KR101506265B1 - Replaceable type x-ray tube and photo ionizer - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 교체형 엑스선관 및 광이오나이저에 관한 것이다.The present invention relates to a replaceable x-ray tube and a light ionizer.
광이오나이저는 엑스선관에서 생성된 엑스선(X-ray)을 대전체에 방사하여 기체 분자를 이온화(ionization)함으로써, 제전 대상 물체 표면의 정전기를 제거하는 장치로 TFT-LCD, OLED 및 반도체 생산 등에서 정전기로 인한 제품불량을 줄이기 위해 사용된다.Photon Ionizer is a device that removes static electricity on the surface of a destaticizing object by ionizing gas molecules by radiating X-rays generated from the X-ray tube to the entire surface. It is used for TFT-LCD, OLED and semiconductor production It is used to reduce product defects caused by static electricity.
종래의 광이오나이저는 엑스선관에서 엑스선을 발생시키기 위하여, 엑스선관 전원장치에서 나온 고압전선이 엑스선관의 전극에 납땜으로 연결되어, 엑스선관으로 전원을 인가시키게 된다. 이때, 고압전선과 엑스선관의 전극의 연결부위는 절연피복이 없으므로, 그 주위를 절연 튜브로 에워싸고 실리콘과 같은 절연물질로 몰딩을 하여 주위 금속과의 고압 절연파괴를 방지하는 구조로 되어있다.In order to generate the x-ray from the conventional optical ionizer, the high-voltage wire from the x-ray tube power supply is soldered to the electrode of the x-ray tube, and the power is supplied to the x-ray tube. In this case, since the connection portion between the high-voltage electric wire and the electrode of the X-ray tube does not have an insulation coating, the surrounding is surrounded by an insulation tube and molded with an insulating material such as silicone to prevent breakdown of high-
종래의 광이오나이저의 엑스선관에 사용되는 필라멘트는 주로 텅스텐으로 이루어져 있고, 동작시 고온으로 유지되는 상태에서 조금씩 증발되어, 사용 시간이 대략 14,000시간 이상이 되면 가늘어지게 되며, 결국 끊어지게 된다.The filament used in the X-ray tube of the conventional optical ionizer is mainly made of tungsten, and is evaporated little by little in a state of being maintained at a high temperature during operation, and becomes thin when the use time is about 14,000 hours or more, and eventually it is cut off.
종래의 광이오나이저를 이용하는 생산라인은, 이러한 필라멘트에 의하여 갑작스런 엑스선관의 수명단절이 발생하면 정전기를 제거하지 못하게 되면 불량이 발생하기 때문에, 막대한 생산비용의 손실을 감수하고라도 생산라인을 세워야 한다.In a production line using a conventional optical ionizer, if a lifetime interruption of the life of the X-ray tube occurs suddenly due to such a filament, a failure occurs if the static electricity can not be removed, so that a production line has to be established even with a great loss of production cost.
따라서, 필라멘트의 사용 시간이 필라멘트의 수명 시간이전에 필라멘트를 교체하여 이러한 문제를 사전에 방지하고 있다. Thus, the use time of the filaments prevents the problem by replacing the filament before the lifetime of the filament.
그러나, 종래의 광이오나이저는 엑스선관과 엑스선관 전원장치에서 공급되는 전원을 연결하기 위하여, 엑스선관의 전원단자와 전원장치의 전원단자를 납땜으로 고정하고, 엑스선관의 둘레에 절연 튜브를 장착하며, 전원이 연결된 부분에 실리콘으로 몰딩을 하여 사용하는 하나의 모듈로 되어 있으므로, 필라멘트를 교체하기 위해서는 모듈 전체를 교체해야 하고 있다.However, in order to connect the power supplied from the conventional optical ionizer to the power supply from the X-ray tube and the X-ray tube power supply, the power supply terminal of the X-ray tube and the power supply terminal of the power supply are fixed by soldering, and an insulating tube is installed around the X- In order to replace the filament, the whole module needs to be replaced.
또한, 엑스선관만 교체를 하고자 할 경우에도 실리콘 몰딩부를 분해하고, 전원 연결부를 분해하여 엑스선관을 교체를 한 후, 다시 전원을 납땜하고 실리콘으로 몰딩 처리를 해주어야 한다.Also, even if you only want to replace the X-ray tube, you have to disassemble the silicon molding part, disassemble the power connection part, replace the X-ray tube, solder the power again and mold with silicone.
전체를 교체할 경우는 필라멘트 이외의 사용이 가능한 부분도 같이 폐기가 됨으로써, 경제적 손실과 산업폐기물의 증가를 유발하는 문제가 있고, 엑스선관만 교체를 하고자 할 경우에는 교체작업이 복잡하고, 교체를 하는 동안 장시간 생산라인을 정시시켜야 하므로, 경제적인 손실이 전체를 교체하는 것 보다 많이 발생하게 된다.In case of replacing the whole, there is a problem of causing economic loss and increase of industrial waste by disposing parts other than the filament which can be used. In case of replacing only the X-ray tube, the replacement work is complicated, The production line has to be settled for a long period of time, so that economic losses occur more frequently than replacing the whole.
따라서 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 사용자의 경제적 비용을 감소시키기 위한 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, the present invention has been made keeping in mind the above problems,
또한, 본 발명이 이루고자 하는 다른 기술적 과제는 환경 보전에 도움이 되기 위한 것이다.Another technical problem to be solved by the present invention is to contribute to environmental preservation.
본 발명의 한 실시예에 따른 교체형 엑스선관 및 광이오나이저는 외부로부터 전원을 인가받는 전원 입력부, 상기 전원 입력부와 연결되어 있고 상기 전원 입력부로부터 전원을 인가받아 열전자를 방출시키는 음극부, 상기 음극부에서 방출된 열전자와의 충돌로 인해 엑스선을 방출시키는 양극부, 그리고 상기 양극부와 연결되어 있는 세라믹 튜브를 포함하고, 상기 전원 입력부는 상기 음극부와 연결되어 있고, 가운데 부분에 빈 공간이 형성되어 있는 중앙 입력부, 상기 중앙 입력부의 일측을 에워싸고 있는 절연부, 그리고 상기 절연부와 연결되어 있고 상기 중앙 입력부의 일측을 에워싸고 있으며 상기 음극부와 연결되어 있는 외주 입력부를 포함하고 있다.The replaceable x-ray tube and the light ionizer according to an embodiment of the present invention include a power input unit receiving power from the outside, a cathode unit connected to the power input unit and receiving power from the power input unit to emit the thermoelectrons, And a ceramic tube connected to the anode portion. The power input portion is connected to the cathode portion, and a hollow space is formed in the center portion of the ceramic tube. And an outer circumferential input unit connected to the insulation unit and surrounding one side of the center input unit and connected to the cathode unit. The center input unit includes a center input unit, an insulation unit surrounding one side of the center input unit, and an outer input unit.
이러한 특징에 따르면 엑스선관을 사용자가 용이하게 착탈시켜 교체할 수 있게 함으로써, 광이오나이저의 유지보수를 위한 비용이 감소하는 효과가 있다.According to this feature, the user can easily remove and replace the X-ray tube, thereby reducing the cost for maintenance of the optical ionizer.
또한, 반영구적인 엑스선관 전원장치와 주변 부자재들을 계속 사용할 수 있으므로, 불필요한 산업폐기물을 폐기를 방지하여 환경보전에 도움이 될 수 있다.In addition, semi-permanent X-ray tube power supply and peripheral accessories can be used continuously, thus preventing unnecessary industrial waste from being discarded and helping to preserve the environment.
도 1은 본 발명의 한 실시예에 따른 광이오나이저의 구조를 나타내는 단면도이다.
도 2는 본 발명의 한 실시예에 따른 광이오나이저의 교체형 엑스선관의 투시도이다.
도 3은 도 1에 도시한 전원 연결부의 초기 상태를 나타내는 단면도이다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 광이오나이저의 교체형 엑스선관의 단면도이다.1 is a cross-sectional view illustrating the structure of a light ionizer according to an embodiment of the present invention.
2 is a perspective view of a replaceable x-ray tube of a light ionizer according to one embodiment of the present invention.
3 is a sectional view showing an initial state of the power connection portion shown in Fig.
4 is a cross-sectional view of a replaceable x-ray tube of a light ionizer according to another embodiment of the present invention.
아래에서는 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 그리고 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 유사한 도면 부호를 붙였다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings so that those skilled in the art can easily carry out the present invention. The present invention may, however, be embodied in many different forms and should not be construed as limited to the embodiments set forth herein. In order to clearly illustrate the present invention, parts not related to the description are omitted, and similar parts are denoted by like reference characters throughout the specification.
그러면 첨부한 도면을 참고로 하여, 본 발명의 한 실시예에 따른 교체형 엑스선관 및 광이오나이저에 대하여 상세하게 설명한다.Hereinafter, a replaceable x-ray tube and an optical ionizer according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 1을 참고로 하면, 본 발명의 한 실시예에 따른 광이오나이저는 외부의 전원을 인가 받아 전자를 발생시키고 전자의 충돌을 이용하여 엑스선을 방출시키는 교체형 엑스선관(100), 교체형 엑스선관(100)과 소켓방식으로 착탈 가능하게 연결되어 외부로부터 인가된 힘에 의하여 교체형 엑스선관(100)에 용이하게 착탈되고, 교체형 엑스선관(100)에 전원을 인가시키는 전원 연결부(80), 전원 연결부(80)와 교체형 엑스선관(100)의 세라믹 튜브(50)를 감싸고 있는 절연 튜브(84), 절연 튜브(84)를 관통하여 전원 연결부(80)와 연결되어 있고 전원 연결부(80)로 전원을 전달시키는 고압전선(85), 고압전선(85)과 연결되어 있고 전원을 인가하는 엑스선관 전원장치(86), 그리고 교체형 엑스선관(100)과 엑스선관 전원장치(86)가 연결되는 케이스(70)를 포함한다.Referring to FIG. 1, a light ionizer according to an embodiment of the present invention includes a
본 예에서, 고압전선(85), 엑스선관 전원장치(86) 및 케이스(70)는 종래의 광이오나이저와 동일하므로, 상세한 설명을 생략한다.In this example, since the high-voltage
도 1 내지 도 2를 참고로 하면, 교체형 엑스선관(100)은 외부로부터 전원을 인가받는 전원 입력부(60), 전원 입력부(60)의 하부와 연결되어 있고 전원 입력부(60)로부터 전원을 인가받아 열전자를 방출시키는 음극부(10), 음극부(10)에서 방출된 열전자와의 충돌로 인해 엑스선을 방출시키는 양극부(20), 그리고 양극부(20)와 연결되어 있는 세라믹 튜브(50)를 포함한다.1 and 2, the
전원 입력부(60)는 세라믹 튜브(50)의 상부에 위치하고 있고, 외부로부터 인가된 힘에 의하여 전원 연결부(80)와 용이하게 착탈되도록 결합된다.The
이러한 전원 입력부(60)는 음극부(10)와 연결되어 있고, 가운데 부분에 빈 공간(6111)이 형성되어 있는 중앙 입력부(61), 중앙 입력부(61)의 일측을 에워싸고 있는 절연부(62), 그리고 절연부(62)와 연결되어 있고, 중앙 입력부(61)의 일측을 에워싸고 있으며, 음극부(10)와 연결되어 있는 외주 입력부(63)를 포함한다. The
중앙 입력부(61)는 원형의 평면 형상을 갖고 있는 중심부(611), 중심부(611)의 상부 외측으로부터 중심부(611)의 외측과 교차되는 방향으로 돌출된 제1 돌출부(612), 제1 돌출부(612)의 하부에 위치하고 있고 중심부(611)의 외측과 교차되는 방향으로 돌출된 제2 돌출부(613), 그리고 제1 돌출부(612)와 제2 돌출부(613) 사이에 형성된 홈(614)을 구비한다.The central input portion 61 includes a
중심부(611)는 상부면이 개방된 원통 형상을 갖고 있고 가운데 부분에는 빈 공간(6111)이 형성되어 있으며, 이 공간(6111)에는 전원 연결부(80)의 일부분이 삽입되어 접하게 된다.The
이러한 중심부(611)의 하부는 음극부(10)와 연결되어 있고, 전원 연결부(80)로부터 중심부(611)로 인가된 전류는 중심부(611)에 연결된 음극부(10)로 전달된다.The lower part of the
제1 돌출부(612)는 중앙 입력부(61)의 상부 외측에 위치하고 있고, 외측 절연부(62)의 일부분과 접하고 있다.The
제2 돌출부(613)는 제1 돌출부(612)의 하부에서 제1 돌출부(612)와는 서로 이격되게 위치하고 있고, 절연부(62)의 일부분과 접하고 있으며, 중앙 입력부(61)의 외측에서 제2 돌출부(613)의 하부가 절연부(62) 및 외주 입력부(63)와 나란히 이격되도록 지지한다.The
홈(614)은 제1 및 제2 돌출부(612, 613) 사이에 위치하고 있다.The
절연부(62)는 양측이 개방된 원통형 형상을 갖고 있고, 외주 입력부(63)의 상측에 위치하고 있으며, 중심부(611)의 일측과 이격되어 에워싸고 있다.The insulating portion 62 has a cylindrical shape with both open sides and is located on the upper side of the outer
절연부(62)의 상부면은 중앙 입력부(61)의 제1 돌출부(612)와 접하고 있고, 하부면은 외주 입력부(63)와 접하고 있다.The upper surface of the insulating portion 62 is in contact with the
이러한 절연부(62)는 중앙 입력부(61)와 외주 입력부(63)를 서로 절연되게 연결시킨다.The insulating portion 62 connects the center input portion 61 and the outer
본 예에서, 이러한 절연부(62)는 유리나 세라믹과 같은 절연물질로 이루어져 있다.In this example, the insulating portion 62 is made of an insulating material such as glass or ceramic.
이와 같이 절연부(62)와 중앙 입력부(61)가 서로 연결된 형태에 의하여 절연부(62)의 내측과 중앙 입력부(61)의 외측은 서로 나란히 위치하고 있다.The inner side of the insulating portion 62 and the outer side of the central input portion 61 are located side by side with the insulating portion 62 and the central input portion 61 connected to each other.
외주 입력부(63)는 양측이 개방된 원통형 형상을 갖고 있고, 중앙 입력부(61)의 길이 방향으로 뻗어있는 몸체(631), 몸체(631)의 하부의 외측으로부터 외부로 돌출되어 있는 제3 돌출부(632), 제3 돌출부(632)의 하부에 위치하고 있고 세라믹 튜브(50)를 향하여 돌출되어 있는 제4 돌출부(633), 그리고 제3 및 제4 돌출부(632, 633) 사이에 형성되어 있는 홈(634)을 포함하고 있다.The outer
몸체(631)는 원형의 평면 형상을 갖고 있고, 양측이 개방되어 있는 원통형 형상을 갖고 있다.The
또한, 몸체(631)는 중앙 입력부(61)와 서로 이격되게 나란히 위치하고 있고, 중심부(611)의 일측을 에워싸고 있으며, 몸체(631)의 상부면은 절연부(62)의 하부면과 접하고 있다.The
몸체(631)의 하부의 일부분은 음극부(10)와 연결되어 있으며, 이로 인해, 전원 연결부(80)로부터 외주 입력부(63)에 인가되는 전류는 음극부(10)로 흐르게 된다.A portion of the lower portion of the
이러한 몸체(631)는 중앙 입력부(61)와 인접한 상부면으로부터 돌출되어 형성된 턱(6311)을 구비하고 있다.The
턱(6311)은 절연부(62)의 하부 내측과 접합되어 절연부(62)가 중앙 입력부(61)쪽으로 미끄러지지 않게 방지한다.The
제3 돌출부(632)는 몸체(631)의 하부 외측에 위치하고 있고, 세라믹 튜브(50)의 상단과 접하여 외주 입력부(63)가 세라믹 튜브(50)의 내부로 함몰되지 않도록 방지한다.The
제4 돌출부(633)는 세라믹 튜브(50)의 일측으로 삽입되어 세라믹 튜브(50)의 내측과 접해있다.The
홈(634)은 제3 및 제4 돌출부(632, 633) 사이에 위치하고 있다.The
이와 같이, 중앙 입력부(61)와 외주 입력부(63)는 서로 이격되어 나란히 위치하고 있고, 절연부(62)를 이용하여 서로 연결되어 있으므로, 중앙 입력부(61)와 외주 입력부(63)는 서로 절연되어 절연파괴가 일어나지 않도록 방지된다.Since the center input unit 61 and the outer
또한, 진공 브레이징이나 열융착 등과 같은 본딩 방법을 이용하여 중앙 입력부(61)의 제1 돌출부(612)와 외주 입력부(63)의 몸체(631)의 상부면과 접합을 하여, 중앙 입력부(61)와 절연부(62)가 견고히 결합되어 있다.The
또한, 진공 브레이징이나 열융착 등과 같은 본딩 방법을 이용하여 전원 입력부(60)의 제3 돌출부(632,)와 세라믹 튜브(50)와의 접합을 하여, 전원 입력부(60)와 세라믹 튜브(50)는 서로 견고히 결합되어 있다.The
본 예에서, 중앙 입력부(61)와 외주 입력부(63)는 절연부(62) 및 세라믹 튜브(50)와 열팽창계수가 같은 KOVAR나 Alloy42 등과 같은 금속재질로 이루어져 있으므로, 본딩 작업 시 열팽창계수의 차이로 인하여 절연부(62) 및 세라믹 튜브(50)가 파손이 되는 것을 방지할 수 있다.The center input portion 61 and the outer
이와 같은 전원 입력부(60)와 세라믹 튜브(50)가 결합된 상태에서 전원 연결부(80)로부터 전원이 인가될 때, 전류는 단락되지 않고 중앙 입력부(61)와 외주 입력부(63)로부터 음극부(10)까지 안정적으로 흐르게 된다.When the power is supplied from the
음극부(10)는 세라믹 튜브(50)의 내부에 위치하고 있고, 중앙 입력부(61)와 연결되어 있고, 중앙 입력부(61)로부터 전원을 인가받는 중앙 전극(14), 중앙 전극(14)과 이격되어 있고 외주 입력부(63)로부터 전원을 인가받으며, 필라멘트(11)와 연결되어 있는 외주 전극(16), 중앙 전극(14)과 외주 전극(16)에 연결되어 있고 중앙 전극(14)과 외주 전극(16)으로부터 전류가 인가되어 열과 열전자를 방출시키는 필라멘트(11), 필라멘트(11)와 이격되어 있고, 지지와이어(15)와 연결되어 있으며, 필라멘트(11)에서 방출된 열전자를 양극부(20)로 유도하고 필라멘트(11)에서 발생된 전자빔을 집속시키는 집속렌즈(13), 그리고 집속렌즈(13) 및 외주 입력부(63)와 연결되어 있으며 외주 입력부(63)로부터 인가된 전압을 집속렌즈(13)에 인가시키는 적어도 하나의 지지와이어(15)를 포함한다.The
중앙 전극(14)은 중앙 입력부(61)의 일측에 위치하고 있다.The
또한, 중앙 전극(14)의 일측은 중앙 입력부(61)의 하부에 매몰되어 있으며, 타측은 필라멘트(11)와 연결되어 있다.One side of the
이러한 중앙 전극(14)은 중앙 입력부(61)와 필라멘트(11)를 연결시키고, 필라멘트(11)의 위치를 고정시키며, 중앙 입력부(61)로부터 중앙 입력부(61)에 인가된 전류를 필라멘트(11)로 전달시킨다.The
외주 전극(16)은 지지와이어(15) 중 하나와 필라멘트(11) 사이에 위치하고 있고, 외주 전극(16)의 일측은 지지와이어(15) 중 하나와 연결되어 있으며, 타측은 필라멘트(11)에 연결되어 있다.The outer
이로 인해, 외주 전극(16)은 지지와이어(15) 중 하나와 필라멘트(11)를 연결시키고, 필라멘트(11)의 위치를 고정시키며, 외주 입력부(63)로부터 지지와이어(15)를 거쳐 외주 전극(16)에 인가된 전류를 필라멘트(11)로 흐르게 한다.The outer
본 예에서, 중앙 전극(14)과 외주 전극(16)은 KOVAR나 Alloy42 등과 같은 금속재질로 이루어져 있다.In this example, the
필라멘트(11)는 집속렌즈(13)의 내부에 위치하고 있고, 이미 설명한 것처럼, 필라멘트(11)에 연결되어 있는 중앙 전극(14)과 외주 전극(16)으로부터 전류가 인가되면, 전기저항에 의하여 열과 열전자를 방출시키게 된다.The
본 예에서, 필라멘트(11)는 필라멘트의 소재로 주로 이용되는 텅스텐으로 이루어져 있고, 텅스텐은 융점이 3,650℃이며 일함수가 4.5 eV이다.In this example, the
본 예에서, 필라멘트(11)의 사용 시간이 설정 시간에 이르면 사전 유지보수 계획에 따라, 필라멘트(11)를 포함하고 있는 교체형 엑스선관(100)을 사전에 교체하게 된다.In this example, when the use time of the
집속렌즈(13)는 세라믹 튜브(50)의 내부에서 필라멘트(11)와 이격되게 위치하고 있고, 지지와이어(15)와 연결되어 있으며, 양측이 개방된 원통형 형상을 갖고 있다.The focusing
지지와이어(15)는 금속재질로 이루어져 있고, 지지와이어(15)의 일측은 외주 입력부(63)의 하부에 매몰되어 있고 타측은 집속렌즈(13)의 일측과 접하고 있다.One end of the
이러한 지지와이어(15)는 집속렌즈(13)의 위치를 고정시키고, 외주 입력부(63)로부터 인가된 전압을 집속렌즈(13)로 전달시킨다.The
또한, 지지와이어(15) 중 하나는 외주 전극(16)과 연결되어 있으며, 외주 입력부(63)로부터 인가된 전압을 외주 전극(16)으로 인가시킨다.One of the supporting
양극부(20)는 세라믹 튜브(50)와 연결되어 있는 완충링(40), 완충링(40)과 연결되어 있고 케이스(70)와 연결되는 케이스 결합부(30), 그리고 케이스 결합부(30)의 가운데 부분에 위치하고 있고 음극부(10)에서 방출된 열전자와의 충돌로 인해 엑스선을 방출시키는 엑스선 투과부(21)를 포함한다.The
완충링(40)은 원형의 평면 형상을 갖고 있고, 양측이 개방된 원통형 형상을 갖고 있으며, 케이스 결합부(30)와 세라믹 튜브(50)를 연결시킨다.The
이러한 완충링(40)은 몸체(41), 몸체(41)의 상단으로부터 몸체(41)의 가운데부분을 향하여 돌출되어 있는 함몰부(42), 그리고 함몰부(42)의 끝단으로부터 세라믹 튜브(50)의 상부를 향하여 몸체(41)의 길이 방향과 나란하게 돌출되어 있는 삽입부(43)를 포함한다.The
몸체(41)는 세라믹 튜브(50)의 하단과 케이스 결합부(30)의 사이에 위치하고 있고, 몸체(41)의 하부 외측은 케이스 결합부(30)와 접하고 있다.The
함몰부(42)는 몸체(41)의 상단에 위치하고 있고, 세라믹 튜브(50)의 하단과 접하고 있다.The
삽입부(43)는 함몰부(42)의 길이 방향과 교차하는 방향으로 뻗어있으며, 세라믹 튜브(50)의 하부 내측과 접하고 있다.The
이때, 진공 브레이징로나 열융착기 등을 이용하여 완충링(40)의 함몰부(42)와 세라믹 튜브(50)의 접합을 강화시켜, 완충링(40)과 세라믹 튜브(50)는 서로 견고히 결합되어 있다.At this time, the junction of the
본 예에서, 완충링(40)은 세라믹 튜브(50)와 열팽창계수가 같은 KOVAR나 Alloy42 등과 같은 금속재질로 이루어져 있으므로, 세라믹 튜브(50)와의 본딩 작업 시 열팽창계수의 차이로 인하여 세라믹 튜브(50)가 파손이 되는 것을 방지할 수 있다.The
케이스 결합부(30)는 엑스선 투과부(21)를 고정시키고 있고 케이스(70)와 연결되는 플랜지(31), 플랜지(31)의 가운데 부분으로부터 일정한 간격으로 이격되어 있고, 플랜지(31)의 상부쪽으로 돌출되어 완충링(40)과 접합되어 있는 완충링 연결부(32), 그리고 플랜지(31)의 가장자리와 인접하게 위치하고 있는 적어도 하나의 나사 홈(33)을 포함한다.The
플랜지(31)는 금속재질로 이루어져 있고, 플랜지(31)의 가운데 부분에는 엑스선 투과부(21)가 위치하고 있으며, 케이스(70)의 일측에 연결된다.완충링 연결부(32)는 플랜지(31)의 상부면의 가운데 부분으로부터 플랜지(31)와 교차되는 방향으로 돌출된 고정부(321), 고정부(321)의 내측의 가운데 부분에 형성되어 있는 오목부(322)를 구비한다.The
고정부(321)는 플랜지(31)의 가운데 부분에 위치하고 있고, 고정부(321)로 에워싸인 공간은 원형의 평면 형상을 갖고 있으며, 공간의 내부에는 완충링(40)의 하부가 삽입되어 고정부(321)와 서로 접합된다. 이로 인해, 완충링(40)과 케이스 결합부(30)가 서로 결합된다.The fixing
나사 홈(33)은 케이스(70)에 형성된 나사 홈(71)과 대응되게 위치하고 있고, 나사(72)와 같은 결합수단이 체결되어 플랜지(31)를 케이스(70)에 고정시키게 된다.The
즉, 사용자가 플랜지(30)에 형성된 나사홈(33)을 관통한 나사(72)를 케이스(70)에 형성된 나사홈(71)에 삽입하고 힘을 인가하여 나사(72)를 조이게 된다.That is, the user inserts the
이로 인해, 나사(72)는 나사 홈(71, 33)과 결합되며, 플랜지(31)는 이러한 나사 결합을 이용하여 케이스(70)에 고정되어 교체형 엑스선관(100)과 케이스(70)를 연결시킨다.The
엑스선 투과부(21)는 플랜지(31)의 가운데 부분에서 고정부(321)의 내측에 위치하고 있고, 음극부(10)에서 발생한 전자와의 충돌로 인해 엑스선을 발생시키는 타겟부(211), 타겟부(211)에서 발생한 엑스선을 외부로 방사시키는 엑스선 창(212)을 포함한다.The
타겟부(211)는 엑스선 창(212)의 내측에 코팅되어 형성되어 있으며, 텅스텐 등과 같은 금속재질로 이루어질 수 있다.The
엑스선 창(212)은 플랜지(31)의 가운데 부분에 위치하고 있고, 외측이 외부와 접하고 있으며, 엑스선 투과율이 우수한 베릴륨 등과 같은 물질로 이루어질 수 있다.The
세라믹 튜브(50)는 양측이 개방된 원통형 형상을 갖고 있고, 가운데 부분에 빈 공간을 구비하고 있으며, 음극부(10)를 내장하여 진공으로 밀봉시켜 보호한다.The
이미 설명한 것처럼, 세라믹 튜브(50)의 일측에는 전원 입력부(60)의 제4 돌출부(633)가 삽입되어 세라믹 튜브(50)와 접하고 있고, 제 3돌출부(632)와 세라믹 튜브(50)의 상단이 접하고 있으며, 타측에는 양극부(20)의 완충링(40)의 일부분이 삽입되어 세라믹 튜브(50)의 내측과 접하고 있다.The
이때, 진공 브레이징로나 열융착기 등을 이용하여 제3 돌출부(632)와 완충링(40)과 세라믹 튜브(50)와의 각각의 접합을 강화시켜, 전원 입력부(60)와 완충링(40)는 각각 세라믹 튜브(50)와 서로 견고히 결합되어 있다.At this time, the junction between the
본 예에서, 세라믹 튜브(50)는 유리나 세라믹과 같은 절연물질로 이루어져 있다.In this example, the
도 1을 참고로 하면, 전원 연결부(80)는 절연 튜브(84)의 내측에 위치하며, 전원 입력부(60)와 결합된다.Referring to FIG. 1, the
또한, 도 3을 참고로 하면, 전원 연결부(80)는 중앙 입력부(61)와 연결되는 중앙 연결부(81), 중앙 연결부(81)의 일측에 위치하고 있고 중앙 입력부(61)와 접하게 되는는 절연재(82), 절연재(82)와 중앙 입력부(61)를 에워싸고 있고 외주 입력부(63)와 연결되는 외주 연결부(83), 그리고 절연재(82)와 중앙 연결부(81) 및 외주 연결부(83)의 일측에 연결되어 있는 몰딩부(87)를 포함한다.3, the
중앙 연결부(81)는 중앙 입력부(61)의 공간(6111)에 삽입되어 중앙 입력부(61)와 연결되며, 하단이 돌출된 중심핀(811), 그리고 중심핀(811)의 외부를 에워싸고 있는 중심판(812)을 포함한다.The central connecting
중심핀(811)은 금속재질로 이루어져 있고, 전원 연결부(80)와 전원 입력부(60)가 결합될 때, 중심핀(811)의 하단부터 공간(6111)에 삽입되어 중심핀(811)의 하부가 중심부(611)와 인접하게 된다.The
본 예에서, 중심핀(811)은 원형의 평면 형상을 갖는 바(bar) 형상을 갖고 있으나, 이와는 달리, 사각형 등과 같은 평면 형상을 갖는 바 형상일 수 있다.In this example, the
또한, 본 예에서, 공간(6111)의 하부와 접하는 중심핀(811)의 하부 형상은 공간(6111)의 하부 형상과 같을 수 있다.In this example, the bottom shape of the
중심판(812)은 중심핀(811)과 절연재(82)가 접하는 부분으로부터 중심핀(811)의 돌출된 하단과 인접한 부분까지 에워싸고 있고, 가장자리 부분은 중심핀(811)과 접하고 있으며, 가운데 부분은 탄성력(A)에 의하여 중심핀(811)으로부터 이격되어 외부로 볼록하게 돌출된 곡선 형상을 하고 있다.The
이러한 중심판(812)은 외부에서 가운데 부분에 가해지는 힘이 가운데 부분을 돌출되게 만드는 탄성력(A)보다 크면, 볼록한 가운데 부분이 중심핀(811)과 가까워져서 곡선형상이 완만해지고, 그 힘이 사라지면 다시 가운데 부분이 볼록하게 두드러지는 초기 상태로 돌아간다.If the force exerted on the center portion of the
본 예에서, 외부로부터 중심판(812)의 가운데 부분에 가해지는 힘이 가운데 부분을 돌출되게 만드는 탄성력(A)보다 작거나 없을 때, 중심판(812)의 가운데 부분의 폭의 크기는 공간(6111)의 폭의 크기보다 클 수 있다.In this example, when the force exerted from the outside to the center portion of the
따라서, 사용자에 의하여 전원 연결부(80)와 전원 입력부(60)가 결합될 때, 중심핀(811)과 중심핀(811)의 돌출된 하단에 인접한 중심판(812)의 가장자리부터 공간(6111)에 삽입되어, 중심판(812)의 외측은 중심부(611)의 내측과 접하게 된다.When the
또한, 중심판(812)의 가운데 부분과 중심부(611)의 내측이 접할 때, 접하고 있는 중심부(611)의 내측에 의하여 중심판(812)의 가운데 부분이 중심핀(811)을 향하여 밀리는 힘이 탄성력(A)보다 크므로, 중심판(812)의 가운데 부분은 중심핀(811)쪽으로 이동하며, 이로 인해, 중앙 연결부(81)는 공간(6111)의 내부에 위치한다. 이때, 중심판(812)의 가운데 부분은 중심부(611)의 내측과 접하므로, 전원 연결부(80)와 전원 입력부(60)의 결합이 안정되게 하고, 엑스선관 전원장치(86)로부터 중앙 연결부(81)에 인가되는 전류를 중앙 입력부(61)에 안정적으로 전달시키게 된다.When the middle portion of the
또한, 사용자에 의하여 전원 연결부(80)와 전원 입력부(60)가 분리될 때, 중앙 연결부(81)는 공간(6111)으로부터 이탈되어 중심판(812)의 가운데 부분을 중심핀(811)을 향하여 미는 힘이 사라지므로, 중심판(812)의 가운데 부분은 탄성력(A)에 의하여 다시 초기 상태로 돌아간다.When the
본 예에서, 중심판(812)은 탄성력을 갖고 있는 금속재질로 이루어져 있다.In this example, the
절연재(82)는 중앙 연결부(81)와 외주 연결부(83)의 사이에 위치하여 중앙 연결부(81)와 외주 연결부(83)를 서로 절연되어 연결되게 한다.The insulating
전원 연결부(80)와 전원 입력부(60)가 결합될 때, 절연재(82)는 중앙 입력부(61)의 상부면과 접하며, 중앙 입력부(61)와 외주 입력부(63)의 사이의 전류의 단락을 방지 한다.When the power
본 예에서, 절연재(82)는 유리 또는 세라믹과 같은 절연물질로 이루어져 있다.In this example, the insulating
외주 연결부(83)는 절연재(82)의 외측에 위치하고 있고, 금속재질로 이루어져 있다.The outer
외주 연결부(83)는 중앙 연결부(81)의 하부를 향하여 뻗어있고, 아래로 갈수록 내측 폭이 좁아지는 곡선 형태를 갖고 있다.The outer
또한, 외주 연결부(83)의 하단은 중앙 연결부(81)를 향하여 휘어진 형태를 갖고 있고, 이러한 형태를 유지하려는 탄성력(B)이 중앙 연결부(81)를 향하여 작용하고 있으며, 휘어진 하단의 끝은 전원 연결부(80)의 상부를 향하여 돌출되어 있다.The lower end of the outer
본 예에서, 외부로부터 인가되는 힘이 없거나 탄성력(B)보다 적은 힘이 작용할 때를 초기 상태로 하고, 이러한 초기 상태의 외주 연결부(83)는 하단의 폭의 크기가 전원 입력부(60)의 외측 폭의 크기보다 작다.In this example, the outer
따라서, 전원 연결부(80)와 전원 입력부(60)가 결합될 때, 외주 연결부(83)가 전원 입력부(60)의 상부면과 접한 상태에서 사용자에 의해 외주 연결부(83)를 전원 입력부(60)의 하부쪽으로 미는 힘이 인가되어, 외주 연결부(83)의 하단 하단을 중앙 연결부(81)의 반대편으로 밀어내는 힘이 중앙 연결부(81)를 향해 휘어지게 하는 탄성력(B)보다 커진다.When the
따라서, 외주 연결부(83)의 하단은 전원 입력부(60)의 외측으로 이동되어 외주 연결부(83)의 하단 폭의 크기가 커지게 되고, 중앙 입력부(61)의 모서리를 거쳐 전원 입력부(60)의 외측을 따라 미끄러진다.The lower end of the outer
이로 인해, 외주 연결부(83)는 전원 입력부(60)의 일측을 에워싸게 된다.Thus, the outer
이때, 외주 연결부(83)의 상부 내측은 중앙 입력부(61)와 이격되고, 하부 내측은 외주 입력부(63)의 외측과 접한다.At this time, the upper inside of the outer
또한, 외주 연결부(83)와 외주 입력부(63)가 접하는 부분은 외주 연결부(83)의 하단을 중앙 연결부(81)를 향하여 휘어진 형태로 유지시키는 탄성력(B)으로 인하여 안정적인 결합을 유지하므로, 엑스선관 전원장치(86)로부터 외주 연결부(83)에 인가된 전류는 외주 입력부(63)에 안정적으로 전달되게 된다.The portion where the outer
또한, 이와 같이 외주 연결부(83)가 외주 입력부(63)와 연결된 상태에서 사용자에 의해 외주 연결부(83)를 전원 입력부(60)의 반대쪽으로 당기는 힘이 인가되어 외주 연결부(83)가 전원 입력부(60)로부터 이격되면, 외주 연결부(83)는 탄성력(B)에 의하여 하단 폭의 크기가 작아져 초기 상태로 돌아간다.When the outer
전원 연결부(80)는 이와 같은 중앙 연결부(81)와 외주 연결부(83)에 의하여 전원 입력부(60)와 연결되나, 전원 연결부(80)와 전원 입력부(60)가 접하는 부분이 서로 접합 고정되어 있지 않으므로, 사용자에 의하여 전원 연결부(80)는 전원 입력부(60)와 용이하게 결합 또는 분리된다.The
몰딩부(87)는 절연재(82)와 중앙 연결부(81) 및 외주 연결부(83)의 상측에 위치하고 있고, 중앙 연결부(81)와 고압전선(85) 사이의 연결 부분 및 외주 연결부(83)와 고압전선(85) 사이의 연결 부분을 에워싸고 있으며, 이로 인해 전원 연결부(80)가 엑스선관 전원장치(85) 및 케이스(70)를 비롯한 주위의 다른 금속체와 절연되게 하여 절연파괴가 일어나지 않도록 방지한다.The
이러한 몰딩부(87)는 절연 튜브(84)의 일측에 삽입되어 결합되어 있다.The
본 예에서, 몰딩부(87)의 외측 폭은 절연 튜브(84)의 내측 폭보다 크거나 같을 수 있으며, 따라서, 절연 튜브(84)에 삽입된 몰딩부(87)는 절연 튜브(84)와 밀착되어, 전원 연결부(80)가 전원 입력부(60)로부터 용이하게 이탈되지 않도록 방지한다.The outer width of the
본 예에서, 몰딩부(87)는 플라스틱 등과 같은 절연물질로 이루어질 수 있다.In this example, the
절연 튜브(84)는 양측이 개방된 원통형 형상을 갖고 있고, 플라스틱 등과 같은 절연물질로 이루어져 있으며, 전원 연결부(80) 및 전원 입력부(60)를 주위의 다른 금속과 절연시킨다.The insulating
절연 튜브(84)의 일측에는 전원 연결부(80)가 삽입되고, 절연 튜브(84)의 타측에는 세라믹 튜브(50)가 삽입되어 있다. 따라서, 절연 튜브(84)의 내측은 각각 전원 연결부(80)의 몰딩부(87)의 외측과 세라믹 튜브(50)의 외측에 접한다.A
절연 튜브(84)는 세라믹 튜브(50)와 접하여 밀착되고, 전원 연결부(80)와 착탈 가능하게 결합되어 사용자에 의하여 전원 연결부(80)와 용이하게 결합되고 분리된다.The insulating
본 예에서, 절연 튜브(84)는 세라믹 튜브(50)와 결합된 상태로, 교체형 엑스선관(100)이 교체될 때 교체형 엑스선관(100)과 함께 교체되나, 이와는 달리, 절연 튜브(84)는 사용자에 의하여 세라믹 튜브(50)와 용이하게 착탈되어 재사용될 수 있다.In this example, the insulating
본 예에서, 몰딩부(87)와 절연 튜브(84)는 분리되어 있으나, 이와는 달리, 몰딩부(87)와 절연 튜브(84)는 일체형으로 형성될 수 있으며, 이로 인해, 전원 연결부(80)와 절연 튜브(84)는 일체형으로 형성될 수 있다.The
도 1 내지 도 2에 도시한 교체형 엑스선관(100)의 음극부(10)는 한 예로서, 외부로부터 인가된 전류로 인하여 열과 열전자를 방출시키는 필라멘트(11)를 포함하고 있고, 이러한 필라멘트(11)를 전자방출원으로 이용하는 직접가열방식으로 이루어져 있다.The
하지만, 다른 예에서, 교체형 엑스선관(100)의 음극부(10)는 필라멘트(11)의표면에 필라멘트(11)보다 일함수가 낮은 물질로 이루어진 코팅물질이 형성되어 있을 수 있으며, 이 코팅물질로부터 열전자를 방출시키는 필라멘트(11)를 전자방출원으로 이용하는 직접가열방식으로 이루어질 수 있다.However, in another example, the
이때, 필라멘트(11)는 열을 방출시키는 텅스텐으로 이루어져 있고, 텅스텐의 표면에 텅스텐보다 일함수가 낮은 물질로 이루어진 코팅물질이 형성되어 있을 수 있다.At this time, the
이러한 예에서, 코팅물질은 텅스텐보다 일함수가 낮은 물질인 토륨(3.4eV), 바륨(2.52~2.7eV) 세슘(2.14eV), 란탄(3.5eV), 스트론튬(2.59eV), 사마륨(2.7eV) 및 칼슘(2.87eV)중 적어도 하나로 이루어질 수 있고, 이러한 코팅물질은 텅스텐의 표면에 도포, 도금 혹은 용융되어 형성되어 있다.In this example, the coating material is a material having a lower work function than tungsten (3.4 eV), barium (2.52-2.7 eV) cesium (2.14 eV), lanthanum (3.5 eV), strontium (2.59 eV), samarium ) And calcium (2.87 eV), and the coating material is formed by coating, plating or melting on the surface of tungsten.
교체형 엑스선관은 이와 같이 열전자를 방출시키는 전자방출원이 직접 가열되는 직접가열방식으로 이루어질 수 있으나, 이와는 달리, 또 다른 예에서, 열을 방출시키는 필라멘트와 열전자를 방출시키는 전자방출원인 코팅물질이 서로 분리된 간접가열방식 엑스선관으로 이루어질 수 있다.Alternatively, in another example, a filament for emitting heat and a coating material for emitting electrons, which emits a thermoelectron, may be formed on the surface of the heat- And an indirectly heated X-ray tube separated from each other.
도 4를 참고로 하면, 간접가열방식으로 이루어진 교체형 엑스선관(100a)의 음극부(10a)는 중앙 입력부(61a)와 연결되어 있고, 중앙 입력부(61a)로부터 전원을 인가받는 중앙 전극(14a), 중앙 전극(14a)과 이격되어 있고 외주 입력부(63a)로부터 전원을 인가받으며, 필라멘트(11a)와 연결되어 있는 외주 전극(16a), 중앙 전극(14a)과 외주 전극(16a)에 연결되어 있고 중앙 전극(14a)과 외주 전극(16a)으로부터 전류가 인가되어 적외선을 방출시키는 필라멘트(11a), 필라멘트(11a)와 이격되어 있고, 필라멘트(11a)에서 방출된 적외선에 의해 가열되며, 열전자를 방출시키는 전자방출원인 코팅물질(11b)이 코팅되어 있는 보호부(11c), 보호부(11c)를 에워싸고 있고 코팅물질(11b)에서 방출된 열전자를 양극부(20a)로 유도하고, 코팅물질(11b)에서 발생된 전자빔을 집속시키는 집속렌즈(13a), 집속렌즈(13a) 및 외주 입력부(63a)와 연결되어 있는 적어도 하나의 지지와이어(15a), 그리고 보호부(11c)와 연결되어 있는 복수의 고정와이어(141)를 포함한다.4, the
간접가열방식으로 이루어진 교체형 엑스선관(100a)의 음극부(10a) 이외의 부분은 도 1 내지 도 2를 참고로 하여 이미 설명한 내용과 동일하므로 상세한 설명을 생략한다. Parts other than the
중앙 전극(14a)은 중앙 입력부(61)의 일측에 위치하고 있다.The
또한, 중앙 전극(14a)은 일측은 중앙 입력부(61)의 하부에 매몰되어 있고, 타측은 필라멘트(11a)와 연결되어 필라멘트(11a)의 위치를 고정시키며, 중앙 입력부(61)로부터 중앙 전극(14a)에 인가된 전류를 필라멘트(11a)로 전달시킨다.The other end of the
외주 전극(16a)은 지지와이어(15a) 중 하나와 필라멘트(11a) 사이에 위치하고 있고, 지지와이어(15a) 중 하나와 필라멘트(11a)에 연결되어 필라멘트(11a)의 위치를 고정시키며, 외주 입력부(63)로부터 지지와이어(15a) 중 하나를 거쳐 외주 전극(16a)에 인가된 전류를 필라멘트(11a)로 전달시킨다.The outer
이러한 예에서, 중앙 전극(14a)과 외주 전극(16a)은 KOVAR나 Alloy42 등과 같은 금속재질로 이루어져 있다.In this example, the
필라멘트(11a)는 보호부(11c)로 에워싸인 내부에서 보호부(11c)와 이격되게 위치하고 있고, 필라멘트(11a)에 연결되어 있는 중앙 전극(14a)과 외주 전극(16a)을 통해 전류가 인가되면, 필라멘트(11a)의 전기저항에 의해 적외선을 방출시키게 되며, 적외선 복사 형태로 보호부(11c)를 가열시킨다.The
이러한 예에서, 필라멘트(11a)는 텅스텐으로 이루어질 수 있다.In this example, the
이러한 필라멘트(11a)의 사용 시간이 설정 시간에 이르면 사전 유지보수 계획에 따라, 필라멘트(11a)를 포함하고 있는 교체형 엑스선관(100a)을 사전에 교체하게 된다.When the use time of the
보호부(11c)는 집속렌즈(13a)로 에워싸인 내부에서 집속렌즈(13a)와 이격되게 위치하고 있다.The
보호부(11c)의 내부에는 필라멘트(11a)가 보호부(11c)와 이격되게 위치하고 있고, 보호부(11c)는 필라멘트(11a)를 에워싸서 필라멘트(11a)를 음극부(10a)와 양극부(20a) 사이에 발생하는 이온의 충격으로부터 보호하여, 필라멘트(11a)의 손상을 방지한다.The
또한, 보호부(11c)는 보호부(11c)에 연결된 고정와이어(141)에 의하여 위치가 고정되어 있다.The
이러한 예에서, 보호부(11c)는 텅스텐이나 4.3eV의 일함수를 갖고 있고 2,620℃의 융점을 갖고 있는 몰리브덴으로 이루어질 수 있다.In this example, the
코팅물질(11b)은 필라멘트(11a)보다 일함수가 낮은 물질인 토륨(3.4eV), 바륨(2.52~2.7eV) 세슘(2.14eV), 란탄(3.5eV), 스트론튬(2.59eV), 사마륨(2.7eV) 및 칼슘(2.87eV) 중 적어도 하나의 물질이 도포, 도금 또는 용융되어 보호부(11c)에 코팅 형성되어 있다.The
이러한 코팅물질(11b)은 필라멘트(11a)로부터 방출된 적외선에 의하여 가열된 보호부(11c)가 일정온도를 넘어서게 되면 열전자를 방출시키게 된다.The
이때, 코팅물질(11b)은 필라멘트(11a)보다 일함수가 낮은 물질로 이루어져 있으므로, 필라멘트(11a)보다 많은 양의 열전자를 방출시켜 엑스선의 강도를 증가시키게 된다.At this time, since the
또한, 코팅물질(11b)은 평면 형태로 형성될 수 있으므로, 코팅물질(11b)의 면적 크기는 선 형태로 형성된 필라멘트(11a)의 면적 크기보다 크게 된다.In addition, since the
따라서, 코팅물질(11b)은 필라멘트(11a)보다 넓은 면적으로 전자빔을 방출할 수 있으며, 코팅물질(11b)의 면적이 넓어질수록 열전자의 방출을 증대시킬 수 있다.Accordingly, the
집속렌즈(13a)는 양측이 개방된 원통형 형상을 갖고 있고, 집속렌즈(13a)의 내부에는 보호부(11c)가 집속렌즈(13a)와 이격되게 위치하고 있으며, 지지와이어(15a) 중 하나에 의하여 필라멘트(11)에 연결되어 있는 외주 전극(16a)과 연결되어 있다.The
지지와이어(15a)는 집속렌즈(13a)의 위치를 고정시키고, 지지와이어(15a)의 일측은 외주 입력부(63)의 하부에 매몰되어 있으며, 타측은 집속렌즈(13a)의 일측과 접하고 있다.The supporting
이러한 지지와이어(15a)는 외주 입력부(63)로부터 인가된 전압을 집속렌즈(13a)로 전달시킨다.The
또한, 지지와이어(15a) 중 하나는 외주 전극(16a)과 연결되어 있으며, 외주 입력부(63)로부터 인가된 전압을 외주 전극(16a)으로 인가시킨다.One of the supporting
고정와이어(141)는 일측이 보호부(11c)와 연결되어 있고, 하나의 고정와이어(141)의 타측은 필라멘트(11a)에 연결되어 있는 외주 전극(16a)과 연결되어 있으며, 다른 고정와이어(141)의 타측은 집속렌즈(13a)와 연결되어 있다.One end of the fixed
따라서, 하나의 고정와이어(141)는 보호부(11c)와 외주 전극(16a)을 연결시키고, 다른 고정와이어(141)는 보호부(11c)와 집속렌즈(13a)를 연결시켜 보호부(11c)의 위치를 고정시키며, 보호부(11c)로 전압을 인가시킨다.One
이러한 지지와이어(15a)와 고정와이어(141)는 금속재질로 이루어져 있다.The supporting
이와 같이 간접가열방식으로 이루어진 교체형 엑스선관(100a)의 동작은 다음과 같다.The operation of the
필라멘트(11a)는 연결되어 있는 중앙 전극(14a)과 외주 전극(16a)을 통해 전류가 인가되면, 전기저항에 의해 적외선을 방출시킨다.The
이 열은 적외선 복사 형태로 보호부(11c)를 가열하게 되고, 가열된 보호부(11c)로부터 전달된 열에 의하여 코팅부(11b)는 열전자를 방출시키게 된다.This heat heats the
이렇게 방출된 열전자는 집속렌즈(13a)에 의해 타겟부(211a)로 유도되며, 음극부(10a)와 양극부(20a) 양단간에 걸려있는 전압차에 따라 가속되어 전자빔을 형성한다.The emitted hot electrons are guided to the
형성된 전자빔은 집속렌즈(13a)에 의해 집속되어 타겟부(211a)에 충돌하고, 충돌된 전자에너지는 타겟부(211a)에서 엑스선의 형태로 변환되어, 타겟부(211a)는 엑스선을 방출시키게 된다.The formed electron beam is converged by the focusing
그리고, 타겟부(211a)에서 발생된 엑스선은 엑스선 투과율이 우수한 엑스선 창(212a)을 통해 외부로 방사되고, 외부로 방사된 엑스선은 공기를 전리시켜 이온화하며, 이온화된 공기는 대전체의 하전을 중화시켜 정전기를 제거한다.The X-rays generated in the
그러면, 도 1 내지 도 3을 참고로 하여, 본 발명의 한 실시예에 따른 광이오나이저의 교체형 엑스선관(100)의 동작에 대하여 설명한다.The operation of the
먼저, 사용자가 교체형 엑스선관(100)이 결합된 광이오나이저를 사용할 때,교체형 엑스선관(100)의 플랜지(31)와 케이스(70)에 각각 형성된 나사 홈(33, 71)은 서로 대응되게 위치하고 있고, 나사 홈(71, 33)을 관통하여 체결된 나사(72)에 의하여 교체형 엑스선관(100)은 케이스(70)와 결합되어 있다.First, when the user uses the optical ionizer with the
또한, 전원 연결부(80)는 교체형 엑스선관(100)의 전원 입력부(60)와 결합되어 있고, 전원 연결부(80)와 세라믹 튜브(50)는 절연 튜브(84)로 에워싸여 있다. The
이때, 중앙 연결부(81)는 중앙 입력부(61)의 공간(6111)에 삽입되어 중앙 입력부(61)의 내측과 접하고, 외주 연결부(83)의 하부 내측은 외주 입력부(63)의 외측과 접한다.The central connecting
이미 설명한 것처럼, 중앙 연결부(81)와 외주 연결부(83)는 절연재(82)에 의하여 절연되어 있고, 중앙 연결부(81)의 중심판(812)의 가운데 부분을 돌출되게 만드는 탄성력(A)과 외주 연결부(83)의 하단이 중앙 연결부(81)를 향하여 휘어진 형태를 유지하게 하는 탄성력(B)에 의하여, 전원 연결부(80)와 전원 입력부(60) 사이의 결합과 전기적인 접촉은 안정적이 된다.The
따라서, 엑스선관 전원장치(86)로부터 전원 연결부(80)에 인가된 전류는 외주 연결부(83)로부터 외주 입력부(63)로 안정적으로 인가되며, 중앙 연결부(81)로부터 중앙 입력부(61)로 안정적으로 인가된다.The current applied from the X-ray tube
이와 같이, 전원 입력부(60)에 인가된 전류는 중앙 입력부(61)와 필라멘트(11)에 연결된 중앙 전극(14)과 외주 입력부(63)에 연결되어 있는 지지와이어(15) 중 하나와 필라멘트(11)에 연결된 외주 전극(16)으로 인하여, 필라멘트(11)로 인가된다.The current applied to the
필라멘트(11)는 연결되어 있는 중앙 전극(14)과 외주 전극(16)을 통해 전류가 인가되면, 전기저항에 의해 열과 열전자를 방출시키게 된다.When the
이렇게 방출된 열전자는 집속렌즈(13)에 의해 양극부(20)의 타겟부(211)로 유도되며, 음극부(10)와 양극부(20) 양단간에 걸려있는 전압차에 따라 가속되어 전자빔을 형성한다.The emitted thermoelectron is guided to the
형성된 전자빔은 집속렌즈(13)에 의해 집속되어 타겟부(211)에 충돌하고 충돌된 전자에너지는 타겟부(211)에서 엑스선의 형태로 변환되어, 타겟부(211)는 엑스선을 방출시키게 된다.The formed electron beam is converged by the focusing
그리고, 타겟부(211)에서 발생된 엑스선은 엑스선 투과율이 우수한 엑스선 창(212)을 통해 외부로 방사되고, 외부로 방사된 엑스선은 공기를 전리시켜 이온화하며, 이온화된 공기는 대전체의 하전을 중화시켜 정전기를 제거한다.The X-rays generated in the
또한, 본 예에 따른 광이오나이저의 필라멘트(11)의 사용 시간이 설정 시간에 이르러 사전 유지보수 계획에 따라, 교체형 엑스선관(100)을 분리하여 교체하는 경우, 먼저 외부로부터 전원 연결부(80)에 인가되는 전원은 차단된다.When the use time of the
사용자가 전원 연결부(80)에 교체형 엑스선관(100)의 반대쪽으로 힘을 가하여 전원 연결부(80)를 전원 입력부(60)와 절연 튜브(84)로부터 분리시킨다.The user applies force to the
그리고, 케이스(70)와 플랜지(31)를 연결시키고 있는 나사(72)를 풀어 케이스(70)에 연결된 플랜지(31)를 분리시켜, 교체형 엑스선관(100)을 케이스(70)로부터 분리시킨다.Then, the
이미 설명한 것처럼, 절연 튜브(84)는 세라믹 튜브(50)와 결합된 상태로 이용되므로, 사용된 교체형 엑스선관(100)과 함께 교체되나, 이와는 달리, 사용자에 의하여 사용된 교체형 엑스선관(100)의 세라믹 튜브(50)로부터 분리되어 새로운 교체형 엑스선관(100)의 세라믹 튜브(50)에 결합시켜 재사용될 수 있다.As already described, the insulating
다음으로, 새로운 교체형 엑스선관(100)의 플랜지(31)에 형성된 나사 홈(33)과 케이스(70)에 형성된 나사 홈(71)을 서로 대응되게 위치하도록 하고, 나사(72)를 이용하여 케이스(70)에 플랜지(31)를 고정시켜, 새로운 교체형 엑스선관(100)를 케이스(70)에 결합시킨다.Next, the
그리고, 전원 연결부(80)를 교체형 엑스선관(100)의 상측에 위치시키고 교체형 엑스선관(100)의 하측으로 밀게되면 중심핀(811)의 돌출된 하단부터 공간(6111)의 내측으로 삽입되고, 외부 연결부(83)의 하단은 중앙 입력부(61)의 외측을 향하여 이동하여 중앙 입력부(61)의 외측을 따라 미끄러지며, 절연재(82)의 하부면이 중앙 입력부(61)의 상부면과 접하게 된다.When the
이와 같이 절연재(82)의 하부면이 중앙 입력부(61)의 상부면과 접할 때, 외주 연결부(83)는 외주 입력부(63)를 에워싸게 되고, 중앙 연결부(81)는 공간(6111)에 삽입되어 중심부(611)와 접하게 된다.When the lower surface of the insulating
이와 같이, 사용자에 의하여 교체형 엑스선관(100)은 전원 연결부(80) 및 케이스(70)와 용이하게 착탈된다.In this manner, the
따라서, 본 발명의 한 실시예에 따른 광이오나이저는 교체형 엑스선관(100)만을 사용자가 용이하게 교체하여 사용할 수 있으므로, 유지 보수를 위한 비용을 감소시키고, 반영구적인 엑스선관 전원장치와 주변 부자재들을 계속 사용할 수 있게 하여 불필요한 산업폐기물의 발생을 줄이므로, 환경 보전에 도움이 된다.Accordingly, since the optical ionizer according to the embodiment of the present invention can be used by replacing only the
이상에서 본 발명의 실시예에 대하여 상세하게 설명하였지만 본 발명의 권리범위는 이에 한정되는 것은 아니고 다음의 청구범위에서 정의하고 있는 본 발명의 기본 개념을 이용한 당 업자의 여러 변형 및 개량 형태 또한 본 발명의 권리범위에 속하는 것이다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiments, but, on the contrary, Of the right.
100, 100a: 엑스선관 10, 10a: 음극부
20, 20a: 양극부 21: 엑스선 투과부
30: 케이스 결합부 31: 플랜지
32: 완충링 연결부 40: 완충링
50: 세라믹 튜브 60: 전원 입력부
61, 61a: 중앙 입력부 63, 63a: 외주 입력부
80: 전원 연결부 81: 중앙 연결부
82: 절연재 83: 외주 연결부
84: 절연 튜브 87: 몰딩부100, 100a:
20, 20a: anode part 21: x-ray transmission part
30: Case coupling portion 31: Flange
32: buffer ring connection part 40: buffer ring
50: ceramic tube 60: power input part
61, 61a: a
80: power connection part 81: central connection part
82: Insulation material 83:
84: Insulation tube 87: Molding part
Claims (13)
상기 전원 입력부와 연결되어 있고 상기 전원 입력부로부터 전원을 인가받아 열전자를 방출시키는 음극부,
상기 음극부에서 방출된 열전자와의 충돌로 인해 엑스선을 방출시키는 양극부, 그리고
상기 양극부와 연결되어 있는 세라믹 튜브
를 포함하고,
상기 전원 입력부는,
상기 음극부와 연결되어 있고, 가운데 부분에 빈 공간이 형성되어 있는 중앙 입력부,
상기 중앙 입력부의 일측을 에워싸고 있는 절연부, 그리고
상기 절연부와 연결되어 있고 상기 중앙 입력부의 일측을 에워싸고 있으며 상기 음극부와 연결되어 있는 외주 입력부
를 포함하고,
상기 음극부는,
상기 중앙 입력부와 연결되어 있는 중앙 전극,
상기 중앙 전극과 이격되어 있는 외주 전극,
상기 중앙 전극과 상기 외주 전극에 연결되어 있고 상기 중앙 전극과 상기 외주 전극으로부터 전류가 인가되어 적외선을 방출시키는 필라멘트,
상기 필라멘트와 이격되어 있고, 상기 필라멘트에서 방출된 적외선에 의해 가열되며, 열전자를 방출시키는 코팅물질이 코팅되어 있는 보호부,
상기 보호부를 에워싸고 있고 상기 코팅물질에서 방출된 열전자를 상기 양극부로 유도하고, 상기 코팅물질에서 발생된 전자빔을 집속시키는 집속렌즈,
상기 집속렌즈 및 상기 외주 입력부와 연결되어 있는 적어도 하나의 지지와이어, 그리고
상기 보호부와 연결되어 있는 복수의 고정와이어
를 포함하는
교체형 엑스선관.A power input unit for receiving power from the outside,
A cathode unit connected to the power input unit and receiving power from the power input unit to emit the thermoelectrons,
An anode portion for emitting X-rays due to collision with the thermoelectrons emitted from the cathode portion, and
And a ceramic tube
Lt; / RTI >
The power input unit includes:
A central input unit connected to the cathode unit and having a hollow space formed in the center thereof,
An insulation part surrounding one side of the center input part, and
An outer peripheral input part connected to the insulating part and surrounding one side of the center input part and connected to the cathode part,
Lt; / RTI >
The cathode section
A central electrode connected to the central input unit,
An outer peripheral electrode spaced apart from the center electrode,
A filament which is connected to the center electrode and the outer circumferential electrode and is supplied with current from the center electrode and the outer circumferential electrode to emit infrared rays,
A protector spaced apart from the filament, the protector being heated by infrared rays emitted from the filament and coated with a coating material for emitting thermoelectrons,
A condenser lens surrounding the protective portion and guiding the thermoelectrons emitted from the coating material to the anode portion and focusing the electron beam generated from the coating material,
At least one support wire connected to the focusing lens and the outer circumferential input section, and
And a plurality of fixed wires
Containing
Replaceable X-ray tube.
상기 중앙 입력부와 상기 외주 입력부는 KOVAR나 Alloy42로 이루어진 교체형 엑스선관.The method of claim 1,
Wherein the center input unit and the outer input unit are KOVAR or Alloy.
상기 코팅물질은 텅스텐보다 일함수가 낮은 물질인 토륨(3.4eV), 바륨(2.52~2.7eV) 세슘(2.14eV), 란탄(3.5eV), 스트론튬(2.59eV), 사마륨(2.7eV) 및 칼슘(2.87eV)중 적어도 하나로 이루어진 교체형 엑스선관.
The method of claim 1,
The coating material is selected from the group consisting of thorium (3.4 eV), barium (2.52-2.7 eV) cesium (2.14 eV), lanthanum (3.5 eV), strontium (2.59 eV), samarium (2.87 eV).
상기 교체형 엑스선관의 상기 중앙 입력부와 연결되는 중앙 연결부 및 상기 교체형 엑스선관의 상기 외주 입력부와 연결되는 외주 연결부를 구비하고 있으며, 상기 교체형 엑스선관과 착탈 가능하게 연결되는 전원 연결부
를 포함하고,
상기 교체형 엑스선관의 상기 음극부는,
상기 중앙 입력부와 연결되어 있는 중앙 전극,
상기 중앙 전극과 이격되어 있고 필라멘트와 연결되어 있는 외주 전극,
상기 중앙 전극과 상기 외주 전극에 연결되어 있고 상기 중앙 전극과 상기 외주 전극으로부터 전류가 인가되어 적외선을 방출시키는 필라멘트,
상기 필라멘트와 이격되어 있고, 상기 필라멘트에서 방출된 적외선에 의해 가열되며, 열전자를 방출시키는 코팅물질이 코팅되어 있는 보호부,
상기 보호부를 에워싸고 있고 상기 코팅물질에서 방출된 열전자를 양극부로 유도하고, 상기 코팅물질에서 발생된 전자빔을 집속시키는 집속렌즈,
상기 집속렌즈 및 상기 외주 입력부와 연결되어 있는 적어도 하나의 지지와이어, 그리고
상기 보호부와 연결되어 있는 복수의 고정와이어
을 포함하는
광이오나이저.A cathode unit connected to the power input unit and receiving power from the power input unit to emit a thermoelectromagnet, an anode unit for emitting X-rays due to collision with the thermoelectrons emitted from the cathode unit, A center input portion including a ceramic tube connected to the anode portion, the power input portion being connected to the cathode portion, and a hollow space being formed in a middle portion thereof; an insulating portion surrounding one side of the center input portion; A replaceable x-ray tube connected to the central input part and having an outer peripheral input part surrounding one side of the central input part and connected to the cathode part, and
A central connecting part connected to the central input part of the replaceable X-ray tube, and an outer circumferential connecting part connected to the outer circumferential input part of the replaceable X-ray tube, wherein the power connecting part is detachably connected to the replaceable X-
Lt; / RTI >
Wherein the cathode portion of the replaceable x-
A central electrode connected to the central input unit,
An outer circumferential electrode spaced apart from the center electrode and connected to the filament,
A filament which is connected to the center electrode and the outer circumferential electrode and is supplied with current from the center electrode and the outer circumferential electrode to emit infrared rays,
A protector spaced apart from the filament, the protector being heated by infrared rays emitted from the filament and coated with a coating material for emitting thermoelectrons,
A condenser lens surrounding the protective portion and guiding the thermoelectrons emitted from the coating material to the anode portion and focusing the electron beam generated from the coating material,
At least one support wire connected to the focusing lens and the outer circumferential input section, and
And a plurality of fixed wires
Containing
Light ionizer.
상기 전원 연결부는 상기 중앙 연결부의 일측에 위치하고 있고 상기 중앙 입력부와 접하게 되는 절연재, 그리고
상기 절연재, 상기 중앙 연결부 및 상기 외주 연결부의 일측에 연결되어 있는 몰딩부
를 포함하는 광이오나이저.8. The method of claim 7,
Wherein the power connection part is located at one side of the central connection part and is in contact with the central input part,
A molding part connected to one side of the insulating material, the central connecting part, and the outer circumferential connecting part,
/ RTI >
상기 중앙 입력부와 상기 외주 입력부는 KOVAR나 Alloy42로 이루어진 교체형 엑스선관을 포함하는 광이오나이저.8. The method of claim 7,
Wherein the central input unit and the outer input unit include a replaceable x-ray tube made of KOVAR or Alloy.
상기 코팅물질은 텅스텐보다 일함수가 낮은 물질인 토륨(3.4eV), 바륨(2.52~2.7eV) 세슘(2.14eV), 란탄(3.5eV), 스트론튬(2.59eV), 사마륨(2.7eV) 및 칼슘(2.87eV)중 적어도 하나로 이루어진 광이오나이저.8. The method of claim 7,
The coating material is selected from the group consisting of thorium (3.4 eV), barium (2.52-2.7 eV) cesium (2.14 eV), lanthanum (3.5 eV), strontium (2.59 eV), samarium (2.87 eV).
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