KR101589569B1

KR101589569B1 - 진공펌프용 감압장치

Info

Publication number: KR101589569B1
Application number: KR1020140062829A
Authority: KR
Inventors: 김선길
Original assignee: 주식회사 제이에스티
Priority date: 2014-05-26
Filing date: 2014-05-26
Publication date: 2016-01-28
Also published as: KR20150135822A

Abstract

본 발명은 진공펌프용 감압장치에 관한 것으로, 본 발명의 일 측면에 따르면, 유입홀이 마련된 전면부와 토출홀이 마련된 배면부를 포함하고, 상기 전면부와 배면부를 관통하는 유동홀을 갖는 배관연결부; 상기 유입홀과 연결되는 제1 유로와 상기 토출홀에 연결되고, 상기 제1 유로와 합류되는 제2 유로가 각각 마련된 이젝터부; 상기 이젝터부에 회전 가능하게 장착되며, 선택적으로 상기 배관연결부를 둘러싸기 위한 배관고정부; 및 상기 유동홀을 선택적으로 개폐시키기 위한 체크밸브를 포함하는 진공펌프용 감압장치가 제공된다.

Description

진공펌프용 감압장치{Decompression apparatus for vaccume pump}

본 발명은 진공 펌프용 감압장치에 관한 것으로, 특히 반도체 공정 챔버의 진공펌프와 연결된 진공 펌프용 감압장치에 관한 것이다.

일반적으로 반도체 제조 공정은 대부분 고진공 상태에서 이루어진다. 예를 들어, 웨이퍼 상에 박막을 증착하는 공정과 웨이퍼 상에 증착된 박막을 식각하는 공정 등은 밀폐된 챔버에서 진행된다. 이때, 반도체 수율을 높이기 위해서는 챔버 내부가 오염되지 않도록 유지시킴과 동시에 챔버 내부를 고진공 상태로 유지하는 것이 중요하다.

한편, 고진공 상태에서 반도체 공정이 수행되는 챔버로는, 웨이퍼 가공 공정이 수행되는 프로세스 챔버(Process chamber, PC)와, 가공을 위한 웨이퍼를 로드 또는 언로드 하는 로드락 챔버(Loadlock chamber, LC) 그리고 프로세스 챔버와 로드락 챔버 사이에 설치되어 웨이퍼를 이송하는 트랜스퍼 챔버(Transfer chamber, TC)를 포함할 수 있다.

프로세스 챔버에서는 통상 고진공상태를 유지하면서 웨이퍼에 대한 박막증착, 식각 등의 공정이 수행되며, 트랜스퍼 챔버에서는 내부에 설치된 이송수단에 의해 프로세스 챔버와 로드락 챔버 사이에서 웨이퍼의 이송이 이루어진다. 또한, 상기 트랜스퍼 챔버는 진공상태로 유지되어야 한다.

따라서, 각 챔버에는 그 내부를 고진공 상태로 유지시키기 위한 진공펌프가 마련된다. 또한, 상기 진공펌프 이외에 추가적인 보조 펌프가 사용될 수도 있다.

이때 상기 진공펌프의 소비전력을 감소시키고, 순간 정전 또는 진공펌프의 파워 오프시 배기가스의 백 스트림 현상을 방지할 수 있는 구조가 요구된다. 또한, 보조 펌프의 추가 비용 및 이로 인한 부대 문제를 해결하기 위한 방안이 요구된다.

본 발명은 진공펌프의 배기배관 측에 연결되어 진공펌프의 배기 측 압력을 감소시킬 수 있는 진공펌프용 감압 장치를 제공하는 것을 해결하고자 하는 과제로 한다.

또한, 본 발명은 이송가스의 유동에 의한 이젝트(eject) 효과를 통해 별도의 동력 없이도 진공펌프의 배기 측 압력을 감소시킬 수 있는 진공펌프용 감압 장치를 제공하는 것을 해결하고자 하는 과제로 한다.

또한, 본 발명은 배기배관 상에 설치가 간편하고, 설치환경에 제약을 받지 않는 컴팩트한 진공펌프용 감압장치를 제공하는 것을 해결하고자 하는 과제로 한다.

또한, 본 발명은 배기배관과 감압장치의 실링을 향상시킬 수 있는 진공펌프용 감압장치를 제공하는 것을 해결하고자 하는 과제로 한다.

또한, 본 발명은 진공펌프의 소비전력을 감소시킴과 동시에 진공펌프의 수명을 늘릴 수 있는 진공펌프용 감압장치를 제공하는 것을 해결하고자 하는 과제로 한다.

또한, 본 발명은 진공펌프의 아이들 운전시 또는 정전시에 백 스트림(Back stream) 현상을 방지할 수 있는 진공펌프용 감압장치를 제공하는 것을 해결하고자 하는 과제로 한다.

또한, 본 발명은 별도의 동력 없이도 진공펌프의 배기배관을 선택적으로 개폐할 수 있는 진공펌프용 감압장치를 제공하는 것을 해결하고자 하는 과제로 한다.

또한, 본 발명은 부품의 수명을 늘리고, 신뢰성을 높일 수 있는 진공펌프용 감압장치를 제공하는 것을 해결하고자 하는 과제로 한다.

상기한 과제를 해결하기 위하여, 본 발명의 일 측면에 따르면, 유입홀이 마련된 전면부와 토출홀이 마련된 배면부를 포함하고, 상기 전면부와 배면부를 관통하는 유동홀을 갖는 배관연결부; 상기 유입홀과 연결되는 제1 유로와 상기 토출홀에 연결되고, 상기 제1 유로와 합류되는 제2 유로가 각각 마련된 이젝터부; 상기 이젝터부에 회전 가능하게 장착되며, 선택적으로 상기 배관연결부를 둘러싸기 위한 배관고정부; 및 상기 유동홀을 선택적으로 개폐시키기 위한 체크밸브를 포함하는 진공펌프용 감압장치가 제공된다.

여기서 배기배관은 상기 배관연결부의 전면부 및 배면부에 각각 연결되고, 상기 배관고정부는 상기 배기배관의 외주면을 접촉 지지할 수 있다.

또한, 상기 제2 유로를 통해 이송가스가 토출홀 측으로 유동하고, 상기 체크밸브가 상기 유동홀을 닫는 경우, 상기 배기배관을 통해 유동하는 배기가스는 유입홀 및 제1 유로를 바이패스함에 따라 제2 유로로 흡입된다.

또한, 상기 배관연결부의 전면부 및 후면부 중 적어도 하나 이상의 면에는 상기 배기배관과 접촉되는 실링부재가 마련된다.

또한, 상기 배관고정부는, 상기 이젝터부의 양 종단부에 각각 회전 가능하게 장착된 제1 부재와 제2 부재를 포함할 수 있다.

여기서 제1 부재에는 클램핑 고정부가 마련되고, 제2 부재에는 상기 클램핑 고정부에 선택적으로 결속되는 클램핑 걸이부가 마련될 수 있다.

또한, 상기 클램핑 걸이부가 상기 클램핑 고정부에 결속되는 경우, 상기 제1 부재 및 제2 부재는 각각 배기배관에 접촉될 수 있다.

또한, 상기 체크밸브는, 상기 배관연결부의 배면부 측으로 돌출 형성된 브라켓; 상기 브라켓에 이동 가능하게 장착되며, 배기배관을 유동하는 배기가스의 유량에 기초하여 유동홀에 접촉되거나 유동홀로부터 분리되는 캡부; 상기 유동홀과 접촉되는 캡부의 일면에 마련되는 실링 링; 및 상기 캡부와 상기 브라켓 사이에 배치된 탄성부재를 포함할 수 있다.

또한, 상기 실링부재는 전면부에 마련되는 제1 실링부재와 배면부에 마련되는 제2 실링부재를 포함할 수 있다.

이때, 상기 전면부 및 배면부에는 각 실링부재가 장착되기 위한 링 형상의 가이드 홈이 각각 마련될 수 있다.

또한, 상기 제1 유로는 유입홀과 연결되는 제1 서브유로와 제1 서브유로와 직교하며, 제2 유로와 연결되는 제2 서브 유로를 포함할 수 있다.

여기서, 제1 서브유로의 직경은 제2 유로의 직경보다 크고, 제2 서브유로의 직경은 제1 서브유로의 직경보다 크며, 상기 제2 유로의 직경은 제2 유로와 제2 서브 유로의 경계부의 직경보다 클 수 있다.

또한, 상기 전면부 및 배면부에는 원주방향을 따라 각각 함몰된 제1 및 제2 유동홈이 각각 형성되고, 상기 유입홀 및 토출홀은 상기 제1 및 제2 유동홈 내부에 각각 마련될 수 있다.

이때, 상기 제2 유동홈의 바닥면에는 원주방향을 따라 소정의 두께 차이를 갖는 하나 이상의 단차면이 마련될 수 있다.

이상에서 살펴본 바와 같이, 본 발명의 적어도 하나의 실시예와 관련된 진공펌프용 감압장치는 다음과 같은 효과를 갖는다.

진공펌프의 배기배관 측에 연결되어 진공펌프의 배기 측 압력을 감소시킴으로써, 진공펌프의 소비전력을 감소시킬 수 있다. 특히, 이송가스의 유동에 의한 이젝트(eject) 효과를 통해 별도의 동력 없이도 진공펌프의 배기 측 압력을 감소시킬 수 있다. 또한, 진공펌프의 소비전력을 감소시킴과 동시에 진공펌프의 수명을 늘릴 수 있다.

또한, 배기배관의 절단 없이, 배기배관의 사이의 틈새를 이용하여 직렬로 연결시킬 수 있으므로, 설치가 간편하다. 특히, 배기배관과 감압장치의 사이의 실링 효과를 향상시킬 수 있다.

또한, 진공펌프의 아이들 운전시 또는 정전시에 백 스트림(Back stream) 현상을 방지할 수 있다. 특히, 별도의 동력 없이도 진공펌프의 배기 배관을 선택적으로 개폐할 수 있다.

또한, 감압장치의 부품 수명을 늘리고, 신뢰성을 높일 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예와 관련된 프로세스 챔버의 구성도이다.
도 2는 도 1에 도시된 감압장치의 설치상태를 설명하기 위한 개념도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예와 관련된 감압장치의 전면 사시도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예와 관련된 감압장치의 배면 사시도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예와 관련된 감압장치의 배관 고정부를 펼친 상태의 사시도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예와 관련된 감압장치를 구성하는 체크밸브의 일 작동상태를 설명하기 위한 요부 단면도이다.

이하, 본 발명의 일 실시예에 따른 진공펌프용 감압장치(이하, 감압장치라고도 함)를 첨부된 도면을 참고하여 상세히 설명한다. 첨부된 도면은 본 발명의 예시적인 형태를 도시한 것으로, 이는 본 발명을 상세히 설명하기 위해 제공되는 것일 뿐, 이에 의해 본 발명의 기술적인 범위가 한정되는 것은 아니다.

또한, 도면 부호에 관계없이 동일하거나 대응되는 구성요소는 동일한 참조번호를 부여하고 이에 대한 중복 설명은 생략하기로 하며, 설명의 편의를 위하여 도시된 각 구성 부재의 크기 및 형상은 과장되거나 축소될 수 있다.

한편, 제 1 또는 제 2 등과 같이 서수를 포함하는 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들이 상기 용어들에 의해 한정되지 않으며, 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별시키는 목적으로만 사용된다.

본 문서에서 설명하는 감압장치는 진공펌프가 사용되는 챔버에 적용될 수 있다. 구체적으로, 상기 감압장치는 전술한 로드락 챔버의 진공펌프와 연결될 수 있고, 프로세스 챔버의 진공펌프와 연결될 수 있다. 이하, 설명의 편의를 위하여 상기 감압장치가 프로세스 챔버의 진공펌프와 연결되는 경우를 예로 들어 설명한다.

도 1은 본 발명의 일 실시예와 관련된 프로세스 챔버의 구성도이고, 도 2는 도 1에 도시된 감압장치(100)의 설치상태를 설명하기 위한 개념도이다.

또한, 도 3은 본 발명의 일 실시예와 관련된 감압장치(100)의 전면 사시도이고, 도 4는 본 발명의 일 실시예와 관련된 감압장치(100)의 배면 사시도이며, 도 5는 본 발명의 일 실시예와 관련된 감압장치의 배관 고정부(130)를 펼친 상태의 사시도이다.

또한, 도 6은 본 발명의 일 실시예와 관련된 감압장치(100)를 구성하는 체크밸브(140)의 일 작동상태를 설명하기 위한 요부 단면도이다.

상기 감압장치(100)는 배관 연결부(110)와 이젝터부(120)와 배관고정부(130) 및 체크밸브(140)를 포함한다.

도 1을 참조하면, 상기 프로세스 챔버(10)는 진공펌프(20)와 연결된다. 상기 진공펌프(20)는 상기 프로세스 챔버(10)를 진공상태로 유지시키는 기능을 수행한다.

상기 진공펌프(20)가 작동하는 경우, 상기 프로세스 챔버(10) 내부의 유체(배기가스)는 상기 진공펌프(20)의 배기배관(21)을 따라 외부로 유동하게 된다. 이때, 상기 배기배관(21) 상에는 감압장치(100)가 마련된다.

상기 감압장치(100)는 별도의 동력 없이도, 후술할 이송가스의 유동에 의하여 상기 진공펌프(20)의 배기 측의 압력을 감소시키는 기능을 수행한다. 즉, 상기 감압장치(100)가 진공펌프(20)의 배기 측의 압력을 감소시킴에 따라 상기 진공펌프(20)의 소비전력을 감소시킬 수 있다.

한편, 상기 진공펌프(20)에 의하여 상기 프로세스 챔버(10)로부터 토출되는 배기가스에는, 각종 오염물질이 포함될 수 있다. 상기 오염물질은 파티클(particle) 또는 폴리머(polymer)로 지칭될 수 있다. 이러한 오염물질은 대기 오염의 원인이 될 수 있으므로, 상기 배기 배관(21) 상에는 후처리장치(30)가 마련된다. 상기 후처리장치(30)는 상기 배기가스에 포함된 오염물질을 제거하는 기능을 수행한다.

정리하면, 상기 프로세스 챔버(10)로부터 토출되는 배기가스는, 진공펌프(20)를 통해 배기배관(21)으로 유입되며, 상기 배기배관(21)으로 유입되는 배기가스는, 감압장치(100)와 후처리 장치(30)를 차례로 통과한 후 외부로 배출될 수 있다.

한편, 상기 감압장치(100)로는 2가지 유체가 각각 유입될 수 있다. 구체적으로, 상기 감압장치(100)로는 제1 유체와 제2 유체가 각각 유입될 수 있다.

여기서, 상기 제1 유체는 배기 배관(21)을 따라 상기 감압장치(100)로 유입되는 배기가스이고, 상기 제2 유체는 상기 감압장치(100)로 유입되는 이송 가스일 수 있다. 상기 이송가스는 반도체 공정 설비에 일반적으로 사용되는 CDA(Clean Dry Air)로서, 일 실시태양으로 질소 가스일 수 있다.

이를 위하여, 상기 감압장치(100)는 배기 배관(21) 상에 마련된다. 상기 배기 배관(21)을 통해 배기가스는(G)는 상기 감압장치(100)로 유입될 수 있다. 또한, 상기 감압장치(100)에는 이송가스 배관(40, 이송가스 공급라인이라고도 함)이 연결된다.

전술한 이송가스는 상기 이송가스 배관(40)을 따라 상기 감압장치(100)로 유입될 수 있다. 한편, 미설명부호 41은 감압장치(100)와 이송가스 배관(40)을 연결하기 위한 소켓부(41)를 나타낸다. 또한, 상기 소켓부(41)는 상기 감압장치(100)에 일체로 마련될 수 있다.

또한, 상기 감압장치(100)는 2가지 유체의 유동을 통해 이젝트 효과를 발생시킬 수 있다. 따라서, 상기 감압장치(100)는 이젝터(ejector)로 지칭될 수도 있다.

상기 이젝터는 음압을 발생시켜 작동 유체를 흡입(suction)하는 기능을 수행한다. 구체적으로, 상기 이젝터는 내부 유로 상에 마련된 노즐과 디퓨저를 포함할 수 있다. 상대적으로 고압의 유체가 이젝터를 통과할 경우 상대적으로 저압의 유체가 음압에 의하여 이젝터로 흡입된다.

후술하겠지만, 이젝트 효과는 제1 유체의 유량이 소정 값보다 작은 경우에 발생할 수 있다.

일 실시태양으로, 이젝터부(120)를 유동하는 제1 유체(배기가스)는 상대적으로 저압의 유체일 수 있고, 이젝터부(120)를 유동하는 상기 제2 유체(이송가스)는 제1 유체에 비하여 상대적으로 고압의 유체일 수 있다. 이때, 상기 제2 유체(이송가스)는 이젝터 효과의 구동원(drive force)을 제공한다.

상기 이젝터를 구성하는 노즐과 디퓨저는 제2 유체(이송가스)의 유동방향(유입 측에서 토출 측)을 따라 차례로 마련될 수 있다. 또한, 상기 제1 유체(배기가스)는 상기 노즐과 디퓨저의 경계영역을 통해 흡입될 수 있다.

따라서, 고압부의 제2 유체(이송가스)를 상기 이젝터로 공급하게 되면, 상기 이젝터와 연결된 저압부의 제1 유체는 상기 제2 유체의 유동에 의하여 상기 이젝터로 흡입된다.

상기 감압장치(100)는 별도의 동력 없이도, 제2 유체(이송가스)의 유동을 구동원으로 함으로써 제1 유체(배기 가스)의 유동(L1)을 가속화할 수 있다. 따라서, 배기배관(21) 상에 마련된 감압장치(100)는 제2 유체(이송가스)의 유동(L2)을 통해, 별도의 동력 없이도, 진공펌프(20)의 배기 측 압력을 감소시킬 수 있다.

도 2 및 도 3을 참조하면, 상기 배관 연결부(110)는 유입홀(112)이 마련된 전면부(111)와 토출홀(116)이 마련된 배면부(115)를 포함한다. 도 2를 기준으로, 상기 전면부(111)는 배기가스(G)가 유입되는 면을 나타내고, 상기 배면부(115)는 배기가스(G)가 토출되는 면을 나타낸다.

또한, 상기 배관 연결부(110)는 상기 전면부(111)와 배면부(115)를 관통하는 유동홀(119)을 갖는다. 상기 배기배관(21)을 유동하는 배기가스의 유량이 소정 값 이상인 경우에는, 후술할 체크밸브(140)가 상기 유동홀(119)을 개방한 상태로 유지된다. 이러한 경우, 배기가스(G)는 상기 유동홀(119)을 통해 배기배관(21)을 유동하게 한다.

이와는 다르게, 상기 배기배관(21)을 유동하는 배기가스의 유량이 소정 값보다 작은 경우, 후술할 체크밸브(140)가 유동홀을 닫게 되고, 이에 따라 배기가스(G)는 유입홀(112)을 통해 이젝터부(120)로 유동하게 된다.

상기 배관 연결부(110)는 전면부(111)와 배면부(115) 사이의 두께가 상대적으로 얇게 형성된다. 따라서, 배기배관(21)의 일부영역을 절단하지 않고도 소정 폭을 갖는 틈새를 확보하는 경우, 상기 배관 연결부(110)를 그 틈새를 통해 장착시킬 수 있다. 또한, 상기 배관 연결부(110)는 링 형상을 가질 수 있고, 배관 연결링(110)으로 지칭될 수도 있다.

도 3을 참조하면, 상기 이젝터부(120)는 유로 형성체로서, 상기 이젝터부(120)는 상기 배관 연결부(110)와 일체로 형성될 수 있다. 상기 이젝터부(120)에는 제1 유로(121)와 제2 유로(125)가 각각 마련된다. 상기 제1 유로(121)은 유입홀(112)과 연결된다. 즉, 유입홀(112)을 통해 유입된 배기가스는 제1 유로(121)를 유동하게 된다.

또한, 상기 제2 유로(125)는 토출홀(116)과 이송가스 배관(40)과 연결된다. 즉, 이송가스 배관(40)을 통해 유입되는 이송가스는 제2 유로(125)를 유동하고, 토출홀(116)을 통해 배기배관(21)으로 토출된다.

또한, 제2 유로(125)는 일부영역(126)에서 제1 유로(121)와 합류하게 된다. 또한, 제2 유로(125)는 실질적으로 직선 유로를 형성한다.

제1 유로(121)는 유입홀(112)과 연결되는 제1 서브유로(122)와 제1 서브유로(122)와 직교하며, 제2 유로(125)와 연결되는 제2 서브 유로(123)를 포함할 수 있다.

여기서, 제1 서브유로(122)의 직경은 제2 유로(125)의 직경보다 크고, 제2 서브유로(123)의 직경은 제1 서브유로(122)의 직경보다 크며, 상기 제2 유로(125)의 직경은, 제2 유로(125)와 제2 서브 유로(123)의 경계부(126)의 직경보다 크게 형성될 수 있다. 전술한 이젝터 효과를 높이기 위함이다.

또한, 상기 배관고정부(130)는 상기 이젝터부(120)에 회전 가능하게 장착되며, 선택적으로 상기 배관연결부(110)를 둘러싼다.

구체적으로, 상기 배기배관(21)이 상기 배관연결부(110)의 전면부(111) 및 배면부(115)에 각각 연결되면, 상기 배관고정부(130)는 회전에 의하여 상기 배기배관(21)의 외주면을 접촉 지지한다.

상기 배관고정부(130)는, 상기 이젝터부(120)의 양 종단부에 각각 회전 가능하게 장착된 제1 부재(131)와 제2 부재(132)를 포함할 수 있다. 구체적으로, 제1 부재(131) 및 제2 부재(132)는 각각 상기 이젝터부(120)에 힌지 결합된다.

또한, 상기 배관 고정부(130)는 상기 배관 연결부(110)의 두께(전면부와 배면부 사이 간격)보다 큰 두께를 가질 수 있다. 즉, 상기 배관 고정부(130)의 제1 부재(131) 및 제2 부재(132)는 회전에 의하여 상기 배관 연결부(100)의 일부영역을 둘러쌀 수 있다.

여기서 제1 부재(131)에는 클램핑 고정부(133)가 마련되고, 제2 부재(132)에는 상기 클램핑 고정부(133)에 선택적으로 결속되는 클램핑 걸이부(134)가 마련될 수 있다.

정리하면, 상기 배관 고정부(130)는 클램핑 방식으로 결속될 수 있다. 또한, 상기 클램핑 걸이부(134)에는 코일 스프링과 같은 탄성부재(135)가 마련될 수 있다. 또한, 상기 클램핑 걸이부(134)에는 록킹해제 핀이 마련될 수도 있다.

또한, 상기 클램핑 걸이부(134)가 상기 클램핑 고정부(133)에 결속되는 경우, 상기 제1 부재(131) 및 제2 부재(132)는 각각 배기배관(21)에 접촉될 수 있다.

한편, 배기배관(21)과 접촉되는 제1 부재(131)의 내주면(131a)과 제2 부재(132)의 내주면(132a)은 상기 배기배관(21)의 외주면의 형상에 대응될 수 있다.

즉, 제1 부재(131)의 내주면(131a)과 제2 부재(132)의 내주면(132a)은 각각 곡면으로 형성될 수 있다.

상기 체크밸브(140)는 배관연결부(110)의 유동홀(119)을 선택적으로 개폐시키는 기능을 수행한다.

도 6을 참조하면, 상기 체크밸브(140)는 상기 배관연결부(110)의 배면부(115) 측으로 돌출 형성된 브라켓(144)을 포함한다. 상기 브라켓(144)은 도 2를 기준으로, 상기 배관연결부(110)의 배면부(115)보다 후방으로 더욱 돌출 형성된다.

또한, 상기 체크밸브(140)는 상기 브라켓(144)에 이동 가능하게 장착되며, 배기배관(21)을 유동하는 배기가스(G)의 유량에 기초하여 유동홀(119)에 접촉되거나 유동홀(119)로부터 분리되는 캡부(141)를 포함한다.

또한, 상기 체크밸브(140)는 상기 캡부(141)와 상기 브라켓(144) 사이에 배치된 탄성부재(143)를 포함한다.

상기 탄성부재(143)는 상기 캡부(141)가 상기 유동홀(119)을 닫는 방향으로 힘을 제공하도록 마련된다. 즉, 상기 캡부(141)에 외력이 가해지지 않는 경우, 상기 캡부(141)는 상기 유동홀(119)과 접촉됨에 따라, 상기 유동홀(119)을 닫게 된다. 이와는 다르게, 상기 캡부(141)에 외력이 가해지는 경우, 상기 캡부(141)는 유동홀(119)로부터 분리되며, 이 경우 탄성부재(143)에는 압축력이 작용하게 된다.

또한, 상기 체크밸브(140)는 상기 유동홀(119)과 접촉되는 캡부(141)의 일면(141a)에 마련되는 실링 링(142)을 포함할 수 있다. 상기 실링 링(142)은 상기 캡부(141)가 상기 유동홀(119)과 접촉하는 경우, 기밀성을 향상시키는 기능을 수행한다.

도 6의 (a)를 참조하면, 상기 배기배관(21)을 유동하는 배기가스의 유량이 소정 값 이상인 경우에는, 후술할 체크밸브(140)가 상기 유동홀(119)을 개방한 상태로 유지된다. 구체적으로, 배기가스의 유량이 소정값 이상인 경우, 캡부(141)는 유동홀(119)로부터 멀어지는 방향, 즉 브라켓(144)과 가까워지는 방향으로 이동하게 된다. 이러한 경우, 배기가스(G)는 상기 유동홀(119)을 통과하여 배기배관(21)을 유동하게 한다.

이와는 다르게, 도 6의 (b)를 참조하면, 상기 배기배관(21)을 유동하는 배기가스의 유량이 소정 값보다 작은 경우, 후술할 체크밸브(140)가 유동홀을 닫게 된다. 즉, 배기가스의 유량이 소정 값보다 작은 경우, 탄성부재(143)의 복원력에 의하여 캡부(141)가 유동홀(119) 측으로 이동하게 된다. 이에 따라 배기가스(G)는 유입홀(112)을 통해 이젝터부(120)로 유동하게 된다.

도 2 및 도 3을 참조하면, 상기 전면부(111) 및 배면부(115)에는 원주방향을 따라 각각 함몰된 제1 및 제2 유동홈(113, 117)이 각각 형성될 수 있다.

여기서 상기 유입홀(112)은 상기 제1 유동홈(113) 내부에 마련될 수 있고, 상기 토출홀(116)은 상기 제2 유동홈(117) 내부에 마련될 수 있다. 또한, 상기 제2 유동홈(117)의 바닥면에는 하나 이상의 단차면(118)이 마련될 수 있다.

도 3 및 도 6을 참조하면, 상기 제2 유로(125)를 통해 이송가스가 토출홀(116) 측으로 유동하게 된다.

이때, 상기 체크밸브(140)가 상기 유동홀(191)을 닫는 경우, 상기 배기배관(21)을 통해 유동하는 배기가스는 유입홀(112) 및 제1 유로(121)를 바이패스함에 따라 제2 유로(125)로 흡입된다. 이때, 전술한 이젝터 효과를 통해 상기 배기가스는 이송가스와 함께 제2 유로(125)를 통해 토출홀(116) 측으로 유동하게 된다. 따라서, 진공펌프의 배기 측 압력이 낮아지게 된다.

한편, 상기 배관연결부(110)의 전면부(111) 및 후면부(115) 중 적어도 하나 이상의 면에는 상기 배기배관(21)과 접촉되는 실링부재가 마련된다. 이때, 상기 실링부재는 링 형상을 가질 수 있고, 일 실시태양으로, 센터 링일 수 있다.

상기 실링부재는 전면부(111)에 마련되는 제1 실링부재(151)와 배면부(115)에 마련되는 제2 실링부재(152)를 포함할 수 있다.

여기서 상기 전면부(111) 및 배면부(115)에는 각 실링부재(151, 152)가 장착되기 위한 링 형상의 가이드 홈이 각각 마련될 수 있다.

또한, 상기 제1 실링부재(151)는 제1 유동홈(113) 보다 외곽부에 위치하며, 상기 제2 실링부재(152)는 제2 유동홈(117) 보다 외곽부에 위치한다.

각 실링부재(151)는 배기배관(21)과 배관 연결부(110)의 기밀성을 향상시키며, 배기배관(21)과의 설치 편의성을 향상시키는 기능을 수행한다. 즉, 각 실링부재(151, 152)가 미리 배관 연결부(110)에 장착 및 고정됨에 따라 바로 배기배관을 연결시킬 수 있다.

100: 감압장치 110: 배관 연결부
111: 전면부 115: 배면부
120: 이젝터부 121: 제1 유로
125: 제2 유로 130: 배관 고정부
131: 제1 부재 132: 제2 부재
140: 체크밸브 141: 캡부
142: 실링 링 143: 탄성부재
144: 브라켓 151: 제1 실링부재
152: 제2 실링부재

Claims

유입홀이 마련된 전면부와 토출홀이 마련된 배면부를 포함하고, 상기 전면부와 배면부를 관통하는 유동홀을 갖는 배관연결부;
상기 유입홀과 연결되는 제1 유로와 상기 토출홀에 연결되고, 상기 제1 유로와 합류되는 제2 유로가 각각 마련된 이젝터부;
상기 이젝터부에 회전 가능하게 장착되며, 선택적으로 상기 배관연결부를 둘러싸기 위한 배관고정부; 및
상기 유동홀을 선택적으로 개폐시키기 위한 체크밸브를 포함하며,
배기배관은 상기 배관연결부의 전면부 및 배면부에 각각 연결되고, 상기 배관고정부는 상기 배기배관의 외주면을 접촉 지지하며,
상기 제2 유로를 통해 이송가스가 토출홀 측으로 유동하고, 상기 체크밸브가 상기 유동홀을 닫는 경우, 상기 배기배관을 통해 유동하는 배기가스는 유입홀 및 제1 유로를 바이패스함에 따라 제2 유로로 흡입되며,
상기 배관연결부의 전면부 및 후면부 중 적어도 하나 이상의 면에는 상기 배기배관과 접촉되는 실링부재가 마련되고,
상기 체크밸브는, 상기 배관연결부의 배면부 측으로 돌출 형성된 브라켓;
상기 브라켓에 이동 가능하게 장착되며, 배기배관을 유동하는 배기가스의 유량에 기초하여 유동홀에 접촉되거나 유동홀로부터 분리되는 캡부;
상기 유동홀과 접촉되는 캡부의 일면에 마련되는 실링 링; 및
상기 캡부와 상기 브라켓 사이에 배치된 탄성부재를 포함하는 진공펌프용 감압장치.
제 1 항에 있어서,
상기 배관고정부는, 상기 이젝터부의 양 종단부에 각각 회전 가능하게 장착된 제1 부재와 제2 부재를 포함하며,
제1 부재에는 클램핑 고정부가 마련되고,
제2 부재에는 상기 클램핑 고정부에 선택적으로 결속되는 클램핑 걸이부가 마련되는 것을 특징으로 하는 진공펌프용 감압장치.
제 2 항에 있어서,
상기 클램핑 걸이부가 상기 클램핑 고정부에 결속되는 경우, 상기 제1 부재 및 제2 부재는 각각 배기배관에 접촉되는 것을 특징으로 하는 진공펌프용 감압장치.
삭제
제 1 항에 있어서,
상기 실링부재는 전면부에 마련되는 제1 실링부재와 배면부에 마련되는 제2 실링부재를 포함하며,
상기 전면부 및 배면부에는 각 실링부재가 장착되기 위한 링 형상의 가이드 홈이 각각 마련된 것을 특징으로 하는 진공펌프용 감압장치.
제 1 항에 있어서,
상기 제1 유로는 유입홀과 연결되는 제1 서브유로와 제1 서브유로와 직교하며, 제2 유로와 연결되는 제2 서브 유로를 포함하며,
제1 서브유로의 직경은 제2 유로의 직경보다 크고,
제2 서브유로의 직경은 제1 서브유로의 직경보다 크며,
상기 제2 유로의 직경은 제2 유로와 제2 서브 유로의 경계부의 직경보다 큰 것을 특징으로 하는 진공펌프용 감압장치.
제 1 항에 있어서,
상기 전면부 및 배면부에는 원주방향을 따라 각각 함몰된 제1 및 제2 유동홈이 각각 형성되고,
상기 유입홀 및 토출홀은 상기 제1 및 제2 유동홈 내부에 각각 마련되며,
상기 제2 유동홈의 바닥면에는 하나 이상의 단차면이 마련되는 것을 특징으로 하는 진공펌프용 감압장치.