KR101635064B1 - Burner of Scrubber - Google Patents

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KR101635064B1
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gas
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KR1020140195598A
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전동근
이성욱
채명기
신현욱
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주식회사 글로벌스탠다드테크놀로지
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Abstract

The present invention relates to a burner of a scrubber. According to the present invention, the burner comprises: a sub nozzle frame installed in an upper central portion of a main path; a sub nozzle hole located in an inside facing from a lower surface of a burner housing to a central portion of a main nozzle hole; and a movement pipe installed along a longitudinal direction in the main path wherein an upper end of the movement pipe is connected to the sub nozzle frame and a lower end of the movement pipe is connected to the sub nozzle hole. According to the present invention, in the burner, a waste gas, discharged through a waste gas discharging hole between the main nozzle hole and the sub nozzle hole, is sufficiently reacted through dual frames generated in the main nozzle hole and the sub nozzle hole, thereby improving processing efficiency of the waste gas.

Description

스크러버의 버너{Burner of Scrubber}[0002] Burner of Scrubber [

본 발명은 공정챔버에서 발생되는 폐가스의 연소를 위해 공급되는 연료가스와 산화가스를 점화시켜 화염을 발생시키는 스크러버의 버너에 관한 것이다.The present invention relates to a burner of a scrubber for generating a flame by igniting a fuel gas and an oxidizing gas supplied for combustion of waste gas generated in a process chamber.

일반적으로 반도체 공정은 실리콘 기판에 사진, 확산, 식각, 화학기상증착 및 금속증착 등의 다양한 공정을 반복수행하게 되며, 이러한 공정 중 확산, 식각, 화학기상증착 등의 공정은 밀폐된 공정챔버 내부에 공정가스를 공급하여 이들 공정가스로 하여금 웨이퍼 상에서 반응토록 하는 것이다.In general, a semiconductor process repeatedly performs various processes such as photo, diffusion, etching, chemical vapor deposition, and metal deposition on a silicon substrate, and processes such as diffusion, etching, and chemical vapor deposition are performed in a sealed process chamber The process gas is supplied to cause these process gases to react on the wafer.

한편, 반도체 제조 공정에 사용되는 가스는 유독성, 가연성 및 부식성 등 그 특성이 강한 것이 사용되고, 이러한 공정가스는 제조설비의 공정 과정에서 약 10% 정도만이 반응에 참여하고, 나머지 90% 정도의 공정가스는 미반응한 상태에서 제조설비로부터 배출된다.On the other hand, the gas used in the semiconductor manufacturing process has a strong characteristic such as toxicity, flammability and corrosiveness, and this process gas only participates in the reaction process of about 10% in the manufacturing process, and the remaining 90% Is discharged from the manufacturing facility in an unreacted state.

따라서 이러한 공정가스인 유독성 폐가스들이 별도의 정화과정 없이 대기중에 그대로 방출될 경우 주변 제조설비의 손상과 심각한 환경오염 및 작업자의 안전사고를 초래하게 되므로 각 제조설비에는 배기덕트로 연결된 가스 배출라인 상에 배출가스를 안전한 상태로 분해 또는 정화시키는 스크러버가 설치된다.Therefore, if the toxic waste gas, which is a process gas, is discharged into the air without any purification process, it will cause damage to the surrounding manufacturing facilities, serious environmental pollution, and worker safety accidents. Therefore, each manufacturing facility is provided with a gas discharge line A scrubber is installed which decomposes or purifies the exhaust gas into a safe state.

스크러버는 폐가스의 성질 즉, 일반 공기와 접촉시 폭발적으로 반응하는 성질, 연소되는 성질, 가스 처리제와 반응하는 성질 및 물에 용해되는 성질 등을 이용하는 것으로 크게 건식과 습식 및 이들 건식과 습식을 병행하는 혼합식으로 구분된다.The scrubber utilizes the properties of the waste gas, such as explosive reactivity when contacted with ordinary air, combustibility, reactivity with a gas treating agent, and properties dissolving in water, which are largely dry and wet, Mixed type.

습식방식의 스크러버는 물을 이용하여 폐가스를 포집한 후, 세정 및 냉각하는 구조로써, 비교적 간단한 구성을 가지며, 제작이 용이하고 대용량화 할 수 있는 장점이 있다. 그러나 불수용성의 가스는 처리가 불가능하고, 특히 발화성이 강한 수소기를 포함하는 폐가스의 처리에는 부적절하다.A wet type scrubber is a structure for collecting waste gas by using water, followed by cleaning and cooling, has a relatively simple structure, and is easy to manufacture and has a large capacity. However, the water-insoluble gas is not processable, and is inadequate for the treatment of waste gas containing a hydrogen group, which is particularly highly ignitable.

건식방식의 스크러버는 버너 내부로 폐가스가 통과되도록 하여 직접 연소시키거나, 열원을 이용하여 고온의 챔버를 형성하고, 그 속으로 폐가스가 통과되도록 하여 간접적으로 연소시키는 구조를 갖는다. 이러한 건식방식의 스크러버는 발화성(가연성) 가스의 처리에는 탁월한 효과가 있으나, 수용성 가스와 같이 잘 연소되지 않는 가스의 처리에는 부적절하다.The dry type scrubber has a structure in which waste gas is passed through the burner to directly burn it, or a high-temperature chamber is formed by using a heat source, and waste gas is passed through the chamber to indirectly burn the gas. Such a dry type scrubber has an excellent effect in the treatment of flammable gas, but is unsuitable for the treatment of gas which is not well burned, such as a water-soluble gas.

혼합식 스크러버는 폐가스를 연소실에서 1차 연소시켜 발화성 가스 및 폭발성 가스를 제거한 후 2차적으로 수조에 수용시켜 수용성의 유독성 폐가스를 물에 용해시키는 구조를 가지며, 이러한 혼합형 스크러버의 선행기술로는 국내공개특허 제10-2010-0021135호 "폐가스 처리 장치"를 통해 이미 개시된 바 있다.The mixed-type scrubber has a structure in which waste gas is firstly combusted in a combustion chamber to remove ignitable gas and explosive gas, and then the water is secondarily contained in a water tank to dissolve a water-soluble toxic waste gas into water. As a prior art of such a mixed scrubber, Has already been disclosed in Japanese Patent No. 10-2010-0021135 entitled " Waste Gas Treatment Apparatus ".

한편, 스크러버의 버너를 통해 폐가스가 버닝되는 과정을 살펴보면, 도 1 에서와 같이 메인통로(10)의 측면에서 메인노즐프레임(30)을 통해 연료가스와 산화가스가 내부로 공급되면서 혼합된 연료가스와 산화가스가 버너 하우징(50)의 저면에서 배출됨과 동시에 점화장치(도면부호 미표기)에 의해 점화되어 버너 하우징(50)의 하부에 위치하는 반응기(도면중 미도시) 내에서 화염(32)을 발생시킨다.1, the fuel gas and the oxidizing gas are supplied to the inside of the main passage 10 through the main nozzle frame 30, and the mixed fuel gas And the oxidizing gas are discharged from the bottom of the burner housing 50 and ignited by an ignition device (not shown) to burn the flame 32 in the reactor (not shown in the figure) located below the burner housing 50 .

그리고 반도체 장비의 공정챔버에서 발생되는 폐가스는 메인통로(10)의 상부 양측에 위치하는 폐가스 노즐(20)을 통해 메인통로(10)로 유입되어 아래쪽 버너 하우징(50)의 저면에서 배출되면서 반응기 내의 화염과 반응하게 되어 연소/산화되거나 열분해된다.The waste gas generated in the process chamber of the semiconductor equipment flows into the main passage 10 through the waste gas nozzle 20 located on both sides of the upper portion of the main passage 10 and discharged from the bottom of the lower burner housing 50, It reacts with flame and is burned / oxidized or pyrolyzed.

여기서, 메인노즐프레임(30)과 연결되어 버너 하우징(50)의 저면에 위치하는 메인노즐공(31)은 버너 하우징(50) 저면 중심부에 위치하는 폐가스배출공(11)을 중심으로 방사형태의 환형을 이루며 서로 등간격을 유지하는 다수의 소공(31a)(31b)으로 구성된다.The main nozzle hole 31 connected to the main nozzle frame 30 and positioned on the bottom surface of the burner housing 50 is disposed in the center of the bottom of the burner housing 50, And a plurality of small holes 31a and 31b which are annular and maintain an equal distance from each other.

따라서, 메인노즐공(31)을 통해 배출되는 연료가스와 산화가스가 점화장치에 의해 점화되면서 만들어지는 화염(32)의 형상을 보면, 메인노즐공(31)의 안쪽인 내부에서는 화염이 형성되지 않고, 바깥쪽에만 화염(32)이 형성되어 메인노즐공(31)의 안쪽에 위치하는 폐가스배출공(11)에서 배출되는 폐가스가 화염(32)과 충분히 접촉되지 못하게 되면서 폐가스의 처리 효율성이 저하되는 문제점이 있었다.Therefore, the shape of the flame 32 formed by ignition of the fuel gas and the oxidizing gas discharged through the main nozzle hole 31 is not formed in the inside of the main nozzle hole 31 The flame 32 is formed only on the outer side so that the waste gas discharged from the waste gas discharge hole 11 located inside the main nozzle hole 31 is not sufficiently brought into contact with the flame 32, .

따라서 본 발명은 상술한 바와 같은 문제점을 해소하기 위해 안출된 것으로, 버너 하우징의 저면에서 발생되는 화염을 이중 구조로 형성하여 화염과 폐가스의 충분한 접촉을 통해 폐가스의 처리 효율성을 향상시킬 수 있도록 한 스크러버의 버너를 제공하는 목적이 포함된다.SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, the present invention has been made keeping in mind the above problems occurring in the prior art, and it is an object of the present invention to provide a scrubber capable of improving the treatment efficiency of waste gas by forming a flame in the bottom of the burner housing, The purpose of providing a burner is included.

본 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제는 이상에서 언급한 기술적 과제로 제한될 필요는 없으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.It is to be understood that both the foregoing general description and the following detailed description are exemplary and explanatory and are not intended to limit the invention to the precise form disclosed. It can be understood.

바람직한 일 실시 예에 따라 본 발명은 메인통로의 상면 중심부에 설치되는 보조노즐프레임과, 버너 하우징의 저면에서 메인노즐공의 중심부를 향하는 안쪽에 위치하는 보조노즐공 및 메인통로의 내부에서 길이방향을 따라 설치되며 상단은 보조노즐프레임과 연통되고 하단은 보조노즐공에 연결되는 이동관을 포함하여 구성된다.According to a preferred embodiment of the present invention, there is provided an air conditioner comprising: an auxiliary nozzle frame installed at a central portion of an upper surface of a main passage; an auxiliary nozzle hole located inwardly of the bottom of the burner housing toward a central portion of the main nozzle hole; And the upper end is connected to the auxiliary nozzle frame and the lower end is connected to the auxiliary nozzle hole.

더 바람직하게 본 발명의 이동관은 산화가스가 이동되는 하나의 관 내부에 연료가스가 이동되는 또 하나의 관이 내재되는 이중관으로 구성될 수 있다.More preferably, the moving pipe of the present invention may be constituted of a double pipe in which another pipe through which the fuel gas moves is disposed inside a single pipe through which the oxidizing gas is transferred.

더 바람직하게 본 발명의 이동관은 산화가스가 이동되는 하나의 관 일측에 연료가스가 이동되는 또 하나의 관이 개별적으로 구성되어 서로 결합되는 이격된 상태로 설치될 수 있다.More preferably, the moving pipe of the present invention may be installed in a spaced apart state where another pipe through which the fuel gas is moved is connected to one side of the one pipe through which the oxidizing gas is moved.

더 바람직하게 본 발명의 보조노즐공은 다수의 구멍이 방사형태의 등간격을 이루는 환형으로 구성되며, 메인노즐공의 직경보다 작은 직경을 가지도록 구성될 수 있다.More preferably, the auxiliary nozzle hole of the present invention is configured so that a plurality of holes are formed in an annular shape having a radial shape and equal to a diameter smaller than the diameter of the main nozzle hole.

더 바람직하게 본 발명의 메인노즐공과 보조노즐공은 단차를 이루면서 높이차가 형성되도록 구성될 수 있다.More preferably, the main nozzle hole and the auxiliary nozzle hole of the present invention may be formed to have a step difference and a height difference.

본 발명은 메인통로의 상부 중심에 설치되는 보조노즐프레임을 통해 공급되는 연료가스와 산화가스가 버너 하우징 저면의 메인노즐공 안쪽에 위치하는 보조노즐공을 통해 배출됨에 따라 메인노즐공과 보조노즐공에서 발생되는 이중의 화염을 통해 메인노즐공과 보조노즐공 사이의 폐가스배출공을 통해 배출되는 폐가스가 충분히 반응하게 되어 폐가스의 처리 효율성이 더욱 향상될 수 있다.In the present invention, the fuel gas and the oxidizing gas supplied through the auxiliary nozzle frame installed at the upper center of the main passage are discharged through the auxiliary nozzle holes located inside the main nozzle holes of the bottom of the burner housing, The waste gas discharged through the waste gas discharge hole between the main nozzle hole and the auxiliary nozzle hole is sufficiently reacted through the generated double flames, so that the treatment efficiency of the waste gas can be further improved.

아울러, 이와 같은 기재된 본 발명의 효과는 발명자가 인지하는지 여부와 무관하게 기재된 내용의 구성에 의해 당연히 발휘되게 되는 것이므로 상술한 효과는 기재된 내용에 따른 몇 가지 효과일 뿐 발명자가 파악한 또는 실재하는 모든 효과를 기재한 것이라 인정되어서는 안 된다. In addition, since the effect of the present invention described above is expected to be exerted by the composition of the contents regardless of whether or not the inventor perceives it, the effect described above is only some effects according to the contents described, Should not be recognized.

또한, 본 발명의 효과는 명세서의 전체적인 기재에 의해서 추가로 파악되어야 할 것이며, 설사 명시적인 문장으로 기재되어 있지 않더라도 기재된 내용이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 명세서를 통해 그러한 효과가 있는 것으로 인정할 수 있는 효과라면 본 명세서에 기재된 효과로 보아야 할 것이다.Further, the effect of the present invention should be grasped further by the entire description of the specification, and even if it is not stated in an explicit sentence, a person having ordinary skill in the art to which the written description belongs, It should be seen as an effect described in this specification.

도 1 은 본 발명의 종래 구성에 따른 버너를 예시한 요부 절개 사시도이다.
도 2 는 본 발명의 종래 구성에 따른 버너를 예시한 요부 단면도이다.
도 3 은 본 발명의 종래 구성에 따른 버너의 버너 하우징 저면을 예시한 저면 사시도이다.
도 4 는 본 발명의 실시 예에 따른 버너를 예시한 요부 절개 사시도이다.
도 5 는 본 발명의 실시 예에 따른 버너를 예시한 요부 단면도이다.
도 6 은 본 발명의 실시 예에 따른 버너의 버너 하우징 저면을 예시한 저면 사시도이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS Fig. 1 is a perspective view showing a burner according to a conventional configuration of the present invention. Fig.
Fig. 2 is a cross-sectional view of a main portion illustrating a burner according to a conventional configuration of the present invention.
3 is a bottom perspective view illustrating the bottom surface of the burner housing of the burner according to the conventional configuration of the present invention.
Fig. 4 is a perspective view showing a burner according to an embodiment of the present invention. Fig.
5 is a cross-sectional view of a main portion illustrating a burner according to an embodiment of the present invention.
6 is a bottom perspective view illustrating a bottom surface of a burner housing of a burner according to an embodiment of the present invention.

이하 본 발명의 바람직한 실시 예를 첨부된 도면을 토대로 상세하게 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

이는 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 기재된 내용을 용이하게 실시할 수 있을 정도로 상세하게 설명하기 위한 것이며, 이로 인해 기재된 내용의 기술적인 사상 및 범주가 한정되는 것을 의미하지는 않는다.It is to be understood that the same is by way of illustration and example only and is not to be taken by way of limitation, the scope of the present invention being indicated by the appended claims rather than by the foregoing description.

또한, 도면에 도시된 구성요소의 크기나 형상 등은 설명의 명료성과 편의상 과장되게 도시될 수 있으며, 기재된 내용의 구성 및 작용을 고려하여 특별히 정의된 용어들은 사용자, 운용자의 의도 또는 관례에 따라 달라질 수 있고, 이러한 용어들에 대한 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 한다.
In addition, the sizes and shapes of the components shown in the drawings may be exaggerated for clarity and convenience of explanation, and the terms defined specifically in consideration of the structure and operation of the contents described may vary depending on the intention or custom of the user or the operator And the definitions of these terms should be based on the contents throughout this specification.

우선, 본 발명에 따른 버너의 구성을 보면 메인통로의 상부 중심에 설치되는 보조노즐프레임과, 그러한 보조노즐프레임과 연결되어 메인통로의 내부를 관통하는 이동관 및 이동관의 끝단에 연결되어 버너 하우징의 저면에 위치하는 보조노즐공을 포함하는 구성요소로 크게 구분될 수 있으며, 각 구성요소에 대하여 예시된 도 3 내지 도 6 을 통해 상세히 설명하면 다음과 같다.First, the structure of the burner according to the present invention includes an auxiliary nozzle frame installed at the upper center of the main passage, a moving pipe connected to the auxiliary nozzle frame and passing through the inside of the main passage and a bottom of the burner housing, And an auxiliary nozzle hole disposed in the auxiliary nozzle hole, and will be described in detail with reference to FIG. 3 through FIG.

여기서, 버너 하우징(500)의 중심부에 상측으로 연장 돌출되는 메인통로(100)와, 그러한 메인통로(100)의 상부 양측에서 연결되는 폐가스 노즐(200)과, 메인통로(100)의 하부 일측에 연결되는 메인노즐프레임(300) 및 버너 하우징(500)의 저면에서 메인노즐프레임(300)의 하단과 연통되는 메인노즐공(310)은 종래의 구성과 동일하므로 구체적인 설명은 생략한다.
A main passage 100 extending upwardly from the central portion of the burner housing 500 and a waste gas nozzle 200 connected to both sides of the main passage 100 are connected to a lower portion of the main passage 100, The main nozzle frame 300 connected to the lower end of the main nozzle frame 300 and the main nozzle hole 310 communicating with the lower end of the main nozzle frame 300 on the bottom surface of the burner housing 500 are the same as those in the conventional configuration.

보조노즐프레임(400)은,The auxiliary nozzle frame (400)

메인통로(100)의 상면 중심부에 형성되며, 메인통로(100)의 내부로 액화천연가스(LNG)와 같은 연료가스와, 산소(O2)와 같은 산화가스가 유입될 수 있도록 개별적인 유입구를 가진다.
And is formed at the center of the upper surface of the main passage 100. The main passage 100 has a separate inlet for introducing a fuel gas such as liquefied natural gas (LNG) and an oxidizing gas such as oxygen (O2) into the main passage 100.

이동관(410)은,The moving pipe (410)

메인통로(100)의 내부에 길이방향을 따라 길게 형성되며, 전술한 보조노즐프레임(400)과 연결된다.The auxiliary nozzle frame 400 is elongated in the longitudinal direction inside the main passage 100 and is connected to the auxiliary nozzle frame 400 described above.

이동관(410)은 전술한 보조노즐프레임(400)을 통해 메인통로(100)의 내부로 유입된 연료가스와 산화가스가 메인통로(100)의 상부 측면에 연결된 폐가스 노즐(200)로부터 유입되어 메인통로(100)를 통해 하측으로 이동되는 폐가스와의 사전 접촉됨을 방지해준다.The moving pipe 410 flows from the waste gas nozzle 200 connected to the upper side of the main passage 100 through the auxiliary nozzle frame 400 into the main passage 100, Thereby preventing preliminary contact with the waste gas being moved downwardly through the passage 100.

이동관(410)은 상면과 저면이 개방되고 내부가 관통된 관의 형상이 될 수 있으며, 바람직하게 메인통로(100)의 중심에 위치될 수 있다.The moving pipe 410 may be in the form of a pipe having an upper surface and a lower surface opened and an inner pipe penetrated, and may be preferably positioned at the center of the main channel 100.

이동관의 개방된 상면은 전술한 보조노즐프레임(400)과 연통되며, 개방된 저면은 후술되는 보조노즐공(420)으로 형성된다.The open top surface of the moving tube communicates with the auxiliary nozzle frame 400 described above, and the opened bottom surface is formed with the auxiliary nozzle hole 420 described later.

여기서, 이동관(410)의 하단에는 별도로 구성되는 보조노즐공이 추가적으로 연결되거나, 도면으로 예시한 바와 같이 이동관(410)의 하단이 직접 보조노즐공(420)으로 형성될 수도 있다.Here, an auxiliary nozzle hole may be additionally connected to the lower end of the moving pipe 410, or the lower end of the moving pipe 410 may be directly formed as an auxiliary nozzle hole 420, as illustrated in the drawing.

이동관(410)은 어느 하나의 관에 다른 하나의 관이 내재되는 이중관을 구조를 가지면서 안쪽 관으로는 연료가스가 이동되고 바깥쪽 관으로는 산화가스가 이동될 수 있다.The moving pipe 410 has a double pipe structure in which one pipe is embedded in one of the pipes, while the fuel gas is transferred to the inner pipe and the oxidizing gas can be transferred to the outer pipe.

이동관(410)은 연료가스가 이동되는 하나의 관과 산화가스가 이동되는 또 하나의 관이 개별적으로 각각 구성된 후 나란하게 서로 접면되거나 서로 이격되어 구성될 수도 있다.The moving pipe 410 may be constructed such that one pipe through which the fuel gas is moved and another pipe through which the oxidizing gas is moved are respectively separately formed and laterally connected to each other or spaced apart from each other.

이동관(410)을 구성함에 있어서, 연료가스가 이동되는 관의 직경과 산화가스가 이동되는 관의 직경은 목표하는 화염의 상태에 따라 정해질 수 있다.
In constituting the moving pipe 410, the diameter of the pipe through which the fuel gas is moved and the diameter of the pipe through which the oxidizing gas is moved may be determined according to the state of the target flame.

보조노즐공(420)은,The auxiliary nozzle hole (420)

전술한 이동관(410)의 저면에 형성되면서 버너 하우징(500)의 저면에 위치하게 되며, 보조노즐공(420)을 통해 배출되는 연료가스와 산화가스는 점화부의 점화를 통해 화염으로 만들어진다.The fuel gas and the oxidizing gas discharged through the auxiliary nozzle hole 420 are made into flames by ignition of the ignition portion.

보조노즐공(420)의 위치는 전술한 메인노즐프레임(300)과 연결되어 버너 하우징(500)의 저면에 위치하는 환형의 메인노즐공(310) 중심부에 위치되도록 구성함으로써, 메인노즐공(310)을 통해 만들어지는 메인화염(311) 내부에 보조노즐공(420)을 통해 만들어지는 보조화염(421)이 위치되도록 하여 이중의 화염구조가 만들어지도록 한 것이다.The position of the auxiliary nozzle hole 420 is configured to be located at the center of the annular main nozzle hole 310 that is connected to the main nozzle frame 300 and located on the bottom surface of the burner housing 500, The auxiliary flame 421 formed through the auxiliary nozzle hole 420 is positioned within the main flame 311 formed through the auxiliary flame 311 so that a dual flame structure is formed.

보조노즐공(420)은 메인노즐공(310)의 중심부에 위치하면서 한개의 연료가스 배출구멍과 또 한개의 산화가스 배출구멍으로 구성될 수 있으며, 보조노즐공(420)의 다른 실 예로서, 이동관(410)의 저면에 일체 또는 조립식으로 결합되며, 메인노즐공(310)의 중심부에서 메인노즐공(310)과 같이 방사형태를 이루는 다수의 구멍이 등간격을 이루는 환형으로 구성되면서 큰 직경을 가지는 환형의 메인노즐공(310)의 안쪽으로 작은 직경을 가지는 환형의 보조노즐공이 위치하도록 구성될 수도 있다.The auxiliary nozzle hole 420 may be located at the center of the main nozzle hole 310 and may include one fuel gas discharge hole and another oxidizing gas discharge hole. As another example of the auxiliary nozzle hole 420, A plurality of radial holes such as the main nozzle hole 310 are formed in the center of the main nozzle hole 310 in an equally spaced annular shape while being integrally or assembled with the bottom surface of the moving pipe 410, An annular auxiliary nozzle hole having a small diameter may be disposed inside the annular main nozzle hole 310. [

보조노즐공(420)은 버너 하우징(500)의 저면에서 메인노즐공(310)과 수평을 이루면서 동일하게 위치될 수 있으며, 반응기를 향하는 아래쪽을 향해 메인노즐공(310)보다 더 길게 돌출되어 형성되거나, 메인노즐공(310)보다 짧게 형성되면서 메인노즐공(310)과 보조노즐공(420)이 서로 단차를 이루면서 높이차가 형성되도록 구성될 수도 있다.The auxiliary nozzle hole 420 may be positioned at the same level with the main nozzle hole 310 at the bottom of the burner housing 500 and may protrude downward toward the reactor longer than the main nozzle hole 310 Or may be formed to be shorter than the main nozzle hole 310 so that the main nozzle hole 310 and the auxiliary nozzle hole 420 are stepped to form a height difference.

이는 메인노즐공(310)에 의해 만들어지는 메인화염(311) 내부에 보조노즐공(420)에 의해 만들어지는 보조화염(421)이 위치하게 될 때 보조노즐공(420)에 의해 만들어지는 보조화염(421)의 위치를 메인노즐공(310)에 의해 만들어지는 메인화염(311)의 내부에서 상하방향을 따라 위치를 변화시켜 폐가스와의 반응효과를 더욱 향상시킬 수도 있는 것이다.
This is because the auxiliary flame 421 made by the auxiliary nozzle hole 420 is located inside the main flame 311 made by the main nozzle hole 310, The position of the main flame electrode 421 may be changed along the vertical direction within the main flame 311 formed by the main nozzle hole 310 to further improve the reaction effect with the waste gas.

이와 같은 본 발명에 따른 스크러버의 버너가 작동되는 과정을 살펴보면 다음과 같다.
The operation of the burner of the scrubber according to the present invention will now be described.

우선, 메인통로(100)의 측면에 위치하는 메인노즐프레임(300)으로부터 연료가스와 산화가스가 공급되면 메인통로(100)를 따라 아래쪽으로 이동되어 버너 하우징(500)의 저면에 위치하는 메인노즐공(310)을 통해 배출되고, 배출되는 연료가스와 산화가스는 점화부에 의해 점화되어 메인화염(311)을 발생시킨다.First, when fuel gas and oxidizing gas are supplied from the main nozzle frame 300 located on the side of the main passage 100, the main nozzle 100 is moved downward along the main passage 100, and the main nozzle 100, which is located on the bottom surface of the burner housing 500, The fuel gas and the oxidizing gas that are discharged through the holes 310 are ignited by the ignition portion to generate the main flame 311.

아울러, 전술한 메인노즐프레임(300)과 함께 보조노즐프레임(400) 또한 연료가스와 산화가스가 공급되고, 공급된 연료가스와 산화가스는 이동관(410)을 거쳐 버너 하우징(500)의 저면에 위치하는 보조노즐공(420)을 통해 배출되며, 배출되는 연료가스와 산화가스 또한 점화부에 의해 점화되어 보조화염(421)을 발생시킨다.The fuel gas and the oxidizing gas are supplied to the auxiliary nozzle frame 400 together with the main nozzle frame 300 and the oxidizing gas is supplied to the bottom of the burner housing 500 through the moving pipe 410 And the discharged fuel gas and the oxidizing gas are also ignited by the ignition portion to generate the auxiliary flame 421. [

여기서, 메인노즐공(310)의 안쪽에 보조노즐공(420)이 위치됨에 따라 메인노즐공(310)에서 배출되는 연료가스와 산화가스에 의해 만들어진 메인화염(311)의 내부에 보조노즐공(420)에서 배출되는 연료가스와 산화가스에 의해 만들어진 보조화염(421)이 위치되면서 이중의 화염구조를 가지게 된다.The auxiliary nozzle hole 420 is positioned inside the main nozzle hole 310 and the auxiliary nozzle hole 420 is formed in the main flame 311 formed by the fuel gas and the oxidizing gas discharged from the main nozzle hole 310 The auxiliary flame 421 formed by the fuel gas and the oxidizing gas discharged from the main flame 420 is positioned and has a double flame structure.

이와 같이 이중의 화염(311)(421)이 방사되는 상태에서 메인통로(100)의 양측에 위치한 폐가스 노즐(200)을 통해 공정챔버로부터 폐가스가 유입되면 폐가스는 메인통로(100)를 따라 버너 하우징(500)을 향하여 이동되다가 메인노즐공(310)과 보조노즐공(420)의 사이에 위치하는 폐가스배출공(110)을 통해 배출되고, 배출되는 폐가스는 안쪽에서 방사되는 보조화염(421)과 바깥쪽에서 방사되는 메인화염(311)에 충분히 접촉되어 반응되면서 폐가스의 연소 효율성을 더욱 향상시킬 수 있다.When the waste gas is introduced from the process chamber through the waste gas nozzle 200 located at both sides of the main passage 100 in the state where the two flames 311 and 421 are radiated as described above, the waste gas flows along the main passage 100, The waste gas discharged from the waste gas discharging hole 110 located between the main nozzle hole 310 and the auxiliary nozzle hole 420 is discharged to the outside through the auxiliary flame 421 radiated from the inside thereof, The combustion efficiency of the waste gas can be further improved by sufficiently contacting and reacting with the main flame 311 emitted from the outside.

이와 같이 기재된 내용의 상세한 설명에서는 구체적인 실시 예에 관한 설명을 하였으나, 기재된 내용의 범주에서 벗어나지 않는 한도 내에서 여러 가지 변형이 가능함은 물론이다. 그러므로 기재된 내용의 범위는 설명된 실시 예에 국한되어 정해져서는 안되며, 후술하는 특허청구범위뿐만 아니라 이 청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.Although the present invention has been described in connection with certain exemplary embodiments, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments. Therefore, the scope of the disclosed contents should not be limited to the described embodiments, but should be determined by the appended claims and equivalents thereof.

100 : 메인통로 110 : 폐가스배출공
200 : 폐가스 노즐 300 : 메인노즐프레임
310 : 메인노즐공 311 : 메인화염
400 : 보조노즐프레임 410 : 이동관
420 : 보조노즐공 421 : 보조화염
500 : 버너 하우징100: Main passage 110: Waste gas discharge hole
200: waste gas nozzle 300: main nozzle frame
310: main nozzle ball 311: main flame
400: auxiliary nozzle frame 410: moving pipe
420: Auxiliary nozzle hole 421: Auxiliary flame
500: Burner housing

Claims (5)

버너 하우징의 중심부에 연결되는 메인통로의 상부 양측에는 폐가스 노즐이 형성되고, 상기 메인통로의 하부 일측에는 산화가스와 연료가스가 공급되는 메인노즐프레임이 구비되며, 상기 버너 하우징의 저면으로 상기 메인노즐프레임과 연결되는 환형의 메인노즐공이 형성되는 버너에 있어서,
상기 메인통로의 상면 중심부에 설치되는 보조노즐프레임;
상기 버너 하우징의 저면에서 상기 메인노즐공의 중심부를 향하는 안쪽에 위치하는 보조노즐공; 및
상기 메인통로의 내부에서 길이방향을 따라 설치되며, 상단은 상기 보조노즐프레임과 연통되고, 하단은 상기 보조노즐공에 연결되는 이동관을 포함하고,
상기 보조노즐공은 다수의 구멍이 방사형태의 등간격을 이루는 환형으로 구성되며 상기 메인노즐공의 직경보다 작은 직경을 가지도록 구성되고, 상기 메인노즐공과 상기 보조노즐공 사이에 폐가스배출공이 위치되어 상기 메인노츨공에서 배출되는 연료가스와 산화가스에 의해 만들어진 메인화염의 내부에 상기 보조노즐공에서 배출되는 연료가스와 산화가스에 의해 만들어진 보조화염이 위치되면서 이중의 화염구조를 가지게 하여 폐가스가 메인화염과 보조화염 사이에서 반응되도록 하는 것이 특징인 스크러버의 버너.
A main nozzle frame for supplying oxidizing gas and fuel gas to the lower side of the main passage is formed on both sides of an upper portion of a main passage connected to a central portion of the burner housing, 1. A burner having an annular main nozzle hole connected to a frame,
An auxiliary nozzle frame installed at the center of the upper surface of the main passage;
An auxiliary nozzle hole located on the bottom side of the burner housing and located inward toward the center of the main nozzle hole; And
And a moving pipe connected to the auxiliary nozzle frame and connected at the lower end to the auxiliary nozzle hole,
Wherein the auxiliary nozzle hole is formed in a ring shape having a plurality of holes in an equidistant manner and has a diameter smaller than a diameter of the main nozzle hole, and a waste gas discharge hole is located between the main nozzle hole and the auxiliary nozzle hole The auxiliary flame formed by the fuel gas and the oxidizing gas discharged from the auxiliary nozzle hole is located inside the main flame formed by the fuel gas and the oxidizing gas discharged from the main furnace, Characterized in that it is reacted between the flame and the auxiliary flame .
제 1 항에 있어서,
상기 이동관은 산화가스가 이동되는 하나의 관 내부에 연료가스가 이동되는 또 하나의 관이 내재되는 이중관으로 구성된 것을 특징으로 하는 스크러버의 버너.
The method according to claim 1,
Wherein the moving pipe comprises a double pipe in which another pipe through which the fuel gas moves is disposed within one pipe through which oxidizing gas is transferred.
제 1 항에 있어서,
상기 이동관은 산화가스가 이동되는 하나의 관 일측에 연료가스가 이동되는 또 하나의 관이 개별적으로 구성되어 서로 결합되는 이격된 상태로 설치되는 것을 특징으로 하는 스크러버의 버너.
The method according to claim 1,
Wherein the moving pipe is installed in a spaced state in which another pipe through which the fuel gas is moved is separately formed and connected to one side of the one pipe through which the oxidizing gas is moved.
제 1 항에 있어서,
상기 메인노즐공과 보조노즐공은 단차를 이루면서 높이차가 형성되도록 구성된 것을 특징으로 하는 스크러버의 버너.





The method according to claim 1,
Wherein the main nozzle hole and the auxiliary nozzle hole are formed with a step difference to form a height difference.





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