KR101721681B1 - Vaporizer - Google Patents

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KR101721681B1
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서판길
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Abstract

The present invention relates to a vaporizer, and more particularly, to a vaporizer capable of vaporizing a liquefied source by using an induction heating method and a fine flow path hole. To this end, disclosed is the vaporizer which includes a spray nozzle part which sprays the liquefied source with a liquefied particle shape, a first flow path part which diffuses liquefied particles, a vaporizing part which vaporizes the liquefied particles supplied from the first flow path part, wherein the first flow part is located on one side of the vaporizing part, a second flow path part which is located on the other side of the vaporizing part to correspond to the first flow path part, a discharge part which discharges a vaporization gas which is vaporized in the vaporizing part, and an induced electromotive force generating part which is wound in a circumferential direction of the vaporizing part and heats the vaporizing part.

Description

기화기{Vaporizer}Vaporizer {Vaporizer}

본 발명은 기화기에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 유도가열 방식 및 미세 유로 홀을 이용하여 액상소스를 기화시키는 기화기에 관한 것이다.The present invention relates to a vaporizer, and more particularly, to a vaporizer for vaporizing a liquid source using an induction heating system and a fine channel hole.

종래의 MOCVD 공정에 사용되는 기화기는 대한민국 공개번호 제10-2010-0067936, 공개번호 제10-2014-0070113, 공개번호 제10-2013-0134647에 공지되어 있다. 이러한 종래의 기화기는 기화 효율은 높이기 위해 세라믹 볼을 사용함으로써 기화기 내부에 파티클이 발생하는 문제점이 있으며, 기화기 내부의 복잡한 유로와 저항발열체에 의한 열 전도로 인해 열 전달 효율이 낮은 단점이 있다.Vaporizers used in conventional MOCVD processes are known from Korean National Publication No. 10-2010-0067936, Publication No. 10-2014-0070113, Publication No. 10-2013-0134647. In such a conventional vaporizer, there is a problem that particles are generated inside the vaporizer by using a ceramic ball to increase the vaporization efficiency, and there is a disadvantage that the heat transfer efficiency is low due to the complicated flow path inside the vaporizer and heat conduction by the resistance heating element.

또한, 대한민국 공개번호 제10-2005-0005096는 유도가열 방식을 사용하긴 하나 플라즈마를 발생시키는 유도가열 열플라즈마 소오스 장치에 관한 것이다.Korean Patent Publication No. 10-2005-0005096 relates to an induction heating thermal plasma source device that uses an induction heating method but generates a plasma.

대한민국 공개특허공보 제10-2010-0067936(발명의 명칭 : 기화기)Korean Patent Publication No. 10-2010-0067936 (entitled "Vaporizer") 대한민국 공개특허공보 제10-2014-0070113(발명의 명칭 : 기화기)Korean Patent Laid-Open Publication No. 10-2014-0070113 (entitled "Vaporizer") 대한민국 공개특허공보 제10-2013-0134647(발명의 명칭 : 기화기)Korean Patent Publication No. 10-2013-0134647 (entitled "Vaporizer") 대한민국 공개특허공보 제10-2005-0005096(발명의 명칭 : 유도가열 열플라즈마 소오스)Korean Patent Publication No. 10-2005-0005096 (entitled Induction Heating Thermal Plasma Source) 대한민국 등록특허공보 제10-1520639(발명의 명칭 : 유도가열을 이용한 기화 장치 및 이를 구비한 진공증착시스템)Korean Patent Registration No. 10-1520639 (entitled: Vaporization Apparatus Using Induction Heating and Vacuum Deposition System Including the Same)

따라서, 본 발명은 전술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위하여 창출된 것으로서, 유도가열 방식을 적용하며 미세 유로 홀을 포함한 기화 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.Accordingly, it is an object of the present invention to provide a vaporizing device including a micro-channel hole by applying an induction heating method.

그러나, 본 발명의 목적들은 상기에 언급된 목적으로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.However, the objects of the present invention are not limited to the above-mentioned objects, and other objects not mentioned can be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

전술한 본 발명의 목적은, 액상소스를 액상입자 형태로 분사하는 분사 노즐부, 액상입자를 확산시키는 제1 유로부, 제1 유로부가 일측에 위치되고, 제1 유로부로부터 공급된 액상입자를 기화시키는 기화부, 제1 유로부에 대응되도록 기화부의 타측에 위치되는 제2 유로부, 기화부에서 기화시킨 기화 기체를 배출하는 배출부, 및 기화부의 둘레방향으로 권선되어 기화부를 가열하도록 하는 유도기전력 발생부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기화기를 제공함으로써 달성될 수 있다.It is an object of the present invention described above to provide an ink jet recording head comprising a jet nozzle unit for jetting a liquid source in the form of liquid particles, a first flow path for diffusing liquid particles, A second flow path portion located on the other side of the vaporization portion so as to correspond to the first flow path portion, a discharge portion for discharging the vaporization gas vaporized in the vaporization portion, and an induction portion for winding the vaporization portion in the circumferential direction of the vaporization portion to heat the vaporization portion And an electromotive force generating unit.

또한, 제1 유로부 및 제2 유로부는 분사각을 가지도록 형성된다.Further, the first flow path portion and the second flow path portion are formed to have a spray angle.

또한, 제1 유로부는 입력측에서 출력측으로 갈수록 단면적이 넓어진다.In addition, the cross-sectional area of the first flow path portion increases from the input side to the output side.

또한, 제2 유로부는 입력측에서 출력측으로 갈수록 단면적이 좁아진다.Further, the cross-sectional area of the second flow path portion becomes narrower from the input side to the output side.

또한, 제2 유로부에는 기화 기체의 온도를 측정하는 열전대가 삽입 배치된다.Further, a thermocouple for measuring the temperature of the vaporization body is inserted and arranged in the second flow path portion.

또한, 기화부에는 동심원 상에 미세 유로 홀이 형성된다.Further, fine flow path holes are formed concentrically on the vaporizing portion.

또한, 미세 유로 홀은 기화기의 입력측에서 출력측까지 형성되어 유도기전력 발생부의 기화부 가열에 따라 제1 유로부에서 확산된 액상 입자가 미세 유로 홀을 이동하는 동안 기화되어 제2 유로부로 공급된다.Further, the fine flow path is formed from the input side to the output side of the vaporizer, and the liquid particles diffused in the first flow path portion are vaporized while being moved in the fine flow path hole according to the heating of the vaporization portion of the induction electromotive force generating portion and supplied to the second flow path portion.

또한, 미세 유로 홀(310)의 직경은 0.001 ~ 2mm로 이루어진다.Further, the diameter of the fine flow path hole 310 is 0.001 to 2 mm.

전술한 바와 같은 본 발명에 의하면 유도가열 방식을 적용함으로써 선행문헌인 제10-2005-000509의 유도가열체가 플라즈마 생성을 위해 고온 재질을 사용하여야 하는 반면 대략 250도씨의 조건에서 온도와 무관하게 금속재질의 유도가열체(코일)를 사용할 수 있는 효과가 있다.According to the present invention, by using the induction heating method, the induction heating body of the prior art 10-2005-000509 needs to use a high temperature material for plasma generation. However, in the condition of about 250 degrees Celsius, There is an effect that an induction heating body (coil) made of a material can be used.

또한, 본 발명에 의하면 유도가열 방식을 적용함으로써 선행문헌의 저항발열체에 의한 2차 가열이 아닌 기화부 직접 가열을 통해 액체소스를 가열할 수 있어 기화 효율을 대폭 높일 수 있는 효과가 있다.Further, according to the present invention, by applying the induction heating method, the liquid source can be heated through the direct heating of the vaporizing portion rather than the secondary heating by the resistance heating body of the prior art, thereby remarkably increasing the vaporization efficiency.

또한, 본 발명에 의하면 기화부 내에 미세 유로 홀이 형성됨으로써 액체소스와 접촉 단면적이 넓어져 열 전달을 효율적으로 할 수 있는 효과가 있다.In addition, according to the present invention, since the fine flow path hole is formed in the vaporizing portion, the contact cross-sectional area with the liquid source is widened, and the heat transfer can be efficiently performed.

또한, 본 발명에 의하면 선행문헌에 비해 기화부 내부에 카트리지 히터 및 세라믹 볼의 삽입이 불필요한 효과가 있다.In addition, according to the present invention, there is an effect that insertion of the cartridge heater and the ceramic ball into the vaporizing portion is unnecessary compared with the prior art.

본 명세서에 첨부되는 다음의 도면들은 본 발명의 바람직한 일실시예를 예시하는 것이며, 발명의 상세한 설명과 함께 본 발명의 기술적 사상을 더욱 이해시키는 역할을 하는 것이므로, 본 발명은 그러한 도면에 기재된 사항에만 한정되어 해석 되어서는 아니 된다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 기화기의 구성을 나타낸 구성도이고,
도 2 및 도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 기화부에 형성된 미세 유로 홀을 도시한 도면이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The accompanying drawings, which are incorporated in and constitute a part of the specification, illustrate preferred embodiments of the invention and, together with the description, serve to further the understanding of the technical idea of the invention, It should not be construed as limited.
FIG. 1 is a view showing a configuration of a vaporizer according to an embodiment of the present invention,
FIG. 2 and FIG. 3 are views showing a micro flow path hole formed in the vaporization part according to an embodiment of the present invention.

이하, 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 일실시예에 대해서 설명한다. 또한, 이하에 설명하는 일실시예는 특허청구범위에 기재된 본 발명의 내용을 부당하게 한정하지 않으며, 본 실시 형태에서 설명되는 구성 전체가 본 발명의 해결 수단으로서 필수적이라고는 할 수 없다. 또한, 종래 기술 및 당업자에게 자명한 사항은 설명을 생략할 수도 있으며, 이러한 생략된 구성요소(방법) 및 기능의 설명은 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 아니하는 범위내에서 충분히 참조될 수 있을 것이다.Hereinafter, a preferred embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. In addition, the embodiment described below does not unduly limit the content of the present invention described in the claims, and the entire structure described in this embodiment is not necessarily essential as the solution means of the present invention. In addition, the description of the prior art and those obvious to those skilled in the art may be omitted, and the description of the omitted components and the function may be sufficiently referred to within the scope of the technical idea of the present invention.

본 발명의 일실시예에 따른 기화기는 유도가열 방식을 적용하여 기화부 자체를 직접 가열함으로써 기화 효율을 높일 수 있다. 이하에서는 첨부된 도면을 참고하여 본 발명의 일실시예에 따른 기화기를 상세히 설명하기로 한다.The vaporization efficiency according to an embodiment of the present invention can be improved by directly heating the vaporization part itself by applying an induction heating method. Hereinafter, a vaporizer according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

본 발명의 일실시예에 따른 분사 노즐부(100)는 액상소스 또는 운반가스(또는 캐리어가스)를 공급받아 액상 입자 형태로 제1 유로부(200)로 분사한다. 이때, 액상소스는 일반적으로 MOCVD(Metal Organic Chemical Vapor Deposition) 공정에 사용되는 유기금속화합물 또는 유기금속화합물과 수소화합물로 이루어지며, 운반가스는 불활성 가스인 Ar, N 등이 사용될 수 있으나 꼭 이에 한정되는 것은 아니며 각 공정에 맞는 액상소스 또는 운반가스가 사용될 수 있다. 분사 노즐부(100)는 아토마이저로 구체화될 수 있다. 분사 노즐부(100)에는 액상소스가 공급되어 수증기 형태로 제1 유로부(200)에 분사되며, 필요에 따라 운반가스는 액상소스와 함께 분사 노즐부(100)에 공급되지 않고 서로 다른 경로를 통해 공급될 수도 있다.The injection nozzle unit 100 according to an embodiment of the present invention is supplied with a liquid source or a carrier gas (or carrier gas) and injects it into the first flow path unit 200 in the form of liquid particles. At this time, the liquid source is generally composed of an organometallic compound or an organic metal compound and a hydrogen compound used in a MOCVD (Metal Organic Chemical Vapor Deposition) process, and inert gas such as Ar and N may be used as a carrier gas. And a liquid source or a carrier gas suitable for each process may be used. The injection nozzle unit 100 may be embodied as an atomizer. The liquid source is supplied to the injection nozzle unit 100 and is sprayed to the first flow path unit 200 in the form of steam. If necessary, the carrier gas is not supplied to the injection nozzle unit 100 together with the liquid source, .

본 발명의 일실시예에 따른 제1 유로부(200)는 분사 노즐부(100)로부터 공급된 수증기화된 액상소스를 확산시켜 기화부(300)로 공급한다. 이때, 제1 유로부(200)는 확산 효율 또는 분사 효율을 높이기 위해 분사각을 가지도록 형성된다. 즉, 도 1에 도시된 바와 같이 제1 유로부(200)는 액상소스의 입력측에서 출력측으로 갈수록 단면적이 넓어지도록 형성됨으로써 기 설정된 분사각을 가질 수 있다. 형성되는 분사각은 사용환경에 따라 달라질 수 있으며 꼭 어느 한 분사각에 한정되는 것은 아니다. 또한 제1 유로부(200)는 분사각을 가지는 이외에도 각진 부분을 라운딩 처리할 수도 있다. 이렇게 제1 유로부(200)는 분사각을 가지도록 형성됨으로써 기화부(300)에서 기화된 액상소스가 정류하여 다시 응축되는 문제를 해결할 수 있다.The first flow path unit 200 according to an embodiment of the present invention diffuses the vaporized liquid source supplied from the injection nozzle unit 100 and supplies the vaporized liquid source to the vaporization unit 300. At this time, the first flow path portion 200 is formed to have a spray angle to increase diffusion efficiency or injection efficiency. That is, as shown in FIG. 1, the first flow path portion 200 is formed to have a larger cross-sectional area from the input side to the output side of the liquid source, thereby having a predetermined angle of spray. The formed spray angle may vary depending on the use environment and is not limited to any one spray angle. In addition, the first flow path portion 200 may have rounded angled portions in addition to having a spray angle. Thus, the first flow path portion 200 is formed to have the spray angle, thereby solving the problem that the liquid source vaporized in the vaporization portion 300 is rectified and condensed again.

분사 노즐부(100)와 제1 유로부(200) 사이에 전기적 절연 및 봉공처리를 위해 절연 및 봉공처리부(150)가 구비되며, 절연캡을 이용하여 전기적으로 분리하며, 오링을 이용하여 봉공처리를 한다.An insulation and sealing process unit 150 is provided between the injection nozzle unit 100 and the first flow path unit 200 for electrical insulation and sealing process. The insulation and sealing process unit 150 is electrically separated using an insulation cap, .

본 발명의 일실시예에 따른 기화부(300)는 제1 유로부(200)에서 공급된 액상소스를 기화시킨다. 기화부(300)는 몸체의 외측에 둘레방향으로 권선된 유도기전력 발생부(600)의 코일의 발열에 의해 몸체가 직접 가열되며, 수증기화된 액상소스가 기화부(300)의 미세 유로 홀(310)을 통과하며 기화된다. 기화부(300)에는 도 2에 도시된 바와 같이 미세 유로 홀(310)이 형성되며, 미세 유로 홀(310)은 동심원의 원주상에 각각 형성된다. 미세 유로 홀(310)의 직경은 대략 0.001 ~ 2mm 내외로 이루어지나 꼭 이에 한정되는 것은 아니다. 미세 유로 홀(310)은 도 3에 도시된 바와 같이 기화부(300)의 일측에서 타측으로 미세 유로로 형성되어 있으며, 도 2에 도시된 바와 같이 제1,2,3,4 미세 유로 홀부(311,312,313,314)가 동심원 상에 각각 형성되어 있다. 제1,2 미세 유로 홀부(311,312)와 제3 미세 유로 홀부(313)는 둘레방향으로 일정 간격을 두고 형성되며, 제3 미세 유로 홀부(313)와 제4 미세 유로 홀부(314)도 둘레방향으로 일정 간격을 두고 형성된다. 도 2에 도시된 제2 미세 유로 홀부(312)는 중심 미세 유로 홀(311)로부터 일정거리 이격되어 동심원 상에 원주방향으로 미세 유로 홀이 형성되어 있다. 제3 미세 유로 홀부(313)는 제2 미세 유로 홀부(312)와 둘레방향으로 일정거리 이격되어 동심원 상에 원주방향으로 형성되어 있으며, 특히 2줄로 형성된다. 제4 미세 유로 홀부(314)는 제3 미세 유로 홀부(313)와 둘레방향으로 일정거리 이격되어 동심원 상에 원주방향으로 형성되어 있으며, 특히 3줄로 형성된다. 기화부(300)의 좌측에 배치되는 제1 유로부(200)와 기화부(300)는 서로 독립적으로 제작되어 서로 용접 접합될 수 있다.The vaporization part 300 according to an embodiment of the present invention vaporizes the liquid source supplied from the first flow path part 200. The body of the vaporizing unit 300 is directly heated by the heat of the coil of the induction electromotive force generating unit 600 wound around the body in the circumferential direction and the vaporized liquid source is supplied to the microchannel hole 310 < / RTI > As shown in FIG. 2, the microchannel 310 is formed in the vaporization part 300, and the microchannel 310 is formed on a concentric circle. The diameter of the fine flow path hole 310 is approximately 0.001 to 2 mm, but is not limited thereto. As shown in FIG. 3, the minute flow path hole 310 is formed as a fine flow path from one side of the vaporization part 300 to the other side. As shown in FIG. 2, the first, 311, 312, 313, 314) are formed on concentric circles. The first and third micro flow hole portions 311 and 312 and the third micro flow hole portion 313 are formed at regular intervals in the circumferential direction and the third micro flow hole portion 313 and the fourth micro flow hole portion 314 are also formed in the circumferential direction As shown in FIG. The second micro-channel hole portion 312 shown in FIG. 2 is formed with a micro-channel hole in a circumferential direction concentrically with a predetermined distance from the central micro-channel hole 311. The third micro-channel hole portion 313 is formed in a circumferential direction concentrically with the second micro-channel hole portion 312 at a certain distance in the circumferential direction, and is formed in two lines in particular. The fourth micro-channel hole portion 314 is formed in a circumferential direction concentrically with the third micro-channel hole portion 313 at a certain distance from the third micro-channel hole portion 313 in the circumferential direction. The first flow path portion 200 and the vaporization portion 300 disposed on the left side of the vaporization portion 300 may be fabricated independently of each other and welded to each other.

한편, 미세 유로 홀은 액체소스와의 접촉 단면적을 넓혀 효율적인 열 전달과 홀 내부의 열 팽창으로 인한 유속을 증가시킬 수 있다. 도 3에 도시된 미세 유로 홀은 구부러지지 않고 직선으로 형성되어 있으나 기화부(300)에서의 기화 시간을 늘이기 위해 미세 유로 홀을 곡선 또는 굴곡지게 형성할 수도 있다. 이렇게 함으로써 기화 효율을 더 높일 수 있다.On the other hand, the micro-channel hole can increase the cross-sectional area of contact with the liquid source to increase the flow rate due to efficient heat transfer and thermal expansion inside the hole. The microchannel shown in FIG. 3 is formed in a straight line without bending. However, the microchannel may be curved or curved in order to increase the vaporization time in the vaporization part 300. By doing so, the vaporization efficiency can be further increased.

본 발명의 일실시예에 따른 제2 유로부(400)는 기화부(300)의 우측에 배치되며 기화부(300)와 독립적으로 제작되어 서로 용접 접합될 수 있다. 제2 유로부(400)는 상술한 제1 유로부(200)와 서로 대응되는 위치에 배치된다. 따라서 제1 유로부(200)에서 공급된 수증기 액상소스가 기화부(300)의 미세 유로 홀을 통과하면서 기화되어 제2 유로부(400)에서 배출된다. 제2 유로부(400)는 입력측에서 출력측으로 갈수록 단면적이 좁아지며, 제1 유로부(200)와 마찬가지로 분사각을 가지도록 형성된다. 제2 유로부(400)에는 열전대(800)가 삽입되어 기화된 기체의 온도를 측정한다. 열전대(800)는 온도 센싱값을 상위단(즉, 중앙 컨트롤러)으로 전송한다. 기화된 기체의 온도를 감지함으로써 유도기전력 발생부(600)의 기화부 발열량을 제어할 수 있다. 제2 유로부(400)는 분사각을 가지도록 형성됨으로써 유체 압력 및 유량 효율을 높일 수 있다.The second flow path unit 400 according to an embodiment of the present invention is disposed on the right side of the vaporization unit 300 and can be manufactured independently of the vaporization unit 300 and welded to each other. The second flow path portion 400 is disposed at a position corresponding to the first flow path portion 200 described above. Therefore, the vapor liquid source supplied from the first flow path portion 200 is vaporized while passing through the micro flow path hole of the vaporization portion 300, and is discharged from the second flow path portion 400. The second flow path portion 400 has a smaller cross-sectional area from the input side to the output side, and has a spray angle similar to that of the first flow path portion 200. A thermocouple 800 is inserted into the second flow path unit 400 to measure the temperature of the vaporized gas. The thermocouple 800 transmits the temperature sensing value to the upper stage (i.e., the central controller). By sensing the temperature of the vaporized gas, the calorific value of the vaporized portion of the induced electromotive force generating portion 600 can be controlled. The second flow path portion 400 is formed to have a spray angle, thereby increasing the fluid pressure and the flow rate efficiency.

제2 유로부(400)와 기화된 기체를 배출하는 배출부(500) 사이에 전기적 절연 및 봉공처리를 위해 절연 및 봉공처리부(450)가 구비되며, 절연캡을 이용하여 전기적으로 분리하며, 고온용 오링을 이용하여 봉공처리를 한다.An insulating and sealing process unit 450 is provided between the second flow path unit 400 and the discharge unit 500 for discharging the vaporized gas to electrically isolate and seal the sealing member 450. The insulating and sealing process unit 450 is electrically separated using an insulating cap, Use the o-ring for sealing.

본 발명의 일실시예에 따른 유도기전력 발생부(600)는 코일 및 전원부로 구성될 수 있다. 코일(600)은 기화부(300)의 외측 둘레방향으로 대략 1~2mm 간격으로 권선되며, 전원부의 전원공급에 따라 구리 코일이 발열되어 기화부(300)의 몸체를 직접 가열한다. 전원부는 도면에 도시되어 있지 않지만 코일(600)의 끝단부에 각각 접속되어 코일에 전류를 공급한다. 이때 전원부에서 생성하는 파워 및 주파수는 사용환경에 따라 달라질 수 있다. 코일(600)은 나선형상으로 권선되거나 나선형상이 아닌 형상으로 권선될 수도 있다.The induction electromotive force generating unit 600 according to an embodiment of the present invention may include a coil and a power source. The coil 600 is wound at an interval of approximately 1 to 2 mm in the outer circumferential direction of the vaporization part 300 and the copper coil is heated according to the power supply of the power supply part to directly heat the body of the vaporization part 300. The power supply unit is not shown in the figure, but is connected to the end of the coil 600 to supply current to the coil. At this time, the power and frequency generated by the power supply unit may vary depending on the usage environment. The coil 600 may be wound in a spiral shape or in a non-spiral shape.

하우징(700)은 상술한 각 구성요소를 외부와 절연, 차폐, 고정시키도록 하며, 하우징(700) 내측으로 단열제가 포함될 수 있다.The housing 700 may insulate, shield, or fix the above-described components from the outside, and may include an insulating material inside the housing 700.

상술한 각부의 구성 및 기능에 대한 설명은 설명의 편의를 위하여 서로 분리하여 설명하였을 뿐 필요에 따라 어느 한 구성 및 기능이 다른 구성요소로 통합되어 구현되거나, 또는 더 세분화되어 구현될 수도 있다.The configuration and functions of the above-described components have been described separately from each other for convenience of description, and any of the components and functions may be integrated with other components or may be further subdivided as needed.

이상, 본 발명의 일실시예를 참조하여 설명했지만, 본 발명이 이것에 한정되지는 않으며, 다양한 변형 및 응용이 가능하다. 즉, 본 발명의 요지를 일탈하지 않는 범위에서 많은 변형이 가능한 것을 당업자는 용이하게 이해할 수 있을 것이다. 또한, 본 발명과 관련된 공지 기능 및 그 구성 또는 본 발명의 각 구성에 대한 결합관계에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는, 그 구체적인 설명을 생략하였음에 유의해야 할 것이다.Although the present invention has been described with reference to the embodiment thereof, the present invention is not limited thereto, and various modifications and applications are possible. In other words, those skilled in the art can easily understand that many variations are possible without departing from the gist of the present invention. In the following description, well-known functions or constructions relating to the present invention as well as specific combinations of the components of the present invention with respect to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. something to do.

100 : 분사 노즐부
150 : 절연 및 봉공처리부
200 : 제1 유로부(수증기 공급부)
300 : 기화부(몸체부)
310 : 미세 유로 홀
311 : 제1 미세 유로 홀부
312 : 제2 미세 유로 홀부
313 : 제3 미세 유로 홀부
314 : 제4 미세 유로 홀부
400 : 제2 유로부
450 : 절연 및 봉공처리부
500 : 배출부
600 : 유도기전력 발생부(코일)
700 : 하우징
800 : 열전대100: injection nozzle part
150: Insulation &
200: first flow path portion (water vapor supply portion)
300: vaporizing portion (body portion)
310: fine channel hole
311: first fine flow hole portion
312: second fine flow hole portion
313: Third fine flow hole portion
314: fourth fine flow hole portion
400:
450: Insulation and Sealing Treatment
500:
600: induction electromotive force generating part (coil)
700: Housing
800: Thermocouple

Claims (8)

액상소스를 액상입자 형태로 분사하는 분사 노즐부,
상기 액상입자를 확산시키는 제1 유로부,
상기 제1 유로부가 일측에 위치되고, 상기 제1 유로부로부터 공급된 액상입자를 기화시키는 기화부,
상기 제1 유로부에 대응되도록 상기 기화부의 타측에 위치되는 제2 유로부,
상기 기화부에서 기화시킨 기화 기체를 배출하는 배출부, 및
상기 기화부의 둘레방향으로 권선되어 상기 기화부를 가열하도록 하는 유도기전력 발생부를 포함하며,
상기 기화부에는,
동심원의 원주 상에 유로 홀부가 형성되어 수증기화된 액상소스가 상기 유로 부를 통과하며 기화되며,
상기 유로 홀부는,
상기 원주 상에 구비되는 제1,2,3,4 유로 홀부를 포함하며,
상기 제1 유로 홀부는 중심에 위치한 중심 유로 홀이고, 상기 제2 유로 홀부는 상기 제1 유로 홀부로부터 일정거리 이격되어 동심원 상에 원주방향으로 형성되며,
상기 제3 유로 홀부는 상기 제2 유로 홀부로부터 둘레방향으로 일정거리 이격되어 동심원 상에 원주방향으로 복수로 형성되며,
상기 제4 유로 홀부는 상기 제3 유로 홀부로부터 둘레방향으로 일정거리 이격되어 동심원 상에 원주방향으로 복수로 형성되며,
상기 제2 유로부에는,
상기 기화 기체의 온도를 측정하는 열전대가 삽입 배치되며,
상기 유도기전력 발생부는,
기화된 기체의 온도에 따라 상기 기화부의 발열량을 제어하는 것을 특징으로 하는 기화기.
A spray nozzle unit for spraying the liquid source in the form of liquid particles,
A first flow path portion for diffusing the liquid particles,
A vaporizing portion located at one side of the first flow path portion and vaporizing the liquid particles supplied from the first flow path portion,
A second flow path portion located on the other side of the vaporization portion to correspond to the first flow path portion,
A discharge portion for discharging the vaporized gas vaporized in the vaporizing portion, and
And an induction electromotive force generation unit that is wound in a circumferential direction of the vaporization unit to heat the vaporization unit,
In the vaporizing portion,
A channel hole is formed in the circumference of the concentric circle to vaporize the vaporized liquid source through the channel portion,
The flow-
First, second, third, and fourth flow path hole portions provided on the circumference,
Wherein the first channel hole portion is a central channel hole positioned at the center and the second channel hole portion is formed in a circumferential direction concentrically with a predetermined distance from the first channel hole portion,
Wherein the third flow path hole portion is formed in a plurality of concentric circles spaced a predetermined distance in the circumferential direction from the second flow path hole portion,
The fourth flow path hole portion is formed in a plurality of concentric circles circumferentially spaced apart from the third flow path hole portion in the circumferential direction,
In the second flow path portion,
A thermocouple for measuring the temperature of the vaporization gas is inserted and disposed,
Wherein the induction electromotive force generating unit comprises:
And controls the calorific value of the vaporized portion according to the temperature of the vaporized gas.
제 1 항에 있어서,
상기 제1 유로부 및 상기 제2 유로부는,
분사각을 가지도록 형성되는 것을 특징으로 하는 기화기.
The method according to claim 1,
Wherein the first flow path portion and the second flow path portion are formed,
Wherein the first and second chambers are formed to have a spray angle.
제 2 항에 있어서,
상기 제1 유로부는 입력측에서 출력측으로 갈수록 단면적이 넓어지며, 상기 제2 유로부는 입력측에서 출력측으로 갈수록 단면적이 좁아지며, 상기 제1 유로부는 각진 부분이 라운딩 처리되는 것을 특징으로 하는 기화기.
3. The method of claim 2,
Wherein the cross-sectional area of the first flow path portion increases from the input side to the output side, and the cross-sectional area of the second flow path portion decreases from the input side to the output side, and the angled portion of the first flow path portion is rounded.
제 1 항에 있어서,
상기 분사 노즐부와 제1 유로부 사이 및 상기 제2 유로부와 상기 배출부 사이에는 전기적 절연과 봉공처리를 위한 절연 및 봉공처리부가 각각 더 구비되는 것을 특징으로 하는 기화기.
The method according to claim 1,
Wherein an insulating and sealing process portion for electrical insulation and sealing is further provided between the injection nozzle portion and the first flow path portion and between the second flow path portion and the discharge portion.
제 1 항에 있어서,
상기 분사 노즐부, 제1,2 유로부, 기화부, 및 배출부를 외부와 차폐하는 하우징을 더 포함하며,
상기 하우징 내측에는 단열제가 구비되는 것을 특징으로 하는 기화기.
The method according to claim 1,
And a housing for shielding the injection nozzle portion, the first and second flow paths, the vaporizing portion, and the discharge portion from the outside,
And a heat insulating material is provided inside the housing.
제 1 항에 있어서,
상기 기화부에는,
동심원 상에 미세 유로 홀이 형성되는 것을 특징으로 하는 기화기.
The method according to claim 1,
In the vaporizing portion,
And a fine flow hole is formed on the concentric circle.
제 6 항에 있어서,
상기 미세 유로 홀은,
상기 기화기의 입력측에서 출력측까지 형성되어 상기 유도기전력 발생부의 기화부 가열에 따라 상기 제1 유로부에서 확산된 액상 입자가 상기 미세 유로 홀을 이동하는 동안 기화되어 상기 제2 유로부로 공급되는 것을 특징으로 하는 기화기.
The method according to claim 6,
The fine flow path hole
The liquid phase particles formed from the input side to the output side of the vaporizer and diffused in the first flow path portion according to the heating of the vaporization portion of the induction electromotive force generating portion are vaporized while being transferred through the micro flow path hole and supplied to the second flow path portion. The carburetor.
제 7 항에 있어서,
상기 미세 유로 홀(310)의 직경은 0.001 ~ 2mm로 이루어지는 것을 특징으로 하는 기화기.8. The method of claim 7,
And the diameter of the fine passage hole (310) is 0.001 to 2 mm.
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