KR101725226B1 - Optics and laser system adopting the optics - Google Patents

Optics and laser system adopting the optics Download PDF

Info

Publication number
KR101725226B1
KR101725226B1 KR1020140170838A KR20140170838A KR101725226B1 KR 101725226 B1 KR101725226 B1 KR 101725226B1 KR 1020140170838 A KR1020140170838 A KR 1020140170838A KR 20140170838 A KR20140170838 A KR 20140170838A KR 101725226 B1 KR101725226 B1 KR 101725226B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
substrate
mirror
coating layer
individual
region
Prior art date
Application number
KR1020140170838A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20160066449A (en
Inventor
정웅희
박정래
성천야
Original Assignee
주식회사 이오테크닉스
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 이오테크닉스 filed Critical 주식회사 이오테크닉스
Priority to KR1020140170838A priority Critical patent/KR101725226B1/en
Publication of KR20160066449A publication Critical patent/KR20160066449A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR101725226B1 publication Critical patent/KR101725226B1/en

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/10—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
    • H01S3/101—Lasers provided with means to change the location from which, or the direction in which, laser radiation is emitted
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
    • G02B26/10—Scanning systems

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
  • Laser Beam Processing (AREA)

Abstract

광학 부품과 이를 적용하는 레이저 장치에 대해 기술한다. 광학부품:은 기판: 그리고 상기 기판의 적어도 일면에 형성되는 코팅층을 구비하며, 상기 기판은 분리 영역에 의해 다수의 개별 영역으로 분리되며, 상기 코팅층은 상기 개별 영역 내에 형성되는 다수의 단위 코팅층을 포함한다.Optical components and laser devices to which they are applied are described. An optical component comprising: a substrate; and a coating layer formed on at least one side of the substrate, the substrate being separated into a plurality of discrete regions by an isolation region, the coating layer comprising a plurality of unit coating layers formed in the discrete regions do.

Description

다분할 광학부품 및 이를 적용하는 레이저 장치{Optics and laser system adopting the optics}Technical Field [0001] The present invention relates to a multi-

본 발명은 다분할 광학부품 및 이를 적용하는 레이저 장치에 관한 것으로서, 상세하게는 다분할 코팅층을 가지는 광학부품 및 이를 적용하는 레이저 장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a multi-split optical component and a laser device using the same, and more particularly, to an optical component having a multi-split coating layer and a laser device using the same.

레이저 장치는 레이저 광원과 이로부터의 레이저 빔을 피가공물에 집중시키는 집광 렌즈계, 그리고 레이저 광원과 집광 렌즈계 사이에 마련되는 미러 및 필터등을 구비한다. The laser apparatus includes a laser light source, a condenser lens system for focusing the laser beam from the laser light source on the workpiece, and a mirror and a filter provided between the laser light source and the condenser lens system.

이러한 레이저 장치에서, 미러나 필터는 레이저 빔에 직접 노출되는 옵틱스, 즉 광학부품으로서 고에너지의 레이저에 의한 스트레스로 인해 그 수명이 제한되어 있다. 종래에는 하나의 광학부품은 일회용이며, 따라서 일정 시간 사용된 후에는 교체하게 된다. In such a laser device, the mirror or the filter is limited in its lifetime due to the stress caused by the optics directly exposed to the laser beam, that is, the high energy laser as the optical component. Conventionally, one optical component is disposable, and therefore, is replaced after a certain period of time.

레이저 장치를 포함한 어떠한 제조 설비에 있어서도 부품의 교체는 재료, 시간, 경제적 손실을 초래한다. 따라서 부품의 잦은 교체에 따른 위와 같은 문제를 개선하기 위한 연구가 요구된다.Replacement of parts in any manufacturing facility, including laser systems, results in material, time and economic losses. Therefore, research is needed to improve the above problems caused by frequent replacement of parts.

본 발명은 고에너지 하에서도 사용 연한이 연장된 광학부품과 이를 적용하는 레이저 장치를 제공한다.The present invention provides an optical component having an extended working life under high energy and a laser device using the same.

본 발명은 레이저 가공 비용을 절감할 수 있는 광학부품 및 이를 적용하는 레이저 장치를 제공한다.The present invention provides an optical component capable of reducing the laser processing cost and a laser device using the optical component.

본 발명에 따른 광학부품:은Optical component according to the present invention: silver

기판: 그리고Substrate: And

상기 기판의 적어도 일면에 형성되는 코팅층을 구비하며,And a coating layer formed on at least one surface of the substrate,

상기 기판은 분리 영역에 의해 다수의 개별 영역으로 분리되며,The substrate is separated into a plurality of discrete regions by an isolation region,

상기 코팅층은 상기 개별 영역 내에 형성되는 다수의 단위 코팅층을 포함하는 구조를 가진다.The coating layer has a structure including a plurality of unit coating layers formed in the individual regions.

본 발명에 따른 광학부품의 일 실시 예에 따르면, 상기 기판은 투명 기판이며, 그리고 상기 광학 부품은 미러(Mirror), 필터(Filter), 파장판(wave plate), 편광판(polarizer) 또는 윈도우(window)일 수 있다.According to an embodiment of the optical component according to the present invention, the substrate is a transparent substrate, and the optical component is a mirror, a filter, a wave plate, a polarizer, or a window ).

본 발명에 따른 광학부품의 다른 실시 예에 따르면, 상기 기판은 사각형이며, 상기 개별 영역은 상기 사각형의 기판에서 분리영역에 의해 구획된 사각형의 개별 영역이다.According to another embodiment of the optical component according to the present invention, the substrate is rectangular, and the individual regions are individual regions of a rectangle separated by a separation region in the rectangular substrate.

본 발명에 따른 광학부품의 또 다른 실시 예에 따르면, 상기 기판은 원반형이며, 상기 개별영역은 원형의 개별영역이다.According to another embodiment of the optical component according to the invention, the substrate is disc-shaped and the individual areas are circular individual areas.

본 발명에 따른 광학부품의 또 다른 실시 예에 따르면, 상기 기판은 원반형이며, 상기 분리 영역은 상기 기판의 중심으로부터 그 가장자리를 향하여 연장되는 방사상 분리 영역이며, 상기 개별 영역은 상기 방사상 분리 영역에 분할된 부채꼴 개별영역이다.According to another embodiment of the optical component according to the present invention, the substrate is disk-shaped, and the separation region is a radial separation region extending from the center of the substrate toward the edge thereof, Is an individual sector of the sector.

본 발명에 따른 레이저 장치:는A laser apparatus according to the present invention comprises:

레이저 빔을 발생하는 광원;A light source for generating a laser beam;

상기 광원으로부터의 레이저 빔을 피가공체에 집중시키는 렌즈 광학계; 그리고A lens optical system that focuses the laser beam from the light source on the workpiece; And

상기 광원과 상기 렌즈 광학계 사이의 광 진행 경로 상에 마련되는 광학부품:를 포함하며,An optical component provided on a light path between the light source and the lens optical system,

상기 광학부품: 은 The optical component: silver

기판: 그리고Substrate: And

상기 기판의 적어도 일면에 형성되는 코팅층을 구비하며,And a coating layer formed on at least one surface of the substrate,

상기 기판은 분리 영역에 의해 다수의 개별 영역으로 분리되며,The substrate is separated into a plurality of discrete regions by an isolation region,

상기 코팅층은 상기 개별 영역 내에 형성되는 다수의 단위 코팅층을 포함하는 구조를 가진다.The coating layer has a structure including a plurality of unit coating layers formed in the individual regions.

본 발명에 따른 레이저 장치의 한 실시 예에 따르면, 상기 기판은 투명 기판이며, 그리고 상기 광학 부품은 미러(Mirror), 필터(Filter), 파장판(wave plate), 편광판(polarizer) 또는 윈도우(window)일 수 있다.According to an embodiment of the laser apparatus according to the present invention, the substrate is a transparent substrate, and the optical component includes a mirror, a filter, a wave plate, a polarizer, or a window ).

본 발명에 따른 레이저 장치의 다른 실시 예에 따르면, 상기 기판은 사각형이며, 상기 개별 영역은 상기 사각형의 기판에서 분리 영역에 의해 구획된 사각형의 개별 영역이다.According to another embodiment of the laser apparatus according to the present invention, the substrate is rectangular, and the individual regions are individual regions of a rectangle partitioned by a separation region in the rectangular substrate.

본 발명에 따른 레이저 장치의 또 다른 실시 예에 따르면, 상기 기판은 원반형이며, 상기 개별영역은 원형의 개별영역이다.According to another embodiment of the laser device according to the present invention, the substrate is disc-shaped, and the individual areas are circular individual areas.

본 발명에 따른 레이저 장치의 또 다른 실시 예에 따르면, 상기 기판은 원반형이며, 상기 분리 영역은 상기 기판의 중심으로부터 그 가장자리를 향하여 연장되는 방사상 분리 영역이며, 상기 개별 영역은 상기 방사상 분리 영역에 분할된 부채꼴 개별영역이다.According to another embodiment of the laser device according to the present invention, the substrate is disk-shaped, and the separation region is a radial separation region extending from the center of the substrate toward the edge thereof, Is an individual sector of the sector.

본 발명은 하나의 광학부품에 형성되는 코팅층은 다수의 개별 영역으로 분할하고, 개별 영역 단위로 레이저 가공시스템에 적용하여 사용한다. 분할된 개별 영역은 인접한 다른 개별 영역과 물리적으로 분리되어 있기 때문에 인접한 다른 개별 영역에 가해지는 스트레스로부터 자유롭다. 따라서, 하나의 개별 영역이 마치 하나의 광학부품으로 사용되고, 하나의 개별 영역의 한계 수명에 이루면 다른 개별 영역을 사용하게 된다. 종래의 광학부품은 전체적으로 하나의 몸체로 된 코팅층을 가지기 때문에 코팅층의 일부 영역에 스트레스가 가해지면 이 스트레스는 한 몸을 이루는 코팅층 전체로 전달된다. 이 때문에 종래 광학부품은 1회용으로 밖에 사용할 수 없었다. 그러나, 본 발명에 따르면, 코팅층이 다수의 개별 영역으로 분할되어 있어서 개별 영역 별로 하나의 광학 부품처럼 사용할 수 있게 된다.In the present invention, the coating layer formed on one optical component is divided into a plurality of individual regions, and is applied to a laser processing system in units of individual regions. Since the divided individual regions are physically separated from other adjacent individual regions, they are free from the stress applied to other adjacent individual regions. Therefore, one individual region is used as one optical component, and the other individual region is used when the individual life region reaches the limit life of one individual region. Since a conventional optical component has a coating layer of one body as a whole, when stress is applied to a part of the coating layer, the stress is transmitted to the entire coating layer. For this reason, conventional optical components can be used only once. However, according to the present invention, the coating layer is divided into a plurality of individual regions, so that the individual regions can be used as one optical component.

도1은 본 발명의 실시 예에 따른 레이저 장치의 개략적 구성도이다.
도2는 본 발명의 실시 예들에 따른 두 미러를 예시한다
도3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 광학 부재로서 미러의 적층 구조를 개략적으로 도시한다.
도4는 본 발명에 따른 미러가 장착될 수 있는 미러 마운트를 예시한다.
도5 내지 제7은 본 발명에 따른 광학부품의 여러 가지 실시 예를 예시하는 것으로, 본 발명에 따른 미러의 다양한 형태를 보인다.
도8은 본 발명에 따른 미러의 한 개별 영역에 레이저 빔이 입사할 때, 레이저 빔에 의한 스트레스가 인접한 다른 개별 영역으로 전달되지 않는 것을 시각적으로 도시한다.1 is a schematic configuration diagram of a laser device according to an embodiment of the present invention.
Figure 2 illustrates two mirrors in accordance with embodiments of the present invention
3 schematically shows a laminated structure of a mirror as an optical member according to an embodiment of the present invention.
Figure 4 illustrates a mirror mount to which a mirror according to the present invention may be mounted.
Figures 5-7 illustrate various embodiments of optical components according to the present invention and show various forms of mirrors according to the present invention.
Fig. 8 visually shows that, when a laser beam is incident on an individual area of a mirror according to the present invention, stress due to the laser beam is not transmitted to other adjacent individual areas.

이하, 첨부된 도면을 참조하면서 본 발명에 따른 광학부품의 다양한 실시 예들과 이를 적용하는 레이저 장치의 실시 예를 설명한다.Hereinafter, various embodiments of the optical component according to the present invention and embodiments of the laser device applying the same will be described with reference to the accompanying drawings.

도1은 본 발명에 따른 광학 부품이 하나 또는 그 이상 적용될 수 있는 본 발명에 따른 레이저 장치의 한 실시 예의 개략적 구성도이다.1 is a schematic block diagram of an embodiment of a laser device according to the invention in which one or more optical components according to the invention can be applied.

도1을 참조하면, 레이저 빔을 발생하는 광원(10)과 광원(10)으로부터의 레이저 빔을 피가공물로 집중하는 제1렌즈 또는 렌즈 광학계(50)와의 사이에 레이저 빔이 진행하는 빔경로(1)가 마련된다. 빔 경로(1) 상에는 제1렌즈(20), 다수의 미러(31, 32, 33, 34, 35) 및 스캐너(40)가 마련된다. 상기 광원(10)은 레이저의 온-오프를 제어하는 레이저 드라이버(60)에 연결된다. 위의 구조에서 상기 미러는 본 발명에 따른 광학 부품의 일종으로서, 본 발명의 기술적 범위를 제한하지 않는다. 본 발명에 따른 광학 부품에는 상기 광학 부품은 판상 구조를 가지는 것으로 미러(Mirror), 필터(Filter), 파장판(wave plate), 편광판(polarizer) 또는 윈도우(window)등이 포함될 수 있다. 이하의 설명에서 언급되는 미러는 광학 부품의 한 예에 불과한다.1, a beam path 10 (hereinafter referred to as a " beam path ") in which a laser beam travels is provided between a light source 10 for generating a laser beam and a first lens or lens optical system 50 for concentrating the laser beam from the light source 10 into a workpiece 1). On the beam path 1, a first lens 20, a plurality of mirrors 31, 32, 33, 34, 35 and a scanner 40 are provided. The light source 10 is connected to a laser driver 60 which controls on / off of the laser. In the above structure, the mirror is a kind of optical component according to the present invention, and does not limit the technical scope of the present invention. In the optical component according to the present invention, the optical component has a plate-like structure and may include a mirror, a filter, a wave plate, a polarizer, or a window. The mirror referred to in the following description is merely an example of an optical component.

상기 제1렌즈(20)는 광원(10)으로부터의 레이저빔의 발산각을 조절하는 기능을 가질 수 있다. 그리고 다수의 미러(31, 32, 33, 34, 35)는 광 경로를 변경하는 광 경로 변경부(30)를 구성한다.The first lens 20 may have a function of adjusting a divergence angle of the laser beam from the light source 10. The plurality of mirrors 31, 32, 33, 34, and 35 constitute an optical path changing unit 30 for changing the optical path.

한편, 스캐너(40)는 예를 들어 갈바노미터 스캐너(Galvanometer Scanner)일 수 있다. 즉, 스캐너(40)는 잘 알려진 바와 같이 스캐너 드라이버(41)를 구비한다. 스캐너(40)는 X 방향과 Y 방향으로 레이저 빔을 스캔 시키는 X-스캐너(40a)와 Y-스캐너(40b)를 구비한다.Meanwhile, the scanner 40 may be, for example, a galvanometer scanner. That is, the scanner 40 has a scanner driver 41 as is well known. The scanner 40 includes an X-scanner 40a and a Y-scanner 40b for scanning the laser beam in the X and Y directions.

한편, 스캐너 드라이버(41)는 상기 X-스캐너(40a)와 Y-스캐너(40b)를 각각 구동하는 X-스캐너 드라이버(41a)와 Y-스캐너 드라이버(41b)를 구비한다.The scanner driver 41 includes an X-scanner driver 41a and a Y-scanner driver 41b for driving the X-scanner 40a and the Y-scanner 40b, respectively.

상기 광 경로 변경부(30)의 미러(31, 32, 33, 34, 35)은 입사한 레이저 빔을 반사하는 것으로 고에너지의 레이저 빔에 의해 높은 스트레스를 받는다. The mirrors 31, 32, 33, 34, and 35 of the optical path changing unit 30 reflect the incident laser beam and are subjected to high stress by the high energy laser beam.

도2는 본 발명에 따른 미러(31)의 두 예를 도시한다. 도2에서 (a)의 미러는 사각판형이며, (b)의 미러는 원반형이다. 이러한 형태는 전술한 다른 미러(32, 33, 34, 35)에 적용된다.Fig. 2 shows two examples of the mirror 31 according to the present invention. In Fig. 2, the mirror in (a) is a rectangular plate, and the mirror in (b) is a disk. This form is applied to the other mirrors 32, 33, 34, and 35 described above.

도3은 미러(31)의 적층 구조를 개략적으로 도시한다. 도시된 바와 같이 미러(31)는 기판(31a)과 기판(31a)의 일면에 형성되는 단층 또는 다층 구조의 코팅층(31b)이 형성된다. 상기 코팅층(31b)의 본 발명의 다른 실시 예에 따라 기판(31a)의 양면에 형성될 수 도 있다. 또한 상기 코팅층(31b)는 AR(antireflection) 코팅층일 수 있다.Fig. 3 schematically shows the lamination structure of the mirror 31. Fig. The mirror 31 has a single layer or multilayer coating layer 31b formed on one surface of the substrate 31a and the substrate 31a. The coating layer 31b may be formed on both sides of the substrate 31a according to another embodiment of the present invention. The coating layer 31b may be an AR (antireflection) coating layer.

도4는 본 발명에 따른 미러(31, 32, 33, 34, 35)가 장착될 수 있는 미러 마운트(71, 72, 73)의 여러가지 예를 도시한다.Figure 4 shows various examples of mirror mounts 71, 72, 73 on which mirrors 31, 32, 33, 34, 35 according to the present invention can be mounted.

도4 의 (a)는 도2의 (b)에 도시된 원반형 미러(31)가 장착되는 원형 회전 마운트를 예시한다. 원형 회전형 미러 마운트(71)는 원반형 미러(31)를 마이크로미터 구조의 회전조절부(71a)에 의해 회전시킬 수 있고, 광원으로부터의 레이져 빔은 미러(31)의 중심을 벗어난 위치로 입사하는 구조를 가짐으로써 미러(31)에 대해 레이져 빔이 입사하는 부분(개별 영역)을 선택할 수 있다. Fig. 4 (a) illustrates a circular rotating mount on which the disk-shaped mirror 31 shown in Fig. 2 (b) is mounted. The circular rotating type mirror mount 71 can rotate the disc type mirror 31 by the rotation adjusting portion 71a having a micrometer structure and the laser beam from the light source is incident on a position deviated from the center of the mirror 31 It is possible to select the portion (individual region) where the laser beam is incident on the mirror 31. Further,

도4의 (b)와 (c)는 도2의 (a)에 도시된 사각판형 미러가 장착되는 슬라이드형 사각 미러 마운트(72, 73)를 예시한다. 슬라이드형 사각 미러 마운트(72, 73)는 미러(31)를 일 방향으로 왕복 시킬 수 있는 마이크로 미터 구조의 회전 조절부(71a)를 가짐으로써 미러(31)에 대한 레이저 빔의 입사 부분(개별 영역)을 선택할 수 있다. Figs. 4 (b) and 4 (c) illustrate slide-type quadrangular mirror mounts 72 and 73 to which the rectangular plate mirror shown in Fig. 2 (a) is mounted. The slidable rectangular mirror mounts 72 and 73 have a rotation regulating portion 71a having a micrometer structure capable of reciprocating the mirror 31 in one direction so that the incident portion of the laser beam to the mirror 31 ) Can be selected.

도5 내지 제7은 본 발명에 따른 광학부품의 여러가지 실시 예를 예시하는 것으로, 본 발명에 따른 미러의 다양한 형태를 보인다.FIGS. 5 to 7 illustrate various embodiments of the optical component according to the present invention, and show various forms of the mirror according to the present invention.

도5의 (a), (b)는 사각 미러(31)에 형성되는 단위 코팅층(31b)의 배열을 도시한다.5 (a) and 5 (b) show the arrangement of the unit coating layer 31b formed on the quadrangular mirror 31. FIG.

도5의 (a), (b)는 사각형의 기판(31a) 위에 2 개 또는 3 개의 사각형의 단위 코팅층(32a)이 형성되어 있다. 단위 코팅층(32a)이 형성되는 영역은 본 발명에서 정의하는 개별영역이며, 개별 영역의 사이 또는 이에 형성되는 단위 코팅층(32a)의 사이에는 분리 영역(31c)가 형성되어 있다. 이 분리 영역은 코팅물질이 형성되지 않으며, 따라서, 예를 들어 기판(31a)의 표면이 노출되는 부분이다. 상기 복수의 코팅층(32a) 각각은 하나의 기판(31a) 상에 형성되지는 하지만, 마치 별개의 광학 부재, 즉 별개의 미러 처럼 사용된다. 5A and 5B, two or three rectangular unit coating layers 32a are formed on a rectangular substrate 31a. A region where the unit coating layer 32a is formed is an individual region defined in the present invention, and a separation region 31c is formed between the individual regions or between the unit coating layers 32a formed thereon. This separation region is a portion where a coating material is not formed, and therefore, for example, a surface of the substrate 31a is exposed. Although each of the plurality of coating layers 32a is formed on one substrate 31a, it is used as if it is a separate optical member, i.e., a separate mirror.

도6은 원반형 기판(31a) 상에 복수의 원형 코팅층(32a)이 형성되어 있고, 이들 복수의 원형 단위 코팅층(32a)은 서로 분리 영역(31c)에 의해 독립적으로 분리되어 있다. 상기 복수의 원형의 단위 코팅층(32a) 각각은 하나의 기판(31a) 상에 형성되지는 하지만, 마치 별개의 광학 부재, 즉 별개의 미러 처럼 사용될 수 있다.6 shows a plurality of circular coating layers 32a formed on a disk-shaped substrate 31a. The plurality of circular unit coating layers 32a are independently separated from each other by a separation region 31c. Although each of the plurality of circular unit coating layers 32a is formed on one substrate 31a, it can be used as a separate optical member, i.e., a separate mirror.

도7에 도시된 미러(31)의 경우는 미러(31)의 중심으로부터 그 외곽의 방사상 방향으로 분리 영역(31c)이 다수 개, 본 실시 예에서는 3개가 형성되어 있고, 분리 영역(31c)에 의해 형성된 부채꼴의 개별 영역에 부채꼴의 코팅층(32a)이 형성된다. 본 실시 예에 의한 미러(31)도 역시 상기 복수의 부채꼴의 단위 코팅층(32a) 각각은 하나의 기판(31a) 상에 형성되지는 하지만, 마치 별개의 광학 부재, 즉 별개의 독립된 미러 처럼 사용된다.In the case of the mirror 31 shown in Fig. 7, a plurality of the separation regions 31c are formed in the radial direction from the center of the mirror 31, in this embodiment, three are formed. In the separation region 31c, A fan-shaped coating layer 32a is formed in the individual region of the fan-shaped portion formed by the fan-shaped fan. The mirror 31 according to this embodiment is also used as a separate optical member, that is, as a separate independent mirror, although each of the plurality of sector unit coating layers 32a is formed on one substrate 31a .

도8은 본 발명에 따른 미러의 한 개별 영역에 레이저 빔이 입사할 때, 레이저 빔에 의한 스트레스가 인접한 다른 개별 영역으로 전달되지 않는 것을 시각적으로 도시한다.Fig. 8 visually shows that, when a laser beam is incident on an individual area of a mirror according to the present invention, stress due to the laser beam is not transmitted to other adjacent individual areas.

도8을 참조하면, 기판(31a) 상에 분리 영역(31c)을 사이에 두고 두 개의 개별 영역이 마련되고 이 부분에 단위 코팅층(31b)이 형성되어 있다. 이러한 구조의 미러(31)에 대해 레이저 빔(LB)이 입사하여 일측의 단위 코팅층(31b)에 입사하며, 고에너지의 레이저 빔에 의해 해당 코팅층(31b)에 스트레스가 가해지게 되어 코팅층의 변질 또는 박리 등의 물리적 변화를 겪게 된다. 이러한 물리적 변화는 해당 개별 코팅층(31b)에서만 발생하고, 인접한 다른 개별 코팅층(31b)으로는 전달되지 않는다.Referring to FIG. 8, two separate regions are provided on a substrate 31a with a separation region 31c therebetween, and a unit coating layer 31b is formed on the substrate 31a. The laser beam LB is incident on the mirror 31 having such a structure and enters the unit coating layer 31b on one side and stress is applied to the coating layer 31b by the high energy laser beam, And physical exfoliation. This physical change occurs only in the individual coating layer 31b and is not transmitted to the adjacent individual coating layer 31b.

하나의 코팅층(31b)에 레이저 빔이 입사함으로써 발생하는 레이저 빔 입사점에서의 스트레스가 그 주위로 둘레로 확산은 하나로 몸체로 연결되어 있는 코팅층(31b) 전반으로 확산된다. 이를 기준으로 종래에는 미러의 한계 수명을 결정하여 왔다. 그러나, 본 발명은 코팅층을 여러 개별 영역으로 분리하여 영역간의 스트레스 확산을 방지하며, 따라서, 하나의 미러의 개별 영역 별도 분리 형성되어 있는 단위 코팅층의 수만큼, 그 한계 수명을 연장하여 사용할 수 있다.The stress at the laser beam incident point, which is generated by the laser beam incident on one coating layer 31b, is diffused to the entirety of the coating layer 31b connected to the body by diffusion around the periphery thereof. Based on this, conventionally, the limit life of the mirror has been determined. However, according to the present invention, the coating layer is divided into several individual regions to prevent stress diffusion between regions, and therefore, the limited lifetime can be extended as much as the number of unit coating layers separately formed in individual regions of one mirror.

미러(Mirror), 필터(Filter), 파장판(wave plate), 편광판(polarizer) 또는 윈도우(window) 등 본 발명의 광학부품 및 이러한 광학 부품을 이용하는 레이저 장치는 보다 다양한 형태로의 응용 및 변형이 가능할 것이다. 이러한 본 발명은 도면에 도시된 실시 예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시 예가 가능함을 이해할 수 있을 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 보호범위는 첨부된 특허청구범위에 의해서만 정해져야 할 것이다.The optical component of the present invention, such as a mirror, a filter, a wave plate, a polarizer, or a window, and a laser device using such an optical component, It will be possible. While this invention has been described in connection with what is presently considered to be the most practical and preferred embodiment, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiments, but, on the contrary, is intended to cover various modifications and equivalent arrangements included within the spirit and scope of the invention. Therefore, the true scope of protection of the present invention should be defined only by the appended claims.

1: 빔 경로
10: 레이저 광원
20: 제1렌즈
30: 광 경로 변경부
31(32, 33, 34, 35): 미러
31a: 기판
31b: 단위 코팅층(개별 영역)
31c: 분리 영역
40: 스캐너
50: 렌즈 광학계
60: 레이저 드라이버
71, 72, 73: 미러 마운트1: Beam path
10: Laser light source
20: first lens
30: Optical path changing section
31 (32, 33, 34, 35): mirror
31a: substrate
31b: Unit coating layer (individual area)
31c: separation area
40: Scanner
50: Lens optical system
60: Laser driver
71, 72, 73: Mirror mount

Claims (10)

삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 레이저 빔을 발생하는 광원;
상기 광원으로부터의 레이저 빔을 피가공체에 집중시키는 렌즈 광학계; 그리고
상기 광원과 상기 렌즈 광학계 사이의 광 진행 경로 상에 마련되는 다분할 미러; 그리고 상기 다분할 미러가 장착되는 미러 마운트;를 포함하며,
상기 다분할 미러는
하나의 기판: 그리고
상기 기판 상의 일면에 형성되는 코팅층을 구비하며,
상기 코팅층은 스트레스 확산을 방지하는 다수의 개별 영역으로 형성되어 있고,
각 개별영역의 사이에는 상기 코팅층을 형성하는 코팅 물질이 형성되지 않고, 상기 기판이 노출되는 분리영역이 형성되어 있어, 각 개별영역이 분리되어 있고, 그리고
상기 미러 마운트는 상기 다분할 미러를 일 방향으로 이동시킬 수 있는 회전 조절부를 구비하여 레이저 빔이 입사하는 개별 영역을 선택할 수 있도록 되어 있는, 레이저 장치.A light source for generating a laser beam;
A lens optical system that focuses the laser beam from the light source on the workpiece; And
A multi-division mirror provided on a light path between the light source and the lens optical system; And a mirror mount on which the multi-division mirror is mounted,
The multi-
One substrate: and
And a coating layer formed on one surface of the substrate,
The coating layer being formed of a plurality of discrete areas for preventing stress diffusion,
Wherein a coating material for forming the coating layer is not formed between each individual region and a separation region is formed in which the substrate is exposed so that each individual region is separated,
Wherein the mirror mount is provided with a rotation regulating portion capable of moving the multi-division mirror in one direction so as to be able to select an individual region into which the laser beam is incident. 삭제delete 제6항에 있어서,
상기 기판은 사각형이며, 그리고 상기 개별 영역은 상기 사각형의 기판에서 분리영역에 의해 구획된 사각형의 개별 영역인 것을 특징으로 하는 레이저 장치.The method according to claim 6,
Wherein the substrate is rectangular and the individual regions are individual regions of a quadrangle defined by a separation region in the rectangular substrate. 제6항에 있어서,
상기 기판은 원반형이며, 상기 개별영역은 원형의 개별영역인 것을 특징으로 하는 레이저 장치.The method according to claim 6,
Wherein the substrate is disk-shaped and the discrete areas are circular discrete areas. 제6항에 있어서,
상기 기판은 원반형이며,
상기 분리 영역은 상기 기판의 중심으로부터 그 가장자리를 향하여 연장되는 방사상 분리 영역이며, 그리고
상기 개별 영역은 상기 방사상 분리 영역에 분할된 부채꼴 개별영역인 것을 특징으로 하는 레이저 장치.The method according to claim 6,
The substrate is disk-
The separation region is a radial separation region extending from the center of the substrate toward the edge thereof, and
Wherein the discrete region is a fan-shaped discrete region divided in the radial separation region.
KR1020140170838A 2014-12-02 2014-12-02 Optics and laser system adopting the optics KR101725226B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020140170838A KR101725226B1 (en) 2014-12-02 2014-12-02 Optics and laser system adopting the optics

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020140170838A KR101725226B1 (en) 2014-12-02 2014-12-02 Optics and laser system adopting the optics

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20160066449A KR20160066449A (en) 2016-06-10
KR101725226B1 true KR101725226B1 (en) 2017-04-10

Family

ID=56190754

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020140170838A KR101725226B1 (en) 2014-12-02 2014-12-02 Optics and laser system adopting the optics

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101725226B1 (en)

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100902150B1 (en) * 2008-09-23 2009-06-10 (주)큐엠씨 Apparatus and method for manufacturing led
JP2011068542A (en) * 2009-09-28 2011-04-07 Kyocera Optec Co Ltd Method for production of optical element

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61129895A (en) * 1984-11-28 1986-06-17 Rohm Co Ltd Formation of fabry-perot reflection surface
KR100556586B1 (en) * 2004-08-03 2006-03-06 주식회사 이오테크닉스 Laser Processing Apparatus using Polygon Mirror with Error Correction Function

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100902150B1 (en) * 2008-09-23 2009-06-10 (주)큐엠씨 Apparatus and method for manufacturing led
JP2011068542A (en) * 2009-09-28 2011-04-07 Kyocera Optec Co Ltd Method for production of optical element

Also Published As

Publication number Publication date
KR20160066449A (en) 2016-06-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR102303178B1 (en) Laser machining device and laser machining method
JP6272145B2 (en) Laser processing apparatus and laser processing method
EP2529875B1 (en) Laser processing method
US10882221B2 (en) Peeling method of flexible substrate
JP5836415B2 (en) Laser processing method and semiconductor device manufacturing method
EP2529874B1 (en) Laser processing system
US6819871B1 (en) Multi-channel optical filter and multiplexer formed from stacks of thin-film layers
US20110256736A1 (en) Method for processing a substrate using a laser beam
JP2018527829A (en) Multi-aperture imaging device having optical substrate
US20120234808A1 (en) Laser processing method
KR20150131389A (en) Apparatus for and method of forming plural groups of laser beams using two rotating diffractive optical elements
JP2016087694A (en) Laser fiber array for dicing semiconductor wafer
KR101582632B1 (en) Substrate cutting method using fresnel zone plate
US20180154482A1 (en) Laser processing apparatus
KR101725226B1 (en) Optics and laser system adopting the optics
CN105102171A (en) Laser irradiation device and manufacturing method of laminate optical member
CN108224367B (en) Light source switching device and display device
KR20060058110A (en) Mirror comprising a diamond substrate for a deflection unit in a laser system, method for the producti0n thereof, and deflection unit for a laser system
US20190302471A1 (en) Positioning member and polarization beam combining module using positioning member
JP2008132500A (en) Laser beam machining apparatus, laser beam machining method, method of manufacturing substrate and method of manufacturing electo-optical apparatus
TW200922726A (en) Device for machining a workpiece by means of parallel laser beams
WO2020235395A1 (en) Method for manufacturing aerial image forming device
WO2022265046A1 (en) Laser processing device and laser processing method
KR20210085658A (en) Laser beam machining system and method for cutting of substrate using the same
CN106862779B (en) A kind of laser cutting device and laser cutting method

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E90F Notification of reason for final refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant