KR101590850B1 - Mask loading device - Google Patents

Mask loading device Download PDF

Info

Publication number
KR101590850B1
KR101590850B1 KR1020140058884A KR20140058884A KR101590850B1 KR 101590850 B1 KR101590850 B1 KR 101590850B1 KR 1020140058884 A KR1020140058884 A KR 1020140058884A KR 20140058884 A KR20140058884 A KR 20140058884A KR 101590850 B1 KR101590850 B1 KR 101590850B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
mask
unit
adsorption
moving
mask table
Prior art date
Application number
KR1020140058884A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20150131735A (en
Inventor
김정호
Original Assignee
주식회사 케이피에스
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 케이피에스 filed Critical 주식회사 케이피에스
Priority to KR1020140058884A priority Critical patent/KR101590850B1/en
Publication of KR20150131735A publication Critical patent/KR20150131735A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR101590850B1 publication Critical patent/KR101590850B1/en

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G47/00—Article or material-handling devices associated with conveyors; Methods employing such devices
    • B65G47/74—Feeding, transfer, or discharging devices of particular kinds or types
    • B65G47/90—Devices for picking-up and depositing articles or materials
    • B65G47/91—Devices for picking-up and depositing articles or materials incorporating pneumatic, e.g. suction, grippers
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J15/00—Gripping heads and other end effectors
    • B25J15/06—Gripping heads and other end effectors with vacuum or magnetic holding means

Abstract

본 발명은 마스크 및 상기 마스크보다 넓은 면적의 간지를 갖는 마스크 세트가 다수 적층된 마스크 로딩장치에 있어서, 상기 마스크 세트가 적치된 적치부와; 상기 적치부에 적치된 상기 마스크 세트의 상기 간지를 흡착하는 다수의 흡착부재와, 상기 흡착부재들을 지지하는 흡착프레임과, 상기 흡착프레임을 상기 적치부에 대해 상대 이동시키는 흡착이송부를 갖는 흡착이송유니트와; 상기 흡착이송유니트로부터 상기 마스크 세트를 수령하는 마스크테이블과, 상기 마스크테이블을 상기 흡착이송유니트에 대해 상대 이동시키는 테이블구동부를 갖는 테이블유니트와; 상기 흡착부재와 상기 적치부로부터 흡착한 상기 마스크 세트를 상기 마스크 테이블에 전달하도록 상기 흡착이송유니트 및 상기 테이블유니트를 제어하는 제어부를 포함하는 것을 기술적 요지로 한다. 이에 의해 마스크를 로딩할 때 마스크의 손상을 방지하는 효과를 제공한다.The present invention provides a mask loading apparatus comprising a mask and a plurality of mask sets each having a wider area than the mask, the mask loading apparatus comprising: A plurality of adsorption members for adsorbing the kanji of the mask set which is placed on the red teeth portion, an adsorption frame for supporting the adsorption members, and an adsorption transfer unit having an adsorption transfer unit for relatively moving the adsorption frame to the red teeth portion A unit; A mask table for receiving the mask set from the sucking / conveying unit; and a table driving unit for moving the mask table relative to the sucking / conveying unit; And a control unit for controlling the sucking / conveying unit and the table unit to transfer the mask set sucked from the sucking member and the target tooth to the mask table. Thereby providing an effect of preventing damage to the mask when loading the mask.

Description

마스크 로딩장치 {MASK LOADING DEVICE}MASK LOADING DEVICE

본 발명은 마스크 로딩장치에 관한 것이다.The present invention relates to a mask loading apparatus.

음극선관(cathode-ray tube), 액정디스플레이(liquid crystal display) 및 발광다이오드(light emitting diode) 등을 제작할 때 사용되는 새도우 마스크(shadow mask)는 진공증착을 위한 복수의 홀이나 회로 형성을 위해 회로패턴이 형성되어 있다. 이러한 새도우 마스크는 얇고 긴 판상의 형태를 가지며, 홀이나 회로가 정교하게 제작되어야 하기 때문에 비교적 고가로 제작된다.A shadow mask, which is used to fabricate a cathode-ray tube, a liquid crystal display, and a light emitting diode, has a plurality of holes for vacuum deposition, Pattern is formed. Such a shadow mask has a thin and long plate shape, and is manufactured at a relatively high cost because holes or circuits must be precisely manufactured.

제작된 마스크를 공정에 사용하기 위해서는 적층 보관된 마스크를 한 장씩 마스크 테이블에 로딩시키고, 안착된 마스크를 클램프가 한 장씩 클램핑하여 마스크 프레임에 일렬로 배치한다.In order to use the fabricated mask in the process, the stacked masks are loaded one by one on the mask table, and the clamped masks are clamped one by one and placed in line in the mask frame.

이와 같이 마스크 테이블에 마스크를 한 장씩 로딩시키기 위해 종래에는 사용자가 직접 마스크를 들어올려 마스크테이블에 로딩시켰다. 하지만 이와 같이 사용자가 손으로 마스크를 이송하게 되면 정교하게 제작된 마스크가 사용자에 의해 쉽게 손상된다는 문제점이 있다.In order to load the masks one by one on the mask table, conventionally, the user directly lifts the masks and loads them onto the mask table. However, if the user transfers the mask by hand, the finely manufactured mask is easily damaged by the user.

따라서 본 발명의 목적은 마스크를 로딩할 때 마스크의 손상을 방지하는 마스크 로딩장치를 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, it is an object of the present invention to provide a mask loading apparatus that prevents damage to a mask when loading the mask.

상기한 목적은, 마스크 세트가 적치된 적치부와; 상기 적치부에 적치된 상기 마스크 세트의 상기 간지를 흡착하는 다수의 흡착부재와, 상기 흡착부재들을 지지하는 흡착프레임과, 상기 흡착프레임을 상기 적치부에 대해 상대 이동시키는 흡착이송부를 갖는 흡착이송유니트와; 상기 흡착이송유니트로부터 상기 마스크 세트를 수령하는 마스크테이블과, 상기 마스크테이블을 상기 흡착이송유니트에 대해 상대 이동시키는 테이블구동부를 갖는 테이블유니트와; 상기 흡착부재와 상기 적치부로부터 흡착한 상기 마스크 세트를 상기 마스크 테이블에 전달하도록 상기 흡착이송유니트 및 상기 테이블유니트를 제어하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 로딩장치에 의해 달성된다.The above-mentioned object can be achieved by a lithographic apparatus comprising: A plurality of adsorption members for adsorbing the kanji of the mask set which is placed on the red teeth portion, an adsorption frame for supporting the adsorption members, and an adsorption transfer unit having an adsorption transfer unit for relatively moving the adsorption frame to the red teeth portion A unit; A mask table for receiving the mask set from the sucking / conveying unit; and a table driving unit for moving the mask table relative to the sucking / conveying unit; And a control unit for controlling the adsorption transport unit and the table unit so as to transmit the mask set adsorbed from the adsorption member and the immobilizing unit to the mask table.

여기서, 상기 흡착프레임은, 1열의 상기 흡착부재들을 지지하는 고정지지부와, 상기 고정지지부의 흡착부재들과 평행하게 흡착부재들을 지지하는 가동지지부와, 상기 가동지지부를 상기 고정지지부에 대해 접근 이격시켜 흡착 폭을 조절하는 폭조절부를 포함하는 것이 바람직하다. The adsorption frame includes a fixed support for supporting the adsorption members in a row, a movable support for supporting the adsorption members in parallel with the adsorption members of the fixed support, and a movable support for moving the movable support apart from the fixed support And a width adjuster for adjusting the adsorption width.

또한, 상기 흡착프레임은 복수의 개소에 설치되어 이송될 상기 마스크의 연부 영역을 촬영하여 상기 제어부에 제어하는 복수의 카메라를 더 포함하며, 상기 제어부는 상기 카메라로부터의 영상 정보에 기초하여 해당 마스크의 적치 위치 어긋남을 평가하여, 해당 마스크를 수령할 상기 마스크테이블의 이동위치를 조절하도록 상기 마스크구동부를 제어하는 것이 바람직하다.The suction frame may further include a plurality of cameras installed at a plurality of locations to photograph an edge region of the mask to be transported and to control the control unit, It is preferable that the mask drive unit is controlled so as to evaluate the shift of the mount position and adjust the movement position of the mask table to receive the mask.

상기 테이블구동부는, 상기 마스크테이블에 지지되는 상기 마스크의 길이방향을 따라 상기 마스크테이블을 이동시키는 종행이동부와; 상기 종행이동부의 수직방향을 따라 상기 마스크테이블을 이동시키는 횡행이동부와; 상기 마스크테이블을 승강이동시키는 승강이동부와; 상기 마스크테이블을 상기 마스크의 각도에 맞춰 각도조절이 가능하도록 회전하는 회전부를 포함하는 것이 바람직하다.Wherein the table driving unit comprises: a permanent moving unit for moving the mask table along a longitudinal direction of the mask supported by the mask table; A transverse moving portion for moving the mask table along a vertical direction of the moving portion; A lifting / lowering unit for lifting and moving the mask table; And a rotation unit for rotating the mask table so that the angle of the mask table can be adjusted according to the angle of the mask.

상술한 본 발명의 구성에 따르면 마스크를 로딩할 때 마스크의 손상을 방지하는 효과를 제공한다.According to the above-described structure of the present invention, it is possible to prevent damage to the mask when loading the mask.

도 1은 본 발명에 따른 마스크 로딩장치의 사시도이고,
도 2는 도 1의 정면도이고,
도 3 및 도 4는 마스크 로딩장치의 작동 상태도이고,
도 5는 마스크 로딩장치의 작동 순서도이고,
도 6은 흡착이송유니트의 사시도이고,
도 7은 간지보관부를 포함한 로딩장치의 사시도이다.1 is a perspective view of a mask loading apparatus according to the present invention,
Fig. 2 is a front view of Fig. 1,
FIGS. 3 and 4 are operational states of the mask loading apparatus,
5 is a flowchart showing the operation of the mask loading apparatus,
6 is a perspective view of the adsorption / transport unit,
7 is a perspective view of a loading device including a separator.

이하 도면을 참고하여 본 발명에 따른 마스크 로딩장치(10)를 상세히 설명한다.Hereinafter, a mask loading apparatus 10 according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 마스크 로딩장치(10)는 하우징(100) 내에 적치부(110), 흡착이송유니트(300) 및 테이블유니트(500)가 형성되어 있다.1 and 2, the mask loading apparatus 10 includes an immobilizing unit 110, a suction transfer unit 300, and a table unit 500 in a housing 100.

적치부(110)에는 마스크(1) 및 간지(2)로 이루어진 마스크 세트(3)가 적치되어 있다. 마스크(1)는 긴 띠상의 얇은 판상으로 이루어져 있으며, 마스크(1)의 하부에는 마스크(1)를 지지하는 간지(2)가 함께 배치되어 있다. 간지(2)는 마스크(1)를 지지가능하도록 마스크(1)의 면적보다 넓은 면적을 가지며 마스크(1)보다 연질의 재료로 제조되어 유연하다.A mask set 3 composed of a mask 1 and a separator 2 is placed on the red tooth portion 110. The mask 1 is formed in the form of a thin strip of a long band, and a separator 2 for supporting the mask 1 is disposed below the mask 1. The interleaving sheet 2 is made of a material softer than the mask 1 and has an area larger than that of the mask 1 so as to be capable of supporting the mask 1 and is flexible.

적치부(110)에 적치된 마스크 세트(3)의 간지(2)를 흡착하고 이를 이송하기 위해 흡착이송유니트(300)가 하우징(100) 내에 형성되어 있다. 흡착이송유니트(300)는 간지(2)를 흡착하는 흡착부재(310)가 설치된 흡착프레임(330)과, 흡착프레임(330)을 승강구동하는 흡착이송부(350)로 이루어져 있다. 흡착이송부(350)는 흡착프레임(330)을 승강가능하게 하는 승강스크류축(351)과, 승강스크류축(351)을 구동시키는 구동모터(353)와, 승강스크류축(351) 및 구동모터(353)를 연결하는 전동축(355)으로 이루어져 있다. 이를 이용하여 적치부(110)에 적치된 마스크 세트(3)를 들어올릴 수 있다.An adsorption transfer unit 300 is formed in the housing 100 to adsorb and transfer the gland 2 of the mask set 3 placed on the red teeth portion 110. [ The adsorption transport unit 300 comprises an adsorption frame 330 provided with an adsorption member 310 for adsorbing the adsorbent 2 and an adsorption transfer section 350 for moving the adsorption frame 330 up and down. The attracting and conveying unit 350 includes a lifting screw shaft 351 for lifting the attracting frame 330, a driving motor 353 for driving the lifting screw shaft 351, a lifting screw shaft 351, And a transmission shaft 355 connecting the first and second shaft members 353 and 353. The mask set 3 mounted on the mount 110 can be lifted.

흡착이송유니트(300)는 흡착된 간지(2)를 이송하여 테이블유니트(500)의 마스크테이블(510)의 상부에 안착한다. 테이블유니트(500)는 간지(2)가 안착되는 마스크테이블(510)과, 마스크테이블(510)을 구동시키는 테이블구동부(530)가 마련되어 있다. 테이블구동부(530)는 마스크테이블(510)을 마스크(1)의 길이방향에 대해 수직방향으로 이동시키는 횡행이동부(531)를 포함한다. 횡행이동부(531)를 이용하여 마스크테이블(510)을 흡착이송유니트(300)의 하부로 배치되도록 한다. 흡착이송유니트(300)의 하부에 배치된 마스크테이블(510)은 마스크(1)의 길이방향을 따라 마스크테이블(510)을 이동시키는 종행이동부(533)를 이용하여 마스크(1)의 위치에 맞춰 마스크테이블(510)을 종행이동시킨다.The sucking and conveying unit 300 conveys the absorbed gonads 2 and rests on the upper part of the mask table 510 of the table unit 500. The table unit 500 is provided with a mask table 510 on which the kanji 2 is mounted and a table driving unit 530 for driving the mask table 510. The table driving unit 530 includes a transverse moving unit 531 for moving the mask table 510 in a direction perpendicular to the longitudinal direction of the mask 1. And the mask table 510 is arranged below the suction conveyance unit 300 by using the transverse movement unit 531. [ The mask table 510 disposed at the lower portion of the absorption transporting unit 300 is moved to the position of the mask 1 using the moving portion 533 which moves the mask table 510 along the longitudinal direction of the mask 1 The mask table 510 is moved in the normal direction.

테이블구동부(530)는 마스크(1)가 흡착부재(310)에 흡착된 각도와 평행하도록 마스크테이블(510)을 회전시키는 회전부(535)를 포함한다. 회전부(535)는 마스크(1)의 연부 영역을 촬영하여 그 영상을 제어부(400)에 제공하는 복수의 카메라(600)에 의해 제어된다. 카메라(600)는 흡착프레임(330)의 복수의 개소에 설치되어 흡착프레임(330)과 함께 이동한다. 제어부(400)는 카메라(600)로부터 받은 영상 정보에 기초하여 해당 마스크(1)의 적치위치가 어긋남을 평가하여, 해당 마스크(1)를 수령할 마스크테이블(510)의 이동위치를 조절하기 위해 회전부(535)를 제어한다.The table driving unit 530 includes a rotation unit 535 that rotates the mask table 510 so that the mask 1 is parallel to the angle at which the mask 1 is attracted to the adsorption member 310. The rotation unit 535 is controlled by a plurality of cameras 600 that photograph an edge region of the mask 1 and provide the image to the control unit 400. [ The camera 600 is installed at a plurality of locations of the absorption frame 330 and moves together with the absorption frame 330. The control unit 400 evaluates the deviation of the position of the mask 1 based on the image information received from the camera 600 and adjusts the movement position of the mask table 510 to receive the mask 1 And controls the rotation unit 535.

간지(2)의 하부에 위치된 마스크테이블(510)이 간지(2)와 간격을 좁힐 수 있도록 마스크테이블(510)을 승강시키는 승강이동부(357)가 설치되어 있다. 흡착이송부(350)와 승강이동부(537)를 함께 구동시킬 경우 간지가 마스크테이블(510)에 로딩되는 시간이 감소하여 전체적인 로딩장치(10)의 구동시간이 감소된다.A lifting and lowering moving unit 357 for lifting and lowering the mask table 510 is provided so that the mask table 510 located at the lower portion of the wand 2 can be spaced apart from the wand 2. When the adsorption transfer unit 350 and the lifting / lowering unit 537 are driven together, the time for loading the kanji into the mask table 510 is reduced, and the driving time of the entire loading apparatus 10 is reduced.

이와 같이 마스크 세트(3)가 이송되는 과정을 도 3 내지 도 5의 순서도를 통해 상세히 설명한다.The process of transferring the mask set 3 will be described in detail with reference to the flowcharts of FIGS. 3 to 5. FIG.

먼저 마스크 세트(3)를 적치부(110)에 적층 적치한다(S1). 도 3a와 같이 적치부(110)는 흡착이송유니트(300)의 하부에 설치되어 마스크 세트(3)를 보관하는 역할을 한다.First, the mask set 3 is stacked on the mount 110 (S1). As shown in FIG. 3A, the red tooth portion 110 is provided at a lower portion of the suction conveyance unit 300 and serves to store the mask set 3.

마스크 세트를 흡착한다(S2). 도 3b에 도시된 바와 같이 흡착이송유니트(300)에 포함된 흡착부재(310)는 마스크(1)가 배치되지 않은 간지(2)의 테두리영역에 진공흡착되어 간지(2)를 그립한다. 흡착부재(310)가 진공흡착이 가능하도록 복수의 흡착부재(310)는 도 6과 같이 진공배관(311)에 연결되어 있다. 경우에 따라서 흡착부재(310)가 아닌 간지(2)를 클램핑하는 클램프형 그립퍼를 사용하여 간지(2)를 이송 가능하다.The mask set is sucked (S2). The adsorption member 310 included in the adsorption transport unit 300 is vacuum adsorbed to the edge region of the separator 2 where the mask 1 is not disposed and grips the separator 2 as shown in FIG. The plurality of adsorption members 310 are connected to the vacuum pipe 311 as shown in FIG. 6 so that the adsorption member 310 can be vacuum-adsorbed. It is possible to transfer the separable sheet 2 using a clamp type gripper that clamps the separable sheet 2 instead of the suction member 310 as occasion demands.

흡착부재(310)를 지지하는 흡착프레임(330)은 도 6에 도시된 바와 같이 1열의 흡착부재(310)들을 지지하는 고정지지부(331)와, 고정지지부(331)의 흡착부재(310)들과 평행하게 흡착부재(310)들을 지지하는 가동지지부(333)로 이루어져 있다. 고정지지부(331) 및 가동지지부(333)는 길이방향의 따라 양측에 한 쌍으로 설치되어 있다.As shown in FIG. 6, the suction frame 330 for supporting the suction member 310 includes a fixed support portion 331 for supporting one row of the suction members 310, a suction support member 331 for supporting the suction members 310 of the fixed support portion 331, And a movable support member 333 supporting the adsorption members 310 in parallel with the adsorption member 310. The fixed support portion 331 and the movable support portion 333 are provided on both sides in the longitudinal direction.

가동지지부(333)를 고정지지부(331)에 대해 접근 이격시켜 흡착 폭을 조절하는 폭조절부(335)가 가동지지부(333)에 설치되어 있다. 폭조절부(335)는 간지(2)의 폭에 따라 가동지지부(333) 및 고정지지부(331) 간의 간격을 조절 조절가능하도록 제어부(400)를 통해 제어된다.The movable support portion 333 is provided with a width adjusting portion 335 for adjusting the suction width by moving the movable support portion 333 away from the fixed support portion 331. The width adjusting unit 335 is controlled through the controller 400 so that the gap between the movable supporting member 333 and the fixed supporting member 331 can be adjusted according to the width of the wand 2.

가동지지부(330)의 양단부에는 가동지지부(330)가 슬라이딩 구동가능하게 하는 지지가이드레일(337)이 설치되어 있다. 따라서 간지(2)의 폭이 기존에 세팅된 간격보다 넓을 경우 한 쌍의 가동지지부(330)는 지지가이드레일(333)을 따라 고정지지부(331)와 근접하게 이동되고, 세팅된 간격보다 간지(2)의 폭이 넓을 경우 서로 이격된다. 경우에 따라서 고정지지부(331) 없이 가동지지부(333)가 한 쌍이 설치되어 폭 조절을 할 수도 있다. 흡착프레임(350) 및 진공배관(311)은 폭조절부(335)와 마찬가지로 제어부(400)를 통해 제어된다.At both ends of the movable support part 330, a support guide rail 337 is provided to enable the movable support part 330 to be slidably driven. Therefore, when the width of the separable sheet 2 is wider than the previously set spacing, the pair of movable supports 330 are moved close to the fixed support 331 along the support guide rail 333, 2) are wide, they are spaced apart from each other. A pair of the movable supports 333 may be provided without the fixed supports 331 to adjust the width. The absorption frame 350 and the vacuum pipe 311 are controlled through the control unit 400 in the same manner as the width control unit 335.

테이블유니트(500)가 이송된다(S3). 흡착이송부(350)에 의해 적치부(110)에 보관되어 있던 마스크 세트(3)가 하우징(100)으로부터 상승하게 되면 도 4a와 같이 간지(2)의 하부로 테이블유니트(500)가 이동된다. 경우에 따라서 흡착이송유니트(300)가 테이블유니트(500) 상부로 이송되도록 설계할 수도 있다.The table unit 500 is transferred (S3). When the mask set 3 stored in the holding unit 110 is lifted from the housing 100 by the suction conveyance unit 350, the table unit 500 is moved to the lower portion of the separator 2 as shown in FIG. 4A . The suction transfer unit 300 may be designed to be transferred to the upper portion of the table unit 500 according to circumstances.

마스크 세트(3)를 마스크테이블(510)에 안착시킨다(S4). 도 4b에 도시된 바와 같이 마스크(1) 및 간지(2)를 압착하고 있는 흡착이송유니트(300)의 하부로 테이블유니트(500)가 배치되면 흡착이송부(350)를 이용하여 흡착지지부(330)를 하강시킨다. 흡착지지부(330)를 하강시킨 후 진공배관(311)을 제어하여 압착을 해제하면 마스크(1) 및 간지(2)는 마스크테이블(510)에 안착된다. 마스크(1) 및 간지(2)가 로딩된 마스크테이블(510)은 테이블구동부(530)에 의해 처음의 위치로 되돌아간다.The mask set 3 is placed on the mask table 510 (S4). 4B, when the table unit 500 is disposed below the suction conveyance unit 300 pressing the mask 1 and the separable sheet 2, the suction conveyance unit 350 ). The mask 1 and the separable sheet 2 are seated on the mask table 510 when the suction support 330 is lowered and then the vacuum piping 311 is controlled to release the compression. The mask table 510 loaded with the mask 1 and the kanji 2 is returned to the initial position by the table driving unit 530.

마스크테이블(510)은 마스크(1) 및 간지(2)의 길이보다 짧은 길이로 이루어져 있다. 따라서 마스크테이블(510)에 마스크 세트(3)를 로딩시키면 마스크 세트(3)의 양단부는 마스크테이블(510)로부터 돌출된다. 마스크(1)는 경질의 판 형상으로 이루어져 양단부가 돌출되어도 휨이 발생하지 않지만 마스크(1)보다 유연성이 좋은 간지(2)는 자중에 의해 아래 방향으로 휨이 발생한다. 이와 같이 마스크(1)와 간지(2)의 양단부가 분리되면 마스크(1)를 이송시키는 마스크클램프가 마스크(1)의 양단부를 클램핑한다. 마스크클램프에 클램핑된 마스크(1)는 진공증착을 위해 마스크지지프레임으로 이송된다.The mask table 510 has a length shorter than the length of the mask 1 and the gore 2. Thus, when the mask set 3 is loaded on the mask table 510, both ends of the mask set 3 protrude from the mask table 510. The mask 1 is formed in a hard plate shape, and warpage does not occur even if both ends are protruded. However, the warp sheet 2 having a higher flexibility than the mask 1 is warped downward by its own weight. When both ends of the mask 1 and the separable sheet 2 are separated as described above, a mask clamp for conveying the mask 1 clamps both ends of the mask 1. The mask 1 clamped to the mask clamp is transferred to the mask support frame for vacuum deposition.

마스크(1)가 이송된 후 마스크테이블(510)에 남은 간지(2)는 마스크테이블(510)과 함께 흡착이송유니트(300)의 하부로 이송되어 흡착부재(310)에 흡착된다. 흡착된 간지(2)는 흡착부재(310)와 함께 마스크테이블(510)로부터 상승하며, 마스크테이블(510)은 테이블구동부(530)에 의해 처음의 위치로 되돌아간다.After the mask 1 is transferred, the remaining sheets 2 remaining in the mask table 510 are transferred to the lower portion of the adsorption / conveyance unit 300 together with the mask table 510 and adsorbed on the adsorption member 310. The adsorbed lancet 2 ascends from the mask table 510 together with the adsorbing member 310 and the mask table 510 is returned to the initial position by the table driving unit 530. [

간지(2)를 보관한다(S5). 도 7에 도시된 바와 같이 간지(2)를 보관하기 위한 간지보관부(700)가 테이블유니트(500)의 하부에 설치되어 있다. 간지보관부(700)는 마스크(1)를 로딩시키는 동안에는 테이블유니트(300)의 하부에 배치되어 있으며, 마스크(1) 로딩이 완료된 간지(2)를 보관해야 할 때에는 흡착이송유니트(300) 하부로 이동되어 배치된다. 간지보관부(700)가 배치되면 흡착부재(310)를 하강하여 간지(2)가 간지보관부(700)에 안착되도록 한다. 간지(2)가 안착된 간지보관부(700)는 다시 테이블유니트(500)의 하부로 이동된다. 이와 같은 간지보관부(700)의 이동은 간지보관구동부(710)에 의해 구동되며, 간지보관구동부(710)는 제어부(500)를 통해 제어된다.And the kanji 2 is stored (S5). As shown in FIG. 7, a lancet storage unit 700 for storing the separable paper 2 is provided at a lower portion of the table unit 500. The lancet storage unit 700 is disposed below the table unit 300 while the mask 1 is loaded and when the lancet 2 to which the mask 1 has been loaded is to be stored, As shown in Fig. When the lancet storage unit 700 is disposed, the adsorption member 310 is lowered so that the lancet 2 is seated in the lancet storage unit 700. The lancet storage unit 700 on which the kanji 2 is placed is moved back to the lower side of the table unit 500. [ The movement of the lancet storage unit 700 is driven by the lancet storage drive unit 710, and the lancet storage drive unit 710 is controlled through the control unit 500.

종래에는 적층 보관된 마스크(1)를 사용자가 직접 한 장씩 꺼내어 마스크테이블에 로딩시키는 방법을 적용하였다. 하지만 이와 같은 방법을 사용할 경우 크고 얇은 마스크(1)가 외력에 의해 쉽게 손상되었다. 따라서 이를 해결하기 위해 본 발명은 사용자가 직접 마스크(1)를 꺼내지 않고 로딩장치(10)가 마스크(1)를 간지(2)와 함께 마스크테이블(510)에 로딩한 후 마스크(1)와 간지(2)를 분리하여 마스크(1)만을 이송가능하게 하였다. 이를 통해 사용자가 직접 마스크(1)를 손으로 집어 로딩하지 않기 때문에 마스크(1)의 손상을 방지할 수 있다.Conventionally, a method in which a user holds the stacked masks 1 one by one and loads them onto the mask table is applied. However, when such a method is used, the large and thin mask 1 is easily damaged by external force. Therefore, in order to solve this problem, according to the present invention, after the loading apparatus 10 loads the mask 1 together with the separator 2 onto the mask table 510 without taking out the mask 1 directly, So that only the mask 1 can be transported. Thus, the mask 1 can be prevented from being damaged because the mask 1 is not manually picked up by the user.

1: 마스크 2: 간지
3: 마스크 세트 10: 마스크 로딩장치
100: 하우징 110: 적치부
300: 흡착이송유니트 310: 흡착부재
311: 진공배관 330: 흡착프레임
331: 고정지지부 333: 가동지지부
335: 폭조절부 337: 지지가이드레일
350: 흡착이송부 351: 승강스크류축
353: 구동모터 355: 전동축
400: 제어부 500: 테이블유니트
510: 마스크테이블 530: 테이블구동부
531: 횡행이동부 533: 종행이동부
535: 회전부 537: 승강이동부
600: 카메라 700: 간지보관부
710: 간지보관구동부1: mask 2: kanji
3: mask set 10: mask loading device
100: housing 110:
300: suction transport unit 310: suction member
311: Vacuum piping 330: Adsorption frame
331: fixed support portion 333: movable support portion
335: width adjusting portion 337: support guide rail
350: adsorption transferring part 351: lifting screw shaft
353: drive motor 355:
400: control unit 500: table unit
510: mask table 530: table driving unit
531: transverse east portion 533:
535: rotating part 537:
600: camera 700: kanji storage unit
710:

Claims (4)

마스크 및 상기 마스크보다 넓은 면적의 간지를 갖는 마스크 세트가 다수 적층된 마스크 로딩장치에 있어서,
상기 마스크 세트가 적치된 적치부와;
상기 적치부에 적치된 상기 마스크 세트의 상기 간지를 흡착하는 다수의 흡착부재와, 상기 흡착부재들을 지지하는 흡착프레임과, 상기 흡착프레임을 상기 적치부에 대해 상대 이동시키는 흡착이송부를 갖는 흡착이송유니트와;
상기 흡착이송유니트로부터 상기 마스크 세트를 수령하는 마스크테이블과, 상기 마스크테이블을 상기 흡착이송유니트에 대해 상대 이동시키는 테이블구동부를 갖는 테이블유니트와;
상기 흡착부재와 상기 적치부로부터 흡착한 상기 마스크 세트를 상기 마스크 테이블에 전달하도록 상기 흡착이송유니트 및 상기 테이블유니트를 제어하는 제어부를 포함하며,
상기 흡착프레임은, 1열의 상기 흡착부재들을 지지하는 고정지지부와, 상기 고정지지부의 흡착부재들과 평행하게 흡착부재들을 지지하는 가동지지부와, 상기 가동지지부를 상기 고정지지부에 대해 접근 이격시켜 흡착 폭을 조절하는 폭조절부를 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 로딩장치.A mask loading apparatus in which a plurality of mask sets having a mask and a wedge having a larger area than the mask are stacked,
An immersion part on which the mask set is placed;
A plurality of adsorption members for adsorbing the kanji of the mask set which is placed on the red teeth portion, an adsorption frame for supporting the adsorption members, and an adsorption transfer unit having an adsorption transfer unit for relatively moving the adsorption frame to the red teeth portion A unit;
A mask table for receiving the mask set from the sucking / conveying unit; and a table driving unit for moving the mask table relative to the sucking / conveying unit;
And a control unit for controlling the adsorption transporting unit and the table unit so as to transfer the mask set adsorbed from the adsorption member and the target tooth to the mask table,
The adsorption frame includes a fixed support for supporting the adsorption members in a row, a movable support for supporting the adsorption members in parallel with the adsorption members of the fixed support, And a width adjusting unit for adjusting the width of the mask. 삭제delete 제 1항에 있어서,
상기 흡착프레임은 복수의 개소에 설치되어 이송될 상기 마스크의 연부 영역을 촬영하여 상기 제어부에 제어하는 복수의 카메라를 더 포함하며,
상기 제어부는 상기 카메라로부터의 영상 정보에 기초하여 해당 마스크의 적치 위치 어긋남을 평가하여, 해당 마스크를 수령할 상기 마스크테이블의 이동위치를 조절하도록 상기 테이블구동부를 제어하는 것을 특징으로 하는 마스크 로딩장치.The method according to claim 1,
The attracting frame further includes a plurality of cameras installed at a plurality of locations and photographing an edge region of the mask to be conveyed and controlling the control section,
Wherein the control unit controls the table driving unit to evaluate the shift of the position of the mask based on the image information from the camera and adjust the movement position of the mask table to receive the mask. 제 1항에 있어서,
상기 테이블구동부는,
상기 마스크테이블에 지지되는 상기 마스크의 길이방향을 따라 상기 마스크테이블을 이동시키는 종행이동부와;
상기 종행이동부의 수직방향을 따라 상기 마스크테이블을 이동시키는 횡행이동부와;
상기 마스크테이블을 승강이동시키는 승강이동부와;
상기 마스크테이블을 상기 마스크의 각도에 맞춰 각도조절이 가능하도록 회전하는 회전부를 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 로딩장치.The method according to claim 1,
The table-
A moving part for moving the mask table along the longitudinal direction of the mask supported by the mask table;
A transverse moving portion for moving the mask table along a vertical direction of the moving portion;
A lifting / lowering unit for lifting and moving the mask table;
And a rotation unit that rotates the mask table so that the angle of the mask table can be adjusted according to the angle of the mask.
KR1020140058884A 2014-05-16 2014-05-16 Mask loading device KR101590850B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020140058884A KR101590850B1 (en) 2014-05-16 2014-05-16 Mask loading device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020140058884A KR101590850B1 (en) 2014-05-16 2014-05-16 Mask loading device

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20150131735A KR20150131735A (en) 2015-11-25
KR101590850B1 true KR101590850B1 (en) 2016-02-04

Family

ID=54845516

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020140058884A KR101590850B1 (en) 2014-05-16 2014-05-16 Mask loading device

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101590850B1 (en)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111376313B (en) * 2018-12-30 2022-12-13 上海微电子装备（集团）股份有限公司 Plate-exchanging manipulator moving-in and moving-out device

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006248654A (en) * 2005-03-09 2006-09-21 Seiko Epson Corp Work transferring device, work processing system, manufacturing method of electro-optical device, electro-optical device, manufacturing method of circuit board, circuit board, and electronic equipment

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006248654A (en) * 2005-03-09 2006-09-21 Seiko Epson Corp Work transferring device, work processing system, manufacturing method of electro-optical device, electro-optical device, manufacturing method of circuit board, circuit board, and electronic equipment

Also Published As

Publication number Publication date
KR20150131735A (en) 2015-11-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2018018751A1 (en) Device for automatic product transfer rack
JPH10163677A (en) Circuit parts fitting system
KR101625263B1 (en) Film attaching system and film attaching method using the same
JP4222906B2 (en) Method and apparatus for loading curved glass plate
JP2013121863A (en) Apparatus and system for conveying tray
JP2019091883A (en) Wafer positioning and loading system
JPH09289241A (en) Wafer conveyor
JP2007112626A (en) Substrate carrying device, substrate inspection device and substrate carrying method
JP2015036343A (en) Container holding arm and inversion transfer device
KR101590850B1 (en) Mask loading device
JP2009280338A (en) Workpiece laminating device and workpiece laminating method
JP4842748B2 (en) Substrate transfer system
KR101031105B1 (en) Apparatus for cleaning mini display panels
US9173334B2 (en) Insolation machine for panels fitted with a panel turner
JP2009099692A (en) Substrate conveying conveyor
KR101359012B1 (en) Adhesive tape attaching apparatus for camera module
JP2020155628A (en) Tray transfer device and panel transfer system
JP3317280B2 (en) Alignment transfer system for substrate and alignment transfer method
JP2005064431A (en) Apparatus and method for substrate transfer
JP3970301B2 (en) Circuit component mounting system
KR20180000045A (en) device for offset printing with application Porous sheet
JP3829470B2 (en) Plate material transfer device
JP2007134734A (en) Liquid-crystal substrate transporting device
JP2007134734A5 (en)
KR101359013B1 (en) Adhesive tape attaching apparatus for camera module of mobile terminal

Legal Events

Date Code Title Description
E701 Decision to grant or registration of patent right
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190123

Year of fee payment: 4