KR101673368B1 - cold trap device for reactant of processing gas - Google Patents

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Abstract

The present invention relates to technology to collect a reactant in processing gas, used for a semiconductor process, through a cold trap method, capable of improving the durability or PM cycle of a scrubber by efficiently collecting a reactant of processing gas between the scrubber and a semiconductor processing chamber before residual processing gas reaches from the semiconductor processing chamber to the last scrubber. To this end, the present invention relates to technology capable of improving the efficiency of the collection of the reactant in the processing gas, induced from the semiconductor processing chamber, as well as making convenient the manufacture and maintenance of the cold trap device by improving the formation of the cold trap device connected to a pipe between the scrubber and the semiconductor processing chamber. Moreover, according to the present invention, the technology is capable of significantly improving cooling efficiency in contrast to used energy by extending a stayover time of a refrigerant flowing from the outside.

Description

공정가스 반응물의 콜드트랩 장치 {cold trap device for reactant of processing gas}[0001] The present invention relates to a cold trap device for reacting a process gas,

본 발명은 반도체 공정에서 사용한 공정가스 내의 반응물을 콜드트랩 방식으로 포집하는 기술에 관한 것이다.TECHNICAL FIELD The present invention relates to a technique for collecting reactants in a process gas used in a semiconductor process by a cold trap method.

더욱 상세하게는, 본 발명은 반도체 공정챔버로부터 사용하고 남은 공정가스가 최종말단의 스크러버에 도달하기 전에 반도체 공정챔버와 스크러버의 중간에서 미리 공정가스의 반응물을 효율적으로 포집함으로써 스크러버의 PM주기나 내구성을 향상시키도록 하는 기술이다.More particularly, the present invention efficiently collects reactants of the process gases in the middle of the semiconductor process chamber and the scrubber before the remaining process gas from the semiconductor process chamber reaches the final end scrubber, thereby increasing the PM cycle and durability And the like.

이를 위해, 반도체 공정챔버와 스크러버 사이에 배관으로 연결되는 콜드트랩 장치의 구성을 개선하여 반도체 공정챔버로부터 인입된 공정가스 내의 반응물 포집율을 향상시킴과 아울러 그 콜드트랩 장치의 제작 및 정비가 간편하도록 하는 기술에 관한 것이다.To this end, the construction of the cold trap device connected by piping between the semiconductor process chamber and the scrubber is improved to improve the collection rate of reactants in the process gas introduced from the semiconductor process chamber and to simplify the manufacture and maintenance of the cold trap device Lt; / RTI >

일반적으로 반도체 공정(예: CVD 공정)에서는 다양한 공정가스가 필요하여 이를 주입하는데, 그 주입에 따라 사용하고 남은 공정가스는 아직 반응성을 가지고 있다.Generally, semiconductor processes (eg, CVD processes) require various process gases to be injected, and the process gases that remain after they are injected are still reactive.

이렇게 아직 반응성을 가지고 있는 공정가스는 인체에 유해하거나 경우에 따라서는 폭발의 위험성을 갖고 있기 때문에 그 공정가스를 무해한 상태로 필터링하는 후처리 공정은 매우 중요하다.Since the process gas that is still reactive is harmful to the human body or in some cases, there is a risk of explosion, the post-treatment process of filtering the process gas into a harmless state is very important.

[도 1]은 반도체 공정에서 사용한 공정가스의 후처리 공정 예시도이다. [도 1]을 참조하면, 일반적으로 반도체 공정에서는 반도체 공정챔버(10)에 해당 공정가스를 투입한다. 이때, 반도체 공정챔버(10)에 투입된 공정가스의 대부분(대약 98%은 반응하지 않은 상태로 배출된다.1 is an illustration of an example of a post-treatment process of a process gas used in a semiconductor process. Referring to FIG. 1, generally, in a semiconductor process, a corresponding process gas is introduced into a semiconductor process chamber 10. At this time, most of the process gas introduced into the semiconductor process chamber 10 (about 98% of the process gas is discharged unreacted.

이렇게 배출되는 공정가스는 아직 반응성을 갖고 있기 때문에 1차적으로 반도체 공정챔버(10)에 배관으로 연결된 콜드트랩 장치(20)에서 그 공정가스 내의 반응물을 포집하여 제거한다.Since the process gas thus discharged is still reactive, the cold trap device 20 connected to the semiconductor process chamber 10 by piping collects and removes reactants in the process gas.

그리고, 콜드트랩 장치(20)로부터 1차적으로 반응물이 포집된 공정가스는 펌프(30)를 경유하여 스크러버(40)로 이동한 후 스크러버(40)에서 완전히 필터링되어 외부로 배출된다.Then, the process gas, from which the reactant is primarily collected from the cold trap apparatus 20, is moved to the scrubber 40 via the pump 30, and is then completely filtered by the scrubber 40 and discharged to the outside.

한편, 콜드트랩 장치(20)는 반도체 공정챔버(10)마다 하나씩 설치되는데, 펌프(30)나 스크러버(40)는 다수의 반도체 공정챔버(10)와 배관으로 연결되어 있기 때문에 펌프(30)의 흡입력이나 스크러버(40)의 필터링 성능은 매우 우수하여야 하고 그 가격 또한 매우 고가이다.Since the pump 30 and the scrubber 40 are connected to the plurality of semiconductor processing chambers 10 by piping, the cold trap apparatus 20 is installed for each semiconductor process chamber 10, The suction power or the filtering performance of the scrubber 40 should be very good and its price is also very expensive.

그 결과, 반도체 공정챔버(10)마다 개별적으로 설치되는 콜드트랩 장치(20)에서 공정가스 내의 반응물에 대한 포집능력을 향상시키면 그만큼 펌프(30)나 스크러버(40)가 담당해야 하는 부하가 낮아지기 때문에 펌프(30)나 스크러버(40)에 대한 PM주기 연장 등 유리한 점이 많다.As a result, if the ability to collect the reactants in the process gas is improved in the cold trap apparatus 20 that is individually provided for each semiconductor processing chamber 10, the load imposed on the pump 30 and the scrubber 40 is reduced accordingly There are many advantages such as extension of the PM cycle to the pump 30 and the scrubber 40. [

다른 한편, 콜드트랩 장치(20)가 공정가스 내의 반응물을 효율적으로 포집하기 위해서는 콜드트랩 장치(20)의 내부에서 공정가스에 대한 냉각을 원활하게 유지하여야 한다.On the other hand, in order for the cold trap apparatus 20 to efficiently collect the reactants in the process gas, it is necessary to keep cooling the process gas inside the cold trap apparatus 20 smoothly.

그 결과, 기존에는 콜드트랩 장치(20)에서 냉매가 흐르는 관을 여러 겹 감싸는 형태로 구성되기도 하였지만, 제작이 매우 어렵다는 단점이 있고, 실제 공정가스 내의 반응물에 대한 포집율이 크게 향상되지 못하다는 문제가 있다.As a result, although the conventional cold trap apparatus 20 has a structure in which a plurality of tubes through which refrigerant flows are wrapped, it is difficult to manufacture the apparatus and the collection rate of reactants in the actual process gas is not significantly improved .

여기서, 콜드트랩 장치(20)에서의 냉각 성능을 향상시키기 위해 무작정 고에너지를 소모하면서 냉매를 순환시키는 것도 에너지 효율면에서 효과적이지 않다는 문제가 있다.Here, there is a problem that it is not effective in terms of energy efficiency to circulate the refrigerant without consuming high energy in order to improve the cooling performance in the cold trap apparatus 20. [

대한민국 특허출원 10-2006-0115364호 "반도체 공정의 반응부산물 포집장치"Korean Patent Application No. 10-2006-0115364 entitled " 대한민국 특허출원 10-2012-0043981호 "엘씨디 유기물 처리용 콜드트랩 장치"Korean Patent Application No. 10-2012-0043981 "Cold Trap Device for Eliminating LC Organic Materials" 대한민국 특허출원 10-2004-0062548호 "반도체 제조 설비용 콜트 트랩 장치"Korean Patent Application No. 10-2004-0062548 "Colt trap device for semiconductor manufacturing facility" 대한민국 특허출원 10-2011-0039883호 "콜드트랩 및 진공배기장치"Korean Patent Application No. 10-2011-0039883 "Cold Trap and Vacuum Exhaust Device"

본 발명은 상기한 점을 감안하여 제안된 것으로, 본 발명의 목적은 외부로부터 유입된 공정가스의 체류 시간을 연장시켜 공정가스의 반응물에 대한 포집율을 획기적으로 향상시킬 수 있는 공정가스 반응물의 콜드트랩 장치를 제공한다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above-mentioned problems, and it is an object of the present invention to provide a process gas reacting method and a process gas reaction method which can extend the residence time of a process gas introduced from the outside, Thereby providing a trap device.

또한, 본 발명의 목적은 외부로부터 유입된 냉매의 체류 시간을 연장시켜 사용하는 에너지 대비 냉각 효율을 획기적으로 향상시킬 수 있는 공정가스 반응물의 콜드트랩 장치를 제공한다.It is another object of the present invention to provide a cold trap device for a process gas reactant which can greatly improve the cooling efficiency relative to the energy used by extending the residence time of a refrigerant introduced from the outside.

또한, 본 발명의 목적은 냉매가 이동하면서 체류하는 영역을 골고루 평준화시킴으로써 내부의 모든 영역에서 공정가스에 대한 반응물의 포집율을 높일 수 있는 공정가스 반응물의 콜드트랩 장치를 제공한다.It is also an object of the present invention to provide a cold trap device for a process gas reactant capable of increasing the collection rate of reactants with respect to a process gas in all the interior regions by evenly leveling a region where the refrigerant stays while moving.

또한, 본 발명의 목적은 기존에 비해 제작이 간편한 구조를 갖는 공정가스 반응물의 콜드트랩 장치를 제공한다.It is also an object of the present invention to provide a cold trap device for a process gas reactant having a structure that is easier to manufacture than the prior art.

또한, 본 발명의 목적은 기존에 비해 유지보수가 간편한 구조를 갖는 공정가스 반응물의 콜드트랩 장치를 제공한다.It is another object of the present invention to provide a cold trap device for a process gas reactant having a structure that is easier to maintain than a conventional device.

상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 공정가스 반응물의 콜드트랩 장치는 쿨링에 의해 몸체의 낮은 온도를 유지하는 속이 빈 튜브 형태의 아우터 콜드하우징; 외벽이 아우터 콜드하우징의 내벽과 소정 거리 이격되도록 아우터 콜드하우징의 내측에 배치되며 쿨링에 의해 몸체의 낮은 온도를 유지하는 속이 빈 공간(이하, '제 1 콜드영역'이라 함)을 형성하는 튜브 형태의 이너 콜드하우징; 이너 콜드하우징의 일단부와 이너 콜드하우징의 일단부에 인접하는 아우터 콜드하우징의 일단부 사이를 차폐시키는 밀폐캡; 쿨링에 의해 몸체의 낮은 온도를 유지하는 속이 빈 튜브 형태로 이루어지며, 외벽이 아우터 콜드하우징의 내벽과 소정 거리 이격(이하, '제 2 콜드영역'이라 함)되고 내벽이 이너 콜드하우징의 외벽과 소정 거리 이격(이하, '제 3 콜드영역'이라 함)되며 밀폐캡에 인접하는 선단부가 밀폐캡과 이격되도록 배치되는 센터 콜드하우징; 밀폐캡에 대향하는 아우터 콜드하우징의 일단부와 그 아우터 콜드하우징의 일단부에 인접하는 센터 콜드하우징의 일단부를 차폐시키며 밀폐캡에 대향하는 이너 콜드하우징의 일단부와 소정 거리 이격 배치됨에 따라 외부로부터 인입된 고온의 공정가스가 제 2 콜드영역, 제 3 콜드영역, 제 1 콜드영역을 순차적으로 경유하면서 그 인입된 공정가스 내의 반응물을 트랩하도록 하는 공정가스 인렛캡;을 포함하여 구성된다.In order to accomplish the above object, a cold trap apparatus for a process gas reactant according to the present invention includes: a hollow tube-shaped outer cold housing for maintaining a low temperature of a body by cooling; (Hereinafter, referred to as 'first cold region') which is disposed inside the outer cold housing such that the outer wall is spaced apart from the inner wall of the outer cold housing by a predetermined distance and which maintains a low temperature of the body by cooling Inner cold housing; A sealing cap which shields between one end of the inner cold housing and one end of the outer cold housing adjacent to one end of the inner cold housing; (Hereinafter, referred to as a "second cold region"), and an inner wall of the outer cold wall is formed in an outer wall of the inner cold housing A center cold housing having a predetermined distance (hereinafter, referred to as a 'third cold region') and disposed such that a leading end portion adjacent to the sealed cap is spaced apart from the sealed cap; The inner cold housing is disposed at a predetermined distance from the one end of the inner cold housing, which shields one end of the outer cold housing opposite to the sealed cap and one end of the center cold housing adjacent to the one end of the outer cold housing, And a process gas inlet cap for allowing the introduced high temperature process gas to sequentially pass through the second cold region, the third cold region, and the first cold region while trapping the reactants in the introduced process gas.

그리고, 이너 콜드하우징은 몸체의 길이방향을 따라 다단으로 구획된 속이 빈 영역을 형성하도록 복수 개의 이너 격벽이 몸체의 둘레방향을 따라 다단으로 형성되며, 냉매가 몸체의 길이방향을 따라 다단으로 구획된 속이 빈 영역을 소통하도록 이너 격벽에는 이너 격벽 통기부가 형성될 수 있다.The inner cold housing has a plurality of inner barrier ribs formed in multiple stages along the circumferential direction of the body so as to form a hollow space partitioned into multi-stages along the longitudinal direction of the body, and the refrigerant is divided into multiple stages along the longitudinal direction of the body An inner partition wall ventilation portion may be formed on the inner partition wall so as to communicate with the hollow space.

여기서, 복수 개의 이너 격벽에 형성되는 각각의 이너 격벽 통기부는 이너 콜드하우징의 길이방향을 따라 지그재그로 형태로 배치되어 이너 콜드하우징의 내측으로 인입된 냉매가 다단으로 구획된 속이 빈 영역을 이동할 때 이너 콜드하우징의 길이방향을 따라 지그재그 형태로 이동하도록 구성될 수 있다.In this case, each of the inner partition wall ventilation portions formed in the plurality of inner partition walls is arranged in a zigzag form along the longitudinal direction of the inner cold housing, and when the refrigerant drawn into the inner cold housing moves in the hollow space partitioned by the multi- And may be configured to move in a zigzag fashion along the longitudinal direction of the cold housing.

또한, 센터 콜드하우징은 몸체의 길이방향을 따라 다단으로 구획된 속이 빈 영역을 형성하도록 복수 개의 센터 격벽이 몸체의 둘레방향을 따라 다단으로 형성되며, 냉매가 몸체의 길이방향을 따라 다단으로 구획된 속이 빈 영역을 소통하도록 센터 격벽에는 센터 격벽 통기부가 형성될 수 있다.The center cold housing has a plurality of center bulkheads formed in multiple stages along the circumferential direction of the body so as to form a hollow space partitioned into multi-stages along the longitudinal direction of the body, and the refrigerant is divided into multiple stages along the longitudinal direction of the body A center partition wall vent may be formed in the center partition wall so as to communicate the hollow area.

여기서, 복수 개의 센터 격벽에 형성되는 각각의 센터 격벽 통기부는 센터 콜드하우징의 길이방향을 따라 지그재그 형태로 배치되어 센터 콜드하우징의 내측으로 인입된 냉매가 다단으로 구획된 속이 빈 영역을 이동할 때 센터 콜드하우징의 길이방향을 따라 지그재그 형태로 이동하도록 구성될 수 있다.Here, each of the center partition wall ventilation portions formed in the plurality of center partition walls is arranged in a zigzag shape along the longitudinal direction of the center cold housing, and when the refrigerant drawn into the center cold housing moves in the hollow space partitioned by the multi- And may be configured to move in a zigzag fashion along the longitudinal direction of the housing.

한편, 아우터 콜드하우징의 외벽을 감싸는 형태로 배치되며 내측을 출입하는 냉매를 통해 아우터 콜드하우징을 쿨링에 의해 낮은 온도로 유지시키는 외곽 콜드하우징;을 더 포함하여 구성되고, 외곽 콜드하우징은 아우터 콜드하우징의 길이방향을 따라 다단으로 구획된 속이 빈 공간을 형성하도록 복수 개의 외곽 격벽이 아우터 콜드하우징의 둘레방향을 따라 다단으로 형성되며, 냉매가 아우터 콜드하우징의 길이방향을 따라 다단으로 구획된 속이 빈 공간을 소통하도록 외곽 격벽에는 냉매소통부가 형성되며, 복수 개의 외곽 격벽에 형성되는 각각의 냉매소통부는 아우터 콜드하우징의 길이방향을 따라 지그재그 형태로 배치되어 외곽 콜드하우징의 내측으로 인입된 냉매가 다단으로 구획된 속이 빈 공간을 이동할 때 아우터 콜드하우징의 길이방향을 따라 지그재그 형태로 이동하도록 구성될 수 있다.The outer cold housing further includes an outer cold housing arranged to surround the outer wall of the outer cold housing and maintaining the outer cold housing at a low temperature by cooling the refrigerant through the refrigerant entering and exiting the inner cold housing. A plurality of outer perimeter walls are formed in multiple stages along the circumferential direction of the outer cold housing so that the outer peripheries are divided into multiple stages along the longitudinal direction of the outer cold housing, And the refrigerant communication portions formed in the plurality of outer peripheral partitions are arranged in a staggered shape along the longitudinal direction of the outer cold housing so that the refrigerant drawn into the inner side of the outer cold housing is divided into multi- The length of the outer cold housing when the hollow space moves Depending may be configured to move in a zigzag form.

본 발명은 외부로부터 유입된 공정가스의 체류 시간을 연장시켜 공정가스의 반응물에 대한 포집율을 획기적으로 향상시킬 수 있는 장점을 나타낸다.The present invention has the advantage that the retention time of the process gas introduced from the outside can be prolonged and the collection rate of the reactant of the process gas can be drastically improved.

또한, 본 발명은 외부로부터 유입된 냉매의 체류 시간을 연장시켜 사용하는 에너지 대비 냉각 효율을 획기적으로 향상시킬 수 있는 장점을 나타낸다.Further, the present invention has an advantage that the residence time of the refrigerant introduced from the outside can be extended and the cooling efficiency relative to the energy used can be remarkably improved.

또한, 본 발명은 냉매가 이동하면서 체류하는 영역을 골고루 평준화시킴으로써 내부의 모든 영역에서 공정가스에 대한 반응물의 포집율을 향상시킬 수 있는 장점을 나타낸다.In addition, the present invention shows an advantage that the collection rate of the reactants to the process gas can be improved in all regions by uniformly leveling the region where the refrigerant stays while moving.

또한, 본 발명은 아우터 콜드하우징에 센터 콜드하우징과 이너 콜드하우징을 슬라이딩 결합하는 구조로 이루어져 제작이 간편하다는 장점을 나타낸다.Further, the present invention is advantageous in that the center cold housing and the inner cold housing are slidably coupled to the outer cold housing, thereby simplifying the manufacturing process.

또한, 본 발명은 아우터 콜드하우징에 센터 콜드하우징과 이너 콜드하우징을 슬라이딩 시킨 후 클램프에 의해 착탈 가능하게 체결함으로써 유지보수가 간편하다는 장점을 나타낸다.In addition, the present invention shows an advantage that maintenance is simple by sliding the center cold housing and the inner cold housing to the outer cold housing and then releasably fastening it by a clamp.

[도 1]은 반도체 공정에서 사용한 공정가스의 후처리 공정 예시도,
[도 2]는 본 발명에 따른 공정가스 반응물의 콜드트랩 장치를 공정가스 배출부 방향에서 바라 본 사시도,
[도 3]은 본 발명에 따른 공정가스 반응물의 콜드트랩 장치를 공정가스 인입부 방향에서 바라 본 사시도,
[도 4]는 [도 3]에서 아우터 콜드하우징의 길이방향을 따라 중앙부를 절개한 단면도,
[도 5]는 [도 4]의 정면에서 바라 본 사용상태도,
[도 6]은 본 발명에 따른 이너 콜드하우징의 일부 구성을 발췌하여 상호 다른 각도에서 도시한 예시도,
[도 7]은 본 발명에 따른 센터 콜드하우징의 일부 구성을 발췌하여 상호 다른 각도에서 도시한 예시도,
[도 8]은 본 발명에 따른 외곽 콜드하우징을 발췌하여 상호 다른 각도에서 도시한 예시도이다.1 is an illustration of a post-treatment process of a process gas used in a semiconductor process,
FIG. 2 is a perspective view of the cold trap device of the process gas reactant according to the present invention,
3 is a perspective view of the cold trap apparatus of the process gas reactant according to the present invention as viewed from the direction of the process gas inlet,
FIG. 4 is a cross-sectional view of the outer cold housing taken along the longitudinal direction in FIG. 3,
[Fig. 5] is a state of use viewed from the front of Fig. 4,
FIG. 6 is an exemplary diagram illustrating a part of the inner cold housing according to the present invention taken from different angles; FIG.
FIG. 7 is an exemplary view showing a part of the center cold housing according to the present invention, taken from different angles; FIG.
[8] FIG. 8 is an exemplary view showing an outer cold housing according to the present invention taken from different angles.

이하, 도면을 참조하여 본 발명을 상세히 설명한다.Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

[도 2]는 본 발명에 따른 공정가스 반응물의 콜드트랩 장치를 공정가스 배출부 방향에서 바라 본 사시도이고, [도 3]은 본 발명에 따른 공정가스 반응물의 콜드트랩 장치를 공정가스 인입부 방향에서 바라 본 사시도이고, [도 4]는 [도 3]에서 아우터 콜드하우징의 길이방향을 따라 중앙부를 절개한 단면도이고, [도 5]는 [도 4]의 정면에서 바라 본 사용상태도이다.FIG. 2 is a perspective view of the cold trap device of the process gas reactant according to the present invention as viewed from the direction of the process gas discharge port. FIG. 3 is a schematic view of the cold trap device of the process gas reactant according to the present invention, FIG. 4 is a cross-sectional view of the outer cold housing taken along the longitudinal direction in FIG. 3, and FIG. 5 is a view of the state of use seen from the front of FIG.

[도 2] 내지 [도 5]를 참조하면, 본 발명에 따른 공정가스 반응물의 콜드트랩 장치는 바람직하게는 아우터 콜드하우징(100), 이너 콜드하우징(200), 밀폐캡(300), 센터 콜드하우징(400), 공정가스 인렛캡(500), 외곽 콜드하우징(600)을 포함하여 구성된다.Referring to FIGS. 2 to 5, the cold trap device for a process gas reactant according to the present invention preferably includes an outer cold housing 100, an inner cold housing 200, a sealing cap 300, A housing 400, a process gas inlet cap 500, and an outer cold housing 600.

아우터 콜드하우징(100)은 쿨링에 의해 몸체의 낮은 온도를 유지하는 속이 빈 튜브 형태로 이루어진다.The outer cold housing 100 is formed in a hollow tube shape that maintains a low temperature of the body by cooling.

그리고, 아우터 콜드하우징(100)은 공정가스 인렛캡(500)과 연결되는 단부가 외향하는 플랜지부가 형성됨에 따라 그 플랜지부와 공정가스 인렛캡(500)의 테두리가 맞물린 상태에서 클램프(C)에 의해 착탈가능하게 고정된다.The outer cold housing 100 is formed with an outward flange portion connected to the process gas inlet cap 500 so that the flange portion and the process gas inlet cap 500 are engaged with the clamp C As shown in Fig.

이너 콜드하우징(200)은 외벽이 아우터 콜드하우징(100)의 내벽과 소정 거리 이격되도록 아우터 콜드하우징(100)의 내측에 배치되며 [도 5]에서와 같이 쿨링에 의해 몸체의 낮은 온도를 유지하는 속이 빈 공간(이하, '제 1 콜드영역'이라 함)을 형성하는 튜브 형태로 이루어진다.The inner cold housing 200 is disposed inside the outer cold housing 100 such that the outer wall of the inner cold housing 200 is spaced apart from the inner wall of the outer cold housing 100 by a predetermined distance (Hereinafter, referred to as a "first cold region").

이너 콜드하우징(200)은 몸체의 길이방향을 따라 다단으로 구획된 속이 빈 영역을 형성하도록 복수 개의 이너 격벽(210)이 몸체의 둘레방향을 따라 다단으로 형성된다.The inner cold housing 200 has a plurality of inner barrier ribs 210 formed in a plurality of steps along the circumferential direction of the body so as to form a hollow space partitioned into multiple stages along the longitudinal direction of the body.

그리고, 이너 격벽(210)에는 냉매가 몸체의 길이방향을 따라 다단으로 구획된 속이 빈 영역을 소통하도록 이너 격벽 통기부(211)가 형성된다.The inner partition wall 210 is formed with an inner partition wall vent 211 so that the coolant communicates with a hollow space partitioned into multiple stages along the longitudinal direction of the body.

이때, 이너 격벽 통기부(211)는 복수 개의 이너 격벽(210)에 각각 형성되며, 이너 콜드하우징(200)의 길이방향을 따라 지그재그로 형태로 배치됨에 따라 이너 콜드하우징(200)의 내측으로 인입된 냉매가 다단으로 구획된 속이 빈 영역을 이동할 때 이너 콜드하우징(200)의 길이방향을 따라 지그재그 형태로 이동하도록 구성된다.At this time, the inner partition wall vent 211 is formed in each of the plurality of inner partition walls 210 and is arranged in a zigzag shape along the longitudinal direction of the inner cold housing 200, so that the inner partition wall vent 211 is drawn into the inner cold housing 200 The refrigerant is moved in a zigzag manner along the longitudinal direction of the inner cold housing 200 when the refrigerant moves in the hollow space defined by the multi-stages.

이너 격벽(210)과 이너 격벽 통기부(211)의 배치 구조에 대해서는 아래 [도 6]을 참조하여 보다 구체적으로 설명한다.The arrangement of the inner barrier rib 210 and the inner barrier rib vent 211 will be described in more detail with reference to Fig. 6 below.

한편, 이너 콜드하우징(200)은 이너 하우징 내통부(201)와 이너 하우징 외통부(202)의 2겹으로 이루어지는데, 이너 하우징 내통부(201)의 말단에는 공정가스 배출부(310)가 돌출 형성된다. 여기서, 공정가스 배출부(310)는 이너 하우징 내통부(201)와 일체로 제작될 수도 있고, 별도의 공정으로 연결될 수도 있다. The inner cold housing 200 is formed of two layers of the inner housing inner tube portion 201 and the inner housing outer tube portion 202. At the end of the inner housing inner tube portion 201, do. Here, the process gas discharging unit 310 may be integrally formed with the inner housing inner tube 201, or may be connected by a separate process.

밀폐캡(300)은 이너 콜드하우징(200)의 일단부와 이너 콜드하우징(200)의 일단부에 인접하는 아우터 콜드하우징(100)의 일단부 사이를 차폐시키는 도넛형의 플레이트로 이루어진다.The sealing cap 300 is formed of a donut-shaped plate that shields between one end of the inner cold housing 200 and one end of the outer cold housing 100 adjacent to the one end of the inner cold housing 200.

센터 콜드하우징(400)은 쿨링에 의해 몸체의 낮은 온도를 유지하는 속이 빈 튜브 형태로 이루어지며, [도 5]에서와 같이 외벽이 아우터 콜드하우징(100)의 내벽과 소정 거리 이격(이하, '제 2 콜드영역'이라 함)되고 내벽이 이너 콜드하우징(200)의 외벽과 소정 거리 이격(이하, '제 3 콜드영역'이라 함)되며 밀폐캡(300)에 인접하는 선단부가 밀폐캡(300)과 이격되도록 배치된다.5, the center cold housing 400 is spaced a predetermined distance from the inner wall of the outer cold housing 100, as shown in FIG. 5, (Hereinafter, referred to as a "third cold region"), and a front end portion adjacent to the sealing cap 300 is positioned at a predetermined distance from the sealing cap 300 .

센터 콜드하우징(400)은 몸체의 길이방향을 따라 다단으로 구획된 속이 빈 영역을 형성하도록 복수 개의 센터 격벽(410)이 몸체의 둘레방향을 따라 다단으로 형성된다.The center cold housing 400 has a plurality of center partitions 410 formed in multiple stages along the circumferential direction of the body so as to form a hollow space partitioned into multiple stages along the longitudinal direction of the body.

그리고, 센터 격벽(410)에는 냉매가 몸체의 길이방향을 따라 다단으로 구획된 속이 빈 영역을 소통하도록 센터 격벽 통기부(411)가 형성된다.The center partition wall 410 is formed with a center partition wall vent 411 so that refrigerant communicates a hollow space partitioned into multiple stages along the longitudinal direction of the body.

이때, 센터 격벽 통기부(411)는 복수 개의 센터 격벽(410)에 형성되며, 센터 콜드하우징(400)의 길이방향을 따라 지그재그 형태로 배치됨에 따라 센터 콜드하우징(400)의 내측으로 인입된 냉매가 다단으로 구획된 속이 빈 영역을 이동할 때 센터 콜드하우징(400)의 길이방향을 따라 지그재그 형태로 이동하도록 구성된다.At this time, the center partition wall vent part 411 is formed in a plurality of the center partition walls 410 and arranged in a zigzag form along the longitudinal direction of the center cold housing 400, so that the refrigerant drawn into the center cold housing 400 Is configured to move in a zigzag fashion along the longitudinal direction of the center cold housing 400 when moving in a hollow space partitioned by multiple stages.

센터 격벽(410)과 센터 격벽 통기부(411)의 배치 구조에 대해서는 아래 [도 7]을 참조하여 보다 구체적으로 설명한다.The arrangement structure of the center partition wall 410 and the center partition wall vent 411 will be described in more detail with reference to Fig. 7 below.

공정가스 인렛캡(500)은 밀폐캡(300)에 대향하는 아우터 콜드하우징(100)의 일단부와 그 아우터 콜드하우징(100)의 일단부에 인접하는 센터 콜드하우징(400)의 일단부를 차폐시키며 밀폐캡(300)에 대향하는 이너 콜드하우징(200)의 일단부와 소정 거리 이격 배치됨에 따라 외부로부터 인입된 고온의 공정가스가 제 2 콜드영역(S2), 제 3 콜드영역(S3), 제 1 콜드영역(S1)을 순차적으로 경유하면서 그 인입된 공정가스 내의 반응물을 트랩하도록 한다.The process gas inlet cap 500 shields one end of the outer cold housing 100 facing the sealing cap 300 and one end of the center cold housing 400 adjacent to the one end of the outer cold housing 100 The high temperature process gas introduced from the outside is disposed in the second cold region S2, the third cold region S3, the third cold region S3, and the third cold region S3, which are arranged at a predetermined distance from the one end of the inner cold housing 200, 1 cold region S1 to trap the reactants in the introduced process gas.

공정가스 인렛캡(500)이 아우터 콜드하우징(100)과 마주하는 일면에는 공정가스 분배부(520)가 일체로 형성된다.A process gas distributor 520 is integrally formed on one surface of the process gas inlet cap 500 facing the outer cold housing 100.

공정가스 분배부(520)는 외부로부터 인입된 고온의 공정가스를 콜드트랩 장치 내에서 분산시키는데, 1차적으로 제 1 콜드영역으로 진입할 수 있도록 공정가스 분배부(520)는 [도 4]와 [도 5]에서와 같이 속이 빈 블록 형태로 이루어지고 제 1 콜드영역으로 통하는 복수 개의 통공이 형성된다.The process gas distributor 520 disperses the high-temperature process gas introduced from the outside into the cold trap device. In order to allow the process gas distributor 520 to first enter the first cold region, As shown in FIG. 5, a plurality of through holes are formed in a hollow block shape and leading to the first cold region.

외곽 콜드하우징(600)은 아우터 콜드하우징(100)의 외벽을 감싸는 형태로 배치되며 내측을 출입하는 냉매를 통해 아우터 콜드하우징(100)을 쿨링에 의해 낮은 온도로 유지시킨다.The outer cold housing 600 surrounds the outer wall of the outer cold housing 100 and maintains the outer cold housing 100 at a low temperature by cooling through the coolant entering and exiting the inner cold housing 100.

외곽 콜드하우징(600)은 아우터 콜드하우징(100)의 길이방향을 따라 다단으로 구획된 속이 빈 공간을 형성하도록 복수 개의 외곽 격벽(610)이 아우터 콜드하우징(100)의 둘레방향을 따라 다단으로 형성된다.The outer cold housing 600 has a plurality of outer perimeter walls 610 formed in multiple stages along the circumferential direction of the outer cold housing 100 so as to form a hollow space partitioned into multiple stages along the longitudinal direction of the outer cold housing 100 do.

그리고, 외곽 격벽(610)에는 아우터 콜드하우징(100)의 길이방향을 따라 다단으로 구획된 속이 빈 공간을 소통하도록 외곽 격벽(610)에는 냉매소통부(611)가 형성된다.A refrigerant communication portion 611 is formed in the outer partition wall 610 so as to communicate with the hollow space partitioned by the multi-stages along the longitudinal direction of the outer cold housing 100.

이때, 냉매소통부(611)는 복수 개의 외곽 격벽(610)에 형성되며, 아우터 콜드하우징(100)의 길이방향을 따라 지그재그 형태로 배치됨에 따라 외곽 콜드하우징(600)의 내측으로 인입된 냉매가 다단으로 구획된 속이 빈 공간을 이동할 때 아우터 콜드하우징(100)의 길이방향을 따라 지그재그 형태로 이동하도록 구성된다.At this time, the refrigerant communication portion 611 is formed in the plurality of outer partition walls 610 and arranged in a zigzag shape along the longitudinal direction of the outer cold housing 100, so that the refrigerant drawn into the outer cold housing 600 And is configured to move in a staggered shape along the longitudinal direction of the outer cold housing 100 when the hollow defined by the multistage moves in the hollow space.

외곽 격벽(610)과 외곽 격벽 통기부(611)의 배치 구조에 대해서는 아래 [도 8]을 참조하여 보다 구체적으로 설명한다.The arrangement structure of the outer partition wall 610 and the outer partition wall vent portion 611 will be described in more detail with reference to Fig. 8 below.

[도 6]은 본 발명에 따른 이너 콜드하우징의 일부 구성을 발췌하여 상호 다른 각도에서 도시한 예시도이다.FIG. 6 is an exemplary view showing a part of the inner cold housing according to the present invention taken from different angles. FIG.

[도 6]을 참조하면, 이너 콜드하우징(200)은 이너 하우징 내통부(201)의 길이방향을 따라 다단으로 복수 개의 이너 격벽(210)을 구비하고, 이너 하우징 내통부(201)의 길이방향을 따라 각각의 이너 격벽(210)을 가로지르는 이너 격벽 크로스리브(220)가 구비된다.6, the inner cold housing 200 includes a plurality of inner barrier ribs 210 in a plurality of stages along the longitudinal direction of the tubular member 201 in the inner housing, And an inner barrier rib cross rib 220 crossing each of the inner barrier ribs 210 is provided.

이 상태에서 이너 하우징 외통부(202)가 끼워지면 이너 콜드하우징(200)은 이너 격벽 크로스 리브(220)를 기준으로 좌측영역과 우측영역으로 각각 구획된다.The inner cold housing 200 is divided into the left side region and the right side region with respect to the inner partition rib cross rib 220.

그 결과, 좌측영역으로 냉매가 주입되면 이너 콜드하우징(200)의 길이방향으로 다라 이동하는 냉매가 다시 거꾸로 우측영역으로 이동하게 된다.As a result, when the refrigerant is injected into the left region, the refrigerant moving in the longitudinal direction of the inner cold housing 200 moves back to the right region again.

이렇게 이너 격벽 크로스 리브(220)를 기준으로 이너 콜드하우징(200)의 길이방향을 따라 좌측영역과 우측영역에서 왕복으로 냉매가 흐를 때, 그 냉매는 지그재그 형태로 흐르게 되어 이너 격벽(210)에 의해 구획되는 다단의 영역에서 냉매의 이동이 지체되고 결국 이너 콜드하우징(200)의 전체 부분이 골고루 냉각될 수 있다.When the refrigerant flows reciprocally in the left and right regions along the longitudinal direction of the inner cold housing 200 with reference to the inner partition rib cross rib 220, the refrigerant flows in a staggered manner, The movement of the refrigerant in the multi-stage region to be partitioned is retarded and the entire portion of the inner cold housing 200 can be cooled uniformly.

여기서, 냉매가 이너 콜드하우징(200)의 내측에서 지그재로 형태로 이동할 수 있도록 이너 격벽 통기부(211)는 복수 개의 이너 격벽(210)에 각각 형성되되 [도 6]에서와 같이 이너 콜드하우징(200)의 길이방향을 따라 지그재그로 형태로 배치된다.Here, the inner partition wall vent 211 is formed in the plurality of inner partition walls 210 so that the coolant can move in the form of a jig from the inside of the inner cold housing 200, as shown in FIG. 6 Are arranged in a staggered shape along the longitudinal direction of the body 200.

이때, 이너 격벽 통기부(211)는 [도 6]에서와 같이 관통된 구멍 형태로 구성될 수도 있고, 절개된 슬릿 형태로 구성될 수도 있다.At this time, the inner partition wall vent 211 may be formed as a hole penetrating as shown in FIG. 6, or may be formed in the form of an incised slit.

만일, 냉매가 이너 콜드하우징(200)을 길이방향을 따라 그대로 진행한다면 냉매는 이너 콜드하우징(200)을 충분히 냉각시키지 않은 상태로 순환하는 과정을 거치게 되어 에너지 효율이 현저히 떨어지게 되고, 이너 콜드하우징(200) 자체에서도 냉각의 정도가 부분적으로 다르게 되기 때문에 콜드트랩 장치를 경유하는 공정가스로부터 반응물을 포집하는 효율도 떨어질 수 밖에 없다.If the refrigerant continues along the longitudinal direction of the inner cold housing 200, the refrigerant is circulated in a state without sufficiently cooling the inner cold housing 200, so that the energy efficiency is significantly lowered, and the inner cold housing 200 200, the efficiency of collecting the reactants from the process gas passing through the cold trap apparatus is inevitably lowered.

[도 7]은 본 발명에 따른 센터 콜드하우징의 일부 구성을 발췌하여 상호 다른 각도에서 도시한 예시도이다.[Fig. 7] Fig. 7 is an exemplary view showing a part of the center cold housing according to the present invention, taken from different angles.

[도 7]을 참조하면, 센터 콜드하우징(400)은 센터 하우징 내통부(201)의 길이방향을 따라 다단으로 복수 개의 센터 격벽(410)을 구비하고, 센터 하우징 내통부(401)의 길이방향을 따라 각각의 센터 격벽(410)을 가로지르는 센터 격벽 크로스리브(420)가 구비된다.7, the center cold housing 400 includes a plurality of center partition walls 410 in a plurality of stages along the longitudinal direction of the tube housing 201 in the longitudinal direction of the center housing inner tube 401, The center rib cross ribs 420 crossing the respective center ribs 410 are provided.

이 상태에서 센터 하우징 외통부(402)가 끼워지면 센터 콜드하우징(400)은 센터 격벽 크로스 리브(420)를 기준으로 좌측영역과 우측영역으로 각각 구획된다.When the center housing outer tube 402 is inserted in this state, the center cold housing 400 is divided into a left side region and a right side region with respect to the center rib cross rib 420.

그 결과, 좌측영역으로 냉매가 주입되면 센터 콜드하우징(400)의 길이방향으로 다라 이동하는 냉매가 다시 거꾸로 우측영역으로 이동하게 된다.As a result, when the refrigerant is injected into the left region, the refrigerant moving in the longitudinal direction of the center cold housing 400 moves back to the right region again.

이처럼, 센터 격벽 크로스 리브(420)를 기준으로 센터 콜드하우징(400)의 길이방향을 따라 좌측영역과 우측영역에서 왕복으로 냉매가 흐를 때, 그 냉매는 지그재그 형태로 흐르게 되어 센터 격벽(410)에 의해 구획되는 다단의 영역에서 냉매의 이동이 지체되고 결국 센터 콜드하우징(400)의 전체 부분이 골고루 냉각될 수 있다.When the refrigerant flows in a reciprocating manner in the left and right regions along the longitudinal direction of the center cold housing 400 with respect to the center rib cross ribs 420, the refrigerant flows in a staggered shape, The movement of the refrigerant is retarded in the multi-stage region defined by the center cold housing 400 and the whole portion of the center cold housing 400 can be cooled uniformly.

여기서, 냉매가 센터 콜드하우징(400)의 내측에서 지그재로 형태로 이동할 수 있도록 센터 격벽 통기부(411)는 복수 개의 센터 격벽(410)에 각각 형성되되 [도 7]에서와 같이 센터 콜드하우징(400)의 길이방향을 따라 지그재그로 형태로 배치된다.Here, the center partition wall vent part 411 is formed on the plurality of center partitions 410 so that the coolant can move in the form of a jig from the inside of the center cold housing 400, Are arranged in a zigzag shape along the longitudinal direction of the base plate 400.

이때, 센터 격벽 통기부(411)는 [도 7]에서와 같이 관통된 구멍 형태로 구성될 수도 있고, 절개된 슬릿 형태로 구성될 수도 있다.At this time, the center partition wall vent 411 may be formed in the form of a hole penetrating as shown in FIG. 7, or may be formed in the form of an incised slit.

여기서도 만일, 냉매가 센터 콜드하우징(400)을 길이방향을 따라 그대로 진행한다면 냉매는 센터 콜드하우징(400)을 충분히 냉각시키지 않은 상태로 순환하는 과정을 거치게 되어 에너지 효율이 현저히 떨어지게 되고, 센터 콜드하우징(400) 자체에서도 냉각의 정도가 부분적으로 다르게 되기 때문에 콜드트랩 장치를 경유하는 공정가스로부터 반응물을 포집하는 효율도 떨어질 수 밖에 없다.In this case, if the coolant continues to travel along the longitudinal direction of the center cold housing 400, the coolant is circulated without sufficiently cooling the center cold housing 400, resulting in a significant reduction in energy efficiency, The efficiency of collecting the reactants from the process gas passing through the cold trap device is inevitably lowered because the degree of cooling is partially different even in the reactor 400 itself.

[도 8]은 본 발명에 따른 외곽 콜드하우징을 발췌하여 상호 다른 각도에서 도시한 예시도이다.[8] FIG. 8 is an exemplary view showing an outer cold housing according to the present invention taken from different angles.

[도 8]을 참조하면, 외곽 콜드하우징(600)은 아우터 콜드하우징(100)의 길이방향을 따라 다단으로 복수 개의 외곽 격벽(610)을 구비하고, 아우터 콜드하우징(100)의 길이방향을 따라 각각의 외곽 격벽(610)을 가로지르는 외곽 격벽 크로스리브(420)가 구비된다.8, the outer cold housing 600 includes a plurality of outer barrier ribs 610 in a plurality of stages along the longitudinal direction of the outer cold housing 100, and includes a plurality of outer barrier ribs 610 along the longitudinal direction of the outer cold housing 100, Outer crossbar cross ribs 420 crossing the respective outer barrier ribs 610 are provided.

이 상태로 아우터 콜드하우징(100)의 외표면에 장착되면 외각 콜드하우징(600)은 외곽 격벽 크로스 리브(620)를 기준으로 좌측영역과 우측영역으로 각각 구획된다.When the outer cold housing 600 is mounted on the outer surface of the outer cold housing 100 in this state, the outer cold housing 600 is divided into a left side region and a right side region with reference to the outer side partition rib cross rib 620.

그 결과, 좌측영역으로 냉매가 주입되면 자신 몸체의 길이방향으로 다라 이동하는 냉매가 다시 거꾸로 우측영역으로 이동하게 된다.As a result, when the refrigerant is injected into the left region, the refrigerant moving in the longitudinal direction of the body moves back to the right region again.

이처럼, 외곽 격벽 크로스 리브(620)를 기준으로 아우터 콜드하우징(100)의 길이방향을 따라 좌측영역과 우측영역에서 왕복으로 냉매가 흐를 때, 그 냉매는 지그재그 형태로 흐르게 되어 외곽 격벽(610)에 의해 구획되는 다단의 영역에서 냉매의 이동이 지체되고 결국 아우터 콜드하우징(100)의 전체 부분이 골고루 냉각될 수 있다.When the refrigerant flows reciprocally in the left and right regions along the longitudinal direction of the outer cold housing 100 with reference to the outer partition rib cross rib 620, the refrigerant flows in a staggered shape, and flows into the outer partition wall 610 The movement of the refrigerant is retarded in the multi-stage region defined by the outer cold housing 100 and the entire portion of the outer cold housing 100 can be uniformly cooled.

여기서, 냉매가 외곽 콜드하우징(600)의 내측에서 지그재로 형태로 이동할 수 있도록 냉매소통부(611)는 복수 개의 외곽 격벽(610)에 각각 형성되되 [도 8]에서와 같이 아우터 콜드하우징(600)의 길이방향을 따라 지그재그로 형태로 배치된다.Here, the refrigerant communication portion 611 is formed in the plurality of outer partition walls 610 so that the refrigerant can move from the inside of the outer cold housing 600 to the shape of the jig as shown in FIG. 8, 600 in the zigzag shape along the longitudinal direction.

이때, 냉매소통부(611)는 [도 8]에서와 같이 관통된 구멍 형태로 구성될 수도 있고, 절개된 슬릿 형태로 구성될 수도 있다.At this time, the refrigerant communication portion 611 may be formed in the form of a hole penetrating as shown in FIG. 8, or may be formed in the form of a slit that is cut.

여기서도 만일, 냉매가 외곽 콜드하우징(600)을 길이방향을 따라 그대로 진행한다면 냉매는 아우터 콜드하우징(100)을 충분히 냉각시키지 않은 상태로 순환하는 과정을 거치게 되어 에너지 효율이 현저히 떨어지게 되고, 아우터 콜드하우징(100) 자체에서도 냉각의 정도가 부분적으로 다르게 되기 때문에 콜드트랩 장치를 경유하는 공정가스로부터 반응물을 포집하는 효율도 크게 떨어질 수 밖에 없는 문제가 있다.In this case, if the coolant continues to travel along the longitudinal direction of the outer cold housing 600, the coolant is circulated without sufficiently cooling the outer cold housing 100, resulting in a significant reduction in energy efficiency, The efficiency of collecting the reactants from the process gas passing through the cold trap device is also greatly reduced because the degree of cooling is partially different in the process chamber 100 itself.

정리하면, 본 발명은 [도 4]와 [도 5]에서와 같이 공정가스 인입부(510)를 통해 콜드트랩 장치에 인입된 고온의 공정가스가 아우터 콜드하우징(100), 센터 콜드하우징(400), 이너 콜드하우징(200) 이루는 제 2 콜드영역, 제 3 콜드영역, 제 1 콜드영역을 경유하도록 하여 콜드트랩 장치 내에 머무르는 시간을 오래 유지시켜 공정가스 내의 반응물을 효율적으로 포집할 수 있다.In summary, according to the present invention, the high-temperature process gas introduced into the cold trap device through the process gas inlet 510 is supplied to the outer cold housing 100, the center cold housing 400 ), The second cold region, the third cold region, and the first cold region formed by the inner cold housing 200 can be maintained for a long time in the cold trap apparatus, thereby efficiently collecting the reactants in the process gas.

그리고, 콜드트랩 장치에 머무르는 공정가스를 효율적으로 냉각시킬 수 있도록 앞서 살펴본 [도 6] 내지 [도 8]에서와 같이 이너 콜드하우징(200), 센터 콜드하우징(400), 외곽 콜드하우징(600)을 이동하는 냉매가 다단의 격벽(210, 410, 610)에 지그재그 패턴으로 배치된 통기부(211, 411)와 냉매소통부(611)를 통해 지그재그 패턴으로 이동하도록 구성하였다.8, the inner cold housing 200, the center cold housing 400, the outer cold housing 600, and the outer cold housing 600 can be efficiently cooled as shown in FIGS. 6 to 8 so as to efficiently cool the process gas staying in the cold trap apparatus. The refrigerant moving through the refrigerant communication portion 611 moves in a zigzag pattern through the vent portions 211 and 411 arranged in a zigzag pattern on the multi-stage partition walls 210, 410 and 610 and the refrigerant communication portion 611. [

한편, 도면부호 P는 냉매를 이동시키는 냉매호스를 나타내고, 도면부호 L1은 외부로부터 센터 콜드하우징(400)에 냉매를 주입시키는 냉매인렛부를 나타내며, 도면부호 L2는 센터 콜드하우징(400)을 이동한 냉매의 순환을 위해 외부로 배기되도록 하는 냉매아웃렛부를 나타낸다.Reference symbol P designates a refrigerant hose for moving the refrigerant. Reference symbol L1 designates a refrigerant inlet portion for injecting the refrigerant from the outside into the center cold housing 400. Reference numeral L2 designates a position where the center cold housing 400 is moved And a refrigerant outlet portion for discharging the refrigerant to the outside for circulation of the refrigerant.

100 : 아우터 콜드하우징
200 : 이너 콜드하우징
201 : 이너 하우징 내통부
202 : 이너 하우징 외통부
210 : 이너 격벽
211 : 이너 격벽 통기부
220 : 크로스 이너 격벽
300 : 밀폐캡
310 : 공정가스 배출부
400 : 센터 콜드하우징
401 : 센터 하우징 내통부
402 : 센터 하우징 외통부
410 : 센터 격벽
411 : 센터 격벽 통기부
420 : 크로스 센터 격벽
500 : 공정가스 인렛캡
510 : 공정가스 인입부
520 : 공정가스 분배부
600 : 외곽 콜드하우징
610 : 외곽 격벽
611 : 냉매소통부
620 : 외곽 격벽 크로스리브
P : 냉매호스
L1 : 냉매인렛부
L2 : 냉매아웃렛부
C : 클램프
S1 : 제 1 콜드영역
S2 : 제 2 콜드영역
S3 : 제 3 콜드영역100: outer cold housing
200: Inner cold housing
201: Inner housing inner sleeve
202: Inner housing outer tube
210: inner barrier rib
211: inner partition wall vent portion
220: Cross-Inner bulkhead
300: sealing cap
310: Process gas outlet
400: Center cold housing
401: Cylinders in the center housing
402: Center housing outer tube
410:
411: Center bulkhead vent section
420: cross center bulkhead
500: Process gas inlet cap
510: Process gas inlet
520: process gas distributor
600: Outside cold housing
610: outer bulkhead
611: Refrigerant communication section
620: outer ribbed cross rib
P: Refrigerant hose
L1: refrigerant inlet portion
L2: refrigerant outlet portion
C: Clamp
S1: first cold zone
S2: second cold zone
S3: third cold zone

Claims (6)

쿨링에 의해 몸체의 낮은 온도를 유지하는 속이 빈 튜브 형태의 아우터 콜드하우징(100);
외벽이 상기 아우터 콜드하우징의 내벽과 소정 거리 이격되도록 상기 아우터 콜드하우징의 내측에 배치되며 쿨링에 의해 몸체의 낮은 온도를 유지하는 속이 빈 공간(이하, '제 1 콜드영역'이라 함)을 형성하는 튜브 형태로 이루어지고, 몸체의 길이방향을 따라 다단으로 구획된 속이 빈 영역을 형성하도록 복수 개의 이너 격벽(210)이 몸체의 둘레방향을 따라 다단으로 형성되며, 냉매가 몸체의 길이방향을 따라 상기 다단으로 구획된 속이 빈 영역을 소통하도록 상기 이너 격벽에는 이너 격벽 통기부(211)가 형성되는 이너 콜드하우징(200);
상기 이너 콜드하우징의 일단부와 상기 이너 콜드하우징의 일단부에 인접하는 상기 아우터 콜드하우징의 일단부 사이를 차폐시키는 밀폐캡(300);
쿨링에 의해 몸체의 낮은 온도를 유지하는 속이 빈 튜브 형태로 이루어지며, 외벽이 상기 아우터 콜드하우징의 내벽과 소정 거리 이격(이하, '제 2 콜드영역'이라 함)되고 내벽이 상기 이너 콜드하우징의 외벽과 소정 거리 이격(이하, '제 3 콜드영역'이라 함)되며 상기 밀폐캡에 인접하는 선단부가 상기 밀폐캡과 이격되도록 배치되는 센터 콜드하우징(400);
상기 밀폐캡에 대향하는 상기 아우터 콜드하우징의 일단부와 그 아우터 콜드하우징의 일단부에 인접하는 상기 센터 콜드하우징의 일단부를 차폐시키며 상기 밀폐캡에 대향하는 상기 이너 콜드하우징의 일단부와 소정 거리 이격 배치됨에 따라 외부로부터 인입된 고온의 공정가스가 상기 제 2 콜드영역, 상기 제 3 콜드영역, 상기 제 1 콜드영역을 순차적으로 경유하면서 그 인입된 공정가스 내의 반응물을 트랩하도록 하는 공정가스 인렛캡(500);
을 포함하여 구성되는 공정가스 반응물의 콜드트랩 장치.
A hollow tube type outer cold housing 100 that maintains a low temperature of the body by cooling;
(Hereinafter, referred to as 'first cold region') which is disposed inside the outer cold housing such that the outer wall is spaced apart from the inner wall of the outer cold housing by a predetermined distance and which maintains a low temperature of the body by cooling A plurality of inner barrier ribs 210 are formed in a plurality of stages along the circumferential direction of the body so as to form a hollow space divided into a plurality of stages along the longitudinal direction of the body, An inner cold housing (200) in which an inner partition wall vent part (211) is formed in the inner partition wall so as to communicate with hollow spaces partitioned by multiple stages;
A sealing cap (300) for shielding between one end of the inner cold housing and one end of the outer cold housing adjacent to the one end of the inner cold housing;
(Hereinafter, referred to as a "second cold region"), and an inner wall of the inner cold housing is formed in a hollow tube shape that maintains a low temperature of the body by cooling. The outer wall is spaced apart from the inner wall of the outer cold housing A center cold housing 400 spaced apart from the outer wall by a predetermined distance (hereinafter, referred to as a 'third cold region') and disposed such that a tip portion adjacent to the sealed cap is spaced apart from the sealed cap;
And a first end of the outer cold housing facing the sealing cap and a second end of the center cold housing adjacent to the first end of the outer cold housing and spaced apart from the one end of the inner cold housing opposite to the sealing cap by a predetermined distance A process gas inlet cap (not shown) for trapping the reactants in the introduced process gas while sequentially passing through the second cold region, the third cold region, and the first cold region, 500);
Wherein the process gas reactant is a cold gas.
삭제delete 청구항 1에 있어서,
상기 복수 개의 이너 격벽(210)에 형성되는 각각의 상기 이너 격벽 통기부(211)는 상기 이너 콜드하우징의 길이방향을 따라 지그재그로 형태로 배치되어 상기 이너 콜드하우징의 내측으로 인입된 냉매가 상기 다단으로 구획된 속이 빈 영역을 이동할 때 상기 이너 콜드하우징의 길이방향을 따라 지그재그 형태로 이동하도록 하는 것을 특징으로 하는 공정가스 반응물의 콜드트랩 장치.
The method according to claim 1,
Each of the inner partition wall vent portions 211 formed in the plurality of inner barrier ribs 210 is arranged in a staggered shape along the longitudinal direction of the inner cold housing, so that the refrigerant drawn into the inner cold housing is divided into the multi- To move in a zigzag fashion along the longitudinal direction of the inner cold housing when moving in a hollow space defined by the inner cold housing.
청구항 1에 있어서,
상기 센터 콜드하우징(400)은 몸체의 길이방향을 따라 다단으로 구획된 속이 빈 영역을 형성하도록 복수 개의 센터 격벽(410)이 몸체의 둘레방향을 따라 다단으로 형성되며, 냉매가 몸체의 길이방향을 따라 상기 다단으로 구획된 속이 빈 영역을 소통하도록 상기 센터 격벽에는 센터 격벽 통기부(411)가 형성되는 것을 특징으로 하는 공정가스 반응물의 콜드트랩 장치.
The method according to claim 1,
The center cold housing 400 has a plurality of center partitions 410 formed in multiple stages along the circumferential direction of the body so that the center cold housing 400 forms a hollow space partitioned into multiple stages along the longitudinal direction of the body, And a center partition wall vent part (411) is formed in the center partition wall so as to communicate with the hollow areas partitioned by the multi-stages.
청구항 4에 있어서,
상기 복수 개의 센터 격벽(410)에 형성되는 각각의 상기 센터 격벽 통기부(411)는 상기 센터 콜드하우징의 길이방향을 따라 지그재그 형태로 배치되어 상기 센터 콜드하우징의 내측으로 인입된 냉매가 상기 다단으로 구획된 속이 빈 영역을 이동할 때 상기 센터 콜드하우징의 길이방향을 따라 지그재그 형태로 이동하도록 하는 것을 특징으로 하는 공정가스 반응물의 콜드트랩 장치.
The method of claim 4,
Each of the center partition wall vent portions 411 formed in the plurality of center partition walls 410 is arranged in a staggered shape along the longitudinal direction of the center cold housing so that the refrigerant introduced into the center cold housing is divided into the multi- So as to move in a zigzag fashion along the longitudinal direction of the center cold housing when the partitioned hollow area moves.
청구항 1, 3, 4, 5 중 어느 하나의 항에 있어서,
상기 아우터 콜드하우징의 외벽을 감싸는 형태로 배치되며 내측을 출입하는 냉매를 통해 상기 아우터 콜드하우징을 쿨링에 의해 낮은 온도로 유지시키는 외곽 콜드하우징(600);
을 더 포함하여 구성되고,
상기 외곽 콜드하우징(600)은 상기 아우터 콜드하우징의 길이방향을 따라 다단으로 구획된 속이 빈 공간을 형성하도록 복수 개의 외곽 격벽(610)이 상기 아우터 콜드하우징의 둘레방향을 따라 다단으로 형성되며, 냉매가 상기 아우터 콜드하우징의 길이방향을 따라 상기 다단으로 구획된 속이 빈 공간을 소통하도록 상기 외곽 격벽에는 냉매소통부(611)가 형성되며,
상기 복수 개의 외곽 격벽(610)에 형성되는 각각의 상기 냉매소통부(611)는 상기 아우터 콜드하우징의 길이방향을 따라 지그재그 형태로 배치되어 상기 외곽 콜드하우징의 내측으로 인입된 냉매가 상기 다단으로 구획된 속이 빈 공간을 이동할 때 상기 아우터 콜드하우징의 길이방향을 따라 지그재그 형태로 이동하도록 하는 것을 특징으로 하는 공정가스 반응물의 콜드트랩 장치.The method according to any one of claims 1, 3, 4, and 5,
An outer cold housing 600 arranged to surround the outer wall of the outer cold housing and maintaining the outer cold housing at a low temperature by cooling through a refrigerant entering and exiting the inner cold housing;
Further comprising:
The outer cold housing 600 has a plurality of outer peripheries 610 formed in multiple stages along the circumferential direction of the outer cold housing so as to form a hollow space partitioned into multiple stages along the longitudinal direction of the outer cold housing, A refrigerant communication part 611 is formed in the outer peripheral partitions so as to communicate with the hollow space partitioned by the multi-stages along the longitudinal direction of the outer cold housing,
Each of the refrigerant communication portions 611 formed in the plurality of outer partition walls 610 is arranged in a zigzag shape along the longitudinal direction of the outer cold housing so that the refrigerant drawn into the outer cold housing is divided into the multi- Wherein the moving means moves in a zigzag manner along the longitudinal direction of the outer cold housing when the hollow is moved in the hollow space.
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