KR101475417B1 - Vacuum evaporator - Google Patents

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Abstract

본 발명의 일 실시예는 모바일 기기의 케이스 및 커버 윈도우에 박막 코팅을 수행함에 있어서, 생산성을 향상시키는 진공 증착 장치를 제공하는 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 증착 장치는, 증착원이 증발되는 진공 공간을 형성하는 진공 챔버, 상기 진공 챔버 내에서 제1 회전축에 연결되어 회전하는 제1 회전체, 및 상기 증착원에 의하여 코팅될 복수의 피코팅체를 장착하며, 상기 제1 회전체에 제2 회전축으로 연결되어 상기 제1 회전체의 회전에 따라 상기 제1 회전축의 외곽에서 공전과 자전하는 제2 회전체를 포함한다.One embodiment of the present invention is to provide a vacuum deposition apparatus for improving productivity in performing thin film coating on a case and a cover window of a mobile device. A vacuum deposition apparatus according to an embodiment of the present invention includes a vacuum chamber for forming a vacuum space in which an evaporation source is evaporated, a first rotating body connected to the first rotation axis in the vacuum chamber to rotate, And a second rotating body which is attached to the first rotating body by a second rotating shaft and rotates and revolves around the first rotating shaft in accordance with the rotation of the first rotating body .

Figure R1020130012490
Figure R1020130012490

Description

진공 증착 장치 {VACUUM EVAPORATOR}[0001] VACUUM EVAPORATOR [0002]

본 발명은 모바일 기기의 케이스 및 커버 윈도우에 박막 코팅을 수행하는 진공 증착 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a vacuum deposition apparatus for performing thin film coating on a case and a cover window of a mobile device.

예를 들면, 모바일 기기는 디스플레이 패널에서 이미지가 표시되는 측의 바깥에 커버 윈도우를 구비하며, 커버 윈도우는 투명한 경질의 소재로 제작되어 디스플레이 패널의 이미지를 그대로 투과시키면서 외부 충격으로부터 디스플레이 패널을 보호한다.For example, the mobile device has a cover window on the outside of the side where the image is displayed on the display panel, and the cover window is made of a transparent hard material to protect the display panel from external impact while transmitting the image of the display panel as it is .

커버 윈도우는 플라스틱, 글라스 및 필름으로 형성될 수 있다. 커버 윈도우는 무반사, 미러 또는 색조 기능을 가지기 위하여 박막 코팅 될 수 있다.The cover window may be formed of plastic, glass, and film. The cover window may be thin-film coated to have anti-reflection, mirror or hue function.

대한민국 실용신안등록 제0304460호에 렌즈코팅용 진공 증착기에서 가변형 코팅두께 보정장치가 개시되어 있다. 진공 증착기는 코팅 쳄버의 상부에 회전하는 렌즈 장착 회전틀에 렌즈 장착 회전판을 구비하고, 렌즈 장착 회전판에 두께 보정판을 구비한다.Korean Utility Model Registration No. 0304460 discloses a variable coating thickness compensating device in a vacuum evaporator for lens coating. The vacuum evaporator has a lens mounting rotatable plate on a rotatable lens mounting rotatable frame on the top of a coating chamber, and a thickness compensating plate on the lens mount rotatable plate.

이 렌즈코팅용 진공 증착기는 렌즈 장착 회전틀에 코팅 대상인 렌즈를 평면에 장착하므로 렌즈를 장착할 수 있는 수량에 제한을 받아서, 단위 공정당 렌즈를 코팅하는 생산량에 한계를 가진다.The vacuum evaporator for lens coating has a limitation on the production amount of coating the lens per unit process because of the limitation on the quantity of the lens to be mounted since the lens to be coated is mounted on the plane in the lens mounting rotary mold.

본 발명의 일 실시예는 모바일 기기의 케이스 및 커버 윈도우에 박막 코팅을 수행함에 있어서, 생산성을 향상시키는 진공 증착 장치를 제공하는 것이다.One embodiment of the present invention is to provide a vacuum deposition apparatus for improving productivity in performing thin film coating on a case and a cover window of a mobile device.

본 발명의 일 실시예에 따른 진공 증착 장치는, 증발원이 증발되는 진공 공간을 형성하는 진공 챔버, 상기 진공 챔버 내에서 제1 회전축에 연결되어 회전하는 제1 회전체, 및 상기 증발원에 의하여 코팅될 복수의 피코팅체를 장착하며, 상기 제1 회전체에 제2 회전축으로 연결되어 상기 제1 회전체의 회전에 따라 상기 제1 회전축의 외곽에서 공전과 자전하는 제2 회전체를 포함한다.A vacuum deposition apparatus according to an embodiment of the present invention includes a vacuum chamber for forming a vacuum space in which an evaporation source is evaporated, a first rotating body connected to the first rotation axis in the vacuum chamber to rotate, And a second rotating body which is attached to the first rotating body by a second rotating shaft and rotates and revolves around the first rotating shaft in accordance with the rotation of the first rotating body.

본 발명의 일 실시예에 따른 진공 증착 장치는, 상기 진공 챔버 내에 고정되고 상기 제1 회전축이 관통하는 링 기어, 및 상기 제1 회전축에 연결되고 상기 링 기어에 결합되며 상기 제2 회전축에 연결되어, 상기 제1 회전축의 회전에 따라 공전과 자전하도록 상기 링 기어에 배치되는 피니언 기어를 더 포함할 수 있다.A vacuum deposition apparatus according to an embodiment of the present invention includes a ring gear fixed in the vacuum chamber and through which the first rotation shaft passes, and a ring gear connected to the first rotation shaft and coupled to the ring gear, And a pinion gear disposed on the ring gear so as to rotate with the revolution of the first rotation shaft.

상기 제1 회전체는, 상기 링 기어의 하측에 배치되고 상기 제1 회전축에 연결되어 회전하며 상기 피니언 기어를 장착하는 회전 플레이트, 상기 회전 플레이트와 회전 직경 방향으로 이격되어 상기 제2 회전체의 외곽에 배치되는 프레임, 및 상기 제1 회전체의 상방에서 상기 회전 플레이트와 상기 프레임을 연결하는 아암을 포함할 수 있다.Wherein the first rotating body includes a rotating plate disposed below the ring gear and connected to the first rotating shaft for rotating and mounting the pinion gear, And an arm connecting the rotating plate and the frame at a position above the first rotating body.

상기 제2 회전체는, 상기 제1 회전체의 직경 방향에서 상기 회전 플레이트와 상기 프레임 사이에 배치되며, 상기 제2 회전축은, 양측에 제1단과 제2단을 포함하며, 상기 제1단은 상기 피니언 기어를 연결하는 피니언 기어 축에 1쌍의 베벨 기어를 개재한 베벨 기어 축에 연결되고, 상기 제2단은, 상기 프레임에 지지될 수 있다.Wherein the second rotating body is disposed between the rotating plate and the frame in the radial direction of the first rotating body, the second rotating shaft includes a first end and a second end on both sides, A pinion gear shaft connecting the pinion gear is connected to a bevel gear shaft via a pair of bevel gears, and the second end can be supported by the frame.

상기 베벨 기어 축은, 상기 제1단에 대응하는 요크부를 구비하고, 상기 요크부는, 상기 제1단에 구비되는 힌지를 상기 베벨 기어 축의 길이 방향으로 이동시키도록 양측에서 상기 베벨 기어 축의 길이 방향으로 형성되는 길이 변화 수용홈, 및 상기 제2 회전축과 상기 베벨 기어 축의 각도를 가변시키도록 양측의 길이 변화 수용홈과 교차하는 위치에 상기 베벨 기어 축의 길이 방향으로 형성되는 각도 변화 수용홈을 구비할 수 있다.The bevel gear shaft includes a yoke portion corresponding to the first end, and the yoke portion is formed in the longitudinal direction of the bevel gear shaft at both sides so as to move the hinge provided at the first end in the longitudinal direction of the bevel gear shaft And an angle change accommodating groove formed in a lengthwise direction of the bevel gear shaft at a position intersecting the length change accommodating grooves on both sides so as to vary the angle between the second rotation axis and the bevel gear shaft, .

상기 제2 회전체는, 상기 피코팅체를 장착하는 장착부를 구비하며, 상기 장착부는 상기 제2 회전축에 원주 방향 및 길이 방향을 따라 복수로 배치될 수 있다.The second rotating body may include a mounting portion for mounting the coating material, and the mounting portion may be disposed on the second rotation shaft in a plurality of directions along the circumferential direction and the longitudinal direction.

상기 제2 회전체는, 상기 장착부에 의하여 설정되는 외측을 상기 회전 플레이트 측에서 제1 직경으로 형성하고, 상기 프레임 측에서 상기 제1 직경보다 큰 제2 직경으로 형성하여, 전체적으로 원추대 형상을 가질 수 있다.Wherein the second rotating body is formed to have a first diameter at an outer side set by the mounting portion on the side of the rotating plate and a second diameter larger than the first diameter at the frame side, have.

상기 제2 회전체에서 원추대의 외면 일측 선과 상기 제1 회전축의 교차각은, 상기 증발원을 향하여 예각으로 형성될 수 있다.The intersection angle of the first rotation axis and one line of the outer surface of the truncated cone in the second rotation body may be formed at an acute angle toward the evaporation source.

본 발명의 일 실시예에 따른 진공 증착 장치는, 상기 회전 플레이트의 하측에 이격 배치되어 상기 진공 챔버에 고정되는 고정 플레이트, 및 상기 고정 플레이트에 장착되어 상기 증발원이 상기 피코팅체에 두께를 보정하는 두께 보정판을 더 포함할 수 있다.A vacuum deposition apparatus according to an embodiment of the present invention includes a fixed plate disposed on a lower side of the rotary plate and fixed to the vacuum chamber, and a fixed plate mounted on the fixed plate, And may further include a thickness compensating plate.

상기 두께 보정판은, 상기 제2 회전체의 외면 일측선에 나란하게 배치될 수 있다.The thickness compensating plate may be disposed in parallel to one lateral line of the outer surface of the second rotating body.

이와 같이 본 발명의 일 실시예에 따르면, 진공 챔버 내에 제1 회전체를 구비하고 제1 회전체에 제2 회전체를 구비하여, 제2 회전체에 피코팅체를 장착하여 제2 회전체를 공전 및 자전시키면서 증발원을 코팅함으로써 생산성을 향상시키는 효과가 있다.As described above, according to the embodiment of the present invention, the first rotating body is provided in the vacuum chamber and the second rotating body is provided in the first rotating body, and the coating body is mounted on the second rotating body, There is an effect of improving the productivity by coating the evaporation source while rotating and revolving.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 증착 장치의 구성도이다.
도 2는 도 1의 진공 챔버 내에 설치되는 제1 회전체 및 제2 회전체의 평면도이다.
도 3은 도 2의 저면도이다.
도 4는 도 2의 제1 회전체 및 제2 회전체의 사시도이다.
도 5는 도 2의 제1 회전체에 제2 회전체의 연결 관계를 도시한 상세도이다.
도 6은 제2 회전축과 베벨 기어 축의 연결 구조를 도시한 사시도이다.1 is a configuration diagram of a vacuum deposition apparatus according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a plan view of the first rotating body and the second rotating body installed in the vacuum chamber of FIG. 1;
3 is a bottom view of Fig.
4 is a perspective view of the first rotating body and the second rotating body of Fig. 2;
Fig. 5 is a detailed view showing the connection relationship of the second rotating body to the first rotating body of Fig. 2. Fig.
6 is a perspective view showing a connection structure between the second rotation shaft and the bevel gear shaft.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조부호를 붙였다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings so that those skilled in the art can easily carry out the present invention. The present invention may, however, be embodied in many different forms and should not be construed as limited to the embodiments set forth herein. In order to clearly illustrate the present invention, parts not related to the description are omitted, and the same or similar components are denoted by the same reference numerals throughout the specification.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 증착 장치의 구성도이고, 도 2는 도 1의 진공 챔버 내에 설치되는 제1 회전체 및 제2 회전체의 평면도이며, 도 3은 도 2의 저면도이다.FIG. 2 is a plan view of a first rotating body and a second rotating body installed in the vacuum chamber of FIG. 1, and FIG. 3 is a plan view of the bottom surface of the vacuum chamber of FIG. .

도 1 내지 도 3을 참조하면, 일 실시예의 진공 증착 장치는 진공 챔버(30), 제1 회전체(10) 및 제2 회전체(20)를 포함한다. 진공 챔버(30)는 증발원(31)을 증발시켜 제2 회전체(20)에 장착되는 피코팅체(41)에 증착시키도록 진공 공간을 형성한다.Referring to FIGS. 1 to 3, the vacuum deposition apparatus of one embodiment includes a vacuum chamber 30, a first rotating body 10, and a second rotating body 20. The vacuum chamber 30 evaporates the evaporation source 31 to form a vacuum space to be deposited on the coating material 41 mounted on the second rotating body 20.

제1 회전체(10)는 진공 챔버(30) 내에서 제1 회전축(11)에 연결되어 설정된 속도로 회전하도록 구성된다. 예를 들면, 제1 회전축(11)은 진공 챔버(30)의 상부에서 수직 방향으로 하강 설치되어 구동부(미도시)에 의하여 회전될 수 있다. 따라서 제1 회전체(10)는 진공 챔버(30) 내에서 제1 회전축(11)의 하단에 장착되어 수평 상태로 회전할 수 있다.The first rotating body 10 is connected to the first rotating shaft 11 in the vacuum chamber 30 and configured to rotate at a predetermined speed. For example, the first rotary shaft 11 may be vertically lowered from the upper portion of the vacuum chamber 30 and rotated by a driving unit (not shown). Accordingly, the first rotating body 10 can be mounted on the lower end of the first rotating shaft 11 in the vacuum chamber 30 and rotated in a horizontal state.

제2 회전체(20)는 증발원(31)에 의하여 코팅될 복수의 피코팅체(41)를 장착하도록 구성되며, 제1 회전체(10)에 제2 회전축(21)으로 연결된다. 따라서 제2 회전체(20)는 제1 회전체(10)의 회전에 의하여 제1 회전축(11)의 외곽에서 설정된 속도로 공전 및 자전할 수 있다.The second rotating body 20 is configured to mount a plurality of coated bodies 41 to be coated by the evaporation source 31 and is connected to the first rotating body 10 by a second rotating shaft 21. Therefore, the second rotating body 20 can revolve and rotate at a predetermined speed at the outer periphery of the first rotating shaft 11 by the rotation of the first rotating body 10.

예를 들면, 증발원(31)은 전자총(미도시)에 의하여 용융 증발되어 피코팅체(41)에 증착될 수 있다. 제1 회전체(10) 및 제2 회전체(20)가 회전함에 따라서, 증발원(31)은 증발되는 피코팅체(41)에 설정된 두께의 증착막을 형성하게 된다. 예로써, 피코팅체(41)는 모바일 기기의 케이스 및 커버 윈도우일 수 있다.For example, the evaporation source 31 may be vaporized and evaporated by the electron gun (not shown) and deposited on the coating body 41. As the first rotating body 10 and the second rotating body 20 rotate, the evaporation source 31 forms a deposited film having a predetermined thickness on the coated body 41 to be evaporated. By way of example, the coating material 41 may be a case and a cover window of a mobile device.

도 4는 도 2의 제1 회전체(10) 및 제2 회전체(20)의 사시도이고, 도 5는 도 2의 제1 회전체(10)에 제2 회전체(20)의 연결 관계를 도시한 상세도이다. 도 4 및 도 5를 참조하면, 일 실시예의 진공 증착 장치는 제1 회전체(10)를 회전시키며 제2 회전체(20)를 공전 및 자전시키기 위하여, 링 기어(51) 및 피니언 기어(52)를 더 포함할 수 있다.FIG. 4 is a perspective view of the first rotating body 10 and the second rotating body 20 shown in FIG. 2, and FIG. 5 is a perspective view showing a connection relationship of the second rotating body 20 to the first rotating body 10 shown in FIG. Fig. 4 and 5, the vacuum deposition apparatus of one embodiment includes a ring gear 51 and a pinion gear 52 (not shown) for rotating the first rotating body 10 and revolving and rotating the second rotating body 20 ).

링 기어(51)는 진공 챔버(30) 내에 배치되어, 고정부재(511)를 통하여 진공 챔버(30)의 상부에 장착된다. 링 기어(51)는 중앙의 관통부를 통하여 제1 회전축(11)의 관통 설치를 가능하게 하여, 진공 챔버(30)의 외부에서 제1 회전축(11)을 구동할 수 있게 한다.The ring gear 51 is disposed in the vacuum chamber 30 and mounted on the upper portion of the vacuum chamber 30 via the fixing member 511. [ The ring gear 51 allows the first rotary shaft 11 to be inserted through the central penetrating portion so that the first rotary shaft 11 can be driven from the outside of the vacuum chamber 30. [

피니언 기어(52)는 제1 회전축(11)의 회전에 의하여 회전될 수 있도록 제1 회전축(11)에 연결되어 링 기어(51)에 결합되고, 동시에 제2 회전축(21)에 회전력을 전달 수 있도록 연결된다. 따라서 제1 회전축(11)의 회전에 따라 피니언 기어(52)는 링 기어(51)를 따라 공전하면서 또한 자전한다. 즉 피니언 기어(52)의 공전 및 자전은 제1 회전축(11) 및 이에 구비되는 제1 회전체(10)의 공전 및 자전으로 이어진다.The pinion gear 52 is connected to the first rotation shaft 11 and is coupled to the ring gear 51 so that the pinion gear 52 can be rotated by the rotation of the first rotation shaft 11, . Accordingly, the pinion gear 52 rotates along with the ring gear 51 as the first rotation shaft 11 rotates. That is, the revolution and rotation of the pinion gear 52 are accompanied by revolution and rotation of the first rotary shaft 11 and the first rotary body 10 provided therein.

보다 구체적으로 설명하면, 제1 회전체(10)는 중심부를 형성하는 회전 플레이트(12), 외곽부를 형성하는 프레임(13) 및 회전 플레이트와 프레임(13)을 연결하는 아암(14)을 포함한다.More specifically, the first rotating body 10 includes a rotating plate 12 forming a central portion, a frame 13 forming an outer frame portion, and an arm 14 connecting the rotating plate and the frame 13 .

회전 플레이트(12)는 링 기어(51)의 하측에 이격 배치되어 고정된 링 기어(51)에 의한 회전 간섭을 받지 않고 회전할 수 있으며, 제1 회전축(11)에 연결되어 제1 회전축(11)의 구동에 따라 회전할 수 있다.The rotary plate 12 is rotatably disposed on the lower side of the ring gear 51 without being subjected to rotational interference by the fixed ring gear 51. The rotary plate 12 is connected to the first rotary shaft 11, In accordance with the driving of the motor.

또한, 회전 플레이트(12)의 상면에서 피니언 기어(52)가 피니언 기어 축(521)을 개재하여 회전 가능하게 장착된다. 즉 원환 형상의 회전 플레이트(12)의 상면에 복수의 피니언 기어들(52)이 회전 방향을 따라 등 간격으로 배치되어 있다.In addition, a pinion gear 52 is rotatably mounted on the upper surface of the rotation plate 12 via a pinion gear shaft 521. That is, a plurality of pinion gears 52 are arranged on the upper surface of the annular rotary plate 12 at equal intervals along the rotating direction.

프레임(13)은 회전 플레이트(12)와 회전 직경 방향으로 이격되어 제2 회전체(20)의 외곽에 배치된다. 즉 제2 회전체(20)는 회전 플레이트(12) 측과 프레임(13)에 지지 설치된다. 아암(14)은 제1 회전체(10)의 상방에서 회전 플레이트(12) 및 아암(14)에서 회전 방향을 따라 등 간격으로 배치된다.The frame 13 is disposed at the outer periphery of the second rotating body 20 in the radial direction and spaced apart from the rotating plate 12. In other words, the second rotating body 20 is supported on the rotating plate 12 side and the frame 13. The arms 14 are arranged at regular intervals along the rotating direction at the rotary plate 12 and the arm 14 above the first rotating body 10. [

즉, 아암(14)은 회전 플레이트(12)와 프레임(13)을 견고하게 연결하여, 회전 플레이트(12)와 프레임(13) 사이에 장착되는 제2 회전체들(20)의 중량을 지탱할 수 있다. 예를 들면, 아암(14)은 제2 회전체(20)의 자전을 방해하지 않도록 이웃하여 설치되는 제2 회전체들(20) 사이에 배치될 수 있다.That is, the arm 14 firmly connects the rotary plate 12 and the frame 13 to support the weight of the second rotary bodies 20 mounted between the rotary plate 12 and the frame 13 have. For example, the arm 14 may be disposed between the second rotators 20 disposed adjacent to the second rotator 20 so as not to interfere with rotation of the second rotator 20.

제2 회전체(20)는 회전 플레이트(12)와 프레임(13) 사이에서 제1 회전체(10)의 직경 방향으로 벋어 배치된다. 예를 들면, 제2 회전축(21)은 양측에 제1단(211)과 제2단(212)을 포함하며, 제1단(211)은 피니언 기어(52)를 연결하는 피니언 기어 축(521)에 1쌍의 베벨 기어(53)를 개재한 베벨 기어 축(531)에 연결되고, 제2단(212)은 프레임(13)에 회전 가능하게 지지된다.The second rotating body 20 is disposed between the rotating plate 12 and the frame 13 in the radial direction of the first rotating body 10. [ For example, the second rotary shaft 21 includes a first stage 211 and a second stage 212 on both sides thereof. The first stage 211 includes a pinion gear shaft 521 connecting the pinion gear 52 And the second end 212 is rotatably supported by the frame 13. The bevel gear 53 is connected to the bevel gear shaft 531 via a pair of bevel gears 53,

즉 제1 회전축(11)의 회전은 회전 플레이트(12)의 회전과 피니언 기어 축(521) 및 피니언 기어(52)를 공전시킨다. 이때, 피니언 기어(52)는 링 기어(51)에 결합되어 있으므로 자전을 한다. 피니언 기어(52)의 자전은 피니언 기어 축(521)을 통하여, 베벨 기어(53) 및 베벨 기어 축(531)으로 전달되어, 제2 회전축(21)을 자전시킨다.That is, the rotation of the first rotary shaft 11 causes the rotation of the rotary plate 12 and the pinion gear shaft 521 and the pinion gear 52 to revolve. At this time, since the pinion gear 52 is coupled to the ring gear 51, it rotates. The rotation of the pinion gear 52 is transmitted to the bevel gear 53 and the bevel gear shaft 531 through the pinion gear shaft 521 to rotate the second rotation shaft 21. [

피니언 기어(52)의 공전은 제2 회전체(20)의 공전을 의미하기도 한다. 따라서 제2 회전체(20)는 피코팅체(41)를 장착한 상태로 공전과 자전을 수행하게 된다.The idle rotation of the pinion gear 52 also means revolution of the second rotating body 20. Therefore, the second rotating body 20 is rotated and rotated in a state where the coating body 41 is mounted.

도 6은 제2 회전축(21)과 베벨 기어 축(531)의 연결 구조를 도시한 사시도이다. 도 4 내지 도 6을 참조하면, 베벨 기어 축(531)은 제1단(211)에 대응하는 요크부(54)를 구비한다.6 is a perspective view showing a connection structure between the second rotating shaft 21 and the bevel gear shaft 531. As shown in FIG. 4 to 6, the bevel gear shaft 531 has a yoke portion 54 corresponding to the first end 211. [

요크부(54)는 길이 변화 수용홈(541)과 각도 변화 수용홈(542)을 구비한다. 길이 변화 수용홈(541)은 제1단(211)에 구비되는 힌지(213)를 베벨 기어 축(531)의 길이 방향으로 이동시키고 가변되는 연결 길이를 원활하게 수용할 수 있도록 양측에서 베벨 기어 축(531)의 길이 방향으로 형성된다.The yoke portion 54 is provided with a length change receiving groove 541 and an angle change receiving groove 542. The length change receiving grooves 541 are formed in the lengthwise direction of the bevel gear shaft 531 so that the hinge 213 provided at the first end 211 is moved in the longitudinal direction of the bevel gear shaft 531, (Not shown).

각도 변화 수용홈(542)은 제2 회전축(21)과 베벨 기어 축(531)의 연결 각도를 선회시키고 가변되는 연결 각도를 원활하게 수용할 수 있도록 양측의 길이 변화 수용홈(541)과 교차하는 위치에 베벨 기어 축(531)의 길이 방향으로 형성된다.The angle change receiving grooves 542 intersect with the length change receiving grooves 541 on both sides so as to swing the connecting angle between the second rotating shaft 21 and the bevel gear shaft 531 and to smoothly accommodate the varying connecting angle And is formed in the longitudinal direction of the bevel gear shaft 531 at the position.

즉 제2 회전축(21)의 제1단(211)과 베벨 기어 축(531)의 요크부(54)는 제1단(211)의 힌지(213)를 요크부(54)의 길이 변화 수용홈(541)에서 슬라이드 이동시켜 가변 길이를 흡수하고, 이 상태에서 힌지(213)를 선회 중심으로 각도 변화 수용홈(542)에서 선회되어 가변 각도를 흡수할 수 있다.The first end 211 of the second rotary shaft 21 and the yoke 54 of the bevel gear shaft 531 are connected to each other by the hinge 213 of the first end 211, The hinge 213 can be swung in the angle change receiving groove 542 with the hinge 213 as the turning center to absorb the variable angle in this state.

다시 도 4 및 도 5를 참조하면, 제2 회전체(20)는 피코팅체(41)를 장착하는 복수의 장착부(22)를 구비한다. 장착부(22)는 단부에 탄성체의 클립(미도시)을 구비하여 피코팅체(41)를 안정적으로 고정 장착한다. 장착부(22)는 제2 회전축(21)에 원주 방향 및 길이 방향을 따라 복수로 배치될 수 있다. 제2 회전축(21)의 자전에 따라 장착부(22)의 피코팅체(41)는 번갈아 하부의 증발원(31)에 마주할 수 있다. 클립은 장착부(22)가 증발원(31)을 향하는 경우에도 장착부(22)로부터 이탈을 방지한다.Referring again to FIGS. 4 and 5, the second rotating body 20 has a plurality of mounting portions 22 for mounting the coating material 41 thereon. The mounting portion 22 has a clip (not shown) of an elastic body at an end portion thereof to stably fix and mount the coating body 41. The mounting portions 22 may be disposed on the second rotation shaft 21 in the circumferential direction and along the longitudinal direction. The coating body 41 of the mounting portion 22 can alternately face the evaporation source 31 at the lower portion according to the rotation of the second rotation shaft 21. [ The clip prevents separation from the mounting portion 22 even when the mounting portion 22 faces the evaporation source 31.

한편, 제2 회전체(20)는 장착부(22)에 의하여 설정되는 외측을 회전 플레이트(12) 측에서 제1 직경(D1)으로 형성하고, 프레임(13) 측에서 제1 직경(D1)보다 큰 제2 직경(D2)으로 형성하여, 전체적으로 원추대 형상을 가질 수 있다.On the other hand, the outside of the second rotating body 20, which is set by the mounting portion 22, is formed with the first diameter D1 on the side of the rotary plate 12, and the first diameter D1 on the side of the frame 13 And may have a large second diameter D2 to have a generally frusto-conical shape.

제2 회전체(20)에서 원추대의 외면 일측 선(L1)과 제1 회전축(11)의 제1 교차각(θ1)은 증발원(31)을 향하여 예각으로 형성될 수 있다. 이를 위하여, 제2 회전체(20)이 제2 회전축(21)의 연장선과 제1 회전축(11)의 제2 교차각(θ2)은 증발원(31)을 향하여 예각으로 형성될 수 있다The first intersecting angle? 1 between the line L1 of the outer surface of the truncated cone and the first rotary shaft 11 in the second rotary member 20 may be formed at an acute angle toward the evaporation source 31. The extension line of the second rotation shaft 21 and the second intersection angle 2 of the first rotation axis 11 may be formed at an acute angle toward the evaporation source 31

즉 도 1에 도시된 바와 같이, 진공 챔버(30) 내에 증발원(31)에 배치될 때, 제1 회전체(10)의 외곽에 구비되는 피코팅체(41)를 증발원(31)의 근 거리에 배치하고, 제1 회전체(10)의 중심 측에 구비되는 피코팅체(41)를 증발원(31)의 원 거리에 배치하여 증착원(31)의 코팅 두께를 균일하게 한다.1, when the object to be coated 41 provided on the outer periphery of the first rotating body 10 is disposed on the evaporation source 31 in the vacuum chamber 30, And the coating material 41 provided on the center side of the first rotating body 10 is disposed at a distance from the evaporation source 31 so that the coating thickness of the evaporation source 31 is made uniform.

본 실시예는 제1, 제2 직경(D1, D2) 및 제2 회전축(21)의 길이에 의하여, 제1 교차각(θ1)이 제2 교차각(θ2)보다 작게 형성된다. 제1, 제2 직경 및 제2 회전축의 길이의 변경시, 제1 교차각과 제2 교차각의 크기가 다르게 설정될 수도 있다.In the present embodiment, the first intersection angle? 1 is formed to be smaller than the second intersection angle? 2 by the first and second diameters D1 and D2 and the length of the second rotation axis 21. When the lengths of the first and second diameters and the second rotation axis are changed, the sizes of the first intersection angle and the second intersection angle may be set differently.

한편, 일 실시예의 진공 증착 장치는 고정 플레이트(61)와 두께 보정판(62)을 더 포함한다. 도 2, 도 3 및 도 5를 참조하면, 고정 플레이트(61)는 회전 플레이트(12)의 하측에 이격 배치되고, 제1 회전축(11) 내에 설치되는 고정축(63)을 통하여 진공 챔버(30)에 고정된다.Meanwhile, the vacuum deposition apparatus of one embodiment further includes a fixing plate 61 and a thickness compensating plate 62. 2, 3 and 5, the fixed plate 61 is disposed on the lower side of the rotary plate 12 and is connected to the vacuum chamber 30 (see FIG. 3) through a fixed shaft 63 provided in the first rotary shaft 11, .

즉 제1, 제2 회전체(10, 20)가 회전할 때에도, 두께 보정판(62)은 고정된 상태를 유지한다. 따라서 공전 및 자전하는 제2 회전체(30)에 장착되는 피코팅체(41)는 두께 보정판(62)에 의하여 증발되는 증착원(31)을 부분적으로 차단한다.That is, even when the first and second rotators 10 and 20 rotate, the thickness correcting plate 62 remains fixed. Therefore, the coating body 41 mounted on the second rotating body 30 that revolves and rotates partially blocks the evaporation source 31 evaporated by the thickness correction plate 62.

따라서 두께 보정판(62)는 고정 플레이트(61)에 장착되어 피코팅체(41)를 향하여 증발되는 증착원(31)의 증발량을 보정함으로써 피코팅체(41)에 코팅되는 두께를 보정한다. 두께 보정판(62)은 제2 회전체(20)의 원추대 형상 라인에 나란하게 배치되며(도 5 참조), 제1 회전체(10) 및 제2 회전체(20)의 하측에서 등 간격으로 배치되어 증착원(31)의 증발량을 보정한다.The thickness correction plate 62 corrects the evaporation amount of the evaporation source 31 mounted on the fixed plate 61 and evaporated toward the coating body 41 to correct the thickness of the coating body 41 coated thereon. The thickness correction plate 62 is arranged at equal intervals below the first rotating body 10 and the second rotating body 20 (see FIG. 5) Thereby correcting the evaporation amount of the evaporation source 31.

이상을 통해 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되는 것이 아니고 특허청구범위와 발명의 상세한 설명 및 첨부한 도면의 범위 안에서 여러 가지로 변형하여 실시하는 것이 가능하고 이 또한 본 발명의 범위에 속하는 것은 당연하다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments, but, on the contrary, And it goes without saying that the invention belongs to the scope of the invention.

10: 제1 회전체 11, 21: 제1, 제2 회전축
12: 회전 플레이트 13: 프레임
14: 아암 20: 제2 회전체
22: 장착부 30: 진공 챔버
31: 증착원 41: 피코팅체
51: 링 기어 52: 피니언 기어
53: 베벨 기어 54: 요크부
61: 고정 플레이트 62: 두께 보정판
63: 고정축 211: 제1단
212: 제2단 213: 힌지
511: 고정부재 521: 피니언 기어 축
531: 베벨 기어 축 541: 길이 변화 수용홈
542: 각도 변화 수용홈 D1, D2: 제1, 제2 직경
L1: 외면 일측 선 θ1: 제1 교차각
θ2: 제2 교차각10: first full assembly 11, 21: first and second rotary shafts
12: rotation plate 13: frame
14: arm 20: second whole
22: mounting part 30: vacuum chamber
31: evaporation source 41: coating material
51: ring gear 52: pinion gear
53: Bevel gear 54: yoke
61: Fixing plate 62: Thickness compensating plate
63: fixed shaft 211: first stage
212: second stage 213: hinge
511: Fixing member 521: Pinion gear shaft
531: Bevel gear shaft 541: Length change receiving groove
542: angle change receiving groove D1, D2: first and second diameters
L1: one side line of the outer surface? 1: first intersection angle
? 2: second intersection angle

Claims (10)

증착원이 증발되는 진공 공간을 형성하는 진공 챔버;
상기 진공 챔버 내에서 제1 회전축에 연결되어 회전하는 제1 회전체; 및
상기 증착원에 의하여 코팅될 복수의 피코팅체를 장착하며, 상기 제1 회전체에 제2 회전축으로 연결되어 상기 제1 회전체의 회전에 따라 상기 제1 회전축의 외곽에서 공전과 자전하는 제2 회전체
를 포함하며,
상기 제1 회전체는,
상기 제1 회전축에 연결되어 회전하는 회전 플레이트,
상기 회전 플레이트와 회전 직경 방향으로 이격되어 상기 제2 회전체의 외곽에 배치되는 프레임, 및
상기 제1 회전체의 상방에서 상기 회전 플레이트와 상기 프레임을 연결하는 아암을 포함하고,
상기 제2 회전체는,
상기 제1 회전체의 직경 방향에서 상기 회전 플레이트와 상기 프레임 사이에 배치되는 진공 증착 장치.
A vacuum chamber for forming a vacuum space in which an evaporation source is evaporated;
A first rotating body connected to the first rotating shaft and rotating in the vacuum chamber; And
A plurality of coating bodies to be coated by the evaporation source are mounted on the first rotating body, and the second rotating body is connected to the first rotating body by a second rotating shaft, Rotating body
/ RTI >
Wherein the first rotating body includes:
A rotating plate connected to the first rotating shaft and rotating,
A frame spaced apart from the rotation plate in a radial direction of rotation and disposed at an outer periphery of the second rotating body,
And an arm connecting the rotating plate and the frame at a position above the first rotating body,
Wherein the second rotating body includes:
And is disposed between the rotating plate and the frame in the radial direction of the first rotating body.
제1항에 있어서,
상기 진공 챔버 내에 고정되고 상기 제1 회전축이 관통하는 링 기어, 및
상기 제1 회전축에 연결되고 상기 링 기어에 결합되며 상기 제2 회전축에 연결되어, 상기 제1 회전축의 회전에 따라 공전과 자전하도록 상기 링 기어에 배치되는 피니언 기어
를 더 포함하며,
상기 회전 플레이트는
상기 링 기어의 하측에 배치되고, 상기 피니언 기어를 장착하는 진공 증착 장치.
The method according to claim 1,
A ring gear fixed in the vacuum chamber and through which the first rotation shaft passes, and
A pinion gear which is connected to the first rotation shaft and is coupled to the ring gear and is connected to the second rotation shaft and is disposed in the ring gear so as to rotate with the rotation of the first rotation shaft,
Further comprising:
The rotating plate
And the pinion gear is mounted on the lower side of the ring gear.
삭제delete 제2항에 있어서,
상기 제2 회전축은,
양측에 제1단과 제2단을 포함하며,
상기 제1단은
상기 피니언 기어를 연결하는 피니언 기어 축에 1쌍의 베벨 기어를 개재한 베벨 기어 축에 연결되고,
상기 제2단은,
상기 프레임에 지지되는 진공 증착 장치.
3. The method of claim 2,
The second rotation axis
Comprising a first stage and a second stage on both sides,
The first stage
A pinion gear shaft connected to the bevel gear shaft via a pair of bevel gears,
Wherein the second stage comprises:
And is supported on the frame.
제4항에 있어서,
상기 베벨 기어 축은,
상기 제1단에 대응하는 요크부를 구비하고,
상기 요크부는,
상기 제1단에 구비되는 힌지를 상기 베벨 기어 축의 길이 방향으로 이동시키도록 양측에서 상기 베벨 기어 축의 길이 방향으로 형성되는 길이 변화 수용홈, 및
상기 제2 회전축과 상기 베벨 기어 축의 각도를 가변시키도록 양측의 길이 변화 수용홈과 교차하는 위치에 상기 베벨 기어 축의 길이 방향으로 형성되는 각도 변화 수용홈
을 구비하는 진공 증착 장치.
5. The method of claim 4,
The bevel gear shafts
And a yoke portion corresponding to the first end,
The yoke portion
A length change accommodating groove formed in the longitudinal direction of the bevel gear shaft at both sides so as to move the hinge provided at the first end in the longitudinal direction of the bevel gear shaft,
And an angle change accommodating groove formed in a longitudinal direction of the bevel gear shaft at a position intersecting the length change accommodating grooves on both sides so as to vary the angle between the second rotation axis and the bevel gear shaft,
And a vacuum deposition apparatus.
제2항에 있어서,
상기 제2 회전체는,
상기 피코팅체를 장착하는 장착부를 구비하며,
상기 장착부는
상기 제2 회전축에 원주 방향 및 길이 방향을 따라 복수로 배치되는 진공 증착 장치.
3. The method of claim 2,
Wherein the second rotating body includes:
And a mounting portion for mounting the coating material,
The mounting portion
And a plurality of said second rotary shafts are arranged along the circumferential direction and the longitudinal direction on said second rotary shaft.
제6항에 있어서,
상기 제2 회전체는,
상기 장착부에 의하여 설정되는 외측을 상기 회전 플레이트 측에서 제1 직경으로 형성하고,
상기 프레임 측에서 상기 제1 직경보다 큰 제2 직경으로 형성하여, 전체적으로 원추대 형상을 가지는 진공 증착 장치.
The method according to claim 6,
Wherein the second rotating body includes:
An outer side set by the mounting portion is formed to have a first diameter on the side of the rotating plate,
And a second diameter larger than the first diameter on the side of the frame, and has a truncated cone shape as a whole.
제7항에 있어서,
상기 제2 회전체에서 원추대의 외면 일측 선과 상기 제1 회전축의 교차각은,
상기 증착원을 향하여 예각으로 형성되는 진공 증착 장치.
8. The method of claim 7,
Wherein an angle of intersection between a line on one side of the outer surface of the frusto-conical member and the first rotation axis in the second rotation-
Wherein the vapor deposition source is formed at an acute angle toward the evaporation source.
제7항에 있어서,
상기 회전 플레이트의 하측에 이격 배치되어 상기 진공 챔버에 고정되는 고정 플레이트, 및
상기 고정 플레이트에 장착되어 상기 증착원이 상기 피코팅체에 두께를 보정하는 두께 보정판
을 더 포함하는 진공 증착 장치.
8. The method of claim 7,
A fixed plate spaced below the rotary plate and fixed to the vacuum chamber,
Wherein the evaporation source is mounted on the fixed plate to adjust the thickness of the coating body,
Further comprising:
제9항에 있어서,
상기 두께 보정판은,
상기 제2 회전체의 외면 일측에 나란하게 배치되는 진공 증착 장치.
10. The method of claim 9,
The thickness compensating plate,
And is arranged in parallel to one side of the outer surface of the second rotating body.
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