KR101509867B1 - Inspecting method and inspecting system - Google Patents
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Abstract
금속층의 양면에 절연층이 적층되어 이루어지는 적층 필름에 대해서, 적층 필름을 관통하고 있지 않은 결함을 검사할 수 있는 검사 방법을 제공한다. 본 발명의 검사 방법은, 금속층의 양면에 절연층이 적층되어 이루어지는 적층 필름의 결함을 검사하는 검사 방법이며, 전압 인가 공정 및 검지 공정을 갖는다. 전압 인가 공정은, 적층 필름의 표면에 도전성의 액체를 공급하면서, 당해 액체가 공급되는 적층 필름의 표면에 접촉하는 제1 전극과 적층 필름의 단부로부터 노출하는 금속층의 단부에 접촉하는 제2 전극 사이에 전압을 인가한다. 검지 공정은 전압이 인가되는 제1 및 제2 전극 사이의 통전 상태를 검지한다.Provided is an inspection method capable of inspecting a defect that does not pass through a laminated film on a laminated film in which an insulating layer is laminated on both surfaces of a metal layer. An inspection method of the present invention is an inspection method for inspecting defects of a laminated film in which an insulating layer is laminated on both surfaces of a metal layer, and has a voltage application step and a detection step. The voltage application step is a step of supplying a conductive liquid to the surface of the laminated film while supplying a conductive liquid to the surface of the laminated film so that the first electrode contacting the surface of the laminated film to which the liquid is supplied and the second electrode contacting the end of the metal layer exposed from the end of the laminated film . The detecting step detects the energization state between the first and second electrodes to which a voltage is applied.
Description
본 발명은 금속층의 양면에 절연층이 적층되어 이루어지는 적층 필름의 결함을 검사하는 검사 방법 및 검사 시스템에 관한 것이다.The present invention relates to an inspection method and an inspection system for inspecting defects of a laminated film in which an insulating layer is laminated on both surfaces of a metal layer.
최근, 환경 보호 운동의 고조를 배경으로하여, 전기 자동차(EV) 및 하이브리드 전기 자동차(HEV)의 개발이 진행되고 있다. 이들 모터 구동용 전원으로서, 반복해서 충방전이 가능한 리튬 이온 2차 전지가 주목받고 있다. 리튬 이온 2차 전지는, 시트 형상의 정극과 부극이 세퍼레이터를 개재해서 복수 적층되어 이루어지는 발전 요소가 절연성의 외장 부재에 수용되어 형성된다. 절연성의 외장 부재는 금속층의 양면에 절연층이 적층되어 이루어지는 절연성의 적층 필름이 접합되어 형성된다.BACKGROUND ART [0002] In recent years, development of electric vehicles (EVs) and hybrid electric vehicles (HEVs) is proceeding with the backdrop of the heightened environmental protection movement. Lithium ion secondary batteries capable of repeatedly charging and discharging have attracted attention as power sources for driving these motors. The lithium ion secondary battery is formed by housing a plurality of sheet-like positive electrodes and negative electrodes with a separator interposed therebetween and a power generating element accommodated in an insulating casing member. The insulating sheathing member is formed by bonding an insulating laminated film formed by laminating an insulating layer on both surfaces of a metal layer.
이것에 관련된 기술로서, 필름 형상의 절연성 부재의 신뢰성을 향상시키는 견지에서, 하기의 특허문헌 1에 개시된 검사 장치가 제안되어 있다. 특허문헌 1에 개시되어 있는 검사 장치는, 검사 대상인 절연성 부재를 적재하는 제1 전극과, 절연성 부재의 상부에 전해액을 공급하는 전해액 공급부와, 절연성 부재의 표면에 접촉하는 제2 전극을 갖는다. 이와 같은 구성에 따르면, 절연성 부재에 관통 구멍이 형성되어 있을 경우, 제1 전극과 제2 전극 사이에 전압을 인가하면, 전해액에 의해 제1 전극과 제2 전극이 통전하기 때문에, 절연성 부재를 관통하는 핀 홀이나 흠집 등의 결함을 검지할 수 있다.As a technology related to this, from the viewpoint of improving the reliability of a film-like insulating member, a testing apparatus disclosed in Patent Document 1 below has been proposed. The inspection apparatus disclosed in Patent Document 1 has a first electrode for mounting an insulating member to be inspected, an electrolyte supply portion for supplying an electrolytic solution to an upper portion of the insulating member, and a second electrode contacting the surface of the insulating member. According to this configuration, when a through hole is formed in the insulating member, when a voltage is applied between the first electrode and the second electrode, the first electrode and the second electrode are energized by the electrolytic solution, Defects such as pinholes and scratches can be detected.
그러나, 상기의 검사 장치에서는, 절연성 부재의 표면측 및 이면측에 제1 및 제2 전극이 각각 배치된다. 이로 인해, 상기의 검사 장치에서는, 금속층의 양면에 절연층이 적층되어 이루어지는 절연성의 적층 필름에 대해서, 적층 필름을 관통하고 있지 않은 핀 홀이나 흠집 등의 결함을 검지할 수 없다는 문제가 있다.However, in the above inspection apparatus, the first and second electrodes are disposed on the front surface side and the back surface side of the insulating member, respectively. Therefore, in the above inspection apparatus, there is a problem that defects such as pin holes and scratches which do not penetrate through the laminated film can not be detected with respect to the insulating laminated film in which the insulating layer is laminated on both surfaces of the metal layer.
본 발명은 상술한 문제를 해결하기 위해 이루어진 것이다. 따라서, 본 발명의 목적은, 금속층의 양면에 절연층이 적층되어 이루어지는 적층 필름에 대해서, 적층 필름을 관통하고 있지 않은 결함을 검사할 수 있는 검사 방법 및 검사 시스템을 제공하는 것이다.The present invention has been made to solve the above-described problems. Therefore, an object of the present invention is to provide an inspection method and an inspection system that can inspect defects that do not penetrate through a laminated film on a laminated film in which insulating layers are laminated on both surfaces of a metal layer.
본 발명의 상기 목적은 하기의 수단에 의해 달성된다.The above object of the present invention is achieved by the following means.
본 발명의 검사 방법은, 금속층의 양면에 절연층이 적층되어 이루어지는 적층 필름의 결함을 검사하는 검사 방법으로, 전압 인가 공정 및 검지 공정을 갖는다. 상기 전압 인가 공정은, 상기 적층 필름의 표면에 도전성의 액체를 공급하면서, 당해 액체가 공급되는 상기 적층 필름의 표면에 접촉하는 제1 전극과 상기 적층 필름의 단부로부터 노출하는 상기 금속층의 단부에 접촉하는 제2 전극 사이에 전압을 인가한다. 상기 검지 공정은 상기 전압이 인가되는 제1 및 제2 전극 사이의 통전 상태를 검지한다.An inspection method of the present invention is an inspection method for inspecting defects in a laminated film in which an insulating layer is laminated on both surfaces of a metal layer, and has a voltage application step and a detection step. Wherein the voltage application step is a step of supplying a conductive liquid to the surface of the laminated film while contacting the first electrode which is in contact with the surface of the laminated film to which the liquid is supplied and the end of the metal layer exposed from the end of the laminated film A voltage is applied between the first electrode and the second electrode. The detection step detects the energization state between the first and second electrodes to which the voltage is applied.
본 발명의 검사 시스템은, 금속층의 양면에 절연층이 적층되어 이루어지는 적층 필름의 결함을 검사하는 검사 시스템이며, 액체 공급부, 제1 전극, 제2 전극, 전압 인가부, 및 검지부를 갖는다. 상기 액체 공급부는, 상기 적층 필름의 표면에 도전성의 액체를 공급한다. 상기 제1 전극은 상기 액체가 공급되는 상기 적층 필름의 표면에 접촉한다. 상기 제2 전극은 상기 적층 필름의 단부로부터 노출하는 상기 금속층의 단부에 접촉한다. 상기 전압 인가부는 상기 제1 및 제2 전극간에 전압을 인가한다. 상기 검지부는 상기 전압이 인가되는 제1 및 제2 전극 사이의 통전 상태를 검지한다.The inspection system of the present invention is an inspection system for inspecting defects of a laminated film in which an insulating layer is laminated on both surfaces of a metal layer, and has a liquid supply portion, a first electrode, a second electrode, a voltage applying portion and a detection portion. The liquid supply unit supplies a conductive liquid to the surface of the laminated film. The first electrode is in contact with the surface of the laminated film to which the liquid is supplied. And the second electrode is in contact with the end portion of the metal layer exposed from the end portion of the laminated film. The voltage application unit applies a voltage between the first and second electrodes. The detection unit detects the energization state between the first and second electrodes to which the voltage is applied.
본 발명에 의하면, 적층 필름의 표면과 적층 필름의 단부로부터 노출하는 금속층의 단부 사이의 통전 상태가 검지되기 때문에, 적층 필름을 관통하고 있지 않은 결함을 검사할 수 있다.According to the present invention, since the state of energization between the surface of the laminated film and the end of the metal layer exposed from the end of the laminated film is detected, defects that do not penetrate the laminated film can be inspected.
도 1은 본 발명의 일 실시형태에 관한 검사 시스템에 의해 검사되는 적층 필름 및 적층 필름의 결함을 설명하기 위한 도면.
도 2는 본 발명의 일 실시형태에 관한 검사 시스템의 개략 구성을 도시하는 도면.
도 3은 도 2의 부분 확대도.
도 4는 도 2에 도시하는 검사 시스템에 의해 실행되는 검사 처리의 수순을 도시하는 플로우챠트.
도 5는 제1 및 제2 프로브간의 채터링을 설명하기 위한 도면.
도 6은 전극액의 침투 시간과 결함의 깊이의 관계를 나타내는 도면.
도 7은 변형예에 관한 검사 처리의 수순을 도시하는 플로우챠트.
도 8은 낮은 전압이 인가된 경우의 제1 및 제2 프로브간의 임피던스 파형을 나타내는 도면.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS Fig. 1 is a diagram for explaining defects of a laminated film and a laminated film inspected by an inspection system according to an embodiment of the present invention. Fig.
2 is a diagram showing a schematic configuration of an inspection system according to an embodiment of the present invention;
3 is a partial enlarged view of Fig.
Fig. 4 is a flowchart showing a procedure of an inspection process executed by the inspection system shown in Fig. 2; Fig.
5 is a view for explaining chattering between first and second probes;
6 is a view showing the relationship between the penetration time of the electrode solution and the depth of the defect.
7 is a flowchart showing a procedure of an inspection process according to a modified example.
8 is a diagram showing an impedance waveform between a first probe and a second probe when a low voltage is applied;
이하, 도면을 참조하여, 본 발명의 실시형태를 설명한다. 본 실시형태에서는, 본 발명의 검사 시스템 및 검사 방법을 사용하여, 리튬 이온 2차 전지의 적층 필름에 존재하는 결함의 종류 및 깊이를 검사하는 경우를 예로 들어 설명한다. 또한, 도면 중 동일한 부재에는 동일한 부호를 사용했다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In the present embodiment, the inspection system and the inspection method of the present invention are used to examine the type and depth of defects existing in the laminated film of the lithium ion secondary battery as an example. The same reference numerals are used for the same members in the drawings.
도 1은 본 발명의 일 실시형태에 관한 검사 시스템에 의해 검사되는 적층 필름 및 적층 필름의 결함을 설명하기 위한 도면이다. 도 1에 도시한 바와 같이, 본 실시형태의 적층 필름(10)은 금속층(20)과, 금속층(20)의 한쪽의 면에 형성되는 시일층(30)과, 금속층(20)의 다른 쪽의 면에 형성되는 보호층(40)을 갖는다.BRIEF DESCRIPTION OF DRAWINGS FIG. 1 is a view for explaining defects of a laminated film and a laminated film inspected by an inspection system according to an embodiment of the present invention; FIG. 1, the
금속층(20)은 전해액이나 가스를 차단하는 것으로, 알루미늄에 의해 형성된다. 시일층(30)은 2장의 적층 필름(10)을 서로 용착하기 위한 것이고, 폴리프로필렌(PP)에 의해 형성된다.The
보호층(40)은 금속층(20)을 보호하는 제1 절연층(41)과, 제1 절연층(41)과 금속층(20) 사이에 형성되는 제2 절연층(42)을 갖는다. 제1 절연층(41)은 폴리에틸렌테레프탈레이트(PET)에 의해 형성된다. 제2 절연층(42)은 제1 절연층(41)과 금속층(20)의 접합성을 향상시키기 위한 것이고, 나일론에 의해 형성된다. 또한, 금속층(20), 시일층(30), 제1 절연층(41), 및 제2 절연층(42)을 구성하는 재료는 상기의 재료에 한정되는 것은 아니다.The
이와 같이 구성되는 적층 필름(10)에는, 핀 홀이나 흠집 등의 결함(50a, 50b, 50c)이 형성될 수 있다. 이들 결함(50a, 50b, 50c)은 그 깊이에 따라, 3종류로 분류된다.
여기서, 제1 결함은 제1 절연층(41)을 관통하고 있지 않은 결함(50a)이며[도 1의 (a) 참조), 제2 결함은 제1 절연층(41)을 관통해서 제2 절연층(42)의 일부에까지 도달하고 있는 결함(50b)이다[도 1의 (b) 참조]. 제3 결함은 제1 및 제2 절연층(41, 42)을 관통해서 금속층(20)에 도달하고 있는 결함(50c)이다[도 1의 (c) 참조].Here, the first defect is a
적층 필름(10)이 접합되어서 형성되는 외장 부재에, 시트 형상의 정극과 부극이 세퍼레이터를 개재해서 복수 적층되어 이루어지는 발전 요소를 수용함으로써, 리튬 이온 2차 전지(200)(도 2 참조)가 형성된다. 본 실시형태에서는, 리튬 이온 2차 전지(200) 표면의 적층 필름(10)의 결함이 검사된다. 이하, 상기의 적층 필름(10)의 결함을 검사하는 검사 시스템에 대해서 설명한다.The lithium ion secondary battery 200 (see FIG. 2) is formed by housing a power generation element in which a plurality of sheet-like positive electrodes and negative electrodes are stacked with a separator interposed in an outer member formed by bonding the
도 2는 본 발명의 일 실시형태에 관한 검사 시스템의 개략 구성을 도시하는 도면이며, 도 3은 도 2의 부분 확대도이다. 도 2 및 도 3에 도시한 바와 같이, 본 실시형태의 검사 시스템(100)은 제1 및 제2 프로브(110, 120; 제1 및 제2 전극에 각각 상응함), 전압 인가 장치(130), 및 연산 장치(140)를 구비한다.FIG. 2 is a diagram showing a schematic configuration of an inspection system according to an embodiment of the present invention, and FIG. 3 is a partially enlarged view of FIG. 2 and 3, the
제1 프로브(110)는 도전성의 액체를 공급하면서, 적층 필름(10)의 표면에 접촉하는 것이다. 제1 프로브(110)는 탱크부(111), 전극 고정부(112), 및 다공질 고무부(113)를 갖는다. 탱크부(111)는 에탄올을 주성분으로 하는 도전성의 액체(이하, 전극액이라함)를 수용한다. 전극 고정부(112)는 페라이트에 의해 형성되고, 내부에 구리선(도시하지 않음)을 보유 지지하고 있다. 또한, 전극 고정부(112)는 탱크부(111)로부터의 전극액의 휘발이나 흘러내림을 방지한다. 다공질 고무부(113)는 다공질의 고무재에 의해 형성되고, 전극액을 보유 지지한다. 다공질 고무부(113)는 적층 필름(10)의 표면에 접촉되어[도 3의 (a) 참조], 적층 필름(10)의 표면에 전극액을 공급한다.The
제2 프로브(120)는 적층 필름(10)의 단부면(10e)으로부터 노출하는 금속층(20)의 단부면(20e)[도 3의 (B) 참조]에 접촉하는 것이다. 제2 프로브(120)는, V자 형상의 홈부를 갖는 도전성 고무재로 형성되고, 리튬 이온 2차 전지(200)의 단부를 끼움 지지해서, 적층 필름(10)의 단부면(10e)으로부터 노출하는 금속층(20)의 단부면(20e)에 접촉한다.The
전압 인가 장치(130)는 제1 프로브(110)와 제2 프로브(120) 사이에 일정한 전압을 인가한다. 전압 인가 장치(130)의 플러스측에는 제1 프로브(110)가 접속되어 있고, 전압 인가 장치(130)의 마이너스측에는 제2 프로브(120)가 접속되어 있다. 또한, 전압 인가 장치(130)는 임피던스 측정기로서의 기능을 갖고, 제1 및 제2 프로브(110, 120) 사이의 임피던스값을 측정할 수 있다.The
연산 장치(140)는 적층 필름(10)에 존재하는 결함을 검지한다. 연산 장치(140)는, 제1 및 제2 프로브(110, 120) 사이의 임피던스값으로부터, 적층 필름(10)에 존재하는 결함의 종류를 특정한다. 또한, 연산 장치(140)는, 리튬 이온 2차 전지(200)의 표면에 제1 프로브(110)가 접촉하고 나서, 제1 및 제2 프로브(110, 120) 사이의 임피던스값에 채터링이 발생할 때까지의 시간(이하, 채터링 개시 시간이라함)을 검출한다. 연산 장치(140)에는, 결함의 깊이와 채터링 개시 시간의 관계를 나타내는 결함의 깊이-채터링 개시 시간 변환 테이블이 저장되어 있고, 채터링 개시 시간으로부터 결함의 깊이를 산출할 수 있다.The
이상과 같이 구성되는 검사 시스템(100)에서는, 제1 및 제2 프로브(110, 120) 사이의 통전 상태를 검지함으로써, 적층 필름(10)의 결함의 종류 및 깊이가 검사된다. 이하, 도 4 내지 도 6을 참조하면서, 본 실시형태에 있어서의 검사 시스템(100)에 있어서, 리튬 이온 2차 전지(200) 표면의 결함을 검사하는 방법에 대해서 설명한다.In the
도 4는 검사 시스템에 의해 실행되는 검사 처리의 수순을 도시하는 플로우챠트이다. 도 4에 도시하는 검사 처리에 앞서, 리튬 이온 2차 전지의 외관 검사가 카메라를 사용해서 행해지고, 결함이 관찰되는 리튬 이온 2차 전지와 결함이 관찰되지 않는 리튬 이온 2차 전지가 구분된다. 본 실시형태의 검사 처리에서는, 결함이 관찰된 리튬 이온 2차 전지에 대해서, 당해 결함의 종류 및 깊이가 검사된다.4 is a flowchart showing the procedure of the inspection process executed by the inspection system. Prior to the inspection process shown in Fig. 4, a lithium ion secondary battery in which a visual inspection of a lithium ion secondary battery is performed using a camera, and a defect is observed is distinguished from a lithium ion secondary battery in which no defect is observed. In the inspection process of the present embodiment, the kind and depth of the defect are inspected for the lithium ion secondary battery in which the defect is observed.
우선, 제2 프로브(120)가 리튬 이온 2차 전지(200)의 단부에 접촉된다(스텝 S101). 본 실시형태에서는, V자 형상의 홈부를 갖는 도전성 고무재로 이루어지는 제2 프로브(120)가 리튬 이온 2차 전지(200)의 단부를 끼움 지지한다. 제2 프로브(120)가 리튬 이온 2차 전지(200)의 단부를 끼움 지지하는 것에 의해, 적층 필름(10)의 단부면(10e)으로부터 노출하는 금속층(20)의 단부면(20e)과 제2 프로브(120)가 접촉한다.First, the
계속해서, 제1 프로브(110)가 리튬 이온 2차 전지(200)의 표면에 접촉된다(스텝 S102). 본 실시형태에서는, 제1 프로브(110)의 다공질 고무부(113)가 적층 필름(10)의 결함을 포함하는 영역에 접촉된다. 다공질 고무부(113)는 전극액을 보유 지지하고 있기 때문에, 다공질 고무부(113)가 적층 필름(10)에 눌려짐으로써, 다공질 고무부(113)로부터 전극액이 스며나와서 적층 필름(10)의 표면에 공급된다. 제1 프로브(110)가 리튬 이온 2차 전지(200)의 표면에 접촉되는 동시에, 전압 인가 장치(130)에 의해 제1 및 제2 프로브(110, 120) 사이에 일정한 전압이 인가된다.Subsequently, the
계속해서, 제1 및 제2 프로브(100, 120) 사이의 임피던스값이 소정값 이하인지 여부가 판단된다(스텝 S103). 본 실시형태에서는, 일정한 전압이 인가되어 있는 제1 및 제2 프로브(110, 120) 사이의 임피던스값이 측정되고, 임피던스값이 소정값(판정 레벨) 이하인지 여부가 판단된다. 여기서, 소정값은 제1 및 제2 프로브(110, 120) 사이의 통전 상태/절연 상태를 판정하기 위한 값이며, 예를 들면 50Ω 이다.Subsequently, it is determined whether or not the impedance value between the first and
제1 및 제2 프로브(110, 120) 사이의 임피던스값이 소정값 이하가 아니라고 판단될 경우(스텝 S103 : 아니오), 제1 및 제2 프로브(110, 120) 사이가 절연 상태에 있다고 하여, 스텝 S105의 처리로 이행한다.If it is determined that the impedance value between the first and
한편, 제1 및 제2 프로브(110, 120) 사이의 임피던스값이 소정값 이하라고 판단될 경우(스텝 S103 : 예), 불량품의 판단이 이루어지고(스텝 S104), 처리가 종료된다. 본 실시형태에서는, 제1 및 제2 프로브(110, 120) 사이가 통전 상태에 있고, 제1 및 제2 절연층(41, 42)을 관통해서 금속층(20)에 도달하고 있는 결함(50c)[도 1의 (c) 참조]이 적층 필름(10)에 존재한다고 판단된다. 금속층(20)까지 도달하고 있는 결함(50c)이 존재하는 리튬 이온 2차 전지(200)는 불량품으로 판단된다.On the other hand, when it is determined that the impedance value between the first and
이상과 같이, 도 4의 스텝 S101 내지 S104에 나타나는 처리에 따르면, 제1 및 제2 프로브(110, 120) 사이의 통전 상태가 검지된다. 제1 및 제2 프로브(110, 120) 사이의 통전 상태가 검지됨으로써, 제1 및 제2 절연층(41, 42)을 관통해서 금속층(20)에 도달하고 있는 결함(50c)이 적층 필름(10)에 존재하는 것이 검지된다.As described above, according to the processing shown in steps S101 to S104 in Fig. 4, the energization state between the first and
한편, 스텝 S103에 나타나는 처리에 있어서, 제1 및 제2 프로브(110, 120) 사이의 임피던스값이 소정값 이하가 아니라고 판단될 경우(스텝 S103 : 아니오), 채터링이 발생했는지의 여부가 판단된다(스텝 S105). 본 실시형태에서는, 제1 및 제2 프로브(110, 120) 사이의 임피던스값이 크게 변동하는 채터링이 발생했는지의 여부가 판단된다.On the other hand, if it is determined in step S103 that the impedance value between the first and
도 5는 제1 및 제2 프로브간의 채터링을 설명하기 위한 도면이다. 도 5의 (a)는 채터링이 발생되어 있지 않은 임피던스 파형을 도시하는 도면이며, 도 5의 (b)는 채터링이 발생하고 있는 임피던스 파형을 도시하는 도면이다. 도 5의 (a) 및 도 5의 (b)의 종축은 임피던스값이며, 횡축은 시간이다. 채터링은, 제1 절연층(41)을 관통해서 제2 절연층(42)의 일부에까지 도달하고 있는 결함(50b)[도 1의 (b) 참조]이 적층 필름(10)에 존재할 경우에 발생한다. 에탄올을 주성분으로 하는 전극액은 나일론으로 이루어지는 제2 절연층(42)에 침투하기 때문에, 전극액이 제2 절연층(42)에 침투해서 금속층(20)에 도달하면, 제1 및 제2 프로브(110, 120) 사이가 절연 상태로부터 통전 상태로 변화한다. 제1 및 제2 프로브(110, 120) 사이가 절연 상태로부터 통전 상태로 변화할 때, 채터링이 발생한다. 전극액은 시간을 들여 제2 절연층(42)에 침투하고, 일정 시간(예를 들어, 수분) 경과하면, 제1 및 제2 프로브(110, 120) 사이의 임피던스값은 거의 제로가 된다. 채터링은 금속층(20)과 제2 절연층(42) 사이의 박리 상태에 기인하고 있다.5 is a diagram for explaining chattering between the first and second probes. FIG. 5A is a diagram showing an impedance waveform in which chattering has not occurred, and FIG. 5B is a diagram showing an impedance waveform in which chattering has occurred. FIG. 5 (a) and 5 (b) are the impedance values, and the abscissa is time. In the case where the
스텝 S105에 도시하는 처리에 있어서, 채터링이 발생되어 있지 않다고 판단될 경우(스텝 S105 : 아니오), 스텝 S109의 처리로 이행한다.If it is determined in step S105 that chattering has not occurred (step S105: NO), the process proceeds to step S109.
한편, 채터링이 발생했다고 판단될 경우(스텝 S105 : 예), 채터링 발생 시간이 검출된다(스텝 S106). 본 실시형태에서는, 제2 절연층(42)의 일부에까지 도달하고 있는 결함(50b)의 깊이를 산출하기 위해, 리튬 이온 2차 전지(200)의 표면에 제1 프로브(110)가 접촉하고 나서 채터링이 발생할 때까지의 시간(채터링 개시 시간)이 검출된다.On the other hand, when it is determined that chattering has occurred (step S105: YES), chattering occurrence time is detected (step S106). The
계속해서, 결함(50b)의 깊이가 산출된다(스텝 S107). 본 실시형태에서는, 스텝 S106에 나타나는 처리에서 검출된 채터링 개시 시간으로부터, 제2 절연층(42)의 일부에까지 도달하고 있는 결함(50b)의 깊이가 산출된다.Subsequently, the depth of the
도 6은 전극액의 침투 시간과 결함의 깊이의 관계를 도시하는 도면이다. 도 6의 종축은 결함의 깊이이며, 횡축은 전극액의 침투 시간이다. 도 6에 도시한 바와 같이, 제2 절연층(42)의 일부까지 도달하고 있는 결함(50b)의 깊이와, 전극액의 제2 절연층(42)으로의 침투 시간은, 결함(50b)의 깊이가 깊을수록 침투 시간이 짧아지는 관계를 갖는다. 따라서, 결함의 깊이와 채터링 개시 시간의 관계를 나타내는 결함 깊이-채터링 개시 시간 변환 테이블을 미리 작성해 둠으로써, 스텝 S106에 도시하는 처리에서 검출된 채터링 개시 시간으로부터, 결함(50b)의 깊이를 산출할 수 있다.6 is a diagram showing the relationship between the penetration time of the electrode solution and the depth of the defect. 6 is the depth of the defect, and the abscissa is the penetration time of the electrode solution. The depth of the
계속해서, 리페어가 지시되어(스텝 S108), 처리가 종료된다. 본 실시형태에서는, 제2 절연층(42)의 일부까지 도달하고 있는 결함(50b)이 적층 필름(10)에 존재한다고 하여, 리페어가 지시된다. 또한, 제2 절연층(42)의 일부까지 도달하고 있는 결함(50b)이 적층 필름(10)에 존재할 경우, 충분한 수분 차단 특성을 얻을 수 없다.Subsequently, repair is instructed (step S108), and the process is terminated. In this embodiment, the
이상과 같이, 도 4의 스텝 S105 내지 스텝 S108에 도시하는 처리에 따르면, 전극액이 제2 절연층(42)을 투과해서 금속층(20)에 도달함으로써, 제1 및 제2 프로브(110, 120) 사이가 절연 상태로부터 통전 상태로 변화되는 것이 검지된다. 제1 및 제2 프로브(110, 120) 사이가 절연 상태로부터 통전 상태로 변화되는 것이 검지됨으로써, 제2 절연층(42)의 일부까지 도달하고 있는 결함(50b)이 적층 필름(10)에 존재하는 것이 검지된다. 또한, 채터링 개시 시간이 검출됨으로써, 결함(50b)의 깊이가 산출된다.As described above, according to the processes shown in steps S105 to S108 in Fig. 4, the electrode solution reaches the
한편, 스텝 S105에 도시하는 처리에 있어서, 채터링이 발생하지 않는다고 판단될 경우(스텝 S105 : 아니오), 소정 시간 경과했는지의 여부가 판단된다(스텝 : S109). 여기서, 소정 시간은, 제1 및 제2 프로브(110, 120) 사이에 채터링이 발생하고 있지 않은 것을 확인하는 데에 충분한 시간이며, 예를 들면, 5분이다.On the other hand, if it is determined in step S105 that chattering does not occur (step S105: NO), it is determined whether or not a predetermined time has passed (step S109). Here, the predetermined time is a sufficient time to confirm that chattering does not occur between the first and
소정 시간 경과하고 있지 않다고 판단될 경우(스텝 S109 : 아니오), 스텝 S105의 처리로 복귀된다.If it is determined that the predetermined time has not elapsed (step S109: NO), the process returns to step S105.
한편, 소정 시간 경과했다고 판단될 경우(스텝 S109 : 예), 리페어가 지시되어(스텝 S110), 처리가 종료된다. 본 실시형태에서는, 제1 및 제2 프로브(110, 120) 사이가 절연 상태로 유지되어 있고[도 5의 (a) 참조], 제1 절연층(41)을 관통하고 있지 않은 결함(50a)[도 1의 (a) 참조]이 적층 필름(10)에 존재한다고 하여, 리페어가 지시된다.On the other hand, if it is determined that the predetermined time has elapsed (step S109: YES), the repair is instructed (step S110), and the process is terminated. In this embodiment, the first and
이상과 같이, 도 4의 스텝 S109 및 S110에 도시하는 처리에 따르면, 제1 및 제2 프로브(110, 120) 사이의 통전 상태가 검지되지 않는 것에 의해, 제1 절연층(41)을 관통하고 있지 않은 결함(50a)이 적층 필름(10)에 존재하는 것이 검지된다.As described above, according to the processes shown in steps S109 and S110 in Fig. 4, since the energization state between the first and
그리고, 본 실시형태의 검사 시스템 및 검사 방법에 따르면, 적층 필름(10)의 표면과 적층 필름(10)의 단부면(10e)으로부터 노출하는 금속층(20)의 단부면(20e) 사이의 통전 상태를 검지함으로써, 적층 필름(10)을 관통하고 있지 않은 결함이 검사된다. 구체적으로는, 제1 및 제2 절연층(41, 42)을 관통해서 금속층(20)에 도달하고 있는 결함(50c), 제1 절연층(41)을 관통해서 제2 절연층(42)의 일부까지 도달하고 있는 결함(50b), 및 제1 절연층(41)을 관통하고 있지 않은 결함(50a)이 검사된다.According to the inspection system and inspection method of the present embodiment, the state of energization between the surface of the
(변형예)(Modified example)
상술한 실시형태에서는, 제1 및 제2 프로브(110, 120) 사이의 채터링을 이용하는 것에 의해, 제1 절연층(41)을 관통해서 제2 절연층(42)의 일부까지 도달하고 있는 결함(50b)의 깊이가 산출되었다. 그러나, 결함(50b)의 깊이를 산출하는 처리는 생략되어도 좋다.The chattering between the first and
도 7은 변형예에 관한 검사 처리의 수순을 도시하는 플로우챠트이다. 변형예에 관한 검사 처리에서는, 상술한 실시형태에 있어서의 인가 전압(예를 들어, 50V)보다도 낮은 인가 전압(예를 들어, 25V)이 제1 및 제2 프로브(110, 120) 사이에 인가된다. 낮은 전압이 인가됨으로써, 돌입 전류가 작아져, 제1 및 제2 프로브(110, 120) 사이에 채터링이 발생하지 않게 된다.Fig. 7 is a flowchart showing the procedure of the inspection process according to the modified example. (For example, 25 V) lower than the applied voltage (for example, 50 V) in the above-described embodiment is applied between the first and
스텝 S201 내지 S204에 도시하는 처리는, 도 4의 스텝 S101 내지 S104에 나타내는 처리와 동일하기 때문에, 설명은 생략한다. 도 7의 스텝 S201 내지 S204에 도시하는 처리에 의하면, 제1 및 제2 절연층(41, 42)을 관통해서 금속층(20)에 도달하고 있는 결함(50c)[도 1의 (c) 참조]이 적층 필름(10)에 존재하는 것이 검지된다.The processes shown in the steps S201 to S204 are the same as the processes shown in the steps S101 to S104 in Fig. 4, and a description thereof will be omitted. According to the processes shown in steps S201 to S204 in Fig. 7, the
한편, 스텝 S203에 도시하는 처리에 있어서, 임피던스값이 소정값 이하가 아니라고 판단될 경우(스텝 S203 : 아니오), 리페어가 지시되고(스텝 S205), 처리가 종료된다. 본 변형예에서는, 제1 절연층(41)을 관통해서 제2 절연층(42)의 일부까지 도달하고 있는 결함(50b)[도 1의 (b) 참조], 또는 제1 절연층(41)을 관통하고 있지 않은 결함(50a)[도 1의 (a) 참조]이 적층 필름(10)에 존재한다고 하여, 리페어가 지시된다.On the other hand, if it is determined in step S203 that the impedance value is not equal to or smaller than the predetermined value (step S203: NO), repair is instructed (step S205), and the process is terminated. In this modified example, the
도 8은 낮은 전압이 인가된 경우의 제1 및 제2 프로브간의 임피던스 파형을 도시하는 도면이다. 제2 절연층(42)의 일부까지 도달하고 있는 결함(50b)이 적층 필름(10)에 존재할 경우, 제1 및 제2 프로브(110, 120) 사이에 전압이 인가되면, 제1 및 제2 프로브(110, 120) 사이가 절연 상태로부터 통전 상태로 변화된다[도 8의 (b) 참조]. 본 변형예에서는, 제1 및 제2 프로브(110, 120) 사이에 낮은 전압을 인가함으로써, 제1 및 제2 프로브(110, 120) 사이가 절연 상태로부터 통전 상태로 변화될 때, 채터링의 발생이 방지된다. 또한, 제1 절연층(41)을 관통하고 있지 않은 결함(50a)이 적층 필름(10)에 존재할 경우에는, 제1 및 제2 프로브(110, 120) 사이는 절연 상태로 유지된다[도 8의 (a) 참조].8 is a diagram showing an impedance waveform between the first and second probes when a low voltage is applied. When a
이와 같은 구성에 의하면, 채터링이 발생하지 않고, 안정된 임피던스 파형을 얻을 수 있기 때문에, 불량품 또는 리페어의 판단을 단시간(예를 들면, 1초 이내)에 고정밀도로 행할 수 있다.According to such a configuration, chattering does not occur and a stable impedance waveform can be obtained, so that it is possible to judge a defective product or a repair at a high precision within a short time (for example, within 1 second).
이상과 같이, 설명한 본 실시형태는 이하의 효과를 발휘한다.As described above, this embodiment has the following effects.
(a) 본 실시형태의 검사 시스템 및 검사 방법에서는, 적층 필름의 표면과 적층 필름의 단부면으로부터 노출하는 금속층의 단부면 사이의 통전 상태가 검지되기 때문에, 적층 필름을 관통하고 있지 않은 결함을 검사할 수 있다.(a) In the inspection system and inspection method of the present embodiment, since the state of energization between the surface of the laminated film and the end face of the metal layer exposed from the end face of the laminated film is detected, defects that do not penetrate the laminated film are inspected can do.
(b) 제1 및 제2 프로브 사이의 통전 상태가 검지될 경우, 제1 및 제2 절연층을 관통해서 금속층에 도달하고 있는 결함이 존재한다고 판단된다. 따라서, 적층 필름을 관통하지 않고 금속층에 도달하고 있는 결함을 검사할 수 있다.(b) When the energization state between the first and second probes is detected, it is determined that there is a defect penetrating through the first and second insulating layers and reaching the metal layer. Therefore, defects reaching the metal layer can be inspected without passing through the laminated film.
(c) 전극액이 제2 절연층에 침투해서 금속층에 도달함으로써, 제1 및 제2 프로브 사이가 절연 상태로부터 통전 상태로 변화되는 것이 검지될 경우, 제1 절연층을 관통해서 제2 절연층의 일부까지 도달하고 있는 결함이 존재한다고 판단된다. 따라서, 금속층에 도달하지 않는 결함을 검사할 수 있다.(c) When it is detected that the electrode solution penetrates into the second insulating layer and reaches the metal layer, the first and second probes are changed from the insulating state to the energized state, It is determined that there is a defect reaching a part of the defect. Therefore, defects that do not reach the metal layer can be inspected.
(d) 적층 필름의 표면에 전극액의 공급을 개시하고 나서 채터링이 발생할 때까지의 시간을 검출함으로써, 결함의 깊이가 산출된다. 따라서, 적층 필름을 파괴하지 않고, 제1 절연층을 관통해서 제2 절연층의 일부까지 도달하고 있는 결함의 깊이를 산출할 수 있다.(d) The depth of the defect is calculated by detecting the time from the start of supply of the electrode liquid to the surface of the laminated film to the occurrence of chattering. Therefore, the depth of a defect reaching a part of the second insulating layer through the first insulating layer can be calculated without destroying the laminated film.
(e) 제1 및 제2 프로브 사이에 채터링의 발생을 방지하도록 전압이 인가된다. 따라서, 제1 및 제2 절연층을 관통해서 금속층에 도달하고 있는 결함과, 금속층에 도달하고 있지 않는 결함을 단시간에 고정밀도로 검사할 수 있다. 그 결과, 리튬 이온 2차 전지의 조립 공정에 있어서의 인라인 검사에 적용하는 것이 가능하게 된다.(e) A voltage is applied between the first and second probes to prevent chattering. Therefore, defects reaching the metal layer through the first and second insulating layers and defects not reaching the metal layer can be inspected with high accuracy in a short time. As a result, it becomes possible to apply it to in-line inspection in the assembling process of the lithium ion secondary battery.
(f) 제1프로브는 전극액을 보유 지지하는 다공질 고무부를 포함하기 때문에, 1 프로브의 다공질 고무부를 적층 필름의 표면에 접촉시킴으로써, 적층 필름에 전극액을 공급할 수 있다.(f) Since the first probe includes the porous rubber portion for holding the electrode solution, the electrode solution can be supplied to the laminated film by bringing the porous rubber portion of one probe into contact with the surface of the laminated film.
(g) 제2 프로브는 적층 필름의 단부를 끼움 지지하는 V자 형상의 홈부를 갖는 도전성의 탄성 부재이기 때문에, 적층 필름의 단부를 손상시키는 일 없이, 적층 필름의 단부면으로부터 노출하는 금속층의 단부면에 접촉할 수 있다.(g) Since the second probe is a conductive elastic member having a V-shaped groove portion for holding the end portion of the laminated film, the edge of the metal layer exposed from the end face of the laminated film, It is possible to contact the side surface.
이상과 같이, 설명한 일 실시형태에 있어서, 본 발명의 검사 시스템 및 검사 방법을 설명했다. 그러나, 본 발명은 그 기술 사상의 범위 내에 있어서 당업자가 적당하게 추가, 변형, 및 생략할 수 있는 것은 말할 필요도 없다.As described above, in the embodiment described above, the inspection system and the inspection method of the present invention have been described. However, it is needless to say that the present invention can be appropriately added, modified, and omitted by those skilled in the art within the scope of the technical idea.
예를 들어, 상술한 실시형태에서는, 카메라를 사용한 외관 검사에 의해 결함이 미리 확인된 적층 필름에 대하여, 본 발명의 검사 시스템에 의해 결함의 종류 및 깊이의 검사가 행해졌다. 그러나, 카메라에 의한 외관 검사를 행하지 않고, 본 발명의 검사 시스템에 의해, 결함의 유무를 직접 검사해도 좋다.For example, in the above-described embodiment, the type and depth of defects are inspected by the inspection system of the present invention for a laminated film whose defects have been confirmed in advance by a visual inspection using a camera. However, the presence or absence of defects may be directly inspected by the inspection system of the present invention without performing a visual inspection by a camera.
또한, 상술한 실시형태에서는, 제1 및 제2 프로브 사이의 임피던스값이 측정됨으로써, 제1 및 제2 프로브 사이의 통전 상태가 검지되었다. 그러나, 제1 및 제2 프로브간의 전류값이 측정됨으로써, 제1 및 제2 프로브 사이의 통전 상태가 검지되어도 좋다.Further, in the above-described embodiment, the impedance value between the first and second probes is measured, so that the energization state between the first and second probes is detected. However, by measuring the current value between the first and second probes, the energization state between the first and second probes may be detected.
또한, 상술한 실시형태에서는, 적층 필름의 단부의 단부면으로부터 노출하는 금속층의 단부의 단부면에 제2 프로브가 접촉되었다. 그러나, 적층 필름의 단부의 제1 및 제2 절연층을 제거해서 적층 필름의 단부로부터 금속층의 단부를 노출시켜, 금속층의 단부에 제2 프로브가 접촉되어도 좋다.Further, in the above-described embodiment, the second probe is brought into contact with the end face of the end of the metal layer exposed from the end face of the end portion of the laminated film. However, the first and second insulating layers at the ends of the laminated film may be removed to expose the end of the metal layer from the end of the laminated film, and the second probe may contact the end of the metal layer.
또한, 상술한 실시형태에서는, 제1 프로브는 탱크부 및 다공질 고무부를 갖고, 적층 필름의 표면에 전극액을 공급했다. 그러나, 제1 프로브와는 별개로 액체 공급 장치를 설치하고, 액체 공급 장치로부터 적층 필름의 표면에 전극액을 공급해도 좋다.In the above-described embodiment, the first probe has a tank portion and a porous rubber portion, and the electrode solution is supplied to the surface of the laminated film. However, the liquid supply device may be provided separately from the first probe, and the electrode solution may be supplied to the surface of the laminated film from the liquid supply device.
또한, 상술한 실시형태에서는, 제2 프로브는 V자 형상의 홈부를 갖는 도전성 고무재로 형성되었다. 그러나, 제2 프로브는 금속제 프로브이여도 좋다.In the above-described embodiment, the second probe is formed of a conductive rubber material having a V-shaped groove portion. However, the second probe may be a metal probe.
또한, 상술한 실시형태에서는, 도전성의 액체로서 에탄올이 이용되었다. 그러나, 도전성의 액체는 에탄올에 한정되는 것이 아니고, 도전성을 갖는 다양한 액체가 이용될 수 있다.Further, in the above-described embodiment, ethanol is used as a conductive liquid. However, the conductive liquid is not limited to ethanol, and various liquids having conductivity may be used.
10 : 적층 필름
20 : 금속층
30 : 시일층(절연층)
40 : 보호층(절연층)
41: 제1 절연층(제1의 절연층)
42 : 제2 절연층(제2의 절연층)
50a, 50b, 50c : 결함
100 : 검사 시스템
110 : 제1 프로브(제1 전극, 액체 공급부)
111 : 탱크부
112 : 전극 고정부
113 : 다공질 고무부(다공질 부재)
120 : 제2 프로브(제2 전극)
130 : 전압 인가 장치(전압 인가부, 검지부)
140 : 연산 장치(검출부, 산출부)10: laminated film
20: metal layer
30: Seal layer (insulating layer)
40: Protective layer (insulating layer)
41: first insulating layer (first insulating layer)
42: second insulating layer (second insulating layer)
50a, 50b, 50c: defect
100: Inspection system
110: first probe (first electrode, liquid supply part)
111: tank portion
112: electrode fixing portion
113: Porous rubber portion (porous member)
120: second probe (second electrode)
130: voltage applying device (voltage applying portion, detecting portion)
140: computing device (detection unit, calculation unit)
Claims (16)
상기 적층 필름의 표면에 도전성의 액체를 공급하면서, 당해 액체가 공급되는 상기 적층 필름의 표면에 접촉하는 제1 전극과 상기 적층 필름의 단부로부터 노출하는 상기 금속층의 단부에 접촉하는 제2 전극 사이에 전압을 인가하는 전압 인가 공정과,
상기 전압이 인가되는 제1 및 제2 전극 사이의 통전 상태를 검지하는 검지 공정을 갖는 것을 특징으로 하는, 검사 방법.An inspection method for inspecting defects in a laminated film in which an insulating layer is laminated on both surfaces of a metal layer,
And a second electrode contacting the end of the metal layer exposed from the end of the laminated film while supplying a conductive liquid to the surface of the laminated film, A voltage applying step of applying a voltage,
And a detection step of detecting a state of energization between the first and second electrodes to which the voltage is applied.
상기 검지 공정에 있어서, 상기 제1 및 제2 전극 사이의 통전 상태가 검지될 경우, 상기 절연층을 관통해서 상기 금속층에 도달하고 있는 결함이 상기 적층 필름에 존재한다고 판단되는 것을 특징으로 하는, 검사 방법.The method according to claim 1,
Characterized in that, in the detecting step, when a state of energization between the first and second electrodes is detected, it is judged that a defect reaching the metal layer through the insulating layer exists in the laminated film Way.
상기 액체가 상기 제2 절연층에 침투해서 상기 금속층에 도달함으로써, 상기 검지 공정에 있어서 상기 제1 및 제2 전극 사이가 절연 상태로부터 통전 상태로 변화되는 것이 검지될 경우, 상기 제1 절연층을 관통해서 상기 제2 절연층의 일부까지 도달하고 있는 결함이 상기 적층 필름에 존재한다고 판단되는 것을 특징으로 하는, 검사 방법.3. The semiconductor device according to claim 1 or 2, wherein the insulating layer includes a first insulating layer for protecting the metal layer, and a second insulating layer formed between the first insulating layer and the metal layer, A liquid which penetrates into the second insulating layer,
When it is detected that the liquid penetrates into the second insulating layer and reaches the metal layer so that the first and second electrodes are changed from the insulating state to the energized state in the detecting step, And that a defect penetrating through the first insulating layer and reaching a portion of the second insulating layer is present in the laminated film.
상기 검사 방법은,
상기 적층 필름의 표면에 상기 액체의 공급을 개시하고 나서 상기 채터링이 발생할 때까지의 시간을 검출하는 검출 공정과,
결함의 깊이와 검출 시간의 관계를 나타내는 관계 테이블을 참조하여, 상기 검출된 시간으로부터, 상기 제1 절연층을 관통해서 상기 제2 절연층의 일부까지 도달하고 있는 상기 결함의 깊이를 산출하는 산출 공정을 더 갖는 것을 특징으로 하는, 검사 방법.The method of claim 3, wherein, when the liquid penetrates the second insulating layer and reaches the metal layer, chattering occurs between the first and second electrodes,
In the inspection method,
A detecting step of detecting a time from when the supply of the liquid is started to the surface of the laminated film until the chattering occurs,
Calculating a depth of the defect reaching a part of the second insulating layer through the first insulating layer from the detected time with reference to a relationship table showing a relationship between the depth of the defect and the detection time Further comprising the step of:
상기 검지 공정에 있어서, 상기 적층 필름으로의 상기 액체의 공급 개시 직후에 상기 제1 및 제2 전극 사이의 통전 상태가 검지될 경우, 상기 제1 및 제2 절연층을 관통해서 상기 금속층에 도달하고 있는 결함이 상기 적층 필름에 존재한다고 판단되는 한편, 상기 적층 필름으로의 상기 액체의 공급 개시 직후에 상기 제1 및 제2 전극 사이의 통전 상태가 검지되지 않을 경우, 상기 금속층에 미도달된 결함이 상기 적층 필름에 존재한다고 판단되는 것을 특징으로 하는, 검사 방법.The method of claim 3, wherein the voltage is applied between the first and second electrodes to prevent chattering,
In the detecting step, when the energization state between the first and second electrodes is detected immediately after the start of the supply of the liquid to the laminated film, the first and second insulating layers reach the metal layer Defects existing in the metal layer are present in the laminated film, and when a state of energization between the first and second electrodes is not detected immediately after the supply of the liquid to the laminated film is started, Wherein the film is judged to be present in the laminated film.
상기 적층 필름의 표면에 도전성의 액체를 공급하는 액체 공급부와,
상기 액체가 공급되는 상기 적층 필름의 표면에 접촉하는 제1 전극과,
상기 적층 필름의 단부로부터 노출하는 상기 금속층의 단부에 접촉하는 제2 전극과,
상기 제1 및 제2 전극 사이에 전압을 인가하는 전압 인가부와,
상기 전압이 인가되는 제1 및 제2 전극 사이의 통전 상태를 검지하는 검지 부를 갖는 것을 특징으로 하는, 검사 시스템.An inspection system for inspecting defects in a laminated film in which an insulating layer is laminated on both sides of a metal layer,
A liquid supply portion for supplying a conductive liquid to the surface of the laminated film,
A first electrode contacting the surface of the laminated film to which the liquid is supplied,
A second electrode contacting the end of the metal layer exposed from the end of the laminated film,
A voltage applying unit for applying a voltage between the first and second electrodes,
And a detecting unit for detecting a current-carrying state between the first and second electrodes to which the voltage is applied.
상기 액체가 상기 제2 절연층에 침투해서 상기 금속층에 도달함으로써, 상기 검지부에 의해 상기 제1 및 제2 전극 사이가 절연 상태로부터 통전 상태로 변화하는 것이 검지될 경우, 상기 제1 절연층을 관통해서 상기 제2 절연층의 일부까지 도달하고 있는 결함이 상기 적층 필름에 존재한다고 판단되는 것을 특징으로 하는, 검사 시스템.10. The semiconductor device according to claim 8 or 9, wherein the insulating layer includes a first insulating layer for protecting the metal layer, and a second insulating layer formed between the first insulating layer and the metal layer, A liquid penetrating into the second insulating layer,
When the liquid penetrates the second insulating layer and reaches the metal layer, when it is detected by the detecting unit that the first and second electrodes are changed from the insulating state to the energized state, So that a defect reaching a part of the second insulating layer exists in the laminated film.
상기 검사 시스템은,
상기 적층 필름의 표면에 상기 액체의 공급을 개시하고 나서 상기 채터링이 발생할 때까지의 시간을 검출하는 검출부와,
결함의 깊이와 검출 시간의 관계를 나타내는 관계 테이블을 참조하여, 상기 검출된 시간으로부터, 상기 제1 절연층을 관통해서 상기 제2 절연층의 일부까지 도달하고 있는 상기 결함의 깊이를 산출하는 산출부를 더 갖는 것을 특징으로 하는, 검사 시스템.11. The method according to claim 10, wherein chattering occurs between the first and second electrodes when the liquid penetrates the second insulating layer and reaches the metal layer,
The inspection system comprising:
A detection unit for detecting a time from when the supply of the liquid is started to the surface of the laminated film until the chattering occurs;
A calculating unit for calculating a depth of the defect reaching a part of the second insulating layer through the first insulating layer from the detected time with reference to a relationship table showing a relationship between the depth of the defect and the detection time Further comprising:
상기 검지부에 의해, 상기 적층 필름으로의 상기 액체의 공급 개시 직후에 상기 제1 및 제2 전극 사이의 통전 상태가 검지될 경우, 상기 제1 및 제2 절연층을 관통해서 상기 금속층에 도달하고 있는 결함이 상기 적층 필름에 존재한다고 판단되는 한편, 상기 적층 필름으로의 상기 액체의 공급 개시 직후에 상기 제1 및 제2 전극 사이의 통전 상태가 검지되지 않을 경우, 상기 금속층에 미도달된 결함이 상기 적층 필름에 존재한다고 판단되는 것을 특징으로 하는, 검사 시스템.11. The method of claim 10, wherein the voltage is applied between the first and second electrodes to prevent chattering,
Wherein when the energizing state between the first and second electrodes is detected by the detecting unit immediately after the supply of the liquid to the laminated film is detected, the detecting unit is arranged to reach the metal layer through the first and second insulating layers And when a state of electric conduction between the first and second electrodes is not detected immediately after the start of the supply of the liquid to the laminated film is judged to be present in the laminated film, And that it is present in the laminated film.
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2023140473A1 (en) * | 2022-01-19 | 2023-07-27 | 엘지전자 주식회사 | Damage detection device and damage detection method |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6088145B2 (en) * | 2012-02-13 | 2017-03-01 | オートモーティブエナジーサプライ株式会社 | Battery manufacturing method and conductivity inspection apparatus |
| WO2015011794A1 (en) * | 2013-07-24 | 2015-01-29 | オートモーティブエナジーサプライ株式会社 | Secondary battery inspection method |
| CN108020633B (en) * | 2017-12-04 | 2021-01-05 | 奇瑞汽车股份有限公司 | Method for rapidly identifying defects of coating |
| CN113401752A (en) * | 2020-03-16 | 2021-09-17 | 奥的斯电梯公司 | Method and device for detecting the condition of a surface insulation layer of an elevator traction belt |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05157723A (en) * | 1991-12-06 | 1993-06-25 | Fujitsu Ltd | Method for inspecting defect of insulation coating |
| JP2799360B2 (en) | 1989-11-06 | 1998-09-17 | 出光石油化学株式会社 | Inspection method of sealed container |
| JP2006275816A (en) | 2005-03-29 | 2006-10-12 | Seiko Epson Corp | Method and apparatus for inspecting insulating member |
| KR20100062118A (en) * | 2008-12-01 | 2010-06-10 | 삼성전자주식회사 | Electric precipitator and electrode thereof |
Family Cites Families (19)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58127346U (en) * | 1982-02-22 | 1983-08-29 | 大日本印刷株式会社 | Inspection device for paper liquid containers |
| JPS62229056A (en) * | 1986-03-31 | 1987-10-07 | Nippon Steel Corp | Quantitative diagnosis of deterioration degree of coating of painted metal and device therefor |
| JPH0786757A (en) * | 1993-09-13 | 1995-03-31 | Fujitsu Ltd | Method and equipment for inspecting pin hole of insulating film |
| JP3569072B2 (en) * | 1996-05-09 | 2004-09-22 | セイコーエプソン株式会社 | Crack inspection method for ceramic substrate |
| JPH10132776A (en) * | 1996-10-30 | 1998-05-22 | Toyo Seikan Kaisha Ltd | Method for detecting metal exposure of laminated lid |
| JP2987119B2 (en) * | 1997-02-13 | 1999-12-06 | ショーボンド建設株式会社 | Apparatus and method for measuring the number of layers of conductive fiber cloth |
| US6875327B1 (en) * | 1999-11-15 | 2005-04-05 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Biosensor, method of forming thin-film electrode, and method and apparatus for quantitative determination |
| JP2003004244A (en) * | 2001-06-22 | 2003-01-08 | Izena:Kk | Water leakage detecting apparatus and water leakage detecting method for water container for floor cooling and heating structure |
| JP4054272B2 (en) * | 2003-03-25 | 2008-02-27 | 富士通株式会社 | Electrolyte contact electrode, manufacturing method thereof, and gene detection chip |
| US20050057258A1 (en) * | 2003-09-16 | 2005-03-17 | Colahan Jerry J. | Hand mounted holiday tester |
| JP4659479B2 (en) * | 2005-02-14 | 2011-03-30 | 日本メクトロン株式会社 | Electrical inspection device for flexible printed circuit board |
| JP4795090B2 (en) * | 2006-04-19 | 2011-10-19 | 日本テトラパック株式会社 | Packaging inspection equipment |
| JP4283880B2 (en) * | 2007-07-20 | 2009-06-24 | パナソニック株式会社 | Electrode measurement electrode plate, electrochemical measurement apparatus having the electrode plate, and method for quantifying a target substance using the electrode plate |
| JP5196900B2 (en) * | 2007-07-30 | 2013-05-15 | 三洋電機株式会社 | Laminated battery |
| WO2009057792A1 (en) * | 2007-10-31 | 2009-05-07 | Arkray, Inc. | Analytical tool |
| JP4974936B2 (en) * | 2008-03-05 | 2012-07-11 | 日本特殊陶業株式会社 | Inspection method of gas sensor element |
| CN201242582Y (en) * | 2008-05-09 | 2009-05-20 | 上海华碧检测技术有限公司 | Test system for locating integrated circuit defect |
| CN102230914B (en) * | 2011-03-31 | 2012-11-21 | 厦门安锐捷电子科技有限公司 | Electromagnetic resonance-based nondestructive testing method for metal material |
| CN202522537U (en) * | 2011-12-31 | 2012-11-07 | 国网电力科学研究院 | Insulating tool edge planar defect on-site detection device |
-
2011
- 2011-12-26 JP JP2011284185A patent/JP5839986B2/en active Active
-
2012
- 2012-12-24 KR KR20120151944A patent/KR101509867B1/en active IP Right Grant
- 2012-12-26 CN CN2012105764968A patent/CN103175867A/en active Pending
- 2012-12-26 CN CN201610185921.9A patent/CN105866181B/en active Active
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2799360B2 (en) | 1989-11-06 | 1998-09-17 | 出光石油化学株式会社 | Inspection method of sealed container |
| JPH05157723A (en) * | 1991-12-06 | 1993-06-25 | Fujitsu Ltd | Method for inspecting defect of insulation coating |
| JP2006275816A (en) | 2005-03-29 | 2006-10-12 | Seiko Epson Corp | Method and apparatus for inspecting insulating member |
| KR20100062118A (en) * | 2008-12-01 | 2010-06-10 | 삼성전자주식회사 | Electric precipitator and electrode thereof |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2023140473A1 (en) * | 2022-01-19 | 2023-07-27 | 엘지전자 주식회사 | Damage detection device and damage detection method |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
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| JP2013134131A (en) | 2013-07-08 |
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