KR101488806B1 - Substrate holder unit - Google Patents

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KR101488806B1
KR101488806B1 KR20130064124A KR20130064124A KR101488806B1 KR 101488806 B1 KR101488806 B1 KR 101488806B1 KR 20130064124 A KR20130064124 A KR 20130064124A KR 20130064124 A KR20130064124 A KR 20130064124A KR 101488806 B1 KR101488806 B1 KR 101488806B1
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Abstract

본 발명에 따른 기판 지지 유닛은 상부에 기판이 안착되는 지지 바디, 지지 바디 내에 삽입 설치된 삽입 부재, 일부가 지지 바디 내로 삽입되어, 삽입 부재와 전기적으로 연결된 로드, 일측이 로드의 상부와 연결되며, 타측이 삽입 부재가 위치한 방향으로 돌출된 돌기가 마련된 완충 부재, 일측에 완충 부재의 돌기가 삽입되는 홈이 마련되며, 타측이 삽입 부재와 접속되는 접속 부재를 포함한다.
따라서, 본 발명의 실시형태들에 의하면, 돌기를 가지는 완충 부재를 마련하고, 돌기를 접속 부재에 삽입하는 구조로 상기 완충 부재와 돌기를 접합 체결한다. 따라서, 완충 부재 및 접속 부재 간의 접속 부위의 면적이 종래에 비해 넓으며, 삽입 구조에 의해 기구적으로도 안정적인 결합 구조를 가진다. 따라서, 완충 부재와 접속 부재 간의 접합이 떨어지는 또는 분리되는 문제를 종래에 비해 줄일 수 있다.A substrate supporting unit according to the present invention includes a support body on which a substrate is mounted, an insertion member inserted into the support body, a rod inserted partly into the support body and electrically connected to the insertion member, And a connecting member having a cushioning member having a projection protruding in a direction in which the other end of the insertion member is disposed, a groove in which a protrusion of the cushioning member is inserted in one side, and a connecting member in which the other end is connected to the insertion member.
Therefore, according to the embodiments of the present invention, the cushioning member having the projection is provided, and the cushioning member and the projection are jointed and fastened by a structure in which the projection is inserted into the connection member. Therefore, the connecting area between the cushioning member and the connecting member has a larger area than in the prior art, and the connecting structure is mechanically stable by the insertion structure. Therefore, the problem that the bonding between the cushioning member and the connecting member is dropped or separated can be reduced as compared with the prior art.

Description

기판 지지 유닛{Substrate holder unit}[0001] Substrate holder unit [

본 발명은 기판 지지 유닛에 관한 것으로, 기판이 안치되는 지지 바디 내에 설치된 삽입 부재와, 상기 삽입 부재에 전원을 공급하는 로드 간의 접합 불량 문제를 줄일 수 있는 기판 지지 유닛에 관한 것이다.The present invention relates to a substrate supporting unit, and more particularly, to a substrate supporting unit capable of reducing a bonding failure problem between an insertion member provided in a support body in which a substrate is placed and a rod for supplying power to the insertion member.

반도체 제조 공정에서 사용되는 기판 처리 장치의 챔버 내부에는 상부에 기판을 안착시키고, 상기 기판을 가열하는 히터가 설치된다. 일반적인 히터는 한국공개특허 제2007-0096892호에도 개시된 바와 같이, 상부에 기판이 안착, 지지되는 지지 바디, 지지 바디 내부에 설치되어 상기 지지 바디를 가열하는 발열체, 일단이 발열체와 접속되어, 전원을 공급하는 로드(또는 급전재)를 포함한다. 또한, 도시되지는 않았지만, 지지 바디의 하부를 지지하도록 샤프트가 설치되며, 로드는 샤프트 내부를 관통하여 지지 바디 내에 설치된 발열체와 접합 된다. 이때, 일반적으로 로드는 니켈(Ni)로 이루어지고, 발열체는 몰리브덴(Mo)으로 이루어지며, 로드와 발열체는 브레이징(brazing) 방법으로 상호 접합된다.In a chamber of a substrate processing apparatus used in a semiconductor manufacturing process, a heater is provided for placing a substrate on an upper portion and heating the substrate. As a general heater, as disclosed in Korean Patent Publication No. 2007-0096892, a support body for supporting and supporting a substrate, a heating element for heating the supporting body installed inside the supporting body, a heating element connected to the heating element, And a load (or a power supply) to supply. Further, although not shown, a shaft is provided to support the lower portion of the support body, and the rod penetrates the shaft and is joined to a heating element provided in the support body. At this time, generally, the rod is made of nickel (Ni), the heating element is made of molybdenum (Mo), and the rod and the heating element are mutually bonded by a brazing method.

한편, 로드로 사용되는 니켈과 발열체로 사용되는 몰리브덴 간의 열팽창 계수의 차이가 커, 복수번의 공정 이후 로드와 발열체 간의 접합이 떨어지는 문제가 발생 된다. 즉, 기판의 가열을 위해 로드에 전력을 공급하거나, 다시 전력 공급을 종료하면, 로드 및 발열체가 가열되거나 냉각되며, 이로 인해 상기 로드 및 발열체가 팽창하거나 수축하는 일이 발생한다. 그런데, 로드와 발열체 간의 열팽창 계수의 차이가 커, 상기 로드 및 발열체 각각이 팽창 또는 수축되는 정도의 차이가 크며, 이는 로드와 발열체 사이에서 응력을 발생시키는 원인이 된다. 따라서, 일정 횟수의 공정이 진행되면 로드와 발열체 사이의 접합부에 응력에 의한 충격이 가중되어, 상기 로드와 발열체가 분리되는 문제가 발생 된다. 이에, 일정 횟수의 공정 이후, 로드와 발열체를 다시 접합시키는 보수 작업을 실시해야 하며, 이는 장비 가동율 및 생산율을 저하시키는 요인으로 작용한다.On the other hand, since the difference in thermal expansion coefficient between nickel used as a rod and molybdenum used as a heating element is large, there is a problem that the bonding between the rod and the heating body is reduced after a plurality of processes. That is, when the power is supplied to the rod for heating the substrate or the power supply is terminated again, the rod and the heating body are heated or cooled, thereby causing the rod and the heating body to expand or contract. However, the difference in thermal expansion coefficient between the rod and the heating element is large, and the degree of expansion or contraction of each of the rod and the heating element is large, which causes stress between the rod and the heating element. Therefore, when a predetermined number of processes are performed, the impact due to the stress is exerted on the joint between the rod and the heating element, and the rod and the heating element are separated from each other. Therefore, after a certain number of processes, it is necessary to carry out a repair work for re-joining the rod and the heating element, which causes a decrease in the operation rate and the production rate of the equipment.

이러한 열팽창 계수 차이로 인한 문제를 해결하기 위해, 종래에는 로드와 발열체를 직접 연결하지 않고, 상기 로드와 발열체 사이에 열팽창 계수 차이를 완충할 수 있는 별도의 부재를 설치하여 접속하는 방법이 사용되었다. 즉, 도 5에 도시된 바와 같이, 로드(42a)와 발열체(41b) 사이에 코바(kovar)로 이루어진 완충 부재(42b)와, 몰리브덴(Mo)으로 이루어진 접속 부재(42c)를 배치시켰다. 보다 상세하게는 로드(42a)의 상부에 코바(kovar)로 이루어지며, 블록 형상의 완충 부재(42b)를 접합시키고, 완충 부재(42b) 상부에 몰리브덴(Mo)으로 이루어지며 블록 형상의 접속 부재(42c)를 접합시켰다. 이때, 로드(42a)와 완충 부재(42b) 사이와, 완충 부재(42b)와 접속 부재(42c) 사이는 브레이징(brazing) 방법으로 접합되는 접합부(42e, 42f)이다.In order to solve the problem caused by the difference in the coefficient of thermal expansion, a method has been used in which a separate member capable of buffering the difference in thermal expansion coefficient between the rod and the heating element is connected and connected without directly connecting the rod and the heating element. 5, a cushioning member 42b made of a covar and a connecting member 42c made of molybdenum (Mo) are arranged between the rod 42a and the heating body 41b. More specifically, a block-shaped buffer member 42b is bonded to the upper portion of the rod 42a, and a buffer member 42b made of molybdenum (Mo) is formed on the buffer member 42b. (42c). At this time, between the rod 42a and the cushioning member 42b, and between the cushioning member 42b and the connecting member 42c are joint portions 42e and 42f which are joined by a brazing method.

그런데, 완충 부재(42b)의 상부면과 접속 부재(42c)의 하부면이 접합되는 데 있어서, 면과 면의 단순한 접합 구조로 인해, 상기 완충 부재(42b)와 접속 부재(42c) 간의 접합이 떨어지는 또는 분리되는 접합 불량 문제가 빈번히 발생한다. 또한, 완충 부재(42b)와 접속 부재(42c) 간의 접합 불량 면적이 어느 정도 수준으로 즉, 허용치를 벗어난 상태에서, 로드(42a)로 전원이 공급되면, 상기 완충 부재(42b)와 접속 부재(42c) 간의 접합 불량에 의해 아킹(arcing)이 발생된다. 그런데, 종래의 경우 완충 부재(42b)와 접속 부재(42c) 간이 접합되는 접속 면적(또는 접합 표면적)이 작기 때문에, 완충 부재(42b)와 접속 부재(42c) 간의 접합 불량 면적이 작더라도, 쉽게 아킹(arcing)이 발생된다. 따라서, 로드(42a)와 완충 부재(42b), 완충 부재(42b)와 접속 부재(42c), 접속 부재(42c)와 발열체(41b) 간을 접합시키는 보수 작업을 실시해야 하며, 이는 장비 가동율 및 생산율을 저하시키는 요인으로 작용한다.In the case where the upper surface of the cushioning member 42b and the lower surface of the connecting member 42c are joined to each other, the junction between the cushioning member 42b and the connecting member 42c, Loose or detached joining defects frequently occur. When power is supplied to the rod 42a in a state in which the connection defective area between the buffer member 42b and the connection member 42c is at a certain level, that is, outside the allowable range, the buffer member 42b and the connection member Arcing is caused by defective joining between the electrodes 42a and 42c. In the conventional case, since the connection area (or the bonding surface area) at which the buffer member 42b and the connection member 42c are joined is small, even if the defective connection area between the buffer member 42b and the connection member 42c is small, Arcing occurs. Therefore, it is necessary to carry out a maintenance work for bonding the rod 42a, the buffer member 42b, the buffer member 42b and the connection member 42c, and the connection member 42c and the heating element 41b, It is a factor for lowering the production rate.

한국공개특허 제2007-0096892호Korean Patent Publication No. 2007-0096892

본 발명은 기판 지지 유닛에 관한 것으로, 기판이 안치되는 지지 바디 내에 설치된 삽입 부재와, 상기 삽입 부재에 전원을 공급하는 로드 간의 접합 불량 문제를 줄일 수 있는 기판 지지 유닛을 제공한다.The present invention relates to a substrate supporting unit, and provides a substrate supporting unit capable of reducing a bonding failure problem between an insertion member provided in a support body in which a substrate is placed and a rod for supplying power to the insertion member.

또한, 본 발명은 삽입 부재와 로드 사이를 안정적으로 결합시킬 수 있는 기판 지지 유닛을 제공한다.Further, the present invention provides a substrate supporting unit capable of stably coupling between an insertion member and a rod.

본 발명에 따른 기판 지지 유닛은 상부에 기판이 안착되는 지지 바디; 상기 지지 바디 내에 삽입 설치된 삽입 부재; 일부가 상기 지지 바디 내로 삽입되어, 상기 삽입 부재와 전기적으로 연결된 로드; 일측이 상기 로드의 상부와 연결되며, 타측이 상기 삽입 부재가 위치한 방향으로 돌출된 돌기가 마련된 완충 부재; 일측에 상기 완충 부재의 돌기가 삽입되는 홈이 마련되며, 타측이 상기 삽입 부재와 접속되는 접속 부재;를 포함한다.The substrate supporting unit according to the present invention includes: a supporting body on which a substrate is placed; An insertion member inserted into the support body; A rod partly inserted into the support body and electrically connected to the insertion member; A buffer member having one side connected to the upper portion of the rod and the other side provided with a projection protruding in a direction in which the insertion member is located; And a connecting member having one side thereof with a groove into which the protrusion of the buffer member is inserted and the other side of which is connected to the insertion member.

상기 삽입 부재는 상기 지지 바디를 가열하는 발열체 및 플라즈마 발생을 위한 전극 중 어느 하나이다.The insertion member is any one of a heating element for heating the supporting body and an electrode for generating plasma.

상기 완충 부재는 일측이 상기 로드와 접합되는 몸체 및 상기 몸체의 타측으로부터 접속 부재가 위치한 방향으로 연장되어 돌출된 돌기를 포함하고, 상기 돌기는 상기 접속 부재에 마련된 홈으로 삽입되어, 상기 접속 부재의 내벽과 접속된다.Wherein the buffer member includes a body having one side thereof joined to the rod and a protrusion protruding from the other side of the body in a direction in which the connection member is located and the protrusion is inserted into a groove provided in the connection member, And is connected to the inner wall.

상기 돌기가 복수개로 마련되어, 상기 몸체의 폭 방향으로 나열되어 상호 이격 배치되며, 상기 접속 부재에는 상기 복수의 돌기가 각기 삽입되는 복수의 홈이 마련된다.A plurality of the protrusions are arranged in the width direction of the body and are spaced apart from each other, and the connection member is provided with a plurality of grooves into which the plurality of protrusions are inserted.

상기 돌기의 상면 및 측면, 상기 돌기 하부의 주위 영역인 상기 몸체의 상부면이 상기 접속 부재와 브레이징(brazing)에 의해 접합된다.The upper surface and the side surface of the projection, and the upper surface of the body, which is the peripheral region of the lower portion of the projection, are joined to the connecting member by brazing.

상기 삽입 부재는 몰리브덴(Mo)으로 이루어지고, 상기 로드는 니켈(Ni)로 이루어진다.The insertion member is made of molybdenum (Mo), and the rod is made of nickel (Ni).

상기 완충 부재는 코바(kovar)로 이루어지고, 상기 접속 부재는 몰리브덴(Mo)으로 이루어진다.The buffer member is made of kovar, and the connection member is made of molybdenum (Mo).

상기 지지 바디 내에 삽입되어, 적어도 상기 로드, 완충 부재의 외측면을 둘러싸도록 설치되는 결합 부재를 포함하고, 상기 지지 바디의 내벽 및 상기 결합 부재의 외측면 각각에는 나사홈 및 나사산을 가지는 체결 수단이 마련되어, 상기 지지 바디와 결합 부재가 상호 체결, 결합된다.And a coupling member inserted into the support body and provided so as to surround at least the outer surface of the rod and the buffer member, wherein fastening means having threaded grooves and threads are provided on the inner wall of the support body and the outer sides of the coupling member, And the support body and the engaging member are engaged with each other.

본 발명의 실시형태들에 의하면, 돌기를 가지는 완충 부재를 마련하고, 돌기를 접속 부재에 삽입하는 구조로 상기 완충 부재와 돌기를 접합 체결한다. 따라서, 완충 부재 및 접속 부재 간의 접속 부위의 면적이 종래에 비해 넓으며, 삽입 구조에 의해 기구적으로도 안정적인 결합 구조를 가진다. 따라서, 완충 부재와 접속 부재 간의 접합이 떨어지는 또는 분리되는 문제를 종래에 비해 줄일 수 있다. 또한, 일부 영역에 접합이 떨어지는 문제가 발생하더라도, 종래에 비해 접속 면적이 넓기 때문에, 종래와 같이 완충 부재와 접속 부재 간의 접속 면적이 적어 아킹(arcing)이 발생하는 문제를 줄일 수 있다. 이로 인해 삽입 부재와 전원 공급부 간의 전기적 접속 수명이 종래에 비해 연장되며, 기판 지지 유닛을 보수하는 작업 횟수 및 시간을 줄일 수 있다.According to the embodiments of the present invention, the cushioning member having the projection is provided, and the cushioning member and the projection are jointed and fastened to each other with the structure in which the projection is inserted into the connection member. Therefore, the connecting area between the cushioning member and the connecting member has a larger area than in the prior art, and the connecting structure is mechanically stable by the insertion structure. Therefore, the problem that the bonding between the cushioning member and the connecting member is dropped or separated can be reduced as compared with the prior art. In addition, even if a problem of falling of the junctions occurs in some regions, since the connection area is wider than that of the conventional art, the problem that arcing occurs due to a small connecting area between the buffer member and the connecting member as in the prior art can be reduced. As a result, the electrical connection life between the insertion member and the power supply unit is prolonged as compared with the prior art, and the number of times and time for repairing the substrate supporting unit can be reduced.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 기판 지지 유닛이 설치된 기판 처리 장치를 도시한 단면도
도 2는 도 1의 'A'부분의 확대도로서, 본 발명의 실시예에 따른 전원 공급 유닛과 삽입 부재가 연결된 모습을 도시한 단면도
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 완충 부재와 접속 부재를 도시한 단면도
도 4는 실시예의 변형예에 따른 완충 부재 및 접속 부재를 분리하여 도시한 단면도
도 5는 종래의 로드, 완충 부재, 접속 부재 및 삽입 부재(발열체) 간의 접합 구조를 도시한 단면도1 is a cross-sectional view showing a substrate processing apparatus provided with a substrate supporting unit according to an embodiment of the present invention
FIG. 2 is an enlarged view of a portion 'A' in FIG. 1, showing a cross-sectional view showing a state in which a power supply unit and an insertion member are connected according to an embodiment of the present invention.
3 is a cross-sectional view showing a cushioning member and a connecting member according to an embodiment of the present invention
Fig. 4 is a cross-sectional view showing a cushioning member and a connecting member according to a modification of the embodiment,
5 is a cross-sectional view showing a bonding structure between a conventional rod, a buffer member, a connecting member, and an insertion member (heating element)

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명하기로 한다. 그러나, 본 발명은 이하에서 개시되는 실시 예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시 예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. It should be understood, however, that the invention is not limited to the disclosed embodiments, but is capable of other various forms of implementation, and that these embodiments are provided so that this disclosure will be thorough and complete, It is provided to let you know completely.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 기판 지지 유닛이 설치된 기판 처리 장치를 도시한 단면도이다. 도 2는 도 1의 'A'부분의 확대도로서, 본 발명의 실시예에 따른 전원 공급 유닛과 삽입 부재가 연결된 모습을 도시한 단면도이다. 도 3은 본 발명의 실시예에 따른 완충 부재와 접속 부재를 도시한 단면도로서, 도 3a는 완충 부재와 접속 부재를 분리하여 도시한 단면도이고, 도 3b는 완충 부재와 접속 부재가 접합된 상태를 도시한 단면도이다.1 is a cross-sectional view illustrating a substrate processing apparatus provided with a substrate supporting unit according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is an enlarged view of a portion 'A' in FIG. 1, and is a cross-sectional view showing a state in which a power supply unit and an insertion member are connected according to an embodiment of the present invention. FIG. 3 is a cross-sectional view showing a cushioning member and a connecting member according to an embodiment of the present invention, wherein FIG. 3 (a) is a sectional view showing a cushioning member and a connecting member separated from each other, Fig.

본 발명의 실시예에 따른 기판 처리 장치는 기판(S) 상에 박막을 형성하거나, 기판 또는 박막을 식각하는 장치일 수 있다. 이러한 기판 처리 장치는 도 1에 도시된 바와 같이, 내부 공간을 가지는 챔버(100)와, 챔버(100) 내에 배치되어 기판(S)을 지지하며, 내부에 전원 공급에 의해 동작하는 삽입 부재(412)가 설치된 기판 지지대(410) 및 적어도 일부가 기판 지지대(410) 내부로 삽입 설치되어, 삽입 부재(412)에 전원을 공급하는 전원 공급부(420)를 구비하는 기판 지지 유닛(400), 전원 공급부(420)로 전원을 제공하는 전원부(700), 챔버(100) 내에서 기판 지지대(410) 상측에 대향 배치되어 기판(S)을 향해 원료를 분사하는 원료 분사부(500) 및 원료 분사부(500)로 공정 원료를 공급하는 원료 공급부(600)를 포함한다.The substrate processing apparatus according to the embodiment of the present invention may be a device for forming a thin film on a substrate S or for etching a substrate or a thin film. 1, the substrate processing apparatus includes a chamber 100 having an internal space, an insertion member 412 disposed in the chamber 100 and supporting the substrate S, And a power supply unit 420 inserted at least partially into the substrate support 410 to supply power to the insertion member 412. The substrate support unit 400 includes a power supply unit 400, A raw material spraying part 500 arranged to face the substrate support 410 in the chamber 100 and spraying the raw material toward the substrate S and a raw material spraying part 500) for supplying the process raw material.

챔버(100)는 내부가 비어있는 사각통 형상으로 제작되며, 내부에는 기판(S)을 처리할 수 있는 소정의 반응 공간이 마련된다. 실시예에서는 챔버(100)를 사각 통 형상으로 제작하였으나, 이에 한정되지 않고, 기판(S)의 형상에 대응되는 다양한 형상으로 제작될 수 있다. 도시되지는 않았지만, 챔버(100)의 일측에는 기판(S)이 출입하는 출입구(미도시)가 마련되며, 챔버(100) 내부의 압력을 조절하는 압력 조절 수단(미도시) 및 챔버(100)의 내부를 배기하는 배기 수단(미도시)을 구비할 수도 있다. 그리고 챔버(100) 내부에서 기판 지지 모듈(200)과 대향 배치되어 기판(S)을 처리하는 소정의 원료 물질 예를 들어, 식각 가스를 분사하는 원료 분사부(500)가 마련된다. 여기서, 원료 분사부(500)는 복수의 분사홀(미도시)을 가지는 샤워 헤드(shower head)일 수 있다.The chamber 100 is formed in the shape of a rectangular tube having an empty interior, and a predetermined reaction space for processing the substrate S is provided therein. In the embodiment, the chamber 100 is formed in a rectangular tube shape, but the present invention is not limited to this, and various shapes corresponding to the shape of the substrate S can be produced. Although not shown, a chamber 100 is provided at one side thereof with an entrance (not shown) through which the substrate S enters and exits, a pressure regulating means (not shown) for regulating the pressure inside the chamber 100, And exhaust means (not shown) for exhausting the inside of the exhaust pipe. A raw material spraying part 500 for spraying a predetermined raw material, for example, an etchant gas, disposed in the chamber 100 so as to face the substrate supporting module 200 and process the substrate S is provided. Here, the raw material spray unit 500 may be a shower head having a plurality of spray holes (not shown).

기판 지지 유닛(400)은 원료 분사부(500)의 하측에 대향 배치되며, 그 상부에 기판(S)이 안착 지지되며, 내부에 삽입 부재(412)가 설치되는 기판 지지대(410), 일단이 챔버(100) 내로 삽입되어 기판 지지대(410)의 하부를 지지하는 샤프트(430), 샤프트(430)의 내부에 설치되어, 상부의 적어도 일부가 기판 지지대(410) 내로 삽입되도록 설치되어, 삽입 부재(412)와 접속되는 전원 공급부(420), 챔버(100) 외부에서 샤프트(430)의 하부와 연결되어, 상기 샤프트(430)를 승하강 및 회전시키는 구동부(440)를 포함한다.The substrate supporting unit 400 is disposed on the lower side of the raw material spraying unit 500. The substrate supporting unit 410 has a substrate S on which an insertion member 412 is installed, A shaft 430 inserted into the chamber 100 and supporting the lower portion of the substrate support 410 is installed inside the shaft 430 so that at least a portion of the upper portion is inserted into the substrate support 410, A power supply unit 420 connected to the shaft 412 and a driving unit 440 connected to a lower portion of the shaft 430 from outside the chamber 100 to move the shaft 430 up and down.

실시예에 따른 기판 지지대(410)는 상부에 기판(S)이 지지 바디(411)와, 지지 바디(411) 내에 설치된 삽입 부재(412)를 포함한다. 지지 바디(411)는 세라믹스 재료 중 하나인 질화알루미늄(AlN)으로 이루어지며, 그 단면이 원형인 플레이트 형상으로 제작된다. 하지만 이에 한정되지 않고, 질화알루미늄(AlN) 이외에 다양한 세라믹스 재료를 이용하여, 기판(S) 형상에 대응되는 다양한 형상으로 제작될 수 있다. 이러한 지지 바디(411)의 내부에는 전원 공급부(420)의 적어도 일부가 삽입되는데, 상기 전원 공급부(420)가 삽입되는 홈의 주위의 내벽에는 나사산 및 나사홈으로 이루어진 체결 수단(이하, 제 1 체결 수단)이 마련된다. 지지 바디(411) 내에 마련된 제 1 체결 수단은 후술되는 전원 공급부(420)의 결합 부재(424)와 체결되는 부분이다.The substrate support 410 according to the embodiment includes a support body 411 and an insertion member 412 provided in the support body 411 at an upper portion thereof. The support body 411 is made of aluminum nitride (AlN), which is one of ceramics materials, and is formed into a plate shape whose cross section is circular. However, the present invention is not limited to this, and various ceramics materials other than aluminum nitride (AlN) can be used to manufacture various shapes corresponding to the substrate S shape. At least a part of the power supply unit 420 is inserted into the support body 411. The inner wall of the periphery of the groove into which the power supply unit 420 is inserted is fastened with fastening means Means). The first fastening means provided in the support body 411 is a portion to be fastened to the coupling member 424 of the power supply unit 420 to be described later.

또한, 지지 바디(411) 내에는 가열된 지지 바디(411)을 냉각시키는 냉각 수단(미도시)이 설치될 수 있으며, 냉각 수단은 내부로 냉매가 흐르는 배관 형태일 수 있다.In addition, a cooling means (not shown) for cooling the heated support body 411 may be installed in the support body 411, and the cooling means may be a pipe type in which the coolant flows into the support body 411.

상기에서는 지지 바디(411)이 질화알루미늄(AlN)으로 이루어지는 것을 설명하였다. 하지만 이에 한정되지 않고 지지 바디(411)은 다양한 재료로 제작될 수 있는데, 예컨대, 지지 바디(411)가 정전기력으로 기판(s)을 지지하는 정전척일 경우, 알루미나(Al2O3)를 이용하여 지지 바디(411)를 형성할 수 있다.In the above description, the support body 411 is made of aluminum nitride (AlN). For example, when the support body 411 is an electrostatic chuck for supporting the substrate s by an electrostatic force, the support body 411 may be made of alumina (Al 2 O 3 ) The support body 411 can be formed.

삽입 부재(412)는 예컨대 지지 바디(411)를 가열하는 발열체로서, 전기 에너지를 열로 발산하는 라인(line) 형상의 열선일 수 있으며, 몰리브덴(Mo)으로 이루어진다. 그리고 열선이 지지 바디(411)를 균일하게 가열하도록, 상기 지지 바디(411)의 전체에 결쳐 환형 라인으로 설치될 수 있다. 물론, 열선이 지지 바디(411)에 설치되는 형상은, 환형 라인 형상에 한정되지 않고, 지지 바디(411)를 가열할 수 있는 다양한 형상으로 설치될 수 있다. 또한, 열선이 지지 바디(411)에 균일한 분포를 가지도록 설치되지 않고, 공정 상의 특성, 기판(S)의 가열 목적 등에 따라 다양한 분포로 설치될 수 있다. 즉, 예컨대, 지지 바디(411)의 중심 영역에 비해 가장자리 영역에 발열체가 집중 배치되도록 설치되거나, 그 반대의 경우가 되도록 설치될 수 있다.The insertion member 412 is, for example, a heating body for heating the supporting body 411, and may be a line-shaped heating wire for radiating electrical energy into heat, and is made of molybdenum (Mo). And the heating line may be installed as an annular line throughout the support body 411 to uniformly heat the support body 411. Of course, the shape in which the heating wire is installed in the supporting body 411 is not limited to the shape of the annular line, but can be provided in various shapes that can heat the supporting body 411. Further, the heat lines are not provided so as to have a uniform distribution in the support body 411, and can be installed in various distributions depending on the process characteristics, the purpose of heating the substrate S, and the like. That is, for example, the heating body may be installed so as to be concentrically arranged in the edge area as compared with the center area of the supporting body 411, or vice versa.

또한, 삽입 부재(412)는 플라즈마 발생을 위한 전극일 수 있다. 보다 상세히 설명하면, 플라즈마 발생을 위한 전극으로 사용되는 삽입 부재(412)는 몰리브덴(Mo)으로 이루어지고, 메쉬(mesh) 형상으로 제작된다. 보다 구체적으로는, 몰리브덴(Mo)으로 이루어진 약 0.4 파이의 복수의 와이어(Wire)가 상호 교차하도록 엮인 격자 형상이다. 이때, 삽입 부재(412)는 지지 바디(411) 상측에 플라즈마가 형성될 수 있도록, 상기 지지 바디(411)의 상부면에 가깝게 위치하도록 설치되는 것이 바람직하다. 이는, 세라믹제로 이루어진 지지 바디(411)의 상부면과 삽입 부재(412) 간의 거리가 멀면, 상기 지지 바디(411)의 상측에 유전층이 형성되지 않거나, 유전층이 너무 얇은 문제가 발생되며, 이는 플라즈마 발생의 문제로 이어진다. 이에, 실시예에서는 지지 바디(411)의 상부면으로부터 0.5mm 내지 2mm 내 하측에 삽입 부재(412)가 위치하도록 설치된다.Further, the insertion member 412 may be an electrode for generating plasma. In more detail, the inserting member 412 used as an electrode for generating plasma is made of molybdenum (Mo) and is formed into a mesh shape. More specifically, a plurality of wires of about 0.4 pi made of molybdenum (Mo) are in a lattice shape woven together so as to cross each other. At this time, the insertion member 412 is preferably installed so as to be positioned close to the upper surface of the support body 411 so that plasma can be formed above the support body 411. This is because when the distance between the upper surface of the support body 411 made of ceramic and the insertion member 412 is too great, a dielectric layer is not formed on the support body 411 or a dielectric layer is too thin, The problem arises. Thus, in the embodiment, the insertion member 412 is installed in a position of 0.5 mm to 2 mm below the upper surface of the support body 411.

전원 공급부(420)는 일단이 지지 바디(411) 내로 삽입되며, 타단이 전원부(700)와 연결되는 로드(421), 일측이 로드(421)의 상부와 연결되며, 타측이 삽입 부재(412)가 위치한 방향으로 돌출된 돌기(422b)가 마련된 완충 부재(422), 일측에 완충 부재(422)의 돌기(422b)가 삽입되는 홈(423a)이 마련되며, 타측이 상기 삽입 부재(412)와 접속되는 접속 부재(423)를 포함한다. 이때, 로드(421)와 전원부(700) 사이를 연결하도록 전원 공급 라인(710)이 마련되어, 전원부(700)의 전원을 로드(421)로 제공한다.The power supply unit 420 includes a rod 421 having one end inserted into the support body 411 and the other end connected to the power unit 700. The other end of the power supply unit 420 is connected to the upper portion of the rod 421, A groove 423a into which the projection 422b of the buffer member 422 is inserted is provided at one side and a groove 423a at which the other side is inserted into the insertion member 412 And a connecting member 423 connected thereto. At this time, a power supply line 710 is provided to connect between the rod 421 and the power supply unit 700, and the power of the power supply unit 700 is provided to the rod 421.

상기에서는 지지 바디(411) 내에 설치된 삽입 부재(412)가 히터의 역할을 수행하는 발열체를 예를 들어 설명하였다. 하지만, 이에 한정되지 않고, 삽입 부재(412)가 플라즈마 발생을 위한 전극인 경우, 로드가 접지(ground) 되고, 원료 분사부(500)에는 RF 전원이 인가될 수 있다. 또 다른 예로, 지지 바디(411)이 정전기력을 이용하여 기판(s)을 지지하는 정전척일 경우, 전원부(700)는 DC 바이어스 전원을 인가하는 수단일 수 있다. In the above description, a heat generating element in which the insertion member 412 provided in the support body 411 serves as a heater has been described as an example. However, if the insertion member 412 is an electrode for plasma generation, the rod may be grounded, and RF power may be applied to the raw material spraying unit 500. As another example, when the supporting body 411 is an electrostatic chuck for supporting the substrate s using electrostatic force, the power source unit 700 may be a means for applying a DC bias power.

로드(421)는 삽입 부재(412)로 전원을 공급하기 위한 급전 단자로서, 니켈(Ni)로 이루어지며, 길이 방향으로 연장 형성된다. 이러한 로드(421)는 상부가 지지 바디(411) 내에 위치하고, 나머지가 샤프트(430) 내부에 위치하도록 설치된다. 본 실시예에 따른 로드(421)의 표면에는 코팅막이 형성될 수 있는데, 이는 로드(421)의 산화를 방지하기 위함이다. 실시예에서는 코팅막으로 니켈산화막(NiO)를 형성하며, 이는 니켈(Ni)로 이루어진 로드(421)를 산화 분위기에 노출시킴으로써, 상기 로드(421) 표면에 형성할 수 있다. 코팅막은 니켈산화막(NiO)에 한정되지 않고, 로드(421)의 산화를 방지할 수 있는 다양한 재료의 코팅막이 가능하다.The rod 421 is a power supply terminal for supplying power to the insertion member 412 and is made of nickel (Ni) and extends in the longitudinal direction. The rod 421 is installed such that the upper portion thereof is located in the support body 411 and the remainder is located inside the shaft 430. A coating film may be formed on the surface of the rod 421 according to the present embodiment in order to prevent the oxidation of the rod 421. In the embodiment, a nickel oxide film (NiO) is formed as a coating film, which can be formed on the surface of the rod 421 by exposing a rod 421 made of nickel (Ni) to an oxidizing atmosphere. The coating film is not limited to the nickel oxide film (NiO), and a coating film of various materials capable of preventing oxidation of the rod 421 is possible.

완충 부재(422)는 니켈(Ni)로 이루어진 로드(421)와 몰리브덴(Mo)으로 이루어진 접속 부재(423) 및 삽입 부재(412) 간의 열팽창 계수 차이로 인한 응력을 줄이는 역할을 한다. 이러한 완충 부재(422)는 삽입 부재(412)가 위치한 방향으로 돌출된 돌기(422b)를 가진다. 보다 상세히 설명하면, 완충 부재(422)는 도 3a에 도시된 바와 같이, 로드(421)의 폭 방향으로 대응되도록 연장되어, 일측 즉, 하부면이 로드(421)와 접속되는 몸체(422a), 몸체(422a)의 상부로부터 접속 부재(423)가 위치한 방향으로 연장 형성된 돌기(422b)를 포함한다. 이때 돌기(422b)의 폭은 몸체(422a)의 폭에 비해 짧고, 상기 몸체(422a) 상부의 중앙에 위치하도록 형성되는 것이 바람직하다.The buffer member 422 serves to reduce the stress due to the difference in thermal expansion coefficient between the rod 421 made of nickel (Ni) and the connecting member 423 made of molybdenum (Mo) and the insertion member 412. The buffer member 422 has a protrusion 422b protruding in the direction in which the insertion member 412 is located. More specifically, as shown in FIG. 3A, the buffer member 422 includes a body 422a extending in the width direction of the rod 421 and having one side, that is, a lower surface connected to the rod 421, And a projection 422b extending from the upper portion of the body 422a in the direction in which the connecting member 423 is located. At this time, it is preferable that the width of the protrusion 422b is shorter than the width of the body 422a and is formed at the center of the upper portion of the body 422a.

접속 부재(423)는 완충 부재(422)와 삽입 부재(412) 사이에 위치하여, 일측이 완충 부재(422)와 접속되고, 타측이 삽입 부재(412)와 접속된다. 이러한 접속 부재(423)는 몰리브덴(Mo)으로 이루어지며, 도 3a에 도시된 바와 같이, 완충 부재(422)의 돌기(422b)가 삽입되어 수용될 수 있는 홈(423a)을 가진다. 이때, 접속 부재(423)에 마련된 홈(423a)은 완충 부재(422)의 돌기(422b)의 상측에 대응 위치하며, 돌기(422b)가 삽입될 수 있도록 상기 돌기(422b)에 부합하는 형상을 가진다. 또한, 돌기(422b)가 접속 부재(423)의 홈에 삽입되었을 때, 적어도 상기 돌기(422b)의 상부면 및 측면이 홈(423a) 주위의 내벽과 접속될 수 있도록 하는 크기로 제작된다.The connecting member 423 is positioned between the buffer member 422 and the insertion member 412 so that one side is connected to the buffer member 422 and the other side is connected to the insertion member 412. This connecting member 423 is made of molybdenum (Mo) and has a groove 423a into which the protrusion 422b of the buffer member 422 can be inserted and accommodated, as shown in Fig. At this time, the groove 423a provided in the connecting member 423 is positioned on the upper side of the projection 422b of the buffer member 422, and the shape conforming to the projection 422b is formed so that the projection 422b can be inserted I have. The protrusion 422b is inserted into the groove of the connection member 423 so that at least the upper surface and the side surface of the protrusion 422b can be connected to the inner wall around the groove 423a.

실시예에 따른 완충 부재(422)의 돌기(422b)는 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이 접속 부재(423)의 하부면으로부터 그 상측으로 연장되되, 그 높이가 접속 부재(423)의 약 1/2(절반) 높이가 되도록 연장 형성된다. 하지만 이에 한정되지 않고, 완충 부재(422)의 돌기(422b)가 접속 부재(423)의 상부면과 보다 가깝도록 삽입 부재(412) 방향으로 보다 더 연장될 수 있다. 이때, 돌기(422b)의 측면과 접속 부재(423) 간의 접속 면적이 확장되며, 보다 기구적으로 안정되는 효과가 있다.The protrusion 422b of the buffer member 422 according to the embodiment is extended from the lower surface of the connecting member 423 to the upper side thereof as shown in Figs. 2 and 3, Half (half) height. The protrusion 422b of the buffer member 422 may be further extended toward the insertion member 412 so as to be closer to the upper surface of the connection member 423. [ At this time, the connection area between the side surface of the projection 422b and the connection member 423 is enlarged, which is more mechanically stable.

완충 부재(422)의 돌기(422b)가 접속 부재(423)의 홈(423a)에 삽입되도록 체결되면, 도 3b에 도시된 바와 같이, 돌기(422b)의 상부면, 측면이 접속 부재(423)의 내벽과 접속되고, 돌기(422b) 하부의 주위 영역인 몸체(422a)의 상부면이 접속 부재(423)의 하부면과 접속된다. 다시 설명하면, 돌기(422b)의 상부면, 측면, 돌기(422b) 하부의 주위 영역이 몸체(422a)의 상부면이 접속 부재(423)와 접속되는 접속 부위이며, 접속 부위의 면적 즉, 접속 면적은 종래와 같이 완충 부재(42b)의 상부면과 접속 부재(42c)의 하부면이 접속하는 것에 비해 접속 면적이 넓다. 이때 상술한 완충 부재(422)와 접속 부재(423) 간의 접속 부위에는 브레이징(brazing)에 의해 접합되는데, 이하에서는 이를 접합부(425a)라 명명한다. 이에, 완충 부재(422)와 접속 부재(423) 간의 일부 영역의 접속이 떨어지는 또는 접합이 불량인 경우가 발생하더라도, 본 발명의 경우 완충 부재(422)와 접속 부재(423) 간의 접속 면적 또는 접합부(425a) 면적이 종래에 비해 상대적으로 넓기 때문에, 접합 불량에 의한 아킹(arcing) 발생을 줄일 수 있다. 또한, 완충 부재(422)의 돌기(422b)가 접속 부재(423)의 홈(423a)에 삽입되는 구조로, 완충 부재(422)와 접속 부재(423)가 기구적으로 결합되어 있어, 종래와 같이 완충 부재(42b)의 상부면과 접속 부재(42c)의 하부면이 브레이징(brazing)에 의해 면대 면으로 단순 접합되어 있는 구조에 비해 결합력 또는 접합 강도가 강하다. 따라서, 본 발명의 경우, 종래에 비해 기구적으로 안정되어 있어, 완충 부재(422)와 접속 부재(423) 간의 접합이 기구적으로 안정되는 효과가 있으며, 이에 따라 완충 부재(422)와 접속 부재(423) 간의 접합이 떨어지는 문제를 줄일 수 있다.
The protrusion 422b of the buffer member 422 is fastened to be inserted into the groove 423a of the connection member 423 so that the upper surface and the side surface of the protrusion 422b are connected to the connection member 423, And the upper surface of the body 422a, which is the peripheral area of the lower portion of the projection 422b, is connected to the lower surface of the connecting member 423. The upper surface and the side surface of the projection 422b and the peripheral region below the protrusion 422b are the connecting portions where the upper surface of the body 422a is connected to the connecting member 423 and the area of the connecting portion, As compared with the case where the upper surface of the cushioning member 42b and the lower surface of the connecting member 42c are connected as in the prior art, the connecting area is large. At this time, the connecting portion between the cushioning member 422 and the connecting member 423 is joined by brazing. Hereinafter, this is referred to as a connecting portion 425a. Thus, even if the connection between the buffer member 422 and the connection member 423 is reduced or the connection is poor, the connection area between the buffer member 422 and the connection member 423, (425a) is relatively wider than in the prior art, the occurrence of arcing due to poor bonding can be reduced. The cushioning member 422 and the connecting member 423 are mechanically coupled to each other with the structure in which the protrusion 422b of the cushioning member 422 is inserted into the groove 423a of the connecting member 423, As compared with the structure in which the upper surface of the buffer member 42b and the lower surface of the connection member 42c are simply bonded to each other by brazing, the bonding force or bonding strength is strong. Therefore, in the present invention, the structure is mechanically stable as compared with the prior art, and the junction between the cushioning member 422 and the connecting member 423 is mechanically stabilized, (423) can be reduced.

도 4는 실시예의 변형예에 따른 완충 부재 및 접속 부재를 분리하여 도시한 단면도이다. 여기서, 도 4a는 완충 부재와 접속 부재를 분리하여 도시한 단면도이고, 도 4b는 완충 부재와 접속 부재가 접합된 상태를 도시한 단면도이다.4 is a cross-sectional view showing a cushioning member and a connecting member according to a modified example of the embodiment. Here, FIG. 4A is a sectional view showing the buffer member and the connecting member separated from each other, and FIG. 4B is a sectional view showing a state in which the buffer member and the connecting member are joined.

실시예에서는 완충 부재(422)에 하나의 돌기(422b)가 마련되고, 접속 부재(423)에 하나의 홈(423a)이 마련되는 것을 설명하였다. 하지만 이에 한정되지 않고, 도 4에 도시된 변형예에서와 같이, 완충 부재(422)에 복수의 돌기(422b)가 마련되고, 접속 부재(423)에 복수의 돌기(422b)가 각기 삽입되는 복수의 홈(423a)이 마련된다. 즉, 몸체(422a)의 상부로부터 접속 부재(423)가 위치한 방향으로 복수의 돌기(422b)가 형성되며, 상기 복수의 돌기(422b)는 몸체(422a)의 폭 방향으로 나열되어 상호 이격 배치된다. 또한, 접속 부재(423)에는 상술한 바와 같이 완충 부재(422)의 복수의 돌기(422b)가 각기 삽입되어 수용될 수 있는 복수의 홈(423a)이 마련되며, 상기 홈(423a)은 복수의 돌기(422b)와 대응하는 방향으로 나열되어 상호 이격 배치된다.In the embodiment, one protrusion 422b is provided in the buffer member 422 and one groove 423a is provided in the connection member 423. [ 4, a plurality of protrusions 422b are provided on the buffer member 422, and a plurality of protrusions 422b are inserted into the connection member 423, respectively, as in the modification shown in Fig. 4 A groove 423a is formed. That is, a plurality of protrusions 422b are formed in a direction in which the connection member 423 is located from the upper part of the body 422a, and the plurality of protrusions 422b are arranged in a width direction of the body 422a and are spaced apart from each other . The connecting member 423 is provided with a plurality of grooves 423a in which the plurality of projections 422b of the buffer member 422 can be inserted and accommodated as described above, Are arranged in a direction corresponding to the protrusion 422b and are spaced apart from each other.

따라서, 변형예에 따른 완충 부재(422)의 복수의 돌기(422b)가 접속 부재(423)에 마련된 각각의 홈(423a)에 삽입되도록 체결되면, 도 4b에 도시된 바와 같이, 각각의 돌기(422b)의 상부면 및 각각의 측면이 접속 부재(423)의 내벽과 접속되고, 돌기(422b) 하부의 주위 영역인 몸체(422a)의 상부면이 접속 부재(423)의 하부면과 브레이징(brazing) 접합에 의해 접속된다. 즉, 복수의 돌기(422b) 각각의 상부면, 측면과, 돌기(422b)와 돌기(422b) 사이의 하부면, 최외각 돌기(422b) 하부의 주위 영역인 몸체(422a)의 상부면이 접속 부재(423)와 접속되는 접속 부위 즉, 접합부(426b)이며, 접합부(425b)의 면적은 종래와 같이 완충 부재(422)의 상부면과 접속 부재(423)의 하부면이 접속하는 것에 비해 넓다. 또한, 변형예에 따른 완충 부재(422) 및 접속 부재(423)의 구조의 경우, 도 3에 도시된 실시예에 비해 접속 면적이 넓으며, 기구적인 안정 효과도 더욱 증가될 수 있다.Therefore, when the plurality of projections 422b of the buffer member 422 according to the modified example are fastened to be inserted into the respective grooves 423a provided in the connection member 423, as shown in Fig. 4B, 422b are connected to the inner wall of the connecting member 423 and the upper surface of the body 422a which is the peripheral area under the protrusion 422b is connected to the lower surface of the connecting member 423 by brazing ) Junction. That is, the upper surface and the side surface of each of the plurality of projections 422b, the lower surface between the projections 422b and 422b, and the upper surface of the body 422a, which is the peripheral region under the outermost projections 422b, The area of the bonding portion 425b is larger than that of the upper surface of the buffer member 422 and the lower surface of the connecting member 423 as in the conventional case . Further, in the case of the structure of the buffer member 422 and the connecting member 423 according to the modified example, the connecting area is wider and the mechanical stabilizing effect can be further increased as compared with the embodiment shown in Fig.

결합 부재(424)는 지지 바디(411) 내에 삽입되어, 적어도 지지 바디(411) 내로 삽입되는 로드(421), 완충 부재(422)의 외주면을 둘러싸도록 설치된다. 즉, 결합 부재(424)는 지지 바디(411) 내로 삽입되는 로드(421) 및 완충 부재(422)가 삽입될 수 있는 내부 공간을 가지는 수단 예컨대, 아일릿(eyelet)으로서, 외측면 적어도 일부에는 지지 바디(411)에 마련된 제 1 체결 수단과 체결되는 제 2 체결 수단이 마련된다. 여기서 제 2 체결 수단은 제 1 체결 수단과 상호 체결될 수 있도록 나사산 및 나사홈으로 이루어질 수 있다.
The engaging member 424 is installed to surround the outer circumferential surface of the rod 421 and the buffer member 422 inserted into the support body 411 and inserted at least into the support body 411. That is, the coupling member 424 is a means, for example, an eyelet having an internal space into which the rod 421 and the buffer member 422 to be inserted can be inserted into the support body 411, And second fastening means to be fastened to the first fastening means provided on the body 411. Wherein the second fastening means may be threaded and threaded so as to be interlocked with the first fastening means.

이하에서는 도 1 내지 도 3을 참조하여, 본 발명의 실시예에 따른 전원 공급부의 체결 구조 및 방법을 설명한다.Hereinafter, a fastening structure and a method of a power supply unit according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 to 3. FIG.

지지 바디(411) 내에 삽입 부재(412) 예컨대, 열선으로 이루어진 발열체와, 몰리브덴(Mo)로 이루어진 접속 부재(423)를 삽입한다. 이때, 삽입 부재(412)의 하부에 접속 부재(423)가 접속되도록 설치하며, 이후 소결 공정을 진행하여 삽입 부재(412)와 접속 부재(423)을 접합한다. 그리고, 지지 바디(411)의 하부를 가공하여, 전원 공급부(420)가 삽입 설치될 수 있는 개구 및 공간을 마련한다. 이때, 지지 바디(411)에 마련되는 개구 및 공간은 이후 전원 공급부(420)가 삽입되었을 때, 폐쇄될 수 있도록, 그에 부합하는 크기로 마련된다.An insertion member 412, for example, a heating element made of heat wire and a connecting member 423 made of molybdenum (Mo) are inserted into the supporting body 411. [ At this time, the connection member 423 is connected to the lower part of the insertion member 412, and then the insertion member 412 and the connection member 423 are joined by the sintering process. The lower portion of the support body 411 is processed to provide an opening and a space through which the power supply unit 420 can be inserted. At this time, the openings and spaces provided in the support body 411 are provided to have sizes corresponding to the openings and spaces so that they can be closed when the power supply unit 420 is inserted thereafter.

그리고, 지지 바디(411) 내로 삽입될 전원 공급부(420)를 마련하는데, 접속 부재(423)를 제외한 나머지 구성들을 상호 접합 및 결합시킨다. 이를 위해, 로드(421)의 상부에 코바(kovar)로 이루어지며, 돌기(422b)를 가지는 완충 부재(422)를 배치시킨다. 이어서, 로드(421)의 상부면과 완충 부재(422)의 하부면 사이와, 완충 부재(422)의 상부면에 브레이징(brazing) 접합을 위한 필러(filler)를 도포한다. 이때 필러는 예컨대, 금(gold)일 수 있다. 다음으로, 결합 부재(424) 내로 로드(421)와 완충 부재(422)를 삽입하고, 이를 지지 바디(411) 내로 삽입하여 상호 체결하는데, 결합 부재(425)의 외주면 및 지지 바디(411)의 내벽에 마련된 나사산 및 나사홈으로 이루어진 체결 수단에 의해 결합 부재(425)와 지지 바디(411)가 상호 체결된다. 이때, 완충 부재(423)의 돌기(422b) 접속 부재(423O)에 마련된 홈(423a)에 삽입될 수 있도록 한다.Then, the power supply unit 420 to be inserted into the support body 411 is provided, and the remaining components except the connection member 423 are bonded and bonded to each other. To this end, a cushioning member 422 made of a kovar and having a projection 422b is disposed on the rod 421. A filler is then applied between the upper surface of the rod 421 and the lower surface of the buffer member 422 and the upper surface of the buffer member 422 for brazing bonding. The filler may be, for example, gold. The rod 421 and the cushioning member 422 are inserted into the coupling member 424 and inserted into the support body 411 so as to mutually connect the outer circumferential surface of the coupling member 425 and the outer circumferential surface of the support body 411 The engaging member 425 and the supporting body 411 are fastened to each other by the fastening means including thread and screw groove provided on the inner wall. At this time, the projection 422b of the buffer member 423 can be inserted into the groove 423a provided in the connecting member 423O.

이어서, 필러가 도포된 로드(421)와 완충 부재(422) 사이, 완충 부재(422)와 접속 부재(423) 사이를 방법으로 접합시킨다. 이를 위해, 전원 공급부(420)가 삽입된 지지 바디(411)를 H2 및 진공 분위기의 처리 챔버 내에 위치시키고, 약 1000℃의 온도로 열처리하면, 로드(421)와 완충 부재(422) 사이 및 완충 부재(422)와 접속 부재(423) 사이에 도포된 필러가 경화되면서, 상호 접합된다. 여기서, 로드(411)의 상부면과 완충 부재(422)의 하부면 사이가 제 1 접합부(425a)이며, 완충 부재(422)의 상부면과 접속 부재(423)의 하부면이 제 2 접합부(425b)이다.Then, the filler 422 and the connecting member 423 are bonded to each other in such a manner that the filler is applied between the rod 421 and the buffer member 422 to which the filler is applied. For this, when the supporting body 411 into which the power supply part 420 is inserted is placed in the processing chamber of the H2 and vacuum atmosphere and the heat treatment is performed at a temperature of about 1000 ° C, the load 421 and the buffer member 422, The fillers applied between the member 422 and the connecting member 423 are cured while being bonded to each other. The upper surface of the cushioning member 422 and the lower surface of the connecting member 423 are positioned between the upper surface of the rod 411 and the lower surface of the cushioning member 422 as the first joints 425a, 425b.

이러한 브레이징 접합에 의해, 로드(421)의 상부와 완충 부재(422)의 하부, 완충 부재(422)의 돌기(422b)의 상부면과 측면, 돌기(422b) 하부의 주위 영역인 몸체(422a)의 상부면과 접속 부재(423)의 하부면이 접합된다.
By the brazing joint, the upper portion of the rod 421, the lower portion of the buffer member 422, the upper surface and the side of the projection 422b of the buffer member 422, and the body 422a, which is the peripheral region of the lower portion of the projection 422b, And the lower surface of the connecting member 423 are bonded to each other.

상기에서는 실시예에 따른 완충 부재(422) 및 접속 부재(423) 간의 접합 및 체결 방법을 설명하였으나, 도 4에 도시된 변형예에 따른 완충 부재(422) 및 접속 부재(423) 간의 접합 및 체결 방법 역시 상술한 방법과 동일하다.
Although the bonding and fastening method of the buffer member 422 and the connecting member 423 according to the embodiment has been described above, the bonding and fastening method between the buffer member 422 and the connecting member 423 according to the modified example shown in FIG. The method is also the same as the above-described method.

이와 같이, 본 발명에서는 돌기(422b)를 가지도록 완충 부재(422)를 마련하고, 상기 돌기(422b)를 접속 부재(423)에 삽입하는 구조로 상기 완충 부재(422)와 돌기(422b)를 접합 체결한다. 따라서, 본 발명의 실시예 및 변형예에 의하면, 완충 부재(422) 및 접속 부재(423) 간의 접속 부위 또는 접합부(425b)의 면적이 종래에 비해 넓으며, 삽입 구조에 의해 기구적으로도 안정적인 접합 구조를 가진다. 따라서, 종래에 비해 완충 부재(422)와 접속 부재(423) 간의 접합이 떨어지는 또는 분리되는 문제를 줄일 수 있다. 또한, 일부 영역에 접합이 떨어지는 문제가 발생하더라도, 종래에 비해 접합 면적이 넓기 때문에, 종래와 같이 완충 부재와 접속 부재 간의 접합 표면적이 적어 아킹(arcing)이 발생하는 문제를 줄일 수 있다. 이로 인해 삽입 부재(412)와 전원 공급부(420) 간의 전기적 접속 수명이 종래에 비해 연장되며, 기판 지지 유닛(400)을 보수하는 작업 횟수 및 시간을 줄일 수 있다.As described above, in the present invention, the cushioning member 422 is provided to have the protrusion 422b and the cushioning member 422 and the protrusion 422b are inserted into the connecting member 423 Tighten. Therefore, according to the embodiment and the modification of the present invention, the connecting portion between the buffer member 422 and the connecting member 423 or the area of the bonding portion 425b is wider than in the prior art, Junction structure. Therefore, it is possible to reduce the problem that the bonding between the buffer member 422 and the connection member 423 is deteriorated or separated as compared with the prior art. Further, even if a problem of falling of the junctions occurs in some regions, since the junction area is wider than in the conventional art, the problem of arcing can be reduced because the junction surface area between the buffer member and the connection member is small. As a result, the electrical connection life between the insertion member 412 and the power supply unit 420 is extended as compared with the prior art, and the number of times and time for repairing the substrate supporting unit 400 can be reduced.

411: 지지 바디 412: 삽입 부재
420: 전원 공급부 421: 로드
422: 완충 부재 422b: 돌기
423: 접속 부재411: Support body 412: Insertion member
420: Power supply unit 421: Load
422: buffer member 422b: projection
423:

Claims (8)

상부에 기판이 안착되는 지지 바디;
상기 지지 바디 내에 삽입 설치된 삽입 부재;
일부가 상기 지지 바디 내로 삽입되어, 상기 삽입 부재와 전기적으로 연결된 로드;
일측이 상기 로드의 상부와 연결되며, 타측이 상기 삽입 부재가 위치한 방향으로 돌출된 돌기가 마련된 완충 부재;
일측에 상기 완충 부재의 돌기가 삽입되는 홈이 마련되며, 타측이 상기 삽입 부재와 접속되는 접속 부재;
를 포함하고,
상기 완충 부재는 일측이 상기 로드와 접합되는 몸체를 포함하며, 상기 돌기가 복수개로 마련되어, 상기 몸체의 상부에서 상기 몸체 폭 방향으로 나열되어 상호 이격 배치되고,
상기 홈은 복수개로 마련되어 상기 복수의 돌기와 대응하는 방향으로 나열되어 상호 이격 배치되어, 상기 복수의 돌기가 각기 삽입되며,
상기 로드의 상부면과 완충 부재의 하부면 사이와, 상기 완충 부재와 접속 부재 사이 각각에는 필러가 도포되어, 상기 필러를 경화시키는 브레이징(brazing)하는 방법으로 접합되는 기판 지지 유닛.A support body on which a substrate is placed;
An insertion member inserted into the support body;
A rod partly inserted into the support body and electrically connected to the insertion member;
A buffer member having one side connected to the upper portion of the rod and the other side provided with a projection protruding in a direction in which the insertion member is located;
A connecting member having a groove into which the projection of the buffer member is inserted at one side and the other side connected to the insertion member;
Lt; / RTI >
The cushioning member may include a body having one side thereof joined to the rod. The cushioning member may include a plurality of the protrusions. The cushioning member may be spaced apart from the upper side of the body,
Wherein the grooves are arranged in a direction corresponding to the plurality of projections and are spaced apart from each other, the plurality of projections are inserted,
And between the lower surface of the upper face and the buffer member of the load, respectively, between the buffer member and the connecting member it has been applied to the filler, the filler A substrate support unit that is bonded in a curing brazing manner. 청구항 1에 있어서,
상기 삽입 부재는 상기 지지 바디를 가열하는 발열체 및 플라즈마 발생을 위한 전극 중 어느 하나인 기판 지지 유닛.The method according to claim 1,
Wherein the insertion member is any one of a heating body for heating the supporting body and an electrode for generating plasma. 청구항 2에 있어서,
상기 돌기는 상기 접속 부재에 마련된 홈으로 삽입되어, 상기 접속 부재의 내벽과 접속되는 기판 지지 유닛.The method of claim 2,
And the protrusion is inserted into a groove provided in the connecting member and connected to the inner wall of the connecting member. 삭제delete 삭제delete 청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 하나에 있어서,
상기 삽입 부재는 몰리브덴(Mo)으로 이루어지고, 상기 로드는 니켈(Ni)로 이루어진 기판 지지 유닛.The method according to any one of claims 1 to 3,
Wherein the insertion member is made of molybdenum (Mo), and the rod is made of nickel (Ni). 청구항 6에 있어서,
상기 완충 부재는 코바(kovar)로 이루어지고, 상기 접속 부재는 몰리브덴(Mo)으로 이루어진 기판 지지 유닛.The method of claim 6,
Wherein the buffer member is made of kovar, and the connection member is made of molybdenum (Mo). 청구항 1에 있어서,
상기 지지 바디 내에 삽입되어, 적어도 상기 로드, 완충 부재의 외측면을 둘러싸도록 설치되는 결합 부재를 포함하고,
상기 지지 바디의 내벽 및 상기 결합 부재의 외측면 각각에는 나사홈 및 나사산을 가지는 체결 수단이 마련되어, 상기 지지 바디와 결합 부재가 상호 체결, 결합되는 기판 지지 유닛.The method according to claim 1,
And an engaging member inserted into the supporting body so as to surround at least the outer surface of the rod and the buffer member,
Wherein each of the inner wall of the support body and the outer surface of the coupling member is provided with fastening means having a thread groove and a thread, and the support body and the coupling member are fastened and coupled to each other.
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