의 개념을 적절하게 정의하여 사용할 수 있고, 더 나아가 이들 용어나 단어는 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야 함을 알아야 한다.Before describing the present invention in detail, terms and words used herein should not be construed as being unconditionally limited in a conventional or dictionary sense, and the inventor of the present invention should not be interpreted in the best way It is to be understood that the concepts of various terms can be properly defined and used, and further, these terms and words should be interpreted in terms of meaning and concept consistent with the technical idea of the present invention.

즉, 본 명세서에서 사용된 용어는 본 발명의 바람직한 실시예를 설명하기 위해서 사용되는 것일 뿐이고, 본 발명의 내용을 구체적으로 한정하려는 의도로 사용된 것이 아니며, 이들 용어는 본 발명의 여러 가지 가능성을 고려하여 정의된 용어임을 알아야 한다.That is, the terms used herein are used only to describe preferred embodiments of the present invention, and are not intended to specifically limit the contents of the present invention, It should be noted that this is a defined term.

또한, 본 명세서에 있어서, 단수의 표현은 문맥상 명확하게 다른 의미로 지시하지 않는 이상, 복수의 표현을 포함할 수 있으며, 유사하게 복수로 표현되어 있다고 하더라도 단수의 의미를 포함할 수 있음을 알아야 한다.Also, in this specification, the singular forms "a", "an", and "the" include plural referents unless the context clearly dictates otherwise, and it should be understood that they may include singular do.

본 명세서의 전체에 걸쳐서 어떤 구성 요소가 다른 구성 요소를 "포함"한다고 기재하는 경우에는, 특별히 반대되는 의미의 기재가 없는 한 임의의 다른 구성 요소를 제외하는 것이 아니라 임의의 다른 구성 요소를 더 포함할 수도 있다는 것을 의미할 수 있다.Where an element is referred to as "comprising" another element throughout this specification, the term " comprises " does not exclude any other element, It can mean that you can do it.

더 나아가서, 어떤 구성 요소가 다른 구성 요소의 "내부에 존재하거나, 연결되어 설치된다"고 기재한 경우에는, 이 구성 요소가 다른 구성 요소와 직접적으로 연결되어 있거나 접촉하여 설치되어 있을 수 있고, 일정한 거리를 두고 이격되어 설치되어 있을 수도 있으며, 일정한 거리를 두고 이격되어설치되어 있는 경우에 대해서는 해당 구성 요소를 다른 구성 요소에 고정 내지 연결시키기 위한 제 3의 구성 요소 또는 수단이 존재할 수 있으며, 이 제 3의 구성 요소 또는 수단에 대한 설명은 생략될 수도 있음을 알아야 한다.Further, when it is stated that an element is "inside or connected to" another element, the element may be directly connected to or in contact with the other element, A third component or means for fixing or connecting the component to another component may be present when the component is spaced apart from the first component by a predetermined distance, It should be noted that the description of the components or means of 3 may be omitted.

반면에, 어떤 구성 요소가 다른 구성 요소에 "직접 연결"되어 있다거나, 또는 "직접 접속"되어 있다고 기재되는 경우에는, 제 3의 구성 요소 또는 수단이 존재하지 않는 것으로 이해하여야 한다.On the other hand, it should be understood that there is no third component or means when an element is described as being "directly connected" or "directly connected" to another element.

마찬가지로, 각 구성 요소 간의 관계를 설명하는 다른 표현들, 즉 " ~ 사이에"와 "바로 ~ 사이에", 또는 " ~ 에 이웃하는"과 " ~ 에 직접 이웃하는" 등도 마찬가지의 취지를 가지고 있는 것으로 해석되어야 한다.Likewise, other expressions that describe the relationship between the components, such as "between" and "immediately", or "neighboring to" and "directly adjacent to" .

또한, 본 명세서에 있어서 "일면", "타면", "일측", "타측", "제 1", "제 2" 등의 용어는, 사용된다면, 하나의 구성 요소에 대해서 이 하나의 구성 요소가 다른 구성 요소로부터 명확하게 구별될 수 있도록 하기 위해서 사용되며, 이와 같은 용어에 의해서 해당 구성 요소의 의미가 제한적으로 사용되는 것은 아님을 알아야 한다.In this specification, terms such as "one side", "other side", "one side", "other side", "first", "second" Is used to clearly distinguish one element from another element, and it should be understood that the meaning of the element is not limited by such term.

또한, 본 명세서에서 "상", "하", "좌", "우" 등의 위치와 관련된 용어는, 사용된다면, 해당 구성 요소에 대해서 해당 도면에서의 상대적인 위치를 나타내고 있는 것으로 이해하여야 하며, 이들의 위치에 대해서 절대적인 위치를 특정하지 않는 이상은, 이들 위치 관련 용어가 절대적인 위치를 언급하고 있는 것으로 이해하여서는 아니된다.It is also to be understood that terms related to positions such as "top", "bottom", "left", "right" in this specification are used to indicate relative positions in the drawing, Unless an absolute position is specified for these positions, it should not be understood that these position-related terms refer to absolute positions.

더욱이, 본 발명의 명세서에서는, "~부", "~기", "모듈", "장치" 등의 용어는, 사용된다면, 하나 이상의 기능이나 동작을 처리할 수 있는 단위를 의미하며, 이는 하드웨어 또는 소프트웨어, 또는 하드웨어와 소프트웨어의 결합으로 구현될 수 있음을 알아야 한다.Moreover, in the specification of the present invention, terms such as " to, "" module, " Or software, or a combination of hardware and software.

또한, 본 명세서에서는 각 도면의 각 구성 요소에 대해서 그 도면 부호를 명기함에 있어서, 동일한 구성 요소에 대해서는 이 구성 요소가 비록 다른 도면에 표시되더라도 동일한 도면 부호를 가지고 있도록, 즉 명세서 전체에 걸쳐 동일한 참조 부호는 동일한 구성 요소를 지시하고 있다.In this specification, the same reference numerals are used for the respective components of the drawings to denote the same reference numerals even though they are shown in different drawings, that is, the same reference numerals throughout the specification The symbols indicate the same components.

본 명세서에 첨부된 도면에서 본 발명을 구성하는 각 구성 요소의 크기, 위치, 결합 관계 등은 본 발명의 사상을 충분히 명확하게 전달할 수 있도록 하기 위해서 또는 설명의 편의를 위해서 일부 과장 또는 축소되거나 생략되어 기술되어 있을 수 있고, 따라서 그 비례나 축척은 엄밀하지 않을 수 있다.In the drawings attached to the present specification, the size, position, coupling relationship, and the like of each constituent element of the present invention may be partially or exaggerated or omitted or omitted for the sake of clarity of description of the present invention or for convenience of explanation May be described, and therefore the proportion or scale may not be rigorous.

또한, 이하에서, 본 발명을 설명함에 있어서, 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 구성, 예를 들어, 종래 기술을 포함하는 공지 기술에 대한 상세한 설명은 생략될 수도 있다.Further, in the following description of the present invention, a detailed description of a configuration that is considered to be unnecessarily blurring the gist of the present invention, for example, a known technology including the prior art may be omitted.

도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 전자파 발생장치(300)를 부착한 관상로는, 관체(100) 내부로 투입된 도가니(110)를 가열시키는 관상로에 있어서, 관체(100) 단부에 위치된 도가니(110)를 가열하도록 관체(100)에 전자파 발생장치(300)가 구비된 것을 특징으로 한다.1 to 3, a tubular body to which the electromagnetic wave generator 300 of the present invention is attached is a tubular body for heating a crucible 110 charged into a tubular body 100, And the electromagnetic wave generator 300 is provided in the tube 100 to heat the crucible 110 located at the end.

본 발명의 전자파 발생장치(300)를 부착한 관상로를 좀 더 자세히 설명하면 다음과 같다. The tubular structure with the electromagnetic wave generator 300 of the present invention will be described in more detail as follows.

도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제1 실시예의 전자파 발생장치(300)를 부착한 관상로는, 도가니(110)가 삽입되 길이방향을 따라 이동하도록 관 형태로 형성된 관체(100)와, 관체(100)의 내부온도를 증가시키도록 관체(100)에 구비된 가열장치(200)와, 관체(100)를 추가적으로 가열하도록 관체(100)에 구비된 전자파 발생장치(300)를 포함한다.1, a tubular body to which the electromagnetic wave generator 300 of the first embodiment of the present invention is attached includes a tubular body 100 having a tubular shape in which the crucible 110 is inserted and moves along the longitudinal direction, A heating device 200 provided in the tubular body 100 to increase the internal temperature of the tubular body 100 and an electromagnetic wave generator 300 provided in the tubular body 100 to further heat the tubular body 100 .

관체(100)는, 전자파 투과가 용이한 석영(Quartz)으로 제작된다. 도가니(110)는, 시료 가공시 익히 사용되는 알루미나 도가니(110) 또는 흑연 도가니(110)가 활용된다. 전자파 발생장치(300)는, 전자 레인지 등에 사용되는, 마그네트론이 활용된다.The tubular body 100 is made of quartz that is easy to transmit electromagnetic waves. The crucible 110 is made of an alumina crucible 110 or a graphite crucible 110 which is used at the time of sample processing. The electromagnetic wave generator 300 uses a magnetron, which is used in a microwave oven or the like.

가열장치(200)는, 관체(100) 외부에 부착되는 하우징과, 전력 인가시 열을 발생시키도록 하우징에 내장된 전열선을 포함한다. The heating device 200 includes a housing attached to the outside of the tube 100 and a heating wire embedded in the housing to generate heat when power is applied.

전자파 발생장치(300)는, 관체(100)의 단부 즉, 관상로의 출구를 추가적으로 가열하도록 관체(100)의 단부에 위치된다. 전자파 발생장치(300)는, 관체(100)가 삽입되는 도넛 형상의 외형체와, 외형체 내부에 형성된 마그네트론을 포함한다. The electromagnetic wave generator 300 is positioned at the end of the tube 100 to further heat the end of the tube 100, that is, the outlet of the tube. The electromagnetic wave generator 300 includes a donut-shaped external body into which the tubular body 100 is inserted and a magnetron formed inside the external body.

전자파 발생장치(300)는, 전자파 발생장치(300)를 통해 발생된 전자파를 외형체 중심에 위치된 관체(100)의 특정부위로 집중시키기 위해, 외형체의 내주를 제외한 부분은 금속으로 제작되며, 내주는 석영으로 제작되는 것이 바람직하다. The electromagnetic wave generator 300 is made of a metal except for the inner periphery of the outer body to concentrate the electromagnetic wave generated through the electromagnetic wave generator 300 to a specific portion of the tube 100 positioned at the center of the outer body , And the inner circumference is preferably made of quartz.

한편, 본 발명의 제1 실시예의 전자파 발생장치(300)를 부착한 관상로는, 관체(100)를 이동시키는 이동장치, 가열장치(200) 및 전자파 발생장치(300)를 작동시키는 제어장치를 더 포함한다.On the other hand, the tubular furnace with the electromagnetic wave generator 300 according to the first embodiment of the present invention includes a moving device for moving the tubular body 100, a heating device 200, and a control device for operating the electromagnetic wave generating device 300 .

이동장치는, 관체(100) 내부로 작동암이 삽입되는 로보트를 포함하며, 제어장치는, 외부 신호가 입력되는 입력장치 및 외부 신호를 표시하고, 이동장치 및 제어장치의 상태를 표시하는 디스플레이를 포함한다. The mobile device includes a robot in which an operation arm is inserted into the body 100. The control device includes an input device to which an external signal is input and a display that displays an external signal and displays the status of the mobile device and the control device .

위와 같이 구성되는 본 발명의 제1 실시예에 따르면, 전자파 발생장치(300)를 통해 관상로 출구에 위치된 도가니(110)를 가열할 수 있으므로, 관상로 출구에서 도가니(110) 냉각이 근본적으로 해결된다.According to the first embodiment of the present invention configured as above, since the crucible 110 located at the tubular outlet can be heated through the electromagnetic wave generator 300, the cooling of the crucible 110 at the tubular outlet is fundamentally Is solved.

도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제2 실시예의 전자파 발생장치(300)를 부착한 관상로는, 도가니(110)가 삽입되 길이방향을 따라 이동하도록 관 형태로 형성된 관체(100)와, 관체(100)의 내부온도를 증가시키도록 관체(100)에 구비된 가열장치(200)와, 관체(100)를 추가적으로 가열하도록 관체(100)에 구비된 전자파 발생장치(300)를 포함한다.2, the tubular body with the electromagnetic wave generator 300 according to the second embodiment of the present invention includes a tubular body 100 having a tubular shape in which the crucible 110 is inserted and moves along the longitudinal direction, A heating device 200 provided in the tubular body 100 to increase the internal temperature of the tubular body 100 and an electromagnetic wave generator 300 provided in the tubular body 100 to further heat the tubular body 100 .

가열장치(200)는, 전력 인가시 열을 발생시키도록 관체(100)에 내장된 전열선을 포함한다.The heating device 200 includes a heating wire embedded in the tube 100 to generate heat when power is applied.

관체(100) 외부에 관체(100)의 길이방향 축과 수평을 이루도록 가이드레일(310)이 구비된다. 전자파 발생장치(300)는, 가이드레일(310)에 이동가능하게 장착된다. A guide rail 310 is provided outside the tubular body 100 so as to be parallel to the longitudinal axis of the tubular body 100. The electromagnetic wave generator 300 is movably mounted on the guide rail 310.

가이드레일(310)에 장착된 전자파 발생장치(300)는, 관체(100) 내부에 삽입된 도가니(110)와 동일선상에 위치되도록, 도가니(110) 이동과 동일하게 이동될 수 있다. The electromagnetic wave generator 300 mounted on the guide rail 310 can be moved in the same manner as the crucible 110 so as to be located in the same line as the crucible 110 inserted into the tube 100.

즉, 전자파 발생장치(300)는, 가이드레일(310)을 따라 이동하며, 지속적으로 전자파를 도가니(110)를 향해 발생시킬 수있다.That is, the electromagnetic wave generator 300 moves along the guide rail 310 and can continuously generate an electromagnetic wave toward the crucible 110.

전자파 발생장치(300)는, 가이드레일(310)에 이동 가능하게 장착되며 관체(100)가 삽입되는 도넛 형상의 외형체와, 외형체 내부에 형성된 마그네트론을 포함한다.The electromagnetic wave generator 300 includes a donut-shaped external body movably mounted on the guide rail 310 and into which the tubular body 100 is inserted, and a magnetron formed inside the external body.

전자파 발생장치(300)는, 전자파 발생장치(300)를 통해 발생된 전자파를 외형체 중심에 위치된 관체(100)의 특정부위로 집중시키기 위해, 외형체의 내주를 제외한 부분은 금속으로 제작되며, 내주는 석영으로 제작되는 것이 바람직하다. The electromagnetic wave generator 300 is made of a metal except for the inner periphery of the outer body to concentrate the electromagnetic wave generated through the electromagnetic wave generator 300 to a specific portion of the tube 100 positioned at the center of the outer body , And the inner circumference is preferably made of quartz.

위와 같이 구성되는 본 발명의 제2 실시예에 따르면, 가열장치(200) 외에도, 필요에 따라 전자파 발생장치(300)를 추가적으로 가동해, 관체(100) 내부 임의 위치에 존재하는 도가니(110)를 가열함으로써, 도가니(110)를 단시간 내에 집중적으로 가열할 수 있게 된다. 이에 따라, 도가니(110) 가열시간이 단축되며, 에너지가 절약된다.According to the second embodiment of the present invention configured as described above, in addition to the heating device 200, the electromagnetic wave generator 300 may be additionally operated as needed to provide a crucible 110 located at an arbitrary position inside the tubular body 100 By heating, the crucible 110 can be intensively heated within a short time. As a result, the heating time of the crucible 110 is shortened and energy is saved.

도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제3 실시예의 전자파 발생장치(300)를 부착한 관상로는, 도가니(110)가 삽입되 길이방향을 따라 이동하도록 관 형태로 형성된 관체(100)와, 관체(100)의 내부온도를 증가시키도록 관체(100)에 구비된 가열장치(200)와, 관체(100)를 추가적으로 가열하도록 관체(100)에 구비된 전자파 발생장치(300)를 포함한다.3, the tubular body with the electromagnetic wave generator 300 according to the third embodiment of the present invention includes a tubular body 100 having a tubular shape in which the crucible 110 is inserted and moves along the longitudinal direction, A heating device 200 provided in the tubular body 100 to increase the internal temperature of the tubular body 100 and an electromagnetic wave generator 300 provided in the tubular body 100 to further heat the tubular body 100 .

가열장치(200)는, 전력 인가시 열을 발생시키도록 관체(100)에 내장된 전열선을 포함한다.The heating device 200 includes a heating wire embedded in the tube 100 to generate heat when power is applied.

관체(100) 외부에 관체(100)의 길이방향 축과 수평을 이루도록 가이드레일(310)이 구비된다. 전자파 발생장치(300)는, 가이드레일(310)에 이동가능하게 장착된다. A guide rail 310 is provided outside the tubular body 100 so as to be parallel to the longitudinal axis of the tubular body 100. The electromagnetic wave generator 300 is movably mounted on the guide rail 310.

가이드레일(310)을 따라 전자파 발생장치(300)가 도가니(110) 이동과 동일하게 이동하며, 관체(100) 내부에 삽입된 도가니(110)를 향해 지속적으로 전자파를 발생시킬 수 있다.The electromagnetic wave generator 300 moves along the guide rail 310 in the same manner as the crucible 110 and can continuously generate electromagnetic waves toward the crucible 110 inserted into the tube 100.

특히, 본 발명의 제3 실시예는, 관체(100)가 비스듬히 거치되는 거치장치(400)를 더 포함한다.Particularly, the third embodiment of the present invention further includes a mounting device 400 in which the tubular body 100 is obliquely mounted.

거치장치(400)에는 서로 높이가 다른 지지대(410)가 구비되며, 지지대(410)에 관체(100)의 양단이 높이차를 갖도록 각각 안착 된다. The mounting device 400 is provided with a support 410 having a different height from each other and both ends of the support 100 are secured to the support 410.

지지대(410)의 단부에는 기어장치가 구비되며, 관체(100)의 단부 표면에는 기어장치와 치합되는 톱니가 형성된다. 기어장치의 회전이 톱니로 인계되고, 관체(100)가 회전하게 된다.The end of the support member 410 is provided with a gear unit, and the end surface of the body unit 100 is provided with teeth that mesh with the gear unit. The rotation of the gear device is transferred to the teeth, and the tube 100 is rotated.

한편, 관체(100)에는, 관체(100)를 관통하며, 도가니(110)가 안착되는 이동레일(120)이 구비된다. 거치장치(400)에는 이동레일(120)의 양단이 각각 거치되는 지지팔(420)이 구비된다. The tubular body 100 is provided with a movable rail 120 passing through the tubular body 100 and on which the crucible 110 is mounted. The mounting device 400 is provided with a support arm 420 on which both ends of the movable rail 120 are respectively mounted.

도가니(110)는, 이동레일(120)에 안착된 상태를 유지하며, 관체(100)의 길이방향을 따라 자중에 의해 미끄러지며 이동된다. The crucible 110 is held on the movable rail 120 and is slid and moved by its own weight along the longitudinal direction of the tube 100. [

이동레일(120)의 표면에는, 이동레일(120)에 안착된 도가니(110)가 자중에 의해 미끄러질 때 특정 속도가 발생될 수 있도록 하는 특정 소재가 피복될 수도 있다. The surface of the movable rail 120 may be coated with a specific material such that a certain speed can be generated when the crucible 110 seated on the movable rail 120 slips by its own weight.

이와 다르게, 도가니(110)의 표면에 이동레일(120)과 치합되는 미끄러짐 안착부가 형성될 수도 있으며, 미끄러짐 안착부에 베어링 또는 마찰재가 구비될 수도 있다.Alternatively, the surface of the crucible 110 may be provided with a sliding seat portion that engages with the movable rail 120, and a bearing or friction material may be provided with the sliding seat portion.

위와 같이 구성되는 본 발명의 제3 실시예에 따르면, 관상로단부에 위치된 도가니(110)를 추가적으로 가열할 수 있고, 관상로 내부 임의 위치의 도가니(110)를 가열장치(200) 및 전자파 발생장치(300)가 동시에 가열할 수 있으며, 자중을 이용해 도가니(110)를 이동시킬 수 있다. According to the third embodiment of the present invention configured as described above, the crucible 110 located at the end of the tubular shape can be further heated, and the crucible 110 at any arbitrary position in the tubular shape can be heated by the heating device 200 and the electromagnetic wave The apparatus 300 can simultaneously heat the crucible 110 and move the crucible 110 using its own weight.

이에 따라, 도가니(110)를 단시간 내에 집중적으로 가열할 수 있으며, 도가니(110) 가열 및 이동에 소모되는 에너지를 절약할 수 있다.Accordingly, the crucible 110 can be intensively heated within a short time, and the energy consumed in heating and moving the crucible 110 can be saved.

아래 표 1에는 본 발명의 제1 실시예를 통해 관상로 배출구에 위치된 도가니(110)가 전자파 발생장치(300)에 의해 가열될 경우와 비 가열될 경우의 시료 온도 변화가 기재되었다(비가열: A, 가열: B).Table 1 below shows changes in sample temperature when the crucible 110 placed at the tubular outlet through the first embodiment of the present invention is heated by the electromagnetic wave generator 300 and when it is not heated : A, heating: B).

경과시간(분)＼시료구분Elapsed time (minutes) \ Sample classification A(섭씨)A (Celsius) B(섭씨)B (Celsius) 00 700700 700700 1010 450450 600600 2020 280280 650650 3030 150150 700700

석영 재질의 관체(100)에 질화알루미늄 분말 40그람이 담긴 알루미나 도가니(110)를 장입하였다. 관체(100) 외부에 구비된 가열장치(200)를 가동시켜 섭씨 700도로 관체(100)를 1시간 동안 가열하였다. 도가니(110)를 관체(100)의 단부 즉 관상로 출구에 위치시키고, K-type thermocouple을 사용하여 시간에 따른 질화알루미늄 시료의 온도 변화를 측정하였다.An alumina crucible (110) containing 40 grams of aluminum nitride powder was charged into the quartz tube body (100). The heating device 200 provided outside the tubular body 100 was operated to heat the tubular body 100 at 700 degrees centigrade for 1 hour. The crucible 110 was placed at the end of the tubular body 100, that is, the tubular outlet, and the temperature change of the aluminum nitride sample with time was measured using a K-type thermocouple.

표 1에 기재된 바와 같이, 전자파 발생장치(300)를 통해 가열될 경우, 가열되지 못한 경우에 비하여, 시간이 경과 되더라도 큰 폭의 온도 저감이 발생되지 않았으며, 필요에 따라 재가열이 가능함을 알 수 있다.As shown in Table 1, when heated through the electromagnetic wave generator 300, it can be seen that even when the time has elapsed, a large temperature reduction has not occurred and the reheating can be performed if necessary have.

따라서, 본 발명 전자파 발생장치(300)를 구비된 관상로에 따르면, 도가니(110)가 관체(100) 출구에 위치되더라도 전자파 발생장치(300)에 의해 가열되므로, 도가니(110)의 냉각, 궁극적으로 시료의 화학적 성질 변화가 방지된다.Therefore, according to the tubular furnace equipped with the electromagnetic wave generator 300 of the present invention, even when the crucible 110 is positioned at the outlet of the tubular body 100, the furnace 110 is heated by the electromagnetic wave generator 300, The change in the chemical properties of the sample is prevented.

특히, 공정상 의도치 않게 관체(100) 출구에 위치된 도가니(110)가 장시간 이동치 못하고 대기할 경우가 발생되더라도 도가니(110)를 관상로를 통해 재차 가열할 필요가 없다.Particularly, even if the crucible 110 positioned at the outlet of the tube 100 can not move for a long period of time without waiting for the process, the crucible 110 does not need to be heated again through the tubular furnace.

또한, 전자파를 시료가 든 도가니(110)에 집중시킴으로써 시료를 집중적으로 가열시킬 수 있고, 에너지의 절약과 시료 가열시간을 단축할 수 있다.Further, by concentrating the electromagnetic wave in the crucible 110 having the sample, the sample can be intensively heated, saving energy and shortening the sample heating time.

이상, 일부 예를 들어서 본 발명의 바람직한 여러 가지 실시예에 대해서 설명하였지만, 본 "발명을 실시하기 위한 구체적인 내용" 항목에 기재된 여러 가지 다양한 실시예에 관한 설명은 예시적인 것에 불과한 것이며, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이상의 설명으로부터 본 발명을 다양하게 변형하여 실시하거나 본 발명과 균등한 실시를 행할 수 있다는 점을 잘 이해하고 있을 것이다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is evident that many alternatives, modifications and variations will be apparent to those skilled in the art. It will be understood by those skilled in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims.

또한, 본 발명은 다른 다양한 형태로 구현될 수 있기 때문에 본 발명은 상술한 설명에 의해서 한정되는 것이 아니며, 이상의 설명은 본 발명의 개시 내용이 완전해지도록 하기 위한 것으로 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것일 뿐이며, 본 발명은 청구범위의 각 청구항에 의해서 정의될 뿐임을 알아야 한다.In addition, since the present invention can be embodied in various other forms, the present invention is not limited by the above description, and the above description is intended to be a complete description of the present invention, It will be understood by those of ordinary skill in the art that the present invention is only provided to fully inform the person skilled in the art of the scope of the present invention and that the present invention is only defined by the claims of the claims.

100: 관체
110: 도가니
120: 이동레일
200: 가열장치
300: 전자파 발생장치
310: 가이드레일
400: 거치장치
410: 지지대
420: 지지팔100: tubular body
110: Crucible
120: moving rail
200: Heating device
300: Electromagnetic wave generator
310: guide rail
400: mounting device
410: Support
420: Support arm

Claims (10)

시료가 담긴 도가니가 삽입되 길이방향을 따라 이동하도록 관 형태로 형성된 관체;
상기 관체의 내부온도를 증가시키도록 상기 관체에 구비된 가열장치;
상기 관체를 추가적으로 가열하도록 상기 관체에 구비된 전자파 발생장치를 포함하며,
상기 전자파 발생장치는,
상기 관체가 삽입되는 도넛 형태의 외형체;
상기 외형체에 내장된 마그네트론을 포함하고,
상기 전자파 발생장치는,
상기 관체의 길이방향 축과 수평을 이루도록 상기 관체 외부에 구비된 가이드레일에 장착되는, 전자파 발생장치를 부착한 관상로.
A tube formed into a tubular shape so that a crucible containing the sample is inserted and moved along the longitudinal direction;
A heating device provided on the tube to increase an internal temperature of the tube;
And an electromagnetic wave generating device provided on the tube for further heating the tube,
The electromagnetic wave generator includes:
A donut-shaped outer member into which the tubular body is inserted;
And a magnetron embedded in the outer body,
The electromagnetic wave generator includes:
And a guide rail mounted outside the tubular body so as to be parallel to a longitudinal axis of the tubular body.
제1항에 있어서,
상기 관체는, 석영으로 제작되고,
상기 외형체의 내주는 석영이고,
상기 내주를 제외한 상기 외형체의 표면은 금속인, 전자파 발생장치를 부착한 관상로.
The method according to claim 1,
The tubular body is made of quartz,
The inner periphery of the outer body is quartz,
Wherein the surface of the outer body excluding the inner periphery is made of metal.
제1항에 있어서,
상기 전자파 발생장치는,
상기 관체의단부를 추가적으로 가열하도록 상기 관체의단부에 위치된, 전자파 발생장치를 부착한 관상로.
The method according to claim 1,
The electromagnetic wave generator includes:
And a tubular body having an electromagnetic wave generating device attached thereto at an end of the tubular body so as to further heat the end of the tubular body.
삭제delete 제1항에 있어서,
상기 전자파 발생장치는,
상기 가이드레일을 따라 이동하며 상기 도가니와 동일선상에 위치되는, 전자파 발생장치를 부착한 관상로.
The method according to claim 1,
The electromagnetic wave generator includes:
And is placed along the guide rail and co-linear with the crucible.
제1항에 있어서,
상기 관체가 거치되는 거치장치를 더 포함하는, 전자파 발생장치를 부착한 관상로.
The method according to claim 1,
Further comprising a mounting device to which said tubular body is fixed.
제6항에 있어서,
상기 관체는,
양단부가 서로 다른 높이를 갖도록 상기 거치장치에 거치된, 전자파 발생장치를 부착한 관상로.
The method according to claim 6,
The tubular body,
Wherein the electromagnetic wave generating device is mounted on the mounting device such that both ends thereof have different heights.
제6항에 있어서,
상기 거치장치는,
상기 관체를 지지하고, 상기 관체를 길이방향 중심축을 기준으로 회전시키는 지지대를 포함하는, 전자파 발생장치를 부착한 관상로.
The method according to claim 6,
The above-
And a support for supporting the tubular body and rotating the tubular body about a longitudinal center axis.
제6항에 있어서,
상기 관체는,
상기 관체를 관통하며, 상기 도가니가 안착되는 이동레일을 포함하며,
상기 도가니는,
상기 관체 회전시 상기 도가니에 담긴 시료가 상기 도가니로부터 이탈되지 않도록, 상기 이동레일에 안착된 상태로 상기 관체의 길이방향을 따라 이동되는, 전자파 발생장치를 부착한 관상로.
The method according to claim 6,
The tubular body,
And a moving rail through which the crucible is seated,
In the crucible,
Wherein the tubular body is moved along the longitudinal direction of the tubular body in a state of being seated on the movable rail so that the sample contained in the crucible is not separated from the crucible upon rotation of the tubular body.
관체 내부로 투입된 도가니를 가열시키는 관상로에 있어서,
상기 관체단부에 위치된 상기 도가니를 가열하도록 상기 관체에 전자파 발생장치가 구비되며,
상기 전자파 발생장치는, 상기 관체가 삽입되는 도넛 형태의 외형체와, 상기 외형체에 내장된 마그네트론을 포함하고,
상기 전자파 발생장치는,
상기 관체의 길이방향 축과 수평을 이루도록 상기 관체 외부에 구비된 가이드레일에 장착되는, 전자파 발생장치를 부착한 관상로.A tubular furnace for heating a crucible charged into a tubular body,
An electromagnetic wave generator is provided in the tubular body to heat the crucible located at the tubular end,
The electromagnetic wave generator includes a donut-shaped outer member into which the tubular member is inserted, and a magnetron embedded in the outer member,
The electromagnetic wave generator includes:
And a guide rail mounted outside the tubular body so as to be parallel to a longitudinal axis of the tubular body.
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