KR101693122B1 - METHOD FOR FABRICATING NANO-POWDERS USING Al-BASED AMORPHOUS ALLOY - Google Patents

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Abstract

본 발명은 알루미늄계 비정질 합금을 이용한 나노 분말의 제조 방법에 관한 것으로, 80-99at%의 Al과 0.5-10at%의 Ni과 0.5-10at%의 Y를 포함하는 알루미늄계 비정질 합금을 준비하는 단계와, 상기 준비된 알루미늄계 비정질 합금을 가열하여 상온에서부터 상기 알루미늄계 비정질 합금의 용융온도의 2/3까지의 낮은 온도 범위에서 기화된 물질을 기판에 증착하는 단계를 포함함으로써, 강도, 내마모성, 자기적 특성 및 부식에 대한 저항성이 뛰어난 나노 분말을 제조할 수 있다.The present invention relates to a method of manufacturing a nano powder using an aluminum-based amorphous alloy, comprising the steps of preparing an aluminum-based amorphous alloy containing 80-99 at% of Al, 0.5-10 at% of Ni and 0.5-10 at% of Y, And a step of heating the prepared aluminum-based amorphous alloy to deposit vaporized material on the substrate at a temperature ranging from room temperature to 2/3 of the melting temperature of the aluminum-based amorphous alloy, whereby the strength, abrasion resistance, And a nano powder excellent in resistance to corrosion can be produced.

Description

알루미늄계 비정질 합금을 이용한 나노 분말의 제조 방법{METHOD FOR FABRICATING NANO-POWDERS USING Al-BASED AMORPHOUS ALLOY}METHOD FOR FABRICATING NANO-POWDERS USING AL-BASED AMORPHOUS ALLOY BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001]

본 발명은 열처리 시에 낮은 온도에서 증발에 따른 중량 감소가 발생되는 비정질 합금을 제공함으로써, 강도, 내마모성, 자기적 특성 및 부식에 대한 저항성이 뛰어난 나노 분말을 낮은 온도에서 제조할 수 있는 알루미늄계 비정질 합금을 이용한 나노 분말의 제조 방법에 관한 것이다.The present invention provides an amorphous alloy which is capable of producing a nanopowder having excellent strength, abrasion resistance, magnetic properties, and corrosion resistance at a low temperature by providing an amorphous alloy in which weight reduction due to evaporation occurs at a low temperature during a heat treatment, The present invention relates to a method for producing a nano powder using an alloy.

잘 알려진 바와 같이, 비정질 합금이라 함은 원자가 규칙적인 격자배열상태로 존재하는 결정질 금속이 아니라, 원자의 배치가 매우 불규칙적으로 이루어져 마치 액상의 원자배열을 가진 것과 유사한 원자 배열을 가지는 고상재료를 의미하는데, 이들은 2가지 이상의 금속(반금속을 포함함)으로 이루어진다.As is well known, an amorphous alloy is not a crystalline metal in which atoms are in a regular lattice arrangement, but rather a solid material having an atomic arrangement similar to that having an atomic arrangement in a liquid phase, , Which are composed of two or more metals (including semimetals).

일반적으로, 비정질 합금은 결정질 재료에서 얻을 수 없는 높은 강도, 우수한 내마모성 및 내부식성 등과 같은 기계적 및 화학적 성질을 가지기 때문에, 그 응용범위가 넓다는 특성을 가진다.In general, amorphous alloys have a wide range of application because they have mechanical and chemical properties such as high strength, excellent abrasion resistance and corrosion resistance that can not be obtained from a crystalline material.

그리고, 비정질 합금은 구성 원소들이 특정한 비율로 첨가되고, 첨가된 구성 원소들이 둘 또는 그 이상의 결정상으로 분리되어 형성되지 않고 첨가된 원소들의 정량비가 그대로 유지될 수 있도록 급속 응고시키는 방법(RSP : Rapid Solidification Process, 급속응고법)에 의해 제조되는 것이 일반적이다.The amorphous alloy is a rapid solidification method (RSP) in which constituent elements are added at a specific ratio, and the added constituent elements are not separated into two or more crystalline phases, but the quantitative ratio of the added elements is maintained as they are Process, rapid solidification method).

이러한 급속응고법은 용융 합금에 대하여 고압가스 또는 고압수를 분사하여 제조하는 가스분사법, 용융금속을 빠르게 회전하는 원판을 이용하여 분말을 제조 하는 원심분리법, 빠른 속도로 회전하는 롤에 의해 분말이 제조되는 멜트스피닝법 등으로 분류될 수 있는데, 이를 통해 분말 또는 리본과 같은 벌크 형태의 비정질 합금을 제조할 수 있다.This rapid solidification method includes a gas spraying method in which a high-pressure gas or high-pressure water is sprayed on a molten alloy, a centrifugal separation method in which a powder is prepared by using a disk rotating rapidly with molten metal, Spinning method, and the like, through which a bulk amorphous alloy such as powder or ribbon can be produced.

한편, 금속유리와 같은 비정질 합금은 두 종류 이상의 금속(반금속을 포함함)이 급속 응고됨으로써 형성된 비정질 부분을 갖는데, 고온에서 액체 상태일 때 형성된 비정질 부분을 상온에서도 그대로 유지할 수 있다. 여기에서, 비정질 부분은 금속유리 전체 부피에서 대략 50-100부피%로 포함될 수 있다.On the other hand, an amorphous alloy such as a metal glass has an amorphous portion formed by rapid solidification of two or more kinds of metals (including a semi-metal). The amorphous portion formed when the liquid is in a high temperature state can be maintained at room temperature. Here, the amorphous portion may be included in an amount of about 50-100 vol% in the total volume of the metal glass.

이러한 금속유리는 유리 전이 온도(glass transition temperature, Tg) 이상에서 연화되어 액체와 같은 거동을 보일 수 있는데, 이 거동은 금속유리의 유리 전이 온도(Tg)와 결정화 온도(crystallization temperature, Tx) 사이에서 유지되며, 이 온도 구간을 과냉각액체영역(ΔTx)이라 한다.Such a metal glass may be softened at a glass transition temperature (Tg) or higher to exhibit liquid-like behavior, which is a function of the glass transition temperature (Tg) and the crystallization temperature (Tx) of the metallic glass And this temperature interval is referred to as a supercooled liquid region (DELTA Tx).

또한, 금속유리와 같은 비정질 합금의 나노 분말은 기상에서의 균질 핵생성과 응축을 통해 제조하는 가스 응축법이나 벌크 금속이나 세라믹을 분쇄하여 미세화하는 기계적 분쇄법과 같은 물리적 제조법과 금속염에 침전제나 환원제를 가하여 수용액에서 금속이나 산화물 분말을 제조하는 액상환원법과 같은 화학적인 제조법에 따라 제조될 수 있다.In addition, amorphous alloy nanoparticles such as metallic glass can be produced by a gas condensing method, which is produced by homogeneous nucleation and condensation in a gas phase, a physical manufacturing method such as a mechanical grinding method in which bulk metals or ceramics are pulverized and finely milled, Or a liquid phase reduction method in which a metal or an oxide powder is produced in an aqueous solution.

또 다른 제조법으로 고에너지 볼 밀링법이 있는데, 이는 각각의 비정질 합금 조성을 이루는 결정질 금속들을 첨가한 후 고에너지 볼밀을 이용하여 기계적으로 분쇄하면서 합금화하는 방법을 의미한다.Another manufacturing method is a high energy ball milling method, which is a method in which crystalline metals forming each amorphous alloy composition are added, and then alloyed by mechanical grinding using a high energy ball mill.

상술한 바와 같이 나노 분말은 금속유리와 같은 비정질 합금으로 제조될 수 있는데, 나노 분말을 제조하기 위한 용도로서 강도, 내마모성, 자기적 특성 및 부식에 대한 저항성이 뛰어난 비정질 합금에 대한 연구 개발이 활발하게 진행되고 있다.As described above, the nano powder can be made of an amorphous alloy such as a metal glass. The research and development of an amorphous alloy having excellent strength, abrasion resistance, magnetic properties and corrosion resistance as applications for producing nano powder actively It is progressing.

1. 등록특허공보 제10-1376074호(2014.03.21.공고) : 비정질 형성능을 가지는 결정질 합금, 그 제조방법, 스퍼터링용 합금타겟 및 그 제조방법1. A crystalline alloy having amorphous forming ability, a method for producing the same, an alloy target for sputtering, and a method for manufacturing the same are disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 10-1376074 (Mar. 31, 2014) 2. 공개특허공보 제10-2013-0048224호(2013.05.09.공개) : 주석 함유 비정질 합금2. Open Patent Publication No. 10-2013-0048224 (published on May 3, 2013): tin-containing amorphous alloy 3. 공개특허공보 제10-2013-0121098호(2013.11.05.공개) : 탄소 그래핀 및 그 밖의 나노물질의 생성 방법3. Published Japanese Patent Application No. 10-2013-0121098 (published Nov. 11, 2013): Methods for producing carbon graphene and other nanomaterials

본 발명은 열처리 시에 낮은 온도에서 증발에 따른 중량 감소가 발생되되, 상온부터 2/3 Tm 사이에서 전체 중량 대비 최대 1%의 중량 감소가 발생되는 비정질 합금을 제공함으로써, 강도, 내마모성, 자기적 특성 및 부식에 대한 저항성이 뛰어난 나노 분말을 상대적으로 낮은 온도에서 제조할 수 있는 알루미늄계 비정질 합금을 이용한 나노 분말의 제조 방법을 제공하고자 한다.The present invention provides an amorphous alloy in which a weight loss due to evaporation occurs at a low temperature during a heat treatment and a weight loss of at most 1% relative to the total weight occurs between room temperature and 2/3 Tm, The present invention provides a method of manufacturing a nano powder using an aluminum-based amorphous alloy capable of manufacturing nano powder excellent in characteristics and corrosion resistance at a relatively low temperature.

또한, 본 발명은 알루미늄계 비정질 합금으로 Al-Ni-Y를 기반으로 하며, 80-99at%의 Al과 0.5-10at%의 Ni과 0.5-10at%의 Y를 포함하는 비정질 합금을 제공함으로써, 강도, 내마모성, 자기적 특성 및 부식에 대한 저항성이 더욱 뛰어난 나노 분말을 상대적으로 낮은 온도에서 제조할 수 있는 알루미늄계 비정질 합금을 이용한 나노 분말의 제조 방법을 제공하고자 한다.The present invention also provides an amorphous alloy based on Al-Ni-Y as an aluminum-based amorphous alloy, which provides an amorphous alloy containing 80-99 at% Al, 0.5-10 at% Ni, and 0.5-10 at% The present invention also provides a method for manufacturing a nano powder using an aluminum-based amorphous alloy capable of producing nano powder having higher abrasion resistance, magnetic properties, and resistance to corrosion at a relatively low temperature.

또한, 본 발명은 Al-Ni-Y를 기반으로 하며, Co 및 La 중 적어도 하나를 0.1-5at%만큼 선택적으로 포함하는 비정질 합금을 제공함으로써, 강도, 내마모성, 자기적 특성 및 부식에 대한 저항성이 더욱 뛰어난 나노 분말을 상대적으로 낮은 온도에서 제조할 수 있는 알루미늄계 비정질 합금을 이용한 나노 분말의 제조 방법을 제공하고자 한다.The present invention also provides an amorphous alloy based on Al-Ni-Y and optionally containing at least one of Co and La in an amount of 0.1-5at%, thereby providing strength, abrasion resistance, magnetic properties and resistance to corrosion And a method for manufacturing a nano powder using an aluminum-based amorphous alloy capable of manufacturing a more excellent nano powder at a relatively low temperature.

본 발명의 실시예들의 목적은 이상에서 언급한 목적으로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The objects of the embodiments of the present invention are not limited to the above-mentioned objects, and other objects not mentioned can be clearly understood by those skilled in the art from the following description .

본 발명의 실시예에 따르면, 80-99at%의 Al과 0.5-10at%의 Ni과 0.5-10at%의 Y를 포함하는 알루미늄계 비정질 합금을 준비하는 단계와, 상기 준비된 알루미늄계 비정질 합금을 가열하여 상온에서부터 상기 알루미늄계 비정질 합금의 용융온도의 2/3까지의 낮은 온도 범위에서 기화된 물질을 기판에 증착하는 단계를 포함하는 알루미늄계 비정질 합금을 이용한 나노 분말의 제조 방법이 제공될 수 있다.According to an embodiment of the present invention, an aluminum-based amorphous alloy containing 80-99 at% of Al, 0.5-10 at% of Ni, and 0.5-10 at% of Y is prepared, and the prepared aluminum- And depositing a vaporized material on the substrate at a temperature ranging from room temperature to 2/3 of the melting temperature of the aluminum-based amorphous alloy on the substrate.

본 발명은 열처리 시에 낮은 온도에서 증발에 따른 중량 감소가 발생되되, 상온부터 2/3 Tm 사이에서 전체 중량 대비 최대 1%의 중량 감소가 발생되는 비정질 합금을 제공함으로써, 강도, 내마모성, 자기적 특성 및 부식에 대한 저항성이 뛰어난 나노 분말을 상대적으로 낮은 온도에서 제조할 수 있다.The present invention provides an amorphous alloy in which a weight loss due to evaporation occurs at a low temperature during a heat treatment and a weight loss of at most 1% relative to the total weight occurs between room temperature and 2/3 Tm, Nanocrystalline powder excellent in characteristics and corrosion resistance can be produced at a relatively low temperature.

또한, 본 발명은 알루미늄계 비정질 합금으로 Al-Ni-Y를 기반으로 하며, 80-99at%의 Al과 0.5-10at%의 Ni과 0.5-10at%의 Y를 포함하는 비정질 합금을 제공함으로써, 강도, 내마모성, 자기적 특성 및 부식에 대한 저항성이 더욱 뛰어난 나노 분말을 상대적으로 낮은 온도에서 제조할 수 있다.The present invention also provides an amorphous alloy based on Al-Ni-Y as an aluminum-based amorphous alloy, which provides an amorphous alloy containing 80-99 at% Al, 0.5-10 at% Ni, and 0.5-10 at% Nano powders with better abrasion resistance, magnetic properties and corrosion resistance can be produced at relatively low temperatures.

또한, 본 발명은 Al-Ni-Y를 기반으로 하며, Co 및 La 중 적어도 하나를 0.1-5at%만큼 선택적으로 포함하는 비정질 합금을 제공함으로써, 강도, 내마모성, 자기적 특성 및 부식에 대한 저항성이 더욱 뛰어난 나노 분말을 상대적으로 낮은 온도에서 제조할 수 있다.The present invention also provides an amorphous alloy based on Al-Ni-Y and optionally containing at least one of Co and La in an amount of 0.1-5at%, thereby providing strength, abrasion resistance, magnetic properties and resistance to corrosion More superior nanopowders can be produced at relatively low temperatures.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 알루미늄계 비정질 합금의 TGA 결과를 나타낸 도면,
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 알루미늄계 비정질 합금의 DSC 결과를 나타낸 도면,
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따라 알루미늄계 비정질 합금을 이용하여 나노 분말을 제조하는 과정을 나타낸 단계별 흐름도,
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 알루미늄계 비정질 합금의 결정화 상태를 시한 도면.1 shows a TGA result of an aluminum-based amorphous alloy according to an embodiment of the present invention,
2 is a view showing a DSC result of an aluminum-based amorphous alloy according to an embodiment of the present invention,
FIG. 3 is a flow chart showing a process of manufacturing a nano powder using an aluminum-based amorphous alloy according to another embodiment of the present invention.
4 is a diagram showing a crystallization state of an aluminum-based amorphous alloy according to another embodiment of the present invention.

본 발명의 실시예들에 대한 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.Advantages and features of embodiments of the present invention and methods of achieving them will become apparent with reference to the embodiments described in detail below with reference to the accompanying drawings. The present invention may, however, be embodied in many different forms and should not be construed as limited to the embodiments set forth herein. Rather, these embodiments are provided so that this disclosure will be thorough and complete, and will fully convey the scope of the invention to those skilled in the art. To fully disclose the scope of the invention to those skilled in the art, and the invention is only defined by the scope of the claims. Like reference numerals refer to like elements throughout the specification.

본 발명의 실시예들을 설명함에 있어서 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략할 것이다. 그리고 후술되는 용어들은 본 발명의 실시예에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례 등에 따라 달라질 수 있다. 그러므로 그 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다. In the following description of the present invention, a detailed description of known functions and configurations incorporated herein will be omitted when it may make the subject matter of the present invention rather unclear. The following terms are defined in consideration of the functions in the embodiments of the present invention, which may vary depending on the intention of the user, the intention or the custom of the operator. Therefore, the definition should be based on the contents throughout this specification.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 알루미늄계 비정질 합금의 TGA 결과를 나타낸 도면이며, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 알루미늄계 비정질 합금의 DSC 결과를 나타낸 도면이다.FIG. 1 is a view showing a TGA result of an aluminum-based amorphous alloy according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a diagram showing DSC results of an aluminum-based amorphous alloy according to an embodiment of the present invention.

도 1 및 2를 참조하여 설명하면, 본 발명의 실시예에 따른 나노 분말 제조용 비정질 합금은 상온부터 2/3 Tm(Tm : 용융온도) 사이에서 전체 중량 대비 최대 1%의 중량 감소가 발생될 수 있다.Referring to FIGS. 1 and 2, the amorphous alloy for nano powder according to the embodiment of the present invention may have a weight reduction of at most 1% with respect to the total weight between room temperature and 2/3 Tm (Tm: melting temperature) have.

그리고, 나노 분말 제조용 비정질 합금은 2/3 Tm 이후에 산화물 생성으로 인해 중량이 증가할 수 있고, 과냉각액체영역(SCLR : Supercooled liquid region)에서 흡열반응이 발생하고, 결정화온도(Tx) 이후에 발열반응이 발생할 수 있다. 이러한 흡열반응과 발열반응은 비정질 합금의 열처리 시 발생하는 승화(sublimation) 및 증발(evaporation)에 따라 발생되며, 승화 및 증발에 따라 비정질 합금의 중량감소가 발생될 수 있다.The amorphous alloy for nano powder production may increase in weight due to the formation of oxides after 2/3 Tm, endothermic reaction occurs in supercooled liquid region (SCLR), crystallization temperature (Tx) Reactions can occur. The endothermic reaction and the exothermic reaction are caused by the sublimation and evaporation that occur during the heat treatment of the amorphous alloy, and the weight of the amorphous alloy may be reduced due to sublimation and evaporation.

더 상세히 설명하면, 과냉각액체영역(SCLR) 이전에서는 비정질 고체 상태이기 때문에 승화에 따라 중량감소가 발생하고, 과냉각액체영역(SCLR)에서는 비정질 합금이 액체 거동을 보이기 때문에 증발에 따라 중량감소가 발생할 수 있다.In more detail, since the amorphous alloy is in an amorphous solid state prior to the supercooling liquid region (SCLR), weight reduction occurs due to sublimation. In the supercooling liquid region (SCLR), the amorphous alloy exhibits liquid behavior, have.

또한, 본 발명의 실시예에 따른 나노 분말 제조용 비정질 합금은, 알루미늄계 비정질 합금으로서 Al-Ni-Y를 기반으로 하는데, 80-99at%의 Al과 0.5-10at%의 Ni과 0.5-10at%의 Y를 포함할 수 있고, Co 및 La 중 적어도 하나를 0.1-5at%만큼 더 포함할 수 있다.The amorphous alloy for preparing nano powder according to the embodiment of the present invention is based on Al-Ni-Y as an aluminum-based amorphous alloy, and is composed of 80-99at% Al, 0.5-10at% Ni and 0.5-10at% Y, and may further include at least one of Co and La by 0.1 to 5 at%.

예를 들면, 본 발명의 실시예에 따른 나노 분말 제조용 비정질 합금은, Al84.5Y10Ni5.5, Al85Y8Ni5Co2 및 Al86Ni6Y4.5Co2La1.5 중 선택된 어느 하나의 알루미늄계 비정질 합금일 수 있다.For example, the amorphous alloy for preparing a nano powder according to an embodiment of the present invention may include any one selected from Al 84.5 Y 10 Ni 5.5 , Al 85 Y 8 Ni 5 Co 2, and Al 86 Ni 6 Y 4.5 Co 2 La 1.5 Based amorphous alloy.

상술한 바와 같은 알루미늄계 비정질 합금은 Ca, Mg, Al, Cu, Ti, Fe 및 Ni 중 선택된 어느 하나를 기반으로 하는 비정질 합금 중에서 소성 온도에 적합한 유리전이온도(Tg)를 가지며, 전기 저항의 열화를 방지하기 위해 적합한 전기 전도성을 갖기 때문에 선택되었다.The aluminum-based amorphous alloy as described above has a glass transition temperature (Tg) suitable for the firing temperature in an amorphous alloy based on any one selected from Ca, Mg, Al, Cu, Ti, Fe and Ni, Lt; RTI ID = 0.0 > conductivity < / RTI >

상술한 바와 같은 알루미늄계 비정질 합금 중에서 선택된 Al-Ni-Y 기반 비정질 합금은 온도를 올리면서 열처리할 경우 대략 260℃-290℃의 과냉각액체영역(SCLR) 이전 및 이후에서 모두 전체중량대비 0.01-0.5%의 중량 감소가 나타나는 것을 알 수 있다. 이러한 중량 감소는 최대 1%까지 발생할 수 있다.The Al-Ni-Y-based amorphous alloy selected from the above-described aluminum-based amorphous alloys may be subjected to a heat treatment while being heated to a temperature of from about 0.01 to about 0.5 in terms of the total weight before and after the subcooling liquid region (SCLR) % Weight reduction is observed. This weight reduction can occur up to 1%.

한편, 도 1에 도시된 TGA(Thermogravimetric analyzer, 열 중량 분석기)를 이용한 분석 결과 그래프를 참조하면, ANY(예를 들면, Al84.5Y10Ni5.5)의 경우 대략 100℃까지는 전체중량대비 0.01%-0.07%만큼 완만한 경사도로 중량 감소가 나타난 후, 대략 400℃까지는 전체중량대비 0.5%만큼 급격한 경사도로 중량 감소가 나타날 수 있다.Referring to the graph of the analysis result using a thermogravimetric analyzer (TGA) shown in FIG. 1, it can be seen that, in the case of ANY (for example, Al 84.5 Y 10 Ni 5.5 ), 0.01% After a weight reduction with a gentle slope of 0.07%, weight reduction may occur with a steep slope of up to about 0.5% of the total weight up to approximately 400 ° C.

그리고, ANYC(예를 들면, Al85Y8Ni5Co2)의 경우 대략 400℃까지 전체중량대비 0.01%-0.15%만큼 완만한 경사도로 중량 감소가 나타날 수 있다.And, in the case of ANYC (for example, Al 85 Y 8 Ni 5 Co 2 ), a weight reduction can be shown at a gentle slope of about 0.01% -0.15% relative to the total weight up to about 400 ° C.

또한, ANYCL(예를 들면, Al86Ni6Y4.5Co2La1.5)의 경우 대략 200℃까지는 전체중량대비 0.01%-0.05%만큼 완만한 경사도로 중량 감소가 나타난 후, 대략 400℃까지는 전체중량대비 0.2%만큼 상대적으로 급격한 경사도로 중량 감소가 나타날 수 있다.Further, in the case of ANYCL (for example, Al 86 Ni 6 Y 4.5 Co 2 La 1.5 ), weight reduction was observed at a gentle slope of about 0.01% -0.05% relative to the total weight up to about 200 ° C., Weight reduction may occur with a relatively steep slope as much as 0.2%.

이러한 중량 감소는 도 1에 도시한 바와 같이 상온에서부터 Al-Ni-Y 기반 비정질 합금의 용융온도(Tm : 대략 660℃)의 2/3인 대략 400℃까지 나타남을 알 수 있다.As shown in Fig. 1, this weight reduction can be seen from about room temperature to about 400 占 폚 which is two thirds of the melting temperature (Tm: about 660 占 폚) of the Al-Ni-Y based amorphous alloy.

한편, 상술한 바와 같은 중량 감소는 도 1에 도시한 바와 같이 Al-Ni-Y 기반 비정질 합금의 용융온도(Tm : 대략 660℃)의 2/3인 대략 400℃에서 사라지고, 용융온도 이상에서 Al-Ni-Y 기반 비정질 합금의 중량이 증가하게 되는데, 이는 비정질 합금의 결정화 이후 산화 작용으로 인해 산화물이 생성되어 중량이 증가하기 때문이다.On the other hand, the weight reduction described above disappears at approximately 400 DEG C, which is 2/3 of the melting temperature (Tm: approximately 660 DEG C) of the Al-Ni-Y based amorphous alloy as shown in FIG. 1, The weight of the Ni-Y-based amorphous alloy is increased because the oxides are formed due to the oxidizing action after the crystallization of the amorphous alloy and the weight is increased.

또한, 도 2에 도시된 DSC(Differential Scanning Calorimetry, 시차주사열량측정법) 결과 그래프에서는, 가로축은 열처리 시 온도값인 Temperature(℃)이고, 세로축은 내부 열유동 하강값인 Heat Flow Endo Down(m/W)이며, 상측 방향으로 향하는 피크가 발열반응을 나타내고, 하측 방향으로 향하는 피크가 흡열반응을 나타낸다.2, the axis of abscissas is temperature (° C), which is the heat treatment temperature, and the axis of ordinate is Heat Flow Endo Down (m / s), which is the internal heat flow lowering value, in the DSC (Differential Scanning Calorimetry) W), the peak in the upward direction shows an exothermic reaction, and the peak in the downward direction shows an endothermic reaction.

이러한 도 2를 참조하면, Al-Ni-Y 기반 비정질 합금은 대략 270℃에서 약간 하측 방향으로 향하는 피크(흡열반응)가 관찰되는 것을 알 수 있고, 바로 이어서 급격하게 상측 방향으로 향하는 피크(발열반응)가 관찰되며, 이후 상대적으로 완만하게 하측 방향 및 상측 방향으로 향하는 피크가 교대로 나타나는 것을 알 수 있다.2, the Al-Ni-Y based amorphous alloy has a peak (endothermic reaction) slightly oriented in the downward direction at approximately 270 ° C., and immediately followed by a peak toward the upward direction ) Are observed, and it can be seen that the peaks oriented in the lower direction and the upward direction alternately appear relatively gently.

따라서, 본 발명은 열처리 시에 낮은 온도에서 증발에 따른 중량 감소가 발생되되, 상온부터 2/3 Tm 사이에서 전체 중량 대비 최대 1%의 중량 감소가 발생되되, 알루미늄계 비정질 합금으로 Al-Ni-Y를 기반으로 하며, 80-99at%의 Al과 0.5-10at%의 Ni과 0.5-10at%의 Y를 포함하는 비정질 합금을 제공할 수 있다.Accordingly, in the present invention, weight reduction due to evaporation occurs at a low temperature during the heat treatment, and a weight reduction of 1% at maximum is caused between the room temperature and 2/3 Tm. The aluminum- Y, and can provide an amorphous alloy containing 80-99 at% of Al, 0.5-10 at% of Ni, and 0.5-10 at% of Y. [

또한, 본 발명은 Al-Ni-Y를 기반으로 하며, Co 및 La 중 적어도 하나를 0.1-5at%만큼 선택적으로 포함하는 비정질 합금을 제공할 수 있다.The present invention also provides an amorphous alloy based on Al-Ni-Y and optionally containing at least one of Co and La by 0.1-5at%.

다음에, 상술한 바와 같은 알루미늄계 비정질 합금을 이용하여 나노 분말을 제조하는 본 발명의 다른 실시예에 대해 상세히 설명한다.Next, another embodiment of the present invention for producing a nano powder using the above-described aluminum-based amorphous alloy will be described in detail.

도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따라 알루미늄계 비정질 합금을 이용하여 나노 분말을 제조하는 과정을 나타낸 단계별 흐름도이고, 도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 알루미늄계 비정질 합금의 결정화 상태를 예시한 도면이다.FIG. 3 is a flow chart showing a process of manufacturing a nano powder using an aluminum-based amorphous alloy according to another embodiment of the present invention. FIG. 4 is a view illustrating a crystallization state of an aluminum- Fig.

도 3 및 도 4를 참조하면, 알루미늄계 비정질 합금을 준비한다(단계302). 이러한 알루미늄계 비정질 합금은 용융온도 이상으로 가열한 후 금속 냉각시켜 분말, 리본, 호일(foil), 봉상 등과 같은 다양한 형태로 제조 및 준비될 수 있으며, 그 제조 기법은 종래에 다양하게 개시되어 있으므로 그 구체적인 설명은 생략한다.Referring to FIGS. 3 and 4, an aluminum-based amorphous alloy is prepared (step 302). Such an aluminum-based amorphous alloy can be prepared and prepared in various forms such as powders, ribbons, foils, rods, etc. after heating to a temperature above the melting temperature and metal cooling. A detailed description thereof will be omitted.

여기에서, 알루미늄계 비정질 합금은 Al-Ni-Y를 기반으로 하는데, 80-99at%의 Al과 0.5-10at%의 Ni과 0.5-10at%의 Y를 포함할 수 있고, Co 및 La 중 적어도 하나를 0.1-5at%만큼 선택적으로 더 포함할 수 있다.Here, the aluminum-based amorphous alloy is based on Al-Ni-Y, which may include 80-99at% Al, 0.5-10at% Ni and 0.5-10at% Y, and at least one of Co and La 0.1 to < RTI ID = 0.0 > 5at%. ≪ / RTI >

예를 들면, 알루미늄계 비정질 합금은, Al84.5Y10Ni5.5, Al85Y8Ni5Co2 및 Al86Ni6Y4.5Co2La1.5 중 선택된 어느 하나의 알루미늄계 비정질 합금일 수 있다.For example, the aluminum-based amorphous alloy may be any one selected from Al 84.5 Y 10 Ni 5.5 , Al 85 Y 8 Ni 5 Co 2, and Al 86 Ni 6 Y 4.5 Co 2 La 1.5 .

다음에, 준비된 알루미늄계 비정질 합금을 가열하여 상온에서부터 알루미늄계 비정질 합금의 용융온도(Tm : 대략 660℃)의 2/3(대략 400℃)까지의 낮은 온도 범위에서 기화된 물질을 기판에 증착하여 나노 분말을 제조한다(단계304).Next, the prepared aluminum-based amorphous alloy is heated to deposit vaporized material on the substrate at a temperature ranging from room temperature to 2/3 (approximately 400 ° C) of the melting temperature (Tm: approximately 660 ° C) of the aluminum-based amorphous alloy A nano powder is prepared (step 304).

여기에서, 알루미늄계 비정질 합금은 온도를 올리면서 열처리할 경우 상온에서부터 대략 260℃-290℃의 과냉각액체영역(SCLR) 이전 및 이후에서 중량 감소가 발생되다가, 대략 400℃(용융온도의 대략 2/3)까지 전체중량대비 0.01-1.0%의 중량 감소가 나타나며, 최대 2%까지 발생할 수 있다.Here, when the aluminum-based amorphous alloy is heat-treated at an elevated temperature, a weight loss occurs before and after a supercooled liquid region (SCLR) of about 260 ° C to about 290 ° C from a normal temperature, and about 400 ° C 3), a weight loss of 0.01-1.0% relative to the total weight appears, which can occur up to 2%.

그 중량 감소는 알루미늄계 비정질 합금의 용융온도(Tm : 대략 660℃)의 2/3인 대략 400℃에서 사라지고, 400℃보다 온도가 상승할 경우 용융온도 이상에서 알루미늄계 비정질 합금의 중량이 증가하게 되는데, 이는 비정질 합금의 결정화 이후 산화 작용으로 인해 산화물이 생성되어 중량이 증가하기 때문이다.The weight loss disappears at about 400 占 폚, which is two thirds of the melting temperature (Tm: about 660 占 폚) of the aluminum-based amorphous alloy, and when the temperature rises above 400 占 폚, the weight of the aluminum- This is because oxides are formed due to the oxidizing action after the crystallization of the amorphous alloy and the weight is increased.

한편, 상기한 알루미늄계 비정질 합금의 용융온도는 시차열분석법(DTA : differential thermal analysis) 또는 시차주사열량측정법(DSC) 장비를 이용하여 측정 가능하며, 이러한 분석 장비를 이용하여 Ar 및 N2 비활성 기체 분위기에서 5-15 K/min으로 비정질 합금을 승온시킴으로써, 기준 샘플에 대응하는 온도 차이 또는 흡열량 차이를 나타내는 온도를 측정할 수 있다.On the other hand, the melting temperature of the aluminum-based amorphous alloy is a differential thermal analysis (DTA: differential thermal analysis), or differential scanning calorimetry (DSC) can be measured using an instrument, such analysis equipment Ar and N 2 inert gas by using a By raising the temperature of the amorphous alloy to 5-15 K / min in the atmosphere, it is possible to measure the temperature difference corresponding to the reference sample or the temperature indicating the difference in the heat absorption amount.

상술한 바와 같은 알루미늄계 비정질 합금은 DSC 및 DTA를 이용하여 측정한 용융온도(액체화 온도)의 2/3까지 5-15 K/min의 가열속도로 승온시키거나 혹은 알루미늄계 비정질 합금을 가열하여 상온에서 용융온도의 2/3까지의 온도 범위에서 기 설정된 온도(예를 들면, 300℃ 등)로 유지시킬 경우 면적당 중량감소가 대략 0.001-0.005 kg/㎡ 이하로 나타날 수 있다.The aluminum-based amorphous alloy as described above is heated at a heating rate of 5-15 K / min up to 2/3 of the melting temperature (liquidifying temperature) measured by DSC and DTA, or the aluminum-based amorphous alloy is heated at room temperature The weight loss per area may be less than about 0.001-0.005 kg / m < 2 > when maintained at a predetermined temperature (e.g., 300 DEG C, etc.) in a temperature range of up to 2/3 of the melting temperature.

여기에서, 알루미늄계 비정질 합금은 승온시키는 방식과 기 설정된 온도를 유지하는 방식으로 증발될 경우 대략 10-20분 동안 증발되도록 할 수 있다.Here, the aluminum-based amorphous alloy can be evaporated for about 10-20 minutes when it is evaporated in such a manner as to raise the temperature and maintain the predetermined temperature.

아울러, 200-300 ℃의 온도 범위에서 알루미늄계 비정질 합금의 등온 열처리 시 중량 감소량은 결정질 Al을 550-660 ℃의 온도 범위에서 등온 열처리 시 중량 감소량과 유사함을 알 수 있다.In addition, the decrease in the weight during the isothermal annealing of the aluminum-based amorphous alloy in the temperature range of 200-300 ° C is similar to that in the isothermal annealing in the temperature range of 550-660 ° C of the crystalline Al.

상술한 바와 같은 과정을 통해 제조되는 나노 분말은 가열 온도, 가열 시간 등을 조절하여 제조되는 량 및 크기를 조절할 수 있고, 공기 중 또는 비활성 기체 분위기에서 열처리할 수 있는데, 5-15 K/min의 가열속도로 온도를 승온하면서, 상온에서 용융온도의 2/3까지의 온도 범위, 10-20분의 시간 범위 등과 같은 열처리 조건을 조절하면서, 공기 중, Ar 가스 분위기, N2 가스 분위기 등과 같은 분위기 조건을 조절하여 나노 분말을 제조할 수 있다.The nanopowder produced through the above-described process can control the amount and size of the nanopowder prepared by controlling the heating temperature and the heating time, and can be heat-treated in air or in an inert gas atmosphere. An atmosphere such as an Ar gas atmosphere or an N 2 gas atmosphere or the like in the air while controlling the heat treatment conditions such as a temperature range from room temperature to 2/3 of the melting temperature and a time range of 10 to 20 minutes while raising the temperature at a heating rate Nano powder can be prepared by adjusting the conditions.

또한, 제조된 나노 분말은 Ar 분위기에서 열처리할 경우 비정질 합금을 구성하는 원소 중 적어도 하나 이상의 원소(예를 들면, Al, Ni, Y 등)로 구성되거나, 공기 중에서 또는 N2 분위기에서 열처리할 경우 비정질 합금을 구성하는 원소 중 적어도 하나 이상의 원소의 산화물(예를 들면, Al2O3, NiO, Y2O3 등)로 구성되거나, 공기 중에서 또는 N2 분위기에서 열처리할 경우비정질 합금을 구성하는 원소 중 적어도 하나 이상의 원소의 질화물(예를 들면, AlN, Ni4N, Ni3N, NiN6, YN 등)로 구성될 수 있다.The produced nanopowder may be composed of at least one element (for example, Al, Ni, Y or the like) among the elements constituting the amorphous alloy when heat-treated in an Ar atmosphere, or may be formed by heat treatment in air or in an N 2 atmosphere (For example, Al 2 O 3 , NiO, Y 2 O 3, etc.) among the elements constituting the amorphous alloy, or when the heat treatment is performed in air or in an N 2 atmosphere, the amorphous alloy (E.g., AlN, Ni 4 N, Ni 3 N, NiN 6 , YN, etc.) of at least one element among the elements.

예를 들어 도 4에 도시된 결정화 상태 이미지를 참조하면, Al-Ni-Y 기반 비정질 합금을 이용하여 제조된 분말을 알콜 용액과 혼합한 후에, 이 혼합액을 Cu 기판 위에 여러 방울 떨어트리고, 가열하여 알콜 용액을 증발시킨 후, 300℃로 설정된 핫플레이트에 Cu 기판을 안착시켜 가열하는 공정을 수행하였고, 이를 통해 비정질 분말 주변 Cu 기판 위에 나노 파티클이 생성되는 것을 확인할 수 있다.For example, referring to the crystallization state image shown in FIG. 4, after a powder prepared using an Al-Ni-Y based amorphous alloy is mixed with an alcohol solution, several drops of the mixed solution are dropped on a Cu substrate, After evaporating the alcohol solution, a process of placing a Cu substrate on a hot plate set at 300 ° C and heating the substrate was performed. As a result, nanoparticles were formed on the Cu substrate around the amorphous powder.

이러한 나노 파티클은 Al-Ni-Y 기반 비정질 합금을 이용하여 제조된 나노 분말이 열처리 시의 승화 및 증발을 통해 증착되어 생성된 것으로, 이러한 승화 및 증발로 인해 TGA 그래프에서의 중량 감소가 나타날 수 있다.These nanoparticles are formed by depositing nanoparticles made of Al-Ni-Y based amorphous alloy through sublimation and evaporation during heat treatment, and the weight reduction in the TGA graph may be caused by such sublimation and evaporation .

여기에서, Cu 기판에 Al-Ni-Y 기반 비정질 합금 분말을 배치하는 것은, 분사(spray), 프린팅(printing), 스핀 코팅(spin coating) 등을 이용할 수 있다.Here, the Al-Ni-Y based amorphous alloy powder may be disposed on the Cu substrate by spraying, printing, spin coating, or the like.

따라서, 본 발명은 열처리 시에 낮은 온도에서 증발에 따른 중량 감소가 발생되되, 상온부터 2/3 Tm 사이에서 전체 중량 대비 최대 1%의 중량 감소가 발생되는 비정질 합금을 제공함으로써, 강도, 내마모성, 자기적 특성 및 부식에 대한 저항성이 뛰어난 나노 분말을 상대적으로 낮은 온도에서 제조할 수 있다.Accordingly, the present invention provides an amorphous alloy in which a weight loss due to evaporation occurs at a low temperature during a heat treatment, and a weight reduction of at most 1% relative to the total weight is generated between room temperature and 2/3 Tm, Nanoparticles having excellent magnetic properties and corrosion resistance can be produced at relatively low temperatures.

또한, 본 발명은 알루미늄계 비정질 합금으로 Al-Ni-Y를 기반으로 하며, 80-99at%의 Al과 0.5-10at%의 Ni과 0.5-10at%의 Y를 포함하는 비정질 합금을 제공함으로써, 강도, 내마모성, 자기적 특성 및 부식에 대한 저항성이 더욱 뛰어난 나노 분말을 상대적으로 낮은 온도에서 제조할 수 있다.The present invention also provides an amorphous alloy based on Al-Ni-Y as an aluminum-based amorphous alloy, which provides an amorphous alloy containing 80-99 at% Al, 0.5-10 at% Ni, and 0.5-10 at% Nano powders with better abrasion resistance, magnetic properties and corrosion resistance can be produced at relatively low temperatures.

또한, 본 발명은 Al-Ni-Y를 기반으로 하며, Co 및 La 중 적어도 하나를 0.1-5at%만큼 선택적으로 포함하는 비정질 합금을 제공함으로써, 강도, 내마모성, 자기적 특성 및 부식에 대한 저항성이 더욱 뛰어난 나노 분말을 상대적으로 낮은 온도에서 제조할 수 있다.The present invention also provides an amorphous alloy based on Al-Ni-Y and optionally containing at least one of Co and La in an amount of 0.1-5at%, thereby providing strength, abrasion resistance, magnetic properties and resistance to corrosion More superior nanopowders can be produced at relatively low temperatures.

한편, 상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에서는 나노 분말을 제조하는 과정에 대해 설명하였지만, 알루미늄계 비정질 합금을 이용하여 상온부터 용융온도의 2/3인 온도까지의 낮은 온도 범위에서 나노 박막을 제조하거나, 혹은 상온부터 용융온도의 2/3인 온도까지의 낮은 온도 범위에서 일반 금속, 세라믹, 폴리머 분말 간의 소결을 촉진시키거나, 혹은 상온부터 용융온도의 2/3인 온도까지의 낮은 온도 범위에서 이종 물질 간을 접착하는 접착제로 이용할 수 있음은 물론이다.In the meantime, in the embodiments of the present invention as described above, the process of manufacturing nano powder is described. However, by using an aluminum-based amorphous alloy, the nanostructured film can be formed in a low temperature range from room temperature to 2/3 of the melting temperature Ceramics or polymer powders in a low temperature range from room temperature to 2/3 of the melting temperature, or in a low temperature range from room temperature to 2/3 of the melting temperature It is of course possible to use the adhesive as an adhesive for bonding the dissimilar materials.

아울러, 알루미늄계 비정질 합금은 Al과, 전이 금속인 Ni와, 희토류 금속인 Y를 포함하는 것으로 하여 설명하였는데, 전이 금속의 경우 Co, Cu, Fe 등을 사용할 수 있고, 다른 희토류 금속(예를 들면, Y, La, Ce, Pr, Nd, Sm, Gd, Tb, Dy, Ho, Er, Yb 등)도 사용할 수 있다.In addition, the aluminum-based amorphous alloy includes Al, transition metal Ni, and rare-earth metal Y. In the transition metal, Co, Cu, Fe, or the like may be used, Y, La, Ce, Pr, Nd, Sm, Gd, Tb, Dy, Ho, Er, Yb, etc.).

이상의 설명에서는 본 발명의 다양한 실시예들을 제시하여 설명하였으나 본 발명이 반드시 이에 한정되는 것은 아니며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능함을 쉽게 알 수 있을 것이다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiments, but, on the contrary, It will be readily apparent that such substitutions, modifications, and alterations are possible.

Claims (10)

80-99at%의 Al과 0.5-10at%의 Ni과 0.5-10at%의 Y를 포함하는 알루미늄계 비정질 합금을 준비하는 단계와,
상기 준비된 알루미늄계 비정질 합금을 가열하여 상온에서부터 상기 알루미늄계 비정질 합금의 용융온도의 2/3까지의 낮은 온도 범위에서 기화된 물질을 기판에 증착하는 단계
를 포함하는 알루미늄계 비정질 합금을 이용한 나노 분말의 제조 방법.
Preparing an aluminum-based amorphous alloy containing 80-99 at% of Al, 0.5-10 at% of Ni, and 0.5-10 at% of Y,
Heating the prepared aluminum-based amorphous alloy to deposit vaporized material on the substrate at a temperature ranging from room temperature to 2/3 of the melting temperature of the aluminum-based amorphous alloy
Wherein the amorphous alloy is an aluminum alloy.
제 1 항에 있어서,
상기 알루미늄계 비정질 합금은, 분말, 리본, 호일(foil) 및 봉상 중에서 선택된 형태로 제조되는 알루미늄계 비정질 합금을 이용한 나노 분말의 제조 방법.
The method according to claim 1,
Wherein the aluminum-based amorphous alloy is an aluminum-based amorphous alloy produced in a form selected from powder, ribbon, foil, and rods.
제 2 항에 있어서,
상기 알루미늄계 비정질 합금은, Co 및 La 중 적어도 하나를 0.1-5at%만큼 선택적으로 더 포함하는 알루미늄계 비정질 합금을 이용한 나노 분말의 제조 방법.
3. The method of claim 2,
Wherein the aluminum-based amorphous alloy further comprises at least one of Co and La in an amount of 0.1-5 at%.
제 2 항에 있어서,
상기 알루미늄계 비정질 합금은, Al84.5Y10Ni5.5, Al85Y8Ni5Co2 및 Al86Ni6Y4.5Co2La1.5 중 선택된 어느 하나인 알루미늄계 비정질 합금을 이용한 나노 분말의 제조 방법.
3. The method of claim 2,
Wherein the aluminum-based amorphous alloy is any one selected from Al 84.5 Y 10 Ni 5.5 , Al 85 Y 8 Ni 5 Co 2, and Al 86 Ni 6 Y 4.5 Co 2 La 1.5 .
제 1 항에 있어서,
상기 알루미늄계 비정질 합금은, 5-15 K/min으로 승온하여 증발시키거나 또는 상기 낮은 온도 범위의 기 설정된 온도로 유지하여 증발시키는 알루미늄계 비정질 합금을 이용한 나노 분말의 제조 방법.
The method according to claim 1,
Wherein the aluminum-based amorphous alloy is heated at a rate of 5-15 K / min to be evaporated or maintained at a predetermined temperature in the low temperature range to be evaporated.
제 5 항에 있어서,
상기 나노 분말은, Ar 분위기에서 열처리할 경우 상기 알루미늄계 비정질 합금을 구성하는 원소 중 적어도 하나 이상의 원소로 구성되는 알루미늄계 비정질 합금을 이용한 나노 분말의 제조 방법.
6. The method of claim 5,
Wherein the nano powder is composed of at least one element selected from among elements constituting the aluminum-based amorphous alloy when heat-treated in an Ar atmosphere.
제 5 항에 있어서,
상기 나노 분말은, 공기 중에서 또는 N2 분위기에서 열처리할 경우상기 알루미늄계 비정질 합금을 구성하는 원소 중 적어도 하나 이상의 원소의 산화물로 구성되는 알루미늄계 비정질 합금을 이용한 나노 분말의 제조 방법.
6. The method of claim 5,
Wherein the nano powder is composed of an oxide of at least one element among the elements constituting the aluminum-based amorphous alloy when heat-treated in air or in an N 2 atmosphere.
제 5 항에 있어서,
상기 나노 분말은, 공기 중에서 또는 N2 분위기에서 열처리할 경우 상기 알루미늄계 비정질 합금을 구성하는 원소 중 적어도 하나 이상의 원소의 질화물로 구성되는 알루미늄계 비정질 합금을 이용한 나노 분말의 제조 방법.
6. The method of claim 5,
Wherein the nano powder is composed of a nitride of at least one element among elements constituting the aluminum-based amorphous alloy when heat-treated in air or in an N 2 atmosphere.
제 1 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 알루미늄계 비정질 합금은, 흡열반응과 발열 반응을 통해 전체중량대비 0.01-2%의 감소가 발생되는 알루미늄계 비정질 합금을 이용한 나노 분말의 제조 방법.
9. The method according to any one of claims 1 to 8,
Wherein the aluminum-based amorphous alloy is subjected to endothermic reaction and exothermic reaction to cause a reduction of 0.01-2% of the total weight of the aluminum-based amorphous alloy.
제 1 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 알루미늄계 비정질 합금은, 상기 용융온도 이상에서 중량이 증가하는 알루미늄계 비정질 합금을 이용한 나노 분말의 제조 방법.9. The method according to any one of claims 1 to 8,
Wherein the aluminum-based amorphous alloy is an aluminum-based amorphous alloy whose weight increases at or above the melting temperature.
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KR100767719B1 (en) 2006-08-29 2007-10-17 한국과학기술연구원 Ti-based amorphous nano-powders and method of preparation thereof

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