KR101453840B1 - 충전 플레이트를 구비하는 유기금속 화합물 공급 장치 - Google Patents

충전 플레이트를 구비하는 유기금속 화합물 공급 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 유기금속 화합물 공급 장치에 관한 것이다. 본 발명의 유기금속 화합물 공급 장치는 용기 내부에 횡방향으로 배치되는 충전 플레이트를 포함한다. 충전 플레이트는 고체의 유기금속 화합물이 충전되도록 종방향으로 형성된 다수의 충전 구멍을 구비한다. 다수의 충전 구멍 안에 유기금속 화합물을 충전하면 채널링 효과의 발생 가능성이 최소화되고 종래의 유기금속 화합물 공급 장치 수십 개를 병렬로 연결한 것과 같은 효과를 발휘한다. 더욱이, 본 발명의 유기금속 화합물 공급 장치는 충전 플레이트의 상단에 삽입되는 분산 필터를 포함한다. 분산 필터는 캐리어 가스를 균일하게 분산시켜 유기금속 화합물을 균일한 농도로 캐리어 가스에 함유시킬 수 있다.

Description

충전 플레이트를 구비하는 유기금속 화합물 공급 장치{Organometallic Compound Supply Apparatus Having Filling Plate}
본 발명은 유기금속 화합물 공급 장치에 관한 것으로, 특히 상온에서 고체인 유기금속 화합물이 담긴 충전 용기로 캐리어 가스를 공급하여 안정적인 농도와 증기압을 갖는 유기금속 화합물 함유 캐리어 가스를 생성하여 사용처로 공급하는 유기금속 화합물 공급 장치에 관한 것이다.
일반적으로 유기금속 화합물은 화합물 반도체의 에피택셜 성장에 있어서 원료로 사용되고 있다. 특히, 유기금속 화합물은 양산성 및 제어성이 우수한 유기금속 화학기상증착법(MOCVD)에 사용되는 경우가 많다.
종래의 유기금속 화합물 공급 장치는 유기금속 화합물이 충전된 충전 용기를 구비하고 있고, 충전 용기 내부로 캐리어 가스를 공급하여, 승화된 유기금속 화합물을 함유하는 캐리어 가스를 생성한 후, 이를 유기금속 화학기상증착 장치 등에 공급한다. 즉, 충전 용기에 충전되어 있는 유기금속 화합물에 캐리어 가스를 통과시킴으로써, 유기금속 화합물은 캐리어 가스와 접촉하게 되고, 접촉 부분의 유기금속 화합물은 승화 작용에 의해 증기 상태로 캐리어 가스 안에 포함되게 된다.
한편, 트리메틸인듐(trimethly indium; TMI)과 같은 유기금속 화합물은 상온에서 고체 상태로 충전 용기에 충전되어 사용되며, 이 경우 유기금속 화합물 중에서 캐리어 가스와 직접 접촉하는 부분은 다른 부분보다 우선적으로 소비된다(즉, 캐리어 가스 안으로 함유된다).
고체 유기금속 화합물은 유동성이 나쁘기 때문에, 일단 부분적인 소비가 시작되면, 계속해서 그 부분의 소비가 촉진되면서 캐리어 가스가 흐르기 쉬운 유로가 형성된다. 유로가 형성되면, 캐리어 가스와 유기금속 화합물의 접촉 면적이 저하되고, 충전 용기로부터 배출되는 캐리어 가스 안에 함유된 유기금속 화합물의 농도가 저하되며 증기압 또한 떨어진다. 그 결과, 유기금속 화합물을 유기금속 화학기상증착 장치 등에 안정적으로 공급할 수 없게 된다. 이러한 현상은 고체 유기금속 화합물의 유동성으로 인한 채널링 효과(channeling effect)로 알려져 있다.
통상적으로 유기금속 화합물을 함유하는 캐리어 가스의 생성 공정은 캐리어 가스 중의 유기금속 화합물 농도가 저하되는 시점에서 종료된다. 따라서 소비되지 않은 고체 유기금속 화합물은 충전 용기 안에 그대로 남게 되며, 이는 생산성 저하를 초래할 뿐만 아니라 유기금속 화합물을 안정적인 농도로 포함하는 캐리어 가스를 장기적으로 공급하는 데에도 지장을 초래하므로 바람직하지 않다.
따라서 충전 용기에 담긴 고체의 유기금속 화합물을 효율적으로 사용하여 생산성을 향상시키고 안정적인 농도로 유기금속 화합물을 함유하는 캐리어 가스를 공급하기 위해서는 캐리어 가스가 충전 용기 내의 고체 유기금속 화합물을 균일하게 통과하도록 하여 채널링 효과를 방지하거나 최소화할 수 있는 대책이 필요하다.
이러한 점들을 고려하여, 본 발명은 고체 유기금속 화합물의 유동성으로 인한 채널링 효과를 최소화할 수 있는 유기금속 화합물 공급 장치의 제공을 목적으로 한다.
본 발명의 다른 목적은 유기금속 화합물을 최대한 균일한 농도로 캐리어 가스에 함유시킬 수 있는 유기금속 화합물 공급 장치를 제공하기 위한 것이다.
본 발명의 또 다른 목적은 유기금속 화합물을 캐리어 가스에 함유시키는 공정에서 소비되지 않고 충전 용기 내에 잔존하게 되는 고체 유기금속 화합물의 양을 최소화하여 생산성을 향상시킬 수 있는 유기금속 화합물 공급 장치를 제공하기 위한 것이다.
이러한 목적들을 달성하기 위하여, 본 발명은 용기, 덮개, 공급관, 배출관, 충전 플레이트를 포함하는 유기금속 화합물 공급 장치를 제공한다. 상기 덮개는 상기 용기의 상단을 덮는다. 상기 공급관은 상기 용기의 하단에 설치되어 상기 용기의 내부로 캐리어 가스를 공급한다. 상기 배출관은 상기 덮개에 설치되어 유기금속 화합물 함유 캐리어 가스를 상기 용기의 외부로 배출한다. 상기 충전 플레이트는 상기 용기의 내부에 횡방향으로 배치되며, 고체의 유기금속 화합물이 충전되도록 종방향으로 형성된 다수의 충전 구멍을 구비한다.
본 발명의 유기금속 화합물 공급 장치는 분산 필터를 더 포함할 수 있다. 상기 분산 필터는 상기 충전 플레이트의 상단에 삽입되며, 상기 충전 구멍을 통과하면서 상기 유기금속 화합물을 함유한 캐리어 가스가 균일하게 분산되도록 한다.
본 발명의 유기금속 화합물 공급 장치에 있어서, 상기 충전 플레이트는 종방향으로 두 개 이상 적층될 수 있다.
본 발명의 유기금속 화합물 공급 장치는 하단 플레이트를 더 포함할 수 있다. 상기 하단 플레이트는 상기 충전 플레이트의 하부에 배치되며, 상기 공급관과 연결되어 상기 캐리어 가스가 유입되는 내부 공간을 구비한다.
본 발명의 유기금속 화합물 공급 장치는 상단 플레이트를 더 포함할 수 있다. 상기 상단 플레이트는 상기 충전 플레이트의 상부에 배치되며, 상기 배출관과 연결되어 상기 유기금속 화합물 함유 캐리어 가스를 배출하는 내부 공간을 구비한다.
본 발명의 유기금속 화합물 공급 장치가 하단 플레이트를 더 포함하는 경우, 분산 필터를 더 포함할 수 있다. 상기 분산 필터는 상기 하단 플레이트의 상단에 삽입되며, 상기 내부 공간에 유입된 상기 캐리어 가스가 균일하게 분산되도록 한다.
본 발명의 유기금속 화합물 공급 장치가 하단 플레이트를 더 포함하는 경우, 상기 하단 플레이트는 내측벽이 경사면을 이룰 수 있다.
본 발명에 따른 유기금속 화합물 공급 장치는 다수의 충전 구멍을 구비한 충전 플레이트를 사용하여 충전 구멍 안에 유기금속 화합물을 충전함으로써, 채널링 효과의 발생 가능성을 최소화할 뿐만 아니라, 마치 종래의 유기금속 화합물 공급 장치 수십 개를 병렬로 연결한 것과 같은 효과를 발휘한다.
더욱이, 본 발명의 유기금속 화합물 공급 장치는 충전 플레이트의 상단에 분산 필터를 삽입함으로써 유기금속 화합물을 최대한 균일한 농도로 캐리어 가스에 함유시킬 수 있고, 충전 구멍의 개수나 충전 플레이트의 개수를 조절함으로써 유기금속 화합물의 양을 적절히 조절하여 다양한 적용이 가능하도록 한다.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 유기금속 화합물 공급 장치의 단면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 유기금속 화합물 공급 장치의 충전 플레이트를 보여주는 횡단면도 및 종단면도이다.
도 3은 도 1에 도시된 유기금속 화합물 공급 장치의 충전 플레이트와 분산 필터를 보여주는 단면도이다.
도 4는 도 1에 도시된 유기금속 화합물 공급 장치의 하단 플레이트와 분산 필터를 보여주는 단면도이다.
도 5는 본 발명의 제2 실시예에 따른 유기금속 화합물 공급 장치의 단면도이다.
도 6은 본 발명의 제3 실시예에 따른 유기금속 화합물 공급 장치의 단면도이다.
이하, 첨부 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 보다 상세하게 설명하고자 한다. 다만, 실시예들을 설명함에 있어서 본 발명이 속하는 기술 분야에 잘 알려져 있거나 본 발명과 직접 관련이 없는 사항에 대해서는 본 발명의 핵심을 흐리지 않고 명확히 전달하기 위해 설명을 생략할 수 있다.
한편, 첨부 도면에 있어서 일부 구성요소는 과장되거나 생략되거나 또는 개략적으로 도시되며, 각 구성요소의 크기는 실제 크기를 전적으로 반영하는 것이 아니다. 첨부 도면을 통틀어 동일하거나 대응하는 구성요소에는 동일한 참조번호를 부여한다.
제1 실시예
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 유기금속 화합물 공급 장치(100)의 단면도이다.
도 1을 참조하면, 제1 실시예의 유기금속 화합물 공급 장치(100)는 외형상 용기(10)와 덮개(12)를 포함하여 이루어진다. 용기(10)는 예컨대 원통형이며, 스테인리스 스틸 등의 재질로 형성될 수 있다. 덮개(12)는 용기(10)의 상단을 덮는 것으로, 체결볼트를 이용하거나 용접에 의해 용기(10)와 결합되며, 스테인리스 스틸 등의 재질로 형성될 수 있다. 용기(10)의 하단에는 공급관(14)이 설치되고, 덮개(12)의 중앙에는 배출관(16)이 설치된다. 공급관(14)은 용기(10) 내부로 캐리어 가스(34)를 공급하기 위한 경로이며, 배출관(16)은 유기금속 화합물이 함유된 캐리어 가스(이하, '유기금속 화합물 함유 가스(36)'라 함)를 용기(10) 외부로 배출하기 위한 경로이다. 용기(10)와 덮개(12)의 형태, 재질, 결합방식 등은 설명을 위해 예시한 것일 뿐, 특정 형태, 재질, 결합방식 등으로 한정되지 않는다.
용기(10) 내부에는 충전 플레이트(20)가 배치된다. 충전 플레이트(20)는 용기(10)의 중간 부분에 횡방향으로 놓여 용기(10)의 내측벽과 밀착하도록 배치된다. 충전 플레이트(20)의 가로 폭(예컨대 충전 플레이트가 원통형인 경우 그 직경)과 용기(10)의 내측벽 간의 가로 폭(예컨대 용기가 원통형인 경우 그 내경)은 거의 동일하다. 충전 플레이트(20)는 스테인리스 스틸 또는 폴리에틸렌(PE), 폴리프로필렌(PP), 폴리테트라플루오르에틸렌(PTFE), 폴리클로로트리플루오르에틸렌(PCTFE), 퍼플루오르알콕시(PFA) 등과 같은 플라스틱 재질로 형성된다. 특히, 도 2에 자세히 도시된 바와 같이, 충전 플레이트(20)는 종방향으로 형성된 다수의 충전 구멍(20a)을 구비한다. 아울러, 충전 플레이트(20)의 상단은 가장자리를 제외한 나머지 부분이 제거되어 필터 삽입부(20b)를 형성한다.
도 1 및 도 3에 도시된 바와 같이, 충전 플레이트(20)의 충전 구멍(20a)에는 고체의 유기금속 화합물(30)이 충전된다. 또한, 충전 플레이트(20)의 필터 삽입부(20b)에는 분산 필터(32)가 삽입된다.
유기금속 화합물(30)은 인듐 화합물, 아연 화합물, 알루미늄 화합물, 갈륨 화합물, 마그네슘 화합물, 하프늄 화합물, 지르코늄 화합물, 티타늄 화합물, 바륨 화합물, 란타늄 화합물, 스트론튬 화합물 등이다. 인듐 화합물은 인듐트리클로라이드, 트리메틸인듐, 디메틸클로로인듐, 시클로펜타디에닐인듐, 트리메틸인듐ㅇ트리메틸아르신 부가물, 트리메틸인듐ㅇ트리메틸포스핀 부가물 등이다. 아연 화합물은 에틸아연 요오다이드, 에틸시클로펜타디에닐아연, 시클로펜타디에닐아연 등이다. 알루미늄 화합물은 메틸디클로로알루미늄 등이다. 갈륨 화합물은 갈륨트리클로라이드, 메틸디클로로갈륨, 디메틸클로로갈륨, 디메틸브로모갈륨 등이다. 마그네슘 화합물은 비스시클로펜타디에닐마그네슘 등이다. 하프늄 화합물은 하프늄 클로라이드 등이다. 지르코늄 화합물은 지르코늄 클로라이드 등이다. 티타늄 화합물은 티타늄 클로라이드 등이다. 바륨 화합물은 비스(2,2,6,6-테트라메틸-3,5-헵탄디오네이토)바륨 등이다. 란타늄 화합물은 트리스(비스(트리메틸실릴)아미도)란타늄, 트리스(이소프로필시클로펜타디에닐)란타늄, 트리스(에틸시클로펜타디에닐)란타늄, 트리스(시클로펜타디에닐)란타늄 등이다. 스트론튬 화합물은 비스(2,2,6,6-테트라메틸-3,5-헵탄디오네이토)스트론튬 등이다. 이러한 유기금속 화합물은 설명을 위해 예시한 것일 뿐, 본 발명에 적용 가능한 유기금속 화합물은 이러한 예들로 한정되지 않는다.
분산 필터(32)는 예를 들어 메쉬 필터 또는 소결 필터로서, 캐리어 가스(34)를 균일하게 분산시키는 역할을 한다. 분산 필터(32)는 전술한 충전 플레이트(20)의 재질과 동일한 재질로 형성할 수 있으며, 500㎛ 이하의 미세공극으로 이루어진다.
한편, 충전 플레이트(20)는 하나 이상이 사용될 수 있다. 두 개 이상 사용할 경우, 충전 플레이트(20)는 종방향으로 적층된다. 도 1은 3개의 충전 플레이트(20)를 종방향으로 적층하여 사용하는 예를 보여주고 있다.
아울러, 충전 플레이트(20)의 하부, 즉 용기(10)의 내부 하단에는 하단 플레이트(22)가 배치되며, 충전 플레이트(20)의 상부, 즉 용기(10)의 내부 상단에는 상단 플레이트(24)가 배치된다. 하단 플레이트(22)와 상단 플레이트(24)는 충전 플레이트(20)와 마찬가지로 예컨대 원통형이지만, 충전 플레이트(20)와 달리 가장자리를 제외한 나머지 부분이 모두 제거되어 내부 공간을 형성한다. 하단 플레이트(22)의 내부 공간은 공급관(14)과 연결되어 캐리어 가스(34)가 유입되는 가스 유입공간(22a)이며, 상단 플레이트(24)의 내부 공간은 배출관(16)과 연결되어 유기금속 화합물 함유 가스(36)가 배출되는 가스 배출공간(24a)이다.
한편, 도 4에 도시된 바와 같이, 하단 플레이트(22)의 상단은 가장자리의 안쪽 부분이 제거되어 필터 지지부(22b)를 형성할 수 있으며, 이 경우 하단 플레이트(22)의 상단에도 분산 필터(32)가 삽입되어 필터 지지부(22b)에 의해 지지될 수 있다. 후술하는 다른 실시예의 경우, 하단 플레이트(22)에 필터 지지부(22b)가 형성되지 않을 수도 있고, 하단 플레이트(22)의 내측벽이 경사면을 이룰 수도 있다. 이에 대해서는 후술한다.
이상 설명한 유기금속 화합물 공급 장치(100)의 작용은 다음과 같다.
먼저, 공급관(14)을 통하여 용기(10) 내부로 캐리어 가스(34)를 공급한다. 캐리어 가스(34)는 하단 플레이트(22)의 가스 유입공간(22a)으로 유입되고 위쪽 방향으로 흐르게 된다.
이어서, 캐리어 가스(34)는 충전 플레이트(20)의 충전 구멍(20a)에 충전된 유기금속 화합물(30)을 통과하면서 유기금속 화합물(30)과 접촉하게 되고 승화된 유기금속 화합물(30)을 함유하게 된다. 이때 유기금속 화합물(30)은 다수개의 작은 충전 구멍(20a)에 충전되어 있기 때문에, 일부의 유기금속 화합물(30)만 소비되어 채널링 효과가 발생할 확률은 매우 떨어지게 된다.
작은 충전 구멍(20a)을 통과하면서 유기금속 화합물(30)을 함유한 캐리어 가스(34)는 분산 필터(32)에 의해 균일하게 분산된 후 다시 그 위쪽의 충전 구멍(20a)을 통과하면서 유기금속 화합물(30)을 함유하는 과정이 반복된다. 따라서 유기금속 화합물(30)을 최대한 균일한 농도로 캐리어 가스(34)에 함유시킬 수가 있다.
용기(10) 내부에 구비된 충전 플레이트(20)를 모두 통과한 유기금속 화합물 함유 가스(36)는 최종적으로 상단 플레이트(24)의 가스 배출공간(24a)으로 모이고 배출관(16)을 통해 용기(10) 외부로 배출된다.
종래의 유기금속 화합물 공급 장치는 큰 직경의 단일 충전 용기에 유기금속 화합물을 충전하여 사용하기 때문에 전술한 바와 같이 채널링 효과가 발생하는 문제가 있다. 그러나 본 발명의 유기금속 화합물 공급 장치(100)는 다수의 충전 구멍(20a)을 구비한 충전 플레이트(20)를 사용하여 충전 구멍(20a) 안에 유기금속 화합물(30)을 충전함으로써, 채널링 효과의 발생 가능성을 최소화할 뿐만 아니라, 마치 종래의 유기금속 화합물 공급 장치 수십 개를 병렬로 연결한 것과 같은 효과를 발휘한다.
더욱이, 본 발명의 유기금속 화합물 공급 장치(100)는 충전 플레이트(20)의 상단에 분산 필터(32)를 삽입함으로써 유기금속 화합물(30)을 최대한 균일한 농도로 캐리어 가스(34)에 함유시킬 수 있고, 충전 구멍(20a)의 개수나 충전 플레이트(20)의 개수를 조절함으로써 유기금속 화합물(30)의 양을 적절히 조절하여 다양한 적용이 가능하도록 한다.
제2 실시예
도 5는 본 발명의 제2 실시예에 따른 유기금속 화합물 공급 장치(200)의 단면도이다.
도 5를 참조하면, 제2 실시예의 유기금속 화합물 공급 장치(200)는 전술한 제1 실시예의 유기금속 화합물 공급 장치(도 1의 100)와 비교하여 구성과 작용이 대부분 동일하지만, 하단 플레이트(22)의 구성에 일부 차이가 있다.
제2 실시예에서 하단 플레이트(22)는 필터 지지부(도 4의 22b)가 형성되지 않는다. 분산 필터(32)는 하단 플레이트(22) 그 자체에 의해 지지된다. 이 경우, 상단 플레이트(24)와 하단 플레이트(22)를 동일한 형태로 사용할 수 있는 장점이 있다.
도면에 도시되지는 않았지만, 상단 플레이트(24)의 경우에도 제1 실시예의 하단 플레이트(22)를 그대로 사용하는 것도 가능하다.
제3 실시예
도 6은 본 발명의 제3 실시예에 따른 유기금속 화합물 공급 장치(300)의 단면도이다.
도 6을 참조하면, 제3 실시예의 유기금속 화합물 공급 장치(300)는 전술한 제2 실시예의 유기금속 화합물 공급 장치(도 5의 200)와 비교하여 구성과 작용이 대부분 동일하지만, 하단 플레이트(22)의 구성에 일부 차이가 있다.
제3 실시예에서 하단 플레이트(22)는 내측벽이 경사면을 이룬다. 이 경우, 공급관(14)을 통하여 하단 플레이트(22)의 가스 유입공간(22a)으로 유입되는 캐리어 가스(34)의 와류를 억제하고 캐리어 가스(34)의 원활한 흐름을 촉진하는 장점이 있다.
이러한 하단 플레이트(22)의 경사면 구조는 제1 실시예의 하단 플레이트에도 유사하게 적용할 수 있다.
한편, 본 명세서와 도면에 개시된 본 발명의 실시예들은 본 발명의 기술 내용을 쉽게 설명하고 본 발명의 이해를 돕기 위해 특정 예를 제시한 것일 뿐이며, 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것은 아니다. 여기에 개시된 실시예들 이외에도 본 발명의 기술적 사상에 바탕을 둔 다른 변형예들이 실시 가능하다는 것은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명한 것이다.
10: 용기 12: 덮개
14: 공급관 16: 배출관
20: 충전 플레이트 20a: 충전 구멍
20b: 필터 삽입부 22: 하단 플레이트
22a: 가스 유입공간 22b: 필터 지지부
24: 상단 플레이트 24a: 가스 배출공간
30: 유기금속 화합물 32: 분산 필터
34: 캐리어 가스 36: 유기금속 화합물 함유 가스
100, 200, 300: 유기금속 화합물 공급 장치

Claims (7)

  1. 용기;
    상기 용기의 상단을 덮는 덮개;
    상기 용기의 하단에 설치되어 상기 용기의 내부로 캐리어 가스를 공급하는 공급관;
    상기 용기의 내부에 횡방향으로 배치되며, 종방향으로 형성된 다수의 충전 구멍에 각각 고체의 유기금속 화합물이 충전되며, 상기 공급관으로 공급된 캐리어 가스가 상기 다수의 충전 구멍에 각각 충전된 고체의 유기금속 화합물을 통과하면서 유기금속 화합물 함유 캐리어 가스가 발생되며, 상기 용기의 내부에 종방향으로 적층되는 두 개 이상의 충전 플레이트;
    상기 덮개에 설치되어 상기 유기금속 화합물 함유 캐리어 가스를 상기 용기의 외부로 배출하는 배출관;
    상기 두 개 이상의 충전 플레이트 중 최하부의 충전 플레이트의 하부에 배치되며, 상기 공급관과 연결되어 상기 캐리어 가스가 유입되는 내부 공간을 구비하는 하단 플레이트;
    상기 두 개 이상의 충전 플레이트 중 최상부의 충전 플레이트의 상부에 배치되며, 상기 배출관과 연결되어 상기 유기금속 화합물 함유 캐리어 가스를 배출하는 내부 공간을 구비하는 상단 플레이트;
    상기 두 개 이상의 충전 플레이트의 각각의 상단에 삽입되어 상기 충전 구멍을 통과하면서 상기 유기금속 화합물을 함유한 캐리어 가스가 균일하게 분산되도록 하는 제1 분산 필터;
    상기 하단 플레이트의 상단에 삽입되며, 상기 내부 공간에 유입된 상기 캐리어 가스가 균일하게 분산되도록 하는 제2 분산 필터;
    를 포함하는 유기금속 화합물 공급 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 충전 플레이트는 상단에 가장자리를 제외한 나머지 부분이 제거되어 상기 제1 분산 필터가 삽입되는 필터 삽입부가 형성된 것을 특징으로 하는 유기금속 화합물 공급 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 제1 및 제2 분산 필터는 메쉬 필터 또는 소결 필터로서, 500㎛ 이하의 미세공극이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 유기금속 화합물 공급 장치.
  4. 삭제
  5. 제1항에 있어서,
    상기 하단 플레이트는 상단에 가장자리를 제외한 나머지 부분이 제거되어 상기 제2 분산 필터가 삽입되는 필터 지지부가 형성된 것을 특징으로 하는 유기금속 화합물 공급 장치.
  6. 삭제
  7. 제1항에 있어서,
    상기 하단 플레이트는 내측벽이 경사면을 이루는 것을 특징으로 하는 유기금속 화합물 공급 장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JPH10223540A (ja) * 1997-02-03 1998-08-21 Sony Corp 有機金属気相成長装置
KR20090061646A (ko) * 2006-08-31 2009-06-16 어드밴스드 테크놀러지 머티리얼즈, 인코포레이티드 형태학적으로 제어된 고체를 이용한 고체 전구체계 유체 운반

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