KR101506814B1 - Reflection type optical defect measurement system - Google Patents

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KR101506814B1 KR1020130126357A KR20130126357A KR101506814B1 KR 101506814 B1 KR101506814 B1 KR 101506814B1 KR 1020130126357 A KR1020130126357 A KR 1020130126357A KR 20130126357 A KR20130126357 A KR 20130126357A KR 101506814 B1 KR101506814 B1 KR 101506814B1
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Abstract

Provided is a refraction-type optical defect inspection instrument capable of measuring the degree of deformation or a defect in an object through a noncontact method without destroying or disassembling a structure complicated or difficult to reach. For the above effect, the refraction-type optical defect inspection instrument comprises: a laser unit emitting a laser beam to the object; an inspection unit obtaining information on the image of the object by receiving the laser beam reflected by the object diffusely; a control unit measuring the degree of the defect in the object by processing the information, which is obtained when the inspection unit is controlled, through software; a head part having the laser unit and the inspection unit mounted therein; a refraction part connected to the head part, and adjusting the direction of the head part by the generation of contraction and flection due to the pulling of a wire; and insertion tube formed to be extended from the refraction part, allowing the head part to be pushed into a gap in the structure, and allowing the wire, a power cable connected to the laser unit, and a control cable connected to the inspection unit to be extracted from the rear end thereof. According to the present invention, the direction of the head part can be adjusted by the refraction part when the head part with the laser unit and the inspection unit, the refraction part, and the insertion tube are connected integrally, so the degree of the deformation or the defect in the object can be measured through the noncontact method without the destruction or the disassembly of the structure complicated or difficult to reach. In particular, the refraction part with a compact structure has joint parts between which the flection can be quantified to maintain the entire refraction angle of the refraction part, so the direction of the head part can be precisely adjusted.

Description

굴절형 광학적 결함 검사장치{REFLECTION TYPE OPTICAL DEFECT MEASUREMENT SYSTEM}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a deflection type optical defect inspection apparatus,

본 발명은 굴절형 광학적 결함 검사장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 복잡한 구조물이나 접근이 곤란한 구조물을 파괴 또는 해체하지 않고 비접촉방식을 통해 물체의 변형 또는 결함 정도를 측정할 수 있는 굴절형 광학적 결함 검사장치에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a refractive optical defect inspection apparatus, and more particularly, to a refractive optical defect inspection apparatus capable of measuring the degree of deformation or defect of an object through a non-contact method without destroying or disassembling a complicated structure or a difficult- ≪ / RTI >

일반적으로 변형(결함)을 측정하는 계측방법은 크게 접촉식과 비접촉식으로 나뉘게 된다. 그중 대상물의 변형률을 측정하는 대표적인 접촉식 방법은 스트레인게이지를 이용하는 방법이다.In general, measurement methods for measuring deformation (defects) are divided into contact type and non-contact type. A typical contact method for measuring the strain of an object is a strain gauge method.

비접촉식 측정은 카메라의 픽셀을 이용하는 방법, 도플러의 원리를 이용하는 방법 등이 있으나 대표적인 비접촉식 변형측정 방법은 전자처리 스페클 패턴 간섭법으로서 대상물의 전 영역에 걸쳐 실시간측정 및 해석할 수 있는 방법으로 레이저의 시간적·공간적인 가간섭성을 이용한다.The non-contact type measurement is a method of using camera pixels and Doppler principle. However, typical non-contact type measurement method is electron-processing speckle pattern interferometry. It is a method that can measure and analyze in real- It uses temporal and spatial coherence.

공개특허공보 제10-2009-0122016호(2009.11.26)에는 전단간섭계를 이용하여 대상물에 발생하는 결함 정도를 측정할 수 있도록 된 광학적 결함 검사장치가 개시된다. Open No. 10-2009-0122016 (2009.11.26) discloses an optical defect inspection apparatus capable of measuring a degree of defect occurring in an object using a shear interferometer.

동 공보와 첨부도면 1을 참조하여 전단간섭계에 대하여 설명한다. The shearing interferometer will be described with reference to this publication and the accompanying drawings.

먼저, 레이저 유닛으로부터 레이저 확산광이 대상물에 조사된다. 대상물로부터 난반사된 빛이 광분할기에 의해 두 개의 빛으로 나누어진 후 하나는 거울 1에 입사/반사되어 상면에 맺히고, 다른 하나는 거울 2에 반사되어 다시 광분할기를 통해 상면에 맺히게 된다. First, the object is irradiated with laser diffused light from the laser unit. The diffused light from the object is divided into two lights by the beam splitter, one enters / reflects on mirror 1, the other one reflects on mirror 2, and then is reflected on the top through the beam splitter.

이때, 거울 2에 임의의 기울기(전단량)를 주면 기울어진 거울면에서 반사된 파면은 기울어지지 않은 거울 1에서 반사된 파면에 대해서 수평으로 전단(Shearing)되어 카메라의 상면에 맺히게 된다. At this time, if an arbitrary slope (shear amount) is given to the mirror 2, the wavefront reflected from the inclined mirror surface is sheared horizontally with respect to the wavefront reflected from the mirror 1 which is not tilted, and is formed on the upper surface of the camera.

이렇게 변형 전 대상물의 정보를 가진 스페클 패턴과 대상물에 변형을 준 후 같은 방식으로 저장한 스페클 패턴을 전자적으로 빼주게 되면 간섭줄무늬를 형성하게 된다. The speckle pattern with the information of the object before the deformation and the speckle pattern stored in the same way after the object is deformed are formed electronically to form the interference stripes.

이 간섭줄무늬는 대상물 표면 변위의 미분값을 나타내고 있으며, 전단거울의 전단방향, 전단량 등에 영향을 받아 간섭줄무늬의 선명도 및 형태가 결정이 된다.The interference fringe represents the differential value of the surface displacement of the object, and the sharpness and shape of the interference fringe are determined by the influence of the shear direction and shear amount of the shear mirror.

카메라를 통해 얻어진 영상정보는 영상처리부에서 통상의 소프트웨어에 의해 처리되어 대상물의 변형(결함) 정도를 검출할 수 있게 된다. 물론 이러한 영상정보들은 디스플레이부를 통해 시각적으로 확인할 수 있다.The image information obtained through the camera is processed by ordinary software in the image processing unit to detect the degree of deformation (defect) of the object. Of course, such image information can be visually confirmed through the display unit.

상기의 구성요소 중 10은 레이저 유닛, 20는 검사 유닛, 30은 제어 유닛이다. Among the above components, 10 is a laser unit, 20 is an inspection unit, and 30 is a control unit.

검사 유닛(20)은 거울 1(21)과 거울 2(22), 광분할기(23), 카메라(24)를 포함한다.The inspection unit 20 includes a mirror 1 (21), a mirror 2 (22), a light splitter (23), and a camera (24).

제어유닛(30)은 거울 1의 이격거리를 조정하여 위상변화를 발생시키기 위한 압전액츄에이터 컨트롤러(31), 거울 2의 기울기를 제어하기 위한 모터 컨트롤러(32), 레이저 유닛(10)에 전원을 공급하기 위한 전원부(11), 영상처리부(33) 및 디스플레이부(34)를 포함한다. 미설명부호 1은 대상물이다. The control unit 30 includes a piezoelectric actuator controller 31 for generating a phase change by adjusting the separation distance of the mirror 1, a motor controller 32 for controlling the inclination of the mirror 2, An image processing unit 33, and a display unit 34. The display unit 34 includes a display unit 34, Reference numeral 1 is an object.

그러나 종래의 광학적 결함 검사장치는 대상물이 외부로 노출된 상태에서 결함을 검사하도록 구현되어 복잡한 구조물이나 접근이 곤란한 구조물에 대한 결함을 검사하는 경우에는 구조물을 파괴하거나 해체하여야 하는 문제점이 있었다. However, in the conventional optical defect inspection apparatus, defects are inspected in a state where an object is exposed to the outside, so that there is a problem that a structure is broken or disassembled when inspecting a complicated structure or a structure difficult to approach.

본 발명은 전술한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 복잡한 구조물이나 접근이 곤란한 구조물을 파괴 또는 해체하지 않고 비접촉방식을 통해 물체의 변형 또는 결함 정도를 측정할 수 있는 굴절형 광학적 결함 검사장치를 제공하고자 한다. SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in order to solve the above problems, and it is an object of the present invention to provide a refractive optical defect inspection apparatus capable of measuring the degree of deformation or defects of an object through a noncontact system without destroying or disassembling complex structures or difficult- I want to.

본 발명은 상기의 과제를 해결하기 위하여, 대상물에 레이저 광을 조사하는 레이저 유닛과 상기 대상물로부터 난반사된 레이저 광을 수광하여 상기 대상물의 영상정보를 획득하는 검사 유닛 및 상기 검사 유닛을 제어하고 획득된 영상정보를 소프트웨어를 통해 처리하여 대상물의 결함 정도를 측정하는 제어 유닛으로 이루어진 광학적 결함 검사장치에 있어서, 상기 레이저 유닛과 상기 검사 유닛이 탑재된 헤드부와, 상기 헤드부에 연결되어 와이어의 당김으로 인한 수축과 휨 모션이 발생하여 상기 헤드부의 방향을 조절하는 굴절부 및, 상기 굴절부로부터 연장 형성되어 상기 헤드부를 구조물의 틈 사이로 밀어넣을 수 있도록 하고 그 후단으로 상기 와이어, 상기 레이저 유닛과 접속된 전원선, 상기 검사 유닛과 접속된 제어선이 인출되는 삽입관이 구비된 것을 특징으로 한다. According to an aspect of the present invention, there is provided an image processing apparatus including a laser unit that irradiates a laser beam onto an object, an inspection unit that receives the laser beam that is irregularly reflected from the object and acquires image information of the object, An optical defect inspection apparatus comprising a control unit for processing image information through software to measure the degree of defect of an object, the optical defect inspection apparatus comprising: a head unit mounted with the laser unit and the inspection unit; The head unit being extended from the refracting unit so that the head unit can be pushed into the gap between the structure and the wire and the laser unit connected to the laser unit A power line, and an insertion tube through which a control line connected to the inspection unit is drawn out Characterized in that bidoen.

상기의 헤드부는 구조물의 틈 사이로 진입시 오염 또는 파손을 방지할 수 있도록 원통형의 헤드부 측면에 내측으로 오목하게 홈부가 형성되고 상기 홈부에 레이저 광을 수광하기 위한 검사 유닛의 수광창이 형성된 것을 특징으로 한다. The head part is recessed inwardly on the side surface of the cylindrical head part so as to prevent contamination or breakage upon entry into the gap of the structure, and the light receiving window of the inspection unit for receiving laser light is formed in the groove part .

상기의 헤드부는 상기 굴절부와 핀 방식에 의해 전기적으로 접속되고, 상기 헤드부의 외주면상에 회동 가능하게 장착된 체결너트가 상기 굴절부의 선단 외주면에 형성된 나사산과 나사결합되어 일체로 연결되는 것을 특징으로 한다. Wherein the head portion is electrically connected to the refracting portion by a pin method and a coupling nut rotatably mounted on an outer circumferential surface of the head portion is screwed and integrally connected with a thread formed on the outer peripheral surface of the distal end of the refracting portion. do.

상기의 굴절부는 스프링으로 이루어진 백본과, 스프링의 나사선을 따라 상기 백본에 삽입되어 일정 간격으로 배치된 중공의 마디부와, 상기 마디부 중 선단 마디부에 일측단이 결속되고 나머지 마디부를 나란하게 관통하여 외측으로 연장 형성된 상기 와이어 및 상기 백본을 감싸는 피복으로 이루어진 것을 특징으로 한다. The refracting portion includes a backbone made of a spring, a hollow nib inserted into the backbone along a threaded line of the spring and arranged at regular intervals, and a pair of nibs connected to one end of the nib, The wire extending outwardly and the cover surrounding the backbone.

본 발명에 따르면, 레이저 유닛과 검사 유닛이 탑재된 헤드부, 굴절부, 삽입관이 일체로 연결되어 굴절부를 통해 헤드부의 방향을 조절함으로써 복잡한 구조물이나 접근이 곤란한 구조물을 파괴 또는 해체하지 않고 비접촉방식을 통해 물체의 변형 또는 결함 정도를 측정할 수 있다는 효과가 있다.According to the present invention, the head unit, the refracting unit, and the insertion tube mounted with the laser unit and the inspection unit are integrally connected to each other to adjust the direction of the head unit through the refracting unit so that a complicated structure or a structure difficult to access is not destroyed or disassembled, The degree of deformation or the degree of defects of the object can be measured.

특히, 본 발명에 따르면 굴절부의 구조가 콤팩트할 뿐 아니라 마디부와 마디부 사이의 휨 모션을 정량화하여 굴절부의 전체적인 굴절각을 균일하게 유지함으로써 헤드부의 방향을 정밀하게 제어할 수 있다는 효과가 있다. Particularly, according to the present invention, not only the structure of the refracting portion is compact, but also the bending motion between the nodal portion and the nodal portion is quantified, thereby maintaining the entire refraction angle of the refracting portion uniformly, thereby precisely controlling the direction of the head portion.

도 1은 전단간섭계를 설명하기 위한 도,
도 2는 본 발명에 따른 굴절형 광학적 결함 검사장치의 구조를 보인 예시도,
도 3은 본 발명에 따른 굴절형 광학적 결함 검사장치의 요부 상세도,
도 4는 본 발명에 따른 굴절형 광학적 결함 검사장치의 요부 단면도, 1 is a view for explaining a shearing interferometer,
FIG. 2 is a view showing the structure of a refractive optical defect inspection apparatus according to the present invention,
3 is a detailed view of a main part of a refractive optical defect inspection apparatus according to the present invention,
4 is a partial cross-sectional view of a refractive optical defect inspection apparatus according to the present invention,

이하에서는 첨부도면과 전술한 발명의 배경이 되는 기술내용을 참조하여 본 발명에 따른 굴절형 광학적 결함 검사장치의 바람직한 실시 예를 상세히 설명한다. Hereinafter, preferred embodiments of the refractive optical defect inspection apparatus according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings and the technical contents as background of the above-mentioned invention.

먼저, 도 1 및 2를 참조하면 본 발명은 대상물(1)에 레이저 광을 조사하는 레이저 유닛(10)과 대상물(1)로부터 난반사된 레이저 광을 수광하여 대상물의 영상정보를 획득하는 검사 유닛(20) 및 검사 유닛(20)을 제어하고 획득된 영상정보를 소프트웨어를 통해 처리하여 대상물(1)의 결함 정도를 측정하는 제어 유닛(30)으로 이루어진 광학적 결함 검사장치에 있어서, 레이저 유닛(20)과 검사 유닛(20)이 탑재된 헤드부(100)와, 헤드부(100)에 연결되어 와이어(210,220)의 당김으로 인한 수축과 휨 모션이 발생하여 헤드부(100)의 방향을 조절하는 굴절부(200) 및, 굴절부(200)로부터 연장 형성되어 헤드부(100)를 구조물의 틈 사이로 밀어넣을 수 있도록 하고 그 후단으로 와이어(210,220)) 레이저 유닛(10)과 접속된 전원선, 검사 유닛(20)과 접속된 제어선(230)이 인출되는 삽입관(300)이 구비된다.1 and 2, the present invention includes a laser unit 10 for irradiating a laser beam 1 to an object 1, an inspection unit (not shown) for acquiring image information of the object by receiving a laser beam that is irregularly reflected from the object 1 And a control unit (30) for controlling the inspection unit (20) and processing the obtained image information through software to measure the degree of defect of the object (1), characterized in that the laser unit (20) Which is connected to the head unit 100 and generates shrinkage and bending motion due to pulling of the wires 210 and 220 to adjust the direction of the head unit 100, A power line connected to the laser unit 10 and extending from the refracting portion 200 so as to push the head portion 100 between the gaps of the structure and being connected to the wires 210 and 220 as a rear end thereof; And a control line 230 connected to the unit 20, .

상기의 기술적 구성에 따르면, 헤드부(100)와 굴절부(200) 및 삽입관(300)이 순차적으로 연결되고 굴절부(200)를 통해 헤드부(100)의 방향을 조절하여 삽입관(300)를 밀어 넣음으로써 파이프 안이나 복잡한 구조물의 내부와 같은 좁고 분해해 볼 수 없는 곳에 헤드부(100)를 위치시켜 비접촉 방식을 통해 물체의 변형 또는 결함 정도를 측정할 수 있다. The head unit 100 is connected to the refracting unit 200 and the insertion tube 300 in order and the direction of the head unit 100 is adjusted through the refracting unit 200, It is possible to measure the deformation or the degree of defects of the object through the non-contact method by positioning the head part 100 in a narrow and non-resolvable place such as inside a pipe or a complicated structure.

상세하게는, 상기의 헤드부(100)는 구조물의 틈 사이로 진입시 오염 또는 파손을 방지할 수 있도록 원통형의 헤드부(100) 측면에 내측으로 오목하게 홈부(110)가 형성되고 홈부(110)에 레이저 광을 수광하기 위한 검사 유닛의 수광창(120)이 형성된다. In detail, the head part 100 has a groove part 110 formed inwardly on a side surface of a cylindrical head part 100 so as to prevent contamination or breakage when entering the gap between the structures, A light receiving window 120 of an inspection unit for receiving laser light is formed.

즉, 헤드부(100)는 레이저 유닛(10)과 검사 유닛(20)이 탑재되는데 하우징이 원통형으로 이루어지고 측면에 내측으로 오목한 홈부(110)가 형성되어 레이저 유닛의 렌즈(130)나 검사 유닛의 수광창(120)이 외부로 돌출되지 않도록 하여 헤드부(100)의 삽입 작업시 대상물과의 접촉으로 인한 파손이나 대상물 내에 쌓인 먼지가 닿아 오염되는 것을 방지할 수 있다. That is, the head unit 100 includes a laser unit 10 and an inspection unit 20 mounted thereon. The housing has a cylindrical shape and a groove 110 is formed inwardly concave on a side surface of the laser unit 10, It is possible to prevent damage due to contact with the object during the inserting operation of the head part 100 and contamination of the dust accumulated in the object due to contact with the receiving window 120. [

여기서, 삽입관(300)은 중공의 가요관으로 이루어져 굴절부(200)를 통해 헤드부(100)의 방향을 조절한 다음 밀어넣게 되면 구조물의 굴곡에 따라 휘어져 삽입되도록 한다. Here, the insertion tube 300 is a hollow flexible tube, and the direction of the head part 100 is adjusted through the refraction part 200, and then the insertion tube 300 is bent and inserted according to the bending of the structure.

물론, 삽입관(300)에는 와이어(210,220), 헤드부(100) 측과 접속된 전원선이나 제어선(230) 등이 내재된다. Of course, the insertion tube 300 includes wires 210 and 220, a power supply line connected to the head unit 100, a control line 230, and the like.

다음, 도 3 및 4를 참조하면 상기의 헤드부(100)는 굴절부(200)와 핀(101) 방식에 의해 전기적으로 접속되고, 헤드부(100)의 외주면상에 회동 가능하게 장착된 체결너트(140)가 굴절부(200)의 선단 외주면에 형성된 나사산(201)과 나사결합되어 일체로 연결된다.3 and 4, the head unit 100 is electrically connected to the refracting unit 200 by a pin 101 method, and is coupled to the outer circumferential surface of the head unit 100 in a rotatable manner. The nut 140 is screwed with the thread 201 formed on the outer peripheral surface of the distal end of the refracting section 200 and is integrally connected.

상세하게는, 헤드부(100)와 굴절부(200)가 핀 방식에 의해 접속되고, 체결너트(140)에 의해 일체로 연결됨으로써 헤드부(100) 또는 굴절부(200) 어느 한 부분이 파손된 경우 교체할 수 있다. More specifically, the head part 100 and the refracting part 200 are connected by a pin method and are integrally connected by the fastening nut 140 so that any part of the head part 100 or the refracting part 200 is damaged If it is, it can be replaced.

즉, 헤드부(100)의 연결면에 레이저 유닛(10), 검사 유닛(20)과 전기적으로 접속된 핀(101)이 설치되고, 굴절부(200)의 연결면에 핀이 삽입되고 제어 유닛(30)과 전기적으로 접속된 핀 소켓이 마련된다. That is, a pin 101 electrically connected to the laser unit 10 and the inspection unit 20 is provided on the connection face of the head unit 100, a pin is inserted into the connection face of the refraction unit 200, And a pin socket electrically connected to the socket 30 is provided.

이에 따라, 헤드부(100)와 굴절부(200)를 맞대어 접속한 상태에서 체결너트(140)를 이용하여 체결할 경우 이 둘은 전기적으로 접속되게 된다. Accordingly, when the head unit 100 and the refracting unit 200 are connected to each other and are fastened using the fastening nut 140, they are electrically connected to each other.

다음, 상기의 굴절부(200)는 스프링으로 이루어진 백본(240)과, 스프링의 나사선을 따라 백본에 삽입되어 일정 간격으로 배치된 중공의 마디부(250)와, 마디부(250) 중 선단 마디부(250a)에 일측단이 결속되고 나머지 마디부(250)를 나란하게 관통하여 외측으로 연장 형성된 와이어(210,220) 및 백본(240)을 감싸는 피복(260)으로 이루어진다. The refracting portion 200 includes a backbone 240 formed of a spring, a hollow nib 250 inserted into the backbone along the thread of the spring to be spaced apart from the nib 250, And wires 210 and 220 extending outwardly from one end of the wire 250 and passing through the other ends 250 in parallel and a cover 260 surrounding the backbones 240.

상세하게는, 백본(240)은 스프링으로 이루어져 어느 방향이든 자유롭게 휘어질 수 있다. In detail, the backbone 240 is made of a spring and can be freely bent in any direction.

마디부(250)는 헤드부(100) 측에 연결된 전선(230) 등을 외부로 인출할 수 있도록 중공으로 이루어지고, 외주면 상에 나사선이 형성되어 스프링의 나사선을 따라 백본(240)에 삽입 설치된다. The nodal section 250 is formed hollow to allow the electric wire 230 or the like connected to the head section 100 to be drawn out to the outside and a thread is formed on the outer peripheral surface of the nodal section 250 so as to be inserted into the backbones 240 do.

와이어(210,220)는 마디부(250)의 양측을 관통하여 나란하게 설치되고 일측단이 선단 마디부(250a)에 결속되며 외측으로 연장 형성된다. The wires 210 and 220 are arranged in parallel to each other through both sides of the nod 250, and one end is connected to the nod 250a and extended outward.

피복(260)은 백본(240)을 감싸 굴절부(200) 내로 이물질이 유입되는 것을 방지한다. The cover 260 covers the backbone 240 to prevent foreign matter from entering the refraction portion 200.

상기의 기술적 구성에 따르면, 일측 와이어(210)를 당김에 따라 일측면의 스프링 간격이 수축되고 타측면의 스프링이 간격이 커져 휨 모션이 발생하게 된다.According to the above-described technical structure, as one side wire 210 is pulled, the spring interval of one side is contracted and the spring interval of the other side is increased, so that a bending motion is generated.

반대로 타측 와이어(220)를 당길 경우에는 타측면의 스프링 간격이 수축되고 일측면의 스프링 간격이 커져 전술한 바와 반대되는 방향으로 휨 모션이 발생하게 된다.On the other hand, when the other wire 220 is pulled, the spring interval of the other side is contracted and the spring interval of one side is increased, so that bending motion is generated in a direction opposite to the above-described direction.

따라서 와이어(210,220)를 선택적으로 당김에 따라 굴절부(200)가 좌 또는 우, 상 또는 하 방향으로 굴절되어 헤드부(100)의 방향을 조절할 수 있게 된다.Accordingly, as the wires 210 and 220 are selectively pulled, the refracting unit 200 is refracted in the left or right direction, the up or down direction, and the direction of the head unit 100 can be adjusted.

또한, 백본(240) 내에 일정 간격으로 배치된 마디부(250)가 스프링과 결속되어 와이어(210,220)를 당기더라도 마디부(250)의 일측면과 타측면에서는 스프링의 수축 등에 의한 휨 모션이 발생하지 않으므로 마디부(250) 자체가 하나의 관절 역할을 하게 된다. Even if the nodule 250 arranged at regular intervals in the backbone 240 is coupled with the spring to pull the wires 210 and 220, a bending motion due to shrinkage of the spring or the like occurs on one side and the other side of the nodule 250 The nodal portion 250 itself serves as one joint.

이로써, 마디부(250)와 마디부 사이의 휨 모션을 정량화함으로써 전체 굴절부의 굴절각을 균일하게 유지할 수 있게 된다. By thus quantifying the bending motion between the nodal portion 250 and the nodal portion, the refraction angle of the entire refracting portion can be maintained uniformly.

한편, 와이어를 당김을 제어하기 위한 컨트롤러는 공지의 기술로서 일례로 등록특허공보 제10-1092461호(2011. 12. 05)의 개시 구성으로부터 양호하게 구현할 수 있다.
On the other hand, a controller for controlling pulling of a wire can be preferably implemented as a known technique, for example, from the configuration disclosed in Japanese Patent Application No. 10-1092461 (Dec. 05, 2011).

이상의 설명은 본 발명의 이해를 돕기 위한 하나의 실시 예로서 본 발명을 한정하는 것은 아니며, 특허청구범위에 기재된 사항으로부터 다양하게 변형하여 실시할 수 있음은 당업자에 있어 자명하다 할 것이다. It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims.

1 : 대상물
10: 레이저 유닛
20: 검사 유닛
30: 제어 유닛
100: 헤드부
101: 핀
110: 홈부
120: 검사 유닛 수광창
130: 레이저 유닛 렌즈
140: 체결너트
200: 굴절부
201: 나사산
210,220: 와이어
230: 제어선
240: 백본
250: 마디부
250a: 선단 마디부
260: 피복
300: 삽입관1: object
10: Laser unit
20: Inspection unit
30: control unit
100: head portion
101: pin
110: Groove
120: Inspection unit receiving window
130: Laser unit lens
140: fastening nut
200: refraction part
201: Threaded
210,
230: control line
240: backbone
250:
250a:
260: Cloth
300: insertion tube

Claims (4)

대상물에 레이저 광을 조사하는 레이저 유닛과 상기 대상물로부터 난반사된 레이저 광을 수광하여 상기 대상물의 영상정보를 획득하는 검사 유닛 및 상기 검사 유닛을 제어하고 획득된 영상정보를 소프트웨어를 통해 처리하여 대상물의 결함 정도를 측정하는 제어 유닛으로 이루어진 광학적 결함 검사장치에 있어서,
상기 레이저 유닛과 상기 검사 유닛이 탑재된 헤드부와,
상기 헤드부에 연결되어 와이어의 당김으로 인한 수축과 휨 모션이 발생하여 상기 헤드부의 방향을 조절하는 굴절부 및,
상기 굴절부로부터 연장 형성되어 상기 헤드부를 구조물의 틈 사이로 밀어넣을 수 있도록 하고 그 후단으로 상기 와이어, 상기 레이저 유닛과 접속된 전원선, 상기 검사 유닛과 접속된 제어선이 인출되는 삽입관으로 이루어지되,
상기 굴절부는 스프링으로 이루어진 백본과, 스프링의 나사선을 따라 상기 백본에 삽입되어 일정 간격으로 배치된 중공의 마디부와, 상기 마디부 중 선단 마디부에 일측단이 결속되고 나머지 마디부를 나란하게 관통하여 외측으로 연장 형성된 상기 와이어 및 상기 백본을 감싸는 피복으로 이루어진 것을 특징으로 하는 굴절형 광학적 결함 검사장치. An inspection unit that receives laser light that is irregularly reflected from the object and acquires image information of the object, and a control unit that controls the inspection unit and processes the obtained image information through software to detect defects The optical defect inspection apparatus comprising:
A head unit on which the laser unit and the inspection unit are mounted,
A refracting portion connected to the head portion to adjust a direction of the head portion due to shrinkage and bending motion due to pulling of the wire,
A power supply line connected to the wire, the laser unit, and a control line connected to the inspection unit, the insertion tube being extended from the refracting portion so as to be able to push the head portion between the gaps of the structure, ,
The refracting portion includes a backbone formed by a spring, a hollow nod portion inserted into the backbone along a threaded line of the spring to be spaced apart at a predetermined interval, and a second nodal portion connected to one end of the nodal portion, The wire extending outwardly, and a cover surrounding the backbone. 제 1항에 있어서,
상기 헤드부는 구조물의 틈 사이로 진입시 오염 또는 파손을 방지할 수 있도록 원통형의 헤드부 측면에 내측으로 오목하게 홈부가 형성되고 상기 홈부에 레이저 광을 수광하기 위한 검사 유닛의 수광창이 형성된 것을 특징으로 하는 굴절형 광학적 결함 검사장치. The method according to claim 1,
Wherein the head part is recessed inwardly on a side surface of a cylindrical head part so as to prevent contamination or breakage upon entry into a gap of a structure, and a light receiving window of an inspection unit for receiving laser light is formed in the groove part. Type optical defect inspection apparatus. 제 1항에 있어서,
상기 헤드부는 상기 굴절부와 핀 방식에 의해 전기적으로 접속되고, 상기 헤드부의 외주면상에 회동 가능하게 장착된 체결너트가 상기 굴절부의 선단 외주면에 형성된 나사산과 나사결합되어 일체로 연결되는 것을 특징으로 하는 굴절형 광학적 결함 검사장치. The method according to claim 1,
Wherein the head portion is electrically connected to the refracting portion by a pin method and a coupling nut rotatably mounted on an outer circumferential surface of the head portion is integrally connected to a screw thread formed on the outer peripheral surface of the distal end of the refracting portion, Refraction type optical defect inspection apparatus. 삭제delete
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Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100596457B1 (en) * 2005-06-27 2006-07-04 이성용 Camera imaging apparatus with an endoscope
JP4505222B2 (en) * 2001-09-07 2010-07-21 スミス アンド ネフュー インコーポレーテッド Endoscope system with solid light source
KR100996293B1 (en) * 2008-05-23 2010-11-23 조선대학교산학협력단 Optical defect measurement system

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4505222B2 (en) * 2001-09-07 2010-07-21 スミス アンド ネフュー インコーポレーテッド Endoscope system with solid light source
KR100596457B1 (en) * 2005-06-27 2006-07-04 이성용 Camera imaging apparatus with an endoscope
KR100996293B1 (en) * 2008-05-23 2010-11-23 조선대학교산학협력단 Optical defect measurement system

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