KR101482964B1 - Cleansing or recovery device for the treatment of highly concentrated water-soluble odor and toxic substances Included in the exhaust gas - Google Patents

Cleansing or recovery device for the treatment of highly concentrated water-soluble odor and toxic substances Included in the exhaust gas Download PDF

Info

Publication number
KR101482964B1
KR101482964B1 KR20140090909A KR20140090909A KR101482964B1 KR 101482964 B1 KR101482964 B1 KR 101482964B1 KR 20140090909 A KR20140090909 A KR 20140090909A KR 20140090909 A KR20140090909 A KR 20140090909A KR 101482964 B1 KR101482964 B1 KR 101482964B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
water
exhaust gas
cleaning
housing
washing water
Prior art date
Application number
KR20140090909A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
조윤현
김경호
정용식
박동욱
Original Assignee
주식회사 지이테크
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 지이테크 filed Critical 주식회사 지이테크
Priority to KR20140090909A priority Critical patent/KR101482964B1/en
Application granted granted Critical
Publication of KR101482964B1 publication Critical patent/KR101482964B1/en

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D47/00—Separating dispersed particles from gases, air or vapours by liquid as separating agent
    • B01D47/12—Washers with plural different washing sections
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D47/00—Separating dispersed particles from gases, air or vapours by liquid as separating agent
    • B01D47/06—Spray cleaning
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
    • B01D53/34—Chemical or biological purification of waste gases
    • B01D53/74—General processes for purification of waste gases; Apparatus or devices specially adapted therefor
    • B01D53/77—Liquid phase processes
    • B01D53/78—Liquid phase processes with gas-liquid contact
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D2258/00—Sources of waste gases
    • B01D2258/02—Other waste gases
    • B01D2258/0216—Other waste gases from CVD treatment or semi-conductor manufacturing

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Environmental & Geological Engineering (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Biomedical Technology (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Oil, Petroleum & Natural Gas (AREA)
  • Treating Waste Gases (AREA)

Abstract

Provided is a cleansing and recovery device for treating highly concentrated water-soluble odor and toxic substances included in exhaust gas, which can show advanced cleansing efficiency, can be easily maintained and managed by planning structural simplification, and can be widely used since maintenance expenses are low, by repeatedly cleansing highly concentrated water-soluble odor and toxic substances included in exhaust gas that is discharged from a semiconductor and LCD plant and various chemical plants in gas dispersibility method.

Description

배기가스에 포함된 고농도 수용성 악취 및 유해물질 처리용 세정회수 장치{Cleansing or recovery device for the treatment of highly concentrated water-soluble odor and toxic substances Included in the exhaust gas}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a cleaning and recovery device for treating high-concentration water-soluble odors and toxic substances contained in exhaust gases,

본 발명은 배기가스에 포함된 고농도 수용성 악취 및 유해물질 처리용 세정회수 장치에 관한 것으로서, 특히 반도체와 LCD 공장 및 여러 화학공장 등에서 배출되는 배기가스에 포함된 고농도 수용성 악취 및 유해물질을 가스분산성 방식으로 다단계 반복 세정함으로써 보다 향상된 세정효율을 발휘할 수 있음은 물론, 구조적 간소화를 도모하여 보수유지 및 관리가 용이하면서도 유지비가 저렴하여 범용화 가능한 배기가스에 포함된 고농도 수용성 악취 및 유해물질 처리용 세정회수 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a high-concentration water-soluble odor and toxic substances contained in an exhaust gas, and more particularly, to a high-concentration water-soluble odor and harmful substance contained in exhaust gas discharged from semiconductors, LCD factories, The cleaning efficiency can be improved by performing the multistage repeated cleaning, and the cleaning efficiency is improved. Also, the high concentration water soluble odor contained in the exhaust gas which is easy to maintain and manage, ≪ / RTI >

일반적으로 배기가스는 반도체와 LCD 공장 및 여러 화학공장 등에서 배출되는 것으로서 여러 배기성분을 포함하고 있으며 악취도 발생시키는 것이다.Generally, exhaust gas is emitted from semiconductors, LCD factories, and various chemical plants. It contains various exhaust components and generates odor.

따라서 공장에서는 배기가스가 대기중에 그대로 방출되는 것을 방지할 수 있도록 의무적으로 배기가스 처리장치를 설치하고 있다.Therefore, the factory is obliged to install the exhaust gas treatment device so as to prevent the exhaust gas from being released into the atmosphere as it is.

이러한 배기가스의 처리장치로는 대한민국 등록특허공보 제10-1115206호에 나타난 바와 같이 반도체 제조 공정으로부터 배출되는 할로겐계가스 함유 배기가스의 도입구, 흡착제의 충전부, 할로겐계 가스 흡수액을 첨가하기 위한 수단(예컨대, 스프레이노즐 또는 샤워헤드노즐), 및 처리된 가스의 배출구를 포함성하는 "배기가스의 처리 방법 및 처리 장치"가 개시되어 있다.Examples of such an exhaust gas treatment apparatus include an inlet for introducing a halogen-containing gas exhaust gas discharged from a semiconductor manufacturing process, a charging section for an adsorbent, a means for adding a halogen-containing gas absorption liquid, as shown in Korean Patent Registration No. 10-1115206 (E. G., A spray nozzle or shower head nozzle), and an outlet for the treated gas.

그런데 상기 처리장치를 통해 배기가스를 처리함에 있어서 배기가스가 순간적으로 가스 흡수액이 첨가된 흡착제에 통과됨으로서, 배기가스와 흡착제의 접촉 면적이 적어짐으로 인하여 배기가스의 포함되어 있는 악취 및 유해물질은 그대로 대기중으로 방출되는 문제점이 있었다.However, since the exhaust gas is instantaneously passed through the adsorbent to which the gas absorbing liquid has been added, the contact area between the exhaust gas and the adsorbent is reduced in treating the exhaust gas through the treatment device, and therefore odor and harmful substances contained in the exhaust gas There is a problem that it is released into the atmosphere.

또한 흡착제가 장시간 사용되면 내부에 오염이 발생하여 가스가 한쪽으로만 쏠리면서(데드스페이스-dead space) 유입되어 가스의 처리효율이 급격히 떨어지는 문제점이 있었다.Also, when the adsorbent is used for a long time, there is a problem that the inside is contaminated and the gas is drawn to only one side (dead space), and the efficiency of treating the gas is drastically decreased.

따라서 종래의 흡착제 형식의 처리장치를 이용할 경우에는 배기가스에 포함되어 있는 악취 및 유해물질의 제거가 미비한 문제점을 가지고 있었다.Therefore, when the conventional adsorbent type treatment apparatus is used, there is a problem that the odor and harmful substances contained in the exhaust gas are not removed.

그래서 종래의 처리장치를 사용할 경우에는 후 처리장치로 악취 및 유해물질을 제거할 수 있는 필터나 활성탄을 이용하는 처리 공정을 더 구비해야 함으로서, 처리장치의 설치비용이 과다하게 들게 됨은 물론, 필터와 활성탄의 주기적인 교체로 인한 유지보수 비용이 낭비되는 문제점이 있었다.Therefore, in the case of using a conventional treatment apparatus, it is necessary to further include a treatment process using a filter or activated carbon that can remove odor and harmful substances in the post-treatment apparatus, so that the installation cost of the treatment apparatus is excessively increased, There is a problem that the maintenance cost is wasted due to the periodic replacement of the battery.

대한민국 등록특허공보 제10-1115206호 (2012.02.03)Korean Registered Patent No. 10-1115206 (Feb. 23, 2012)

본 발명은 상기와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 발명된 것으로서, 반도체와 LCD 공장 및 여러 화학공장 등에서 배출되는 배기가스에 포함된 고농도 수용성 악취 및 유해물질을 가스분산성 방식으로 다단계 반복 세정함으로써, 보다 향상된 세정효율을 발휘할 수 있음은 물론, 구조적 간소화를 도모하여 보수유지 및 관리가 용이하면서도 유지비가 저렴하여 범용화 가능한 배기가스에 포함된 고농도 수용성 악취 및 유해물질 처리용 세정회수 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.Disclosure of Invention Technical Problem [8] Accordingly, the present invention has been made in order to solve the problems of the conventional art as described above, and it is an object of the present invention to provide a method and apparatus for recovering high concentration water- soluble odorous and harmful substances contained in exhaust gas discharged from semiconductors, LCD factories, The present invention also provides a washing and collecting apparatus for treatment of odor and harmful substances, which is contained in an exhaust gas which can be generalized and which is easy to maintain and maintain, There is a purpose.

상기와 같은 목적을 실현하기 위하여, 본 발명은 세정수를 공급받아 배기가스에 포함된 고농도 수용성 악취 및 유해물질을 세정하는 배기가스에 포함된 고농도 수용성 악취 및 유해물질 처리용 세정회수 장치에 있어서, 상기 배기가스가 내부로 유입되어 상부방향으로 이동되도록 원통 형태로 형성되는 하우징; 상기 하우징의 하부 일측에 설치되어 배기가스를 하우징 내부로 투입시키는 가스 투입관; 상기 가스 투입관의 상부측 하우징 내부에 1개 또는 2개 이상 구비되어 세정수를 공급받아 분사하여 하우징 내부로 유입되는 배기가스에 포함된 입자상물질을 액분산성 방식으로 제거 세정하는 제1세정수단; 상기 제1세정수단의 상부측 하우징 내부에 원판 형태로 다수의 관통공이 형성되는 지지판이 일정한 간격을 두고 수직방향으로 2개 이상 설치되며, 지지판 상부측 하우징 내부에 위치하여 외부에서 세정수를 공급받아 지속적으로 세정수를 분사하여 지지판 상부측 표면에 세정수를 채워지도록 공급하는 분사노즐이 구비되고, 지지판에 형성되는 다수의 관통공 각각에 지지판의 상부측 표면에 채워진 세정수 내부에 배기가스를 유입시키는 다수의 포종캡이 설치되며, 지지판의 관통공과 포종캡 사이에 오링이 구비되고, 지지판의 하부측에 노출되는 포종캡의 하부에 지지판에 포종캡을 고정하는 고정너트가 나사결합되는 제2세정수단; 상기 하우징 내부에 2개 이상 설치되는 지지판의 상층으로부터 하층방향으로 일측 또는 타측에 교대로 순차적으로 각각 설치되어 상층에 설치되는 지지판으로 공급되는 세정수를 하층에 설치되는 지지판으로 이동시켜 공급하는 세정수 이동수단; 상기 하우징 하단부에 설치되어 세정수 이동수단으로부터 하부 수직방향으로 이동하는 세정수와 제1세정수단으로부터 하부방향으로 분사되는 세정수가 이동되어 저장되는 세정수 저장조; 상기 세정수 저장조의 일측에 구비되어 세정수 저장조 내부에 저장되는 세정수를 외부로 배출시키는 세정수 배출관; 상기 하우징 상부 일측면에 구비되어 제1세정수단와 제2세정수단에 의해 세정되어 상부방향으로 이동되는 가스를 하우징 내부에서 외부로 배출시키는 가스 배출관;을 포함하여 이루어지되, 상기 세정수 이동수단은 원형관 형태로 제2세정수단 지지판의 일측 또는 타측에 수직방향으로 설치되는 이동관이 형성되며, 상기 이동관의 상단부에 낮은 수위의 세정수가 이동관 내부로 유입되어 하부방향으로 이동되도록 하는 경사부가 형성되고, 상기 이동관 내부로 유입되는 세정수가 하부방향으로 원활하게 이동되도록 하는 통기관이 이동관 내부에 삽입 설치되며, 상기 통기관의 상부가 이동관위 상부에 노출되도록 고정하는 고정고리가“ㄱ”자 형태로 통기관 외측 중부에 형성되어 경사부의 상단부에 결합됨을 특징으로 하는 배기가스에 포함된 고농도 수용성 악취 및 유해물질 처리용 세정회수 장치를 제공한다.In order to achieve the above object, the present invention provides a cleaning and collecting device for treating high-concentration water-soluble odor and harmful substances contained in exhaust gas supplied with cleaning water and cleaning high-concentration water-soluble odorous and harmful substances contained in exhaust gas, A housing having a cylindrical shape such that the exhaust gas flows into the interior of the housing and moves upward; A gas inlet tube installed at a lower side of the housing to inject exhaust gas into the housing; First cleaning means provided in the housing at the upper side of the gas inlet tube for removing and cleaning the particulate matter contained in exhaust gas flowing into the housing by supplying and spraying the washing water in a liquid dispersive manner; At least two support plates having a plurality of through holes formed in a disc shape inside the upper side housing of the first cleaning means at regular intervals and provided inside the housing on the upper side of the support plate, And an injection nozzle for continuously supplying washing water to the upper surface of the support plate so as to fill the washing water, and exhaust gas is introduced into the washing water filled in the upper surface of the supporting plate in each of the plurality of through holes formed in the supporting plate And a second nut, which is screwed to a fixing nut for fixing the spray cap to the support plate, is provided at a lower portion of the spray cap which is exposed at the lower side of the support plate, Way; The washing water is supplied to a supporting plate provided on an upper layer and then supplied to a supporting plate provided on an upper layer. transportation; A washing water storage tank installed at a lower end of the housing to move the washing water moving downward from the washing water moving means in the vertical direction below and the washing water sprayed in the downward direction from the first washing means; A washing water discharge pipe provided at one side of the washing water storage tank for discharging the washing water stored in the washing water storage tank to the outside; And a gas discharge pipe provided at one side of the upper portion of the housing for discharging the gas, which is cleaned by the first cleaning means and the second cleaning means, and moves upward, from the inside of the housing to the outside, A slope part is formed at an upper end of the moving pipe so that a washing water having a low level flows into the moving pipe and is moved in a downward direction, A fixing ring for fixing the upper portion of the vent pipe so as to be exposed at the upper portion of the moving pipe is formed in a shape of " a " in the middle of the outside of the vent pipe And is connected to the upper end of the inclined portion. A cleaning and recovery device for treating water-soluble odors and toxic substances is provided.

이와 같이 이루어지는 본 발명에 의한 배기가스에 포함된 고농도 수용성 악취 및 유해물질 처리용 세정회수 장치는 반도체와 LCD 공장 및 여러 화학공장 등에서 배출되는 배기가스에 포함된 고농도 수용성 악취 및 유해물질 다단계의 반복 세정함으로써 보다 향상된 세정효율을 발휘할 수 있음은 물론, 저풍량에도 탁월한 성능을 보여주며, 구조적 간소화를 도모하여 보수유지 및 관리가 용이하면서도 유지비가 저렴하여 범용화할 수 있는 효과가 있다.The cleaning and collecting device for treating highly concentrated water-soluble odor and harmful substances contained in the exhaust gas according to the present invention according to the present invention is characterized in that the high concentration water-soluble odor and harmful substances contained in the exhaust gas discharged from semiconductors, LCD factories, Thereby exhibiting excellent cleaning efficiency even in a low air flow rate, facilitating structural simplification, facilitating maintenance and management, and lowering the maintenance cost, thereby achieving commercialization.

또한 하우징 내부에 일정한한 간격을 두고 구성되는 제2세정수단의 포종캡이 설치된 지지판의 단수가 증가할수록 배기가스의 세정효율이 향상되고, 포종캡이 설치된 지지판의 단수와 지지판에 설치되는 포종캡의 개수에 따라 배기가스의 세정효율 조절할 수 있으며, 가스분산성 방식의 제2세정수단으로 인해 가스를 균질하게 분산시킬 수 있는 효과가 있다.Also, the cleaning efficiency of the exhaust gas is improved as the number of steps of the support plate provided with the spraying caps of the second cleaning means formed at a predetermined interval in the housing is increased, and the number of the support plates provided on the support plate The cleaning efficiency of the exhaust gas can be controlled according to the number of the first cleaning means, and the second cleaning means of the gas dispersion type can distribute the gas homogeneously.

또한 하우스 내부에 유입되는 다항목 또는 단일 항목으로 이루어진 배기가스의 종류에 따라 제1세정수단으로 공급되는 세정수의 공급방식과 세정수에 첨가되는 약품을 변경하여 세정 또는 농축 및 회수목적으로 사용할 수 있는 효과가 있다.Also, depending on the kind of exhaust gas which is composed of multi-items or single items flowing into the house, the method of supplying the washing water supplied to the first washing means and the chemicals added to the washing water can be changed and used for cleaning or concentration and recovery There is an effect.

도 1은 본 발명에 의한 배기가스에 포함된 고농도 수용성 악취 및 유해물질 처리용 세정회수 장치의 단면도,
도 2는 본 발명에 의한 제2세정수단의 분해 사시도,
도 3은 본 발명에 의한 포종캡의 사용상태 단면도,
도 4는 본 발명에 의한 세정수 이동수단의 단면도,
도 5는 본 발명에 의한 배기가스에 포함된 고농도 수용성 악취 및 유해물질 처리용 세정회수 장치의 사용상태 단면도,
도 6은 본 발명에 의한 배기가스에 포함된 고농도 수용성 악취 및 유해물질 처리용 세정회수 장치의 다른 실시예를 나타내는 사용상태 단면도이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a cross-sectional view of a washing and collecting apparatus for treatment of high concentration water-soluble odorous and harmful substances contained in an exhaust gas according to the present invention,
2 is an exploded perspective view of the second cleaning means according to the present invention,
FIG. 3 is a sectional view of a seedling cap according to the present invention,
4 is a cross-sectional view of the washing water moving means according to the present invention,
FIG. 5 is a sectional view showing the state of use of the high concentration water-soluble odorous and harmful substance cleaning and recovery apparatus included in the exhaust gas according to the present invention,
FIG. 6 is a sectional view showing the cleaning state of the washing and collecting apparatus for treatment of high concentration water-soluble odor and harmful substances contained in the exhaust gas according to the present invention.

이하 본 발명의 실시를 위한 구체적인 내용을 첨부한 도면을 참조하여 더욱 상세하게 설명한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1 내지 도 6을 참고하여 보면 본 발명에 의한 배기가스에 포함된 고농도 수용성 악취 및 유해물질 처리용 세정회수 장치는 반도체와 LCD 공장 및 여러 화학공장 등에서 발생하는 염산(HCl), 질산(HNO3), 황산(H2SO4), 불산(HF)으로 이루어진 군중에서 1종인 산가스와 암모니아(NH3)인 알칼리가스와 황화수소(H2S), 메테인싸이올(CH4S), 알데하이드계, 케톤계, 유기산으로 이루어진 군중에서 1종인 악취물질 및 수용성 VOCs, 다이메틸폼아마이드(dimethylformamide, DMF)로 이루어진 군중에서 1종인 수용성 유기용제를 중화 또는 흡수에 의한 세정을 하기 위해 하우징(10), 가스 투입관(20), 제1세정수단(30), 제2세정수단(40), 세정수 이동수단(50), 세정수 저장조(60), 세정수 배출관(70), 가스 배출관(80)으로 이루어진다.1 to 6, the cleaning and recovering device for treating highly concentrated water-soluble odor and harmful substances contained in the exhaust gas according to the present invention comprises hydrochloric acid (HCl), nitric acid (HNO 3 ), sulfuric acid (H 2 SO 4), hydrofluoric acid (HF), 1 species, acid gases and ammonia from the group of (NH 3), an alkaline gas and hydrogen sulfide (H 2 S), methane thiol (CH 4 S), aldehyde A water-soluble organic solvent, which is one of a group consisting of malodorous substances, water-soluble VOCs, and dimethylformamide (DMF), which is one of a group consisting of water, ketones, and organic acids, A cleaning water storage tank 60, a cleaning water discharge pipe 70, a gas discharge pipe 80, and a gas discharge pipe 70. The gas supply pipe 20 is connected to the gas supply pipe 20, the first cleaning means 30, the second cleaning means 40, ).

도 1에 도시된 바와 같이 상기 하우징(10)은 배기가스(G)가 내부로 유입되어 상부방향으로 이동되도록 원통 형태로 형성된다. 상기 하우징(10)은 수평측 단면이 원형인 원통 형태로 형성됨이 바람직하나, 수평측 단면이 삼각형, 사각형, 오각형 및 육각형 등의 다각형인 케이스 형태로 형성되어도 무관하다.As shown in FIG. 1, the housing 10 is formed in a cylindrical shape so that the exhaust gas G flows into the inside and moves upward. The housing 10 is preferably formed in a cylindrical shape having a circular cross section on the horizontal side, but may be formed in a case shape having a polygonal shape such as a triangular, rectangular, pentagonal, and hexagonal cross section.

또한 상기 하우징(10)의 하부 일측에 배기가스(G)를 하우징(10) 내부로 투입시키는 가스 투입관(20)이 설치된다.A gas inlet pipe 20 for introducing the exhaust gas G into the housing 10 is installed at a lower side of the housing 10.

그리고 상기 가스 투입관(20)의 상부측 하우징(10) 내부에 세정수(W)를 공급받아 분사하는 제1세정수단(30)이 1개 또는 2개 이상 구비되어 하우징(10) 내부로 유입되는 배기가스(G)에 포함된 입자상물질을 액분산성 방식으로 제거 세정하게 된다.One or more first cleaning means 30 for supplying and discharging the washing water W into the upper housing 10 of the gas inlet pipe 20 are provided and introduced into the housing 10 The particulate matter contained in the exhaust gas G is removed by a liquid dispersing method.

한편 상기 상기 제1세정수단(30)의 상부측 하우징(10) 내부에 구성되어 배기가스(G)를 가스분산성 방식으로 다단계 반복 세정하는 제2세정수단(40)이 구성된다.On the other hand, the second cleaning means 40 constituted inside the upper housing 10 of the first cleaning means 30 constitutes a second cleaning means 40 for repeatedly and repeatedly cleaning the exhaust gas G in a gas dispersion manner.

상기 제2세정수단(40)은 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 하우징(10) 내부에 원판 형태로 다수의 관통공(41a)이 형성되는 지지판(41)이 일정한 간격을 두고 수직방향으로 2개 이상 설치된다.As shown in FIGS. 1 and 2, the second cleaning means 40 includes a support plate 41 in which a plurality of through holes 41a are formed in a disc shape in a housing 10, Two or more are installed.

상기 지지판(41) 상부측 하우징(10) 내부에 위치하여 외부에서 세정수(W)를 공급받아 지속적으로 세정수(W)를 분사하여 지지판(41) 상부측 표면에 세정수(W)를 채워지도록 공급하는 분사노즐(42)이 구비된다.The cleaning water W is continuously supplied to the upper surface of the support plate 41 by being supplied with the cleansing water W from the outside and being filled in the cleansing water W by being positioned inside the housing 10 on the upper side of the support plate 41 The spray nozzle 42 is provided.

또한 상기 지지판(41)에 형성되는 다수의 관통공(41a) 각각에 지지판(41)의 상부측 표면에 채워진 세정수(W) 내부에 배기가스(G)를 유입시키는 다수의 포종캡(43)이 설치되며, 지지판(41)의 관통공(41a)과 포종캡(43) 사이에 배기가스(G)와 세정수(W)가 유입되지 않게 밀폐시키는 오링(44)이 구비된다.Each of the plurality of through-holes 41a formed in the support plate 41 is provided with a plurality of conical caps 43 for introducing the exhaust gas G into the cleansing water W filled on the upper surface of the support plate 41, And an O-ring 44 is provided between the through-hole 41a of the support plate 41 and the spray cap 43 to seal the exhaust gas G and the washing water W so as not to be introduced.

그리고 상기 지지판(41)의 하부측에 노출되는 포종캡(43)의 하부에 지지판(41)에 포종캡(43)을 고정하는 고정너트(45)가 나사결합된다.A fixing nut 45 for fixing the seedling cap 43 to the support plate 41 is screwed to the lower portion of the seedling cap 43 exposed to the lower side of the support plate 41.

상기 제2세정수단(40)으로 인해 종래의 세정창치보다 배기가스(G)를 균질하게 분산시킬 수 있다.Due to the second cleaning means 40, the exhaust gas G can be more homogeneously dispersed than the conventional cleaning window.

또한 상기 제2세정수단(40)의 포종캡(43)이 설치된 지지판(41)의 단수가 증가할수록 배기가스(G)의 세정효율이 향상되고, 포종캡(43)이 설치된 지지판(41)의 단수와 지지판(41)에 설치되는 포종캡(43)의 개수에 따라 배기가스(G)의 세정효율 조절할 수 있다.The cleaning efficiency of the exhaust gas G is improved as the number of steps of the support plate 41 provided with the seedling cap 43 of the second cleaning means 40 is increased and the efficiency of cleaning of the support plate 41 It is possible to control the cleaning efficiency of the exhaust gas G according to the number of the plurality of seed caps 43 provided on the support plate 41.

도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이 상기 제2세정수단(40)의 포종캡(43)은 단면이“∩” 형태인 몸체(43a)가 원통 형태로 형성되고, 몸체(43a)의 하부 외주연을 따라 다수의 배출공(43b)이 형성된다.As shown in Figs. 2 and 3, the seedling cap 43 of the second washing means 40 is formed in a cylindrical shape in which the cross section is in the shape of "∩", and the lower part of the body 43a A plurality of discharge holes 43b are formed along the periphery.

상기 몸체(43a)의 내부에 삽입 나사결합되어 배기가스(G)를 몸체(43a) 내부로 유입시키는 유입관(43c)이 원형관 형태로 형성되며, 유입관(43c)의 하부에 고정너트(45)가 나사결합되도록 나사부(43d)가 형성된다.An inlet pipe 43c is formed in the shape of a circular tube to insert the exhaust gas G into the inside of the body 43a by being inserted and screwed into the inside of the body 43a. 45 are screwed to each other.

상기 포종캡(43)의 유입관(43c) 하부로부터 유입되는 배기가스(G)는 유입관(43c) 상부로 이동되어 몸체(43a)의 내부에 유입되고, 몸체(43a)의 내부에 유입되는 배기가스(G)는 단면이“∩” 형태인 몸체(43a)의 내측면을 따라 이동하여 배출공(43b)으로 배출된다.The exhaust gas G flowing from the lower part of the inlet pipe 43c of the spray gun cap 43 is moved to the upper portion of the inlet pipe 43c and flows into the inside of the body 43a and flows into the inside of the body 43a The exhaust gas G moves along the inner surface of the body 43a whose cross-section is in the shape of "∩" and is discharged to the discharge hole 43b.

또한 상기 제2세정수단(40)의 포종캡(43)은 제조단가를 줄이기 위해 PP, PE, PVC로 이루어진 군중에서 1종인 경질 플라스틱 재질 또는 장기간 사용이 가능한 알루미나인 세라믹 재질, 철, 구리, 알루미늄으로 이루어진 군중에서 1종인 금속합금재질 중 어느 하나로 형성됨이 바람직하다.In order to reduce the manufacturing cost, the clogging cap 43 of the second cleaning means 40 may be made of a hard plastic material or a long-time use ceramic material such as iron, copper, aluminum And a metal alloy material selected from the group consisting of one or more metal alloys.

또한 상기 포종캡(43)의 몸체(43a)는 수평측 단면이 원형인 원통 형태로 형성됨이 바람직하나, 수평측 단면이 삼각형, 사각형, 오각형 및 육각형 등의 다각형인 케이스 형태로 형성되어도 무관하다.Further, the body 43a of the spray gun cap 43 is preferably formed in a cylindrical shape having a circular cross section on the horizontal side, but it may be formed in a case shape having a polygonal shape such as a triangular, rectangular, pentagonal or hexagonal cross section.

한편 상기 하우징(10) 내부에 2개 이상 설치되는 지지판(41)의 상층으로부터 하층방향으로 일측 또는 타측에 교대로 순차적으로 각각 세정수 이동수단(50)이 설치된다. 상기 세정수 이동수단(50)으로 인해 상층에 설치되는 지지판(41)으로 공급되는 세정수(W)를 하층에 설치되는 지지판(41)으로 이동시켜 공급하게 된다.On the other hand, the washing water moving means 50 is installed alternately on the one side or the other side in the lower layer direction from the upper layer of the supporting plate 41 provided at least two inside the housing 10. The washing water W supplied to the supporting plate 41 provided on the upper layer is transferred to and supported by the supporting plate 41 provided on the lower layer by the washing water moving means 50.

상기 세정수 이동수단(50)은 도 4에 도시된 바와 같이 원형관 형태로 제2세정수단(40) 지지판(41)의 일측 또는 타측에 수직방향으로 설치되는 이동관(51)이 형성되며, 이동관(51)의 상단부에 낮은 수위의 세정수(W)가 이동관(51) 내부로 유입되어 하부방향으로 이동되도록 하는 경사부(52)가 형성된다.4, the washing water moving means 50 is formed with a moving pipe 51 installed in a vertical direction on one side or the other side of the supporting plate 41 of the second washing means 40 in the form of a circular tube, An inclined portion 52 is formed at the upper end of the movable tube 51 to allow the washing water W having a low level to flow into the moving tube 51 and move downward.

또한 상기 이동관(51) 내부로 유입되는 세정수(W)가 하부방향으로 원활하게 이동되도록 하는 통기관(53)이 이동관(51) 내부에 삽입 설치되고, 통기관(53)의 상부가 이동관(51)위 상부에 노출되도록 고정하는 고정고리(54)가“ㄱ”자 형태로 통기관(53) 외측 중부에 형성되어 경사부(52)의 상단부에 결합된다.A vent pipe 53 for allowing the washing water W flowing into the moving pipe 51 to smoothly move downward is inserted into the moving pipe 51. The upper part of the vent pipe 53 is connected to the moving pipe 51, And a fixing ring 54 for fixing the upper portion of the upper portion of the upper portion of the air tube 53 to be exposed is coupled to the upper end of the upper portion of the air tube 53 in an " a "

한편 상기 지지판(41)의 관통공(41a)에 설치되는 포종캡(43)의 배출공(43b)이 지지판(41)의 상부측 표면에 채워진 세정수(W) 외부로 노출되면 배출공(43b)으로 배출되는 배기가스(G)가 세정수(W) 내부를 통과하지 않고 그대로 상부방향으로 이동하게 됨으로 배기가스(G)의 세정이 이루어지지 않는 문제점이 발생함으로 도 5에 도시된 바와 같이 지지판(41)의 상부측 표면에 채워진 세정수(W)의 수위 높이는 항상 몸체(43a)의 하부 외주연을 따라 형성되는 다수의 배출공(43b)이 세정수(W)에 잠기도록 유지함이 바람직하다.When the discharge hole 43b of the spray gun 43 installed in the through hole 41a of the support plate 41 is exposed to the outside of the cleaning water W filled in the upper side surface of the support plate 41, The exhaust gas G discharged from the exhaust gas G does not pass through the inside of the washing water W but moves upward as it is. As a result, the exhaust gas G is not cleaned. It is preferable that the water level of the cleansing water W filled on the upper side surface of the main body 43a always keeps the plurality of discharge holes 43b formed along the lower outer circumference of the body 43a to be immersed in the cleansing water W .

또한 상기 제2세정수단(40)의 지지판(41) 상부측 표면에 채워진 세정수(W)의 수위 높이가 유지되면서 하층에 설치된 지지판(41)으로 세정수(W)가 이동되도록 세정수 이동수단(50) 이동관(51)의 하단부와 경사부(52)의 테두리 하부측은 제2세정수단(40)의 지지판(41)의 상단으로부터 포종캡(43)의 배출공(43b)이 형성된 위치보다 높게 이격 설치된다.The cleaning water W is moved by the support plate 41 provided in the lower layer while the height of the cleaning water W filled in the upper surface of the upper surface of the support plate 41 of the second cleaning means 40 is maintained, (50) The lower end of the moving pipe 51 and the lower side of the rim of the inclined portion 52 are positioned above the upper end of the support plate 41 of the second cleaning means 40 at a position higher than the position where the discharge hole 43b of the sprayer cap 43 is formed Respectively.

한편 상기 하우징(10) 하단부에 세정수 저장조(60)가 설치되어 세정수 이동수단(50)으로부터 하부 수직방향으로 이동하는 세정수(W)와 제1세정수단(30)으로부터 분사되는 세정수(W)가 세정수 저장조(60)로 이동되어 저장된다.Meanwhile, a washing water storage tank 60 is provided at the lower end of the housing 10, and washing water W moving vertically downward from the washing water moving means 50 and washing water sprayed from the first washing means 30 W are transferred to the washing water storage tank 60 and stored.

또한 상기 세정수 저장조(60) 내부에 저장되는 세정수(W)를 외부로 배출시키도록 세정수 저장조(60)의 일측에 세정수 배출관(70)이 구비된다.A rinse water discharge pipe 70 is provided at one side of the rinse water storage tank 60 to discharge the rinse water W stored in the rinse water storage tank 60 to the outside.

그리고 상기 제1세정수단(30)와 제2세정수단(40)에 의해 세정되어 상부방향으로 이동되는 가스를 하우징(10) 내부에서 외부로 배출시키도록 하우징(10) 상부 일측면에 가스 배출관(80)이 설치된다.A gas discharge pipe (not shown) is disposed on one side of the upper surface of the housing 10 so as to discharge the gas, which is cleaned by the first cleaning means 30 and the second cleaning means 40, 80 are installed.

상기와 같이 구성되는 본 발명은 가스 투입관(20)에 의해 하우징(10) 내부로 투입되는 배기가스(G)가 하우징(10) 내측을 따라 상부방향으로 이동하게 되면 제1세정수단(30)이 세정수(W)를 분사하여 배기가스(G)에 포함된 입자상물질을 제거 세정하게 되고, 입자상물질이 제거 세정된 배기가스(G)는 상부방향으로 이동되어 제2세정수단(40)으로 유입된다.The exhaust gas G introduced into the housing 10 by the gas inlet pipe 20 moves upward along the inside of the housing 10 and then flows into the first cleaning means 30, The cleaning water W is sprayed to remove the particulate matter contained in the exhaust gas G and the particulate matter is removed and the exhaust gas G is moved upward to the second cleaning means 40 ≪ / RTI >

이때 상기 배기가스(G)의 입자상물질이 제1세정수단(30)에 의해 액분산성 방식으로 제거됨으로 제2세정수단(40)의 포종캡(43)에 형성된 다수의 배출공(43b) 및 유입관(43c)이 배기가스(G)에 포함된 입자상물질로 인해 막혀지는 것을 미연에 방지할 수 있다.The particulate matter of the exhaust gas G is removed by the first cleaning means 30 in a liquid dispersive manner so that a large number of discharge holes 43b formed in the spray gun cap 43 of the second cleaning means 40, It is possible to prevent the pipe 43c from being clogged by the particulate matter contained in the exhaust gas G in advance.

상기 제2세정수단(40)으로 유입되는 배기가스(G)는 분사노즐(42)에 의해 지지판(41) 상부측 표면에 채워진 세정수(W) 내부로 유입되며, 세정수(W) 내부로 유입된 배기가스(G) 내에 악취 및 유해물질은 가스분산성 방식으로 세정된다.The exhaust gas G flowing into the second cleaning means 40 is introduced into the washing water W filled on the upper surface of the support plate 41 by the spray nozzle 42 and flows into the washing water W Odor and harmful substances are cleaned in a gas-dispersing manner in the inflowing exhaust gas (G).

그리고 상기 제2세정수단(40)을 통과하여 세정된 배기가스(G)는 하우징(10) 상부 일측면에 설치되는 가스 배출관(80)에 의해 외부로 이동 배출됨으로써 작업이 완료된다.The exhaust gas G that has been cleaned through the second cleaning means 40 is discharged to the outside by a gas discharge pipe 80 installed on one side of the upper portion of the housing 10, thereby completing the operation.

이때 상기 하우징(10)으로 유입되는 배기가스(G)가 염산, 황산, 질산, 불산, 암모니아, DMF로 이루어진 군중에서 1종인 단일 항목의 물질일 경우 외부에서 세정수(W)를 제1세정수단(30) 및 제2세정수단(40)으로 지속적으로 공급하여 배기가스(G)를 세정 후 세정수(W)가 세정수 저장조(60)에 이동 저장되도록 하여 단일 항목의 물질을 농축 및 회수할 수 있다.At this time, when the exhaust gas G flowing into the housing 10 is a single item of one kind selected from the group consisting of hydrochloric acid, sulfuric acid, nitric acid, hydrofluoric acid, ammonia and DMF, the washing water W is supplied from the outside to the first cleaning means The exhaust gas G is continuously supplied to the first cleaning means 30 and the second cleaning means 40 so that the cleaning water W is moved and stored in the washing water storage tank 60 to concentrate and recover the single item .

또한 도 6에 도시된 바와 같이 상기 세정수 저장조(60)의 일측부에 여과기(81)가 구비되는 펌프(80)를 더 설치하고, 펌프(80)와 연결되어 세정수 저장조(60)에 저장되는 세정수(W)를 제1세정수단(30)으로 이동시켜 공급하는 공급관(90)을 더 구비하여 다항목의 물질로 이루어진 배기가스(G) 내에 악취 및 유해물질을 제거하는 목적의 내부순환식 구조를 구성할 수 있다.6, a pump 80 having a filter 81 is further provided at one side of the washing water storage tank 60 and connected to the pump 80 so as to be stored in the washing water storage tank 60 (90) for supplying the cleaning water (W) to the first cleaning means (30) to supply the cleaning water (W) to the first cleaning means (30) Can be constructed.

상기 세정수(W)는 단일 항목의 물질로 이루어진 배기가스(G) 내에 물질을 회수 또는 다항목의 물질로 이루어진 배기가스(G) 내에 악취 및 유해물질을 제거하기 위해 가성소다(NaOH), 탄산나트륨(Na2CO3), 황산(H2SO4)으로 이루어진 군에서 1종 또는 2종 이상이 혼합 형성됨이 바람직하다.The washing water W is used for recovering a substance in exhaust gas G consisting of a single item of material or for removing odor and harmful substances in exhaust gas G made of a multi-item substance, such as caustic soda (NaOH), sodium carbonate (Na 2 CO 3 ), and sulfuric acid (H 2 SO 4 ).

한편 상기 제1세정수단(30) 및 제2세정수단(40)가 설치된 위치의 하우징(10) 양측 수직면 외측부와 세정수 저장조(60)의 양측 수직면 외측부에 각각 투시창(미도시됨)을 더 설치하여 하우징(10)과 세정수 저장조(60)의 내부관찰 및 유지보수에 활용할 수 있다.A transparent window (not shown) is further installed on the outer side of the vertical surfaces on both sides of the housing 10 at the positions where the first cleaning means 30 and the second cleaning means 40 are installed and the outer side of the vertical surfaces on both sides of the cleaning water storage tank 60 And can be used for internal observation and maintenance of the housing 10 and the washing water storage tank 60.

상기와 같이 구성되는 본 발명에 의해 반도체와 LCD 공장 및 여러 화학공장 등에서 배출되는 배기가스(G)에 포함된 고농도 수용성 악취 및 유해물질을 다단계의 반복 세정하여 보다 향상된 세정효율을 발휘할 수 있음은 물론, 저풍량에도 탁월한 성능을 보여주며, 구조적 간소화를 도모하여 보수유지 및 관리가 용이하면서도 유지비가 저렴하여 범용화할 수 있는 효과가 발생하게 된다.According to the present invention configured as described above, it is possible to exhibit improved cleaning efficiency by repeatedly washing the high-concentration water-soluble odorous and harmful substances contained in the exhaust gas (G) discharged from the semiconductor, LCD factory, , Shows excellent performance even at a low air flow rate, facilitates structural simplification, facilitates maintenance and management, and has a low maintenance cost, which can be generalized.

10 : 하우징 20 : 가스 투입관
30 : 제1세정수단 40 : 제2세정수단
50 : 세정수 이동수단 60 : 세정수 저장조
70 : 세정수 배출관 80 : 가스 배출관10: housing 20: gas inlet pipe
30: first cleaning means 40: second cleaning means
50: washing water transfer means 60: washing water storage tank
70: Cleaning water discharge pipe 80: Gas discharge pipe

Claims (6)

세정수(W)를 공급받아 배기가스(G)에 포함된 고농도 수용성 악취 및 유해물질을 세정하는 배기가스에 포함된 고농도 수용성 악취 및 유해물질 처리용 세정회수 장치에 있어서,
상기 배기가스(G)가 내부로 유입되어 상부방향으로 이동되도록 원통 형태로 형성되는 하우징(10);
상기 하우징(10)의 하부 일측에 설치되어 배기가스(G)를 하우징(10) 내부로 투입시키는 가스 투입관(20);
상기 가스 투입관(20)의 상부측 하우징(10) 내부에 1개 또는 2개 이상 구비되어 세정수(W)를 공급받아 분사하여 하우징(10) 내부로 유입되는 배기가스(G)에 포함된 입자상물질을 액분산성 방식으로 제거 세정하는 제1세정수단(30);
상기 제1세정수단(30)의 상부측 하우징(10) 내부에 원판 형태로 다수의 관통공(41a)이 형성되는 지지판(41)이 일정한 간격을 두고 수직방향으로 2개 이상 설치되며, 지지판(41) 상부측 하우징(10) 내부에 위치하여 외부에서 세정수(W)를 공급받아 지속적으로 세정수(W)를 분사하여 지지판(41) 상부측 표면에 세정수(W)를 채워지도록 공급하는 분사노즐(42)이 구비되고, 지지판(41)에 형성되는 다수의 관통공(41a) 각각에 지지판(41)의 상부측 표면에 채워진 세정수(W) 내부에 배기가스(G)를 유입시키는 다수의 포종캡(43)이 설치되며, 지지판(41)의 관통공(41a)과 포종캡(43) 사이에 오링(44)이 구비되고, 지지판(41)의 하부측에 노출되는 포종캡(43)의 하부에 지지판(41)에 포종캡(43)을 고정하는 고정너트(45)가 나사결합되는 제2세정수단(40);
상기 하우징(10) 내부에 2개 이상 설치되는 지지판(41)의 상층으로부터 하층방향으로 일측 또는 타측에 교대로 순차적으로 각각 설치되어 상층에 설치되는 지지판(41)으로 공급되는 세정수(W)를 하층에 설치되는 지지판(41)으로 이동시켜 공급하는 세정수 이동수단(50);
상기 하우징(10) 하단부에 설치되어 세정수 이동수단(50)으로부터 하부 수직방향으로 이동하는 세정수(W)와 제1세정수단(30)으로부터 하부방향으로 분사되는 세정수(W)가 이동되어 저장되는 세정수 저장조(60);
상기 세정수 저장조(60)의 일측에 구비되어 세정수 저장조(60) 내부에 저장되는 세정수(W)를 외부로 배출시키는 세정수 배출관(70);
상기 하우징(10) 상부 일측면에 구비되어 제1세정수단(30)와 제2세정수단(40)에 의해 세정되어 상부방향으로 이동되는 가스를 하우징(10) 내부에서 외부로 배출시키는 가스 배출관(80);을 포함하여 이루어지되,
상기 세정수 이동수단(50)은 원형관 형태로 제2세정수단(40) 지지판(41)의 일측 또는 타측에 수직방향으로 설치되는 이동관(51)이 형성되며,
상기 이동관(51)의 상단부에 낮은 수위의 세정수(W)가 이동관(51) 내부로 유입되어 하부방향으로 이동되도록 하는 경사부(52)가 형성되고,
상기 이동관(51) 내부로 유입되는 세정수(W)가 하부방향으로 원활하게 이동되도록 하는 통기관(53)이 이동관(51) 내부에 삽입 설치되며,
상기 통기관(53)의 상부가 이동관(51)위 상부에 노출되도록 고정하는 고정고리(54)가“ㄱ”자 형태로 통기관(53) 외측 중부에 형성되어 경사부(52)의 상단부에 결합됨을 특징으로 하는 배기가스에 포함된 고농도 수용성 악취 및 유해물질 처리용 세정회수 장치.A cleaning and collecting device for treating high-concentration water-soluble odor and harmful substances contained in exhaust gas supplied with cleaning water (W) and cleaning high-concentration water-soluble odor and harmful substances contained in exhaust gas (G)
A housing (10) formed in a cylindrical shape so that the exhaust gas (G) flows into the inside and moves upward;
A gas inlet tube 20 installed at a lower side of the housing 10 to inject exhaust gas G into the housing 10;
One or more than two or more cleaning water W may be supplied to the gas inlet pipe 20 in the upper housing 10 to inject the cleaning water W into the exhaust gas G flowing into the housing 10, First cleaning means (30) for removing particulate matter in a liquid dispersive manner;
At least two supporting plates 41 having a plurality of through holes 41a formed in the form of a disk in the upper side housing 10 of the first cleaning means 30 are vertically arranged at regular intervals, 41 is located inside the upper housing 10 and receives the cleansing water W from the outside to continuously spray the cleansing water W to supply the cleansing water W to the upper surface of the supporting plate 41 The exhaust gas G is introduced into each of the plurality of through holes 41a formed in the support plate 41 into the cleansing water W filled in the upper surface of the support plate 41 A plurality of seed caps 43 are provided and an O-ring 44 is provided between the through holes 41a of the support plate 41 and the seed caps 43, A second cleaning means 40 to which a fixing nut 45 for fixing the seedling cap 43 is screwed to the support plate 41 at a lower portion of the second cleaning means 40;
The washing water W supplied to the supporting plate 41 provided on the upper layer in order from the upper layer of the supporting plate 41 provided in the housing 10 in the order of the upper layer or the lower layer sequentially alternately A washing water moving means 50 for moving the washing water to the supporting plate 41 provided in the lower layer and supplying the washing water;
The washing water W which is provided at the lower end of the housing 10 and moves downward in the vertical direction from the washing water moving means 50 and the washing water W which is sprayed in the downward direction from the first washing means 30 are moved A washing water storage tank 60 to be stored;
A rinse water discharge pipe 70 provided at one side of the rinse water storage tank 60 to discharge the rinse water W stored in the rinse water storage tank 60 to the outside;
A gas discharge pipe (not shown) disposed on one side of the upper surface of the housing 10 for discharging the gas, which is cleaned by the first cleaning means 30 and the second cleaning means 40, 80, < / RTI >
The washing water moving means 50 is formed with a moving pipe 51 installed in a vertical direction on one side or the other side of the supporting plate 41 of the second washing means 40 in the form of a circular tube,
An inclined portion 52 is formed at the upper end of the moving pipe 51 to allow the washing water W having a low level to flow into the moving pipe 51 and move downward,
A vent pipe 53 for smoothly moving the washing water W flowing into the moving pipe 51 downward is inserted into the moving pipe 51,
A fixing ring 54 for fixing the upper portion of the vent pipe 53 to the upper portion of the moving pipe 51 is formed in the middle portion of the vent pipe 53 in the shape of " High-concentration water-soluble odor contained in exhaust gas characterized by a cleaning and recovery device for treating harmful substances. 제1항에 있어서,
상기 제2세정수단(40)의 포종캡(43)은 단면이“∩” 형태인 몸체(43a)가 원통 형태로 형성되고,
상기 몸체(43a)의 하부 외주연을 따라 다수의 배출공(43b)이 형성되며,
상기 몸체(43a)의 내부에 삽입 나사결합되어 배기가스(G)를 몸체(43a) 내부로 유입시키는 유입관(43c)이 원형관 형태로 형성되고,
상기 유입관(43c)의 하부에 고정너트(45)가 나사결합되도록 나사부(43d)가 형성됨을 특징으로 하는 배기가스에 포함된 고농도 수용성 악취 및 유해물질 처리용 세정회수 장치.The method according to claim 1,
The seedling cap 43 of the second washing means 40 is formed in a cylindrical shape with a body 43a having a cross section of "∩" shape,
A plurality of discharge holes 43b are formed along the lower outer periphery of the body 43a,
An inlet pipe 43c inserted into the body 43a to receive the exhaust gas G into the body 43a is formed in the shape of a circular tube,
And a screw part (43d) is formed on the lower part of the inflow pipe (43c) so that a fixing nut (45) is screwed on the lower part of the inflow pipe (43c). 제1항에 있어서,
상기 제2세정수단(40)의 포종캡(43)은 PP, PE, PVC로 이루어진 군중에서 1종인 경질 플라스틱 재질, 알루미나인 세라믹 재질, 철, 구리, 알루미늄으로 이루어진 군중에서 1종인 금속합금재질 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 배기가스에 포함된 고농도 수용성 악취 및 유해물질 처리용 세정회수 장치.The method according to claim 1,
The clogging cap 43 of the second cleaning means 40 is made of a hard plastic material of one kind selected from the group consisting of PP, PE and PVC, a ceramic material of alumina, a metal alloy material of one kind selected from the group consisting of iron, Wherein the high-concentration water-soluble odor and harmful substances contained in the exhaust gas are any one of the high- 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 하우징(10)으로 유입되는 배기가스(G)가 염산, 황산, 질산, 불산, 암모니아, DMF로 이루어진 군중에서 1종인 단일 항목의 물질일 경우 외부에서 세정수(W)를 제1세정수단(30) 및 제2세정수단(40)으로 지속적으로 공급하여 배기가스(G)를 세정 후 세정수(W)가 세정수 저장조(60)에 이동 저장되도록 하여 단일 항목의 물질을 농축 및 회수하는 것을 특징으로 하는 배기가스에 포함된 고농도 수용성 악취 및 유해물질 처리용 세정회수 장치.The method according to claim 1,
When the exhaust gas G flowing into the housing 10 is a single item of one kind selected from the group consisting of hydrochloric acid, sulfuric acid, nitric acid, hydrofluoric acid, ammonia and DMF, the washing water W is supplied from the outside to the first washing means 30 and the second cleaning means 40 to clean the exhaust gas G and then move the cleaning water W to the washing water storage tank 60 so as to concentrate and recover the single item High-concentration water-soluble odor contained in exhaust gas characterized by a cleaning and recovery device for treating harmful substances. 제1항에 있어서,
상기 세정수(W)는 가성소다(NaOH), 탄산나트륨(Na2CO3), 황산(H2SO4)으로 이루어진 군에서 1종 또는 2종 이상이 혼합 형성됨을 특징으로 하는 배기가스에 포함된 고농도 수용성 악취 및 유해물질 처리용 세정회수 장치.The method according to claim 1,
Wherein the cleaning water W is one or more of the group consisting of caustic soda (NaOH), sodium carbonate (Na 2 CO 3 ), and sulfuric acid (H 2 SO 4 ) High - concentration water - soluble odor and cleaning solution for the treatment of harmful substances.
KR20140090909A 2014-07-18 2014-07-18 Cleansing or recovery device for the treatment of highly concentrated water-soluble odor and toxic substances Included in the exhaust gas KR101482964B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR20140090909A KR101482964B1 (en) 2014-07-18 2014-07-18 Cleansing or recovery device for the treatment of highly concentrated water-soluble odor and toxic substances Included in the exhaust gas

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR20140090909A KR101482964B1 (en) 2014-07-18 2014-07-18 Cleansing or recovery device for the treatment of highly concentrated water-soluble odor and toxic substances Included in the exhaust gas

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR101482964B1 true KR101482964B1 (en) 2015-01-21

Family

ID=52590555

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR20140090909A KR101482964B1 (en) 2014-07-18 2014-07-18 Cleansing or recovery device for the treatment of highly concentrated water-soluble odor and toxic substances Included in the exhaust gas

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101482964B1 (en)

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101857212B1 (en) * 2017-08-24 2018-06-26 주식회사 파나시아 Exhaust gas treatment equipment including diverting means
KR20180081643A (en) * 2017-01-06 2018-07-17 오성산업(주) The stench removal unit using bubble cap
KR102057032B1 (en) 2019-10-21 2019-12-18 주식회사 지이테크 Hazardous substance recovery and purification apparatus included in exhaust gas with vertical multi-stage stacked electrostatic precipitator and gas dispersion cleaner
KR20200043102A (en) * 2018-10-17 2020-04-27 한국조선해양 주식회사 Exhaust gas treatment apparatus
KR102124536B1 (en) * 2019-10-01 2020-06-18 최기억 Chemical liquid cleaning type deodorizing apparatus using guiding cover module
WO2021112663A1 (en) * 2019-12-03 2021-06-10 Institute Of Technology Petronas Sdn. Bhd. Ultrasonic agitator comprising multilayer transducers for gas separation system and method thereof

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR0114089Y1 (en) * 1994-09-30 1998-04-14 김만제 Double fixed bubble cap apparatus
KR20070103017A (en) * 2005-02-08 2007-10-22 솔베이(소시에떼아노님) Method for purifying hydrogen chloride
KR20100113438A (en) * 2009-04-13 2010-10-21 (주)키이엔지니어링 Device and method for recovering nmp from exhaust gas
KR101203420B1 (en) * 2012-08-21 2012-11-21 (주)이화에코시스템 Dual washing and deodoring tower having acid and alkali baths

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR0114089Y1 (en) * 1994-09-30 1998-04-14 김만제 Double fixed bubble cap apparatus
KR20070103017A (en) * 2005-02-08 2007-10-22 솔베이(소시에떼아노님) Method for purifying hydrogen chloride
KR20100113438A (en) * 2009-04-13 2010-10-21 (주)키이엔지니어링 Device and method for recovering nmp from exhaust gas
KR101203420B1 (en) * 2012-08-21 2012-11-21 (주)이화에코시스템 Dual washing and deodoring tower having acid and alkali baths

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20180081643A (en) * 2017-01-06 2018-07-17 오성산업(주) The stench removal unit using bubble cap
KR102006156B1 (en) * 2017-01-06 2019-10-02 오성산업(주) The stench removal unit using bubble cap
KR101857212B1 (en) * 2017-08-24 2018-06-26 주식회사 파나시아 Exhaust gas treatment equipment including diverting means
KR20200043102A (en) * 2018-10-17 2020-04-27 한국조선해양 주식회사 Exhaust gas treatment apparatus
KR102199347B1 (en) * 2018-10-17 2021-01-06 한국조선해양 주식회사 Exhaust gas treatment apparatus
KR102124536B1 (en) * 2019-10-01 2020-06-18 최기억 Chemical liquid cleaning type deodorizing apparatus using guiding cover module
KR102057032B1 (en) 2019-10-21 2019-12-18 주식회사 지이테크 Hazardous substance recovery and purification apparatus included in exhaust gas with vertical multi-stage stacked electrostatic precipitator and gas dispersion cleaner
WO2021112663A1 (en) * 2019-12-03 2021-06-10 Institute Of Technology Petronas Sdn. Bhd. Ultrasonic agitator comprising multilayer transducers for gas separation system and method thereof

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101482964B1 (en) Cleansing or recovery device for the treatment of highly concentrated water-soluble odor and toxic substances Included in the exhaust gas
KR100663635B1 (en) Deodorization equipment doing self-rotation by a pressured deodorizing agent
KR101638429B1 (en) Chemical cleaning and deodorizing device having a foam salt removal
KR101443157B1 (en) Apparatus for purification of pollution gas
KR100975099B1 (en) Multi scrubber
KR100717430B1 (en) A high efficiency multi-water sprinkle type dust collector
CN205773501U (en) A kind of device of photocatalysis treatment heavy metal-containing waste water
CN208161376U (en) A kind of washing unit with reverse osmosis membrane
JP3223688U (en) Wet scrubber
CN210495812U (en) Energy-conserving industrial waste gas processing apparatus
KR20170049270A (en) Tunnel type ozone water odor remving facilities
CN107497223A (en) A kind of air cleaning unit and purification method
CN208526256U (en) A kind of UV photodissociation filter plant
CN207641743U (en) Spraying drying environmental protection equipment and spray equipment
KR20100011217U (en) Exclusion device for clearing dust
KR101740311B1 (en) Wet scrubber using vortex and elimination method of noxious gas using the same
CN209696569U (en) A kind of dedusting deodorization and disinfection spray column appliance arrangement of environmental purification
KR101314466B1 (en) Reactor for contact gas and liquid
CN209271151U (en) VOCs emission reduction purifying processing device
KR101609361B1 (en) Metal surface treatment of hazardous gas and dust generated during removal device
CN207462876U (en) Water curtain machine and sewage disposal device
JP2010069423A (en) Deodorization system, deodorization apparatus, and deodorization method
CN206519040U (en) The device of photochemical catalytic oxidation cleaning of off-gas
KR200425371Y1 (en) A high efficiency multi-water sprinkle type dust collector
CN215798885U (en) Municipal administration sewage factory integration sewage treatment deodorizing device

Legal Events

Date Code Title Description
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20171218

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190108

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20200103

Year of fee payment: 6