KR101574590B1 - 유체 공급 장치의 자동 진단 시스템 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 온도 조절 장치 및 습도 조절 장치를 각각 포함하는 복수의 유체 공급 장치를 관리하는 자동 진단 시스템의 자동 진단 방법에 관한것으로서, 사용자로부터 하나 이상의 유체 공급 장치로부터 운용 환경 파라미터의 상태값을 수집하는 단계; 사용자에 의하여 설정된 운용 환경 파라미터의 기준 범위값과 하나 이상의 유체 공급 장치로부터 수집된 운용 환경 파라미터의 상태값을 비교하는 단계; 및 유체 공급 장치의 운용 환경 파라미터의 상태값을 포함하는 운용 상태 정보를 사용자 단말로 송신하는 단계를 포함하되, 운용 환경 상태 정보는 운용 환경 파라미터의 상태값이 운용 환경 파라미터의 기준 범위값보다 크거나 작을 경우 출력되는 에러 신호 정보를 포함한다.

Description

유체 공급 장치의 자동 진단 시스템{AUTO INSPECTION SYSTEM FOR SUPPLYING A FLUID}
본 발명은 반도체 공정 장비에 유체를 공급하는 유체 공급 장치의 자동 진단 시스템에 관한 것이다.
반도체 소자를 제조하는 공정 장비에 대하여 기체 또는 액체 등의 유체를 공급하는 유체 공급 장치가 알려져 있다. 이때, 유체 공급 장치는 통상적으로, 기체 공급 유닛 및 냉각 액체를 공급하는 액체 공급 유닛을 포함하며, 반도체 공정 장비의 하측에 구비되어, 외부에서 공급되는 기체의 온도 및 습도를 조절하여 반도체 공정 장비로 공급한다. 이때, 유체 공급 장치에서 공급되는 유체는 반도체 공정 장비로부터 연장된 배관을 통해 반도체 공정 장비로 공급됨으로써, 반도체 공정 장비의 온도 및 습도를 자동 조절 시킨다.
최근, 반도체소자는 전자 제품의 소형화에 따라, 반도체 소자의 내부 회로의 패턴이 미세화 되고 있으며, 더욱 정밀한 세부 공정이 요구되고 있는 추세이다. 그러나, 반도체 소자의 패턴이 정밀해 질 수록, 반도체 소자의 생산 수율 및 전기적인 특성은 공기 중의 수분 및 온도에 더욱 민감하게 작용한다. 따라서, 공기 중의 수분 및 온도를 제어하는 이슈가 더욱 중요시 되고 있다.
이러한 이유로, 반도체 소자 제작 공정 시, 반도체 공정 장비의 온도 및 습도를 제어하는 유체 공급 장치의 개수가 증가하고 있으며, 이들 장비를 제어하고 각각의 장비의 이상 유무를 체크하고 관리하는데 어려움이 있다.
이와 관련하여 대한민국 공개특허 제2005-0013822호(발명의 명칭: 복합 온도 제어가 가능한 반도체 웨이퍼 가공장치)는 반도체 웨이퍼 가공 장치 본체와, 반도체 웨이퍼 가공 장치 본체의 일단에 설치된 챔버(chamber) 및 반도체 웨이퍼 가공장치 본체와는 온도신호 제어 라인으로 연결되고, 챔버와는 물리적인 온도제어 배관으로 연결된 칠러(Chiller)를 구비하는 반도체 웨이퍼 가공 장치에 있어서, 반도체 웨이퍼 가공장치 본체내의 마이크로 컨트롤러는 칠러를 모드별로 제어할 수 있는 수단이 구비되고, 칠러는 마이크로 컨트롤러 사이에 추가된 모드신호 제어 라인을 구비하는 것을 특징으로 하는 복합 온도 제어가 가능한 반도체 웨이퍼 가공장치를 개시하고 있다.
본 발명은 전술한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 복수개의 유체 공급 장치를 통합적으로 관리하는 자동 진단 시스템을 제공한다.
상술한 기술적 과제를 달성하기 위한 기술적 수단으로서, 본 발명의 일 측면에 따른 온도 조절 장치 및 습도 조절 장치를 각각 포함하는 복수의 유체 공급 장치를 관리하는 자동 진단 시스템의 자동 진단 방법은, 사용자로부터 하나 이상의 유체 공급 장치로부터 운용 환경 파라미터의 상태값을 수집하는 단계; 사용자에 의하여 설정된 운용 환경 파라미터의 기준 범위값과 하나 이상의 유체 공급 장치로부터 수집된 운용 환경 파라미터의 상태값을 비교하는 단계; 및 유체 공급 장치의 운용 환경 파라미터의 상태값을 포함하는 운용 상태 정보를 사용자 단말로 송신하는 단계를 포함하되, 운용 환경 상태 정보는 운용 환경 파라미터의 상태값이 운용 환경 파라미터의 기준 범위값보다 크거나 작을 경우 출력되는 에러 신호 정보를 포함한다.
또한, 본 발명의 다른 측면에 따른 온도 조절 장치 및 습도 조절 장치를 각각 포함하는 복수의 유체 공급 장치를 관리하는 자동 진단 시스템은, 사용자로부터 하나 이상의 유체 공급 장치로부터 운용 환경 파라미터의 상태값을 수집하는 데이터 관리부, 사용자에 의하여 설정된 운용 환경 파라미터의 기준 범위값과 하나 이상의 유체 공급 장치로부터 수집된 상기 운용 환경 파라미터의 상태값을 비교하는 에러 검출부, 및 상기 유체 공급 장치의 운용 환경 파라미터의 상태값을 포함하는 운용 상태 정보를 사용자 단말로 송신하는 송수신부를 포함하되, 상기 운용 상태 정보는 상기 운용 환경 파라미터의 상태값이 상기 운용 환경 파라미터의 기준 범위값보다 크거나 작을 경우 출력되는 에러 신호 정보를 포함한다.
또한, 본 발명의 또 다른 측면에 따른 복수의 유체 공급 장치를 관리하는 자동 진단을 제공하는 자동 진단 시스템은 온도 조절 장치 및 습도 조절 장치를 각각 포함하는 복수의 유체 공급 장치를 관리하는 자동 진단을 제공하는 자동 진단 시스템은, 자동 진단 프로그램이 저장된 메모리, 네트워크 통신 모듈 및 메모리와 인터페이싱하도록 정렬된 프로세싱 유닛을 포함하고, 프로세싱 유닛은, 자동 진단 프로그램의 실행에 따라 하나 이상의 유체 공급 장치로부터 운용 환경 파라미터의 상태값을 수집하고, 사용자에 의하여 설정된 운용 환경 파라미터의 기준 범위값과 하나 이상의 유체 공급 장치로부터 수집된 운용 환경 파라미터의 상태값을 비교하여, 네트워크통신 모듈을 통해 유체 공급 장치의 운용 환경 파라미터의 상태값을 포함하는 운용 환경 상태 정보를 사용자 단말로 전송하되, 운용 환경 상태 정보는 운용 환경 파라미터의 상태값이 운용 환경 파라미터의 기준 범위값보다 크거나 작을 경우 출력되는 에러 신호 정보를 포함한다.
전술한 본 발명의 과제 해결 수단 중 어느 하나에 의하면, 자동 진단 시스템은, 복수개의 유체 공급 장치를 중앙에서 통합적으로 관리함으로써, 반도체 공정 장비의 온도 및 습도 조절을 더욱 효율적으로 할 수 있는 효과가 있다.
또한 본 발명의 과제 해결 수단 중 어느 하나에 의하면 반도체 공정 장비의 온도 및 습도 조절을 하는 유제 공급 장치의 이상 발생시 사용자에게 즉각적으로 알림으로써, 반도체 공정 수율이 저하되는 것을 방지할 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예가 적용되는 자동 진단 시스템을 도시하고 있다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 자동 진단 시스템의 상세 구성을 나타내는 구성도이다.
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 비정상 로그와 정상 로그의 일례를 나타내고 있는 도면이다.
도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 자동 진단 시스템을 이용한 자동 진단 방법을 상세히 설명하기 위한 순서도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 자동 진단 시스템을 통하여 유체 공급 장치를 원격으로 모니터링 하는 실시예이다.
아래에서는 첨부한 도면을 참조하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 본 발명의 실시예를 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 그리고 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 유사한 도면 부호를 붙였다.
명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 "연결"되어 있다고 할 때, 이는 "직접적으로 연결"되어 있는 경우뿐 아니라, 그 중간에 다른 소자를 사이에 두고 "전기적으로 연결"되어 있는 경우도 포함한다. 또한 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미하며, 하나 또는 그 이상의 다른 특징이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
본 명세서에 있어서 '부(部)'란, 하드웨어에 의해 실현되는 유닛(unit), 소프트웨어에 의해 실현되는 유닛, 양방을 이용하여 실현되는 유닛을 포함한다. 또한, 1 개의 유닛이 2 개 이상의 하드웨어를 이용하여 실현되어도 되고, 2 개 이상의 유닛이 1 개의 하드웨어에 의해 실현되어도 된다.
본 명세서에 있어서 단말 또는 디바이스가 수행하는 것으로 기술된 동작이나 기능 중 일부는 해당 단말 또는 디바이스와 연결된 서버에서 대신 수행될 수도 있다. 이와 마찬가지로, 서버가 수행하는 것으로 기술된 동작이나 기능 중 일부도 해당 서버와 연결된 단말 또는 디바이스에서 수행될 수도 있다.
이하, 도면을 참조하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 자동 진단 시스템에 대해서 상세히 설명하도록 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예가 적용되는 자동 진단 시스템을 도시하고 있다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 자동 진단 시스템(10)은 반도체 공정을 수행하는 반도체 공정 장비와 연결된 복수개의 유체 공급 장치(20)를 통합적으로 관리하는 것이 가능하다. 이때, 유체 공급 장치(20)는 온도 조절 유닛(Chiller, CHR) 및 습도 조절 유닛(Temperature and Humidity Controller, THC)을 포함하는 것으로, 반도체 공정 장비로부터 연장된 배관을 통해 외부에서 공급되는 기체의 온도 및 습도를 조절하여 반도체 공정 장비로 공급한다. 또한, 반도체 공정 장비는, 반도체 공정을 수행하는 하나 이상의 장비가 포함된 것을 통칭하는 것으로, 일례로, 스핀 코터(Spin Coater), 노광기(Stepper), 히터(Heater), 에셔(Asher)중 적어도 하나 이상을 포함하여 구성된 것일 수 있으나 이에 한정되지는 않는다.
본 발명의 일 실시예에 따른 자동 진단 시스템(10)은 각각의 유체 공급 장치(20)와 네트워크(network)를 통해 연결될 수 있으며, 자동 진단 시스템(10)과 연결된 복수개의 유체 공급 장치(20) 각각을 실시간으로 모니터링하고 진단할 수 있다. 여기서, 네트워크는 단말 및 서버와 같은 각각의 노드 상호 간에 정보 교환이 가능한 연결 구조를 의미하는 것으로, 이러한 네트워크(network)의 일 예에는 3GPP(3rd Generation Partnership Project) 네트워크, LTE(Long Term Evolution) 네트워크, WIMAX(World Interoperability for Microwave Access) 네트워크, 인터넷(Internet), LAN(Local Area Network), Wireless LAN(Wireless Local Area Network), WAN(Wide Area Network), PAN(Personal Area Network), 블루투스(Bluetooth) 네트워크, 위성 방송 네트워크, 아날로그 방송 네트워크, DMB(Digital Multimedia Broadcasting) 네트워크 등이 포함되나 이에 한정되지는 않는다.
또한, 자동 진단 시스템(10)은 유체 공급 장치(20)의 운용 상태 정보를 반도체 장비의 관리를 담당하는 장치 관리자, 즉 자동 진단 시스템의 사용자의 컴퓨터 또는 휴대용 단말(30)로 네트워크를 통하여 송신할 수 있다. 여기서, 사용자의 휴대용 단말(30)은 휴대성과 이동성이 보장되는 무선 통신 장치로서, 예를 들어, PCS(Personal Communication System), GSM(Global System for Mobile communications), PDC(Personal Digital Cellular), PHS(Personal Handyphone System), PDA(Personal Digital Assistant), IMT(International Mobile Telecommunication)-2000, CDMA(Code Division Multiple Access)-2000, W-CDMA(W-Code Division Multiple Access), WiBro(Wireless Broadband Internet) 단말, 스마트폰(Smart Phone), 스마트 패드(Smart Pad) 등과 같은 모든 종류의 핸드헬드(Handheld) 기반의 무선 통신 장치를 포함할 수 있다. 또한, 컴퓨터는 예를 들어, 웹 브라우저(WEB Browser)가 탑재된 데스크톱(desktop), 랩톱(laptop), 테블릿 PC(tablet PC) 등을 포함할 수 있다.
사용자는 컴퓨터 또는 휴대용 단말(30)에 프로그램 또는 애플리케이션을 다운 받아 설치함으로써, 원격으로 자동 진단 시스템에 접속할 수 있다. 이에 따라, 사용자는 자동 진단 시스템(10)을 원격으로 제어하는 것이 가능하다. 구체적으로, 본 발명의 일 실시예에 따른 자동 진단 시스템(10)은 사용자가 원격 접속을 통하여 실시간으로 자동 진단 시스템에 연결된 유체 공급 장치를 모니터링 할 수 있다. 또한, 메모기능을 통하여, 사용자가 입력한 유체 공급 장치의 운용 파라미터 기준 범위값 또는 반도체 공정시 유의 사항 등을 제 2의 사용자가 열람할 수 있도록 저장하여 관리 할 수 있다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 자동 진단 시스템의 상세 구성을 나타내는 구성도이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 자동 진단 시스템(10)은 도 2에 도시된 바와 같이, 데이터 관리부(100), 에러 검출부(200) 및 송수신부(300)를 포함하여 구성될 수 있다.
다만, 도 2에 도시된 자동 진단 시스템(10)은 본 발명의 하나의 구현 예에 불과하며, 도 2에 도시된 구성 요소들을 기초로 하여 여러 형태로 변형이 가능함은 본 발명의 실시예가 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이해할 수 있다. 예를 들어, 구성 요소들과 해당 구성 요소들 안에서 제공되는 기능은 더 작은 수의 구성 요소들로 결합되거나 추가적인 구성 요소들로 더 분리될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 데이터 관리부(100)는 컴퓨터 저장 매체중의 하나로서 컴퓨터 판독가능 명령어, 데이터 구조, 프로그램 모듈 또는 기타 데이터와 같은 정보의 저장을 위한 임의의 방법 또는 기술로 구현된 휘발성 및 비휘발성, 분리형 및 비분리형 매체를 모두 포함하여 구성될 수 있다.
데이터 관리부(100)는 반도체 공정 장비의 관리를 담당하는 사용자로부터 유체 공급 장치에 포함된 온도 조절 장치 및 습도 조절 장치의 운용 파라미터의 기준 범위값을 입력 받고, 주기적으로 각각의 유체 공급 장치에 구비된 센서들로부터 운용 환경 파라미터의 상태값을 수집하여 관리한다.
이때, 운용 환경 파라미터는 사용 온도, 사용 습도, 온도 출력 값, 습도 출력 값, 환경 온도, 환경 습도, THC 냉동기의 전류값, THC 냉동기의 저압압력, THC 냉동기 고압압력, 송풍기 전류값, 송풍기 풍량, CH0 온도 출력량, CH1 사용 온도, CH1 온도 출력량, CH2사용 온도, CH2 온도 출력량, CH3 사용 온도, CH3 온도 출력량, CHR냉동기 전류값, CHR 냉동기 저압압력, 및 CHR 냉동기 고압압력 중 어느 하나 이상을 포함할 수 있다.
또한, 데이터 관리부(100)는 반도체 공정 장비와 유체 공급 장치 사이의 네트워크 통신 기록을 수집하여 저장한다.
도 3 본 발명의 일실시예에 따른 비정상 로그와 정상 로그의 일례를 나타내고 있는 도면이다.
데이터 관리부(100)는 네트워크 통신 기록을 정상 로그 데이터(50A) 또는 비정상 로그(Exception Log) 데이터(50B)로 분류시켜 따로 저장하여 관리한다. 이때, 데이터 관리부(100)는 반도체 공정 장비와 유체 공급 장치 사이의 네트워크 통신의 데이터 형식이 미리 정의된 통신 프로토콜에 맞으면, 정상 로그 데이터(50A0로 분류하고, 네트워크 통신의 데이터 형식이 미리 정의된 통신 프로토콜에 맞지 않을 경우, 비정상 로그 데이터(50B)로 분류할 수 있다. 일례로, 비정상 로그 데이터는 도 3에 도시된 바와 같이, ‘WrongETX’ 라는 문구를 포함하고 있을 수 있으나, 이에 제한된 것은 아니다. 따라서, 데이터 관리부(100)은 정상 로그 데이터와 비정상 로그 데이터를 따로 분류시켜 관리함으로써, 데이터 분석 기능을 강화 시킬 수 있다. 즉, 에러가 발생하였을 때, 비정상 로그 데이터만을 확인함으로써 에러가 발생한 시점을 파악할 수 있고, 문제점을 더욱 신속하게 해결할 수 있다.
이어서, 에러 검출부(200)는 데이터 관리부(100)에 저장된 사용자로부터 입력받은 운용 파라미터의 기준 범위값과, 각각의 유체 공급 장치에 구비된 센서들로부터 주기적으로 수집된 운용 환경 파라미터의 상태값을 비교하여, 운용 환경 파라미터의 상태값이 운용 파라미터의 기준 범위값 내에 존재하는지를 판단한다. 이때, 에러 검출부는 운용 환경 파라미터의 상태값이 운용 파라미터의 기준 범위값 내에 존재하지 않을 경우, 이를 에러 발생으로 인지할 수 있다.
송수신부(300)는 유체 공급 장치의 운용 상태 정보를 반도체 장비의 관리를 담당하는 사용자의 컴퓨터 또는 휴대용 단말로 네트워크를 통하여 송신할 수 있다. 이때, 운용 상태 정보는 에러가 검출된 유체 공급 장치의 식별번호, 운용 환경 파라미터의 상태값을 포함할 수 있으며, 비정상 로그 데이터 발생 여부 등을 포함할 수 있다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 자동 진단 시스템을 이용한 자동 진단 방법을 상세히 설명하기 위한 순서도이다.
도 4를 참조하면, 자동 진단 시스템을 이용한 자동 진단 방법은 유체 공급 장치의 운용 환경 파라미터를 수집하는 단계(s110); 운용 환경 상태를 자동 진단하는 단계(s120); 비정상 로그 데이터를 수집하는 단계(s130); 운용 상태 정보 및 비정상 로그 데이터 발생 여부를 송신하는 단계(s140)를 포함할 수 있다.
먼저, 유체 공급 장치의 운용 환경 파라미터를 수집하는 단계 (s110)에서, 데이터 관리부는 사용자 또는 반도체 장비의 관리를 담당하는 관리자로부터 유체 공급 장치에 포함된 온도 조절장치 및 습도 조절 장치의 운용 파라미터의 기준 범위값을 입력 받고, 주기적으로 각각의 유체 공급 장치에 구비된 센서들로부터 운용 환경 파라미터의 상태값을 수집한다.
이때, 운용 환경 파라미터는 사용 온도, 사용 습도, 온도 출력 값, 습도 출력 값, 환경 온도, 환경 습도, THC 냉동기의 전류값, THC 냉동기의 저압압력, THC 냉동기 고압압력, 송풍기 전류값, 송풍기 풍량, CH0 온도 출력량, CH1 사용 온도, CH1 온도 출력량, CH2사용 온도, CH2 온도 출력량, CH3 사용 온도, CH3 온도 출력량, CHR냉동기 전류값, CHR 냉동기 저압압력, 및 CHR 냉동기 고압압력 중 어느 하나 이상을 포함할 수 있다.
다음으로, 운용 환경 상태를 자동 진단하는 단계(s120)에서, 사용자로부터 입력받은 운용 파라미터의 기준 범위값과 각각의 유체 공급 장치에 구비된 센서들로부터 주기적으로 수집된 운용 환경 파라미터의 상태값을 비교하여, 운용 환경 파라미터의 상태값이 운용 파라미터의 기준 범위값 내에 존재하는지를 판단한다. 에러 검출부는 운용 환경 파라미터의 상태값이 운용 파라미터의 기준 범위값 내에 존재하지 않을 경우, 이를 에러 발생으로 인지할 수 있다.
이어서, 비정상 로그 데이터를 수집하는 단계 (s130)에서, 또한, 데이터 관리부는 반도체 공정 장비와 유체 공급 장치 사이의 네트워크 통신 기록을 검토하여, 데이터 형식이 미리 정의된 통신 프로토콜에 맞지 않을 경우, 오류를 인지하고 정상 로그 데이터와 비정상 로그 데이터로 구분하여 저장한다.
마지막으로, 운용 상태 정보 및 비정상 로그 데이터 발생 여부를 송신하는 단계(s140)에서, 송수신부는 에러가 검출된 유체 공급 장치의 식별번호 및 운용 파라미터의 상태값을 포함하는 운용 상태 정보 및 비정상 로그 데이터 발생 여부를 반도체 장비의 관리를 담당하는 사용자의 컴퓨터 또는 휴대용 단말로 네트워크를 통하여 송신한다. 따라서, 사용자는 자동 진단 시스템을 통하여 유체 공급 장치를 통합적으로 관리할 수 있도록 하며, 원격 제어 서비스를 통하여, 에러가 검출된 유체 공급 장치의 상태를 실시간으로 모니터링 할 수 있도록 하며, 데이터 관리부에 저장된 비정상 로그 데이터를 열람 하도록 할 수 있다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 자동 진단 시스템을 통하여 유체 공급 장치를 원격으로 모니터링 하는 실시예이다.
도시된 바와 같이, 유체 공급 장치의 운용 상태 정보 및 데이터 관리부에 저장된 비정상 로그 데이터를 수신한 장치 관리자는 자신이 휴대하고 있는 컴퓨터 또는 휴대 단말기의 프로그램 또는 애플리케이션을 통해 자동 진단 시스템으로 원격 접속하여, 유체 공급 장치의 상태를 실시간으로 확인할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 자동 진단 시스템은 소프트웨어 또는 FPGA(Field Programmable Gate Array) 또는 ASIC(Application Specific Integrated Circuit)와 같은 하드웨어 구성 요소를 의미하며, 소정의 역할들을 수행한다. 그렇지만 '구성 요소'는 소프트웨어 또는 하드웨어에 한정되는 의미는 아니며, 각 구성 요소는 어드레싱할 수 있는 저장 매체에 있도록 구성될 수도 있고 하나 또는 그 이상의 프로세서들을 재생시키도록 구성될 수도 있다.
따라서, 일 예로서 구성 요소는 소프트웨어 구성 요소들, 객체지향 소프트웨어 구성 요소들, 클래스 구성 요소들 및 태스크 구성 요소들과 같은 구성 요소들과, 프로세스들, 함수들, 속성들, 프로시저들, 서브루틴들, 프로그램 코드의 세그먼트들, 드라이버들, 펌웨어, 마이크로 코드, 회로, 데이터, 데이터베이스, 데이터 구조들, 테이블들, 어레이들 및 변수들을 포함한다.
구성 요소들과 해당 구성 요소들 안에서 제공되는 기능은 더 작은 수의 구성 요소들로 결합되거나 추가적인 구성 요소들로 더 분리될 수 있다.
한편, 자동 진단 시스템은 일종의 '모듈'로 구성될 수 있다. 상기 '모듈'은 소프트웨어 또는 Field Programmable Gate Array(FPGA) 또는 주문형 반도체(ASIC, Application Specific Integrated Circuit)과 같은 하드웨어 구성요소를 의미하며, 모듈은 어떤 역할들을 수행한다. 그렇지만 모듈은 소프트웨어 또는 하드웨어에 한정되는 의미는 아니다. 모듈은 어드레싱할 수 있는 저장 매체에 있도록 구성될 수도 있고 하나 또는 그 이상의 프로세서들을 실행시키도록 구성될 수도 있다. 구성요소들과 모듈들에서 제공되는 기능은 더 작은 수의 구성요소들 및 모듈들로 결합되거나 추가적인 구성요소들과 모듈들로 더 분리될 수 있다.
본 발명의 일 실시예는 컴퓨터에 의해 실행되는 프로그램 모듈과 같은 컴퓨터에 의해 실행가능한 명령어를 포함하는 기록 매체의 형태로도 구현될 수 있다. 컴퓨터 판독 가능 매체는 컴퓨터에 의해 액세스될 수 있는 임의의 가용 매체일 수 있고, 휘발성 및 비휘발성 매체, 분리형 및 비분리형 매체를 모두 포함한다. 또한, 컴퓨터 판독가능 매체는 컴퓨터 저장 매체 및 통신 매체를 모두 포함할 수 있다. 컴퓨터 저장 매체는 컴퓨터 판독가능 명령어, 데이터 구조, 프로그램 모듈 또는 기타 데이터와 같은 정보의 저장을 위한 임의의 방법 또는 기술로 구현된 휘발성 및 비휘발성, 분리형 및 비분리형 매체를 모두 포함한다. 통신 매체는 전형적으로 컴퓨터 판독가능 명령어, 데이터 구조, 프로그램 모듈, 또는 반송파와 같은 변조된 데이터 신호의 기타 데이터, 또는 기타 전송 메커니즘을 포함하며, 임의의 정보 전달 매체를 포함한다.
상술한 본 발명에 따른 자동 진단 시스템은 컴퓨터로 읽을 수 있는 기록 매체에 컴퓨터가 읽을 수 있는 코드로서 구현되는 것이 가능하다. 컴퓨터가 읽을 수 있는 기록매체로는 컴퓨터 시스템에 의하여 해독될 수 있는 데이터가 저장된 모든 종류의 기록 매체를 포함한다. 예를 들어, ROM(Read Only Memory), RAM(Random Access Memory), 자기 테이프, 자기 디스크, 플래쉬 메모리, 광 데이터 저장장치 등이 있을 수 있다. 또한, 컴퓨터가 읽을 수 있는 기록매체는 컴퓨터 통신망으로 연결된 컴퓨터 시스템에 분산되어, 분산방식으로 읽을 수 있는 코드로서 저장되고 실행될 수 있다.
전술한 본 발명의 설명은 예시를 위한 것이며, 본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 쉽게 변형이 가능하다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 예를 들어, 단일형으로 설명되어 있는 각 구성 요소는 분산되어 실시될 수도 있으며, 마찬가지로 분산된 것으로 설명되어 있는 구성 요소들도 결합된 형태로 실시될 수 있다.
본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
10: 자동 진단 장치 20: 관리자 단말
30: 유체 공급 장치 100: 데이터 관리부
200: 에러 검출부 300: 송수신부

Claims (13)

  1. 온도 조절 장치 및 습도 조절 장치를 각각 포함하는 복수의 유체 공급 장치를 관리하는 자동 진단 시스템의 자동 진단 방법에 있어서,
    하나 이상의 유체 공급 장치로부터 운용 환경 파라미터의 상태값을 수집하는 단계;
    사용자에 의하여 설정된 운용 환경 파라미터의 기준 범위값과 하나 이상의 유체 공급 장치로부터 수집된 상기 운용 환경 파라미터의 상태값을 비교하는 단계; 및
    상기 유체 공급 장치의 운용 환경 파라미터의 상태값을 포함하는 운용 상태 정보를 사용자 단말로 송신하는 단계를 포함하되,
    상기 운용 환경 상태 정보는 상기 운용 환경 파라미터의 상태값이 상기 운용 환경 파라미터의 기준 범위값보다 크거나 작을 경우 출력되는 에러 신호 정보를 포함하는 것인 자동 진단 시스템의 자동 진단 방법.
  2. 제 1항에 있어서,
    사용자로부터 상기 유체 공급 장치의 운용 환경 파라미터의 기준 범위값을 입력받는 단계를 더 포함하는 자동 진단 시스템의 자동 진단 방법.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 운용 환경 파라미터는 상기 온도 조절 장치 또는 습도 조절 장치의 출력 온도, 출력 습도, 냉동기 전류값, 냉동기 압력값, 송풍기 전류값, 및 송풍기 풍량 중 어느 하나 이상을 포함하는 것인 자동 진단 시스템의 자동 진단 방법.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 운용 상태 정보는
    에러가 검출된 유체 공급 장치의 식별번호, 운용 환경 파라미터 상태값을 포함하는 것인 자동 진단 시스템의 자동 진단 방법.
  5. 온도 조절 장치 및 습도 조절 장치를 각각 포함하는 복수의 유체 공급 장치를 관리하는 자동 진단 시스템에 있어서,
    하나 이상의 유체 공급 장치로부터 운용 환경 파라미터의 상태값을 수집하는 데이터 관리부,
    사용자에 의하여 설정된 운용 환경 파라미터의 기준 범위값과 하나 이상의 유체 공급 장치로부터 수집된 상기 운용 환경 파라미터의 상태값을 비교하는 에러 검출부, 및
    상기 유체 공급 장치의 운용 환경 파라미터의 상태값을 포함하는 운용 상태 정보를 사용자 단말로 송신하는 송수신부를 포함하되,
    상기 운용 상태 정보는 상기 운용 환경 파라미터의 상태값이 상기 운용 환경 파라미터의 기준 범위값보다 크거나 작을 경우 출력되는 에러 신호 정보를 포함하는 것인 자동 진단 시스템.
  6. 제 5항에 있어서,
    상기 데이터 관리부는
    사용자로부터 상기 유체 공급 장치의 상기 운용 환경 파라미터의 기준 범위값을 입력받는 것인 자동 진단 시스템.
  7. 제 5항에 있어서,
    상기 운용 환경 파라미터는 상기 온도 조절 장치 또는 습도 조절 장치의 출력 온도, 출력 습도, 냉동기 전류값, 냉동기 압력값, 송풍기 전류값, 및 송풍기 풍량 중 어느 하나 이상을 포함하는 것인 자동 진단 시스템.
  8. 제 5항에 있어서,
    상기 운용 상태 정보는
    에러가 검출된 유체 공급 장치의 식별번호, 운용 환경 파라미터 상태값을 포함하는 것인 자동 진단 시스템.
  9. 제 5항에 있어서,
    상기 데이터 관리부는
    반도체 공정 장비와 유체 공급 장치 사이의 네트워크 통신의 데이터 형식이 미리 정의된 통신 프로토콜에 맞지 않을 경우, 상기 네트워크 통신 기록을 비정상 로그 데이터로 분류시켜 관리하는 것인 자동 진단 시스템.
  10. 온도 조절 장치 및 습도 조절 장치를 각각 포함하는 복수의 유체 공급 장치를 관리하는 자동 진단을 제공하는 자동 진단 시스템은
    자동 진단 프로그램이 저장된 메모리,
    네트워크 통신 모듈 및
    상기 메모리와 인터페이싱하도록 정렬된 프로세싱 유닛을 포함하고,
    상기 프로세싱 유닛은,
    상기 자동 진단 프로그램의 실행에 따라 하나 이상의 유체 공급 장치로부터 운용 환경 파라미터의 상태값을 수집하고, 사용자에 의하여 설정된 운용 환경 파라미터의 기준 범위값과 하나 이상의 유체 공급 장치로부터 수집된 상기 운용 환경 파라미터의 상태값을 비교하여,
    상기 네트워크통신 모듈을 통해 상기 유체 공급 장치의 운용 환경 파라미터의 상태값을 포함하는 운용 환경 상태 정보를 사용자 단말로 전송하되,
    상기 운용 환경 상태 정보는 상기 운용 환경 파라미터의 상태값이 상기 운용 환경 파라미터의 기준 범위값보다 크거나 작을 경우 출력되는 에러 신호 정보를 포함하는 것인 자동 진단 시스템.
  11. 제 10항에 있어서,
    상기 프로세싱 유닛은
    사용자로부터 상기 유체 공급 장치의 상기 운용 환경 파라미터의 기준 범위값을 입력받아 메모리에 저장하는 것인 자동 진단 시스템.
  12. 제 10항에 있어서,
    상기 운용 상태 정보는
    에러가 검출된 유체 공급 장치의 식별번호, 운용 환경 파라미터 상태값을 포함하는 것인 자동 진단 시스템.
  13. 청구항 1항 내지 4항 중 어느 한 항에 기재된 방법을 컴퓨터 상에서 수행하기 위한 프로그램을 기록한 컴퓨터 판독 가능한 기록 매체.
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