KR101509527B1 - 적외선 검출기의 급속 냉각 온도 측정 장치 및 방법 - Google Patents

적외선 검출기의 급속 냉각 온도 측정 장치 및 방법 Download PDF

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Abstract

적외선 검출기의 급속 냉각 온도 측정 장치 및 방법이 개시된다. 적외선 검출기의 중앙 온도 Tc를 측정하는 중앙 온도 센서; 상기 적외선 검출기의 4 모서리의 온도 T1, T2, T3, T4를 각각 측정하는 4개의 모서리 온도 센서; 상기 측정된 온도 Tc 및 온도 T1, T2, T3, T4가 저장되는 온도 메모리; 상기 온도 메모리에 저장된 온도 T1, T2, T3, T4의 평균 온도 Ta를 산출하고, 산출된 평균 온도 Ta와 상기 저장된 중앙 온도 Tc의 크기를 대비하고, 대비 결과 상기 Tc가 Ta와 같거나 Ta보다 작으면 냉각기가 정상 동작하는 것으로 판단하는 정상 동작 확인 모듈을 구성한다. 상술한 적외선 검출기의 급속 냉각 온도 측정 장치 및 방법에 의하면, 적외선 검출기로 분사되는 냉각 초고압 가스가 적외선 검출기의 중앙뿐만 아니라 4사분면에 골고루 분사되어 냉각되는지 확인 가능하도록 구성됨으로써, 냉각 정도와 그 온도 분포를 정확하게 인지하고 냉각 작업을 진행할 수 있는 효과가 있다. 또한, 냉각된 4사분면과 중앙의 온도를 주기적으로 측정함으로써, 4사분면이 일정시간 동안 골고루 냉각 상태가 유지되는지 확인할 수 있는 효과가 있다.

Description

적외선 검출기의 급속 냉각 온도 측정 장치 및 방법{APPARATUS AND METHOD FOR MEASURING FAST COOL DOWN TEMPERATURE OF INFRARED DETECTOR}
본 발명은 급속 냉각시 그 온도를 측정하는 장치 및 방법에 관한 것으로서, 좀 더 구체적으로는 적외선 검출기의 급속 냉각 온도 측정 장치 및 방법에 관한 것이다.
적외선 영상 탐색기의 급속 냉각형 적외선 검출기는 시간이 지날수록 열화가 진행되어 영상 이미지에 왜곡이 발생하고 정상적으로 동작할 수 없게 된다.
이러한 문제점을 해결하기 위해 수시로 급속 냉각형 적외선 검출기에 냉각 초고압 가스를 공급하는데 냉각하여 이용하게 되며 주로 질소 가스나 아르곤 가스를 이용하여 급속 냉각하도록 구성된다.
이때, 급속/유량 자동 조절형 J-T 냉각기를 이용하여 초고압 가스를 분사하여 냉각시킨다. 적외선 검출기가 충분히 냉각되었는지 확인하기 위하여 온도를 측정하는 온도 센서가 요구된다.
이에, 급속/유량 자동 조절형 J-T 냉각기가 분사되는 공간의 온도를 측정하기 위해 온도 센서를 이용하여 적외선 검출기 형상의 중앙 근처 온도를 측정한다. 도 1에서는 그러한 온도 센서의 배치를 나타낸다.
도 1에서 적외선 검출기(10)의 중앙 부근에 온도 센서(110)을 배치한다.
이러한 방식은 그 공간 중앙의 온도만을 측정하기 때문에 오류를 발생할 수 있으며, 급속/유량 자동 조절형 J-T 냉각기가 정상적으로 동작하는 지를 판단하기가 어렵다는 문제점이 있다.
본 발명의 목적은 적외선 검출기의 급속 냉각 온도 측정 장치를 제공하는 데 있다.
본 발명의 다른 목적은 적외선 검출기의 급속 냉각 온도 측정 방법을 제공하는 데 있다.
상술한 본 발명의 목적에 따른 적외선 검출기의 급속 냉각 온도 측정 장치는, 적외선 검출기의 중앙 온도 Tc를 측정하는 중앙 온도 센서; 상기 적외선 검출기의 4 모서리의 온도 T1, T2, T3, T4를 각각 측정하는 4개의 모서리 온도 센서; 상기 측정된 온도 Tc 및 온도 T1, T2, T3, T4가 저장되는 온도 메모리; 상기 온도 메모리에 저장된 온도 T1, T2, T3, T4의 평균 온도 Ta를 산출하고, 산출된 평균 온도 Ta와 상기 저장된 중앙 온도 Tc의 크기를 대비하고, 대비 결과 상기 Tc가 Ta와 같거나 Ta보다 작으면 냉각기가 정상 동작하는 것으로 판단하는 정상 동작 확인 모듈을 포함하도록 구성될 수 있다.
여기서, 상기 정상 동작 확인 모듈은, 소정 시간마다 주기적으로 측정하여 정상 동작 여부를 확인하도록 구성될 수 있다.
한편, 상기 정상 동작 확인 모듈은, 상기 Ta의 오차 범위 1% 내에서는 정상동작으로 간주하도록 구성될 수 있다.
상술한 본 발명의 목적에 따른 적외선 검출기의 급속 냉각 온도 측정 방법은, 중앙 온도 센서가 적외선 검출기의 중앙 온도 Tc를 측정하여 온도 메모리에 저장하는 단계; 4개의 모서리 온도 센서가 상기 적외선 검출기의 4 모서리의 온도 T1, T2, T3, T4를 각각 측정하여 온도 메모리에 저장하는 단계; 정상 동작 확인 모듈이 상기 온도 메모리에 저장된 온도 T1, T2, T3, T4의 평균 온도 Ta를 산출하는 단계; 상기 정상 동작 확인 모듈이 상기 산출된 평균 온도 Ta와 상기 저장된 중앙 온도 Tc의 크기를 대비하는 단계; 대비 결과 상기 Tc가 Ta와 같거나 Ta보다 작으면, 상기 정상 동작 확인 모듈이 냉각기가 정상 동작하는 것으로 판단하는 단계를 포함하도록 구성될 수 있다.
이때, 상기 정상 동작 확인 모듈이 상기 산출된 평균 온도 Ta와 상기 저장된 중앙 온도 Tc의 크기를 대비하는 단계 및 상기 대비 결과 상기 Tc가 Ta와 같거나 Ta보다 작으면, 상기 정상 동작 확인 모듈이 냉각기가 정상 동작하는 것으로 판단하는 단계는, 상기 정상 동작 확인 모듈이 소정 시간마다 주기적으로 상기 산출된 평균 온도 Ta와 상기 저장된 중앙 온도 Tc의 크기를 대비하여 판단하도록 구성될 수 있다.
한편, 상기 대비 결과 상기 Tc가 Ta와 같거나 Ta보다 작으면, 상기 정상 동작 확인 모듈이 냉각기가 정상 동작하는 것으로 판단하는 단계는, 상기 Ta의 오차범위 1% 내에서는 정상 동작으로 간주하도록 구성될 수 있다.
상술한 적외선 검출기의 급속 냉각 온도 측정 장치 및 방법에 의하면, 적외선 검출기로 분사되는 냉각 초고압 가스가 적외선 검출기의 중앙뿐만 아니라 4사분면에 골고루 분사되어 냉각되는지 확인 가능하도록 구성됨으로써, 냉각 정도와 그 온도 분포를 정확하게 인지하고 냉각 작업을 진행할 수 있는 효과가 있다.
또한, 냉각된 4사분면과 중앙의 온도를 주기적으로 측정함으로써, 4사분면이 일정시간 동안 골고루 냉각 상태가 유지되는지 확인할 수 있는 효과가 있다.
도 1은 종래 기술에 따른 적외선 검출기의 온도 센서의 배치 구성도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 적외선 검출기의 급속 냉각 온도 측정장치의 배치 구성도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 적외선 검출기의 급속 냉각 온도 측정장치의 블록 구성도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 적외선 검출기의 급속 냉각 온도 측정 그래프이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 적외선 검출기의 급속 냉각 온도 측정방법의 흐름도이다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 발명을 실시하기 위한 구체적인 내용에 상세하게 설명하고자 한다.
그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다.
제1, 제2, A, B 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다. 및/또는 이라는 용어는 복수의 관련된 기재된 항목들의 조합 또는 복수의 관련된 기재된 항목들 중의 어느 항목을 포함한다.
어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다.
반면에, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "직접 연결되어" 있다거나 "직접 접속되어" 있다고 언급된 때에는, 중간에 다른 구성요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.
본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다.
일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
이하, 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 적외선 검출기의 급속 냉각 온도 측정장치의 배치 구성도이다.
도 2를 참조하면, 적외선 검출기(10)의 급속 냉각온도 측정 장치(100)는 적외선 검출기(10)의 중앙 부근 온도뿐만 아니라 적외선 검출기(10)의 4사분면 전체 골고루 온도를 확인하도록 구성될 수 있다.
중앙 온도 센서(110)뿐만 아니라 모서리 온도 센서(120)를 모두 배치하도록 구성된다. 그리고 중앙 온도 센서(110)의 중앙 온도와 모서리 온도 센서(120)의 평균 온도를 대비하여 중앙 온도가 모서리 평균 온도보다 낮으면 전체적으로 골고루 냉각되는 것으로 판단한다.
또한, 이를 주기적으로 행하여 냉각이 유지되는지 확인하도록 구성된다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 적외선 검출기의 급속 냉각 온도 측정장치의 블록 구성도이다.
도 3을 참조하면, 급속 냉각 온도 측정 장치(100)는 중앙 온도 센서(110), 4개의 모서리 온도 센서(120), 온도 메모리(130) 및 정상 동작 확인 모듈(140)을 포함하도록 구성될 수 있다.
중앙 온도 센서(110)는 적외선 검출기(10)의 중앙 온도 Tc를 측정하도록 구성될 수 있다.
모서리 온도 센서(120)는 적외선 검출기(10)의 4 모서리의 온도 T1, T2, T3, T4를 각각 측정하도록 구성될 수 있다.
온도 메모리(130)는 중앙 온도 센서(110)에서 측정된 온도 Tc 및 모서리 온도 센서(120)에서 각각 측정된 온도 T1, T2, T3, T4가 저장되도록 구성될 수 있다.
정상 동작 확인 모듈(140)은 온도 메모리(130)에 저장된 온도 T1, T2, T3, T4의 평균 온도 Ta를 산출하도록 구성될 수 있다.
정상 동작 확인 모듈(140)은 산출된 온도 Ta에 대해서는 1%의 오차를 허용하도록 구성될 수 있다.
정상 동작 확인 모듈(140)은 산출된 평균 온도 Ta와 온도 메모리(130)에 저장된 중앙 온도 Tc의 크기를 대비하도록 구성될 수 있다.
정상 동작 확인 모듈(140)은 그 대비 결과 Tc가 Ta와 같거나 Ta보다 작으면 냉각기가 정상 동작하는 것으로 판단하도록 구성될 수 있다.
한편, 정상 동작 확인 모듈(140)은 소정 시간마다 주기적으로 측정하여 정상 동작 여부를 확인하도록 구성될 수 있다.
또한, 정상 동작 확인 모듈(140)은 Ta의 오차 범위 1% 내에서는 정상 동작으로 간주하도록 구성될 수 있다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 적외선 검출기의 급속 냉각 온도 측정 그래프이다.
도 4를 참조하면, 기존의 냉각된 적외선 검출기(10)의 온도가 지속적으로 유지되고 있는지를 시간의 경과에 따라 주기적으로 파악할 수 있도록 하는 과정을 알 수 있다. 즉, 그래프에서는 Tc가 Ta보다 낮게 유지되고 있음을 알 수 있다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 적외선 검출기의 급속 냉각 온도 측정 방법의 흐름도이다.
도 5를 참조하면, 먼저 중앙 온도 센서(110)가 적외선 검출기(10)의 중앙 온도 Tc를 측정하여 온도 메모리(130)에 저장한다(S101).
다음으로, 4개의 모서리 온도 센서(120)가 적외선 검출기(10)의 4 모서리의 온도 T1, T2, T3, T4를 각각 측정하여 온도 메모리(130)에 저장한다(S102).
다음으로, 정상 동작 확인 모듈(140)이 온도 메모리(130)에 저장된 온도 T1, T2, T3, T4의 평균 온도 Ta를 산출한다(S103).
다음으로, 정상 동작 확인 모듈(140)이 앞서 산출된 평균 온도 Ta와 앞서 저장된 중앙 온도 Tc의 크기를 대비한다(S104).
이때, 대비 결과 Tc가 Ta와 같거나 Ta보다 작으면, 정상 동작 확인 모듈(140)이 냉각기가 정상 동작하는 것으로 판단한다(S105).
한편, 단계 S104 는 정상 동작 확인 모듈(140)이 소정 시간마다 주기적으로 산출된 평균 온도 Ta와 앞서 저장된 중앙 온도 Tc의 크기를 대비하여 판단하도록 구성될 수 있다.
다른 한편, 단계 S105는 정상 동작 확인 모듈(140)이 Ta의 오차 범위 1% 내에서는 정상 동작으로 간주하도록 구성될 수 있다.
이상 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
110: 중앙 온도 센서
120: 모서리 온도 센서
130: 온도 메모리
140: 정상 동작 확인 모듈

Claims (6)

  1. 적외선 검출기의 중앙 온도 Tc를 측정하는 중앙 온도 센서;
    상기 적외선 검출기의 4 모서리의 온도 T1, T2, T3, T4를 각각 측정하는 4개의 모서리 온도 센서;
    상기 측정된 온도 Tc 및 온도 T1, T2, T3, T4가 저장되는 온도 메모리;
    상기 온도 메모리에 저장된 온도 T1, T2, T3, T4의 평균 온도 Ta를 산출하고, 산출된 평균 온도 Ta와 상기 저장된 중앙 온도 Tc의 크기를 대비하고, 대비 결과 상기 Tc가 Ta와 같거나 Ta보다 작으면 냉각기가 정상 동작하는 것으로 판단하는 정상 동작 확인 모듈을 포함하는 적외선 검출기의 급속 냉각 온도 측정 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 정상 동작 확인 모듈은,
    소정 시간마다 주기적으로 측정하여 정상 동작 여부를 확인하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 적외선 검출기의 급속 냉각 온도 측정 장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 정상 동작 확인 모듈은,
    상기 Ta의 오차 범위 1% 내에서는 정상 동작으로 간주하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 적외선 검출기의 급속 냉각 온도 측정 장치.
  4. 중앙 온도 센서가 적외선 검출기의 중앙 온도 Tc를 측정하여 온도 메모리에 저장하는 단계;
    4개의 모서리 온도 센서가 상기 적외선 검출기의 4 모서리의 온도 T1, T2, T3, T4를 각각 측정하여 온도 메모리에 저장하는 단계;
    정상 동작 확인 모듈이 상기 온도 메모리에 저장된 온도 T1, T2, T3, T4의 평균 온도 Ta를 산출하는 단계;
    상기 정상 동작 확인 모듈이 상기 산출된 평균 온도 Ta와 상기 저장된 중앙 온도 Tc의 크기를 대비하는 단계;
    대비 결과 상기 Tc가 Ta와 같거나 Ta보다 작으면, 상기 정상 동작 확인 모듈이 냉각기가 정상 동작하는 것으로 판단하는 단계를 포함하는 적외선 검출기의 급속 냉각 온도 측정 방법.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 정상 동작 확인 모듈이 상기 산출된 평균 온도 Ta와 상기 저장된 중앙 온도 Tc의 크기를 대비하는 단계 및 상기 대비 결과 상기 Tc가 Ta와 같거나 Ta보다 작으면, 상기 정상 동작 확인 모듈이 냉각기가 정상 동작하는 것으로 판단하는 단계는
    상기 정상 동작 확인 모듈이 소정 시간마다 주기적으로 상기 산출된 평균 온도 Ta와 상기 저장된 중앙 온도 Tc의 크기를 대비하여 판단하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 적외선 검출기의 급속 냉각 온도 측정 방법.
  6. 제5항에 있어서, 상기 대비 결과 상기 Tc가 Ta와 같거나 Ta보다 작으면, 상기 정상 동작 확인 모듈이 냉각기가 정상 동작하는 것으로 판단하는 단계는,
    상기 Ta의 오차 범위 1% 내에서는 정상 동작으로 간주하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 적외선 검출기의 급속 냉각 온도 측정 방법.
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Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR20120032921A (ko) * 2010-09-29 2012-04-06 현대제철 주식회사 몰드내 응고쉘의 크랙 진단장치 및 그 방법

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20120032921A (ko) * 2010-09-29 2012-04-06 현대제철 주식회사 몰드내 응고쉘의 크랙 진단장치 및 그 방법
KR101095598B1 (ko) 2011-08-22 2011-12-19 경일전기 주식회사 적외선 온도센서를 이용한 수배전반 접속부 열화진단시스템

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