KR101565509B1 - 방향성 전기강판 및 그 제조방법 - Google Patents

방향성 전기강판 및 그 제조방법 Download PDF

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Abstract

본 발명에 의한 방향성 전기강판은 강판 표면에 그루브가 형성되며, 상기 그루브에 Si 층이 증착된 방향성 전기강판이다.
상기 전기강판은 그루브의 하부에서 재결정이 형성 되지 않을 것 일 수 있다. 또한 상기 전기강판의 그루브의 깊이는 강판의 두께의 5%~10%의 깊이일 수 있다.

Description

방향성 전기강판 및 그 제조방법{GRAIN-ORIENTED ELECTRICAL STEEL SHEET AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME}
본 발명은 전기강판에 관한 것으로, 보다 상세하게는 강판의 자구를 미세화시킴으로써 응력 완화 소둔 전, 후에도 철손 개선효과를 유지하는 방향성 전기강판에 관한 것이다.
일반적으로 자구미세화 방법은 응력제거 소둔 후에 자구미세화 개선 효과 유지 유무에 따라 일시 자구미세화와 영구 자구미세화로 대별할 수 있다.
이 중에서 일시 자구미세화 방법은 열에너지나 기계적 에너지로 표면에 국부적인 압축응력을 인가함으로써 발생한 자기탄성에너지를 최소화하기 위해 90° 도메인(Domain)을 형성함으로써 자구를 미세화 시키는 도메인 미세화 기술이다.
그리고 응력제거를 위한 열처리 후에도 철손개선 효과를 유지할 수 있는 영구자구미세화 방법은 에칭법, 롤법 및 레이저법으로 대별할 수 있는데, 상기 레이저법 중 특히 펄스 레이저에 의한 영구자구미세화 방법은 레이저 조사시 조사부 물질의 증발(Vaporization)로 강판 표면에 그루브를 형성시킴으로써 방향성 전기강판의 열처리 후 철손 개선율을 확보한 것이다.
그러나 펄스 레이저에 의한 자구미세화 방법은 증발에 의해 그루브를 형성시키기 때문에 용융부가 형성되지 않아 열처리(응력제거열처리,SRA) 전 철손 개선율을 확보하기 어렵고, 고속의 강판 이송속도(0.5 m/s 이상)에서 깊은 그루브를 형성하기 곤란하여 필요로 하는 철손개선 효과를 나타내지 못하는 문제가 있었다.
종래 기술에 의하여 레이저에 의하여 그루브를 형성 할 경우 레이저에 의한 열영향으로 인하여 도4 의 a와 같이 그루브(20)의 하부에서 재결정(100)이 일어나거나 도4 의 b와 같이 그루브의 하부에서 그루브(20)를 따라 결정립계(101)가 형성되어 자속밀도의 열화를 일으키는 문제점이 발생한다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 고속 레이저 빔 조사 조건에서도 전기강판 표면에 균일한 그루브를 형성하고 Si층의 형성에 의하여 철손개선이 우수한 방향성 전기강판 및 그의 제조방법에 관한 것이다.
본 발명의 일 실시예에 의한 방향성 전기강판은, 표면에 그루브가 형성되며, 상기 그루브의 상부에 Si 층이 형성된 방향성 전기강판이다.
상기 전기강판은 그루브의 하부에서 재결정이 형성 되지 않은 것 일 수 있다.
상기 전기강판은 그루브의 하부에서 그루브를 따라 결정립계가 형성 되지 않은 것 일 수 있다.
상기 전기강판의 그루브는 강판의 두께의 5%~10%의 깊이일 수 있다.
상기 그루브는 전기강판의 압연방향에 대해서 사선으로 형성된 것 일 수 있으며, 상기 사선은 강판의 압연 방향에 대하여 82~98°일 수 있다.
본 발명의 일실시예에 의한 방향성 전기강판의 제조방법은, 1차 재결정 전 또는 1차 재결정 후의 전기강판을 제공하는 단계; 상기 전기강판의 표면에 유기물층 또는 무기물층을 코팅하는 단계; 상기 유기물층 또는 무기물층이 코팅된 강판의 표면에 레이저를 조사하여 그루브를 형성하는 단계; 상기 그루브에 Si층을 형성시키는 단계; 상기 유기물층 또는 무기물층을 제거하는 단계; 를 포함한다.
상기 그루브를 형성하는 단계에서 형성된 그루브는 재결정이 형성 되지 않은 것 일 수 있다.
상기 그루브를 형성하는 단계에서 형성된 그루브는 그루브를 따라 결정립계가 형성 되지 않은 것 일 수 있다.
상기 조사되는 레이저출력(P)과 주사선 속도(S) 비(P/S1/2)는 아래의 조건을 만족할 수 있다.
삭제
5.0 W·mm1/2/s1/2≤P/S1/2≤13.0W·mm1/2/s1/2
상기 조사되는 레이저의 에너지 밀도(Ed)는, 0.5 J/mm2 ≤ Ed ≤ 5.0 J/mm2 의 조건을 만족할 수 있다.
상기 조사되는 레이저의 출력(P)은 P ≥ 500 W 의 조건을 만족할 수 있다.
상기 그루브를 형성하는 단계에서 조사되는 상기 레이저의 조사방향의 빔 길이(dt)와 압연방향의 빔 폭(L)은 아래의 조건을 만족할 수 있다.
0.20≤ L/dt ≤ 1.0
dt ≤ 100 μm
상기 그루브를 형성하는 단계에서 형성된 그루브의 깊이는 강판 두께의 5% ~ 10% 일 수 있다.
상기 그루브를 형성하는 단계에서 조사되는 상기 레이저는 전기강판의 압연방향에 대하여 사선으로 조사 될 수 있다. 사선으로 조사 되는 각도는 82~98°일 수 있다.
전기강판의 진행속도는 0.5 m/s 이상일 수 있다.
상기 레이저는 연속파 레이저(Continuous Wave Laser)일 수 있다.
일반적으로 방향성 전기강판의 제조는 연속주조 공정에 의해 제조된 슬라브(slab)를 열간압연→열연판 소둔→냉간 압연→탈탄 소둔(1차 재결정)→최종 소둔(2차 재결정) 이 후 레이저에 의한 자구미세화를 실시하게 되지만, 본 발명에서는 상기 레이저에 의한 자구미세화 공정을 냉간 압연 이후 탈탄 소둔 전 또는 탈탄 소둔 이후에 어느 단계에서도 적용 할 수 있다.
본 발명에 의한 방향성 전기강판은 그루브 형성시 레이저에 의한 열영향을 최소화 하여 그루브에서 재결정이 형성되지 않으며 따라서 그루브 부분의 반자장을 약화 시킴으로써 자속밀도 열화를 최대한 억제 할 수 있다.
본 발명에서는 그루브 형성시 레이저에 의한 열영향을 최소화 하여 그루브를 따라 결정립계가 형성되지 않아 자속 밀도의 열화의 발생을 최소화 할 수 있다.
또한 고속의 레이저 빔을 조사하여 그루브를 형성하므로 0.5m/s 이상의 고속으로 진행하는 전기강판에서 그루브를 형성할 수 있다.
또한 상기 그루브는 강판의 압연방향에 대해서 사선으로 형성함으로써, 그루브 부분의 반자장을 약화 시켜 자속밀도 열화를 최소화 할 수 있다. 상기 사선은 강판의 압연 방향에 대하여 82~98o 일 수 있다.
또한 본 발명에 의한 방향성 전기강판은, 그루브에 Si층을 형성하여 비저항이 높고, 철손 개선율이 우수하다.
또한 본 발명에 의한 방향성 전기강판은, 그루브에 Si층을 형성하여 자기변형률 특성이 우수하므로, 본 발명에 의한 전기강판을 이용하여 생산한 최종제품의 소음특성이 우수하다.
도 1 은 본 발명의 일 실시예에 의한 방향성 전기강판의 제조방법을 나타낸 도면이다.
도 2 은 전기강판의 표면에 레이저를 조사 할 때, 강판의 표면에 형성되는 그루브의 형상을 도시한 도면이다.
도 3 는 본 발명에 의한 레이저의 레이저 주사선 방향의 빔 길이(dt)와 압연방향의 빔 폭(L)을 나타낸 도면이다.
도 4 은 종래 발명에 의하여 그루브를 형성하였을 때 생성되는 재결정 및 결정립계를 도시한 도면이다.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다.
그러나, 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.
명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성요소를 지칭한다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예에 의한 자구 미세화를 위하여 강판 표면에 그루브(groove)가 형성된 전기강판에 대하여 설명하기로 한다.
도2는 전기강판(10)의 압연방향에 수직으로 일정한 간격으로 조사되는 레이저에 의해 형성된 그루브(groove)(20)를 도시한 도면이다.
본 발명의 바람직한 실시예에 의한 전기강판(10)은 강판 표면에 그루브(20)가 형성되며, 상기 그루브에 Si 층(40)이 형성된 방향성 전기강판이다.
또한, 상기 그루브(20)는 그루브(20)의 하부에서 재결정이 형성 되지 않는 것이 바람직하다.
종래 자구미세화 공정에 의한 그루브 형성시 레이저에 의한 열영향으로 도4의 a와 같이 그루브의 하부에서 재결정이 형성되고 상기 재결정은 그루브 부분의 반자장을 약화시켜 자속밀도를 열화 시킨다.
그러나 본 발명에서는 레이저 조사 조건을 제어하여 그루브의 하부에서 재결정이 형성 되지 않으므로 자속밀도의 열화를 최대한 억제 할 수 있다.
또한, 상기 그루브는 그루브를 따라 결정립계가 형성 되지 않는 것이 바람직하다.
종래 자구미세화 공정에 의한 그루브 형성시 레이저에 의한 열영향으로 도4의 b와 같이 그루브의 하부에서 그루브를 따라 결정립계가 형성되어 그루브 부분의 반자장을 약화시켜 자속밀도를 열화 시킨다.
그러나 본 발명에서는 레이저 조사 조건을 제어하여 그루브의 하부에서 결정립계가 형성 되지 않으므로 자속밀도의 열화를 최대한 억제 할 수 있다.
또한 상기 그루브(20)는 강판의 압연방향에 대해서 사선으로 형성함으로써, 그루브 부분의 반자장을 약화 시켜 자속밀도 열화를 최소화 할 수 있다.
상기 사선은 강판의 압연 방향에 대하여 82~98° 일 수 있다.
또한 상기 그루브(20)는 강판의 두께의 5%~10%의 깊이일 수 있다.
도1은 본 발명의 일실시예에 의한 방향성 전기강판의 제조방법이다.
본 발명의 바람직한 실시예에 의한 전기강판의 제조방법은, 1차 재결정 전 또는 1차 재결정 후의 전기강판을 제공하는 단계; 상기 강판의 표면에 유기물층 또는 무기물층(30)을 코팅하는 단계; 상기 유기물층 또는 무기물층(30)이 코팅된 강판의 표면에 레이저를 조사하여 그루브(20)를 형성하는 단계; 상기 그루브(20)에 Si층을 형성시키는 단계; 상기 유기물층 또는 무기물층(30)을 제거하는 단계;를 포함 한다.
먼저 도1의 (a)와 같이, 1차 재결정 전 또는 1차 재결정 후의 전기강판에 유기물층 또는 무기물층(30)을 코팅한다. 상기 유기물층 또는 무기물층(30)은 절연성을 가지는 것이 바람직하다.
또한 상기 유기물층 또는 무기물층(30)은 차후 공정인 유기물층 또는 무기물층(30)을 제거 하는 공정에서 세척제에 의하여 제거 가능한 물질이면 어떠한 것이든 한정되지 않는다.
상기 유기물층 또는 무기물층(30)이 코팅된 전기강판에 레이저를 조사하여 그루브(20)를 형성한다.
도1의 (b)와 같이 레이저 조사에 의해 기지부가 용융 되고 그 일부가 재응고되어 그루브(groove)(20)가 형성된다.
그루브(20) 형성시 레이저에 의하여 전기강판의 표면에 코팅된 유기물층 또는 무기물층(30)이 함께 제거 되어, 그루브(20) 부분에서는 전기강판의 표면이 드러나게 된다.
또한, 상기 레이저 조사시 기지부를 용융 시킴과 동시에 블로잉을 실시하여 그루브(20)의 중심부에 용융층이 잔류하지 않도록 할 수 있다.
레이저 조사에 의한 그루브(20) 형성시 강판 표면에 형성되는 레이저 빔의 모양은 구형 또는 타원(oval) 형상에 한정되지 않는다.
또한 상기 레이저는 연속파 레이저(Continuous Wave Laser)를 사용하는 것이 바람직하다.
레이저 조사에 의하여 열처리 전, 후 철손 개선 효과를 가지고, 그루브(20)에서 재결정을 형성하지 않게 하기 위하여 레이저 빔의 형상은 하기의 식(1) 및 식(2)을 만족하는 것이 바람직하다.
0.20≤ L/dt ≤ 1.0 ---------- (1)
dt ≤ 100 μm ---------- (2)
(도 2 에서와 같이, dt 는 레이저 주사선 방향의 빔 길이를, L은 압연방향의 빔 길이를 의미한다.)
이 경우, L/dt 값이 1.0 보다 클 경우 그루브(20) 형성시 열영향부가 증가하여 전기강판의 그루브(20)에 2차 재결정이 형성 되게 되어 철손 개선효과를 나타내지 않는다.
L/dt 값이 0.2 미만이면 압연방향의 그루브(20) 폭이 좁아서 용융부 비산이 어렵게 됨에 따라 강판 표면에 용융으로 강판 두께의 5~10%에 해당하는 깊이를 갖는 그루브(20)를 형성하기 어렵고, 그루브의 형성층이 불균일하고 얇게 생성되어 Si층을 형성하기 어렵다.
그루브에서는 용융을 동반하지만, 그루브에서 재결정이 형성 되지 않게 하기 위해서 레이저의 에너지 밀도(Ed)는 하기의 식(3)을 만족 하는 것이 바람직하다.
0.5 J /mm2 ≤ Ed ≤ 5.0 J/mm2 ---------- (3)
레이저 에너지밀도가 5.0 J/mm2 보다 클 경우 과도한 용융부 형성으로 인하여 열처리전 철손 개선효과를 확보할 수 없으며, 레이저 에너지밀도가 0.5 J/mm2 미만일 경우 열처리 강판의 철손 개선율을 확보하기 위한 그루브의 깊이를 확보하지 못하기 때문에 열처리 후 철손 개선효과를 확보할 수 없다.
또한 레이저출력(P)과 주사선 속도(S) 비(P/S1/2)는 식(4) 조건을 만족하는 것이 바람직하다.
5.0 W·mm1/2/s1/2≤P/S1/2≤13.0W·mm1/2/s1/2 ---------- (4)
P는 레이저 평균출력을 의미하며, S는 주사선 속도를 의미한다.
P/S1/2 값이 13.0 W·mm1/2/s1/2 보다 클 경우 과도한 용융부 형성과 그루브의 재응고층의 두께의 불균일성이 극대화되어 열처리 이후 철손 개선효과를 5% 이상 확보할 수 없으며 레이저에 의한 열영향으로 그루브에서 재결정이 형성 될 수 있고 그루브를 따라 결정립계가 형성 될 수 있다. P/S1/2 값이 5.0W·mm1/2/s1/2 미만일 경우 그루브의 깊이를 충분히 확보하지 못하여 열처리 이 후 5% 이상의 철손 개선효과를 발휘할 수 없다.
또한, 그루브의 측벽 및 하부에 레이저 조사에 의한 산화층을 형성하지 않도록 하기 위하여는 레이저의 출력(P)은 하기 식(5)를 만족하는 것이 바람직하다.
P ≥ 500 W ---------------- (5)
레이저의 출력(P)가 500W 미만에서는 고속의 주사속도에서 그루브를 형성하는 것이 어려우며, 레이저 조사시 산화에 의하여 표면산화를 유발할 수 있다.
본 발명의 레이저 조사조건은 레이저의 출력에 비하여 레이저의 주사선 속도가 빠르므로 레이저에 의한 열영향이 최소화 되어 그루브(20)에서 재결정 또는 결정립계가 형성 되지 않으므로 자속밀도의 열화를 최대한 억제 할 수 있다. 또한, 0.5 m/s 이상의 속도로 이동하는 고속의 전기강판에서 그루브를 형성할 수 있다.
그루브를 형성 한 이후, 도1의 (c) 와 같이, 그루브가 형성된 전기강판에 Si층을 형성한다.
Si 층(40)은 도금 또는 증착으로 형성할 수 있다.
상기 증착 방법은 스퍼터링(Sputtering), 물리적 기상 증착법(PVD), 화학적 기상 증착법(CVD), 플라즈마CVD(PECVD) 등에 의할 수 있으며, 이에 한정되지 않는다.
이후, 도1의 (d) 와 같이, 세정제에 의하여 강판에 형성된 유기물층 또는 무기물층(30)을 제거한다. 상기 세정제는 전기강판에 코팅된 유기물 또는 무기물을 녹일 수 있는 용매이다.
상기 유기물층 또는 무기물층(30) 이 제거 시 유기물층 또는 무기물층(30) 상부에 형성되어 있는 Si층은 함께 제거 되고, 그루브(20)상부에만 Si 층(40)이 형성되어 있다.
상기와 같이 제조된 방향성 전기강판을, 1차 재결정이 형성 되기 전의 전기 강판인 경우 탈탄 소둔을 하여 1차 재결정을 형성하고, 소둔 분리제를 도포하여 최종소둔을 실시한다.
또는 1차 재결정이 형성된 후 의 전기 강판인 경우 소둔 분리제를 도포하고 최종소둔을 실시한다.
이하, 실시예를 통해 본 발명에 대하여 상세히 설명한다.
단 하기의 실시예는 본 발명을 예시하는 것일 뿐, 본 발명의 내용이 하기의 실시예에 의하여 한정되는 것은 아니다.
[실시예]
중량%로, C: 0.0030%, Si: 3.0%, S: 0.001%, Al: 0.05%, N: 0.0013%, Mn: 0.2%이고, 나머지 Fe 및 기타 불가피한 불순물로 조성되는 슬라브를 1150℃로 재가열한 다음 열간 압연하여 열연 강판을 제조한다. 이러한 열간 압연 강판을 권취후 냉각하고, 산세한 후 냉간 압연하여 강판을 제조한다.
이와 같이 냉간압연한 강판의 두께는 0.23mm였고 이와 같이 냉간압연된 강판의 표면에 노볼락 수지, 디아지드계 화합물 및 휘발성 유기 용매로 이루어지는 유기물층을 형성 하였다. 이와 같이 유기물층이 코팅된 냉연강판의 표면에 연속파 레이저를 조사하여 그루브를 형성 하였다.
이 때 연속파 레이저의 주사선은 도1과 같이 폭 방향으로 3~8개 구간의 구분된 선으로 나타난다.
그리고 레이저 에너지 밀도(Ed)를 1.5 J/mm2, P/S1/2값을 10.2 W·mm1/2/s1/2, 그루브를 압연방향에 대하여 85°로 형성 하였다.
이와 같이 레이저를 조사하면, 그루브가 형성된 곳의 상부는 유기물층이 제거 된다.
상기 그루브 부분의 유기물층이 제거된 상태에서 Si: 99.9%의 고순도 타겟을 사용하여 스퍼터링 방법에 의하여 Si층을 증착하였다. 증착된 Si 층은 10 μm이다.
이상과 같이 Si 층이 그루브 내면에 고르게 증착된 상태에서 냉간압연 강판의 표면에 남아 있는 유기물층을 알칼리수산화물, 수산화암모늄을 포함하는 수용액을 이용하여 제거하였다.
상기의 공정들을 거친 후 전기강판을 탈탄 소둔 하고 최종소둔을 실시 하였다.
이와 같이 제조된 방향성 전기강판은 50~300 Hz 구간의 주파수 영역에서 철손 개선율을 10% 이상 얻을 수 있었다.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다.
그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변경된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
10 : 전기강판,
20 : 그루브(groove)
30 : 전기강판의 상부에 형성된 유기물층 또는 무기물층
40 : Si 층
100 : 그루브에 형성된 재결정
101 : 그루브를 따라 형성된 결정립계

Claims (17)

  1. 자구를 미세화하여 철손을 개선한 전기강판에 있어서,
    상기 전기강판의 표면에 그루브가 형성되며, 상기 그루브의 상부에만 Si 층이 형성된 방향성 전기강판.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 전기강판은 그루브의 하부에서 재결정이 형성 되지 않은 방향성 전기강판.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 전기강판은 그루브의 하부에서 그루브를 따라 결정립계가 형성 되지 않은 방향성 전기강판.
  4. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 전기강판의 그루브의 깊이는 강판의 두께의 5%~10%의 깊이인 방향성 전기강판.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 그루브는 전기강판의 압연방향에 대해서 사선으로 형성된 방향성 전기강판.
  6. 제 5 항에 있어서, 상기 사선은 강판의 압연 방향에 대하여 82~98°인 방향성 전기강판.
  7. 1차 재결정 전 또는 1차 재결정 후의 전기강판을 제공하는 단계;
    상기 전기강판의 표면에 유기물층 또는 무기물층을 코팅하는 단계;
    상기 유기물층 또는 무기물층이 코팅된 강판의 표면에 레이저를 조사하여 그루브를 형성하는 단계;
    상기 그루브에 Si층을 형성시키는 단계;
    상기 유기물층 또는 무기물층을 제거하는 단계;
    를 포함하는 방향성 전기강판의 제조방법.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 조사되는 레이저출력(P)과 주사선 속도(S) 비(P/S1/2)는 아래의 조건을 만족하는 방향성 전기강판의 제조방법.
    5.0 W·mm1/2/s1/2≤P/S1/2≤13.0W·mm1/2/s1/2
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 조사되는 레이저의 에너지 밀도(Ed)는,
    0.5 J/mm2 ≤ Ed ≤ 5.0 J/mm2 의 조건을 만족하는 방향성 전기강판의 제조방법.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 조사되는 레이저의 출력(P)은
    P ≥ 500 W 의 조건을 만족하는 방향성 전기강판의 제조방법.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 그루브를 형성하는 단계에서 조사되는 상기 레이저의 조사방향의 빔 길이(dt)와 압연방향의 빔 폭(L)은 아래의 조건을 만족하는 방향성 전기강판의 제조방법.
    0.20≤ L/dt ≤ 1.0
    dt ≤ 100 μm
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 그루브를 형성하는 단계에서 형성된 그루브의 깊이는 강판 두께의 5% ~ 10% 인 방향성 전기강판의 제조방법.
  13. 제 12 항에 있어서,
    상기 그루브를 형성하는 단계에서 조사되는 상기 레이저는 전기강판의 압연방향에 대하여 사선으로 조사 되는 방향성 전기강판의 제조방법.
  14. 제 13 항에 있어서, 상기 레이저는 전기강판의 압연방향에 대하여 사선으로 조사 되는 각도는 82~98°인 방향성 전기강판의 제조방법.
  15. 제 7 항 내지 제 14 항 중 어느 한 항에 있어서,
    전기강판의 진행속도는 0.5 m/s 이상인 방향성 전기강판의 제조방법.
  16. 제 15 항에 있어서,
    상기 그루브는 상기 전기강판의 폭방향으로 단속적으로 3 개 내지 8 개 형성된 방향성 전기강판의 제조방법.
  17. 제 16 항에 있어서,
    상기 레이저는 연속파 레이저(Continuous Wave Laser)인 방향성 전기강판의 제조방법.
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