KR101715499B1 - 미세입자의 제조 방법 및 유무기 하이브리드 입자 - Google Patents

Abstract

미세 입자의 제조 방법 및 유무기 하이브리드 입자에서, 미세 입자의 제조 방법은 유무기 에멀전을 제조하는 단계, 금속 전구체가 분산된 금속 전구체 용액을 제조하는 단계, 금속 전구체 용액과 유무기 에멀전을 반응시켜, 유무기 에멀전 내에 금속이 복합화된 에멀전을 형성하는 단계 및 금속이 복합화된 에멀전을 중합시켜 금속을 포함하는 유무기 하이브리드 입자를 형성하는 단계를 포함한다.

Description

미세입자의 제조 방법 및 유무기 하이브리드 입자{METHOD OF MANUFACTURING A FINE PARTICLE AND ORGANIC-INORGANIC HYBRID PARTICLE}

본 발명은 미세입자의 제조 방법 및 유무기 하이브리드 입자에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 입자 크기를 제어할 수 있는 미세입자의 제조 방법에 관한 것이다.

나노입자는 나노미터 스케일의 크기를 갖는 미세입자로서, 조영제(contrast agent)나 바이오센서, 약물 전달, 열치료법(hyperthermia), 바이오분자의 정제 등 다양한 분야에서 널리 이용되고 있다. 뿐만 아니라, 나노입자는 지폐의 위조방지를 위한 자성 잉크(magnetic ink)에도 적용되고 있으며, 나노입자의 높은 굴절률을 이용한 광학적인 응용도 지속적으로 연구되고 있다. 특히, 최근에는 광결정(photonic crystal)을 자성을 갖는 나노입자(이하, 자성 나노입자로 지칭함)로 제조하여, 자기장으로 자성 나노입자를 제어하는 연구에 대한 관심이 크다.

나노입자의 제조 방법으로 음향화학(sonochemisty)적 방법, 열 분해법, 용매열 반응법 등의 제조 방법이 알려져 있으나 이들 방법에 의하는 경우 균일성이 낮은 나노입자가 형성되거나, 제조비용이나 복잡한 공정에 의한 생산성의 문제가 있다. 특히, 자성 나노입자, 그 중에서도 초상자성을 갖는 자성 나노입자의 경우에는, 부피에 비해서 표면적이 넓고 자성이 매우 크기 때문에 자성 나노입자들 사이에 뭉침이 쉽게 일어난다. 이러한 문제점을 해결하기 위해서, 나노입자의 표면에 고분자나 실리카를 코팅하는 것과 관련된 연구가 활발히 진행되고 있다. 최근에는, 나노입자에 안정화제를 코팅하여, 용매에 따른 입체적인 힘(steric force)을 조절함으로서 나노입자 사이의 거리 조절이 가능한 연구가 알려진 바 있다. 또한, 미세유동칩(microfluidic chip)을 이용하여 자성 나노입자를 제조하는 금속 전구체와 카르복시기(-COOH)를 결합하여 자성 복합 입자를 제조한 연구가 발표된 바 있다.

현재까지 알려진 방법들의 경우에는 입자 크기의 제어가 어려워, 나노입자와 마이크로 입자를 제조하는데 각각 다른 방법을 이용하여야 하고, 나노입자의 크기를 특정 크기로 제어하거나 마이크로 입자를 특정 크기로 제어하는데 어려움이 있으며, 제조비용이 비싸거나 복잡한 공정에 의해 생산성이 낮은 문제를 근본적으로 해결하는데 한계가 있다. 뿐만 아니라, 대량 생산에도 어려움이 있다.

본 발명의 일 목적은 입자 크기의 제어가 용이한 구형의 미세입자의 제조 방법을 제공하는 것이다.

본 발명의 다른 목적은 상기 제조 방법으로 제조된 유무기 하이브리드 입자를 제공하는 것이다.

본 발명의 일 목적을 위한 미세입자의 제조 방법은, 유무기 에멀전을 제조하는 단계, 금속 전구체가 분산된 금속 전구체 용액을 제조하는 단계, 상기 금속 전구체 용액과 상기 유무기 에멀전을 반응시켜, 상기 유무기 에멀전 내에 금속이 복합화된 에멀전을 형성하는 단계 및 금속이 복합화된 에멀전을 중합시켜 금속을 포함하는 유무기 하이브리드 입자를 형성하는 단계를 포함한다.

일 실시예에서, 상기 유무기 에멀전을 제조하는 단계는 유무기 에멀전 전구체와 촉매를 혼합하여 형성할 수 있다.

일 실시예에서, 상기 유무기 에멀전을 제조하는 단계는 유무기 에멀전 전구체와 촉매와 함께 계면활성제를 더 혼합할 수 있다.

일 실시예에서, 상기 유무기 에멀전을 제조하는 단계에서, 상기 유무기 에멀전 전구체 및 상기 촉매 중 적어도 어느 하나의 함량을 조절하여 상기 유무기 에멀전의 크기를 제어할 수 있다.

일 실시예에서, 상기 유무기 에멀전은 비닐기를 갖는 실리카 전구체일 수 있다.

일 실시예에서, 상기 금속 전구체 용액을 제조하는 단계에서, 상기 금속 전구체 용액 내의 금속 전구체의 함량을 조절하여 금속 함량 또는 자성 세기를 제어할 수 있다.

일 실시예에서, 상기 유무기 하이브리드 입자를 형성하는 단계는 금속이 복합화된 에멀전에 중합 개시제를 첨가하여 중합시킬 수 있다.

일 실시예에서, 상기 제조 방법은 상기 유무기 하이브리드 입자를 열처리하여, 상기 금속으로 이루어진 금속 입자를 형성하는 단계를 더 포함할 수 있다.

일 실시예에서, 상기 금속 전구체에 포함된 금속은 철, 아연, 구리, 알루미늄, 칼슘 및 칼륨 중에서 선택된 적어도 어느 하나를 포함할 수 있다.

일 실시예에서, 상기 금속 전구체 용액은 양이온으로 해리되는 금속 전구체를 포함할 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 따른 유무기 하이브리드 입자는 비닐기를 갖는 실리카 전구체가 중합된 폴리머 및 금속이 균일하게 복합화되어 형성되며, 구형을 갖는다.

일 실시예에서, 상기 폴리머는 3-(트리메톡시실릴)프로필 메타크릴레이트(3-(Trimethoxysilyl)propyl methacrylate)의 중합체이고, 상기 금속은 철, 아연, 구리, 알루미늄, 칼슘 및 칼륨 중에서 선택된 적어도 어느 하나를 포함할 수 있다.

상기에서 설명한 본 발명의 유무기 하이브리드 미세입자의 제조 방법에 따르면, 입자의 형태를 구형으로 유지하면서도 입자 크기의 조절이 가능하므로 다양한 크기의 유무기 하이브리드 미세입자를 제조할 수 있다. 즉, 유무기 하이브리드 미세입자의 제조 방법을 통해 마이크로 스케일부터 나노스케일까지 다양한 크기의 유무기 하이브리드 미세입자를 제조할 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 미세 입자의 제조 방법을 설명하기 위한 도면이다.
도 2는 본 발명의 유무기 에멀전의 제조에서 계면활성제의 함량을 달리한 경우의 제타 포텐샬에 따른 전하량 변화를 나타낸 그래프들을 도시한 도면이다.
도 3은 본 발명의 실시예 1에 따른 유무기 하이브리드 입자의 주사전자현미경 사진이다.
도 4는 본 발명의 실시예 1에 따른 유무기 하이브리드 입자의 투과전자현미경 사진들을 나타낸 도면이다.
도 5는 본 발명의 실시예 2에 따른 무기 입자의 자기장에 의한 영향을 설명하기 위한 광학 현미경 사진들을 나타낸 도면이다.
도 6은 본 발명의 실시예 2에 따른 무기 입자가 자성을 가짐을 설명하기 위한 사진들을 나타낸 도면이다.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 대해 상세히 설명한다.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로서 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 미세 입자의 제조 방법을 설명하기 위한 도면이다.

도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 미세 입자의 제조를 위해, 먼저 유무기 에멀전을 제조하고(단계 S110), 금속 전구체 용액을 제조한다(단계 S120). 이때, 유무기 에멀전과 금속 전구체 용액을 형성하는 순서는 특별히 제한되지 않는다.

유무기 에멀전은 음전하를 나타내는 에멀전 형태의 물질로서, 졸-겔법(sol-gel method)을 이용하여 제조할 수 있다. 예를 들어, 용매에 촉매를 혼합한 후 유무기 에멀전 전구체를 첨가하고 교반함으로써 유무기 에멀전을 제조할 수 있다. 이때, 교반은 3시간 이상 수행될 수 있다. 제조된 유무기 에멀전은 상온에서 균일한 크기의 음전하를 나타낼 수 있다.

유무기 에멀전의 크기는 유무기 에멀전 전구체의 함량을 조절함에 따라 제어될 수 있다. 또한, 유무기 에멀전의 크기는 촉매의 함량을 조절함에 따라 제어될 수 있다.

유무기 에멀전 전구체는 비닐기를 갖는 실리카 전구체를 포함할 수 있다. 비닐기를 갖는 실리카 전구체는 3-(트리메톡시실릴)프로필 메타크릴레이트(3-(Trimethoxysilyl)propyl methacrylate)를 포함할 수 있다. 용매는 증류수를 포함하며, 촉매는 암모니아와 염산을 포함할 수 있다.

유무기 에멀전을 제조하는 단계(단계 S110)에서는, 추후에 금속 전구체 용액과 혼합될 때에 강한 전기적 인력에 의해 유무기 에멀전의 뭉침 현상을 방지하기 위해서 계면활성제를 이용하여 유무기 에멀전을 안정화시킬 수 있다. 상기 계면활성제는 비이온성 계면활성제일 수 있고, 예를 들어, 폴리에틸렌 옥사이드와 폴리프로필렌 옥사이드를 포함하는 트리블록 공중합체나 폴리비닐피롤리돈을 포함할 수 있다.

한편, 금속 전구체 용액은 금속 전구체를 용매에 분산하여 제조할 수 있다. 금속 전구체 용액은 용매에 분산되어 양이온으로 해리되는 금속 전구체를 포함할 수 있다. 분산시키는 공정은 단순 교반 또는 초음파 처리기를 이용할 수 있다.

금속 전구체 용액에 포함되는 금속 전구체의 함량을 조절함으로써, 본 발명에서 제조하려고 하는 미세 입자에서의 금속 함량이나 미세 입자의 자성의 세기를 제어할 수 있다.

금속 전구체에 포함되는 금속으로는, 철, 아연, 구리, 알루미늄, 칼슘, 칼륨 등을 들 수 있으며, 이들은 각각 단독으로 또는 2 이상이 혼합되어 이용될 수 있으며, 동일한 금속을 포함하는 금속 전구체라도 전구체의 형태가 다른 경우 2 이상이 혼합되어 이용될 수 있다. 이때 이용되는 금속 전구체의 예로서는, 3가 염화철(Iron(III) chloride hexahydrate), 2가 염화철(Iron(II) chloride tetrahydrate), 3가 철 아세틸아세토네이트(Iron(III) acetylacetonate), 염화아연(Zinc chloride), 염화구리(Cuper chloride), 염화알루미늄(Aluminum chloride), 염화칼슘(Calcium chloride), 염화칼륨(Potassium chloride) 등의 용매인 증류수에서 양이온을 띄는 전구체를 사용할 수 있다.

이어서, 단계 S110 및 단계 S120 각각에서 제조된 유무기 에멀전과 금속 전구체 용액을 반응시켜 금속이 복합화된 에멀전을 제조한다(단계 S200).

상기 반응은 유무기 에멀전과 금속 전구체 용액을 교반시킴으로써 수행할 수 있다. 교반 시간은 10분 내지 3시간일 수 있다. 이와 같은 교반 공정에서, 음전하를 나타내는 유무기 에멀전과 양이온으로 해리된 금속 전구체 사이의 전기적 인력에 의해서 금속 전구체를 유무기 에멀전의 내부로 침투시켜 유무기 에멀전 내부에 금속을 복합화시킬 수 있다.

금속이 복합화된 에멀전을 이용하여 본 발명의 일 실시예에 따른 미세 입자로서 유무기 하이브리드 입자를 형성한다(단계 S300).

유무기 하이브리드 입자의 형성 공정은 유무기 에멀전을 중합시킴으로써 수행할 수 있다. 유무기 에멀전의 중합을 위해서, 중합 개시제를 이용할 수 있다. 이와 같은 유무기 에멀전의 중합에 의해, 콜로이드 입자 형태의 유무기 하이브리드 입자가 형성된다. 유무기 하이브리드 입자에서 금속은 입자 내부에 배치된다.

상기 중합 개시제로서는, 2,2'-아조비스(이소부틸로니트릴)(2,2'-azobis(isobutylonitrile))을 이용할 수 있다. 중합 공정은 60 내지 90℃의 온도 조건에서 수행될 수 있으며, 중합 시간은 3 시간 이상일 수 있다.

이에 따라, 유무기 하이브리드 입자는 비닐기를 갖는 실리카 전구체가 중합된 폴리머 및 금속을 포함하고, 상기 폴리머와 금속이 균일하게 복합화되어 형성되며, 구형을 갖는다.

한편, 본 발명의 다른 실시예에 따른 미세 입자의 제조 방법은 도 1에서 설명한 유무기 하이브리드 입자를 이용하여 금속으로 이루어진 무기 입자를 제조하는 단계를 더 포함한다. 즉, 본 발명의 다른 실시예에 따른 미세 입자의 제조 방법에 의해서 제조된 미세 입자는, 상기 유무기 하이브리드 입자를 이용하여 제조한, 금속으로 이루어진 무기 입자이다.

유무기 하이브리드 입자는 금속과 함께 유기물을 포함하고 있는 상태이지만, 이를 열처리하여 무기 입자를 제조할 수 있다. 열처리 공정은 400 내지 700℃의 고온에서 수행될 수 있다. 이와 같은 열처리 공정을 통해서 유무기 하이브리드 입자에 포함된 유기물이 제거됨으로써 금속으로 이루어진 무기 입자가 제조된다.

본 발명의 제조 방법에 따르면, 유무기 에멀전을 제조하는 단계에서 유무기 에멀전 전구체 및/또는 촉매의 함량이나 금속 전구체 용액을 제조하는 단계에서 금속 전구체의 함량을 조절함으로써 유무기 하이브리드 입자나 무기 입자의 크기를 용이하게 제어할 수 있는 장점이 있다.

또한, 상기와 같이 본 발명의 제조 방법에 따라 제조된 미세 입자인 유무기 하이브리드 입자나 무기 입자는 구형을 가지면서도 크기가 균일하므로, 광산란이 높은 백색 필름의 제조, 광자결정 또는 광자 유리 제조를 위한 물질로 사용되거나 전자종이, 센서용 입자 등 다양한 분야에 응용될 수 있다.

이하에서는, 도 1을 참조하여 설명한 유무기 하이브리드 입자와 무기 입자의 제조에 대해서 구체적인 실시예들을 통해서 보다 상세하게 설명하기로 한다. 여기서 제시하는 실시예에 본 발명이 제한되는 것은 아니다.

제1 내지 제3 유무기 에멀전의 제조 및 전하량 변화 확인

증류수 60 mL와 암모니아 50.4 μL를 플라스크 안에 넣은 후 혼합하였다. 증류수와 암모니아가 혼합된 혼합 용액에, 3-(트리메톡시실릴)프로필 메타크릴레이트(3-(Trimethoxysilyl)propyl methacrylate) 400 μL를 추가한 후, 3시간 동안 교반시켰다. 이때, 유무기 에멀전의 안정화를 위하여 계면활성제로서 유무기 에멀전 전체 중량에 대해 5 중량%의 트리블록 공중합체 3 mL를 혼합하고 1시간동안 교반하여 음전하를 갖는 제1 유무기 에멀전을 제조하였다. 이때, 상기 트리블록 공중합체는 폴리에틸렌 옥사이드와 폴리프로필렌 옥사이드의 트리블록 공중합체를 이용하였다.

상기 제1 유무기 에멀전의 제조와 실질적으로 동일하게 제조하되, 계면활성제를 넣지 않고 제2 유무기 에멀전을 준비하였으며, 계면활성제를 1 mL 혼합하여 제3 유무기 에멀전을 제조하였다.

준비된 제1, 제2 및 제3 유무기 에멀전 각각에 대해서 제타 포텐샬(zeta potential)을 통하여 전하를 측정하였다. 그 결과를 도 2에 나타낸다.

도 2는 본 발명의 유무기 에멀전의 제조에서 계면활성제의 함량을 달리한 경우의 제타 포텐샬에 따른 전하량 변화를 나타낸 그래프들을 도시한 도면이다.

도 2에서, (a)는 제2 유무기 에멀전(계면활성제가 없는 경우)의 그래프이고, (b)는 제3 유무기 에멀전(계면활성제 1 mL 이용)의 그래프이며, (c)는 제1 유무기 에멀전(계면활성제 3 mL 이용)의 그래프이며, 도 2의 (a), (b) 및 (c) 각각에서 x축은 제타 포텐샬(단위 mV)을 나타내고, y축은 전하량을 나타낸다.

도 2의 (a) 내지 (c)를 참조하면, 계면활성제가 0 mL에서 3 mL로 증가함에 따라 전하량이 증가하는 것을 알 수 있다. 제2 유무기 에멀전보다는 제3 유무기 에멀전의 전하량이 더 높으며 제3 유무기 에멀전보다는 제1 유무기 에멀전의 전하량이 더 높은 것을 알 수 있다. 이와 같이, 유무기 에멀전을 제조하는데 계면활성제의 함량을 조절함으로써 전하량을 제어할 수 있다.

실시예 1(유무기 하이브리드 입자의 제조)

증류수 9 g에 철의 전구체로서 3가 염화철(Iron(III) chloride hexahydrate)을 1 g 첨가한 후, 교반시켜 제1 철 전구체 용액을 준비하였다. 또한, 동일한 방법으로 2가 염화철(Iron(II) chloride tetrahydrate)을 이용하여 제2 철 전구체 용액을 준비하였다.

상기 제1 및 제2 철 전구체 용액들 각각에서 2 g씩을 취하여, 상기에서 준비한 제1 유무기 에멀전 10 g과 혼합하여 교반하여, 철이 복합화된 유무기 에멀전을 제조하였다.

철이 복합화된 유무기 에멀전에, 2,2'-아조비스(이소부틸로니트릴)(2,2'-azobis(isobutylonitrile))을 중합 개시제로 0.2 g을 첨가하여 70℃에서 6시간동안 열처리하여 중합 공정을 수행하여, 본 발명의 실시예 1에 따른 유무기 하이브리드 입자를 제조하였다.

유무기 하이브리드 입자의 SEM 및 TEM 분석 결과

제조된 유무기 하이브리드 입자에 대해서 주사전자현미경(SEM)과 투과전자현미경을 이용하여 사진을 촬영하였다. 그 결과를 도 3 및 도 4에 나타낸다.

도 3은 본 발명의 실시예 1에 따른 유무기 하이브리드 입자의 주사전자현미경 사진이고, 도 4는 본 발명의 실시예 1에 따른 유무기 하이브리드 입자의 투과전자현미경 사진들을 나타낸 도면이다. 도 4에서, (a) 내지 (d)는 전자선의 종류에 따라 나타난 사진들이다.

도 3을 참조하면 단분산계에 가깝도록 균일한 크기를 갖는 유무기 하이브리드 입자가 제조된 것을 확인할 수 있다.

도 4를 참조하면, 유무기 하이브리드 입자는 철과 유기물을 모두 포함하고 있되, 유기물의 내부에 철이 포함되어 있음을 확인할 수 있다.

실시예 2(무기 입자의 제조)

실시예 1에서 제조된 유무기 하이브리드 입자를 세처한 후, 600℃에서 48시간동안 열처리(소성)하여 철로 이루어진 무기 입자를 제조하였다.

무기 입자의 자성 확인

제조된 무기 입자에 대해서, 자기장을 가하기 전과 후의 상태에서 광학현미경과 일반 카메라로 촬영하였다. 그 결과를 도 5 및 도 6에 나타낸다.

도 5는 본 발명의 실시예 2에 따른 무기 입자의 자기장에 의한 영향을 설명하기 위한 광학 현미경 사진들을 나타낸 도면이고, 도 6은 본 발명의 실시예 2에 따른 무기 입자가 자성을 가짐을 설명하기 위한 사진들을 나타낸 도면이다.

도 5 및 도 6 각각에서, (a)는 자기장이 없는 상태를 나타내고, (b)는 자기장이 있는 경우의 무기 입자의 상태를 나타낸다.

도 5 및 도 6을 참조하면, 자기장이 없는 상태에서는 무기 입자가 서로 뭉침이 없이 균일하게 분산되어 있는 상태인 반면, 자기장을 가해주면 무기 입자들이 자기장 방향으로 정렬되거나 자석을 향해 끌림 현상을 나타내는 것을 확인할 수 있다. 즉, 실시예 2에 따라 제조된 무기 입자는 유기물이 제거되어 자성을 나타내는 것을 확인할 수 있다.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

Claims (12)

1. 중합가능한 작용기를 갖는 단량체 화합물을 포함하는 음전하를 나타내는 유무기 에멀전을 제조하는 단계;
   양이온 금속을 포함하는 금속 전구체가 분산된 금속 전구체 용액을 제조하는 단계;
   상기 금속 전구체 용액과 상기 유무기 에멀전을 혼합하여, 상기 유무기 에멀전의 중합가능한 작용기를 갖는 단량체 화합물 내에 상기 금속 전구체가 복합화된 에멀전을 형성하는 단계;
   상기 중합가능한 작용기를 갖는 단량체 화합물과 상기 금속 전구체가 복합된 상태에서 상기 중합 가능한 작용기를 갖는 단량체 화합물의 중합 개시제를 혼합하는 단계; 및
   상기 중합 개시제에 의해 상기 중합가능한 작용기를 갖는 단량체 화합물을 중합시켜, 상기 중합가능한 작용기를 갖는 단량체 화합물의 중합체와 금속이 복합화된 구형의 유무기 하이브리드 입자를 형성하는 단계를 포함하는,
   미세 입자의 제조 방법.
   
2. 제1항에 있어서,
   상기 유무기 에멀전을 제조하는 단계는 중합가능한 작용기를 갖는 단량체 화합물과 촉매를 혼합하는 것을 특징으로 하는,
   미세 입자의 제조 방법.
   
3. 제1항에 있어서,
   상기 유무기 에멀전을 제조하는 단계는
   중합가능한 작용기를 갖는 단량체 화합물 및 촉매와 함께 계면활성제를 더 혼합하는 것을 특징으로 하는,
   미세 입자의 제조 방법.
   
4. 제2항에 있어서,
   상기 유무기 에멀전을 제조하는 단계에서,
   상기 중합가능한 작용기를 갖는 단량체 화합물 및 상기 촉매 중 적어도 어느 하나의 함량을 조절하여 상기 유무기 에멀전의 크기를 제어하는 것을 특징으로 하는,
   미세 입자의 제조 방법.
   
5. 제2항에 있어서,
   상기 중합가능한 작용기를 갖는 단량체 화합물은
   비닐기를 갖는 실리카 전구체를 포함하는 것을 특징으로 하는,
   미세 입자의 제조 방법.
   
6. 제1항에 있어서,
   상기 금속 전구체 용액을 제조하는 단계에서,
   상기 금속 전구체 용액 내의 금속 전구체의 함량을 조절하여 금속 함량 또는 자성 세기를 제어하는 것을 특징으로 하는,
   미세 입자의 제조 방법.
   
7. 삭제
8. 제1항에 있어서,
   상기 유무기 하이브리드 입자를 제조한 후, 상기 유무기 하이브리드 입자를 열처리하여 상기 중합가능한 작용기를 갖는 단량체 화합물의 중합체를 제거함으로써, 상기 금속 전구체에 포함된 금속으로 이루어진 금속 입자를 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는,
   미세 입자의 제조 방법.
   
9. 제1항에 있어서,
   상기 금속 전구체에 포함된 금속은
   철, 아연, 구리, 알루미늄, 칼슘 및 칼륨 중에서 선택된 적어도 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는,
   미세 입자의 제조 방법.
   
10. 삭제
11. 삭제
12. 삭제

Images