KR101559812B1 - 진공펌프용 이젝터 - Google Patents

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KR101559812B1
KR101559812B1 KR1020130160149A KR20130160149A KR101559812B1 KR 101559812 B1 KR101559812 B1 KR 101559812B1 KR 1020130160149 A KR1020130160149 A KR 1020130160149A KR 20130160149 A KR20130160149 A KR 20130160149A KR 101559812 B1 KR101559812 B1 KR 101559812B1
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Abstract

본 발명은 진공펌프용 이젝터에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 진공펌프의 흡입구 또는 배출구에 설치되고, 길이방향을 따라 제1유체가 유동될 수 있는 비병목관과 병목관을 가지며, 일측에 제2유체의 가열수단이 구비된 진공펌프용 이젝터로서, 이젝터 내부로 제1유체의 과다 유입시 제1유체가 역류하지 않고 배출시킬 수 있도록 하는 동시에, 제2유체 가열용 가열수단을 이젝터와 일체화시킴으로써 진공펌프의 효율을 높이고, 제1유체의 미세입자들이 진공펌프 또는 배관에 고착되는 현상을 억제 및 방지하며, 공간효율성을 높이면서도 제2유체의 분사시 온도를 소망하는 값으로 안정적으로 유지할 수 있게 할 목적으로, 상기 병목관부는 유로의 단면적이 순차적으로 축소 및 확대되는 병목공간과, 상기 병목공간의 일측에서 상기 병목공간과 별도의 공간을 형성하는 바이패스 및 상기 바이패스를 개폐하는 개폐수단을 포함하고, 상기 가열수단은 상기 병목관 또는 비병목관의 외면을 감싸는 형태로 마련되어 제2유체를 가열하는 가열공간과, 상기 가열공간 내에 장착된 히터와, 가열된 제2유체를 상기 병목공간으로 분사하는 분사구를 포함하는 진공펌프용 이젝터에 관한다.

Description

진공펌프용 이젝터{A Vacuum Pump Ejector}
본 발명은 진공펌프용 이젝터에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 반도체 생산공정 또는 LCD 생산공정에서 사용되는 진공펌프용 이젝터에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 제조공정 또는 LCD 제조공정에서는 각종 화학약품이 사용된다. 그리고, 이러한 공정에서 사용된 각종 화학약품들은 세척처리과정에서 세정액을 통해 세척되어 배출되거나, 또는 별도의 배출처리과정에서 배출장치를 통해 액체 또는 기체 형체로 배출된다.
진공펌프는 위 배출처리과정에서 사용되는 배출장치 중 하나이다. 도 1은 반도체 공정에 사용되는 종래 진공펌프와 이를 구비한 설비를 도시한 개략도로서, 도 1과 같이 종래의 진공펌프를 구비한 진공설비는 진공펌프(200)와 스크러버(300)로 구성된다.
진공펌프(200)는 반도체 또는 LCD 제조공정 라인(도시되지 않음)과 연결되며, 제조공정에서 발생된 유해 유체(주로 기체상태임, 이하에서 제1유체라고 함)를 흡입하여 스크러버(300)로 배출한다. 그리고, 스크러버(300)는 진공펌프(200)을 통해 흡입된 제1유체를 회수하며, 제1유체 중의 유해한 물질들을 별도로 수집하기 위해 회수된 제1유체를 화학적 또는 물리적으로 처리한다.
위와 같은 처리 설비에서, 진공펌프(200)로 유입되는 제1유체에는 반도체 및 LCD 제조공정에서 사용된 미세한 미립자들이 포함되어 있다. 이들 중 대부분의 양은 진공펌프(200)에 의해 스크러버(300)로 회수되나, 상당량은 진공펌프(200) 내에 쌓이거나 또는 진공펌프(200)와 스크러버(300)를 연결하는 배관에 쌓여 진공펌프(200)의 효율을 떨어뜨린다.
특히, 반도체 및 LCD 제조공정의 고온환경에서 사용된 미립자들은 낮은 온도에서 고형화되는 경향이 매우 강하므로, 진공펌프(200)에서 스크러버(300)로 이동하는 도중 냉각되어 배관에 고착되기 쉽다.
이러한 문제점을 해결하기 위하여 본 발명의 출원인은 대한민국 공개특허 제 2011-0105123호와 같은 "진공펌프용 이젝터 및 이를 구비한 진공펌프"(특허문헌 1)를 제안한 바 있으며, 도 2는 특허문헌1의 진공펌프와 이젝터가 설치되는 설비를 개략적으로 보인 것이고, 도 3은 특허문헌1의 진공펌프용 이젝터의 구성도이다.
도 2 및 도 3을 참조하는 바와 같이 진공펌프용 이젝터(100)는 진공펌프(200)의 흡입구(210) 또는 배출구(220)에 설치되는 것으로서, 길이방향을 따라 제1유체가 유동될 수 있는 유로가 형성되고, 상기 유로의 중간에 단면적이 축소 및 확대되는 병목구간(16)이 형성된 몸체(10); 상기 몸체에 설치되어, 상기 병목구간을 향해 제2유체를 분사하는 노즐(20); 및 상기 노즐을 통해 분사되는 상기 제2유체를 가열하는 가열장치(30)를 포함하여 구성된다.
여기서 상기 노즐(20)은 비병목구간(18)에 설치되어 병목구간(16)을 향해(정확하게는 출구(14) 방향으로) 빠른 유속의 제2유체를 분사하기 위한 것이고, 가열장치(30)는 노즐(20)을 통해 분사되는 제2유체를 130 ~ 150°로 가열함으로써 제1유체를 가열하는 구실을 한다.
유체역학적으로 유체가 병목구간(16)을 통과하여 병목구간(16)보다 넓은 단면의 구간으로 유입되면 속도가 감소하지만, 유체가 병목구간(16)을 음속 또는 음속이상의 속도로 통과하면 반대로 속도가 증가하므로, 노즐(20)을 통해 제2유체를 음속 또는 음속이상으로 분사하면 제1유체가 제2유체와 더불어 고속으로 배출되므로 진공펌프(200)의 진공부하를 줄일 수 있다.
그 결과 가열장치에 의해 고온으로 조성된 제2유체가 분사되어 온도가 낮아진 제1유체를 가열하므로 제1유체 중의 미립자가 냉각되면서 고형화되는 현상을 억제하는 동시에, 진공펌프(200)에서 배출되는 제1유체가 스크러버(300)로 회수되는 시간을 단축시켜서 제1유체가 스크러버(300)로 이동하는 도중에 냉각될 기회와 배관(310)에 고착될 기회를 낮출 수 있다.
그러나 특허문헌1의 경우 병목구간(16)의 유체통로 단면적이 기타 유로의 단면적에 비해 작기 때문에 제1유체가 일시적으로 과대하게 유입되면 병목구간(16)에서 제1유체가 모두 통과하지 못하여 역류함에 따라 진공펌프(200) 내의 급격한 압력 상승으로 펌프 가동이 중지되는 등의 문제점이 발생한다.
더욱이, 가열장치(30)가 이젝터(100) 외부에 설치되어 있으므로, 가열장치(30)에서 가열된 제2유체가 이젝터(100)로 이송되는 동안 온도가 낮아질 뿐 아니라 가열장치(30)와 노즐(20)에서의 각 제2유체의 온도가 계절에 따라 편차가 크므로 소망하는 온도를 유지하는데 어려움이 있으며, 또한 가열장치(30) 배치를 위한 별도 공간이 필요로 하므로 공간 효율성이 좋지 않다는 문제점이 있다.
1. 대한민국 특허공개 제 2011-0105123호 공개특허공보(2011.9.26 공개)
본 발명은 위와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 본 발명은 이젝터 내부로 제1유체의 과다 유입시 제1유체가 역류하지 않고 배출시킬 수 있도록 하는 동시에, 제2유체 가열용 가열수단을 이젝터와 일체화시킴으로써 진공펌프의 효율을 높이고, 제1유체의 미세입자들이 진공펌프 또는 배관에 고착되는 현상을 억제 및 방지하며, 공간효율성을 높이면서도 제2유체의 분사시 온도를 소망하는 값으로 안정적으로 유지할 수 있게 하는 진공펌프용 이젝터를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 진공펌프의 흡입구 또는 배출구에 설치되고, 길이방향을 따라 제1유체가 유동될 수 있는 비병목관과 병목관을 가지며, 일측에 제2유체의 가열수단이 구비된 진공펌프용 이젝터로서, 상기 병목관부는 유로의 단면적이 순차적으로 축소 및 확대되는 병목공간과, 상기 병목공간의 일측에서 상기 병목공간과 별도의 공간을 형성하는 바이패스 및 상기 바이패스를 개폐하는 개폐수단을 포함하고, 상기 가열수단은 상기 병목관 또는 비병목관의 외면을 감싸는 형태로 마련되어 제2유체를 가열하는 가열공간과, 상기 가열공간 내에 장착된 히터와, 가열된 제2유체를 상기 병목공간으로 분사하는 분사구를 포함하는 것을 특징으로 한다.
바람직한 실시예로서, 상기 가열수단은 상기 비병목관 또는 병목관의 외측을 감싸는 동시에 비병목관 또는 병목관의 외면과 일정 거리 이격 설치되어 가열공간을 형성하는 커버부재와, 상기 커버부재의 일측에 연결되어 제2유체를 가열공간으로 주입하는 주입관과, 상기 가열공간과 연결되어 가열된 제2유체를 상기 분사구로 이송하는 제2유체 관로를 포함하는 것을 특징으로 한다.
바람직한 실시예로서, 상기 병목공간은 병목관의 유로 중심에 설치된 노즐관체 내부에 형성되고, 상기 바이패스는 상기 노즐관체의 외면과 병목관 내면 사이에서 하나 또는 복수 개 형성된 것을 특징으로 한다.
바람직한 실시예로서, 상기 개폐수단은 상기 노즐관체가 관통하도록 중앙에 홀이 천공되어 상기 노즐관체 외주면에서 슬라이딩 가능하게 된 링 형태의 개폐부재와, 상기 노즐관체 외주면에 설치되어 상기 개폐부재를 지지하는 코일 스프링 형태의 탄성체를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따르면, 이젝터가 진공펌프의 흡입구 또는 배출구 부분에서의 압력을 낮추는 구실을 하므로 진공펌프의 효율을 높일 수 있게 되어 진공펌프의 흡입작업을 원활하게 수행할 수 있으며, 진공펌프의 구동에 필요한 전력소모량을 효과적으로 낮출 수 있다.
또한, 이젝터 내부로 제1유체가 일시적으로 과다하게 유입되는 경우에도 바이패스(bypass) 수단에 의해서 제1유체가 자동 배출되므로 진공펌프의 압력 증가를 방지함으로써 설비 가동이 중지되는 등의 종래 문제점을 해결할 수 있다.
더욱이, 히터가 내장된 가열공간이 제1유체의 관로를 감싸고 있는 동시에 상기 가열공간에서 제2유체가 직접 가열되므로 제2유체 분사시의 온도를 조절하기 용이하면서도 이젝터 냉각을 방지하게 되어 진공펌프로 흡입되는 미세입자들이 진공펌프 내부 또는 진공펌프와 연결된 배관에 고착되어 진공펌프의 효율과 성능을 저하시키는 현상을 효과적으로 방지할 수 있음은 물론, 이젝터 설치시 공간 효율성을 높일 수 있다
도 1은 반도체 공정에 사용되는 종래 진공펌프와 이를 구비한 설비를 도시한 개략도이다.
도 2는 특허문헌 1의 진공펌프와 이젝터가 설치되는 설비를 개략적으로 보인 것이다.
도 3은 특허문헌 1의 진공펌프용 이젝터의 구성도이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 진공펌프용 이젝터의 단면 구성도이다.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 진공펌프용 이젝터의 단면 사시도이다.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 진공펌프용 이젝터의 작동 상태를 보인 단면 구성도이다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 보인 첨부 도 4 내지 도 6을 참조하여 상세하게 설명한다. 그러나 첨부된 실시예는 본 발명의 이해를 돕기 위한 일 실시예이므로 본 발명을 한정하는 것으로 의도되지 않으며, 당해 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명한 기술이거나 용이하게 도출되는 정도의 기술 또는 특허문헌 1에 기재된 사항과 중복되는 내용에 대해서는 그에 관한 상세한 설명을 생략하기로 한다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 진공펌프용 이젝터의 단면 구성도이고, 도 5는 본 발명의 실시예에 따른 진공펌프용 이젝터의 단면 사시도이다.
도 4 및 도 5를 참조하는 바와 같이 본 발명의 진공펌프용 이젝터(100)는 진공펌프의 흡입구 또는 배출구에 설치되고, 길이방향을 따라 제1유체가 유동될 수 있는 비병목관(110)과 병목관(120)이 차례로 형성되며, 상기 비병목관(110) 및/똔느 병목관(120)의 외면에는 제2유체를 가열하기 위해 가열공간(142)과 히터(150)를 포함하는 가열수단이 구비된다.
상기 비병목관(110)은 일측 단부에 제1유체의 입구(111)가 형성되고 내부의 제1유체 유입공간(112)에는 외부로부터 제2유체가 유입되도록 하는 제2유체 관로(143)가 연결되며, 상기 제2유체 관로(143)의 단부에는 상기 병목관(120)을 향해 제2유체를 분사하는 분사구(144)가 구비된다.
상기 병목관(120)은 유로의 단면적이 순차적으로 축소 및 확대되는 병목공간(121)과, 상기 병목공간(121)의 일측에서 상기 병목공간(121)과 별도의 공간을 형성하는 하나 또는 다수 개의 바이패스(123)가 형성되며, 이때 상기 병목공간(121)과 바이패스(123)는 노즐관체(122)에 의해 구획될 수 있다.
즉, 상기 병목공간(121)은 병목관(120)의 유로 중심에 설치된 노즐관체(122) 내부에 형성되고, 상기 바이패스(123)는 상기 노즐관체(122)의 외측 공간에 형성되며, 이때 상기 바이패스(123)는 하나일 수 있고, 도시한 바와 같이 4개일 수도 있으며, 기타 도시하지는 않았지만 2개나 3개 또는 5개 이상 설치될 수도 있으므로, 그 수량은 제한을 두지 않는다.
상기 노즐관체(122)의 외측에는 상기 바이패스(123)를 개폐할 수 있는 개폐수단이 마련되며, 상기 개폐수단은 중앙에 홀이 천공된 링 또는 도넛 형태의 개폐부재(130)와 코일 스프링 등의 탄성체(132)를 포함한다.
상기 개폐부재(130)의 홀에 상기 노즐관체(122)가 관통하면 상기 개폐부재(130)가 상기 노즐관체(122) 외주면에서 슬라이딩 왕복 이동 가능하게 되는데, 이때 상기 노즐관체(122) 외주면에서 상기 개폐부재(130)의 후방(제1유체가 흐르는 방향)에 탄성체(132)가 설치되어 있어서 상기 개폐부재(130)가 탄성력에 의해 전방(제1유체가 유입되는 방향)으로 지지된다.
상기 개폐부재(130)가 바이패스(123)를 개폐할 수 있도록 하기 위해, 상기 병목관(120)은, 제1병목부재(120a) 및 제2병목부재(120b)로 분할 형성될 수 있다.
상기 제1병목부재(120a)는, 경사면을 통해 유로가 점차 축소되어 중심 부분에 상기 노즐관체(122)가 형성되고, 노즐관체(122) 내부에는 병목공간(121)이 형성되며, 상기 병목공간(121)의 외측에는 바이패스(123)가 형성된다.
또한, 상기 제2병목부재(120b)는, 상기 제1병목부재(120a)의 병목공간(121)과 연통하도록 중심에 병목공간(121)이 형성된 노즐관체(122)가 구비되고, 상기 노즐관체(122)의 후측은 경사면을 통해 유로가 점차 확장되며 후단부에는 제1유체 및 제2유체의 출구(126)가 형성된다.
이때 제2병목부재(120b)의 병목공간(121)의 외측에는 개폐공간(124)이 형성되며, 상기 개폐공간(124)에는 앞서 설명한 개폐부재(130)가 설치되는데, 더욱 상세히는 상기 탄성체(132)의 일측 단부가 개폐부재(130)의 중심 홀 주변에 접하고, 탄성체(132)의 타측 단부가 노즐관체(122)의 출구측 단부에서 외측으로 돌출된 턱(125)에 접하게 하면, 탄성체(132)의 탄성력에 의해 개폐부재(130)가 제1병목부재(120a)의 바이패스(123) 후단을 폐쇄할 수 있게 된다.
한편, 상기 가열수단은 상기 비병목관(110) 및/또는 병목관(120)의 외면을 감싸는 형태로 마련되어 제2유체를 가열하는 가열공간(142)과, 상기 가열공간(142) 내에 장착되어 전기적으로 가열되는 히터(150)와, 상기 가열공간(142)의 히터(150)에 의해서 가열된 제2유체를 상기 병목공간(121)으로 분사하는 분사구(144)를 포함하여 구성된다.
이를 위해 상기 가열수단은, 커버부재(140) 및 제2유체 관로(143)를 더 포함할 수 있다.
상기 커버부재(140)는 상기 비병목관(110) 및/또는 병목관(120)의 외측을 감싸는 동시에 비병목관(110) 및/또는 병목관(120)의 외면과 일정 거리 이격 설치되도록 하여, 비병목관(110) 및/또는 병목관(120)의 외면과 커버부재(140) 내면 사이에 가열공간(142)이 형성되도록 한 것이다.
예를 들면, 상기 비병목관(110) 및/또는 병목관(120)은 원통형으로 이루어진 것일 수 있고, 이때 상기 커버부재(140) 역시 원통형으로 이루어지며, 이때 비병목관(110) 및/또는 병목관(120)의 외경보다 상기 커버부재(140)의 내경이 더 큰 경우에 가열공간(142)이 형성될 수 있다.
상기 제2유체 관로(143)는 상기 가열공간(142)과 상기 분사구(144)를 연결하는 요소로서 대략 'ㄴ'자 형태의 관으로 형성될 수 있고, 상기 커버부재(140)의 일측에는 제2유체가 상기 가열공간(142)으로 주입되는 주입관(141)이 연결된다.
이와 같이 구성하면, 상기 주입관(141)을 통해 유입된 제2유체는 가열공간(142)에서 히터(150)에 의해 소망하는 온도로 가열된 후, 제2유체 관로(143)를 통해 분사구(144)로 이송되어 분사된다.
상기 커버부재(140)는 비병목관(110) 및/또는 병목관(120)에 대해 조립식으로 탈착 가능하게 할 수 있다
이를 위해 상기 커버부재(140)의 양측 단부에는 외측으로 돌출된 플랜지(145)가 형성되고, 상기 플랜지(145) 가장자리에는 다수 개의 구멍이 홀이 천공된다.
또한, 상기 병목관(120)과 비병목관(110)의 외면에는 각각 상기 커버부재(140)의 각 플랜지(145)와 대응하여 체결되도록 다수 개의 홀이 천공된 플랜지(113)(127)이 형성되며, 이때 비병목관(110)의 플랜지(113)와 커버부재(140)의 일측 플랜지(145)가 상호 접하고, 병목관(120)의 플랜지(127)와 커버부재(140)의 타측 플랜지(145)가 상호 접한 상태에서 볼트/너트(미도시) 등으로 상호 고정될 수 있다.
필요에 따라 상기 플랜지들의 위치를 변경하면 상기 가열공간(142)이 비병목관(110)의 외주면에만 형성될 수 있고, 또는 병목관(120)의 외주면에만 형성될 수 있으며, 후자의 경우 상기 제2유체 관로(143)는 병목관(120)의 전방 측에 설치되어야 한다는 것은 당연하다. 따라서 상기 가열수단은 비병목관(110) 및/또는 병목관(120)의 외면에 형성될 수 있는 것으로 이해되어야 한다.
한편, 상기 히터(150)는 전류 인가시 발열 가능하게 된 것으로 비병목관(110) 및/또는 병목관(120)의 외측면을 수회 감싸는 코일 형태로 설치될 수 있고, 상기 코일(150)의 양측 단부에는 전류를 통전시키기 위해 배선(151)이 연결된다.
또한, 상기 가열공간(142)의 일측에는 내부 가열 온도를 측정하여 설정 온도 이상 상승했을 경우 히터(150)의 전류 인가를 차단하고, 설정 온도 이하로 하강하는 경우 히터(150)에 전류를 인가할 수 있도록 하는 온도센서(160)가 더 구비될 수 있다.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 진공펌프용 이젝터의 작동 상태를 보인 단면 구성도로서, 이하의 작용 설명을 통해 본 발명이 더욱 구체화될 것이다.
도 6을 참조하는 바와 같이 제1유체가 비병목관(110)과 병목관(120)을 통과하는 동안, 제2유체는 주입관(141)을 통해 가열공간(142)으로 유입되어 설정 온도로 가열된 후 제2유체 관로(143)를 통해 분사구(144)로 분사되어 제1유체의 온도를 일정 온도 이상 유지하게 한다.
이때 비병목관(110)의 입구(111)를 통해 유입공간(112)으로 일시적으로 다량의 제1유체가 유입되면, 일부는 제2유체와 함께 정상적으로 병목공간(121)을 경유하여 출구(126)로 배출되고 나머지 제1유체는 유입공간(112)에 정체되어 내부 압력이 상승함에 따라 개폐부재(130)가 출구(126) 측으로 밀려서 제1병목부재(120a)의 바이패스(123) 후단이 개방된다.
이 경우 제1유체는 제1병목부재(120a)의 바이패스(123), 개폐공간(124) 및 제2병목부재(120b)의 바이패스(123)를 차례로 경유하여 출구(126)로 배출되므로 유입공간(112) 및 진공펌프(200)의 압력 상승이 방지된다.
또한, 다시 제1유체가 정상적으로 유입되는 경우에는 탄성체(132)의 탄성력에 의해서 개폐부재(130)가 입구(111) 측으로 밀려서 다시 제1병목부재(120a)의 바이패스(123) 후단을 폐쇄한다.
이상의 설명은 비록 본 발명이 상기에서 언급한 바람직한 실시예와 관련하여 설명되어졌지만, 본 발명의 요지와 범위로부터 벗어남이 없이 다른 다양한 수정 및 변형이 가능하다는 것은 당업자라면 용이하게 인식할 수 있을 것이며, 이러한 변경 및 수정은 모두 첨부된 특허청구범위에 속함은 자명하다.
100: 이젝터 110: 비병목관
111: 입구 112: 유입공간
113: 플랜지
120: 병목관 120a: 제1병목부재
120b: 제2병목부재 121: 병목공간
122: 노즐관체 123: 바이패스(bypass)
124: 개폐공간 125: 턱
126: 출구 127: 플랜지
130: 개폐부재 132: 탄성체
140: 커버부재 141: 주입관
142: 가열공간 143: 제2유체 관로
144: 분사구 145: 플랜지
150: 히터 151: 배선
160: 온도센서

Claims (8)

  1. 진공펌프의 흡입구 또는 배출구에 설치되고, 길이방향을 따라 제1유체가 유동될 수 있는 비병목관과 병목관을 가지며, 일측에 제2유체의 가열수단이 구비된 진공펌프용 이젝터로서,
    상기 병목관부는 유로의 단면적이 순차적으로 축소 및 확대되는 병목공간과, 상기 병목공간의 일측에서 상기 병목공간과 별도의 공간을 형성하는 바이패스 및 상기 바이패스를 개폐하는 개폐수단을 포함하고,
    상기 가열수단은 상기 병목관 및 비병목관의 외면을 감싸는 형태로 마련되어 제2유체를 가열하는 가열공간과, 상기 가열공간 내에 장착된 히터와, 가열된 제2유체를 상기 병목공간으로 분사하는 분사구를 포함하되,
    상기 가열수단은, 상기 비병목관 및 병목관의 외측을 감싸는 동시에 비병목관 및 병목관의 외면과 일정 거리 이격 설치되어 가열공간을 형성하는 커버부재와, 상기 커버부재의 일측에 연결되어 제2유체를 가열공간으로 주입하는 주입관과, 상기 가열공간과 연결되어 가열된 제2유체를 상기 분사구로 이송하는 제2유체 관로를 포함하고,
    상기 커버부재의 양측 단부에 외측으로 돌출되고 다수의 홀이 천공된 플랜지가 구비되고, 상기 병목관 및 비병목관의 외면에는 상기 커버부재의 각 플랜지와 대응하여 체결되도록 다수 개의 홀이 천공된 플랜지가 구비되어 상기 각 홀을 통해 볼트 및 너트로 체결 가능하게 된 것을 특징으로 하는 진공펌프용 이젝터.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 히터는 전류 인가시 발열 가능하게 된 것으로 비병목관 또는 병목관의 외면을 수회 감싸는 코일 형태로 설치된 것을 특징으로 하는 진공펌프용 이젝터.
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 가열공간의 일측에 가열공간 내부 온도를 감지하여 상기 히터의 발열 온도를 제어하는 온도센서가 구비된 것을 특징으로 하는 진공펌프용 이젝터.
  6. 제 1항에 있어서,
    상기 병목공간은 병목관의 유로 중심에 설치된 노즐관체 내부에 형성되고, 상기 바이패스는 상기 노즐관체의 외면과 병목관 내면 사이에서 하나 또는 복수 개 형성된 것을 특징으로 하는 진공펌프용 이젝터.
  7. 제 6항에 있어서,
    상기 개폐수단은, 상기 노즐관체가 관통하도록 중앙에 홀이 천공되어 상기 노즐관체 외주면에서 슬라이딩 가능하게 된 링 형태의 개폐부재와, 상기 노즐관체 외주면에 설치되어 상기 개폐부재를 지지하는 코일 스프링 형태의 탄성체를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공펌프용 이젝터.
  8. 제 7항에 있어서,
    상기 탄성체의 일측 단부는 개폐부재의 홀 주변에 접하고, 타측 단부는 노즐관체의 출구측 단부에서 외측으로 돌출된 턱에 접하는 것을 특징으로 하는 진공펌프용 이젝터.
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