KR101568376B1 - Water level sensor and water level sensing system of apparatus using same - Google Patents

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Abstract

정전용량형 수위 센서가 정전용량 측정 대상물이 접지된 상태에서도 적용될 수 있고, 측정 신뢰성이 우수한 신규의 수위 센서 및 이를 이용한 수위 센싱 시스템이 개시된다. 본 발명은 일정 길이를 갖는 평판 형상의 쉴드 전극과 상기 쉴드 전극 일면 상에 상기 길이 방향으로 2 이상의 센서 전극이 제1절연층을 개재로 형성되어, 상기 길이 방향의 수위에 따른 정전용량 변화를 감지할 수 있는 수위 센서로서, 상기 쉴드 전극은 일단 폭이 타단 폭보다 작게 형성된 수위 센서 및 이를 이용한 수위 센싱 시스템을 제공한다Disclosed is a water level sensor which can be applied even when the object to be measured is grounded, and which has excellent measurement reliability, and a water level sensing system using the water level sensor. The present invention is characterized in that a flat plate-shaped shield electrode having a predetermined length and at least two sensor electrodes in the longitudinal direction are formed on one surface of the shield electrode with a first insulating layer interposed therebetween, A water level sensor in which the width of the shield electrode is smaller than the width of the other end, and a water level sensing system using the water level sensor

Description

수위 센서 및 이를 이용한 기기의 수위 센싱 시스템{WATER LEVEL SENSOR AND WATER LEVEL SENSING SYSTEM OF APPARATUS USING SAME}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a water level sensor and a water level sensing system for the water level sensor using the water level sensor,

본 발명은 수위 센서 및 이를 이용한 기기의 수위 센싱 시스템에 관한 것으로, 보다 상세하게는 액체를 담을 수 있는 용기를 구비한 기기에서 액체 수위에 따른 정전용량 변화를 감지하는 센서 전극을 구비한 수위 센서 및 이를 이용한 기기의 수위 센싱 시스템에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a water level sensor and a water level sensing system using the water level sensor and, more particularly, to a water level sensor having a sensor electrode for sensing a change in capacitance according to a liquid level, And a water level sensing system using the water level sensing system.

일반적으로 수위 센서는 산업 현장에서 각종 액체의 수위를 측정하기 위하여 사용되고 있다. 산업용으로는 각종 생산 시설에 다수 사용되고 있는 워터 트랩(water trap), 산업용 및 가정용 보일러, 상수도, 수조 등 뿐만 아니라 반도체, PCB 등의 제조 공정에서 화학 약품과 같은 액체를 사용하는 기기에서도 폭 넓게 응용되고 있으며, 세탁기, 식기세척기, 정수기, 가습기, 비데 등 가전제품에도 널리 응용되고 있다.Generally, the water level sensor is used to measure the level of various liquids in an industrial field. Industrial applications include water traps widely used in various production facilities, industrial and domestic boilers, waterworks, water tanks, as well as devices using liquids such as chemicals in the manufacturing process of semiconductors and PCBs And is widely applied to home appliances such as washing machines, dishwashers, water purifiers, humidifiers, and bidets.

이러한 수위 센서는 다양한 방법으로 측정이 가능하며, 강우량 측정, 강물의 높이 측정과 같은 환경 모니터링 등의 분야에서는 센서 네트워크와 결합된 서비스를 위해서 높은 측정 신뢰도, 소형 및 저가인 센서가 요구되고 있다. 또한, 설치가 용이하고 간단한 센서 태그의 필요성이 증대되고 있다.Such a water level sensor can be measured by various methods. In the fields of rainfall measurement and environmental monitoring such as river height measurement, high measurement reliability, small and inexpensive sensors are required for a service combined with a sensor network. In addition, there is an increasing need for a simple and easy-to-install sensor tag.

최근 물을 사용하는 가전제품의 경우 소비전력의 개선과 함께 물 사용량에 대한 규제로, 저전력화, 물 사용량 저감의 노력이 계속되고 있다. 이를 위해서는 수위의 좀더 정확한 제어가 요구되는데, 세탁기를 예를 들면, 지금까지는 기계식 압력 센서에 의해 수위를 측정하였으나, 물 사용량 저감을 위해 정밀한 수위 측정이 가능한 수위 센서를 필요로 하고 있다.Recently, household appliances using water have been trying to reduce power consumption and water consumption by regulating water consumption as well as improving power consumption. For this purpose, a more accurate control of the water level is required. For example, in the washing machine, the water level is measured by a mechanical pressure sensor up to now, but a water level sensor capable of accurate water level measurement is required in order to reduce water consumption.

한편, 종래 수위 센서는 다양한 형태로 상품화되고 있으며, 공기 및 액체의 유전율 차이를 이용하여 액체의 수위를 측정하는 정전용량형 수위 센서, 초음파 발생기 및 센서를 이용한 초음파 수위 센서, 압력 센서를 이용한 수위 변화에 따른 압력 변화를 측정하는 수위 센서 등을 들 수 있다.Conventionally, the water level sensor has been commercialized in various forms. The water level sensor includes a capacitance type water level sensor for measuring the liquid level using the difference between the dielectric constants of air and liquid, an ultrasonic level sensor using the ultrasonic wave generator and a sensor, And a water level sensor for measuring a pressure change according to the pressure.

그 중 정전용량형 수위 센서는 정밀도, 경제성 측면에서 각광받고 있는데, 그 측정원리는 도 1에 나타낸 바와 같다. 즉, 정전용량형 수위 센서(10)는 내부 전극(11) 및 외부 전극(12)의 2중 원통형(도 1(a) 참조)으로 구성되어, 내부 전극(11) 및 외부 전극(12) 사이의 액체(ℓ) 높이(h)에 따라 전극 사이의 정전용량(Ch) 변화를 감지함으로써 수위를 센싱하는 것이다. 이때, 정전용량(Ch)의 변화는 하기 수학식 1로 나타낼 수 있는 정전용량(C)에서, 전극 사이의 공기의 비유전율(εr, 약 '1' 및 액체(l)의 비유전율(εr, 물의 경우 약 '80')의 차이에 의해 정량적으로 감지될 수 있다.Among them, the capacitance type water level sensor has been spotlighted in terms of precision and economy, and its measurement principle is as shown in Fig. That is, the capacitance type water level sensor 10 is constituted by a double cylindrical shape of the internal electrode 11 and the external electrode 12 (see Fig. 1 (a)), and the capacitance between the internal electrode 11 and the external electrode 12 (C h ) between the electrodes according to the height (h) of the liquid (l) of the liquid. At this time, the change of the capacitance C h can be expressed by the capacitance C that can be expressed by the following equation (1), the relative dielectric constant of the air between the electrodes,? R , about 1 and the relative dielectric constant of the liquid epsilon r , and about 80 in water).

Figure 112012012079028-pat00001
Figure 112012012079028-pat00001

(C: 정전용량, ε0: 진공유전율, εr: 비유전율, L: 원통 높이, a: 내부 전극 반지름, b: 외부 전극 반지름)(C: capacitance,? 0 : vacuum permittivity,? R : relative dielectric constant, L: cylinder height, a: internal electrode radius, b: external electrode radius)

또한, 필름 형태 등 판형의 정전용량형 수위 센서(도 1(b) 참조)를 사용할 경우는 하기 수학식 2에 의하여 정전용량을 계산할 수 있다.When a plate type electrostatic capacitive level sensor (see Fig. 1 (b)) such as a film is used, the electrostatic capacity can be calculated by the following equation (2).

Figure 112012012079028-pat00002
Figure 112012012079028-pat00002

(C: 정전용량, ε0: 진공유전율, εr: 비유전율, S: 전극 면적, d: 전극 간격 거리)(C: capacitance,? 0 : vacuum permittivity,? R : relative dielectric constant, S: electrode area,

이러한 정전용량형 수위 센서를 세탁기, 식기세척기 등 액체를 담는 용기가 금속성 재질일 수 있는 기기에 사용하는 경우에는 문제가 있다. 즉, 액체를 담을 수 있는 용기를 구비한 기기의 경우, 사용자가 조작하는데 있어 감전의 위험이 있으므로, 일반적으로 정전용량 측정 대상물이 접지되어 있는 경우가 많다. 그러나, 이 경우 용기에 담긴 액체가 유전체가 아닌 접지로 간주되기 때문에, 공기 및 액체의 비유전율 차이를 이용한 정전용량형 수위 센서는 그 정전용량의 측정 자체가 불가능하게 된다.Such a capacitance type water level sensor is problematic when it is used in a device in which a liquid container such as a washing machine, a dishwasher, etc., may be made of a metallic material. That is, in the case of a device provided with a container capable of containing liquid, there is a risk of electric shock when the user operates it, so that the capacitance measurement object is generally grounded in many cases. However, in this case, since the liquid contained in the container is regarded as a ground instead of a dielectric, the capacitance type water level sensor using the difference in relative dielectric constant of air and liquid can not measure the capacitance itself.

이에, 정전용량형 수위 센서가 정전용량 측정 대상물이 접지된 상태에서도 적용될 수 있으며, 나아가, 접지 상태에 따른 영전위 필드 영향으로 인한 감도 변화 문제를 해결할 수 있는 새로운 구조의 수위 센서 및 이를 이용한 수위 센싱 시스템이 요구되고 있다.Accordingly, the electrostatic capacitance type water level sensor can be applied even when the electrostatic capacitance measuring object is grounded. Further, a water level sensor having a new structure that can solve the sensitivity change problem due to the influence of the electrostatic field due to the ground state, System is required.

따라서 본 발명은 상기 문제를 해결하고자 안출된 것으로, 정전용량형 수위 센서가 정전용량 측정 대상물이 접지된 상태에서도 적용될 수 있고, 측정 신뢰성이 우수한 신규의 수위 센서 및 이를 이용한 수위 센싱 시스템을 제공하고자 한다.SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, the present invention has been made to solve the above problems, and it is an object of the present invention to provide a new water level sensor which can be applied even when the capacitance measurement object is grounded and has excellent measurement reliability and a water level sensing system using the same .

또한, 본 발명은 설치가 용이하고 경제적인 수위 센서 및 이를 이용한 수위 센싱 시스템을 제공하고자 한다.The present invention also provides a water level sensor which is easy to install and economical, and a water level sensing system using the same.

상기 과제를 해결하기 위하여 본 발명은, 일정 길이를 갖는 평판 형상의 쉴드 전극과 상기 쉴드 전극 일면 상에 상기 길이 방향으로 2 이상의 센서 전극이 제1절연층을 개재로 형성되어, 상기 길이 방향의 수위에 따른 정전용량 변화를 감지할 수 있는 수위 센서로서, 상기 쉴드 전극은 일단 폭이 타단 폭보다 작게 형성된 수위 센서를 제공한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a plasma display device including: a flat plate-shaped shield electrode having a predetermined length; and at least two sensor electrodes in the longitudinal direction on a surface of the shield electrode, And the shield electrode is formed to have a width smaller than that of the other end.

또한, 상기 쉴드 전극은 사다리꼴 형상인 것을 특징으로 하는 수위 센서를 제공한다.Further, the shield electrode has a trapezoidal shape.

또한, 상기 쉴드 전극의 타단 폭에 대한 일단 폭의 비율은 상기 길이가 상기 타단 폭의 3.5배일 경우를 기준으로 0.5~0.8인 것을 특징으로 하는 수위 센서를 제공한다.The ratio of the one end width to the other end width of the shield electrode is 0.5 to 0.8 based on the case where the length is 3.5 times the other end width.

또한, 상기 센서 전극은 상기 길이 방향과 직교하는 방향의 적어도 한 쪽 면에는 복수의 돌기과 복수의 홈이 교대로 배열되는 구조로 서로 평행하게 배치되는 제1전극 및 제2전극으로 이루어지되, 상기 제1전극의 돌기가 상기 제2전극의 홈에 대응되고, 상기 제1전극의 홈에 상기 제2전극의 돌기가 대응되어 서로 맞물리는 형태로 일정 간격 이격되어 형성된 것을 특징으로 하는 수위 센서를 제공한다.The sensor electrode may include a first electrode and a second electrode arranged in parallel to each other with a structure in which a plurality of protrusions and a plurality of grooves are alternately arranged on at least one surface in a direction orthogonal to the longitudinal direction, The projections of the first electrode correspond to the grooves of the second electrode and the projections of the second electrode correspond to the grooves of the first electrode so as to be engaged with each other and spaced apart from each other by a predetermined distance .

또한, 상기 제1전극 및 상기 제2전극의 상단부에 배치되어 상기 수위 센서에서 발생된 센싱 신호를 통해 수위를 검출하여 검출신호를 발생하는 신호처리부가 더 형성된 것을 특징으로 하는 수위 센서를 제공한다.The water level sensor further includes a signal processing unit disposed at an upper end of the first electrode and the second electrode and detecting a water level through a sensing signal generated by the water level sensor and generating a detection signal.

또한, 상기 수위 센서는 상기 신호처리부의 검출신호를 외부로 전송하기 위한 안테나 및 상기 신호처리부와 상기 수위 센서에 전원을 공급하기 위한 태양전지 또는 배터리를 구비하는 무선형 구조인 것을 특징으로 하는 수위 센서를 제공한다.The water level sensor is a wireless type structure having an antenna for transmitting a detection signal of the signal processing unit to the outside and a solar cell or a battery for supplying power to the signal processing unit and the water level sensor. Lt; / RTI >

또한, 상기 수위 센서는 상기 신호처리부의 검출신호를 외부로 전달하기 위한 연결선 및 전원 공급을 위한 태양전지 또는 배터리를 구비하는 유선형 구조인 것을 특징으로 하는 수위 센서를 제공한다.Also, the water level sensor is a streamlined structure having a connecting line for transmitting a detection signal of the signal processing unit to the outside, and a solar cell or a battery for supplying electric power.

또한, 상기 쉴드 전극 및 상기 센서 전극 상에 제2절연층 및 상기 쉴드 전극의 타면에 접착층이 더 형성된 것을 특징으로 하는 수위 센서를 제공한다.The sensor further includes a second insulating layer on the shield electrode and the sensor electrode, and an adhesive layer on the other surface of the shield electrode.

상기 다른 과제 해결을 위하여 본 발명은, 액체를 담을 수 있는 용기를 구비한 기기의 수위 센싱 시스템으로, 상기 용기 또는 상기 용기 내부의 액체는 접지되고, 상기 용기의 내부에 잠기는 액체의 최고 수위 직전의 정전용량이 0보다 큰 값을 갖도록 하는 수위 센서를 구비하여, 상기 용기 내부에 잠기는 액체의 수위에 따라 상기 수위 센서의 정전용량 값의 변화를 감지하여 수위를 센싱하되, 상기 정전용량 값의 변화를 선형적으로 감지하도록 상기 수위 센서로, 일정 길이를 갖는 평판 형상의 쉴드 전극과 상기 쉴드 전극 일면 상에 상기 길이 방향으로 2 이상의 센서 전극이 제1절연층을 개재로 형성되어, 상기 길이 방향의 수위에 따른 정전용량 변화를 감지할 수 있고, 상기 쉴드 전극은 일단 폭이 타단 폭보다 작게 형성된 수위 센서를 사용하는 기기의 수위 센싱 시스템을 제공한다.According to another aspect of the present invention, there is provided a water level sensing system for a device having a container capable of containing a liquid, wherein the liquid in the container or the container is grounded, And a controller for sensing a change in the capacitance value of the water level sensor according to the level of the liquid immersed in the container to sense the water level, Wherein the level sensor is configured to linearly sense a sensor electrode having a predetermined length and a sensor electrode having two or more sensor electrodes in the longitudinal direction on a surface of the shield electrode with a first insulating layer interposed therebetween, And the shield electrode may be a device using a water level sensor whose width is smaller than the width of the other end It provides a level sensing system.

본 발명에 따르면, 용기 또는 용기 내부의 액체가 접지된 경우, 용기 내부에 잠기는 액체의 최고 수위 직전의 정전용량이 0보다 큰 값을 갖는 수위 센서를 구비함으로써, 용기에 담긴 액체의 높이에 따라 수위 센서의 정전용량 변화를 감지하여 수위를 센싱할 수 있으며, 쉴드 전극의 상하단 폭을 조절하여 정전용량 값의 변화를 선형적으로 감지하도록 함으로써 측정 신뢰성 및 정밀도가 우수한 정전용량 감소형 수위 센서 및 이를 이용한 기기의 수위 센싱 시스템을 제공할 수 있다.According to the present invention, when the liquid in the container or the container is grounded, since the liquid level sensor having a value larger than 0 in the capacitance immediately before the highest level of the liquid immersed in the container is provided, The sensor of the present invention can sense the level of the sensor by sensing the change in capacitance of the sensor and adjust the width of the upper and lower ends of the electrode to linearly detect the change of the capacitance value. It is possible to provide a device level sensing system.

또한, 수위에 다른 정전용량 값의 변화를 선형적으로 감지하도록 하여 측정 대상 액체의 양을 정밀하게 측정하도록 함으로써 기기에 사용되는 액체의 소모량을 줄여 기기에 소모되는 전력 에너지를 절감하는 효과가 있다.In addition, it is possible to accurately measure the amount of the liquid to be measured by linearly sensing the change in the capacitance value at the water level, thereby reducing the consumption of the liquid used in the apparatus, thereby saving power energy consumed in the apparatus.

또한, 재료비가 낮고, 플라스틱 등의 필름 및 접착필름 등을 사용하여 제조할 수 있어 경제적이고, 구조물에 특별한 기구 설계 없이 간편하게 장착할 수 있어 현장 적용에 용이한 수위 센서 및 이를 이용한 수위 센싱 시스템을 제공할 수 있다.Also, it is economical because it can be manufactured by using film or adhesive film of low plasticity, low cost, and can be easily installed without designing a special mechanism in the structure, thereby providing a water level sensor which is easy to apply in the field and a water level sensing system using the same can do.

도 1은 정전용량형 수위 센서의 측정 원리를 나타낸 설명도,
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 수위 센서를 개략적으로 나타낸 전면도(a), 측면도(b) 및 상면도(c),
도 3은 본 발명에 따른 수위 센서가 적용되는 기기의 수위 센싱 시스템을 설명하는 개략도
도 4는 정전용량 감소형 수위 센서에서의 수위에 따른 정전용량 변화를 설명하기 위한 개략적인 회로도,
도 5는 직사각형 형태로 형성된 쉴드 전극을 사용하여 제조된 수위 센서의 개략적인 전면도(a), 수위에 따른 정전용량 변화(b) 및 감도 변화(c)를 나타낸 그래프,
도 6은 하단 폭이 상단 폭에 비해 과도하게 작은 쉴드 전극을 사용하여 제조된 수위 센서의 개략적인 전면도(a), 수위에 따른 감도 변화(b), 정전용량 변화(c)를 나타낸 그래프,
도 7 내지 도 9는 본 발명에 따른 수위 센서의 일례를 나타낸 배치도,
도 10은 본 발명에 따른 수위 센서를 제조하는 방법을 설명하기 위한 공정 순서를 나타낸 측단면도,
도 11은 실시예 및 비교예에 따라 제조된 수위 센서의 규격을 설명하는 전면도(a) 및 단면도(b),
도 12는 실시예 및 비교예에 따라 제조된 수위 센서의 수위에 따른 정전용량 측정 결과를 나타낸 그래프.
1 is an explanatory view showing a measurement principle of a capacitance type water level sensor,
FIG. 2 is a front view (a), a side view (b), and a top view (c) of a water level sensor according to an embodiment of the present invention,
3 is a schematic view illustrating a water level sensing system of a device to which a water level sensor according to the present invention is applied
FIG. 4 is a schematic circuit diagram for explaining a capacitance change according to a water level in a capacitance-decreasing water level sensor;
5 is a graph showing a schematic front view (a), a capacitance change (b), and a sensitivity change (c) of a water level sensor manufactured using a shield electrode formed in a rectangular shape,
FIG. 6 is a graph showing a schematic front view (a), a sensitivity change (b), and a capacitance change (c) of a water level sensor manufactured using a shield electrode whose lower end width is excessively smaller than the upper end width,
7 to 9 are a layout diagram showing an example of a water level sensor according to the present invention,
10 is a side sectional view showing a process sequence for explaining a method of manufacturing a water level sensor according to the present invention,
11 is a front view (a) and sectional views (b) and (d) illustrating dimensions of a water level sensor manufactured according to the embodiment and the comparative example,
12 is a graph showing capacitance measurement results according to a water level of a water level sensor manufactured according to Examples and Comparative Examples.

이하에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부한 도면을 참고하여 상세하게 설명한다. 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐리게 할 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략하기로 한다. 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위하여 설명과 관계없는 부분은 생략하였고, 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 유사한 도면 부호를 부여하였으며, 특별한 설명이 없는 한 방향은 도면을 기준으로 설명한다. 또한, 명세서 전체에서, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한, 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있음을 의미한다.
Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the following description, the same reference numerals are used throughout the drawings to refer to the same or like parts. In the drawings, the same reference numerals are used to designate the same or similar parts throughout the drawings. Also, throughout the specification, when an element is referred to as "comprising ", it means that it can include other elements, not excluding other elements, unless specifically stated otherwise.

도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 수위 센서를 개략적으로 나타낸 전면도(a), 측면도(b) 및 상면도(c)이다.2 is a front view (a), a side view (b), and a top view (c) schematically showing a water level sensor according to an embodiment of the present invention.

도 2를 참조하면, 본 발명에 따른 수위 센서(100)는 일정 길이(L1)를 갖는 평판 형상의 쉴드 전극(110)과 상기 쉴드 전극(110) 상에 상기 길이(L1) 방향으로 제1전극(121) 및 제2전극(122)이 제1절연층(130)을 개재로 형성되어, 상기 제1전극(121) 및 상기 제2전극(122)이 센서 전극(120)으로 작용하여 상기 길이 방향의 수위에 따른 정전용량 변화를 감지함으로써 수위를 센싱하는 수위 센서(100)로, 본 발명에서 상기 쉴드 전극(110)의 하단 폭(d1)은 상단 폭(d2)보다 작게 형성되어 있다.2, a water level sensor 100 according to the present invention includes a flat electrode-shaped shield electrode 110 having a predetermined length L1, The first electrode 121 and the second electrode 122 are formed with the first insulating layer 130 interposed therebetween so that the first electrode 121 and the second electrode 122 act as the sensor electrode 120, The lower end width d1 of the shield electrode 110 is formed to be smaller than the upper end width d2 of the water level sensor 100 for sensing the water level by sensing a change in capacitance according to the water level in the direction.

본 발명은 기본적으로 상기 센서 전극(120)의 이면측으로의 센싱을 차폐하여 보다 안정적인 정전용량을 측정하도록 하는 쉴드 전극(110)이 상기 제1절연층(130)을 매개로 형성된 경우의 수위 센서(100)에 관련된다. 여기서, 상기 제1절연층(130)은 상기 쉴드 전극(110)과 상기 센서 전극(120) 사이의 절연을 위해 형성된 것으로 PET(polyethylene terephthalate) 또는 PI(polyimide)일 수 있다.The present invention basically comprises a sensor (110) for shielding the sensing of the back surface of the sensor electrode (120) to measure a more stable capacitance, a level sensor 100). The first insulation layer 130 may be formed of PET (polyethylene terephthalate) or PI (polyimide) for insulation between the shield electrode 110 and the sensor electrode 120.

도 3은 본 발명에 따른 수위 센서가 적용되는 기기의 수위 센싱 시스템을 설명하는 개략도이다.3 is a schematic diagram illustrating a water level sensing system of a device to which a water level sensor according to the present invention is applied.

도 3을 참조하면, 본 발명에 따른 수위 센서(100)는 액체(ℓ)를 담을 수 있는 액체 저장 탱크(210)를 구비한 기기의 수위 센싱 시스템(200)에 적용되며, 기기에서의 수위 센싱을 정전용량 차이에 의해 수행되도록 하는 경우에 있어, 사용자의 조작시 감전 위험을 방지하기 위해 액체를 담을 수 있는 저장 탱크(210)를 접지(220)할 때에도 수위에 따른 정전용량 변화를 감지할 수 있도록 하는 것이다. 여기서, 수위 센서(100)는 별도의 신호 처리 없이 정전용량 값으로 출력되도록 하는 형태로 제조되어 사용될 수 있고, 센서 전극(120)으로부터의 신호를 검출하게 되는 신호처리부를 구비하여 전압 값, 주파수 값 등으로 변환시켜 출력되도록 하는 형태로 제조되어 사용될 수 있다.3, the water level sensor 100 according to the present invention is applied to a water level sensing system 200 of a device having a liquid storage tank 210 capable of containing a liquid (l) It is possible to detect a change in capacitance according to the water level even when the storage tank 210 capable of holding the liquid is grounded 220 to prevent the risk of electric shock in the operation of the user . Here, the water level sensor 100 may be manufactured in such a manner that the water level sensor 100 outputs a capacitance value without performing any signal processing. The water level sensor 100 may include a signal processor for detecting a signal from the sensor electrode 120, Or the like, and output the converted signal.

즉, 일반적으로 정전용량형 수위 센서는 전극 사이의 유전체를 공기 및 액체만을 이용하여 그 정전용량 차이로 수위를 감지하게 되나, 본 발명에 따르면, 상기 수위 센서(100)의 정전용량을 충분히 크게, 즉, 저장 탱크(210) 내부에 최고 수위의 액체(ℓ)가 존재하기 직전까지도 0보다 큰 정전용량 값을 갖도록 설계함으로써, 액체(ℓ) 수위가 높아질수록 높아진 수위 만큼 정전용량 값이 감소하게 되어 그 정전용량 값의 변화를 감지함으로써 수위를 검출할 수 있게 된다. 이때, 기기의 저장 탱크(210) 또는 내부의 액체(ℓ)가 접지(220)되어 있지 않은 경우이거나 접지(220)가 미약하게 처리된 경우라면, 액체(ℓ)를 임의로 접지(220)에 연결시키는 전극을 추가함으로써 동일한 원리에 의해 정전용량 변화를 감지할 수 있다.In other words, in general, the capacitance type water level sensor uses the air and the liquid only as the dielectric between the electrodes, and senses the water level by the capacitance difference. According to the present invention, the capacitance of the water level sensor 100 is sufficiently large, That is, the capacitance value is designed to have a capacitance value larger than 0 even before the liquid level (ℓ) of the highest level exists in the storage tank 210, so that the capacitance value decreases as the liquid level increases The water level can be detected by detecting the change of the capacitance value. At this time, if the storage tank 210 of the apparatus or the internal liquid (l) is not grounded 220 or the ground 220 is weakly treated, the liquid (l) is arbitrarily connected to the ground 220 The capacitance change can be sensed by the same principle.

여기서, 상기 수위 센서(100)의 정전용량 값을 미리 충분히 크게 설계하는 것은, 예를 들면 도 3(b)에 도시한 바와 같이, 공기보다 큰 비유전율을 갖는 유전체(230)를 상기 수위 센서(100)를 구성하는 전극(121, 122) 사이에 충진시켜 둠으로써 가능할 수 있고, 상기 전극(121, 122)에 돌기를 형성하여 전극 면적을 크게 하거나, 상기 전극(121, 122) 사이의 간격을 조절함으로써 가능할 수 있다. 그러나, 유전체(230)의 충진 등 인위적인 설계 없이 공기의 비유전율 만을 고려한 설계로도 정전용량 감소형의 수위 센서 기능을 발휘하도록 할 수 있음은 물론이다.In order to design the capacitance value of the level sensor 100 sufficiently large in advance, for example, as shown in FIG. 3 (b), the dielectric 230 having a dielectric constant higher than that of air is connected to the level sensor The electrodes 121 and 122 may be formed by filling protrusions between the electrodes 121 and 122 constituting the electrodes 121 and 122 so as to increase the area of the electrodes 121 and 122, . However, it goes without saying that the electrostatic capacity reduction type water level sensor function can be exhibited even if the design considering only the relative dielectric constant of air without an artificial design such as filling of the dielectric body 230 is performed.

도 4에서는 이러한 정전용량 감소형 수위 센서에서의 수위에 따른 정전용량 변화를 설명하기 위한 개략적인 회로도를 나타내고 있다. 여기서, 도 4(a)는 이해의 편의를 위해 모식적으로 나타내었다.FIG. 4 shows a schematic circuit diagram for explaining a capacitance change according to the water level in the electrostatic capacity reduction type water level sensor. Here, FIG. 4 (a) is schematically shown for the convenience of understanding.

도 4를 참조하면, 상기 설명한 바와 같은 본 발명에 따른 수위 센싱 시스템(200)은 액체(ℓ)가 없는 경우에도 상기 수위 센서(100)는 일정 크기의 정전용량 값을 갖도록 설계되어 있으며, 도 4(b)에 나타낸 바와 같이 복수의 커패시턴스가 병렬로 연결된 회로와 등가로 표현할 수 있게 되며, 총 정전용량은 하기 수학식 3과 같이 나타낼 수 있다.4, in the water level sensing system 200 according to the present invention, the water level sensor 100 is designed to have a capacitance value of a predetermined magnitude even when there is no liquid (l) (b), a plurality of capacitances can be expressed as a circuit connected in parallel, and the total capacitance can be expressed by Equation (3).

Figure 112012012079028-pat00003
Figure 112012012079028-pat00003

0: 진공 유전율, εr: 공기의 비유전율, S1: 센서 전극 면적, S2: 쉴드 전극 면적)0 : vacuum permittivity, ε r : relative dielectric constant of air, S 1: sensor electrode area, S 2: shield electrode area)

이때, 수위의 증가로 액체(ℓ)에 둘러싸인 전극(110, 121, 122)은 접지(220)(도 4(a) 참조) 및 커패시턴스와 결합을 하게 되고, 이 부분의 정전용량은 '0'에 가깝게 되어, 수위가 증가된 부분에 해당하는 높이만큼의 정전용량이 감소함으로써 전체 정전용량이 감소하게 되는 원리를 이용하여, 수위 센싱이 가능하도록 하는 것이다. 따라서, 정전용량형 수위 센서의 경우, 저장 탱크(210) 또는 내부의 액체(ℓ)가 접지(220)됨으로써 정전용량 측정 대상물인 액체(ℓ)가 접지(220)되어 정전용량 측정이 불가한 문제를 극복할 수 있게 된다. 한편, 수위가 상기 수위 센서의 최고 높이까지 이를 경우는 정전용량 값이 '0'에 가깝게 된다.At this time, the electrodes 110, 121, 122 surrounded by the liquid (l) due to the increase of the water level are coupled with the ground 220 (see Fig. 4 (a)) and capacitance, And the capacitance is reduced by the height corresponding to the portion where the water level is increased, thereby making it possible to perform the water level sensing using the principle that the total capacitance is reduced. Therefore, in the case of the capacitance type water level sensor, the liquid (l) as the capacitance measurement object is grounded (220) by the storage tank (210) or the internal liquid (l) Can be overcome. On the other hand, when the water level reaches the maximum height of the water level sensor, the electrostatic capacitance value becomes close to '0'.

이때, 도 5(a)에 도시된 바와 같은 직사각형 형태로 형성된 쉴드 전극(310)을 사용하여 제조된 수위 센서(300)의 경우, 실제 수위 증가에 따른 정전용량 변화를 측정하여 보면 도 5(b)에 도시된 바와 같이, 정전용량이 비선형적으로 감소하는 것을 알 수 있다. 이와 같이 수위 변화에 따른 정전용량 변화를 비선형적으로 감지할 경우 수위 센서로서의 측정 정밀도 및 정확도는 신뢰할 수 없게 된다.In this case, in the case of the water level sensor 300 manufactured using the shield electrode 310 formed in a rectangular shape as shown in FIG. 5 (a), when the capacitance change due to the actual water level increase is measured, , It can be seen that the capacitance decreases non-linearly. In this way, when the capacitance change due to the water level change is detected non-linearly, the measurement accuracy and accuracy as the water level sensor becomes unreliable.

이러한 수위에 따른 정전용량 변화의 비선형적 특성은 수위 센서의 감도(ΔC/ΔL), 즉, 수위 변화량(ΔL)에 대한 정전용량 변화량(ΔC)에 기인한다. 수위 센서의 감도에 영향을 미치는 주요 인자로서 수위 센서와 측정 대상 액체와의 거리, 센서 전극과 쉴드 전극의 면적을 들 수 있는데, 수위 센서와 액체와의 거리가 가까울수록, 센서 전극 대비 쉴드 전극 면적이 넓을수록 수위 센서의 감도는 증가한다. 따라서, 기본적으로 수위 센서의 감도 내지 분해능을 개선시키기 위해 수위 센서와 액체와의 거리가 가깝도록 수위 센서가 부착되는 액체 저장탱크 등 용기의 두께를 얇게 설계할 필요가 있고, 센서 전극 대비 쉴드 전극 면적을 넓게 설계할 필요가 있게 된다. 그러나, 쉴드 전극을 단순히 직사각형 형상으로 적용할 경우 도 5(c)에 도시된 바와 같이, 접지 상태에 따른 영전위 필드 영향으로 수위가 점차 증가함에 따라 상기 감도가 감소하게 되어 결국, 직사각형 형태로 형성된 상기 쉴드 전극으로 인해 수위에 따른 정전용량이 비선형적으로 변하게 된다.The nonlinear characteristic of the capacitance change according to the water level is caused by the sensitivity (? C /? L) of the water level sensor, that is, the capacitance change? C with respect to the water level variation? L. The main factors affecting the sensitivity of the water level sensor are the distance between the water level sensor and the liquid to be measured, and the area of the sensor electrode and the shield electrode. The closer the distance between the water level sensor and the liquid is, The sensitivity of the water level sensor increases. Therefore, in order to improve the sensitivity or resolution of the water level sensor, it is necessary to design the thickness of the container such as the liquid storage tank to which the water level sensor is attached so that the distance between the water level sensor and the liquid is close, It is necessary to design a wide range. However, when the shield electrode is simply applied to a rectangular shape, as shown in FIG. 5 (c), the sensitivity decreases as the water level gradually increases due to the influence of the electrified field depending on the ground state. As a result, The capacitance due to the water level changes non-linearly due to the shield electrode.

본 발명자들은 이러한 정전용량 감소형 수위 센서에서 수위에 따른 감도 변화 특성에 착안하여 상기 쉴드 전극의 형상 변형을 통해 수위에 따른 감도를 일정하게 유지하도록 하여 수위에 따른 정전용량 변화를 선형적으로 감지할 수 있는 수위 센서를 개발하게 되었다.The present inventors paid attention to the sensitivity change characteristic depending on the water level in such a capacitance reduction type water level sensor and linearly sensed the capacitance variation according to the water level by keeping the sensitivity according to the water level constant through the shape modification of the shield electrode The water level sensor was developed.

따라서, 본 발명에서는 상기 쉴드 전극(110)의 형상을 수위 증가 방향을 기준으로 할 때, 하단 폭(d1)을 상단 폭(d2)보다 작게 형성하여, 수위에 따른 정전용량이 선형에 가깝게 변화되도록 한다. 이때, 상기 쉴드 전극(110)은 상단(111), 하단(112) 및 측단(113)이 직선형으로 형성, 즉, 사다리꼴 형상일 수 있으나, 이에 한정하지 않고, 상단(111) 및 하단(112)이 실질적으로 직선형으로 형성되어 수위에 따른 정전용량 변화를 선형적으로 감지하도록 하는 경우라면 그 형상은 다소 변형될 수도 있다.Accordingly, in the present invention, when the shape of the shield electrode 110 is set to be the direction of increasing the water level, the lower end width d1 is made smaller than the upper end width d2 so that the capacitance according to the water level is changed to be linear do. The shield electrode 110 may have an upper end 111 and a lower end 112 and a lower end 112 and a lower end 112. The shield electrode 110 may be formed in a straight line shape such as a trapezoidal shape, May be formed in a substantially linear shape so that the shape thereof may be somewhat deformed in the case of linearly sensing the change in capacitance according to the water level.

여기서, 도 6(a)에 도시된 바와 같이, 하단 폭(d3)이 상단 폭(d4)에 비해 과도하게 작게 형성된 쉴드 전극(410)을 사용하여 제조된 수위 센서(400)의 경우에는 도 6(b)에 도시된 바와 같이, 오히려 수위 증가에 따라 감도가 증가하여 도 6(c)에 도시된 바와 같이, 수위에 따른 정전용량이 비선형적으로 변할 수 있다. 따라서, 본 발명에서 상기 쉴드 전극(110)의 상단 폭(d2)에 대한 하단 폭(d1)의 비율(d1/d2)은 쉴드 전극 길이(L1)가 상단 폭(d2)의 3.5배일 경우를 기준으로 0.5~0.8인 것이 바람직하고, 0.6~0.7인 것이 더욱 바람직하며, 0.62~0.68인 것이 가장 바람직하다.6 (a), in the case of the water level sensor 400 manufactured using the shield electrode 410 whose lower end width d3 is excessively smaller than the upper end width d4, as shown in FIG. 6 as shown in FIG. 6 (b), the sensitivity increases with an increase in the water level, so that the capacitance according to the water level can be non-linearly changed as shown in FIG. 6 (c). Therefore, in the present invention, the ratio d1 / d2 of the lower end width d1 to the upper end width d2 of the shield electrode 110 is set to a ratio of the shield electrode length L1 to the upper end width d2 Is preferably 0.5 to 0.8, more preferably 0.6 to 0.7, most preferably 0.62 to 0.68.

도 7 내지 도 9는 본 발명에 따른 수위 센서의 일례를 나타낸 배치도이다. 도 7 내지 도 9는 수위 센서(100)의 전극(121, 122), 신호처리부(140), 태양전지(160)의 위치나 배치구조를 설명하기 위하여 편의상 도시한 것으로서, 완성된 수위 센서(100)의 전체 구조를 나타낸 것은 아니며, 완성된 구조에서 제2절연층을 도시하지 않고 나타낸 것이다.7 to 9 are arrangement views showing an example of a water level sensor according to the present invention. 7 to 9 are provided for the purpose of illustrating the positions and arrangement of the electrodes 121 and 122, the signal processing unit 140 and the solar cell 160 of the water level sensor 100. The completed water level sensor 100 ) And does not show the second insulating layer in the completed structure.

도 7에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일실시예에 따른 수위 센서(100)는, 쉴드 전극(110), 상기 쉴드 전극(110) 상에 형성된 제1절연층(130), 상기 제1절연층(130) 상에 형성되어 센서 전극(120)을 구성하는 제1전극(121)과 제2전극(122), 신호처리부(140), 안테나(150) 및 태양전지(160)를 구비할 수 있다. 추가적으로 배터리(170)가 배치될 수도 있다.7, the water level sensor 100 according to an embodiment of the present invention includes a shield electrode 110, a first insulation layer 130 formed on the shield electrode 110, A signal processing unit 140, an antenna 150, and a solar cell 160 may be formed on the first electrode 121 and the second electrode 122, which form the sensor electrode 120, have. In addition, a battery 170 may be disposed.

상기 제1전극(121) 및 제2전극(122)은 상기 쉴드 전극(110)의 길이 방향으로 일정한 길이(L2)를 갖고, 길이 방향과 직교하는 방향의 적어도 한 쪽 면에는 복수의 돌기와 복수의 홈이 교대로 배열되는 구조로 서로 평행하게 배치될 수 있다. 즉, 상기 제1전극(121)의 돌기가 상기 제2전극(122)의 홈에 대응되고, 상기 제1전극(121)의 홈에 상기 제2전극(122)의 돌기가 대응되어 서로 맞물리는 형태로 일정간격 이격되어 상기 제1전극(121) 및 상기 제2전극(122)이 배치될 수 있다.The first electrode 121 and the second electrode 122 may have a predetermined length L2 in the longitudinal direction of the shield electrode 110 and may have a plurality of protrusions and a plurality of protrusions Grooves can be arranged in parallel with each other in a structure in which the grooves are alternately arranged. That is, the protrusion of the first electrode 121 corresponds to the groove of the second electrode 122, the protrusion of the second electrode 122 corresponds to the groove of the first electrode 121, The first electrode 121 and the second electrode 122 may be spaced apart from each other by a predetermined distance.

일례를 들면, 상기 제1전극(121) 및 상기 제2전극(122)은 상기 직교 방향으로 돌출된 형태를 갖는 4각형(또는 다각형)의 복수개의 톱니(돌기)들이 일정 간격으로 배치된 형태로, 상기 길이 방향으로 일정 거리를 유지하여 배치될 수 있으며, 상기 제2전극(122)의 톱니들과 상기 제1전극(121)의 톱니들이 서로 맞물리는 형태로 배치될 수 있고, 상기 제1전극(121) 및 상기 제2전극(122)이 일정 간격 이격되도록 배치될 수 있다.For example, the first electrode 121 and the second electrode 122 may be formed in a shape in which a plurality of teeth (protrusions) of a quadrangular (or polygonal) shape protruding in the orthogonal direction are arranged at regular intervals The first electrode 121 and the second electrode 122 may be arranged such that the teeth of the second electrode 122 and the teeth of the first electrode 121 are engaged with each other, The first electrode 121 and the second electrode 122 may be spaced apart from each other by a predetermined distance.

또한, 상기 제1전극(121) 및 상기 제2전극(122)의 상단이 전극 패턴을 통하여 상기 신호처리부(140)에 전기적으로 연결되게 된다. 상기 신호처리부(140)는 상기 제1전극(121) 및 상기 제2전극(122)의 상단부에 배치되어, 상기 센서 전극(120)을 구성하는 상기 제1전극(121) 및 상기 제2전극(122)에서 발생된 센싱 신호를 통해 수위를 검출하여 검출신호를 발생하게 된다.Also, the upper ends of the first electrode 121 and the second electrode 122 are electrically connected to the signal processing unit 140 through the electrode pattern. The signal processing unit 140 is disposed at an upper end portion of the first electrode 121 and the second electrode 122 to detect the position of the first electrode 121 and the second electrode 122 constituting the sensor electrode 120, 122 to detect a water level and generate a detection signal.

상기 신호처리부(140)의 배치구조는 도 8에서와 같이 일자형으로 배치될 수 있고, 원형 배치구조를 가질 수도 있으며, 'ㄱ'자 또는 'ㄴ'자 등 다양한 배치구조를 가질 수 있다. 이는 상기 신호처리부(140)를 구성하는 칩이나 소자들의 형태나 크기 또는 배치구조에 따라 다양하게 구성될 수 있는 것이다.The arrangement structure of the signal processing unit 140 may be linearly arranged as shown in FIG. 8, may have a circular arrangement structure, and may have various arrangement structures such as 'A' or 'B' character. And may be variously configured according to the shape, size, or arrangement structure of the chips or elements constituting the signal processing unit 140. [

또한, 상기 신호처리부(140)의 상단부에 안테나(150)가 배치될 수 있고, 상기 안테나(150)의 측면에 배터리(170)가 배치될 수 있으며, 상기 안테나(150) 및 상기 배터리(170)의 상단부에 태양전지(160)가 배치될 수 있다.An antenna 150 may be disposed at an upper end of the signal processing unit 140 and a battery 170 may be disposed at a side of the antenna 150. The antenna 150 and the battery 170 may be connected to each other, The solar cell 160 may be disposed at an upper end portion of the solar cell 160.

상기 안테나(150)는 상기 신호처리부(140), 상기 제1전극(121) 및 상기 제2전극(122)에 일반적인 RF 태그와 같이 전원을 공급하거나, 상기 신호처리부(140)의 검출신호를 외부로 전송하기 위한 것이다. 상기 안테나(150)의 형태는 도 7에서와 같이, 속이 빈 정사각형 형태를 가질 수도 있고, 직사각형, 원형, 직선형 등 다양한 형태로 배치될 수도 있다.The antenna 150 supplies power to the signal processing unit 140, the first electrode 121 and the second electrode 122 as well as a general RF tag or outputs a detection signal of the signal processing unit 140 to the outside . The shape of the antenna 150 may have a hollow square shape as shown in FIG. 7, or may be arranged in various shapes such as a rectangle, a circle, and a straight line.

한편, 도 7에서는 태양전지(160)가 구비되는 경우의 수위 센서(100)를 나타내고 있으나, 본 발명에 따른 수위 센서(100)는 태양전지(160)를 구비하지 않는 무선형(wireless type) 또는 유선형(wire type)으로 제조될 수 있다.7 shows a water level sensor 100 when the solar cell 160 is provided. However, the water level sensor 100 according to the present invention may be a wireless type having no solar cell 160 And can be manufactured in a wire type.

태양전지(160)를 구비하는 무선형의 경우는 도 7에서 설명한 바 있고, 태양전지(160)를 구비하지 않는 무선형 수위 센서(100)의 경우에는 도 8에 도시된 바와 같이, 상기 센서 전극을 구성하는 제1전극(121) 및 제2전극(122), 신호처리부(140), 통신을 위한 안테나(150) 및 배터리(170)를 구비할 수 있으며, 배치구조는 도 7에서 설명한 바와 동일 또는 유사하다.In the case of the wireless type water level sensor 100 that does not include the solar cell 160, as shown in FIG. 8, A signal processing unit 140, an antenna 150 for communication, and a battery 170. The configuration of the first electrode 121 and the second electrode 122 may be the same as those described with reference to FIG. Or similar.

또한, 다른 예로 태양전지(160)를 구비하지 않는 무선형 수위 센서(100)의 경우, 배터리(170)를 구비하지 않는 수동형(passive type) 수위 센서(100)일 수 있다.As another example, the wireless type water level sensor 100 having no solar cell 160 may be a passive type water level sensor 100 that does not include the battery 170.

또한, 태양전지(160)를 구비하지 않는 유선형 수위 센서의 경우(100)에는, 도 9에 도시된 바와 같이, 상기 센서 전극(120)을 구성하는 제1전극(121)과 제2전극(122) 및 신호처리부(140)를 구비할 수 있으며, 상기 신호처리부(140)의 신호를 외부로 전송하거나 전원 공급을 위한 연결선(180)들을 구비할 수 있다.9, the first electrode 121 and the second electrode 122 constituting the sensor electrode 120 are connected to each other in the case 100 of a streamline water level sensor having no solar cell 160, And a signal processing unit 140. The signal processing unit 140 may include a connection line 180 for transmitting a signal to the outside or supplying power to the signal processing unit 140. [

한편, 도 2를 참조하면, 상기 수위 센서(100)는 상기 쉴드 전극(110) 및 상기 센서 전극(120) 상에 제2절연층(191) 및 상기 쉴드 전극(110)의 타면에 접착층(192)이 더 형성될 수 있다. 상기 제2절연층(191)은 상기 쉴드 전극(110), 제1전극(121) 및 제2전극(122)의 액체(ℓ)와의 절연을 위해 코팅되는 것으로 PET(polyethylene terephthalate) 또는 PI(polyimide)일 수 있다. 또한, 상기 접착층(192)은 양면접착제 형태로 접착물질막을 형성하여 상기 쉴드 전극(110)의 타면에 접착되어 상기 수위 센서(100)를 측정하고자 하는 저장 탱크 등에 상기 길이 방향으로 접착 또는 고정시키도록 할 수 있다.2, the level sensor 100 includes a second insulating layer 191 on the shield electrode 110 and the sensor electrode 120 and an adhesive layer 192 on the other surface of the shield electrode 110. [ ) Can be further formed. The second insulating layer 191 is coated for insulation with the liquid (l) of the shield electrode 110, the first electrode 121 and the second electrode 122 and is made of polyethylene terephthalate (PET) or polyimide ). In addition, the adhesive layer 192 may be adhered to the other surface of the shield electrode 110 by forming an adhesive material film in the form of a double-sided adhesive so as to adhere or fix the water level sensor 100 to the storage tank to be measured, can do.

이상 설명한 본 발명에 따른 수위 센서는 일반적으로 알려진 방법을 조합하여 간단히 제조할 수 있다.The above-described water level sensor according to the present invention can be manufactured simply by combining known methods.

도 10은 본 발명에 따른 수위 센서를 제조하는 방법을 설명하기 위한 공정 순서를 나타낸 측단면도이다.10 is a side sectional view showing a process sequence for explaining a method of manufacturing the water level sensor according to the present invention.

먼저 도 10(a)를 참조하면, 쉴드 전극(110)을 형성하는 사다리꼴 형상의 제1도전필름(510)을 준비하고, 상기 제1도전필름(510) 상면에 제1절연필름(530)을 라미네이팅(laminating) 공정을 이용하여 접착하고, 상기 제1절연필름(530) 상면에 제2도전필름(520)을 라미네이팅 공정을 이용하여 접착한다. 이때, 상기 제1절연필름(530)은 PET(Polyethylene Terephthalate) 필름일 수 있다. 또한, 상기 제1도전필름(510) 및 제2도전필름(520)은 구리 필름(copper film)이 주로 사용될 수 있으나, 이에 한정되지 않고, 황동, 청동 등 구리 성분이 일부 재질로 함유된 구리 합금(alloy) 필름이 사용될 수도 있으며, 니켈, 금, 은 등의 다른 도전성 재질의 필름이 사용될 수도 있다.10A, a first conductive film 510 having a trapezoidal shape to form the shield electrode 110 is prepared and a first insulating film 530 is formed on the top surface of the first conductive film 510 And the second conductive film 520 is bonded to the upper surface of the first insulating film 530 using a laminating process. At this time, the first insulating film 530 may be a PET (polyethylene terephthalate) film. The first conductive film 510 and the second conductive film 520 may be formed of a copper film, but the present invention is not limited thereto. For example, copper alloy such as brass, bronze, an alloy film may be used, or a film of another conductive material such as nickel, gold, or silver may be used.

상기 라미네이팅 공정은, 미리 예열된 100~120℃의 온도에서 라미네이팅 기계로 롤링 코팅(rolling coating)시키는 방식일 수 있다.The laminating process may be a rolling coating method using a laminating machine at a preheated temperature of 100 to 120 ° C.

다음으로 도 10(b)를 참조하면, 상기 제2도전필름(520) 상면에 정해진 패턴에 따라 노광, 현상 및 에칭 공정을 통해, 제1전극(121) 및 제2전극(122)을 포함하는 센서 전극 패턴(120) 및 회로 결선을 위한 PCB 패턴(123)을 일괄 공정으로 형성할 수 있다. 여기서, 상기 센서 전극 패턴(120) 및 상기 PCB 패턴(123)과 함께 안테나 패턴(150)도 일괄 공정으로 형성할 수 있다. 상기 안테나 패턴(150)은 필요할 경우에만 형성할 수 있다. 이하에서는 안테나 패턴(150)이 함께 형성되는 경우를 가정하여 설명한다. 또 다른 예에 따르면, 상기 센서 전극 패턴(120), 상기 PCB 패턴(123) 및 상기 안테나 패턴(150)은 스크린 프린팅, 증착 또는 스퍼터링 공정으로 제조 가능한 금속 또는 도전박막으로도 형성될 수 있다. 또한, 증착 또는 스퍼터링 공정을 이용하여 금, 은, 백금, 구리, 니켈 등을 코팅한 후 에칭하는 방법으로 형성될 수 있으며, 스크린 프린팅 방법으로 카본 또는 은을 재질로 하여 형성될 수도 있다.Next, referring to FIG. 10 (b), a first electrode 121 and a second electrode 122 are formed on the upper surface of the second conductive film 520 through exposure, development, and etching according to a predetermined pattern. The sensor electrode pattern 120 and the PCB pattern 123 for circuit connection can be formed in a batch process. The antenna pattern 150 may be formed in a batch process together with the sensor electrode pattern 120 and the PCB pattern 123. The antenna pattern 150 may be formed only when necessary. Hereinafter, it is assumed that the antenna pattern 150 is formed together. According to another example, the sensor electrode pattern 120, the PCB pattern 123, and the antenna pattern 150 may be formed of a metal or a conductive thin film that can be manufactured by a screen printing, a deposition, or a sputtering process. Alternatively, it may be formed by coating gold, silver, platinum, copper, nickel, or the like using a deposition or sputtering process, and then etching. Alternatively, carbon or silver may be formed by screen printing.

다음으로 도 10(c)를 참조하면, 상기 센서 전극 패턴(120)이 형성된 부분에만 제2절연필름(191)을 라미네이팅 공정을 이용하여 접착하거나, 방수 기능이 있는 플라스틱 필름으로 코팅한다. 상기 제2절연필름(191)은 상기 센서 전극 패턴(120)을 액체(ℓ)로부터 절연 보호하고, 손상을 방지하기 위한 것으로, PET 필름을 재질로 형성될 수 있다.Next, referring to FIG. 10 (c), the second insulating film 191 is bonded to only the portion where the sensor electrode pattern 120 is formed using a laminating process, or is coated with a plastic film having a waterproof function. The second insulation film 191 protects the sensor electrode pattern 120 from the liquid (l) to prevent damage, and may be formed of a PET film.

다음으로 도 10(d)를 참조하면, 상기 제1도전필름(510)의 하면에 라미네이팅 공정, 코팅 공정 또는 접착 공정으로 양면접착제 형태로 접착층(192)을 형성한다. 상기 접착층(192)은 접착 테이프 역할을 하기 위한 것으로, 완성된 수위 센서(100)를 특정 부위에 접착시키거나 고정하도록 할 수 있다.10 (d), an adhesive layer 192 is formed on the lower surface of the first conductive film 510 in the form of a double-sided adhesive by a laminating process, a coating process, or an adhering process. The adhesive layer 192 serves as an adhesive tape, so that the completed water level sensor 100 can be adhered or fixed to a specific site.

다음으로 10(e)를 참조하면, 상기 PCB 패턴(123) 상에 신호처리를 위한 적어도 하나의 SMD(Surface Mount Dvices)형 신호처리 소자를 납땜하거나 신호처리용 전용칩을 본딩하여 신호처리부(140)를 형성하게 된다. 상기 SMD형 신호처리 소자란, 인쇄기판의 표면에 실장하는 전자 부품들 중에서 신호처리를 위해 사용되는 소자를 총칭하며, 표면실장 기술(SMT)을 이용하여 인쇄기판의 한 면 또는 양면에 실장되는 소자들을 포함할 수 있다.Next, referring to FIG. 10 (e), at least one SMD (Surface Mount Dvices) type signal processing device for signal processing is soldered on the PCB pattern 123 or a signal chip for signal processing is bonded to the signal processing part 140 ). The SMD type signal processing element is a general term for elements used for signal processing among electronic components mounted on the surface of a printed board and refers to elements mounted on one or both sides of the printed board by using surface mounting technology (SMT) Lt; / RTI >

다음으로 10(f)를 참조하면, 상기 신호처리부(140)를 외부 영향으로부터 보호하기 위하여 몰딩한다. 상기 몰딩을 위한 물질은 에폭시 등이 사용될 수 있다. 여기서, 몰딩 부분(193)은 상기 신호처리부(140) 뿐 아니라 상기 PCB 패턴 부분(123)도 포함할 수 있다.
Next, referring to FIG. 10 (f), the signal processing unit 140 is molded to protect it from external influences. The material for the molding may be epoxy or the like. The molding portion 193 may include the PCB pattern portion 123 as well as the signal processing portion 140.

실시예Example  And 비교예Comparative Example

전술한 수위 센서 제조방법에 기초하여 하기 표 1에 나타낸 규격(㎜)으로 수위 센서를 제조하였다. 여기서, L1은 쉴드 전극 길이, L2는 전극 센서 길이, d1은 쉴드 전극의 하단 폭, d2는 쉴드 전극의 상단 폭, d5는 센서 전극 폭, d6는 센서 전극 간격, h1은 접착층 두께, h2는 쉴드 전극 두께, h3는 제1절연층 두께, h4는 센서 전극 두께, h5는 제2절연층 두께를 나타낸다(도 11 참조). 쉴드 전극 및 센서 전극을 구성하는 재질로서 구리 필름을 사용하였고, 절연층을 구성하는 재질로서 PET를 사용하였다.Based on the above-described water level sensor manufacturing method, a water level sensor was manufactured by the standard (mm) shown in Table 1 below. D1 is the upper end width of the shield electrode, d5 is the sensor electrode width, d6 is the sensor electrode interval, h1 is the thickness of the adhesive layer, h2 is the thickness of the shield electrode, H3 is the thickness of the first insulating layer, h4 is the thickness of the sensor electrode, and h5 is the thickness of the second insulating layer (see Fig. 11). A copper film was used as the material of the shield electrode and the sensor electrode, and PET was used as the material of the insulating layer.

Figure 112012012079028-pat00004
Figure 112012012079028-pat00004

실험예Experimental Example

상기 실시예 및 비교예에 따른 수위 센서를 용액 저장 탱크(폴리카보네이트 재질, 두께 1㎜) 내부에 부착하고 센서 전극의 0~100㎜ 부분에 대하여 수위를 1㎜씩 증가시키면서 감지된 정전용량을 측정하였고 그 결과를 도 12에 나타내었다.The water level sensor according to the above Examples and Comparative Examples was attached to the inside of a solution storage tank (polycarbonate material, thickness: 1 mm), and the sensed capacitance was measured while increasing the water level by 1 mm relative to the sensor electrode And the results are shown in FIG.

도 12를 참조하면, 쉴드 전극이 직사각형 형태로 형성된 비교예 1의 경우(c)와 쉴드 전극 하단 폭이 과도하게 작게 형성된 비교예 2의 경우(d)에는 수위에 따른 정전용량 값을 비선형적으로 감지하고 있으나, 실시예(b)와 같이 쉴드 전극 하단 폭이 적정 수준으로 작게 형성된 경우 수위에 따른 정전용량 값을 거의 선형적으로 감지하고 있음을 확인할 수 있다. 도 12(a)는 실시예 및 비교예에 따른 측정 결과를 함께 나타내고 있으며, 각 수위에서 정전용량 값이 다르게 나타난 것은 쉴드 전극 면적이 다르기 때문으로 볼 수 있다.
Referring to FIG. 12, in the case (c) of Comparative Example 1 in which the shield electrode is formed in a rectangular shape and the case (d) of Comparative Example 2 in which the bottom end width of the shield electrode is excessively small, the capacitance value according to the water level is non- However, when the bottom electrode width of the shield electrode is small as in the embodiment (b), it can be confirmed that the capacitance value according to the water level is detected almost linearly. Fig. 12 (a) shows the measurement results according to the examples and the comparative examples, and it can be seen that the capacitance values at the respective water levels are different from each other because the shield electrode area is different.

이상으로 본 발명의 바람직한 실시예를 도면을 참고하여 상세하게 설명하였다. 본 발명의 설명은 예시를 위한 것이며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 쉽게 변형이 가능하다는 것을 이해할 수 있을 것이다. The preferred embodiments of the present invention have been described in detail with reference to the drawings. It will be understood by those of ordinary skill in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the present invention as defined by the appended claims.

따라서, 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미, 범위 및 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.Accordingly, the scope of the present invention is defined by the appended claims rather than the foregoing detailed description, and all changes or modifications derived from the meaning, range, and equivalence of the claims are included in the scope of the present invention Should be interpreted.

100: 수위 센서 110: 쉴드 전극
120: 센서 전극 121: 제1전극
122: 제2전극 130: 제1절연층
140: 신호처리부 150: 안테나
160: 태양전지 170: 배터리
180: 연결선 191: 제2절연층
192: 접착층 200: 수위 센싱 시스템
210: 저장 탱크 220: 접지
510: 제1도전필름 520: 제2도전필름
530: 제1절연필름 591: 제2절연필름
L1: 쉴드 전극 길이 d1: 쉴드 전극 하단 폭
d2: 쉴드 전극 상단 폭 ℓ: 액체
100: Water level sensor 110: Shield electrode
120: sensor electrode 121: first electrode
122: second electrode 130: first insulating layer
140: signal processor 150: antenna
160: Solar cell 170: Battery
180: connecting line 191: second insulating layer
192: adhesive layer 200: water level sensing system
210: storage tank 220: ground
510: first conductive film 520: second conductive film
530: first insulating film 591: second insulating film
L1: Shield electrode length d1: Shield electrode bottom width
d2: Shield electrode top width ℓ: Liquid

Claims (9)

삭제delete 삭제delete 삭제delete 일정 길이를 갖는 평판 형상의 쉴드 전극과 상기 쉴드 전극 일면 상에 상기 길이 방향으로 2 이상의 센서 전극이 제1절연층을 개재로 형성되어, 상기 길이 방향의 수위에 따른 정전용량 변화를 감지할 수 있는 수위 센서로서,
상기 쉴드 전극은 수위에 따른 센서의 감도를 일정하게 유지하여 수위에 따른 정전용량의 변화를 선형적으로 감지할 수 있도록 수위 증가 방향을 기준으로 하단 폭이 상단 폭보다 작게 형성되고,
상기 센서 전극은 상기 길이 방향과 직교하는 방향의 적어도 한 쪽 면에는 복수의 돌기과 복수의 홈이 교대로 배열되는 구조로 서로 평행하게 배치되는 제1전극 및 제2전극으로 이루어지되, 상기 제1전극의 돌기가 상기 제2전극의 홈에 대응되고, 상기 제1전극의 홈에 상기 제2전극의 돌기가 대응되어 서로 맞물리는 형태로 일정 간격 이격되어 형성된 것을 특징으로 하는 수위 센서.
A shield electrode having a predetermined length and at least two sensor electrodes in the longitudinal direction are formed on one surface of the shield electrode with a first insulating layer interposed therebetween, As a water level sensor,
The shield electrode is formed to have a lower end width smaller than an upper end width based on an increase direction of the water level so as to linearly detect a change in capacitance according to a water level while maintaining sensitivity of the sensor according to a water level,
Wherein the sensor electrode comprises a first electrode and a second electrode arranged in parallel to each other with a structure in which a plurality of protrusions and a plurality of grooves are alternately arranged on at least one surface in a direction orthogonal to the longitudinal direction, Wherein protrusions of the second electrode correspond to the grooves of the second electrode, and protrusions of the second electrode correspond to the grooves of the first electrode and are mutually engaged with each other at a predetermined interval.
제4항에 있어서,
상기 제1전극 및 상기 제2전극의 상단부에 배치되어 상기 수위 센서에서 발생된 센싱 신호를 통해 수위를 검출하여 검출신호를 발생하는 신호처리부가 더 형성된 것을 특징으로 하는 수위 센서.
5. The method of claim 4,
And a signal processing unit disposed at an upper end of the first electrode and the second electrode for detecting a water level through a sensing signal generated by the water level sensor and generating a detection signal.
제5항에 있어서,
상기 수위 센서는 상기 신호처리부의 검출신호를 외부로 전송하기 위한 안테나 및 상기 신호처리부와 상기 수위 센서에 전원을 공급하기 위한 태양전지 또는 배터리를 구비하는 무선형 구조인 것을 특징으로 하는 수위 센서.
6. The method of claim 5,
Wherein the water level sensor is a wireless type structure including an antenna for transmitting a detection signal of the signal processing unit to the outside and a solar cell or a battery for supplying power to the signal processing unit and the water level sensor.
삭제delete 삭제delete 액체를 담을 수 있는 용기를 구비한 기기의 수위 센싱 시스템으로, 상기 용기 또는 상기 용기 내부의 액체는 접지되고, 상기 용기의 내부에 잠기는 액체의 최고 수위 직전의 정전용량이 0보다 큰 값을 갖도록 하는 수위 센서를 구비하여, 상기 용기 내부에 잠기는 액체의 수위에 따라 상기 수위 센서의 정전용량 값의 변화를 감지하여 수위를 센싱하되, 상기 정전용량 값의 변화를 선형적으로 감지하도록 상기 수위 센서로 제4항 내지 제6항 중 어느 한 항의 수위 센서를 사용하는 기기의 수위 센싱 시스템.


A liquid level sensing system for a device having a container capable of containing liquid, wherein the liquid in the container or the container is grounded, and the capacitance just before the highest level of liquid immersed in the container has a value greater than zero A water level sensor for detecting a change in the capacitance value of the water level sensor according to the level of the liquid immersed in the inside of the container to sense the water level and linearly detecting a change in the capacitance value, A water level sensing system for a device using the water level sensor according to any one of claims 4 to 6.


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Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2006214997A (en) 2005-02-07 2006-08-17 Ki Shosai Vehicular capacitive sensor
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Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006214997A (en) 2005-02-07 2006-08-17 Ki Shosai Vehicular capacitive sensor
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