KR101748040B1 - Underwater drive apparatus for neutron transmutation doping apparatus - Google Patents
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- 238000009377 nuclear transmutation Methods 0.000 title claims description 6
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 60
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 60
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims abstract description 60
- 230000004044 response Effects 0.000 claims abstract description 8
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 11
- 230000001050 lubricating effect Effects 0.000 claims description 6
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 7
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 230000006378 damage Effects 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 230000014509 gene expression Effects 0.000 description 2
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 2
- 239000000314 lubricant Substances 0.000 description 2
- 239000011022 opal Substances 0.000 description 2
- 238000011160 research Methods 0.000 description 2
- 208000027418 Wounds and injury Diseases 0.000 description 1
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 1
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 description 1
- 230000005255 beta decay Effects 0.000 description 1
- 230000005266 beta plus decay Effects 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000005264 electron capture Effects 0.000 description 1
- 208000014674 injury Diseases 0.000 description 1
- 238000011835 investigation Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
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- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic System or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/26—Bombardment with radiation
- H01L21/263—Bombardment with radiation with high-energy radiation
- H01L21/265—Bombardment with radiation with high-energy radiation producing ion implantation
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- H—ELECTRICITY
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- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E30/00—Energy generation of nuclear origin
- Y02E30/30—Nuclear fission reactors
Abstract
본 발명은 외부로부터 입력되는 제어신호에 응하여 실리콘 잉곳(100)을 조사공 내로 장전 또는 인출시키는 구동수단(200); 상기 구동수단(200)의 일단에 연결되어, 상기 구동수단(200)의 구동력에 의해 상방향 또는 하방향으로 이동하고, 상기 실리콘 잉곳(100)을 원자로 노심 조사공 중심에 위치시키기 위해 자중에 의해 전방향 또는 후방향으로 운동하는 폴더 타입의 구동팔 수단(300); 및 상기 폴더 타입의 구동팔 수단(300) 하부에 마련되며, 상기 실리콘 잉곳(100)이 노심 조사공 중심부에서 회전되도록 하는 구동공구 수단(400); 을 포함하되, 상기 구동수단(200)이, 다수의 지지부재(211)(212)(213)가 다단으로 이루어지며, 영역의 일부가 통공되어 장비들이 상기 통공에 끼워진 상태로 고정되는 지지부(210)와, 하부 지지부재(213)와 중간 지지부재(212) 사이에 마련되며 결합된 체인(220)을 상하로 이동시키는 체인구동부(230)와, 상기 체인구동부(230)의 일단에 결합되어, 상기 체인(220)이 상하로 이동되도록 구동시키는 구동모터(240)와, 외부로부터 입력되는 모터구동 제어신호에 응하여 상기 구동모터(240)가 회전 또는 정지되도록 하며 상기 구동모터(240) 이상 시 상기 체인(220)의 하강속도를 제어하는 모터구동 및 체인하강속도 제어부(250)로 이루어진 것을 특징으로 한다.The present invention is characterized by comprising driving means (200) for loading or unloading the silicon ingot (100) into the irradiation hole in response to a control signal inputted from the outside; The silicon ingot 100 is connected to one end of the driving means 200 and moves upward or downward by the driving force of the driving means 200. The silicon ingot 100 is moved by its own weight A folder-type driving arm means 300 for moving in a forward or backward direction; And driving tool means (400) provided below the folder-type driving arm means (300) for rotating the silicon ingot (100) at the core irradiation hole center portion; Wherein the driving means 200 includes a plurality of support members 211, 212 and 213 having a plurality of stages and a support portion 210 in which a portion of the support member 211 is inserted into the through- A chain drive unit 230 provided between the lower support member 213 and the intermediate support member 212 for moving the coupled chain 220 up and down; A driving motor 240 for driving the chain 220 to move up and down; a driving motor 240 for rotating or stopping the driving motor 240 in response to a motor driving control signal input from the outside; And a motor driving and chain descending speed controller 250 for controlling the descending speed of the chain 220. [
Description
본 발명은 중성자 핵변환 도핑 장치용 수중구동장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 수력으로 돌리면서 조사통과 스크린 위치를 조절하고, 주변 중성자속이 크게 변하지 않도록 하며, 조사가 끝나면 자동으로 인출하기 위한 중성자 핵변환 도핑 장치용 수중구동장치에 관한 것이다.
More particularly, the present invention relates to an apparatus for controlling the position of a screen to be irradiated and passed, a neutron flux surrounding the neutron flux, and a neutron nucleus for automatically withdrawing the neutron flux when the irradiation is completed. And to an underwater drive apparatus for a conversion dope apparatus.
연구용 원자로의 이용 기술 분야 가운데 하나인 중성자 도핑(Neutron Transmutation Doping; 이하 'NTD'로 약칭함)은 반도체를 만들기 위한 도핑 기술 가운데 하나이다. 실리콘 잉곳(Ingot)의 원자핵이 원자로 노심에서 중성자를 흡수하면 β- 붕괴, 궤도 전자 포획 (electron capture), β+ 붕괴, 양성자 방출, α방출 등으로 원래와 다른 원소가 되는 핵변환이 일어나고 이것이 극미량의 다른 원소를 첨가하는 효과로 나타나 유용한 물질이 될 수 있다. Neutron Transmutation Doping (hereinafter abbreviated as NTD), one of the utilization technologies of research reactors, is one of the doping technologies for making semiconductors. When the atomic nuclei of the silicon ingot absorb neutrons from the reactor core, a nuclear transformation occurs which is different from the original due to β - decay, electron capture, β + decay, proton emission, α emission, And it can be a useful substance.
이를 중성자 도핑(NTD) 이라고 하며 n-형 반도체 제조 방법 가운데 가장 높은 비저항 균일도를 갖는다. NTD는 원자로를 이용해야 하므로 다른 반도체 제조법보다 매우 불리하지만, 비저항의 균일도가 매우 높은 제품을 생산할 수 있기 때문에 아직도 이용되고 있다. 그리고 목표 비저항을 정확하게 맞추어야 하는 조건은 어느 제조법에나 공통적인 요구 사항이다. NTD에서 비저항의 균일도와 정확한 비저항은 중성자 조사 균일도와 조사량의 정확도에 달려 있다. This is called neutron doping (NTD) and has the highest resistivity uniformity among n-type semiconductor fabrication methods. NTD is still used because it can produce a product with a very high resistivity uniformity, which is much more disadvantageous than other semiconductor manufacturing methods due to the use of a reactor. And the requirement that the target resistivity must be precisely adjusted is a common requirement for any manufacturing method. In NTD, uniformity of resistivity and accurate resistivity depend on neutron irradiation uniformity and accuracy of irradiation dose.
따라서 NTD 장치의 설계에서 가장 핵심적인 사항은 균일 및 정확한 중성자 조사를 할 수 있는 효과적인 방법을 찾는 것이다. NTD를 위한 실리콘 잉곳(Ingot) 조사 방법은 균일 조사하는 방법에 따라 분류한다. 조사 균일도에는 반경 방향 균일도와 길이 방향 균일도가 있다. 반경 방향 균일도를 얻기 위해서는 대부분의 실리콘 잉곳(Ingot)을 돌리면서 조사한다. 길이 방향 균일도를 얻는 방법으로 첫째는 절반을 조사한 뒤 실리콘 잉곳(Ingot)을 뒤집거나 재배열하여 조사하는 방법이 있다. 둘째로는 조사통이 길이 방향으로 중성자장을 지나가면서 조사하는 방법으로 중성자장을 그대로 이용한다. 마지막으로 수직 조사공에서 중성자 스크린을 이용하는 것으로 중성자속 분포에 따라 스크린의 두께를 조절하여 중성자속 분포를 균일하게 만드는 방법이다. Therefore, the most important point in designing an NTD device is finding an effective way to do homogeneous and accurate neutron irradiation. The silicon ingot irradiation method for NTD is classified according to the uniform irradiation method. Irradiation uniformity has radial uniformity and longitudinal uniformity. In order to obtain radial uniformity, most of the silicon ingots are turned and irradiated. As a method of obtaining uniformity in the longitudinal direction, there is a method of irradiating half of the silicon ingot by inverting or rearranging the silicon ingot. Secondly, we use the neutron field as a method of irradiating the neutron beam in the longitudinal direction. Finally, by using the neutron screen in the vertical irradiation hole, the neutron flux distribution is made uniform by controlling the thickness of the screen according to the neutron flux distribution.
반경방향 균일도를 얻기 위해서는 실리콘 잉곳(Ingot)의 회전은 필수적이다. 이러한 회전력은 모터나 수력을 이용하게 되는데 대부분의 경우 모터를 사용한다. 그러나 실리콘 여러 개의 잉곳(Ingot)들을 다수의 조사공에서 조사할 경우 관련 시설이 매우 복잡하게 되어 조사공 사이의 간섭이 심하게 된다. 이를 극복하기 위해 최근에 수력을 회전력으로 이용하는 방법을 OPAL 원자로에서 유일하게 적용하였다. 그러나, OPAL이 적용한 수력 구동 방법에는 실리콘 잉곳(Ingot)의 수직 위치를 조절할 수 없고, 실리콘 잉곳(Ingot)이 드나들 때 주변 중성자속이 크게 변하는 것을 방지할 수 없으며, 조사가 끝난 뒤에 자동 인출할 수 없다는 문제점이 있다.
Rotation of the silicon ingot is essential to obtain radial uniformity. Such a rotational force uses a motor or a hydraulic force. In most cases, a motor is used. However, when multiple ingots of silicon are investigated in a large number of irradiation holes, the related facilities become very complicated and the interference between the irradiation holes becomes severe. In order to overcome this, OPAL reactor is the only method to utilize the hydraulic power as the rotational force recently. However, the hydraulic operation method applied by OPAL can not control the vertical position of the silicon ingot, it can not prevent the surrounding neutron flux from changing greatly when the silicon ingot goes in and out, There is a problem.
이와 같은 문제점을 해소시키기 위해 본 발명은 수력으로 돌리면서 조사통과 스크린 위치를 조절하고, 주변 중성자속이 크게 변하지 않도록 하며, 조사가 끝나면 자동으로 인출하기 위한 중성자 핵변환 도핑 장치용 수중구동장치를 제공하는데, 그 목적이 있다. 즉, 본 발명은 수력으로 회전하는 실리콘 잉곳(Ingot)을 체인에 매달아서 조사공 내로 인입 또는 인출할 수 있도록 한다.In order to solve such a problem, the present invention provides an underwater driving apparatus for a neutron transformation dope apparatus for adjusting a position of a screen passing through water, turning a surrounding neutron particle so that it does not change largely, It has its purpose. That is, the present invention allows a silicon ingot rotated by a hydraulic force to be suspended from a chain so as to be able to be drawn into or withdrawn from the irradiation hole.
또한, 본 발명은 실리콘 잉곳이 매달리는 체인 끝에는 방사선환경에서 견딜 수 있는 특수 베어링이 마련되어 실리콘 잉곳의 하중을 지탱하면서 체인이 꼬이는 것을 방지하도록 하는 중성자 핵변환 도핑 장치용 수중구동장치를 제공하는데, 그 목적이 있다.
In addition, the present invention provides a submerged driving device for a neutron transmutation doping apparatus which is provided with a special bearing capable of enduring in a radiation environment on a chain end hanging a silicon ingot to prevent the chain from twisting while supporting the load of the silicon ingot. .
본 발명의 실시예에 따른 중성자 핵변환 도핑 장치용 수중 구동장치는 외부로부터 입력되는 제어신호에 응하여 실리콘 잉곳(100)을 조사공 내로 장전 또는 인출시키는 구동수단(200); 구동수단(200)의 일단에 연결되어, 구동수단(200)의 구동력에 의해 상방향 또는 하방향으로 이동하고, 실리콘 잉곳(100)을 원자로 노심 조사공 중심에 위치시키기 위해 자중에 의해 전방향 또는 후방향으로 운동하는 폴더 타입의 구동팔 수단(300); 및 폴더 타입의 구동팔 수단(300) 하부에 마련되며, 실리콘 잉곳(100)이 노심 조사공 중심부에서 회전되도록 하는 구동공구 수단(400)을 포함하고, 상기 구동수단(200)이, 다수의 지지부재(211)(212)(213)가 다단으로 이루어지며, 영역의 일부가 통공되어 장비들이 상기 통공에 끼워진 상태로 고정되는 지지부(210)와, 하부 지지부재(213)와 중간 지지부재(212) 사이에 마련되며 결합된 체인(220)을 상하로 이동시키는 체인구동부(230)와, 상기 체인구동부(230)의 일단에 결합되어, 상기 체인(220)이 상하로 이동되도록 구동시키는 구동모터(240)와, 외부로부터 입력되는 모터구동 제어신호에 응하여 상기 구동모터(240)가 회전 또는 정지되도록 하며 상기 구동모터(240) 이상 시 상기 체인(220)의 하강속도를 제어하는 모터구동 및 체인하강속도 제어부(250)로 이루어질 수 있다.The apparatus for driving an underwater reactor for a neutron transformation dope according to an embodiment of the present invention includes
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본 발명과 관련된 실시예로서, 구동팔 수단(300)이, 구동모터(240)와 체인(220)으로 연결되어 있으며, 자중에 의해 전방향 또는 후방향으로 구동된 후 구동모터(240)의 구동력에 의해 상방향 또는 하방향으로 구동 될 수 있다.
The
본 발명과 관련된 실시예로서, 구동 수단(200)의 체인(220)의 끝단에 마련되어 구동공구 수단(400)과 체결되는 제 1 체결부재(260)를 더 포함하며, 구동공구 수단(400)이, 제 1 체결부재(260)에 체결되어 실리콘 잉곳(100)의 회전이 윤활하게 이루어지도록 하는 윤활 베어링(410)과, 일단은 윤활 베어링(410)에 체결되고, 다른 일단은 실리콧 잉곳(100)과 체결되어 실리콘 잉곳(100)이 상, 하, 전, 후 방향 중 어느 한 방향으로 움직이도록 하는 제 2 체결부재(420)로 이루어질 수 있다.
The driving tool means 400 further comprises a
본 발명과 관련된 실시예로서, 구동팔 수단(300)이, 실리콘 잉곳(100)이 조사공으로부터 완전히 인출된 후 폴더로 접힐 수 있다.
As an embodiment related to the present invention, the driving arm means 300 can be folded into a folder after the
본 발명은 하나의 구동모터를 사용하여 수조 내에서 실리콘 잉곳(Ingot)의 상.하.전.후 방향 제어를 가능하게 함으로써 NTD 구동부와 수조 상부 구조물 간의 간섭사항을 최소화하는 효과가 있다.The present invention has the effect of minimizing interference between the NTD driving part and the water tank top structure by enabling up / down / forward / backward control of the silicon ingot in the water tank by using one driving motor.
또한, 본 발명은 제작비용을 절감할 수 있기 때문에 향후 NTD 설비 경쟁력 확보에 우위를 선점할 수 있으며, 여러 타 연구용 원자로의 NTD 시설에 다양하게 적용할 수 있을 것으로 기대된다.
In addition, since the present invention can reduce the manufacturing cost, it can prevail in securing the competitiveness of NTD facilities in the future and is expected to be applicable to NTD facilities of various research reactors.
도 1은 본 발명에 따른 중성자 핵변환 도핑 장치용 수중구동장치를 설명하기 위한 도면이다.
도 2는 도 1의 구동수단을 설명하기 위한 도면이다.
도 3은 도 1의 구동팔 수단을 설명하기 위한 도면이다.
도 4는 원자로 수조 형상을 설명하기 위한 도면이다.1 is a view for explaining an underwater drive apparatus for a neutron transmutation dope apparatus according to the present invention.
Fig. 2 is a view for explaining the driving means of Fig. 1. Fig.
Fig. 3 is a view for explaining the driving sleeve means of Fig. 1. Fig.
4 is a view for explaining a reactor water tank shape.
본 발명에서 사용되는 기술적 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아님을 유의해야 한다. 또한, 본 발명에서 사용되는 기술적 용어는 본 발명에서 특별히 다른 의미로 정의되지 않는 한, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 의미로 해석되어야 하며, 과도하게 포괄적인 의미로 해석되거나, 과도하게 축소된 의미로 해석되지 않아야 한다. 또한, 본 발명에서 사용되는 기술적인 용어가 본 발명의 사상을 정확하게 표현하지 못하는 잘못된 기술적 용어일 때에는, 당업자가 올바르게 이해할 수 있는 기술적 용어로 대체되어 이해되어야 할 것이다. 또한, 본 발명에서 사용되는 일반적인 용어는 사전에 정의되어 있는 바에 따라, 또는 전후 문맥상에 따라 해석되어야 하며, 과도하게 축소된 의미로 해석되지 않아야 한다.It is noted that the technical terms used in the present invention are used only to describe specific embodiments and are not intended to limit the present invention. In addition, the technical terms used in the present invention should be construed in a sense generally understood by a person having ordinary skill in the art to which the present invention belongs, unless otherwise defined in the present invention, Should not be construed to mean, or be interpreted in an excessively reduced sense. In addition, when a technical term used in the present invention is an erroneous technical term that does not accurately express the concept of the present invention, it should be understood that technical terms can be understood by those skilled in the art. In addition, the general terms used in the present invention should be interpreted according to a predefined or prior context, and should not be construed as being excessively reduced.
또한, 본 발명에서 사용되는 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한 복수의 표현을 포함한다. 본 발명에서, "구성된다" 또는 "포함한다" 등의 용어는 발명에 기재된 여러 구성 요소들, 또는 여러 단계를 반드시 모두 포함하는 것으로 해석되지 않아야 하며, 그 중 일부 구성 요소들 또는 일부 단계들은 포함되지 않을 수도 있고, 또는 추가적인 구성 요소 또는 단계들을 더 포함할 수 있는 것으로 해석되어야 한다.
Furthermore, the singular expressions used in the present invention include plural expressions unless the context clearly dictates otherwise. In the present invention, terms such as "comprising" or "comprising" and the like should not be construed as encompassing various elements or various steps of the invention, Or may further include additional components or steps.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 실시 예를 상세히 설명하되, 도면 부호에 관계없이 동일하거나 유사한 구성 요소는 동일한 참조 번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings, wherein like reference numerals refer to like or similar elements throughout the several views, and redundant description thereof will be omitted.
도 1은 본 발명에 따른 중성자 핵변환 도핑 장치용 수중구동장치를 설명하기 위한 도면이다. 도 2는 도 1의 구동수단을 설명하기 위한 도면이다. 도 3은 도 1의 구동팔 수단을 설명하기 위한 도면이다. 도 4는 원자로 수조 형상을 설명하기 위한 도면이다.
1 is a view for explaining an underwater drive apparatus for a neutron transmutation dope apparatus according to the present invention. Fig. 2 is a view for explaining the driving means of Fig. 1. Fig. Fig. 3 is a view for explaining the driving sleeve means of Fig. 1. Fig. 4 is a view for explaining a reactor water tank shape.
도 1에 도시된 바와 같이, 중성자 핵변환 도핑 장치용 수중-구동장치는 외부로부터 입력되는 제어신호에 응하여 실리콘 잉곳(100)을 조사공 내로 장전 또는 인출시키는 구동수단(200)과, 구동수단(200)의 일단에 연결되어, 구동수단(200)의 구동력에 의해 상방향 또는 하방향으로 이동하고, 실리콘 잉곳(100)을 원자로 노심 조사공 중심에 위치시키기 위해 자중에 의해 전방향 또는 후방향으로 운동하는 폴더 타입의 구동팔 수단(300)과, 폴더 타입의 구동팔 수단(300) 하부에 마련되며, 실리콘 잉곳(100)이 노심 조사공 중심부에서 회전되도록 하는 구동공구 수단(400)으로 이루어진다.
As shown in FIG. 1, the underwater-driving apparatus for a neutron transformation dope apparatus includes driving means 200 for loading or unloading the
도 2에 도시된 바와 같이 구동수단(200)이, 다수의 지지부재(211)(212)(213)가 다단으로 이루어지며, 영역의 일부가 통공되어 장비들이 상기 통공에 끼워진 상태로 고정되는 지지부(210)와, 하부 지지부재(213)와 중간 지지부재(212) 사이에 마련되며 결합된 체인(220)을 상하로 이동시키는 체인구동부(230)와, 상기 체인구동부(230)의 일단에 결합되어, 체인(220)이 상하로 이동되도록 구동시키는 구동모터(240)와, 외부로부터 입력되는 모터구동 제어신호에 응하여 상기 구동모터(240)가 회전 또는 정지되도록 하며 상기 구동모터(240) 이상 시 상기 체인(220)의 하강속도를 제어하는 모터구동 및 체인하강속도 제어부(250)와, 구동 수단(200)의 체인(220)의 끝단에 마련되어 구동공구 수단(400)과 체결되는 제 1 체결부재(260)로 이루어진다.As shown in FIG. 2, the
체인 구동부(230)는 구동모터(240)의 구동력에 정방향 또는 역방향으로 회전하는 2개의 바퀴(231)가 일정 간격으로 이격된 상태로 회동 가능하도록 연결부재(232)에 의해 결합되어 있으며, 도면으로는 미도시되어 있으나 2개의 바퀴(231) 외주연에는 톱니가 형성되어 있으며 톱니에 체인(220)이 걸려서 바퀴(231)의 회전에 따라 체인(220)이 상방향 또는 하방향으로 움직이게 된다.The
모터구동 및 체인하강속도 제어부(250)는 실리콘 잉곳(100)이 조사공으로 장입되는 동안 또는 조사공으로부터 인출되는 동안에 구동모터(240)에 이상이 발생하게 되는 경우에 실리콘 잉곳(100)이 하방향으로 급격하게 하강하지 않도록 하여, 심각한 원자로 손상이 발생되지 않도록 한다. 즉 모터구동 및 체인하강속도 제어부(250)의 체인하강 속도 제어부는 래치이다.
The motor driving and chain descending
도 1 및 도 3에 도시된 바와 같이, 구동팔 수단(300)이, 구동모터(240)와 체인(220)으로 연결되어 있으며, 자중에 의해 전방향 또는 후방향으로 구동된 후 구동모터(240)의 구동력에 의해 상방향 또는 하방향으로 구동된다. 그리고 구동팔 수단(300)에는 폴더가 분리되는 사고가 발생하지 않도록 안전장치가 마련되어 있다.1 and 3, the
구동팔 수단(300)이 실리콘 잉곳(100)이 조사공으로부터 완전히 인출된 후 폴더로 접힌다.The driving arm means 300 is folded into the folder after the
구동팔 수단(300)은 도 4의 원자로 수조 형상을 도시한 도면을 통해 알 수 있는 바와 같이 원자로 벽에 부착 고정되며 한꺼번에 다수개의 실리콘 잉곳(100)을 조사공 내로 장입시킬 수 있도록 다수개가 구비되어 있으며, 폴더가 늘어나거나, 줄어들어 구동팔 수단(300)의 길이가 변경될 수 있음을 알 수 있다.
As shown in the drawing of the reactor water tank of FIG. 4, the driving arm means 300 is fixedly mounted on the walls of the reactor, and a plurality of the
도 1에 도시된 바와 같이 구동공구 수단(400)이, 제 1 체결부재(260)에 체결되어 실리콘 잉곳(100)의 회전이 윤활하게 이루어지도록 하는 윤활 베어링(410)과, 일단은 윤활 베어링(410)에 체결되고, 다른 일단은 실리콘 잉곳(100)과 체결되어 실리콘 잉곳(100)이 상, 하, 전, 후 방향 중 어느 한 방향으로 움직이도록 하는 제 2 체결부재(420)로 이루어질 수 있다. 여기서 윤활 베어링(410)은 교체가 용이하도록 마련되어 있으며, 원자로 노심에서 최대한 원거리에 위치되어 있다.1, the driving tool means 400 includes a lubricating bearing 410 which is fastened to the
구동공구 수단(400)은 도면으로 미도시되어 있으나, 실리콘 잉곳(100)과 체결된 제 2 체결부재(420)에서 구조물의 꼬임현상을 최소화하는 기능 및 안전장치가 마련되어 있으며, 이로 인해 실리콘 잉곳(100)을 조사공 내로 장입시키거나, 조사공으로부터 인출시킬 때 사고가 발생하지 않게 된다.Although the driving tool means 400 is not shown in the figure, the
그리고 구동공구 수단(400)에는 후크 세이프 가이드(Hook Safety Guide)가 마련되어 있으며, 후크 세이프 가이드(Hook Safety Guide)는 실리콘 잉곳(100) 인계 시를 제외하고는 오픈(open)되지 않도록 마련되어 있다. 그리고 후크 세이프 가이드(Hook Safety Guide)는 실리콘 잉곳(100) 인계시 자동으로 열리도록 마련되어 있다.
In addition, the driving tool means 400 is provided with a hook safety guide, and the hook safety guide is not opened except when the
상기와 같이 구성된 중성자 핵변환 도핑 장치용 수중구동장치의 작용에 대해서 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, the operation of the underwater driving apparatus for the neutron transformation dope apparatus constructed as above will be described.
(실리콘 (silicon 잉곳Ingot 장입시Injury ))
먼저 구동공구 수단(400)의 윤활 베어링(410)을 체인(220)의 제 1 체결부재(260)에 결합시키고, 실리콘 잉곳(100)의 고리에 구동공구 수단(400)의 제 2 체결부재(420)를 걸어서 고정시킨다. The
이후 작동신호가 모터구동 및 체인하강속도 제어부(250)로 입력되면, 모터구동 및 체인하강속도 제어부(250)가 구동모터(240)로 구동모터 제어신호를 출력하여 구동모터(240)가 정방향으로 회전하게 되고, 구동모터(240)의 정방향 회전에 따라 체인구동부(230)가 작동하여 체인(220)이 아래방향으로 이동하게 되며, 이로 인해 실리콘 잉곳(100)이 서서히 내려가 조사공으로 장입하게 되고, 구동팔 수단(300)이 최대로 늘어났을 때 실리콘 잉곳(100)은 조사공의 중심부에 위치하게 된다. 즉, 실리콘 잉곳(100)이 장착된 구동팔 수단(300)의 폴더가 최대로 늘어나서 조사공 상부에 정확하게 위치된 후 폴더가 더 이상 늘어나지 않은 상태에서 실리콘 잉곳(100)이 하강하여 장전되도록 한다.When the operation signal is input to the motor driving and chain descending
실리콘 잉곳(100)이 조사공의 중심부에 위치되면 수력회전장치에 의해 실리콘 잉곳(100)을 회전시키면서 실리콘 잉곳이 조사되도록 한다.
When the
(실리콘 (silicon 잉곳Ingot 인출시) Upon withdrawal)
이때 플럭스 모니터링 시스템에 의해 지속적으로 체크하고 있다가 조사가 종료되면, 모터구동 및 체인하강속도 제어부(250)로 조사 종료감지신호를 출력하고, 이에 응하여 모터 구동 및 체인하강속도 제어부(250)는 구동모터(240)가 역회전하도록 한다.At this time, when the flux monitoring system continuously checks and the investigation is completed, the motor drive and chain descend
그러면 체인구동부(230) 또한 역회전을 하게 되고 체인구동부(230)의 역회전에 의해 체인(220)이 하방향에서 상방향으로 움직이게 되고, 실리콘 잉곳(100)이 조사공으로부터 인출되게 된다. 이렇게 실리콘 잉곳(100)이 조사공으로부터 완전하게 인출되면 구동팔 수단(300)은 폴더가 접혀지게 되고 이렇게 구동팔 수단(300)의 길이가 최소로 줄어들였을 때 구동공구 수단(400)에 체결된 실리콘 잉곳(100)이 조사공의 반사체 상부를 완전하게 벗어난 위치에 있게 된다. 이때 구동팔 수단(300)은 폴더 운동과 수직 운동이 동시에 일어날 수 없으며, 2가지 운동 중 하나의 운동을 수행한 후 다른 동작을 수행하게 된다.
Then, the
전술한 내용은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or essential characteristics thereof. Therefore, the embodiments disclosed in the present invention are intended to illustrate rather than limit the scope of the present invention, and the scope of the technical idea of the present invention is not limited by these embodiments. The scope of protection of the present invention should be construed according to the following claims, and all technical ideas within the scope of equivalents should be construed as falling within the scope of the present invention.
100 : 실리콘 잉곳 200 : 구동수단
210 : 지지부
211, 212, 213 : 하부, 중간, 상부 지지부재
220 : 체인 230 : 체인구동부
231 : 바퀴 232 : 연결부재
240 : 구동모터 250 : 모터구동 및 체인하강속도 제어부
260 : 제 1 체결부재 300 : 구동팔 수단
400 : 구동공구 수단 410 : 윤활 베어링
420 : 제 2 체결부재100: silicon ingot 200: driving means
210: Support
211, 212, 213: lower, middle, upper support members
220: chain 230: chain drive
231: wheel 232: connecting member
240: Driving motor 250: Motor driving and chain descending speed control unit
260: first fastening member 300: driving arm means
400: Driving tool means 410: Lubricated bearing
420: second fastening member
Claims (5)
상기 구동수단(200)의 일단에 연결되어, 상기 구동수단(200)의 구동력에 의해 상방향 또는 하방향으로 이동하고, 상기 실리콘 잉곳(100)을 원자로 노심 조사공 중심에 위치시키기 위해 자중에 의해 전방향 또는 후방향으로 운동하는 폴더 타입의 구동팔 수단(300); 및
상기 폴더 타입의 구동팔 수단(300) 하부에 마련되며, 상기 실리콘 잉곳(100)이 노심 조사공 중심부에서 회전되도록 하는 구동공구 수단(400); 을 포함하되,
상기 구동수단(200)이, 다수의 지지부재(211)(212)(213)가 다단으로 이루어지며, 영역의 일부가 통공되어 장비들이 상기 통공에 끼워진 상태로 고정되는 지지부(210)와, 하부 지지부재(213)와 중간 지지부재(212) 사이에 마련되며 결합된 체인(220)을 상하로 이동시키는 체인구동부(230)와, 상기 체인구동부(230)의 일단에 결합되어, 상기 체인(220)이 상하로 이동되도록 구동시키는 구동모터(240)와, 외부로부터 입력되는 모터구동 제어신호에 응하여 상기 구동모터(240)가 회전 또는 정지되도록 하며 상기 구동모터(240) 이상 시 상기 체인(220)의 하강속도를 제어하는 모터구동 및 체인하강속도 제어부(250)로 이루어진 중성자 핵변환 도핑 장치용 수중구동장치.
Driving means (200) for loading or unloading the silicon ingot (100) into the irradiation hole in response to a control signal inputted from outside;
The silicon ingot 100 is connected to one end of the driving means 200 and moves upward or downward by the driving force of the driving means 200. The silicon ingot 100 is moved by its own weight A folder-type driving arm means 300 for moving in a forward or backward direction; And
A driving tool means 400 provided below the folder type driving arm means 300 to rotate the silicon ingot 100 at a core irradiation hole center portion; ≪ / RTI >
The driving unit 200 includes a support 210 having a plurality of support members 211, 212 and 213 and a plurality of support members 210 through which a part of the support member 211 is inserted, A chain drive unit 230 provided between the support member 213 and the intermediate support member 212 for moving the coupled chain 220 up and down and a chain drive unit 230 coupled to one end of the chain drive unit 230, A drive motor 240 for driving the drive motor 240 to move up and down in response to a drive signal from the drive motor 240; And a motor drive and chain descending speed control unit (250) for controlling the descending speed of the chain.
상기 구동팔 수단(300)이, 상기 구동모터(240)와 상기 체인(220)으로 연결되어 있으며, 자중에 의해 전방향 또는 후방향으로 구동된 후 상기 구동모터(240)의 구동력에 의해 상방향 또는 하방향으로 구동되는 것을 특징으로 하는 중성자 핵변환 도핑 장치용 수중구동장치.
The method according to claim 1,
The drive arm unit 300 is connected to the drive motor 240 and the chain 220. The drive arm unit 240 is driven in the forward or backward direction by its own weight and then driven upward or downward by the driving force of the drive motor 240. [ Down direction of the neutron dynamo-doping apparatus.
상기 구동 수단(200)의 체인(220)의 끝단에 마련되어 상기 구동공구 수단(400)과 체결되는 제 1 체결부재(260)를 더 포함하며,
상기 구동공구 수단(400)이, 상기 제 1 체결부재(260)에 체결되어 실리콘 잉곳(100)의 회전이 윤활하게 이루어지도록 하는 윤활 베어링(410)과, 상기 일단은 상기 윤활 베어링(410)에 체결되고, 다른 일단은 실리콧 잉곳(100)과 체결되어 상기 실리콘 잉곳(100)이 상, 하, 전, 후 방향 중 어느 한 방향으로 움직이도록 하는 제 2 체결부재(420)로 이루어지는 것을 특징으로 하는 중성자 핵변환 도핑 장치용 수중구동장치.
The method according to claim 1,
And a first fastening member (260) provided at an end of the chain (220) of the driving means (200) and fastened to the driving tool means (400)
The driving tool means 400 includes a lubricating bearing 410 which is fastened to the first fastening member 260 so that the rotation of the silicon ingot 100 is lubricated and the one end is connected to the lubricating bearing 410 And a second fastening member 420 fastened to the silicon ingot 100 to move the silicon ingot 100 in any one of upward, downward, forward and backward directions. The underwater drive device for the neutron transmutation doping device.
상기 구동팔 수단(300)이, 상기 실리콘 잉곳(100)이 조사공으로부터 완전히 인출된 후 폴더로 접히는 것을 특징으로 하는 중성자 핵변환 도핑 장치용 수중구동장치.
The method of claim 3,
Wherein the driving arm means (300) is folded into a folder after the silicon ingot (100) is completely drawn out from the irradiation hole.
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020150160175A KR101748040B1 (en) | 2015-11-16 | 2015-11-16 | Underwater drive apparatus for neutron transmutation doping apparatus |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020150160175A KR101748040B1 (en) | 2015-11-16 | 2015-11-16 | Underwater drive apparatus for neutron transmutation doping apparatus |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20170056848A KR20170056848A (en) | 2017-05-24 |
| KR101748040B1 true KR101748040B1 (en) | 2017-06-14 |
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020150160175A KR101748040B1 (en) | 2015-11-16 | 2015-11-16 | Underwater drive apparatus for neutron transmutation doping apparatus |
Country Status (1)
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| KR (1) | KR101748040B1 (en) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20190032098A (en) * | 2017-09-19 | 2019-03-27 | 한국원자력연구원 | Ingot station for neutron transmutation doping |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR102569471B1 (en) | 2021-04-28 | 2023-08-23 | 한국원자력연구원 | Device and method for neutron transmutation doping |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000501997A (en) * | 1995-12-15 | 2000-02-22 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | Object transfer device with wide wrist and bent arm |
-
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- 2015-11-16 KR KR1020150160175A patent/KR101748040B1/en active IP Right Grant
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JP2000501997A (en) * | 1995-12-15 | 2000-02-22 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | Object transfer device with wide wrist and bent arm |
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