KR101709577B1 - 잔류 진동 제어 시스템과 이를 이용한 광학 검사 장치 및 후가공 장치 - Google Patents

잔류 진동 제어 시스템과 이를 이용한 광학 검사 장치 및 후가공 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR101709577B1
KR101709577B1 KR1020150120244A KR20150120244A KR101709577B1 KR 101709577 B1 KR101709577 B1 KR 101709577B1 KR 1020150120244 A KR1020150120244 A KR 1020150120244A KR 20150120244 A KR20150120244 A KR 20150120244A KR 101709577 B1 KR101709577 B1 KR 101709577B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
vibration
flexible mechanism
rigid
rigid portion
actuator
Prior art date
Application number
KR1020150120244A
Other languages
English (en)
Inventor
김효영
이석우
박경희
김태곤
Original Assignee
한국생산기술연구원
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 한국생산기술연구원 filed Critical 한국생산기술연구원
Priority to KR1020150120244A priority Critical patent/KR101709577B1/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101709577B1 publication Critical patent/KR101709577B1/ko

Links

Images

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16F—SPRINGS; SHOCK-ABSORBERS; MEANS FOR DAMPING VIBRATION
    • F16F15/00—Suppression of vibrations in systems; Means or arrangements for avoiding or reducing out-of-balance forces, e.g. due to motion
    • F16F15/02—Suppression of vibrations of non-rotating, e.g. reciprocating systems; Suppression of vibrations of rotating systems by use of members not moving with the rotating systems
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C71/00—After-treatment of articles without altering their shape; Apparatus therefor
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16F—SPRINGS; SHOCK-ABSORBERS; MEANS FOR DAMPING VIBRATION
    • F16F15/00—Suppression of vibrations in systems; Means or arrangements for avoiding or reducing out-of-balance forces, e.g. due to motion
    • F16F15/005—Suppression of vibrations in systems; Means or arrangements for avoiding or reducing out-of-balance forces, e.g. due to motion using electro- or magnetostrictive actuation means
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Aviation & Aerospace Engineering (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Vibration Prevention Devices (AREA)
  • Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)

Abstract

본 발명의 일실시예는 장비에서 발생한 진동을 감지하고 감지된 진동을 분석하는 진동 감지 센서, 상기 진동 감지 센서로부터 신호를 받아 주파수를 분석하고 분석된 주파수에 간섭 상쇄되는 진동 주파수를 생성하여 전기 신호로 전달하는 제어장치, 상기 제어장치로부터 전달받은 전기 신호에 의해 작동하고, 장비에 발생한 진동과 간섭 상쇄하는 진동을 전달하여 반력 보상하는 액추에이터; 및 상기 액추에이터에 의해 발생하여 반력 보상하는 진동을 전달하는 유연기구를 포함하는 잔류 진동 제어 시스템을 제공한다.

Description

잔류 진동 제어 시스템과 이를 이용한 광학 검사 장치 및 후가공 장치 {A residual vibration control system, an optical inspection apparatus using the same and a finishing apparatus using the same}
본 발명은 진동제어 시스템을 이용하는 고속 정밀 광학 검사장치 또는 후가공 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 시스템 구동시 발생하는 반력에 의한 잔류진동을 진동 감지 센서로 감지하여, 반력에 반대되는 힘을 구동기와 유연기구를 이용하여 진동을 제거하는 시스템에 관한 것이다.
CFRP(Carbon fiber reinforced plastics)는 카본 섬유를 강화제로 하는 플라스틱계 복합재로 항공기나 자동차 등의 소재로 주목을 받고 있는 첨단 복합 재료이다. 항공기 등에 사용되는 CFRP의 크기가 점점 대형화됨에 따라 최근에는 CFRP 소재에 형성된 홀(Hole) 등의 결함을 비파괴적으로 검출하기 위한 고속 정밀 광학 검사 장치가 사용되고 있다. 또한, 제공된 CRFP 소재를 가공 하기 위한 고속 정밀 후가공 장치의 수요도 점차 많아지는 추세이다. 도1은 이러한 고속 정밀 광학 검사 및 후가공 장치를 개념적으로 도시한 것으로, 여기에서는 스테이션(11) 위에 CFRP소재(12)를 적치하고, y축 방향으로 이동 가능한 지지대(13)에 x축방향으로 이동 가능하게 설치된 광학검사모듈(14)이나 후가공모듈(15)을 이용하여 CFRP 소재(12)의 결함을 검사하거나 CFRP 소재(12)가 요구되는 형상이나 특성을 가지도록 가공한다. 광학검사모듈(14)이나 후가공모듈(15)은 지지대(13)에 이동 가능하게 직접 설치되거나 외팔보 형태의 연결부재(16)를 통해 지지대에 설치될 수 있다.
스태이션(11)과 지지대(13) 사이에는 모터(미도시) 등의 구동기가 설치될 수 있고, 지지대와 후가공모듈(15) 또는 연결부재(16) 사이에도 모터(미도시) 등의 구동기가 설치될 수 있다.
최근 사용되는 CFRP 소재가 점점 대형화함에 따라 상기와 같은 고속 정밀 광학 검사 장치 및 후가공 장치에서 지지대(13)나 여기에 설치된 광학검사모듈(14) 및 후가공모듈(15)이 점점 더 고속으로 이동하게 되었는데, 외팔보 형태 등의 비대칭 구조로 이루어진 이동바(13)와 광학검사모듈(14) 및 후가공모듈(15)이 고가감속을 하며 이동함에 따라 미세 진동이 필연적으로 발생한다. 과거에는 이러한 미세한 잔류 진동은 큰 의미가 없었으나, 최근에 제조 장비의 대형화 및 고정밀화가 이루어지면서 잔류진동으로 인한 광학적 검사와 후가공 공정의 생산성 저하를 방지하고, 높은 수준의 정밀도를 확보하기 위한 능동적인 제진 장치에 관한 필요성이 점점 커지고 있다.
능동형 제진 장치에 관한 선행기술로는 다음과 같은 문헌이 있다.
공개특허공보 제10-2012-0111468호 (2012. 10. 10. 공개)
본 발명은 상술한 점을 인식하여 도출된 것으로 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 광학 검사 장치나 후가공 장치의 진동을 상쇄시키는 액추에이터와 유연기구를 이용하여 반력에 의한 잔류진동 보상을 실시함으로써 고속의 정밀 검사와 후가공을 실현하는 잔류 진동 제어 시스템과 이를 이용한 광학 검사 장치 및 후가공 장치를 제공하는 것이다.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 이상에서 언급한 기술적 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 반력에 의한 잔류 진동 제어 시스템은 장비에서 발생한 진동을 감지하고 감지된 진동을 분석하는 진동 감지 센서와, 상기 진동 감지 센서로부터 신호를 받아 주파수를 분석하고 분석된 주파수에 간섭 상쇄되는 진동 주파수를 생성하여 전기 신호로 전달하는 제어장치와 상기 제어장치로부터 전달받은 전기 신호에 의해 작동하고, 장비에 발생한 진동과 간섭 상쇄하는 진동을 전달하여 반력 보상하는 액추에이터 및 상기 액추에이터에 의해 발생하여 반력을 보상하는 진동을 전달하는 유연기구를 포함한다.
또한, 상기 진동감지센서는 x축 방향 변위, y축 방향 변위, x축 방향 각변위, y축 방향 각변위 중 어느 하나 이상을 측정하여 거리, 속도, 가속도 중 어느 하나로 환산함으로써 진동을 감지한다.
또한, 상기 제어 장치는 진동감지센서로 감지된 진동의 위상과 반대가 되는 위상의 진동 주파수를 생성한다.
또한, 상기 액추에이터는 VCM(voice coil motor) 또는 압전소자일 수 있다.
또한, 상기 유연기구는 알루미늄 또는 알루미늄계 합금으로 형성될 수 있다.
또한, 상기 유연기구는 복수의 강체부와 하나 이상의 노치부로 형성되고, 상기 노치부는 상기 복수의 강체부 중 하나의 강체부와 또 다른 하나의 강체부를 연결하는 구조로 이루어질 수 있다.
또한, 상기 유연기구는 직선으로 배치된 제1강체부 및 제2강체부와 상기 제1강체부와 상기 제2강체부 사이에 형성된 제1노치부로 이루어질 수 있다.
또한, 상기 유연기구는 직선으로 배치된 제1강체부, 제2강체부 및 제3강체부와 상기 제1강체부와 상기 제2강체부 사이에 형성된 제1노치부 및 상기 제2강체부와 상기 제3강체부 사이에 형성된 제2노치부로 이루어질 수 있다.
본 발명의 다른 실시예는 상기 잔류 진동 제어 시스템에 장착된 광학 검사 모듈을 포함하는 광학 검사장치를 제공한다.
본 발명의 다른 실시예는 상기 잔류 진동 제어 시스템에 장착된 후가공 모듈을 포함하는 후가공 장치를 제공한다.
본 발명의 실시예에 따르면, 센서에서 감지된 장비의 진동을 상쇄함으로써 고속으로 정밀하게 광학검사나 후가공을 실시할 수 있다.
본 발명의 효과는 상기한 효과로 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 상세한 설명 또는 특허청구범위에 기재된 발명의 구성으로부터 추론 가능한 모든 효과를 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
도 1은 일반적인 고속 정밀 광학 검사 및 후가공 장치를 개념적으로 도시한 것이다.
도2는 회전운동을 위한 유연기구를 설명하기 위한 개념도이다.
도3은 직선운동을 위한 유연기구를 설명하기 위한 개념도이다.
도4는 직선운동에 의한 진동을 상쇄하기 위한 잔류 진동 제어 시스템이다.
도5는 감지된 신호와 반력 보상을 위한 신호를 설명하기 위한 개념도이다.
도6은 회전운동에 의한 진동을 상쇄하기 위한 잔류 진동 제어 시스템이다.
이하에서는 첨부한 도면을 참조하여 본 발명을 설명하기로 한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며, 따라서 여기에서 설명하는 실시예로 한정되는 것은 아니다. 그리고 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 유사한 도면 부호를 붙였다.
명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 "연결(접속, 접촉, 결합)"되어 있다고 할 때, 이는 "직접적으로 연결"되어 있는 경우뿐 아니라, 그 중간에 다른 부재를 사이에 두고 "간접적으로 연결"되어 있는 경우도 포함한다. 또한 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 구비할 수 있다는 것을 의미한다.
본 명세서에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 명세서에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
이하 첨부된 도면을 참고하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명하기로 한다.
본 발명에서는 유연기구(flexure mechanism)를 사용하여 하나의 축 방향의 방향의 진동을 상쇄한다. 유연기구는 강체(rigid body)를 유연힌지(flexure hinge)로 연결한 구조를 가지며, 재료의 탄성변형을 이용하여 원하는 운동방향을 제외한 다른 운동방향을 모두 구속함으로써 원하는 방향만의 운동을 만드는 메커니즘으로서, 도2및 도3은 유연기구를 설명하기 위한 개념도이다.
도2는 회전운동을 위한 유연기구로서, 이를 참조하면, 유연기구(20)에는 두 개의 강체부(21) 사이에 유연힌지로 작용하는 하나의 노치부(21)가 형성되어 있으며, 유연기구(20)의 하부는 구속되어 있다. 이러한 유연기구(20)에서 노치부(22)의 상부의 강체부(21)에 힘F를 화살표 방향으로 가하면 그림에서 변위의 화살표가 도시된 방향으로 유연기구는 회전운동만을 하게 되고, 다른 방향의 운동은 하지 않는다.
도3은 직선운동을 위한 유연기구로로서, 이를 참조하면, 유연기구(20)에는 세 개의 강체부(21) 사이에 두 개의 노치부(22)가 형성되어 있으며, 유연기구(20)의 상하부는 구속되어 있다. 이러한 유연기구(20)에서 두 개의 노치부 사이의 강체부에 힘F를 화살표 방향으로 가하면 그림에서 변위의 화살표가 도시된 방향으로 유연기구는 직선운동만을 하게 되고, 다른 방향의 운동은 하지 않는다.
도2나 도3과 같은 유연기구를 사용하여 진동을 측정하면, X, Y, Z 방향과 회전 방향으로 혼합되어 들어오는 복합 진동 중 하나의 축 방향 성분만을 추출하여 줌으로써 하나의 축 방향 진동 성분만을 정확하게 측정할 수 있다.
또한, 도2나 도3의 유연기구를 통하여 대상물에 진동을 가진할 때도 하나의 축 방향 진동만을 가진할 수 있고, 이와 더불어 유연기구의 적절한 설계를 통해 가진 시 구동 변위를 증폭시킬 수도 있다.
도4는 본 발명에 따른 잔류 진동 제어 시스템의 일 실시예를 나타내는 도면으로, 이 시스템에서는 직선운동에 의한 잔류 진동을 상쇄한다.
도4에서 도시된 바와 같이, 직선운동에 의한 진동을 상쇄하기 위한 시스템에서는 좌,우의 강체부 끝단이 구속되고 두 개의 노치부를 가지는 유연기구(20)의 중간 강체부에 작동모듈(10)을 설치한다. 작동모듈(10)은 CFRP 소재에 형성된 홀(Hole) 등의 결함을 비파괴적으로 검출하기 위한 광학 검사 모듈 또는 제공된 CRFP 소재를 후가공 하기 위한 후가공 모듈일 수 있다. 작동모듈(10)에는 작동모듈(10)의 진동을 감지하기 위한 진동감지센서(30)가 부착되어 있다. 진동감지센서(20)는 x축 방향 변위, y축 방향 변위, x축 방향 각변위, y축 방향 각변위 중 어느 하나 이상을 측정하여 거리, 속도, 가속도 중 어느 하나로 환산함으로써 진동을 감지한다.
유연기구는 경량이고 탄성 특성이 우수한 알루미늄 또는 알루늄계 합금으로 형성될 수 있다. 유연기구의 중간 강체부에는 유연기구에 직선운동을 인가하기 위한 액추에이터(40)가 장착된다. 액추에이터는 응답특성이 우수한 VCM(voice coil motor) 또는 압전소자일 수 있다. VCM이나 압전소자와 같은 액추에이터(40)는 1자유도의 직선 운동을 하는 구동기인데 실제 보상하려는 반력은 X, Y, Z의 3축 과 회전 운동이 모두 포함된 복합진동이다. 따라서 본 발명에서는 액추에이터(40)가 정상적으로 작동할 수 있도록 하기 위해서 유연기구를 사용하여 하나의 축 방향 또는 회전 방향만의 진동을 제어하게 된다.
상기와 같은 잔류 진동 제어 시스템에서 제어장치(50)는 진동감지센서(30)로 감지된 작동모듈(10)의 진동 중 하나의 축 방향 성분만을 추출하여 축방향의 진동을 감지하고, 이를 간섭 상쇄할 수 있는 진동 신호를 형성하여 액추에이터(40)에 인가한다. 제어장치(50)에서 인가된 진동신호를 바탕으로, 액추에이터(40)는 작동모듈(10)의 축 방향 신호를 간섭 상쇄하는 진동을 형성하여 유연기구(20)를 통해 작동모듈(10)에 전달함으로써 작동모듈(10)의 축방향 진동을 반력보상하여 작동모듈(10)의 잔류 진동을 제어한다.
도5는 감지된 신호와 반력 보상을 위한 신호를 설명하기 위한 개념도이다.
도5의 (a)에서 상부에 진동감지센서(30)로 감지된 축방향 진동 신호를 실선으로 도시하였다. 제어장치(50)는 감지된 축 방향 진동 신호와 결합하여 감지된 진동 신호를 간섭 상쇄함으로써 반력 보상할 수 있는 반력 진동신호를 생성하여 액추에이터(40)에 인가하는데 이러한 반력 진동 신호가 도5의 (a)에서 하부에 점선으로 도시된 진동신호이다. 여기에서 보는 바와 같이 반력 진동 신호는 감지된 진동 신호와 방향과 위상이 반대인 신호로서, 장비에서 발생하여 감지된 진동신호와 간섭하여 장비의 진동을 상쇄한다. 이러한 반력 보상에 따라 최종적으로 도5의 (b)에서 보는 바와 같이 반력 보상 후에는 작동모듈에는 미세한 진동만이 남아있게 된다.
도6은 본 발명에 따른 잔류 진동 제어 시스템의 일 실시예를 나타내는 도면으로, 이 시스템에서는 회전운동에 의한 잔류 진동을 상쇄한다.
도6에서 도시된 바와 같이, 회전운동에 의한 진동을 상쇄하기 위한 시스템에서는 두 개의 강체부 중 하단이 구속되고 강체부 사이에 하나의 노치부를 가지는 유연기구(20)의 상단 강체부에 작동모듈(10)을 설치한다. 작동모듈(10)은 CFRP 소재에 형성된 홀(Hole) 등의 결함을 비파괴적으로 검출하기 위한 광학 검사 모듈 또는 제공된 CRFP 소재를 후가공 하기 위한 후가공 모듈일 수 있다. 작동모듈(10)에는 작동모듈(10)의 진동을 감지하기 위한 진동감지센서(30)가 부착되어 있다. 유연기구는 경량이고 탄성 특성이 우수한 알루미늄 또는 알루늄계 합금으로 형성될 수 있다. 유연기구의 상단 강체부에는 유연기구에 직선운동을 인가하기 위한 액추에이터(40)가 장착된다. 액추에이터는 응답특성이 우수한 VCM(voice coil motor) 또는 압전소자일 수 있다.
상기와 같은 잔류 진동 제어 시스템에서 제어장치(50)는 진동감지센서(30)로 감지된 작동모듈(10)의 진동 중 회전 방향 성분만을 추출하여 회전 방향의 진동을 감지하고, 이를 간섭 상쇄할 수 있는 진동 신호를 형성하여 액추에이터(40)에 인가한다. 제어장치(50)에서 인가된 진동신호를 바탕으로, 액추에이터(40)는 작동모듈(10)의 회전 방향 신호를 간섭 상쇄하는 진동을 형성하여 유연기구(20)를 통해 작동모듈(10)에 전달함으로써 작동모듈(10)의 회전 방향 진동을 반력보상하여 작동모듈(10)의 잔류 진동을 제어한다.
전술한 본 발명의 설명은 예시를 위한 것이며, 본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 쉽게 변형이 가능하다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 예를 들어, 단일형으로 설명되어 있는 각 구성 요소는 분산되어 실시될 수도 있으며, 마찬가지로 분산된 것으로 설명되어 있는 구성 요소들도 결합된 형태로 실시될 수 있다.
본 발명의 범위는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
11: 스테이션 12: CFRP 소재
13: 지지대 14: 광학검사모듈
15: 후가공모듈 16: 연결부재
21: 강체부 22: 노치부
10: 작동모듈 20: 유연기구
30: 진동감지센서 40: 액추에이터
50: 제어장치

Claims (10)

  1. 장비에서 발생한 진동을 감지하고 감지된 진동을 분석하는 진동감지센서;,
    상기 진동감지센서로부터 신호를 받아 주파수를 분석하고 분석된 주파수에 간섭 상쇄되는 진동 주파수를 생성하여 전기 신호로 전달하는 제어장치;,
    상기 제어장치로부터 전달받은 전기 신호에 의해 작동하고, 장비에 발생한 진동과 간섭 상쇄하는 진동을 전달하여 반력 보상하는 액추에이터; 및
    상기 액추에이터에 의해 발생하여 반력 보상하는 진동을 전달하는 유연기구를 포함하고,
    상기 유연기구는 복수의 강체부와 하나 이상의 노치부로 형성되고, 상기 노치부는 상기 복수의 강체부 중 하나의 강체부와 또 다른 하나의 강체부를 연결하는 구조로 이루어지며,
    상기 유연기구에는 광학 검사 또는 후가공을 수행하는 작동모듈이 결합하고 상기 작동모듈에는 상기 작동모듈의 진동을 감지하기 위한 진동감지센서가 부착되며,
    상기 유연기구의 탄성변형을 이용하여 하나의 운동방향 외 다른 운동방향을 모두 구속함으로써 상기 유연기구가 상기 하나의 운동방향만의 운동을 수행하고,
    상기 유연기구를 이용하여 직선운동에 의한 잔류진동을 상쇄하는 경우, 상기 유연기구의 양 끝단이 구속되고, 상기 유연기구에 의해 진동을 측정하면 X, Y, Z 방향과 회전 방향으로 혼합되어 들어오는 복합 진동 중 하나의 축 방향 성분만을 추출하여 하나의 축방향 진동 성분만을 측정하고, 상기 액추에이터의 반력 보상하는 진동이 상기 유연기구를 거쳐 상기 작동모듈에 전달 시 하나의 축 방향 진동만을 가진하며,
    상기 유연기구를 이용하여 회전운동에 의한 잔류진동을 상쇄하는 경우, 상기 유연기구의 일 끝단이 구속되고, 상기 유연기구에 의해 진동을 측정하면 X, Y, Z 방향과 회전 방향으로 혼합되어 들어오는 복합 진동 중 회전 방향 성분만을 추출하여 회전 방향 진동 성분만을 측정하고, 상기 액추에이터의 반력 보상하는 진동이 상기 유연기구를 거쳐 상기 작동모듈에 전달 시 회전 방향 진동만을 가진하는 것을 특징으로 하는 잔류 진동 제어 시스템.
  2. 삭제
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 제어 장치는 진동감지센서로 감지된 진동의 위상과 반대가 되는 위상의 진동 주파수를 생성하는 것을 특징으로 하는 잔류 진동 제어 시스템.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 액추에이터는 VCM(voice coil motor) 또는 압전소자인 것을 특징으로 하는 잔류 진동 제어 시스템.
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 유연기구는 알루미늄 또는 알루미늄계 합금으로 형성된 것을 특징으로 하는 잔류 진동 제어 시스템.
  6. 삭제
  7. 제 1항에 있어서,
    상기 유연기구는 직선으로 배치된 제1강체부 및 제2강체부와 상기 제1강체부와 상기 제2강체부 사이에 형성된 제1노치부로 이루어진 것을 특징으로 하는 잔류 진동 제어 시스템.
  8. 제 1항에 있어서,
    상기 유연기구는 직선으로 배치된 제1강체부, 제2강체부 및 제3강체부와 상기 제1강체부와 상기 제2강체부 사이에 형성된 제1노치부 및 상기 제2강체부와 상기 제3강체부 사이에 형성된 제2노치부로 이루어진 것을 특징으로 하는 잔류 진동 제어 시스템.
  9. 제 1항, 제3항 내지 제5항, 제7항 및 제8항 중 어느 한 항의 잔류 진동 제어 시스템에 장착된 광학 검사 모듈을 포함하는 광학 검사 장치.
  10. 제 1항, 제3항 내지 제5항, 제7항 및 제8항 중 어느 한 항의 잔류 진동 제어 시스템에 장착된 후가공 모듈을 포함하는 후가공 장치.
KR1020150120244A 2015-08-26 2015-08-26 잔류 진동 제어 시스템과 이를 이용한 광학 검사 장치 및 후가공 장치 KR101709577B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020150120244A KR101709577B1 (ko) 2015-08-26 2015-08-26 잔류 진동 제어 시스템과 이를 이용한 광학 검사 장치 및 후가공 장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020150120244A KR101709577B1 (ko) 2015-08-26 2015-08-26 잔류 진동 제어 시스템과 이를 이용한 광학 검사 장치 및 후가공 장치

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR101709577B1 true KR101709577B1 (ko) 2017-03-09

Family

ID=58402591

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020150120244A KR101709577B1 (ko) 2015-08-26 2015-08-26 잔류 진동 제어 시스템과 이를 이용한 광학 검사 장치 및 후가공 장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101709577B1 (ko)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20200058652A (ko) 2018-11-19 2020-05-28 한국생산기술연구원 유연지그변형 방지구조가 적용된 가공장비
KR20200059357A (ko) 2018-11-20 2020-05-29 한국생산기술연구원 로봇팔을 이용한 정밀 가공장치 및 이의 작동방법
KR20200064186A (ko) 2018-11-19 2020-06-08 한국생산기술연구원 이종 소재로 이루어진 유연가이드기구의 제조방법 및 이의 제조방법으로 제조된 유연가이드기구
KR20200064187A (ko) 2018-11-19 2020-06-08 한국생산기술연구원 금속 및 cfrp로 이루어진 유연가이드기구의 제조방법 및 이의 제조방법으로 제조된 유연가이드기구
WO2021230472A1 (ko) * 2020-05-12 2021-11-18 주식회사 동운아나텍 선형 공진 액츄에이터의 잔류진동 제거장치 및 그 방법

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH1089403A (ja) * 1996-09-10 1998-04-07 Nikon Corp 防振装置
US5906254A (en) * 1994-10-12 1999-05-25 Lord Corporation Active systems and devices including active vibration absorbers (AVAS)
KR20100056789A (ko) * 2008-11-20 2010-05-28 주식회사 탑 엔지니어링 반력 상쇄 장치, 그것의 질량체 설정 방법, 그것을 이용한 반력 상쇄 방법 및 그것을 구비한 디스펜서
KR20120111468A (ko) 2011-03-31 2012-10-10 목포해양대학교 산학협력단 브이씨엠을 이용한 2자유도 능동형 제진 장치
KR101356709B1 (ko) * 2012-07-30 2014-02-04 한국과학기술원 할바흐 자석 배열과 보이스 코일 모터를 이용한 혼합 제진대

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5906254A (en) * 1994-10-12 1999-05-25 Lord Corporation Active systems and devices including active vibration absorbers (AVAS)
JPH1089403A (ja) * 1996-09-10 1998-04-07 Nikon Corp 防振装置
KR20100056789A (ko) * 2008-11-20 2010-05-28 주식회사 탑 엔지니어링 반력 상쇄 장치, 그것의 질량체 설정 방법, 그것을 이용한 반력 상쇄 방법 및 그것을 구비한 디스펜서
KR20120111468A (ko) 2011-03-31 2012-10-10 목포해양대학교 산학협력단 브이씨엠을 이용한 2자유도 능동형 제진 장치
KR101356709B1 (ko) * 2012-07-30 2014-02-04 한국과학기술원 할바흐 자석 배열과 보이스 코일 모터를 이용한 혼합 제진대

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20200058652A (ko) 2018-11-19 2020-05-28 한국생산기술연구원 유연지그변형 방지구조가 적용된 가공장비
KR20200064186A (ko) 2018-11-19 2020-06-08 한국생산기술연구원 이종 소재로 이루어진 유연가이드기구의 제조방법 및 이의 제조방법으로 제조된 유연가이드기구
KR20200064187A (ko) 2018-11-19 2020-06-08 한국생산기술연구원 금속 및 cfrp로 이루어진 유연가이드기구의 제조방법 및 이의 제조방법으로 제조된 유연가이드기구
KR20200059357A (ko) 2018-11-20 2020-05-29 한국생산기술연구원 로봇팔을 이용한 정밀 가공장치 및 이의 작동방법
WO2021230472A1 (ko) * 2020-05-12 2021-11-18 주식회사 동운아나텍 선형 공진 액츄에이터의 잔류진동 제거장치 및 그 방법
KR20210138373A (ko) * 2020-05-12 2021-11-19 주식회사 동운아나텍 선형 공진 액츄에이터의 잔류진동 제거장치 및 그 방법
KR102454396B1 (ko) * 2020-05-12 2022-10-17 주식회사 동운아나텍 선형 공진 액츄에이터의 잔류진동 제거장치 및 그 방법
CN115606087A (zh) * 2020-05-12 2023-01-13 动运科学技术有限公司（Kr） 用于去除线性共振致动器中残余振动的装置及其方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101709577B1 (ko) 잔류 진동 제어 시스템과 이를 이용한 광학 검사 장치 및 후가공 장치
JP5770359B2 (ja) 座標測定機
CN107533325B (zh) 机械运动轨迹测定装置
CN112815901B (zh) 坐标测量机、探测系统以及补偿探针元件处的力的方法
JP2010131743A (ja) 力覚センサを内蔵した把持装置
CN104105941A (zh) 具有被约束的配重的坐标测量机
US10054514B2 (en) Vibration exciter having load compensation
JP5714071B2 (ja) 角速度センサ
CN107532894B (zh) 控制测量装置和提供主动阻尼的方法、坐标测量机及存储介质
Xu A novel compliant micropositioning stage with dual ranges and resolutions
CN110537077B (zh) 载荷支承结构
JP5834171B2 (ja) 形状測定装置
JP2005332191A (ja) 移動体位置制御装置及びこの制御装置を用いたステージ装置
KR101759178B1 (ko) 반력보상모듈을 갖는 생산 장비 및 이를 이용한 진동 제어방법
EP2714325B1 (en) Actively compensated stage having 5-dof motion error compensation and motion error compensating method thereof
KR101707899B1 (ko) 할바흐 자석 배열을 이용한 잔류 진동 제어 시스템과 이를 이용한 광학 검사 장치 및 후가공 장치
KR101210452B1 (ko) 스테이지
EP3953659A1 (en) Coordinate positioning machine
JP2009281533A (ja) 機械装置
JP2003294434A (ja) 接触式プローブ
JP5264656B2 (ja) 多自由度アクティブ制振装置
Ast et al. An adaptronic approach to active vibration control of machine tools with parallel kinematics
JP6641496B2 (ja) リアクション補償式ステアリング可能プラットフォーム
JP2005034965A (ja) 操作力発生装置
CN111434946B (zh) 主动稳定振动的联轴器

Legal Events

Date Code Title Description
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20191223

Year of fee payment: 4