KR101647228B1 - Humidity measuring apparatus and improvement method for measuring degree thereof - Google Patents

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Abstract

본 발명의 일 실시예에 따르면, 연속소둔로의 습도제어에 사용되는 노점센서의 정도 저하 시 연속적인 측정을 위해 타측정 라인으로 자동전환되고, 전환된 측정라인은 연속적으로 소둔로내의 노점을 측정할 수 있으며, 측정모드에서 교정모드로 전환된 측정라인은 습도발생기를 통한 습도를 투입하여 자동교정 할 수 있는 습도 측정 장치 및 이의 측정 정도 향상 방법이 제공된다.According to one embodiment of the present invention, the dew point sensor used for humidity control of the continuous annealing furnace is automatically switched to another measurement line for continuous measurement when the degree of deterioration is low, and the converted measurement line continuously measures the dew point in the annealing furnace And a measurement line switched from the measurement mode to the calibration mode is provided with a humidity measurement device capable of automatically calibrating by inputting humidity through a humidity generator and a method for improving the measurement accuracy thereof.

Figure R1020140188464
Figure R1020140188464

Description

습도 측정 장치 및 이의 측정 정도 향상 방법{HUMIDITY MEASURING APPARATUS AND IMPROVEMENT METHOD FOR MEASURING DEGREE THEREOF}TECHNICAL FIELD [0001] The present invention relates to a humidity measuring apparatus and a humidity measuring method,

본 발명은 제철소의 연속 소둔로 내의 습도 측정 장치 및 이의 측정 정도 향상 방법에 관한 것이다.
The present invention relates to a device for measuring humidity in a continuous annealing furnace of a steelworks and a method for improving the measurement accuracy thereof.

일반적으로 연속소둔로공정은 적절한 로내의 노점을 항상 일정하게 유지하도록 한다. 연속소둔의 일정하고 적절한 로내 노점을 유지하기 위해서는 로내 노점 분위기를 정밀, 정확하게 측정할 수 있는 노점 측정장치가 요구된다.In general, the continuous annealing process ensures that the dew point in the furnace is always kept constant. In order to maintain a constant and proper furnace dew point of continuous annealing, a dew point measuring apparatus capable of precisely and accurately measuring the furnace dew point atmosphere is required.

이러한 노점 측정장치에 대한 요구사항에 따라 하기의 선행 기술 문헌인 한국공개특허공보 제2002-0002115호와 한국공개특허공보 제2011-0077620호에서 개시되는 바와 같이 종래의 연속소둔로의 노점 측정장치가 제안되었다.  In accordance with the requirements for such a dew point measuring apparatus, as disclosed in Korean Unexamined Patent Publication No. 2002-0002115 and Korean Unexamined Patent Publication No. 2011-0077620, the dew point measuring apparatus of the conventional continuous annealing furnace It was proposed.

한국공개특허공보 제2002-0002115호에서는 냉연 연속소둔로의 분위기가스를 다수의 샘플링라인에 의해 추출하여 솔레노이드 차단변을 통해 선택적으로 분위기 가스를 노점측정장치를 통해 측정하고 노점 이상상태가 감지되었을 시 경보 시퀀스가 작동하는 장치가 개시되어있다.  Korean Unexamined Patent Publication No. 2002-0002115 discloses a method of extracting atmospheric gas in a cold annealing continuous annealing furnace by a plurality of sampling lines and selectively measuring an atmospheric gas through a solenoid blocking side through a dew point measuring device, An apparatus in which an alarm sequence operates is disclosed.

한국공개특허공보 제2011-0077620호에서는 대기중의 온도와 습도를 측정하여 노점온도를 산출하고, 강판의 표면온도를 측정하여 온도차이에 따라 적색, 노랑색, 녹색 등에 경보를 표시하여 강판표면에 결로가 발생되지 않도록 미리 대처가 가능한 장치가 제안되었다.In Korean Patent Laid-Open Publication No. 2011-0077620, the dew point temperature is calculated by measuring the temperature and humidity in the air, the surface temperature of the steel sheet is measured, and alarms such as red, yellow and green are displayed according to the temperature difference, A device capable of coping with the situation in advance is proposed.

이러한 종래의 노점 측정장치는 노점센서의 경년변화와 노점 측정장치 자체오류가 있는 경우에는 노점을 정밀, 정확하게 측정할 수 없다.Such a conventional dew point measuring apparatus can not accurately and accurately measure the dew point when the dew point sensor changes over time and the dew point measuring apparatus itself has errors.

그리고 노점 측정장치의 성능변화가 발생하였을 때 노점 측정센서를 교체하는 동안에는 로내 노점 분위기를 연속적으로 측정할 수 없는 문제점이 있다.
When the performance of the dew point measuring device changes, there is a problem that the atmosphere of the dew point in the furnace can not be continuously measured while the dew point measuring sensor is replaced.

한국공개특허공보 제2002-0002115호Korean Patent Publication No. 2002-0002115 한국공개특허공보 제2011-0077620호Korean Patent Laid-Open Publication No. 2011-0077620

본 발명의 일 실시예에 따르면, 연속소둔로의 습도제어에 사용되는 노점센서의 정도 저하 시 연속적인 측정을 위해 타측정 라인으로 자동전환되고, 전환된 측정라인은 연속적으로 소둔로내의 노점을 측정할 수 있으며, 측정모드에서 교정모드로 전환된 측정라인은 습도발생기를 통한 습도를 투입하여 자동교정 할 수 있는 습도 측정 장치 및 의 측정 정도 향상 방법이 제공된다.
According to one embodiment of the present invention, the dew point sensor used for humidity control of the continuous annealing furnace is automatically switched to another measurement line for continuous measurement when the degree of deterioration is low, and the converted measurement line continuously measures the dew point in the annealing furnace And a measurement line switched from the measurement mode to the calibration mode is provided with a humidity measuring device capable of automatically calibrating by inputting humidity through a humidity generator and a method of improving the measurement accuracy of the humidity measuring device.

상술한 본 발명의 과제를 해결하기 위해, 본 발명의 일 실시예에 따른 소둔로내의 습도 측정 장치는 소둔로 내의 샘플링 가스를 측정하는 복수의 측정 라인을 갖는 라인 전환부; 상기 복수의 측정 라인 중 측정 모드 중인 측정 라인의 노점의 습도를 측정하고, 해당 노점에 공급되는 습도를 발생시키는 습도발생 및 측정부; 및 해당 노점의 습도 측정 데이터와 기준 데이터를 비교하여 해당 노점에 투입되는 질소 가스의 습도를 제어하는 제어부를 포함할 수 있다. According to an aspect of the present invention, there is provided an apparatus for measuring humidity in an annealing furnace, including: a line switching unit having a plurality of measurement lines for measuring sampling gas in an annealing furnace; A humidity generating and measuring unit that measures humidity of a dew point of a measurement line in a measurement mode among the plurality of measurement lines and generates humidity to be supplied to the dew point; And a controller for comparing the humidity measurement data of the dew point with the reference data and controlling the humidity of the nitrogen gas supplied to the dew point.

더하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 소둔로내의 측정 정도 향상 방법은 소둔로 내의 샘플링 가스를 측정하는 복수의 측정 라인부 중 측정 모드 중인 측정 라인부의 노점의 습도를 측정하는 측정 모드 단계; 해당 노점의 습도 측정 데이터와 기준 데이터를 비교하여 기준 범위 밖이면, 설정된 습도를 갖는 질소 가스를 해당 노점에 투입하는 교정 모드 단계; 및 상기 교정 단계의 질소 가스의 습도보다 낮은 습도를 갖는 질소 가스를 해당 노점에 투입하는 대기 모드 단계를 포함할 수 있다.
In addition, a method for improving measurement accuracy in an annealing furnace according to an embodiment of the present invention includes: a measurement mode step of measuring a humidity of a dew point of a measurement line part in a measurement mode among a plurality of measurement line parts for measuring sampling gas in an annealing furnace; A calibration mode step of comparing the humidity measurement data of the dew point with the reference data and inputting the nitrogen gas having the set humidity outside the reference range to the dew point; And a stand-by mode step of injecting nitrogen gas having a humidity lower than the humidity of the nitrogen gas in the calibration step into the dew point.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 연속소둔로의 습도제어에 사용되는 노점센서의 정도 저하 시 연속적인 측정을 위해 타측정라인으로 자동전환되고, 전환 된 측정라인은 연속적으로 소둔로내의 노점을 측정할 수 있다. According to one embodiment of the present invention, the dew point sensor used for humidity control of the continuous annealing furnace is automatically switched to another measurement line for continuous measurement when the degree of deterioration is low, and the converted measurement line continuously measures the dew point in the annealing furnace can do.

또한, 측정모드에서 교정모드로 전환 된 측정라인은 습도발생기를 통한 습도를 투입하여 자동교정 할 수 있다. In addition, the measurement line switched from the measurement mode to the calibration mode can be automatically calibrated by inputting the humidity through the humidity generator.

그리고, 교정 후 대기모드 전환 시 건조한 질소만을 투입하여 항상 최상의 상태로 노점센서를 유지하여 측정중인 라인의 노점센서의 정도 저하 발생시 다시 측정모드 전환하여 연속적으로 측정 가능하게 되고 , 무선통신 제어을 통한 연속적 자동운전 및 자동교정이 되므로 질소사용지역에 작업자가 설비 동작중에 출입할 용건이 없으므로 작업자의 안전을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
In addition, when switching to the standby mode after calibration, only the dry nitrogen is injected to maintain the dew point sensor in the best state at all times. In the event of a drop in the dew point sensor of the line under measurement, Since the operation and automatic calibration are performed, there is no need for a worker to enter and leave the plant during the operation of the facility in the use area of nitrogen, so that the safety of the worker can be improved.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 습도측정장치를 개략적으로 나타낸 구성도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 습도 측정 장치의 배관도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 습도 측정 장치의 챔버와 노점 센서의 연결을 나타내는 도면이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 습도 측정 장치의 측정 정도 향상 방법을 나타내는 플로우 차트이다.FIG. 1 is a schematic view showing a humidity measuring apparatus according to an embodiment of the present invention.
2 is a piping diagram of a humidity measuring apparatus according to an embodiment of the present invention.
3 is a view illustrating a connection of a chamber and a dew point sensor of a humidity measuring apparatus according to an embodiment of the present invention.
4 is a flowchart showing a method for improving the measurement accuracy of the humidity measurement apparatus according to an embodiment of the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명을 용이하게 실시할 수 있도록 바람직한 실시예를 상세히 설명한다.
Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings, in order that those skilled in the art can easily carry out the present invention.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 습도측정장치를 개략적으로 나타낸 구성도이다.FIG. 1 is a schematic view showing a humidity measuring apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, 본 발명의 일실시예에 따른 습도측정장치는 라인 전환부(300), 습도발생 및 측정부(400) 및 제어부(500)를 포함할 수 있다.Referring to FIG. 1, a humidity measuring apparatus according to an embodiment of the present invention may include a line switching unit 300, a humidity generating and measuring unit 400, and a controller 500.

라인 전환부(300)는 복수의 측정 라인부를 포함할 수 있다.The line switching unit 300 may include a plurality of measurement line units.

예를 들어, 도시된 바와 같이 라인 전환부(300)는 제1 측정 라인부(100)와 제2 측정 라인부(200)를 포함할 수 있다.For example, as shown, the line switching unit 300 may include a first measurement line unit 100 and a second measurement line unit 200.

제1 측정 라인부(100) 및 제2 측정 라인부(200) 각각은 소둔로내 가스 공급 전자 밸브(110,210), 교정용 가스 공급 전자 밸브(120,220), 대기모드 질소 공급 전자 밸브(130,230), 가스 배출 전자 밸브(150,250)를 포함할 수 있다.Each of the first measurement line unit 100 and the second measurement line unit 200 includes the gas supply solenoid valves 110 and 210 in the annealing furnace, the calibration gas supply solenoid valves 120 and 220, the standby mode nitrogen supply solenoid valves 130 and 230, And may include gas exhaust solenoid valves 150, 250.

각 측정 라인부의 구성 요소는 동일하므로, 제1 측정 라인부(100)를 기준으로 설명하도록 한다.Since the components of each measurement line section are the same, the first measurement line section 100 will be described as a reference.

제1 측정 라인부(100)의 소둔로내 가스 공급 전자 밸브(110)는 개폐하여, 측정용 노점 센서(160)에 소둔로내 샘플링 가스를 전달하여, 측정용 노점 센서(160)가 소둔로 샘플링 가스를 측정하도록 할 수 있다.The gas supply valve 110 in the annealing furnace of the first measurement line unit 100 opens and closes to transfer the sampling gas in the annealing furnace to the measurement dew point sensor 160 so that the dew point sensor for measurement 160, The sampling gas can be measured.

예를 들어, 가스 공급 전자 밸브(110)는 제1 소둔로 샘플링 가스 공급 밸브(1), 제2 소둔로 샘플링 가스 공급 밸브(2) 및 제3 소둔로 샘플링 가스 공급 밸브(3)를 통해 공급되는 소둔로내의 샘플링 가스를 측정용 노점 센서(160)에 전달하고, 측정용 노점 센서(160)는 소둔로내의 샘플링 가스를 측정할 수 있다.For example, the gas supply solenoid valve 110 is supplied through the first annealing furnace sampling gas supply valve 1, the second annealing furnace sampling gas supply valve 2 and the third annealing furnace sampling gas supply valve 3 To the dew point sensor 160 for measurement, and the dew point sensor 160 for measurement can measure the sampling gas in the annealing furnace.

교정용 가스 공급 전자 밸브(120)는 샘플링 가스 측정 중 측정용 노점 센서(160)의 경년변화, 데이터 이상 등으로 관리범위를 벗어났을 경우 측정 모드를 중단할 수 있다.The calibration gas supply solenoid valve 120 may stop the measurement mode when the measurement dew point sensor 160 is out of the management range due to aging, data abnormality, or the like during the measurement of the sampling gas.

예를 들어, 제1 측정 라인부(100)의 교정용 가스 공급 전자 밸브(120)는 측정용 노점 센서(160)의 경년 변화, 데이터 이상 등으로 관리범위를 벗어났을 경우 측정 모드를 중단하고, 제1 측정 라인부(100)는 교정 모드로 동작할 수 있다.For example, when the calibration gas supply solenoid valve 120 of the first measurement line unit 100 is out of the management range due to aging of the measurement dew point sensor 160, data abnormality, or the like, The first measurement line section 100 can operate in the calibration mode.

교정용 가스 공급 전자 밸브(120)는 문제가 발생된 측정용 노점 센서(160)의 측정 데이터와 습도발생 및 측정부(400)의 기준 데이터를 비교하고, 교정하도록 제어할 수 있다.The calibration gas supply solenoid valve 120 can be controlled to compare and calibrate the measurement data of the measurement dew point sensor 160 in which the problem has occurred and the reference data of the humidity generation and measurement unit 400.

제1 측정 라인부(100)의 교정 모드 동작시, 제2 측정 라인부(200)는 측정 모드로 동작할 수 있다.In the calibration mode operation of the first measurement line unit 100, the second measurement line unit 200 can operate in the measurement mode.

즉, 제1 측정 라인부(100)의 측정 모드가 중단된 후, 제2 측정 라인부(200)가 측정 모드로 동작하도록 전환될 수 있다. That is, after the measurement mode of the first measurement line unit 100 is stopped, the second measurement line unit 200 may be switched to operate in the measurement mode.

한편, 대기모드 질소 공급 전자 밸브(130)는 교정 후 측정용 노점 센서(160)가 최상의 상태를 유지하도록 질소 가스를 투입하여 챔버(140) 내부가 건조한 상태를 유지하도록 할 수 있다.Meanwhile, the standby-mode nitrogen supply solenoid valve 130 may inject nitrogen gas into the chamber 140 so that the calorimetric dew-point sensor 160 maintains the best state.

가스 배출 전자 밸브(150)는 제1 측정 라인부(100) 내의 가스 흐름을 개폐할 수 있다.
The gas discharge solenoid valve 150 can open and close the gas flow in the first measurement line section 100.

습도발생 및 측정부(400)는 기준 습도 측정부(410), 소둔로내 습도 측정부(420), 습도 발생기(430), 기계식 습도 유량계(440), 습도 발생 전자 유량 제어 밸브(450) 및 전자 유량 표시기(460)를 포함할 수 있다. The humidity generation and measurement unit 400 includes a reference humidity measurement unit 410, an annealing temperature humidity measurement unit 420, a humidity generator 430, a mechanical humidity flow meter 440, a humidity generating electronic flow control valve 450, And an electronic flow indicator 460.

기준 습도 측정부(410)는 측정용 노점센서(160)의 기준 습도를 측정하여, 제어에 따라 기준 습도 데이터를 제공할 수 있다.The reference humidity measurement unit 410 may measure the reference humidity of the measurement dew point sensor 160 and provide reference humidity data according to the control.

소둔로내 습도 측정부(420)는 소둔로내의 측정용 노점센서(160)로부터 발생된 신호를 받아서 내부 연산하여 소둔로내의 측정용 노점센서(160)의 습도를 표시할 수 있다.The annealing furnace humidity measurement unit 420 receives a signal generated from the measurement dew point sensor 160 in the annealing furnace and performs an internal calculation to display the humidity of the dew point sensor 160 for measurement in the annealing furnace.

습도발생기(430)는 상술한 교정 모드 동작시 습도를 발생시킬 수 있다. The humidity generator 430 may generate humidity during the above-described calibration mode operation.

기계식 습도 유량계(440)는 습도발생기(430)의 습도 발생량을 육안으로 확인 할 수 있도록 표시할 수 있다.The mechanical humidity flow meter 440 can display the amount of humidity generated by the humidity generator 430 so that the humidity can be visually confirmed.

습도 발생 전자 유량 제어 밸브(450)는 습도발생기(430)의 습도 발생량을 전자적으로 제어할 수 있다.The humidity generating electronic flow control valve 450 can electronically control the humidity generation amount of the humidity generator 430.

전자유량표시기(460)는 습도발생 전자 유량 제어 밸브(450)을 통해 발생량을 제어하여 발생량을 육안으로 확인할 수 있게 표시할 수 있다.
The electronic flow rate indicator 460 controls the amount of the generated gas through the humidity generating electronic flow rate control valve 450 so that the generated amount can be visually confirmed.

더하여, 본 발명의 일실시예에 따른 습도측정장치는 라인 전환부(300)에 결합되어 통신신호를 받아 내부출력카드를 통해 출력신호를 각 구동부에 보내는 무선통신유닛(340)를 더 포함할 수 있다.
In addition, the humidity measuring apparatus according to an embodiment of the present invention may further include a wireless communication unit 340 coupled to the line switching unit 300 and receiving a communication signal to send an output signal to each driving unit through an internal output card have.

제1 소둔로 샘플링 가스 공급 전자밸브(1), 제2 소둔로 샘플링 가스 공급 전자밸브(2) 및 제3 소둔로 샘플링 가스 공급 전자밸브(3)는 고온, 고압에 견디는 단단한 금속재 재질로 형성될 수 있고, 발생 신호에 즉각 반응 및 외부 노이즈에 강할 수 있다.The first annealing furnace sampling gas supply solenoid valve 1, the second annealing furnace sampling gas supply solenoid valve 2 and the third annealing furnace sampling gas supply solenoid valve 3 are formed of a hard metal material resistant to high temperature and high pressure And can be responsive to the generated signal immediately and to external noise.

소둔로 샘플링 가스 공급배관(10), 질소 가스 공급배관(20), 교정용 가스 공급배관(30), 배기 배관(40)은 단단한 금속재 재질로 되어있는 배관이며, 적당한 기계적 내구성을 가질 수 있고, 배관 내부에는 습기가 머무를 수 없게 내부가공이 되어 있을 수 있으며, 기밀성이 좋아 내외부의 가스 누설이 없을 수 있다.
The annealing furnace sampling gas supply pipe 10, the nitrogen gas supply pipe 20, the calibration gas supply pipe 30 and the exhaust pipe 40 are pipings made of a hard metal material and can have appropriate mechanical durability, The inside of the piping may be internally machined so that moisture can not stay, and there may be no gas leakage inside or outside due to good airtightness.

소둔로내 가스 공급 전자밸브(110), 교정용 가스 공급 전자밸브(120), 대기모드 질소 공급 전자밸브(130), 가스 배출 전자밸브(150), 소둔로내 가스 공급 전자밸브(210), 교정용 가스 공급 전자밸브(220), 대기모드 질소 공급 전자밸브(230), 가스 배출 전자밸브(250)은 여러 번의 반복적인 개폐동작에도 소손 없는 내구성을 지녀야하고, 고온, 고압에도 견디는 재질이어야 하며, 상호간의 연결은 금속재 재질로 되어있고, 습기가 쉽게 머무를 수 없는 배관구조를 가질 수 있다.
The gas supply solenoid valve 110 in the annealing furnace, the calibration gas supply solenoid valve 120, the standby mode nitrogen supply solenoid valve 130, the gas discharge solenoid valve 150, the gas supply solenoid valve 210 in the annealing furnace, The calibration gas supply solenoid valve 220, the standby mode nitrogen supply solenoid valve 230, and the gas exhaust solenoid valve 250 should be of a material that is resistant to burning durability and high temperature and high pressure even after repeated repeated opening and closing operations , And the mutual connection is made of a metal material and can have a piping structure in which moisture can not easily stay.

이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 일실시예에 따른 제철소의 연속소둔로 습도측정장치의 교정에 이용되는 장치의 라인 전환부(300)과 습도발생 및 측정부(400)에 대해 상세히 설명하기로 한다.
Hereinafter, the line switching unit 300 and the humidity generating and measuring unit 400 used in the calibration of the continuous annealing furnace humidity measuring apparatus according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings do.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 습도 측정 장치의 배관도이다.2 is a piping diagram of a humidity measuring apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 1 및 도 2를 참조하면, 소둔로내의 샘플링 가스를 순차적으로 개폐해주는 제1 소둔로 샘플링 가스 공급 전자밸브(1), 제2 소둔로 샘플링 가스 공급 전자밸브(2) 및 제3 소둔로 샘플링 가스 공급 전자밸브(3)과 라인 전환부(300)은 소둔로 샘플링 가스 공급배관(10)으로 연결되고, 라인 전환부(300)는 제1 측정 라인부(100)과 제2 측정 라인부(200)을 포함한다.1 and 2, the first annealing furnace sampling gas supply solenoid valve 1, the second annealing furnace sampling gas supply solenoid valve 2 and the third annealing furnace sampling valve (not shown) for sequentially opening and closing the sampling gas in the annealing furnace The gas supply solenoid valve 3 and the line switching unit 300 are connected to the annealing furnace sampling gas supply line 10 and the line switching unit 300 is connected to the first measurement line unit 100 and the second measurement line unit 200).

제1 소둔로 샘플링 가스 공급 전자밸브(1), 제2 소둔로 샘플링 가스 공급 전자밸브(2) 및 제3 소둔로 샘플링 가스 공급 전자밸브(3)는 각각 소둔로내의 제1 소둔로 구간의 샘플링 가스, 제2 소둔로 구간의 샘플링 가스 및 제3 소둔로 구간의 샘플링 가스를 소둔로 샘플링 가스 공급배관(10)을 통해 공급할 수 있다.The first annealing furnace sampling gas supply solenoid valve 1, the second annealing furnace sampling gas supply solenoid valve 2 and the third annealing furnace sampling gas supply solenoid valve 3 are connected to the first annealing furnace, Gas, the sampling gas in the second annealing furnace section and the sampling gas in the third annealing furnace section can be supplied through the annealing furnace sampling gas supply pipe 10.

소둔로 샘플링 가스 공급배관(10)은 라인 전환부(300)내부에서 제1 측정 라인부(100)의 소둔로내 가스 공급 전자밸브(110)과 제2 측정 라인부(200)의 소둔로내 가스 공급 전자밸브(210) 그리고 소둔로 샘플링 가스 기준습도측정부 공급 전자밸브(330)로 분기될 수 있다.
The annealing furnace sampling gas supply line 10 is connected to the annealing furnace inside the line switching unit 300 through the annealing furnace 110 of the first measuring line unit 100 and the annealing furnace 200 of the second measuring line unit 200 The gas supply solenoid valve 210 and the annealing furnace sampling gas reference humidity measuring section supply solenoid valve 330.

상술한 바와 같이, 제2 측정 라인부(200)은 제1 측정 라인부(100)과 동일구조이므로, 제1 측정 라인부(100)의 설명으로 대체한다.As described above, since the second measurement line unit 200 has the same structure as the first measurement line unit 100, it is replaced with the description of the first measurement line unit 100.

이하, 제1 측정 라인부(100)을 상세하게 설명하기로 한다.
Hereinafter, the first measurement line unit 100 will be described in detail.

제1 측정 라인부(100)의 소둔로내 가스 공급 전자밸브(110)에서 나온 배관은 열십자형태의 분기관을 통해 교정용 가스 공급 전자밸브(120), 대기모드 질소 공급 전자밸브(130), 챔버(140)으로 연결되어 소둔로내의 샘플링가스를 측정할 수 있는 측정모드, 측정용 노점센서(160)을 교정할 수 있는 교정모드, 교정 후 측정용 노점센서(160)을 최상의 상태로 유지하기 위해 건조한 질소가스를 투입하여 대기할 수 있는 대기모드의 기능을 각각의 전자밸브를 통해 할 수 있다.
The piping from the gas supply solenoid valve 110 in the annealing furnace of the first measurement line section 100 is connected to the calibration gas supply solenoid valve 120, the standby mode nitrogen supply solenoid valve 130, A measurement mode connected to the chamber 140 to measure the sampling gas in the annealing furnace, a calibration mode capable of calibrating the measurement dew point sensor 160, a dew point sensor 160 for calibration The function of the stand-by mode in which the dry nitrogen gas can be put into standby can be performed through the respective solenoid valves.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 습도 측정 장치의 챔버와 노점 센서의 연결을 나타내는 도면이다.3 is a view illustrating a connection of a chamber and a dew point sensor of a humidity measuring apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 3에 도시된 바와 같이, 소둔로내 가스 공급 전자밸브(110)와 챔버(140)가 배관으로 연결되며, 챔버(140)에 결합되어 있는 측정용 노점센서(160)에 소둔로내에 샘플링 가스가 통과할 수 있도록 관통 및 측정용 노점센서(160)가 결합 될 수 있는 구조로 형성될 수 있다. 3, the gas supply electromagnetic valve 110 in the annealing furnace is connected to the chamber 140 through a pipe, and the sampling dew point sensor 160 coupled to the chamber 140 is connected to a sampling gas The dew point sensor 160 may be coupled with the dew point sensor 160 to allow the dew point sensor 160 to pass therethrough.

그리고, 측정용 노점센서(160)와 가스 배출 전자밸브(150)가 배관으로 연결되어 있고, 가스 배출 전자밸브(150)는 소둔로내 가스 공급 전자밸브(110),교정용 가스 공급 전자밸브(120), 대기모드 질소 공급 전자밸브(130)을 통해 공급된 가스를 개폐를 통해 배기되도록 하고, 외부의 공기가 라인내로 진입하는 것을 막는다.The measurement dew point sensor 160 and the gas discharge solenoid valve 150 are connected by piping and the gas discharge solenoid valve 150 is connected to the gas supply solenoid valve 110 in the annealing furnace, 120), the gas supplied through the standby mode nitrogen supply solenoid valve 130 is exhausted through opening and closing, and external air is prevented from entering the line.

대기모드 질소 공급 전자밸브(130)은 측정용 노점센서(160)의 대기모드시에 동작하도록 질소 개폐를 하고 열십자형태의 분기관을 통해 챔버(140)로 질소가스가 통과된 후 가스 배출 전자밸브(150)을 통해 배기되며, 챔버(140)와 결합되어 있는 측정용 노점센서(160)는 질소가스를 통해 사전에 설정된 습도 이하의 건조한 상태를 유지하게 된다. The standby mode nitrogen supply solenoid valve 130 is operated so as to operate in the standby mode of the measurement dew point sensor 160. After the nitrogen gas is passed through the chamber 140 through the thermocouple type branch pipe, The exhaust gas is exhausted through the valve 150 and the measurement dew point sensor 160 coupled to the chamber 140 maintains a dry state below the predetermined humidity through the nitrogen gas.

측정모드 중 측정용 노점센서(160)의 데이터 이상 발견시 소둔로 샘플링 가스 기준습도측정부 공급 전자밸브(330)를 통해 소둔로내의 샘플링 가스가 기준습도측정센서(470)에 공급될 수 있도록 배관으로 연결되어 있고 측정된 가스는 배기된다.The sampling gas is supplied to the reference humidity measuring sensor 470 so that the sampling gas in the annealing furnace can be supplied to the reference humidity measuring sensor 470 through the supply solenoid valve 330 for the sampling gas reference humidity measurement part, And the measured gas is exhausted.

기준습도측정센서(470)과 기준습도프로세서(480)은 신호선으로 연결되어 기준습도측정센서(470)에서 측정된 노점은 신호로 변환되어 기준습도 프로세서(480)로 전송되고 이때 교정이 필요할 경우 교정할 수 있게 소둔로 샘플링 가스 기준습도측정부 공급 전자밸브(330)와 기준습도측정센서(470) 사이에 연결된 배관에서 분기되어 교정용 가스 공급 전자밸브(120)으로 배관이 연결되어지며, 교정용 가스 공급 전자밸브(120)은 소둔로내 가스 공급 전자밸브(110), 대기모드 질소 공급 전자밸브(130), 챔버(140)과 연결된 열십자형태의 분기관을 통해 연결된다.The reference humidity measurement sensor 470 and the reference humidity processor 480 are connected to a signal line so that the dew point measured at the reference humidity measurement sensor 470 is converted into a signal and transmitted to the reference humidity processor 480. At this time, The piping is branched from the pipe connected between the annealing furnace sampling gas reference humidity measuring section supply electromagnetic valve 330 and the reference humidity measuring sensor 470 and connected to the calibration gas supply electromagnetic valve 120, The gas supply solenoid valve 120 is connected through a cross-shaped manifold connected to the gas supply solenoid valve 110, the standby mode nitrogen supply solenoid valve 130, and the chamber 140 in the annealing furnace.

교정모드로 변경 시 교정을 할 수 있도록 질소 가스 공급배관(20)은 습도발생기 질소 공급 전자밸브(310)에 연결되고 습도발생기 질소 공급 전자밸브(310)는 습도 발생 전자 유량 제어밸브(450)에 배관이 연결되어 통과되는 질소의 개폐를 제어할 수 있도록 한다.The nitrogen gas supply pipe 20 is connected to the humidity generator nitrogen supply solenoid valve 310 and the humidity generator nitrogen supply solenoid valve 310 is connected to the humidity generating electronic flow control valve 450 so that calibration can be performed when changing to the calibration mode It is possible to control the opening and closing of the nitrogen through which the pipe is connected.

습도 발생 전자 유량 제어밸브(450)는 습도 발생기(430)와 연결되어 습도 발생기(430)을 통과한 질소는 습도 발생 전자 유량 제어밸브(450)에서 제어된 양만큼 수분이 포함되어 있고, 습도 발생기(430)는 소둔로 샘플링 가스 기준습도측정부 공급 전자밸브(330)에서 공급되는 가스 차단을 위한 습도 발생기 차단 전자 밸브(320)와 다시 연결된다. The humidity generating electronic flow control valve 450 is connected to the humidity generator 430 so that the nitrogen that has passed through the humidity generator 430 contains moisture in an amount controlled by the humidity generating electronic flow control valve 450, (430) is reconnected to the humidity generator shutoff solenoid valve (320) for shutting off the gas supplied from the annealing furnace sampling gas reference humidity measuring section supply solenoid valve (330).

습도 발생기 차단 전자 밸브(320)과 기준습도 측정센서(470)으로 연결되어 있는 배관은 소둔로 샘플링 가스 기준습도측정부 공급 전자밸브(330), 교정용 가스 공급 전자밸브(120), 교정용 가스 공급 전자밸브(220) 과 연결 되도록 분기 되어 있고, 기준습도 측정센서(470)을 통과하여 배기되며 기준습도 측정센서(470)내의 정밀온도계에서 노점을 측정하여 기준습도 프로세서(480)와 연결된 신호선을 통해 노점을 전달한다. The piping connected by the humidity generator shutoff solenoid valve 320 and the reference humidity sensor 470 is connected to the annealing furnace sampling gas reference humidity measuring section supply solenoid valve 330, the calibration gas supply solenoid valve 120, And is connected to the supply solenoid valve 220 and is exhausted through the reference humidity measurement sensor 470 and measures the dew point in the precision thermometer in the reference humidity measurement sensor 470 to generate a signal line connected to the reference humidity processor 480 To deliver the dew through.

기준습도 프로세서(480)는 제어부(500)와 통신선으로 연결되어 있고 기준습도 프로세서(480)의 데이터를 제어부(500)에 전송하고 제어부(500)의 명령을 받아 수행하는 역할을 한다. The reference humidity processor 480 is connected to the controller 500 through a communication line and transmits data of the reference humidity processor 480 to the controller 500 and receives commands from the controller 500 to perform the commands.

제어부(500)는 무선통신유닛(510)과 무선통신을 하며, 무선통신유닛(510)에 명령을 내리거나 무선통신유닛(510)으로부터 통신신호를 받을 수 있고, 시스템의 상위 레벨에 데이터를 전송할 수 있다. The control unit 500 is in wireless communication with the wireless communication unit 510 and can send commands to the wireless communication unit 510 or receive communication signals from the wireless communication unit 510, .

무선통신유닛(510)은 제어부(500)에서 받은 명령을 무선통신으로 수신하여 내부 출력카드를 통해 각각의 전자밸브에 신호를 보내 습도측정장치의 원활한 동작을 할 수 있게 하고, 동작 완료 후 제어부(500)에 동작완료 신호를 보내어 자동제어를 수행한다.
The wireless communication unit 510 receives a command received from the control unit 500 through wireless communication and sends a signal to each of the solenoid valves through the internal output card so that the humidity measuring apparatus can operate smoothly. 500) to perform automatic control.

이하에서는 본 발명의 일 실시예에 따른 연속소둔로내 습도측정장치의 습도 측정 방법에 대해 도면과 함께 설명하기로 한다.
Hereinafter, a method of measuring the humidity of a continuous humidity furnace for measuring humidity in a continuous annealing furnace according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 습도 측정 장치의 측정 정도 향상 방법을 나타내는 플로우 차트이다.4 is a flowchart showing a method for improving the measurement accuracy of the humidity measurement apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 4를 참조하면, 먼저, 제1 측정 라인부(100)의 측정모드를 판단한다(S710). Referring to FIG. 4, first, the measurement mode of the first measurement line unit 100 is determined (S710).

이때, 제1 측정 라인부(100)의 모드가 측정모드가 아니면 제1 측정 라인부(100)을 대기모드 전환하고(S711), 그 다음 대기모드 질소 공급 전자밸브(130)과 가스 배출 전자밸브(150)이 동작한 후(S712), 측정모드 전환시(S715) 종료한다. At this time, if the mode of the first measurement line unit 100 is not the measurement mode, the first measurement line unit 100 is switched to the standby mode (S711), and then the standby mode nitrogen supply electromagnetic valve 130 and the gas discharge solenoid valve (S712), and ends the measurement mode switching operation (S715).

또한, 제2 측정 라인부(200)이 측정모드인지 판단(S720) 후 아닐 경우 제2 측정 라인부(200)을 대기모드 전환하고(S721), 대기모드 질소 공급 전자밸브(230)과 가스 배출 전자밸브(250)을 동작한다(S722). 상술한 동작은 측정모드로 전환 전까 수행되며 측정 모드전환 시(S715) 종료되고, 그와 동시에 S710 단계로 회귀한다.If it is determined that the second measurement line unit 200 is in the measurement mode (S720), the second measurement line unit 200 is switched to the standby mode (S721), and the standby mode nitrogen supply electromagnetic valve 230 and the gas discharge The solenoid valve 250 is operated (S722). The above-described operation is performed before or after switching to the measurement mode, and ends at the time of switching the measurement mode (S715), and returns to step S710 simultaneously.

S720단계의 판단이 맞을 시 소둔로내 가스 공급 전자밸브(210), 가스 배출 전자밸브(250)이 동작하고(S725), S750단계로 진행된다.When the determination in step S720 is satisfied, the annealing furnace gas supply solenoid valve 210 and the gas discharge solenoid valve 250 operate (S725), and the process proceeds to step S750.

예를 들어, 제1 측정 라인부(100)와 제2 측정 라인부(200)는 둘 중 하나가 측정모드이면 다른 하나는 대기모드 또는 교정모드만 될 수 있고, 대기모드는 둘 다 수행될 수 있다. For example, if one of the first measurement line section 100 and the second measurement line section 200 is in the measurement mode, the other of the first measurement line section 100 and the second measurement line section 200 may be the standby mode or the calibration mode, have.

S710단계에서 제1 측정 라인부(100)의 조건이 측정모드로 설정되어 있으면, 제1 소둔로 샘플링 가스 공급 전자밸브(1)가 동작하여 샘플링 가스를 공급하고(S730), 소둔로내 가스 공급 전자밸브(110), 가스 배출 전자밸브(150)이 동작하여 챔버(140)을 샘플링가스가 통과 및 대기로 배기된다. If the condition of the first measurement line unit 100 is set to the measurement mode in step S710, the first annealing furnace sampling gas supply solenoid valve 1 operates to supply the sampling gas (S730) The solenoid valve 110 and the gas exhaust solenoid valve 150 operate to exhaust the chamber 140 through the sampling gas and to the atmosphere.

그 다음, 챔버(140)에 연결되어 있는 측정용 노점센서(160)는 샘플링 가스의 노점데이터를 받아 소둔로내 습도측정부(420)으로 출력신호를 전송하여 데이터를 전송하고 다시 소둔로내 습도측정부(420)에서는 제어부(500)로 데이터를 전송한다(S760).Next, the measurement dew point sensor 160 connected to the chamber 140 receives the dew point data of the sampling gas and transmits an output signal to the annealing temperature humidity measurement unit 420 to transmit data, The measuring unit 420 transmits the data to the control unit 500 (S760).

이후, 제어부(S520)에서는 소둔로내 습도측정부(420)에서 전송된 데이터를 미리 설정된 노점데이터의 관리범위 밖인지를 판단하여 벗어나지 않은 경우 샘플링가스 구간을 전환할 것인가 다시 판단하며(S761), 아닐 시 종료한다. In step S761, the control unit S520 determines whether the data transmitted from the annealing furnace humidity measurement unit 420 is outside the control range of the preset dew point data, If not, quit.

S761단계의 판단이 맞을 시 샘플링 가스 공급밸브를 전환하고(S763), S740단계로 다시 진행한다.When the determination in step S761 is satisfied, the sampling gas supply valve is switched (S763), and the flow returns to step S740.

상술한 샘플링 가스 공급밸브의 전환은 제1 소둔로 샘플링 가스 공급 전자밸브(1) ~제3 소둔로 샘플링 가스 공급 전자밸브(3)까지 순차적으로 진행되고 제1 소둔로 샘플링 가스 공급 전자밸브(1), 제2 소둔로 샘플링 가스 공급 전자밸브(2), 제3 소둔로 샘플링 가스 공급 전자밸브(3)가 동작하여 샘플링 가스가 측정되도록 한다.The above-described switching of the sampling gas supply valve proceeds sequentially from the first annealing furnace sampling gas supply solenoid valve 1 to the third annealing furnace sampling gas supply solenoid valve 3, and the first annealing furnace sampling gas supply solenoid valve 1 ), The second annealing furnace sampling gas supply solenoid valve 2 and the third annealing furnace sampling gas supply solenoid valve 3 are operated to allow the sampling gas to be measured.

S760단계에서 측정된 노점데이터가 관리범위 밖일 경우 소둔로 샘플링 가스 기준습도측정부 공급 전자밸브(330)가 동작하여 소둔로내 샘플링 가스가 기준습도 측정센서(470)을 통과하게 하고, 기준습도 측정센서(470)는 샘플링 가스의 노점 데이터를 측정하여 출력 신호선을 통하여 기준습도 프로세서(480)에 전송한다. If the dew point data measured in step S760 is outside the control range, the annealing furnace sample humidity reference part supply solenoid valve 330 operates to allow the sampling gas in the annealing furnace to pass through the reference humidity measuring sensor 470, The sensor 470 measures the dew point data of the sampling gas and transmits it to the reference humidity processor 480 through the output signal line.

기준습도 측정부(410)는 통신선을 통하여 제어부(500)에 노점데이터를 보내게 된다(S770). The reference humidity measuring unit 410 sends the dew point data to the control unit 500 via the communication line (S770).

다음으로, 제어부(500)는 S760단계에서 받아들인 노점 데이터와 S770단계에서 받아들인 노점 데이터를 비교하여 데이터 차이가 관리범위를 벗어났는지 판단한다(S780).Next, the controller 500 compares the dew point data received in step S760 with the dew point data received in step S770, and determines whether the data difference is out of the management range (S780).

S780단계에서 아닐 경우 소둔로 측정용 노점센서를 교정할 것 인지를 다시 판단하고, 아닐 경우 S763단계로 진행하며, 참일 경우 S790단계로 진행한다.(S781)If it is determined in step S780 that the dew point sensor for measurement of the annealing furnace is to be calibrated, the process proceeds to step S763. Otherwise, the process proceeds to step S790.

S780에서 참일 경우 교정모드를 위하여 소둔로 샘플링 가스 기준습도측정부 공급 전자밸브(330)을 차단한다(S790). If it is true in S780, the annealing furnace sampling gas reference humidity measurement part supply solenoid valve 330 is shut off for the calibration mode (S790).

다음으로, 질소가스가 기준습도 측정센서(470)에 투입될 수 있도록 습도발생기 질소 공급 전자밸브(310)과 습도발생기 차단 전자밸브(320)을 동작시킨다(S800).Next, the humidity generator nitrogen supply electromagnetic valve 310 and the humidity generator shutoff solenoid valve 320 are operated so that the nitrogen gas can be input to the reference humidity measurement sensor 470 (S800).

이후, 현재 측정모드 중인 제1 측정 라인부(100) 또는 제2 측정 라인부(200)는 교정모드로 전환되고 대기모드 중이던 제1 측정 라인부(100) 또는 제2 측정 라인부(200)은 측정모드로 전환하여 연속적으로 소둔로의 노점데이터를 측정한다. Thereafter, the first measurement line unit 100 or the second measurement line unit 200 in the current measurement mode is switched to the calibration mode and the first measurement line unit 100 or the second measurement line unit 200, which is in the standby mode, The measurement mode is switched to continuously measure the dew point data of the annealing furnace.

예를 들어, 제1 측정 라인부(100)을 측정모드로 설정하는 경우, 측정모드에서 교정모드로 변환되면 소둔로내 가스 공급 전자밸브(110)은 밸브가 닫히고, 교정용 가스 공급 전자밸브(120)은 열려 습도 발생기(430)를 통과하여 나온 습기가 포함된 질소 가스가 교정용 가스 공급 전자밸브(120)을 통해 챔버(140)을 통과하여 가스 배출 전자밸브(150)을 통해 배기되도록 밸브가 전환되고, 그와 동시에 질소가스가 대기모드 질소 공급 전자밸브(230)을 통해 챔버(240)으로 통과하던 제2 측정 라인부(200)의 대기모드는 대기모드 질소 공급 전자밸브(230)가 닫히고 소둔로내 가스 공급 전자밸브(210)가 열려 샘플링가스가 소둔로내 가스 공급 전자밸브(210), 챔버(240) 그리고 가스 배출 전자밸브(250)을 통과하여 대기중으로 배기 될 수 있도록 밸브가 전환되어 연속측정 할 수 있게 된다(S810).For example, when the first measurement line unit 100 is set to the measurement mode, when the measurement mode is switched to the calibration mode, the gas supply solenoid valve 110 in the annealing furnace closes the valve and the calibration gas supply solenoid valve 120 are opened so that the nitrogen gas containing moisture that has passed through the humidity generator 430 flows through the chamber 140 through the calibration gas supply solenoid valve 120 and is exhausted through the gas exhaust solenoid valve 150 And at the same time the standby mode of the second measurement line unit 200 where nitrogen gas has passed through the standby mode nitrogen supply solenoid valve 230 to the chamber 240 is detected by the standby mode nitrogen supply solenoid valve 230 And the gas supply solenoid valve 210 in the annealing furnace is opened so that the sampling gas can be exhausted to the atmosphere through the gas supply solenoid valve 210, the chamber 240, and the gas discharge solenoid valve 250 in the annealing furnace, Can be switched to continuous measurement (S810).

이후, 제어부(500)에서 명령이 무선통신유닛(340)을 통해 습도발생 전자유량제어밸브(450)에 전달되어 유량제어가 되고 유량제어된 질소 가스는 습도발생기(430)을 통과하여 습기가 포함된 질소가스가 된다(820).Thereafter, in the control unit 500, the command is transmitted to the humidity generating electromagnetic flow control valve 450 through the wireless communication unit 340 to control the flow rate of the nitrogen gas, and the flow rate of the nitrogen gas passes through the humidity generator 430, (820).

습도발생기(430)을 통과한 습기가 포함된 질소가스는 교정용 가스 공급 전자밸브(120), 교정용 가스 공급 전자밸브(220) 그리고 기준습도측정센서(470)에 연결된 배관을 통해 전달되고, 측정용 노점센서(160) 또는 측정용 노점센서(260) 그리고 기준습도측정센서(470)은 습기가 포함된 질소가스를 측정하여 측정용 노점센서(160) 또는 측정용 노점센서(260)는 소둔로내 습도측정부(420)에, 기준습도 측정센서(470)은 기준습도측정부(410)에 노점신호를 전달하고 소둔로내 습도측정부(420)와 기준습도측정부(410)는 제어부(500)에 노점데이터를 전달한다(S830).The moisture-containing nitrogen gas that has passed through the humidity generator 430 is passed through the piping connected to the calibration gas supply solenoid valve 120, the calibration gas supply solenoid valve 220 and the reference humidity measurement sensor 470, The dew point sensor 160 for measurement or the dew point sensor 260 for measurement and the reference humidity sensor 470 measure nitrogen gas containing moisture so that the dew point sensor 160 for measurement or the dew point sensor 260 for measurement is subjected to annealing The reference humidity measuring sensor 470 transmits a dew point signal to the reference humidity measuring unit 410 and the annealing temperature humidity measuring unit 420 and the reference humidity measuring unit 410 are connected to the in- And transmits the dew point data to the controller 500 (S830).

기준습도측정센서(470)에서 측정된 노점데이터를 제어부(500)에서 전달받아 습도발생 전자유량제어밸브(450)에서 제어되어 습도발생기(430)을 통과한 습기가 포함된 질소가스가 설정된 습도 발생량인지를 판단 후 아닐 시 S820단계로 회귀한다(S840).The control unit 500 receives the dew point data measured by the reference humidity measurement sensor 470 and controls the humidity generating electronic flow control valve 450 so that the nitrogen gas containing moisture, which has passed through the humidity generator 430, If not, the flow returns to step S820 (S840).

다음으로, S840단계에서 참일 경우 기준습도 측정센서(470)에서 측정한 노점신호를 기준습도 프로세서(480)에서 제어부(500)로 신호를 전송하고, 전송받은 노점데이터가 안정이 되었는가 제어부(500)가 판단 후 아닐 경우 S830단계로 회귀한다(850).In step S840, if the result of the determination in step S840 is NO, the dew point signal measured by the reference humidity measurement sensor 470 is transmitted from the reference humidity processor 480 to the controller 500. If the received dew point data is stable, The process returns to step S830 (850).

이후, S850 단계에서 노점데이터가 안정이 되었을 경우 기준습도측정부(410)의 노점데이터와 소둔로내 습도측정장치(420)의 노점데이터는 제어부(500)로 다시 전송되고, 제어부(500)에서 데이터를 저장한다(S860).Thereafter, when the dew point data becomes stable in step S850, the dew point data of the reference humidity measurement unit 410 and the dew point data of the annealing furnace humidity measurement apparatus 420 are transmitted again to the control unit 500, And stores the data (S860).

교정점을 추가하여 교정할 것인지 판단하여 아닐 경우 S860단계에서 제어부(500)에 저장한 데이터를 내부 파라메터에 적용시킨 후 S710단계로 진행한다(S870).If it is determined in step S870 that the calibration point is to be added, the data stored in the controller 500 is applied to the internal parameters in step S860, and then the flow advances to step S710.

S870단계에서 참일 경우 S820단계로 진행한다.
If it is true in step S870, the flow advances to step S820.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따르면, 연속소둔로의 습도제어에 사용되는 노점센서의 정도 저하 시 연속적인 측정을 위해 타측정라인으로 자동전환되고, 전환 된 측정라인은 연속적으로 소둔로내의 노점을 측정할 수 있다. As described above, according to the present invention, when the degree of degradation of the dew point sensor used for humidity control of the continuous annealing furnace is lowered, it is automatically switched to another measurement line for continuous measurement, and the converted measurement line continuously changes the dew point in the annealing furnace Can be measured.

또한 측정모드에서 교정모드로 전환 된 측정라인은 습도발생기를 통한 습도를 투입하여 자동교정 할 수 있다. In addition, the measurement line switched from the measurement mode to the calibration mode can be automatically calibrated by inputting the humidity through the humidity generator.

그리고, 교정 후 대기모드 전환 시 건조한 질소만을 투입하여 항상 최상의 상태로 노점센서를 유지하여 측정중인 라인의 노점센서의 정도 저하 발생시 다시 측정모드 전환하여 연속적으로 측정 가능하게 되고 , 무선통신 제어을 통한 연속적 자동운전 및 자동교정이 되므로 질소사용지역에 작업자가 설비 동작중에 출입할 용건이 없으므로 작업자의 안전을 향상시킬 수 있다.
In addition, when switching to the standby mode after calibration, only the dry nitrogen is injected to maintain the dew point sensor in the best state at all times. In the event of a drop in the dew point sensor of the line under measurement, Since the operation and automatic calibration are performed, there is no need for the operator to enter and leave the facility during the operation of the facility in the use area of the nitrogen, so that the safety of the operator can be improved.

이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 의해 한정되는 것이 아니고 후술하는 특허청구범위에 의해 한정되며, 본 발명의 구성은 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 그 구성을 다양하게 변경 및 개조할 수 있다는 것을 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자는 쉽게 알 수 있다.
It is to be understood that both the foregoing general description and the following detailed description are exemplary and explanatory and are not intended to limit the invention to the particular forms disclosed. It will be understood by those skilled in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims.

1: 제1 소둔로 샘플링 가스 공급 전자밸브
2: 제2 소둔로 샘플링 가스 공급 전자밸브
3: 제3 소둔로 샘플링 가스 공급 전자밸브
10: 소둔로 샘플링 가스 공급배관
20: 질소 가스 공급배관
30: 교정용 가스 공급배관
40: 배기배관
50: 출력신호선
60: 제어부 통신선
100: 제1 측정 라인부
110: 소둔로내 가스 공급 전자밸브
120: 교정용 가스 공급 전자밸브
130: 대기모드 질소 공급 전자밸브
140: 챔버
150: 가스 배출 전자밸브
160: 측정용 노점센서
200: 제2 측정 라인부
210: 소둔로내 가스 공급 전자밸브
220: 교정용 가스 공급 전자밸브
230: 대기모드 질소 공급 전자밸브
240: 챔버
250: 가스 배출 전자밸브
260: 측정용 노점센서
300: 라인 전환부
310: 습도발생기 질소 공급 전자밸브
320: 습도발생기 차단 전자밸브
330: 소둔로 샘플링 가스 기준습도측정부 공급 전자밸브
340: 무선통신유닛
400: 습도발생 및 측정부
410: 기준습도측정부
420: 소둔로내 습도측정부
430: 습도발생부
440: 기계식 습도유량계
450: 습도발생 전자유량제어밸브
460: 전자유량표시기
470: 기준습도측정센서
480: 기준습도프로세서
500: 제어부
520: 무선통신1: First annealing furnace sampling gas supply solenoid valve
2: Second annealing furnace sampling gas supply solenoid valve
3: Third annealing furnace sampling gas supply solenoid valve
10: Sampling gas supply pipe for annealing furnace
20: Nitrogen gas supply piping
30: calibration gas supply pipe
40: Exhaust piping
50: Output signal line
60: Control line
100: first measurement line section
110: gas supply solenoid valve in annealing furnace
120: calibration gas supply solenoid valve
130: Standby mode nitrogen supply solenoid valve
140: chamber
150: gas discharge solenoid valve
160: Dew point sensor for measurement
200: second measurement line section
210: gas supply solenoid valve in annealing furnace
220: calibration gas supply solenoid valve
230: Standby mode nitrogen supply solenoid valve
240: chamber
250: Gas discharge solenoid valve
260: Dew point sensor for measurement
300: Line switching unit
310: Humidity generator nitrogen supply solenoid valve
320: Humidity generator shutoff solenoid valve
330: Sampling gas for annealing furnace Humidity measuring part supplied Solenoid valve
340: Wireless communication unit
400: Humidity generation and measurement unit
410: reference humidity measuring unit
420: Humidity measurement section of the annealing furnace
430: Humidity generator
440: Mechanical humidity flowmeter
450: Humidity generating electronic flow control valve
460: Electronic flow indicator
470: Reference humidity sensor
480: Reference Humidity Processor
500:
520: Wireless communication

Claims (13)

소둔로 내의 샘플링 가스를 측정하는 복수의 측정 라인부를 갖는 라인 전환부;
상기 복수의 측정 라인부 중 측정 모드 중인 측정 라인부의 노점의 습도를 측정하고, 해당 노점에 공급되는 습도를 발생시키는 습도발생 및 측정부; 및
해당 노점의 습도 측정 데이터와 기준 데이터를 비교하여 해당 노점에 투입되는 질소 가스의 습도를 제어하는 제어부를 포함하고,
복수의 측정 라인부 각각은
측정 모드시에 소둔로내의 측정용 노점 센서를 제어하여, 측정용 노점 센서가 소둔로 샘플링 가스를 측정하도록 하는 소둔로내 가스 공급 전자 밸브;
교정 모드시 해당 노점에 제어에 따른 습도를 갖는 질소 가스를 공급하는 교정용 가스 공급 전자 밸브;
교정 후 해당 노점에 교정 모드시보다 습도가 낮은 질소 가스를 공급하는 대기모드 질소 공급 전자 밸브; 및
해당 측정 라인부 내의 가스 흐름을 개폐하는 가스 배출 전자 밸브를 포함하고,
상기 습도발생 및 측정부는
측정용 노점센서의 기준 습도를 측정하여, 제어에 따라 기준 습도 데이터를 제공하는 기준 습도 측정부;
측정용 노점센서로부터 발생된 신호를 받아서 내부 연산하여 해당 측정용 노점센서의 습도를 표시하는 소둔로내 습도 측정부;
교정 모드 동작시 습도를 발생시키는 습도발생기;
습도발생기의 습도 발생량을 표시하는 기계식 습도 유량계;
습도발생기의 습도 발생량을 제어하는 습도 발생 전자 유량 제어 밸브; 및
습도발생 전자 유량 제어 밸브를 통해 습도 발생량을 제어하여 습도 발생량을 육안으로 확인할 수 있게 표시하는 전자유량표시기를 포함하며,

상기 복수의 측정 라인부는 제1 측정 라인부 및 제2 측정 라인부를 포함하고,
상기 제어부는
상기 제1 측정 라인부의 모드가 측정모드가 아니면 상기 제1 측정 라인부를 대기모드 전환하고, 대기모드 질소 공급 전자밸브와 가스 배출 전자밸브를 동작시키고,
상기 제2 측정 라인부가 측정모드인지 판단 후, 아닐 경우 상기 제2 측정 라인부를 대기 모드로 전환하고, 대기모드 질소 공급 전자밸브와 가스 배출 전자밸브를 동작시키며,
상기 제1 측정 라인부의 조건이 측정 모드로 설정되어 있으면, 제1 소둔로 샘플링 가스 공급 전자밸브를 동작시켜 샘플링 가스를 공급하고, 소둔로내 가스 공급 전자밸브, 가스 배출 전자밸브를 동작시켜 챔버로 샘플링가스가 통과 후 대기로 배기시키고,
상기 챔버에 연결되어 있는 측정용 노점센서는 샘플링 가스의 노점데이터를 받아 소둔로내 습도측정부로 출력신호를 전송하여 데이터를 전송하고, 소둔로내 습도측정부에서는 제어부로 데이터를 전송하며,
상기 제어부는 상기 소둔로내 습도측정부에서 전송된 데이터를 미리 설정된 노점데이터의 관리범위 밖인지를 판단하여 벗어나지 않은 경우 샘플링가스 구간을 전환할 것인가 판단하며,
측정된 노점데이터가 관리범위 밖이면, 소둔로 샘플링 가스 기준습도측정부 공급 전자밸브를 동작시켜 소둔로내 샘플링 가스가 기준습도 측정센서를 통과하게 하고, 상기 기준습도 측정센서는 샘플링 가스의 노점 데이터를 측정하여 기준습도 프로세서에 측정된 데이터를 전송하며,
기준습도 측정부는 상기 제어부에 노점데이터를 전송하고,
상기 제어부는 측정된 노점 데이터와 상기 기준습도 측정센서로부터의 노점 데이터를 비교하여 데이터 차이가 관리범위를 벗어났는지 판단하여 해당 노점의 측정용 노점센서의 교정 여부를 판단하며,
교정 모드시 상기 소둔로 샘플링 가스 기준습도측정부 공급 전자밸브를 차단하고, 질소가스가 상기 기준습도 측정센서에 투입될 수 있도록 습도발생기 질소 공급 전자밸브와 습도발생기 차단 전자밸브를 동작시킨 후,
현재 측정모드 중인 측정 라인부는 교정 모드로 전환되고, 대기 모드 중이던 다른 측정 라인부는 측정모드로 전환하여 연속적으로 소둔로의 노점데이터를 측정하는 습도 측정 장치.
A line switching unit having a plurality of measurement line units for measuring sampling gas in an annealing furnace;
A humidity generating and measuring unit for measuring the humidity of the dew point of the measurement line unit in the measurement mode among the plurality of measurement line units and generating humidity to be supplied to the dew point; And
And a controller for comparing the humidity measurement data of the dew point with the reference data and controlling the humidity of the nitrogen gas introduced into the dew point,
Each of the plurality of measurement line portions
An annealing furnace gas supply solenoid valve for controlling a dew point sensor for measurement in the annealing furnace in the measurement mode so that the measurement dew point sensor measures the annealing furnace sampling gas;
A calibration gas supply solenoid valve for supplying a nitrogen gas having a humidity according to the control to the dew point in a calibration mode;
A standby mode nitrogen supply solenoid valve for supplying the corresponding dew point with a humidity lower than that in the calibration mode after calibration; And
And a gas exhaust solenoid valve for opening and closing the gas flow in the measurement line section,
The humidity generating and measuring unit
A reference humidity measuring unit for measuring a reference humidity of the dew point sensor for measurement and providing reference humidity data according to the control;
An annealing furnace humidity measuring unit for receiving a signal generated from the measuring dew point sensor and internally calculating the humidity of the dew point sensor for measurement;
A humidity generator for generating humidity in a calibration mode operation;
A mechanical humidity flow meter for indicating the amount of humidity generated by the humidity generator;
A humidity generating electronic flow control valve for controlling the amount of humidity generated by the humidity generator; And
And an electronic flow rate indicator for controlling the amount of humidity generated through the humidity generating electronic flow control valve so as to visually confirm the amount of humidity generated,

Wherein the plurality of measurement line portions include a first measurement line portion and a second measurement line portion,
The control unit
If the mode of the first measurement line unit is not the measurement mode, the first measurement line unit is switched to the standby mode, the standby mode nitrogen supply solenoid valve and the gas discharge solenoid valve are operated,
Determining whether the second measurement line is in the measurement mode, and if not, switching the second measurement line unit to the standby mode, operating the standby mode nitrogen supply solenoid valve and the gas discharge solenoid valve,
When the condition of the first measurement line section is set to the measurement mode, the sampling gas is supplied by operating the first annealing furnace sampling gas supply solenoid valve, the gas supply solenoid valve in the annealing furnace, and the gas discharge solenoid valve are operated, After the sampling gas has passed through it,
The dew point sensor for measurement connected to the chamber receives dew point data of the sampling gas and transmits an output signal to the humidity measurement unit in the annealing furnace to transmit data. The humidity measurement unit in the annealing furnace transmits data to the control unit,
Wherein the control unit determines whether the data transmitted from the humidity measurement unit in the annealing furnace is outside the management range of the preset dew point data,
When the measured dew point data is outside the control range, the annealing furnace sample gas reference humidity measuring section supply solenoid valve is operated to allow the sampling gas in the annealing furnace to pass through the reference humidity measuring sensor, To transmit the measured data to the reference humidity processor,
The reference humidity measuring section transmits dew point data to the control section,
The control unit compares the measured dew point data with the dew point data from the reference humidity measurement sensor to determine whether the data difference is out of the control range and determines whether the dew point sensor for calibration of the dew point is calibrated.
In the calibration mode, the supply solenoid valve for sampling gas reference humidity measurement part in the annealing furnace is shut off, the humidity generator nitrogen supply electromagnetic valve and the humidity generator shutoff solenoid valve are operated so that nitrogen gas can be input to the reference humidity measurement sensor,
Wherein the measurement line section in the current measurement mode is switched to the calibration mode and the other measurement line section in the standby mode is switched to the measurement mode to continuously measure the dew point data of the annealing furnace.
삭제delete 삭제delete 삭제delete 소둔로 내의 샘플링 가스를 측정하는 복수의 측정 라인부 중 측정 모드 중인 측정 라인부의 노점의 습도를 측정하는 측정 모드 단계;
해당 노점의 습도 측정 데이터와 기준 데이터를 비교하여 기준 범위 밖이면, 설정된 습도를 갖는 질소 가스를 해당 노점에 투입하는 교정 모드 단계; 및
상기 교정 단계의 질소 가스의 습도보다 낮은 습도를 갖는 질소 가스를 해당 노점에 투입하는 대기 모드 단계를 포함하고,
상기 측정 모드 단계는,
제1 측정 라인부의 모드가 측정모드가 아니면 제1 측정 라인부를 대기모드 전환하고, 대기모드 질소 공급 전자밸브와 가스 배출 전자밸브를 동작시키고,
제2 측정 라인부가 측정모드인지 판단 후, 아닐 경우 제2 측정 라인부를 대기 모드로 전환하고, 대기모드 질소 공급 전자밸브와 가스 배출 전자밸브를 동작시키며,
상기 제1 측정 라인부의 조건이 측정 모드로 설정되어 있으면, 제1 소둔로 샘플링 가스 공급 전자밸브가 동작하여 샘플링 가스를 공급하고, 소둔로내 가스 공급 전자밸브, 가스 배출 전자밸브가 동작하여 챔버로 샘플링가스가 통과 후 대기로 배기되고,
상기 챔버에 연결되어 있는 측정용 노점센서는 샘플링 가스의 노점데이터를 받아 소둔로내 습도측정부로 출력신호를 전송하여 데이터를 전송하고, 소둔로내 습도측정부에서는 제어부로 데이터를 전송하며,
상기 제어부에서는 상기 소둔로내 습도측정부에서 전송된 데이터를 미리 설정된 노점데이터의 관리범위 밖인지를 판단하여 벗어나지 않은 경우 샘플링가스 구간을 전환할 것인가 판단하고,

상기 교정 모드 단계는
측정된 노점데이터가 관리범위 밖이면, 소둔로 샘플링 가스 기준습도측정부 공급 전자밸브가 동작하여 소둔로내 샘플링 가스가 기준습도 측정센서를 통과하게 하고, 상기 기준습도 측정센서는 샘플링 가스의 노점 데이터를 측정하여 기준습도 프로세서에 측정된 데이터를 전송하며,
기준습도 측정부는 상기 제어부에 노점데이터를 전송하고,
상기 제어부는 측정된 노점 데이터와 상기 기준습도 측정센서로부터의 노점 데이터를 비교하여 데이터 차이가 관리범위를 벗어났는지 판단하여 해당 노점의 측정용 노점센서의 교정 여부를 판단하며,
교정 모드시 상기 소둔로 샘플링 가스 기준습도측정부 공급 전자밸브를 차단하고, 질소가스가 상기 기준습도 측정센서에 투입될 수 있도록 습도발생기 질소 공급 전자밸브와 습도발생기 차단 전자밸브를 동작시킨 후,
현재 측정모드 중인 측정 라인부는 교정 모드로 전환되고, 대기 모드 중이던 다른 측정 라인부는 측정모드로 전환하여 연속적으로 소둔로의 노점데이터를 측정하는 습도 측정 장치의 측정 정도 향상 방법.
A measurement mode step of measuring the humidity of the dew point of the measurement line part in the measurement mode among the plurality of measurement line parts for measuring the sampling gas in the annealing furnace;
A calibration mode step of comparing the humidity measurement data of the dew point with the reference data and inputting the nitrogen gas having the set humidity outside the reference range to the dew point; And
And a standby mode step of injecting nitrogen gas having a humidity lower than the humidity of the nitrogen gas in the calibration step into the dew point,
Wherein the measurement mode step comprises:
If the mode of the first measurement line unit is not the measurement mode, the first measurement line unit is switched to the standby mode, the standby mode nitrogen supply solenoid valve and the gas discharge solenoid valve are operated,
Determining whether the second measurement line is in the measurement mode, switching the second measurement line portion to the standby mode if not, operating the standby mode nitrogen supply solenoid valve and the gas discharge solenoid valve,
When the condition of the first measurement line section is set to the measurement mode, the first annealing furnace sampling gas supply solenoid valve is operated to supply the sampling gas, the gas supply solenoid valve in the annealing furnace, and the gas discharge solenoid valve are operated, After the sampling gas passes, it is exhausted to the atmosphere,
The dew point sensor for measurement connected to the chamber receives dew point data of the sampling gas and transmits an output signal to the humidity measurement unit in the annealing furnace to transmit data. The humidity measurement unit in the annealing furnace transmits data to the control unit,
The control unit determines whether the data transmitted from the humidity measurement unit in the annealing furnace is outside the management range of the preset dew point data, and determines whether to switch the sampling gas interval if not.

The calibration mode step
When the measured dew point data is out of the control range, the annealing furnace sampling gas reference humidity measuring section supply solenoid valve is operated to allow the sampling gas in the annealing furnace to pass through the reference humidity measuring sensor, To transmit the measured data to the reference humidity processor,
The reference humidity measuring section transmits dew point data to the control section,
The control unit compares the measured dew point data with the dew point data from the reference humidity measurement sensor to determine whether the data difference is out of the control range and determines whether the dew point sensor for calibration of the dew point is calibrated.
In the calibration mode, the supply solenoid valve for sampling gas reference humidity measurement part in the annealing furnace is shut off, the humidity generator nitrogen supply electromagnetic valve and the humidity generator shutoff solenoid valve are operated so that nitrogen gas can be input to the reference humidity measurement sensor,
Wherein the measurement line portion in the current measurement mode is switched to the calibration mode and the other measurement line portion in the standby mode is switched to the measurement mode to continuously measure the dew point data of the annealing furnace.
제5항에 있어서,
상기 교정 모드 단계는 복수의 측정 라인부 중 측정 모드 중인 측정 라인부의 노점의 습도가 기준 범위 밖이면, 해당 측정 라인부는 교정 모드로 동작하고, 나머지 측정 라인부 중 하나의 측정 라인부가 측정 모드로 동작하는 습도 측정 장치의 측정 정도 향상 방법.
6. The method of claim 5,
Wherein the calibration mode step is performed when the humidity of the dew point of the measurement line part in the measurement mode in a plurality of measurement line parts is out of the reference range and the measurement line part is operated in the calibration mode and one of the remaining measurement line parts is operated in the measurement mode A method of improving the measurement accuracy of the humidity measuring apparatus.
삭제delete 제5항에 있어서,
상기 측정 모드 단계는 해당 측정 라인부가 측정 모드로 전환 전까지 수행되며, 측정 모드로 전환 시 종료되고, 측정 모드인지를 판단하는 동작을 반복하는 습도 측정 장치의 측정 정도 향상 방법.
6. The method of claim 5,
Wherein the measurement mode step is repeated until the corresponding measurement line part is switched to the measurement mode and is terminated upon switching to the measurement mode and repeats the operation of determining whether the measurement mode is the measurement mode.
삭제delete 삭제delete 제5항에 있어서,
상기 교정 모드 단계는
측정 모드 중인 측정 라인부가 측정 모드에서 교정 모드로 변환되면,
소둔로내 가스 공급 전자밸브는 닫히고, 교정용 가스 공급 전자밸브(120)는 열려, 습도 발생기를 통과하여 나온 습기가 포함된 질소 가스가 교정용 가스 공급 전자밸브을 통해 상기 챔버를 통과하여 가스 배출 전자밸브를 통해 배기되도록 밸브가 전환되고,
대기모드 중인 측정 라인부의 대기모드 질소 공급 전자밸브가 닫히고 소둔로내 가스 공급 전자밸브가 열려 샘플링가스가 소둔로내 가스 공급 전자밸브, 챔버 및 가스 배출 전자밸브를 통과하여 대기중으로 배기 될 수 있도록 밸브가 전환되어 소둔로내의 습도를 연속측정하는 습도 측정 장치의 측정 정도 향상 방법.
6. The method of claim 5,
The calibration mode step
When the measurement line in the measurement mode is switched from the measurement mode to the calibration mode,
The gas supply solenoid valve in the annealing furnace is closed, the calibration gas supply solenoid valve 120 is opened, and nitrogen gas containing moisture, which has passed through the humidity generator, passes through the chamber through the calibration gas supply solenoid valve, The valve is switched to be exhausted through the valve,
The standby mode nitrogen supply solenoid valve in the measurement line portion in the standby mode is closed and the gas supply solenoid valve in the annealing furnace is opened so that the sampling gas can be exhausted to the atmosphere through the gas supply solenoid valve, chamber, and gas discharge solenoid valve in the annealing furnace, And the humidity in the annealing furnace is continuously measured.
제11항에 있어서,
상기 교정 모드 단계는
상기 제어부는 습도발생 전자유량제어밸브를 제어하여 유량제어를 수행하고, 유량제어된 질소 가스는 습도발생기를 통과하여 습기가 포함된 질소 가스가 되어, 교정용 가스 공급 전자밸브, 교정용 가스 공급 전자밸브 및 기준습도 측정센서에 전달되고, 측정용 노점센서 및 기준습도 측정센서는 상기 습기가 포함된 질소가스를 측정하여 상기 측정용 노점센서는 소둔로내 습도측정부에 데이터를 전송하고, 상기 기준습도 측정센서는 기준습도 측정부에 노점신호를 전달하며,
상기 소둔로내 습도측정부 및 상기 기준습도 측정부는 각각 제어부에 노점데이터를 전달하는 습도 측정 장치의 측정 정도 향상 방법.
12. The method of claim 11,
The calibration mode step
The control unit controls the flow rate of the humidity-generating electromagnetic flow control valve to control the flow rate of the nitrogen gas. The flow rate of the nitrogen gas is controlled through the humidity generator to become nitrogen gas containing moisture, And the reference dew point sensor and the reference dew point sensor measure the nitrogen gas containing the moisture so that the dew point sensor for measurement transmits data to the humidity sensor of the annealing furnace, The humidity sensor transmits a dew point signal to the reference humidity measuring unit,
Wherein the annealing temperature humidity measurement unit and the reference humidity measurement unit transmit dew point data to the control unit, respectively.
제12항에 있어서,
상기 교정 모드 단계는
제어부는 상기 습기가 포함된 질소가스가 설정된 습도 발생량이면, 전송받은 노점데이터가 안정이 되었는가 판단하여, 해당 측정용 노점 센서의 교정을 제어하는 습도 측정 장치의 측정 정도 향상 방법.

13. The method of claim 12,
The calibration mode step
Wherein the controller controls the calibration of the measurement dew point sensor by determining whether the received dew point data is stable if the nitrogen gas containing moisture is a set humidity amount.

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