KR101682141B1 - 온도 및 압력 동시 측정용 시편과 그의 제조 방법 - Google Patents

온도 및 압력 동시 측정용 시편과 그의 제조 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 상면에 절연홈이 형성된 베이스 플레이트; 절연홈의 제1절연층 표면에 적층 또는, 패터닝되어 제공되는 열전대; 베이스 플레이트의 표면에 적층되면서 열전대가 수용되는 수용공간이 형성된 단차제거용 플레이트; 단차제거용 플레이트의 표면에 적층되면서 제1연통홀 및 제2연통홀이 관통 형성된 박판의 표면 플레이트; 양 끝단은 상기 표면 플레이트의 제1연통홀 및 제2연통홀에 각각 연통되도록 형성되면서 표면을 지나는 유체의 압력이 전달되는 마이크로채널;을 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 온도 및 압력 동시 측정용 시편이 제공되며, 이를 통해 협소 부위를 통과하는 유체에 대한 온도 및 압력을 동시에 측정할 수 있도록 한 것이다.

Description

온도 및 압력 동시 측정용 시편과 그의 제조 방법{device for simultaneous measurement of temperature and pressure and manufacturing method thereof}
본 발명은 온도 및 압력의 측정을 위한 시편에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 협소 부위를 통과하는 유체에 대한 온도 및 압력을 동시에 측정할 수 있도록 한 새로운 형태에 따른 표면 온도 및 압력 동시 측정용 시편과 그의 제조 방법에 관한 것이다.
일반적으로 열 시스템의 성능을 측정하는 방법에는 수치해석적인 방법과 실험적인 방법이 시행된다.
특히, 고효율을 목적으로 열 시스템의 구조가 점차 복잡해지고 조밀해짐에 따라 수치해석을 통해 풀 모델을 해석하는 것에는 어려움이 있어 열 시스템 내부의 단일 유동 경로만을 상사해석하는 것이 대부분이었고, 더욱 정확한 열 시스템에 대한 해석을 위해서는 실험적인 방법을 수행하여야만 하였다.
그러나, 가스 터빈(gas turbine)의 내부를 통과하는 공기의 흐름이나 열교환기를 통과하는 공기의 흐름과 같이 협소 부위를 통과하는 공기의 흐름에 대한 온도 및 압력 측정의 경우는 기존의 상용센서를 상기 공기 유동의 변화 없이 열 시스템의 내부(가스 터빈의 내부 혹은, 열교환기의 각 열교환핀들 사이)에 설치하는 것이 불가능하여 시스템의 입구와 출구에서 온도와 압력을 측정하고 내부의 온도와 압력 값을 예측하는 방법이 사용될 수밖에 없었고, 이러한 예측으로의 측정 방식은 그 실험 결과에 대한 신뢰성이 매우 낮을 수밖에 없었다.
즉, 협소 부위 사이에 돌출형의 센서를 이용하여 유체의 온도 및 압력을 측정할 경우에는 상기 센서로 인한 유체의 흐름에 변경이 발생되었고, 이로써 실제 열 시스템이 가지는 환경으로의 온도 및 압력 측정은 사실상 어려웠던 것이다.
물론, 등록특허공보 제10-1230494호, 등록특허공보 제10-0912240호, 등록특허 제10-1027295호, 일본 공개특허공보 특개2009-174889호, 일본 공개특허공보 특개평11-326250호 등에 개시된 바와 같이 온도 센서를 시편의 표면으로 돌출되지 않도록 하는 다양한 기술들이 제공되고 있다.
하지만, 전술된 종래 기술들은 단순히 온도에 대한 실험만을 수행할 수 있도록 한 기술일 뿐으로 유체의 압력 측정은 사실상 이루어지지 못하였으며, 더욱이 협소 부위에 직접 설치하여 실험하는 것이 아니라 해당 시편을 협소 부위로 구현하여 실험함에 따라 열 시스템의 설계전 테스트 목적으로만 사용될 수 있었을 뿐 제품화된 열 시스템의 신뢰성 측정이나 실험을 위한 용도로의 사용은 할 수 없었다.
등록특허공보 제10-1230494호 등록특허공보 제10-0912240호 등록특허 제10-1027295호 일본 공개특허공보 특개2009-174889호 일본 공개특허공보 특개평11-326250호
본 발명은 전술된 종래 기술에 따른 각종 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 협소 부위를 통과하는 유체의 온도 및 압력을 동시에 측정할 수 있도록 한 새로운 형태에 따른 표면 온도 및 압력 동시 측정용 시편과 그의 제조 방법을 제공하는데 있다.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 온도 및 압력 동시 측정용 시편에 따르면 상면으로는 제1절연층이 충전되는 절연홈이 요입 형성된 베이스 플레이트; 상기 절연홈의 제1절연층 표면에 적층 또는, 패터닝됨과 더불어 온도를 측정하고자 하는 부위에 접점이 위치되도록 이루어진 열전대; 상기 베이스 플레이트의 표면에 적층되며, 상기 베이스 플레이트의 표면으로부터 돌출된 열전대가 수용되면서 제2절연층으로 코팅하기 위한 공간을 제공하는 홈 또는, 홀의 구조로 이루어진 수용공간이 형성된 단차제거용 플레이트; 상기 단차제거용 플레이트의 표면에 적층되며, 압력 측정을 위한 부위에 관통되는 제1연통홀 및 외측 끝단 부위에 관통되는 제2연통홀이 형성된 박판의 표면 플레이트; 상기 단차제거용 플레이트와 상기 표면 플레이트 간의 대향면 사이에 형성됨과 더불어 양 끝단은 상기 표면 플레이트의 제1연통홀 및 제2연통홀에 각각 연통되도록 형성되면서 표면을 지나는 유체의 압력이 전달되는 마이크로채널;을 포함하여 이루어짐을 특징으로 한다.
여기서, 상기 마이크로채널은 상기 단차제거용 플레이트의 저면에 요입 형성되어 이루어짐을 특징으로 한다.
또한, 상기 표면 플레이트에 형성되는 제1연통홀과 상기 열전대의 접점이 위치된 부위는 서로 인접하게 위치됨을 특징으로 한다.
또한, 상기 베이스 플레이트에 형성되는 절연홈은 복수로 형성됨과 더불어 서로는 연결되지 않도록 회피되게 형성되고, 상기 열전대는 복수로 제공되면서 상기 각각의 절연홈에 형성되는 제1절연층 표면에 각각 설치되며, 상기 마이크로채널은 복수로 제공되면서 각각은 상기 각 절연홈과 연결되지 않도록 회피되게 형성됨을 특징으로 한다.
또한, 상기 복수의 절연홈은 상기 베이스 플레이트의 양측 끝단 부위로부터 상기 베이스 플레이트의 내측 부위를 경유한 후 다시금 상기 베이스 플레이트의 양측 끝단 부위에 이르기까지 각각 연장되도록 형성됨과 더불어 각 절연홈 간의 연장 길이는 서로 달리 이루어지면서 서로가 연결되지 않도록 구성됨을 특징으로 한다.
또한, 상기 제2연통홀에는 해당 마이크로채널을 통해 안내된 유체를 압력센서로 전달하기 위해 연결되는 연결관이 더 구비됨을 특징으로 한다.
그리고, 상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 온도 및 압력 동시 측정용 시편의 제조방법에 따르면 상면에 복수의 절연홈이 요입 형성된 베이스 플레이트를 준비하는 단계; 상기 준비된 베이스 플레이트의 각 절연홈에 절연재를 충전하여 제1절연층을 각각 형성하는 단계; 상기 제1절연층의 상면에 열전대를 각각 얹어서 설치하거나 또는, 패터닝하여 형성하는 단계; 복수의 수용공간이 형성됨과 더불어 저면에는 복수의 마이크로채널이 형성된 단차제거용 플레이트를 상기 베이스 플레이트의 상면에 상기 단차제거용 플레이트를 적층시키는 단계; 상기 각 수용공간 내에 절연재를 충전하여 상기 열전대가 외부로 노출됨을 방지하면서 절연시키는 제2절연층을 형성하는 단계; 각 마이크로채널의 양 끝단과 연통되는 복수의 제1연통홀 및 제2연통홀이 형성된 표면 플레이트를 상기 단차제거용 플레이트의 표면에 적층시켜 고정하는 단계; 각 열전대 양 끝단에 신호선을 각각 연결하고, 상기 표면 플레이트의 각 제2연통홀에는 압력센서와 연결되는 각각의 연결관을 설치하는 단계;를 포함하여 수행됨을 특징으로 한다.
이상에서와 같이, 본 발명의 온도 및 압력 동시 측정용 시편은 박판으로 제공됨에 따라 협소 부위에의 설치가 이루어질 수 있음으로써 협소 부위의 온도 및 압력 측정이 필요한 부위에 대한 정확한 온도 및 압력 측정이 가능하게 된 효과를 가진다.
특히, 온도의 측정을 위한 열전대나 압력의 측정을 위한 마이크로채널은 외부로 노출되거나 돌출되는 구조가 아니라 시편의 내측에 형성되도록 이루어짐으로써 열전대나 마이크로채널에 의한 유체 흐름의 방해 현상이 방지되어 측정값에 대한 신뢰성의 향상을 이룰 수 있게 된 효과를 가진다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 온도 및 압력 동시 측정용 시편을 설명하기 위해 나타낸 분해 사시도
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 온도 및 압력 동시 측정용 시편을 설명하기 위해 나타낸 결합 사시도
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 온도 및 압력 동시 측정용 시편 중 베이스 플레이트를 설명하기 위해 나타낸 평면도
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 온도 및 압력 동시 측정용 시편 중 열전대를 설명하기 위해 나타낸 평면도
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 온도 및 압력 동시 측정용 시편 중 단차제거용 플레이트를 설명하기 위해 나타낸 평면도
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 온도 및 압력 동시 측정용 시편 중 표면 플레이트를 설명하기 위해 나타낸 평면도
도 7은 본 발명의 실시예에 따른 온도 및 압력 동시 측정용 시편을 설명하기 위해 나타낸 분해 단면도
도 8은 본 발명의 실시예에 따른 온도 및 압력 동시 측정용 시편을 설명하기 위해 나타낸 결합 단면도
도 9 내지 도 13은 본 발명의 실시예에 따른 온도 및 압력 동시 측정용 시편의 제조 과정을 설명하기 위해 나타낸 상태도
이하, 본 발명의 온도 및 압력 동시 측정용 시편 및 그 제조방법에 대한 바람직한 실시예를 첨부된 도 1 내지 도 13을 참조하여 설명하도록 한다.
첨부된 도 1은 본 발명의 실시예에 따른 온도 및 압력 동시 측정용 시편을 설명하기 위해 나타낸 분해 사시도이고, 도 2는 본 발명의 실시예에 따른 온도 및 압력 동시 측정용 시편을 설명하기 위해 나타낸 결합 사시도이며, 도 7은 본 발명의 실시예에 따른 온도 및 압력 동시 측정용 시편을 설명하기 위해 나타낸 분해 단면도이고, 도 8은 본 발명의 실시예에 따른 온도 및 압력 동시 측정용 시편을 설명하기 위해 나타낸 결합 단면도이다.
이들 도면에 도시된 바와 같이 본 발명의 실시예에 따른 온도 및 압력 동시 측정용 시편(이하, “시편”이라 함)은 전체적으로 박판의 구조를 이루도록 형성되어 협소 부위에 대한 온도 및 압력의 동시 측정이 가능하도록 한 제품으로써, 크게 베이스 플레이트(100)와, 열전대(200)와, 단차제거용 플레이트(300)와, 표면 플레이트(400) 그리고, 마이크로채널(500)을 포함하여 이루어지면서 상기 표면 플레이트(400)의 표면을 지나는 유체에 대한 온도 및 압력을 동시에 측정할 수 있도록 함을 특징으로 한다.
이를 각 구성별로 더욱 상세히 설명하면 다음과 같다.
먼저, 상기 베이스 플레이트(100)는 본 발명의 실시예에 따른 시편의 몸체를 이루는 부위이다.
이와 같은 베이스 플레이트(100)는 유체의 온도 및 압력을 측정하기 위한 측정 대상 부위와 동일한 재질의 박판으로 형성된다.
또한, 첨부된 도 3에 도시된 바와 같이 상기 베이스 플레이트(100)의 상면에는 후술될 열전대(200)의 설치를 위한 절연홈(110)이 요입 형성되며, 이때 상기 절연홈(110) 내로는 상기 베이스 플레이트(100)와의 절연을 위한 절연물질로 이루어진 제1절연층(120)이 충전된다.
여기서, 상기 절연홈(110)은 복수로 형성됨과 더불어 이러한 각 절연홈(100)은 상기 베이스 플레이트(100)의 양측 끝단 부위로부터 상기 베이스 플레이트(100)의 내측 부위를 경유한 후 다시금 상기 베이스 플레이트(100)의 양측 끝단 부위에 이르기까지 각각 연장되도록 형성되며, 특히 상기 각 절연홈(110) 간의 연장 길이는 서로 달리 이루어지면서 서로가 연결되지 않도록 구성됨으로써 복수의 열전대(200)를 위한 설치 영역이 제공될 수 있게 된다.
다음으로, 상기 열전대(200)는 유체의 온도 측정을 위한 구조물으로써, 서로 다른 재질의 두 금속 박판(예컨대, 크롬 재질의 박판 및 니켈 재질의 박판)을 서로 접촉시켜 형성된다.
이와 같은 열전대(200)는 첨부된 도 4에 도시된 바와 같이 복수로 제공됨과 더불어 그 각각은 상기 각 절연홈(110)에 형성된 제1절연층(120)의 표면에 얹힌 상태로 베이스 플레이트(100)와는 절연되면서 설치되도록 이루어지며, 상기 열전대(200)를 이루는 두 금속 와이어 간이 접촉되는 접점(210)은 실질적인 온도 측정을 위한 부위로 제공되는 영역으로써 측정하고자 하는 위치에 놓일 수 있도록 배치되며, 특히 각 열전대(200)의 접점(210)들 간은 서로 동일한 간격으로 이격되도록 함으로써 시편의 전 부위에 대한 온도 측정이 가능하도록 한다.
물론, 도시되지는 않았지만 상기한 열전대(200)는 예컨대 스퍼터링 방식을 이용한 패터닝(patterning)을 통해 제1절연층(120)의 표면에 형성되도록 할 수도 있다.
다음으로, 상기 단차제거용 플레이트(300)는 상기 베이스 플레이트(100)의 상면으로부터 돌출되게 설치되는 각 열전대(200)의 돌출 높이에 대한 단차를 제거하기 위한 부위이다.
이와 같은 단차제거용 플레이트(300)는 상기 베이스 플레이트(100)와 동일한 재질로 형성됨과 더불어 상기 베이스 플레이트(100)의 상면으로부터 돌출된 각 열전대(200)의 돌출 높이와 같거나 혹은, 더욱 두꺼운 두께를 갖도록 형성되면서 상기 베이스 플레이트(100)의 상면에 얹힌 상태로 밀착 고정된다.
특히, 첨부된 도 5에 도시된 바와 같이 상기 단차제거용 플레이트(300) 중 베이스 플레이트(100)의 각 절연홈(110) 위치와 대응되는 위치에는 해당 단차제거용 플레이트(300)의 상하를 관통하는 절개공의 구조로 이루어진 복수의 수용공간(310)이 각각 형성된다. 즉, 상기 각 열전대(200)가 상기 수용공간(310) 내에 수용되면서 제2절연층(320)으로 코팅될 수 있도록 함으로써 상기 열전대(200)의 두께만큼 발생되는 베이스 플레이트(100) 상면으로부터의 단차가 제거될 수 있도록 하였으며, 이를 통해 상기 베이스 플레이트(100)의 상면을 유체가 통과하는 과정에서 발생되는 와류의 발생과 같은 유동의 교란 현상이 방지되도록 하여 더욱 정확한 온도 및 압력의 측정이 이루어질 수 있도록 한 것이다.
물론, 상기 수용공간(310)은 상기 단차제거용 플레이트(300)의 저면인 상기 베이스 플레이트(100)와의 대향면에 요입되는 홈으로 형성될 수도 있다.
다음으로, 상기 표면 플레이트(400)는 상기 단차제거용 플레이트(300)의 상면을 덮는 부위이다.
이와 같은 표면 플레이트(400) 역시 상기 베이스 플레이트(100) 및 단차제거용 플레이트(300)와는 동일한 재질로 이루어진 박판으로 형성되면서 상기 단차제거용 플레이트(300)의 각 수용공간(310) 내에 위치되는 열전대(200)나 제2절연층(320)이 외부로 노출됨을 방지함과 더불어 상기 제2절연층(320)의 형성이 정확히 이루어질 수 있도록 하여 상기 열전대(200)의 유동이나 잘못된 위치에 놓이게 됨을 방지하는 역할 및 그 표면을 통과하는 유체가 아무런 간섭없이 원활히 통과될 수 있도록 하는 역할을 수행한다.
이러한 표면 플레이트(400)는 상기 단차제거용 플레이트(300)와 함께 브레이징 접합 또는, 확산 접합 공정을 통해 베이스 플레이트에 일체화되도록 이루어진다.
또한, 첨부된 도 6에 도시된 바와 같이 상기 표면 플레이트(400)에는 압력 측정을 위한 부위에 위치되는 제1연통홀(410) 및 해당 표면 플레이트의 외측 끝단 부위에 위치되는 제2연통홀(420)이 각각 형성된다.
특히, 상기 제2연통홀(420)에는 해당 마이크로채널(500)을 통해 안내된 유체를 압력센서(도시는 생략됨)로 전달하기 위해 연결되는 연결관(430)(첨부된 도 2 참조)이 더 구비된다. 즉, 상기 각각의 제2연통홀(420)에 압력센서를 직접 설치할 수도 있으나, 상기한 각 제2연통홀(420)들은 서로 간의 사이 간격이 극히 좁다는 것을 고려할 때 상기 연결관(430)을 통해 시편과는 별도로 위치된 각각의 압력센서에 압력 유체가 전달될 수 있도록 함으로써 상기 유체의 압력 측정을 위한 공간상의 제약이 해소될 수 있도록 한 것이다.
다음으로, 상기 마이크로채널(500)은 표면 플레이트(400)의 표면을 지나는 유체의 압력을 측정하기 위한 통로이다.
이러한 마이크로채널(500)은 복수로 제공됨과 더불어 그 각각은 상기 단차제거용 플레이트(300)와 상기 표면 플레이트(400) 간의 대향면 중 어느 한 면에 요입 형성되면서 표면 플레이트(400)의 표면을 지나는 유체의 압력을 전달하도록 이루어진다. 본 발명의 실시예에서는 상기 마이크로채널(500)의 형성을 위한 작업의 편리성을 고려하여 첨부된 도 1 및 도 5에 도시된 바와 같이 상기 마이크로채널(500)이 상기 단차제거용 플레이트(300)의 저면에 형성됨을 그 예로 한다.
또한, 상기 마이크로채널(500)은 단일의 긴 유로를 갖는 홈으로 이루어지며, 그의 일측 끝단은 상기 표면 플레이트(400)에 형성된 제1연통홀(410)에 연통되도록 위치됨과 더불어 그의 타측 끝단은 상기 표면 플레이트(400)에 형성된 제2연통홀(420)에 연통되도록 위치된다. 즉, 표면 플레이트(400)의 표면을 지나는 유체가 상기 제1연통홀(410)을 통과한 후 마이크로채널(500) 내부를 유동한 후 제2연통홀(420)을 통해 배출될 수 있도록 한 것이다.
이때, 상기 복수의 마이크로채널(500)은 각 절연홈(110)과 연결되지 않도록 회피되게 형성됨으로써 유체 압력의 누설이 방지될 수 있도록 한다.
이와 함께, 제1연통홀(410)과 연통되는 마이크로채널(500)의 일측 끝단과 상기 열전대(210)의 접점이 위치된 부위는 서로 인접하도록 형성된다. 즉, 온도의 측정 부위와 압력의 측정 부위가 실질적으로 동일한 곳을 이루도록 함으로써 해당 부위에 대한 온도와 압력 간의 상관 관계에 대한 해석도 가능하도록 한 것이다.
하기에서는, 전술된 본 발명의 실시예에 따른 시편의 제조 과정을 설명하도록 한다.
먼저, 첨부된 도 9에 도시된 바와 같이 표면(상면)에 복수의 절연홈(110)이 형성된 베이스 플레이트(100)를 준비한다.
이의 상태에서 상기 준비된 베이스 플레이트(100)의 각 절연홈(110)에 절연재를 충전하여 제1절연층(120)이 각각 형성되도록 한다. 이는 첨부된 도 10에 도시된 바와 같다.
그리고, 상기 제1절연층(120)의 형성이 완료되면 상기 제1절연층(120)의 상면에 열전대(200)를 각각 얹어서 설치한다. 이는 첨부된 도 11에 도시된 바와 같다. 물론, 상기 열전대(200)는 패터닝을 통해 상기 제1절연층(120)의 상면에 증착되면서 형성되도록 할 수도 있다.
다음으로, 복수의 수용공간(310)이 형성됨과 더불어 저면에는 복수의 마이크로채널(500)이 형성된 단차제거용 플레이트(300)를 준비한 후 상기 베이스 플레이트(100의 상면에 상기 단차제거용 플레이트(300)를 적층시킨다. 이는, 첨부된 도 12에 도시된 바와 같다.
계속해서, 상기 단차제거용 플레이트(300)의 각 수용공간(310) 내에 절연재를 충전하여 상기 열전대(200)가 외부로 노출됨을 방지하면서 절연시키는 제2절연층(320)이 형성되도록 한다. 이는 첨부된 도 13에 도시된 바와 같다.
이후, 복수의 제1연통홀(410) 및 제2연통홀(420)이 형성된 표면 플레이트(400)를 상기 단차제거용 플레이트(300)의 표면에 적층시켜 고정함으로써 첨부된 도 8에 도시된 바와 같은 시편이 완성된다.
물론, 상기 완성된 시편의 각 열전대(200) 양 끝단에는 컨트롤러(도시는 생략됨)와 연결된 신호선(도시는 생략됨)을 각각 연결하고, 상기 표면 플레이트(400)의 각 제2연통홀(420)에는 압력센서와 연결되는 각각의 연결관(430)을 설치함으로써 시편을 이용한 온도 및 압력 동시 측정의 준비가 완료된다.
하기에서는, 전술된 본 발명의 실시예에 따른 시편을 이용한 온도 및 압력 측정 과정에 대하여 더욱 상세히 설명한다.
우선, 본 발명의 실시예에 따른 시편을 온도 및 압력 측정을 위한 협소 부위에 설치한다. 예컨대, 열교환기에 대한 온도 및 압력 측정을 하고자 할 경우 상기 시편은 상기 열교환기를 이루는 각 열교환핀들 중 어느 한 열교환핀을 대신하도록 설치한다. 물론, 각 열교환핀들 모두를 상기 시편으로 구성할 수도 있다.
또한, 상기와 같이 설치된 시편을 이루는 각 열전대(200)의 양 끝단에는 측정 장비와 연결된 신호선(도시는 생략됨)을 각각 연결함과 더불어 각 연결관(430)은 각각의 압력센서와 연결되도록 한다.
이러한 상태에서 상기 시편이 설치된 협소 부위 내로 유체를 송풍한다.
이와 같이 상기 유체의 송풍이 이루어지면 상기 유체는 상기 시편의 표면을 지나게 되고, 이의 과정에서 상기 시편을 이루는 표면 플레이트(400)를 통해 열전도가 이루어지면서 단차제거용 플레이트(300)의 각 수용공간(310) 사이에 위치된 열전대(200)의 접점(210)에서 열기전력이 발생되고, 이러한 발생된 열기전력은 신호선을 통해 컨트롤러(도시는 생략됨)로 제공됨으로써 해당 부위에 대한 온도 확인이 가능하다.
이와 함께, 상기 표면 플레이트(400)의 각 제1연통홀(410)을 통해서는 상기 시편을 지나는 유체의 압력이 제공되고, 이러한 유체의 압력은 이 제1연통홀(410)과 연통된 마이크로채널(500) 및 제2연통홀(420)을 순차적으로 통과한 후 연결관(430)을 통해 압력센서로 제공됨으로써 그 압력 측정이 이루어지게 된다.
결국, 본 발명의 온도 및 압력 동시 측정용 시편은 박판으로 제공됨에 따라 협소 부위에의 설치가 이루어질 수 있음으로써 협소 부위의 온도 및 압력 측정이 필요한 부위에 대한 정확한 온도 및 압력 측정이 가능하게 된다.
특히, 온도의 측정을 위한 열전대(200)나 압력의 측정을 위한 마이크로채널(500)은 외부로 노출되거나 돌출되는 구조가 아니라 시편의 내측에 형성되도록 이루어짐으로써 열전대(200)나 마이크로채널(500)에 의한 유체 흐름의 방해 현상이 방지되어 측정값에 대한 신뢰성의 향상을 이룰 수 있게 된다.
100. 베이스 플레이트 110. 절연홈
120. 제1절연층 200. 열전대
210. 접점 300. 단차제거용 플레이트
310. 수용공간 320. 제2절연층
400. 표면 플레이트 410. 제1연통홀
420. 제2연통홀 430. 연결관
500. 마이크로채널

Claims (7)

  1. 상면으로는 제1절연층이 충전되는 절연홈이 요입 형성된 베이스 플레이트;
    상기 절연홈의 제1절연층 표면에 적층 또는, 패터닝됨과 더불어 온도를 측정하고자 하는 부위에 접점이 위치되도록 이루어진 열전대;
    상기 베이스 플레이트의 표면에 적층되며, 상기 베이스 플레이트의 표면으로부터 돌출된 열전대가 수용되면서 제2절연층으로 코팅하기 위한 공간을 제공하는 홈 또는, 홀의 구조로 이루어진 수용공간이 형성된 단차제거용 플레이트;
    상기 단차제거용 플레이트의 표면에 적층되며, 압력 측정을 위한 부위에 관통되는 제1연통홀 및 외측 끝단 부위에 관통되는 제2연통홀이 형성된 박판의 표면 플레이트;
    상기 단차제거용 플레이트와 상기 표면 플레이트 간의 대향면 사이에 형성됨과 더불어 양 끝단은 상기 표면 플레이트의 제1연통홀 및 제2연통홀에 각각 연통되도록 형성되면서 표면을 지나는 유체의 압력이 전달되는 마이크로채널;을 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 온도 및 압력 동시 측정용 시편.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 마이크로채널은 상기 단차제거용 플레이트의 저면에 요입 형성되어 이루어짐을 특징으로 하는 온도 및 압력 동시 측정용 시편.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 표면 플레이트에 형성되는 제1연통홀과 상기 열전대의 접점이 위치된 부위는 서로 인접하게 위치됨을 특징으로 하는 온도 및 압력 동시 측정용 시편.
  4. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 베이스 플레이트에 형성되는 절연홈은 복수로 형성됨과 더불어 서로는 연결되지 않도록 회피되게 형성되고,
    상기 열전대는 복수로 제공되면서 상기 각각의 절연홈에 형성되는 제1절연층 표면에 각각 설치되며,
    상기 마이크로채널은 복수로 제공되면서 각각은 상기 각 절연홈과 연결되지 않도록 회피되게 형성됨을 특징으로 하는 온도 및 압력 동시 측정용 시편.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 복수의 절연홈은
    상기 베이스 플레이트의 양측 끝단 부위로부터 상기 베이스 플레이트의 내측 부위를 경유한 후 다시금 상기 베이스 플레이트의 양측 끝단 부위에 이르기까지 각각 연장되도록 형성됨과 더불어 각 절연홈 간의 연장 길이는 서로 달리 이루어지면서 서로가 연결되지 않도록 구성됨을 특징으로 하는 온도 및 압력 동시 측정용 시편.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 제2연통홀에는 해당 마이크로채널을 통해 안내된 유체를 압력센서로 전달하기 위해 연결되는 연결관이 더 구비됨을 특징으로 하는 온도 및 압력 동시 측정용 시편.
  7. 상면에 복수의 절연홈이 요입 형성된 베이스 플레이트를 준비하는 단계;
    상기 준비된 베이스 플레이트의 각 절연홈에 절연재를 충전하여 제1절연층을 각각 형성하는 단계;
    상기 제1절연층의 상면에 열전대를 각각 얹어서 설치하거나 또는, 패터닝하여 형성하는 단계;
    복수의 수용공간이 형성됨과 더불어 저면에는 복수의 마이크로채널이 형성된 단차제거용 플레이트를 상기 베이스 플레이트의 상면에 상기 단차제거용 플레이트를 적층시키는 단계;
    상기 각 수용공간 내에 절연재를 충전하여 상기 열전대가 외부로 노출됨을 방지하면서 절연시키는 제2절연층을 형성하는 단계;
    각 마이크로채널의 양 끝단과 연통되는 복수의 제1연통홀 및 제2연통홀이 형성된 표면 플레이트를 상기 단차제거용 플레이트의 표면에 적층시켜 고정하는 단계;
    각 열전대 양 끝단에 신호선을 각각 연결하고, 상기 표면 플레이트의 각 제2연통홀에는 압력센서와 연결되는 각각의 연결관을 설치하는 단계;를 포함하여 수행됨을 특징으로 하는 온도 및 압력 동시 측정용 시편의 제조방법.
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