KR101710259B1 - Ldi노광장치의 파이버 어레이 블록 및 파이버 어레이 블록의 정렬방법 - Google Patents

Ldi노광장치의 파이버 어레이 블록 및 파이버 어레이 블록의 정렬방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 LDI노광장치의 파이버 어레이 블록 및 파이버 어레이 블록의 정렬방법에 관한 것으로서, 베이스기판의 상단 및 하단 각각에 광파이버가 안착되는 제1 및 제2그루브를 형성하고, 상기 제1 및 제2그루브를 역사다리꼴 형상으로 형성한 어레이 블록을 다층 적층시켰을 때, 이웃하는 어레이 블록 사이에 광파이버가 안착되는 파이버 어레이 구조를 제공함으로써, 가공오차 또는 광파이버의 간격 오차를 용이하게 보정할 수 있고, 이로 인해 균일한 노광 품질을 얻을 수 있도록 하는 데 그 목적이 있다.
이를 위해 본 발명은, 다수의 광파이버를 고정 및 정렬상태를 유지시키도록 사용되는 LDI노광장치의 파이버 어레이 블록에 있어서, 베이스기판(12)과; 상기 베이스기판(12)의 상단에 일정깊이를 가지고 일정간격으로 형성되는 제1그루브(14); 및 상기 베이스기판(12)의 하단에 일정깊이를 가지고 일정간격으로 형성되고 상기 제1그루브(14)의 중심과 중첩되지 않도록 교호되는 위치에 형성되어 이웃하는 어레이 블록(1) 사이에 광파이버(2)가 안정적으로 고정된 상태를 유지할 수 있도록 하는 제2그루브(16);를 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

LDI노광장치의 파이버 어레이 블록 및 파이버 어레이 블록의 정렬방법{APPARATUS FOR LASER DIRECT IMAGE PROCESS OF FIBER ARRAY BLOCK}
본 발명은 LDI노광장치의 파이버 어레이 블록 및 파이버 어레이 블록의 정렬방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는, 베이스기판의 상단 및 하단 각각에 광파이버가 안착되는 제1 및 제2그루브를 형성하고, 상기 제1 및 제2그루브를 역사다리꼴 형상으로 형성한 어레이 블록을 다층 적층시켰을 때, 이웃하는 어레이 블록 사이에 광파이버가 안착되는 파이버 어레이 구조를 제공함으로써, 가공오차 또는 광파이버의 간격 오차를 용이하게 보정할 수 있고, 이로 인해 균일한 노광 품질을 얻을 수 있도록 하는 LDI노광장치의 파이버 어레이 블록 및 파이버 어레이 블록의 정렬방법에 관한 것이다.
일반적으로, 인쇄회로기판(Printed Circuit Board, PCB)은 여러 전자제품 소자들을 일정한 틀에 따라 간편하게 연결시켜 주는 역할을 하며, 디지털 TV, 유,무선 전화기 등의 가전제품부터 첨단 통신기기까지 모든 전자제품에 광범위하게 사용되는 부품이다. 또한 용도에 따라 범용 PCB, 모듈용 PCB, 패키지용 PCB 등으로 분류된다.
즉, 회로기판은 페놀수지 절연판 또는 에폭시수지 절연판 등의 일측면에 구리 등의 박판을 부착시킨 다음 회로의 배선패턴에 따라 식각(선상의 회로만 남기고 부식시켜서 제거하는 공정)하여 필요한 회로를 구성하고, 부품들을 부착, 탑재시키기 위한 구멍을 뚫어 형성한 것으로서, 배선 회로면의 수에 따라 단면기판, 양면기판, 다층기판 등으로 분류되며 층수가 많을수록 부품의 실장력이 우수하여 고정밀 제품에 채용된다. 최근에는 전자산업의 발전으로 초박판의 인쇄회로기판(0.04 ~ 0.2mm)이 널리 사용되고 있다. 양면에 회로를 형성시키고 스루홀(through hole)을 통하여 상호 연결시킨 양면기판 또는 이를 양면뿐만 아니라 복수의 층으로 확대시킨 다층기판의 사용이 증가하고 있다.
현재 인쇄회로기판을 제작하는데에는 사진전사에 의해 패턴을 형성하는 사진공정(photo lithography)이 범용적으로 사용되고 있다. 특히, 배선밀도의 고밀도화에 대응 가능한 세미어디티브법이 많이 사용되고 있다. 상기 세미어디티브법을 이용한 인쇄회로기판의 제조방법은, 시드층 형성공정, 전처리 공정, 드라이 필름(dry film)적층공정, 노광공정, 현상공정, 전해 동 도금공정, 드라이필름 박리공정, 플레쉬 에칭(flash etching)공정으로 이루어진다. 이 중 노광공정은 아트워크 필름을 사용하여 회로패턴을 형성하기 때문에, 아트워크 필름이 손상되기 쉽고 수정이 어려운 단점이 있다. 이에 따라, 포토마스크를 사용하지 않고 레이저 다이오드(laser diode)를 광원으로 사용하여 기판 위의 피노광층을 직접 노광하는 레이저 다이렉트 이미징(Laser Direct Imaging, LDI) 노광장치가 제공되고 있다.
즉, PCB, Rigid, FPCB 패턴을 인쇄하기 위하여 UV광을 필름 마스크에 통과하여 원하는 패턴을 형성하였으나, 최근에는 UV광을 UV레이저로 대체하여, 이 레이저를 직접 필름 위에 조사함으로써, 필름 마스크가 불필요하고 신속하게 필름보다 더욱 정밀한 패턴을 쉽게 형성하도록 하는 LDI 노광장치가 사용되고 있다.
또한, LDI 노광장치는, 레이저 광원을 폴리곤미러를 통해 스캔하여 이미지를 형성하거나 또는 DMD(Digital Micro Device) 칩을 사용하는 방식을 채택하고 있다.
한편, 상기 레이저광원을 패턴에 맞춰 조사하기 위해 다발의 광섬유를 고정하는 어레이 블록이 사용된다.
상기 어레이 블록은 실리콘재질로서, 고유 습식 식각 공정을 통해서 제작되며, 광섬유와 광소자 간의 광결합을 위한 광부품으로 PLC(planar lightwave circuit) 소자 패키징, 광스위치 및 스플리터, 다중화기 등에 널리 사용되고 있다.
또한, 상기 어레이 블록은 입력단 및 출력단에 광섬유를 안정되게 접속시키기 위해서 이용되며, 단심광섬유 또는 다심광섬유 리본의 단부 외피가 제거된 각각의 광섬유들을 V-그루브(groove)에 정렬시키고 에폭시 등의 접착제로 고정시킨다.
또한, 상기 어레이 블록의 제조공정은, 1. 실리콘이나 석영, 유리 등의 재질로 만들어진 광섬유 고정기판(110)의 상부면에 형성되며, 폭, 두께 및 간격이 일정한 광섬유 고정부(130), 즉, 다수의 V-그루브에 광섬유열을 안착시킨다. 이때, 광섬유열은 리본 광섬유 일부의 피복을 제거하여 얻어지는 것이 일반적이다.
2. 폭, 두께 및 간격이 일정한 다수의 V-그루브의 상부면에 글래스(120)를 덮는다. 상기 글래스는 상기 광섬유열을 고정하며, 외부 환경으로부터 상기 광섬유열을 보호하는 역할을 한다.
3. 에폭시 수지와 같은 접착제를 이용하여 블록, 광섬유열 및 글래스를 고정한다.
4. 상기 어레이 블록의 단면을 폴리싱한다.
그러나, 종래의 어레이 블록은 광섬유를 안착하기 위한 V-그루브가 'V'형상으로 형성됨으로써, 'V'형의 꼭지점 즉, 내측 하단부와 어레이 블록의 하단과의 간격이 협소하고, 이로 인해 외부의 충격 또는 진동 등에 의해 쉽게 파손되는 문제점이 있다.
또한, 도 2에 도시된 바와 같이, 파이버 어레이 블록이 다층으로 구성될 경우, 다층 간의 광섬유들의 간격을 유지시키기 위해서는 상기 어레이 블록에는 별도의 위치결정수단이 구성된다.
그러나, 어레이 블록에 구성되는 위치결정수단들의 가공오차 또는 형상오차 등의 누적 오차 등에 의해 광섬유들의 간격에 오차가 발생하여 정밀한 노광공정이 수행되지 않는 문제점이 있다.
대한민국 공개특허공보 제2002-95866호(2002.12.28. 공개) 대한민국 공개특허공보 제2004-48581호(2004.06.10. 공개)
상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 제안하는 것으로서, 본 발명의 목적은, 베이스기판의 상단 및 하단 각각에 광파이버가 안착되는 제1 및 제2그루브를 형성하고, 상기 제1 및 제2그루브를 역사다리꼴 형상으로 형성한 어레이 블록을 다층 적층시켰을 때, 이웃하는 어레이 블록 사이에 광파이버가 안착되는 파이버 어레이 구조를 제공함으로써, 가공오차 또는 광파이버의 간격 오차를 용이하게 보정할 수 있고, 이로 인해 균일한 노광 품질을 얻을 수 있도록 하는 LDI노광장치의 파이버 어레이 블록을 제공하는 데 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 다수의 광파이버를 고정 및 정렬상태를 유지시키도록 사용되는 LDI노광장치의 파이버 어레이 블록에 있어서, 베이스기판과; 상기 베이스기판의 상단에 일정깊이를 가지고 일정간격으로 형성되는 제1그루브; 및 상기 베이스기판의 하단에 일정깊이를 가지고 일정간격으로 형성되고 상기 제1그루브의 중심과 중첩되지 않도록 교호되는 위치에 형성되어 이웃하는 어레이 블록 사이에 광파이버가 안정적으로 고정된 상태를 유지할 수 있도록 하는 제2그루브;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 있어서, 제1 및 제2그루브는, 광파이버의 안정적인 안착 및 베이스기판의 강도를 보상할 수 있도록 역사다리꼴 형상;으로 형성되는 것이 바람직하다.
본 발명에 있어서, 어레이 블록은 다층으로 구성되는 광파이버들 사이의 간격(Y)과 최상단의 광파이버의 다음 열에 구성되는 최하단의 광파이버 사이의 간격(X)이 허용오차 범위를 벗어날 경우에 상기 어레이 블록을 일정각도 기울여서 상기 'Y'와 'X'의 간격이 일치되도록 보정;하는 것이 바람직하다.
본 발명에 있어서, 어레이 블록의 회전은 상기 어레이 블록이 일측에 고정되는 렌즈를 일정각도 회전시켜 이루어지도록 하는 조절부;를 더 포함하는 것이 바람직하다.
본 발명에 의하면, 베이스기판의 상단 및 하단 각각에 광파이버가 안착되는 제1 및 제2그루브를 형성하고, 상기 제1 및 제2그루브를 역사다리꼴 형상으로 형성한 어레이 블록을 다층 적층시켰을 때, 이웃하는 어레이 블록 사이에 광파이버가 안착되는 파이버 어레이 구조를 제공함으로써, 가공오차 또는 광파이버의 간격 오차를 용이하게 보정할 수 있고, 이로 인해 균일한 노광 품질을 얻을 수 있도록 하는 효과가 있다.
또한, 제1 및 제2그루브를 역사다리꼴 형상으로 형성함으로써, 베이스기판의 강도를 유지할 수 있는 효과가 있다.
또한, 상,하단 각각에 제1 및 제2그루브를 형성하여, 이웃하는 어레이 블록의 제1 및 제2그루브 사이에 광파이버이 안착됨으로써, 상기 광파이버의 안정적인 고정력을 제공하는 효과가 있다.
도 1은 종래의 파이버 어레이 블록의 일례를 도시한 도면.
도 2는 종래의 다층 구조를 가지는 파이버 어레이 블록의 일례를 도시한 도면.
도 3은 본 발명에 따른 LDI노광장치의 개략적인 사시도.
도 4는 본 발명에 따른 LDI노광장치의 파이버 어레이 블록의 사시도.
도 5는 본 발명에 따른 LDI노광장치의 파이버 어레이 블록의 단면도.
도 6은 본 발명에 따른 LDI노광장치의 파이버 어레이 블록의 일부확대도.
도 7은 본 발명에 따른 LDI노광장치의 파이버 어레이 블록의 적층상태를 보인 단면도.
도 8은 본 발명에 따른 LDI노광장치의 파이버 어레이를 통해 광파이버 간격 오차를 보상하는 방법을 도시한 개략도로서,
8a는 Y < X 일 경우 일치시키도록 하는 상태이고, 8b는 Y > X 일 경우 일치시키도록 하는 상태이다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시 예를 첨부된 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.
본 발명의 LDI노광장치는, 도 3에 도시된 바와 같이, 다채널의 레이저를 발생하는 레이저발생수단(110)과, 상기 레이저발생수단(110)으로부터 다채널의 레이저를 수광하여 레이저의 균일성이 유지되도록 하는 광섬유수단(120)과, 상기 광섬유수단(120)으로부터 수광되는 다채널의 레이저를 피노광층인 감광수지에 조사하는 렌즈(130)와, 상기 렌즈(130)를 X축 또는 Z축으로 이동시켜 감광수지에 회로패턴이 형성되도록 구동시키는 구동수단(140), 및 상기한 각 구성들을 제어하는 제어부(150)로 구성된다.
또한, 상기 광섬유수단(120)에는 상기 레이저발생수단(110)을 통해 발산되는 다채널의 레이저 각각의 파장을 수광하여, 이를 렌즈(130)에 집적되도록 안내하는 파이버 어레이 블록(1)이 구성된다.
상기 파이버 어레이 블록(1)은 상기 렌즈(130)의 일단에 구성된다.
또한, 상기 렌즈(130)의 일측에는 상기 파이버 어레이 블록(1)에 고정된 다수의 광파이버(2)를 통해 조사되는 레이저의 수평선을 정렬시키도록 하는 조절부(160)를 포함한다.
상기 조절부(160)는 상기 렌즈(130)를 X축 및 Z축 각각으로 이동시켜 상기 렌즈(130)에 구성된 파이버 어레이 블록(1)이 일정각도 회전함으로써, 결과적으로 레이저의 수평선이 정렬되도록 한다.
상기 파이버 어레이 블록(1)은 도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, 베이스기판(12)과, 상기 베이스기판(12)의 상단에서 광파이버(2)의 하방이 수용되도록 형성되는 제1그루브(14), 및 상기 베이스기판(12)의 하단에서 광파이버(2)의 상방이 수용되도록 형성되는 제2그루브(16)로 구성된다.
상기 베이스기판(12)은 상기 광파이버(2)를 안정적으로 지지할 수 있도록 하는 수단이다.
상기 제1그루브(14)는 상기 베이스기판(12)의 상단에 형성되어 광파이버(2)의 하방을 지지하는 수단이다.
상기 제2그루브(16)는 상기 베이스기판(12)의 하단에 형성되어 광파이버(2)의 상방을 지지하는 수단이다.
상기 제1 및 제2그루브(14)(16)는 상기 베이스기판(12)의 길이방향을 따라 일정간격으로 다수가 형성된다. 이 경우, 상기 제1 및 제2그루브(14)(16)는 상기 베이스기판(12)의 상,하단 각각에 수용되는 광파이버(2)의 중심이 중첩되지 않고 일정간격 이격된 상태가 유지될 수 있도록 일정간격으로 교호되게 형성된다.
또한, 상기 제1 및 제2그루브(14)(16)는 역사다리꼴 형상으로 형성됨이 바람직하다.
이는, 도 6에 도시된 바와 같이, 종래의 그루브(또는 광파이버 수용홈, 도 2 참조)는 "V"형으로 형성되어 있음으로써 종래의 그루브에 광파이버(2)를 안착시키면, 잉여공간(S1)이 형성되고, 상기 잉여공간(S1)만큼 베이스기판(12)의 두께를 단축시킨다. 또한, 상기 잉여공간(S1)만큼 단축된 베이스기판(12)은 강도가 저하되고, 이를 보상하기 위해 불필요한 잉여공간(S1)만큼 상기 베이스기판(12)의 두께가 두꺼워짐으로써, 결국 상기 베이스기판(12)의 제조단가가 상승되는 문제점이 있었다.
이에 반하여, 도 6에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제1 및 제2그루브(14)(16)와 같이 역사다리꼴로 형성할 경우, 상기 제1 및 제2그루브(14)(16)의 하단과 "V"형 꼭지점까지의 단축잉여공간(S2)을 제거함으로써, 베이스기판(12)의 두께를 종래와 비교하여 축소시킬 수 있다. 이에 따라, 상기 베이스기판(12)의 두께가 단축잉여공간(S2)만큼 축소됨으로써, 상기 베이스기판(12)의 제조단가를 낮출 수 있는 효과를 얻는다.
또한, 도 6에 도시된 바와 같이, 베이스기판(12)의 상단 및 하단 각각에서 일정깊이를 가지는 종래의 "V"형 그루브를 형성할 경우, "V"형 그루브의 꼭지점이 중첩되는 문제점이 발생하고, 이를 해소하기 위해서 베이스기판의 두께가 두꺼워져야 하는 문제점으로, 종래에는 도 2와 같이, 베이스기판의 한쪽 면 즉, 상단에만 형성시킬 수밖에 없었다.
또한, 상기 제1 및 제2그루브(14)(16)의 하단은 광파이버(2)가 안착될 때 상기 광파이버(2)의 최하단과 일정간격 이격거리를 가지도록 형성함이 바람직하다.
예컨대, 상기 제1 및 제2그루브(14)(16)의 하단과 광파이버(2)의 하단이 맞닿도록 형성할 경우, 상기 베이스기판(12)에 상기 제1 및 제2그루브(14)(16)를 형성할 때 발생하는 가공오차에 의해 상기 광파이버(2)가 제1 및 제2그루브(14)(16)에 안정적으로 안착되지 않을 수 있기 때문이다.
상기와 같이 구성된 LDI노광장치의 파이버 어레이 블록의 조립상태를 살펴보면 다음과 같다.
먼저, 도 7에 도시된 바와 같이, 최하단에 하단커버(3)를 위치시키고, 상기 하단커버(3)에 다수의 광파이버(2)를 배열시킨다. 물론, 배열되는 광파이버(2)는 일정간격으로 나란히 위치시킨다.
이어서, 배열된 광파이버(2)의 상단에 제1어레이 블록(1a)을 위치시킨다.
이때, 상기 제1어레이 블록(1a)의 베이스기판(12)의 하단에 형성된 다수의 제2그루브(16) 각각에 광파이버(2)들이 안착된다.
또한, 상기 제1어레이 블록(1a)의 상단에 형성된 다수의 제1그루브(14) 각각에 다른 광파이버(2)들을 안착시킨다.
이때, 상기 제1 및 제2그루브(14)(16)는 일정간격을 가지도록 교호되게 형성되어 있음으로써, 별도로 광파이버(2) 정렬수단을 구성하지 않고도 자연스럽게 상,하방에 안착되는 광파이버(2)들의 중심들이 중첩되지 않도록 정렬시키게 된다.
아울러, 상기 제1어레이 블록(1a)의 상방에 제2어레이 블록(1b)을 안착시킨다. 물론, 상술한 바와 같이, 상기 제2어레이 블록(1b)의 하단에 형성된 다수의 제2그루브(16) 각각에 상기 제1어레이 블록(1a)의 제1그루브(14) 각각에 안착된 광파이버(2)들이 수용, 안착되도록 한다.
계속해서, 상기 제2어레이 블록(1b)의 제1그루브(14) 각각에 광파이버(2)들을 안착한 후 상방에 제3어레이 블록(1c)의 제2그루브(16) 각각에 광파이버(2)들이 수용, 안착되도록 위치시킨다.
이 경우, 상기 제1 및 제2어레이 블록(1a)(1b)의 끝단이 일치되도록 구성되고, 상기 제2어레이 블록(1b) 상방에 위치되는 제3어레이 블록(1c)은 제1 및 제2그루브(14)(16)의 간격만큼 끝단이 벗어나게 구성된다.
상기와 같은 방식으로 다수의 어레이 블록(1n)들을 적층시키고, 최상단에 위치한 어레이 블록(1n)의 상방에 상단커버(4)를 안착시킴으로써, LDI노광장치의 파이버 어레이가 완성된다.
경우에 따라서, 상단 및 하단커버(3)(4)를 별도로 구성하지 않고, 어레이 블록(1)을 대체하여 사용할 수도 있다.
또한, 상단 및 하단커버(3)(4)와 다수의 어레이 블록(1) 사이에 구성되는 광파이버(2)에는 고정력을 강화시키기 위해 접착제를 도포한다.
상기와 같이 구성되는 LDI노광장치의 파이버 어레이는, 종래와 같이 별도의 광파이버(2) 정렬수단을 구성하지 않고도 베이스기판(12)의 상, 하단 각각에 형성된 제1 및 제2그루브(14)(16)에 의해 자연스럽게 광파이버(2)들 정렬시킬 수 있다.
또한, 상기 제1 및 제2그루브(14)(16)를 역사다리꼴 형상으로 형성함으로써, 상기 베이스기판(12)의 강도를 저하시키지 않으면서도 두께를 유지할 수 있어, 제조단가를 낮출 수 있다.
또한, 이웃하는 어레이 블록(1)의 제1 및 제2그루브(14)(16) 사이에 광파이버(2)가 수용, 안착된 구조를 가짐으로써, 외부의 진동 또는 충격이 가해져도 상기 광파이버(2)의 정렬상태가 안정적으로 유지될 수 있도록 고정력을 발휘한다.
상기와 같이 구성된 LDI노광장치의 파이버 어레이 블록이 고정된 렌즈를 통한 파이버 어레이 블록의 정렬방법은, 상기 렌즈(130)의 일측에 구성된 조절부(160)에 의해 이루어진다.
본 발명의 어레이 블록(1)은 다층 예컨대, 종래에는 64 내지 128 채널이 주로 사용되었으나, 본 발명에서는 노광 정밀도를 향상시키기 위해 1000 채널 이상을 사용하고 있다. 즉, 한 층에 170 채널을 가지고 9층을 형성하면(170 * 9), 1,530 채널이 사용된다. 이 경우, 가공오차 및 누적오차에 의해 최하층과 최상층에 위치한 광파이버(2)의 허용오차범위를 벗어나게 된다. 이에 따라, 다채널 광파이버(2)에 의한 정확한 수평선을 이룰 수 없다는 문제점이 발생한다.
이를 극복하기 위해서, 도 8a과 같이, 다층의 광파이버(2)들의 첫번째의 간격(Y) 보다 최상단의 첫번째와 최하단의 두번째 사이의 간격(X)이 클 경우에는 렌즈(130)의 일측에구성된 조절부(160)를 조절하여, 어레이 블록(1)의 후방을 상승시켜 'Y'와 'X'의 간격이 일치하도록 조정한다.
이와 반대로, 'Y'가 'X'보다 클 경우에는 상기 어레이블록(1)의 후방을 하강시켜 'Y'와 'X'의 간격이 일치하도록 조정한다.
이에 따라, 어레이 블록(1)에 구성된 다채널의 광파이버(2)들 사이의 간격을 정확하고 정밀하게 조정함으로써, 노광품질이 향상되도록 한다.
이상에서 설명한 것은 LDI노광장치의 파이버 어레이 블록 및 파이버 어레이 블록의 정렬방법을 실시하기 위한 하나의 실시 예에 불과한 것으로서, 본 발명은 상기한 실시 예에 한정되지 아니한다. 본 발명에 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면, 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 다양한 변경실시가 가능하다는 것을 이해할 수 있을 것이다.
1: 어레이 블록 12: 베이스기판
14: 제1그루브 16: 제2그루브

Claims (6)

  1. 다수의 광파이버를 고정 및 정렬상태를 유지시키도록 사용되는 LDI노광장치의 파이버 어레이 블록에 있어서,
    베이스기판(12)과;
    상기 베이스기판(12)의 상단에 일정깊이를 가지고 일정간격으로 형성되는 제1그루브(14); 및
    상기 베이스기판(12)의 하단에 일정깊이를 가지고 일정간격으로 형성되고 상기 제1그루브(14)의 중심과 중첩되지 않도록 교호되는 위치에 형성되어 이웃하는 어레이 블록(1) 사이에 광파이버(2)가 안정적으로 고정된 상태를 유지할 수 있도록 하는 제2그루브(16)를 포함하고;
    상기 제1 및 제2그루브(14)(16)는, 광파이버(2)의 안정적인 안착 및 베이스기판(12)의 강도를 보상할 수 있도록 역사다리꼴 형상으로 형성되며;
    상기 어레이 블록(1)은 다층으로 구성되는 광파이버(2)들 사이의 간격(Y)과 최상단의 광파이버(2)의 다음 열에 구성되는 최하단의 광파이버(2) 사이의 간격(X)이 허용오차 범위를 벗어날 경우에 상기 어레이 블록(1)을 일정각도 기울여서 상기 'Y'와 'X'의 간격이 일치되도록 보정;
    하는 것을 특징으로 하는 LDI노광장치의 파이버 어레이 블록.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 어레이 블록(1)의 회전은 상기 어레이 블록(1)이 일측에 고정되는 렌즈(130)를 일정각도 회전시켜 이루어지도록 하는 조절부(160);
    를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 LDI노광장치의 파이버 어레이 블록.
  5. 다수의 광파이버를 고정 및 정렬상태를 유지시키도록 사용되는 LDI노광장치의 파이버 어레이 블록에 구성되는 다수의 광파이버 간격이 일치되도록 보정하는 LDI노광장치의 파이버 어레이 블록의 정렬방법에 있어서,
    상기 어레이 블록은 다층으로 구성되는 광파이버들 사이의 간격(Y)과 최상단의 광파이버의 다음 열에 구성되는 최하단의 광파이버 사이의 간격(X)이 허용오차 범위를 벗어날 경우에 상기 어레이 블록을 일정각도 기울여서 상기 'Y'와 'X'의 간격이 일치되도록 보정;
    하는 것을 특징으로 하는 LDI노광장치의 파이버 어레이 블록의 정렬방법.
  6. 청구항 5에 있어서,
    상기 어레이 블록의 회전은 상기 어레이 블록이 일측에 고정되는 렌즈를 일정각도 회전시켜 이루어지도록 하는 조절부;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 LDI노광장치의 파이버 어레이 블록의 정렬방법.
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