KR101588361B1

KR101588361B1 - A piled construction body of heat-resistant glass tube with a flange, a heat-resistant glass container with a flange and manufacturing method therefor

Info

Publication number: KR101588361B1
Application number: KR1020130130993A
Authority: KR
Inventors: 쿄이치 이나키; 토흐루 세가와
Original assignee: 신에쯔 세끼에이 가부시키가이샤
Priority date: 2012-12-17
Filing date: 2013-10-31
Publication date: 2016-01-25
Also published as: TW201437099A; JP2014118188A; KR20140078536A; TWI565627B; JP6066472B2

Abstract

본 발명은, 우수한 치수정밀도를 포함하는 플랜지 부착 내열성 유리 통체 적층형 구조체 및 플랜지 부착 내열성 유리 용기, 특히 대형 플랜지 부착 내열성 유리 용기 및 그 제조 방법 및 내열성 유리 부재 접착 구조체 및 그 제조 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
(해결 수단)
(A) 플랜지부의 대향면이 되는 전부 또는 일부의 플랜지면에 홈부를 포함하는 복수 개의 플랜지 부착 내열성 유리 통체를 준비하는 공정과,
(B) 서로 상대향하는 플랜지면 중 적어도 일방이 홈부를 갖도록 상기 복수 개의 플랜지 부착 내열성 유리 통체를 상대향하도록 설정하는 공정과,
(C) 상기 홈부에 충전된 접착제로 접합하여 접합체를 형성하는 공정과,
(D) 상기 접합체를 100℃이상의 온도로 가열하고, 플랜지 부착 내열성 유리 통체 적층형 구조체로 하는 공정을,
포함하도록 했다.It is an object of the present invention to provide a flange-adhered heat-resistant glass-laminated structure with flange and a heat-resistant glass container with flange, in particular, a heat-resistant glass container with a large flange having excellent dimensional accuracy and a manufacturing method thereof, .
(Solution)
(A) preparing a plurality of flanged heat-resistant glass cylinders including grooves on all or a part of flange surfaces which are opposed to flange portions,
(B) setting the plurality of flange-attached heat resistant glass cylinders to face each other such that at least one of the flange faces facing each other has a groove portion;
(C) joining the groove portion with an adhesive filled in the groove portion to form a joined body,
(D) heating the bonded body to a temperature of 100 占 폚 or more to obtain a flanged heat resistant glass cylinder laminate structure,
.

Description

Technical Field The present invention relates to a heat-resistant glass tube laminate structure with a flange, a flange-attached heat-resistant glass container, and a manufacturing method thereof,

본 발명은 플랜지 부착 내열성 유리 통체 적층형 구조체 및 플랜지 부착 내열성 유리 용기, 특히 대형의 플랜지 부착 내열성 유리 용기 및 그 제조 방법 및 내열성 유리 부재 접착 구조체 및 그 제조 방법에 관한, 특히, 태양 전지나 유기EL 등의 대형 기판을 가열처리할 때 사용되는 대형의 내열성 유리 용기로서 적합하게 이용할 수 있는 플랜지 부착 내열성 유리 용기 및 그 제조 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a flange-attached heat-resistant glass-laminated structure and a flange-attached heat-resistant glass container, in particular, a large-sized flange-attached heat-resistant glass container, a method of manufacturing the same, and a heat resistant glass member adhesive structure and a method of manufacturing the same. More particularly, To a heat-resistant glass container with a flange that can be suitably used as a large heat-resistant glass container used for heat treatment of a large-sized substrate, and a method of manufacturing the same.

종래의 대형 내열성 유리 용기는 석영 유리 등이 주로 사용되어 왔지만(특허 문헌 1), 플랜지 부착 대형 내열성 유리 용기의 경우에는 플랜지부에서 석영 유리 부재를 겹치는 것으로, 길이를 임의로 조정하는 것이 가능했다. 그렇지만, 이 플랜지끼리 쌓아 겹쳐서 용접하는 경우에는 플랜지가 두껍고, 화염가공에 의한 용접이 매우 어렵고, 가공 중에 깨져 버리는 것이 많아, 품과 시간이 걸려서 생산성이 나빴다. 또한, 용접후에는 아닐링(annealing)을 할 필요가 있고, 큰 대형 내열성 유리 용기를 제조하기 위해서는 큰 아닐링(annealing)로도 필요하고, 대형의 아닐링로를 도입하는 곳에서는 생산 설비에도 한계가 있었다.In the conventional large heat resistant glass container, quartz glass or the like has been mainly used (Patent Document 1), but in the case of a large heat resistant glass container with a flange, it is possible to arbitrarily adjust the length by overlapping the quartz glass member at the flange portion. However, when these flanges are stacked and welded by overlapping, the flange is thick, welding by flame processing is very difficult, and there are many cases where the flange is broken during processing, and productivity is bad due to time and labor. In addition, it is necessary to anneal after welding. In order to manufacture a large large heat-resistant glass container, it is also required to have a large annealing. In a place where a large annealing furnace is introduced, there was.

게다가, 최근에는 태양 전지 및 유기EL의 기판이 점점 대형화가 가속되고, 가열처리하기 위한 대형 내열성 유리 용기도 더욱 대형화가 요구되었다. 유감스럽게도 전술한 바와 같이 대형 내열성 유리 용기, 예를 들면 대형의 석영 유리 용기를 제조하는 것은 한계에 도달 하고 있다.In addition, in recent years, substrates for solar cells and organic EL have been getting larger and larger, and larger heat resistant glass containers for heat treatment have also been required to be larger. Unfortunately, as described above, the production of large heat resistant glass containers, such as large quartz glass containers, has reached its limit.

또한, 대구경이 되면 외형과 두께의 공차가 나빠질 뿐이며, 현상의 화염가공에 의한 용접에서는 크기가 500mm이상에서는 길이의 공차가 ±50mm정도, 평면도는 ±5mm정도가 되고, 또한 용접면에서 충분히 가스 차단성을 확보할 수 없는 상황이었다.In the case of the welding by the flame processing of the present invention, the tolerance of the length is about 50 mm or more, the flatness is about 5 mm or more when the size is 500 mm or more, I could not secure sex.

이러한 치수공차가 나쁘면, 분위기 중의 산소 농도를 컨트롤할 수 없게 되고, 특히 대구경의 유기EL의 TV를 제조하는 프로세스에서, 유기EL이 산소에 의해 열화되어 버리거나, 유기EL기판과 배면 캡 플레이트를 접착시 키는 에폭시 수지의 품질이 열화되 버려 서로 접착할 시에 틈새가 생겨버리는 문제가 발생하고 있다.If the dimensional tolerance is poor, the oxygen concentration in the atmosphere can not be controlled. In particular, in the process of manufacturing a large-aperture organic EL TV, when the organic EL is deteriorated by oxygen or when the organic EL substrate and the back- The key deteriorates in the quality of the epoxy resin, and there arises a problem that a gap is generated when the epoxy resin is adhered to each other.

또한, 최근에는 프로세스의 저온화가 진행되고, 석영 유리 이외의 유리, 예를 들어 고규산 유리, 파이렉스(등록 상표), 바이콜(등록 상표), 텐 팍스(등록 상표), 네오세라무(등록 상표), 네오 렉스, 파이어 라이트(등록 상표)를 사용하는 것이 검토되고 있고, 또는 일부 사용이 개시되고 있다.In recent years, the process has been progressively lowered, and glass other than quartz glass, such as high silica glass, Pyrex (registered trademark), Baikol (registered trademark), Tenpax (registered trademark), Neoceramu ), Neorex, and Firelight (registered trademark) have been studied, or some uses thereof have been disclosed.

(특허 문헌 1) 실공평 7-14194호 공보(Patent Document 1) Japanese Examined Utility Model Publication No. 7-14194

(특허 문헌 2) 특표 2008-511527호 공보(Patent Document 2) Specification No. 2008-511527

본 발명은, 우수한 치수 정밀도를 포함하는 플랜지 부착 내열성 유리 통체 적층형 구조체 및 플랜지 부착 내열성 유리 용기, 특히 대형 플랜지 부착 내열성 유리 용기 및 그 제조 방법 및 내열성 유리 부재 접착 구조체 및 그 제조 방법을 제공하는 것을 목적으로 하고 특히 태양 전지와 유기EL 등의 대형 기판을 가열처리할 때 사용되는 대형 내열성 유리 용기로 적합하게 사용되는 플랜지 부착 내열성 유리 용기 및 그 제조 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다. 또한, 대형화가 가능한 플랜지 부착 내열성 유리 용기를 간단히 제조할 수 있는 플랜지 부착 내열성 유리 용기의 제조 방법 및 대형화가 가능한 플랜지 부착 내열성 유리 용기를 제공하는 것을 목적으로 한다.It is an object of the present invention to provide a flange-adhered heat-resistant glass-laminated structure with flange and a heat-resistant glass container with flange, in particular, a heat-resistant glass container with a large flange having excellent dimensional accuracy and a manufacturing method thereof, , And particularly to a heat resistant glass container with a flange suitably used as a large heat resistant glass container used for heat treatment of a large substrate such as a solar cell and an organic EL and a manufacturing method thereof. A further object of the present invention is to provide a method for manufacturing a heat resistant glass container with a flange capable of easily manufacturing a heat resistant glass container with a flange capable of being enlarged and a heat resistant glass container with a flange capable of being enlarged.

상기 과제를 달성하기 위하여, 본 발명자들은 플랜지 부착 내열성 유리 용기의 제조 방법에 대해 열심히 연구를 거듭한 결과, 홈부를 가진 플랜지부를 SiO₂미립자를 포함하는 슬러리(slurry)상의 접착제로 접합하여, 대형의 내열성 유리 용기를 간단하게 제조할 수 있음을 발견하고, 본 발명을 완성하였다. 또한, 본 발명의 제조방법에서 얻어진 대형 내열성 유리 용기는 우수한 치수 정밀도를 가지고 있는 것도 확인했다.In order to achieve the above object, the present inventors have conducted intensive research on a manufacturing method of a heat resistant glass container with a flange, and as a result, they have found that a flange portion having a groove portion is joined with an adhesive on a slurry containing SiO ₂ fine particles, Resistant glass container of the present invention can be simply produced, and the present invention has been completed. It was also confirmed that the large heat-resistant glass container obtained by the production method of the present invention had excellent dimensional accuracy.

본 발명의 플랜지 부착 내열성 유리 통체 적층형 구조체의 제조 방법은 적어도 일단부에 플랜지부를 갖는 플랜지 부착 내열성 유리 통체의 복수 개를 서로 상대향시킨 한 쌍의 플랜지 부착 내열성 유리 통체의 대향하는 플랜지부의 대향면을 접합하여 접착함으로써 제조하는 플랜지 부착 내열성 유리 통체 적층형 구조체의 제조 방법에 있어서, A method of producing a flange-attached heat resistant glass cylinder laminate structure of the present invention is a method of manufacturing a flange-attached heat resistant glass cylinder having a pair of flange-attached heat resistant glass cylinders with a plurality of flange- A method for manufacturing a flange-attached heat resistant glass cylinder stacked structure, comprising the steps of:

(A) 상기 플랜지부의 대향면이 되는 전부 또는 일부의 플랜지면에 홈부를 갖는 복수 개의 플랜지 부착 내열성 유리 통체를 준비하는 공정과,(A) preparing a plurality of flange-attached heat-resistant glass cylinders having grooves on flanges of all or a part of the flanges,

(B) 서로 상대향하는 플랜지면중 적어도 일방이 홈부를 갖도록 상기 복수 개의 플랜지 부착 내열성 유리 통체를 상대향하도록 설정하는 공정과,(B) setting the plurality of flange-attached heat resistant glass cylinders to face each other such that at least one of the flange faces facing each other has a groove portion;

(C) 상기 설정된 복수 개의 플랜지 부착 내열성 유리 통체를 상대향한 각각의 플랜지면의 적어도 일방이 홈부를 갖도록 상대향해 접합시킨 상태에서 상기 홈부에 충전된 SiO₂ 미립자를 포함하는 슬러리상의 접착제로 접합해 플랜지 부착 내열성 유리 통체 적층형 접합체를 형성하는 공정과,(C) a plurality of the flange-attached heat-resistant glass cylinders are joined to each other with a slurry-like adhesive containing SiO ₂ fine particles filled in the grooves in a state where at least one of the flange surfaces facing each other is joined so as to have a groove portion, A step of forming an adhesive heat resistant glass tube laminate type junction body,

(D) 상기 접합체를 100℃ 이상의 온도로 가열하고, 상기 접합된 플랜지 부착 내열성 유리 통체의 플랜지부끼리 접착해서 플랜지 부착 내열성 유리 통체 적층형 구조체로 하는 공정을(D) heating the bonded body to a temperature of 100 占 폚 or higher and bonding the flanges of the bonded flanged heat-resistant glass cylinder to each other to form a flanged heat-resistant glass cylinder laminate structure

포함하는 것을 특징으로 한다..

상기 (A) ~ (D)공정을 반복함으로써 3개 이상의 플랜지 부착 내열성 유리 통체 적층형 구조체를 제조할 수 있으며, 또한 상기 (A) ~ (C)의 공정을 반복하여 3개 이상의 플랜지 부착 내열성 유리 통체 적층형 접합체를 최초 형성하고, 이 접합체를 가열하여, 즉 상기 (D)공정을 수행함으로써 1회의 가열 처리에 의해 3개 이상의 플랜지 부착 내열성 유리 통체 적층형 구조체를 제조할 수 있다.(A) to (D) are repeated to prepare three or more flange-attached heat resistant glass cylinder stacked structures, and the above steps (A) to (C) are repeated to form three or more flanged heat resistant glass cylinders Three or more flange-attached heat resistant glass cylindrical laminated structures can be manufactured by one heat treatment by initially forming a laminated bonded body and heating the bonded body, that is, by performing the above (D) process.

상기 (C)공정에 있어서, 상기 설정된 복수 개의 플랜지 부착 내열성 유리 통체를 상대향한 각각의 플랜지면의 적어도 일방이 홈부를 갖도록 상대향시켜 협지상태에서 접합시킨 후, 상기 대향하는 플랜지부의 측면에 개구하는 홈부 개구부로부터 상기 홈부내에 SiO₂ 미립자를 포함하는 슬러리상의 접착제를 주입함으로써 접합하여 플랜지 부착 내열성 유리 통체 적층형 접합체를 형성 하도록 구성하는 것이 바람직하다.Wherein in the step (C), the predetermined plurality of flanged heat-resistant glass cylinders are joined in a sandwiching state with at least one of the flange surfaces facing each other facing each other so as to have a groove portion, A slurry-like adhesive containing SiO ₂ fine particles is injected into the groove from the groove portion opening to form a flange-attached heat resistant glass cylinder stacked body.

또한, 상기 (C)공정에 있어서, 상기 설정된 복수 개의 플랜지 부착 내열성 유리 통체를 상하 방향으로 상대향시키고, 아래에 위치한 플랜지면은 홈부를 가짐과 동시에 위쪽에 위치한 플랜지면은 홈부를 가지지 않고 평탄면이며, 상기 하방측의 플랜지면의 홈부에 SiO₂ 미립자를 포함하는 슬러리상의 접착제를 주입하고, 그후, 상방측 플랜지면을 상기 하방측의 플랜지면에 접합하여 플랜지 부착 내열성 유리 통체 적층형 접합체를 형성하도록 구성할 수도 있다.In the step (C), the predetermined plurality of the flanged heat-resistant glass cylinders are oriented in the vertical direction, the flange surface located below is provided with a groove portion, and the upper flange surface has no groove portion, A slurry-like adhesive containing SiO ₂ fine particles is injected into the groove portion on the lower side flange surface, and then the upper side flange surface is joined to the lower side flange surface to form a flange-attached heat resistant glass cylinder laminate type joined body .

상기 SiO₂ 미립자를 포함하는 슬러리상의 접착제로는, B형 점도계로 30rpm, 23℃의 조건에서 측정할 때, 상기 슬러리상의 접착제의 점도가 3000mPa·s 이상인 것이 바람직하다.The slurry-like adhesive containing the SiO ₂ fine particles preferably has a viscosity of 3000 mPa · s or more when measured under the conditions of 30 rpm and 23 ° C. by a B-type viscometer.

상기 (C)공정을 실온에서 수행하고, 또한 상기 (D)공정을 500℃이상으로 하는 것이 바람직하다.The step (C) is preferably carried out at room temperature, and the step (D) is preferably carried out at 500 ° C or more.

상기 플랜지 부착 내열성 유리로서는, 석영 유리가 적합하게 사용된다. 또한, 상기 플랜지면에 형성된 홈부의 폭이 플랜지면의 절반이하로, 개수가 2개 이상인 것이 바람직하다.As the flange-attached heat resistant glass, quartz glass is suitably used. It is preferable that the width of the groove portion formed on the flange surface is not more than half of the flange surface and the number of the groove portions is two or more.

본 발명의 플랜지 부착 내열성 유리 용기의 제조 방법의 제1의 태양(態樣)은, 본 발명의 플랜지 부착 내열성 유리 통체 적층형 구조체의 제조 방법에 있어서 제조된 플랜지 부착 내열성 유리 통체 적층형 구조체 또는 중간형성물로서 형성되는 플랜지 부착 내열성 유리 통체 적층형 접합체로 부터 플랜지 부착 내열성 유리 용기를 제조하는 방법에 있어서,The first aspect of the method for producing a heat resistant glass container with a flange according to the present invention is a method for manufacturing a flanged heat resistant glass cylinder laminate structure or a heat resistant glass cylinder laminate structure produced by the method for producing a flange- A method of producing a flange-attached heat resistant glass container from a flange-adhered heat resistant glass cylinder laminate joined body,

(a) 상기 플랜지 부착 내열성 유리 통체 적층형 구조체 또는 접합체와 상기 플랜지 부착 내열성 유리 통체 적층형 접합체의 개방구를 폐색하는 형상을 가지고 또한 상기 플랜지 부착 내열성 유리 통체 적층형 구조체 또는 접합체의 개방구에 대향하는 면에 홈부를 형성하거나 또는 홈부를 형성하지 않고 평탄면으로 된 내열성 유리 개체를 준비하는 공정과,(a) a flange-attached heat-resistant glass cylinder laminate structure or a joined body and a flange-attached heat resistant glass cylinder laminate bonded body having a shape closing an opening of the flange-attached heat-resistant glass cylinder laminate structure or the joined body and opposed to the opening of the flange- Preparing a heat-resistant glass object having a flat surface without forming a groove portion or forming a groove portion;

(b) 서로 대향하는 상기 플랜지 부착 내열성 유리 통체 적층형 구조체 또는 접합체의 플랜지면 또는 플랜지부가 존재하지 않는 단부면과 내열성 유리 개체(蓋體)의 대향면 중 적어도 일방이 홈부를 갖도록 양자를 상대향하도록 설정하는 공정과,(b) facing each other such that at least one of an end face on which the flange surface or the flange portion of the flange-attached heat-resistant glass-laminated structure or the joined body is not present and an opposing face of the heat-resistant glass lid ;

(c) 상기 설정된 플랜지 부착 내열성 유리 통체 적층형 구조체 또는 접합체의 플랜지면 또는 플랜지부가 존재하지 않는 단부면과 내열성 유리 개체의 대향면을 상대향하는 플랜지면 또는 플랜지부가 존재하지 않는 단부면 및 개체 대향면의 각각의 적어도 일방이 홈부를 갖도록 상대향하여 접합시킨 상태에서 상기 홈부에 충전된 SiO₂ 미립자를 포함하는 슬러리상의 접착제로 접합하여 플랜지 부착 내열성 유리 용기 접합체를 형성하는 공정과,(c) an end face in which the flange surface or the flange portion of the flange-attached heat-resistant glass cylinder laminate structure or the joined body is not present, and an end face in which there is no flange face or flange portion facing the opposite face of the heat- A step of forming a flange-attached heat resistant glass container joined body by bonding with a slurry-like adhesive containing SiO ₂ fine particles filled in the groove portion in a state where at least one of them is bonded so as to have a groove portion;

(d) 상기 플랜지 부착 내열성 유리 용기 접합체를 100℃이상의 온도로 가열하고, 상기 플랜지 부착 내열성 유리 통체 적층형 구조체 또는 접합체와 내열성 유리 개체를 접착해서 플랜지 부착 내열성 유리 용기로 하는 공정을(d) heating the flange-attached heat-resistant glass container assembly to a temperature of 100 ° C or higher, bonding the flange-attached heat-resistant glass laminate structure or the bonded body to the heat-resistant glass body to form a flange-

포함하는 것을 특징으로 한다..

상기 플랜지 부착 내열성 유리 통체 적층형 구조체를 이용하는 경우에는, 상기한 (A) ~ (D)의 공정을 반복하여 3개 이상의 플랜지 부착 내열성 유리 통체 적층형 구조체를 제조하고, 이 적층형 구조체에 대하여 상기 (a) ~ (d)의 공정을 수행하여 3개 이상의 플랜지 부착 내열성 유리 통체 적층형 구조를 포함하는 내열성 유리 용기를 제조할 수 있다.(A) to (D) are repeated to produce three or more flanged heat-resistant glass cylinder stacked structures, and in this stacked structure, to (d) may be carried out to manufacture a heat resistant glass container including three or more flanged heat resistant glass cylinder stacked structures.

또한, 상기 플랜지 부착 내열성 유리 통체 적층형 접합체를 이용하는 경우에는, 상기한 (A) ~ (C)의 공정을 반복하여 3개 이상의 플랜지 부착 내열성 유리 통체 적층형 접합체를 최초에 형성하고, 이 적층형 접합체에 대해여 상기 (a) ~ (d)공정을 수행하여 3개 이상의 플랜지 부착 내열성 유리 통체 적층형 구조를 포함하는 내열성 유리 용기를 제조할 수 있다.Further, in the case of using the above-mentioned flange-attached heat resistant glass tube laminate type junction body, the above-mentioned steps (A) to (C) are repeated to form three or more flange- (A) to (d) may be carried out to manufacture a heat resistant glass container including three or more flanged heat resistant glass cylinder stacked structures.

상기 (C)공정에 있어서, 상기 설정된 플랜지 부착 내열성 유리 통체 적층형 구조체 또는 접합체의 플랜지면 또는 플랜지부가 존재하지 않는 단부면과 내열성 유리 개체의 대향면을 상대향하는 플랜지면 또는 플랜지부가 존재하지 않는 단부면 및 개체 대향면의 각각의 적어도 일방이 홈부를 갖도록 상대향시켜 협지상태에서 접합시킨 후, 상기 상대향한 플랜지부와 개체의 측면에 개구하는 홈부 개방구로부터, 상기 홈부내에 SiO₂ 미립자를 포함하는 슬러리상의 접착제를 주입함으로써 접합해 플랜지 부착 내열성 유리 용기 접합체를 형성 하도록 구성하는 것이 바람직하다.In the step (C), an end face on which the flange surface or the flange portion of the predetermined flange-equipped heat resistant glass cylinder stacked structure or the joined body is not present and an end face on which the flange face or the flange portion facing the opposite face of the heat- and to the relative direction, each of at least one of the object facing surface to have grooves that extends from the groove open port which is open at the side of the counter toward the flange portion and the object and then bonded in sandwiched state, the SiO ₂ fine particles to the groove portion Slurry-like adhesive is injected thereinto to form a flange-attached heat resistant glass container joined body.

또한, 상기 (C)공정에 있어서, 상기 설정된 플랜지 부착 내열성 유리 통체 적층형 구조체 또는 접합체와 내열성 유리 개체를 상하방향으로 상대향시 하게 하고, 아래쪽에 위치한 플랜지면(또는 플랜지부가 존재하지 않는 단부면) 또는 개체대향면은 홈부를 가짐과 동시에 위쪽에 위치한 개체대향면 또는 플랜지면(또는 플랜지부가 존재하지 않는 단부면)은 홈부를 가지지 않는 평탄면이며, 상기 하방측 플랜지면(또는 플랜지부가 존재하지 않는 단부면) 또는 개체대향면의 홈부에 SiO₂ 미립자를 포함하는 슬러리상의 접착제를 주입하고 그후, 상방측의 개체대향면 또는 플랜지면(또는 플랜지부가 존재하지 않는 단부면)을 상기 하방측 플랜지면(또는 플랜지부가 존재하지 않는 단부면) 또는 개체대향면에 접합하여 플랜지 부착 내열성 유리 용기 접합체를 형성하도록 구성할 수 있다.In the step (C), the flange-attached heat-resistant glass cylinder stacked structure or the bonded body and the heat-resistant glass body may be oriented in a vertical direction relative to each other, and a flange surface (or an end surface without a flange portion) (Or an end surface in which the flange portion is not present) is a flat surface having no groove portion, and the lower flange surface (or the flange surface in which the flange portion is not present) surface) or injected with the adhesive on the slurry containing SiO ₂ fine particles in the groove of the opposite side object, and then, the faces object opposite the upper side, or the flange surface (or only that the flange portion exists, surface), the lower side flange surface (or The flange-attached heat-resistant glass container assembly is joined to the opposite face of the flange-attached heat-resistant glass container assembly It can be configured to property.

본 발명의 플랜지 부착 내열성 유리 용기의 제조 방법의 제2의 태양(態樣)은, 본 발명의 플랜지 부착 내열성 유리 통체 적층형 구조체로부터 플랜지 부착 내열성 유리 용기를 제조하는 방법에 있어서,A second aspect of the method for manufacturing a heat resistant glass container with a flange according to the present invention is a method for manufacturing a flange-attached heat resistant glass container from a flange-attached heat resistant glass cylinder laminate structure of the present invention,

(i) 상기 플랜지 부착 내열성 유리 통체 적층형 구조체와 상기 플랜지 부착 내열성 유리 통체 적층형 구조체의 개구부를 폐색하는 형상을 갖는 내열성 유리 개체를 준비하는 공정과,(i) preparing a heat resistant glass object having a shape to close the opening of the flange-attached heat resistant glass cylinder stacked structure and the flanged heat-resistant glass cylinder stacked structure, and

(ii) 서로 대향하는 상기 플랜지 부착 내열성 유리 통체 적층형 구조체의 플랜지면 또는 플랜지부가 존재하지 않는 단부면과 내열성 유리 개체의 대향면이 상대향하도록 설정하는 공정과,(ii) a step of setting the opposite face of the heat resistant glass laminate structure facing the mutually facing flange face or flange face of the flange-attached heat resistant glass laminate structure facing each other,

(iii) 상기 설정된 플랜지 부착 내열성 유리 통체 적층형 구조체의 플랜지면 또는 플랜지부가 존재하지 않는 단부면과 내열성 유리 개체의 대향면을 용접해서 플랜지 부착 내열성 유리 용기로 하는 공정을(iii) a step of welding a flange surface or a flange-free end face of the above-mentioned flanged heat-resistant glass cylinder stacked structure with an end face of the heat resistant glass body to form a flanged heat resistant glass container

포함하는 것을 특징으로 한다..

본 발명의 플랜지 부착 내열성 유리 용기의 제조 방법의 제3의 태양(態樣)은, 일단측 개방구를 개체로 폐색하고 또한 타단측 개방구에 플랜지부를 설치하여 된 플랜지부 부착 내열성 유리 용기 본체와 적어도 일단부에 플랜지부를 포함하는 플랜지 부착 내열성 유리 통체의 1개 또는 복수 개를 서로 상대향한 플랜지부의 대향면을 접합하여 제조하는 플랜지 부착 내열성 유리 용기의 제조 방법에 있어서,A third aspect of the method for manufacturing a heat-resistant glass container with a flange according to the present invention is a method for manufacturing a heat-resistant glass container with a flange, wherein the flange is provided on the other- And a flange-attached heat-resistant glass cylinder including at least one flange portion at one end thereof are bonded to one another or a plurality of opposite faces of the flange portion facing each other,

(1) 상기 플랜지부의 대향면이 되는 전부 또는 일부의 플랜지면에 홈부를 갖도록 상기 플랜 지부 부착 내열성 유리 용기 본체 및 1개 또는 복수 개의 플랜지 부착 내열성 유리 통체를 준비하는 공정과,(1) preparing a heat-resistant glass container body with the flange portion and one or a plurality of flange-attached heat-resistant glass cylinders so as to have grooves on all or a part of the flange surfaces serving as opposing faces of the flange portion;

(2) 서로 상대향하는 플랜지면 중 적어도 일방이 홈부를 갖도록 상기 플랜지부 부착 내열성 유리 용기 본체와 상기 1개 또는 복수 개의 플랜지 부착 내열성 유리 통체를 상대향하도록 설정하는 공정과,(2) a step of setting the heat-resistant glass container body with the flange portion and the one or more flange-attached heat resistant glass cylinders to face each other so that at least one of the flange faces facing each other has a groove portion;

(3) 상기 설정된 플랜지부 부착 내열성 유리 용기 본체와 1개 또는 복수 개의 플랜지 부착 내열성 유리 통체가 상대향하는 각각의 플랜지면의 적어도 일방이 홈부를 갖도록 상대향하여 접합시킨 상태로 상기 홈부에 충전된 SiO₂ 미립자를 포함하는 슬러리상 접착제로 접합하여 플랜지 부착 내열성 유리 용기 접합체를 형성하는 공정과,(3) the SiO ₂ filled in the groove to at least a state in which either the external face bonding so as to have grooves in the set flange attached heat resistant glass container body with one or each of the flange surface a plurality of flanges attached heat resistant glass cylinder is facing relative A step of forming a flange-bonded heat resistant glass container joined body by bonding with a slurry-type adhesive containing fine particles,

(4) 상기 접합체를 100℃이상의 온도로 가열하고, 상기 접합된 플랜지 부착 내열성 유리 용기 접합체의 플랜지부끼리 접착해서 플랜지 부착 내열성 유리 용기로 하는 공정을(4) The step of heating the bonded body to a temperature of 100 캜 or more and bonding the flange portions of the bonded flanged heat-resistant glass container bonded bodies together to form a flanged heat-resistant glass container

포함하는 것을 특징으로 한다..

본 발명의 플랜지 부착 내열성 유리 통체 적층형 구조체는, 본 발명의 플랜지 부착 내열성 유리 통체 적층형 구조체의 제조 방법에 의해 제조된 플랜지 부착 내열성 유리 통체 적층형 구조체에 있어서, 적어도 일단부에 플랜지부를 포함하는 플랜지 부착 내열성 유리 통체의 복수 개를 서로 상대향하는 한 쌍의 플랜지 부착 내열성 유리 통체의 대향하는 플랜지부의 대향면 부분에 형성된 홈부에 SiO₂ 미립자를 포함하는 슬러리상의 접착제를 충전하고, 상기 접착제를 개재하여 플랜지 부착 내열성 유리 통체끼리 접합되고 또한 가열 접착된 구조를 포함하는 것을 특징으로 한다.The flange-attached heat-resistant glass laminate structure of the present invention is a flange-attached heat-resistant glass laminate structure produced by the method for producing a flange-attached heat resistant glass laminate structure of the present invention, wherein the flange- A slurry-like adhesive containing SiO ₂ fine particles is filled in a groove portion formed in an opposing face portion of an opposing flange portion of a pair of flange-equipped heat resistant glass cylinders facing a plurality of heat resistant glass cylinders so as to face each other, Heat-resistant glass cylinders bonded together and heat-bonded to each other.

본 발명의 플랜지 부착 내열성 유리 용기의 제1의 태양은, 본 발명의 플랜지 부착 내열성 유리 용기의 제조 방법의 제1의 태양에 의해 제조된 플랜지 부착 내열성 유리 용기에 있어서,A first aspect of the flange-attached heat resistant glass container of the present invention is the flange-attached heat resistant glass container manufactured by the first aspect of the method for producing the heat resistant glass container with flange of the present invention,

단부측에 플랜지부를 포함하는 플랜지 부착 내열성 유리 통체 적층형 구조체 또는 접합체와 상기 플랜지 부착 내열성 유리 통체 적층형 구조체 또는 접합체의 개방구를 폐색하는 형상을 갖는 내열성 유리 개체를 갖고, 서로 상대향하는 플랜지 부착 내열성 유리 통체 적층형 구조체 또는 접합체의 단부측의 플랜지부의 대향면 또는 플랜지부가 존재하지 않는 단부면과 내열성 유리 개체의 대향면의 적어도 일방에 형성된 홈부에 SiO₂ 미립자를 포함하는 슬러리상의 접착제를 충전하고, 상기 접착제를 개재하여 플랜지 부착 내열성 유리 통체 적층형 구조체 또는 접합체와 내열성 유리 개체가 접합되고 또한 가열 접착된 구조를 갖는 것을 특징으로 한다.And a flange-attached heat-resistant glass-laminated structure or a bonded body including a flange portion on an end side thereof and a heat-resistant glass body having a shape closing an opening of the flanged heat-resistant glass cylinder laminated structure or the bonded body, A slurry-like adhesive containing SiO ₂ fine particles is filled in a groove portion formed on at least one side of an end face of the flange portion on the end side of the tubular laminated structure or the joined body or on the opposite face of the heat resistant glass body, And a structure in which a flange-attached heat-resistant glass-ceramic laminated structure or a bonded body and a heat-resistant glass body are bonded to each other through an adhesive and heat-bonded.

본 발명의 플랜지 부착 내열성 유리 용기의 제2의 태양은, 본 발명의 플랜지 부착 내열성 유리 용기의 제조 방법의 제2의 태양에 의해 제조된 플랜지 부착 내열성 유리 용기에 있어서,The second aspect of the flange-attached heat resistant glass container of the present invention is the flange-attached heat resistant glass container manufactured by the second aspect of the method for producing a heat resistant glass container with flange of the present invention,

상기 플랜지 부착 내열성 유리 통체 적층형 구조체와, 상기 플랜지 부착 내열성 유리 통체 적층형 구조체의 개방구를 폐색하는 형상을 포함하는 내열성 유리 개체을 갖고, 서로 상대향하는 플랜지 부착 내열성 유리 통체 적층형 구조체의 플랜지면 또는 플랜지부가 존재하지 않는 단부면과 내열성 유리 개체의 대향면이 용접된 구조를 포함하는 것을 특징으로 한다.There is a flange surface or a flange portion of the flange-attached heat resistant glass cylindrical laminated structure having a flange-attached heat resistant glass cylindrical laminated structure and a heat resistant glass object including a shape closing the opening of the flanged heat resistant glass cylindrical laminated structure, And an opposite surface of the heat-resistant glass body is welded.

본 발명의 플랜지 부착 내열성 유리 용기의 제3의 태양은, 본 발명의 플랜지 부착 내열성 유리 용기의 제조 방법의 제3의 태양에 의해 제조된 플랜지 부착 내열성 유리 용기에 있어서,A third aspect of the flange-attached heat resistant glass container of the present invention is the flange-attached heat resistant glass container manufactured by the third aspect of the method for manufacturing a heat resistant glass container with a flange according to the present invention,

일단측 개방구를 내열성 유리 개체로 폐색하고 또한 타단측 개방구에 플랜지부를 설치하여 되는 플랜지부 부착 내열성 유리 용기 본체와 1개 또는 복수 개의 플랜지 부착 내열성 유리 통체를 갖고, 상기 플랜지부 부착 내열성 유리 용기 본체와 1개 또는 복수 개의 플랜지 부착 내열성 유리 통체가 상대향하는 각각의 플랜지면의 적어도 일방이 홈부를 갖도록 상대향하여 접합시킨 상태에서 상기 홈부에 SiO₂ 미립자를 포함하는 슬러리상의 접착제를 충전하고, 상기 접착제를 개재하여 상기 플랜지부 부착 내열성 유리 용기 본체와 1개 또는 복수 개의 플랜지 부착 내열성 유리 통체가 접합되고 또한 가열 접착된 구조를 포함하는 것을 특징으로 한다.A heat-resistant glass container body with a flange portion which is closed by a heat-resistant glass member at one end opening and a flange portion at an opening at the other end, and one or more flange-attached heat-resistant glass cylinders, A slurry-like adhesive containing SiO ₂ fine particles is filled in the groove portion in a state where at least one of the flange surfaces of the container body and one or more flange-attached heat resistant glass cylinders facing each other has a groove portion, And a structure in which the heat-resistant glass container body with the flange portion is bonded to one or a plurality of the flange-attached heat-resistant glass cylinders via an adhesive, and the heat-resistant glass container body is heat-bonded.

본 발명의 플랜지 부착 내열성 유리 용기 및 그 제조 방법에 있어서, 내열성 유리 개체에 의해 폐색되는 플랜지 부착 내열성 유리 통체 적층형 구조체 또는 접합체의 개방구측의 플랜지부는 필수의 구성이 아닌, 플랜지부의 설치가 없이도 개방구측의 단부면에 내열성 유리 개체를 직접적으로 접합 접착 또는 용접하는 구성을 채용할 수도 있다. 또한, 후술하는 실시의 형태의 설명 및 도시 예에서는 플랜지부를 개재하여 내열성 유리 개체를 마련한 구성에 대해서 설명하고, 개방구 즉 단부면에 내열성 유리 개체를 직접 설치하는 구성에 대한 설명은 장황함을 피하기 위해 생략한다.In the heat-resistant glass container with a flange according to the present invention and the method of manufacturing the same, the flange portion on the opening side of the flange-attached heat-resistant glass cylinder laminate structure or the joined body closed by the heat-resistant glass body is not essential, It is also possible to employ a configuration in which a heat resistant glass object is directly bonded to or welded to an end face of the opening side. In the following description of the embodiments and the accompanying drawings, a description will be given of a configuration in which a heat-resistant glass object is provided via a flange portion, and a description of a configuration in which a heat-resistant glass object is directly installed on an opening surface, Omission.

본 발명의 내열성 유리 부재 접착 구조체의 제조 방법은, 한 쌍의 내열성 유리 부재의 대향면을 접합하여 접착하는 내열성 유리 부재 접착 구조체의 제조 방법에 있어서,A method of manufacturing a heat resistant glass member bonding structure according to the present invention is a method of manufacturing a heat resistant glass member bonding structure for bonding and bonding opposite faces of a pair of heat resistant glass members,

(1) 상기 내열성 유리 부재의 대향면이 되는 쌍방 또는 일방의 면에 홈부를 포함하는 한 쌍의 내열성 유리 부재를 준비하는 공정과,(1) a step of preparing a pair of heat-resistant glass members, each of which is a surface opposite to the heat-resistant glass member or including a groove on one surface thereof,

(2) 서로 상대향하는 내열성 유리 부재의 면 중 적어도 일방이 홈부를 갖도록 상기 한 쌍의 내열성 유리 부재를 상대향하도록 설정하는 공정과,(2) Heat resistance relative to each other A step of setting the pair of heat resistant glass members so that at least one of the surfaces of the glass member has a groove portion,

(3) 상기 설정된 한 쌍의 내열성 유리 부재를 상대향하는 각각의 면의 적어도 일방이 홈부를 갖도록 상대향하여 접합시킨 상태에서 상기 홈부에 충전된 SiO₂ 미립자를 포함하는 슬러리상의 접착제로 접합하여 내열성 유리 부재 접합체를 형성하는 공정과,(3) a slurry-like adhesive containing SiO ₂ fine particles filled in the groove portion in a state where at least one of the surfaces facing each other with the set pair of heat-resistant glass members facing each other so as to have a groove portion, A step of forming a bonded body,

(4) 상기 내열성 유리 부재 접합체를 100℃이상의 온도로 가열하고, 상기 한 쌍의 내열성 유리 부재끼리 접착하여 내열성 유리 부재 접착 구조체로 하는 공정을(4) The heat resistant glass member joined body is heated to a temperature of 100 캜 or more, and the pair of heat resistant glass members are bonded together to form a heat resistant glass member bonded structure

포함하는 것을 특징으로 한다..

상기 (3)공정에 있어서, 상기 설정된 한 쌍의 내열성 유리 부재를 상대향하는 각각의 면의 적어도 일방이 홈부를 갖도록 상대향하여 협지상태로 접합시킨 후, 상기 상대향하는 내열성 유리 부재의 측면에 개구하는 홈부 개구부로부터 상기 홈부내에 SiO₂ 미립자를 포함하는 슬러리상의 접착제를 주입하여 접합하여 내열성 유리 부재 접합체를 형성하도록 하는 것이 바람직하다.In the step (3), after at least one of the surfaces facing each of the set pair of heat resistant glass members is bonded in a nipping state so as to have a groove portion, It is preferable that a slurry-like adhesive containing SiO ₂ fine particles is injected from the opening into the groove and joined to form a heat resistant glass member joined body.

상기 (3)공정에 있어서, 상기 설정된 한 쌍의 내열성 유리 부재를 상하 방향으로 상대향하게 해, 하방에 위치한 내열성 유리 부재의 대향면은 홈부를 가짐과 동시에 상방에 위치한 내열성 유리 부재의 대향면은 홈부를 가지지 않는 평탄면이며, 상기 하방측의 내열성 유리 부재의 대향면의 홈부에 SiO₂ 미립자를 포함하는 슬러리상의 접착제를 주입하고, 그 후, 상방측의 내열성 유리 부재의 대향면을 상기 하방측의 내열성 유리 부재의 대향면에 접합하여 내열성 유리 부재 접합체를 형성하도록 할 수도 있다.In the step (3), the set pair of heat-resistant glass members are vertically opposed to each other, and the opposing faces of the heat-resistant glass members positioned below are provided with groove portions, and the opposing faces of the heat- Wherein a slurry-like adhesive containing SiO ₂ fine particles is injected into the groove portion of the opposing face of the heat-resistant glass member on the lower side, and then the opposing face of the heat- The heat resistant glass member assembly may be formed by bonding to the opposite surfaces of the heat resistant glass member.

본 발명의 내열성 유리 부재 접착 구조체는 본 발명의 내열성 유리 부재 접착 구조체의 제조 방법에 의하여 제조된 내열성 유리 부재 접착 구조에 있어서,The heat resistant glass member bonding structure of the present invention is a heat resistant glass member bonding structure produced by the method for producing a heat resistant glass member bonding structure of the present invention,

상대향하는 한 쌍의 내열성 유리 부재의 대향하는 면부분에 형성된 홈부에 SiO₂ 미립자를 포함하는 슬러리상의 접착제를 충전하고, 상기 접착제를 개재하여 내열성 유리 부재끼리 접합되고 또한 접착된 구조를 갖는 것을 특징으로 한다.Heat-resistant glass members having a structure in which a slurry-like adhesive containing SiO ₂ fine particles is filled in a groove portion formed in an opposing face portion of a pair of opposing heat-resisting glass members, and heat-resistant glass members are bonded and bonded to each other via the adhesive do.

본 발명에 의하면, 우수한 치수 정밀도를 포함하는 플랜지 부착 내열성 유리 통체 적층형 구조체 및 플랜지 부착 내열성 유리 용기, 특히 대형 플랜지 부착 내열성 유리 용기 및 그 제조 방법, 및 내열성 유리 부재 접착 구조체 및 그 제조 방법을 제공할 수 있으며, 특히 태양 전지 및 유기EL 등의 대형 기판을 가열처리할 때 사용되는 대형 내열성 유리 용기로 적합하게 이용할 수 있는 플랜지 부착 내열성 유리 용기 및 그 제조 방법을 제공할 수 있다. 또한, 우수한 치수 정밀도를 가진, 대형화가 가능한 플랜지 부착 내열성 유리 용기, 특히 석영 유리 용기를 제공할 수 있다는 현저하게 큰 효과를 나타낸다. 또한, 본 발명에 의하면, 대형의 경우도 우수한 치수 정밀도와 우수한 가스 차단성을 포함하는 대형 내열성 유리 용기, 예를 들면 내열성 유리 각형 용기를 간단하게 제조할 수 있는 제조 방법을 제공할 수 있다는 현저하게 큰 효과를 나타낸다.According to the present invention, there is provided a flange-adhered heat-resistant glass tube laminate structure and a flange-attached heat-resistant glass container, in particular, a heat-resistant glass container with a large flange including excellent dimensional accuracy, a method of manufacturing the same, and a heat resistant glass member adhesive structure and a method of manufacturing the same A heat-resistant glass container with a flange which can be suitably used as a large heat-resistant glass container used for heat treatment of a large substrate such as a solar cell and an organic EL, and a method of manufacturing the same. In addition, it is possible to provide a heat-resistant glass container with flange, particularly a quartz glass container, capable of being large-sized and having excellent dimensional accuracy. Further, according to the present invention, it is possible to provide a manufacturing method capable of simply manufacturing a large heat resistant glass container, for example, a heat resistant glass square container including excellent dimensional accuracy and excellent gas barrier property even in a large size It has a great effect.

도 1은 본 발명의 플랜지 부착 내열성 유리 통체 적층형 구조체의 하나의 실시 예를 나타내는 측면적 설명도이다.
도 2는 도 1의 요부의 적시사시 설명도이다.
도 3은 본 발명의 플랜지 부착 내열성 유리 통체 적층형 구조체의 다른 실시 형태를 나타내는 측면적 설명도이다.
도 4는 도 3의 요부의 적시사시 설명도이다.
도 5의 (a) (b) (c)는 홈부의 형상의 3개의 예를 나타내는 상면적 설명도이다.
도 6은 본 발명의 플랜지 부착 내열성 유리 용기의 하나의 실시 형태를 나타내는 측면적 설명도이다.
도 7은 본 발명의 플랜지 부착 내열성 유리 용기의 다른 실시 형태를 나타내는 측면적 설명도이다.
도 8은 본 발명의 플랜지 부착 내열성 유리 용기의 다른 실시 형태를 나타내는 측면적 설명도이다.
도 9는 본 발명의 플랜지 부착 내열성 유리 각형 용기의 일례를 나타내는 사시 설명도이다.
도 10은 본 발명의 플랜지 부착 내열성 유리 환형 용기의 일례를 나타내는 사시 설명도이다.
도 11은 본 발명의 플랜지 부착 내열성 유리 통체 적층형 구조체의 제조 방법의 공정 순서를 나타내는 흐름도이다.
도 12는 본 발명의 플랜지 부착 내열성 유리 용기의 제조 방법의 제1의 태양의 공정 순서의 일례를 나타내는 흐름도이다.
도 13은 본 발명의 플랜지 부착 내열성 유리 용기의 제조 방법의 제2의 태양의 공정 순서의 일례를 나타내는 흐름도이다.
도 14는 본 발명의 플랜지 부착 내열성 유리 용기의 제조 방법의 제3의 태양의 공정 순서의 일례를 나타내는 흐름도이다.
도 15는 본 발명의 플랜지 부착 내열성 유리 용기의 또 다른 실시 형태를 나타내는 측면적 설명도이다.
도 16은 본 발명의 내열성 유리 부재 접착 구조체의 일례를 나타내는 사시 설명도이다.
도 17은 본 발명의 내열성 유리 부재 접착 구조체의 다른 예를 나타내는 사시 설명도이다.
도 18은 본 발명의 내열성 유리 부재 접착 구조체의 제조 방법의 공정 순서의 일례를 나타내는 흐름도이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS Fig. 1 is a side view explanatory view showing one embodiment of a flange-adhered heat resistant glass cylinder stacked structure of the present invention. Fig.
FIG. 2 is an explanatory view of the main part of FIG. 1; FIG.
3 is a side view explanatory view showing another embodiment of the flange-adhered heat resistant glass cylinder stacked structure of the present invention.
Fig. 4 is an explanatory view of the main part of Fig. 3; Fig.
5 (a), 5 (b) and 5 (c) are explanatory diagrams showing three examples of the shape of the groove portion.
6 is a side view explanatory view showing one embodiment of the flange-attached heat resistant glass container of the present invention.
7 is a side view explanatory view showing another embodiment of the flange-attached heat resistant glass container of the present invention.
8 is a side view explanatory view showing another embodiment of the flange-attached heat resistant glass container of the present invention.
Fig. 9 is an explanatory view showing an example of the flange-attached heat resistant glass prismatic container of the present invention. Fig.
10 is an explanatory view showing an example of a flange-attached heat resistant glass annular container of the present invention.
11 is a flow chart showing a process sequence of a method for manufacturing a flange-attached heat resistant glass cylindrical laminate structure of the present invention.
12 is a flowchart showing an example of the process sequence of the first aspect of the method for manufacturing a heat resistant glass container with a flange according to the present invention.
13 is a flowchart showing an example of a process sequence of the second aspect of the method for manufacturing a heat resistant glass container with a flange according to the present invention.
14 is a flowchart showing an example of a process sequence of the third aspect of the method for manufacturing a heat resistant glass container with a flange according to the present invention.
15 is a side view explanatory view showing still another embodiment of the flange-attached heat resistant glass container of the present invention.
16 is an explanatory view showing an example of a heat resistant glass member adhesive structure of the present invention.
17 is a perspective view showing another example of the heat resistant glass member adhesive structure of the present invention.
18 is a flowchart showing an example of a process sequence of a manufacturing method of a heat resistant glass member adhesive structure of the present invention.

이하에서 본 발명의 실시의 형태를 첨부 도면에 근거해서 설명하지만, 도시예는 예시적으로 나타내지는 것으로, 본 발명의 기술 사상에서 벗어나지 않는 한 다양한 변형이 가능한 것은 말할 필요도 없다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. It is needless to say that various modifications are possible without departing from the scope of the present invention.

본 발명의 플랜지 부착 내열성 유리 통체 적층형 구조체(16)는, 도 1 ~ 도 2에 나타낸 바와 같이 적어도 일단부(도시예에서는 양단부)에 플랜지부(10a, 10b)를 포함하는 복수 개(도시예에서는 2개)의 플랜지 부착 내열성 유리 통체(12a, 12b)의 서로 상대향하는 플랜지부(10a, 10b)의 대향면(14a, 14b)의 쌍방 또는 일방(도시예에서는 쌍방)에 홈부(18a, 18b)를 형성하고, 상기 홈부(18a, 18b)에 SiO₂ 미립자를 주성분으로 하는 슬러리상의 접착제(20)를 충전하고, 상기 접착제(20)를 개재하여 플랜지 부착 내열성 유리 통체(12a, 12b)를 접합하여 접착함으로써 제조되는 것이다. 또한, 플랜지 부착 내열성 유리 통체(12a, 12b)는 복수 개(2개 이상)를 쌓아서 겹쳐 제조되지만, 설명의 사정상, 도시예에서는 2개의 플랜지 부착 내열성 유리 통체(12a, 12b)를 쌓아서 겹친 경우에 대하여 나타내었다.As shown in Figs. 1 and 2, the flange-attached heat resistant glass laminate structure 16 of the present invention has a plurality of (at least one end portion in the illustrated example) flange portions 10a and 10b 18b in both or one of the opposite faces 14a, 14b of the flanged portions 10a, 10b of the flanged heat-resistant glass cylinders 12a, 12b facing each other, And the slurry-like adhesive agent 20 containing SiO ₂ fine particles as a main component is filled in the groove portions 18a and 18b and the flange-attached heat resistant glass cylinders 12a and 12b are bonded via the adhesive agent 20 . The heat-resistant glass cylinders 12a and 12b with flanges are stacked and stacked to form a plurality of (two or more). However, in the illustrated example, when two flanged heat-resistant glass cylinders 12a and 12b are stacked and stacked Respectively.

또한, 도 11에 나타낸 흐름도에 의해 플랜지 부착 내열성 유리 통체 적층형 구조체의 제조 방법에 대해서 설명한다. 먼저, 상기 플랜지부(10a, 10b)의 대향면이 되는 전부 또는 일부의 플랜지면(14a, 14b)에 홈부(18a, 18b)를 포함하는 복수 개의 플랜지 부착 내열성 유리 통체(12a, 12b)를 준비한다(공정 100). 상기 플랜지부(10a, 10b)는 내열성 유리 통체 기체부(11a, 11b)에 접착(예를 들면, 특허 문헌 2에 기재된 것과 같은 방법에 의해 접착) 또는 용접되어 진다. 상기 홈부(18a, 18b)는 머시닝(machining)등의 공지수단으로 형성된다.A manufacturing method of the flange-attached heat resistant glass cylindrical laminated structure will be described with reference to the flowchart shown in Fig. First, a plurality of flanged heat-resistant glass cylinders 12a and 12b including grooves 18a and 18b are prepared on all or part of the flange surfaces 14a and 14b which are opposed surfaces of the flange portions 10a and 10b. (Step 100). The flange portions 10a and 10b are bonded or welded to the heat-resistant glass tube base portions 11a and 11b (for example, by the method described in Patent Document 2) or welded. The grooves 18a and 18b are formed by known means such as machining.

다음으로, 서로 상대향하는 플랜지면(14a, 14b) 중 적어도 일방이 홈부를 갖도록(도 1의 예에서는 플랜지면(14a, 14b)의 각각에 3개의 홈부(18a, 18b)가 형성되어 진다) 상기 복수 개의 플랜지 부착 내열성 유리 통체(12a, 12b)를 상대향하도록 설정한다(공정 102).Next, at least one of the flange faces 14a and 14b facing each other has a groove portion (three groove portions 18a and 18b are formed in each of the flange faces 14a and 14b in the example of FIG. 1) Heat-resistant glass cylinders 12a and 12b with a plurality of flanges are set to face each other (step 102).

상기 설정된 복수 개의 플랜지 부착 내열성 유리 통체(12a, 12b)를 상대향하는 각각의 플랜지면(14a, 14b)의 적어도 일방이 홈부를 갖도록(도 1의 예에서는 플랜지면(14a, 14b)의 각각에 3개의 홈부(18a, 18b)가 형성되어 짐) 상대향하여 접합시킨 상태로 상기 홈부(18a, 18b)에 충전된 SiO₂ 미립자를 주성분으로 하는 슬러리상의 접착제(20)로 접합하여 적층형 접합체(16a)를 형성한다(공정 104). 이 상태에서, SiO₂ 미립자를 주성분으로 하는 슬러리상의 접착제가 건조될 때까지, 하룻밤 정도 방치해 건조시킨다.At least one of the flange surfaces 14a and 14b facing the plurality of the flanged heat-resistant glass cylinders 12a and 12b facing each other has grooves (in the example of FIG. 1, three flange surfaces 14a and 14b) The groove portions 18a and 18b are joined to each other with the grooves 18a and 18b formed therebetween so as to be joined to each other with the slurry-like adhesive 20 containing SiO ₂ fine particles as a main component, (Step 104). In this state, the slurry-like adhesive containing SiO ₂ fine particles as a main component is left to stand overnight for drying until drying.

이 접합 공정은 실온에서 실시하는 것이 바람직하다. 플랜지 부착 내열성 유리 통체 적층형 접합체(16a)와 플랜지 부착 내열성 유리 통체 적층형 구조체(16)는 전자가 가열 전의 상태에서, 후술하는 바와 같이 후자가 가열 처리를 받은 후의 상태를 의미하는 것이지만, 도면상으로는 동일한 형상으로 나타내지므로, 도 1에서는 플랜지 부착 내열성 유리 통체 적층형 접합체(16a)의 인출선을 가상선으로, 플랜지 부착 내열성 유리 통체 적층형 구조체(16)의 인출선을 실선으로 나타내어 양자를 구별하고 있다.This bonding step is preferably carried out at room temperature. The flange-attached heat resistant glass tube laminate assembly 16a and the flange-attached heat resistant glass tube laminate structure 16 refer to the state after electrons have undergone the heat treatment as described later in the state before heating, but the same shape 1, the outgoing lines of the flange-attached heat-resistant glass laminate assembly 16a are indicated by phantom lines and the outgoing lines of the flange-attached heat-resistant glass laminate structure 16 are indicated by solid lines.

상기 공정 104에 있어서, SiO₂ 미립자를 주성분으로 하는 슬러리상의 접착제(20)를 홈부(18a, 18b)에 충전하는 방법으로는, 여러 가지 방법을 생각할 수 있지만, 예를 들어, 도 1 ~ 도 2에 나타낸 바와 같이, 상기 설정된 복수 개의 플랜지 부착 내열성 유리 통체(12a, 12b)를 상대향하는 각각의 플랜지면(14a, 14b)의 적어도 일방이 홈부를 갖도록 상대향하여 협지상태로 접합(예를 들어, 플랜지부를 클램프 등으로 접합 고정) 시킨 후, 상기 상대향하는 플랜지부(10a, 10b) 측면에 개구하는 홈부 개구부(19a, 19b)로부터 상기 홈부(18a, 18b)내에 SiO₂ 미립자를 주성분으로 하는 슬러리상의 접착제(20)를 주입함으로써 접합하여 적층형 접합체(16a)를 형성하도록 구성하는 것이 바람직하다.In the above step 104, various methods can be considered as a method for filling the grooves 18a and 18b with the slurry-like adhesive 20 containing SiO ₂ fine particles as a main component. For example, as shown in Figs. 1 to 2 At least one of the flange surfaces 14a and 14b facing the set plurality of the flanged heat-resistant glass cylinders 12a and 12b facing each other is bonded in a sandwiching state (for example, The slits 18a and 18b are formed in the groove portions 18a and 18b from the groove portion openings 19a and 19b that are opened to the side faces of the flange portions 10a and 10b facing each other while the SiO ₂ fine particles are the main components It is preferable to form the laminate type junction body 16a by bonding by injecting the adhesive 20.

또한, 상기 공정 104에 있어서, SiO₂ 미립자를 주성분으로 하는 슬러리상의 접착제(20)를 홈부(18a, 18b)에 충전하는 그외의 방법으로는, 예를 들어, 도 3 ~ 도 4에 나타낸 바와 같이, 상기 설정된 복수 개의 플랜지 부착 내열성 유리 통체(12a, 12b)를 상하 방향으로 상대향하게 해, 하방에 위치하는 플랜지면(14a)은 홈부(18a)를 가짐과 동시에 상방에 위치하는 플랜지면(14b)은 홈부를 가지지 않고 평탄면이며, 상기 하방측의 플랜지면(14a)의 홈부(18a)에 SiO₂ 미립자를 주성분으로 하는 슬러리상 접착제(20)를 주입하고 그후, 상방측의 플랜지면(14b)을 상기 하방측의 플랜지면(14a)에 접합하여 적층형 접합체(16a)를 형성하도록 구성할 수도 있다. 또한, 도 3 ~ 도 4에 있어서는, 플랜지면(14b)에 홈부를 형성하지 않고 평탄면인 채로의 구성을 나타내지만, 그외의 구성은 도 1 ~ 도 2와 마찬가지이므로, 동일부재에는 동일한 부호를 사용하여 도시하고 있다. 도 3 ~ 도 4의 구성에서는, 상기 홈부 개구부(19a, 19b)를 개재하지 않고 접착제를 충전 주입할 수 있다는 이점이 있다.As another method for filling the grooves 18a and 18b with the slurry-like adhesive 20 having SiO ₂ fine particles as a main component in the above step 104, for example, as shown in Figs. 3 to 4 And the flange surface 14a located below the flange surface 14b has the groove portion 18a and the flange surface 14b located above the flange surface 14a, A slurry-like adhesive agent 20 containing SiO ₂ fine particles as a main component is injected into the groove portion 18a of the flange surface 14a on the lower side and then the flange surface 14b on the upper side is injected, May be joined to the flange surface (14a) on the lower side to form the laminated assembly (16a). 3 to 4 show a configuration in which the flange surface 14b is not formed with a groove portion but remains flat, but the other structures are the same as in Figs. 1 to 2, Respectively. 3 to 4, there is an advantage that the adhesive can be filled and injected without interposing the groove portion openings 19a and 19b.

마지막으로, 상기 접합체(16a)를 하룻밤 정도 방치하여 건조시킨 후에(클램프 등이 설치되어 있는 경우에는 이를 제외하고), 상기 접합체(16a)를 소성로에 세트하고, 100℃이상의 온도에서 가열하여, 상기 한 쌍의 플랜지 부착 내열성 유리 통체(12a, 12b)의 플랜지부끼리(10a, 10b) 접착하여 적층형 구조체(16)로 한다(공정 106).Finally, after the bonded body 16a is left for about one night and dried (except for a clamp, etc.), the bonded body 16a is set in a firing furnace and heated at a temperature of 100 deg. The flange portions 10a and 10b of the pair of flange-attached heat resistant glass cylinders 12a and 12b are bonded to each other to form a laminated structure 16 (Step 106).

상기 내열성 유리 통체(12a, 12b)의 재질로는 석영 유리가 바람직하지만, 석영 유리의 경우 에는, 소성로에서 500℃이상, 바람직하게는 1000℃이상 1400℃이하로 가열한다. 상기 내열성 유리 통체(12a, 12b)의 재질이 고규산 유리, 파이렉스(등록 상표), 바이콜(등록 상표), 텐 팍스(등록 상표), 네오세라무(등록 상표), 파이어 라이트(등록 상표)의 경우에는 200℃이상, 바람직하게는 400℃이상 500℃이하로 가열하는 것이 적당하다.The material of the heat-resistant glass cylinders 12a and 12b is preferably quartz glass. In the case of quartz glass, the glass is heated to a temperature of 500 ° C or higher, preferably 1000 ° C or higher and 1400 ° C or lower. Wherein the material of the heat-resistant glass cylinders 12a and 12b is at least one selected from the group consisting of high silica glass, Pyrex (registered trademark), Baikol (registered trademark), Tenpax (registered trademark), Neoceram (registered trademark) , It is suitable to heat to 200 DEG C or higher, preferably 400 DEG C or higher and 500 DEG C or lower.

도 1 및 도 2에 의해, 본 발명의 플랜지 부착 내열성 유리 통체 적층형 구조체(16)의 구조의 일예에 대해서 설명한다. 도 1에 있어서, 내열성 유리 플랜지(10a, 10b)에 형성된 홈부(18a, 18b)에 SiO₂를 주성분으로 하는 슬러리상의 접착제(20)를 충전하고(구체적으로 흘려 넣기), 접합 상태의 플랜지부(10a, 10b)는 당초에 접합된 플랜지 부착 내열성 유리 통체 적층형 접합체(16a)가 되고, 이 접합체(16a)는 더욱 가열됨에 의해 해당 접착제(20)를 개재하여 내열성 유리 플랜지부(10a, 10b)가 강고하게 접착된 플랜지 부착 내열성 유리 통체 적층형 구조체(16)가 된다.1 and 2, an example of the structure of the flange-attached heat resistant glass cylindrical laminated structure 16 of the present invention will be described. 1, grooves 18a and 18b formed in heat-resistant glass flanges 10a and 10b are filled (specifically flowed) with a slurry-like adhesive 20 containing SiO ₂ as a main component, and a flange portion 10a and 10b serve as the flange-attached heat resistant glass tube laminate bonded body 16a to which the heat-resistant glass flange portions 10a and 10b are bonded at first, and the bonded body 16a is heated further, So that the heat-resistant glass tube laminate structure 16 with the flange attached thereto is firmly adhered.

또한, 도 3 및 도 4에 의해, 본 발명의 플랜지 부착 내열성 유리 통체 적층형 구조체(16)의 구조의 다른 예에 대해서 설명한다. 도 3에 있어서, 내열성 유리 플랜지(10a)에 형성된 홈부(18a)에 SiO₂를 주성분으로 하는 슬러리상의 접착제(20)를 충전하고(구체적으로 흘려 넣기), 접합 상태의 플랜지부(10a, 10b)는 당초에 접합된 플랜지 부착 내열성 유리 통체 적층형 접합체(16a)가 되고, 이 접합체(16a)는 더욱 가열됨에 의해 해당 접착제(20)를 개재하여 내열성 유리 플랜지부(10a, 10b)가 강고하게 접착된 플랜지 부착 내열성 유리 통체 적층형 구조체(16)가 된다.3 and 4, another example of the structure of the flange-attached heat-resistant glass laminate structure 16 of the present invention will be described. 3, (Loading specifically flowing into) filling the adhesive 20 on the slurry including mainly SiO ₂ in the groove (18a) formed on the heat resistant glass flange (10a), and the flange portion of the bonded state (10a, 10b) Heat-resistant glass-ceramic laminated junction body 16a to which the heat-resistant glass flange portions 10a and 10b are bonded at the beginning, and the junction body 16a is further heated, whereby the heat-resistant glass flange portions 10a and 10b are firmly bonded Thereby forming the flange-adhered heat resistant glass tube laminate structure 16.

상기 SiO₂ 미립자를 주성분으로 하는 슬러리상의 접착제에 있어서, SiO₂ 미립자로는, 비정질 SiO₂ 미립자가 바람직하며, 구체적으로는 고규산 또는 석영 유리 미립자가 더욱 바람직하다.In the slurry-like adhesive containing SiO ₂ fine particles as a main component, the SiO ₂ fine particles are preferably amorphous SiO ₂ fine particles, more specifically, highly silicic acid or quartz glass fine particles.

상기 SiO₂ 미립자의 입경은 500μm이하가 바람직하고, 100μm이하가 보다 바람직하며, 입경을 제어해서 최밀충전이 되는 입도분포로 용매에 녹이는 것이 특히 바람직하다. 고규산 또는 석영 유리 미립자는 유리 재료를 분쇄하고, 입도를 맞추는 등 해서 조정하는 것도 가능하다.The particle diameter of the SiO ₂ fine particles is preferably 500 탆 or less, more preferably 100 탆 or less, and it is particularly preferable that the SiO ₂ fine particles are dissolved in a solvent with a particle size distribution in which the particles are densely packed. The high silica or quartz glass microparticles can be adjusted by crushing the glass material and matching the particle size.

상기 접착제에 사용되는 용매로는, SiO₂ 미립자를 용해해 슬러리상의 접착제를 얻을 수 있는 것이라면 특별히 제한은 없지만, 예를 들면 순수한 물과 알코올, 그외의 고순도의 화학약품(예를 들면 Si의 알콕사이드) 등으로 부터 선택하면 좋다. 예를 들어 순수한 물에 고규산 또는 석영 유리 미립자를 녹여낸 경우에는, 접착제는 백탁의 점성을 가진 슬러리가 된다.The solvent used for the adhesive is not particularly limited so long as it can dissolve SiO ₂ fine particles to obtain an adhesive in the form of slurry. For example, pure water and alcohol, other high purity chemicals (for example, Si alkoxide) And the like. For example, when high silica or quartz glass microparticles are dissolved in pure water, the adhesive becomes a slurry having a cloudy viscous property.

상기 접착제의 특성에 관해서는, 특별히 제한은 없지만, 점성이 지나치게 낮을 경우에는 접착할 때에 건조까지 접착제가 흘러버려 공업적으로 사용할 수 없다. 또한, 점성이 지나치게 높으면, 접착제를 취급하는 것이 어려워진다.There is no particular limitation on the properties of the adhesive, but when the viscosity is too low, the adhesive flows down to the adhesive when it is bonded and can not be used industrially. If the viscosity is too high, it becomes difficult to handle the adhesive.

이러한 것으로부터, 해당 접착제의 점성은, B형 점도계로 30rpm, 23℃의조건에서 측정했을 때의 접착제의 점도가 3000mPa·s이상인 것이 바람직하고, 4000에서 15000mPa·s 정도가 바람직하다.For this reason, the viscosity of the adhesive is preferably 3000 mPa · s or more, more preferably 4000 to 15000 mPa · s, as measured by a B-type viscometer at 30 rpm and 23 ° C.

상기 SiO₂ 미립자를 주성분으로 하는 슬러리상의 접착제의 고형분은 65%이상이 바람직하고, 80%이상이 보다 바람직하며, 83%이상이 더욱 바람직하다.The solid content of the slurry-like adhesive containing SiO ₂ fine particles as a main component is preferably 65% or more, more preferably 80% or more, and still more preferably 83% or more.

상기 SiO₂ 미립자를 주성분으로 하는 슬러리상의 접착제로서는, 예를 들면, 특허 문헌 2에 기재된 비정질 SiO₂ 입자를 함유하는 수성 슬러리가 적당하다.As the slurry-like adhesive containing SiO ₂ fine particles as a main component, for example, an aqueous slurry containing the amorphous SiO ₂ particles described in Patent Document 2 is suitable.

또한, 플랜지끼리의 접착 강도를 높이기 위해서는, 플랜지면에 형성되는 홈부의 개수를 많게 하면 좋다. 또한 홈부의 형상은 특별히 규제되는 것은 없고, 임의로 형상을 정하면 된다. 기본적으로는 SiO₂ 미립자를 주성분으로 하는 슬러리상의 접착제를 흘려 넣을 수 있고, 플랜지면을 접착할 수 있는 형상이라면 상관없다. 또한 홈부의 가공은, 통상의 머시닝 센터(machining center)에서 프로그램을 짜서 연마하면 좋고, 프로그램에 의해 홈부의 형상은 임의로 디자인할 수 있다.Further, in order to increase the bonding strength between the flanges, the number of grooves formed on the flange surface may be increased. Further, the shape of the groove portion is not particularly restricted, and the shape may be determined arbitrarily. Basically, it is not necessary that the slurry-like adhesive containing SiO ₂ fine particles as a main component can be poured, and the flange surface can be adhered. Further, the groove portion may be machined by squeezing the program in a usual machining center, and the shape of the groove portion can be arbitrarily designed by the program.

상기 플랜지면에 형성되는 홈부의 형상에 관해서는, 특별히 한정되는 것은 아니지만, SiO₂ 미립자를 주성분으로 하는 슬러리상의 접착제가 홈부 내에 충전 또는 주입할 수 있는 형상이면 어떤 형상이라도 상관없다. 사용 가능한 홈부 형상의 예시로 도 5(a) (b) (c)에 상기 플랜지면(14a)에 형성되는 홈부(18a)의 형상의 3가지 예를 나타내었다. 또한, SiO₂ 미립자를 주성분으로 하는 슬러리상의 접착제를 건조 소성하는 과정에서 슬러리상의 접착제로부터 용매가 효율적으로 증발할 수 있도록, 석영 유리 플레이트 등의 내열성 유리 플레이트의 플랜지부의 단면에 형성된 홈부 개구부는 가능한 한 많아지게 홈부의 형상을 설계하는 것이 바람직하다.The shape of the groove portion formed on the flange surface is not particularly limited and may be any shape as long as the slurry-like adhesive containing SiO ₂ fine particles as a main component can be filled or injected into the groove portion. 5 (a), (b) and (c) show three examples of the shape of the groove portion 18a formed on the flange surface 14a. Further, a groove portion opening formed in the end face of the flange portion of the heat-resistant glass plate such as a quartz glass plate can be formed so that the solvent can be efficiently evaporated from the slurry-like adhesive in the process of drying and firing an adhesive in slurry containing SiO ₂ fine particles as a main component It is desirable to design the shape of the groove portion in a larger amount.

상기 내열성 유리 통체 및 후술하는 플랜지 부착 내열성 유리 용기에 사용되는 내열성 유리 재료의 재질로는, 공지의 내열성 유리가 사용 가능하고, 특별히 제한은 없지만 20℃ ~ 700℃의 범위에서 열팽창 계수가 1×10^-7 ~ 1×10^-5(K^-1)의 유리가 바람직하며, 구체적으로는 85질량% 이상의 SiO₂를 함유하는 도핑(dope) 또는 도핑되지 않은(non dope) 규산염 유리가 적합하다. 상기 규산염 유리로, 예를 들어, 고규산 유리, 파이렉스(등록 상표), 바이콜(등록 상표), 텐 팍스(등록 상표), 네오세라무(등록 상표), 네오 렉스, 파이 라이트(등록 상표) 및 석영 유리 등의 고내열성 유리를 들 수 있고, 석영 유리가 보다 바람직하다.As the material of the heat-resistant glass cylinder and the heat-resistant glass material used for the flange-attached heat-resistant glass container described later, a known heat-resistant glass can be used and the thermal expansion coefficient is 1 x 10 A glass of ^-7 to 1 x 10 ^-5 (K ^-1 ) is preferable, and specifically, a doped or non-doped silicate glass containing 85 mass% or more of SiO ₂ is suitable. Examples of the silicate glass include glass such as high silica glass, Pyrex (registered trademark), Baicol (registered trademark), Tenpax (registered trademark), Neoceram (registered trademark), Neorex, And highly heat-resistant glass such as quartz glass, and quartz glass is more preferable.

상기 내열성 유리 재료의 형상은 특별히 제한은 없고, 플랜지 부착 내열성 유리 통체의 형상 및 후술하는 플랜지 부착 내열성 유리 용기의 형상에 맞게 적의 선택하면 좋다. 상기 내열성 유리 재료의 제조 방법에 대해서는 특별히 제한은 없고, 공지의 방법에 의해 입수 가능하다. 예를 들어, 내열성 유리판을 사용하는 경우는, 예를 들면 블록 형상의 덩어리로부터 슬라이스하거나 고온으로 가열하여 성형하는 방법으로 입수할 수 있다.The shape of the heat-resistant glass material is not particularly limited and may be appropriately selected in accordance with the shape of the flange-attached heat-resistant glass cylinder and the shape of the heat-resistant glass container with flange described later. The method for producing the heat resistant glass material is not particularly limited and can be obtained by a known method. For example, when a heat-resistant glass plate is used, it can be obtained, for example, by slicing it from a block-like lump or by heating it at a high temperature.

도 1 및 도 3에 나타낸 본 발명에 있어서 이용할 수 있는 플랜지 부착 내열성 유리 통체의 형상치수에 대해서 설명한다. 상기 플랜지 부착 내열성 유리 통체(12a, 12b)의 플랜지부(10a, 10b)는, 폭 20mm × 두께 20mm × 길이 50cm이상으로, 이 플랜지부(10a, 10b)에 폭 5 ~ 10mm, 깊이 5 ~ 10mm의 홈부(18a, 18b)를 편면 2개 이상 형성하고, 플랜지끼리 맞춘 경우, 이 홈부(18a, 18b)에 슬러리상 접착제(20)을 흘려 넣는 구성으로 하는 것이 적절하다. 이때 홈부(18a, 18b)의 형상은 직선이라도, 곡선이라도 상관없다.The shape dimensions of the heat-resistant glass cylinder with flange that can be used in the present invention shown in Figs. 1 and 3 will be described. The flange portions 10a and 10b of the flange-attached heat-resistant glass cylinders 12a and 12b are 20 mm in width x 20 mm in thickness x 50 cm in length or longer and have a width of 5 to 10 mm and a depth of 5 to 10 mm It is preferable that two or more grooves 18a and 18b of the grooves 18a and 18b are formed and the slurry adhesive agent 20 is flowed into the grooves 18a and 18b when the flanges are aligned with each other. At this time, the shape of the grooves 18a and 18b may be a straight line or a curved line.

계속해서, 본 발명의 플랜지 부착 내열성 유리 용기의 제조 방법의 제1의 태양에 대하여 설명한다. 본 발명의 플랜지 부착 내열성 유리 용기의 제조 방법의 제1의 태양은, 본 발명의 플랜지 부착 내열성 유리 통체 적층형 구조체의 제조 방법에 있어서 제조된 플랜지 부착 내열성 유리 통체 적층형 구조체 또는 중간 형성물로서 형성되는 플랜지 부착 내열성 유리 통체 적층형 접합체로부터, 도 6 또는 도 7에 나타낸 바와 같은 플랜지 부착 내열성 유리 용기(30)를 제조하는 방법이다. 또한, 플랜지 부착 내열성 유리 용기(30)는 각형 내열성 유리 용기 및 환형 내열성 유리 용기로 분류되기 때문에, 이해를 돕기 위해 도 9 및 도 10의 사시 설명도에 의해 각형 내열성 유리 용기(30) 및 환형 내열성 유리 용기(30)의 형상을 나타내었다.Next, a first aspect of the method for manufacturing a heat-resistant glass container with a flange according to the present invention will be described. A first aspect of the method of manufacturing a heat-resistant glass container with a flange according to the present invention is a method for manufacturing a flange-attached heat resistant glass cylinder laminate structure according to the present invention, wherein the flange-attached heat resistant glass cylinder laminate structure or the flange Heat-resistant glass container 30 as shown in Fig. 6 or Fig. 7 is produced from the adhering heat-resisting glass-tube laminate assembly. 9 and 10, the flange-attached heat-resistant glass container 30 is divided into a rectangular heat-resistant glass container and an annular heat-resistant glass container. For the sake of clarity, The shape of the glass container 30 is shown.

도 9는 각형 내열성 유리 용기(30)를 나타내는 사시 설명도이다. 상기 각형 내열성 유리 용기(30)는, 플랜지부(10a, 10a)를 포함하는 플랜지 부착 내열성 유리 통체(12a), 플랜지부(10b, 10b)를 포함하는 플랜지 부착 내열성 유리 통체(12b), 플랜지부(10c, 10c)를 가진 플랜지 부착 내열성 유리 통체(12c)의 3개의 플랜지 부착 내열성 유리 통체를 쌓아서 겹칠 뿐만 아니라, 그 최상부의 플랜지부(12c)의 상면에 내열성 유리 개체(22)를 재치(載置)하고, 각각의 홈부(18a, 18b, 18c, 34, 36)에 충전된 SiO₂ 미립자를 주성분으로 하는 슬러리상의 접착제(20)를 개재하여 각각의 플랜지 부착 내열성 유리 통체(12a ~ 12c), 내열성 유리 개체(22)를 서로 접합 및 접착해서 되는 것이다.9 is a perspective view showing a rectangular heat resistant glass container 30. Fig. The prismatic heat resistant glass container 30 includes a flange-attached heat resistant glass cylinder 12a including flange portions 10a and 10a, a flange-attached heat resistant glass cylinder 12b including flange portions 10b and 10b, Heat-resistant glass cylinders 12c having flanges 12c and 10c and the heat-resistant glass cylinders 12 are mounted on the upper surface of the uppermost flange 12c Heat-resistant glass cylinders 12a to 12c and the flange-attached heat-resistant glass cylinders 12a, 12b, 12c, and 12c, respectively, via the slurry-like adhesive 20 having SiO ₂ fine particles filled in the respective groove portions 18a, 18b, 18c, And the heat-resistant glass objects 22 are bonded and bonded to each other.

도 10은 환형 내열성 유리 용기(30)를 나타내는 사시 설명도이다. 상기 환형 내열성 유리 용기(30)는 플랜지부(10a, 10a)를 포함하는 플랜지 부착 내열성 유리 통체(12a), 플랜지부(10b, 10b)를 포함하는 플랜지 부착 내열성 유리 통체(12b), 플랜지부(10c, 10c)를 가진 플랜지 부착 내열성 유리 통체(12c)의 3개의 플랜지 부착 내열성 유리 통체를 쌓아서 겹칠 뿐만 아니라, 그 최상부의 플랜지부(10c)의 상면에 내열성 유리 개체(22)를 재치하고, 각각의 홈부(18a, 18b, 18c, 34, 36)에 충전된 SiO₂ 미립자를 주성분으로 하는 슬러리상의 접착제(20)를 개재하여 각각의 플랜지 부착 내열성 유리 통체(12a ~ 12c), 내열성 유리 개체(22)를 서로 접합 및 접착해서 되는 것이다. 또한, 도 10에 있어서 도 9에 있어서의 부재와 같은 부재는 동일한 부호를 사용하여 도시하고 있다.10 is a perspective view showing an annular heat-resistant glass container 30. Fig. The annular heat-resistant glass container 30 includes a flange-attached heat resistant glass cylinder 12a including flange portions 10a and 10a, a flange-attached heat resistant glass cylinder 12b including flange portions 10b and 10b, Heat-resistant glass cylinders 12a, 12b, 12c, and 10c, and heat-resistant glass objects 22 are placed on the upper surface of the uppermost flange portion 10c, of the groove (18a, 18b, 18c, 34 , 36) each flanged heat-resistant glass cylinder (12a ~ 12c) via the adhesive 20 on the slurry including mainly the charged SiO ₂ fine particles, heat-resistant glass object (22 ) Are adhered to and adhered to each other. In Fig. 10, the same members as those in Fig. 9 are denoted by the same reference numerals.

또한, 도 6에 나타낸 내열성 유리 용기(30)의 측면적 설명도 및 도 12에 나타낸 흐름도에 의해 본 발명의 플랜지 부착 내열성 유리 용기의 제조 방법의 제1의 태양에 대해서 설명 한다. 본 발명의 플랜지 부착 내열성 유리 용기의 제조 방법에 있어서는, 상기한 본 발명의 플랜지 부착 내열성 유리 통체 적층형 구조체의 제조 방법에 있어서 제조되는 플랜지 부착 내열성 유리 통체 적층형 구조체 또는 중간 형성물로 형성되는 플랜지 부착 내열성 유리 통체 적층형 접합체를 이용하여 플랜지 부착 내열성 유리 용기(30)를 제조하는 것이지만, 플랜지 부착 내열성 유리 통체 적층형 구조체(16) 및 플랜지 부착 내열성 유리 통체 적층형 접합체(16a)를 동등한 순서에서 함께 사용할 수 있으므로, 장황함을 피하기 위해서 다른 순서가 되지 않는 한, 병렬적으로 표시해서 설명한다.A first aspect of the method for manufacturing a heat-resistant glass container with a flange according to the present invention will be described with reference to a lateral explanatory view of the heat resistant glass container 30 shown in Fig. 6 and a flow chart shown in Fig. In the method of manufacturing a heat-resistant glass container with a flange according to the present invention, the flange-attached heat-resistant glass-laminated structure or the flange-attached heat-resistant heat-resistant glass- Since the flange-attached heat-resistant glass cylinder laminate structure 16 and the flange-attached heat resistant glass cylinder laminate bonded body 16a can be used together in the same order, the flange-attached heat resistant glass cylinder laminate structure 16 and the flange- In order to avoid verbosity, they are described in parallel, unless otherwise ordered.

먼저, 상기 플랜지 부착 내열성 유리 통체 적층형 구조체(16) 또는 접합체(16a)(도시한 바와 같이 상하 양방향으로 개구하고 있다)와 내열성 유리 개체(22)를 준비한다(공정 200). 상기 개체(22)는 상기 플랜지 부착 내열성 유리 통체 적층형 구조체(16) 또는 접합체(16a)의 일방의 개방구(도 6의 예에서는 상부의 개방구)(24)를 폐색하는 형상을 가지고 또한 상기 개방구(24) 측의 최상단부 플랜지부(26)의 플랜지면(28)에 대향하는 개체 대향면(32)에 홈부를 형성하거나 또는 홈부를 형성하지 않고 평탄면으로 하는(도 6의 예에서는 플랜지면(28)에 홈부(34)가 형성되고, 개체면(32)에는 홈부(36)를 형성) 것을 사용한다.First, the flange-attached heat-resistant glass laminate structure 16 or the joined body 16a (opened in both upward and downward directions as shown) and the heat resistant glass body 22 are prepared (step 200). The object 22 has a shape that closes one opening of the flange-attached heat-resistant glass laminate structure 16 or the joined body 16a (the upper opening in the example of FIG. 6) 24, A groove portion is formed on the individual facing surface 32 facing the flange surface 28 of the uppermost flange portion 26 on the side of the opening 24 or a flat surface is formed without forming the groove portion A groove portion 34 is formed on the paper surface 28 and a groove portion 36 is formed on the object surface 32).

그런 다음, 서로 대향하는 상기 플랜지 부착 내열성 유리 통체 적층형 구조체(16) 또는 접합체(16a)의 플랜지면(28)과 내열성 유리 개체(22)의 대향면(32) 중 적어도 일방이 홈부를 갖도록(도 6의 예에서는 양자에 홈부가 형성되어 있다) 양자를 상대향하도록 설정한다(공정 202).Then, at least one of the flange surface 28 of the flange-attached heat-resistant glass laminate structure 16 or the bonded body 16a facing each other and the opposing face 32 of the heat-resistant glass object 22 has a groove 6) are set so as to face each other (step 202).

상기 설정된 플랜지 부착 내열성 유리 통체 적층형 구조체(16) 또는 접합체(16a)의 최상단부의 플랜지면(28)과 내열성 유리 개체(22)의 대향면(32)을 상대향하는 플랜지면(28)과 개체 대향면(32)의 각각의 적어도 일방이 홈부(도 6의 예에서는 양자에 홈부(34, 36)가 형성되어 있다)를 갖도록 상대향하여 접합시킨 상태에서 상기 홈부(34, 36)에 충전된 SiO₂ 미립자를 주성분으로 하는 슬러리상의 접착제(20)로 접합하는 플랜지 부착 내열성 유리 용기 접합체(30a)를 형성한다(공정 204).The flange surface 28 facing the flange surface 28 at the uppermost end of the set flanged heat resistant glass cylinder stacked structure 16 or the joined body 16a and the opposite surface 32 of the heat resistant glass object 22, The SiO ₂ fine particles 32 filled in the grooves 34 and 36 in a state where at least one of each of the grooves 34 and 36 is joined so as to have a groove portion (grooves 34 and 36 are formed in both of the grooves 34 and 36 in the example of FIG. 6) Resistant glass container joined body 30a to be joined with a slurry-like adhesive 20 having a main component as a main component (step 204).

마지막으로, 상기 접합체(30a)를 100℃이상의 온도로 가열하고, 상기 플랜지 부착 내열성 유리 통체 적층형 구조체(16) 또는 접합체(16a)와 내열성 유리 개체(22)를 접착해서 플랜지 부착 내열성 유리 용기(30)로 한다(공정 206). 또한, 도 6의 도시예에서는 플랜지 부착 내열성 유리 용기 접합체(30a) 및 플랜지 부착 내열성 유리 용기(30)는 동일형상으로 나타내지므로, 전자의 인출선을 가상선으로, 후자의 인출선을 실선으로 구별하고 있다.Finally, the bonded body 30a is heated to a temperature of 100 占 폚 or higher, and the flange-attached heat-resistant glass laminate structure 16 or the bonded body 16a and the heat resistant glass body 22 are bonded to each other to form a flanged heat resistant glass container 30 ) (Step 206). 6, since the flange-attached heat-resistant glass container assembly 30a and the flange-attached heat-resistant glass container 30 are shown in the same shape, the former lead lines are assumed to be virtual lines and the latter lead lines are distinguished by solid lines .

상기 공정 204에 있어서, 도 6에 나타낸 바와 같이, 상기 설정된 플랜지 부착 내열성 유리 통체 적층형 구조체(16) 또는 접합체(16a)의 플랜지면(28)과 내열성 유리 개체(22)의 대향면(32)을 상대향한 플랜지면(28) 및 개체 대향면(32)의 각각의 적어도 일방이 홈부(도 6의 예에서는 홈부(34, 36)가 형성되어 있다)를 갖도록 상대향한 협지 상태에서 접합시킨 후, 상기 상대향한 플랜지부(26)와 개체(22)의 측면에 개구하는 홈부 개구부(34a, 36a)로부터 상기 홈부 내에 SiO₂ 미립자를 주성분으로 하는 슬러리상의 접착제(20)를 주입함으로써 접합하여 플랜지 부착 내열성 유리 용기 접합체(30a)를 형성하도록 구성하는 것이 적절하다.6, the flange surface 28 of the flange-attached heat-resistant glass laminate structure 16 or the bonded body 16a and the opposed surface 32 of the heat-resistant glass object 22 are bonded to each other at the step 204, At least one of the flange surface 28 and the object facing surface 32 facing each other has a groove portion (in the example of FIG. 6, the groove portions 34 and 36 are formed) A slurry-like adhesive 20 containing SiO ₂ fine particles as a main component is injected from the groove portion openings 34a and 36a opened in the side faces of the flange portion 26 and the object 22 facing each other to form a flange- It is appropriate to construct the container assembly 30a.

또한, 상기 공정 204에 있어서, 도 7에 나타낸 바와 같이, 상기 설정된 플랜지 부착 내열성 유리 통체 적층형 구조체(16) 또는 접합체(16a)와 내열성 유리 개체(22)를 상하 방향으로 상대향하게 해, 하방에 위치한 플랜지면(28) 또는 개체 대향면(32)은 홈부(도 7의 예에서 플랜지면(28)에 홈부(34)를 포함하는다)를 가지는 동시에 상방에 위치한 개체 대향면 또는 플랜지면은 홈부를 가지지 않고 평탄면인 채로(도 7의 예에서 개체 대향면(32)에는 홈부를 형성하지 않고 평탄면인 채로)해서, 상기 하방측의 플랜지면 또는 개체 대향면의 홈부(도 7의 예에서는 플랜지면(28)의 홈부(34))에 SiO₂ 미립자를 주성분으로 하는 슬러리상의 접착제(20)를 주입한 다음 상방측의 개체 대향면 또는 플랜지면(도 7의 예에서는 개체(22))을 상기 하방측의 플랜지면 또는 개체 대향면(도 7의 예에서는 플랜지면(28))에 접합하여 플랜지 부착 내열성 유리 용기 접합체를 형성하도록 구성할 수 있다. 도 7에 있어서 도 6과 동일한 부재는 동일한 부호로 나타내었다.7, the predetermined flange-attached heat-resistant glass laminate structure 16 or bonded body 16a and the heat-resistant glass object 22 are opposed to each other in the up-and-down direction, The flange surface 28 or the object facing surface 32 has a groove portion (which includes the groove portion 34 in the flange surface 28 in the example of FIG. 7) and the object facing surface or the flange surface located above the groove portion (In the example of Fig. 7, the grooved portion is not formed on the object facing surface 32 but remains flat), and the groove portion of the lower flange surface or the object facing surface the surface 28 groove 34), the adhesive on the slurry mainly containing SiO ₂ fine particles (injected 20), and then the object opposite the upper side surface or flange in the ground (for example, in Figure 7 the object 22 of) the The flange surface on the lower side or the object facing surface (For example, the flange surface 28) to form a flange-attached heat resistant glass container joined body. In Fig. 7, the same members as those in Fig. 6 are denoted by the same reference numerals.

상기 플랜지 부착 내열성 유리 통체 적층형 구조체(16)를 사용하는 경우에는, 도 11에 나타낸 공정 100 ~ 106을 반복하여 3개 이상의 플랜지 부착 내열성 유리 통체 적층형 구조체를 제조하고, 이 적층형 구조체에 대하여 도 12의 공정 200 ~ 206을 행함으로써 3개 이상의 플랜지 부착 내열성 유리 통체 적층형 구조를 포함하는 내열성 유리 용기를 제조할 수 있다.In the case of using the flange-attached heat resistant glass cylindrical laminated structure 16, the processes 100 to 106 shown in Fig. 11 are repeated to fabricate three or more flanged heat resistant glass cylindrical laminated structures, By performing the processes 200 to 206, a heat resistant glass container including three or more flange-attached heat resistant glass cylinder stacked structures can be manufactured.

또한, 상기 플랜지 부착 내열성 유리 통체 적층형 접합체(16a)를 이용하는 경우에는, 도 11에 나타낸 공정 100 ~ 104를 반복해서 3개 이상의 플랜지 부착 내열성 유리 통체 적층형 접합체를 처음에 형성하고, 이 적층형 접합체에 대해서 도 12의 공정 200 ~ 206을 행함으로써 3개 이상의 플랜지 부착 내열성 유리 통체 적층형 구조를 포함하는 내열성 유리 용기를 제조할 수 있다.In the case of using the above-mentioned flange-attached heat-resistant glass laminate assembly 16a, it is also possible to form three or more flange-attached heat resistant glass laminate assemblies first by repeating steps 100 to 104 shown in Fig. 11, It is possible to manufacture a heat resistant glass container including three or more flange-attached heat resistant glass cylinder stacked structures by performing steps 200 to 206 shown in Fig.

또한, 플랜지 부착 내열성 유리 용기(30)에 사용되는 내열성 유리 재료의 재질 및 SiO₂ 미립자를 주성분으로 하는 슬러리상의 접착제에 대해서는, 전술한 플랜지 부착 내열성 유리 통체 적층형 구조체의 제조에 있어서 사용되는 것이 동일하게 사용가능하므로, 재차 설명은 생략한다.The material of the heat-resistant glass material used in the flange-attached heat-resistant glass container 30 and the slurry-like adhesive containing SiO ₂ fine particles as a main component are the same as those used in the production of the flange-attached heat resistant glass cylinder laminate structure So that the description thereof will be omitted again.

게다가, 도 8에 나타낸 내열성 유리 용기(30)의 측면적 설명도 및 도 13에 나타낸 순서도에 의해 본 발명의 플랜지 부착 내열성 유리 용기의 제조 방법의 제2의 태양에 대해서 설명한다. 본 발명의 플랜지 부착 내열성 유리 용기의 제조 방법에 있어서는, 상기한 본 발명의 플랜지 부착 내열성 유리 통체 적층형 구조체의 제조 방법에 있어서 제조된 플랜지 부착 내열성 유리 통체 적층형 구조체(16)를 사용해서 내열성 유리 개체(22)를 용접함으로써 플랜지 부착 내열성 유리 용기(30)를 제조하는 것이다.In addition, a second aspect of the method for manufacturing a heat-resistant glass container with a flange according to the present invention will be described with reference to a lateral explanatory view of the heat resistant glass container 30 shown in Fig. 8 and a flowchart shown in Fig. In the method of manufacturing a heat-resistant glass container with a flange according to the present invention, the heat-resistant glass laminate structure (16) with a flange attached thereto manufactured in the method for producing a flange- 22 to weld the flange-attached heat resistant glass container 30.

먼저, 상기 플랜지 부착 내열성 유리 통체 적층형 구조체(16)와 상기 플랜지부착 내열성 유리 통체 적층형 구조체(16)의 개구부(24)를 폐색하는 형상을 포함하는 내열성 유리 개체(22)를 준비한다(공정 210).First, a heat resistant glass object 22 including a shape for closing the flange-attached heat resistant glass cylindrical laminated structure 16 and the opening 24 of the flanged heat resistant glass cylindrical laminated structure 16 is prepared (step 210) .

그런 다음, 서로 대향하는 상기 플랜지 부착 내열성 유리 통체 적층형 구조체(16)의 플랜지면(28)과 내열성 유리 개체(22)의 대향면(32)이 상대향하도록 설정한다(공정 212).Then, the flange surface 28 of the flange-attached heat resistant glass laminate structure 16 facing each other is set so that the opposite surface 32 of the heat resistant glass object 22 is opposed (step 212).

마지막으로, 상기 설정된 플랜지 부착 내열성 유리 통체 적층형 구조체(16)의 플랜지면(28)과 내열성 유리 개체(22)의 대향면(32)을 용접해서 플랜지 부착 내열성 유리 용기(30)로 한다(공정 214).Finally, the flange surface 28 of the above-mentioned flanged heat resistant glass cylinder stacked structure 16 and the opposite surface 32 of the heat resistant glass body 22 are welded to form a flanged heat resistant glass container 30 (Step 214 ).

본 발명의 플랜지 부착 내열성 유리 통체 적층형 구조체(16)는 도 1 및 도 3에 나타낸 바와 같이, 적어도 일단부에 플랜지부(10a, 10b)를 포함하는 플랜지 부착 내열성 유리 통체(12a, 12b)의 복수 개를 서로 상대향하는 한 쌍의 플랜지 부착 내열성 유리 통체(12a, 12b)의 대향하는 플랜지부(10a, 10b)의 대향면 부분(14a, 14b)에 형성된 홈부(18a, 18b)에 SiO₂ 미립자를 주성분으로 하는 슬러리상의 접착제(20)를 충전하고, 상기 접착제(20)를 개재하여 플랜지 부착 내열성 유리 통체(12a, 12b)끼리 접합되고 또한 가열 접착된 구조를 포함하는 것이다.1 and 3, the flange-attached heat resistant glass laminate structure 16 of the present invention has a plurality of flanged heat-resistant glass cylinders 12a, 12b including flange portions 10a, 10b at least at one end thereof The SiO ₂ fine particles are adhered to the groove portions 18a and 18b formed in the opposing face portions 14a and 14b of the flange portions 10a and 10b of the pair of flange-attached heat resistant glass cylinders 12a and 12b facing each other, And a structure in which the slurry-like adhesive 20 as the main component is filled and the flange-attached heat-resistant glass cylinders 12a and 12b are bonded to each other via the adhesive 20 and are heat-bonded.

본 발명의 플랜지 부착 내열성 유리 용기(30)의 제1의 태양은, 도 6 및 도 7에 나타낸 바와 같이, 단부측에 플랜지부(10b)를 포함하는 플랜지 부착 내열성 유리 통체 적층형 구조체(16) 또는 접합체(16a)와, 상기 플랜지 부착 내열성 유리 통체 적층형 구조체(16) 또는 접합체(16a)의 개방구(24)를 폐색하는 형상을 포함하는 내열성 유리 개체(22)를 갖고, 서로 상대향하는 플랜지 부착 내열성 유리 통체 적층형 구조체(16) 또는 접합체(16a)의 단부측의 플랜지부(10b)의 대향면과 내열성 유리 개체(22)의 대향면의 적어도 일방에 형성된 홈부(도 6은 쌍방에 홈부(34, 36)를 형성하고 도 7은 플랜지부(10b)에만 홈부(34)를 형성한 예를 나타내고 있다)에 SiO₂미립자를 주성분으로 하는 슬러리상의 접착제(20)를 충전하고, 상기 접착제(20)를 개재하여 플랜지 부착 내열성 유리 통체 적층형 구조체(16) 또는 접합체(16a)와 내열성 유리 개체(22)가 접합되고 또한 가열 접착된 구조를 포함하는 것이다.The first aspect of the flange-attached heat resistant glass container 30 of the present invention is characterized in that the flange-attached heat resistant glass cylinder stacked structure 16 including the flange portion 10b on the end side or Resistant glass object (22) including a junction body (16a) and a shape closing the openings (24) of the flange-attached heat-resistant glass cylinder laminate structure (16) or the junction body (16a) The glass tube stacked structure 16 or the groove portion formed on at least one of the opposed faces of the flange portion 10b on the end side of the junction body 16a and the opposed faces of the heat resistant glass body 22 The adhesive agent 20 in the form of a slurry mainly composed of SiO ₂ fine particles is filled in the adhesive agent 20 and the adhesive agent 20 is applied to the flange portion 10b Heat-resistant glass cylinder with flange interposed therebetween A layered structure (16) or conjugate (16a) and the heat-resistant glass object (22) is bonded to the adhesive also comprises a heating structure.

본 발명의 플랜지 부착 내열성 유리 용기(30)의 제2의 태양은, 도 8에 나타낸 바와 같이, 상기 플랜지 부착 내열성 유리 통체 적층형 구조체(16)와, 상기 플랜지 부착 내열성 유리 통체 적층형 구조체(16)의 개방구(24)를 폐색하는 형상을 포함하는 내열성 유리 개체(22)를 갖고, 서로 상대향하는 플랜지 부착 내열성 유리 통체 적층형 구조체(16)의 플랜지면(28)과 내열성 유리 개체(22)의 대향면(32)이 용접(W)된 구조를 포함하는 것이다.The second aspect of the flange-attached heat resistant glass container 30 of the present invention is characterized in that the flange-attached heat resistant glass cylindrical laminated structure 16 and the flanged heat resistant glass cylindrical laminated structure 16 Resistant glass object 22 including a shape that closes the opening 24 and has a flange surface 28 of the flange-attached heat-resistant glass-laminated structure 16 facing to each other and a flange 28 of the heat- (W) are welded to each other.

상기한 본 발명의 플랜지 부착 내열성 유리 용기 및 그 제조 방법의 실시형태에 대한 설명 에서는, 내열성 유리 개체(22)에 의해 폐색되는 플랜지 부착 내열성 유리 통체 적층형 구조체(16) 또는 접합체(16a)의 개방구(24)측의 플랜지부는 필수구성이 아니고, 플랜지부의 설치가 없어도 개방구측의 단부면에 내열성 유리 개체를 직접적으로 접합 접착 또는 용접하는 구성을 채용할 수도 있다. 또한, 상기한 실시형태의 설명 및 도시예에서는 플랜지부를 개재하여 내열성 유리 개체를 마련한 구성에 대해 설명하고, 개방구측 단부면에 내열성 유리 개체를 직접 설치하는 구성에 대한 설명은 번잡을 피하기 위해서 생략되어 있다.In the above description of the embodiments of the heat resistant glass container with a flange and the method of manufacturing the same according to the present invention, the heat-resistant glass laminate structure 16 or the bonded structure 16a, which is closed by the heat resistant glass object 22, The flange portion on the side of the flange portion 24 is not indispensable and it is also possible to employ a construction in which the heat resistant glass body is directly bonded or welded to the end face on the side of the opening portion without the flange portion. In the description of the embodiment and the example shown above, a structure in which a heat resistant glass object is provided via a flange portion is described, and a description of a structure in which a heat resistant glass object is directly installed on the end face on the opening face side Are omitted.

본 발명의 플랜지 부착 내열성 유리 용기의 제조에 있어서는, 플랜지 부착 내열성 유리 통체의 일단측 개방구를 개체로 폐색하고 또한 타단측 개방구에 플랜지부를 설치해 되는 플랜지부 부착 내열성 유리 용기 본체를 미리 제조해 두고, 이 플랜지 부착 내열성 유리 용기 본체를 사용하여 플랜지 부착 내열성 유리 용기를 제조할 수도 있고, 이하에 도 14와 도 15에 의해 설명한다. 도 14는 본 발명의 플랜지 부착 내열성 유리 용기의 제조 방법의 제3의 태양의 공정 순서의 일례를 나타내는 흐름도이고, 도 15는 본 발명의 플랜지 부착 내열성 유리 용기의 또 다른 실시형태를 나타내는 측면적 설명도이다.In the production of the heat-resistant glass container with a flange according to the present invention, a heat-resistant glass container body with a flange portion, in which an opening at one end of the flange-attached heat-resistant glass cylinder is closed by an individual member and a flange portion is provided at the opening at the other end, A heat-resistant glass container with a flange can be manufactured using the flange-attached heat-resistant glass container main body, which will be described with reference to Figs. 14 and 15. Fig. Fig. 14 is a flow chart showing an example of a process sequence of the third aspect of the method of manufacturing a heat-resistant glass container with a flange according to the present invention, and Fig. 15 is a side view showing another embodiment of the flanged heat-resistant glass container of the present invention .

본 발명의 플랜지 부착 내열성 유리 용기의 제조 방법의 제3의 태양은 도 14와 같이, 일단측 개방구(24a)를 내열성 유리 개체(22)로 폐색하고 또한 타단측 개방구(24b)에 플랜지부(10a)를 마련해 되는 플랜지부 부착 내열성 유리 용기 본체(13)와 적어도 일단부에 플랜지부(10b)를 포함하는 플랜지 부착 내열성 유리 통체(12b)의 1개 또는 복수 개를 서로 상대향하는 플랜지부(10a, 10b)의 대향면(14a, 14b)을 접합하여 접착함으로써 제조하는 플랜지 부착 내열성 유리 용기(30)의 제조 방법이다. 도 14에서는 플랜지부 부착 내열성 유리 용기 본체(13)에 플랜지 부착 내열성 유리 통체(12b)를 설치하는 경우가 도시되어 있지만, 플랜지 부착 내열성 유리 통체(12b)에 거듭해 플랜지 부착 내열성 유리 통체를 순차 설치하는 것도 가능하다. 또한, 내열성 유리 개체(22)를 플랜지부 부착 내열성 유리 용기 본체(13)의 일단측 개방구의 단부면에 내열성 유리 개체(22)는 접합 접착 또는 용접함으로써 미리 설치하면 좋다. 또한, 도 14에 있어서는 도 1과 같은 구성은 동일한 부호로 도시하고, 재차 설명은 생략되어 있다.The third embodiment of the method of manufacturing a heat-resistant glass container with a flange according to the present invention is characterized in that one end side opening 24a is closed by a heat resistant glass body 22 and the other end side opening 24b is provided with a flange A heat-resistant glass container body 13 having a flange portion provided with a flange portion 10a and a flange portion (flange portion) 10b facing one another or a plurality of flange-attached heat-resistant glass cylinders 12b having at least one flange portion 10b 10a, and 10b of the heat-resistant glass container 30 by joining and adhering the opposite surfaces 14a and 14b. 14 shows a case in which the flange-attached heat-resistant glass cylinder 12b is provided on the flange-attached heat-resistant glass container body 13, the flange-attached heat-resistant glass cylinder 12b is repeatedly provided on the flange- It is also possible. The heat resistant glass object 22 may be previously attached to the end face of the one end opening of the heat resistant glass container body 13 with the flange portion by bonding or welding. In Fig. 14, the same components as those in Fig. 1 are denoted by the same reference numerals, and description thereof is omitted again.

본 발명의 플랜지 부착 내열성 유리 용기의 제조 방법의 제3의 태양에 대해서, 도 14 및 도 15에 의해 설명한다.A third embodiment of the method of manufacturing a heat-resistant glass container with a flange according to the present invention will be explained with reference to Figs. 14 and 15. Fig.

먼저, 상기 플랜지부(10a, 10b)의 대향면이 되는 전부 또는 일부의 플랜지면(14a, 14b)에 홈부(18a, 18b)를 갖도록 상기 플랜지부 부착 내열성 유리 용기 본체(13) 및 1개 또는 복수 개의 플랜지 부착 내열성 유리 통체(12b)를 준비한다(공정 220).The heat resistant glass container body 13 having the flange portion and the one or more heat-resistant glass container body 13 having the flange portions 14a and 14b and the flange portions 14a and 14b are formed on the flange portions 10a and 10b, A plurality of flanged heat-resistant glass cylinders 12b are prepared (step 220).

이어서, 서로 상대향하는 플랜지면(14a, 14b) 중 적어도 일방이 홈부(18a, 18b)를 갖도록 상기 플랜지부 부착 내열성 유리 용기 본체(13)와 상기 1개 또는 복수 개의 플랜지 부착 내열성 유리 통체(12b)를 상대향하도록 설정한다(공정 222).The heat resistant glass container body 13 with the flange portion and the one or more flange-attached heat resistant glass cylinders 12b are arranged so that at least one of the flange faces 14a and 14b facing each other has the groove portions 18a and 18b. (Step 222).

또한, 상기 설정된 플랜지부 부착 내열성 유리 용기 본체(13)와 1개 또는 복수 개의 플랜지 부착 내열성 유리 통체(12b)가 상대향된 각각의 플랜지면(14a, 14b) 중 적어도 일방이 홈부(18a, 18b)를 갖도록 상대향하여 접합시킨 상태에서 상기 홈부(18a, 18b)에 충전된 SiO₂ 미립자를 주성분으로 하는 슬러리상의 접착제(20)로 접합하여 플랜지 부착 내열성 유리 용기 접합체(30a)를 형성한다(공정 224).At least one of the flange surfaces 14a and 14b with the flange-attached heat-resistant glass container body 13 and the one or more flanged heat-resistant glass tubes 12b facing each other is provided with the grooves 18a and 18b ) Bonded to each other with the slurry-like adhesive 20 containing SiO ₂ fine particles filled in the grooves 18a and 18b as a main component so as to form the flange-attached heat resistant glass container assembly 30a (Step 224 ).

마지막으로, 상기 접합체(30a)를 100℃이상의 온도로 가열하고, 상기 접합된 플랜지 부착 내열성 유리 용기 접합체(30a)의 플랜지부(10a, 10b)끼리 접착하여 플랜지 부착 내열성 유리 용기(30)로 한다(공정 226).Finally, the joined body 30a is heated to a temperature of 100 占 폚 or higher, and the flange portions 10a, 10b of the joined flanged heat resistant glass container joined body 30a are bonded to each other to form a flanged heat resistant glass container 30 (Step 226).

본 발명의 플랜지 부착 내열성 유리 용기의 제3의 태양(30)은, 도 14에 나타낸 바와 같이, 플랜지 부착 내열성 유리 통체(12a)의 일단측 개방구(24a)를 내열성 유리 개체(22)로 폐색 하고 또한 타단측 개방구(24b)에 플랜지부(10a)를 설치 된 플랜지부 부착 내열성 유리 용기 본체(13)와 1개 또는 복수 개의 플랜지 부착 내열성 유리 통체(12b)를 갖고 있다. 상기 플랜 지부 부착 내열성 유리 용기 본체(13)와 1개 또는 복수 개의 플랜지 부착 내열성 유리 통체(12b)가 상대향한 각각의 플랜지면(14a, 14b) 중 적어도 일방이 홈부(18a, 18b)를 갖도록 상대향하여 접합시킨 상태에서 상기 홈부(18a, 18b)에 SiO₂ 미립자를 주성분으로 하는 슬러리상의 접착제(20)를 충전한다. 상기 접착제(20)를 개재하여서 상기 플랜지부 부착 내열성 유리 용기 본체(13)와 1개 또는 복수 개의 플랜지 부착 내열성 유리 통체(12b)가 접합되고 또한 가열 접착된 플랜지 부착 내열성 유리 용기(30)가 되는 것이다.The third aspect 30 of the flanged heat-resistant glass container of the present invention is characterized in that the one end opening 24a of the flange-attached heat resistant glass cylinder 12a is closed with the heat resistant glass body 22, Resistant glass container body 13 having a flange portion provided with a flange portion 10a on the other-side opening 24b and one or more flanged heat-resistant glass cylinders 12b. At least one of the flange surfaces 14a and 14b facing each other with the flange-attached heat-resistant glass container body 13 and one or a plurality of flanged heat-resistant glass cylinders 12b facing each other has grooves 18a and 18b The groove portions 18a and 18b are filled with the slurry-like adhesive 20 containing SiO ₂ fine particles as a main component. The heat-resistant glass container body 13 with the flange portion and the heat-resistant glass container 30 with the flange to which one or a plurality of the flange-attached heat-resistant glass cylinders 12b are joined and heat-bonded via the adhesive agent 20 will be.

본 발명에 있어서 사용되는 홈부에 SiO₂ 미립자를 주성분으로 하는 슬러리상의 접착제를 충전함으로써 내열성 유리 부재끼리 접착하는 방법은 여러 가지 응용이 가능한 것이며, 이하에 내열성 유리 부재끼리의 접착 방법을 도 16 ~ 도 18에 의해 설명한다.The method of adhering the heat resistant glass members to each other by filling the slit-like adhesive containing SiO ₂ fine particles as a main component into the groove portion used in the present invention is applicable to various applications. Hereinafter, the bonding method of the heat resistant glass members will be described with reference to FIGS. 18 < / RTI >

도 16은 본 발명의 내열성 유리 부재 접착 구조체의 일례를 나타내는 측면 설명도이다. 도 16에 나타낸 것 처럼 한 쌍의 내열성 유리 부재(42, 44)의 각각의 대향면(46, 48)의 일방 또는 쌍방(도시예에서는 쌍방)에 형성된 홈부(50, 52)에 충전된 SiO₂ 미립자를 주성분으로 하는 슬러리상의 접착제(20)에 의해 상기 한 쌍의 내열성 유리 부재(42, 44)가 접착되어 내열성 유리 부재 접착 구조체(40)가 형성된다. 도 17은 본 발명의 내열성 유리 부재 접착 구조체의 다른 예를 나타낸 측면 설명도이지만, 도 17에서는 내열성 유리 부재(42)에만 홈부(50)를 형성한 예가 나타내져 있다.16 is a side view illustrating an example of the heat resistant glass member adhesive structure of the present invention. As shown in FIG. 16, SiO _{2 (} SiO ₂ ) filled in the grooves 50, 52 formed in one or both of the opposite surfaces 46, 48 of the pair of heat resistant glass members 42, The pair of heat resistant glass members 42 and 44 are adhered by the slurry-like adhesive 20 having fine particles as a main component to form the heat resistant glass member adhesive structure 40. 17 is a side explanatory view showing another example of the heat resistant glass member attachment structure of the present invention. In Fig. 17, an example in which the groove portion 50 is formed only in the heat resistant glass member 42 is shown.

도 18은 본 발명의 내열성 유리 부재 접착 구조체의 제조 방법의 공정 순서를 나타내는 흐름도이다. 상기 내열성 유리 부재(42, 44)의 대향면(46, 48)이 되는 쌍방 또는 일방(도 16의 도시예에서는 쌍방)의 면에 홈부(50, 52)가 있는 한 쌍의 내열성 유리 부재(42, 42)를 준비한다(공정 300).18 is a flow chart showing a process sequence of the method for manufacturing the heat resistant glass member adhesive structure of the present invention. A pair of heat resistant glass members 42 (42, 44) having grooves (50, 52) on both surfaces or one surface (both surfaces in the example of FIG. 16) of the heat resistant glass members , 42 are prepared (step 300).

그런 다음, 서로 상대향하는 내열성 유리 부재(42, 44)의 면(46, 48) 중 적어도 일방(도 16의 도시예에서는 쌍방)이 홈부(50, 52)를 갖도록 상기 한 쌍의 내열성 유리 부재(42, 44)를 상대향하도록 설정한다(공정 302).Thereafter, at least one of the surfaces 46 and 48 of the heat resistant glass members 42 and 44 facing each other (both of them in the example shown in FIG. 16) has the groove portions 50 and 52 and the pair of heat resistant glass members 42, and 44 are set to face each other (step 302).

상기 설정된 한 쌍의 내열성 유리 부재(42, 44)를 상대향하는 각각의 면(46, 48)의 적어도 일방(도 16의 도시예에서는 쌍방)이 홈부(50, 52)를 갖도록 상대향하여 접합시킨 상태에서 상기 홈부(50, 52)에 충전된 SiO₂ 미립자를 주성분으로 하는 슬러리상의 접착제(20)로 접합하여 내열성 유리 부재 접합체(40a)(도 16에서는 내열성 유리 부재 접착 구조체(40)와 같은 형상을 가지므로, 부호 40a로 나타내고, 그 인출선을 가상선으로 했다.)를 형성한다(공정 304).At least one of the surfaces 46 and 48 facing each other (both in the example shown in Fig. 16) facing the set pair of heat-resistant glass members 42 and 44 are bonded to each other so as to have the groove portions 50 and 52 The heat-resistant glass member bonding structure 40a (in FIG. 16, the same shape as the heat-resistant glass member bonding structure 40) is bonded to the grooves 50 and 52 with the slurry-like adhesive 20 containing SiO ₂ fine particles, , And the outgoing line is denoted by reference numeral 40a and the outgoing line is assumed as an imaginary line) (step 304).

마지막으로, 상기 내열성 유리 부재 접합체(40a)를 100℃이상의 온도에서 가열하고, 상기 한 쌍의 내열성 유리 부재끼리 접착하여 내열성 유리 부재 접착 구조체(40)로 한다(공정 306).Finally, the heat resistant glass member joined body 40a is heated at a temperature of 100 占 폚 or higher and the pair of heat resistant glass members are bonded together to form a heat resistant glass member bonding structure 40 (step 306).

상기한 SiO₂ 미립자를 주성분으로 하는 슬러리상의 접착제(20)의 충전 방법의 구체적인 방법으로는 다음과 같은 방법을 적용하면 된다. 상기 공정 304에 있어서, 상기 설정된 한 쌍의 내열성 유리 부재(42, 44)를 상대향하는 각각의 면의 적어도 일방(도 16의 도시예에서는 쌍방)이 홈부(50, 52)를 갖도록 상대향하여 협지 상태에서 접합시킨 후, 상기 상대향하는 내열성 유리 부재(42, 44)의 측면에 개구하는 홈부 개구부(50a, 52a)로부터 상기 홈부(50, 52)내에 SiO₂ 미립자를 주성분으로 하는 슬러리상의 접착제(20)을 주입함으로써 접합하여 내열성 유리 부재 접합체(40a)를 형성하도록 하는 것이 바람직하다.As a concrete method of filling the slurry-like adhesive 20 containing SiO ₂ fine particles as a main component, the following method may be applied. In the step 304, at least one (both in the example shown in Fig. 16) of each of the surfaces facing the pair of heat resistant glass members 42, 44 facing each other is sandwiched and held so as to have the groove portions 50, The slurry-like adhesive 20 containing SiO ₂ fine particles as a main component is formed in the groove portions 50 and 52 from the groove portion openings 50a and 52a opened on the side surfaces of the heat resistant glass members 42 and 44 facing to each other, So as to form the heat resistant glass member assembly 40a.

또한, 상기 공정 304에 있어서 도 17에 나타낸 바와 같이, 상기 설정된 한 쌍의 내열성 유리 부재(42, 44)를 상하 방향으로 상대향하게 해, 하방에 위치한 내열성 유리 부재(42)의 대향면(46)은 홈부(50)를 가짐과 동시에 상방에 위치한 내열성 유리 부재의 대향면(48)은 홈부를 가지지 않거 평탄면이며, 상기 하방측의 내열성 유리 부재(42)의 대향면(46)의 홈부(50)에 SiO₂ 미립자를 주성분으로 하는 슬러리상의 접착제(20)를 주입하고, 그후 상방측의 내열성 유리 부재(44)의 대향면(48)을 상기 하방측의 내열성 유리 부재(42)의 대향면(46)에 접합하여 내열성 유리 부재 접합체(40a)를 형성하도록 할 수 있다.17, the set pair of heat-resistant glass members 42 and 44 are vertically opposed to each other so that the opposed surface 46 of the heat-resistant glass member 42 located below the glass- And the opposing face 48 of the heat resistant glass member located above is a flat face having no groove portion and the groove portion 50 of the opposing face 46 of the heat resistant glass member 42 on the lower side The adhesive 20 in the form of slurry containing SiO ₂ fine particles as a main component is injected into the heat resistant glass member 42 and then the opposing face 48 of the heat resistant glass member 44 on the upper side is pressed against the opposing face 46 to form the heat resistant glass member assembly 40a.

또한, 내열성 유리 부재 접착 구조체(40)에 사용되는 내열성 유리 재료의 재질 및 SiO₂ 미립자를 주성분으로 하는 슬러리상의 접착제에 대해서는, 전술한 플랜지 부착 내열성 유리 통체 적층형 구조체의 제조에 있어서 사용되는 것이 동일하게 사용 가능하기 때문에, 재차 설명은 생략한다.In addition, as to the material of the heat-resistant glass material used for the heat resistant glass member adhesive structure 40 and the slurry-like adhesive containing SiO ₂ fine particles as a main component, the same materials as those used in the production of the aforementioned flanged heat resistant glass cylinder stacked structure It can be used, so that the explanation will be omitted again.

본 발명에서는, SiO₂ 미립자를 주성분으로 하는 슬러리상의 접착제를 사용하여 내열성 유리 통체 적층형 구조체, 내열성 유리 용기 및 내열성 유리 부재 접착 구조체를 제작하는 것으로, 이러한 내열성 유리 구조체 및 내열성 유리 용기의 열팽창 등에 의한 신축을 줄일 수 있다. 또한, 본 발명의 내열성 유리 용기에서는, 분할한 플랜지 부착 내열성 유리 통체를 플랜지부를 개재하여 접착하여 조립할 수 있기 때문에, 컴팩트하게 내열성 유리 용기를 제조할 수 있는 장점이 있다.In the present invention, a heat-resistant glass-laminated structure, a heat-resistant glass container and a heat-resistant glass member adhesive structure are manufactured by using a slurry-like adhesive containing SiO ₂ fine particles as a main component. . Further, in the heat resistant glass container of the present invention, since the divided flanged heat-resistant glass cylinder can be bonded and assembled via the flange portion, there is an advantage that a heat resistant glass container can be manufactured compactly.

또한, 분할한 플랜지 부착 내열성 유리 통체를 플랜지부를 개재하여 조립할 수 있기 때문에, 치수정도, 수직도 등도, 플랜지부에서 조정할 수 있다는 장점이 있다.Further, since the divided flanged heat-resistant glass cylinder can be assembled via the flange portion, dimensional accuracy, vertical degree, and the like can be adjusted in the flange portion.

게다가, 큰 내열성 유리 용기를 운반하기 위해서는, 매우 수고가 필요하지만, 분할된 플랜지 부착 내열성 유리 통체를 이용하여 실제로 사용하는 장소에서 이 플랜지 부착 내열성 유리 통체를 쌓아서 겹쳐 조립하고, 그 장소에서 플랜지 부착 내열성 유리 통체 적층형 접합체로 만든 내열성 유리 용기 접합체를 소성하여 내열성 유리 용기로 하면, 운반비용도 저감할 수 있다는 큰 효과가 달성된다.In addition, although it takes a lot of labor to carry a large heat-resistant glass container, the flange-attached heat-resistant glass cylinder is used to stack the flange-attached heat-resistant glass cylinders at a place where they are actually used, When the heat resistant glass container joined body made of the glass tube stacked body is fired to form the heat resistant glass container, a great effect that the transportation cost can be reduced is achieved.

(실시 예)(Example)

이하, 실시 예에 의해 본 발명을 구체적으로 설명하지만, 본 발명은 하기 실시예에 한정되는 것은 아니다.Hereinafter, the present invention will be described in detail by way of examples, but the present invention is not limited to the following examples.

(실시예 1)(Example 1)

석영 유리의 미분을 조정하고, 1μm이하의 작은 입자, 5 - 10μm의 중간입자, 50 - 100μm의 큰 입자를 준비하고, 최밀충전이 되는 비율로 혼합하고, 이를 순수한 물에 녹여 넣고, SiO₂ 미립자를 주성분으로 슬러리상의 접착제를 조제하였다. 수분량으로서는 약10%정도로, B형 점도계에서의 30rpm에서의 회전 조건, 실온(23℃)에서의 상기 접착제의 점도는 6500mPa·sec가 되었다.Fine particles of 1 탆 or less, medium particles of 5 - 10 탆, and large particles of 50 - 100 탆 were prepared and mixed at a ratio to be filled at a high density, and this was dissolved in pure water, and SiO ₂ fine particles As a main component, an adhesive agent in a slurry form. The viscosity of the adhesive was 6500 mPa · sec at room temperature (23 ° C) under a rotation condition of 30 rpm in a B-type viscometer at a water content of about 10%.

또한, 폭 50mm, 길이 150mm, 두께 20mm의 석영 유리판에 도 2와 같은 폭 5mm, 깊이 5mm의 홈부를 2개 형성했다. 이 홈부가 서로 같은 위치가 되지 않도록, 세트하고, 이 홈부에 상기 조제한 슬러리상의 접착제를 주입했다. 이 석영 유리판 2장을 접착시킨 상태에서 하룻밤 건조시켜 석영 유리판 접합체로, 이 접합체를 1200℃에서 1시간 가열하였다. 이 석영 유리판 2장의 접착 상태의 석영 유리판 접착체의 단부를 두께 5mm로 잘라, JAS1급 시험 단판적층시험에 준거하여, 3점 굽힘 시험을 실시했다.Further, two groove portions having a width of 5 mm and a depth of 5 mm as shown in Fig. 2 were formed on a quartz glass plate having a width of 50 mm, a length of 150 mm and a thickness of 20 mm. The grooves were set so that the grooves would not be located at the same position, and the prepared slurry-like adhesive agent was injected. Two quartz glass plates were adhered to each other and dried overnight to heat the bonded body with a quartz glass plate joined body at 1200 DEG C for one hour. The two quartz glass plates were cut to a thickness of 5 mm at the end of the bonded quartz glass plate adherend, and subjected to a three-point bending test in accordance with the JAS Grade 1 test veneer lamination test.

지점(支点)간 거리 30mm로 놓은 2개의 지지봉상에 샘플을 놓고, 샘플의 표면을 상면으로하여, 스팬(span) 중앙에 직교하도록 두었다. 가중봉의 유효 길이 상에 하중 속도 0.5mm/분의 조건으로 하중을 가하여, 실온에서 내하중을 측정했다. 그 결과, 얻어진 접착제로 접착된 석영 유리판 접착체는 충분한 내가중 성능을 가지는 것을 확인했다.The sample was placed on two support rods set at a distance of 30 mm between the fulcrum (fulcrum), and the surface of the sample was set to be perpendicular to the center of the span. A load was applied to the effective length of the weighted bar under the condition of a load speed of 0.5 mm / min, and the load was measured at room temperature. As a result, it was confirmed that the quartz glass adhered body adhered with the obtained adhesive had a sufficient hardness.

(실시예 2~4)(Examples 2 to 4)

실시예1과 같이 3장의 석영 유리판에 도 5(a) (b) (c)에서 나타낸 기하학 모양으로 홈부를 각각 형성하고(도 5(a) : 실시예 2, 도 5(b) : 실시예 3, 도 5(c) : 실시예 4) 실시예 1과 같은 SiO₂ 미립자를 주성분으로 슬러리상의 접착제를 각각의 홈부에 주입한 후, 홈부를 갖지 않은 석영 유리판을 접합하고, 석영 유리판 2장을 접착시킨 상태에서 하룻밤 건조시켜 석영 유리판 접합체로 했다. 그 후 이들을 600℃로 가열했다. 실시예 1과 같이 단부를 5mm잘랐다. 이러한 샘플에 대하여 실시예 1과 같이 3점 굽힘 시험을 했다. 그 결과, 얻어진 접착제로 접착된 석영 유리판 접착체의 각각은 충분한 내가중 성능을 가지는 것을 확인했다.5 (a), 5 (b) and 5 (c)) were formed on three quartz glass plates in the same manner as in Example 1 3, Fig. 5 (c): Example 4) A slurry-like adhesive was injected into each groove as a main component of the SiO ₂ fine particles as in Example 1, followed by bonding a quartz glass plate having no groove portion, Dried in a state of being adhered to obtain a quartz glass plate bonded body. They were then heated to 600 占 폚. The end was cut 5 mm as in Example 1. These samples were subjected to a three-point bending test as in Example 1. As a result, it was confirmed that each of the quartz glass plate adhesives bonded with the obtained adhesive had sufficient brittle performance.

(실시예 5)(Example 5)

1000mm × 500mm × 두께 7mm의 석영 유리판을 8장 준비하고, 이 판을 각 4장씩 사용하여 각통(角筒)모양의 석영 유리 통체를 2개 작성했다. 이 각통 모양의 석영 유리 통체의 하부 4변에 폭 50mm × 두께 20mm × 길이 1000mm의 플랜지부를 합쳐서 용접했다. 이 플랜지부에 폭 10mm × 깊이 5mm × 길이 40mm의 홈부를 피치 50mm로 20개 형성했다.Eight quartz glass plates each having a size of 1000 mm x 500 mm x thickness 7 mm were prepared and two quartz glass cylinders in the form of square cylinders were formed by using four plates each. A flange portion having a width of 50 mm, a thickness of 20 mm, and a length of 1000 mm was welded to the lower four sides of the square quartz glass cylinder. 20 grooves having a width of 10 mm, a depth of 5 mm, and a length of 40 mm were formed on the flange portion at a pitch of 50 mm.

이러한 홈부가 상하의 플랜지에서 교호가 되도록 형성하고, 이 플랜지부를 쌓아서 겹쳤다. 4변 플랜지부 중 한 변의 플랜지부의 홈부에 실시예1 과 같은 SiO₂ 미립자를 주성분으로 슬러리상의 접착제를 흘려 넣고, 하룻밤 건조 했다. 그 후, 상기 각통 모양의 석영 유리 통체를 90도 회전시켜, 다음의 플랜지부의 홈부에 SiO₂ 미립자를 주성분으로 슬러리상의 접착제를 흘려 넣고, 하룻밤 건조했다. 이것을 반복하여, 2개의 석영 유리 통체의 대향하는 모든 플랜지부의 홈부에 SiO₂ 미립자를 주성분으로 하는 슬러리상의 접착제를 흘려 넣어, 플랜지부끼리 접합시켜, 2개의 석영 유리 통체의 적층형 접합체를 제조하였다.These groove portions are formed so as to be alternate in the upper and lower flanges, and the flange portions are piled up and overlapped. A slurry-like adhesive was poured into the groove portion of the flange portion of one side of the four-side flange portion as the main component of the SiO ₂ fine particles as in Example 1, and dried overnight. Thereafter, the quartz glass cylinder of the angular cylindrical shape is rotated 90 degrees and placed in the groove of the flange, and then the flow of the adhesive on the slurry mainly containing SiO ₂ fine particles, and dried overnight. This was repeated, and a slurry-like adhesive containing SiO ₂ fine particles as a main component was poured into the groove portions of all opposite flange portions of the two quartz glass cylinders, and the flange portions were bonded to each other to produce a laminated type bonded body of two quartz glass cylinders.

그 후, 이 석영 유리 통체 적층형 접합체를 1200℃로 가열하여, 접착제의 소성을 하고, 석영 유리 통체 적층형 구조체를 제작했다. 이 석영 유리 통체 적층형 구조체의 상단부에 1000mm × 1000mm × 두께 7mm의 석영 유리판(개체)을 용접하여, 플랜지 부착 각형 석영 유리 용기를 제작했다.Thereafter, this quartz glass tube laminate type junction body was heated to 1200 DEG C, and the adhesive was baked to produce a quartz glass tube laminate structure. A quartz glass plate (individual) having a size of 1000 mm x 1000 mm x a thickness of 7 mm was welded to the upper end of the quartz glass cylinder stacked structure to prepare a flanged square quartz glass container.

이 각형 석영 유리 용기 내에서, 유기EL 조명의 기판의 열처리 공정을 실시했지만, 수분을 저감할 수 있는 분위기였으므로, 유기EL 성분의 열화가 발생하지 않고, 유기EL 조명의 조도를 유지하는 것이 가능했다.In this quartz glass container, the heat treatment step of the substrate of the organic EL illumination was performed. However, since the atmosphere was capable of reducing moisture, deterioration of the organic EL element did not occur and the illumination of the organic EL illumination could be maintained .

(실시예 6)(Example 6)

폭 50mm , 길이 150mm, 두께 8mm의 네오세라무(등록 상표) 2장을 준비하고, 이 네오세라무(등록 상표)의 표면에 폭 10mm, 깊이 3mm, 길이 150mm의 홈부를 10mm간격으로 상하의 판에 겹치지 않게 형성하고, 이 홈부 중에 SiO₂ 미립자를 주성분으로 슬러리상의 접착제를 주입하고, 하룻밤 건조 후, 500℃에서 가열하였다. 이 판자 2장은, 충분한 강도로 접착되었다.(Registered trademark) having a width of 50 mm, a length of 150 mm, and a thickness of 8 mm were prepared, and grooves having a width of 10 mm, a depth of 3 mm, and a length of 150 mm were formed on the surfaces of Inoseramu (registered trademark) And an adhesive agent in the form of slurry containing SiO ₂ fine particles as a main component was poured into the trenches, dried overnight, and then heated at 500 ° C. Two boards were bonded with sufficient strength.

(실시예 7)(Example 7)

외경 700mm, 두께 8mm, 길이 500mm의 석영 유리관을 5개 준비했다. 각 석영 유리관의 상하에는 외경 800mm, 내경 700mm, 두께 20mm의 석영 유리 플랜지를 유리관 외주부에 석영 유리 부재를 만든 후 연삭하여 형성했다. 이 플랜지부에 직경방향으로 20도 간격으로, 원의 중심을 향하고, 폭 10mm, 깊이 10mm, 길이 30mm의 홈부를 형성하고, 홈부가 겹치지 않도록 2개의 유리관을 상하에 포개고, 이 플랜지부를 클램프로 고정했다. 이 홈부에, 주사기에서 안쪽으로부터 SiO₂ 미립자를 주성분으로 슬러리상의 접착제를 충전하고, 하룻밤 건조 시켰다. 그 후, 플랜지 부분만 온도 600℃로 가열했다. 그 후 더, 이 접착한 석영 유리관의 플랜지부에, 다음의 석영 유리관을 플랜지부에 겹치고, 플랜지부에 형성된 홈부에 주사기로 석영 유리 슬러리를 주입했다.Five quartz glass tubes having an outer diameter of 700 mm, a thickness of 8 mm and a length of 500 mm were prepared. A quartz glass flange having an outer diameter of 800 mm, an inner diameter of 700 mm, and a thickness of 20 mm was formed on the upper and lower sides of each quartz glass tube by grinding a quartz glass member on the outer periphery of the glass tube. A groove portion having a width of 10 mm, a depth of 10 mm and a length of 30 mm was formed on the flange portion at 20 degree intervals in the radial direction at the center of the circle and the two glass tubes were stacked vertically so as not to overlap the groove portion, Fixed. To this groove portion, an adhesive agent in slurry containing SiO ₂ fine particles as a main component was filled in the syringe from the inside and dried overnight. Thereafter, only the flange portion was heated to a temperature of 600 占 폚. Thereafter, the next quartz glass tube was superimposed on the flange portion of the bonded quartz glass tube, and quartz glass slurry was injected into the groove portion formed in the flange portion with a syringe.

이 조작을 반복하여, 5개의 석영 유리관을 모두 서로 연결시키고, 외경 700mm, 길이 2500mm의 석영 유리관 적층형 접합체를 형성했다. 마지막으로 이 석영 유리관 적층형 접합체의 최상단부의 플랜지부의 상면의 홈부에 SiO₂ 미립자를 주성분으로 슬러리상의 접착제를 주입하고, 그 최상단부의 플랜지부에 두께 10mm의 석영 유리판을 재치하여 접합하고, 플랜지 부착 환형 석영 유리 용기 접합체를 제작하였다. 이 환형 석영 유리 용기 접합체를 1200℃로 가열하여 접착제의 소성을 하고, 접착 구조체로 이루어진 환형 석영 유리 용기를 제작 했다.This operation was repeated to connect all the five quartz glass tubes to each other to form a quartz glass tube laminate type junction body having an outer diameter of 700 mm and a length of 2500 mm. Finally, the quartz glass tube, injecting an adhesive agent on a slurry mainly composed of SiO ₂ particles in the groove in the top surface of the top portion the flange portion of the laminate bonded and bonding by mounting a quartz glass plate having a thickness of 10mm in its top portion the flange, and flanged ring A quartz glass vessel junction body was prepared. The annular quartz glass vessel junction body was heated to 1200 DEG C to fuse the adhesive, and an annular quartz glass container made of an adhesive structure was produced.

(비교예 1)(Comparative Example 1)

폭 50mm, 길이 150mm, 두께 20mm의 석영 유리판을 2장 용접하려고 했지만, 두께가 두껍고, 용접 시에 크랙(crack)이 발생하였다. 크랙이 발생하지 않은 부분으로부터, 샘플을 자르기 시작해서 실시예 1과 같이 3점 굽힘 시험을 실시했지만, 용접이 제대로 되지 않았기 때문에, 간단히 용접면으로부터, 판끼리 박리되어 버렸다.Two quartz glass plates having a width of 50 mm, a length of 150 mm and a thickness of 20 mm were tried to be welded, but they were thick and cracked at the time of welding. The sample was cut from a portion where cracks did not occur, and a three-point bending test was conducted as in Example 1. However, since the welding was not performed properly, the plates were easily separated from the welding surface.

(비교예 2)(Comparative Example 2)

폭 50mm, 길이 150mm, 두께 20mm의 석영 유리 2장을 준비하고, 이 석영 유리판 2장을 폭 3mm의 틈을 형성하고, 이 틈에 SiO₂ 미립자를 주성분으로 슬러리상의 접착제를 주입했다. 이 석영 유리판을 접착시킨 것을 1200℃까지 가열했지만, 도중에 석영 유리판이 어긋나 버렸다.Width 50mm, length 150mm, preparing the silica glass 2 having a thickness of 20mm, and the quartz and the glass plate 2 to form a gap width of 3mm, was injected into the adhesive on the slurry mainly containing SiO ₂ fine particles in the gap. The quartz glass plate adhered to the quartz glass plate was heated up to 1200 ° C, but the quartz glass plate disappeared on the way.

10a, 10b, 10c, 26 : 내열성 유리 플랜지부,
11a, 11b : 내열성 유리 통체 기체부,
12a, 12b, 12c : 내열성 유리 통체,
13 : 플랜지 부착 내열성 유리 용기 본체,
14a, 14b, 28 : 플랜지 대향면,
16 : 플랜지 부착 내열성 유리 통체 적층형 구조체,
16a : 플랜지 부착 내열성 유리 통체 적층형 접합체,
18a, 18b, 18c : 홈부,
19a, 19b : 홈부 개구부, 20 : 접착제,
22 : 내열성 유리 개체, 24, 24a, 24b : 개방구,
30 : 내열성 유리 용기, 30a : 내열성 유리 용기 접합체
32 : 개체 대향면, 34, 36 : 홈부,
34a, 36a : 홈부 개구부, 40 : 내열성 유리 부재 접착 구조체,
40a : 내열성 유리 부재 접합체, 42, 44 : 내열성 유리 부재,
46, 48 : 대향면, 50a, 52a : 홈부 개구부,
50, 52 : 홈부, W : 용접.10a, 10b, 10c, 26: a heat-resistant glass flange portion,
11a, 11b: a heat-resistant glass tube base part,
12a, 12b, 12c: heat-resistant glass cylinder,
13: Flange attached Heat resistant glass container Body,
14a, 14b, 28: flange facing surface,
16: Flange-attached heat resistant glass cylinder stacked structure,
16a: Flange-attached heat-resisting glass cylinder stacked-
18a, 18b and 18c:
19a, 19b: a groove portion opening, 20: an adhesive,
22: heat resistant glass object, 24, 24a, 24b: opening,
30: heat resistant glass container, 30a: heat resistant glass container junction material
32: object facing surface, 34, 36: groove portion,
34a, 36a: groove opening, 40: heat resistant glass member adhesive structure,
40a: heat resistant glass member joined body, 42, 44: heat resistant glass member,
46, 48: opposed face, 50a, 52a: groove opening,
50, 52: groove portion, W: welding.

Claims

Resistant glass cylinder laminate structure which is manufactured by joining and adhering opposing faces of opposing flange portions of a pair of flange-attached heat-resistant glass cylinders facing each other with a plurality of flange-attached heat-resistant glass cylinders having flanges at least at one end thereof, In the production method of the present invention,
(A) preparing a plurality of flange-attached heat-resistant glass cylinders having grooves on flanges of all or a part of the flanges,
(B) setting the plurality of flange-attached heat resistant glass cylinders to face each other such that at least one of the flange faces facing each other has a groove portion;
(C) a slurry-like adhesive containing SiO ₂ fine particles filled in the groove portion in a state where at least one of the flange surfaces facing each other with the plurality of flange- A step of forming an adhesive heat resistant glass tube laminate type junction body,
(D) heating the bonded body to a temperature of 100 占 폚 or more and bonding the flanges of the bonded flanged heat-resistant glass cylinder to each other to form a flanged heat-resistant glass cylinder laminate structure
Resistant glass-clad laminate structure.

A method for producing a flanged heat-resistant glass container from a flange-attached heat-resistant glass cylinder laminate structure or a flange-attached heat-resistant glass cylinder laminate assembly produced as an intermediate product manufactured by the manufacturing method according to claim 1,
(a) a flange-attached heat-resistant glass cylinder laminate structure or a joined body and a flange-attached heat-resistant glass cylinder laminate structure or a flange-attached heat-resistant glass cylinder laminate structure or a joined body Preparing a heat-resistant glass object having a flat surface without forming a groove portion or forming a groove portion;
(b) setting at least one of the opposite faces of the flange-attached heat-resistant glass-laminated structure or bonded body facing each other not having a flange face or flange portion of the flange and the opposite face of the heat-resistant glass body facing each other so as to have a groove portion; ,
(c) an end face in which the flange surface or the flange portion of the above-mentioned flanged heat-resistant glass cylinder laminate structure or the joined body is not present and the end face in which the flange face or the flange portion facing the opposite face of the heat- A step of forming a flange-attached heat resistant glass container joined body by bonding with a slurry-like adhesive containing SiO ₂ fine particles filled in the groove portion in a state where at least one of them is bonded so as to have a groove portion;
(d) heating the flange-attached heat-resistant glass container assembly to a temperature of 100 캜 or more, and bonding the flange-attached heat-resistant glass laminate structure or the bonded body and the heat-resistant glass article to form a flange-
Resistant glass container with a flange.

A method for producing a flanged heat resistant glass container from a flange-adhered heat resistant glass cylinder stacked structure manufactured by the manufacturing method according to claim 1,
(i) preparing a heat resistant glass object having a shape to close the opening of the flange-attached heat resistant glass cylinder stacked structure and the flanged heat-resistant glass cylinder stacked structure, and
(ii) a step of setting the opposite face of the heat resistant glass laminate structure facing the mutually facing flange face or flange face of the flange-attached heat resistant glass laminate structure facing each other,
(iii) a step of welding a flange surface or a flange-free end face of the above-mentioned flanged heat-resistant glass cylinder stacked structure with an opposite face of the heat resistant glass body to form a flanged heat resistant glass container
Resistant glass container with a flange.

A flanged heat-resistant glass cylinder laminate structure produced by the manufacturing method according to claim 1,
A slurry-like adhesive agent containing SiO ₂ fine particles is provided in a groove portion formed in an opposing face portion of an opposing flange portion of a pair of flange-attached heat-resistant glass cylinders facing each other with a plurality of flange-attached heat resistant glass cylinders having flanges at least at one end thereof, And a structure in which the flange-adhered heat-resistant glass cylinders are bonded to each other through the adhesive and heat-bonded therebetween.

A flanged heat-resistant glass container manufactured by the manufacturing method according to claim 2,
And a flange-attached heat-resistant glass-laminated structure or a bonded body having a flange portion on an end side thereof; and a heat-resistant glass body having a shape closing an opening of the flanged heat-resistant glass cylinder laminate structure or the bonded body, A slurry-like adhesive containing SiO ₂ fine particles is filled in a groove portion formed on at least one side of an end face of the flange portion on the end side of the tubular laminated structure or the joined body or on the opposite face of the heat resistant glass body, A heat-resistant glass container with a flange, which has a structure in which a flange-attached heat-resistant glass-laminated structure or a bonded body is bonded to a heat-resistant glass body via an adhesive, and is heat-bonded.

A flanged heat-resistant glass container manufactured by the manufacturing method according to claim 3,
And a flange surface or a flange portion of the flange-attached heat resistant glass cylindrical laminated structure having a flange-attached heat resistant glass cylindrical laminated structure and a heat resistant glass object having a shape closing the opening of the flanged heat resistant glass cylindrical laminated structure, And the opposite surface of the heat-resistant glass body is welded to the heat-resistant glass body.

A heat-resistant glass container body having a flange-attached heat-insulating glass container body formed by closure of one end opening by an individual member and a flange portion provided at the other end side opening and one or more flange-attached heat resistant glass cylinders having flanges at least at one end thereof A method for producing a flange-attached heat-resistant glass container, which is manufactured by bonding and bonding opposite faces of a flange portion,
(1) preparing a heat-resistant glass container body with the flange portion and one or a plurality of flange-attached heat-resistant glass cylinders so as to have grooves on all or a part of the flange surfaces serving as opposing faces of the flange portion;
(2) a step of setting the heat-resistant glass container body with the flange portion and the one or more flange-attached heat resistant glass cylinders to face each other so that at least one of the flange faces facing each other has a groove portion;
(3) the SiO ₂ filled in the groove at least in a state in which one is joined so as to have groove portion towards a relative of the established flange attached heat resistant glass container body with one or each of the flange surface a plurality of flanges attached heat resistant glass cylinder is facing relative A step of forming a flange-bonded heat resistant glass container joined body by bonding with a slurry-type adhesive containing fine particles,
(4) The step of heating the bonded body to a temperature of 100 ° C or higher and bonding the flange portions of the bonded flanged heat-resistant glass container bonded bodies together to form a flanged heat-resistant glass container
Resistant glass container with a flange.

A flanged heat-resistant glass container manufactured by the manufacturing method according to claim 7,
And a flange-attached heat-resistant glass container main body having one end side open mouth and one flange-side open mouth and a flange portion provided at the other end side open mouth, and one or more flange-attached heat resistant glass cylinders, And the one or more flange-attached heat-resistant glass cylinders are bonded to each other so that at least one of the flange surfaces facing each other has the groove portion, the groove portion is filled with the slurry-like adhesive containing the SiO ₂ fine particles, Wherein the flange-attached heat-resistant glass container body and the flange-attached heat-resistant glass cylinder are bonded to each other with a heat-bonding structure therebetween.

A method of manufacturing a heat resistant glass member bonding structure for bonding and bonding opposite faces of a pair of heat resistant glass members,
(1) a step of preparing a pair of heat-resistant glass members having opposing faces of the heat resistant glass member or having groove portions on both faces or one face,
(2) Heat resistance relative to each other A step of setting the pair of heat resistant glass members so that at least one of the surfaces of the glass member has a groove portion,
(3) a slurry-like adhesive containing SiO ₂ fine particles filled in the groove portion in a state where at least one of the surfaces facing each other with the set pair of heat-resistant glass members facing each other so as to have a groove portion, A step of forming a bonded body,
(4) The heat resistant glass member joined body is heated to a temperature of 100 캜 or more, and the pair of heat resistant glass members are bonded together to form a heat resistant glass member bonded structure
Resistant glass member adhesive structure.

A heat resistant glass member adhesive structure produced by the manufacturing method according to claim 9,
Heat-resistant glass members having a structure in which a slurry-like adhesive containing SiO ₂ fine particles is filled in a groove portion formed in an opposing face portion of a pair of opposing heat-resisting glass members, and heat-resistant glass members are bonded and bonded to each other via the adhesive Resistant glass member adhesive structure.