KR101765145B1 - a Apparatus for vaporizing a liquid source - Google Patents

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Abstract

The present invention relates to a device for gasifying a liquid. A liquid is instantaneously gasified by rapidly reducing pressure while a temperature is constantly maintained as the liquid is heated. The gasified liquid is granulated at a high temperature not to be re-liquefied. More specifically, a mixed gas is affected by heat, and a moving pathway length and a volume are remarkably improved. As a result, excellent heat efficiency is ensured, and energy waste is low. Thus, economical benefits can be obtained. The device of the present invention comprises: a liquid heater (10); a water pipe (20); a gas heater (30); a gas pipe (40); an injection (50); and a vaporizer (60).

Description

액체의 기화장치{a Apparatus for vaporizing a liquid source}Apparatus for vaporizing a liquid source

본 발명은 액체를 가열하여 온도가 일정한 상태에서 급격하게 압력을 내리는 것에 의해 순간적으로 기화시키고 이 기화된 기체가 재 액화 되지 않게 고온 미립화 하는 액체의 기화장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 혼합 가스가 열에 영향을 받으면서 이동되는 통로 길이와 체적이 매우 향상되는 결과로 열효율이 우수하고 에너지 낭비가 적어 경제적으로 이익을 줄 수 있도록 발명된 것이다.The present invention relates to a liquid vaporization apparatus for instantly vaporizing a liquid by heating the liquid and rapidly reducing the pressure at a constant temperature, and vaporizing the vaporized gas at a high temperature so as not to be re-liquefied. More particularly, As a result, the passage length and the volume moved while being affected by the heat are greatly improved, so that the heat efficiency is excellent and the energy waste is small, thereby being economically advantageous.

일반적으로, 세라믹 전자부품이나 반도체 등을 제조할 때 세라믹 제품이 요구되는 특성을 얻기 위하여 세터위에 적재되어 소성로에 반송하여 분위기 가스를 상기 소성로 내로 공급하여 분사하여 탈바인더(binder)용 가소공정을 거친다.Generally, ceramic electronic components or semiconductors are mounted on a setter in order to obtain properties required of a ceramic product, and then transferred to a firing furnace, where an atmospheric gas is supplied into the firing furnace and sprayed to perform a firing process for a binder .

그리고, 미소성 세라믹 성형체에 탈바인더 가소공정을 거쳐 세라믹 전자제품이 요구되는 특성을 위하여 공급되는 분위기 가스는 미소성 세라믹 성형체가 적재 된 세터가 내부로 반송되는 소정공간의 로실이 형성되어 있는 로본체부의 측면에 관통되어 결합된 분위기 가스공급파이프에 의해 상기 로실로 공급되어 진다.The atmospheric gas supplied for the characteristics required of the ceramic electronic product through the debindering process of the unfired ceramic formed body is formed of a furnace body having a furnace in a predetermined space in which the setter loaded with the unfired ceramic formed body is transported, And is supplied to the furnace chamber by an atmospheric gas supply pipe penetratingly connected to the side surface of the furnace.

따라서, 소성로 본체에 장착된 발열체에서 발생되는 열로 상기 미소성 세라믹 성형체를 가열하면서 분위기 가스 공급파이프를 통하여 분위기 가스를 공급하여 전자부품이 요구되는 특성을 가지도록 하는 것이다.Therefore, the ambient atmosphere gas is supplied through the atmospheric gas supply pipe while heating the unfinished ceramic formed body with the heat generated from the heating element mounted on the firing furnace body, so that the electronic components have desired characteristics.

이때 주로 공급되는 가스는 수소, 질소, 또는 이들 가스가 혼합된 상태로 공급되는 경우도 있다.At this time, mainly supplied gas may be hydrogen, nitrogen, or a mixture of these gases.

한편, 분위기 가스를 공급할 때는 적정 습도를 유지하는 것이 중요하다.On the other hand, it is important to maintain an appropriate humidity when supplying atmospheric gas.

종래 분위기 가스에 적정 습도를 유지하기 위한 버블식 웨터탱크(Bubble type Wetter tank)를 이용하고 있다.Conventionally, a bubble type wet tank for maintaining an appropriate humidity in atmosphere gas is used.

웨터탱크는 내부에 히터가 장착된 탱크의 하부로는 가스 인입관을 접속하고, 상부로 탱크 내부에 채워진 물을 가스가 통과하며 습도를 유지할 수 있도록 하는 것이다.In the wet tank, the gas inlet pipe is connected to the lower part of the tank having the heater inside, and the gas filled in the tank is allowed to pass through and the humidity can be maintained.

이러한 구조로 된 종래 웨터탱크는 가스가 적정 습도를 유지하기 위해 탱크 내부를 통과할 때 많은 양의 버블이 발생된다.Conventional wet tanks having such a structure generate a large amount of bubbles when the gas passes through the inside of the tank to maintain an appropriate humidity.

이 버블이 수위 이상으로 부풀어져서 배출관을 통해 가스와 함께 공급되면 순수 가스 이외에 버블의 성분인 수분이 공급된다.When the bubbles are inflated above the water level and are supplied together with the gas through the discharge pipe, water, which is a component of the bubbles, is supplied in addition to the pure gas.

버블이 배출관을 통해 공급되는 것을 차단하기 위해 타공판 설치 등을 강구하고 있으나, 버블이 폭발적으로 커지는 것을 억제할 수는 있는 반면, 타공구멍을 통해 버블 일부가 상승되어 배출관을 통해 공급되는 것을 원천적으로 방지하지는 못하였다.It is possible to prevent the explosion of the bubbles from being increased while preventing the bubbles from being supplied through the discharge pipe. I could not.

따라서, 정밀성을 요구하는 세라믹 전자제품 및 반도체 소성에 심각한 오류를 발생시키는 원인이 된다.Therefore, it causes a serious error in ceramic electronic products and semiconductor firing requiring precision.

한편, 이와 같이 액체를 기체로 변환시키는 여러 가지 방법들중 가장 간단한 방법으로 워터탱크와 같이 액체를 일정 온도로 가열하여 증발시키는 방법이 있다.On the other hand, there is a method of evaporating the liquid by heating the liquid to a certain temperature like a water tank in the simplest method among various methods of converting liquid into gas.

그러나, 이러한 방법은 원료의 증기압이 매우 작거나, 증발온도에서 열적으로 불안정한 물질에 대해서는 바람직 하지 않다.However, this method is undesirable for materials having a very low vapor pressure of the raw material or thermally unstable at the evaporation temperature.

또, 액체를 기체로 변환시키는 다른 방법으로는, 초음파 분사방법을 추가하여 사용하는 방법도 알려져 있다.(T.K. Li, A.I. Gurary, D. C. Scott, US Patent 5, 835,677)As another method for converting a liquid into a gas, a method of using an ultrasonic jetting method is also known (T.K.Li, A.I. Gurary, D.C. Scott, US Patent 5,835,677)

: 국내 특허 10-1078411호(등록일자 2011년10월25일): Korean Patent 10-1078411 (Registration date October 25, 2011) : 미국 특허 US Patent 5, 835,677호US Patent 5, 835, 677

종래, 이러한 워터탱크에서 열에 의해 액체를 비등시켜 기화시키는 방법은 관리하고자 하는 노점(露點)과 동일한 수온의 물속을 기체가 통과하면서 기체와 물분자가 결합되어 습도가 유지된 가스(wet gas)가 된다.Conventionally, in such a water tank, a method of boiling a liquid by heat boiling is known as a method in which a gas having water of the same water temperature as a dew point to be managed passes through and a wet gas do.

따라서, 노점의 편차가 크고 기체와 결합된 물분자가 500-1000μm로 커져 정밀한 조건에서의 로내 분위기를 제어하는 데는 적합하지 못한 단점이 있었던 것이다.Therefore, there is a disadvantage in that the deviation of the dew point is large and the water molecules combined with the gas are increased to 500-1000 mu m, which is not suitable for controlling the atmosphere in the furnace under precise conditions.

또, 액체를 비등 온도까지 가열하는데 시간이 많이 소요되므로 사용자가 원하는 빠른 기화속도를 기대할 수 없는 문제점이 있었다.In addition, since it takes a long time to heat the liquid up to the boiling temperature, there is a problem that the desired vaporization rate can not be expected by the user.

이러한 문제점을 해소하기 위하여 국내 특허 10-1078411호에서는 인젝션과 연결된 베이퍼라이져의 둘레에 히터를 설치하여 가스와 연무상태의 기화 액체가 적정 온도를 유지한 상태로 혼합된 후 소성로 공급될 수 있도록 한 것이 제안된 바 있었다.In order to solve this problem, in Korean Patent No. 10-1078411, a heater is provided around the vaporizer connected to the injection, so that the vaporization liquid of the gas and the mist can be mixed while maintaining the proper temperature and then supplied to the firing furnace It has been proposed.

그러나, 히터가 베이퍼라이져의 외부에 노출된 상태로 설치되어 열손실이 많을 뿐만 아니라, 혼합 기체와 히터가 접촉하는 시간이 짧으므로 내부를 통과하는 혼합 기체를 적정 온도를 유지하기 위해 많은 에너지 소모와 아울러, 고온을 유지해야 하므로 경제적 손실이 컸다.However, since the heater is installed in a state exposed to the outside of the vaporizer, not only the heat loss is large, but also the contact time of the mixed gas and the heater is short, the mixed gas passing through the inside is consumed with a lot of energy In addition, since the high temperature must be maintained, the economic loss was large.

또, 혼합 기체의 이동 통로 체적이 작게 되므로 처리 용량이 제한적인 단점이 있었다.In addition, since the volume of the passage of the mixed gas is small, there is a disadvantage that the processing capacity is limited.

본 발명은 종래 문제점을 해결하기 위하여 발명된 것으로서, 히터의 외부로부터 내부로 혼합 가스가 이동되도록 통로를 길게 형성하므로 열효율이 우수하고 에너지 낭비가 적어 경제적으로 이익을 줄 수 있는 액체의 기화장치를 제공하는데 있다.Disclosure of Invention Technical Problem [8] The present invention has been made to solve the conventional problems, and it is an object of the present invention to provide a vaporization apparatus for a liquid, which has a long passageway for moving a mixed gas from outside to inside of the heater, .

본 발명의 다른 목적은 혼합 기체 이동 통로의 체적이 대폭 커져서 처리용량이 우수하여 성능과 상품성을 향상시킬 수 있는 액체의 기화장치를 제공하는데 있다.It is another object of the present invention to provide a liquid vaporization apparatus capable of improving the performance and merchantability because the volume of the mixed gas moving passage is greatly increased and the processing capacity is excellent.

이러한 목적을 달성하기 위해 본 발명의 구성은, 소정의 압력으로 이동되는 물을 가열하는 액체가열기(10)와,In order to accomplish the above object, the present invention provides a liquid heating apparatus comprising: a liquid heater for heating water to be moved at a predetermined pressure;

이 액체가열기(10)를 통해 가열하여 물을 공급하는 송수관(20)과,A water pipe 20 for heating water through the liquid heater 10 to supply water,

소정의 압력을 유지하는 캐리어 가스를 가열하는 가스가열기(30)와, A gas heater 30 for heating a carrier gas that maintains a predetermined pressure,

이 가스가열기(30)를 통해 가열된 가스를 공급하는 가스관(40)과,A gas pipe 40 for supplying a gas heated through the gas heater 30,

상기 송수관(20)으로부터 공급되는 물과 가스가 각각 분리되어 유입된 후 혼합되어 캐리어 가스와 함께 노즐(54)을 통과할 때 순간적인 감압으로 액체가 기화되도록 하는 인젝션(50)과,An injection 50 for allowing the liquid to be vaporized by instantaneous depressurization when water and gas supplied from the water pipe 20 are separated and mixed and then mixed with the carrier gas and passed through the nozzle 54,

상기 인젝션(50)으로부터 캐리어 가스와 연무상태의 기화액체가 재액화 되지 않도록 균일하게 혼합되며 히터(70)에 의해 일정 온도로 가열시킨 후 소성로(1)로 공급되도록 하는 베어퍼라이져(60)로 구성되는 액체의 기화장치에 있어서,The carrier gas and the vaporized liquid in the aerosol state are uniformly mixed so as not to be re-liquefied, heated to a predetermined temperature by the heater 70, and then supplied to the baking furnace 1 In the vaporization apparatus for a liquid to be constituted,

상기 베어퍼라이져(60)는 인젝션(50)이 내부로 접속되고, 베이스 가스가 유입되도록 하는 연결관(81)이 형성된 프랜지관(80)에 속이 비어 있고 상부가 트여진 외통(61)을 고정 설치하고,The baffle riser 60 is connected to the inside of the baffle riser 60 and is fixed to the flange tube 80 in which the connection pipe 81 for introducing the base gas is formed, Install,

이 외통(61)의 내부에는 노즐(54) 방향으로 마감캡(66)으로 마감되고 하부가 트여진 내통(62)을 설치하며,The outer cylinder 61 is provided with an inner cylinder 62 closed by a finishing cap 66 in the direction of the nozzle 54 and bottomed,

프랜지관(80)의 외부로부터 전원이 공급되는 코일히터(71)를 상기 내통(62)의 내부로 설치하여 코일히터(71) 내부로 끼워 설치된 배출관(63)을 통해 혼합 기체가 소성로(1)로 공급되도록 하고,
상기 외통(61)의 외부에는 케이싱(64)을 프랜지관(80)에 고정 부착하여 그 사이로 보온재(65)가 채워지며,
상기 내통(62)에는 노즐(54)의 분사위치로 마감캡(66)이 고정 설치된 상태로 그 내부로 히터(70)의 온도를 제어하는 과승방지용 써머커플(T1)이 설치되고,
상기 배출관(63)의 단부측에는 소성로(1)로 공급되기 직전 위치로 혼합가스 공급 온도를 측정하기 위한 온도센서(T2)와 노점(Dew point)측정용 센서(S)가 더 구비되는 것을 특징으로 한다.A coil heater 71 to which power is supplied from the outside of the flange pipe 80 is installed inside the inner cylinder 62 and the mixed gas is introduced into the firing furnace 1 through a discharge pipe 63 fitted inside the coil heater 71, Respectively,
A casing 64 is fixed to the outside of the outer cylinder 61 by a flange tube 80 and a heat insulating material 65 is filled therebetween,
A thermosetting thermostat T1 for controlling the temperature of the heater 70 is installed in the inner cylinder 62 while the finishing cap 66 is fixed to the injection position of the nozzle 54,
A temperature sensor T2 and a sensor for measuring a dew point are provided at the end of the discharge pipe 63 for measuring the supply temperature of the mixed gas to a position immediately before being supplied to the firing furnace 1 do.

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이러한 본 발명에 의하면, 히터가 보온재로 싸여진 내통의 내부로 위치되고, 혼합 가스가 내통의 외부로부터 내부로 이동되고, 다시 배출관을 통해 배출되는 과정에서 히터의 열에 의해 접촉되는 시간이 매우 길어지게 된다.According to the present invention, the heater is located inside the inner cylinder wrapped with the heat insulating material, and the time for which the mixed gas is contacted by the heat of the heater during the process of being moved from the outside to the inside of the inner cylinder and being discharged again through the discharge pipe becomes very long .

따라서, 히터의 열이 낭비되는 것을 방지하고, 접촉시간을 향상시키는 것에 의해 에너지 절약 효과가 크게 향상되는 것이다.Therefore, the heat of the heater is prevented from being wasted, and the energy saving effect is greatly improved by improving the contact time.

도 1은 종래 액체 기화장치를 보인 개략도.
도 2는 본 발명의 장치를 보인 종단면도.
도 3은 본 발명의 요부 분해도.
도 4는 본 발명의 요부 확대 단면도.1 is a schematic view showing a conventional liquid vaporization apparatus;
2 is a longitudinal section of the apparatus of the present invention;
3 is an exploded view of the principal part of the present invention.
4 is an enlarged sectional view of the main part of the present invention.

이하, 본 발명의 바람직한 실시 예를 첨부된 도면에 의거하여 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도면에서와 같이 물과 캐리어가스가 각각 송수관(20)과 가스관(40)을 따라 이동된 후 인젝션(50)에서 기화과정을 거쳐 베어퍼라이져(60)에서 고르게 혼합된 후 소성로(1)로 공급된다.As shown in the drawing, the water and the carrier gas are moved along the water pipe 20 and the gas pipe 40, respectively, and then mixed in the baffle riser 60 through the vaporization process in the injection 50, and then supplied to the firing furnace 1 do.

송수관(20)을 따라 이동되는 물은 약 1-3 ㎏/㎠의 압력으로 액체가열기(10)에서 최대 70℃ 의 온도로 가열된 후 인젝션(50)으로 공급된다.The water moved along the water pipe 20 is heated to a temperature of 70 ° C at the liquid heater 10 at a pressure of about 1-3 kg / cm 2 and then supplied to the injection 50.

가스관(40)을 따라 공급되는 캐리어 가스는 물 공급 압력보다 높은 2-5 ㎏/㎠의 압력으로 가스가열기(30)에서 최대 100-120℃ 의 사이의 온도로 가열된 후 인젝션(50)으로 공급된다.The carrier gas supplied along the gas pipe 40 is heated to a temperature of up to 100-120 캜 at the gas heater 30 at a pressure of 2-5 kg / cm 2 higher than the water supply pressure, .

가스가열기(30)의 적합한 온도는 120℃다.The suitable temperature of the gas heater 30 is 120 캜.

캐리어 가스는 질소가스 또는 질소와 수소의 혼합가스이다.The carrier gas is a nitrogen gas or a mixed gas of nitrogen and hydrogen.

가스관(40)과 송수관(20)에는 역류 방지를 위한 체크밸브와 유량을 제어하기 위해 유량콘트롤러(21)와 유체콘트롤러(41)가 설치된다.The gas pipe 40 and the water pipe 20 are provided with a flow controller 21 and a fluid controller 41 for controlling a check valve and a flow rate for prevention of backflow.

인젝션(50)은 서로 다른 위치에서 입구가 형성된 액체통로와 가스통로의 출구가 내부에서 혼합되어 온도가 일정한 상태에서 노즐(54)을 통과할 때 순간적으로 압력이 떨어지면서 액체(물)가 순간적으로 기화된다.Injection 50 causes the liquid (water) to instantaneously flow as the pressure drops instantaneously when the liquid passageway in which the inlet is formed at different positions and the outlet of the gas passage are mixed therein and the liquid passes through the nozzle 54 while the temperature is constant. It is vaporized.

이러한 장치에 의해 기화된 물방울 크기는 10-80 μ 사이의 매우 작은 입경크기의 무화(霧化) 상태로 캐리어 가스와 같이 노즐(54)을 통해 분사된다.The droplet size vaporized by this apparatus is injected through the nozzle 54 like a carrier gas in a very small particle size atomizing state between 10-80 [mu] m.

노즐(54)은 베이퍼라이져(60)의 입구측 프랜지관(80)에 접속되어 있다.The nozzle 54 is connected to the inlet-side flange tube 80 of the vaporizer 60.

그리고, 이 프랜지관(80)에는 속이 빈 상태로 상부가 트여진 외통(61)을 고정 설치 한 후, 외통(61)의 내부로는 내통(62)을 적정 간격을 유지한 상태로 끼워 설치하게 된다.The inner tube 62 is inserted into the outer tube 61 in a state in which the inner tube 62 is maintained at an appropriate interval after the outer tube 61 with the upper torpedo is fixedly installed in the flange tube 80 do.

내통(62)은 노즐(54) 방향으로 마감캡(66)으로 마감되고 하부가 트여져 노즐(54)로부터 분사되는 혼합가스가 외통(61)과 내통(62) 사이에 형성된 통로를 따라 이동된 후, 다시 내통(62)의 단부에서 내부로 유입된다.The inner cylinder 62 is closed with the finishing cap 66 in the direction of the nozzle 54 and the lower portion is wound so that the mixed gas injected from the nozzle 54 is moved along the passage formed between the outer cylinder 61 and the inner cylinder 62 And then flows inwardly from the end of the inner cylinder 62 again.

여기서, 내통(62) 일측에 고정되는 마감캡(66)은 노즐(54)을 향해 반구(半球)형상으로 성형되며, 용접으로 부착된다.Here, the finishing cap 66 fixed to one side of the inner cylinder 62 is formed into a hemisphere shape toward the nozzle 54, and is attached by welding.

또, 이 내통(62)은 외통(61)과 적정 간격을 유지한 상태로 코일히터(71)에 고정되거나, 또는 수개의 스페이셔핀(69)들에 의해 고정 부착된다.The inner cylinder 62 is fixed to the coil heater 71 or is fixedly attached by several spacer pins 69 while maintaining an appropriate gap with the outer cylinder 61.

한편, 내통(62)의 내부에는 프랜지관(80)의 외부로부터 전원이 공급되는 코일히터(71)가 설치되어 있으며, 이 코일히터(71) 내부로는 소성로(1)로 배관되는 배출관(63)이 끼워 설치되어 있다.The inner tube 62 is provided with a coil heater 71 to which power is supplied from the outside of the flange tube 80. The coil heater 71 is connected to a discharge pipe 63 Is inserted and installed.

따라서, 내통(62)의 내부로 유입된 혼합 가스는 히터(70)에 의해 가열되면서 이동된 후 배출관(63)의 단부에서 다시 배출관(63) 내부로 유입된 다음 소성로(1)까지 공급될 수 있도록 하는 것이다. The mixed gas introduced into the inner tube 62 is heated while being heated by the heater 70 and then flows into the discharge tube 63 from the end of the discharge tube 63 and then supplied to the firing furnace 1 .

상기 외통(61)의 외부에는 케이싱(64)을 프랜지관(80)에 고정 부착하여 그 사이로 보온재(65)가 채워져 히터(70)에 의해 가열되는 외통(61)의 적정 온도를 유지하도록 하고, 외부와의 단열로 열효율을 상승시키게 된다.A casing 64 is fixed to the outside of the outer cylinder 61 and fixed to the flange tube 80 so that the temperature of the outer cylinder 61 heated by the heater 70 is maintained by filling the heat insulating material 65 therebetween, And heat efficiency is increased by heat insulation from the outside.

상기 프랜지관(80)의 측면에는 베이스 가스가 유입되도록 하는 연결관(81)이 접속된다.A connecting pipe 81 for allowing the base gas to flow is connected to the side surface of the flange pipe 80.

이러한 구조로 된 본 발명의 베이퍼라이져(60)는 기화된 기체가 재액화 되지 않게 고온 미립화 하는 장치로 액체 혼합가스가 내부를 통과할 때 가스와 연무상태의 기화 액체가 혼합된다.The vaporizer 60 of the present invention having such a structure is a device for high temperature atomization so that the vaporized gas is not re-liquefied, and the gas and the vaporized liquid in the mist state are mixed when the liquid mixed gas passes inside.

여기서, 내통(62)의 내부에 과승방지용 써머커플(T1)이 설치되어 히터(70)의 온도를 제어하는 것에 의해 혼합 가스가 120℃를 유지할 수 있도록 한다.A thermosetting thermostat T1 for preventing overheating is provided in the inner cylinder 62 to control the temperature of the heater 70 so that the mixed gas can be maintained at 120 ° C.

또, 베이퍼라이져(60)의 입구측과 가스가열기(30)의 입구측 사이에는 여분 가스를 보내기 위한 바이패스관(80)이 설치된다.A bypass pipe (80) for supplying extra gas is provided between the inlet side of the vaporizer (60) and the inlet side of the gas heater (30).

베이퍼라져(60)에 의한 물방울의 크기는 0.1-0.01μ 사이의 입경이다.The size of the water droplet by the vaporizer 60 is between 0.1-0.01 micron.

이러한 본 발명에 의한 베이퍼라이져(60) 구조에 의하면, 내통(62)의 내부는 물론 외통(61)의 내경과 내통(62)의 외경 사이에도 히터(70)에 의해 적정 온도를 유지하고 있는 상태로 혼합 가스가 내통(62)의 외측 공간으로부터 이동된 후 내통(62)과 배출관(63) 사이로 이동되고, 다시 배출관(63)의 내부를 따라 이동되는 통로가 모두 히터(70)에 의해 적정 온도로 가열, 유지되고 있게 된다.According to the structure of the vaporizer 60 of the present invention, the temperature inside the inner cylinder 62, the inner diameter of the outer cylinder 61 and the outer diameter of the inner cylinder 62 are maintained at a proper temperature by the heater 70 The mixed gas is moved from the outer space of the inner cylinder 62 to the space between the inner cylinder 62 and the discharge tube 63 and then again moved along the inside of the discharge tube 63 by the heater 70, As shown in Fig.

따라서, 혼합 가스가 열에 영향을 받으면서 이동되는 통로 길이와 체적이 매우 향상되는 결과로 열효율이 우수하고 에너지 낭비가 적어 경제적으로 이익을 줄 수 있는 것이다.Therefore, the length and the volume of the mixed gas are increased while being affected by the heat, resulting in an excellent thermal efficiency and low energy consumption, which can be economically beneficial.

배출관(63)의 단부측에는 소성로(1)로 공급되기 직전 위치로 혼합가스 공급 온도를 측정하기 위한 온도센서(T2)와 노점(Dew point)측정용 센서(S)가 더 설치되어 최종적으로 적정 온도와 습도를 제어하게 된다.A temperature sensor T2 and a sensor S for measuring the supply of the mixed gas to the position immediately before being supplied to the firing furnace 1 are further provided at the end of the discharge pipe 63, And humidity.

이러한 장치에 의해 완성된 수소, 질소 또는 이들 가스가 혼합된 상태로 원하는 적정 온도나 완성되는 세라믹 제품의 종류에 따라 가스에 적정 습도를 유지한 상태로 소성로(1)에 공급시킬 수 있는 것이다.The hydrogen, nitrogen, or these gases mixed by the apparatus can be supplied to the firing furnace 1 in a state where the appropriate humidity is maintained in accordance with the desired temperature or the type of the finished ceramic product.

이상에서 본 발명은 기재된 구체예에 대해서만 상세히 설명되었지만, 본 발명의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부되어 있는 특허청구범위에 속함은 당연한 것이다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is evident that many alternatives, modifications and variations will be apparent to those skilled in the art. will be.

본 발명은 소성로 분야에 적용된다. 특히, 히터가 내부에 내장되고 혼합 가스가 히터의 외측과 내측을 따라 이동되어 열효율이 우수하고 에너지 절감효과가 우수하도록 하는 기술에 적용된다.The present invention is applied to the field of firing furnace. Particularly, the present invention is applied to a technique in which a heater is built in and a mixed gas is moved along the outside and inside of the heater to provide excellent heat efficiency and excellent energy saving effect.

1 - 소성로 10 - 액체가열기
20 - 송수관 30 - 가스가열기
40 - 가스관 50 - 인젝션
54 - 노즐 60 - 베이퍼라이져
61 - 외통 62 - 내통
63 - 배출관 64 - 케이싱
65 - 보온재 71 - 코일히터
80 -프랜지관 81 - 연결관 1 - Firing furnace 10 - Liquid heating
20 - Water pipe 30 - Gas heat
40 - Gas pipe 50 - Injection
54 - Nozzle 60 - Vaporizer
61 - outer tube 62 - inner tube
63 - exhaust pipe 64 - casing
65 - Insulation 71 - Coil heater
80 - Flange tube 81 - Connector

Claims (4)

소정의 압력으로 이동되는 물을 가열하는 액체가열기(10)와,
이 액체가열기(10)를 통해 가열하여 물을 공급하는 송수관(20)과,
소정의 압력을 유지하는 캐리어 가스를 가열하는 가스가열기(30)와,
이 가스가열기(30)를 통해 가열된 가스를 공급하는 가스관(40)과,
상기 송수관(20)으로부터 공급되는 물과 가스가 각각 분리되어 유입된 후 혼합되어 캐리어 가스와 함께 노즐(54)을 통과할 때 순간적인 감압으로 액체가 기화되도록 하는 인젝션(50)과,
상기 인젝션(50)으로부터 캐리어 가스와 연무상태의 기화액체가 재액화 되지 않도록 균일하게 혼합되며 히터(70)에 의해 일정 온도로 가열시킨 후 소성로(1)로 공급되도록 하는 베어퍼라이져(60)로 구성되는 액체의 기화장치에 있어서,
상기 베어퍼라이져(60)는 인젝션(50)이 내부로 접속되고, 베이스 가스가 유입되도록 하는 연결관(81)이 형성된 프랜지관(80)에 속이 비어 있고 상부가 트여진 외통(61)을 고정 설치하고,
이 외통(61)의 내부에는 노즐(54) 방향으로 마감캡(66)으로 마감되고 하부가 트여진 내통(62)을 설치하며,
프랜지관(80)의 외부로부터 전원이 공급되는 코일히터(71)를 상기 내통(62)의 내부로 설치하여 코일히터(71) 내부로 끼워 설치된 배출관(63)을 통해 혼합 기체가 소성로(1)로 공급되도록 하고,
상기 외통(61)의 외부에는 케이싱(64)을 프랜지관(80)에 고정 부착하여 그 사이로 보온재(65)가 채워지며,
상기 내통(62)에는 노즐(54)의 분사위치로 마감캡(66)이 고정 설치된 상태로 그 내부로 히터(70)의 온도를 제어하는 과승방지용 써머커플(T1)이 설치되고,
상기 배출관(63)의 단부측에는 소성로(1)로 공급되기 직전 위치로 혼합가스 공급 온도를 측정하기 위한 온도센서(T2)와 노점(Dew point)측정용 센서(S)가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 액체의 기화장치.

A liquid heater 10 for heating water to be moved at a predetermined pressure,
A water pipe 20 for heating water through the liquid heater 10 to supply water,
A gas heater 30 for heating a carrier gas that maintains a predetermined pressure,
A gas pipe 40 for supplying a gas heated through the gas heater 30,
An injection 50 for allowing the liquid to be vaporized by instantaneous depressurization when water and gas supplied from the water pipe 20 are separated and mixed and then mixed with the carrier gas and passed through the nozzle 54,
The carrier gas and the vaporized liquid in the aerosol state are uniformly mixed so as not to be re-liquefied, heated to a predetermined temperature by the heater 70, and then supplied to the baking furnace 1 In the vaporization apparatus for a liquid to be constituted,
The baffle riser 60 is connected to the inside of the baffle riser 60 and is fixed to the flange tube 80 in which the connection pipe 81 for introducing the base gas is formed, Install,
The outer cylinder 61 is provided with an inner cylinder 62 closed by a finishing cap 66 in the direction of the nozzle 54 and bottomed,
A coil heater 71 to which power is supplied from the outside of the flange pipe 80 is installed inside the inner cylinder 62 and the mixed gas is introduced into the firing furnace 1 through a discharge pipe 63 fitted inside the coil heater 71, Respectively,
A casing 64 is fixed to the outside of the outer cylinder 61 by a flange tube 80 and a heat insulating material 65 is filled therebetween,
A thermosetting thermostat T1 for controlling the temperature of the heater 70 is installed in the inner cylinder 62 while the finishing cap 66 is fixed to the injection position of the nozzle 54,
A temperature sensor T2 and a sensor for measuring a dew point are provided at the end of the discharge pipe 63 for measuring the supply temperature of the mixed gas to a position immediately before being supplied to the firing furnace 1 / RTI >

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