KR101532239B1 - Thickness Mesurement Device Applicable in Glass Etching System - Google Patents

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KR101532239B1
KR101532239B1 KR1020140015293A KR20140015293A KR101532239B1 KR 101532239 B1 KR101532239 B1 KR 101532239B1 KR 1020140015293 A KR1020140015293 A KR 1020140015293A KR 20140015293 A KR20140015293 A KR 20140015293A KR 101532239 B1 KR101532239 B1 KR 101532239B1
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etching
glass substrate
probe
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thickness
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정돈규
김세민
박인규
조찬연
김정석
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주식회사 지디
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Abstract

According to the present invention, a device for measuring a thickness utilized for a glass etching system comprises: a probe unit removing dangers of reprocessing and excessive etching and measuring a thickness of a glass substrate to evenly etch and having an optical probe; a servo motor unit controlling an optical focal distance in real-time and moving the probe unit; a motor control unit transmitting a signal to the servo motor unit; and a measurement control tool unit transmitting light incident to the probe unit and processing the light to be converted into the electrical signal to be displayed and transmitting the signal to an etching apparatus control unit and the motor control unit. The device for measuring a thickness measures the thickness using an IR wavelength interformeter and has a structure sharing the optical probe with an optical cable. The probe unit scans the thickness of the glass substrate by a moving section of a glass substrate cassette. When the glass substrate reaches the target thickness, the probe unit is returned to a position before measurement and the glass substrate cassette is unloaded.

Description

유리 식각 시스템에서의 활용이 가능한 두께 측정장치{Thickness Mesurement Device Applicable in Glass Etching System}{Thickness Mesurement Device Applicable in Glass Etching System}

본 발명은 유리 식각 시스템에서의 활용이 가능한 두께 측정장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 습식 식각장치 안에서 식각 대상인 유리기판의 두께를 실시간으로 측정하여 재공정 및 과식각의 위험을 없애는 두께 측정장치이며, 또한 고른 식각을 위해 움직이는 대상물을 정확하게 측정 하는 것이 특징이고, 식각 대상인 유리기판의 두께를 실시간으로 측정하여 재공정 및 과식각의 위험을 없애고 고른 식각을 위해 움직이는 식각 대상인 유리 두께를 측정하는 유리 식각 시스템에서의 활용이 가능한 두께 측정장치에 관한 것이다.
The present invention relates to a thickness measuring apparatus capable of being used in a glass etching system, and more particularly, to a thickness measuring apparatus for measuring the thickness of a glass substrate to be etched in a wet etching apparatus in real time to eliminate the risk of re- It also features accurate measurement of moving objects for uniform etching. Glass etch that measures the thickness of the glass substrate to be etched in real time, eliminates the risk of reprocessing and over-etching, The present invention relates to a thickness measurement apparatus that can be used in a system.

일반적으로 글라스를 식각 하는 방법으로는 식각액(Etchant)이 채워진 용기에 글라스를 담가 글라스의 표면을 식각(Etching)하는 침지형 식각 방법과 글라스의 양측면에 식각액을 분사시키는 분사 식각 방법이 있다.As a general method of etching the glass, there are an immersion type etching method in which the glass is immersed in a container filled with an etchant, and a spray etching method in which the etching solution is injected on both sides of the glass.

하지만, 상기 침지형 식각 방법은 글라스 자체의 불균일성에 의해 글라스의 외형이 균일하게 식각 되지 않을 뿐만 아니라 식각 과정에서 발생되는 불순물이 글라스에 달라붙게 되어 글라스의 표면이 매끄럽지 못하다는 문제점이 있었고, 글라스의 하단과 상단의 두께가 동일하게 식각 되지 않는다는 문제점이 있었다.However, in the immersion type etching method, the outer shape of the glass is not uniformly etched due to the nonuniformity of the glass itself, and the impurities generated in the etching process are adhered to the glass, so that the surface of the glass is not smooth. And the thickness of the upper end is not etched uniformly.

한편, 상기 분사 식각 방법으로는 글라스의 양옆에서 식각액을 분사시켜 주는 측부 분사 방식과 글라스의 상부에서 식각액을 흘려주는 다운 스트림 방식이 있다.On the other hand, as the spray etching method, there are a side injection method for spraying the etching solution on both sides of the glass and a downstream method for flowing the etching solution from the upper part of the glass.

이때, 상기 측부 분사 방식은 글라스의 양측면에서 소정의 압력을 가진 식각액을 글라스의 양측면에 분사시켜주는 방식으로 글라스 표면에 부착된 슬러지를 효과적으로 제거할 수 있다는 장점이 있으나 글라스로부터 발생된 슬러지가 노즐의 입구에 고착화 되기 쉽다는 문제점이 있었다.At this time, the side injection method is advantageous in that sludge attached to the glass surface can be effectively removed by spraying etchant having a predetermined pressure on both sides of the glass on both sides of the glass, but the sludge generated from the glass There is a problem that it is likely to be fixed at the entrance.

또한, 상기 노즐의 입구에 고착화 된 슬러지는 노즐을 통해 분사되는 식각액의 분사 경로를 흐트러트릴 수 있다는 문제점이 있으며, 식각액의 분사 압력을 약화시킬 수 있다는 문제점이 있었다.Further, the sludge adhered to the inlet of the nozzle has a problem that the injection path of the etching solution injected through the nozzle can be disturbed, and the injection pressure of the etching solution can be weakened.

한편, 상기 다운 스트림 방식은 측부 분사 방식에 대한 문제점을 해결하고자 글라스의 상부에서 하부로 식각액을 흘려 보내 주는 방식으로 노즐 막힘에 대한 문제점은 없으나 식각액 중에 포함된 큰 입자의 슬러지가 식각중인 유리에 달라붙는다는 문제점이 있었고, 식각 중인 유리의 어느 한 부분을 집중적으로 식각 할 수 없다는 문제점이 있었다.In order to solve the problem of the side injection method, the downstream method is a method of flowing the etching solution from the upper part to the lower part of the glass. However, there is no problem with the nozzle clogging, but the sludge of the large particles contained in the etching solution is different There is a problem in that a part of the glass being etched can not be intensively etched.

또한, 기존의 다운 스트림 방식은 유리 상부에 설치된 분사 수단의 면적을 유동적으로 변경하기에 난해하다는 문제점이 있었다.In addition, the conventional downstream method has a problem in that it is difficult to change the area of the injection means installed on the glass in a fluid manner.

또한, 습식 식각 장비안에서 식각 대상인 유리기판의 두께를 실시간으로 측정하여야 하고, 고른 식각을 위해 움직이는 대상물을 정확하게 측정해야 하는 문제점이 있었다.In addition, there is a problem that the thickness of a glass substrate to be etched must be measured in real time in a wet etching apparatus, and an object to be moved must be accurately measured for uniform etching.

등록특허 10-1317680로 게시된 에칭 대상물의 두께측정시스템은 에칭액을 내부에 분사시키는 에칭조; 상기 에칭조 내부에 Y축 방향으로 출입 가능하게 설치되고, 상기 Y축 방향과 직교한 Z축 방향으로 세워진 복수개의 에칭 대상물을 Y축 방향으로 소정의 간격을 유지하도록 안착시키는 복수개의 지지대로 이루어진 카세트;The thickness measurement system of an etching object disclosed in Japanese Patent No. 10-1317680 includes an etching tank for injecting an etchant into the etching tank; And a plurality of support rods provided so as to be able to move in and out of the etching bath in the Y axis direction and to hold a plurality of etching targets standing in the Z axis direction orthogonal to the Y axis direction, ;

상기 에칭조 내부에 상기 Y축,Z축 방향과 직교한 X축 방향으로 출입 가능하게 설치되고, 에칭 대상물의 Y축 방향 두께를 측정하는 두께 측정장치; 및 상기 카세트에 구비되고, 상기 두께 측정장치에 의해 측정될 에칭 대상물을 고정시키는 복수개의 지그장치;를 포함하며, 상기 두께측정장치는, 에칭 대상물의 Y축 방향 두께를 촬영하는 카메라와, 상기 카메라가 상기 에칭조의 X축 방향으로 출입될 수 있도록 설치되고, X축 방향으로 선택적으로 길이가 가변되는 수용부와, 상기 카메라에 의해 촬영된 영상으로부터 두께를 감지하는 제어부를 포함하나, 본 발명의 1310 ㎚ 파장을 사용하는 IR 파장 간섭계를 이용하여 두께를 측정하며, 광원부와 수신부가 따로 존재하지 않고 광케이블과 광학프로브를 공유하는 구조를 가지는 것과는 상이하다.A thickness measuring device provided in the etching bath so as to be able to go in and out in the X-axis direction perpendicular to the Y-axis and Z-axis directions and to measure the thickness of the object to be etched in the Y- And a plurality of jig devices provided in the cassette for fixing an object to be etched to be measured by the thickness measuring device, the thickness measuring device comprising: a camera for photographing the thickness of the object to be etched in the Y axis direction; Axis direction of the etching bath, and a control unit for sensing the thickness from the image photographed by the camera, wherein the control unit is configured to detect the thickness of the wafer in the X- Nm wavelength is used to measure the thickness of an IR wavelength interferometer and is different from a structure in which a light source and a receiver do not exist separately and an optical cable and an optical probe share the same.

등록특허 10-1323152로 게시된 유리 기판의 식각 공정시 두께 모니터링 시스템에서의 광학 두께 측정기는 챔버내에서 상기 유리 기판이 식각되는 동안 상기 유리 기판의 두께를 광학 측정방식에 의해 모니터링하며, 상기 유리 기판을 향해 빛을 보내거나 상기 유리 기판에서 반사된 빛을 받는 렌즈를 포함하며, 상기 광학 두께 측정기는 일반적으로 광원부, 시준 렌즈, 수광 렌즈, 검출부, 대물 렌즈 등을 포함하나, 본 발명과 광학을 이용하는 것은 같으나 반사된 빛을 렌즈로 받고 광학을 이용한 방법과 구성요소가 본 발명과는 완전 상이하다.The optical thickness gauge in the thickness monitoring system during the etching process of the glass substrate disclosed in the patent 10-1323152 monitors the thickness of the glass substrate by the optical measuring method while the glass substrate is etched in the chamber, And a lens for receiving light reflected from the glass substrate. The optical thickness measuring device generally includes a light source part, a collimator lens, a light receiving lens, a detecting part, an objective lens and the like. But the method and components using optics for receiving reflected light as a lens are completely different from the present invention.

등록특허 10-1233687로 게시된 유리 기판 식각 장치는 식각액을 수용하는 용기; 상기 용기 내에 배치되며, 유리 기판이 수평으로 안착되는 제 1 플레이트; 및The glass substrate etching apparatus disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 10-1233687 includes a container for containing an etchant; A first plate disposed in the vessel, the first plate on which the glass substrate is horizontally seated; And

상기 유리 기판과 마주보도록 상기 용기 내에 배치되며, 상기 제 1 플레이트 위 또는 아래에서 상기 식각액을 유동시키는 유동부를 포함하고, 상기 유동부는, 상기 제 1 플레이트에 대향하는 제 2 플레이트; 및 상기 제 2 플레이트의 상기 유리 기판에 마주보는 면에 부착된 회전날개를 포함하나 본 발명은 상부에서 하부로 분사하는 방식이고 두께 측정장치도 있으나 식각방법이 식각액에 담궈서 유동시키는 방법으로 본 발명과 상이하다.And a flow portion disposed in the container to face the glass substrate and flowing the etchant above or below the first plate, the flow portion comprising: a second plate opposite the first plate; And a rotating blade attached to a surface of the second plate facing the glass substrate. However, the present invention is a method of spraying from the top to the bottom, and there is also a thickness measuring apparatus, but the method of immersing the etching method in an etching solution, It is different.

등록특허 10-1092471로 게시된 상부에서 에칭액을 분사하는 유리 식각 장치는 챔버(Chamber)와, 이동 수단에 의해 곧게 세워진 채 챔버 내부로 삽입되는 유리, 상기 챔버에 삽입됨과 동시에 유리 상부와 소정 간격 떨어진 상태에서 외부로부터 공급된 에칭액을 유리 상부에 흘려보내는 분사 수단, 및 상기 챔버 상부에 설치된 상태에서 분사 수단을 승·하강시켜 분사 수단이 유리와 가까워지거나 멀어지게 하는 승·하강 수단으로 이루어지고, 상기 분사 수단은 분기 배관에 의해 사각 형상으로 결합됨과 더불어 외부로부터 에칭액을 공급받는 2개 이상의 주 배관과, 서로 마주보고 있는 주 배관 사이에 끼워짐과 더불어 양끝단이 각각 마주보고 있는 주 배관의 외부 둘레면과 연통되어 주 배관으로부터 유입되는 에칭액을 공급받는 2개 이상의 보조 배관, 상기 보조 배관의 외부 둘레면에 장착되어 보조 배관으로 유입된 에칭액을 유리 방향으로 분사하는 1차 분사 노즐을 구비하며, 상기 보조 배관 상부에는 보조 배관과 소정 간격을 사이에 두고 떨어져 있으면서 보조 배관의 길이 방향으로 연장되고 양끝단이 서로 마주보고 있는 주 배관의 외부 둘레면에 결합 되는 확장 브라켓이 설치되고, 상기 확장 브라켓에는 보조배관의 길이 방향으로 연장되면서 내부가 중공되고 상·하부가 개방되어 보조 배관이 개방된 상부를 통해 내부로 삽입되며 상단면이 확장 브라켓의 하단면에 고정 설치되고 내부 폭이 상부에서 하부로 갈수록 점점 좁아지는 형태로 이루어진 2차 노즐이 장착되어 1차 분사 노즐로부터 분사된 에칭액을 2차 노즐에서 모아 유리 상부로 흘려 보내주는 구조이나 본 발명과는 에칭방식은 기본적으로 상부에서 하부로 시행하는 것이 동일하나 두께 측정장치를 이용하지 않고 제어방법이 본 발명과는 상이하다.
A glass etching apparatus for spraying an etchant at an upper portion as disclosed in Japanese Patent No. 10-1092471 includes a chamber, a glass inserted straight into the chamber by the moving means, a glass inserted into the chamber, And a raising / lowering means for raising / lowering the injecting means in a state that the injecting means is installed on the upper portion of the chamber so that the injecting means is moved closer to or away from the glass, The injection means is connected in a quadrangular shape by the branch piping. In addition, the injection means is sandwiched between two or more main pipelines supplied with etching solution from the outside, and main piping facing each other, and the outer circumference of the main piping Two or more auxiliary pipes communicating with the surface and supplied with the etching solution flowing from the main pipe, And a primary injection nozzle which is mounted on an outer circumferential surface of the tubulation pipe and injects the etching solution introduced into the auxiliary piping in the glass direction. The upper part of the auxiliary piping is spaced apart from the auxiliary piping by a predetermined distance, And an expansion bracket that is connected to an outer circumferential surface of a main pipe facing both ends of the expansion pipe and extends in the longitudinal direction of the auxiliary pipe, and the interior is hollow and the upper and lower portions are opened, A second nozzle inserted into the nozzle through the opened upper part and having a top surface fixed to the lower end surface of the expansion bracket and having an inner width gradually narrower from the upper part to the lower part is mounted so that the etchant sprayed from the first injection nozzle The structure of collecting from the secondary nozzle to the top of the glass, or the etching method of the present invention is basically Be conducted at a lower portion it is different from the present invention is a control method without using the same as a thickness measuring device.

상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 본 발명은 유리식각시스템에서 식각 중인 유리기판의 두께를 실시간으로 측정하여 재공정 및 과식각의 위험을 없애고 고른 식각을 위해, 움직이는 식각 대상인 상기 유리기판의 두께를 측정하는 두께 측정장치이고, 상기 두께 측정장치는 1310 ㎚ 파장을 사용하는 IR 파장 간섭계를 이용하여 두께를 측정하며, 광원부와 수신부가 따로 존재하지 않고 광케이블과 광학프로브를 공유하는 구조를 가지고, 유리기판 카세트의 이동 구간만큼 유리기판의 두께를 스캐닝하며, 유리기판이 목표 두께에 도달하면 상기 프로브부는 측정 전 위치로 복귀되는 유리 식각 시스템에서의 활용이 가능한 두께 측정장치를 제공함에 있다.
In order to solve the above problems, the present invention provides a glass etching system, which measures the thickness of a glass substrate during etching in real time, eliminates the risk of re-process and over-etching, Wherein the thickness measuring device measures thickness using an IR wavelength interferometer using a wavelength of 1310 nm and has a structure in which a light source and a receiver do not exist and share an optical cable and an optical probe, The present invention provides a thickness measuring apparatus capable of being used in a glass etching system in which the thickness of a glass substrate is scanned by a moving section of the glass substrate and the probe section is returned to a pre-measurement position when the glass substrate reaches a target thickness.

본 발명의 두께 측정장치는 유리식각시스템에서 식각 중인 유리기판의 두께를 실시간으로 측정하여 재공정 및 과식각의 위험을 없애고 고른 식각을 위해, 움직이는 식각 대상인 상기 유리기판의 두께를 측정하며, 조사된 빛을 내보내고 상기 유리기판에 반사되된 빛을 받는 광학프로브를 포함한 프로브부와; 상기 유리기판의 자체 움직임 때문에 발생하는 광학초점 거리 이탈을 보상하기 위하여 상기 프로브부를 이동시켜 광학초점 거리를 실시간으로 조정하며, 상기 광학프로브가 항상 측정 유효 범위 안에 들어오도록 상기 프로브부를 이동시키는 서보모터부와; 상기 프로브부의 위치를 제어하기 위하여 상기 서보모터부에 신호를 보내는 모터 컨트롤부와; 상기 프로브부에 조사된 빛을 보내고, 상기 유리기판에 반사되어 상기 프로브부로 되돌아 온 빛을 처리하고 전기적 신호로 변환하여 디스플레이하고, 상기 식각장치 제어부와 모터 컨트롤부에 신호를 보내는 측정제어툴부로 구성된다. The thickness measuring apparatus of the present invention measures the thickness of the glass substrate to be etched in real time to eliminate the risk of reprocessing and over-etching and to measure the thickness of the glass substrate to be etched, A probe unit including an optical probe for emitting light and receiving light reflected from the glass substrate; A servo motor unit for adjusting the optical focal distance in real time by moving the probe unit to compensate for deviation of the optical focal distance caused by self movement of the glass substrate and moving the probe unit such that the optical probe is always within the measurement effective range, Wow; A motor control unit for sending a signal to the servo motor unit to control a position of the probe unit; And a measurement control tool unit for transmitting the illuminated light to the probe unit, processing the light reflected by the glass substrate and returning to the probe unit, converting the light into an electrical signal, and transmitting the signal to the etcher apparatus control unit and the motor control unit do.

상기 두께 측정장치는 1310 ㎚ 파장을 사용하는 IR 파장 간섭계를 이용하여 두께를 측정하며, 광원부와 수신부가 따로 존재하지 않고 광케이블과 광학프로브를 공유하는 구조를 가지고, 상기 프로브부는 상기 유리기판 카세트의 이동 구간만큼 유리기판의 두께를 스캐닝하고, 상기 유리기판이 목표 두께에 도달하면 상기 프로브부는 측정 전 위치로 복귀되고 상기 유리기판 카세트는 언로딩된다.The thickness measuring apparatus measures the thickness using an IR wavelength interferometer using a wavelength of 1310 nm and has a structure in which a light source unit and a receiving unit are not present and shares an optical probe and an optical probe. Scanning the thickness of the glass substrate by the interval, and when the glass substrate reaches the target thickness, the probe portion returns to the pre-measurement position and the glass substrate cassette is unloaded.

상기 유리식각시스템은 상부에서 식각액을 분사하는 방식으로, 유리기판 카세트에 지면과 수직으로 거치된 유리기판 표면에 식각액이 고르게 퍼지도록 투입방향과 평행한 방향으로 상기 유리기판 카세트가 왕복운동을 한다.The glass etch system reciprocates the glass substrate cassette in a direction parallel to the loading direction so that the etching liquid spreads evenly on the surface of the glass substrate vertically mounted on the glass substrate cassette in such a manner that the etching liquid is sprayed on the glass substrate cassette.

상기 광학프로브는 식각액 분사와 동시에 두께 측정을 시작하며, 측정 대상물인 유리기판과 광학 초점거리(Focal Length) 내에서 측정이 가능하다.The optical probe starts measurement of the thickness at the same time as the injection of the etchant, and is capable of measuring within the optical focal length with the glass substrate to be measured.

상기 두께 측정장치는 실시간으로 광학 초점거리를 파악하여 항상 측정 유효 범위 안에 들어오도록 측정제어툴부와 모터 컨트롤부에서 상기 서보모터부를 제어한다.The thickness measuring apparatus grasps the optical focal distance in real time and controls the servo motor unit in the measurement control tool unit and the motor control unit so as to always fall within the measurement effective range.

상기 유리식각시스템은 유리기판 카세트에 거치된 유리기판을 식각하는 식각장치부와, 상기 식각장치부에서 진행되는 상태를 알리는 통신기능을 담당하는 에칭 소프트웨어와 에칭컨트롤부를 통해 제어하는 식각장치 제어부로 이루어진다.The glass etching system includes an etching apparatus for etching a glass substrate mounted on a glass substrate cassette, an etching software for communicating a state of progress in the etching apparatus, and an etching apparatus control unit for controlling the etching software through an etching control unit .

상기 식각장치부는 투입방향과 평행하게 투입되며 지면과 수직으로 유리기판을 거치할 수 있는 유리기판 카세트와; 상기 유리기판 카세트을 로딩하고 언로딩하는 로더언로더부와; 식각 전에 유리기판을 세척하는 챔버인 린싱챔버부와; 상기 유리기판 카세트에 거치된 유리기판을 식각하는 챔버인 식각챔버부와; 상기 유리기판 카세트를 상기 로더언로더부에서 상기 식각챔버부까지 이동시키고, 상기 식각챔버부 내에서 식각이 진행 중일 때는 상기 유리기판 카세트를 왕복운동시키는 카세트 이동 구동부와; 상기 식각챔버부의 상부에 설치되어 상부에서 하부로 식각액을 분사하는 식각액 분사장치와, 상기 식각액 분사장치에 식각액을 공급하는 펌프를 포함한 식각액 탱크부와, 상기 식각액 분사장치를 승하강시키는 승하강장치로 이루어진 식각액 분사장치부로 구성된다.A glass substrate cassette which is inserted in parallel with the loading direction and can mount the glass substrate perpendicularly to the paper surface; A loader unloader portion for loading and unloading the glass substrate cassette; A rinsing chamber portion which is a chamber for cleaning the glass substrate before etching; An etching chamber part which is a chamber for etching the glass substrate that is mounted on the glass substrate cassette; A cassette movement driving part for moving the glass substrate cassette from the loader unloader part to the etching chamber part and reciprocating the glass substrate cassette when etching is in progress in the etching chamber part; An etchant injector for injecting an etchant from an upper portion to a lower portion of the etchant chamber, an etchant tank portion including a pump for supplying an etchant to the etchant injector, and a lifting / lowering device for lifting and lowering the etchant injector And an etchant injector unit.

상기 측정제어툴부는 광섬유를 통해서 상기 프로브부로 보내 두께를 측정할 상기 유리기판 표면에 조사할 빛을 발생시키는 LED부와; 기준이 되는 빛을 발생시키는 레이저(Laser)부와; 상기 유리기판에 조사된 빛이 레이어의 경계 면에서 반사되어 상기 프로브부를 통해 되돌아 온 반사빛과, 상기 레이저부에서 발생한 기준이 되는 빛을 합성시키고, 상쇠·보강 간섭에 의해 측정 대상물의 광학 정보를 지니는 임의의 패턴을 형성시키고 위상 변화에 의해 두께 정보를 지니는 측정 피크를 생성시키는 커플러(Coupler)부와; 상기 커플러부를 통해 합성된 빛을 받아 경로변화에 의한 위상 변화를 시켜 다시 상기 커플러부로 보내는 광섬유코일(Fiber Stretcher Coil)과; 상기 커플러부에서 처리되어 두께 정보를 가진 최종 빛을 광·전 변환 알고리즘으로 처리하여 전기적 신호로 변환시키는 컨버터(Converter)와; 상기 컨버터에서 보내온 전기적 신호를 두께 연산 알고리즘으로 처리하여 두께를 모니터에 디스플레이하고, 처리된 신호를 식각장치 제어부와 모터컨트롤부로 보내 식각장치부와 서보모터부를 제어할 수 있게 하며, 프로세서와 모니터를 포함한 모니터링 소프트웨어부로 구성된다. Wherein the measurement control tool unit comprises: an LED unit for transmitting light to the probe unit through an optical fiber to generate light to be irradiated on a surface of the glass substrate to be measured for thickness; A laser unit for generating reference light; The light irradiated on the glass substrate is reflected by the boundary surface of the layer so that the reflected light returned through the probe unit and the reference light generated in the laser unit are combined and the optical information of the measurement object is detected A coupler section which forms a random pattern and generates a measurement peak having thickness information by a phase change; An optical fiber coil for receiving the light synthesized through the coupler and changing the phase of the optical fiber by a path change and then transmitting the phase change to the coupler; A converter that processes the final light having the thickness information, which is processed by the coupler unit, and converts the final light into an electric signal by processing the light; The electrical signal sent from the converter is processed by a thickness calculation algorithm to display the thickness on a monitor, and the processed signal is sent to an etch device controller and a motor controller to control the etch device and the servo motor. And monitoring software.

상기 서보모터부는 상기 측정제어툴부의 신호에 의해 회전되며, 회전력을 주는 서보모터와; 상기 서보모터의 모터축과 결합되어 회전력이 전달되며, 상기 프로브부와 결합되어 정역회전에 의해 상기 프로브부가 전진 및 후진할 수 있게 하는 회전축과; 정전이나 비상시 상기 유리기판 카세트를 빼낼 수 있게 상기 프로브부를 후진시키는 역할을 하며, 상기 회전축에 결합되어 상기 서보모터를 가동하지 않고 상기 회전축을 수동으로 회전시킬 수 있는 수동회전기구로 구성된다.The servomotor includes: a servomotor that is rotated by a signal of the measurement control tool unit and applies a rotational force; A rotary shaft coupled to a motor shaft of the servo motor to transmit a rotational force and coupled with the probe unit to forward and reverse the probe unit by normal and reverse rotation; And a manual rotating mechanism that is capable of manually moving the rotary shaft without moving the servomotor, which is coupled to the rotary shaft and serves to reverse the probe unit so that the glass substrate cassette can be pulled out during a power failure or emergency.

상기 프로브부는 두께 측정을 위해 유리기판에 빛을 조사하고 유리기판에 반사되어 돌아오는 반사광을 받아들이며, 측정제어툴부와 연결을 위한 광섬유가 연결되어 있는 광학프로브와; 상기 광학프로브가 내부에 설치되어 고정되고, 일단에는 상기 광학프로브에서 조사된 빛이 나가고 반사광이 인입되며 상기 광학프로브를 보호하기 위해 내산성, 내화학성 재질로된 투명시창이 형성되며, 타단에는 광섬유가 배출되고 일정 길이만 삽입되게 삽입깊이를 제한하는 삽입제한링이 형성되는 내부프로브커버와; 상기 광학프로브가 내장된 내부프로브커버가 내부에 설치되고, 식각액이나 화학 반응한 슬러지가 상기 투명시창을 가리는 것을 막기 위하여 에어가 분출되는 에어커튼부가 형성되며, 서보모터부 측의 일단에는 광섬유가 배출되고 내부로 식각액이 인입되는 것을 방지히는 엔드캡이 형성되는 외부프로브커버와; 상기 외부프로브커버의 서보모터 측 말단에 결합되고, 상기 회전축의 회전에 의해 상기 프로브부가 전진 및 후진운동을 할 수 있도록 상기 회전축과의 결합된 결합블럭과; 상기 외부프로브커버가 결합되고, 상기 식각장치부의 식각챔버부와 결합되는 챔버결합플랜지를 가지며 상기 프로브부의 일부와 상기 서보모터 및 회전축이 내장되어 보호되는 외측 케이싱으로 구성되는 구조이다.The probe unit includes an optical probe for irradiating light onto a glass substrate for measuring thickness, receiving reflected light reflected from the glass substrate, and connecting an optical fiber for connection with a measurement control tool unit; A transparent window made of an acid-resistant and chemical-resistant material is formed at one end to receive the light irradiated from the optical probe and to receive the reflected light and protect the optical probe, and at the other end, an optical fiber An inner probe cover having an insertion limiting ring formed therein for limiting the insertion depth so that only a predetermined length is inserted; An inner probe cover in which the optical probe is built in is provided and an air curtain is formed in which an air is sprayed to prevent an etching solution or a chemically reacted sludge from covering the transparent window, An outer probe cover on which an end cap is formed to prevent an etchant from being introduced into the inner cap; A coupling block coupled to the end of the outer probe cover at the servomotor side and coupled with the rotation shaft to allow the probe to move forward and backward by rotation of the rotation shaft; And an outer casing having a chamber coupling flange to which the outer probe cover is coupled and coupled to the etching chamber of the etching apparatus, and a portion of the probe, and the servo motor and the rotary shaft are enclosed and protected.

상기 에칭 소프트웨어, 에칭컨트롤부, 모터 컨트롤부 및 측정제어툴부는 모두 개별 동작 가능하며, 상기 에칭 소프트웨어와 모터 컨트롤부는 직렬 통신을, 상기 에칭 소프트웨어와 측정제어툴부는 64핀 병렬 통신을, 상기 에칭 소프트웨어와 에칭컨트롤부 및 상기 에칭컨트롤부와 모터 컨트롤부는 24V 접점 통신하며, 서로 유기적으로 연결되어 있으며, 식각공정 중 장비의 오동작이 있을 경우 통신 이상이 있어도 작업자에게 전달할 수 있도록 TCP/IP, PLC 24V 접점신호 및 직렬 통신 중 최소 2개 이상의 통신 방식으로 장비의 오동작 상황 알람을 발생시킬 수 있는 것이어야 한다.Wherein the etching software and the control unit are operable separately and the etching software and the motor control unit are used for serial communication and the etching software and the measurement control tool unit are used for 64 pin parallel communication, And the etching control unit and the etching control unit and the motor control unit communicate with each other by 24 V and they are connected to each other organically. In case of malfunction of equipment during the etching process, TCP / IP, PLC 24V contact Signal and serial communication shall be capable of generating a malfunction alarm of the equipment by at least two communication methods.

상술한 유리 식각 시스템에서의 활용이 가능한 두께 측정장치로 본 발명의 해결하고자 하는 과제를 해결할 수 있다.
The problem to be solved by the present invention can be solved by the thickness measuring device which can be utilized in the above-described glass etching system.

본 발명의 유리 식각 시스템에서의 활용이 가능한 두께 측정장치에 따르면 1310 ㎚ 파장을 사용하는 IR 파장 간섭계를 이용하여 비접촉 방식으로 두께를 측정하고 프로브부와 에칭 소프트웨어와 에칭컨트롤부와 모터 컨트롤부 및 측정제어툴부를 이용하여 움직이는 유리기판의 두께를 실시간으로 정확하게 측정할 수 있어 파손이나 제품 불량률 증가없이 고르고, 정확한 두께의 제품을 얻을 수 있다.According to the thickness measuring apparatus applicable to the glass etching system of the present invention, the thickness is measured in a non-contact manner using an IR wavelength interferometer using a wavelength of 1310 nm, and the thicknesses of the probe portion, etching software, etch control portion, By using the control tool part, it is possible to accurately measure the thickness of the moving glass substrate in real time, so that it is possible to obtain a product of even thickness and accurate thickness without increasing the breakage or product defect rate.

식각 중 두께 확인을 위한 공정 중단이 없으므로 재공정이 줄어 생산성의 향상을 기대할 수 있으며, 이전에는 제품의 정확한 두께와 품질을 얻기 위해서는 고도의 숙련된 작업자의 판단에 의해 공정 조건이 성립되어 공정이 진행된 반면, 상기 두께 측정장치의 활용으로 초보 작업자도 장비 운영 매뉴얼만 숙지하면 간단하게 공정 진행이 가능해진다. 또한, 식각액과 이를 씻어내는 린스액의 효율적인 관리로 제품의 원가절감이 가능해진다.
Since there is no process interruption to confirm the thickness during etching, it is expected that the productivity will be improved by reducing the re-process. Previously, in order to obtain accurate thickness and quality of the product, a highly skilled worker judged the process condition, On the other hand, by utilizing the thickness measuring device, even a novice worker can easily proceed with the process when he / she only knows the operation manual of the equipment. In addition, it is possible to reduce the cost of the product by efficiently managing the etchant and the rinsing liquid to wash it.

도 1은 본 발명의 유리 식각 시스템에서의 활용이 가능한 두께 측정장치에 따른 유리식각시스템 및 두께 측정장치 개략 정면도
도 2는 본 발명의 유리 식각 시스템에서의 활용이 가능한 두께 측정장치에 따른 유리식각시스템 및 두께 측정장치 개략 측면도
도 3은 본 발명의 유리 식각 시스템에서의 활용이 가능한 두께 측정장치에 따른 측정제어툴부 및 두께 측정원리 설명도
도 4는 본 발명의 유리 식각 시스템에서의 활용이 가능한 두께 측정장치에 따른 두께 측정원리 설명도
도 5는 본 발명의 유리 식각 시스템에서의 활용이 가능한 두께 측정장치에 따른 두께 측정장치 개략도
도 6은 본 발명의 유리 식각 시스템에서의 활용이 가능한 두께 측정장치에 따른 프로브부 단면 개략도
도 7은 본 발명의 유리 식각 시스템에서의 활용이 가능한 두께 측정장치에 따른 내부프로브커버 및 외부프로브커버 단면 개략도
도 8은 본 발명의 유리 식각 시스템에서의 활용이 가능한 두께 측정장치에 따른 내부프로브커버 개략도
도 9는 본 발명의 유리 식각 시스템에서의 활용이 가능한 두께 측정장치에 따른 수동회전기구 작동도
도 10은 본 발명의 유리 식각 시스템에서의 활용이 가능한 두께 측정장치에 따른 에어커튼부의 여러가지 실시예1 is a schematic front view of a glass etching system and a thickness measuring apparatus according to a thickness measuring apparatus which can be utilized in the glass etching system of the present invention
FIG. 2 is a schematic side view of a glass etching system and thickness measuring apparatus according to a thickness measuring apparatus that can be utilized in the glass etching system of the present invention
FIG. 3 is a view explaining the principle of the measurement control tool part and the thickness measurement according to the thickness measuring device which can be utilized in the glass etching system of the present invention.
4 is a view for explaining the principle of thickness measurement according to a thickness measuring apparatus which can be utilized in the glass etching system of the present invention
5 is a schematic view of a thickness measuring apparatus according to a thickness measuring apparatus which can be utilized in the glass etching system of the present invention
FIG. 6 is a schematic cross-sectional view of a probe according to a thickness measuring apparatus applicable to the glass etching system of the present invention
7 is a schematic view of a cross section of an inner probe cover and an outer probe cover according to a thickness measuring device usable in the glass etching system of the present invention
8 is a schematic view of an inner probe cover according to a thickness measuring apparatus usable in the glass etching system of the present invention
9 is a view showing the operation of the manual rotation mechanism according to the thickness measuring apparatus usable in the glass etching system of the present invention
Fig. 10 is a schematic view showing the structure of the air curtain according to various embodiments of the thickness measuring apparatus applicable to the glass etching system of the present invention

먼저, 본 발명의 구체적인 설명에 들어가기에 앞서, 본 발명에 관련된 공지 기술 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS First, a detailed description of known functions and configurations incorporated herein will be omitted when it may make the subject matter of the present invention rather unclear.

또한, 후술 되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례 등에 따라 달라질 수 있으므로, 그 정의는 본 발명에 따른 "유리 식각 시스템에서의 활용이 가능한 두께 측정장치"을 설명하는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다.It should be noted that the following terms are defined in consideration of the functions of the present invention, and this may vary depending on the intention or custom of the user, operator, and the like, Quot; device "in the specification and claims.

이하, 본 발명에 따른 "유리 식각 시스템에서의 활용이 가능한 두께 측정장치"에 관한 바람직한 실시 예를 도면을 참조하여 상세하게 설명한다. 다음의 실시 예는 단지 본 발명을 설명하기 위하여 예시된 것에 불과하고, 본 발명의 범위를 제한하기 위한 것은 아니다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, a preferred embodiment of a "thickness measurement apparatus usable in a glass etching system" according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings. The following examples are merely illustrative of the present invention and are not intended to limit the scope of the present invention.

도 1은 본 발명의 유리 식각 시스템에서의 활용이 가능한 두께 측정장치에 따른 유리식각시스템 및 두께 측정장치 개략 정면도이며, 도 2는 본 발명의 유리 식각 시스템에서의 활용이 가능한 두께 측정장치에 따른 유리식각시스템 및 두께 측정장치 개략 측면도이고, 도 3은 본 발명의 유리 식각 시스템에서의 활용이 가능한 두께 측정장치에 따른 측정제어툴부 및 두께 측정원리 설명도이며, 도 4는 본 발명의 유리 식각 시스템에서의 활용이 가능한 두께 측정장치에 따른 두께 측정원리 설명도이고, 도 5는 본 발명의 유리 식각 시스템에서의 활용이 가능한 두께 측정장치에 따른 두께 측정장치 개략도이며, 도 6은 본 발명의 유리 식각 시스템에서의 활용이 가능한 두께 측정장치에 따른 프로브부 단면 개략도이고, 도 7은 본 발명의 유리 식각 시스템에서의 활용이 가능한 두께 측정장치에 따른 내부프로브커버 및 외부프로브커버 단면 개략도이며, 도 8은 본 발명의 유리 식각 시스템에서의 활용이 가능한 두께 측정장치에 따른 내부프로브커버 개략도이고, 도 9는 본 발명의 유리 식각 시스템에서의 활용이 가능한 두께 측정장치에 따른 수동회전기구 작동도이며, 도 10은 본 발명의 유리 식각 시스템에서의 활용이 가능한 두께 측정장치에 따른 에어커튼부의 여러가지 실시예이다.FIG. 1 is a schematic front view of a glass etching system and a thickness measuring apparatus according to a thickness measuring apparatus which can be used in the glass etching system of the present invention, and FIG. 2 is a front view FIG. 3 is a view for explaining a measurement control tool part and a thickness measuring principle according to a thickness measuring device which can be utilized in the glass etching system of the present invention, and FIG. 4 is a schematic view FIG. 5 is a schematic view of a thickness measuring apparatus according to a thickness measuring apparatus applicable to the glass etching system of the present invention, and FIG. 6 is a schematic view of a thickness measuring apparatus according to the present invention, FIG. 7 is a schematic sectional view of a probe according to the present invention, FIG. 8 is a schematic view of an inner probe cover according to a thickness measuring apparatus applicable to the glass etching system of the present invention, FIG. 9 is a schematic view of an inner probe cover according to the present invention FIG. 10 is a view showing various embodiments of the air curtain according to the thickness measuring apparatus applicable to the glass etching system of the present invention.

도 1과 도 2에 도시되어 있는 것 같이 본 발명의 유리 식각 시스템에서의 활용이 가능한 두께 측정장치(2)는 유리식각시스템(1)에 설치되어 실시간으로 유리기판(1111)의 두께를 측정하고, 측정된 값을 다시 유리식각시스템(1)의 식각장치 제어부(12)로 보내 식각공정을 제어할 수 있게 한다.As shown in FIGS. 1 and 2, the thickness measuring apparatus 2 that can be used in the glass etching system of the present invention is installed in the glass etching system 1 to measure the thickness of the glass substrate 1111 in real time , And sends the measured value back to the etching apparatus control unit 12 of the glass etching system 1 to control the etching process.

본 발명의 유리 식각 시스템에서의 활용이 가능한 두께 측정장치(2)는 유리식각시스템(1)에서 식각 중인 유리기판(1111)의 두께를 실시간으로 측정하여 재공정 및 과식각의 위험을 없애고 고른 식각을 위해, 움직이는 식각 대상인 상기 유리기판(1111)의 두께를 측정한다.The thickness measuring apparatus 2 which can be used in the glass etching system of the present invention can measure the thickness of the glass substrate 1111 during etching in the glass etching system 1 in real time to eliminate the risk of re- The thickness of the glass substrate 1111, which is the subject of the moving etching, is measured.

상기 두께 측정장치(2)는 조사된 빛을 내보내고 상기 유리기판(1111)에 반사된 빛을 받는 광학프로브(211)를 포함한 프로브부(21)와; 상기 유리기판(1111)의 자체 움직임 때문에 발생하는 광학초점 거리 이탈을 보상하기 위하여 상기 프로브부(21)를 이동시켜 광학초점 거리를 실시간으로 조정하며, 상기 광학프로브(211)가 항상 측정 유효 범위 안에 들어오도록 상기 프로브부를 이동시키는 서보모터부(22)와; 상기 프로브부(21)의 위치를 제어하기 위하여 상기 서보모터부(22)에 신호를 보내는 모터 컨트롤부(23)와; 상기 프로브부(21)에 조사된 빛을 보내고, 상기 유리기판(1111)에 반사되어 상기 프로브부(21)로 되돌아 온 빛을 처리하고 전기적 신호로 변환하여 디스플레이하고, 상기 식각장치 제어부(12)와 모터 컨트롤부(23)에 신호를 보내는 측정제어툴부(24)로 구성된다. The thickness measuring apparatus 2 includes a probe unit 21 including an optical probe 211 that emits irradiated light and receives light reflected from the glass substrate 1111; The probe unit 21 is moved to adjust the optical focal distance in real time in order to compensate for the deviation of the optical focal distance caused by the self-motion of the glass substrate 1111, and the optical probe 211 is always in the measurement effective range A servo motor part (22) for moving the probe part so as to come in; A motor control unit 23 for sending a signal to the servo motor unit 22 to control the position of the probe unit 21; The light emitted from the probe unit 21 is reflected by the glass substrate 1111 and converted into an electric signal by processing the light reflected by the probe unit 21, And a measurement control tool section 24 for sending signals to the motor control section 23.

상기 두께 측정장치(2)는 파장 간섭계를 이용하여 두께를 측정하며, 광원부와 수신부가 따로 존재하지 않고 광케이블(광섬유)과 광학프로브를 공유하는 구조를 가지며, 상기 프로브부(21)는 유리기판 카세트(111)의 이동 구간만큼 유리기판(1111)의 두께를 스캐닝하고, 상기 유리기판(1111)이 식각되어 목표 두께에 도달하면 상기 프로브부(21)는 측정 전 위치로 복귀된다.The thickness measuring device 2 measures the thickness using a wavelength interferometer and has a structure in which a light source and a receiver are not separately present and shares an optical probe with an optical fiber. The thickness of the glass substrate 1111 is scanned by the moving section of the glass substrate 1111. When the glass substrate 1111 is etched to reach the target thickness, the probe section 21 is returned to the pre-measurement position.

상기 유리식각시스템(1)은 상부에서 식각액을 분사하는 방식으로, 유리기판 카세트(111)에 지면과 수직으로 거치된 유리기판(1111) 표면에 식각액이 고르게 퍼지도록 투입방향과 평행한 방향으로 상기 유리기판 카세트(111)가 왕복운동을 하며, 왕복운동 거리는 약 40cm에 해당하는 구간을 스캐닝하여 전체 유리기판의 두께를 측정한다.In the glass etching system 1, the etching solution is sprayed onto the surface of the glass substrate 1111 vertically mounted on the glass substrate cassette 111 by spraying the etching solution in a direction parallel to the loading direction so that the etching solution spreads evenly. The glass substrate cassette 111 reciprocates, and a section corresponding to a reciprocating distance of about 40 cm is scanned to measure the thickness of the entire glass substrate.

측정 유리기판은 2장이 합착 된 표시패널에 한하며, 합착 된 두 유리기판이 일정하게 식각되는 상황에서 측정된 두 기판의 두께 차가 일정범위 이내에 들어올 때 만 참값 두께로 인식해야 한다.The measurement glass substrate is limited to the display panel to which two sheets are bonded. Only when the thickness difference between the two substrates measured in the case where two glass substrates bonded together are within a certain range, it should be recognized as true thickness.

상기 유리식각시스템(1)은 유리기판 카세트(111)에 거치된 유리기판(1111)을 식각하는 식각장치부(11)와, 상기 식각장치부(11)에서 진행되는 상태를 알리는 통신기능을 담당하는 에칭 소프트웨어(121)와 에칭컨트롤부(122)를 통해 제어하는 식각장치 제어부(12)로 이루어진다. The glass etching system 1 is provided with an etching unit 11 for etching a glass substrate 1111 mounted on a glass substrate cassette 111 and a communication function for informing a state progressed in the etching unit 11 And an etching control unit (12) for controlling the etching control unit (121) and the etching control unit (122).

상기 식각장치부(11)는 투입방향과 평행하게 투입되며 지면과 수직으로 유리기판(1111)을 거치할 수 있는 유리기판 카세트(111)와; 상기 유리기판 카세트(111)을 로딩하고 언로딩하는 로더언로더부(112)와; 식각 전에 유리기판(1111)을 세척하는 챔버인 린싱챔버부(113)와; 상기 유리기판 카세트(111)에 거치된 유리기판(1111)을 식각하는 챔버인 식각챔버부(114)와; 상기 유리기판 카세트(111)를 상기 로더언로더부(112)에서 상기 식각챔버부(114)까지 이동시키고, 상기 식각챔버부(114) 내에서 식각이 진행 중일 때는 상기 유리기판 카세트(111)를 왕복운동시키는 카세트 이동 구동부(115)와; 상기 식각챔버부(114)의 상부에 설치되어 상부에서 하부로 식각액을 분사하는 식각액 분사장치(1161)와, 상기 식각액 분사장치(1161)에 식각액을 공급하는 펌프(11621)를 포함한 식각액 탱크부(1162)와, 상기 식각액 분사장치(1161)를 승하강시키는 승하강장치(1163)로 이루어진 식각액 분사장치부(116)로 구성되며, 각 구성요소에 대한 상세한 설명은 생략한다.The etching apparatus unit 11 includes a glass substrate cassette 111 that is inserted in parallel with the loading direction and can mount the glass substrate 1111 perpendicular to the paper surface; A loader unloader section (112) for loading and unloading the glass substrate cassette (111); A rinse chamber part 113 as a chamber for cleaning the glass substrate 1111 before etching; An etching chamber part 114 as a chamber for etching the glass substrate 1111 mounted on the glass substrate cassette 111; The glass substrate cassette 111 is moved from the loader unloader portion 112 to the etching chamber portion 114 and the glass substrate cassette 111 is moved in the etching chamber portion 114 A cassette movement driving unit (115) for reciprocating movement; An etchant injector 1161 disposed at an upper portion of the etch chamber 114 to inject the etchant from the upper portion to a lower portion thereof and an etchant tank portion 11621 including a pump 11621 for supplying the etchant to the etchant injector 1161 And an elevating and lowering device 1163 for elevating and lowering the etching liquid injecting device 1161. The detailed description of each component will be omitted.

상기 광학프로브(211)는 식각액 분사와 동시에 두께 측정을 시작하며, 측정 대상물인 상기 유리기판(1111)과 수직거리로 4~6cm인 광학 초점거리(Focal Length) 내에서 측정이 가능하고, 상기 두께 측정장치(2)는 실시간으로 광학 초점거리를 파악하여 항상 측정 유효 범위 안에 들어오도록 상기 측정제어툴부(24)와 모터 컨트롤부(23)에서 상기 서보모터부(22)를 제어한다.The optical probe 211 starts measurement of the thickness at the same time as the injection of the etchant and is capable of measuring within a focal length of 4 to 6 cm at a vertical distance from the glass substrate 1111 as an object to be measured, The measurement apparatus 2 controls the servo motor section 22 in the measurement control tool section 24 and the motor control section 23 so as to grasp the optical focal distance in real time and always fall within the measurement effective range.

상기 프로브부(21)에는 상기 광학프로브(211)의 앞에 설치되며, 상기 광학프로브(211)에서 조사된 빛이 나가고 반사광이 인입되며 상기 광학프로브(211)를 보호하기 위해 내산성, 내화학성 재질로된 투명시창(2122)이 형성된다.The probe unit 21 is installed in front of the optical probe 211 and is provided with an acid resistant and chemical resistant material for protecting the optical probe 211 from light emitted from the optical probe 211, A transparent window 2122 is formed.

상기 프로브부(21)에는 식각액이나 화학 반응한 슬러지가 상기 투명시창(2122)을 가리는 것을 막기 위하여 에어가 분출되는 에어커튼부(2131)가 형성된다. The probe unit 21 is formed with an air curtain unit 2131 through which air is sprayed to prevent an etching solution or chemically reacted sludge from covering the transparent window 2122.

즉, 식각액은 탱크 순환방식이며, 화학반응한 슬러지 및 식각액이 상기 투명시창(2122) 앞을 가려 측정에 방해가 될 수 있으므로 이를 제거하기 위해 에어를 분사시켜 에어 커튼을 형성시키는 상기 에어커튼부(2131)를 상기 투명시창(2122) 앞에 설치한다.That is, the etching liquid is a tank circulation system, and the chemical sludge and etchant may block the front of the transparent window 2122 and interfere with the measurement. Therefore, the air curtain 2131 are installed in front of the transparent window 2122.

상기 에어커튼부(2131)는 식각액이 분사되는 바깥쪽과 상기 투명시창 바로 앞쪽의 기압차로 인해 흡입현상이 일어나 상기 투명시창(2122)에 슬러지 및 식각액이 흡착 가능성이 있으므로 기압차가 생기지 않는 구조이고 식각액의 고임이 발생하지 않는 구조인 것이 바람직하다.The air curtain portion 2131 has a structure in which a suction phenomenon occurs due to a difference in atmospheric pressure between the outer side where the etching liquid is injected and the front side of the transparent window and the sludge and the etching liquid are likely to be adsorbed in the transparent window 2122, It is preferable that the structure is not formed.

상기 에칭 소프트웨어(121), 에칭컨트롤부(122), 모터 컨트롤부(23) 및 측정제어툴부(24)는 모두 개별 동작 가능하며, 상기 에칭 소프트웨어(121)와 모터 컨트롤부(23)는 직렬 통신을, 상기 에칭 소프트웨어(121)와 측정제어툴부(24)는 64핀 병렬 통신을, 상기 에칭 소프트웨어(121)와 에칭컨트롤부(122) 및 상기 에칭컨트롤부(122)와 모터 컨트롤부(23)는 24V 접점 통신하며, 서로 유기적으로 연결되어 있다.The etching software 121 and the motor control unit 23 are connected to each other via a serial communication unit 121. The etching software 121, the etching control unit 122, the motor control unit 23, The etching software 121 and the measurement control tool 24 are connected to the etching software 121 and the etching control unit 122 and the etching control unit 122 and the motor control unit 23, Are 24V contacts and are connected to each other organically.

식각공정 중 장비의 오동작이 있을 경우 통신 이상이 있어도 작업자에게 전달할 수 있도록 TCP/IP, PLC 24V 접점신호 및 직렬 통신 중 최소 2개 이상의 통신 방식으로 장비의 오동작 상황 알람을 발생시킬 수 있어야 한다.If there is a malfunction of the equipment during the etching process, it should be able to generate a malfunction alarm of the equipment by at least two of communication method of TCP / IP, PLC 24V contact signal and serial communication so that it can be delivered to the operator even if there is a communication error.

본 발명의 유리 식각 시스템에서의 활용이 가능한 두께 측정장치에 따르면 1310 ㎚ 파장을 사용하는 IR 파장 간섭계를 이용하여 두께를 측정하고, 상기 프로브부(21)와 에칭 소프트웨어(121)와 에칭컨트롤부(122)와 모터 컨트롤부(23) 및 측정제어툴부(24)를 이용하여 상기 유리기판(1111)의 두께를 실시간으로 측정할 수 있으므로, 움직이는 유리기판의 두께를 정확하게 측정할 수 있어 고르고 원하는 두께의 식각을 할 수 있으며, 재공정 및 과식각의 위험을 없앨 수 있는 효과가 있다.According to the thickness measuring apparatus applicable to the glass etching system of the present invention, the thickness is measured using an IR wavelength interferometer using a wavelength of 1310 nm, and the thicknesses of the probe unit 21, the etching software 121, Since the thickness of the glass substrate 1111 can be measured in real time using the motor control unit 122, the motor control unit 23 and the measurement control tool unit 24, the thickness of the moving glass substrate can be accurately measured, Etching can be performed, and the risk of re-processing and overeating can be eliminated.

상기 유리기판 카세트(111)에 삽입된 유리기판(1111)은 흔들리지 않도록 고정시킬 필요는 없으며, 식각 공정 중 무게에 의한 파손이 일어나지 않는 범위 이내의 최소한의 거치만 되어도 정확한 측정이 가능하다. It is not necessary to fix the glass substrate 1111 inserted into the glass substrate cassette 111 so as to prevent it from being shaken and accurate measurement can be performed even if a minimum of mounting is performed within a range that does not cause damage due to weight during the etching process.

도 3에 도시되어 있는 것 같이 상기 측정제어툴부(24)는 광섬유(2111)를 통해서 상기 프로브부(21)로 보내 두께를 측정할 상기 유리기판(1111) 표면에 조사할 빛을 발생시키는 LED부(241)와; 기준이 되는 빛을 발생시키는 레이저(Laser)부(242)와; 상기 유리기판(1111)에 조사된 빛이 레이어의 경계 면에서 반사되어 상기 프로브부(21)를 통해 되돌아 온 반사빛과, 상기 레이저부에서 발생한 기준이 되는 빛을 합성시키고, 측정 대상물의 광학 정보를 지니는 임의의 패턴을 형성시키고 위상 변화에 의해 두께 정보를 지니는 측정 피크를 생성시키는 커플러(Coupler)부(243)와; 상기 커플러부(243)를 통해 합성된 빛을 받아 경로변화에 의한 위상 변화를 시켜 다시 상기 커플러부(243)로 보내는 광섬유코일(Fiber Stretcher Coil)(244)과; 상기 커플러부(243)에서 처리되어 두께 정보를 가진 최종 빛을 변환 알고리즘으로 처리하여 전기적 신호로 변환시키는 컨버터(Converter)(245)와; 상기 컨버터(245)에서 보내온 전기적 신호를 다시 변환 알고리즘으로 처리하여 두께를 모니터에 디스플레이하고, 처리된 신호를 식각장치 제어부(12)와 모터컨트롤부(23)로 보내 상기 식각장치부(11)와 서보모터부(22)를 제어할 수 있게 하며, 모니터(2462)와 프로세서(2461)를 포함한 모니터링 소프트웨어(Monitoring Software)부(246)로 구성된다.3, the measurement control tool 24 includes an LED unit (not shown) for generating light to be irradiated on a surface of the glass substrate 1111 for measuring a thickness, which is sent to the probe unit 21 through an optical fiber 2111, (241); A laser section 242 for generating reference light; The light irradiated on the glass substrate 1111 is reflected by the boundary surface of the layer and reflected through the probe unit 21 and the reference light generated in the laser unit are synthesized, A coupler portion 243 for forming a measurement pattern having a thickness information by a phase change, and generating a measurement peak having a thickness information; An optical fiber coil 244 receiving the light synthesized through the coupler 243 and changing the phase of the light by the path change and then sending the phase change to the coupler 243; A converter 245 for processing the final light having the thickness information processed by the coupler unit 243 by a conversion algorithm and converting the final light into an electrical signal; The electric signal sent from the converter 245 is processed by a conversion algorithm again to display the thickness on the monitor and the processed signal is sent to the etching device control unit 12 and the motor control unit 23, And a monitoring software section 246 including a monitor 2462 and a processor 2461 to control the servo motor section 22.

상기 LED부(241)로 상기 프로브부(21)를 통해 두께를 측정할 표면에 빛을 조사하면 빛은 일부의 빛은 반사되어 돌어오고 일부는 테스트 물질 즉 유리기판(1111)을 통과한다.When light is irradiated onto the surface to be measured through the probe unit 21 with the LED unit 241, part of the light is reflected by the LED unit 241, and part of the light is reflected by the test unit.

상기 유리기판(1111)을 통과한 빛은 새로운 표면이나 층에서 다시 반사되며 이 반사된 빛이 상기 커플러(243)로 전달된다.Light passing through the glass substrate 1111 is reflected again on a new surface or layer, and the reflected light is transmitted to the coupler 243.

상기 커플러(243)에서 반사된 빛은 상기 레이저부(242)에서 조사된 빛과 합해져, 상기 섬유스트레처코일(광섬유코일)(244)로 유도되고, 상기 광섬유코일(244)에서 경로길이의 변화가 일어난다.The light reflected by the coupler 243 is combined with the light emitted from the laser unit 242 and guided to the fiber stretcher coil 244, .

이 경로길이의 변화와 간섭패턴의 결과 생성물은 측정피크를 생성시킨다.The change in path length and the resulting product of the interference pattern produce a measurement peak.

상기 레이저부(242)는 이들 피크 사이의 광학두께를 측정하기 위한 내부클록과 참고 역할을 행한다.The laser section 242 serves as an internal clock and a reference for measuring the optical thickness between these peaks.

상기 컨버터(245)와 프로세서(2461)는 광학측정을 극도로 정확한 물리적 측정치로 변환시키는 특별한 알고리즘과 적용소프트웨어를 가지며, 이 변환된 측정치는 상기 모니터(2462)에 디스플레이된다The converter 245 and the processor 2461 have special algorithms and application software that convert optical measurements to extremely accurate physical measurements that are then displayed on the monitor 2462

도 4에 도시되어 있는 것 같이 상기 두께 측정장치(2)의 두께 측정 원리는 LED가 측청 대상에 조사 되면 각 Layer의 경계 면에서 반사가 일어나 되돌아 오는 빛이 생기며, 돌아 오는 모든 빛과 기준이 되는 Laser 빛의 중첩이 이루어지고, 빛은 상쇠·보강 간섭에 의해 측정 대상물의 광학 정보를 지니는 임의의 패턴을 형성하며, 합성된 빛은 광학 코일을 지나게 되며 이때 경로변화에 의한 위상 변화가 생기고, 빛의 중첩에 의한 간섭 패턴과 경로변화에 의한 위상 변화에 의해 두께 정보를 지니는 peak 신호가 생성되며, 이를 다시 처음에 빛의 중첩에 이용되었던 기준이 되는 Laser와 비교하여 전기적 신호로 바꾸어 두께 측정을 하며, 이때 유리기판의 두께는 옵티컬 두께 나누기 유리기판의 굴절률로 구할 수 있다.As shown in FIG. 4, the thickness measurement principle of the thickness measuring apparatus 2 is such that when an LED is irradiated on the object to be observed, reflection occurs at the interface of each layer to generate a returning light, Laser light is superimposed and the light forms an arbitrary pattern having optical information of the object to be measured due to inferior and constructive interference, and the synthesized light passes through the optical coil. At this time, a phase change is caused by the path change, The peak signal with the thickness information is generated by the interference pattern by the superposition of the light and the phase change due to the path change. Then, the peak signal is converted into the electrical signal by comparing with the reference laser which was used for the superposition of light at first, , Where the thickness of the glass substrate can be determined by the refractive index of the optical thickness-dividing glass substrate.

도 5에 도시되어 있는 것 같이 상기 두께 측정장치(2)는 조사된 빛을 내보내고 상기 유리기판(1111)에 반사된 빛을 받는 광학프로브(211)를 포함한 프로브부(21)와; 상기 유리기판(1111)의 자체 움직임 때문에 발생하는 광학초점 거리 이탈을 보상하기 위하여 상기 프로브부(21)를 이동시켜 광학초점 거리를 실시간으로 조정하며, 상기 광학프로브(211)가 항상 측정 유효 범위 안에 들어오도록 상기 프로브부를 이동시키는 서보모터부(22)와; 상기 프로브부(21)의 위치를 제어하기 위하여 상기 서보모터부(22)에 신호를 보내는 모터 컨트롤부(23)와; 상기 프로브부(21)에 조사된 빛을 보내고, 상기 유리기판(1111)에 반사되어 상기 프로브부(21)로 되돌아 온 빛을 처리하고 전기적 신호로 변환하여 디스플레이하고, 상기 식각장치 제어부(12)와 모터 컨트롤부(23)에 신호를 보내는 측정제어툴부(24)로 구성된다.5, the thickness measuring apparatus 2 includes a probe unit 21 including an optical probe 211 that emits illuminated light and receives light reflected from the glass substrate 1111; The probe unit 21 is moved to adjust the optical focal distance in real time in order to compensate for the deviation of the optical focal distance caused by the self-motion of the glass substrate 1111, and the optical probe 211 is always in the measurement effective range A servo motor part (22) for moving the probe part so as to come in; A motor control unit 23 for sending a signal to the servo motor unit 22 to control the position of the probe unit 21; The light emitted from the probe unit 21 is reflected by the glass substrate 1111 and converted into an electric signal by processing the light reflected by the probe unit 21, And a measurement control tool section 24 for sending signals to the motor control section 23.

상기 서보모터부(22)는 상기 측정제어툴부(24)의 신호에 의해 회전되며, 회전력을 주는 서보모터(221)와; 상기 서보모터(221)의 모터축과 결합되어 회전력이 전달되며, 상기 프로브부(21)와 결합되어 정역회전에 의해 상기 프로브부(21)가 전진 및 후진할 수 있게 하는 회전축(222)과; 정전이나 비상시 상기 유리기판 카세트(111)를 빼낼 수 있게 상기 프로브부(21)를 후진시키는 역할을 하며, 상기 회전축(222)에 결합되어 상기 서보모터(221)를 가동하지 않고 상기 회전축(222)을 수동으로 회전시킬 수 있는 수동회전기구(223)로 구성된다. The servo motor unit 22 includes a servomotor 221 rotated by a signal of the measurement control tool unit 24 and applying a rotational force thereto; A rotation shaft 222 coupled with the motor shaft of the servo motor 221 to transmit a rotational force and coupled with the probe unit 21 to allow the probe unit 21 to move forward and backward by normal and reverse rotation; And is configured to move the probe unit 21 backward so that the glass substrate cassette 111 can be pulled out in case of a power failure or an emergency and is coupled to the rotation axis 222 to rotate the rotation axis 222 without operating the servo motor 221. [ And a manual rotating mechanism 223 that can manually rotate the rotating shaft 223.

상기 서보모터(221)는 빠른 응답과 넓은 속도제어의 범위를 가진 모터여야 하며, 정지 시동 역전 등의 동작을 반복할 수 있어야 하며, 방열효과를 좋게 하고 동작의 변화가 빨라지도록 설계상 고려되어야 하며, 직류 서보모터가 바람직하나 교류 서보모터도 사용할 수 있다.The servomotor 221 should be a motor having a fast response and a wide range of speed control. It should be capable of repeating the operation such as the inversion of the standstill start, the design should be designed so that the heat dissipation effect is improved and the operation change is fast , DC servomotor is preferable, but AC servomotor can also be used.

상기 서보모터(221)는 상기 측정제어툴부(24)의 제어신호에 의해 운전되며, 그러기 위해서는 제어신호를 받아 이것을 증폭하여 상기 서보모터(221)를 구동하는 서보증폭기가 갖추는 것이 바람직하다.The servo motor 221 is operated by a control signal of the measurement control tool unit 24 and is preferably equipped with a servo amplifier for receiving the control signal and amplifying the control signal to drive the servo motor 221.

도 6에 도시되어 있는 것 같이 상기 프로브부(21)는 두께 측정을 위해 상기 유리기판(1111)에 빛을 조사하고 유리기판(1111)에 반사되어 돌아오는 반사광을 받아들이며, 상기 측정제어툴부(24)와 연결을 위한 광섬유(2111)가 연결되어 있는 광학프로브(211)와; 상기 광학프로브(211)가 내부에 설치되어 고정되고, 일단에는 상기 광학프로브(211)에서 조사된 빛이 나가고 반사광이 인입되며 상기 광학프로브(211)를 보호하기 위해 내산성, 내화학성 재질로된 투명시창(2122)이 형성되며, 타단에는 상기 광섬유(2111)가 배출되고 일정 길이만 삽입되게 삽입깊이를 제한하는 삽입제한링(21211)이 형성되는 내부프로브커버(212)와; 상기 광학프로브(211)가 내장된 상기 내부프로브커버(212)가 내부에 설치되고, 식각액이나 화학 반응한 슬러지가 상기 투명시창(2122)을 가리는 것을 막기 위하여 에어가 분출되는 에어커튼부(2131)가 형성되며, 상기 서보모터부(22) 측의 일단에는 상기 광섬유(2111)가 배출되고 내부로 식각액이 인입되는 것을 방지히는 엔드캡(2132)이 형성되는 외부프로브커버(213)와; 상기 외부프로브커버(213)의 서보모터(221) 측 말단에 결합되고, 상기 회전축(222)의 회전에 의해 상기 프로브부(21)가 전진 및 후진운동을 할 수 있도록 상기 회전축(222)과 결합된 결합블럭(214)과; 상기 외부프로브커버(213)가 결합되고, 상기 식각장치부(11)의 식각챔버부(114)와 결합되는 챔버결합플랜지(2151)를 가지며 상기 프로브부(21)의 일부와 상기 서보모터(221) 및 회전축(222)이 내장되어 보호되는 외측 케이싱(215)으로 구성되는 구조이다.6, the probe unit 21 irradiates light to the glass substrate 1111 to receive the reflected light reflected from the glass substrate 1111, and the measurement control tool unit 24 An optical probe 211 to which an optical fiber 2111 for connection is connected; In order to protect the optical probe 211 from the light emitted from the optical probe 211 and to receive the reflected light, the optical probe 211 is installed and fixed in the transparent An inner probe cover 212 in which an insertion limiting ring 21211 for limiting the insertion depth is formed so that the optical fiber 2111 is discharged and only a predetermined length is inserted into the other end; The inner probe cover 212 in which the optical probe 211 is installed is installed inside and the air curtain 2131 in which air is sprayed to prevent the etching solution or chemically reacted sludge from covering the transparent window 2122, An outer probe cover 213 having an end cap 2132 formed at one end of the servomotor 22 so as to prevent the optical fiber 2111 from being discharged and the etchant to be drawn into the inner cap 2132; And is coupled to the end of the outer probe cover 213 on the side of the servomotor 221 so as to be coupled with the rotation shaft 222 to allow the probe unit 21 to move forward and backward by the rotation of the rotation shaft 222. [ (214) < / RTI > And a chamber coupling flange 2151 coupled to the etching chamber section 114 of the etching apparatus section 11 and connected to a part of the probe section 21 and the servo motor 221 And an outer casing 215 in which a rotary shaft 222 is embedded and protected.

상기 외측 케이싱(215)은 상기 식각장치부(11)의 식각챔버부(114)와 결합되는 챔버결합플랜지(2151)와; 상기 챔버결합플랜지(2151)의 식각챔버부(114) 측에 연결되며, 상기 외부프로브커버(213)가 내부로 통과되고, 상기 외부프로브커버(213)가 전진과 후진 시 유동되는 것을 방지하기 위한 가이드슬리브(2152)와; 상기 회전축(222)의 말단이 지지되고 상기 챔버결합플랜지(2151) 및 가이드슬리브(2152)와 결합되는 회전축지지디스크(2153)와; 상기 서보모터(221)가 지지되고 상기 수동회전기구(223)의 수동회전축(2232)이 통과되는 말단지지디스크(2154)와; 상기 챔버결합플랜지(2151)와 조임환봉(2157)으로 결합되고 상기 말단지지디스크(2154)의 외측에 형성되는 말단플랜지(2155)와; 상기 챔버결합플랜지(2151)와 말단플랜지(2155) 사이에 설치되어 상기 조임환봉(2157)으로 조여지고, 상기 서보모터부(22)를 보호하며, 투명하여 내부가 보이는 투명원통(2156)으로 구성된다.The outer casing 215 includes a chamber coupling flange 2151 coupled to the etching chamber portion 114 of the etching apparatus section 11; The external probe cover 213 is connected to the side of the etching chamber part 114 of the chamber coupling flange 2151 so as to prevent the external probe cover 213 from passing through the inside of the external probe cover 213, A guide sleeve 2152; A rotation shaft support disk 2153 supported at the distal end of the rotation shaft 222 and coupled with the chamber coupling flange 2151 and the guide sleeve 2152; A distal support disk 2154 supporting the servomotor 221 and passing the manual rotation axis 2232 of the manual rotation mechanism 223; A distal flange 2155 coupled to the chamber coupling flange 2151 by a tightening round bar 2157 and formed on the outside of the distal support disc 2154; And a transparent cylinder 2156 which is installed between the chamber coupling flange 2151 and the end flange 2155 and tightened by the tightening round bar 2157 to protect the servo motor portion 22 and is transparent, do.

도 7에 도시되어 있는 것 같이 상기 내부프로브커버(212)는 내부커버본체(2121)와 투명시창(2122)로 구성된다. As shown in FIG. 7, the inner probe cover 212 is composed of an inner cover body 2121 and a transparent window 2122.

상기 내부커버본체(2121)의 일단에는 상기 광학프로브(211)가 내부에 설치되어 고정되고, 상기 광학프로브(211)에서 조사된 빛이 나가고 반사광이 인입되며 상기 광학프로브(211)를 보호하기 위해 내산성, 내화학성 재질로된 상기 투명시창(2122)이 형성된다.The optical probe 211 is installed inside and fixed to one end of the inner cover main body 2121 so that the light emitted from the optical probe 211 is emitted and the reflected light is guided to protect the optical probe 211 The transparent window 2122 made of an acid-resistant and chemical-resistant material is formed.

상기 내부커버본체(2121)의 타단에는 상기 광섬유(2111)가 배출되고 일정 길이만 삽입되게 삽입깊이를 제한하는 삽입제한링(21211)이 형성된다.An insertion limiting ring 21211 is formed at the other end of the inner cover main body 2121 to limit the insertion depth of the optical fiber 2111 so that the optical fiber 2111 is inserted and only a predetermined length is inserted.

상기 내부커버본체(2121)의 중심부에는 상기 광섬유(2111)가 통과하는 광섬유통과홀(21212)이 형성된다.An optical fiber through hole 21212 through which the optical fiber 2111 passes is formed in the center of the inner cover body 2121.

상기 외부프로브커버(213)는 상기 광학프로브(211)가 내장된 상기 내부프로브커버(212)가 내부에 설치되고, 식각액이나 화학 반응한 슬러지가 상기 투명시창(2122)을 가리는 것을 막기 위하여 에어가 분출되는 에어커튼부(2131)가 형성되며, 상기 서보모터부(22) 측의 일단에는 상기 광섬유(2111)가 배출되고 내부로 식각액이 인입되는 것을 방지히는 엔드캡(2132)이 형성된다.The outer probe cover 213 is provided with the inner probe cover 212 in which the optical probe 211 is installed and is provided with an air probe 227 to prevent the etching solution or chemically reacted sludge from covering the transparent window 2122. [ And an end cap 2132 is formed at one end of the servo motor unit 22 to prevent the optical fiber 2111 from being discharged and the etchant to be drawn into the inside.

상기 외부프로브커버(213)와 에어커튼부(2131)는 용접하여 결합한다.The outer probe cover 213 and the air curtain 2131 are welded to each other.

도 8에 도시되어 있는 것 같이 도 8-1은 상기 내부프로브커버(212)의 결합도이고, 도 8-2는 상기 내부프로브커버(212)의 분해도이다.As shown in Fig. 8, Fig. 8-1 is a view showing the engagement of the inner probe cover 212, and Fig. 8-2 is an exploded view of the inner probe cover 212. Fig.

상기 내부프로브커버(212)는 내부프로브커버몸체(2121)와 투명시창(2122)으로 이루어지고, 상기 내부프로브커버몸체(2121)와 투명시창(2122)는 상기 투명시창(2122)에 상기 광프로브(211)을 삽입하고 상기 내부프로브커버몸체(2121)에 광섬유(2111)를 끼운 후 나사 형태로 돌려서 결합한다.The inner probe cover 212 includes an inner probe cover body 2121 and a transparent window 2122. The inner probe cover body 2121 and the transparent window 2122 are formed in the transparent window 2122, The optical fiber 2111 is inserted into the inner probe cover body 2121, and then the optical fiber 2111 is screwed and coupled.

즉, 상기 내부커버본체(2121)의 일단에는 상기 광학프로브(211)가 내부에 설치되어 고정되고, 상기 광학프로브(211)에서 조사된 빛이 나가고 반사광이 인입되며 상기 광학프로브(211)를 보호하기 위해 내산성, 내화학성 재질로된 상기 투명시창(2122)이 형성된다.That is, the optical probe 211 is installed inside and fixed to one end of the inner cover main body 2121, and the light emitted from the optical probe 211 is emitted and the reflected light is guided to protect the optical probe 211 The transparent window 2122 made of an acid resistant and chemical resistant material is formed.

상기 내부커버본체(2121)의 타단에는 상기 광섬유(2111)가 배출되고 일정 길이만 삽입되게 삽입깊이를 제한하는 삽입제한링(21211)이 형성된다.An insertion limiting ring 21211 is formed at the other end of the inner cover main body 2121 to limit the insertion depth of the optical fiber 2111 so that the optical fiber 2111 is inserted and only a predetermined length is inserted.

상기 내부커버본체(2121)의 중심부에는 상기 광섬유(2111)가 통과하는 광섬유통과홀(21212)이 형성된다.An optical fiber through hole 21212 through which the optical fiber 2111 passes is formed in the center of the inner cover body 2121.

상기 투명시창(2122)는 상기 광학프로브(211)가 내부에 설치되는 시창몸체(21221)와 상기 시창몸체(21221)의 전면에 결합되어 연마액이 내부로 들어오는 것을 방지하고 빛이 나가고 들어올 수 있는 투명창(21222)로 구성된다.The transparent window 2122 is coupled to a front window 21221 in which the optical probe 211 is installed and a front window of the window body 21221 to prevent the polishing liquid from entering the window, And a transparent window 21222.

상기 내부프로브커버몸체(2121)에는 상기 광섬유(2111)가 배출되고 일정 길이만 삽입되게 삽입깊이를 제한하는 삽입제한링(21211)과 상기 광섬유가 끼워지는 광섬유배출홀(21212)가 형성된다. The inner probe cover body 2121 is formed with an insertion limiting ring 21211 for limiting the insertion depth so that the optical fiber 2111 is discharged and only a predetermined length is inserted and an optical fiber discharge hole 21212 in which the optical fiber is inserted.

상기 투명창(21222)은 투명한 재질로 제작하여 빛이 조사되고 반사된 빛이 되돌아 올 수 있어야 한다.The transparent window 21222 should be made of a transparent material so that light can be irradiated and reflected light can be returned.

도 9는 수동회전기구 작동도로서 도 9-1은 상기 수동회전기구(223)으로 정전이나 비상시 상기 유리기판 카세트(111)를 빼낼 수 있게 상기 프로브부(21)를 후진시키는 것을 보여주며, 도 9-2는 수동으로 상기 프로브부(21)를 전진시키는 것을 보여준다.9-1 is a view showing the operation of the manual rotation mechanism. FIG. 9-1 shows that the probe 21 is retracted so that the glass substrate cassette 111 can be pulled out by the manual rotation mechanism 223 during a power failure or emergency. 9-2 shows that the probe portion 21 is manually advanced.

상기 수동회전기구(223)는 상기 회전축(222)과 연결되는 연결기어(2231)와, 상기 연결기어(2231)를 회전시키는 수동레버(2233)와, 수동레버(2233)의 회전력을 상기 연결기어(2231)에 전달하는 수동회전축(2232)로 구성된다.The manual rotation mechanism 223 includes a connection gear 2231 connected to the rotation shaft 222, a manual lever 2233 for rotating the connection gear 2231, And a manual rotation shaft 2232 for transmitting the rotation to the second shaft 2231.

도 10은 상기 에어커튼부(2131)의 여러가지 실시예를 나타낸 것으로 도 10-1은 내부와 외부의 압력차가 없는 형태 즉, 상기 에어커튼부(2131)는 식각액이 분사되는 바깥쪽과 상기 투명시창 바로 앞쪽의 기압차로 인해 흡입현상이 일어나 상기 투명시창(2122)에 슬러지 및 식각액이 흡착 가능성이 있으므로 기압차가 생기지 않는 구조이다. 10A and 10B show various embodiments of the air curtain part 2131. Fig. 10A is a view showing a state in which there is no pressure difference between the inside and the outside, that is, the air curtain part 2131 is formed outside the outside The suction phenomenon occurs due to the air pressure difference immediately ahead of the transparent window 2122 and the sludge and the etching liquid are likely to be adsorbed on the transparent window 2122, so that there is no difference in air pressure.

도 10-2는 외부와 가까운쪽에 식각액이 고일 수 있어 경사를 둔 형태로, 식각액의 고임이 발생하지 않는 구조이다. 기압차가 없어 약액 고임이 발생할 수 있으므로 식각액과 직접적으로 만나는 부분에 경사를 줄 수 있다. FIG. 10-2 shows a structure in which the etching solution can be concentrated on the side closer to the outside, so that the etching solution does not protrude. Since there is no pressure difference, it is possible to give a slope to the part directly contacting with the etchant.

도 10-3은 압력차가 발생하더라도 에어커튼의 세기를 세게 하여 슬러지 및 식각액을 씻을 수 있는 형태이다. 반응한 슬러지가 상기 투명시창(2122)에 달라 붙지 못하게 하는 것이 목적이므로 투명시창(2122) 앞은 고압, 바깥쪽은 저압의 형태로 기압차가 발생하게 하여 슬러지 및 식각액이 투명시창 쪽으로 들어오지 못하게 제작 가능하다.Fig. 10-3 is a view showing that the sludge and etchant can be washed by increasing the strength of the air curtain even if a pressure difference occurs. The sludge and etchant can be prevented from entering into the transparent window due to the difference in air pressure between the high pressure in front of the transparent window 2122 and the low pressure in the outside because the object is to prevent the reacted sludge from sticking to the transparent window 2122. [ Do.

도 10-4는 외부에 우산과 같은 돌출부를 두어 수직으로 떨어지는 식각액을 막는 형태이다.FIG. 10-4 is a form in which a protrusion such as an umbrella is placed on the outside to block the vertically falling etching liquid.

도 10-5는 내부의 압력을 세게 하여 에어가 측정 방향으로 빠지게 하여 식각액의 출입을 막는 형태이다. 즉, 반응한 슬러지가 상기 투명시창(2122)에 달라 붙지 못하게 하는 것이 목적이므로 투명시창(2122) 앞부분의 에어 토출구의 간격을 줄여 기압차가 발생하더라도 에어 세기를 세게 하여 슬러지가 하단의 에어 배출구로 빠져나가도록 설계할 수 있다.Fig. 10-5 is a view of the structure in which the pressure inside is increased to cause the air to fall in the measuring direction, thereby preventing the etching liquid from entering and exiting. That is, since the purpose of preventing the reacted sludge from sticking to the transparent window 2122 is to reduce the interval of the air outlet at the front part of the transparent window 2122, the air intensity is increased even if a difference in air pressure occurs, It can be designed to go out.

본 발명의 유리 식각 시스템에서의 활용이 가능한 두께 측정장치에 따르면 상부에서 하부로 식각액을 분사하여 상기 유리기판(1111)을 식각하므로 고른 식각을 할 수 있으며, 1310 ㎚ 파장을 사용하는 IR 파장 간섭계를 이용하여 두께를 측정하고, 상기 프로브부(21)와 에칭 소프트웨어(121)와 에칭컨트롤부(122)와 모터 컨트롤부(23) 및 측정제어툴부(24)를 이용하여 상기 유리기판(1111)의 두께를 실시간으로 측정할 수 있으므로, 움직이는 유리기판의 두께를 정확하게 측정할 수 있어 고르고 원하는 두께의 식각을 할 수 있으며, 재공정 및 과식각의 위험을 없앨 수 있는 효과가 있다.
According to the thickness measuring apparatus which can be utilized in the glass etching system of the present invention, the etching of the glass substrate 1111 can be performed by spraying the etching solution from the top to the bottom, and an IR wavelength interferometer using the 1310 nm wavelength And the thickness of the glass substrate 1111 is measured by using the probe unit 21, the etching software 121, the etching control unit 122, the motor control unit 23 and the measurement control tool unit 24, Since the thickness can be measured in real time, the thickness of the moving glass substrate can be accurately measured, etching can be performed with a uniform thickness, and the risk of reprocessing and excessive angle can be eliminated.

1 : 유리식각시스템 11 : 식각장치부
111 : 유리기판 카세트 1111 : 유리기판
112 : 로더언로더부 113 : 린싱챔버부
114 : 식각챔버부 115 : 카세트 이동 구동부
116 : 식각액 분사장치부 1161 : 식각액분사장치
1162 : 식각액 탱크부 11621 : 펌프
1163 : 승하강장치 12 : 식각장치 제어부
121 : 에칭 소프트웨어 122 : 에칭컨트롤부
1221 : 제어선
2 : 두께 측정장치 21 : 프로브부
211 : 광학프로브 2111 : 광섬유
212 : 내부프로브커버 2121 : 내부프로브커버본체
21211 : 삽입제한링 21212 : 광섬유통과홀
2122 : 투명시창 21221 : 시창몸체
21222 : 투명창
213 : 외부프로브커버 2131 : 에어커튼부
21311 : 에어라인 2132 : 엔드캡
214 : 결합블럭 215 : 외측 케이싱
2151 : 챔버결합플랜지 2152 : 가이드슬리브
2153 : 회전축지지디스크 2154 : 말단지지디스크
2155 : 말단플랜지 2156 : 투명원통
2157 : 조임환봉
22 : 서보모터부 221 : 서보모터
222 : 회전축 223 : 수동회전기구
2231 : 연결기어 2232 : 수동회전축
2233 : 수동레버 23 : 모터컨트롤부
231 : 제어선 24 : 측정제어툴부
241 : LED부 242 : 레이저부
243 : 커플러부 244 : 광섬유코일
245 : 컨버터 246 : 모니터링 소프트웨어부
2461 : 프로세서 2462 : 모니터1: glass etching system 11: etching apparatus part
111: glass substrate cassette 1111: glass substrate
112: Loader unloader section 113: Rinse chamber section
114: etch chamber part 115: cassette movement driving part
116: etching liquid spraying device part 1161: etching liquid spraying device
1162: etchant tank part 11621: pump
1163: ascending / descending device 12: etching device control part
121: Etching software 122: Etching control unit
1221: control line
2: Thickness measuring device 21:
211: optical probe 2111: optical fiber
212: inner probe cover 2121: inner probe cover body
21211: insertion restriction ring 21212: optical fiber through hole
2122: Transparent glass window 21221: Glass body
21222: Transparent window
213: outer probe cover 2131: air curtain part
21311: Airline 2132: End cap
214: coupling block 215: outer casing
2151: chamber coupling flange 2152: guide sleeve
2153: rotating shaft support disc 2154:
2155: End flange 2156: transparent cylinder
2157: Tightening round bar
22: Servo motor part 221: Servo motor
222: rotating shaft 223: manual rotating mechanism
2231: Connecting gear 2232: Manual rotating shaft
2233: Manual lever 23: Motor control section
231: control line 24: measurement control tool section
241: LED part 242: laser part
243: coupler part 244: optical fiber coil
245: converter 246: monitoring software
2461: Processor 2462: Monitor

Claims (8)

유리식각시스템(1)에서 식각 중인 유리기판(1111)의 두께를 실시간으로 측정하여 재공정 및 과식각의 위험을 없애고 고른 식각을 위해, 식각 대상인 상기 유리기판(1111)의 두께를 측정하는 두께 측정장치(2)에 있어서,
상기 두께 측정장치(2)는 조사된 빛을 내보내고 상기 유리기판(1111)에 반사된 빛을 받는 광학프로브(211)를 포함한 프로브부(21)와;
상기 유리기판(1111)의 자체 움직임 때문에 발생하는 광학초점 거리 이탈을 보상하기 위하여 상기 프로브부(21)를 이동시켜 광학초점 거리를 실시간으로 조정하며, 상기 광학프로브(211)가 항상 측정 유효 범위 안에 들어오도록 상기 프로브부를 이동시키는 서보모터부(22)와;
상기 프로브부(21)의 위치를 제어하기 위하여 상기 서보모터부(22)에 신호를 보내는 모터 컨트롤부(23)와;
상기 프로브부(21)에 조사된 빛을 보내고, 상기 유리기판(1111)에 반사되어 상기 프로브부(21)로 되돌아 온 빛을 처리하고 전기적 신호로 변환하여 디스플레이하고, 식각장치 제어부(12)와 모터 컨트롤부(23)에 신호를 보내는 측정제어툴부(24)로 구성되며,
상기 두께 측정장치(2)는 파장 간섭계를 이용하여 두께를 측정하며, 광원부와 수신부가 따로 존재하지 않고 광케이블과 광학프로브를 공유하고,
상기 유리식각시스템(1)은 상부에서 식각액을 분사하는 방식으로, 유리기판 카세트(111)에 지면과 수직으로 거치된 유리기판(1111) 표면에 식각액이 고르게 퍼지도록 투입방향과 평행한 방향으로 상기 유리기판 카세트(111)가 왕복운동을 하며,
상기 광학프로브(211)는 식각액 분사와 동시에 두께 측정을 시작하며, 측정 대상물인 상기 유리기판(1111)과 광학 초점거리(Focal Length) 내에서 측정이 가능하고,
상기 두께 측정장치(2)는 실시간으로 광학 초점거리를 파악하여 항상 측정 유효 범위 안에 들어오도록 상기 측정제어툴부(24)와 모터 컨트롤부(23)에서 상기 서보모터부(22)를 제어하는 것을 특징으로 하는 유리 식각 시스템에서의 활용이 가능한 두께 측정장치
In the glass etching system 1, the thickness of the glass substrate 1111 to be etched is measured in real time to eliminate the risk of reprocessing and over-etching, and to measure the thickness of the glass substrate 1111 to be etched In the device 2,
The thickness measuring apparatus 2 includes a probe unit 21 including an optical probe 211 that emits irradiated light and receives light reflected from the glass substrate 1111;
The probe unit 21 is moved to adjust the optical focal distance in real time in order to compensate for the deviation of the optical focal distance caused by the self-motion of the glass substrate 1111, and the optical probe 211 is always in the measurement effective range A servo motor part (22) for moving the probe part so as to come in;
A motor control unit 23 for sending a signal to the servo motor unit 22 to control the position of the probe unit 21;
The light irradiated to the probe unit 21 is transmitted and the light reflected on the glass substrate 1111 is processed and converted into an electrical signal to be displayed on the probe unit 21, And a measurement control tool section 24 for sending a signal to the motor control section 23,
The thickness measuring apparatus 2 measures the thickness using a wavelength interferometer and shares the optical probe with the optical probe without the light source and the receiver separately,
In the glass etching system 1, the etching solution is sprayed onto the surface of the glass substrate 1111 vertically mounted on the glass substrate cassette 111 by spraying the etching solution in a direction parallel to the loading direction so that the etching solution spreads evenly. The glass substrate cassette 111 reciprocates,
The optical probe 211 starts to measure the thickness simultaneously with the injection of the etchant and can measure the optical focal distance with the glass substrate 1111,
The thickness measuring apparatus 2 controls the servo motor unit 22 in the measurement control tool unit 24 and the motor control unit 23 so as to grasp the optical focal distance in real time and always fall within the measurement effective range Thickness measuring device which can be used in a glass etching system
제 1항에 있어서,
상기 프로브부(21)는 유리기판 카세트(111)의 이동 구간만큼 유리기판(1111)의 두께를 스캐닝하고,
상기 유리기판(1111)이 식각되어 목표 두께에 도달하면 상기 프로브부(21)는 측정 전 위치로 복귀되며,
상기 프로브부(21)에는 상기 광학프로브(211)의 앞에 설치되며, 상기 광학프로브(211)에서 조사된 빛이 나가고 반사광이 인입되며 상기 광학프로브(211)를 보호하기 위해 내산성, 내화학성 재질로된 투명시창(2122)이 형성되고,
상기 프로브부(21)에는 식각액이나 화학 반응한 슬러지가 상기 투명시창(2122)을 가리는 것을 막기 위하여 에어가 분출되는 에어커튼부(2131)가 형성되는 구조인 것을 특징으로 하는 유리 식각 시스템에서의 활용이 가능한 두께 측정장치
The method according to claim 1,
The probe unit 21 scans the thickness of the glass substrate 1111 by the movement interval of the glass substrate cassette 111,
When the glass substrate 1111 is etched and reaches the target thickness, the probe unit 21 is returned to the pre-measurement position,
The probe unit 21 is installed in front of the optical probe 211 and is provided with an acid resistant and chemical resistant material for protecting the optical probe 211 from light emitted from the optical probe 211, A transparent window 2122 is formed,
And an air curtain part (2131) through which air is sprayed is formed in the probe part (21) to prevent an etching solution or chemically reacted sludge from covering the transparent window (2122). This possible thickness measuring device
삭제delete 제 1항에 있어서,
상기 측정제어툴부(24)는 광섬유(2111)를 통해서 상기 프로브부(21)로 보내 두께를 측정할 상기 유리기판(1111) 표면에 조사할 빛을 발생시키는 LED부(241)와;
기준이 되는 빛을 발생시키는 레이저(Laser)부(242)와;
상기 유리기판(1111)에 조사된 빛이 레이어의 경계 면에서 반사되어 상기 프로브부(21)를 통해 되돌아 온 반사빛과, 상기 레이저부에서 발생한 기준이 되는 빛을 합성시키며, 측정 대상물의 광학 정보를 지니는 임의의 패턴을 형성시키고 위상 변화에 의해 두께 정보를 지니는 측정 피크를 생성시키는 커플러(Coupler)부(243)와;
상기 커플러부(243)를 통해 합성된 빛을 받아 경로변화에 의한 위상 변화를 시켜 다시 상기 커플러부(243)로 보내는 광섬유코일(Fiber Stretcher Coil)(244)과;
상기 커플러부(243)에서 처리되어 두께 정보를 가진 최종 빛을 광·전 변환 알고리즘으로 처리하여 전기적 신호로 변환시키는 컨버터(Converter)(245)와;
상기 컨버터(245)에서 보내온 전기적 신호를 두께 연산 알고리즘으로 처리하여 두께를 모니터에 디스플레이하고, 처리된 신호를 식각장치 제어부(12)와 모터컨트롤부(23)로 보내 식각장치부(11)와 서보모터부(22)를 제어할 수 있게 하며, 모니터(2462)와 프로세서(2461)를 포함한 모니터링 소프트웨어(Monitoring Software)부(246)로 구성되는 것을 특징으로 하는 유리 식각 시스템에서의 활용이 가능한 두께 측정장치
The method according to claim 1,
The measurement control tool unit 24 includes an LED unit 241 for transmitting light to the probe unit 21 through an optical fiber 2111 to generate light to be irradiated on a surface of the glass substrate 1111 for measuring a thickness thereof,
A laser section 242 for generating reference light;
The light irradiated on the glass substrate 1111 is reflected by the boundary surface of the layer and reflected through the probe unit 21 and the reference light generated in the laser unit are synthesized, A coupler portion 243 for forming a measurement pattern having a thickness information by a phase change, and generating a measurement peak having a thickness information;
An optical fiber coil 244 receiving the light synthesized through the coupler 243 and changing the phase of the light by the path change and then sending the phase change to the coupler 243;
A converter 245 which is processed by the coupler unit 243 and processes final light having thickness information by an optical to electrical conversion algorithm to convert the final light into electrical signals;
The electric signal sent from the converter 245 is processed by a thickness calculation algorithm to display the thickness on a monitor and sent to the etcher apparatus control unit 12 and the motor control unit 23 to transmit the processed signal to the etching apparatus unit 11, And a monitoring software section (246) including a monitor (2462) and a processor (2461) to control the motor section (22) Device
제 1항에 있어서,
상기 서보모터부(22)는 상기 모터컨트롤부(23)의 신호에 의해 회전되며, 회전력을 주는 서보모터(221)와;
상기 서보모터(221)의 모터축과 결합되어 회전력이 전달되며, 상기 프로브부(21)와 결합되어 정역회전에 의해 상기 프로브부(21)가 전진 및 후진할 수 있게 하는 회전축(222)과;
정전이나 비상시 상기 유리기판 카세트(111)를 빼낼 수 있게 상기 프로브부(21)를 후진시키는 역할을 하며, 상기 회전축(222)에 결합되어 상기 서보모터(221)를 가동하지 않고 상기 회전축(222)을 수동으로 회전시킬 수 있는 수동회전기구(223)로 구성되고,
상기 프로브부(21)는 두께 측정을 위해 상기 유리기판(1111)에 빛을 조사하고 유리기판(1111)에 반사되어 돌아오는 반사광을 받아들이며, 상기 측정제어툴부(24)와 연결을 위한 광섬유(2111)가 연결되어 있는 광학프로브(211)와;
상기 광학프로브(211)가 내부에 설치되어 고정되고, 일단에는 상기 광학프로브(211)에서 조사된 빛이 나가고 반사광이 인입되며 상기 광학프로브(211)를 보호하기 위해 내산성, 내화학성 재질로된 투명시창(2122)이 형성되며, 타단에는 상기 광섬유(2111)가 배출되고 일정 길이만 삽입되게 삽입깊이를 제한하는 삽입제한링(21211)이 형성되는 내부프로브커버(212)와;
상기 광학프로브(211)가 내장된 상기 내부프로브커버(212)가 내부에 설치되고, 식각액이나 화학 반응한 슬러지가 상기 투명시창(2122)을 가리는 것을 막기 위하여 에어가 분출되는 에어커튼부(2131)가 형성되며, 상기 서보모터부(22) 측의 일단에는 상기 광섬유(2111)가 배출되고 내부로 식각액이 인입되는 것을 방지히는 엔드캡(2132)이 형성되는 외부프로브커버(213)와;
상기 외부프로브커버(213)의 서보모터(221) 측 말단에 결합되고, 상기 회전축(222)의 회전에 의해 상기 프로브부(21)가 전진 및 후진운동을 할 수 있도록 상기 회전축(222)과 결합된 결합블럭(214)과;
상기 외부프로브커버(213)가 결합되고, 식각장치부(11)의 식각챔버부(114)와 결합되는 챔버결합플랜지(2151)를 가지며 상기 프로브부(21)의 일부와 상기 서보모터(221) 및 회전축(222)이 내장되어 보호되는 외측 케이싱(215)으로 구성되는 구조인 것을 특징으로 하는 유리 식각 시스템에서의 활용이 가능한 두께 측정장치
The method according to claim 1,
The servo motor unit 22 includes a servomotor 221 rotated by a signal of the motor control unit 23 and applying a rotational force thereto;
A rotation shaft 222 coupled with the motor shaft of the servo motor 221 to transmit a rotational force and coupled with the probe unit 21 to allow the probe unit 21 to move forward and backward by normal and reverse rotation;
And is configured to move the probe unit 21 backward so that the glass substrate cassette 111 can be pulled out in case of a power failure or an emergency and is coupled to the rotation axis 222 to rotate the rotation axis 222 without operating the servo motor 221. [ And a manual rotation mechanism 223 capable of manually rotating the rotary shaft 223,
The probe unit 21 irradiates the glass substrate 1111 with light to measure the thickness of the glass substrate 1111 and receives reflected light reflected from the glass substrate 1111 and transmits the reflected light to the optical fiber 2111 An optical probe 211 to which an optical system is connected;
In order to protect the optical probe 211 from the light emitted from the optical probe 211 and to receive the reflected light, the optical probe 211 is installed and fixed in the transparent An inner probe cover 212 in which an insertion limiting ring 21211 for limiting the insertion depth is formed so that the optical fiber 2111 is discharged and only a predetermined length is inserted into the other end;
The inner probe cover 212 in which the optical probe 211 is installed is installed inside and the air curtain 2131 in which air is sprayed to prevent the etching solution or chemically reacted sludge from covering the transparent window 2122, An outer probe cover 213 having an end cap 2132 formed at one end of the servomotor 22 so as to prevent the optical fiber 2111 from being discharged and the etchant to be drawn into the inner cap 2132;
And is coupled to the end of the outer probe cover 213 on the side of the servomotor 221 so as to be coupled with the rotation shaft 222 to allow the probe unit 21 to move forward and backward by the rotation of the rotation shaft 222. [ (214) < / RTI >
And a chamber coupling flange 2151 coupled to the etching chamber part 114 of the etching device part 11 and coupled to a part of the probe part 21 and the servo motor 221, And an outer casing (215) having a rotating shaft (222) embedded therein. The thickness measurement device
제 1항에 있어서,
상기 유리식각시스템(1)은 유리기판 카세트(111)에 거치된 유리기판(1111)을 식각하는 식각장치부(11)와, 상기 식각장치부(11)에서 진행되는 상태를 알리는 통신기능을 담당하는 에칭 소프트웨어(121)와 에칭컨트롤부(122)를 통해 제어하는 식각장치 제어부(12)로 이루어지며,
상기 식각장치부(11)는 투입방향과 평행하게 투입되며 지면과 수직으로 유리기판(1111)을 거치할 수 있는 유리기판 카세트(111)와;
상기 유리기판 카세트(111)을 로딩하고 언로딩하는 로더언로더부(112)와;
식각 전에 유리기판(1111)을 세척하는 챔버인 린싱챔버부(113)와;
상기 유리기판 카세트(111)에 거치된 유리기판(1111)을 식각하는 챔버인 식각챔버부(114)와;
상기 유리기판 카세트(111)를 상기 로더언로더부(112)에서 상기 식각챔버부(114)까지 이동시키고, 상기 식각챔버부(114) 내에서 식각이 진행 중일 때는 상기 유리기판 카세트(111)를 왕복운동시키는 카세트 이동 구동부(115)와;
상기 식각챔버부(114)의 상부에 설치되어 상부에서 하부로 식각액을 분사하는 식각액 분사장치(1161)와, 상기 식각액 분사장치(1161)에 식각액을 공급하는 펌프(11621)를 포함한 식각액 탱크부(1162)와, 상기 식각액 분사장치(1161)를 승하강시키는 승하강장치(1163)로 이루어진 식각액 분사장치부(116)로 구성되는 것을 특징으로 하는 유리 식각 시스템에서의 활용이 가능한 두께 측정장치
The method according to claim 1,
The glass etching system 1 is provided with an etching unit 11 for etching a glass substrate 1111 mounted on a glass substrate cassette 111 and a communication function for informing a state progressed in the etching unit 11 And an etching control unit (12) for controlling the etching control unit (121) and the etching control unit (122)
The etching apparatus unit 11 includes a glass substrate cassette 111 that is inserted in parallel with the loading direction and can mount the glass substrate 1111 perpendicular to the paper surface;
A loader unloader section (112) for loading and unloading the glass substrate cassette (111);
A rinse chamber part 113 as a chamber for cleaning the glass substrate 1111 before etching;
An etching chamber part 114 as a chamber for etching the glass substrate 1111 mounted on the glass substrate cassette 111;
The glass substrate cassette 111 is moved from the loader unloader portion 112 to the etching chamber portion 114 and the glass substrate cassette 111 is moved in the etching chamber portion 114 A cassette movement driving unit (115) for reciprocating movement;
An etchant injector 1161 disposed at an upper portion of the etch chamber 114 to inject the etchant from the upper portion to a lower portion thereof and an etchant tank portion 11621 including a pump 11621 for supplying the etchant to the etchant injector 1161 And an elevating and lowering device (1163) for elevating and lowering the etching liquid injecting device (1161). The thickness measuring device according to claim 1,
제 5항에 있어서,
상기 외측 케이싱(215)은 상기 식각장치부(11)의 식각챔버부(114)와 결합되는 챔버결합플랜지(2151)와;
상기 챔버결합플랜지(2151)의 식각챔버부(114) 측에 연결되며, 상기 외부프로브커버(213)가 내부로 통과되고, 상기 외부프로브커버(213)가 전진과 후진 시 유동되는 것을 방지하기 위한 가이드슬리브(2152)와;
상기 회전축(222)의 말단이 지지되고 상기 챔버결합플랜지(2151) 및 가이드슬리브(2152)와 결합되는 회전축지지디스크(2153)와;
상기 서보모터(221)가 지지되고 상기 수동회전기구(223)의 수동회전축(2232)이 통과되는 말단지지디스크(2154)와;
상기 챔버결합플랜지(2151)와 조임환봉(2157)으로 결합되고 상기 말단지지디스크(2154)의 외측에 형성되는 말단플랜지(2155)와;
상기 챔버결합플랜지(2151)와 말단플랜지(2155) 사이에 설치되어 상기 조임환봉(2157)으로 조여지고, 상기 서보모터부(22)를 보호하며, 투명하여 내부가 보이는 투명원통(2156)으로 구성되는 구조인 것을 특징으로 하는 유리 식각 시스템에서의 활용이 가능한 두께 측정장치
6. The method of claim 5,
The outer casing 215 includes a chamber coupling flange 2151 coupled to the etching chamber portion 114 of the etching apparatus section 11;
The external probe cover 213 is connected to the side of the etching chamber part 114 of the chamber coupling flange 2151 so as to prevent the external probe cover 213 from passing through the inside of the external probe cover 213, A guide sleeve 2152;
A rotation shaft support disk 2153 supported at the distal end of the rotation shaft 222 and coupled with the chamber coupling flange 2151 and the guide sleeve 2152;
A distal support disk 2154 supporting the servomotor 221 and passing the manual rotation axis 2232 of the manual rotation mechanism 223;
A distal flange 2155 coupled to the chamber coupling flange 2151 by a tightening round bar 2157 and formed on the outside of the distal support disc 2154;
And a transparent cylinder 2156 which is installed between the chamber coupling flange 2151 and the end flange 2155 and tightened by the tightening round bar 2157 to protect the servo motor portion 22 and is transparent, A thickness measuring device capable of being used in a glass etching system
제 6항에 있어서,
상기 에칭 소프트웨어(121), 에칭컨트롤부(122), 모터 컨트롤부(23) 및 측정제어툴부(24)는 모두 개별 동작 가능하며, 상기 에칭 소프트웨어(121)와 모터 컨트롤부(23)는 직렬 통신을, 상기 에칭 소프트웨어(121)와 측정제어툴부(24)는 64핀 병렬 통신을, 상기 에칭 소프트웨어(121)와 에칭컨트롤부(122) 및 상기 에칭컨트롤부(122)와 모터 컨트롤부(23)는 24V 접점 통신하며 서로 연결되어 있고,
식각공정 중 장비의 오동작이 있을 경우 통신 이상이 있어도 작업자에게 전달할 수 있도록 TCP/IP, PLC 24V 접점신호 및 직렬 통신 중 최소 2개 이상의 통신 방식으로 장비의 오동작 상황 알람을 발생시킬 수 있는 것을 특징으로 하는 유리 식각 시스템에서의 활용이 가능한 두께 측정장치The method according to claim 6,
The etching software 121 and the motor control unit 23 are connected to each other via a serial communication unit 121. The etching software 121, the etching control unit 122, the motor control unit 23, The etching software 121 and the measurement control tool 24 are connected to the etching software 121 and the etching control unit 122 and the etching control unit 122 and the motor control unit 23, Are connected to each other by 24V contact,
In case of malfunction of the equipment during the etching process, it is possible to generate a malfunction alarm of the equipment by using at least two communication methods among TCP / IP, PLC 24V contact signal and serial communication so that it can be delivered to the operator even if there is a communication error. Thickness measuring device that can be used in glass etching system
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JP2009222428A (en) * 2008-03-13 2009-10-01 Avanstrate Inc Glass plate thickness measuring instrument and glass plate thickness measuring method
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