KR101505319B1 - Mask fixing apparatus - Google Patents

Mask fixing apparatus Download PDF

Info

Publication number
KR101505319B1
KR101505319B1 KR1020130115051A KR20130115051A KR101505319B1 KR 101505319 B1 KR101505319 B1 KR 101505319B1 KR 1020130115051 A KR1020130115051 A KR 1020130115051A KR 20130115051 A KR20130115051 A KR 20130115051A KR 101505319 B1 KR101505319 B1 KR 101505319B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
mask
insertion hole
present
coupled
cross
Prior art date
Application number
KR1020130115051A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
손지희
서용기
Original Assignee
현대제철 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 현대제철 주식회사 filed Critical 현대제철 주식회사
Priority to KR1020130115051A priority Critical patent/KR101505319B1/en
Application granted granted Critical
Publication of KR101505319B1 publication Critical patent/KR101505319B1/en

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N1/00Sampling; Preparing specimens for investigation
    • G01N1/28Preparing specimens for investigation including physical details of (bio-)chemical methods covered elsewhere, e.g. G01N33/50, C12Q
    • G01N1/36Embedding or analogous mounting of samples
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24GRINDING; POLISHING
    • B24BMACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B41/00Component parts such as frames, beds, carriages, headstocks
    • B24B41/06Work supports, e.g. adjustable steadies
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N23/00Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
    • G01N23/22Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material
    • G01N23/225Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material using electron or ion

Abstract

The present invention comprises: a first body having a first insertion hole wherein a mask is inserted; and a second body connected to a lower portion of the first body, having a second insertion hole for the extension of the first insertion hole, and fixing the mask so that an end portion of the mask inserted into the second insertion hole can protrude.

Description

마스크 고정 장치{Mask fixing apparatus}Mask fixing apparatus

본 발명은 마스크 고정 장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 마스크의 재사용을 위하여 구비된 연마장치에 마스크를 고정시키도록 하는 마스크 고정 장치에 관한 것이다.
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a mask fixing apparatus, and more particularly, to a mask fixing apparatus for fixing a mask to a polishing apparatus provided for reuse of the mask.

일반적으로, 이온빔을 사용하여 시편의 단면을 평가하기 위한 C.P(Cross section Polisher) 가공 시, 시편의 손상 방지 및 안정적인 가공 품질을 확보하기 위하여 마스크가 사용된다.Generally, a mask is used to prevent damage to the specimen and to ensure stable processing quality when processing a cross section polisher (C.P) for evaluating the cross section of the specimen using an ion beam.

이때, 상기 마스크는 이온빔에 의해 표면에 손상이 발생하는 경우 폐기하여 다른 마스크를 사용하여야 한다.At this time, if the surface of the mask is damaged by ion beam, it should be discarded and another mask should be used.

따라서, 상기 마스크의 1회성 사용으로 인하여 시편의 단면 평가 시 많은 비용이 발생하기 때문에, 상기 마스크를 재사용하도록 하는 것이 중요하다.Therefore, it is important to allow the mask to be reused, because a large cost is incurred in the evaluation of the cross section of the specimen due to the one-time use of the mask.

본 발명과 관련된 선행 문헌으로는 대한민국 등록실용 제20-0280367호(등록일 : 2002.06.19)가 있으며, 상기 선행문헌에는 수동 연마를 위한 시편 고정장치에 대한 기술이 개시된다.
A prior art related to the present invention is Korean Registered Patent Application No. 20-0280367 (registered on Jun. 19, 2002), and the prior art discloses a technique for a sample fixing device for manual polishing.

본 발명의 목적은, 마스크의 재사용을 위하여 구비된 연마장치에 마스크를 고정시키도록 하는 마스크 고정 장치를 제공함에 있다.
An object of the present invention is to provide a mask holding device for holding a mask in a polishing apparatus provided for reuse of the mask.

본 발명에 따른 마스크 고정 장치는 마스크가 삽입되는 제1삽입 홀이 형성되는 제1몸체 및 상기 제1몸체의 하부에 결합되고, 상기 제1삽입 홀이 연장되도록 제2삽입 홀이 형성되며, 상기 제2삽입 홀에 삽입된 상기 마스크의 일단부가 돌출되도록 상기 마스크를 고정시키는 제2몸체를 포함하는 것을 특징으로 한다.The mask fixing apparatus according to the present invention comprises a first body formed with a first insertion hole into which a mask is inserted, a second insertion hole formed to be coupled to a lower portion of the first body, And a second body for fixing the mask so that one end of the mask inserted into the second insertion hole is protruded.

여기서, 상기 제2몸체는 외주면에서 상기 제2삽입 홀과 연결되도록 형성되고, 체결부재의 체결을 통해 상기 마스크의 위치를 고정시키도록 상기 설치되는 체결 홈을 구비한다.Here, the second body is formed to be connected to the second insertion hole on the outer circumferential surface, and has a coupling groove provided to fix the position of the mask through fastening of the fastening member.

이때, 상기 제2몸체는 상부면에서 연장되어 형성되고, 외주면에 나사산이 돌출 형성되어 상기 제1몸체 하부면에 회전을 통해 결합되도록 설치되는 결합부를 구비한다.At this time, the second body is formed to extend from the upper surface, and a coupling portion is formed to protrude on the outer circumferential surface and to be coupled to the lower surface of the first body through rotation.

그리고, 상기 제1몸체는 상기 제1삽입 홀에 복수의 마스크가 삽입되도록 형성된다.The first body is formed to insert a plurality of masks into the first insertion holes.

또한, 상기 제2몸체는 상기 제1몸체에 교체 가능하도록 결합되고, 복수개로 구비된다.In addition, the second body is coupled to the first body so as to be replaceable, and a plurality of the second bodies are provided.

한편, 상기 제2몸체는 상기 제1몸체와 서로 다른 재질을 가지며 결합되고, 상기 마스크 보다 연질로 형성된다.
Meanwhile, the second body may be formed of a material different from that of the first body and may be formed to be softer than the mask.

본 발명은, 이온빔에 의한 시편의 손상을 방지하도록 구비되는 마스크를 고정시켜 손상된 부분에 대한 연마가 이루어지도록 함으로써, 상기 마스크의 재사용을 가능하게 하는 효과를 갖는다.The present invention has the effect of enabling the reuse of the mask by fixing the mask provided to prevent damage of the specimen by the ion beam so that the damaged portion is polished.

그에 따라, 본 발명은 상기 마스크의 재사용이 가능하기 때문에, 시편의 단면을 평가하는 실험 시 사용되는 마스크의 구입 비용을 절감할 수 있는 효과를 갖는다.
Accordingly, since the mask can be reused, the present invention has the effect of reducing the purchase cost of the mask used in the experiment for evaluating the cross section of the specimen.

도 1 은 본 발명에 따른 마스크 고정 장치를 개략적으로 보여주는 단면도이다.
도 2 는 본 발명에 따른 마스크 고정 장치에 대한 결합을 보여주는 단면도이다.
도 3 은 본 발명에 따른 마스크 고정 장치에 대한 마스크의 고정을 보여주는 단면도이다.
도 4 는 본 발명에 따른 마스크 고정 장치에 대한 마스크의 삽입을 보여주는 하부 단면도이다.
도 5 는 본 발명에 따른 마스크 고정 장치에 대한 교체를 보여주는 단면도이다.
1 is a cross-sectional view schematically showing a mask holding apparatus according to the present invention.
FIG. 2 is a cross-sectional view showing a coupling to a mask holding apparatus according to the present invention.
3 is a cross-sectional view showing the fixing of the mask to the mask holding apparatus according to the present invention.
4 is a bottom cross-sectional view showing the insertion of a mask for a mask holding apparatus according to the present invention.
5 is a cross-sectional view showing the replacement of the mask holding apparatus according to the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하면서 본 발명에 따른 바람직한 실시 예를 상세히 설명하기로 한다.
Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것을 달성하는 방법은 첨부된 도면과 함께 상세하게 후술 되어 있는 실시 예들을 참조하면 명확해질 것이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The advantages and features of the present invention and the manner of achieving it will become apparent with reference to the embodiments described in detail below with reference to the accompanying drawings.

그러나, 본 발명은 이하에 개시되는 실시 예들에 의해 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시 예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.It should be understood, however, that the present invention is not limited to the embodiments disclosed herein but may be embodied in many different forms and should not be construed as limited to the embodiments set forth herein. Rather, these embodiments are provided so that this disclosure will be thorough and complete, To fully disclose the scope of the invention to those skilled in the art, and the invention is only defined by the scope of the claims.

또한, 본 발명을 설명함에 있어 관련된 공지 기술 등이 본 발명의 요지를 흐리게 할 수 있다고 판단되는 경우 그에 관한 자세한 설명은 생략하기로 한다.
In the following description, well-known functions or constructions are not described in detail since they would obscure the invention in unnecessary detail.

도 1 은 본 발명에 따른 마스크 고정 장치를 개략적으로 보여주는 단면도이고, 도 2 는 본 발명에 따른 마스크 고정 장치에 대한 결합을 보여주는 단면도이며, 도 3 은 본 발명에 따른 마스크 고정 장치에 대한 마스크의 고정을 보여주는 단면도이다.FIG. 1 is a cross-sectional view schematically showing a mask fixing apparatus according to the present invention, FIG. 2 is a cross-sectional view showing a connection to a mask fixing apparatus according to the present invention, FIG. 3 is a cross- Fig.

도 1, 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 마스크 고정 장치는 제1몸체(100) 및 제2몸체(200)를 포함한다.As shown in FIGS. 1, 2 and 3, the mask fixing apparatus includes a first body 100 and a second body 200.

먼저, 상기 제1몸체(100)는 마스크(10)가 삽입되는 제1삽입 홀(110)이 형성된다.First, a first insertion hole 110 into which the mask 10 is inserted is formed in the first body 100.

즉, 상기 제1몸체(100)는 소정의 높이를 가지도록 형성되고, 상기 마스크(10)가 삽입되도록 제1삽입 홀(110)이 소정의 크기를 가지며 한 쌍으로 천공된다.That is, the first body 100 is formed to have a predetermined height, and the first insertion holes 110 have a predetermined size and are punched into a pair so that the mask 10 is inserted.

여기서, 상기 제1몸체(100)의 하부에는 후술 될 제2몸체(200)가 결합된다.Here, the second body 200, which will be described later, is coupled to the lower portion of the first body 100.

상기 제2몸체(200)에는, 상기 제1몸체(100)에 형성된 제1삽입 홀(110)이 하부로 연장되도록 하는 제2삽입 홀(210)이 형성된다.A second insertion hole 210 is formed in the second body 200 so that the first insertion hole 110 formed in the first body 100 extends downward.

상기 제2몸체(200)는, 상기 제1삽입 홀(110) 및 상기 제2삽입 홀(210)에 함께 삽입된 마스크(10)의 일단부가 돌출되도록 상기 마스크(10)의 일측을 고정시킨다.The second body 200 fixes one side of the mask 10 such that one end of the mask 10 inserted into the first insertion hole 110 and the second insertion hole 210 is protruded.

즉, 상기 제2몸체(200)는 기사용된 상기 마스크(10)의 재사용을 위하여 손상된 상기 마스크(10)의 일단부를 연마하는 경우, 상기 마스크(10)의 일단부가 상기 제2삽입 홀(210)의 하부면에서 소정의 길이를 가지며 돌출되도록 위치를 고정시킨다.That is, when polishing the one end of the mask 10 damaged for reuse of the used mask 10, the second body 200 may have one end of the mask 10 inserted into the second insertion hole 210 And has a predetermined length and is fixed to be protruded.

이를 위해, 상기 제2몸체(200)는 체결 홈(220)이 설치된다.To this end, the second body 200 is provided with a coupling groove 220.

상기 체결 홈(220)은, 상기 제2몸체(200)의 외주면에 천공되어 제2삽입 홀(210)과 연결되도록 형성된다.The coupling groove 220 is formed to be connected to the second insertion hole 210 by perforating the outer peripheral surface of the second body 200.

그리고, 상기 체결 홈(220)은 체결부재(300)의 체결을 통해 상기 제2삽입 홀(210) 상에 위치된 마스크(10)의 위치를 고정시키도록 설치된다.The coupling groove 220 is installed to fix the position of the mask 10 positioned on the second insertion hole 210 by fastening the coupling member 300.

여기서, 상기 체결부재(300)는 볼트 또는 핀 등으로 구비되어 상기 체결 홈(220)에 체결되도록 하는 것이 바람직하나, 상기 제2삽입 홀(210) 상에서 상기 마스크(10)의 위치를 고정시키는 목적을 가진 다른 부재로 형성될 수도 있다.It is preferable that the fastening member 300 is formed of a bolt or a pin so as to be fastened to the fastening groove 220. In order to fix the position of the mask 10 on the second insertion hole 210 As shown in Fig.

결과적으로, 마스크 고정 장치는 제1몸체(100)와 제2몸체(200)에 각각 형성된 제1삽입 홀(110) 및 제2삽입 홀(210)에 삽입된 마스크(10)의 위치를 상기 체결부재(300)를 통해 고정시킴으로써, 상기 마스크(10)의 일단부에 대한 연마를 효과적으로 수행할 수 있다.As a result, the mask fixing device can fix the position of the mask 10 inserted into the first insertion hole 110 and the second insertion hole 210 formed in the first body 100 and the second body 200, respectively, By fixing through the member 300, it is possible to effectively perform polishing on one end of the mask 10.

즉, 상기 마스크 고정 장치는 이온빔에 의한 시편(미도시)의 손상을 방지하도록 구비되는 상기 마스크(10)의 위치를 고정시켜 손상된 일단부에 대한 연마가 이루어지도록 함으로써, 상기 마스크의 재사용을 가능하게 한다.That is, the mask fixing apparatus fixes the position of the mask 10, which is provided to prevent damage of the specimen (not shown) by the ion beam, so that the damaged one end portion is polished so that the mask can be reused do.

그에 따라, 상기 마스크 고정 장치는 상기 마스크(10)의 재사용이 가능하기 때문에, 시편(미도시)의 단면을 평가하는 실험 시 사용되는 상기 마스크(10)의 구입 비용을 절감할 수 있다.
Accordingly, since the mask fixing apparatus can reuse the mask 10, it is possible to reduce the cost of purchasing the mask 10 used in an experiment for evaluating a cross section of a specimen (not shown).

한편, 도 2에 도시된 바와 같이, 제1몸체(100)와 제2몸체(200)는 분리 가능하도록 결합된다.Meanwhile, as shown in FIG. 2, the first body 100 and the second body 200 are detachably coupled.

이를 위해, 상기 제2몸체(200)에는 결합부(230)가 구비된다.For this purpose, the second body 200 is provided with a coupling part 230.

상기 결합부(230)는, 제2몸체(200)의 상부면에서 연장되어 형성되고, 외주면에 나사산이 돌출 형성되어 제1몸체(100) 하부면에 회전을 통해 결합되도록 설치된다.The coupling part 230 is formed to extend from the upper surface of the second body 200 and is formed so that a screw thread protrudes from the outer surface and is coupled to the lower surface of the first body 100 through rotation.

그리고, 상기 제1몸체(100)의 하부면의 내측으로는 상기 결합부(230)와 대응되는 나사산이 형성되어 상기 제2몸체(100)와 나사 결합되도록 한다.A thread corresponding to the coupling part 230 is formed on the inner side of the lower surface of the first body 100 to be screwed to the second body 100.

다시 말해, 상기 결합부(230)는 상기 제2몸체(200)의 상부면에서 상기 제1몸체(100) 보다 작은 직경으로 형성되고, 상기 제1몸체(200)에 삽입 및 회전 동작을 통해 나사 결합시켜 상기 제1몸체(100)와 상기 제2몸체(200)가 결합되도록 한다.In other words, the coupling portion 230 is formed on the upper surface of the second body 200 to have a diameter smaller than that of the first body 100, and is inserted into the first body 200, So that the first body 100 and the second body 200 are coupled to each other.

상기 제1몸체(200)와 상기 제2몸체(200)는, 상기와 같이 나사 결합될 수도 있으나, 상기 제1몸체(200)와 상기 제2몸체(200)를 함께 관통하는 결합 홀(미도시)를 천공한 후, 핀 등의 삽입을 통해 결합시킬 수도 있다.Although the first body 200 and the second body 200 may be screwed as described above, the first body 200 and the second body 200 may be coupled to each other through a coupling hole ) May be drilled and then bonded through a pin or the like.

여기서, 제1몸체(100)와 상기 제2몸체(200)는 결합 후에 제1삽입 홀(110)과 제2삽입 홀(120)의 위치가 일치하도록 결합되는 것이 바람직하다.Here, it is preferable that the first body 100 and the second body 200 are coupled so that the positions of the first insertion holes 110 and the second insertion holes 120 match after the coupling.

이때, 상기 제2몸체(200)는 상기 제1몸체(100)와 다른 재질을 가지며 서로 나사 결합된다.At this time, the second body 200 has a material different from that of the first body 100 and is screwed to each other.

즉, 상기 제2몸체(200)는 티타늄 재질로 형성된 마스크(10) 보다 연질로 형성되고, 상기 제1몸체(100)는 금속으로 형성되는 것이 바람직하다.That is, the second body 200 is formed to be softer than the mask 10 made of titanium, and the first body 100 is formed of metal.

이는, 별도의 연마기(미도시)를 통해 상기 마스크(10)의 일단부를 연마하는 경우, 상기 제2몸체(200)가 함께 연마될 수 있기 때문에, 상기 제2몸체(200)의 파편으로 인한 상기 마스크(10)의 손상을 방지하기 위하여 상기 제2몸체(200)의 재질을 상기 마스크(10) 보다 연질로 형성되도록 한다.This is because when the one end of the mask 10 is polished through a separate polishing machine (not shown), the second body 200 can be polished together, In order to prevent damage to the mask 10, the material of the second body 200 is formed to be softer than the mask 10.

또한, 상기 마스크(10) 보다 연질로 형성된 상기 제2몸체(200)를 통해 체결 홈(220)의 천공 등 상기 제2몸체(200)의 가공성을 향상시킬 수 있다.
In addition, the workability of the second body 200, such as the punching of the coupling groove 220, can be improved through the second body 200 formed to be softer than the mask 10.

이하, 도 4 는 본 발명에 따른 마스크 고정 장치에 대한 마스크의 삽입을 보여주는 하부 단면도이다.4 is a bottom cross-sectional view illustrating the insertion of a mask into the mask holding apparatus according to the present invention.

도 4에 도시된 바와 같이, 마스크 고정 장치는 복수개의 마스크(10)의 일단부를 한번에 연마하여, 효과적으로 상기 마스크(10)의 재사용을 가능하게 한다.As shown in Fig. 4, the mask fixing apparatus polishes one end of a plurality of masks 10 at a time, thereby enabling the mask 10 to be effectively reused.

즉, 제1몸체(100)에 형성된 제1삽입 홀(110)은 소정의 크기를 가지도록 한 쌍으로 형성되고, 상기 한 쌍의 제1삽입 홀(110) 중 하나의 제1삽입 홀(110)에는 5개의 상기 마스크(10)가 삽입될 수 있다.That is, the first insertion holes 110 formed in the first body 100 are formed in a pair so as to have a predetermined size, and one of the first insertion holes 110 The five masks 10 can be inserted.

여기서, 상기 제1삽입 홀(110)의 크기는 설정이 가능할 수 있으며, 그에 따라 상기 제1삽입 홀(110)로 삽입되는 상기 마스크(10)의 개수도 설정될 수 있다.Here, the size of the first insertion hole 110 may be set, and the number of the masks 10 inserted into the first insertion hole 110 may be set.

따라서, 상기 마스크 고정 장치는 상기 한 쌍의 제1삽입 홀(110) 각각에 5개씩 총 10개의 상기 마스크(10)가 삽입되도록 함으로써, 동시에 10개의 상기 마스크(10)의 일단부가 연마기(미도시)에 의해 연마되도록 한다.Accordingly, the mask fixing apparatus can insert ten (10) masks 10 in each of the pair of first insertion holes 110, one at each end of the ten masks 10, ).

그에 따라, 상기 마스크 고정 장치는 상기 마스크(10)의 일단부에 대한 연마 시 한번의 연마로 인하여 많은 개수의 상기 마스크(10)를 효과적으로 재사용할 수 있도록 한다.
Accordingly, the mask fixing apparatus can effectively reuse a large number of the masks 10 due to a single polishing at the time of polishing the one end of the mask 10.

이하, 도 5 는 본 발명에 따른 마스크 고정 장치에 대한 교체를 보여주는 단면도이다.5 is a cross-sectional view illustrating the replacement of the mask holding apparatus according to the present invention.

도 5에 도시된 바와 같이, 마스크 고정 장치는 분리 가능하도록 결합된 제1몸체(100)와 제2몸체(200)에서 상기 제2몸체(200)를 상기 제1몸체(100)에 교체 가능하도록 결합시킨다.5, the mask fixing device includes a first body 100 detachably coupled to the first body 100 and a second body 200 coupled to the first body 100 so that the second body 200 can be replaced with the first body 100 .

즉, 제1삽입 홀(110)과 제2삽입 홀(210)에 함께 삽입된 마스크(10)의 일단부에 대한 연마 시 상기 제2몸체(200) 또한 함께 연마될 수 있기 때문에, 상기 제2몸체(200)는 상기 제1몸체(100)에 대하여 교체가 가능할 수 있다.That is, since the second body 200 can also be polished together with the first insert hole 110 and the second insert hole 210 when polishing the one end of the mask 10, The body 200 may be replaceable with respect to the first body 100.

이를 위해, 상기 제2몸체(200)는 복수개 구비되며, 상기 제2몸체(200)의 손상 시에 다른 제2몸체(200')로 교체된다.For this, a plurality of the second bodies 200 are provided, and when the second bodies 200 are damaged, the second bodies 200 'are replaced with another second bodies 200'.

따라서, 마스크 고정 장치는 제1몸체(100)에 대하여 상기 제2몸체(200)를 교체가능하도록 결합시켜, 상기 제2몸체(200)의 손상 시에도 교체를 통해 효과적으로 상기 마스크(100)의 일단부에 대한 연마가 이루어지도록 한다.
Therefore, the mask fixing device can replace the second body 200 with respect to the first body 100 to be replaceable, so that even when the second body 200 is damaged, So that polishing of the part is performed.

본 발명은, 이온빔에 의한 시편의 손상을 방지하도록 구비되는 마스크를 고정시켜 손상된 부분에 대한 연마가 이루어지도록 함으로써, 상기 마스크의 재사용을 가능하게 하는 효과를 갖는다.The present invention has the effect of enabling the reuse of the mask by fixing the mask provided to prevent damage of the specimen by the ion beam so that the damaged portion is polished.

그에 따라, 본 발명은 상기 마스크의 재사용이 가능하기 때문에, 시편의 단면을 평가하는 실험 시 사용되는 마스크의 구입 비용을 절감할 수 있는 효과를 갖는다.
Accordingly, since the mask can be reused, the present invention has the effect of reducing the purchase cost of the mask used in the experiment for evaluating the cross section of the specimen.

이상의 본 발명은 도면에 도시된 실시 예(들)를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형이 이루어질 수 있으며, 상기 설명된 실시예(들)의 전부 또는 일부가 선택적으로 조합되어 구성될 수도 있다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 청구범위의 기술적 사상에 의해 정해여야 할 것이다.
While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is evident that many modifications may be made thereto, It will be understood that all or some of the elements (s) may be optionally constructed in combination. Accordingly, the true scope of the present invention should be determined by the technical idea of the appended claims.

10 : 마스크 100 : 제1몸체
110 : 제1삽입 홀 200 : 제2몸체
210 : 제2삽입 홀 220 : 체결 홈
230 : 결합부 300 : 체결부재
10: mask 100: first body
110: first insertion hole 200: second body
210: second insertion hole 220: fastening groove
230: engaging portion 300: engaging member

Claims (6)

마스크가 삽입되는 제1삽입 홀이 형성되는 제1몸체; 및
상기 제1몸체의 하부에 결합되고, 상기 제1삽입 홀이 연장되도록 제2삽입 홀이 형성되며, 상기 제2삽입 홀에 삽입된 상기 마스크의 일단부가 돌출되도록 상기 마스크를 고정시키는 제2몸체;를 포함하고,
상기 제2몸체는,
외주면에서 상기 제2삽입 홀과 연결되도록 형성되고, 체결부재의 체결을 통해 상기 마스크의 위치를 고정시키도록 설치되는 체결홈을 구비하고, 제1몸체와 서로 다른 재질을 가지며 결합되고, 상기 체결 홈의 가공이 용이하도록 상기 마스크 보다 연질로 형성되고, 상기 제1몸체에 교체가능하도록 결합되며, 복수개로 구비되는 것을 특징으로 하는 마스크 고정 장치.
A first body having a first insertion hole into which a mask is inserted; And
A second body coupled to a lower portion of the first body and having a second insertion hole for extending the first insertion hole and fixing the mask so that one end of the mask inserted into the second insertion hole projects; Lt; / RTI >
The second body may include:
And a fastening groove formed to be connected to the second insertion hole on the outer circumferential surface and fixed to the position of the mask through fastening of the fastening member, the first fastening groove having a different material from the first fastening body, Wherein the first mask is formed to be softer than the mask so that the mask can be easily processed, and the first mask is replaceably coupled to the first mask.
삭제delete 제1항에 있어서,
상기 제2몸체는,
상부면에서 연장되어 형성되고, 외주면에 나사산이 돌출 형성되어 상기 제1몸체 하부면에 회전을 통해 결합되도록 설치되는 결합부를 구비하는 것을 특징으로 하는 마스크 고정 장치.
The method according to claim 1,
The second body may include:
And a coupling portion formed to extend from an upper surface and having a thread formed on an outer circumferential surface thereof to be coupled to the lower surface of the first body through rotation.
제1항에 있어서,
상기 제1몸체는,
상기 제1삽입 홀에 복수의 마스크가 삽입되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 마스크 고정 장치.
The method according to claim 1,
The first body may include:
And a plurality of masks are formed to be inserted into the first insertion holes.
삭제delete 삭제delete
KR1020130115051A 2013-09-27 2013-09-27 Mask fixing apparatus KR101505319B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020130115051A KR101505319B1 (en) 2013-09-27 2013-09-27 Mask fixing apparatus

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020130115051A KR101505319B1 (en) 2013-09-27 2013-09-27 Mask fixing apparatus

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR101505319B1 true KR101505319B1 (en) 2015-03-23

Family

ID=53028364

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020130115051A KR101505319B1 (en) 2013-09-27 2013-09-27 Mask fixing apparatus

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101505319B1 (en)

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR950003859Y1 (en) * 1991-12-30 1995-05-17 포항종합제철 주식회사 Sample fixing device for grinding
JPH08107033A (en) * 1994-10-03 1996-04-23 Murata Mfg Co Ltd Work fixing jig and method for polishing work using that jig
KR20040036406A (en) * 2002-10-25 2004-04-30 삼성전자주식회사 Apparatus for fixing specimen and Apparatus for grinding specimen of including thereof
JP3829042B2 (en) * 2000-03-15 2006-10-04 フジノン株式会社 Work support for polishing equipment

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR950003859Y1 (en) * 1991-12-30 1995-05-17 포항종합제철 주식회사 Sample fixing device for grinding
JPH08107033A (en) * 1994-10-03 1996-04-23 Murata Mfg Co Ltd Work fixing jig and method for polishing work using that jig
JP3829042B2 (en) * 2000-03-15 2006-10-04 フジノン株式会社 Work support for polishing equipment
KR20040036406A (en) * 2002-10-25 2004-04-30 삼성전자주식회사 Apparatus for fixing specimen and Apparatus for grinding specimen of including thereof

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EA201792012A1 (en) USE OF ALKALINE FLUSHING SOLUTIONS DURING CHROMATOGRAPHY FOR REMOVAL OF IMPURITIES
RU2003106459A (en) CLAMPING DEVICE WITH CLIPPING CARTRIDGE AND ATTACHED IN IT TAIL
BR112017023397A2 (en) process and grinding machine for grinding workpiece internal and external contours in a
DE602006008819D1 (en) TOOL FOR MACHINE MACHINING OF COMPOSITE MATERIAL PARTS
CR9865A (en) ELIMINATION OF FLUORIDE IONS FROM WATER SOLUTIONS
TWI605891B (en) Tool pot for chain
KR101505319B1 (en) Mask fixing apparatus
US20130228460A1 (en) Holder for workpieces to be electroplated
US9770798B2 (en) Mechanism for positioning a workpiece
JP3195155U (en) Desorption tool
CN104275629B (en) A kind of axle class grinds little pore process and device
USD764360S1 (en) Steering knuckle for a driving apparatus
US20170021432A1 (en) Firmly assembled high-precision cutter holder
JP5815461B2 (en) Fixed member and cutting tool
KR100975718B1 (en) Head change type hemmer
KR101670688B1 (en) A device for mounting a magnetic stand for collimator
USD764359S1 (en) Steering knuckle for a driving apparatus
KR20150076695A (en) Holder apparatus for specimen in polishing machine
USD755687S1 (en) Steering knuckle for a driving apparatus
CN103752902B (en) Passenger vehicle handrail punching positioning tool
KR101882804B1 (en) sleeve of inner diameter and cutting tool with the same sleeve
KR200460541Y1 (en) A jig for clamping of specimen
RU2377100C1 (en) Drill tool
DE502008001227D1 (en) Method for scanning the contour of spectacle-detecting openings and device for scanning the contour of spectacle-detecting openings for the peripheral grinding of spectacle lenses
CN104842290A (en) Clamping part detachable tweezer

Legal Events

Date Code Title Description
E701 Decision to grant or registration of patent right
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180308

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190214

Year of fee payment: 5