KR101555965B1 - 테스트 핸들러의 픽커용 진공노즐 - Google Patents

Abstract

본 발명은 테스트 핸들러의 픽커용 진공노즐에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 픽커에 연결되는 하우징에 기본적으로 노즐부가 설치되어 대상물을 흡착하고, 상기 노즐부가 흡착하는 대상물보다 큰 대상물을 흡착시에는 노즐부에 신축성 재질의 패드가 부착됨으로써, 다양한 크기의 대상물을 흡착할 수 있고, 종래에 대상물에 따라 흡착시 노즐부를 교체 할 필요가 없어 작업시간 및 전체적인 작업 공정이 줄어들어 테스트 핸들러의 효율이 증가하는 특징이 있다.

Description

테스트 핸들러의 픽커용 진공노즐{Picker vacuum nozzle test handler}

본 발명은 테스트 핸들러의 픽커용 진공노즐에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 픽커에 연결되는 하우징에 기본적으로 노즐부가 설치되어 대상물을 흡착하고, 상기 노즐부가 흡착하는 대상물보다 큰 대상물을 흡착시에는 노즐부에 신축성 재질의 패드가 부착됨으로써, 다양한 크기의 대상물을 흡착할 수 있고, 종래에 대상물에 따라 흡착시 노즐부를 교체 할 필요가 없어 작업시간 및 전체적인 작업 공정이 줄어들어 테스트 핸들러의 효율이 증가하는 테스트 핸들러의 픽커용 진공노즐에 관한 것이다.

일반적으로, 테스트 핸들러(test handler)는 반도체 소자의 전기적 특성 및 기능, 신뢰성을 검사하기 위해, 반도체 소자를 검사하는 테스터(tester)와 도킹(docking)되어 검사를 위한 환경조건을 제공하면서, 반도체 소자를 테스터로 공급, 배출하고 검사 결과에 따라 양품, 불량품으로 분류하는 설비이다.

즉, 테스트 핸들러는 반도체 소자를 검사하는 테스터와, 테스터에 대해 반도체 소자를 공급, 배출하고 검사 결과에 따라 반도체 소자를 분류하는 핸들러로 크게 구성된다.

핸들러는 검사 대상의 반도체 소자가 적재된 커스터머 트레이(customer tray)를 이송하여 공급하며, 테스터에서 검사가 완료된 반도체 소자를 양품과 불량품으로 구분하여 각기 다른 커스터머 트레이에 다시 적재하여 배출한다.

여기서, 상기 핸들러에 부착되는 픽커는, 헤드 어셈블리에 설치된 픽커 베이스와, 상기 픽커 베이스에 상, 하로 이동 가능하게 설치되며 전자부품을 흡,탈착하는 단일 노즐을 구비하는 노즐 어셈블리와, 상기 노즐의 내측 공간으로 부압 및 정압을 인가하는 정부압 공급 라인과, 상기 노즐 어셈블리를 하강시키는 노즐 하강부와, 상기 하강된 노즐 어셈블리를 상승시키는 노즐 상승부를 구비한다.

이 경우, 상기 픽커 베이스에 실린더 블록이 고정 설치되고, 상기 노즐 어셈블리가 상기 실린더 블록에 승, 하강 가능하도록 결합된다. 상기 실린더 블록 일측에는 상기 실린더 블록의 상하를 관통하는 제1통로가 형성되는데, 이 제1통로가 상기 정부압 공급 라인 상의 상기 실린더 블록 상측면에 설치된 공압 공급 핏팅(fitting)을 통하여 유입된 공압을 노즐 방향으로 안내하는 기능을 한다.

그런데, 상기 노즐은 대상물의 크기에 따라 노즐의 끝단부를 교체하여 사용해야하는데, 대상물이 작을 때는 끝단부가 뽀족한 금속재질의 노즐을 교체하여 사용하고, 대상물이 클 때는 신축성의 패드가 설치될 수 있는 금속재질의 노즐로 교체한 뒤, 상기 노즐에 신축성의 고무패드를 더 설치하여 사용해야함으로써, 사용의 불편함과 교체에 따른 시간 및 작업기간이 길어져 테스트 핸들러의 효율이 떨어지는 문제점이 있다.

등록특허공보 제10-0914219호 등록특허공보 제10-0312860호 등록특허공보 제10-1339394호

따라서, 본 발명은 상기 종래의 문제점을 해소하기 위해 안출된 것으로서,

픽커에 연결되는 하우징에 기본적으로 노즐부가 설치되어 대상물을 흡착하고, 상기 노즐부가 흡착하는 대상물보다 큰 대상물을 흡착시에는 노즐부에 신축성 재질의 패드가 부착됨으로써, 다양한 크기의 대상물을 흡착할 수 있고, 종래에 대상물에 따라 흡착시 노즐부를 교체 할 필요가 없어 작업시간 및 전체적인 작업 공정이 줄어들어 테스트 핸들러의 효율이 증가하는 테스트 핸들러의 픽커용 진공노즐을 제공하는데 목적이 있다.

상기 목적을 달성하고자, 본 발명은 테스트 핸들러에 설치되는 픽커용 진공노즐에 있어서,

픽커에 직접 연결되되, 일측에 삽입홈이 형성되고, 상기 삽입홈의 일측에는 흡착 공기가 이송되도록 관통홀이 관통되는 하우징과;

상기 하우징의 삽입홈에 연결되어 하우징의 흡착 공기에 의해 대상물을 직접 흡착하고, 상기 흡착 공기가 이송되도록 중앙부에 이송홀이 관통 형성되며, 외주연에 단턱이 원주방향으로 돌출 형성되는 노즐부와;

상기 노즐부에 탈부착되되, 상기 노즐부가 흡착하는 대상물보다 큰 대상물을 흡착시, 노즐부에 부착되고, 상기 대상물과 밀접하게 흡착되도록 신축성 재질로 형성되는 패드;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러의 픽커용 진공노즐에 관한 것이다.

이상에서 살펴 본 바와 같이, 본 발명의 테스트 핸들러의 픽커용 진공노즐은 픽커에 연결되는 하우징에 기본적으로 노즐부가 설치되어 대상물을 흡착하고, 상기 노즐부가 흡착하는 대상물보다 큰 대상물을 흡착시에는 노즐부에 신축성 재질의 패드가 부착됨으로써, 다양한 크기의 대상물을 흡착할 수 있고, 종래에 대상물에 따라 흡착시 노즐부를 교체 할 필요가 없어 작업시간 및 전체적인 작업 공정이 줄어들어 테스트 핸들러의 효율이 증가하는 효과가 있다.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 픽커용 진공노즐를 나타낸 결합 단면도이고,
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 픽커용 진공노즐를 나타낸 분해 단면도이고,
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 패드를 나타낸 단면도이다.

본 발명은 상기의 목적을 달성하기 위해 아래와 같은 특징을 갖는다.

본 발명은 테스트 핸들러에 설치되는 픽커용 진공노즐에 있어서,

상기 픽커에 직접 연결되되, 일측에 삽입홈이 형성되고, 상기 삽입홈의 일측에는 흡착 공기가 이송되도록 관통홀이 관통되는 하우징과;

상기 하우징의 삽입홈에 연결되어 하우징의 흡착 공기에 의해 대상물을 직접 흡착하고, 상기 흡착 공기가 이송되도록 중앙부에 이송홀이 관통 형성되며, 외주연에 단턱이 원주방향으로 돌출 형성되는 노즐부와;

상기 노즐부에 탈부착되되, 상기 노즐부가 흡착하는 대상물보다 큰 대상물을 흡착시, 노즐부에 부착되고, 상기 대상물과 밀접하게 흡착되도록 신축성 재질로 형성되는 패드;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.

이와 같은 특징을 갖는 본 발명은 그에 따른 바람직한 실시예를 통해 더욱 명확히 설명될 수 있을 것이다.

이하 첨부된 도면을 참조로 본 발명의 여러 실시예들을 상세히 설명하기 전에, 다음의 상세한 설명에 기재되거나 도면에 도시된 구성요소들의 구성 및 배열들의 상세로 그 응용이 제한되는 것이 아니라는 것을 알 수 있을 것이다. 본 발명은 다른 실시예들로 구현되고 실시될 수 있고 다양한 방법으로 수행될 수 있다. 또, 장치 또는 요소 방향(예를 들어 "전(front)", "후(back)", "위(up)", "아래(down)", "상(top)", "하(bottom)", "좌(left)", "우(right)", "횡(lateral)")등과 같은 용어들에 관하여 본원에 사용된 표현 및 술어는 단지 본 발명의 설명을 단순화하기 위해 사용되고, 관련된 장치 또는 요소가 단순히 특정 방향을 가져야 함을 나타내거나 의미하지 않는다는 것을 알 수 있을 것이다. 또한, "제 1(first)", "제 2(second)"와 같은 용어는 설명을 위해 본원 및 첨부 청구항들에 사용되고 상대적인 중요성 또는 취지를 나타내거나 의미하는 것으로 의도되지 않는다.

따라서, 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 일 실시예에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 픽커용 진공노즐를 나타낸 결합 단면도이고, 도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 픽커용 진공노즐를 나타낸 분해 단면도이고, 도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 패드를 나타낸 단면도이다.

도 1 내지 도 3에 도시한 바와 같이, 본 발명의 테스트 핸들러의 픽커용 진공노즐(40)은 픽커(1)에 다수개 설치되는 노즐에 관한 것으로써, 하우징(10)과, 노즐부(20)와, 패드(30)로 구성된다.

상기 하우징(10)은 도 1 내지 도 2에 도시한 바와 같이, 상기 픽커(1)에 직접 연결되도록 끝단부(도면상 상측부)에 연결부(13)가 돌출 형성되고, 상기 하우징(10)의 일측 즉, 연결부(13)의 반대측에는 노즐부(20)가 삽입되도록 삽입홈(11)이 형성된다.

여기서, 상기 연결부(13)는 픽커(1)에 나사결합되도록 외주연에 수나사산이 형성되어 탈부착이 가능하고, 상기 삽입홈(11)의 일측에는 흡착 공기가 이송되도록 관통홀(12)이 관통된다.

이때, 상기 관통홀(12)은 연결부(13)의 중앙부에 관통 형성되어 삽입홈(11)의 일측에 관통됨으로써, 픽커(1)에서 발생하는 흡착 공기가 관통홀(12)을 통해 삽입홈(11)까지 연통되는 것이다.

그리고, 상기 하우징(10)은 스테인리스(SUS) 재질로 형성되어 픽커(1)에 나사 결합이 용이하다.

상기 노즐부(20)는 도 1 내지 도 2에 도시한 바와 같이, 하우징(10)의 삽입홈(11)에 연결되는데, 삽입홈(11)에 압입하여 억지끼워 삽입되어 하우징(10)의 흡착 공기에 의해 대상물을 직접 흡착한다.

여기서, 상기 노즐부(20)의 중앙부에는 픽커(1)의 흡착 공기가 이송되도록 이송홀(21)이 관통 형성되고, 상기 노즐부(20)의 외주연에는 노즐부(20)가 하우징(10)의 삽입홈(11)에 압입시, 일정부분만 삽입되도록 스토퍼 역할을 하는 돌기(23)가 형성된다. 이때, 상기 돌기(23)는 노즐부(20)의 외주연에 원주방향으로 돌출 형성된다.

그리고, 상기 노즐부(20)의 외주연에는 도 1 내지 도 2에서처럼, 패드(30)가 탈부착시, 연결되도록 단턱(22)이 원주방향으로 돌출 형성된다.

또한, 상기 노즐부(20)는 하우징(10)의 삽입홈(11)에 압입되도록 저항성의 플라스틱(MC501) 재질로 형성된다.

상기 패드(30)는 도 1 내지 도 3에 도시한 바와 같이, 노즐부(20)에 탈부착되는데, 상기 노즐부(20)가 흡착하는 대상물보다 큰 대상물을 흡착시, 노즐부(20)에 부착되고, 반대로 대상물이 작을 시에는 노즐부(20)에 탈착된다.

여기서, 상기 패드(30)는 대상물과 밀접하게 흡착되도록 신축성 재질로 형성되고, 본 발명에서는 고무 재질로 형성되며, 상기 패드(30)가 신축성 재질이기에 노즐부(20)에 탈부착이 용이하다.

그리고, 상기 패드(30)는 도 1에서처럼, 노즐부(20)의 끝단부가 관통되도록 중앙부에 결합홀(31)이 관통 형성되고, 상기 결합홀(31)에 노즐부(20)가 삽입된 뒤, 노즐부(20)가 일측 또는 타측으로 더 이상 이동되지 않도록 단턱홈(32)이 결합홀(31)의 내주연에 형성된다.

이때, 상기 단턱홈(32)에 노즐부(20)의 단턱(22)이 결착됨으로써, 패드(30)가 노즐부(20)에 끼워지는 것이다.

또한, 상기 패드(30)의 끝단부는 도 2 내지 도 3에서처럼, 확관된 형태로 경사지게 형성되는 확관부(33)가 형성되고, 상기 확관부(33)에 의해 대상물과의 접촉면적이 커진다. 이때, 상기 확관부(33)는 도면상 상협하광으로 하단부로 갈수록 넓게 펴지는 형태이다.

그리고, 상기 패드(30)의 확관부(33) 일면 즉, 대상물과 접촉되는 면에는 대상물과의 접촉후, 흡착시, 대상물에 패드(30)가 압착될 수 있도록 압착홈(34)이 더 형성되고, 상기 대상물에 접촉후 흡착시, 압착홈(34)의 공간부가 압착되면서 패드(30)가 대상물에 밀착되는 것이다.

10 : 하우징 11 : 삽입홈
12 : 관통홀 13 : 연결부
20 : 노즐부 21 : 이송홀
22 : 단턱 23 : 돌기
30 : 패드 31 : 결합홀
32 : 단턱홈 33 : 확관부
34 : 압착홈 40 : 진공노즐

Claims (3)

1. 테스트 핸들러에 설치되는 픽커용 진공노즐(40)에 있어서,
   픽커(1)에 직접 연결되되, 일측에 삽입홈(11)이 형성되고, 상기 삽입홈(11)의 일측에는 흡착 공기가 이송되도록 관통홀(12)이 관통되는 하우징(10)과;
   상기 하우징(10)의 삽입홈(11)에 연결되어 하우징(10)의 흡착 공기에 의해 대상물을 직접 흡착하고, 상기 흡착 공기가 이송되도록 중앙부에 이송홀(21)이 관통 형성되며, 외주연에 단턱(22)이 원주방향으로 돌출 형성되는 노즐부(20)와;
   상기 노즐부(20)에 탈부착되되, 상기 노즐부(20)가 흡착하는 대상물보다 큰 대상물을 흡착시, 노즐부(20)에 부착되고, 상기 대상물과 밀접하게 흡착되도록 신축성 재질로 형성되는 패드(30);를 포함하여 구성되며,
   상기 패드(30)는 노즐부(20)의 끝단부가 관통되도록 중앙부에 결합홀(31)이 관통 형성되고, 상기 결합홀(31)에는 노즐부(20)의 단턱(22)이 결착되도록 단턱홈(32)이 형성되며,
   상기 패드(30)의 끝단부는 확관된 형태로 경사지게 형성되어 대상물과의 접촉면적이 커지는 확관부(33)가 형성되고, 상기 확관부(33)의 일면에는 대상물과의 접촉후, 흡착시, 대상물에 패드(30)가 압착될 수 있도록 압착홈(34)이 형성되며,
   상기 노즐부(20)의 외주연에는 노즐부(20)가 하우징(10)의 삽입홈(11)에 압입시, 일정부분만 삽입되도록 스토퍼 역할을 하는 돌기(23)가 형성되되, 상기 돌기(23)는 노즐부(20)의 외주연에 원주방향으로 돌출 형성되며,
   상기 노즐부(20)는 하우징(10)의 삽입홈(11)에 압입되도록 저항성의 플라스틱 재질로 형성되며,
   상기 확관부(33)는 상협하광으로 하단부로 갈수록 넓게 펴지는 형태인 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러의 픽커용 진공노즐.
   
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