KR101556086B1 - Method of manufacturing ultrasonic vibrator - Google Patents
Method of manufacturing ultrasonic vibrator Download PDFInfo
- Publication number
- KR101556086B1 KR101556086B1 KR1020140102229A KR20140102229A KR101556086B1 KR 101556086 B1 KR101556086 B1 KR 101556086B1 KR 1020140102229 A KR1020140102229 A KR 1020140102229A KR 20140102229 A KR20140102229 A KR 20140102229A KR 101556086 B1 KR101556086 B1 KR 101556086B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- processed
- curvature
- processing
- fixing
- process object
- Prior art date
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title abstract description 21
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 27
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 claims abstract description 5
- 238000003754 machining Methods 0.000 claims description 16
- 238000000227 grinding Methods 0.000 abstract description 12
- 230000007547 defect Effects 0.000 abstract 1
- 238000003745 diagnosis Methods 0.000 description 3
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 2
- 238000007730 finishing process Methods 0.000 description 2
- 238000003801 milling Methods 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 201000010099 disease Diseases 0.000 description 1
- 208000037265 diseases, disorders, signs and symptoms Diseases 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04R—LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
- H04R31/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of transducers or diaphragms therefor
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B06—GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL
- B06B—METHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY, e.g. FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL
- B06B1/00—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency
- B06B1/02—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy
- B06B1/06—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction
- B06B1/0607—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction using multiple elements
- B06B1/0622—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction using multiple elements on one surface
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04R—LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
- H04R17/00—Piezoelectric transducers; Electrostrictive transducers
Abstract
Description
본 발명은 초음파 진동자의 제조방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 얇은 두께의 반구형상을 가지는 초음파 진동자를 보다 정밀하고 정교하게 가공할 수 있도록 한 초음파 진동자의 제조방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method of manufacturing an ultrasonic vibrator, and more particularly, to a method of manufacturing an ultrasonic vibrator capable of more precisely and finely processing an ultrasonic vibrator having a hemispherical shape.
일반적으로 의료용 진단이나 공업용 진단에 있어서, 인체 또는 배관 등의 진단 대상에 음파를 송신하여 그 반사파를 수신함으로써, 인체의 질병이나 배관의 균열 등을 검출하는 초음파 진단장치가 이용되고 있다.BACKGROUND ART [0002] Generally, in medical diagnosis or industrial diagnosis, an ultrasonic diagnostic apparatus that detects a disease of a human body or cracks of a pipe by transmitting a sound wave to a diagnosis target such as a human body or a pipe and receiving the reflected wave is used.
위와 같은 초음파 진단장치는 초음파 진단장치 본체와 초음파를 송수신하는 초음파 진동자를 포함하여 이루어진다.The ultrasonic diagnostic apparatus includes an ultrasonic diagnostic apparatus main body and an ultrasonic transducer for transmitting and receiving ultrasonic waves.
여기서, 초음파 진동자는 초음파를 다양한 방향으로 송수신하기 위해 얇은 두께의 반구형상으로 제작되는데, 얇은 두께의 반구형상으로 제작함에 있어 기존의 선반 또는 밀링 가공으로는 균일한 두께로 가공할 수 없을 뿐 아니라 선반 또는 밀링 가공을 위한 척에 고정하여 가공하게 되는 경우 척의 지지력으로 인해 가공되는 초음파 진동자에 균열이 발생되어 파손됨으로 인해 제작이 힘든 문제점이 발생하고 있다.In order to transmit and receive ultrasonic waves in various directions, the ultrasonic transducer is formed in a hemispherical shape having a thin thickness. In the case of manufacturing a thin ultrasonic transducer in a hemispherical shape with a thin thickness, it is not possible to process the ultrasonic transducer into a uniform thickness by a conventional lathe or milling, Or if it is fixed to a chuck for milling, cracks are generated in the ultrasonic vibrator that is processed due to the supporting force of the chuck, and thus the ultrasonic vibrator is damaged.
이러한 이유로 얇은 두께의 반구형상으로 제작되는 초음파 진동자를 정밀하고 정교하게 가공할 수 있는 초음파 진동자의 제조방법이 요구되고 있는 실정이다.For this reason, there is a need for a method of manufacturing an ultrasonic transducer that can precisely and precisely process an ultrasonic transducer fabricated in a hemispherical shape of a thin thickness.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 얇은 두께의 반구형상을 가지는 초음파 진동자를 보다 정밀하고 정교하게 가공할 수 있는 초음파 진동자의 제조방법을 제공함에 있다.SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a method of manufacturing an ultrasonic transducer which can precisely and precisely process a ultrasonic transducer having a thin hemispherical shape.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일측면에 따르면, 가공대상물을 준비하는 준비단계 및 상기 가공대상물의 일면의 일부가 소정의 곡률을 가지는 볼록 반구형상이 되도록 가공하는 일면 황삭단계 및 상기 가공대상물의 일면의 전부가 미리 설정된 곡률과 중심높이를 가지는 볼록 반구 형상이 되도록 가공하는 일면 정삭단계 및 상기 가공대상물의 중심축이 중앙에 위치하도록 상기 가공대상물을 미리 설정된 외경으로 가공하는 센터링단계 및 일면에 상기 가공대상물의 가공된 일면과 대응되는 곡률 및 중심높이를 가지는 오목 반구형상의 안착홈이 형성된 가공대상물 고정지그의 상기 안착홈에 상기 가공대상물의 중심축과 상기 가공대상물 고정지그의 중심축이 일치되도록 상기 가공대상물의 가공된 일면을 부착하는 부착단계 및 상기 가공대상물의 이면의 일부가 소정의 곡률을 가지는 오목 반구형상이 되도록 가공하는 이면 황삭단계 및 상기 가공대상물의 이면의 전부가 미리 설정된 곡률이 되도록 가공함과 아울러 상기 가공대상물의 두께를 미리 설정된 두께로 가공하는 이면 정삭단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 초음파 진동자의 제조방법이 제공된다.According to an aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a semiconductor device, the method comprising: a preparation step of preparing an object to be processed; a one-side roughing step of processing the object so that a part of one surface of the object becomes a convex hemispherical shape having a predetermined curvature; A centering step of machining the object to a predetermined outer diameter so that the central axis of the object is positioned at the center, The machining object fixing jig having a concave hemispherical mounting groove having a curvature and a center height corresponding to the machined surface of the object is formed in the mounting groove of the machining object fixing jig in such a manner that the center axis of the object to be machined coincides with the central axis of the object to be fixed An attaching step of attaching a machined surface of the object, A back side roughing step of processing a part of the back surface of the water so as to be a concave hemispherical shape having a predetermined curvature and a step of processing the entire back surface of the object to have a predetermined curvature and processing the thickness of the object to a predetermined thickness The method of manufacturing an ultrasonic vibrator according to claim 1,
여기서, 상기 센터링 단계 이전에는 상기 가공대상물의 가공된 일면과 이면을 지지하는 가공대상물 고정척에 상기 가공대상물을 고정하는 고정단계를 포함하고, 상기 가공대상물의 가공된 일면을 지지하는 가공대상물 고정척의 단부는 상기 가공대상물의 가공된 일면과 동일한 곡률을 가지는 만곡면이 형성되는 것이 바람직하다.Here, before the centering step, there is a fixing step of fixing the object to be processed to a workpiece fixing chuck that supports the processed one side and the back side of the object to be processed. In the fixing step of the object to be processed, It is preferable that a curved surface having the same curvature as the machined surface of the object is formed at the end portion.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 다른 측면에 따르면, 가공대상물을 준비하는 준비단계 및 상기 가공대상물의 일면의 일부가 소정의 곡률을 가지는 볼록 반구형상이 되도록 가공하는 일면 황삭단계 및 상기 가공대상물의 일면의 전부가 미리 설정된 곡률을 가지는 볼록 반구 형상이 되도록 가공하는 일면 정삭단계 및 일면에 상기 가공대상물의 가공된 일면과 대응되는 곡률을 가지는 오목 반구형상의 안착홈이 형성된 가공대상물 고정지그의 안착홈에 상기 가공대상물의 일면을 부착하는 부착단계 및 상기 가공대상물의 이면의 일부가 소정의 곡률을 가지는 오목 반구형상이 되도록 가공하는 이면 황삭단계 및 상기 가공대상물의 이면의 전부가 미리 설정된 곡률이 되도록 가공함과 아울러 상기 가공대상물의 두께를 미리 설정된 두께로 가공하는 이면 정삭단계 및 상기 가공대상물의 중심축이 중앙에 위치하도록 상기 가공대상물의 미리 설정된 외경으로 가공함과 아울러 상기 가공대상물의 중심높이가 미리 설정된 중심높이가 되도록 가공하는 센터링단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 초음파 진동자의 제조방법이 제공된다.According to another aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a semiconductor device, the method comprising: a preparation step of preparing an object to be processed; a one-side roughing step of processing the object so that a part of one surface of the object becomes a convex hemispherical shape having a predetermined curvature; In which the entire surface of the workpiece is fixed to a convex hemispherical shape having a predetermined curvature, and a step of finishing the surface of the object to be processed in a recessed hemispherical recess having a concave hemispherical recess having a curvature corresponding to the machined surface of the object, A rear surface roughing step of machining the rear surface of the object to be processed so that a part of the rear surface of the object becomes a concave hemispherical shape having a predetermined curvature, The processing object is processed to have a predetermined thickness And a centering step of machining the workpiece to a predetermined outer diameter of the workpiece so that the center axis of the workpiece is positioned at the center and machining the workpiece so that the center height of the workpiece becomes a predetermined center height. A method for manufacturing an ultrasonic vibrator is provided.
여기서, 상기 센터링 단계 이전에는 상기 가공대상물의 가공된 이면과 가공대상물 고정지그의 이면을 지지하는 가공대상물 고정척에 상기 가공대상물을 고정하는 고정단계를 포함하고, 상기 가공대상물의 가공된 이면을 지지하는 가공대상물 고정척의 단부는 상기 가공대상물의 가공된 이면과 동일한 곡률을 가지는 만곡면이 형성되는 것이 바람직하다.Here, before the centering step, a fixing step of fixing the object to be processed to a workpiece fixing chuck that supports the back surface of the object to be processed and the back surface of the object to be fixed, It is preferable that a curved surface having the same curvature as the machined back surface of the object to be processed is formed at the end of the object to be fixed.
아울러, 상기 일면 황삭단계 이전에는 상기 가공대상물의 이면을 상기 가공대상물 고정지그의 평평한 이면에 부착한 후, 상기 가공대상물 고정지그를 가공장치의 고정수단에 고정하는 고정지그 고정단계를 포함하는 것이 보다 바람직하다.In addition, it is preferable that the fixing jig fixing step of fixing the object to be fixed after fixing the object to be fixed on the flat back surface of the object to be fixed before the one side roughing step desirable.
상기와 같은 본 발명에 의하면, 얇은 두께의 반구형상을 가지는 초음파 진동자를 보다 정밀하고 정교하게 가공할 수 있는 방법을 제공함으로써, 불량품의 발생이 최소화되어 제품의 생산성이 향상되는 결과를 가져오게 된다.According to the present invention as described above, it is possible to minimize the generation of defective products and improve the productivity of a product by providing a method of finely and precisely machining an ultrasonic vibrator having a thin hemispherical shape.
도 1a 내지 도 1g는 본 발명의 일실시예에 따른 초음파 진동자의 제조과정을 도시한 개략도이다.
도 2a 내지 도 2e는 본 발명의 다른 실시예에 따른 초음파 진동자의 제조과정을 도시한 개략도이다.FIGS. 1A to 1G are schematic views showing a manufacturing process of an ultrasonic vibrator according to an embodiment of the present invention.
2A to 2E are schematic views illustrating a process of manufacturing an ultrasonic vibrator according to another embodiment of the present invention.
이하에서는 도면을 참조하여 본 발명을 보다 상세하게 설명한다. 도면들 중 동일한 구성요소들은 가능한 어느 곳에서든지 동일한 부호들로 나타내고 있음에 유의해야 한다. 또한 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있는 공지기능 및 구성에 대한 상세한 설명은 생략한다.Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the drawings. It is to be noted that like elements in the drawings are represented by the same reference numerals as possible. Further, detailed description of known functions and configurations that may unnecessarily obscure the gist of the invention will be omitted.
도 1a 내지 도 1g는 본 발명의 일실시예에 따른 초음파 진동자의 제조과정을 도시한 개략도이다.FIGS. 1A to 1G are schematic views showing a manufacturing process of an ultrasonic vibrator according to an embodiment of the present invention.
도 1a 내지 도 1g를 참조하면, 본 발명의 일실시예에 따른 초음파 진동자의 제조방법은 준비단계, 고정지그 고정단계, 일면 황삭단계, 일면 정삭단계, 센터링단계, 부착단계, 이면 황삭단계 및 이면 정삭단계를 포함하여 이루어진다.1A through 1G, a method of manufacturing an ultrasonic vibrator according to an exemplary embodiment of the present invention includes a preparation step, a fixing jig fixing step, a one side roughing step, a one side finishing step, a centering step, an attaching step, Finishing step.
도 1a를 참조하여 준비단계 및 고정지그 고정단계를 설명하면, 먼저 가공대상물(10)과 가공대상물 고정지그(20)를 준비한다.Referring to FIG. 1A, the preparing step and the fixing jig fixing step will be described. First, the object to be processed 10 and the
이 때, 준비되는 가공대상물(10)은 최종적으로 얇은 두께의 반구형상으로 제작하기 위해 원통 형상으로 형성된 것을 준비하는 것이 바람직하다.At this time, it is preferable that the
그리고, 일면에 최종 가공될 가공대상물(10)의 일면과 대응되는 형상을 가지는 오목 반구형상의 안착홈(21)이 형성된 가공대상물 고정지그(20)를 준비한다.A
여기서, 가공대상물 고정지그(20)의 안착홈(21)은 최종 가공될 가공대상물(10)의 일면의 곡률(C)과 대응되는 곡률(C')을 가지고, 최종 가공될 가공대상물(10)의 중심높이(H)와 대응되는 중심높이(H')를 가지도록 형성된다.The
다음으로, 준비된 가공대상물(10)의 일면을 볼록 반구형상으로 가공하기 위해 가공대상물(10)의 이면을 안착홈(21)이 형성되지 않은 가공대상물 고정지그(20)의 평평한 이면에 부착한 후, 가공대상물(10)이 부착된 가공대상물 고정지그(20)를 가공장치의 고정수단(30)에 고정한다.Next, in order to process one surface of the prepared
여기서, 가공대상물(10)의 이면과 가공대상물 고정지그(20)의 이면은 상온에서 경화되는 왁스나 초 등을 녹여 상호 부착한다.Here, the back surface of the object to be processed 10 and the back surface of the object to be fixed 20 melt together with wax, candles, or the like which are hardened at room temperature.
위와 같이, 가공대상물(10)을 가공대상물 고정지그(20)에 부착하고, 가공대상물 고정지그(20)를 가공툴의 고정수단(30)에 고정함으로 인해 가공대상물(10)의 일면을 볼록 반구형상으로 용이하게 가공할 수 있게 된다.As described above, since the object to be processed 10 is attached to the object to be fixed 20 and the object to be fixed 20 is fixed to the fixing means 30 of the processing tool, So that it can be processed easily.
도 1b를 참조하여 일면 황삭단계를 설명하면, 연삭수단(50)을 이용하여 가공대상물 고정지그(20)를 통해 가공장치의 고정수단(30)에 고정된 가공대상물(10)의 일면의 일부가 소정 곡률을 가지는 볼록 반구형상이 되도록 황삭 가공한다.1B, a part of one surface of the object to be processed 10 fixed to the fixing means 30 of the processing apparatus via the object to be processed
도 1c를 참조하여 일면 정삭단계를 설명하면, 연삭수단(50)을 이용하여 소정 곡률을 가지는 볼록 반구형상으로 가공된 가공대상물(10)의 일면의 전부가 미리 설정된 곡률(R)을 가지는 볼록 반구형상이 되도록 정삭 가공함과 아울러 가공대상물(10)의 볼록 반구형상의 일면의 정점과 가공대상물(10)의 이면 까지의 높이인 중심높이(H)를 미리 설정된 중심 높이(H)가 되도록 정삭 가공한다.1C, the entire surface of the object to be processed 10, which has been processed into a convex hemispherical shape having a predetermined curvature by using the grinding means 50, is formed into a convex hemispherical shape having a predetermined curvature R And a center height H which is a height from a vertex of one surface of the convex hemispherical shape of the
도 1d를 참조하여 고정단계 및 센터링 단계를 설명하면, 먼저 일면이 볼록 반구형상으로 가공된 가공대상물(10)을 가공대상물 고정지그(20)에서 분리한 후, 볼록 반구형상으로 가공된 가공대상물(10)의 일면과 가공되지 않은 가공대상물(10)의 이면을 각각 가공장치에 대향되게 형성된 각 쌍의 가공대상물 고정척(40)에 각각 고정한다.1D, the fixing step and the centering step will be described. First, the object to be processed 10 having the convex hemispherical shape on one side is separated from the object to be fixed 20, and then the object to be processed 10 and the back surface of the unprocessed object to be processed 10 are respectively fixed to the respective pairs of the
그리고, 가공대상물 고정척(40)의 회전을 통해 가공대상물(10)을 회전시키면서 가공장치의 연삭수단(50)을 가공대상물(10)에 접근시켜 가공대상물(10)의 외경을 미리 설정된 외경(Ø)으로 가공한다.The grinding means 50 of the machining apparatus is moved close to the object to be processed 10 while rotating the
여기서, 볼록 반구형상으로 가공된 가공대상물(10)의 일면을 지지하는 한 쌍의 가공대상물 고정척(40)의 단부는 볼록 반구형상으로 가공된 가공대상물(10)의 일면의 곡률(C)과 대응되는 곡률(C'')를 가지는 만곡면(41)이 형성되는 것이 바람직하다.Here, the ends of the pair of workpiece holding
이로 인해 가공대상물 고정척(40)을 통해 가공대상물(10)을 고정하는 경우, 가공대상물(10)의 중심축이 한 쌍의 가공대상물 고정척(40)의 중심에 위치되도록 정렬된 상태로 고정된다.Therefore, when the object to be processed 10 is fixed through the object to be fixed 40, the central axis of the
위와 같이 가공대상물(10)의 중심축이 한 쌍의 가공대상물 고정척(40)의 중심에 위치되도록 정렬된 상태로 고정되므로 연삭수단(50)을 이용하여 가공대상물(10)을 미리 설정된 외경(Ø)으로 가공하는 경우, 가공대상물(10)의 중심축이 중앙에 위치되도록 가공되어 가공대상물(10)의 편심오차가 소거된다.Since the central axis of the
도 1e를 참조하여 부착단계를 설명하면, 미리 설정된 외경으로 가공된 가공대상물(10)을 가공대상물 고정척(40)으로부터 분리한 후, 일면에 볼록 반구형상으로 가공된 가공대상물(10)의 일면과 대응되는 곡률(C') 및 중심높이(H')를 가지는 오목 반구형상의 안착홈(21)이 형성된 가공대상물 고정지그(20)의 안착홈(21)에 볼록 반구형상으로 가공된 가공대상물(10)의 일면을 앞서 설명한 바와 같이, 왁스나 초 등을 녹여 상호 부착한다.1E, the
이 때, 가공대상물(10)의 중심축과 가공대상물 고정지그(20)의 중심축이 일치되도록 부착하는 것이 중요하다.In this case, it is important that the central axis of the
도 1f를 참조하여 이면 황삭단계를 설명하면, 볼록 반구형상으로 가공된 가공대상물(10)의 일면이 부착된 가공대상물 고정지그(20)를 가공장치의 고정수단(30)에 고정한 후, 연삭수단(50)을 이용하여 가공대상물(10)의 이면의 일부가 소정 곡률을 가지는 오목 반구형상이 되도록 황삭 가공한다.1F, the rear surface roughing step is performed by fixing the
도 1g를 참조하여 이면 정삭단계를 설명하면, 연삭수단(50)을 이용하여 소정 곡률을 가지는 오목 반구형상으로 가공된 가공대상물(10)의 이면의 전부가 미리 설정된 곡률(C)을 가지는 오목 반구형상이 되도록 정삭가공함과 아울러 가공대상물(10)의 두께가 미리 설정된 두께(t)가 되도록 정삭가공한다.Referring to FIG. 1G, the back side finishing step will be described. The entire back face of the object to be processed 10, which has been processed into a concave hemispherical shape having a predetermined curvature by using the grinding means 50, And a finishing process is performed so that the thickness of the
상기와 같이, 가공대상물(10)의 일면과 이면을 가공대상물 고정지그(20)에 부착하여 가공대상물(10)의 일면과 이면을 순차적으로 가공함으로 인해 얇은 두께의 반구형상의 초음파 진동자를 정밀하고 정교하게 가공할 수 있게 되어 불량품이 발생되는 것을 최소화 함으로써, 제품의 생산성이 향상되는 결과를 가져오게 된다.As described above, one surface and the rear surface of the object to be processed 10 are sequentially processed by attaching the one surface and the back surface of the
도 2a 내지 도 2e는 본 발명의 다른 실시예에 따른 초음파 진동자의 제조과정을 도시한 개략도이다.2A to 2E are schematic views illustrating a process of manufacturing an ultrasonic vibrator according to another embodiment of the present invention.
설명에 앞서, 본 발명의 다른 실시예에 따른 초음파 진동자의 제조방법은 준비단계, 고정지그 고정단계, 일면 황삭단계, 일면 정삭단계, 부착단계, 이면 황삭단계, 이면 정삭단계 및 센터링단계를 포함하여 이루어진다.The method of manufacturing the ultrasonic vibrator according to another embodiment of the present invention may include a preparing step, a fixing jig fixing step, a one side roughing step, a one side finishing step, an attaching step, a backside roughing step, .
여기서, 본 발명의 다른 실시예에 따른 초음파 진동자의 제조방법의 준비단계, 고정지그 고정단계, 일면 황삭단계는 본 발명의 일실시예와 동일하므로 이하에서는 상세한 설명을 생략하기로 한다.Here, the preparing step, the fixing jig fixing step, and the one-side roughing step of the ultrasonic vibrator manufacturing method according to another embodiment of the present invention are the same as those of the embodiment of the present invention, and a detailed description thereof will be omitted.
도 2a를 참조하여 일면 정삭단계를 설명하면, 연삭수단(50)을 이용하여 소정 곡률을 가지는 볼록 반구형상으로 가공된 가공대상물(10)의 일면의 전부가 미리 설정된 곡률(R)을 가지는 볼록 반구형상이 되도록 정삭 가공한다.2A, the entire surface of the object to be processed 10, which has been processed into a convex hemispherical shape having a predetermined curvature by using the grinding means 50, is formed into a convex hemispherical shape having a preset curvature R, Phase.
여기서, 본 발명의 다른 실시예에 따른 일면 정삭단계는 볼록 반구형상으로 가공되는 가공대상물(10)의 일면의 곡률만을 미리 설정된 곡률(C)로 가공하고, 중심높이는 미리 설정된 중심높이보다 높게 형성되도록 가공한다.Here, in the one-side finishing step according to another embodiment of the present invention, only the curvature of one surface of the
도 2b를 참조하여 부착단계를 설명하면, 일면 정삭단계를 거쳐 미리 설정된 곡률(C)로 가공된 가공대상물(10)의 일면을 가공대상물 고정지그(20)의 안착홈(21)에 왁스나 초 등을 녹여 부착한다.2B, the one surface of the object to be processed 10 processed to a predetermined curvature C through the one-side finishing step is inserted into the
이 때, 일면 정삭단계에서 볼록 반구형상으로 가공된 가공대상물(10)의 일면의 곡률만을 미리 설정된 곡률(C)로 가공하고, 중심높이는 미리 설정된 중심높이보다 높게 형성되도록 가공함으로 인해 가공대상물(10)의 일면 일부가 안착홈(21)의 외부로 노출된 상태로 부착된다.At this time, only the curvature of one surface of the object to be processed 10 shaped into the convex hemispherical shape in the one-side finishing step is processed to a predetermined curvature C and the center height is formed to be higher than a preset center height, Is partially exposed to the outside of the
그리고, 부착단계에서 가공대상물(10)의 중심축과 가공대상물 고정지그(20)의 중심축을 정확하게 맞추는 작업이 요구되지 않는다.In the attaching step, there is no need to precisely align the central axis of the
이는 후술하는 이면 정삭단계를 거친 후 실시되는 센터링 단계에서 가공대상물(10)의 중심축이 중앙에 위치되도록 미리 설정된 외경으로 가공함과 동시에 가공대상물(10)의 중심높이를 미리 설정된 중심높이(H)로 가공하는 작업이 실시되기 때문이다.In the centering step performed after the back side finishing step, which will be described later, the
도 2c를 참조하여 이면 황삭단계를 설명하면, 볼록 반구형상으로 가공된 가공대상물(10)의 일면이 부착된 가공대상물 고정지그(20)를 가공장치의 고정수단(30)에 고정한 후, 연삭수단(50)을 이용하여 가공대상물(10)의 이면의 일부가 소정 곡률을 가지는 오목 반구형상이 되도록 황삭 가공한다.2C, the surface-roughing step is performed by fixing the
도 2d를 참조하여 이면 정삭단계를 설명하면, 연삭수단(50)을 이용하여 소정 곡률을 가지는 오목 반구형상으로 가공된 가공대상물(10)의 이면의 전부가 미리 설정된 곡률(C)을 가지는 오목 반구형상이 되도록 정삭가공함과 아울러 가공대상물(10)의 두께가 미리 설정된 두께(t)가 되도록 정삭 가공한다.Referring to FIG. 2D, the back side finishing step will be described. The entire back face of the object to be processed 10, which has been processed into a concave hemisphere shape having a predetermined curvature by using the grinding means 50, And a finishing process is performed so that the thickness of the
도 2e를 참조하여 고정단계 및 센터링 단계를 설명하면, 이면 정삭단계를 거친 가공대상물(10)을 가공대상물 고정지그(20)에 부착된 상태로 오목 반구형상으로 가공된 가공대상물(10)의 이면과 가공대상물 고정지그(20)의 평평한 이면을 각각 가공장치에 대향되게 형성된 각 쌍의 가공대상물 고정척(40)에 각각 고정한다.The fixing step and the centering step will be described with reference to FIG. 2E. In the case where the object to be processed 10 has been subjected to the surface finishing step is attached to the
그리고, 가공대상물 고정척(40)의 회전을 통해 가공대상물(10)을 회전시키면서 가공장치의 연삭수단(50)을 가공대상물(10)에 접근시켜 가공대상물(10)의 외경을 미리 설정된 외경(Ø)으로 가공함과 동시에 가공대상물(10)의 중심높이를 미리 설정된 중심높이(H)로 가공한다.The grinding means 50 of the machining apparatus is moved close to the object to be processed 10 while rotating the
여기서, 오목 반구형상으로 가공된 가공대상물(10)의 이면을 지지하는 한 쌍의 가공대상물 고정척(40)의 단부는 오목 반구형상으로 가공된 가공대상물(10)의 이면의 곡률(C)과 대응되는 곡률(C'')를 가지는 만곡면(41)이 형성되는 것이 바람직하다.Here, the ends of the pair of workpiece holding chucks 40 supporting the back surface of the object to be processed 10 processed into the concave hemispherical shape have a curvature C of the back surface of the object to be processed 10, It is preferable that a
이로 인해 가공대상물 고정척(40)을 통해 가공대상물(10)을 고정하는 경우, 가공대상물(10)의 중심축이 한 쌍의 가공대상물 고정척(40)의 중심에 위치되도록 정렬된 상태로 고정된다.Therefore, when the object to be processed 10 is fixed through the object to be fixed 40, the central axis of the
위와 같이 가공대상물(10)의 중심축이 한 쌍의 가공대상물 고정척(40)의 중심에 위치되도록 정렬된 상태로 고정되므로 연삭수단(50)을 이용하여 가공대상물(10)을 미리 설정된 외경(Ø)으로 가공하는 경우, 가공대상물(10)의 중심축이 중앙에 위치되도록 가공되어 가공대상물(10)의 편심오차가 소거된다.Since the central axis of the
상기와 같이, 본 발명의 다른 실시예에 따른 초음파 진동자의 제조방법은 센터링 단계를 마지막에 실시함으로 인해 부착단계에서 가공대상물(10)의 중심축과 가공대상물(10)의 고정지그의 중심축을 정확하게 일치시키는 작업이 요구되지 않아 이에 따른 작업소요 시간이 절감되어 생산효율이 보다 향상된다.As described above, in the method of manufacturing the ultrasonic vibrator according to another embodiment of the present invention, since the centering step is performed last, the center axis of the
또한, 가공대상물(10)을 가공대상물 고정지그(20)에 부착하고, 가공대상물 고정지그(20)를 가공장치의 고정수단(30) 또는 가공대상물 고정척(40)에 고정하여 가공함으로 인해 고정수단(30) 또는 가공대상물 고정척(40)의 지지력으로 인해 가공대상물(10)이 파손되는 것을 방지할 수 있으며, 특히 이면 정삭단계를 거친 가공대상물(10)을 가공대상물 고정지그(20)에 부착된 상태로 가공대상물 고정척(40)에 고정함으로 인해 가공대상물(10)의 중심축이 가공대상물 고정척(40)의 중심에 위치되도록 정렬할 수 있어 가공대상물(10)을 보다 정밀하고 정교하게 가공할 수 있어 보다 정밀하고 정교한 초음파 진동자를 제작할 수 있게 된다.
The object to be fixed 10 is attached to the object to be fixed 20 and the object to be fixed 20 is fixed to the fixing means 30 of the processing device or the object to be processed 40, It is possible to prevent the
비록 본 발명이 상기 바람직한 실시 예들과 관련하여 설명되어졌지만, 발명의 요지와 범위로부터 벗어남이 없이 다양한 수정이나 변형을 하는 것이 가능하다. 따라서, 첨부된 특허 청구범위는 본 발명의 요지에 속하는 이러한 수정이나 변형을 포함할 것이다.Although the present invention has been described in connection with the preferred embodiments, it is possible to make various modifications and variations without departing from the spirit and scope of the invention. It is, therefore, to be understood that the appended claims will include all such modifications and changes as fall within the true spirit of the invention.
10 : 가공대상물 20 : 가공대상물 고정지그
21 : 안착홈 30 : 고정수단
40 : 가공대상물 고정척 41 : 만곡면
50 : 연삭수단10: object to be processed 20: object to be processed fixing jig
21: seating groove 30: fixing means
40: object to be processed fixed chuck 41: curved face
50: Grinding means
Claims (5)
상기 가공대상물의 일면의 일부가 소정의 곡률을 가지는 볼록 반구형상이 되도록 가공하는 일면 황삭단계;
상기 가공대상물의 일면의 전부가 미리 설정된 곡률과 중심높이를 가지는 볼록 반구 형상이 되도록 가공하는 일면 정삭단계;
상기 가공대상물의 중심축이 중앙에 위치하도록 상기 가공대상물을 미리 설정된 외경으로 가공하는 센터링단계;
일면에 상기 가공대상물의 가공된 일면과 대응되는 곡률 및 중심높이를 가지는 오목 반구형상의 안착홈이 형성된 가공대상물 고정지그의 상기 안착홈에 상기 가공대상물의 중심축과 상기 가공대상물 고정지그의 중심축이 일치되도록 상기 가공대상물의 가공된 일면을 부착하는 부착단계;
상기 가공대상물의 이면의 일부가 소정의 곡률을 가지는 오목 반구형상이 되도록 가공하는 이면 황삭단계;
상기 가공대상물의 이면의 전부가 미리 설정된 곡률이 되도록 가공함과 아울러 상기 가공대상물의 두께를 미리 설정된 두께로 가공하는 이면 정삭단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 초음파 진동자의 제조방법.Preparing the object to be processed:
A one-side roughing step of machining a part of one surface of the object to be a convex hemispherical shape having a predetermined curvature;
A one-side finishing step of processing all of one surface of the object to be processed into a convex hemispherical shape having a preset curvature and a center height;
A centering step of machining the object to a predetermined outer diameter so that the center axis of the object is located at the center;
Wherein a central axis of the object to be processed and a central axis of the object to be fixed are arranged in the mounting groove of a processing object fixing jig having a concave hemispherical mounting groove having a curvature and a center height corresponding to the processed one surface of the object, An attaching step of attaching the machined surface of the object to be processed so as to be in conformity;
A surface roughing step of machining a part of the back surface of the object to be a concave hemispherical shape having a predetermined curvature;
And a back finishing step of processing all of the back surface of the object to be processed so as to have a predetermined curvature and processing the thickness of the object to a predetermined thickness.
상기 센터링 단계 이전에는
상기 가공대상물의 가공된 일면과 이면을 지지하는 가공대상물 고정척에 상기 가공대상물을 고정하는 고정단계를 포함하고,
상기 가공대상물의 가공된 일면을 지지하는 가공대상물 고정척의 단부는 상기 가공대상물의 가공된 일면과 동일한 곡률을 가지는 만곡면이 형성되는 것을 특징으로 하는 초음파 진동자의 제조방법.The method according to claim 1,
Before the centering step
And a fixing step of fixing the object to be processed to a workpiece fixing chuck supporting the processed one side and the back side of the object,
Wherein an end of the workpiece holding chuck supporting the machined surface of the object to be processed is formed with a curved surface having the same curvature as the machined surface of the object to be machined.
상기 가공대상물의 일면의 일부가 소정의 곡률을 가지는 볼록 반구형상이 되도록 가공하는 일면 황삭단계;
상기 가공대상물의 일면의 전부가 미리 설정된 곡률을 가지는 볼록 반구 형상이 되도록 가공하는 일면 정삭단계;
일면에 상기 가공대상물의 가공된 일면과 대응되는 곡률을 가지는 오목 반구형상의 안착홈이 형성된 가공대상물 고정지그의 안착홈에 상기 가공대상물의 일면을 부착하는 부착단계;
상기 가공대상물의 이면의 일부가 소정의 곡률을 가지는 오목 반구형상이 되도록 가공하는 이면 황삭단계;
상기 가공대상물의 이면의 전부가 미리 설정된 곡률이 되도록 가공함과 아울러 상기 가공대상물의 두께를 미리 설정된 두께로 가공하는 이면 정삭단계;
상기 가공대상물의 중심축이 중앙에 위치하도록 상기 가공대상물의 미리 설정된 외경으로 가공함과 아울러 상기 가공대상물의 중심높이가 미리 설정된 중심높이가 되도록 가공하는 센터링단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 초음파 진동자의 제조방법.A preparation step of preparing an object to be processed;
A one-side roughing step of machining a part of one surface of the object to be a convex hemispherical shape having a predetermined curvature;
A one-side finishing step of processing all of one surface of the object to be processed into a convex hemispherical shape having a preset curvature;
An attaching step of attaching one surface of the object to be machined to a seating groove of a fixture for fixation of an object to be processed, the concave hemispherical recess having a curvature corresponding to the machined surface of the object;
A surface roughing step of machining a part of the back surface of the object to be a concave hemispherical shape having a predetermined curvature;
A back finishing step of processing all of the back surface of the object to be processed so as to have a preset curvature and processing the thickness of the object to a predetermined thickness;
And a centering step of machining the workpiece to a predetermined outer diameter of the workpiece so that the central axis of the workpiece is located at the center and machining the centerline of the workpiece so that the center height of the workpiece becomes a predetermined center height. Gt;
상기 센터링 단계 이전에는
상기 가공대상물의 가공된 이면과 가공대상물 고정지그의 이면을 지지하는 가공대상물 고정척에 상기 가공대상물을 고정하는 고정단계를 포함하고,
상기 가공대상물의 가공된 이면을 지지하는 가공대상물 고정척의 단부는 상기 가공대상물의 가공된 이면과 동일한 곡률을 가지는 만곡면이 형성되는 것을 특징으로 하는 초음파 진동자의 제조방법.The method of claim 3,
Before the centering step
And a fixing step of fixing the object to be processed to a processing object fixing chuck for supporting the back surface of the object to be processed and the back surface of the object to be fixed,
Wherein an end of the workpiece holding chuck supporting the machined back surface of the object to be processed is formed with a curved surface having the same curvature as the machined back surface of the object to be machined.
상기 일면 황삭단계 이전에는
상기 가공대상물의 이면을 상기 가공대상물 고정지그의 평평한 이면에 부착한 후, 상기 가공대상물 고정지그를 가공장치의 고정수단에 고정하는 고정지그 고정단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 초음파 진동자의 제조방법. 4. The method according to any one of claims 1 to 3,
Before the one-side roughing step
And a fixing jig fixing step of fixing the object to be fixed to the fixing means of the processing device after attaching the back surface of the object to the back surface of the object fixing jig.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020140102229A KR101556086B1 (en) | 2014-08-08 | 2014-08-08 | Method of manufacturing ultrasonic vibrator |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020140102229A KR101556086B1 (en) | 2014-08-08 | 2014-08-08 | Method of manufacturing ultrasonic vibrator |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR101556086B1 true KR101556086B1 (en) | 2015-10-01 |
Family
ID=54338407
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020140102229A KR101556086B1 (en) | 2014-08-08 | 2014-08-08 | Method of manufacturing ultrasonic vibrator |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR101556086B1 (en) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000217817A (en) | 1999-01-29 | 2000-08-08 | Ge Yokogawa Medical Systems Ltd | Ultrasonic probe manufacture, ultrasonic probe, ultrasonic imaging device, and adhesive |
| JP2002027599A (en) | 2000-07-12 | 2002-01-25 | Hitachi Kenki Fine Tech Co Ltd | Method for manufacturing ultrasonic probe |
| JP2006035003A (en) | 2004-07-22 | 2006-02-09 | Olympus Corp | Ultrasonic transducer and method for manufacturing ultrasonic transducer |
-
2014
- 2014-08-08 KR KR1020140102229A patent/KR101556086B1/en not_active IP Right Cessation
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000217817A (en) | 1999-01-29 | 2000-08-08 | Ge Yokogawa Medical Systems Ltd | Ultrasonic probe manufacture, ultrasonic probe, ultrasonic imaging device, and adhesive |
| JP2002027599A (en) | 2000-07-12 | 2002-01-25 | Hitachi Kenki Fine Tech Co Ltd | Method for manufacturing ultrasonic probe |
| JP2006035003A (en) | 2004-07-22 | 2006-02-09 | Olympus Corp | Ultrasonic transducer and method for manufacturing ultrasonic transducer |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4856234A (en) | Optical lens manufacturing apparatus and method | |
| US20150375355A1 (en) | Integrated part fixturing for lathing processes | |
| CN103072029B (en) | Processing process of clamp head | |
| JP5160537B2 (en) | Method and apparatus for fixing a workpiece to be processed by a machine tool on a preparatory support plate | |
| TW200927376A (en) | Precision guidance device in a machine for machining cylindrical components | |
| EP2213412A3 (en) | Apparatus and method for deterministic control of surface figure during full aperture polishing | |
| JPH1148002A (en) | Manufacture of eye lens and holding tool for cutting machining eye lens | |
| US20130255453A1 (en) | Vacuum blocking for manufacturing optical devices | |
| KR101556086B1 (en) | Method of manufacturing ultrasonic vibrator | |
| CN203804344U (en) | Non-backlash centering auto-compensation positioning device | |
| JPWO2019240268A1 (en) | Ultrasonic cutting equipment | |
| EP3513765A1 (en) | Workpiece clamping device | |
| KR100987153B1 (en) | multitude eccentric jig | |
| CN106239224A (en) | A kind of general Rapid adjustment fixture for compromise joint turning | |
| CN101191761B (en) | Unsymmetrical accurate ion polishing system sample jig and its uses | |
| CN108907901A (en) | A kind of precise grinding process and Special Eccentric frock clamp of crank axle off-centre operation | |
| KR102177689B1 (en) | Apparatus for manufacturing a shaft | |
| KR102091818B1 (en) | Method for manufacturing a shaft | |
| CN109571155B (en) | Processing jig and method for processing multi-petal claw-shaped workpiece by using same | |
| CN204094624U (en) | A kind of clamping device of optical articles processing | |
| CN108705268B (en) | Land wind driven generator flange machining process | |
| JP2006341355A (en) | Centering support method and centering support device for workpiece | |
| US10293412B2 (en) | Chuck arrangement | |
| CN217453025U (en) | Die casting positioning and orienting tool | |
| JP6877800B1 (en) | Finishing method for round holes in the work |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GRNT | Written decision to grant | ||
| LAPS | Lapse due to unpaid annual fee |