KR101576592B1 - 반도체 디스플레이 제조용 히터의 전원공급단자장치 - Google Patents

반도체 디스플레이 제조용 히터의 전원공급단자장치 Download PDF

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Abstract

반도체 디스플레이 제조용 히터의 전원공급단자장치가 제공되며, 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 디스플레이 제조용 히터의 전원공급단자장치는 히터에 연결되어 있고 제1 AC단자와 제2 AC단자를 포함하는 제1 단자, 외부전원장치에 연결되어 있고 서로 마주보는 한 쌍의 막대 형상을 포함하는 제2 단자, 그리고 제1 단자와 제2 단자를 전기적으로 연결하고, 제1 단자와 접촉되어 있는 제1 연결부, 제2 단자와 접촉되어 있는 제2 연결부, 그리고 제1 연결부와 제2 연결부 사이에 위치하며 하나 이상의 절곡부를 포함하는 중앙부를 포함하며, 비연성(nonflexible)을 갖는 연결부를 포함한다.

Description

반도체 디스플레이 제조용 히터의 전원공급단자장치{POWER SUPPLY BUS BAR APPARATUS OF HEATER FOR DISPLAY MANUFACTURING}
반도체 디스플레이 제조용 히터의 전원공급단자장치가 제공된다.
종래 반도체 디스플레이 제조용 히터는 스테인리스 스틸(stainless steel)로 구성된 몸체부, 몸체부에 세라믹(ceramics) 등의 절연물질로 구성된 절연부, 그리고 절연부 상에 통전 가능하도록 구성된 발열선을 포함한다. 이때, 디스플레이 제조용 히터에 전기를 공급하기 위하여, 발열선에서 연장된 전선과 외부전원 공급장치의 전선을 연결한다(단자부).
도 1은 종래 반도체 디스플레이 제조용 히터의 단자부 전원 공급 방법이다.
도 1에서 보면, 반도체 디스플레이 제조용 히터의 발열선(도 1에 도시되지 않음)과 연결된 전원단자(11)에 외부전원 공급장치(도 1에 도시되지 않음)와 연결된 전선(12)이 고정된다. 이때, 전원단자(11)는 디스플레이 제조용 히터로부터 돌출된 돌출부를 포함하며, 전선(12)의 일단은 납작한 링 형상의 연결부를 포함한다. 따라서, 전선(12)의 연결부가 전원단자(11)의 돌출부에 끼워지는 형태로 고정된다. 그러나, 이와 같은 고정방식에 의하면 전선(12)이 전원단자(11)에서 유동 및 유격이 가능하므로 전원(12)이 전원단자(11)와 연결된 발열선에 접촉되거나 전원단자(11)의 돌출부로부터 이탈됨으로써 대기압 및 진공 상태에서 아킹(arcing) 또는 쇼트(short) 등의 전기적인 문제가 발생한다.
이러한 문제를 해결하기 위해 세라믹 등의 절연물질을 아킹 발생 부분에 도포하고 있으나, 이러한 방법은 대기압 환경에서 진행되는 공정에서 아킹의 발생을 방지하는 효과가 있을 뿐, 진공 환경 특히, 고진공 환경에서 진행되는 공정에서 아킹의 발생을 방지하기는 어렵다.
본 발명의 일 실시예가 해결하려는 과제는 반도체 디스플레이 제조용 히터의 전원 단자와 상기 반도체 디스플레이 제조용 히터에 전원을 공급하는 외부 전원단자 사이의 고정형 연결구조를 제공하는 반도체 디스플레이 제조용 히터의 전원공급단자장치를 제공하는 것이다.
상기 과제를 해결하기 위해 본 발명의 일 실시예는, 히터에 연결되어 있고 제1 AC단자와 제2 AC단자를 포함하는 제1 단자, 외부전원장치에 연결되어 있고 서로 마주보는 한 쌍의 막대 형상을 포함하는 제2 단자, 그리고 상기 제1 단자와 제2 단자를 전기적으로 연결하고, 제1 단자와 접촉되어 있는 제1 연결부, 상기 제2 단자와 접촉되어 있는 제2 연결부, 그리고 상기 제1 연결부와 상기 제2 연결부 사이에 위치하며 하나 이상의 절곡부를 포함하는 중앙부를 포함하며, 비연성(nonflexible)을 갖는 연결부를 제안한다.
여기서, 상기 연결부는 상기 제1 AC단자를 상기 제2 단자의 한 쌍의 막대 중 하나의 막대와 일대일로 연결하고, 상기 제2 AC단자를 상기 제2 단자의 한 쌍의 막대 중 다른 하나의 막대와 일대일로 연결할 수 있다.
또한, 상기 제1 단자는 상기 히터를 관통하고 상기 히터 상부에 위치하는 절연부를 관통하는 볼트 형상일 수 있다.
또한, 상기 제2 단자, 상기 제1 연결부, 그리고 상기 제2 연결부는 각각 홀(hole)을 포함하며, 상기 제1 연결부의 홀에 볼트 형상의 상기 제1 AC단자 또는 상기 제2 AC단자가 결합되어 있고, 상기 제2 연결부의 홀은 상기 제2 단자의 홀에 볼트를 통해 결합될 수 있다.
또한, 상기 제2 단자의 한 쌍의 막대 사이에 위치하며, 좌우대칭 형상이고, 절연물질을 포함하는 조인트부를 포함할 수 있다.
또한, 상기 중앙부는 상기 제1 단자, 상기 제2 단자, 상기 히터, 그리고 상기 외부전원장치에 접촉되지 않을 수 있다.
또한, 상기 제2 단자와 상기 연결부를 보호하는 절연커버를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 의하면 반도체 디스플레이 제조용 히터의 전원단자와 반도체 디스플레이 제조용 히터에 전원을 공급하는 외부 전원단자 사이 연결구조의 유동 및 유격을 방지함으로써 아킹(arcing) 또는 쇼트(short) 등의 전기적 문제가 발생하는 것을 방지할 수 있다. 또한, 제조 공정 진행시 전기적 문제로 야기되는 손실 시간을 줄이고, 이로 인해 생산 원가를 절약할 수 있다. 또한, 전원 공급을 위한 반도체 디스플레이 제조용 히터의 전원단자와 외부 전원단자 사이의 연결구조를 단순화할 수 있다. 또한, 반도체 디스플레이 제조용 히터를 다단으로 설계할 경우 각 층의 높이를 일정하게 설계하고, 설계 비용을 절약할 수 있다.
도 1은 종래 반도체 디스플레이 제조용 히터의 단자부 전원 공급 방법이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 디스플레이 제조용 히터이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 디스플레이 제조용 히터의 전원공급단자장치이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 연결부이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 디스플레이 제조용 히터의 전원공급단자장치의 단면도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 디스플레이 제조용 히터의 다단 설계 예시이다.
아래에서는 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명한다.
명세서 전체에서 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.
명세서 전체에서 "아킹(arcing)"은 기체 속에서 생기는 방전현상의 일종으로, 2개의 전극을 대립시켜 비교적 낮은 전압으로 큰 전류가 흐를 때 고열과 강렬한 빛을 발하는 현상을 의미한다.
명세서 전체에서 "디스플레이(display)"는 웨이퍼(wafer) 또는 LCD 패널(liquid crystal display panel) 등의 히터단자가 사용되는 반도체 장치를 포함한다.
명세서 전체에서 반도체 디스플레이 제조용 히터의 전원공급단자장치는 전원공급장치로부터 공급되는 교류전원을 히터로 전달하며, 제1 AC단자(20-1(+)), 제2 AC단자(20-1(-)), 제1 연결부(40-1(+)), 그리고 제2 연결부(40-1(-))에서 (+)와 (-)는 두 개의 단자를 각각 구분하기 위해 사용한다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 디스플레이 제조용 히터이다.
도 2에서 보면, 반도체 디스플레이 제조용 히터는 복수의 열 전달 몸체부 일측면에 전원공급장치를 포함하며, 전원공급장치로부터 공급되는 외부전원을 이용하여 히터에 놓인 반도체 디스플레이 장치를 가열할 수 있다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 디스플레이 제조용 히터의 전원공급단자장치이다.
도 3에서 보면, 반도체 디스플레이 제조용 히터의 전원공급단자장치는 히터(22)에 연결되어 있는 다수의 제1 단자(20-1, 20-2, …), 외부전원장치(도 3에 도시되지 않음)에 연결되어 있는 다수의 제2 단자(30-1, 30-2, 30-3, 30-4), 그리고 제1 단자(20-1, 20-2, …)와 제2 단자(30-1, 30-2, 30-3, 30-4)를 연결하는 다수의 연결부(40-1, 40-2, …)를 포함한다. 또한, 반도체 디스플레이 제조용 히터의 전원공급단자장치의 위치를 고정하는 브라켓(50)을 더 포함한다.
제1 단자(20-1)는 히터(22)에 접촉되며, 볼트 형상을 갖는 제1 AC단자(20-1(+))와 제2 AC단자(20-1(-))를 포함한다.
제2 단자(30-1, 30-2, 30-3, 30-4)는 제1 단자(20-1)와 이격되어 위치하고, 외부전원장치(도 3에 도시되지 않음)에 접촉되며, 서로 마주보는 한 쌍의 막대 형상을 갖는다.
제2 단자(30-1, 30-2, 30-3, 30-4)는 연결부(40-1)가 접촉되는 결합구멍부(31-1, 31-2, 31-3, 31-4)와 연결부(40-1)의 쇼트 방지용 조인트부(32-1, 32-2, 32-3, …)를 포함한다. 이때, 다수의 결합구멍부(31-1, 31-2, 31-3, 31-4) 중 하나의 결합구멍부는 볼트를 통해 하나의 연결부(40-1)와 대응하여 결합된다. 또한, 조인트부(32-1, 32-2, 32-3, …)는 좌우대칭 형상을 갖고, 한 쌍의 막대 형상을 갖는 제2 단자(30-1, 30-2, 30-3, 30-4) 사이에 위치하며, 세라믹 등의 절연물질을 포함한다.
연결부(40-1)는 제1 단자(20-1)와 제2 단자(30-1, 30-2)에 연결되어 제1 단자(20-1)와 제2 단자(30-1, 30-2)를 전기적으로 연결한다. 이때, 연결부(40-1)는 제1 AC단자(20-1(+))와 제2 단자(30-2)에 연결되어 있는 제1 연결부(40-1(+))와 제2 AC단자(20-1(-))와 제2 단자(30-1)에 연결되어 있는 제2 연결부(40-1(-))를 포함한다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 연결부이다.
연결부(40-1)는 제1 단자(20-1)와 제2 단자(30-1)에 각각 접촉되는 제1 연결부(41)와 제2 연결부(42), 그리고 제1 연결부(41)와 제2 연결부(42) 사이에 위치하며 하나 이상의 절곡부를 포함하는 중앙부(43)를 포함한다. 이때, 제1 연결부(41)와 제2 연결부(42)는 각각 제1 단자(20-1)와 제2 단자(30-1)와의 연결을 위한 홀(hole)을 포함한다.
연결부(40-1)는 절곡부의 개수에 따라 다양한 형상을 포함하며, 일례로, '∧', '∩', 'Ｎ', 'Ｍ', 'ｍ', 'Π', 'Ω' 등의 형상을 포함할 수 있다. 이때, 중앙부(43)는 제1 연결부(41)와 제2 연결부(42) 사이에서 제1 단자(20-1), 제2 단자(30-1), 또는 그 외의 히터(22) 또는 외부전원장치에 접촉되지 않도록 위치한다.
연결부(40-1)는 비연성(nonflexible)이며, 비절연 도전체를 포함한다.
다시 도 3의 설명으로 돌아가서, 브라켓(50)은 제2 단자(30-1, 30-2, 30-3, 30-4)의 서로 마주보는 한 쌍의 막대 사이에 위치하며, 조인트부(32-1, 32-2, 32-3, …)를 통해 제2 단자(30-1, 30-2, 30-3, 30-4)에 고정된다.
아래에서는 도 3과 도 5를 참고하여 제1 단자(20-1), 제2 단자(30-1, 30-2, 30-3, 30-4), 그리고 연결부(40-1)에 대하여 상세히 설명한다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이 제조용 히터의 전원공급장치의 단면도이다.
도 5에서, 제1 AC단자(20-1(+))는 히터(22)와 접촉되어 위치하며, 히터(22)의 구동을 위한 전원을 공급한다. 이때, 히터(22)는 쇼트(short) 또는 아킹(arcing) 방지를 위한 절연부(21-1)를 포함한다. 또한, 제1 AC단자(20-1(+))는 볼트 형상을 갖고, 히터(22)와 절연부(21-1)를 관통하는 형태로 위치할 수 있다.
도 5에서 보면, 일례로, 제1 AC단자(20-1(+))는 연결부(40-1(+))를 통해 제2 단자(30-2)의 한 쌍의 막대 중 하나의 막대에 연결된다. 즉, 제1 단자(20-1)의 제1 AC단자(20-1(+))와 제2 AC단자(20-1(-))는 각각 하나의 연결부(40-1(+), 40-1(-))를 통해 각각 하나의 제2 단자(30-2, 30-4)와 연결된다. 도 5 단면도에서 제1 단자(20-1)의 제2 AC단자(20-1(-))는 제1 단자(20-1)의 제1 AC단자(20-1(+))와 중첩되어 있다.
도 5의 반도체 디스플레이 제조용 히터의 전원공급장치는 비절연 특성을 갖는 외부장치 또는 사용자의 조작으로부터 제2 단자(30-1, 30-2, 30-3, 30-4)와 연결부(40-1)를 보호하는 절연커버(60)를 더 포함할 수 있다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 디스플레이 제조용 히터의 다단 설계 예시이다.
도 6은 구체적으로, 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 디스플레이 제조용 히터의 전원공급단자장치를 포함하며, 복수의 층(layer)으로 형성된 반도체 디스플레이 제조용 히터이다.
도 6에 보면, 히터와 연결되는 제1 단자와 외부전원장치에 연결되는 제2 단자를 고정형 연결부를 통해 전기적으로 연결함으로써 반도체 디스플레이 제조용 히터를 복수의 층으로 구현하여 공간 효율성을 높일 수 있다. 또한, 종래 반도체 디스플레이 제조용 히터를 복수의 층으로 구현할 경우 발생하였던 케이블의 난선에 의한 작업 지연 문제 또는 전기적 문제를 방지할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 디스플레이 제조용 히터의 전원공급단자장치에 따르면, 전원공급장치의 각 구성 즉, 제1 단자, 제2 단자, 그리고 연결부를 고정형으로 구현함으로써 각 구성 사이의 불필요한 접촉 및 간섭을 제거하여 종래 유동형 케이블(전선)을 이용하는 반도체 디스플레이 제조용 히터의 전원공급장치에서 발생하는 전기적 문제를 해결할 수 있다.
본 발명의 일 실시예인 반도체 디스플레이 제조용 히터의 전원공급단자장치는 조인트부를 이용하여 한 쌍의 막대 형상을 갖는 제2 단자 사이의 공간을 확보함으로써 제2 단자 간의 접촉에 발생하는 전기적 문제들의 발생을 방지할 수 있다.
이상에서 본 발명의 실시예에 대하여 상세하게 설명하였으나, 본 발명의 권리범위가 이에 한정되는 것은 아니며 본 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 여러 가지로 변형 및 개량한 형태 또한 본 발명의 권리범위에 속한다.
20-1, 20-2 : 제1 단자
21-1 : 절연부
22 : 히터
30-1, 30-2, 30-3, 30-4 : 제2 단자
31-1, 31-2, 31-3, 31-4 : 결합구멍부
32-1, 32-2, 32-3 : 조인트부
40-1, 40-2, 40-3, 40-4 : 연결부
50 : 브라켓
60 : 절연커버

Claims (7)

  1. 히터에 연결되어 있고 제1 AC단자와 제2 AC단자를 포함하는 제1 단자,
    외부전원장치에 연결되어 있고 서로 마주보는 한 쌍의 막대 형상을 포함하는 제2 단자, 그리고
    상기 제1 단자와 제2 단자를 전기적으로 연결하고, 제1 단자와 접촉되어 있는 제1 연결부, 상기 제2 단자와 접촉되어 있는 제2 연결부, 그리고 상기 제1 연결부와 상기 제2 연결부 사이에 위치하며 하나 이상의 절곡부를 포함하는 중앙부를 포함하며, 비연성(nonflexible)을 갖는 연결부를 포함하며,
    상기 제2 단자, 상기 제1 연결부, 그리고 상기 제2 연결부는 각각 홀(hole)을 포함하며,
    상기 제1 연결부의 홀에 볼트 형상의 상기 제1 AC단자 또는 상기 제2 AC단자가 결합되어 있고, 상기 제2 연결부의 홀은 상기 제2 단자의 홀에 볼트를 통해 결합되어 있는 반도체 디스플레이 제조용 히터의 전원공급단자장치.
  2. 제1항에서,
    상기 연결부는 상기 제1 AC단자를 상기 제2 단자의 한 쌍의 막대 중 하나의 막대와 일대일로 연결하고, 상기 제2 AC단자를 상기 제2 단자의 한 쌍의 막대 중 다른 하나의 막대와 일대일로 연결하는 반도체 디스플레이 제조용 히터의 전원공급단자장치.
  3. 제1항에서,
    상기 제1 단자는 상기 히터를 관통하고 상기 히터 상부에 위치하는 절연부를 관통하는 볼트 형상인 반도체 디스플레이 제조용 히터의 전원공급단자장치.
  4. 삭제
  5. 제1항에서,
    상기 제2 단자의 한 쌍의 막대 사이에 위치하며, 좌우대칭 형상이고, 절연물질을 포함하는 조인트부를 포함하는 반도체 디스플레이 제조용 히터의 전원공급단자장치.
  6. 제1항에서,
    상기 중앙부는 상기 제1 단자, 상기 제2 단자, 상기 히터, 그리고 상기 외부전원장치에 접촉되지 않는 반도체 디스플레이 제조용 히터의 전원공급단자장치.
  7. 제1항에서,
    상기 제2 단자와 상기 연결부를 보호하는 절연커버를 더 포함하는 반도체 디스플레이 제조용 히터의 전원공급단자장치.
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