KR101511289B1 - 서셉터 온도 균일도 평가 방법, 장치 및 시스템 - Google Patents

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KR101511289B1 KR20140010536A KR20140010536A KR101511289B1 KR 101511289 B1 KR101511289 B1 KR 101511289B1 KR 20140010536 A KR20140010536 A KR 20140010536A KR 20140010536 A KR20140010536 A KR 20140010536A KR 101511289 B1 KR101511289 B1 KR 101511289B1
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호서대학교 산학협력단
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Abstract

본 발명은 서셉터 온도 균일도 평가 방법 및 장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는, 서셉터에 부착된 온도 센서들 중 오작동 센서를 판별하고, 센서들의 측정값을 이용하여 서셉터의 온도 균일도를 평가하는 방법 및 장치에 관한 것이다.
본 발명에 의하면, 상관도가 우수한 인자를 추출하여, 학습을 통한 예측값을 추정하고 예측값과 측정값을 비교하여 오작동 여부를 판단함으로써 정확한 오작동 판단을 할 수 있게 하고, 이에 따라 신뢰할 수 있는 서셉터 균일도 평가를 수행할 수 있도록 한다.

Description

서셉터 온도 균일도 평가 방법, 장치 및 시스템{METHOD, APPARATUS AND SYSTEM FOR ESTIMATING DEGREE OF UNIFORMITY OF SUSCEPTOR}
본 발명은 서셉터 온도 균일도 평가 방법 및 장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는, 서셉터에 부착된 온도 센서들 중 오작동 센서를 판별하고, 센서들의 측정값을 이용하여 서셉터의 온도 균일도를 평가하는 방법 및 장치에 관한 것이다.
서셉터의 대면적에 균일성 있게 온도 분포가 되어 있는가를 평가하기 위한 시험을 할 경우, 온도 센서에서 측정한 온도값 중에서 최대값과 최소값을 이용하여 서셉터의 온도 균일도를 평가하게 된다. 이러한 과정에서 온도 센서의 오작동이 있고, 이러한 오작동 센서에 의한 균일도를 평가하는 경우, 신뢰할 수 없는 결과를 얻게 되는 문제점이 있었다. 이를 해결하기 위해 종래에는 정상 상태일 때 참조 모델링 데이터를 저장하고, 상관도를 비교하여 오작동 여부를 진단하는 방법을 취하는 방법이 개시되었었으나, 정상 상태의 데이터라 하더라도 상관도가 항상 좋은 것은 아니므로, 오작동 여부의 판단이 정확하지 않게 되는 경우가 많은 문제점이 있었다.
WO 12057378 A1
본 발명은 이와 같은 문제점을 해결하기 위해 창안된 것으로서, 상관도가 우수한 인자를 추출하여, 학습을 통한 예측값을 추정하고 예측값과 측정값을 비교하여 오작동 여부를 판단함으로써 정확한 오작동 판단을 할 수 있게 하고, 이에 따라 신뢰할 수 있는 서셉터 균일도 평가를 수행할 수 있도록 하는데 그 목적이 있다.
이와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 서셉터 온도 균일도 평가 장치 또는 시스템이 서셉터 온도 균일도 평가를 수행하는 방법은, (a) 서셉터의 온도가 목표치에 도달하기 전 특정 구간(이하 '학습구간'이라 한다)에서, 서셉터에 부착된 다수의 온도센서 중 특정 센서(이하 '제1 센서'라 한다)를 검증용 온도센서로 하여, 상기 제1 센서 및 그 외의 일정 갯수의 온도센서(이하 '주변센서'라 한다)에 의해 측정된 기 설정된 횟수의 온도측정 데이터를 상기 각 온도센서들로부터 수신하는 단계; (b) 상기 제1 센서에 의한 상기 학습구간에서의 온도측정 데이터와, 각 주변센서에 의한 상기 학습구간에서의 온도측정 데이터 간의 상관도를 각각 산출하는 단계; (c) 상기 산출된 제1 센서와의 상관도가 기준값 이상인 주변센서들을 결정하는 단계; (d) 상기 단계(c)에서 결정된 주변센서들에 의한 학습구간 온도측정 데이터 및 상기 제1 센서에 의한 학습구간 온도측정 데이터로부터, 각 주변센서들의 학습구간 온도측정 데이터에 대한 가중치 및 바이어스 값을 산출하는 단계; (e) 상기 단계(c)에서 상관도가 기준값 이상인 주변센서들에 대하여, 온도가 목표치에 도달한 후의 구간(이하 '검증구간'이라 한다)에서의 온도측정 데이터를 수신한 후, 상기 단계(d)에서 산출한 가중치 및 바이어스 값을 적용하여 상기 제1 센서의 상기 검증구간에서의 온도 예측값을 산출하는 단계; 및 (f) 상기 제1 센서의 검증구간 온도 예측값과 상기 제1 센서에 의해 상기 검증구간에서 측정된 온도측정 데이터로부터, 상기 제1 센서의 오작동 여부를 판정하는 단계를 포함한다.
상기 단계(f)의 제1 센서의 오작동 여부 판단은, 오차율을 구하여 상기 오차율이 기준값 이상인 경우 오작동으로 판단하고, 상기 오차율은,
Figure 112014009239237-pat00001
에 의해 산출될 수 있다.
상기 단계(f) 이후, (g) 상기 제1 센서 이외의 기 설정된 온도센서들에 대하여, 각 온도센서들을 검증용 온도센서로 하여 각각 상기 단계(a) 내지 단계(f)를 수행하는 단계; (h) 검증용 온도센서로서 상기 단계(a) 내지 단계(f)를 수행한 모든 온도센서에 대하여 산출된 검증구간에서 측정된 온도측정 데이터 또는 검증구간에서의 온도 예측값 중 최대값 및 최소값으로부터 상기 서셉터의 온도 균일도를 산출하는 단계를 더 포함할 수 있다.
상기 단계(h)에서 상기 최대값 및 최소값을 결정할 때, 오작동으로 판정된 온도센서에서는 검증구간에서의 온도 예측값, 정상으로 판정된 온도센서에서는 검증구간에서 측정된 온도측정 데이터를 취하여, 이 값들 중 최대값 및 최소값을 결정할 수 있다.
상기 서셉터의 온도 균일도는,
Figure 112014009239237-pat00002
에 의해 산출될 수 있다.
상기 단계(d)에서, 상기 가중치 및 바이어스 값은,
Figure 112014009239237-pat00003
를 만족하는 값으로 구해질 수 있으며, 여기서 T 1 은 상기 제1 센서의 학습구간 온도측정 데이터, T 2 , T 3 ,...,T n 은 상관도가 기준값 이상인 주변센서들의 학습구간 온도측정 데이터, W 2 , W 3 ,...,W n 은 가중치, b는 양수 또는 음수값을 갖는 바이어스 값이다.
본 발명의 다른 측면에 따르면, 서셉터 온도 균일도 평가를 수행하는 장치는, 서셉터의 온도가 목표치에 도달하기 전 특정 구간(이하 '학습구간'이라 한다)에서, 서셉터에 부착된 다수의 온도센서 중 특정 센서(이하 '제1 센서'라 한다)를 검증용 온도센서로 하여, 상기 제1 센서 및 그 외의 일정 갯수의 온도센서(이하 '주변센서'라 한다)에 의해 측정된 기 설정된 횟수의 온도측정 데이터를 상기 각 온도센서들로부터 수신하고, 상관도가 기준값 이상인 주변센서들에 대하여, 온도가 목표치에 도달한 후의 구간(이하 '검증구간'이라 한다)에서의 온도측정 데이터를 수신하는 온도측정 데이터 수신모듈; 상기 제1 센서에 의한 상기 학습구간에서의 온도측정 데이터와, 각 주변센서에 의한 상기 학습구간에서의 온도측정 데이터 간의 상관도를 각각 산출하는 상관도 산출모듈; 상기 산출된 제1 센서와의 상관도가 기준값 이상인 주변센서들을 결정하여, 결정된 주변센서들에 의한 학습구간 온도측정 데이터 및 상기 제1 센서에 의한 학습구간 온도측정 데이터로부터, 각 주변센서들의 학습구간 온도측정 데이터에 대한 가중치 및 바이어스 값을 산출하는 가중치 및 바이어스 산출모듈; 상관도가 기준값 이상인 주변센서들에 대하여, 온도가 목표치에 도달한 후의 구간(이하 '검증구간'이라 한다)에서의 온도측정 데이터를 상기 온도측정 데이터 수신모듈이 수신한 후, 상기 산출된 가중치 및 바이어스 값을 적용하여 상기 제1 센서의 상기 검증구간에서의 온도 예측값을 산출하는 온도 예측값 산출모듈; 상기 제1 센서의 검증구간 온도 예측값과 상기 제1 센서에 의해 상기 검증구간에서 측정된 온도측정 데이터로부터, 상기 제1 센서의 오작동 여부를 판정하는 오작동 판정모듈; 및 서셉터 온도 균일도 평가 장치의 상기 각 구성요소를 제어하여 서셉터 온도 균일도 평가 수행과 관련된 일련의 처리를 수행하는 제어부를 포함한다.
상기 제1 센서의 오작동 여부 판단은, 오차율을 구하여 상기 오차율이 기준값 이상인 경우 오작동으로 판단하고, 상기 오차율은,
Figure 112014009239237-pat00004
에 의해 산출될 수 있다.
상기 단계(f) 이후, 각 온도센서에 대하여 산출된 검증구간에서 측정된 온도측정 데이터 또는 검증구간에서의 온도 예측값 중 최대값 및 최소값을 결정하고, 이로부터 상기 서셉터의 온도 균일도를 산출하는 온도 균일도 산출모듈을 더 포함할 수 있다.
상기 최대값 및 최소값을 결정할 때, 오작동으로 판정된 온도센서에서는 검증구간에서의 온도 예측값, 정상으로 판정된 온도센서에서는 검증구간에서 측정된 온도측정 데이터를 취하여, 이 값들 중 최대값 및 최소값을 결정할 수 있다.
상기 서셉터의 온도 균일도는,
Figure 112014009239237-pat00005
에 의해 산출될 수 있다.
상기 가중치 및 바이어스 값은,
Figure 112014009239237-pat00006
를 만족하는 값으로 구해질 수 있으며, 여기서 T 1 은 상기 제1 센서의 학습구간 온도측정 데이터, T 2 , T 3 ,...,T n 은 상관도가 기준값 이상인 주변센서들의 학습구간 온도측정 데이터, W 2 , W 3 ,...,W n 은 가중치, b는 양수 또는 음수값을 갖는 바이어스 값이다.
본 발명의 또 다른 측면에 따르면, 서셉터 온도 균일도 평가 시스템은, 서셉터에 부착되어 서셉터의 온도를 측정하는 다수의 센서; 및 상기 서셉터 온도 균일도 평가 장치를 포함한다.
본 발명에 의하면, 상관도가 우수한 인자를 추출하여, 학습을 통한 예측값을 추정하고 예측값과 측정값을 비교하여 오작동 여부를 판단함으로써 정확한 오작동 판단을 할 수 있게 하고, 이에 따라 신뢰할 수 있는 서셉터 균일도 평가를 수행할 수 있도록 하는 효과가 있다.
도 1은 서셉터의 대면적에 대한 온도 분포 균일도를 평가하기 위한 시스템의 구성을 도시한 도면.
도 2는 하나의 온도 센서에 대하여, 측정 횟수 및 그에 따른 온도 변화를 나타내는 그래프.
도 3은 도 1의 서셉터 온도 균일도 평가 시스템 또는 서셉터 온도 균일도 평가 장치에 의해 균일도 평가가 이루어지는 프로세스를 도시한 도면.
도 4는 도 1의 서셉터 온도 균일도 평가 시스템 중, 서셉터 온도 균일도 평가 장치의 구성을 도시한 도면.
이하 첨부된 도면을 참조로 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다. 이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다. 따라서, 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 일 실시예에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.
도 1은 서셉터의 대면적에 대한 온도 분포 균일도를 평가하기 위한 시스템(100)의 구성을 도시한 도면이다.
서셉터(1)에 부착된 다수의 온도센서(2)에서 측정된 서셉터 온도는 서셉터 온도 균일도 평가 장치(150)에 보내지고, 서셉터 온도 균일도 평가 장치(150)는 각 센서 중 오작동 센서를 판별한 후, 서셉터의 온도 균일도를 산출하게 된다. 이와 같은 오작동 센서 판별 및 온도 균일도 산출 프로세스에 대한 상세한 기술은 도 3을 참조하여 설명하며, 이하 도 4를 참조하여서는 서셉터 온도 균일도 평가 장치(150)의 구성을 설명한다.
도 2는 하나의 온도 센서에 대하여, 측정 횟수 및 그에 따른 온도 변화를 나타내는 그래프이다.
도 2는 하나의 온도 센서에 대한 측정값을 보여주는 것이다. 가로축은 온도 측정 횟수를 나타내며, 세로축은 측정된 온도를 나타낸다. 왼쪽 도면과 같이 일정 구간에서 학습을 하기 위하여(목표치보다 낮은 곳에서) 안정화될 때까지 데이터를 추출하거나, 오른쪽 도면과 같이 상온에서 목표치까지 상승하는 구간에서 추출하여 이를 학습구간으로 설정할 수 있다.
도 3은 도 1의 서셉터 온도 균일도 평가 시스템(100) 또는 서셉터 온도 균일도 평가 장치(150)에 의해 균일도 평가가 이루어지는 프로세스를 도시한 도면이다.
서셉터에 부착된 다수의 온도센서 각각에 대하여 오작동을 우선 검증하기 위하여, 각각을 검증용 온도센서로 하여 이하의 과정을 반복한다.
즉, 도 2에서 살펴본 바와 같이, 서셉터의 온도가 목표치에 도달하기 전 특정 구간(이하 '학습구간'이라 한다)에서, 서셉터에 부착된 다수의 온도센서 중 특정 센서(이하 '제1 센서'라 한다)를 검증용 온도센서로 하여, 상기 제1 센서 및 그 외의 일정 갯수의 온도센서(이하 '주변센서'라 한다)에 의해 측정된 기 설정된 횟수의 온도측정 데이터를 상기 각 온도센서들로부터 수신하여, 상기 제1 센서(검증용 온도센서)에 의한 상기 학습구간에서의 온도측정 데이터와, 각 주변 온도센서에 의한 상기 학습구간에서의 온도측정 데이터 간의 상관도를 각각 산출한다(S410).
이후, 상기 산출된 제1 센서와의 상관도가 기준값 이상인 주변센서들을 결정한다(S420). 본 도면은 그와 같은 주변센서가 3개인 경우의 예를 도시한 것이며, 학습구간 온도측정 데이터 #1, #2, #3은 각각 주변센서에 의해 측정된 학습구간 온도측정 데이터를 의미한다.
상기 단계 S420에서 결정된 주변센서들에 의한 학습구간 온도측정 데이터와, 상기 제1 센서(검증용 온도센서)에 의해 측정된 학습구간 온도측정 데이터로부터, 각 주변센서들의 학습구간 온도측정 데이터에 대한 가중치 및 바이어스 값을 산출한다(S430). 이때 상기 가중치 및 바이어스 값은,
Figure 112014009239237-pat00007
를 만족하는 값으로 구해질 수 있다.
여기서 T 1 은 상기 제1 센서(검증용 온도센서)의 학습구간 온도측정 데이터,
T 2 , T 3 ,...,T n 은 상관도가 기준값 이상인 주변센서들의 학습구간 온도측정 데이터,
W 2 , W 3 ,...,W n 은 가중치,
b는 양수 또는 음수값을 갖는 바이어스 값이다.
즉, 단계 S420에서 결정된 주변센서들에 의한 학습구간 온도측정 데이터와, 상기 제1 센서(검증용 온도센서)에 의해 측정된 학습구간 온도측정 데이터를 학습 데이터로 하여 다양한 추정알고리즘 중 하나를 사용하여(예를 들어 신경망 알고리즘), 위 식을 만족하는 가중치 및 바이어스 값을 산출해내는 것이다.
이후, 앞서 정해진 바에 의해 상관도가 기준값 이상인 주변센서들에 대하여, 온도가 목표치에 도달한 후의 구간(이하 '검증구간'이라 한다)에서의 온도측정 데이터를 센서들로부터 수신한 후, 위에서와 같이 산출한 가중치 및 바이어스 값을 적용하여 상기 제1 센서의 상기 검증구간에서의 온도 예측값을 산출하게 된다(S440).
이와 같이 제1 센서(검증용 온도센서)에 대하여 산출한 검증구간 온도 예측값과 상기 제1 센서(검증용 온도센서)에 의해 상기 검증구간에서 측정된 온도측정 데이터로부터, 상기 제1 센서의 오작동 여부를 판정하게 된다(S450).
이때 제1 센서(검증용 온도센서)의 오작동 여부 판단은, 오차율을 구하여 상기 오차율이 기준값 이상인 경우 오작동으로 판단하는데, 이러한 오차율은,
Figure 112014009239237-pat00008
에 의해 산출될 수 있다.
이러한 오작동 판정은 상기 제1 센서 뿐만 아니라 그 외의 기 설정된 온도센서들에 대하여도 이들을 각각 검증용 온도센서로 하여 동일하게 수행하여 오작동을 판정하게 된다. 이후 오작동 판정과정을 수행한 모든 온도센서에 대하여, 검증구간에서 측정된 온도측정 데이터 또는 검증구간에서의 온도 예측값 중 최대값 및 최소값으로부터 상기 서셉터의 온도 균일도를 산출하게 된다(S460). 이와 같이 최대값 및 최소값을 결정할 때, 오작동으로 판정된 온도센서에서는 검증구간에서의 온도 예측값, 정상으로 판정된 온도센서에서는 검증구간에서 측정된 온도측정 데이터를 취하고, 이 값들 중 최대값 및 최소값을 결정하는 것이 바람직하다.
이와 같이 구해진 최대값 및 최소값을 이용하여 상기 서셉터의 온도 균일도는,
Figure 112014009239237-pat00009
에 의해 산출될 수 있다. 이러한 온도 균일도는 낮을수록 바람직하다.
도 4는 도 1의 서셉터 온도 분포 균일도 평가 시스템(100) 중, 서셉터 온도 균일도 평가 장치(150)의 구성을 도시한 도면이다.
서셉터 온도 균일도 평가 장치(150)의 수행하는 프로세스 및 관련 내용에 관하여는 도 3을 참조하여 상세히 전술하였으므로, 여기서는 서셉터 온도 균일도 평가 장치(150)의 각 모듈별 기능에 대하여만 간략히 서술하기로 한다.
제어부(151)는, 서셉터 온도 균일도 평가 장치(150)의 이하 각 구성요소를 제어하여 서셉터 온도 균일도 평가 수행과 관련된 일련의 처리를 수행한다.
온도측정 데이터 수신모듈(152)는, 서셉터의 온도가 목표치에 도달하기 전 특정 구간(이하 '학습구간'이라 한다)에서, 서셉터에 부착된 다수의 온도센서 중 특정 센서(이하 '제1 센서'라 한다)를 검증용 온도센서로 하여, 상기 제1 센서 및 그 외의 일정 갯수의 온도센서(이하 '주변센서'라 한다)에 의해 측정된 기 설정된 횟수의 온도측정 데이터를 상기 각 온도센서들로부터 수신하고, 또한 상관도가 기준값 이상인 주변센서들에 대하여, 온도가 목표치에 도달한 후의 구간(이하 '검증구간'이라 한다)에서의 온도측정 데이터를 수신한다.
상관도 산출모듈(153)은, 상기 제1 센서에 의한 상기 학습구간에서의 온도측정 데이터와, 각 주변센서에 의한 상기 학습구간에서의 온도측정 데이터 간의 상관도를 각각 산출한다.
가중치 및 바이어스 산출모듈(154)는, 상기 산출된 제1 센서와의 상관도가 기준값 이상인 주변센서들을 결정하여, 결정된 주변센서들에 의한 학습구간 온도측정 데이터 및 상기 제1 센서에 의한 학습구간 온도측정 데이터로부터, 각 주변센서들의 학습구간 온도측정 데이터에 대한 가중치 및 바이어스 값을 산출한다.
온도 예측값 산출모듈(155)은, 상관도가 기준값 이상인 주변센서들에 대하여 온도가 목표치에 도달한 후의 구간(이하 '검증구간'이라 한다)에서의 온도측정 데이터를 상기 온도측정 데이터 수신모듈(152)이 수신한 후, 상기 산출된 가중치 및 바이어스 값을 적용하여 상기 제1 센서의 상기 검증구간에서의 온도 예측값을 산출한다.
오작동 판정모듈(156)은, 상기 제1 센서의 검증구간 온도 예측값과 상기 제1 센서에 의해 상기 검증구간에서 측정된 온도측정 데이터로부터, 상기 제1 센서의 오작동 여부를 판정한다.
온도 균일도 산출모듈(157)은, 각 온도센서에 대하여 산출된 검증구간에서 측정된 온도측정 데이터 또는 검증구간에서의 온도 예측값 중 최대값 및 최소값을 결정하고, 이로부터 상기 서셉터의 온도 균일도를 산출한다.
100: 서셉터 온도 균일도 평가 시스템
150: 서셉터 온도 균일도 평가 장치

Claims (13)

  1. 서셉터 온도 균일도 평가 장치 또는 시스템이 서셉터 온도 균일도 평가를 수행하는 방법으로서,
    (a) 서셉터의 온도가 목표치에 도달하기 전 특정 구간(이하 '학습구간'이라 한다)에서, 서셉터에 부착된 다수의 온도센서 중 특정 센서(이하 '제1 센서'라 한다)를 검증용 온도센서로 하여, 상기 제1 센서 및 그 외의 일정 갯수의 온도센서(이하 '주변센서'라 한다)에 의해 측정된 기 설정된 횟수의 온도측정 데이터를 상기 각 온도센서들로부터 수신하는 단계;
    (b) 상기 제1 센서에 의한 상기 학습구간에서의 온도측정 데이터와, 각 주변센서에 의한 상기 학습구간에서의 온도측정 데이터 간의 상관도를 각각 산출하는 단계;
    (c) 상기 산출된 제1 센서와의 상관도가 기준값 이상인 주변센서들을 결정하는 단계;
    (d) 상기 단계(c)에서 결정된 주변센서들에 의한 학습구간 온도측정 데이터 및 상기 제1 센서에 의한 학습구간 온도측정 데이터로부터, 각 주변센서들의 학습구간 온도측정 데이터에 대한 가중치 및 바이어스 값을 산출하는 단계;
    (e) 상기 단계(c)에서 상관도가 기준값 이상인 주변센서들에 대하여, 온도가 목표치에 도달한 후의 구간(이하 '검증구간'이라 한다)에서의 온도측정 데이터를 수신한 후, 상기 단계(d)에서 산출한 가중치 및 바이어스 값을 적용하여 상기 제1 센서의 상기 검증구간에서의 온도 예측값을 산출하는 단계; 및
    (f) 상기 제1 센서의 검증구간 온도 예측값과 상기 제1 센서에 의해 상기 검증구간에서 측정된 온도측정 데이터로부터, 상기 제1 센서의 오작동 여부를 판정하는 단계
    를 포함하는 서셉터 온도 균일도 평가 방법.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 단계(f)의 제1 센서의 오작동 여부 판단은,
    오차율을 구하여 상기 오차율이 기준값 이상인 경우 오작동으로 판단하고,
    상기 오차율은,
    Figure 112014009239237-pat00010

    에 의해 산출되는 것
    을 특징으로 하는 서셉터 온도 균일도 평가 방법.
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 단계(f) 이후,
    (g) 상기 제1 센서 이외의 기 설정된 온도센서들에 대하여, 각 온도센서들을 검증용 온도센서로 하여 각각 상기 단계(a) 내지 단계(f)를 수행하는 단계;
    (h) 검증용 온도센서로서 상기 단계(a) 내지 단계(f)를 수행한 모든 온도센서에 대하여 산출된 검증구간에서 측정된 온도측정 데이터 또는 검증구간에서의 온도 예측값 중 최대값 및 최소값으로부터 상기 서셉터의 온도 균일도를 산출하는 단계
    를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 서셉터 온도 균일도 평가 방법.
  4. 청구항 3에 있어서,
    상기 단계(h)에서 상기 최대값 및 최소값을 결정할 때,
    오작동으로 판정된 온도센서에서는 검증구간에서의 온도 예측값,
    정상으로 판정된 온도센서에서는 검증구간에서 측정된 온도측정 데이터
    를 취하여, 이 값들 중 최대값 및 최소값을 결정하는 것
    을 특징으로 하는 서셉터 온도 균일도 평가 방법.
  5. 청구항 3에 있어서,
    상기 서셉터의 온도 균일도는,
    Figure 112014009239237-pat00011

    에 의해 산출되는 것
    을 특징으로 하는 서셉터 온도 균일도 평가 방법.
  6. 청구항 1에 있어서,
    상기 단계(d)에서,
    상기 가중치 및 바이어스 값은,
    Figure 112014009239237-pat00012

    를 만족하는 값으로 구해지며,
    여기서 T 1 은 상기 제1 센서의 학습구간 온도측정 데이터,
    T 2 , T 3 ,...,T n 은 상관도가 기준값 이상인 주변센서들의 학습구간 온도측정 데이터,
    W 2 , W 3 ,...,W n 은 가중치,
    b는 양수 또는 음수값을 갖는 바이어스 값인 것
    을 특징으로 하는 서셉터 온도 균일도 평가 방법.
  7. 서셉터 온도 균일도 평가를 수행하는 장치로서,
    서셉터의 온도가 목표치에 도달하기 전 특정 구간(이하 '학습구간'이라 한다)에서, 서셉터에 부착된 다수의 온도센서 중 특정 센서(이하 '제1 센서'라 한다)를 검증용 온도센서로 하여, 상기 제1 센서 및 그 외의 일정 갯수의 온도센서(이하 '주변센서'라 한다)에 의해 측정된 기 설정된 횟수의 온도측정 데이터를 상기 각 온도센서들로부터 수신하고, 상관도가 기준값 이상인 주변센서들에 대하여, 온도가 목표치에 도달한 후의 구간(이하 '검증구간'이라 한다)에서의 온도측정 데이터를 수신하는 온도측정 데이터 수신모듈;
    상기 제1 센서에 의한 상기 학습구간에서의 온도측정 데이터와, 각 주변센서에 의한 상기 학습구간에서의 온도측정 데이터 간의 상관도를 각각 산출하는 상관도 산출모듈;
    상기 산출된 제1 센서와의 상관도가 기준값 이상인 주변센서들을 결정하여, 결정된 주변센서들에 의한 학습구간 온도측정 데이터 및 상기 제1 센서에 의한 학습구간 온도측정 데이터로부터, 각 주변센서들의 학습구간 온도측정 데이터에 대한 가중치 및 바이어스 값을 산출하는 가중치 및 바이어스 산출모듈;
    상관도가 기준값 이상인 주변센서들에 대하여, 온도가 목표치에 도달한 후의 구간(이하 '검증구간'이라 한다)에서의 온도측정 데이터를 상기 온도측정 데이터 수신모듈이 수신한 후, 상기 산출된 가중치 및 바이어스 값을 적용하여 상기 제1 센서의 상기 검증구간에서의 온도 예측값을 산출하는 온도 예측값 산출모듈;
    상기 제1 센서의 검증구간 온도 예측값과 상기 제1 센서에 의해 상기 검증구간에서 측정된 온도측정 데이터로부터, 상기 제1 센서의 오작동 여부를 판정하는 오작동 판정모듈; 및
    서셉터 온도 균일도 평가 장치의 상기 각 구성요소를 제어하여 서셉터 온도 균일도 평가 수행과 관련된 일련의 처리를 수행하는 제어부
    를 포함하는 서셉터 온도 균일도 평가 장치.
  8. 청구항 7에 있어서,
    상기 제1 센서의 오작동 여부 판단은,
    오차율을 구하여 상기 오차율이 기준값 이상인 경우 오작동으로 판단하고,
    상기 오차율은,
    Figure 112014009239237-pat00013

    에 의해 산출되는 것
    을 특징으로 하는 서셉터 온도 균일도 평가 장치.
  9. 청구항 7에 있어서,
    상기 단계(f) 이후,
    각 온도센서에 대하여 산출된 검증구간에서 측정된 온도측정 데이터 또는 검증구간에서의 온도 예측값 중 최대값 및 최소값을 결정하고, 이로부터 상기 서셉터의 온도 균일도를 산출하는 온도 균일도 산출모듈
    을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 서셉터 온도 균일도 평가 장치.
  10. 청구항 9에 있어서,
    상기 최대값 및 최소값을 결정할 때,
    오작동으로 판정된 온도센서에서는 검증구간에서의 온도 예측값,
    정상으로 판정된 온도센서에서는 검증구간에서 측정된 온도측정 데이터
    를 취하여, 이 값들 중 최대값 및 최소값을 결정하는 것
    을 특징으로 하는 서셉터 온도 균일도 평가 장치.
  11. 청구항 9에 있어서,
    상기 서셉터의 온도 균일도는,
    Figure 112014009239237-pat00014

    에 의해 산출되는 것
    을 특징으로 하는 서셉터 온도 균일도 평가 장치.
  12. 청구항 7에 있어서,
    상기 가중치 및 바이어스 값은,
    Figure 112014009239237-pat00015

    를 만족하는 값으로 구해지며,
    여기서 T 1 은 상기 제1 센서의 학습구간 온도측정 데이터,
    T 2 , T 3 ,...,T n 은 상관도가 기준값 이상인 주변센서들의 학습구간 온도측정 데이터,
    W 2 , W 3 ,...,W n 은 가중치,
    b는 양수 또는 음수값을 갖는 바이어스 값인 것
    을 특징으로 하는 서셉터 온도 균일도 평가 장치.
  13. 서셉터에 부착되어 서셉터의 온도를 측정하는 다수의 센서; 및
    청구항 7의 서셉터 온도 균일도 평가 장치
    를 포함하는 서셉터 온도 균일도 평가 시스템.
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