KR101502338B1 - Portable device for calibrating mass flow controller - Google Patents

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KR101502338B1
KR101502338B1 KR20140116400A KR20140116400A KR101502338B1 KR 101502338 B1 KR101502338 B1 KR 101502338B1 KR 20140116400 A KR20140116400 A KR 20140116400A KR 20140116400 A KR20140116400 A KR 20140116400A KR 101502338 B1 KR101502338 B1 KR 101502338B1
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mass flow
flow controller
air
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compressed air
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안양기
이용
최지철
장희수
한상우
이창
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한국환경공단
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Abstract

The present invention relates to a device for calibrating a mass flow controller that is connected to the mass flow controller to supply air of constant flow rate, and then evaluate and calibrate an error in performance of the mass flow controller. The device includes: a compressor; a compressed air stabilizer for adjusting temperature and pressure of air and eliminating impurities; a gas flow calibrator for supplying a constant flow rate to a mass flow controller and inspecting an error of the mass flow controller; a pressure control valve for controlling the pressure of the air supplied to the gas flow calibrator; and a control unit for controlling temperature, pressure and flow rate of the air and calibrating the mass flow controller according to the error inspected by the gas flow calibrator.

Description

이동용 질량유량조절기 교정장치 {PORTABLE DEVICE FOR CALIBRATING MASS FLOW CONTROLLER}Technical Field [0001] The present invention relates to a portable mass flow controller,

본 발명은 대기 가스 측정기 등 가스 성분을 분석하는 측정기에 측정 대상 가스를 공급하는데 사용되는 질량유량조절기를 현장에서 교정하기 위한 교정장치에 관한 것이다.
The present invention relates to a calibration apparatus for in-situ calibration of a mass flow controller used for supplying a gas to be measured to a measuring instrument for analyzing a gas component such as an atmospheric gas measuring instrument.

일반적으로 대기 오염 자동 측정소에서는 대기의 오염물질을 농도를 측정하여 데이터베이스화하여 기상청 등 공공기관 및 미디어에 제공하거나, 실시간으로 공공에 디스플레이 한다. In general, the air pollution measuring station measures the concentration of pollutants in the air and provides it to the public institutions such as the Korea Meteorological Administration and the media by measuring the concentration.

이러한 가스상 측정기는 주기적으로 질량유량조절기를 통해 교정을 실시하기 위해 고농도의 메인가스를 제로에어가스(건가스)로 희석(약100배)하여 저농도로 만든 후 교정을 실시 해야 한다. 이러한 교정을 위하여, 메인가스와 제로에어가스의 유량을 일정하게 제어할 필요가 있으며, 이를 위해 질량유량조절기 (Mass Flow Controller: MFC)를 이용한다. In order to calibrate the gaseous analyzer periodically through the mass flow controller, a high concentration of the main gas should be diluted (about 100 times) with zero air gas (dry gas) to make it low concentration and then calibrated. For this calibration, it is necessary to control the flow rate of the main gas and the zero air gas constantly, and a mass flow controller (MFC) is used for this purpose.

측정 현장에 사용되는 측정기용 질량유량조절기는 바이패스 유체의 온도를 일정하게 유지하여야 하기 때문에, 일정한 열량을 계속 주입해야 하므로 통상 유입구 측에 열을 공급하기 위한 코일이 구비된다. Since the mass flow controller for the measuring instrument used in the measuring field must keep the temperature of the bypass fluid constant, a coil for supplying heat to the inlet side is normally provided since a certain amount of heat must be continuously injected.

바이패스 유량은 약 1% 이하의 유량이므로 바이패스 유로는 얇은 관으로 이루어진다. 따라서, 이물질에 의해 필터가 막힐 수 있다. 또한, 이러한 이물질이 낀 상태에서 코일의 열이 계속적으로 전달되면 코일이 과열 되어 오작동 될 수 있다. 또한, 대기오염을 측정하기 위한 측정소에 사용되는 질량유량조절기의 경우에는 바람, 비, 먼지 등과 같은 기상 조건 및 자동차 소음, 진동 등에 의해 균열이 발생하거나 위치가 이탈되면서 오작동 할 수 있는 문제점이 있다. Since the bypass flow rate is about 1% or less, the bypass flow path is made of a thin tube. Therefore, the filter can be clogged by the foreign matter. Further, if the heat of the coil is continuously transmitted in the state where the foreign matter is stuck, the coil may overheat and malfunction. Also, in the case of a mass flow controller used in a measuring station for measuring air pollution, cracks may occur due to weather conditions such as wind, rain, dust, automobile noise, vibration, or the like.

이러한 질량유량조절기의 측정오차를 보정하기 위하여 주기적으로 질량유량조절기를 교정(calibration)하여야 한다. The mass flow controller should be calibrated periodically to correct the measurement error of these mass flow controllers.

통상적으로 질량유량조절기를 교정하기 위해서는 도 1에 도시된 바와 같이, 측정소에서 질량유량조절기(1)를 탈거하여 질량유량조절기 교정장치를 통해 교정하게 된다. Usually, in order to calibrate the mass flow controller, as shown in FIG. 1, the mass flow controller 1 is removed from the measuring station and calibrated through the mass flow controller calibration device.

종래의 질량유량조절기 교정장치는 질량유량조절기(1)의 상태를 측정하고 정확한 교정을 위하여 희석된 제조가스(이하, "공급가스"라 함)를 질량유량조절기(1)에 공급하여 그 공급된 유량과 질량유량조절기(1)가 제어하는 유량이 동일한지 비교하여 질량유량조절기(1)를 교정한다. The conventional mass flow controller calibration apparatus measures the state of the mass flow controller 1 and supplies the diluted production gas (hereinafter referred to as "supply gas") to the mass flow controller 1 for accurate calibration, The mass flow controller (1) is calibrated by comparing the flow rate controlled by the mass flow controller (1).

공급가스는 건 가스(dry air)이며, 온도가 일정하고 압력변동이 없이 공급되는 것이 바람직하다. 따라서, 질량유량조절기 교정장치는 공급가스를 고압으로 압축하는 압축기(10), 공급기에서 수분을 제거하기 위하여 응축기(21) 및 제습기(22)로 이루어진 제습부(20), 공급가스의 온도를 일정하게 유지하기 위한 열교환기(30) 및 제습부(20) 및 열교환기(30)를 통과하면서 압력이 변화될 수 있기 때문에 열교환기(30)에는 큰용량(200리터 이상)의 압력탱크(40)가 연결되어, 하류로 유체의 압력이 일정해질 수 있도록 한다. 압력탱크(40)는 기체유량교정시스템(60)와 제어밸브(50)로 연결되며, 기체유량교정시스템 (60)에서 질량유량조절기(1)로 음속 이상의 속도로 유체를 공급하여 질량유량조절기(1)를 통과하는 유체의 압력이 일정하게 유지되게 한다. Preferably, the feed gas is dry air and is supplied at a constant temperature and without pressure fluctuations. Accordingly, the mass flow controller calibration apparatus comprises a compressor 10 for compressing the feed gas to a high pressure, a dehumidifying section 20 composed of a condenser 21 and a dehumidifier 22 for removing water from the feeder, (200 liters or more) pressure tank 40 is provided in the heat exchanger 30 because the pressure can be changed while passing through the heat exchanger 30, the dehumidifier 20, So that the pressure of the fluid can be kept constant downstream. The pressure tank 40 is connected to the gas flow rate calibration system 60 and the control valve 50 and supplies the gas at a speed higher than the speed of sound to the mass flow controller 1 in the gas flow rate calibration system 60, 1 to be constant.

제어밸브(50), 기체유량교정시스템 (60)의 상류단(62) 및 하류단(63)은 제어부(70)와 연결되어, 공급가스의 압력 및 온도가 체크되며, 공급가스의 상태에 따라 제어밸브(50)가 제어된다. The upstream end 62 and the downstream end 63 of the control valve 50 and the gas flow rate calibration system 60 are connected to the controller 70 to check the pressure and temperature of the feed gas, The control valve 50 is controlled.

기체유량교정시스템 (60)의 상류단(62)에서 하류단(63) 사이는 소닉노즐(61)로 연결되어 공급가스를 음속이상으로 가속시켜 유체의 비압축성 특성에 따라 기체유량교정시스템(60)의 하류단(63)에서 질량유량조절기(1)로 공급되는 공급가스의 유량을 일정하게 한다. Between the upstream end 62 and the downstream end 63 of the gas flow rate calibration system 60 is connected by a sonic nozzle 61 to accelerate the feed gas above the sonic velocity to produce a gas flow rate calibration system 60, The flow rate of the supply gas supplied from the downstream end 63 of the mass flow controller 1 to the mass flow controller 1 is made constant.

따라서, 기체유량교정시스템(60)에서 공급한 유량과 질량유량조절기(1)에서 제어한 유량을 비교하여, 질량유량조절기(1)의 오차를 제어하는 것이다. Therefore, the flow rate supplied from the gas flow rate calibration system 60 is compared with the flow rate controlled by the mass flow rate controller 1 to control the error of the mass flow rate controller 1.

전술한 종래기술에 따른 질량유량조절기 교정시스템은 제습부(20)와 열교환기(30)가 별도로 구비되며, 고용량의 압력탱크(40)를 구비하여야 하기 때문에 시스템의 부피가 크기 때문에, 특정 위치에 고정설치 될 수 밖에 없다. 따라서, 질량유량조절기를 주기적으로 교정하기 위하여 현장의 가스 측정기에 사용되는 질량유량조절기(1)를 탈거하여 수집한 후 교정하여야 하기 때문에, 교정이 끝날 때까지 동안 가스 측정기의 사용이 중단되는 문제점이 있었다. The mass flow controller calibration system according to the related art has a dehumidifying unit 20 and a heat exchanger 30 separately and is required to have a high pressure tank 40 so that the volume of the system is large. It can not but be fixed. Therefore, in order to periodically calibrate the mass flow controller, it is necessary to remove the mass flow controller (1) used in the gas meter in the field, there was.

또한, 질량유량조절기를 기체유량교정시스템까지 운반 이동 하여야 하기 때문에, 운반 및 관리에 어려움이 있었다.
Also, since the mass flow controller has to be transported to the gas flow calibration system, it has difficulties in transportation and management.

본 발명은 상기와 같은 제반 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 단순하고 경량화된 질량유량조절기 교정시스템을 제공함으로써, 해당 시스템을 이동식으로 형성하여, 현장에서 질량유량조절기를 교정할 수 있는 질량유량조절기 교정시스템을 제공하는데 그 목적이 있다.
It is an object of the present invention to provide a simple and light weight mass flow controller calibrating system, which can solve the above problems and provide a mass flow controller A calibration system is provided.

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 외부 공기를 흡인하여 공급하는 압축기와, 상기 압축기에서 공급된 압축공기의 온도 및 압력을 조절하고 불순물을 제거하는 압축공기안정화장치와, 상기 압축공기안정화장치를 거친 공기를 상기 질량유량조절기에 일정한 유량으로 공급한 후 상기 질량유량조절기의 오차를 검사하는 기체유량교정장치와, 상기 압축공기안정화장치에서 상기 기체유량교정장치에 공급되는 공기의 압력을 일정하게 제어하는 압력제어밸브와, 상기 압축공기안정화장치 및 기체유량교정장치를 통과하는 공기의 온도, 압력 및 유량을 제어하고, 상기 기체유량교정장치에서 검사된 오차에 따라 질량유량조절기를 교정하는 제어부를 포함하는 질량유량조절기 교정장치를 제공한다. According to an aspect of the present invention, there is provided an air conditioner comprising: a compressor for sucking and supplying outside air; a compressed air stabilizer for adjusting temperature and pressure of compressed air supplied from the compressor and removing impurities; A gas flow rate correcting device for supplying air having a predetermined flow rate to the mass flow rate regulator and inspecting an error of the mass flow rate regulator; And a control unit for controlling the temperature, pressure and flow rate of the air passing through the compressed air stabilizer and the gas flow rate correcting apparatus and correcting the mass flow controller according to the error detected by the gas flow rate correcting apparatus And a mass flow controller.

상기 압축공기안정화장치의 상류에는 제1 유량제어밸브가 구비되어 압축공기안정화장치에 공급되는 공기의 유량을 제어하고, 상기 압축공기 안정화장치의 하류에는 제2 유량제어밸브가 구비되어 상기 압력제어밸브로 공급되는 공기의 유량을 제어하는 것이 바람직하다. A first flow control valve is provided upstream of the compressed air stabilization device to control a flow rate of air supplied to the compressed air stabilization device and a second flow control valve is provided downstream of the compressed air stabilization device, It is preferable to control the flow rate of the air supplied to the < / RTI >

상기 압축공기안정화장치는, 그 내부에 상기 공기의 유로가 형성되고, 상기 유로에 열을 제공하는 열교환기인 것이 바람직하며, 상기 압축공기 안정화장치에는 상기 공기와 독립적으로 유동하면서 상기 유로와 열접촉하는 유체의 열교환유로가 더 구비될 수 있다. Preferably, the compressed air stabilizing device is a heat exchanger in which the air flow path is formed therein and provides heat to the flow path. In the compressed air stabilization device, A heat exchange channel of the fluid may be further provided.

상기 유로는 복수개의 U자관이 직렬적으로 연결되어 이루어지며, 복수개의 필터가 직렬적으로 배치될 수 있다. 이때, 상기 필터는 하나 이상의 제습필터, 하나 이상의 질산화물 제거필터, 하나 이상의 황산화물 제거필터를 포함하는 것이 바람직하다. The flow path is formed by connecting a plurality of U-shaped tubes in series, and a plurality of filters may be arranged in series. Preferably, the filter includes at least one dehumidification filter, at least one deoxidation filter, and at least one desulfurization filter.

상기 유로는 주름형성된 금속관으로 이루어진 것이 바람직하다.
It is preferable that the flow path is formed of a corrugated metal pipe.

전술한 바와 같은 본 발명에 따르면, 질량유량조절기 교정시스템을 경량화하여 이동시킬 수 있기 때문에, 질량유량조절기를 교정 장소까지 운반하고 관리하는 과정을 줄일 수 있는 효과가 있다. According to the present invention as described above, since the mass flow controller calibration system can be lightened and moved, it is possible to reduce the process of conveying and managing the mass flow controller to the calibration place.

또한, 본 발명에 따르면, 현장에서 질량유량조절기를 교정한 후 바로 가스 측정기를 가동할 수 있기 때문에, 질량유량조절기 교정을 위한 중단 시간을 현저히 줄일 수 있는 효과가 있다.
Further, according to the present invention, since the gas measuring device can be operated immediately after the mass flow controller is calibrated in the field, the downtime for calibrating the mass flow controller can be remarkably reduced.

도 1은 종래기술에 따른 질량유량조절기 교정시스템을 도시한 블록도,
도 2는 본 발명에 따른 질량유량조절기 교정시스템을 도시한 블록도,
도 3은 도 2의 질량유량조절기 교정시스템에서 압축공기 안정화 장치를 도시한 개념도이다. 1 is a block diagram illustrating a mass flow controller calibration system in accordance with the prior art,
Figure 2 is a block diagram illustrating a mass flow controller calibration system in accordance with the present invention;
3 is a conceptual diagram showing a compressed air stabilization device in the mass flow controller calibration system of FIG.

본 발명의 실시형태는 여러 가지의 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 이하 설명하는 실시형태로만 한정되는 것은 아니다. 도면에서의 요소들의 형상 및 크기 등은 보다 명확한 설명을 위해 과장될 수 있으며, 도면상의 동일한 부호로 표시되는 요소는 동일한 요소이다. The embodiments of the present invention can be modified into various other forms, and the scope of the present invention is not limited to the embodiments described below. The shape and the size of the elements in the drawings may be exaggerated for clarity and the same elements are denoted by the same reference numerals in the drawings.

그리고 명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 "연결"되어 있다고 할 때 이는 "직접적으로 연결"되어 있는 경우뿐만 아니라 그 중간에 다른 소자를 사이에 두고 "전기적으로 연결"되어 있는 경우도 포함한다. 또한, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함" 또는 "구비"한다고 할 때, 이는 특별이 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함하거나 구비할 수 있는 것을 의미한다. And throughout the specification, when a part is referred to as being "connected" to another part, it includes not only "directly connected" but also "electrically connected" with another part in between. Furthermore, when a component is referred to as being "comprising" or "comprising", it is to be understood that this does not exclude other components, do.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 기체유량교정장치를 상세히 설명한다. Hereinafter, a gas flow rate correction apparatus according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 질량유량조절기 교정시스템은 현장 대기를 압축하여 공급하는 압축기(110)와, 압축기(110)에서 공급된 압축공기를 기존 제조가스와 같이 안정화 시키도록, 제습하고 오염물질을 제거하며, 동시에 온도를 제어하는 압축공기안정화장치(140)와, 압축기(110)에서 압축공기안정화장치(140)에 공급되는 공기의 유량을 제어하기 위한 제1 유량제어밸브(121)와, 압축공기안정화장치(140)에서 배출되는 공기의 유량을 제어하는 제2 유량제어밸브(122)와, 제2 유량제어밸브(122)를 통해 공급된 공기의 압력을 제어하는 압력제어밸브(160)와, 압력제어밸브(160)를 통해 일정한 압력의 공기를 공급받아 음속 이상의 속도로 가속하여 질량유량조절기(1) 측으로 일정 압력 및 온도를 유지한 일정유량의 공기를 제공하는 기체유량교정장치(170)와, 압축공기안정화장치를 통과하는 공기의 온도 및 압력을 측정하여 제1 및 제2 유량제어밸브(121, 122)의 개방 정도를 조절하고 기체유량교정장치(170)에서의 공기 압력 및 온도를 측정하여 압력제어밸브(160)를 제어하며 기체유량교정장치 (170)에서 질량유량조절기(1)로 공급된 공기의 양과 질량유량조절기에서 제어하는 공기의 양을 확인하여 질량유량조절기(1)를 교정하는 제어부(180)를 포함한다. 2, the mass flow controller calibration system according to the present invention includes a compressor 110 for compressing and supplying the on-site atmosphere, a compressor 110 for compressing the compressed air supplied from the compressor 110, A compressed air stabilizer 140 for dehumidifying, removing contaminants and controlling the temperature at the same time, and a first flow control valve (not shown) for controlling the flow rate of the air supplied to the compressed air stabilizer 140 in the compressor 110 A second flow control valve 122 for controlling the flow rate of the air discharged from the compressed air stabilization device 140 and a pressure control valve 122 for controlling the pressure of the air supplied through the second flow control valve 122, A valve 160 and a pressure control valve 160 to supply air of a constant pressure and accelerate at a speed higher than a sonic speed to provide a constant flow rate of air maintained at a constant pressure and temperature to the mass flow controller 1, Calibration device 170 And the temperature and pressure of the air passing through the compressed air stabilization device are controlled to adjust the opening degree of the first and second flow control valves 121 and 122 and to adjust the air pressure and temperature in the gas flow rate correcting device 170 And controls the pressure control valve 160. The amount of air supplied to the mass flow controller 1 from the gas flow rate correcting device 170 and the amount of air to be controlled by the mass flow controller are checked to determine the mass flow controller 1, And a control unit 180 for calibrating the output signal.

제2 유량제어밸브(122)를 통해 공급된 유량을 압력조절밸브(122)를 통해 다시 한번 압력을 조절하기 때문에 별도의 압력탱크 없이 기체유량교정장치 (170)에 공급되는 공기의 압력을 일정하게 공급할 수 있다. Since the pressure of the flow rate supplied through the second flow control valve 122 is regulated again through the pressure regulating valve 122, the pressure of the air supplied to the gas flow rate correcting device 170 is maintained at a constant level Can supply.

기체유량교정장치 (170)는 종래와 마찬가지로 상류단(172) 및 하류단(173) 및 소닉노즐(171)을 구비하며, 종래기술의 기체유량교정시스템보다는 용량은 적을 수 있으나, 동일한 이론으로 작동하는 것이므로 상세한 설명은 생략한다. The gas flow rate correction apparatus 170 has an upstream end 172 and a downstream end 173 and a sonic nozzle 171 as in the prior art and may have a capacity smaller than the prior art gas flow rate calibration system, And therefore detailed description thereof will be omitted.

도 3에 도시된 바와 같이, 압축공기안정화장치(140)는 일종의 열교환기이며, 공기의 열교환과 동시에 제습 및 오염물질제거가 동시에 수행된다. As shown in FIG. 3, the compressed air stabilization device 140 is a kind of heat exchanger, and at the same time, dehumidification and contaminant removal are performed simultaneously with air heat exchange.

따라서, 압축공기안정화장치(140)는 경량화 및 현장사용조건을 모두 충족시키기 위하여, 압축기에서 공급된 대기가스가 유동하도록 복수개의 U자 관이 연결된 형상의 유로(141)가 형성되고, 유로(141)에 주변으로 열교환용 유체가 통과하도록 유체유입부(142) 및 유체유출구(143)가 형성된다. 예컨데, 유체유입부(142)와 유체유출구(143)에 팬이 형성되어 압축공기안정화장치(140) 내부로 뜨거운 공기가 유입되고, 상기 공기가 유로(141)와 접촉하며 열교환 후 화살표 방향으로 이동 후 유출된다. 이를 통해 유로를 통과하는 공기의 온도가 조절된다. 유로는 주름관이 형성된 금속재질로 이루어져 열교환 면적을 증대시켜 열교환 효율을 극대화할 수 있다. 또한, 표면적 증가를 위하여 유로를 병렬로 형성할 수도 있다. Therefore, the compressed air stabilizing device 140 is provided with a flow path 141 having a shape in which a plurality of U-shaped tubes are connected to flow the atmospheric gas supplied from the compressor in order to satisfy both the weight saving and the field use conditions, The fluid inlet 142 and the fluid outlet 143 are formed so as to allow the heat exchange fluid to pass around. For example, a fan is formed in the fluid inlet 142 and the fluid outlet 143 to introduce hot air into the compressed air stabilizer 140, and the air contacts the flow passage 141, . This controls the temperature of the air passing through the flow path. The flow path is made of a metal material having a corrugated tube, thereby increasing the heat exchange area and maximizing heat exchange efficiency. Further, the flow paths may be formed in parallel for increasing the surface area.

본 발명의 질량유량조절기 교정장치는 가스측정기가 설치된 현장에서 사용되어야 하기 때문에, 공급가스를 사용하기 어렵고, 대기 가스를 사용한다. 표준 공급가스와 유사한 조건(건공기)을 만들어주어야 한다. 따라서, 대기가스에 포함된 공기외의 오염물질을 제거할 필요가 있다. 따라서, 상기 유로(141)에는 제습필터(150), 질산화물(NOx)제거필터(151), 황산화물(SOx)제거필터(152), 오존(O3)제거필터(153) 등이 설치된다. 상기 필터들은 제습 및 오염물질 제거를 위한 통상의 흡착제, 촉매, 환원제 등이 사용될 수 있다. 예컨데, 실리카겔, 제오라이트계열촉매, 퓨라필필터, 활성탄 등을 사용할 수 있다. Since the mass flow controller calibration apparatus of the present invention must be used in a field where a gas measuring instrument is installed, it is difficult to use a supply gas, and atmospheric gas is used. Conditions similar to the standard feed gas (gun air) should be made. Therefore, it is necessary to remove contaminants other than air contained in the atmospheric gas. Therefore, a dehumidifying filter 150, a NOx removing filter 151, a SO x removing filter 152, an ozone (O 3 ) removing filter 153, and the like are installed in the flow path 141 . The filters may be conventional adsorbents, catalysts, reducing agents, and the like for dehumidification and contaminant removal. For example, silica gel, zeolite-based catalyst, purafil filter, activated carbon and the like can be used.

본 실시예에서 통상 야외 대기의 주요 오염물질을 제거하기 위한 필터들을 구비하였으나, 이에 한정되지는 않는다. 더 정밀한 교정을 위해서는 더 많은 종류의 필터를 연결할 수도 있다. In the present embodiment, filters for removing main pollutants in outdoor air are usually provided, but the present invention is not limited thereto. You can connect more types of filters for more precise calibration.

또한, 상기 유로(141)에서 상기 촉매구간은 탈부착 가능하게 하여 필터 열화시 교환 가능하게 할 수 있다. In addition, the catalytic section in the flow path 141 can be detachably attached and exchanged when the filter deteriorates.

이러한 필터를 통과하면서 압축기를 통과한 공기의 압력 및 온도가 변화될 수 있다. 이러한 온도 및 압력은 유로입구 및 제2 유량제어밸브에 부착된 센서(143, 123)를 통해 제어부(180)에서 실시간으로 체크되며, 이를 통해 제1 및 제2 유량제어밸브 및 압력제어밸브(160)를 제어한다. The pressure and temperature of the air passing through the compressor can be changed while passing through the filter. These temperatures and pressures are checked in real time in the controller 180 through the sensors 143, 123 attached to the flow inlet and the second flow control valve, through which the first and second flow control valves and the pressure control valves 160 ).

전술한 바와 같은 구성에 따라, 종래에 응축기, 제습기, 열교환 기 및 압력탱크의 무게가 약 250Kg 내지 400Kg 이던 것을 최종 유량을 10L/min 수준(대기연속자동측정기에서의 질량유량조절기 최대 유량)으로 구성한 압축공기안정화장치(140)의 무게는 15Kg 으로 줄일 수 있다. 따라서, 종래의 유량조절기 교정시스템은 전체 무게가 약 350Kg 내지 500Kg 이어서 고정형으로 설치될 수 밖에 없었으나, 본 실시예서는 그 유량 정도를 10L/min 정도로 하여 시스템을 구성한 경우 50Kg 수준으로 휴대가 가능한 정도가 되었다. 따라서, 현장에서 질량유량조절기 교정이 가능하기 때문에, 질량유량조절기 교정을 위하여 가스측정기 작동 중단 시간을 현저히 줄일 수 있다. According to the structure described above, the weight of the condenser, the dehumidifier, the heat exchanger, and the pressure tank was conventionally about 250 kg to 400 kg, and the final flow rate was set to 10 L / min (the maximum flow rate of the mass flow controller in the continuous automatic meter) The weight of the compressed air stabilization device 140 can be reduced to 15 kg. Accordingly, the conventional flow regulator calibration system has a total weight of about 350 Kg to 500 Kg, so that it can not be installed in a fixed form. However, in the present embodiment, when the flow rate is about 10 L / min, . Thus, since it is possible to calibrate the mass flow regulator in the field, it is possible to significantly reduce the gas analyzer downtime for mass flow regulator calibration.

이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 도면에 의하여 한정되는 것이 아니고, 본 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어서 명백할 것이다.
It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the invention. Will be apparent to those of ordinary skill in the art.

1: 질량유량조절기 10, 110: 압축기
20: 제습부 21: 응축기
22: 제습기 30: 열교환기
40: 압력탱크 50: 제어밸브
60: 기체유량시험기 70, 180: 제어부
121, 122: 유량제어밸브 140: 압축공기안정화장치
160: 압력제어밸브 170: 기체유량교정장치1: mass flow controller 10, 110: compressor
20: dehumidifying part 21: condenser
22: dehumidifier 30: heat exchanger
40: pressure tank 50: control valve
60: gas flow rate tester 70, 180:
121, 122: Flow control valve 140: Compressed air stabilization device
160: Pressure control valve 170: Gas flow rate correcting device

Claims (9)

질량유량조절기에 연결되어 일정한 유량의 공기를 공급한 후 질량유량조절기의 성능오차를 교정하는 질량유량조절기 교정장치에 있어서,
외부 공기를 흡인하여 공급하는 압축기와,
상기 압축기에서 공급된 압축공기의 온도 및 압력을 조절하고 불순물을 제거하는 압축공기안정화장치와,
상기 압축공기안정화장치를 거친 공기를 상기 질량유량조절기에 일정한 유량으로 공급한 후 상기 질량유량조절기의 오차를 검사하는 기체유량교정장치와,
상기 압축공기안정화장치에서 상기 기체유량교정장치에 공급되는 공기의 압력을 일정하게 제어하는 압력제어밸브와,
상기 압축공기안정화장치 및 기체유량교정장치를 통과하는 공기의 온도, 압력 및 유량을 제어하고, 상기 기체유량교정장치에서 검사된 오차에 따라 질량유량조절기를 교정하는 제어부를 포함하되,
상기 압축공기안정화장치는, 그 내부에 상기 공기의 유로가 형성되고, 상기 유로에 열을 제공하는 열교환기이고,
상기 유로는 복수개의 U자관이 직렬적으로 연결되어 이루어지며, 복수개의 필터가 직렬적으로 배치되는
질량유량조절기 교정장치.
1. A mass flow controller calibration device connected to a mass flow controller for calibrating a performance error of a mass flow controller after supplying a constant flow rate of air,
A compressor for sucking and supplying outside air,
A compressed air stabilization device for adjusting the temperature and pressure of the compressed air supplied from the compressor and removing impurities,
A gas flow rate correcting device for inspecting an error of the mass flow controller after supplying air having passed through the compressed air stabilizer at a constant flow rate to the mass flow controller,
A pressure control valve for constantly controlling the pressure of the air supplied to the gas flow rate correcting device in the compressed air stabilization device,
And a controller for controlling the temperature, pressure, and flow rate of air passing through the compressed air stabilization device and the gas flow rate correction device, and calibrating the mass flow controller according to the error detected by the gas flow rate correction device,
Wherein the compressed air stabilization device is a heat exchanger in which the air flow path is formed therein and which provides heat to the flow path,
The flow path includes a plurality of U-shaped tubes connected in series, and a plurality of filters are arranged in series
Mass flow controller calibration device.
청구항 1에 있어서,
상기 압축공기안정화장치의 상류에는 제1 유량제어밸브가 구비되어 압축공기안정화장치에 공급되는 공기의 유량을 제어하고,
상기 압축공기 안정화장치의 하류에는 제2 유량제어밸브가 구비되어 상기 압력제어밸브로 공급되는 공기의 유량을 제어하는
질량유량조절기 교정장치.
The method according to claim 1,
A first flow control valve is provided upstream of the compressed air stabilizing device to control a flow rate of air supplied to the compressed air stabilizing device,
A second flow control valve is provided downstream of the compressed air stabilization device to control the flow rate of air supplied to the pressure control valve
Mass flow controller calibration device.
삭제delete 청구항 1에 있어서, 상기 압축공기 안정화장치에는 상기 공기와 독립적으로 유동하면서 상기 유로와 열접촉하는 유체의 열교환 유로가 더 구비된 질량유량조절기 교정장치.
The mass flow controller according to claim 1, wherein the compressed air stabilizing device further comprises a heat exchange channel for fluid that flows independently of the air and is in thermal contact with the flow channel.
삭제delete 청구항 1에 있어서, 상기 필터는 하나 이상의 제습필터를 포함하는 질량유량조절기 교정장치.
The apparatus of claim 1, wherein the filter comprises at least one dehumidification filter.
청구항 1에 있어서, 상기 필터는 하나 이상의 질산화물 제거필터를 포함하는 질량유량조절기 교정장치.
2. The apparatus of claim 1, wherein the filter comprises at least one nitrogen oxide removal filter.
청구항 1에 있어서, 상기 필터는 하나 이상의 황산화물 제거필터를 포함하는 질량유량조절기 교정장치.
The apparatus of claim 1, wherein the filter comprises at least one sulfur oxides removal filter.
청구항 1에 있어서, 상기 유로는 주름형성된 금속관으로 이루어진 질량유량조절기 교정장치.The mass flow controller according to claim 1, wherein the flow path comprises a corrugated metal tube.
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