KR101730904B1 - 전기영동 표시소자 및 그 제조방법 - Google Patents

Abstract

본 발명의 전기영동 표시소자는 공정이 단순화되고 전기영동층의 형성을 신속하게 할 수 있는 것으로, 복수의 화소를 포함하는 화상표시부 및 화상비표시부를 포함하는 제1기판 및 제2기판을 제공하는 단계와, 제1기판상에 박막트랜지스터를 형성하는 단계와, 상기 박막트랜지스터가 형성된 제1기판상에 보호층을 형성하는 단계와, 상기 보호층 위의 화상비표시부에 일방향을 따라 제1기판의 일측에서 타측으로 연장되는 복수의 제1격벽을 형성하고 화상표시부에 화소전극을 형성하는 단계와, 상기 제1격벽들 사이에 형성되는 복수의 영역에 전기영동물질을 적하하는 단계와, 상기 제2기판에 공통전극을 형성하는 단계와, 상기 제2기판의 화상비표시부에 종횡으로 배열되는 복수의 제2격벽을 형성하는 단계와, 제1기판 및 제2기판을 합착하여 제2격벽을 제1격벽 사이에 위치시키는 단계로 구성되며, 상기 제1격벽들 사이에 형성되는 복수의 영역의 각각에는 동일한 컬러의 화소가 배열되며 각각의 영역에는 배열된 화소에 대응하는 컬러의 전기영동물질이 적하되는 것을 특징으로 한다.

Description

전기영동 표시소자 및 그 제조방법{ELECTROPHORETIC DISPLAY DEIVCE AND METHOD OF FABRICATION THEREOF}

본 발명은 전기영동 표시소자 및 그 제조방법에 관한 것이다.

일반적으로 전기영동 표시소자는 전압이 인가되는 한쌍의 전극을 콜로이드용액에 담그면 콜로이드 입자가 어느 한쪽의 극성으로 이동하는 현상을 이용한 화상표시장치로서, 백라이트를 사용하지 않으면서 넓은 시야각, 높은 반사율, 저소비전력 등의 특성을 갖기 때문에, 전기종이(electric paper) 등의 전자기기로서 각광받고 있다.

이러한 전기영동 표시소자는 2개의 기판 사이에 전기영동층이 개재된 구조를 가지며, 2개의 기판중 하나는 투명한 기판으로 이루어지고 다른 하나는 구동소자가 형성된 어레이기판으로 구성됨으로써 입력되는 광을 반사하는 반사형 모드로 화상을 표시할 수 있다.

도 1은 종래 전기영동 표시소자(1)의 구조를 나타내는 도면이다.

도 1에 도시된 바와 같이, 전기영동 표시소자(1)는 복수의 화소영역을 포함하는 제1기판(20) 및 제2기판(40)과, 상기 제1기판(20)의 화상표시부에 형성된 화소전극(18)과, 상기 제2기판(40)에 형성된 공통전극(42)과, 상기 제2기판(40)의 화소와 화소영역 사이의 화상비표시부에 형성되어 각각의 화소를 구획하는 격벽(80)과, 상기 제1기판(20) 및 제2기판(40) 사이에 형성된 전기영동층(60)으로 이루어진다.

도면에는 도시하지 않았지만, 각각의 화소영역에는 박막트랜지스터가 형성되어 화소전극(18)에 전압을 인가함에 따라 상기 화소전극(18)과 공통전극(42) 사이에 전계가 형성되며, 상기 전기영동층(60)을 포함하는 제2기판(40)은 접착층에 의해 제1기판(20)에 합착된다. 전기영동층(60)은 분산매질내(62)에 양전하 및 음전하 특성을 각각 갖는 화이트입자(64) 및 블랙입자(65)가 산포된 전기영동물질로 이루어진다.

이러한 구조의 전기영동 표시소자에서는 화이트입자(64)가 양전하 특성을 갖고 있기 때문에, 외부로부터 화소전극(18)에 (+)전압이 인가되면 공통전극(42)은 상대적으로 (-)전위를 가지게 되므로 (+)전하를 띄는 화이트입자(64)는 공통전극(42)쪽으로 이동하게 된다. 따라서, 외부, 즉 제2기판(40)의 상부로부터 광이 입력되면, 입력된 광이 상기 화이트입자(64)에 의해 대부분 반사되므로 전기영동 표시소자에는 화이트가 구현된다.

반대로, 상기 화소전극(18)에 (-)전압이 인가되면, 공통전극(42)은 (+)전위를 가지게 되어, (+)전하를 띄는 화이트입자(64)는 제1기판(20)으로 이동하게 되어 외부로부터 광이 입력되면, 입력된 광이 거의 반사되지 않게 되므로, 블랙을 구현하게 된다.

상기와 같은 구조의 종래 전기영동 표시소자(1)의 제조방법을 개략적으로 나타내면 다음과 같다.

도 2는 종래 전기영동 표시소자(1)의 제조방법을 개략적으로 나타내는 플로우챠트이다.

도 2에 도시된 바와 같이, 우선 제1기판(20)상에 화소영역을 정의하는 복수의 게이트라인(gate Line) 및 데이터라인(gate Line)을 형성하고 상기 화소영역 각각에 상기 게이트라인과 데이터라인에 접속되는 구동소자인 박막트랜지스터를 형성한다(S101). 이어서, 박막트랜지스터가 형성된 제1기판(20) 상에 화소전극(18)을 형성한다(S102).

한편, 제2기판(40)상에 공통전극(42)을 형성한다(S103). 이어서, 상기 제2기판(40)에 격벽을 형성하여 각각의 화소영역을 구획한 후, 격벽에 의해 구획된 화소영역에 전기영동물질을 충진하여 전기영동층(60)을 형성한다(S105). 그 후, 전기영동층(60)이 형성된 제2기판(40)에 공통전극(42)을 형성하고 그 위에 보호필름을 부착한다(S105,S106). 이때, 도면에는 도시하지 않았지만, 상기 공통전극(42) 상에는 접착층이 형성되어 보호필름은 접착층에 부착된다. 상기 보호필름은 제2기판(40)을 제1기판(20)과 합착하기 위해 제2기판(40)을 합착공정으로 이송할 때 접착층의 접착력이 저하되거나 접착층에 이물질이 달라붙는 것을 방지하기 위해 부착되는 것이다.

통상적으로, 전기영동 표시소자 제조업체에서는 전기영동층(60)이 형성된 제2기판(40)을 공급받아 이를 제1기판(20)에 합착하여 제작한다. 즉, 외부로부터 전기영동 표시소자 형성라인으로 전기영동층(60)이 형성된 제2기판(40)을 이송한 후, 제1기판(20) 및 제2기판(40)을 합착하여 전기영동 표시소자를 완성하는 것이다.

따라서, 전기영동층(60)이 형성된 제2기판(40)은 차량과 같은 이송수단에 의해 먼거리를 이송되어야만 하기 때문에, 이송도중에 접착층의 접착력이 저하되어 제1기판(20) 및 제2기판(40)을 합착할 때 불량이 발생할 수 있는데, 보호필름은 접착층의 접착력이 약화되는 것을 방지하여 불량을 방지하기 위한 것이다.

전기영동 표시소자 제조업체의 제조라인으로 이송된 제2기판(40)은 부착된 보호필름이 박리되고, 이어서 제1기판(20)과 정렬된 후 합착되어 전기영동 표시소자가 완성된다(S109).

그러나, 상기와 같은 방법에 의해 제작된 종래 전기영동 표시소자(1)에서는 다음과 같은 문제가 발생한다.

종래 전기영동 표시소자(1)에서는 제1기판(20) 및 제2기판(40)을 별도로 제작한 후, 접착층에 의해 상기 제1기판(20) 및 제2기판(40)을 합착함으로써 완성된다.

그런데, 전기영동표시소자의 단위 화소는 가로 및 세로의 크기가 150㎛ 이내의 작은 크기로 형성되기 때문에, 이 크기에 정확히 맞도록 전기영동층을 화소와 정렬시키는 것은 매우 어렵게 된다. 전기영동층과 박막트랜지스터가 형성되어 있는 제1기판이 정확히 정렬되지 못하면 전계가 전기영동입자에 정확히 전달되지 못해 구동에러의 원인이 된다.

또한, 상기 제1기판(20) 및 제2기판(40)은 각각 다른 공정상에서 제작된 후, 이송수단에 의해 이송되어 합착공정에서 서로 합착해야 되므로, 인라인으로 제조공정을 형성할 수가 없게 되므로, 제조공정이 지연되고 제조비용이 증가하게 된다.

한편, 제2기판(40)상에는 공통전극(42)을 형성하고 전기영동층(60)을 도포한 후 접착층을 도포하며, 상기 제2기판(40)을 합착공정으로 이송하여 제1기판(20)과 합착하기 위해서는 상기 접착층의 접착력이 저하되거나 접착층에 이물질이 부착되는 것을 방지하기 위해, 상기 접착층에 보호필름을 부착한 상태에서 이송해야만 하며, 동시에 이송된 제2기판(40)을 제1기판(20)에 부착하기 위해서는 제2기판(40)으로부터 보호필름을 박리해야만 하는데, 보호필름의 박리과정에서 정전기가 발생하게 되며, 이 발생된 정전기는 전기영동입자의 초기 배열에 오정렬을 유발시키게 되어 전기영동표시소자의 동작시 빗살무늬모양의 모아레가 발생하는 원인이 되었다.

이와 같이, 종래 전기영동 표시소자에서는 상기 제1기판(20) 및 제2기판(40)은 각각 다른 공정에서 제작되기 때문에, 전기영동층의 접착시 제1기판(20)과 제2기판(40) 사이에 오정렬이 발생하거나 공정이 복잡해지고, 접착층의 박리시 정전기가 발생하여 화질이 불량으로 된다는 문제 등이 있었다.

본 발명은 상기한 문제를 해결하기 위한 것으로, 전기영동층을 박막트랜지스터가 형성되는 기판에 직접 형성함으로써 제조비용을 절감하고 제조공정을 단순화할 수 있는 전기영동 표시소자 및 그 제조방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명의 다른 목적은 신속한 전기영동층의 형성이 가능한 전기영동 표시소자 및 그 제조방법을 제공하는 것이다.

본 발명은 상기한 목적을 달성하기 위해, 본 발명에 따른 전기영동 표시소자 제조방법은 복수의 화소를 포함하는 화상표시부 및 화상비표시부를 포함하는 제1기판 및 제2기판을 제공하는 단계; 제1기판상에 박막트랜지스터를 형성하는 단계; 상기 박막트랜지스터가 형성된 제1기판상에 보호층을 형성하는 단계; 상기 보호층 위의 화상비표시부에 일방향을 따라 제1기판의 일측에서 타측으로 연장되는 복수의 제1격벽을 형성하고 화상표시부에 화소전극을 형성하는 단계; 상기 제1격벽들 사이에 형성되는 복수의 영역에 전기영동물질을 적하하는 단계; 상기 제2기판에 공통전극을 형성하는 단계; 상기 제2기판의 화상비표시부에 종횡으로 배열되는 복수의 제2격벽을 형성하는 단계; 및 제1기판 및 제2기판을 합착하여 제2격벽을 제1격벽 사이에 위치시키는 단계로 구성되며, 상기 제1격벽들 사이에 형성되는 복수의 영역의 각각에는 동일한 컬러의 화소가 배열되며 각각의 영역에는 배열된 화소에 대응하는 컬러의 전기영동물질이 적하되는 것을 특징으로 한다.

상기 제1격벽은 화소전극을 형성하기 전에 형성할 수도 있고 화소전극을 형성한 후에 형성할 수도 있다. 상기 전기영동물질은 전하특성을 갖는 컬러입자를 포함하며, 상기 전기영동물질은 투명한 분산매질, 블랙분산매질 및 컬러분산매질을 포함한다.

또한, 본 발명에 따른 전기영동 표시소자는 복수의 화소를 포함하는 화상표시부 및 화상비표시부를 포함하는 제1기판 및 제2기판: 상기 제1기판 위에 형성된 박막트랜지스터; 상기 박막트랜지스터가 형성된 기판상에 보호층; 상기 보호층 위의 화상비표시부에 형성된 제1격벽; 상기 보호층 위의 화상표시부에 형성된 화소전극; 제2기판에 형성된 공통전극; 상기 제2기판의 공통전극 위에 형성되어 상기 제1기판의 제1격벽과 함께 복수의 화소를 구획하는 복수의 제2격벽; 상기 제1격벽 및 제2격벽에 배부에 형성된 전기영동층으로 구성되며, 상기 제1격벽 및 제2격벽중 하나는 일방향을 따라 제1기판 또는 제2기판의 일측에서 타측으로 연장되어 형성되고 다른 하나는 일측에서 타측으로 연장되는 격벽의 사이에 배치되도록 일정 거리 이격되어 매트릭스 형상으로 복수개 형성되는 것을 특징으로 한다.

본 발명에서는 전기영동층이 박막트랜지스터가 형성되는 어레이 기판에 직접 형성되므로, 전기영동층을 어레이 기판에 합착하기 위해 사용되는 접착층이나 접착층을 보호하기 위한 보호필름이 필요없게 되어 제조비용을 절감할 수 있다. 뿐만 아니라 박막트랜지스터를 형성하는 어레이 기판의 제조라인상에서 전기영동층을 인라인으로 형성할 수 있기 때문에 제조공정을 단순화할 수 있게 된다.

그리고, 본 발명은 전기영동층을 보호하기 위한 보호필름을 원천적으로 사용하지 않기 때문에 보호필름의 제거시 발생하는 정전기로 인한 화질저하 문제를 개선할 수 있으며, 박막트랜지스터가 형성되는 어레이 기판에 전기영동층을 직접 형성하기 때문에 전기영동층을 별도로 제작한 다음 정렬공정을 통해 합착하는 종래 기술에 비해 오정렬에 의한 화질저하 문제를 근본적으로 해결할 수 있게 된다.

더욱이, 본 발명에서는 복수의 화소가 배치되는 영역에 전기영동물질을 대량으로 적하하여 전기영동층을 형성함으로써 제조공정을 신속하게 할 수 있게 된다.

도 1은 종래 전기영동 표시소자를 나타내는 도면.
도 2는 종래 전기영동 표시소자의 제조방법을 간략하게 나타내는 플로우챠트.
도 3은 본 발명에 따른 전기영동 표시소자의 제조방법을 간략하게 나타내는 플로우챠트.
도 4a-도 4h는 본 발명에 따른 전기영동 표시소자 제조방법을 나타내는 도면.
도 5a 및 도 5b는 각각 본 발명예에 따른 전기영동 표시소자의 제1격벽을 나타내는 도면.
도 6a 및 도 6b는 제1기판에 전기영동물질을 적하하는 것을 나타내는 도면.
도 7a 및 도 7b는 각 본 발명예에 따른 전기영동 표시소자의 제2격벽을 나타내는 도면.
도 8은 본 발명에 따른 전기영동 표시소자의 제1기판 및 제2기판을 합착하는 것을 나타내는 도며.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 따른 전기영동 표시소자 및 그 제방법에 대해 상세히 설명한다.

도 3은 본 발명에 따른 전기영동 표시소자의 제조공정을 대략적으로 나타내는 플로우챠트이다.

도 3에 도시된 바와 같이, 우선 제1기판상에 화소영역을 정의하는 복수의 게이트라인 및 데이터라인을 형성하고 상기 화소영역 각각에 상기 게이트라인과 데이터라인에 접속되는 구동소자인 박막트랜지스터를 형성한다(S101). 이어서, 박막트랜지스터가 형성된 제1기판 상의 화상비표시부에 제1격벽을 형성한 후 화상표시부에 화소전극을 형성한다(S102,S103).

이때, 상기 제1격벽은 제1기판상에 일정 간격을 두고 일 방향을 따라 연장되도록 형성된다. 이때, 상기 제1격벽의 연장방향은 기판의 세로방향 또는 가로방향으로 형성될 수 있으며, 게이트라인이나 데이터라인과 평행하게 형성될 수도 있다.

종래 전기영동 표시소자에서는 격벽에 의해 화소영역이 정의되는데 반해, 본 발명에서는 제1기판에 형성되는 제1격벽에 의해 화소영역이 정의되는 것이 아니라 제1기판의 일방향으로 형성되어 복수의 영역을 정의한다. 이때, 상기 영역은 R(Red), G(Green), B(Blue) 화소영역이 일렬로 배열된 영역일 수 있다. 즉, 이후에 설명하겠지만, 상기 제1격벽에 형성되는 영역에는 동일한 컬러를 갖는 전기영동층이 형성되어 대응하는 컬러의 복수 화소가 형성된다.

이어서, 제1기판의 격벽에 의해 구획된 영역에 전기영동물질을 적하한다(S204). 이때, 전기영동물질은 분산매질과 상기 분산매질에 분산된 컬러입자로 이루어져 있으며, 상기 제1격벽에 의해 구획되는 영역에는 R, G, B의 컬러의 전기영동물질 또는 시안(cyan), 마젠타(Magenta), 옐로우(yellow)와 같은 컬러의 전기영동물이 도포된다.

한편, 제2기판에는 공통전극이 형성되며(S205), 그 위에 제2격벽이 형성된다(S206). 상기 제2격벽은 제2기판에 매트릭스 형상으로, 종횡으로 복수개 배열된다. 이때, 제1기판에 형성되는 제1기판에 의해 정의되는 각각의 영역에 복수개 형성되는데, 상기 제2격벽의 길이는 제1격벽과 제1격벽 사이의 간격과 동일하게 형성된다.

그 후, 상기 제1기판 및 제2기판을 정렬한 후, 합착하여 전기영동표시소자를 완성한다(S207,S208). 상기 제1기판 및 제2기판을 정렬할 때, 상기 제2기판의 제2격벽은 제1기판의 제1격벽 사이에 배치된다. 상기 제2격벽이 종횡으로 복수개 배치되고 그 길이가 제1격벽의 간격과 동일하므로, 상기 제1격벽과 제2격벽이 합착되면, 상기 제2격벽이 제1격벽 사이에 빈틈없이 삽입된다. 따라서, 제1기판과 제2기판이 합착되면, 제1격벽 및 제2격벽이 매트릭스형상으로 배열되어 각각의 화소영역을 구획할 수 있게 된다.

또한, 본 발명에서는 상기 공통전극은 투명한 도전물질을 제2기판에 증착 등의 방법으로 적층함으로써 형성되는 것으로서, 제1기판에 형성된 박막트랜지스터나 화소전극과 동일한 제조라인에 의해 형성된다. 다시 말해서, 본 발명에서는 제2기판의 공정을 제1기판의 공정과 동일한 제조라인에서 실행할 수 있기 때문에, 종래 전기영동 표시소자에서 다른 공장에서 제2기판을 제작한 후 이송하여 제1기판 및 제2기판을 합착하는데 비해, 인라인으로 제1기판 및 제2기판을 제작하고 이들 제1기판 및 제2기판을 합착할 수 있게 된다.

상기한 바와 같이, 본 발명에서는 제1기판 및 제2기판의 제조공정이 인라인으로 이루어지므로, 제2기판의 이송이나 전기영동층이 형성된 기판을 박막트랜지스터 기판에 부착하기 위한 접착층이나 상기 접착층을 보호하기 위한 보호필름이 필요없게 되고, 전기영동층이 형성된 기판의 접착층을 보호하는 보호필름을 박리하는 공정 등이 필요없게 되므로 제조공정을 단순화할 수 있게 된다.

이하에서는 본 발명에 따른 전기영동 표시소자의 실제 제조방법을 도 4a-도 4h를 참조하여 상세히 설명한다. 이때, 전기영동 표시소자는 실질적으로 복수의 단위 화소로 이루어져 있지만, 설명의 편의를 위해 도면에서는 하나의 화소만을 도시하였다.

우선, 도 4a에 도시된 바와 같이, 화상표시부와 화상비표시부로 이루어지고 유리나 플라스틱과 같이 투명한 물질로 이루어진 제1기판(120) 위에 Cr, Mo, Ta, Cu, Ti, Al 또는 Al합금과 같이 도전성이 좋은 불투명 금속을 스퍼터링법(sputtering process)에 의해 적층한 후 사진식각방법(photolithography process)에 의해 식각하여 게이트전극(111)을 형성한 후, 상기 게이트전극(111)이 형성된 기판(120) 전체에 걸쳐 CVD(Chemicla Vapor Deposition)법에 의해 SiO₂나 SiNx 등과 같은 무기절연물질을 적층하여 게이트절연층(122)을 형성한다.

이어서, 도 4b에 도시된 바와 같이, 제1기판(120) 전체에 걸쳐 비정질실리콘(a-Si)과 같은 반도체물질을 CVD법에 의해 적층한 후 식각하여 반도체층(113)을 형성한다. 또한, 도면에는 도시하지 않았지만, 상기 반도체층(113)의 일부에 불순물을 도핑하거나 불순물이 첨가된 비정질실리콘을 적층하여 이후 형성되는 소스전극 및 드레인전극을 반도체층(113)과 오믹접합시키는 오믹컨택층(ohmic contact layer)을 형성한다.

그후, 도 4c에 도시된 바와 같이, 제1기판(120) 상에 Cr, Mo, Ta, Cu, Ti, Al 또는 Al합금과 같이 도전성이 좋은 불투명 금속을 스퍼터링법에 의해 적층한 후 식각하여 반도체층(113) 위, 엄밀하게 말해서 오믹컨택층 위에 소스전극(115) 및 드레인전극(116)을 형성하고, 이어서 상기 소스전극(115) 및 드레인전극(116)이 형성된 제1기판(120) 전체에 걸쳐 BCB(Benzo Cyclo Butene)이나 포토아크릴(photo acryl)과 같은 유기절연물질을 적층하여 보호층(124)을 형성한다. 이때, 상기 보호층(124)에는 그 일부가 식각되어 상기 드레인전극(116)이 외부로 노출되는 컨택홀(117)이 형성된다.

또한, 도면에는 도시하지 않았지만, 상기 보호층(124)은 복수의 층으로 형성될 수 있다. 예를 들면, 보호층(124)은 BCB이나 포토아크릴과 같은 유기절연물질로 이루어진 유기절연층 및 SiO₂나 SiNx 등과 같은 무기절연물질로 이루어진 무기절연층의 이중의 층으로 형성될 수도 있고, 무기절연층과 유기절연층 및 무기절연층으로 형성할 수도 있을 것이다. 유기절연층을 형성함에 따라 보호층(124)의 표면이 평탄하게 형성되며, 무기절연층을 적용함에 따라 보호층(124)과의 계면특성이 향상된다.

이어서, 도 4d에 도시된 바와 같이, 제1기판(120)의 화상비표시영역에 제1격벽(180)을 형성한다. 상기 제1격벽(180)은 수지 등으로 이루어진 절연층을 적층한 후 포토레지스트를 이용한 사진식각방법에 의해 식각함으로써 형성할 수도 있고 감광성 수지를 적층한 후 사진식각방법에 의해 식각함으로써 형성할 수도 있다. 또한, 상기 제1격벽(180)은 인쇄롤 등과 같은 인쇄법에 의해 패턴화된 제1격벽(180)을 인쇄함으로써 형성할 수도 있으며, 격벽에 대응하는 홈이 형성된 몰드를 제작한 후, 상기 몰드의 절연물질을 제1기판(120)으로 전사함으로써 형성할 수도 있다. 그리고, 상기 제1격벽(180)은 임프린트(imprint)방식으로 형성될 수도 있을 것이다.

실질적으로 이러한 제1격벽(180)의 형성은 특정한 방법에 의해 한정되는 것은 아니다. 상기에서 특정한 방법을 설명한 것은 설명의 편의를 위한 것이지, 본 발명을 한정하기 위한 것이 아니다. 상기 제1격벽(180)은 이미 알려진 다양한 방법에 의해 형성될 수 있을 것이다.

도 5a 및 도 5b는 각각 상기 방법에 의해 형성되는 제1격벽(180)의 형상을 나타내는 것으로, 도 5a는 단면도이고 도 5b는 사시도이다.

도 5a 및 도 5b에 도시된 바와 같이, 상기 제1격벽(180)은 복수개가 제1기판(120) 상의 일측으로부터 타측으로 연장되어 형성된다. 상기 복수의 제1격벽(180)은 제1기판(120)의 화상비표시영역을 따라 형성되는데, 이때 상기 제1격벽(180)은 제1기판(120)의 가로방향 또는 세로방향으로 형성된다. 엄밀하게 말하면, 상기 제1격벽(180)은 제1기판(120)에 형성되는 데이터라인과 평행하게 배치되거나 게이트라인과 평행하게 배치될 수 있다.

통상적으로 컬러 전기영동 표시소자에서는 R(Red), G(Ged), B(Blue) 화소가 반복되어 형성되는데, 이때 각각의 R(Red), G(Ged), B(Blue) 화소는 일방향을 따라 복수개가 스트립형태로 배열된다. 두개의 제1격벽(180) 사이에 형성되는 영역은 동일한 컬러의 화소가 배치되는 영역으로서, 제1영역(182a)에는 복수의 R화소가 스트립형태로 배치되고 제2영역(182b)에는 복수의 G화소가 스트립형태로 배치되며, 제3영역(182c)에는 복수의 b화소가 스트립형태로 배치된다.

상기 제1격벽(180)의 폭은 약 5-20㎛로 형성되며 제1격벽(180)과 제1격벽(180) 사이의 간격은 전기영동 표시소자의 해상도 등에 따라 결정된다. 또한, 상기 제1격벽(180)의 높이는 약 1-100㎛, 특히 5-50㎛로 형성된다. 이때, 상기 제1격벽(180)의 높이는 전기영동표시소자의 두께에 대하여 약 1/10-9/10, 특히 5/10-9/10로 형성한다.

또한, 도면에서는 상기 제1격벽(180)의 단면형상이 마름모꼴로 형성되어 있지만, 상기 제1격벽(180)의 단면형상이 직사각형, 정사각형, 육각형 등과 같은 다양한 형태로 형성될 수 있을 것이다.

이후, 도 4e에 도시된 바와 같이, 제1격벽(180)이 형성된 제1기판(120) 전체에 걸쳐서 ITO(Indium Tin Oxide)나 IZO(Indium Zinc Oxide)와 같은 투명도전물질, Mo, AlNd와 같은 금속을 적층하고 식각하여 제1기판(120)의 화상표시부에 컨택홀(117)을 통해 박막트랜지스터의 드레인전극(116)과 전기적으로 접속되는 화소전극(118)을 형성한다.

이때, 보호층(124) 위에 금속층을 형성하고 식각하여 제1기판(120)의 화상표시영역에 화소전극(118)을 먼저 형성하고, 그 후에 제1기판(120)의 화상비표시영역에 제1격벽(180)을 형성할 수도 있을 것이다.

이어서, 도 4g에 도시된 바와 같이, 제1격벽(180) 내부에 전기영동물질을 충진하여 전기영동층(160)을 형성한다. 상기 전기영동물질은 솔벤트와 같은 분산매질(162)과 상기 분산매질(162)에 산포된 양전하 및 음전하 특성을 갖는 입자(165)로 이루어진다. 이때, 상기 입자(165)는 컬러입자로서, 시안(cyan), 마젠타(Magenta), 옐로우(yellow)와 같은 컬러입자 또는 R(Red), G(Green), B(Blue)와 같은 컬러입자일 수도 있다.

이때, 컬러입자의 경우 전하특성을 갖는 색소로서, 상기 컬러입자는 음전하를 가질 수도 있고 음전하를 가질 수도 있을 것이다. 또한, 전기영동층(160)에는 한 종류 컬러입자만이 산포될 수도 있고 두 종류의 입자가 산포될 수도 있다. 두 종류의 입자가 산포되는 경우, 상기 입자는 화이트입자나 컬러입자(즉, R,G,B컬러입자)가 산포될 수도 있고 블랙입자와 컬러입자가 산포될 수도 있다. 또한, 다른 컬러를 갖는 두 종류의 입자가 산포될 수 있을 것이다.

상기 분산매질(162)은 컬러입자가 분포되는 것으로, 솔벤트나 액상 폴리머와 같은 액체일 수도 있고 공기 자체일 수도 있다. 상기와 같이 분산매질이 공기 자체라는 것은 분산매질이 없어도 전압이 인가됨에 따라 입자가 공기중에서 움직인다는 것을 의미한다.

상기 분산매질(162)로서 액상폴리머를 사용하는 경우, 상기 분산매질(162)로서 투명한 분산매질이나 블랙 분산매질 또는 컬러 분산매질을 사용할 수 있다. 블랙 분산매질을 사용하는 경우 외부로부터 입사되는 광을 흡수하기 때문에, 블랙구현시 선명한 블랙을 표시하게 되어 콘트라스트를 향상시킬 수 있게 된다. 또한, 컬러 분산매질을 사용하는 경우, 입자(165)는 화이트입자나 블랙입자를 사용할 수도 있고 상기 컬러 분산매질과 다른 컬러를 갖는 입자를 사용할 수도 있을 것이다.

상기 전기영동물질은 적하기를 이용하여 제1기판(120)상에 적하되는데, 이러한 전기영동물질 적하방법을 좀더 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 6a 및 도 6b는 본 발명에 따른 전기영동 표시소자의 전기영동층 형성방법을 나타내는 도면이다.

도 6a 및 도 6b에 도시된 바와 같이, 일방향으로 연장되는 복수의 제1격벽(180)이 형성된 제1기판(120) 위에 적하기(dispenser;190)를 위치시킨 후, 상기 제1격벽(180)에 의해 정의되는 영역(182a,182b,182c) 각각에 입자(162)가 분산된 전기영동물질(161)을 적하한다.

이때, 하나의 영역에는 하나의 적하기(190)에 충진된 전기영동물질(161)이 적하된다. 즉, 하나의 적하기(190)에 의해 하나의 화소영역에만 전기영동물질(161)이 적하되는 것이 아니라 하나의 적하기(190)에 의해 제1격벽(180)을 따라 일방향으로 배열되는 동일한 컬러의 복수의 화소에 한꺼번에 전기영동물질(161)이 적하되는 것이다.

따라서, 본 발명에서는 전기영동물질(161)을 적하하기 위해 3개의 적하기(190)가 사용될 수 있다. 즉, 적색컬러의 전기영동물질이 충진된 적하기(190)를 R-화소가 형성된 영역(182a,182b,182c) 위에 배치한 후, 해당 영역에 적색의 전기영동물질을 적하하고 녹색컬러의 전기영동물질이 충진된 적하기(190)를 G-화소가 형성된 영역(182a,182b,182c) 위에 배치한 후, 해당 영역에 녹색의 전기영동물질을 적하하며, 청색컬러의 전기영동물질이 충진된 적하기(190)를 B-화소가 형성된 영역(182a,182b,182c) 위에 배치한 후, 해당 영역에 청색의 전기영동물질을 적하한다. 이때, 3개 적하기를 순차적으로 작동하여 각각의 영역에 적색컬러의 전기영동물질, 녹색의 전기영동물질, 청색의 전기영동물질이 순차적으로 적하될 수도 있고, 3개의 적하기를 동시에 제1기판(120) 상에 배치시키고 3개의 적하기를 동시에 작동하여 적색컬러의 전기영동물질, 녹색의 전기영동물질, 청색의 전기영동물질을 3개의 영역에 동시에 적하할 수도 있다.

도 6a에 도시된 바와 같이, 적하기(190)는 제1기판(120)의 일측에서 타측으로 이동하면서 전기영동물질(161)을 적하한다. 이때, 적하기(190)에서 적하되는 전기영동물질(161)의 양은 형성되는 전기영동층(160)의 두께와 제1격벽(180) 사이의 간격 및 적하기(190)의 이동속도에 따라 달라진다. 또한, 적하기(190)가 제1기판(120)의 일측에서 타측으로 이동하는 대신, 제1기판(120)이 이동할 수도 있다(엄밀하게 말해서, 제1기판(120)이 로딩되는 전기영동물질 적하테이블 등이 이동할 수 있다).

일영역에 전기영동물질(161)의 적하가 종료되면, 상기 적하기(190)를 제1격벽(180)의 연장방향과 수직방향으로 이동하여 동일 컬러의 화소가 배열된 다른 다른 영역에 적하기(190)를 배치한 후, 적하기(190)을 작동하여 해당 영역에 다시 전기영동물질(161)을 적하한다. 이러한 과정을 제1기판(120) 전체에 걸쳐 반복함으로써 제1기판(120)의 모든 영역(182a,182b,182c)에 전기영동물질(161)을 적하할 수 있게 된다.

상술한 바와 같이, 본 발명에서는 2개의 제1격벽(180) 사이에 배치되는 배치되는 영역에 전기영동물질(161)을 적하함으로써 전기영동층(160)을 형성하는데, 이와 같이 제1격벽(180) 사이에 배치되는 배치되는 영역에 전기영동물질(161)을 적하하는 이유는 다음과 같다.

종래 전기영동 표시소자에서는 매트릭스형상의 격벽에 의해 R,G,B 화소를 둘러싸게 되며, 이 각각의 R,G,B 화소영역에 R,G,B의 컬러 전기영동물질을 적하하여 전기영동층을 형성해야만 한다.

그런데, 전기영동 표시소자에서는 200㎛² 이하의 면적을 갖는 화소가 복수개 형성된다. 따라서, 미세한 크기의 화소에 미세한 양의 전기영동물질을 적하하기 위해서는 매우 정밀하게 전기영동물질의 적하량을 조절해야만 하므로, 고가의 잉크젯 장치가 필요하게 된다.

반면에, 본 발명에서는 미세한 면적을 갖는 화소가 복수개 배치된 대면적의 영역에 전기영동물질을 적하하게 되므로, 각각의 화소에 전기영동물질을 적하하는 경우에 비해 훨씬 많은 양의 전기영동물질을 적하하게 된다. 따라서, 본 발명에서는 적하량을 미세하게 조정할 수 있는 고가의 잉크젯장비가 필요없이 적하장치(dispneser)에 의해 대량의 영동물질을 적하해도 원하는 양을 정확하게 적하할 수 있게 되는 것이다.

또한, 예를 들어 600×800의 해상도를 갖는 전기영동 표시소자를 제작하는 경우, 종래에는 각각의 화소에 전기영동물질을 적하해야만 하기 때문에, 480000회의 잉크젯공정을 반복해야만 하지만, 본 발명에서는 세로로 배열된(즉, 데이터라인을 따라 배열된) 800개의 화소가 형성된 영역에 하나의 적하기(190)로 한번에 전기영동물질을 적하하므로, 600회의 적하에 의해 모든 화소에 전기영동물질이 도포된다. 따라서, 본 발명의 적하장치에 의해 각각의 영역에 적하를 실행함에 따라 종래에 비해 공정이 대폭 간소화되고 신속한 전기영동층의 형성이 가능하게 된다.

다시 말해서, 본 발명과 같이 2개의 제1격벽(180) 사이에 배치되는 배치되는 영역에 전기영동물질(161)을 적하함으로써 전기영동층(160)을 형성함에 따라 제조공정을 대폭 단순화하고 제조비용을 대폭 절감할 수 있게 되는 것이다.

이어서, 도 4g에 도시된 바와 같이, 투명한 물질로 이루어진 제2기판(140) 상에 ITO나 IZO와 같은 투명한 도전물질을 적층하여 공통전극(142)을 형성한 후, 상기 공통전극(142) 위에 제2격벽(148)을 형성한다. 그 후, 도 4h에 도시된 바와 같이, 제2격벽(148)이 형성된 제2기판(140) 상에 실링재를 도포하여 실링층(168)을 형성한 후, 상기 제1기판(120)과 제2기판(140)을 정렬하고 합착하여 전기영동 표시소자를 완성한다. 이때, 상기 실링층(168)은 제2기판(140) 전체에 걸쳐 도포될 수도 있고 제2격벽(148)의 상부에만 도포될 수 있으며, 도포된 실링층(168)은 소프트베이킹된 후 합착후 다시 하드베이킹된다. 한편, 상기 실링층(168)은 제1기판(120)의 전체 또는 제1격벽(180) 상부에 형성될 수도 있을 것이다.

도 7a 및 도 7b에 도시된 바와 같이, 상기 제2격벽(148)은 제2기판(140)의 화상비표시영역 상에 일정 간격을 두고 좌우로 배치되어 있다. 이때, 제2격벽(148)의 높이는 제1기판(120)에 형성되는 제1격벽(180)과 마찬가지로 1-100㎛, 특히 5-50㎛로 형성되고 폭(d)은 약 5-20㎛로 형성되고 길이(ℓ)는 제1격벽(180)과 제1격벽(180) 사이의 간격과 동일하게 형성한다.

또한, 상기 제2격벽(148)은 제1기판(120)의 제1격벽(180)과 제1격벽(180) 사이의 영역을 따라 배열된다. 따라서, 도 8에 도시된 바와 같이, 제1기판(120)과 제2기판(140)을 합착하는 경우, 상기 제2격벽(148)은 제1격벽(180) 사이에 배치되어 해당 영역의 화소를 구획하게 된다.

이때, 제1격벽(180)의 높이와 제2격벽(148)의 높이가 동일하고 제1격벽(180) 사이의 간격이 제2격벽(148)의 길이와 동일하므로, 제1기판(120)과 제2기판(140)이 합착될 때 제2격벽(148)이 제1격벽(180) 사이에 배치되어 상기 제1격벽(180)과 밀착되어, 상기 제1격벽(180)과 제2격벽(148)에 의해 복수의 화소가 완전하게 구획된다.

한편, 상기 제1기판(120) 및 제2기판(140)을 합착할 때, 제2기판(140)의 제2격벽(148)은 제1격벽(180) 사이에 전기영동층(160)이 형성된 상태로 제1기판(120)과 접촉한다. 따라서, 제1기판(120)과 제2기판(140)을 합착할 때, 제2격벽(148)에 상부 표면적에 해당하는 크기에 도포된 전기영동물질이 압력에 의해 다른 영역으로 밀려나게 된다. 즉, 제1기판(120)과 제2기판(140)을 합착함에 따라 제2격벽(148)의 부피에 대응하는 양의 전기영동물질이 다른 영역으로 흘러나가 상기 전기영동층(160)의 높이가 상승하게 된다.

이러한 점을 감안하여 전기영동물질을 제1기판(120)에 적하할 때 적하되는 전기영동물질의 두께가 제1격벽(180)의 높이에 대하여 약 50-90% 가 되도록 하여, 제1기판(120)과 제2기판(140)을 합착했을 때, 제1기판(120)과 제2기판(140) 사이에 형성되는 전기영동층(160)의 두께가 실질적으로 제1격벽(180)의 두께와 동일하도록 한다.

상기 방법에 의해 제작된 본 발명에 따른 전기영동 표시소자의 구조를 도 4h를 참조하여 구체적으로 설명하면 다음과 같다.

도 4h에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 전기영동 표시소자는 제1기판(120)의 화상비표시부에 게이트전극(111), 반도체층(113), 소스전극(115) 및 드레인전극(116)으로 이루어진 박막트랜지스터가 형성되어 있고 그 위에 보호층(124)이 형성된다. 상기 보호층(124) 위의 화상비표시부에는 제1격벽(180)이 형성되고 전기영동층(160)이 역시 제1기판(120)의 화상표시부, 즉 제1격벽(180) 사이의 화소전극(118)에 배치되어 상기 전기영동층(160)이 직접적으로 상기 화소전극(118)과 직접 접촉한다. 따라서, 종래 전기영동 표시장치와는 달리 전기영동층(160)과 화소전극(118) 및 보호층(124) 사이에 전기영동층(160)을 부착하기 위한 별도의 접착층이 필요없게 된다.

제2기판(140)에는 공통전극(142)과 제2격벽이 형성되어 있으며, 전기영동층(160)은 실링층(168)에 의해 실링된다.

상기와 같은 본 발명에 따른 실시예에서는 제1기판(120)과 제2기판(140) 사이의 화상비표시영역에 형성되어 화소를 구획하는 격벽이 제1기판(120)에 형성된 제1격벽(180)과 제2기판(140)에 형성된 제2격벽(148)으로 형성된다.

상술한 바와 같이, 본 발명에서는 전기영동층이 박막트랜지스터가 형성되는 기판에 직접 도포되어 형성되므로, 별도의 기판에 전기영동층이 형성되던 종래에 비해 전기영동층을 합착하기 위한 접착층이나 접착층을 보호하기 위한 보호필름이 필요없게 되어 제조비용을 절감할 수 있을 뿐만 아니라 기존의 박막트랜지스터 제조라인이나 공통전극 형성라인상에서 전기영동층을 형성할 수 있기 때문에 제조공정을 단순화할 수 있게 된다.

또한, 본 발명은 전기영동층을 보호하기 위한 보호필름을 원천적으로 사용하지 않기 때문에 보호필름의 제거시 발생하는 정전기로 인한 화질저하 문제를 개선할 수 있게 된다.

상술한 바와 같이, 본 발명에서는 제1기판 및 제2기판에 각각 제1격벽 및 제2격벽을 형성한 후, 전기영동물질을 제1격벽에 의해 정의되는 복수의 화소를 포함하는 영역에 적하기에 의해 적하하므로, 전기영동층을 신속하게 형성할 수 있게 된다.

한편, 상술한 설명에서는 일방향으로 연장되어 복수의 화소가 배치되는 영역을 정의하는 제1격벽(180)이 제1기판(120)에 형성되고 종횡방향으로 매트릭스형상으로 배치되어 제1격벽(180) 사이에 위치하는 제2격벽(148)이 제2기판(140)에 형성되어 있는 구성에 대해 설명했지만, 일방향으로 연장되는 복수의 제1격벽이 제2기판(140)에 형성되고 상기 제1격벽 사이에 배치되는 제2격벽이 제1기판(120)에 형성될 수도 있다. 이 경우, 전기영동물질은 제1격벽이 형성된 제2기판(140)에 적하되며, 제1기판(120) 및 제2기판(140)을 합착함으로써 전기영동 표시소자가 완성된다.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 전기영동 표시소자 제조방법에서는 전기영동물질이 제1격벽이 형성된 제1기판 및 제2기판에 배치되는 복수의 화소가 형성된 영역에 적하되므로, 신속한 전기영동층의 형성이 가능하게 된다.

이상에서 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 상세하게 설명하였지만, 당해 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 수 있을 것이다.

120,140 : 기판 111 : 게이트전극
113 : 반도체층 115 : 소스전극
116 : 드레인전극 118 : 화소전극
124 : 보호층 142 : 공통전극
160 : 전기영동층 168 : 실링층
148, 180 : 격벽

Claims (27)

1. 화상표시부 및 화상비표시부를 포함하는 제1기판 및 제2기판을 제공하는 단계;
   상기 제1기판상에 박막트랜지스터를 형성하는 단계;
   상기 박막트랜지스터가 형성된 제1기판상에 보호층을 형성하는 단계;
   상기 보호층 위의 화상비표시부에 일방향을 따라 상기 제1기판의 일측에서 타측으로 연장되는 복수의 제1격벽을 형성하고 화상표시부에 화소전극을 형성하는 단계;
   상기 복수의 제1격벽 사이에 형성되는 복수의 영역에 전기영동물질을 적하하는 단계;
   상기 제2기판에 공통전극을 형성하는 단계;
   상기 제2기판의 화상비표시부에 종횡으로 일정 거리 이격되어 배열되는 복수의 제2격벽을 형성하는 단계; 및
   상기 제1기판 및 상기 제2기판을 합착하는 단계로 구성되며,
   상기 제1기판 및 상기 제2기판의 합착에 의해 상기 복수의 제2격벽이 상기 복수의 제1격벽 사이 영역에 배치되어 상기 복수의 제1격벽 및 제2격벽에 의해 구획되는 복수의 화소를 형성하며, 상기 복수의 제1격벽 사이에 형성되는 복수의 영역의 각각에는 동일한 컬러의 화소가 배열되며 각각의 영역에는 배열된 화소에 대응하는 컬러의 전기영동물질이 적하되는 전기영동 표시소자 제조방법.
2. 제1항에 있어서, 상기 복수의 제1격벽 및 상기 화소전극을 형성하는 단계는,
   상기 제1기판의 화상비표시부에 복수의 제1격벽을 형성하는 단계; 및
   상기 제1기판의 화상표시부에 화소전극을 형성하는 단계로 이루어진 전기영동 표시소자 제조방법.
3. 제1항에 있어서, 상기 복수의 제1격벽 및 상기 화소전극을 형성하는 단계는,
   상기 제1기판의 화상표시부에 화소전극을 형성하는 단계; 및
   상기 제1기판의 화상비표시부에 복수의 제1격벽을 형성하는 단계로 이루어진 전기영동 표시소자 제조방법.
4. 제1항에 있어서, 상기 전기영동물질은 전하특성을 갖는 컬러입자를 포함하는 전기영동 표시소자 제조방법.
5. 제4항에 있어서, 상기 전기영동물질은 분산매질을 더 포함하는 전기영동 표시소자 제조방법.
6. 제5항에 있어서, 상기 분산매질은 투명한 분산매질, 블랙분산매질 및 컬러분산매질을 포함하는 전기영동 표시소자 제조방법.
7. 제1항에 있어서, 상기 제1기판 또는 상기 제2기판에 전기영동물질을 실링하는 실링층을 형성하는 단계를 추가로 포함하는 전기영동 표시소자 제조방법.
8. 제7항에 있어서, 상기 실링층은 상기 제1기판 또는 상기 제2기판 전체에 걸쳐 형성되는 전기영동 표시소자 제조방법.
9. 제7항에 있어서, 상기 실링층은 상기 복수의 제1격벽 또는 상기 복수의 제2격벽 상부에 형성되는 전기영동 표시소자 제조방법.
10. 제1항에 있어서, 상기 복수의 제1격벽 및 상기 복수의 제2격벽의 높이는 동일한 전기영동 표시소자 제조방법.
11. 제1항에 있어서, 상기 복수의 제2격벽의 길이는 상기 복수의 제1격벽사이의 간격과 동일한 전기영동 표시소자 제조방법.
12. 제1항에 있어서, 상기 복수의 제1격벽은 데이터라인의 연장방향 또는 게이트라인의 연장방향을 따라 연장되는 전기영동 표시소자 제조방법.
13. 제1항에 있어서, 상기 박막트랜지스터를 형성하는 단계는,
    제1기판 위에 게이트전극을 형성하는 단계;
    상기 게이트전극 위에 반도체층을 형성하는 단계;
    상기 반도체층 위에 소스전극 및 드레인전극을 형성하는 단계로 이루어진 전기영동 표시소자 제조방법.
14. 화상표시부 및 화상비표시부를 포함하는 제1기판 및 제2기판을 제공하는 단계;
    상기 제1기판상에 박막트랜지스터를 형성하는 단계;
    상기 박막트랜지스터가 형성된 제1기판상에 보호층을 형성하는 단계;
    상기 보호층 위의 화상비표시부에 종횡으로 일정 거리 이격되어 배열되는 복수의 제1격벽을 형성하고 화상표시부에 화소전극을 형성하는 단계;
    상기 제2기판에 공통전극을 형성하는 단계;
    상기 제2기판의 화상비표시부에 일방향을 따라 상기 제2기판의 일측에서 타측으로 연장되는 복수의 제2격벽을 형성하는 단계;
    상기 복수의 제2격벽 사이에 형성되는 복수의 영역에 전기영동물질을 적하하는 단계; 및
    상기 제1기판 및 상기 제2기판을 합착하는 단계로 구성되며,
    상기 제1기판 및 상기 제2기판의 합착에 의해 상기 복수의 제2격벽이 상기 복수의 제1격벽 사이 영역에 배치되어 상기 복수의 제1격벽 및 제2격벽에 의해 구획되는 복수의 화소를 형성하며, 상기 복수의 제2격벽 사이에 형성되는 복수의 영역의 각각에는 동일한 컬러의 화소가 배열되며 각각의 영역에는 배열된 화소에 대응하는 컬러의 전기영동물질이 적하되는 전기영동 표시소자 제조방법.
15. 복수의 화소를 포함하는 화상표시부 및 화상비표시부를 포함하는 제1기판 및 제2기판:
    상기 제1기판 위에 배치된 박막트랜지스터;
    상기 박막트랜지스터가 배치된 기판상에 적층된 보호층;
    상기 보호층 위의 화상비표시부에 배치된 복수의 제1격벽;
    상기 보호층 위의 화상표시부에 배치된 화소전극;
    상기 제2기판에 배치된 공통전극;
    상기 제2기판의 공통전극 위에 배치되어 상기 제1기판의 복수의 제1격벽과 함께 복수의 화소를 구획하는 복수의 제2격벽;
    상기 복수의 제1격벽 및 제2격벽에 내부에 구비된 전기영동층으로 구성되며,
    상기 복수의 제1격벽 및 제2격벽중 하나는 일방향을 따라 상기 제1기판 및 상기 제2기판중 한 기판의 일측에서 타측으로 연장되어 형성되고, 다른 하나는 상기 제1기판 및 상기 제2기판중 다른 기판에 일측에서 타측으로 연장되는 복수의 격벽 사이의 영역에 배치되도록 종횡으로 일정 거리 이격되도록 구비되어, 매트릭스 형상으로 구획되는 복수의 화소가 형성되는 전기영동 표시소자.
16. 제15항에 있어서, 상기 박막트랜지스터는,
    상기 제1기판 위에 형성된 게이트전극;
    상기 게이트전극 위에 형성된 반도체층; 및
    상기 반도체층 위에 형성된 소스전극 및 드레인전극으로 이루어진 전기영동 표시소자.
17. 제15항에 있어서, 상기 전기영동층은 전하특성을 갖는 컬러입자를 포함하는 전기영동 표시소자.
18. 제15항에 있어서, 상기 전기영동층은 분산매질을 더 포함하는 전기영동 표시소자.
19. 제18항에 있어서, 상기 분산매질은 투명한 분산매질, 블랙 분산매질 및 컬러 분산매질을 포함하는 전기영동 표시소자.
20. 제15항에 있어서, 상기 복수의 제1격벽의 높이는 합착된 상기 제1기판 및 제2기판 두께의 1/10-9/10인 전기영동 표시소자.
21. 제20항에 있어서, 상기 복수의 제1격벽의 높이는 합착된 상기 제1기판 및 제2기판 두께의 5/10-9/10인 전기영동 표시소자.
22. 제20항에 있어서, 상기 복수의 제1격벽의 높이는 1-100㎛인 전기영동 표시소자.
23. 제22항에 있어서, 상기 복수의 제1격벽의 높이는 5-100㎛인 전기영동 표시소자.
24. 제15항에 있어서, 상기 복수의 제1격벽 및 복수의 제2격벽의 높이는 동일한 전기영동 표시소자.
25. 제15항에 있어서, 상기 매트릭스 형상으로 배치되는 복수의 격벽의 길이는 상기 제1기판 또는 상기 제2기판의 일측에서 타측으로 연장되는 복수의 격벽 사이의 간격과 동일한 전기영동 표시소자.
26. 제15항에 있어서, 상기 제1기판 또는 상기 제2기판의 일측에서 타측으로 연장되는 복수의 격벽은 데이터라인의 연장방향 또는 게이트라인의 연장방향을 따라 연장되는 전기영동 표시소자.
27. 제15항에 있어서, 상기 복수의 제1격벽의 상면은 상기 제2기판의 공통전극에 접촉하고 상기 복수의 제2격벽의 상면은 상기 제1기판의 보호층에 접촉하는 전기영동 표시소자.
    

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