KR101465637B1 - 전력 효율 개선 및 진공 형성 효율 개선을 위한 드라이 진공 펌프 장치 - Google Patents

전력 효율 개선 및 진공 형성 효율 개선을 위한 드라이 진공 펌프 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 전력 효율 개선 및 진공 형성 효율 개선을 위한 드라이 진공 펌프 장치에 관한 것이고, 구체적으로 진공 펌프 내부 압력의 제어를 위한 압력 조절 유닛에 의하여 배출 압력을 조절하는 것에 의하여 전력 소비량이 감소되면서 진공 형성 효율이 향상되도록 하는 드라이 진공 펌프 장치에 관한 것이다. 전력 효율 개선 및 진공 형성 효율 개선을 위한 드라이 진공 펌프 장치는 진공 챔버와 연결되는 기체 이송 도관; 기체 이송 도관과 연결되고 그리고 로터 및 진공 펌프가 배치된 진공 펌프 모듈; 진공 펌프 모듈과 스크러버를 연결하는 기체 배출 도관; 및 진공 펌프 모듈의 내부 압력을 제어하기 위한 압력 조절 유닛을 포함하고, 상기 압력 조절 유닛의 작동에 의하여 기체 배출 도관을 통하여 배출되는 기체 양 또는 배출 경로가 제어되고 그리고 진공 펌프 모듈에 설치된 로터의 작동으로 인한 배출 압력이 조절된다.

Description

전력 효율 개선 및 진공 형성 효율 개선을 위한 드라이 진공 펌프 장치{Dry Vacuum Pump Apparatus for Improving Power Efficiency and Vacuum Capacity}
본 발명은 전력 효율 개선 및 진공 형성 효율 개선을 위한 드라이 진공 펌프 장치에 관한 것이고, 구체적으로 진공 펌프 내부 압력의 제어를 위한 압력 조절 유닛에 의하여 배출 압력을 조절하는 것에 의하여 전력 소비량이 감소되면서 진공 형성 효율이 향상되도록 하는 드라이 진공 펌프 장치에 관한 것이다.
전자 부품 생산 공정을 비롯한 다양한 생산 과정에서 진공 펌프가 사용되고 예를 들어 반도체, LCD, LED, 태양전지 모듈 및 화학 장비에서 진공 펌프가 적용되고 있다. 진공 펌프는 내부에 설치된 로터를 회전시켜 기체를 배출하는 방식으로 진공을 형성할 수 있다. 진공 펌프에 설치되는 로터는 루츠 방식, 스크루 방식 또는 혼합 방식으로 분류될 수 있다.
드라이 진공 펌프와 관련된 선행기술로 특허등록번호 제0497982호가 있다. 상기 선행기슬은 한쪽에 흡입 대상 물질을 흡입시키기 위한 흡입구가 제공되고, 다른 쪽에 배출 대상 물질을 배출시키기 위한 배출구가 제공되는 원통 형상의 하우징, 상기 하우징의 내부에 수용되고, 상기 흡입구와 연통 가능하도록 수용되는 루츠 방식의 로터; 상기 하우징의 내부에 수용되고, 상기 루츠 방식의 로터에 근접하여 배치되는 스크루 방식의 로터; 상기 루츠 방식의 로터와 상기 스크루 방식의 로터의 중앙을 관통하여 고정되고, 상기 하우징과 회전 가능하게 제공되고, 상기 하우징의 내부와 외부가 연통되지 않도록 밀폐되어 제공되는 샤프트; 및 상기 하우징의 외부에 제공되고, 상기 샤프트와 연결되어 상기 루츠 방식의 로터와 상기 스크루 방식의 로터를 회전 구동시키기 위한 구동 모터를 포함하고, 상기 루츠 방식의 로터의 하부와 상기 스크루 방식의 로터의 하부 중 상기 루츠 방식의 로터와 연결되는 부분에 흡입 대상 물질이 잔류할 수 있는 공간이 함께 제공되는 드라이 진공 펌프에 대하여 개시한다.
드라이 진공 펌프와 관련된 다른 선행기술로 국제공개번호 WO 2010/134427호가 있다. 상기 선행기술은 전자 모터에 의하여 회전 구동되는 샤프트와; 상기 샤프트에 장착되는 동시에 배기실 내에 마련되고, 진공 처리 공간 내 배기 대상 기체를 상기 배기 공간 내로 흡입하고 또한 배출하는 로터를 구비한 드라이 진공 펌프에서, 상기 배기 공간과 상기 배기 공간에 인접하여 위치하는 인접 공간 사이에 상기 배기 공간을 구획하는 배기 공간 구획 벽부와 상기 샤프트 사이를 밀폐시키는 배기 공간 시일과, 상기 인접 공간을 구획하는 인접 공간 구획 벽부와 상기 샤프트 사이를 밀폐시키는 인접 공간 측 시일을 구비하며, 상기 배기 공간 측 시일과 인접 공간 측 사이에 밀폐 가스가 공급되는 가스 도입 공간이 마련되고, 상기 배기 공간 시일 및 인접 공간 시일은 각각 상기 배기 공간 구획 벽부 측 또는 상기 인접 공간 구획 벽부 측에 고정된 원환 형상의 기부와 상기 기부로부터 상기 샤프트 측으로 연장되는 한 쌍의 원환 형상의 입부를 구비하고, 한 쌍의 상기 입부는 상기 기부로부터 상기 샤프트 측으로 향하면서 서로의 간격이 점차 확대되도록 연장되는 동시에 각각의 선단 부분에 상기 샤프트에 대하여 탄성에 의하여 접촉 가능하게 되고, 한쪽의 상기 입부의 변형이 상기 기부를 거쳐서 다른 쪽의 상기 입부의 변형에 영향을 미치는 것을 특징으로 하는 드라이 진공 펌프에 대하여 개시한다.
드라이 진공 펌프에 대한 또 다른 선행기술로 특허등록번호 제1183085호가 있다. 상기 선행기술은 각각이 회전축, 상기 회전축에 서로 제1 특정 간격으로 이격되어 구비되는 복수의 루츠를 구비하고 각각이 실린더 내부에 장착되어 서로 맞물려 회전하는 제1 루츠 부분과 제2 루츠 부분; 상기 제1 루츠 부분 및 상기 제2 루츠 부분 중 적어도 어느 하나의 회전축과 연결되어 상기 회전축을 회전시키는 모터; 상기 루츠의 외주 부분 한쪽에 형성된 팁 시일 삽입 부분; 및 상기 팁 시일 삽입 부분에 조립되어 상기 루츠의 외곽으로 제2 특정 간격 돌출되는 팁 시일을 포함하는 팁 시일을 가지는 드라이 진공 펌프에 대하여 개시한다.
일반적으로 진공 펌프에 사용되는 모터는 상시 회전이 되고 진공 펌프의 가동을 위한 전력 소비량이 다른 장치에 비하여 상대적으로 높다. 진공 형성은 다수 개의 로터가 회전하게 되고 이로 인하여 진공이 형성되고 펌프 내부에 형성되는 압력에 의하여 모터에 부하가 걸리게 된다. 그러므로 로터 내부의 압력을 조절하는 것에 의하여 전력 소모량이 감소되도록 할 수 있다. 추가로 로터 내부의 압력을 적절하게 제어하는 것에 의하여 진공 형성 효율이 개선되도록 할 수 있다.
선행기술은 이와 같은 로터가 설치된 공간의 압력 제어 기술에 대하여 개시하지 않는다.
본 발명은 선행기술이 가진 문제점을 해결하기 위한 것으로 아래와 같은 목적을 가진다.
선행문헌1: 한국 등록특허번호 제0497982호((주)엘오티베큠, 2005년07월01일 공개) 루츠형 로터와 스크루형 로터를 지닌 복합 드라이 진공 펌프 선행문헌2: 국제 공개특허번호 WO 2010/134427(2010년11월25일 공개) 드라이 진공 펌프 선행문헌3: 한국 등록특허번호 제1183085호(유한회사 우성진공, 2012년09월20일 공개) 팁씰을 갖는 드라이 진공펌프
본 발명의 목적은 로터가 설치된 공간의 압력 조절이 가능하도록 하는 전력 효율 개선 및 진공 형성 효율 개선을 위한 드라이 진공 펌프 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 적절한 실시형태에 따르면, 전력 효율 개선 및 진공 형성 효율 개선을 위한 드라이 진공 펌프 장치는 진공 챔버와 연결되는 기체 이송 도관;
기체 이송 도관과 연결되고 그리고 로터 및 진공 펌프가 배치된 진공 펌프 모듈; 진공 펌프 모듈과 스크러버를 연결하는 기체 배출 도관; 및 진공 펌프 모듈의 내부 압력을 제어하기 위한 압력 조절 유닛을 포함하고, 상기 압력 조절 유닛의 작동에 의하여 기체 배출 도관을 통하여 배출되는 기체 양 또는 배출 경로가 제어되고 그리고 진공 펌프 모듈에 설치된 로터의 작동으로 인한 배출 압력이 조절된다.
본 발명의 다른 적절한 실시형태에 따르면, 드라이 진공 펌프 장치의 압력 조절 유닛은 적어도 하나의 분기 도관이 형성된 조절 몸체 및 조절 몸체에 결합되어 상기 배출 도관을 통하여 배출되는 기체의 경로를 제어하는 제어 밸브 및 상기 분기 도관을 통한 기체의 흐름을 유도하기 위한 조절 펌프로 이루어진다.
본 발명의 또 다른 적절한 실시형태에 따르면, 드라이 진공 펌프 장치는 기체 이송 도관에 설치된 센서 유닛을 더 포함하고, 상기 센서 유닛으로부터 전송되는 정보에 따라 제어 밸브의 개폐가 조절되는 것을 포함한다.
본 발명에 따른 진공 펌프 장치는 로터 회전 공간의 압력을 조절하여 배출 압력이 감소되도록 하는 것에 의하여 내부 압력에 의한 부하의 감소에 의하여 로터 회전을 위한 전력 소비량이 감소되도록 한다는 이점을 가진다. 또한 본 발명에 따른 진공 펌프 장치는 진공 공간에서 배출되는 가스의 압력에 따라 배출 경로를 제어하는 것에 의하여 진공 형성 효율이 개선되도록 한다는 장점을 가진다.
도 1은 본 발명에 따른 드라이 진공 펌프 장치의 작동 구조의 실시 예를 도시한 것이다.
도 2a 내지 도 2d는 본 발명에 따른 드라이 진공 펌프 장치에 적용될 수 있는 압력 조절 유닛의 실시 예를 도시한 것이다.
도 3은 본 발명에 따른 드라이 진공 펌프 장치의 작동 방법에 대한 실시 예를 도시한 것 것이다.
아래에서 본 발명은 첨부된 도면에 제시된 실시 예를 참조하여 상세하게 설명이 되지만 실시 예는 본 발명의 명확한 이해를 위한 것으로 본 발명은 이에 제한되지 않는다. 아래의 설명에서 서로 다른 도면에서 동일한 도면 부호를 가지는 구성요소는 유사한 기능을 가지므로 발명의 이해를 위하여 필요하지 않는다면 반복하여 설명이 되지 않으며 공지의 구성요소는 간략하게 설명이 되거나 생략이 되지만 본 발명의 실시 예에서 제외되는 것으로 이해되지 않아야 한다.
도 1은 본 발명에 따른 드라이 진공 펌프 장치의 작동 구조의 실시 예를 도시한 것이다.
도 1을 참조하면, 본 발명에 다른 드라이 진공 펌프 장치는 진공 챔버와 연결되는 기체 이송 도관(161); 기체 이송 도관(161)과 연결되고 그리고 로터(111) 및 진공 펌프(15)가 배치된 진공 펌프 모듈(11); 진공 펌프 모듈(11)과 스크러버(14)를 연결하는 기체 배출 도관(141); 및 진공 펌프 모듈(11)의 내부 압력을 제어하기 위한 압력 조절 유닛(12)을 포함하고, 상기 압력 조절 유닛(12)의 작동에 의하여 기체 배출 도관(141)을 통하여 배출되는 기체 양 또는 배출 경로가 제어되고 그리고 진공 펌프 모듈(11)에 설치된 로터(111)의 작동으로 인한 배출 압력이 조절된다.
본 발명에 따른 진공 펌프 장치는 예를 들어 반도체 제조 공정, 엘시디 제조 공정, 엘이디 제조 공정 또는 태양전지 모듈 제조 공정을 비롯한 진공 공간의 형성이 요구되는 임의의 분야에 적용될 수 있고 본 발명은 적용 분야에 의하여 제한되지 않는다.
예를 들어 진공 챔버와 같은 진공 공정 공간(16)은 진공 펌프 모듈(11)의 작동에 의하여 진공으로 만들어지거나 또는 진공이 유지될 수 있다. 구체적으로 플라즈마와 같은 세정 가스와 같은 것이 진공 펌프 모듈(11)에 의하여 진공 공정 공간(16)으로부터 기체 이송 도관(161)을 통하여 스크러버(scrubber)(16)로 배출될 수 있다. 진공 펌프 모듈(11)은 진공 모터(15) 및 로터(111)를 포함할 수 있고 로터(111)의 회전에 의하여 진공 공정 공간(16)의 기체가 배출될 수 있다.
진공 형성 또는 유지를 위한 과정에서 로터(111)가 회전하게 되면서 기체가 스크러버(14)의 방향으로 밀려가게 되면 점차적으로 B 영역과 A 영역 사이의 압력 차가 커지게 되고 이에 따라 로터(111)의 회전 속도 또는 로터(111)에 회전 토크가 커지게 된다. 이로 인하여 구동 모터(15)에 과도한 부하가 걸리게 된다. 공정 조건 또는 공정 시간에 따라 진공이 장시간 유지되어야 한다면 이와 같은 구동 모터(15)에 대한 부하로 인하여 전력 소비량이 전체 공정에 소비되는 전력량에 비하여 과도해지는 한편 적절한 진공 조건이 형성되지 않을 수 있다.
본 발명에 따르면, 진공 펌프 모듈(11)과 스크러버(16) 사이에 압력 조절 유닛(12)이 설치될 수 있다. 압력 조절 유닛(12)은 펌프 구조를 가질 수 있고 진공 펌프 모듈(11)의 앞쪽의 압력을 조절하는 것에 의하여 구동 모터(15)에 대한 부하를 감소시킬 수 있다. 압력 조절 유닛(12)은 예를 들어 배출 도관(141)에 설치되거나 또는 진공 펌프 모듈(11)의 내부에 설치될 수 있고 진공 펌프 모듈(11)의 앞쪽 영역(A)의 기체를 배출시키거나 또는 스크러버(14)의 방향으로부터 진공 펌프 모듈(11)의 방향으로 작용하는 압력을 감소시키는 기능을 가질 수 있다. 또한 압력 조절 유닛(12)은 진공 펌프 모듈(11)로부터 스크러버(14)의 방향으로 배출되는 기체의 배출 방향을 변경시키는 기능을 가질 수 있다. 예를 들어 압력 조절 유닛(12)의 내부에 배출 도관(141)으로부터 분기되는 분기 도관이 설치될 수 있다. 그리고 압력 조절 유닛(12)은 배출 양에 따라 배출 기체가 배출 도관(141)을 통하여 배출되거나 또는 분기 도관을 통하여 배출되도록 제어할 수 있다. 이와 같은 구조에서 압력 조절 유닛(12)은 배출 도관(141)의 개폐를 제어하는 기능을 가질 수 있다. 필요에 따라 압력 센서 또는 유량 센서와 같은 센서 유닛(13)이 기체 이송 도관(161)에 설치될 수 있다. 그리고 진공 공정 공간(16)으로부터 기체 이송 도관(161)으로 배출되는 기체의 양이 탐지될 수 있다. 그리고 기체 이송 도관(161)을 통하여 배출되는 기체의 양은 센서 유닛(13)에 의하여 측정될 수 있다. 그리고 센서 유닛(13)의 측정값에 따라 압력 조절 유닛(12)에 의한 배출 도관(141)의 개폐 수준이 조절될 수 있다. 예를 들어 기체의 양이 작은 경우 체크 밸브와 같은 제어 밸브에 의하여 배출 도관(141)이 차폐가 되고 그리고 배출 기체가 압력 조절 유닛(12)에 형성된 분기 도관을 통하여 스크러버(14)로 배출될 수 있다. 이에 비하여 배출이 되는 기체의 양이 많은 경우 조절 밸브가 개방이 되고 이에 따라 배출 기체가 배출 도관(141)을 통하여 배출될 수 있다. 또한 센서 유닛(13)의 의하여 측정되는 값에 따라 진공 펌프(15)의 작동 수준이 결정될 수 있다. 구체적으로 진공 공정 공간(16)을 진공 상태로 만들기 위한 초기 과정에서 진공 펌프(15)에 설치된 모터는 높은 출력으로 작동될 수 있다. 이후 진공 공정 공간(16)의 압력이 일정 수준으로 낮아질 수 있다. 그리고 센서 유닛(13)에 의하여 미리 결정된 값이 탐지될 수 있다. 센서 유닛(13)은 진공 공정 공간(16)의 압력이 일정 수준으로 낮아지면 진공 펌프(15)의 출력을 감소시킬 수 있다. 예를 들어 모터의 회전수를 조절하기 위한 인버터가 설치될 수 있고 센서 유닛(13)에 의하여 측정되는 값에 따라 모터의 회전수가 적절하게 조절될 수 있다.
압력 조절 유닛(12)에 의하여 다양한 방법으로 진공 펌프 모듈(11)의 압력이 조절되거나 또는 배출 기체의 배출 경로가 제어될 수 있고 본 발명은 제시된 실시 예에 제한되지 않는다.
아래에서 본 발명에 따른 압력 조절 유닛(12)의 실시 예에 대하여 설명된다.
도 2a 내지 도 2d는 본 발명에 따른 드라이 진공 펌프 장치에 적용될 수 있는 압력 조절 유닛(12)의 실시 예를 도시한 것이다. 도 2a는 압력 조절 유닛(12)의 분해도, 도 2b는 압력 조절 유닛(12)의 결합도, 도 2c는 압력 조절 유닛(12)의 측면도 그리고 도 2d는 압력 조절 유닛(12)의 내부 구조를 각각 도시한 것이다.
도 2a 내지 도 2d를 참조하면, 압력 조절 유닛(12)은 적어도 하나의 분기 도관(251a, 251b)이 형성된 조절 몸체(221) 및 조절 몸체(221)에 결합되어 상기 배출 도관(141)을 통하여 배출되는 기체의 경로를 제어하는 제어 밸브(222, 223) 및 상기 분기 도관(251a, 251b)을 통한 기체의 흐름을 유도하기 위한 조절 펌프(21)로 이루어질 수 있다.
압력 조절 유닛(12)은 위에서 설명된 것처럼 배출 도관에 설치되거나 또는 진공 펌프 모듈의 내부에 설치될 수 있다. 압력 조절 유닛(12)은 전체적으로 펌프 구조를 가질 수 있고 그리고 진공 펌프 모듈에 설치되는 펌프에 대한 보조 펌프 기능을 가질 수 있다. 예를 들어 압력 조절 유닛(12)은 진공 펌프 모듈에 비하여 작은 전력 소비량을 가지면서 진공 펌프 모듈의 앞쪽에 압력을 낮추는 기능을 가질 수 있다. 그리고 이와 같은 압력 저하로 인하여 진공 펌프 모듈의 소비 전력이 감소될 수 있고 이로 인하여 전체 전력 소비량이 감소될 수 있다. 압력 조절 유닛(12)의 양정 압력은 공정 과정에서 요구되는 전체 양정 압력 또는 진공 펌프 모듈의 양정 압력에 의하여 적절하게 선택될 수 있다.
조절 펌프(21)는 이 분야에서 공지된 임의의 펌프가 될 수 있고 개폐 및 분기 유닛을 수용하거나 개폐 및 분기 유닛과 연결될 수 있다. 개폐 및 분기 유닛은 조절 몸체(221) 및 제어 밸브(222, 223)를 포함할 수 있다. 조절 몸체(221)는 센터링 수단(231a, 231b)에 의하여 정해진 위치에 고정될 수 있다. 조절 몸체(221)에 적어도 하나의 분기 홀(221a, 221b)이 형성될 수 있고 각각의 분기 홀(221a, 221b)에 분기 도관(251a, 251b)이 결합될 수 있다.
조절 몸체(221)의 내부에 제어 밸브 몸체(223) 및 밸브 개폐 수단(222)이 다양한 밀폐 또는 패킹 수단(241, 241a, 241b)을 매개로 배치될 수 있다. 밸브 제어 몸체(223)는 예를 들어 체크 밸브 몸체와 같은 것이 될 수 있고 그리고 밸브 개폐 수단(222)은 체크 밸브 커버와 같은 것이 될 수 있다. 밸브 제어 몸체(223)에 밸브 개폐 수단(222)에 의하여 개폐가 제어되는 적어도 하나의 배출 통로(271)가 형성될 수 있다.
밸브 개폐 수단(222)의 이동에 의하여 배출 통로(271)의 개폐가 제어될 수 있고 이에 따라 배출 도관을 통한 기체의 배출이 제어될 수 있다. 구체적으로 압력 조절 유닛(12)의 조절 몸체(221)는 센터링 수단(231a, 231b)에 의하여 배출 도관에 연결될 수 있고 그리고 밸브 개폐 수단(222)의 이동을 제어하는 것에 의하여 배출 기체의 배출 경로가 제어될 수 있다.
도 2c에 도시된 것처럼, 밸브 제어 몸체(223)에 형성된 배출 통로(271)가 형성될 수 있고 그리고 조절 몸체(221)에 분기 통로(281)가 형성될 수 있다. 그리고 밸브 개폐 수단(222)의 전후 이동에 의하여 배출 통로(271) 또는 분기 통로(281)의 개폐가 각각 제어될 수 있다. 그리고 분기 통로(281)는 분기 도관(251a, 251b)과 연결될 수 있고 그리고 분기 도관(251a, 251b)의 다른 쪽 끝은 다시 배출 도관과 연결될 수 있다. 이와 같은 구조로 인하여 배출 기체는 밸브 제어 몸체(223)를 통하여 배출되거나 또는 분기 도관(251a, 251b)을 통하여 배출될 수 있다.
압력 조절 유닛(12)은 다양한 구조를 가질 수 있고 본 발명은 제시된 실시 예에 제한되지 않는다.
아래에서 본 발명에 따른 이와 같은 압력 조절 유닛(12)에 의하여 드라이 진공 펌프 장치가 작동되는 과정에 대하여 설명된다.
도 3은 본 발명에 따른 드라이 진공 펌프 장치의 작동 방법에 대한 실시 예를 도시한 것 것이다.
도 3을 참조하면, 진공 공정 공간으로 배출되는 압력이 센서에 의하여 탐지될 수 있다(S31). 그리고 압력 센서에서 측정된 값에 따라 또는 미리 결정된 용량에 따라 진공 펌프가 작동될 수 있다(S32). 진동 펌프가 작동되면서 점차적으로 진공 공정 공간의 압력이 낮아질 수 있고 이에 따라 진공 펌프의 부하가 점차적으로 증가할 수 있다. 그리고 압력 값이 미리 결정된 문턱 값에 도달될 수 있다. 센서로부터 전달된 압력 값에 따라 제어 유닛은 압력이 미리 결정된 문턱 값에 도달했는지 여부를 판단할 수 있다(S33). 문턱 값은 진공 펌프 및 압력 조절 유닛의 펌프 용량 또는 구동 모터의 용량에 따라 미리 결정될 수 있다. 예를 들어 문턱 값은 정해진 압력에서 각각의 구동 모터에서 소비되는 소비 전력을 산출하여 합이 가장 작아지는 압력으로 결정될 수 있다. 문턱 값에 도달되지 않았다면(NO) 압력이 다시 탐지될 수 있다(S31). 이에 비하여 문턱 값에 도달하였다면(YES) 압력 조절 수단의 밸브가 제어될 수 있다(S34). 그리고 분기 도관의 개폐가 제어될 수 있다(S35). 이에 따라 배출 기체는 분기 도관을 통하여 배출될 수 있고 이에 따라 진공 펌프 모듈은 부하가 감소될 수 있다. 진공 펌프 모듈의 구동 모터 및 압력 조절 유닛의 구동 모터의 부하가 지속적으로 탐지될 수 있고(S36) 그리고 각각의 구동 모터의 부하가 적절하게 배분될 수 있다(S37).
본 발명에 따른 진공 펌프 장치는 다양한 방법으로 작동이 제어될 수 있고 본 발명은 제시된 실시 예에 제한되지 않는다.
본 발명에 따른 진공 펌프 장치는 로터 회전 공간의 압력을 조절하여 배출 압력이 감소되도록 하는 것에 의하여 내부 압력에 의한 부하의 감소에 의하여 로터 회전을 위한 전력 소비량이 감소되도록 한다는 이점을 가진다. 또한 본 발명에 따른 진공 펌프 장치는 진공 공간에서 배출되는 가스의 압력에 따라 배출 경로를 제어하는 것에 의하여 진공 형성 효율이 개선되도록 한다는 장점을 가진다.
위에서 본 발명은 제시된 실시 예를 참조하여 상세하게 설명이 되었지만 이 분야에서 통상의 지식을 가진 자는 제시된 실시 예를 참조하여 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위에서 다양한 변형 및 수정 발명을 만들 수 있을 것이다. 본 발명은 이와 같은 변형 및 수정 발명에 의하여 제한되지 않으며 다만 아래에 첨부된 청구범위에 의하여 제한된다.
11: 진공 펌프 모듈 12: 압력 조절 유닛
13: 센서 유닛 14: 스크러버
15: 진공 펌프 16: 진공 공정 공간
111: 로터 141: 배출 도관
161: 기체 이송 도관 221: 조절 몸체
222: 밸브 개폐 수단 223: 제어 밸브 몸체
221a, 221b: 분기 홀 222, 223: 제어 밸브
231a, 231b: 센터링 수단 251a, 251b: 분기 도관
271: 배출 통로 281: 분기 통로

Claims (3)

  1. 진공 챔버와 연결되는 기체 이송 도관(161);
    기체 이송 도관(161)과 연결되고 그리고 로터(111) 및 진공 펌프(15)가 배치된 진공 펌프 모듈(11);
    진공 펌프 모듈(11)과 스크러버(14)를 연결하는 기체 배출 도관(141); 및
    진공 펌프 모듈(11)의 내부 압력을 제어하기 위한 압력 조절 유닛(12)을 포함하고,
    상기 압력 조절 유닛(12)은 적어도 하나의 분기 도관(251a, 251b)이 형성된 조절 몸체(221) 및 조절 몸체(221)에 결합되어 상기 배출 도관(141)을 통하여 배출되는 기체의 경로를 제어하는 제어 밸브(222, 223) 및 상기 분기 도관(251a, 251b)을 통한 기체의 흐름을 유도하기 위한 조절 펌프로 이루어지고, 상기 압력 조절 유닛(12)의 작동에 의하여 기체 배출 도관(141)을 통하여 배출되는 기체 양 또는 배출 경로가 제어되고 그리고 진공 펌프 모듈(11)에 설치된 로터(111)의 작동으로 인한 배출 압력이 조절되는 것을 특징으로 하는 전력 효율 개선 및 진공 형성 효율 개선을 위한 드라이 진공 펌프 장치
  2. 삭제
  3. 청구항 1에 있어서, 기체 이송 도관(161)에 설치된 센서 유닛(13)을 더 포함하고, 상기 센서 유닛(13)으로부터 전송되는 정보에 따라 제어 밸브(222, 223)의 개폐가 조절되는 것을 포함하는 드라이 진공 펌프 장치.
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