KR101688927B1 - Leak sensor for heat exchanger - Google Patents

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KR101688927B1
KR101688927B1 KR1020160061582A KR20160061582A KR101688927B1 KR 101688927 B1 KR101688927 B1 KR 101688927B1 KR 1020160061582 A KR1020160061582 A KR 1020160061582A KR 20160061582 A KR20160061582 A KR 20160061582A KR 101688927 B1 KR101688927 B1 KR 101688927B1
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chemical
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KR1020160061582A
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이재희
신동민
김철영
양원학
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플로우닉스 주식회사
에이프로테크주식회사
씨앤지하이테크 주식회사
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Abstract

The present invention relates to a leakage detection sensor for a heat exchanger to detect a chemical leakage from a chemical transfer pipe inside a heat exchanger through which the chemical transfer pipe is penetrated and disposed, comprising: a first sensing module having an electrode to be grounded with cooling water inside the heat exchanger; a first sensing module having a polarity different from the electrode of the first sensing module, and having an electrode grounded with a chemical substance inside the chemical transfer pipe; and a detection module in which wiring of the first sensing module and wiring of the second sensing module is connected, determining leakage of the chemical transfer pipe in accordance with a state of energizing the electrode of the first sensing module and the electrode of the second sensing module such that the present invention is able to reliably detect a leakage fluid leaking from the pipe and mixed with the cooling water in the heat exchanger.

Description

열교환기용 누설 감지 센서{Leak sensor for heat exchanger}Leak sensor for heat exchanger

본 발명은 화학 물질이 이송되는 배관을 냉각시키는 열교환기에서 배관으로부터 화학 물질이 누설되는 것을 감지하는 열교환기용 누설 감지 센서에 관한 것이다.
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a leak detection sensor for a heat exchanger that detects leakage of a chemical substance from a pipe in a heat exchanger that cools a pipe through which a chemical is transferred.

일반적으로 반도체 제조 공정에는 많은 화학 물질들이 이용된다. 예를 들면, 웨이퍼의 절단 및 연마 후 세정 공정에 사용되는 세정액, 웨이퍼의 감광 공정에 사용되는 감광액, 웨이퍼의 현상 공정에 사용되는 현상액, 웨이퍼 식각 공정에 사용되는 식각액 등이 반도체 제조 공정에 이용된다.In general, many chemicals are used in the semiconductor manufacturing process. For example, a cleaning liquid used in a cleaning process after cutting and polishing the wafer, a photosensitive liquid used in the photosensitive process of the wafer, a developing solution used in the developing process of the wafer, an etching solution used in the wafer etching process, .

이러한 화학 물질들은 이송관(배관)을 통해 각 공정이 수행되는 위치까지 내외부에서 이송되는데, 이송관의 불량 및 열화에 의해 화학 물질이 이송관 외부로 누설되는 일이 발생할 수 있다. 누설된 화학 물질은 사람은 물론 반도체 제조 현장의 다른 장치나 부품들에 악영향을 끼치므로, 이송관의 누설을 감지하여 빠르게 조치를 취할 필요가 있다.These chemicals are transported from inside and outside to the position where each process is performed through the transfer pipe (piping), and chemical substances may leak out of the transfer pipe due to defective or deteriorated transfer pipe. Leaked chemicals have an adverse effect on people and other devices or parts of the semiconductor manufacturing site. Therefore, it is necessary to detect leakage of the transfer pipe and take quick action.

한편, 반도체 제조 공정에 사용되는 화학 물질 이송 배관은 내부의 화학 물질의 특성에 따라 과열될 수 있는데, 이러한 이유로 과열된 배관은 열교환기를 통해 냉각되어야 한다. 상기한 배관 냉각용 열교환기는 일측에 화학 물질 이송 배관이 인입되는 입구와 타측에 화학 물질 이송 배관이 인출되는 출구를 구비한 원통형 부재이고, 냉각수가 유입되는 유입구와 냉각수가 유출되는 유출구를 구비한다. 이와 같은 배관 냉각용 열교환기는 열교환기의 내부로 유입되는 냉각수를 이용하여 열교환기 내부에 배치된 화학 물질 이송 배관을 냉각한다.On the other hand, the chemical transfer piping used in the semiconductor manufacturing process can be overheated depending on the characteristics of the internal chemicals, and for this reason, the overheated piping must be cooled through the heat exchanger. The piping cooling heat exchanger is a cylindrical member having an inlet through which a chemical transfer pipe is introduced to one side and an outlet through which a chemical transfer pipe is drawn to the other side, and has an inlet through which cooling water flows and an outlet through which cooling water flows out. The piping cooling heat exchanger uses the cooling water flowing into the heat exchanger to cool the chemical transfer piping disposed inside the heat exchanger.

여기서, 배관 냉각용 열교환기의 내부에 배치되는 화학 물질 이송 배관은 냉각수와의 접촉 면적을 증가시켜 냉각 효율을 증가시키기 위해 작은 직경의 많은 다발 배관으로 분기된 구성을 갖는다. 이러한 다발형의 배관은 냉각 효율면에서 유리하지만, 내구성이 저하되어 장기간 사용시에 냉각수의 압력, 진동, 그리고 이로 인한 배관들 사이의 마찰에 의해 손상되어 찢어질 수 있다. 그러면, 열교환기 내부의 냉각수가 화학 물질 이송 배관으로 흘러들어가 반도체 제조 공정에서 제품의 불량을 초래할 수 있다. 따라서, 열교환기 내부에서 배관으로부터 화학 물질이 누설되는 것을 감지할 필요가 있다.Here, the chemical delivery pipe disposed inside the heat exchanger for cooling the pipe has a structure branched to a large number of bundle pipes having a small diameter in order to increase the contact area with the cooling water to increase the cooling efficiency. Such a bundle type pipe is advantageous in terms of cooling efficiency, but its durability is deteriorated and can be damaged and torn by the pressure, vibration, and friction between the pipes due to the cooling water during long-term use. Then, the cooling water in the heat exchanger flows into the chemical transfer pipe, which may lead to defective products in the semiconductor manufacturing process. Therefore, it is necessary to detect the leakage of the chemical substance from the pipe in the heat exchanger.

그런데, 화학 물질 이송 배관으로부터 열교환기 내부로 누설되는 화학 물질은 냉각수와 섞이기 때문에, 통상적인 누설 감지 센서를 이용하여 상기한 화학 물질의 누설을 감지하기는 쉽지 않았다.
선행기술문헌 1. 공개특허공보 제10-2013-0023676호(2013. 3. 8. 공개)
선행기술문헌 2. 공개특허공보 제10-2007-0039797호(2007. 4. 13. 공개)However, since chemical substances leaked from the chemical transfer pipe into the heat exchanger are mixed with the cooling water, it is not easy to detect the leakage of the chemical substance by using a conventional leak detection sensor.
Prior Art Document 1. Japanese Patent Application Laid-Open No. 10-2013-0023676 (Published March 3, 2013)
Prior Art Document 2. Open Patent Publication No. 10-2007-0039797 (Published on April 13, 2007)

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본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위해 발명된 것으로서, 배관으로부터 누설되어 열교환기 내부의 냉각수와 섞이는 누설 유체를 확실하게 감지할 수 있는 열교환기용 누설 감지 센서를 제공하는 것을 목적으로 한다.
It is an object of the present invention to provide a leakage sensor for a heat exchanger that can reliably detect a leakage fluid leaking from piping and mixed with cooling water in a heat exchanger.

상기한 목적을 달성하기 위해, 본 발명은 화학 물질 이송 배관이 관통하여 배치되는 열교환기 내부에서 상기 배관으로부터의 화학 물질 누설을 감지하는 열교환기용 누설 감지 센서로서, 상기 열교환기의 내부의 냉각수와 접지되는 전극을 구비한 제1 감지 모듈; 상기 제1 감지 모듈의 전극과는 다른 극성을 가지며 상기 화학 물질 이송 배관의 내부의 화학 물질과 접지되는 전극을 구비한 제1 감지 모듈; 및 상기 제1 감지 모듈의 배선과 제2 감지 모듈의 배선이 연결되고, 상기 제1 감지 모듈의 전극 및 상기 제2 감지 모듈의 전극의 통전 상태에 따라 상기 화학 물질 이송 배관의 누설 여부를 판단하는 검출 모듈을 포함한다.In order to accomplish the above object, the present invention provides a leakage detection sensor for a chemical reaction in a heat exchanger, which detects leakage of a chemical substance from the chemical reaction piping in a heat exchanger disposed through the chemical transfer pipe, A first sensing module having electrodes to be connected to the first sensing module; A first sensing module having a polarity different from an electrode of the first sensing module and having an electrode that is grounded with a chemical substance inside the chemical transfer pipe; And the wiring of the first sensing module and the wiring of the second sensing module are connected to each other and whether or not the chemical conveying pipe is leaked is determined according to the energization state of the electrode of the first sensing module and the electrode of the second sensing module Detection module.

바람직하게는, 상기 열교환기는 길이방향을 따라 상기 화학 물질 이송 배관이 관통하는 원통형 부재이고, 일단부 측의 외주연 및 타단부 측의 외주연에 각각 냉각수 유입관 및 냉각수 유출관을 구비하고, 상기 제1 감지 모듈은 상기 냉각수 유입관 또는 냉각수 유출관에 설치되고, 상기 제2 감지 모듈은 상기 제1 감지 모듈이 설치된 위치와 인접한 상기 열교환기의 단부측으로부터 외부로 노출된 화학 물질 이송 배관에 설치되는 것을 특징으로 한다.Preferably, the heat exchanger is a cylindrical member through which the chemical feed pipe runs through in the longitudinal direction, and includes a cooling water inflow pipe and a cooling water inflow pipe at the outer circumference at the one end side and the outer circumference at the other end side, The first sensing module is installed in the cooling water inflow pipe or the cooling water outflow pipe and the second sensing module is installed in the chemical transfer pipe exposed to the outside from the end side of the heat exchanger adjacent to the position where the first sensing module is installed .

더 바람직하게는, 상기 제1 감지 모듈 또는 제2 감지 모듈은, 상기 냉각수 유입관, 냉각수 유출관 또는 화학 물질 이송 배관에 연결되는 관형 케이스; 상기 케이스의 내부에 설치되고, 상기 냉각수 또는 상기 화학 물질과 접지되는 전극; 상기 케이스 내부에 설치되고 상기 전극과 연결되는 PCB; 상기 PCB로부터 상기 케이스의 외부로 인출되는 배선; 및 상기 PCB 측으로 냉각수 또는 화학 물질이 유입되는 것을 방지하도록 상기 케이스에 압입되는 마개를 포함하는 것을 특징으로 한다.More preferably, the first sensing module or the second sensing module comprises: a tubular case connected to the cooling water inflow pipe, the cooling water outflow pipe or the chemical feed pipe; An electrode provided inside the case and earthed with the cooling water or the chemical substance; A PCB installed inside the case and connected to the electrode; A wiring extending from the PCB to the outside of the case; And a cap which is press-fitted into the case to prevent cooling water or chemicals from flowing into the PCB.

여기서 상기 전극은 상기 PCB로부터 상기 마개를 관통하여 냉각수 또는 화학 물질과 접지되고, 불소 수지와 도전성 물질이 혼합되어 이루어진 배관형 또는 시트형 전극인 것을 특징으로 한다.Wherein the electrode is a pipe type or sheet-type electrode which is pierced through the plug from the PCB, is grounded with cooling water or chemicals, and is mixed with a fluororesin and a conductive material.

또한, 상기 제1 감지 모듈 또는 제2 감지 모듈은 T자형 배관을 이용하여 상기 냉각수 유입관, 냉각수 유출관 또는 화학 물질 이송 배관에 연결되는 것을 특징으로 한다.
The first sensing module or the second sensing module may be connected to the cooling water inflow pipe, the cooling water outflow pipe, or the chemical feed pipe using a T-shaped pipe.

본 발명에 따르면, 서로 구획되어 있는 냉각수 유로와 화학 물질 유로에 각각 서로 다른 극성의 감지 모듈을 설치하고 화학 물질 누설시에 화학 물질과 냉각수가 혼합되어 감지 모듈들이 통전되는 원리를 이용하여 누설 유체를 신속하고 정확하게 감지할 수 있다.
According to the present invention, detection modules having different polarities are provided in the cooling water flow channels and the chemical flow channels which are partitioned from each other, and the leaked fluid is discharged by using the principle that the chemical modules and the cooling water are mixed with each other, It can detect quickly and accurately.

도 1은 본 발명에 따른 열교환기용 누설 감지 센서가 장착된 열교환기를 개략적으로 도시한 측면 구성도,
도 2는 본 발명에 따른 열교환기용 누설 감지 센서의 감지 모듈을 확대 도시한 측면 구성도.1 is a side view schematically showing a heat exchanger equipped with a leakage sensor for a heat exchanger according to the present invention,
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a leak detection sensor for a heat exchanger,

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 열교환기용 누설 감지 센서에 대한 바람직한 실시예를 설명한다. 참고로, 아래에서 본 발명을 설명함에 있어서, 본 발명의 구성요소를 지칭하는 용어들은 각각의 구성 요소들의 기능을 고려하여 명명된 것이므로, 본 발명의 기술적 구성요소를 한정하는 의미로 이해되어서는 안 될 것이다.
Hereinafter, a preferred embodiment of a leakage sensor for a heat exchanger according to the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. In the following description of the present invention, it is to be understood that the terminology used herein is for the purpose of describing particular embodiments only and is not intended to be limiting of the technical scope of the present invention. Will be.

본 발명에 따른 열교환기용 누설 감지 센서는 화학 물질 이송 배관(10)을 냉각시키기 위한 열교환기(20)에 설치되어 열교환기(20) 내부로의 화학 물질의 누설 여부를 감지하는 센서이다. 먼저 열교환기(20) 및 화학 물질 이송 배관(10)에 대해 설명한다.The leakage sensor for a heat exchanger according to the present invention is installed in a heat exchanger (20) for cooling a chemical feed pipe (10) and detects whether or not a chemical substance leaks into the heat exchanger (20). First, the heat exchanger 20 and the chemical transfer piping 10 will be described.

열교환기(20)는 길이방향을 따라 화학 물질 이송 배관(10)이 관통하는 원통형 부재로서, 길이방향을 따라 한 측면으로부터 다른 측면으로 화학 물질 이송 배관(10)이 관통하여 연결된다. 이 화학 물질 이송 배관(10)은 열교환기(20)의 외측에서는 하나의 배관으로 구성되지만, 열교환기(10)의 내부에서는 상대적으로 직경이 작은 복수의 배관 다발(11)로 분기된 형태를 갖는다. 이는 열교환기(20) 내부에서 배관 다발(11)과 냉각수와의 접촉 면적을 증가시켜 열교환 효율을 높이기 위한 것이다. The heat exchanger 20 is a cylindrical member through which the chemical transfer piping 10 passes in the longitudinal direction and is connected to the chemical transfer piping 10 through one side of the chemical transfer piping 10 from one side to the other side along the longitudinal direction. The chemical transfer piping 10 is constituted by one pipe on the outside of the heat exchanger 20 but is branched into a plurality of pipe bundles 11 having a relatively small diameter inside the heat exchanger 10 . This is to increase the contact area between the pipe bundle 11 and the cooling water in the heat exchanger 20 to increase the heat exchange efficiency.

또한, 열교환기(20)는 일단부 측의 외주연에 냉각수 유입관(21)을 구비하고, 타단부 측의 외주연에 냉각수 유출관(22)을 구비한다. 이러한 구조에 의해, 화학 물질은 이송 배관(10)을 따라 열교환기(20) 내부를 통과하고, 냉각수는 냉각수 유입관(21)으로부터 열교환기(20) 내부로 유입되고, 화학 물질 이송 배관(10)의 배관 다발(11)과 접촉하여 화학 물질 이송 배관(10) 내부의 화학 물질을 냉각시키며, 냉각수 유출관(22)을 통해 열교환기(20) 외부로 유출된다.The heat exchanger 20 is provided with a cooling water inflow pipe 21 at the outer circumference at one end side and a cooling water outflow pipe 22 at the outer circumference at the other end side. With this structure, the chemical substance passes through the heat exchanger 20 along the transfer pipe 10, the cooling water flows into the heat exchanger 20 from the cooling water inflow pipe 21, and the chemical transfer pipe 10 To cool the chemical inside the chemical transfer piping 10 and to flow out of the heat exchanger 20 through the cooling water outflow pipe 22.

도 1과 2를 참조하면, 본 발명에 따른 열교환기용 누설 감지 센서는 냉각수와 접지되는 제1 감지 모듈(110), 화학 물질과 접지되는 제2 감지 모듈(120) 및 제1 감지 모듈(110)과 제2 감지 모듈(120)의 통전 여부에 따라 화학 물질 이송 배관(10)의 누설 여부를 판단하는 검출 모듈(130)을 포함한다.1 and 2, the leakage sensor for a heat exchanger according to the present invention includes a first sensing module 110 that is grounded with cooling water, a second sensing module 120 and a first sensing module 110 that are grounded with chemicals, And a detection module 130 for determining whether the chemical delivery pipe 10 leaks according to whether the second sensing module 120 is energized.

제1 감지 모듈(110)은 열교환기(20) 내부의 냉각수와 접지되는 전극(111)을 구비한다. 이 전극(111)은 예를 들면 (+)극성을 가질 수 있다. 제2 감지 모듈(120)은 제1 감지 모듈(110)의 전극(111)과는 다른 극성, 예를 들면 (-)극성을 가지는 전극(121)을 구비하고, 이 전극(121)은 화학 물질 이송 배관(10) 내부를 흐르는 화학 물질과 접지된다. 그리고, 검출 모듈(130)은 제1 감지 모듈(110)로부터 인출된 배선(112) 및 제2 감지 모듈(120)로부터 인출된 배선(122)과 연결되고, 제1 감지 모듈(110)의 전극(111) 및 제2 감지 모듈(120)의 전극(121)의 통전 상태에 따라 화학 물질 이송 배관(10)의 누설 여부를 판단한다. The first sensing module 110 includes an electrode 111 that is grounded with the cooling water inside the heat exchanger 20. The electrode 111 may have, for example, (+) polarity. The second sensing module 120 includes an electrode 121 having a polarity different from that of the electrode 111 of the first sensing module 110. The electrode 121 may be a chemical substance And is grounded with chemicals flowing in the transfer pipe (10). The detection module 130 is connected to the wiring 112 drawn out from the first sensing module 110 and the wiring 122 drawn out from the second sensing module 120, It is determined whether or not the chemical delivery pipe 10 is leaked according to the energized state of the electrode 121 of the first detection module 111 and the second detection module 120.

예를 들면, 열교환기(20) 내부에 배치된 화학 물질 이송 배관(10)의 배관 다발(11)이 손상되어 이송 배관(10)으로부터 화학 물질이 열교환기(20) 내부로 누설되면, 누설된 화학 물질은 열교환기(20) 내부의 냉각수와 혼합된다. 그러면, 제1 감지 모듈(110)의 전극(111) 및 제2 감지 모듈(120)의 전극(121)이 통전되고, 검출 모듈(130)은 화학 물질 이송 배관(10)이 누설되었다고 판단하여 시각적으로 또는 청각적으로 누설 사실을 표시한다.For example, if the pipe bundle 11 of the chemical feed pipe 10 disposed in the heat exchanger 20 is damaged and the chemical substance leaks into the heat exchanger 20 from the feed pipe 10, The chemical is mixed with the cooling water inside the heat exchanger (20). The electrode 111 of the first sensing module 110 and the electrode 121 of the second sensing module 120 are energized and the sensing module 130 determines that the chemical conveying pipe 10 has leaked, Or audibly indicate leakage.

여기서, 제1 감지 모듈(110)은 냉각수 유입관(21) 또는 냉각수 유출관(22)에 설치된다. 그리고, 제2 감지 모듈(120)은 제1 감지 모듈(110)이 설치된 위치와 인접한 열교환기(20)의 단부측으로부터 외부로 노출된 화학 물질 이송 배관(10)에 설치된다. 도면에서, 제1 감지 모듈(110)은 냉각수 유입관(21)에 설치되고, 제2 감지 모듈(120)은 이 냉각수 유입관(21)과 인접한 화학 물질 이송 배관(10)의 배출 측에 설치되어 있다. 이는 제1 감지 모듈(110)과 제2 감지 모듈(120)을 인접하게 설치하여 검출 모듈(130)과의 배선 연결을 용이하게 하기 위한 것이다.Here, the first sensing module 110 is installed in the cooling water inflow pipe 21 or the cooling water outflow pipe 22. The second sensing module 120 is installed in the chemical transfer pipe 10 exposed to the outside from the end side of the heat exchanger 20 adjacent to the position where the first sensing module 110 is installed. The first sensing module 110 is installed in the cooling water inflow pipe 21 and the second sensing module 120 is installed on the discharge side of the chemical transfer pipe 10 adjacent to the cooling water inflow pipe 21. . The first sensing module 110 and the second sensing module 120 are disposed adjacent to each other to facilitate wiring connection to the sensing module 130.

대안적으로, 제1 감지 모듈(110)은 전극(111)이 냉각수와 접지될 수 있도록 열교환기(20)의 본체에 직접 설치되고, 제2 감지 모듈(120)은 제1 감지 모듈(110)의 설치 위치와 인접한 화학 물질 이송 배관(10)에 설치될 수도 있다. 그러나, 설치 작업의 용이성을 위해, 제1 감지 모듈(110)은 냉각수 유입관(21) 또는 냉각수 유출관(22)에 설치되는 것이 유리하다.Alternatively, the first sensing module 110 may be installed directly on the body of the heat exchanger 20 so that the electrode 111 may be grounded with the cooling water, and the second sensing module 120 may be mounted on the first sensing module 110, The chemical transfer piping 10 may be installed adjacent to the installation position of the chemical transfer piping 10. However, for ease of installation, it is advantageous that the first sensing module 110 is installed in the cooling water inflow pipe 21 or the cooling water outflow pipe 22.

바람직하게는, 제1 감지 모듈(110) 및/또는 제2 감지 모듈(120)은 관형 케이스(113(123)), 전극(111(121)), PCB((114(124))), 배선(112(122)) 및 마개(115(125))를 포함한다. 케이스(113(123))는 제1 감지 모듈(110)의 경우에는 냉각수 유입관(21)이나 냉각수 유출관(22)에 연결되고, 제2 감지 모듈(120)의 경우에는 화학 물질 이송 배관(10)에 연결된다. 전극(111(121))은 케이스(113(123))의 내부에 설치되고, 제1 감지 모듈(110)의 경우에는 냉각수와 접지되고, 제2 감지 모듈(120)의 경우에는 화학 물질과 접지된다. PCB(114(124))는 케이스(113(123))의 내부에 설치되고 전극(111(121))과 연결된다. 또한, 이 PCB(114(124))는 검출 모듈(130)의 누설 판단시에 작동하는 LED 램프(미도시)와 연결될 수 있다. 배선(112(122))은 PCB(114(124))로부터 케이스(113(123))의 외부로 인출되고, 검출 모듈(130)에 연결된다. 그리고, 마개(115(125))는 케이스(113(123)) 내부의 PCB(114(124)) 측으로 냉각수 또는 화학 물질이 유입되는 방지하기 위해 케이스(113(123))에 압입되어 케이스(113(123)) 내부를 밀봉한다. 한편, 전극(111(121))과 마개(115(125)) 사이에는 밀봉을 위해 오링(116(126))이 설치될 수 있다.Preferably, the first sensing module 110 and / or the second sensing module 120 includes a tubular case 113 (123), an electrode 111 (121), a PCB 114 (124) (112) 122 and a stopper 115 (125). The case 113 (123) is connected to the cooling water inflow pipe 21 or the cooling water outflow pipe 22 in the case of the first sensing module 110 and the chemical transfer pipe 10). The electrode 111 (121) is provided inside the case 113 (123), and is grounded with the cooling water in the case of the first sensing module 110. In the case of the second sensing module 120, do. The PCB 114 (124) is installed inside the case 113 (123) and connected to the electrode 111 (121). In addition, the PCB 114 (124) may be connected to an LED lamp (not shown) that operates when the detection module 130 is determined to leak. The wiring 112 (122) is drawn out of the case 113 (123) from the PCB 114 (124) and connected to the detection module 130. The stopper 115 (125) is press-fitted into the case 113 (123) to prevent the cooling water or chemicals from flowing into the PCB 114 (124) side in the case 113 (123) (123). On the other hand, an O-ring 116 (126) may be provided between the electrode 111 (121) and the stopper 115 (125) for sealing.

또한, 바람직하게는, 제1 감지 모듈(110) 및 제2 감지 모듈(120)의 전극(111, 121)은 케이스(113, 123) 내부에서 PCB(114, 124)로부터 마개(115, 125)를 관통하여 냉각수 또는 화학 물질과 접지되도록 배치된다. 여기서, 이 전극들(111, 121)은 불소 수지와 도전성 혼합물이 혼합되어 이루어진 배관형 또는 시트형 전극일 수 있고, 불소 수지는 예를 들면 내약품성 및 내열성이 우수한 ETFE(Ethylene TetraFluoroEthylene), FEP(Flourinated Ethylene Prophylene), PTFE(PolyTetraFluoroeEhylene), PFA(Perfluorinated acids) 등일 수 있다.The electrodes 111 and 121 of the first sensing module 110 and the second sensing module 120 are connected to the caps 115 and 125 from the PCBs 114 and 124 inside the case 113 and 123, So as to be grounded with cooling water or chemicals. The electrodes 111 and 121 may be a pipe type or sheet type electrode formed by mixing a fluororesin and a conductive mixture. The fluororesin may be, for example, ETFE (Ethylene TetraFluoroEthylene), FEP (Flourinated Ethylene Prophylene (PTFE), Perfluorinated Acid (PFA), and the like.

한편, 제1 감지 모듈(110) 및/또는 제2 감지 모듈(120)은 T자형 배관(30)을 이용하여 냉각수 유입관(21), 냉각수 유출관(22) 및/또는 화학 물질 이송 배관(10)에 연결될 수 있다. 이러한 T자형 배관(30)은 감지 모듈(110, 120)을 관에 설치하는 작업을 용이하게 해준다.The first sensing module 110 and / or the second sensing module 120 are connected to the cooling water inlet pipe 21, the cooling water outlet pipe 22, and / or the chemical transfer pipe (s) 10). The T-shaped pipe 30 facilitates the installation of the sensing modules 110 and 120 in the pipe.

전술한 바와 같이, 본 발명에 따른 열교환기용 누설 감지 센서는 서로 구획되어 있는 냉각수 유로와 화학 물질 유로에 각각 서로 다른 극성의 감지 모듈을 설치하고 화학 물질 누설시에 화학 물질과 냉각수가 혼합되어 감지 모듈들이 통전되는 원리를 이용하여 누설 유체를 신속하고 정확하게 감지할 수 있다.
As described above, in the leakage sensor for a heat exchanger according to the present invention, a sensing module having different polarities is installed in the cooling water channel and the chemical channel which are partitioned from each other, and the chemical and cooling water are mixed at the time of chemical leakage, It is possible to quickly and accurately detect the leakage fluid.

이상에서 설명된 본 발명의 실시예들은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 보여준 것에 불과하며, 본 발명의 보호 범위는 이하 특허청구범위에 의하여 해석되어야 마땅할 것이다. 또한, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것인 바, 본 발명과 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.The embodiments of the present invention described above are merely illustrative of the technical idea of the present invention, and the scope of protection of the present invention should be interpreted according to the claims. It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims. It should be interpreted that it is included in the scope of right.

Claims (5)

화학 물질 이송 배관이 관통하여 배치되는 열교환기 내부에서 상기 배관으로부터의 화학 물질 누설을 감지하는 열교환기용 누설 감지 센서로서,
상기 열교환기의 내부의 냉각수와 접지되는 전극을 구비한 제1 감지 모듈;
상기 제1 감지 모듈의 전극과는 다른 극성을 가지며 상기 화학 물질 이송 배관의 내부의 화학 물질과 접지되는 전극을 구비한 제1 감지 모듈; 및
상기 제1 감지 모듈의 배선과 제2 감지 모듈의 배선이 연결되고, 상기 제1 감지 모듈의 전극 및 상기 제2 감지 모듈의 전극의 통전 상태에 따라 상기 화학 물질 이송 배관의 누설 여부를 판단하는 검출 모듈을 포함하고,
상기 열교환기는 길이방향을 따라 상기 화학 물질 이송 배관이 관통하는 원통형 부재이고, 일단부 측의 외주연 및 타단부 측의 외주연에 각각 냉각수 유입관 및 냉각수 유출관을 구비하고,
상기 제1 감지 모듈은 상기 냉각수 유입관 또는 냉각수 유출관에 설치되고, 상기 제2 감지 모듈은 상기 제1 감지 모듈이 설치된 위치와 인접한 상기 열교환기의 단부측으로부터 외부로 노출된 화학 물질 이송 배관에 설치되는 것을 특징으로 하는 열교환기용 누설 감지 센서.
A leakage detection sensor for a heat exchanger that detects leakage of a chemical substance from the pipe in a heat exchanger disposed through a chemical transfer pipe,
A first sensing module having cooling water inside the heat exchanger and an electrode to be grounded;
A first sensing module having a polarity different from an electrode of the first sensing module and having an electrode that is grounded with a chemical substance inside the chemical transfer pipe; And
Wherein the wiring of the first sensing module is connected to the wiring of the second sensing module and the detection of the leakage of the chemical transporting pipe according to the state of the electrodes of the first sensing module and the electrodes of the second sensing module Module,
Wherein the heat exchanger is a cylindrical member through which the chemical feed pipe runs in the longitudinal direction and has a cooling water inflow pipe and a cooling water outflow pipe at the outer circumferential edge on the one end side and the outer circumference on the other end side,
The first sensing module is installed in the cooling water inflow pipe or the cooling water outflow pipe and the second sensing module is connected to the chemical transfer pipe exposed to the outside from the end side of the heat exchanger adjacent to the position where the first sensing module is installed Wherein the leakage detection sensor for the heat exchanger is installed.
제1항에 있어서,
상기 제1 감지 모듈 또는 제2 감지 모듈은,
상기 냉각수 유입관, 냉각수 유출관 또는 화학 물질 이송 배관에 연결되는 관형 케이스;
상기 케이스의 내부에 설치되고, 상기 냉각수 또는 상기 화학 물질과 접지되는 전극;
상기 케이스 내부에 설치되고 상기 전극과 연결되는 PCB;
상기 PCB로부터 상기 케이스의 외부로 인출되는 배선; 및
상기 PCB 측으로 냉각수 또는 화학 물질이 유입되는 것을 방지하도록 상기 케이스에 압입되는 마개를 포함하는 것을 특징으로 하는 열교환기용 누설 감지 센서.
The method according to claim 1,
The first sensing module or the second sensing module may include:
A tubular case connected to the cooling water inflow pipe, the cooling water inflow pipe or the chemical transfer pipe;
An electrode provided inside the case and earthed with the cooling water or the chemical substance;
A PCB installed inside the case and connected to the electrode;
A wiring extending from the PCB to the outside of the case; And
And a cap which is press-fitted into the case to prevent cooling water or chemicals from flowing into the PCB.
제2항에 있어서,
상기 전극은 상기 PCB로부터 상기 마개를 관통하여 냉각수 또는 화학 물질과 접지되고, 불소 수지와 도전성 물질이 혼합되어 이루어진 배관형 또는 시트형 전극인 것을 특징으로 하는 열교환기용 누설 감지 센서.
3. The method of claim 2,
Wherein the electrode is a pipe type or sheet-type electrode that is pierced through the plug from the PCB and grounded with cooling water or chemicals, and is made of a mixture of fluororesin and a conductive material.
제2항에 있어서,
상기 제1 감지 모듈 또는 제2 감지 모듈은 T자형 배관을 이용하여 상기 냉각수 유입관, 냉각수 유출관 또는 화학 물질 이송 배관에 연결되는 것을 특징으로 하는 열교환기용 누설 감지 센서.3. The method of claim 2,
Wherein the first sensing module or the second sensing module is connected to the cooling water inflow pipe, the cooling water outflow pipe, or the chemical feed pipe using a T-shaped pipe. 삭제delete
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