KR101636593B1 - 가스 송출용 번들 트레일러 - Google Patents

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미하엘 피트로프
육환 박
우진 조
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솔베이 플루오르 게엠베하
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Abstract

(i) 복수의 번들이 위치되는 지지 프레임; (ii) 각각 번들 프레임, 화학물질을 함유하는 복수의 컨테이너, 및 컨테이너 내 화학물질의 송출을 제어하는 하나 이상의 번들 밸브를 포함하는, 복수의 번들; (iii) 하나 이상의 트레일러 밸브; 및 (iv) 번들을 고정시키는 하나 이상의 클램프를 포함하는, 컨테이너용 번들 트레일러를 개시한다. 상기 번들 트레일러는 불소 원소 및 그의 혼합물 같은 고순도 흡습성·부식성 화학물질을 적절한 융통성, 높은 안전성 및 저비용으로 송출가능하다.

Description

가스 송출용 번들 트레일러{BUNDLE TRAILER FOR GAS DELIVERY}
본 발명은 일반적으로 트럭에 부착되어 유체 컨테이너들의 저장 또는 수송 용도로 쓰이는 트레일러, 특히는 압축가스 컨테이너용 트레일러에 관한 것이다.
정교한 반도체, 평면 패널, 태양광 발전용 및 차량용 장치 제조 공정에, 흡습성·부식성 화학물질이 자주 사용된다. 이러한 화학물질 중 전형적인 예는 가스 상태의 불소로서, 이는 습공기 중에서 강하게 반응한다. 벌크 불소 또는 그의 혼합물을 특수 컨테이너(예컨대, 튜브 트레일러 또는 실린더) 내에 압축가스 형태로 적재된다. 불소는 모든 원소들 중 가장 전기음성적이고 반응성이 가장 크기 때문에, 특히 부식성을 띄는 등 매우 반응적이며 사실상 모든 유기 및 무기 물질과 반응한다.
한국특허 공개공보 제10-2002-14870호에는 불소 원소를 비롯한 고순도 화학물질의 이송 및 송출용 장치 및 방법은 물론, 복수의 가스 탱크가 결합되어 장착된 튜브 트레일러를 포함하는 반도체 제조용 가스 공급 시스템이 개시되어 있다.
미국특허 제5,539,998호에는 흡습성·부식성 화학물질을 고압 공급원으로부터 저압 사용처(use point)로 이송 및 송출하는 장치가 개시되어 있다. 상기 장치는: (a) 화학물질의 공급원 및 사용처에 연결되는 송출 도관; (b) 송출 도관 내에 연결되어, 도관을 통과하는 화학물질로부터 수분을 제거시키는 탈수기; (c) 송출 도관 내에 연결되어, 고압 공급원의 압력을 저압 사용처의 압력 수준으로 낮추는 하나 이상의 압력 조절기; (d) 상기 하나 이상의 압력 조절기를 통과하는 화학물질을 가열시키는 하나 이상의 수단; 및 (e) 송출 도관을 공급원 및/또는 사용처에 연결시키는 작동에서 송출 도관을 배기(evacuate)시키는 진공 수단을 포함한다.
부식성 화학물질 송출 업계는, 각각 50 내지 100 kg의 용량을 가진 여러 튜브가 구비된 튜브 트레일러를 이용하여 고순도 화학 가스를 제공하고자 하였다. 이러한 튜브 트레일러를 이용함에도 불구하고, 업체들은 불안정한 안전성 제어, 높은 유지비용, 다양한 사용처를 갖는 시스템들과의 낮은 호환성 등의 문제점들을 경험하였다.
본 발명은 고유한 번들 통합 방식을 이용하여 종래 기술의 이러한 단점들을 극복하였다. 또한, 본 발명은 불소 원소, 및 N2, Ar, He와 불소 원소와의 혼합물 같은 고순도의 흡습성·부식성 화학물질을 적절한 융통성, 높은 안전성 및 저비용으로 송출가능하다.
본 발명의 목적은 컨테이너들이 번들 형태로 지지되어 있는 번들 트레일러를 제공하는 것으로, 이들 번들은 트레일러로부터 개별적으로 분리될 수 있으며 어떠한 컨테이너도 쉽게 분리될 수 있게 한다.
본 발명의 다른 목적은 트레일러 프레임에 쉽게 고정될 수 있으며 컨테이너에 의해 가해지는 부하관성을 본질적으로 수용할 수 있는 번들을 제공하는 데에 있다.
당해 기술분야의 숙련자에게 분명한 것처럼, 이들 및 다른 목적들을 염두에 두어, 본 명세서에 명시되고 특히 청구범위에 지적된 바와 같이 여러 부분들을 조합하여 본 발명을 이루었다.
도 1은 본 발명에 따른 화학물질 이송 및 송출 장치의 일 구현예를 개략적으로 보여주는 도면.
도 2는 본 발명의 원리를 구현한 컨테이너들이 구비된 번들 트레일러의 정면도.
도 3 내지 도 5는 컨테이너들이 구비된 번들 트레일러의 정면도 및 평면도.
본 발명은 복수의 번들을 구비하는 번들 트레일러에 관한 것으로, 각각의 번들은 번들 프레임 및 상기 번들 프레임에 장착되며 화학물질을 함유하는 원통형의 복수 컨테이너를 포함한다. 각각의 번들은 컨테이너 내 화학 제품의 송출을 제어하는 하나 이상의 공압 번들 밸브를 구비하고 있다. 본 발명에 따른 번들 트레일러의 단부에는 화학물질의 주요 흐름을 제어하는 하나 이상의 트레일러 밸브 및 번들을 고정시키는 하나 이상의 클램프가 더 구비되어 있다. 일부 구현예에서, 상기 번들 트레일러의 밸브는 원거리 조작에 의해 개방되도록 구성됨으로써, 수동식의 개방 구조에 비해 더 높은 안전성을 작업자들에게 보장할 수 있다.
당해 기술분야에 공지되어 있는 트레일러는, 컨테이너의 바닥층이 지지되는 평판 수평 프레임을 구비한다. 연속층들이 적층되고 이들을 하부 컨테이너들이 지지하면서 컴팩트한 번들이 형성된다. 컨테이너 길이를 따라 이격 간격으로 지지체를 자주 제공하고 리테이너들을 이용하여 번들을 프레임에 고정시킨다. 트레일러의 한 단부에는, 일반적으로 컨테이너 단부들을 매니폴드 구조로 만들고 배관을 마련하여 컨테이너에 가스를 공급하고 컨테이너로부터 압축가스를 배출시킨다.
일 구현예에서, 번들 트레일러는 자신이 적재되는 윙 바디(wing body)를 더 포함한다. 일부 구현예에 의하면, 윙 바디는 번들 트레일러에 필요한 전자 장치들을 작동시키기 위한 배터리를 포함하는데, 이때 전자 장치들은 자동문, 사이렌 램프, 화학물질 감지기, 또는 이들의 조합으로 이루어진 군에서 선택된다. 구체적으로는, 미국특허 제5,539,998호에 나타나 있듯이, 번들 트레일러에 열전대 온도센서 및 압력 측정기(pressure transducer) 같은 적합한 센서를 설치함으로써 번들 트레일러의 주변 온도, 튜브 트레일러 또는 공급원으로부터의 화학물질 온도 및 선택된 시간 간격에 걸쳐 상대적인 압력 변화를 감지하여 해당 제어기에 전송한다. 감지 값들이 소정의 미리 설정된 값들을 초과하는 경우, 제어기는 윙 바디에 부착된 해당 장치로부터의 해당 경고 신호를 발생시킨다.
번들을 지지 프레임 상에 배치시켜 가스 공급, 송출 및 하중 제거 조작 동안에 안전하고 안정적 상태에 있도록 한다.
본 발명의 번들 트레일러가 일반적으로 유체에 적합하지만, 특히는 압축가스, 그 중에서도 반응성이 높고/높거나 부식성인 가스, 예를 들어, F2, 및 F2와 N2 및/또는 희가스(특히 아르곤)와의 혼합가스에 유용하며, 이러한 용도에 대해 하기에 기술하기로 한다. 도 1 및 도 2에서, 그 전체가 도면번호(11)로 표시된 번들 트레일러는 대체로 수평인 지지 프레임(12)을 구비하고 있으며, 이 프레임 상에 복수의 컨테이너 번들(14)이 지지된다. 일부 구현예에서, 컨테이너 번들의 개수는 한 프레임 내에 약 6 내지 약 16개의 범위에 속한다. 번들은 복수의 가스-함유 컨테이너(16)로 이루어져 있으며, 이들 컨테이너는 바람직하게 긴 원통형 구조를 가지며 일반적으로 단부측으로 갈수록 원통형 단면적이 작아진다. 각각의 번들은 일반적으로 약 2 내지 약 40개, 약 3 내지 약 30개, 약 4 내지 약 20개의 컨테이너를 구비하며, 각 컨테이너의 용량은 약 10 내지 약 100 kg, 약 15 내지 약 50 kg, 약 18 내지 약 27 kg, 또는 약 26 kg, 특히는 약 26.4 kg이다. 다른 구현예에서, 각각의 번들은 도 3 내지 도 5에 도시된 바와 같이 단일 수직 또는 수평 열의 컨테이너들 또는 다수 열의 컨테이너들을 포함할 수 있으며, 이는 특정 용도에 적합할 수 있다.
이제 본 발명을 도 1에 도시된 바와 같은 특정 구현예와 관련해서 설명하기로 한다. 컨테이너 단부에는, 컨테이너에 가스를 유입하고 컨테이너로부터 가스를 배출시키며 초과 압력을 해소시키는 컨테이너 밸브(3)가 장착되어 있다. 또한, 화학물질의 흐름을 제어하기 위해, 각각의 번들은 하나 이상의 번들 밸브(2)를 구비하고 있으며 번들 트레일러는 하나 이상의 트레일러 밸브(1)를 구비하고 있다.
트레일러 측에서, 트레일러 밸브(1)는 일반적으로 주 파이프(main pipe)에 연결되며, 주 파이프는 다른 번들 밸브(2)들에 연결되어 화학물질 배출시 컨테이너 번들(14)로부터 화학물질을 받는다. 주 파이프는 추가 가스 공급 밸브(4)에 연결가능하며, 이를 통해 예를 들면 비활성 가스(특히는 질소)가 공급될 수 있다. 송출(delivery) 측에서, 트레일러 밸브는 제품 공급 밸브(9)에 연결되며, 이를 통해 특히 F2/N2 혼합가스가 공급될 수 있다. 가스 공급 밸브(7)를 통해, 예를 들면, 비활성 가스(특히는 질소)를 컨테이너 번들(14)에 공급하여 이를테면 화학물질 배출시 압력평형이 확실히 이루어지게 한다. 화학물질을 분해시키는 시스템, 예를 들어 스크러버(scrubber)에 출구 밸브(8)를 연결하여 이를테면 번들 트레일러를 퍼징시키거나 또는 압력을 대기로 해소시킨다. 특정의 일 구현예에 의하면, 그를 통해 비활성 가스가 공급되는 트레일러 가스 공급 밸브(5)는 컨테이너 번들을 에워싸는 밀폐공간에 비활성 분위기를 조성한다. 또 다른 구현예에 의하면, 흡입 밸브(6)는 예컨대 화학물질이 상기 밀폐공간에 누설되는 경우에, 만일 원한다면, 상기 밀폐공간 내의 가스를 배기시키는 수단으로 연결된다. 가스를 배기시키는 수단은 화학물질을 분해시키는 시스템, 예를 들어 스크러버에 적절히 연결될 수 있다. 바람직하게 번들 트레일러는 트레일러 가스 공급 밸브 및 흡입 밸브 모두를 구비한다. 상기 밀폐공간은 예를 들어 윙 바디를 통해 형성될 수 있으며, 이 경우 상기 윙 바디는 상기 트레일러 가스 공급 밸브(5) 및/또는 상기 흡입 밸브(6)를 적절히 구비한다.
특정 구현예에서, 송출 시스템의 고압력 측의 부품들은 Monel 400 같은 니켈계 합금으로 제조될 수 있다. 그러나, 대략 125 psig의 실린더 압력에서, 이들 부품은 불소 같은 부식성 화학물질과 상온에서 혼화가능한 표준 물질(예컨대, 스테인레스강, 황동 또는 구리)로 제조될 수 있다. 압력조절장치의 낮은 압력 측은 앞서 언급한 금속들 중 임의의 것으로 제조된 부품들을 구비할 수 있다. 폴리머 또는 플루오로폴리머 물질을 밸브 시트 및 오링(O-ring)에 이용하지 않는 것이 바람직하다. 밸브 및 오리피스는 금속성 물질 또는 세라믹 물질로 제조가능하다.
본 발명의 번들 트레일러는 당해 기술분야에 공지된 임의의 적절한 장치, 예컨대, 번들 적재를 위한 각도 가이드, 탈수기, 압력 조절기 등을 필요한 대로 더 포함할 수 있다.
특정의 일 구현예에 의하면, 적재 조작시, 대상 화학물질로 충전된 컨테이너가 구비된 번들을 지게차 같은 적합한 장치에 의해 적재한 후, 번들 각각을 파스너 또는 볼트 같은 고정 수단으로 고정시킨다. 그리고나서, 화학물질 공급용 주 파이프에 부착되어 있는 캡을 분리시키고, 번들 밸브(2) 및 번들 트레일러의 주 파이프를 서로 연결한다. 트레일러 밸브와 번들 사이의 도관을 질소 같은 비활성 가스로 퍼징시키는 것이 훨씬 안전하기 때문에, 트레일러 밸브가 개방되면 주 파이프를 질소 가스 공급용 파이프에 연결시킨다. N2 압력이 특정 값(예컨대, 약 150 바)에 이르면, 트레일러 밸브를 잠근다.
공급 조작 시, 화학물질이 누설되는지 검사할 때 하기 과정들을 적용할 수 있다:
(a) 트레일러 밸브와 고객 측의 연결부를 연결시키고, 번들 밸브(2)를 개방함으로써 번들 컨테이너 및 주 파이프가 동일한 압력을 갖도록 하고;
(b) 트레일러 밸브(1)를 개방하여 주 파이프 내에 충전된 질소 가스를 제거하고;
(c) 번들 밸브(2) 및 트레일러 밸브(1)를 잠근 후, 컨테이너 밸브(3) 및 번들 밸브(2)를 순차적으로 개방하고;
(d) 트레일러 밸브(1)를 개방하여 공급이 완료될 때까지 불소 가스를 공급하고;
(e) 트레일러 밸브(1), 번들 밸브(2) 및 컨테이너 밸브(3)를 순차적으로 잠그고, 트레일러 밸브를 N2 파이프에 연결할 때 트레일러 밸브 및 번들 밸브 사이의 도관을 N2로 퍼징시킨다.
하중 제거 조작 시, 도관을 스크러버 (흡입) 라인에 연결함으로써 도관 내의 질소를 제거한다. 오염물질 및 퍼징 가스는 진공 펌프에 의해 스크러버(8)를 통해 배출되어 별도의 스크러빙 시스템(미도시됨)에 전달된다. 진공 펌프(미도시됨)의 상류측 적당한 곳에 필터를 배치함으로써 진공 펌프를 부식성 화학물질로부터 보호할 수 있다.
본 발명이 특정 구현예들을 참조로 설명되었지만, 당해 기술분야의 숙련자라면 청구범위의 사상 및 범주 내에 기타 다른 구현예들이 가능함을 이해할 것이다.

Claims (15)

  1. 복수의 번들이 위치되는 지지 프레임;
    번들 프레임, 화학물질을 함유하는 복수의 컨테이너, 및 컨테이너 내 화학물질의 송출을 제어하는 하나 이상의 번들 밸브를 포함하는, 복수의 번들;
    화학물질의 주요 흐름을 제어하는 하나 이상의 트레일러(trailer) 밸브;
    상기 하나 이상의 트레일러 밸브와는 상이한 가스 공급 밸브이며, 이 가스 공급 밸브를 통해 비활성 가스를 번들에 공급할 수 있는 하나 이상의 가스 공급 밸브; 및
    번들을 고정시키는 하나 이상의 클램프를 포함하는, 컨테이너용 번들 트레일러.
  2. 제1항에 있어서, 상기 번들 트레일러는 자신이 적재되는 윙 바디를 더 포함하는 것인 번들 트레일러.
  3. 제2항에 있어서, 윙 바디는 전자 장치를 작동시키는 배터리를 포함하는 것인 번들 트레일러.
  4. 제3항에 있어서, 전자 장치는 자동문, 사이렌 램프, 화학물질 감지기, 및 이들의 조합으로 이루어진 군에서 선택되는 것인 번들 트레일러.
  5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 각각의 번들은 2 내지 40개의 컨테이너를 포함하는 것인 번들 트레일러.
  6. 제5항에 있어서, 각각의 번들은 4 내지 20개의 컨테이너를 포함하는 것인 번들 트레일러.
  7. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 화학물질은 F2, N2, 희가스 및 이들의 조합물로 이루어진 군에서 선택되는 것인 번들 트레일러.
  8. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 각 컨테이너의 용량이 10 내지 100 kg인 것인 번들 트레일러.
  9. 제8항에 있어서, 각 컨테이너의 용량이 컨테이너 당 18 내지 27 kg인 것인 번들 트레일러.
  10. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 하나 이상의 컨테이너가 원통 형상인 것인 번들 트레일러.
  11. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 컨테이너들이 수직방향을 따라 일직선으로, 수평방향을 따라 일직선으로, 또는 양쪽 모두의 방식으로 배치되는 것인 번들 트레일러.
  12. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 번들 밸브 및 트레일러 밸브는 원거리 조작에 의해 개방되도록 구성되는 것인 번들 트레일러.
  13. 제4항에 있어서, 화학물질이 누설되는 즉시 감지기가 경고음을 발생시키는 것인 번들 트레일러.
  14. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 번들의 수는 한 프레임 내 6 내지 16개의 범위에 속하는 것인 번들 트레일러.
  15. 삭제
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